JP2013247294A - 配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本配線基板は、コア層と、前記コア層を厚さ方向に貫通する貫通孔と、前記コア層の一方の面に形成された第1配線層と、前記貫通孔内に形成され、前記第1配線層と電気的に接続された貫通配線と、を有し、前記貫通孔の内側面と前記コア層の一方の面との境界部には、曲面状に面取りされた環状の第1面取り部が形成され、前記第1配線層は、前記コア層の一方の面の前記第1面取り部の外周側に環状に形成された第1金属層と、前記第1面取り部上及び前記第1金属層上に形成された第2金属層と、を含む。
【選択図】図1
Description
[第1の実施の形態に係る配線基板の構造]
まず、第1の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図1は、第1の実施の形態に係る配線基板を例示する断面図である。なお、図1(b)は図1(a)のA部の拡大図である。
次に、第1の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図2〜図5は、第1の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。
第1の実施の形態の変形例では、貫通配線が形成される貫通孔の形状が異なる配線基板の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。図7は、第1の実施の形態の変形例に係る配線基板を例示する断面図である。なお、図7(b)は図7(a)のG部の拡大図である。
第1の実施の形態の応用例では、第1の実施の形態に係る配線基板に半導体チップを搭載した半導体パッケージの例を示す。なお、第1の実施の形態の応用例において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
11 コア層
11x、11y 貫通孔
11x1 第1の孔
11x2 第2の孔
12、13、16、18、21、23 配線層
12a 第1金属層
12b 第2金属層
12p 金属層
12M、12N 第1金属箔
13a 第3金属層
13b 第4金属層
13M、13N 第2金属箔
14 貫通配線
15、17、20、22 絶縁層
15x、17x、20x、22x ビアホール
19、24 ソルダーレジスト層
19x、24x 開口部
50 半導体パッケージ
60 半導体チップ
70 バンプ
80 アンダーフィル樹脂
110 ボイド
Claims (10)
- コア層と、
前記コア層を厚さ方向に貫通する貫通孔と、
前記コア層の一方の面に形成された第1配線層と、
前記貫通孔内に形成され、前記第1配線層と電気的に接続された貫通配線と、を有し、
前記貫通孔の内側面と前記コア層の一方の面との境界部には、曲面状に面取りされた環状の第1面取り部が形成され、
前記第1配線層は、前記コア層の一方の面の前記第1面取り部の外周側に環状に形成された第1金属層と、前記第1面取り部上及び前記第1金属層上に形成された第2金属層と、を含む配線基板。 - 前記コア層の他方の面に形成され、前記貫通配線を介して前記第1配線層と電気的に接続された第2配線層を有し、
前記貫通孔の内側面と前記コア層の他方の面との境界部には、曲面状に面取りされた環状の第2面取り部が形成され、
前記第2配線層は、前記コア層の他方の面の前記第2面取り部の外周側に環状に形成された第3金属層と、前記第2面取り部上及び前記第3金属層上に形成された第4金属層と、を含む請求項1記載の配線基板。 - 前記貫通孔の形状は、前記コア層の一方の面側の開口部の面積が前記コア層内に形成された頂部の面積よりも大となる円錐台状の第1の孔と、前記コア層の他方の面側の開口部の面積が前記コア層内に形成された頂部の面積よりも大となる円錐台状の第2の孔とが、各々の頂部が前記コア層内で連通した形状である請求項1又は2記載の配線基板。
- コア層の一方の面に第1金属箔が形成された積層板を準備し、前記コア層及び前記第1金属箔を貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記第1金属箔の端部が前記貫通孔内に張り出したバリを除去すると共に前記貫通孔の開口部周縁に前記コア層の一方の面を環状に露出させる工程と、
前記環状に露出させる工程の後、前記貫通孔の内側面に付着した樹脂残渣を除去すると共に前記貫通孔の内側面と前記コア層の一方の面との境界部を曲面状に面取りして環状の第1面取り部を形成する工程と、
前記第1金属箔及び前記第1面取り部を被覆し、前記貫通孔を充填する金属層を形成する工程と、
前記第1金属箔及び前記金属層をパターニングして前記コア層の一方の面に第1配線層を形成する工程と、を有する配線基板の製造方法。 - 前記第1配線層は、前記コア層の一方の面の前記第1面取り部の外周側に前記第1金属箔をパターニングして環状に形成された第1金属層と、前記第1面取り部上及び前記第1金属層上に前記金属層をパターニングして形成された第2金属層と、を含むように形成される請求項4記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通孔を形成する工程では、コア層の一方の面に第1金属箔、他方の面に第2金属箔が形成された積層板を準備し、前記コア層、前記第1金属箔、及び前記第2金属箔を貫通する貫通孔を形成し、
前記第2金属箔の端部が前記貫通孔内に張り出したバリを除去すると共に前記貫通孔の開口部周縁に前記コア層の他方の面を環状に露出させる工程と、前記貫通孔の内側面と前記コア層の他方の面との境界部を曲面状に面取りして環状の第2面取り部を形成する工程と、を有し、
前記金属層を形成する工程では、前記第1金属箔、前記第1面取り部、前記第2金属箔、及び前記第2面取り部を被覆し、前記貫通孔を充填する金属層を形成し、
前記コア層の他方の面に第2配線層を形成する工程を有する請求項4又は5記載の配線基板の製造方法。 - 前記第2配線層は、前記コア層の他方の面の前記第2面取り部の外周側に前記第2金属箔をパターニングして環状に形成された第3金属層と、前記第2面取り部上及び前記第3金属層上に前記金属層をパターニングして形成された第4金属層と、を含むように形成される請求項6記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通孔を形成する工程では、前記第1金属箔を薄型化した後に前記貫通孔を形成する請求項4乃至7の何れか一項記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通孔を形成する工程では、前記第1金属箔を薄型化した後に、薄型化した前記第1金属箔の表面に黒色系又は褐色系の表面処理部を形成し、その後に、前記表面処理部を介して前記第1金属箔にレーザ光を照射して前記貫通孔を形成する請求項8記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通孔を形成する工程では、前記貫通孔の形状は、前記コア層の一方の面側の開口部の面積が前記コア層内に形成された頂部の面積よりも大となる円錐台状の第1の孔と、前記コア層の他方の面側の開口部の面積が前記コア層内に形成された頂部の面積よりも大となる円錐台状の第2の孔とが、各々の頂部が前記コア層内で連通した形状に形成される請求項9記載の配線基板の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10992055B2 (en) | 2016-04-28 | 2021-04-27 | At&S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Component carrier with integrated antenna arrangement, electronic apparatus, radio communication method |
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6114527B2 (ja) * | 2012-10-05 | 2017-04-12 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
JP2014127623A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
KR102149797B1 (ko) * | 2014-01-10 | 2020-08-31 | 삼성전기주식회사 | 기판 및 그 제조 방법 |
KR101629435B1 (ko) * | 2014-11-10 | 2016-06-10 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
TWI651022B (zh) * | 2017-10-13 | 2019-02-11 | 欣興電子股份有限公司 | 多層線路結構及其製作方法 |
CN109673112B (zh) * | 2017-10-13 | 2021-08-20 | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 | 柔性电路板以及柔性电路板的制作方法 |
US11406018B1 (en) * | 2021-02-22 | 2022-08-02 | Aplus Semiconductor Technologies Co., Ltd. | Double-sided and multilayer flexible printed circuit (FPC) substrate and method of processing the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10126025A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | プリント配線板のスルーホール構造 |
JP2005191115A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Kyocera Corp | 配線基板およびその製造方法 |
JP2009164491A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板の製造方法 |
JP2009200356A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Tdk Corp | プリント配線板及びその製造方法 |
JP2012069926A (ja) * | 2010-08-21 | 2012-04-05 | Ibiden Co Ltd | プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4303715A (en) * | 1977-04-07 | 1981-12-01 | Western Electric Company, Incorporated | Printed wiring board |
JP2631544B2 (ja) * | 1989-01-27 | 1997-07-16 | 日本シイエムケイ株式会社 | プリント配線板 |
US5319159A (en) * | 1992-12-15 | 1994-06-07 | Sony Corporation | Double-sided printed wiring board and method of manufacture thereof |
JP2002324958A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Sony Corp | プリント配線板と、その製造方法 |
JP4256603B2 (ja) | 2001-08-02 | 2009-04-22 | イビデン株式会社 | 積層配線板の製造方法 |
TWI235019B (en) * | 2004-07-27 | 2005-06-21 | Unimicron Technology Corp | Process of conductive column and circuit board with conductive column |
US8431833B2 (en) * | 2008-12-29 | 2013-04-30 | Ibiden Co., Ltd. | Printed wiring board and method for manufacturing the same |
US8413324B2 (en) * | 2009-06-09 | 2013-04-09 | Ibiden Co., Ltd. | Method of manufacturing double-sided circuit board |
-
2012
- 2012-05-28 JP JP2012121194A patent/JP6385635B2/ja active Active
-
2013
- 2013-05-24 US US13/902,197 patent/US9232641B2/en active Active
- 2013-05-24 KR KR1020130058835A patent/KR20130133134A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10126025A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | プリント配線板のスルーホール構造 |
JP2005191115A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Kyocera Corp | 配線基板およびその製造方法 |
JP2009164491A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板の製造方法 |
JP2009200356A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Tdk Corp | プリント配線板及びその製造方法 |
JP2012069926A (ja) * | 2010-08-21 | 2012-04-05 | Ibiden Co Ltd | プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11264708B2 (en) | 2015-01-27 | 2022-03-01 | At&S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Component carrier with integrated antenna structure |
US10992055B2 (en) | 2016-04-28 | 2021-04-27 | At&S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Component carrier with integrated antenna arrangement, electronic apparatus, radio communication method |
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