JP2013242994A - 画像処理システム、および画像処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】先のスキャンが終了するとスキャン制御部13は、無効データ期間を示すフレーム信号を出力し、ブランキング期間となる。この期間において、スキャン制御部13は、パーソナルコンピュータ4から出力されスキャン種別に基づいて、対応する処理内容、および出力先の情報を検索し、該処理内容をスキャン情報としてプロセッサ16に出力し、出力先の情報をリコンフィグ制御部14に出力する。プロセッサ16は、スキャン情報からコンフィグデータメモリ17を検索して回路情報を取り出し、コンフィグ制御信号として出力する。リコンフィグ制御部14は、コンフィグ制御信号と出力先の情報とに基づいて、画像演算・特徴量算出回路111〜11nをコンフィグレーションする。その後、ブランキング期間が終了となり、次のスキャン種別によるスキャンが開始される。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の概要は、画像情報を取得する画像取得装置(走査電子顕微鏡装置2)と、該画像取得装置が取得した画像情報の画像処理を行う画像処理部(画像処理部3)とを有する画像処理システム(画像処理システム1)である。
以下の実施形態では、走査電子顕微鏡装置を例にして、本発明の画像処理システム、および方法を説明する。
ここで、走査電子顕微鏡装置2について説明する。
以下、分割された単位である、1つの画像サイズ内で行われる走査(スキャン)について説明する。
次に、本実施の形態による画像処理システム1のスキャン制御、および画像取得について説明する。
図2は、スキャン種別毎に画像処理を切り替える動作概要を示したタイミングチャートである。
図3は、図2のタイミングチャートにおけるスキャン種別毎の回路切り替え処理の一例を示した説明図である。
図4は、スキャン制御部13が有する処理対応テーブルTBの一例を示す説明図である。
図5は、図1の画像処理システム1におけるスキャン種別毎の回路切り替え処理の一例を示すフローチャートである。なお、図5では、あるスキャン種別のスキャンが終了し、次のスキャン種別によるスキャンが開始されるまでの処理を示している。
図6は、図1の画像処理システム1による画像取得処理の一例を示すフローチャートである。
図7は、図1の画像処理システム1に設けられたパーソナルコンピュータ4のディスプレイ4aに表示されるGUI(グラフィックユーザインタフェース)の表示例を示した説明図である。
図8は、画像演算・特徴量算出回路111〜11nにおける回路リソースの概要の一例を示す説明図である。
2 走査電子顕微鏡装置
3 画像処理部
4 パーソナルコンピュータ
4a ディスプレイ
5 走査電子顕微鏡
5a 電子銃
61〜6n 画像生成部
7 電子ビーム制御部
81〜8n A/D変換器
9 スキャン・画像取り込み部
10 処理切り替え制御部
111〜11n 画像演算・特徴量算出回路
12 画像転送部
13 スキャン制御部
14 リコンフィグ制御部
15 特徴量格納部
16 プロセッサ
17 コンフィグデータメモリ
20 特徴量算出回路
20a 特徴量算出回路
21 画像演算回路
SAMP 試料
TB 処理対応テーブル
ST ステージ
B1 ボタン
B2 ボタン
B3 ボタン
B4 ボタン
G1 棒グラフ
G2 棒グラフ
G3 棒グラフ
G4 棒グラフ
G5 棒グラフ
Claims (10)
- 画像情報を取得する画像取得装置と、
前記画像取得装置が取得した画像情報の画像処理を行う画像処理部とを有し、
前記画像処理部は、
前記画像取得装置が行うスキャンの種別を示す情報であるスキャン種別から、前記スキャン種別に対応する処理内容を決定して出力するスキャン制御部と、
前記スキャン制御部から出力された処理内容に対応する演算処理を行う回路構成を決定し、前記回路構成をコンフィグレーションするコンフィグ制御信号を出力する処理切り替え制御部と、
回路構成が書き換え可能な演算回路と、
前記処理切り替え制御部から出力されたコンフィグ制御信号に基づいて、前記演算回路のコンフィグレーションを行うリコンフィグ制御部とを有し、
前記演算回路は、
前記リコンフィグ制御部によってコンフィグレーションされた回路により、前記画像取得装置が取得した画像情報を演算処理することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1記載の画像処理システムにおいて、
前記スキャン制御部は、
前記画像取得装置が画像情報を取得している期間であることを示す有効データ期間、または前記画像取得装置が画像情報を取得していない期間であることを示す無効データ期間のいずれかであることを示すフレーム信号を出力し、
前記処理切り替え制御部は、
前記スキャン制御部から出力されるフレーム信号が、無効データ期間を示している際に、コンフィグ制御信号を出力し、
前記リコンフィグ制御部は、
前記フレーム信号が無効データ期間を示している期間に、前記演算回路のコンフィグレーションを終了することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1記載の画像処理システムにおいて、
前記スキャン制御部は、
前記スキャン種別、前記スキャン種別に対応する前記演算回路における処理内容、および前記演算回路による演算結果の出力先からなる処理対応テーブルを有し、入力された前記スキャン種別から、前記処理対応テーブルを検索することにより、前記スキャン種別に対応する処理内容、および前記処理内容によって処理された処理結果の出力先を決定することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項1記載の画像処理システムにおいて、
前記処理切り替え制御部は、
スキャン種別に対応する処理内容毎にコンフィグレーションする回路情報が格納されるコンフィグデータメモリと、
前記スキャン種別に対応する処理内容を前記コンフィグデータメモリから検索して決定する切り替え制御部とを有することを特徴とする画像処理システム。 - 画像情報を取得する画像取得装置と、
前記画像取得装置が取得した画像情報の画像処理を行う画像処理部とを有し、
前記画像処理部は、
前記画像取得装置が行うスキャンの種別を示す情報であるスキャン種別から、前記スキャン種別に対応する処理内容を決定し、前記処理内容に対応する演算処理を行う回路構成をコンフィグレーションするコンフィグ制御信号を出力する処理切り替え制御部と、
回路構成が書き換え可能な演算回路と、
前記処理切り替え制御部から出力されたコンフィグ制御信号に基づいて、前記演算回路のコンフィグレーションを行うリコンフィグ制御部とを有し、
前記演算回路は、
前記リコンフィグ制御部によってコンフィグレーションされた回路により、前記画像取得装置が取得した画像情報を演算処理することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項5記載の画像処理システムにおいて、
さらに、前記画像取得装置が画像情報を取得している期間であることを示す有効データ期間、または前記画像取得装置が画像情報を取得していない期間であることを示す無効データ期間のいずれかであることを示すフレーム信号を出力するスキャン制御部を有し、
前記処理切り替え制御部は、
前記スキャン制御部から出力されるフレーム信号が、無効データ期間を示している際に、コンフィグ制御信号を出力し、
前記リコンフィグ制御部は、
前記フレーム信号が無効データ期間を示している期間に、前記演算回路のコンフィグレーションを終了することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項5記載の画像処理システムにおいて、
前記処理切り替え制御部は、
スキャン種別に対応する処理内容毎にコンフィグレーションする回路情報が格納されるコンフィグデータメモリと、
前記スキャン種別に対応する処理内容を前記コンフィグデータメモリから検索して決定する切り替え制御部とを有することを特徴とする画像処理システム。 - 請求項7記載の画像処理システムにおいて、
前記切り替え制御部は、
前記スキャン種別、前記スキャン種別に対応する前記演算回路における演算処理内容、および前記演算回路による演算結果の出力先からなる処理対応テーブルを有し、入力されたスキャン種別から、前記処理対応テーブルを検索することにより、前記スキャン種別に対応する処理内容、および前記処理内容によって処理された処理結果の出力先を決定することを特徴とする画像処理システム。 - スキャン制御部で、画像取得装置が行うスキャンの種別を示す情報であるスキャン種別から、前記スキャン種別に対応する処理内容を決定して出力し、
処理切り替え制御部で前記スキャン制御部から出力された処理内容に対応する演算処理を行う回路構成を決定して、前記回路構成をコンフィグレーションするコンフィグ制御信号を出力し、
リコンフィグ制御部で、前記処理切り替え制御部から出力されたコンフィグ制御信号に基づいて演算回路のコンフィグレーションを行い、
前記リコンフィグ制御部によってコンフィグレーションされた回路により、画像取得装置で画像情報を取得し、取得した画像情報を演算処理することを特徴とする画像処理方法。 - 請求項9記載の画像処理方法において、
前記スキャン制御部で前記画像取得装置が画像情報を取得している期間であることを示す有効データ期間、または前記画像取得装置が画像情報を取得していない期間であることを示す無効データ期間のいずれかであることを示すフレーム信号を出力し、
前記処理切り替え制御部で、前記スキャン制御部から出力されるフレーム信号が、無効データ期間を示している際に、コンフィグ制御信号を出力し、
前記リコンフィグ制御部で、前記フレーム信号が無効データ期間を示している期間に、前記演算回路のコンフィグレーションを終了することを特徴とする画像処理方法。
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WO2015156095A1 (ja) * | 2014-04-07 | 2015-10-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 画像処理システム及び画像処理方法並びに画像処理システムを用いたsem装置 |
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2012
- 2012-05-18 JP JP2012114237A patent/JP5767163B2/ja not_active Expired - Fee Related
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