JP2013215823A - Grinding device and grinding method for plate-like body - Google Patents

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晃彦 有富
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grinding device and the like suitable for grinding outer peripheries of a plurality of kinds of plate-like bodies.SOLUTION: A grinding device 10 includes a suction head 20 that vacuum-sucks a plate-like body 2 and a grinding wheel 30 that grinds an outer periphery of the plate-like body 2 by making contact with the outer periphery of the plate-like body 2 vacuum-sucked to the suction head 20, the grinding device 10 for a plate-like body including a coupling body 60 magnetically coupled with the suction head 20 so that the plate-like body 2 is held between itself and the suction head 20.

Description

本発明は、板状体の外周を研削する研削装置および研削方法に関する。   The present invention relates to a grinding apparatus and a grinding method for grinding an outer periphery of a plate-like body.

従来から、ガラス板などの板状体の外周を研削する研削装置として、板状体を真空吸着する吸着ヘッド、吸着ヘッドに真空吸着された板状体の外周を研削する砥石を備える装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この装置において、吸着ヘッドは、複数設けられ、それぞれ、テーブルに設けられる複数の取付孔のいずれか1つに取り付けられている。吸着ヘッドの取付位置や数は、板状体の形状やサイズに応じて決定される。   Conventionally, as a grinding device for grinding the outer periphery of a plate-like body such as a glass plate, an apparatus having an adsorption head for vacuum-adsorbing the plate-like body and a grindstone for grinding the outer periphery of the plate-like body vacuum-adsorbed by the adsorption head is known. (For example, refer to Patent Document 1). In this apparatus, a plurality of suction heads are provided, and each suction head is attached to any one of a plurality of attachment holes provided in the table. The attachment position and number of suction heads are determined according to the shape and size of the plate-like body.

特開平11−300612号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-300612

しかしながら、従来の研削装置では、板状体の種類を変更する場合、板状体の形状やサイズに合わせて、吸着ヘッドの取付位置や数を変える必要があった。また、これに伴って、テーブルに設けられる取付孔と真空ポンプとを接続する接続路を開閉する必要があった。これらのため、作業が繁雑であったり、装置の構成が複雑であったりするという問題があった。また、これらの問題を解決するため、板状体の形状やサイズに左右されないように板状体を真空吸着する領域を限定して汎用的にすると、板状体の形状やサイズによっては、板状体の研削時に板状体を十分に固定することが困難である。   However, in the conventional grinding apparatus, when the type of the plate-like body is changed, it is necessary to change the attachment position and the number of the suction heads according to the shape and size of the plate-like body. Along with this, it was necessary to open and close the connection path connecting the mounting hole provided in the table and the vacuum pump. For these reasons, there is a problem that the work is complicated and the configuration of the apparatus is complicated. Moreover, in order to solve these problems, if the area for vacuum-adsorbing the plate-like body is limited so as not to be influenced by the shape and size of the plate-like body, It is difficult to sufficiently fix the plate-like body when grinding the shape-like body.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、複数種類の板状体の外周の研削に適した研削装置および研削方法を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of the said subject, Comprising: It aims at providing the grinding apparatus and grinding method suitable for grinding of the outer periphery of multiple types of plate-shaped object.

上記課題を解決するため、本発明は、
板状体を真空吸着する吸着ヘッドと、該吸着ヘッドに真空吸着された板状体の外周に接触して、板状体の外周を研削する砥石とを備える板状体の研削装置において、
前記吸着ヘッドとの間に前記板状体を挟み込むように、前記吸着ヘッドと磁気結合する結合体を備えることを特徴とする板状体の研削装置を提供する。
In order to solve the above problems, the present invention provides:
In a plate-like body grinding apparatus comprising: a suction head that vacuum-sucks a plate-like body; and a grindstone that contacts the outer periphery of the plate-like body vacuum-sucked by the suction head and grinds the outer periphery of the plate-like body.
Provided is a plate-like body grinding apparatus comprising a coupling body that is magnetically coupled to the suction head so as to sandwich the plate-like body between the suction head and the suction head.

また、本発明は、
板状体を吸着ヘッドに真空吸着し、前記板状体の外周に砥石を接触させて、前記板状体の外周を研削する板状体の研削方法において、
前記吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドと磁気結合する結合体とによって、前記板状体を挟持しながら該板状体の外周を研削することを特徴とする板状体の研削方法を提供する。
The present invention also provides:
In the plate-like body grinding method in which the plate-like body is vacuum-adsorbed to the suction head, and a grinding stone is brought into contact with the outer periphery of the plate-like body to grind the outer periphery of the plate-like body.
A plate-like body grinding method is provided, wherein the outer periphery of the plate-like body is ground while the plate-like body is sandwiched between the suction head and a coupling body magnetically coupled to the suction head.

本発明によれば、複数種類の板状体の外周の研削に適した板状体の研削装置および研削方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the grinding apparatus and grinding method of a plate-shaped body suitable for grinding of the outer periphery of multiple types of plate-shaped body can be provided.

本発明の一実施形態による研削装置の斜視図である。1 is a perspective view of a grinding apparatus according to an embodiment of the present invention. 砥石およびその周辺の一部断面側面図である。It is a partial cross section side view of a grindstone and its periphery. 吸着ヘッドおよび結合体の概略側面図である。It is a schematic side view of a suction head and a coupling body. 本発明の一実施形態による研削方法の説明図(1)である。It is explanatory drawing (1) of the grinding method by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による研削方法の説明図(2)である。It is explanatory drawing (2) of the grinding method by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による研削方法の説明図(3)である。It is explanatory drawing (3) of the grinding method by one Embodiment of this invention.

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

(研削装置)
図1は、本発明の一実施形態による研削装置の斜視図である。図2は、砥石およびその周辺の一部断面側面図である。
(Grinding device)
FIG. 1 is a perspective view of a grinding apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partial cross-sectional side view of the grindstone and its periphery.

研削装置10は、図1などに示すように、吸着ヘッド20、砥石30、移動装置40、回転装置50、結合体60、および支持装置70を備える。この研削装置10は、板状体2の外周を研削して、面取りを行う。   As shown in FIG. 1 and the like, the grinding device 10 includes a suction head 20, a grindstone 30, a moving device 40, a rotating device 50, a combined body 60, and a support device 70. The grinding device 10 grinds the outer periphery of the plate-like body 2 and performs chamfering.

研削装置10は、板状体2を吸着ヘッド20に真空吸着し、吸着ヘッド20と砥石30とを近づけて、砥石30を板状体2の外周に接触させる。この状態で、板状体2の外周に沿って砥石30を相対移動させながら、砥石30を回転させて、板状体2の外周を研削する。以下、研削装置10の各構成について詳説する。   The grinding device 10 vacuum-sucks the plate-like body 2 to the suction head 20, brings the suction head 20 and the grindstone 30 close to each other, and brings the grindstone 30 into contact with the outer periphery of the plate-like body 2. In this state, the grindstone 30 is rotated while relatively moving the grindstone 30 along the outer circumference of the plate-like body 2, and the outer circumference of the plate-like body 2 is ground. Hereinafter, each configuration of the grinding apparatus 10 will be described in detail.

(吸着ヘッド)
吸着ヘッド20は、図1などに示すように、板状体2を真空吸着して支持する。吸着ヘッド20の上面が、板状体2を支持する支持面となる。吸着ヘッド20の上面には、吸着孔が少なくとも1つ設けられている。吸着孔は、真空ポンプに接続されている。
(Suction head)
The suction head 20 supports the plate-like body 2 by vacuum suction as shown in FIG. The upper surface of the suction head 20 becomes a support surface that supports the plate-like body 2. At least one suction hole is provided on the upper surface of the suction head 20. The suction hole is connected to a vacuum pump.

真空ポンプが作動すると、吸着孔内が減圧され、吸着ヘッド20に板状体2が吸着される。この状態で、真空ポンプが作動停止し、吸着孔内が大気に開放されると、吸着が解除される。   When the vacuum pump is operated, the inside of the suction hole is depressurized and the plate-like body 2 is sucked by the suction head 20. In this state, when the vacuum pump stops operating and the inside of the suction hole is opened to the atmosphere, the suction is released.

吸着ヘッド20は、テーブル11に取り付けられている。吸着ヘッド20は、修理や交換のため、テーブル11に脱離可能に取り付けられて良い。   The suction head 20 is attached to the table 11. The suction head 20 may be detachably attached to the table 11 for repair or replacement.

テーブル11は、砥石30に対し移動可能に構成されている。例えば、テーブル11は、θ方向に回転可能に基台12に支持されており、また、X方向に移動可能に基台12に支持されている。   The table 11 is configured to be movable with respect to the grindstone 30. For example, the table 11 is supported on the base 12 so as to be rotatable in the θ direction, and is supported on the base 12 so as to be movable in the X direction.

なお、テーブル11の代わりに(または加えて)、砥石30がX方向に移動可能に基台12に支持されていても良い。   Instead of (or in addition to) the table 11, the grindstone 30 may be supported on the base 12 so as to be movable in the X direction.

吸着ヘッド20の寸法形状、設置位置および設置数は、研削対象となる複数種類の板状体2のサイズや形状に基づいて適宜設定されるが、吸着ヘッド20の設置数は1つであって良い。これによって、装置を簡略化できる。   The dimensional shape, installation position, and number of installation of the suction head 20 are set as appropriate based on the size and shape of the plurality of types of plate-like bodies 2 to be ground, but the number of installation of the suction head 20 is one. good. This can simplify the apparatus.

吸着ヘッド20は、1つのみ設けられる場合、板状体2の重心部を真空吸着して良い。これによって、板状体2を安定的に真空吸着できる。   When only one suction head 20 is provided, the center of gravity of the plate-like body 2 may be vacuum-sucked. Thereby, the plate-like body 2 can be stably vacuum-sucked.

また、吸着ヘッド20は、1つのみ設けられる場合、吸着ヘッド20の支持面は、研削対象となる複数種類の板状体2のいずれよりも小さいサイズを有している。   When only one suction head 20 is provided, the support surface of the suction head 20 has a size smaller than any of the plurality of types of plate-like bodies 2 to be ground.

(砥石)
砥石30は、図2に示すように、吸着ヘッド20に真空吸着された板状体2の外周に接触して、板状体2の外周を研削する。
(Whetstone)
As shown in FIG. 2, the grindstone 30 contacts the outer periphery of the plate-like body 2 that is vacuum-sucked by the suction head 20 and grinds the outer periphery of the plate-like body 2.

砥石30は、回転軸34を介して、駆動源である回転装置50に接続されており、回転装置50は基台12に対して固定されている。砥石30は、修理や交換のため、回転装置50に着脱可能であって良い。   The grindstone 30 is connected to a rotating device 50 that is a drive source via a rotating shaft 34, and the rotating device 50 is fixed to the base 12. The grindstone 30 may be detachable from the rotating device 50 for repair or replacement.

砥石30は、筐体13内に収容されている。筐体13内は、吸引ポンプと接続されている。吸引ポンプは、筐体13内を外部に排気することで、砥石30の研削屑や研削液などを外部に排出する。   The grindstone 30 is accommodated in the housing 13. The inside of the housing 13 is connected to a suction pump. The suction pump exhausts the inside of the housing 13 to the outside, and thereby discharges grinding waste, grinding fluid, and the like of the grindstone 30 to the outside.

砥石30は、円板状であって、筐体13内に略水平に配置されており、砥石30の外周が研削面32となる。研削面32は、板状体2の外周面に押し当てられ、板状体2の外周面を丸く面取りする。   The grindstone 30 has a disk shape and is disposed substantially horizontally in the housing 13, and the outer periphery of the grindstone 30 serves as a grinding surface 32. The grinding surface 32 is pressed against the outer peripheral surface of the plate-like body 2 and rounds the outer peripheral surface of the plate-like body 2.

筐体13は、基台12に対して固定されており、板状体2の周縁部が挿入される開口部14を有している。開口部14の近傍には、ブラシ15が取り付けられている。ブラシ15は、開口部14を略閉塞して、開口部14から板状体2への研削屑や研削液の飛散を抑える。ブラシ15は、開口部14の上縁および下縁にそれぞれ1つずつ取り付けられており、開口部14から挿入される板状体2の上面または下面に摺接する。   The housing 13 is fixed to the base 12 and has an opening 14 into which the peripheral edge of the plate-like body 2 is inserted. A brush 15 is attached in the vicinity of the opening 14. The brush 15 substantially closes the opening 14 and suppresses scattering of grinding waste and grinding liquid from the opening 14 to the plate-like body 2. One brush 15 is attached to each of the upper edge and the lower edge of the opening 14, and is in sliding contact with the upper surface or the lower surface of the plate-like body 2 inserted from the opening 14.

筐体13内には、板状体2の研削を円滑に行うため、砥石30と板状体2との接触位置に向けて研削液を吹き付けるノズル16が設けられている。   In the housing 13, a nozzle 16 for spraying a grinding liquid toward a contact position between the grindstone 30 and the plate-like body 2 is provided in order to smoothly grind the plate-like body 2.

(移動装置)
移動装置40は、吸着ヘッド20と砥石30とを相対移動させる装置である。移動装置40は、吸着ヘッド20と砥石30とを近づけて、砥石30を板状体2の外周に接触させる。また、移動装置40は、吸着ヘッド20と砥石30とを相対移動させて、板状体2の外周に沿って砥石30を相対移動させる。
(Moving device)
The moving device 40 is a device that relatively moves the suction head 20 and the grindstone 30. The moving device 40 brings the suction head 20 and the grindstone 30 closer to bring the grindstone 30 into contact with the outer periphery of the plate-like body 2. The moving device 40 relatively moves the suction head 20 and the grindstone 30 to relatively move the grindstone 30 along the outer periphery of the plate-like body 2.

移動装置40は、例えば回動モータや直動モータなどで構成される。回動モータは、テーブル11を基台12に対してθ方向に回動させる駆動源であって、例えばテーブル11の近傍に設けられるケース44内に収容されている。直動モータは、テーブル11を基台12に対してX方向に移動させる駆動源であって、例えばケース44の下方に設けられるケース42内に収容されている。   The moving device 40 is constituted by, for example, a rotation motor or a linear motion motor. The rotation motor is a drive source that rotates the table 11 in the θ direction with respect to the base 12, and is accommodated in a case 44 provided in the vicinity of the table 11, for example. The linear motion motor is a drive source that moves the table 11 in the X direction with respect to the base 12, and is accommodated in a case 42 provided below the case 44, for example.

移動装置40は、コンピュータなどで構成される制御装置に接続されており、制御装置による制御下で、テーブル11を基台12に対してθ方向に回動させ、または/および、X方向に移動させて、吸着ヘッド20と砥石30とを相対移動させる。   The moving device 40 is connected to a control device composed of a computer or the like, and rotates the table 11 in the θ direction relative to the base 12 and / or moves in the X direction under the control of the control device. The suction head 20 and the grindstone 30 are moved relative to each other.

吸着ヘッド20と砥石30との相対的な移動経路に関する情報(以下、「移動経路情報」という)は、ハードディスクなどの記録媒体に予め記録されている。移動経路情報は、複数種類の板状体2に対応して複数記録されている。制御装置は、キーボードなどの外部入力装置からの操作信号に基づいて、記録媒体から1つの移動経路情報を読み出し、読み出した移動経路情報に従って、移動装置40を制御する。   Information about the relative movement path between the suction head 20 and the grindstone 30 (hereinafter referred to as “movement path information”) is recorded in advance on a recording medium such as a hard disk. A plurality of pieces of movement path information are recorded corresponding to a plurality of types of plate-like bodies 2. The control device reads one piece of movement path information from the recording medium based on an operation signal from an external input device such as a keyboard, and controls the movement device 40 according to the read movement path information.

なお、本実施形態の移動装置40は、テーブル11を基台12に対してθ方向に回動させ、または/および、X方向に移動させて、吸着ヘッド20と砥石30とを相対移動させるとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、砥石30を基台12に対してX方向に移動させることで、吸着ヘッド20と砥石30とを相対移動させても良い。   The moving device 40 of the present embodiment rotates the table 11 in the θ direction with respect to the base 12 and / or moves it in the X direction to move the suction head 20 and the grindstone 30 relative to each other. However, the present invention is not limited to this. For example, the suction head 20 and the grindstone 30 may be moved relative to each other by moving the grindstone 30 in the X direction with respect to the base 12.

(回転装置)
回転装置50は、砥石30を回転軸34の周りに回転させる駆動源であって、例えばスピンドルモータなどで構成される。回転装置50は、移動装置40が板状体2の外周に沿って砥石30を相対移動させる際に、制御装置による制御下で、砥石30を回転軸34の周りに回転させる。回転装置50は、支持体17を介して、基台12に取り付けられている。
(Rotating device)
The rotation device 50 is a drive source that rotates the grindstone 30 around the rotation shaft 34, and is constituted by, for example, a spindle motor. The rotating device 50 rotates the grindstone 30 around the rotation shaft 34 under the control of the control device when the moving device 40 relatively moves the grindstone 30 along the outer periphery of the plate-like body 2. The rotating device 50 is attached to the base 12 via the support body 17.

(結合体)
結合体60は、吸着ヘッド20との間に板状体2を挟み込むように、吸着ヘッド20と磁気結合する。そうすると、結合体60が板状体2を吸着ヘッド20に押しつけるので、板状体2と吸着ヘッド20との間に作用する静止摩擦力が高くなり、板状体2の位置ズレを抑制できる。よって、板状体2の種類を変更する場合に、従来のように、板状体2の形状やサイズに合わせて、吸着ヘッド20の取り付け位置や数を変える必要がない。
(Conjugate)
The combined body 60 is magnetically coupled to the suction head 20 so as to sandwich the plate-like body 2 between the suction head 20. If it does so, since the coupling body 60 will press the plate-shaped body 2 against the suction head 20, the static frictional force which acts between the plate-shaped body 2 and the suction head 20 will become high, and the position shift of the plate-shaped body 2 can be suppressed. Therefore, when the type of the plate-like body 2 is changed, it is not necessary to change the attachment position and the number of the suction heads 20 according to the shape and size of the plate-like body 2 as in the past.

図3は、吸着ヘッドおよび結合体の概略側面図である。図3に示すように、吸着ヘッド20および結合体60の一方(本実施形態では結合体60)は電磁石62を有し、他方(本実施形態では吸着ヘッド20)は磁性体22を有している。電磁石62に通電することで、電磁石62と磁性体22が磁気結合し、吸着ヘッド20と結合体60が磁気結合する。   FIG. 3 is a schematic side view of the suction head and the combined body. As shown in FIG. 3, one of the suction head 20 and the combined body 60 (the combined body 60 in the present embodiment) has an electromagnet 62, and the other (the suction head 20 in the present embodiment) has a magnetic body 22. Yes. By energizing the electromagnet 62, the electromagnet 62 and the magnetic body 22 are magnetically coupled, and the suction head 20 and the coupling body 60 are magnetically coupled.

磁性体22は、保持力が大きい硬質磁性材で構成されても良いし、保持力が小さい軟質磁性材で構成されても良い。   The magnetic body 22 may be made of a hard magnetic material having a large holding force, or may be made of a soft magnetic material having a small holding force.

硬質磁性材は、一般的には、永久磁石などに用いられるものである。硬質磁性材としては、例えば、フェライト磁石などがある。   The hard magnetic material is generally used for a permanent magnet or the like. Examples of the hard magnetic material include a ferrite magnet.

軟質磁性材は、硬質磁性材に比べて、外部磁場によって磁極が消えたり反転したりしやすい。軟質磁性材としては、例えば、鉄、ケイ素鋼、パーマロイ、ソフトフェライトなどがある。軟質磁性材は、外部磁場がなくなると、ほとんど磁化しなくなるので、鉄粉などの粉塵が磁性体22(ひいては、吸着ヘッド20)などに付着するのを抑制することができる。   A soft magnetic material is more likely to lose or reverse its magnetic pole by an external magnetic field than a hard magnetic material. Examples of the soft magnetic material include iron, silicon steel, permalloy, and soft ferrite. Since the soft magnetic material is hardly magnetized when the external magnetic field is lost, it is possible to suppress dust such as iron powder from adhering to the magnetic body 22 (and hence the adsorption head 20).

電磁石62は、例えば、軟質磁性材からなるコア64にコイル66を巻装して構成されている。電磁石62は、コイル66への通電を開始することで、磁性体22と磁気結合する。磁気結合力は、コイル66の巻き数や電流量などに比例する。電磁石62は、コイル66への通電を解除すると、軟質磁性材で構成される磁性体22との磁気結合を解除する。   The electromagnet 62 is configured, for example, by winding a coil 66 around a core 64 made of a soft magnetic material. The electromagnet 62 is magnetically coupled to the magnetic body 22 by starting energization of the coil 66. The magnetic coupling force is proportional to the number of turns of the coil 66 and the amount of current. When the energization of the coil 66 is released, the electromagnet 62 releases the magnetic coupling with the magnetic body 22 made of a soft magnetic material.

コア64は、コイル66に通電して励磁したときに、磁力線を透過するので、透磁率の高い磁性材で構成される。   The core 64 is made of a magnetic material having a high magnetic permeability because it passes through the lines of magnetic force when the coil 66 is energized and excited.

コア64は、例えば図3に示すように、U字状に形成されており、吸着パッド20と結合体60が磁気結合する際に、U字状のコア64の両端部を磁性体22に向けて(例えば下向きに)配置される。これによって、コイル66に通電して励磁したときに、磁力線100が、U字状のコア64の一端から磁性材32を通ってコア64の他端に延びるので、磁気結合力を向上できる。   For example, as shown in FIG. 3, the core 64 is formed in a U shape, and when the suction pad 20 and the coupling body 60 are magnetically coupled, both ends of the U-shaped core 64 are directed toward the magnetic body 22. (For example, downward). As a result, when the coil 66 is energized and excited, the magnetic lines of force 100 extend from one end of the U-shaped core 64 through the magnetic material 32 to the other end of the core 64, so that the magnetic coupling force can be improved.

なお、本実施形態のコア64は、U字状に形成されるとしたが、その形状に制限はなく、例えば、棒状であっても良い。   In addition, although the core 64 of this embodiment was formed in U shape, there is no restriction | limiting in the shape, For example, rod shape may be sufficient.

なお、本実施形態では、吸着ヘッド20および結合体60の一方は電磁石を有し、他方は磁性体を有しているとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、電磁石の代わりに、永久磁石を用いても良い。永久磁石を用いる場合、電流を流す必要がない。   In the present embodiment, one of the suction head 20 and the combined body 60 has an electromagnet and the other has a magnetic body. However, the present invention is not limited to this. For example, a permanent magnet may be used instead of an electromagnet. When using a permanent magnet, it is not necessary to pass an electric current.

(支持装置)
吸着ヘッド20の寸法形状、設置位置および設置数により板状体が支持される領域が限定されると板状体が自重変形する場合がある。この場合、板状体の外周が垂れ下がるので、板状体と砥石とを接触させることが困難となる。支持装置70は、例えば図2に示すように、板状体2の外周と砥石30とが接触するように、板状体2の周縁部の少なくとも一部を支持する装置である。支持装置70は、砥石30の近傍に設けられ、板状体2の外周と砥石30とが接触する前に、板状体2の撓みが小さくなるように、板状体の周縁部の少なくとも一部を支持する。
(Supporting device)
If the region where the plate-like body is supported is limited by the size and shape, the installation position, and the number of installation of the suction head 20, the plate-like body may be deformed by its own weight. In this case, since the outer periphery of the plate-like body hangs down, it becomes difficult to contact the plate-like body and the grindstone. For example, as shown in FIG. 2, the support device 70 is a device that supports at least a part of the peripheral edge of the plate-like body 2 so that the outer periphery of the plate-like body 2 and the grindstone 30 are in contact with each other. The support device 70 is provided in the vicinity of the grindstone 30, and before the outer periphery of the plate-like body 2 comes into contact with the grindstone 30, at least one of the peripheral portions of the plate-like body is reduced so that the bending of the plate-like body 2 is reduced. Support the part.

支持装置70は、例えば、板状体2の下面に接触する位置と、板状体2の下面から離間する位置との間で、上下方向に移動可能な可動体72を有している。可動体72は、板状体2の下面に引っ掻き傷が生じるのを抑えるため、板状体2の下面に接触可能なボール74と、ボール74を回転自在に支持するホルダ76とで構成される。   The support device 70 includes, for example, a movable body 72 that is movable in the vertical direction between a position that contacts the lower surface of the plate-like body 2 and a position that is separated from the lower surface of the plate-like body 2. The movable body 72 includes a ball 74 that can come into contact with the lower surface of the plate-like body 2 and a holder 76 that rotatably supports the ball 74 in order to suppress the occurrence of scratches on the lower surface of the plate-like body 2. .

可動体72は、流体圧シリンダ78などの駆動源によって、上下方向に移動される。可動体72は、流体圧シリンダ78の上端(ロッド)に固定されており、流体圧シリンダ78の下端(シリンダ本体)は、基台12に固定されている。流体圧シリンダとしては、例えば油圧シリンダ又は空気圧シリンダが用いられる。   The movable body 72 is moved in the vertical direction by a drive source such as a fluid pressure cylinder 78. The movable body 72 is fixed to the upper end (rod) of the fluid pressure cylinder 78, and the lower end (cylinder body) of the fluid pressure cylinder 78 is fixed to the base 12. For example, a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder is used as the fluid pressure cylinder.

可動体72は、図4および図5に示すように、下限位置にあるとき、支持装置70の上方にある板状体2の下面から離間して、板状体2を支持しない。この状態では、板状体2は、自重変形によって、上に向けて凸の湾曲状に撓んでいる。なお、下限位置は、例えば板状体2の種類、吸着ヘッド20の寸法形状や数などに応じて適宜設定される。   As shown in FIGS. 4 and 5, when the movable body 72 is at the lower limit position, the movable body 72 is separated from the lower surface of the plate-like body 2 above the support device 70 and does not support the plate-like body 2. In this state, the plate-like body 2 is bent in a convex curved shape upward due to its own weight deformation. Note that the lower limit position is appropriately set according to, for example, the type of the plate-like body 2 and the size and shape of the suction head 20.

一方、可動体72は、図6に示すように、上限位置にあるとき、支持装置70の上方にある板状体2の下面に接触して、板状体2の撓みが小さくなるよう板状体2の周縁部の少なくとも一部を支持する。   On the other hand, as shown in FIG. 6, when the movable body 72 is in the upper limit position, the movable body 72 comes into contact with the lower surface of the plate-like body 2 above the support device 70 so that the deflection of the plate-like body 2 is reduced. At least a part of the peripheral edge of the body 2 is supported.

可動体72が上方に移動されるタイミングは、可動体72の上方を板状体2の外周が通過した後に設定される。また、このタイミングは、砥石30が筐体13に収容されている場合、筐体13の開口部14に板状体2を挿入する前に、設定される。   The timing at which the movable body 72 is moved upward is set after the outer periphery of the plate-like body 2 passes above the movable body 72. Further, this timing is set before the plate-like body 2 is inserted into the opening 14 of the housing 13 when the grindstone 30 is accommodated in the housing 13.

可動体72が上方に移動する間、移動装置40による板状体2と砥石30との接近を一時停止しても良いし、一時停止しなくても良い。   While the movable body 72 moves upward, the approach between the plate-like body 2 and the grindstone 30 by the moving device 40 may be temporarily stopped or may not be temporarily stopped.

このように、本実施形態では、板状体2の外周と砥石30とが接触するように、板状体2の周縁部の少なくとも一部を支持するので、板状体2の外周が垂れ下がるのを防止することができ、板状体2の種類を変更する場合に、従来のように、板状体2の形状やサイズに合わせて、吸着ヘッド20の取り付け位置や数を変えなくても、板状体2と砥石30とを接触できる。   Thus, in this embodiment, since at least one part of the peripheral part of the plate-shaped body 2 is supported so that the outer periphery of the plate-shaped body 2 and the grindstone 30 may contact, the outer periphery of the plate-shaped body 2 hangs down. When changing the type of the plate-like body 2 without changing the mounting position and number of the suction heads 20 according to the shape and size of the plate-like body 2 as in the past, The plate-like body 2 and the grindstone 30 can be contacted.

支持装置70は、板状体2と砥石30とが接触した後は、砥石30が板状体2の外周を支持するので、板状体2の支持を解除しても良い。この場合、板状体2の下面に引っ掻き傷が生じるのを低減できる。なお、支持装置70による板状体2の支持を続行する場合、板状体2の外周が砥石30から外れるのを防止できる。   Since the grindstone 30 supports the outer periphery of the plate-like body 2 after the plate-like body 2 and the grindstone 30 come into contact with each other, the support device 70 may release the support of the plate-like body 2. In this case, the occurrence of scratches on the lower surface of the plate-like body 2 can be reduced. In addition, when continuing support of the plate-shaped body 2 by the support device 70, it can prevent that the outer periphery of the plate-shaped body 2 remove | deviates from the grindstone 30. FIG.

なお、支持装置70は、研削対象となる複数種類の板状体2のうち、少なくとも1つの種類の板状体2の撓みを調節すれば良く、全ての種類の板状体2の撓みを調節しなくて良い。サイズが比較的小さい板状体2では、板状体2と砥石30とが接触する前において、自重変形が小さいので、撓みの調節が不要な場合がある。   In addition, the support apparatus 70 should just adjust the bending of at least 1 type of plate-shaped body 2 among the multiple types of plate-shaped bodies 2 used as grinding object, and adjusts the bending of all types of plate-shaped bodies 2. I don't have to. In the plate-like body 2 having a relatively small size, the deformation of its own weight is small before the plate-like body 2 and the grindstone 30 come into contact with each other.

(研削方法)
次に、上記構成とした研削装置10による研削方法について、図4〜図6を参照して説明する。以下の各工程で行われる動作は、制御装置による制御下(または手動)で実施される。
(Grinding method)
Next, the grinding method by the grinding apparatus 10 having the above configuration will be described with reference to FIGS. Operations performed in the following steps are performed under control (or manual) by the control device.

先ず、図4に示すように、吸着ヘッド20上に板状体2を載せる。吸着ヘッド20が1つのみ設けられる場合、吸着ヘッド20上に板状体2の重心部を載せて良い。この作業は、ロボットアームなどによって行われる。   First, as shown in FIG. 4, the plate-like body 2 is placed on the suction head 20. When only one suction head 20 is provided, the center of gravity of the plate-like body 2 may be placed on the suction head 20. This operation is performed by a robot arm or the like.

次いで、真空ポンプの作動を開始して、吸着ヘッド20に板状体2を真空吸着する。この状態では、板状体2は、自重変形によって、上に向けて凸の湾曲状に撓んでいる。   Next, the operation of the vacuum pump is started to vacuum-suck the plate-like body 2 to the suction head 20. In this state, the plate-like body 2 is bent in a convex curved shape upward due to its own weight deformation.

次いで、板状体2上に結合体60を載せる。このとき、結合体60と吸着ヘッド20とが互いに対向するように位置合わせを行う。この作業は、ロボットアームなどによって行われる。   Next, the combined body 60 is placed on the plate-like body 2. At this time, alignment is performed so that the combined body 60 and the suction head 20 face each other. This operation is performed by a robot arm or the like.

次いで、電磁石62への通電を開始して、電磁石62と磁性体22を磁気結合し、結合体60と吸着ヘッド20とを磁気結合する。そうすると、結合体60が板状体2を吸着ヘッド20に押しつけるので、板状体2と吸着ヘッド20との間に作用する静止摩擦力が高くなり、板状体2の位置ズレを抑制できる。よって、板状体2の種類を変更する場合に、従来のように、板状体2の形状やサイズに合わせて、吸着ヘッド20の取り付け位置や数を変える必要がない。   Next, energization of the electromagnet 62 is started, the electromagnet 62 and the magnetic body 22 are magnetically coupled, and the coupled body 60 and the suction head 20 are magnetically coupled. If it does so, since the coupling body 60 will press the plate-shaped body 2 against the suction head 20, the static frictional force which acts between the plate-shaped body 2 and the suction head 20 will become high, and the position shift of the plate-shaped body 2 can be suppressed. Therefore, when the type of the plate-like body 2 is changed, it is not necessary to change the attachment position and the number of the suction heads 20 according to the shape and size of the plate-like body 2 as in the past.

次いで、図5に示すように、吸着ヘッド20と砥石30とを近づけ、砥石30を板状体2に近づける。そして、砥石30が板状体2の外周に接触する前に、図6に示すように、板状体2の周縁部の少なくとも一部を持ち上げて、板状体2の撓みを小さくするように、板状体2を支持する。   Next, as shown in FIG. 5, the suction head 20 and the grindstone 30 are brought closer to each other, and the grindstone 30 is brought closer to the plate-like body 2. And before the grindstone 30 contacts the outer periphery of the plate-like body 2, as shown in FIG. 6, at least a part of the peripheral portion of the plate-like body 2 is lifted to reduce the bending of the plate-like body 2. The plate-like body 2 is supported.

これによって、板状体2の外周が垂れ下がるのを防止することができ、板状体2の種類を変更する場合に、従来のように、板状体2の形状やサイズに合わせて、吸着ヘッド20の取り付け位置や数を変えなくても、板状体2の外周を砥石30に接触できる。   Accordingly, the outer periphery of the plate-like body 2 can be prevented from sagging, and when the type of the plate-like body 2 is changed, the suction head is adapted to the shape and size of the plate-like body 2 as in the past. The outer periphery of the plate-like body 2 can be brought into contact with the grindstone 30 without changing the mounting position or number of the 20.

次いで、吸着ヘッド20と砥石30とを相対移動させて、板状体2の外周に沿って砥石30を相対移動させると共に、砥石30を回転軸34の周りに回転させることで、板状体2の外周を全周に亘って研削する。この際、支持装置70による板状体2の支持を続行しても良いし、解除しても良い。   Next, the suction head 20 and the grindstone 30 are relatively moved, the grindstone 30 is relatively moved along the outer periphery of the plate-like body 2, and the grindstone 30 is rotated around the rotation shaft 34, thereby the plate-like body 2. The outer periphery is ground over the entire circumference. At this time, the support of the plate-like body 2 by the support device 70 may be continued or may be released.

次いで、吸着ヘッド20と砥石30とを遠ざけて、砥石30と板状体2とを離間させ、砥石30を収容する筐体13内から板状体2を引き抜く。   Next, the suction head 20 and the grindstone 30 are moved away from each other, the grindstone 30 and the plate-like body 2 are separated from each other, and the plate-like body 2 is pulled out from the housing 13 that houses the grindstone 30.

最後に、電磁石62への通電を解除して、結合体60と吸着ヘッド20との磁気結合を解除したうえで、結合体60を板状体2から取り外す。また、真空ポンプを作動停止し、吸着ヘッド20の吸着孔内を大気に開放して、真空吸着を解除した後、吸着ヘッド20から板状体2を取り外す。このようにして、板状体2の外周を研削する。   Finally, the energization of the electromagnet 62 is released to release the magnetic coupling between the coupling body 60 and the suction head 20, and then the coupling body 60 is removed from the plate-like body 2. Further, the vacuum pump is stopped, the inside of the suction hole of the suction head 20 is opened to the atmosphere, and after releasing the vacuum suction, the plate-like body 2 is removed from the suction head 20. In this way, the outer periphery of the plate-like body 2 is ground.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上記実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications and substitutions are made to the above embodiment without departing from the scope of the present invention. Can do.

例えば、上記実施形態の砥石30は、板状体2の外周を全周に亘って研削するが、板状体2の外周を部分的に研削しても良い。   For example, the grindstone 30 of the above embodiment grinds the outer circumference of the plate-like body 2 over the entire circumference, but the outer circumference of the plate-like body 2 may be partially ground.

また、上記実施形態の砥石30は、板状体2の外周を丸く面取りするとしたが、面取りの種類に制限はなく、例えばR面取りであっても良いし、C面取りであっても良い。   Moreover, although the grindstone 30 of the said embodiment assumed that the outer periphery of the plate-shaped body 2 was chamfered roundly, there is no restriction | limiting in the kind of chamfering, For example, R chamfering may be sufficient and C chamfering may be sufficient.

また、上記実施形態は、板状体2が、脆性材料である場合に好適であり、ガラス板に特に好適である。また、適用される車両によって形状が異なるような車両用窓ガラスを研削する際に有効な装置および方法である。   Moreover, the said embodiment is suitable when the plate-shaped body 2 is a brittle material, and is especially suitable for a glass plate. In addition, the present invention is an apparatus and method that are effective when grinding a vehicle window glass whose shape varies depending on the vehicle to which it is applied.

2 板状体
10 研削装置
11 テーブル
12 基台
13 筐体
14 開口部
20 吸着ヘッド
22 磁性体
30 砥石
40 移動装置
50 回転装置
60 結合体
62 電磁石
64 コア
66 コイル
70 支持装置
2 Plate 10 Grinding device 11 Table 12 Base 13 Housing 14 Opening 20 Adsorption head 22 Magnetic body 30 Grinding stone 40 Moving device 50 Rotating device 60 Combined body 62 Electromagnet 64 Core 66 Coil 70 Support device

Claims (11)

板状体を真空吸着する吸着ヘッドと、該吸着ヘッドに真空吸着された板状体の外周に接触して、板状体の外周を研削する砥石とを備える板状体の研削装置において、
前記吸着ヘッドとの間に前記板状体を挟み込むように、前記吸着ヘッドと磁気結合する結合体を備えることを特徴とする板状体の研削装置。
In a plate-like body grinding apparatus comprising: a suction head that vacuum-sucks a plate-like body; and a grindstone that contacts the outer periphery of the plate-like body vacuum-sucked by the suction head and grinds the outer periphery of the plate-like body.
An apparatus for grinding a plate-like body, comprising: a coupling body magnetically coupled to the suction head so that the plate-like body is sandwiched between the suction head and the suction head.
前記板状体の外周と前記砥石とが接触するように、前記板状体の周縁部の少なくとも一部を支持する支持装置を備える請求項1に記載の板状体の研削装置。   The plate-like body grinding apparatus according to claim 1, further comprising a support device that supports at least a part of a peripheral edge of the plate-like body so that an outer periphery of the plate-like body and the grindstone are in contact with each other. 前記吸着ヘッドおよび前記結合体の一方は電磁石を有し、他方は磁性体を有しており、
前記電磁石に通電することで、前記電磁石と前記磁性体が磁気結合し、前記結合体と前記吸着ヘッドが磁気結合する請求項1または2に記載の板状体の研削装置。
One of the adsorption head and the combined body has an electromagnet, the other has a magnetic body,
3. The plate-like body grinding apparatus according to claim 1 or 2, wherein when the electromagnet is energized, the electromagnet and the magnetic body are magnetically coupled, and the coupled body and the attraction head are magnetically coupled.
前記電磁石は、軟質磁性材からなるU字状のコアにコイルを巻装してなり、
前記結合体と前記吸着ヘッドとが磁気結合する際、前記U字状のコアは該コアの両端部を前記磁性体に向けて配置される請求項3に記載の板状体の研削装置。
The electromagnet is formed by winding a coil around a U-shaped core made of a soft magnetic material,
The plate-shaped body grinding apparatus according to claim 3, wherein when the combined body and the attraction head are magnetically coupled, the U-shaped core is disposed with both ends of the core facing the magnetic body.
前記吸着ヘッドは、1つのみ設けられ、前記板状体の重心部を真空吸着する請求項1〜4のいずれか1項に記載の板状体の研削装置。   The plate-shaped body grinding apparatus according to claim 1, wherein only one suction head is provided and vacuum-sucks the center of gravity of the plate-shaped body. 板状体を吸着ヘッドに真空吸着し、前記板状体の外周に砥石を接触させて、前記板状体の外周を研削する研削方法において、
前記吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドと磁気結合する結合体とによって、前記板状体を挟持しながら該板状体の外周を研削することを特徴とする板状体の研削方法。
In a grinding method in which the plate-like body is vacuum-adsorbed to the suction head, a grinding stone is brought into contact with the outer periphery of the plate-like body, and the outer periphery of the plate-like body is ground.
A plate-like body grinding method, wherein an outer periphery of the plate-like body is ground while the plate-like body is sandwiched between the suction head and a coupling body magnetically coupled to the suction head.
前記板状体の外周と前記砥石とが接触するように、前記板状体の周縁部の少なくとも一部を支持する請求項6に記載の板状体の研削方法。   The plate-like body grinding method according to claim 6, wherein at least a part of a peripheral portion of the plate-like body is supported so that an outer periphery of the plate-like body and the grindstone are in contact with each other. 前記吸着ヘッドおよび前記結合体の一方は電磁石を有し、他方は磁性体を有しており、
前記電磁石に通電することで、前記電磁石と前記磁性体を磁気結合し、前記結合体と前記吸着ヘッドを磁気結合する請求項6または7に記載の板状体の研削方法。
One of the adsorption head and the combined body has an electromagnet, the other has a magnetic body,
The plate-like body grinding method according to claim 6 or 7, wherein the electromagnet and the magnetic body are magnetically coupled by energizing the electromagnet, and the coupled body and the attraction head are magnetically coupled.
前記電磁石は、軟質磁性材からなるU字状のコアにコイルを巻装してなり、
前記結合体と前記吸着ヘッドとが磁気結合する際、前記U字状のコアは該コアの両端部を前記磁性体に向けて配置される請求項8に記載の板状体の研削方法。
The electromagnet is formed by winding a coil around a U-shaped core made of a soft magnetic material,
The plate-like body grinding method according to claim 8, wherein when the coupling body and the attraction head are magnetically coupled, the U-shaped core is disposed with both ends of the core facing the magnetic body.
前記吸着ヘッドは、1つのみ設けられ、前記板状体の重心部を真空吸着する請求項6〜9のいずれか1項に記載の板状体の研削方法。   The plate-like body grinding method according to any one of claims 6 to 9, wherein only one suction head is provided and vacuum-sucks the center of gravity of the plate-like body. 前記板状体は、ガラス板である請求項6〜10のいずれか1項に記載の板状体の研削方法。   The said plate-shaped body is a glass plate, The grinding method of the plate-shaped body of any one of Claims 6-10.
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