JP2013205991A - Capacitive touch panel substrate formed on transparent base material and display device - Google Patents

Capacitive touch panel substrate formed on transparent base material and display device Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capacitive touch panel substrate that can be easily released from another organic constituent such as an adhesive sheet and an ultraviolet curable resin when manufacturing the capacitive touch panel substrate and thereby can be manufactured inexpensively without decreasing a yield.SOLUTION: A capacitive touch panel substrate formed on a transparent base material, includes: first transparent electrodes 1; second transparent electrodes 2; first connection parts 3 connecting the first transparent electrodes 1; second connection parts 4 connecting the second transparent electrodes 2; an insulator layer 5 formed in spaces where the first connection parts 3 and the second connection parts 4 intersect; extraction wiring 20 connected to the first transparent electrodes 1 and the second transparent electrodes 2; and a protective layer 6. The contact angle between the protective layer 6 and water is 65° or more and 85° or less. The content of fluorine elements on the surface of the protective layer 6 is 0.1 or more and 30.0 or less when the amount of carbon elements on the surface of the protective layer 6 is 100.

Description

本発明は、透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板及び表示装置に関するものである。   The present invention relates to a capacitive touch panel substrate and a display device formed on a transparent substrate.

タッチパネルは、表示画面上の透明な面を操作者が指またはペンでタッチすることにより、接触した位置を検出してデータ入力できる入力装置の構成要素となるものであって、キー入力より直接的、かつ直感的な入力を可能とすることから、近年、多用されるようになってきた。特に前記タッチパネルを液晶等の表示パネルと組み合わせて、情報の入出力を一体で行うことが多い。
タッチパネルの検出方式には、抵抗膜式、静電容量式、超音波式、光学式等があり、これまでは、製造コストの点で比較的優れていた抵抗膜式が主流であった。しかし、2枚の透明導電膜の間に空気層を設ける構造を有する抵抗膜式タッチパネルは、光学特性(例えば、透過率)が低く、耐久性や動作温度特性においても充分とは言えないため、改良が求められてきた。
The touch panel is a component of an input device that allows the operator to touch a transparent surface on the display screen with a finger or a pen to detect a touched position and input data. In recent years, it has become widely used because it enables intuitive input. In particular, the touch panel is often combined with a display panel such as a liquid crystal to input and output information in an integrated manner.
The touch panel detection method includes a resistance film type, a capacitance type, an ultrasonic type, an optical type, and the like. Until now, the resistance film type, which was relatively excellent in terms of manufacturing cost, has been the mainstream. However, a resistive touch panel having a structure in which an air layer is provided between two transparent conductive films has low optical characteristics (for example, transmittance), and it cannot be said that durability and operating temperature characteristics are sufficient. Improvements have been sought.

一方、可動部分を有しない静電容量式タッチパネルは、光学特性(例えば、透過率)が高く、耐久性や動作温度特性においても抵抗膜式より優れているため、特に車載用等の高信頼性用途に向けて開発が進んでいる(例えば、特許文献1、2を参照)。
前記静電容量式タッチパネルは、表面型(surface capacitive type)と投影型(projected capacitive type)に大別でき、10型(25.4cmサイズ)以上の大型品には表面型が、携帯機器向けの6型以下の小型品には投影型が使われる場合が多い。電極板の構造が単純な表面型は、大型化し易いが、2点以上の接触点を同時に検知することは困難である。一方、電極板の構造が複雑な投影型は、大型化には不利であるが、2点以上の接触点を同時に検知することが可能である。
On the other hand, capacitive touch panels that do not have moving parts have high optical characteristics (for example, transmittance), and are superior in resistance and operating temperature characteristics in terms of durability and operating temperature characteristics. Development is progressing toward the application (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
The capacitive touch panel can be roughly classified into a surface type and a projected type, and a surface type is used for a large product of 10 type (25.4 cm size) or more. In many cases, a projection type is used for a small product of type 6 or less. A surface type with a simple electrode plate structure is likely to be large, but it is difficult to detect two or more contact points simultaneously. On the other hand, a projection type with a complicated electrode plate structure is disadvantageous for an increase in size, but two or more contact points can be detected simultaneously.

投影型静電容量式タッチパネル基板は、一般的に、透明基材上に、x方向に配置された第一の透明電極と、y方向に配置された第二の透明電極と、第一の透明電極同士を結合する第一の接続部と、第二の透明電極同士を結合する第二の接続部と、第一の接続部と第二の接続部が交差する部位に、第一の接続部と第二の接続部を電気的に絶縁するための絶縁層と、を備えている。また、透明基材上には、これらの透明電極と制御回路を繋ぐ取出配線が形成され、透明電極、接続部および取出配線を腐食や接触による傷から守るために、制御回路と繋がる、取出配線の接続部位以外のほぼ全面を覆うように、保護層が形成されて用いられることが多くなっている(例えば、特許文献3を参照)。   In general, a projected capacitive touch panel substrate includes a first transparent electrode arranged in the x direction, a second transparent electrode arranged in the y direction, and a first transparent electrode on a transparent substrate. The first connection part that joins the first connection part, the second connection part that joins the second transparent electrodes, and the first connection part and the second connection part intersect with each other. And an insulating layer for electrically insulating the second connection portion. In addition, on the transparent base material, extraction wiring connecting these transparent electrodes and control circuit is formed, and extraction wiring connecting to the control circuit to protect the transparent electrodes, connection parts and extraction wiring from corrosion and contact scratches. In many cases, a protective layer is formed and used so as to cover almost the entire surface other than the connection portion (see, for example, Patent Document 3).

投影型静電容量式タッチパネルには、透明基材に、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の樹脂製のフィルムを用いるフィルム式と、無アルカリガラスやソーダガラスを用いるガラス式があり、フィルム式は製造コストが安く割れにくい利点があるが、透明性が劣ることや、フィルム上の透明電極の抵抗値が高いために電極部を小さくできないこと等から、ガラス式が携帯端末等の小型品に多く使用されている。   There are two types of projected capacitive touch panels: a film type using a resin film such as polyethylene terephthalate (PET) as a transparent substrate, and a glass type using non-alkali glass or soda glass. However, the glass type is often used for small products such as portable terminals because the transparency is inferior and the resistance of the transparent electrode on the film is high, so the electrode part cannot be made small. ing.

前述の投影型静電容量式タッチパネルは、一般的に、操作面側から見て最表面に位置し、割れや傷付きを防止するためのカバーガラスと称する強化ガラスと、透明電極を備えたタッチパネル基板と、液晶表示装置や有機ELディスプレイなどの表示装置とからなる。そして、この投影型静電容量式タッチパネルは、タッチパネルの操作面側から見たときにタッチパネル基板上の透明電極が視認される問題、および/または、タッチパネル基板と表示装置との間で生じるモアレが視認される問題、さらに、液晶表示装置や有機ELディスプレイなどの表示装置から発生されるノイズによりタッチパネルの性能が低下する問題を回避するために、カバーガラスとタッチパネル基板間、および/または、タッチパネル基板と表示装置間に0.1〜1.0μm程度の間隔のギャップ層が形成されて用いられることが多かった。   The projected capacitive touch panel described above is generally located on the outermost surface when viewed from the operation surface side, and includes a tempered glass called a cover glass for preventing cracks and scratches, and a touch panel provided with a transparent electrode It consists of a substrate and a display device such as a liquid crystal display device or an organic EL display. The projected capacitive touch panel has a problem that the transparent electrode on the touch panel substrate is visually recognized when viewed from the operation surface side of the touch panel and / or moire generated between the touch panel substrate and the display device. In order to avoid the problem of being visually recognized and the problem that the performance of the touch panel is degraded due to noise generated from a display device such as a liquid crystal display device or an organic EL display, between the cover glass and the touch panel substrate and / or the touch panel substrate. In many cases, a gap layer of about 0.1 to 1.0 μm is formed between the display devices.

近年、より薄型の投影型静電容量式タッチパネルが求められるようになり、前述の透明電極やモアレが視認される問題や、ノイズによるタッチパネルの性能低下の問題を回避しつつ、前記ギャップ層を除去して薄型化する方法が開示されている(例えば、特許文献4、5を参照)。
しかしながらこの方法では、前記ギャップ層を除去して薄型のタッチパネル基板を製造できても、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの他の有機成分を使用する貼り合せ工程において、泡がみやゴミ付着のために品質不良となったタッチパネル基板を効率よく再生、および/または、再利用できないために、歩留まりが悪くなり生産性を低下させる問題があった。すなわち、品質不良となったタッチパネル基板表面の保護層の、前記有機成分との剥離性(以下、『離型性』と称する)が悪く綺麗に剥がれないために、タッチパネル基板を再利用できず歩留まりが低下する問題が生じていた。
In recent years, a thinner projection capacitive touch panel has been demanded, and the gap layer is removed while avoiding the above-described problems of visually recognizing the transparent electrode and moire and the problem of deterioration of the touch panel performance due to noise. Thus, a thinning method is disclosed (for example, see Patent Documents 4 and 5).
However, in this method, even if the gap layer is removed and a thin touch panel substrate can be manufactured, in the bonding process using other organic components such as an adhesive sheet and an ultraviolet curable resin, foaming and dust are attached. In other words, since the touch panel substrate having a poor quality cannot be efficiently regenerated and / or reused, there is a problem in that the yield is deteriorated and the productivity is lowered. That is, the protective layer on the surface of the touch panel substrate in which the quality is poor has poor peelability from the organic component (hereinafter referred to as “releasability”) and cannot be removed cleanly. There has been a problem of lowering.

また、投影型静電容量式タッチパネルに要求される他の特性としてガラス端部の余白部分の最小化、およびガラス端部の強度アップがある。それを実現する生産性の良い効果的な方法として、該タッチパネル基板を複数個、紫外線硬化性、かつ、温水剥離性を有する紫外線硬化型樹脂で接着して積層体とし、該積層体のガラス端部の切削研磨やガラス強化を行うことで、複数個のタッチパネル基板をまとめて処理する方法が知られている(例えば、特許文献6、7を参照)。   Other characteristics required for the projected capacitive touch panel include minimization of the margin at the glass edge and increased strength of the glass edge. As an effective and productive method for realizing this, a plurality of the touch panel substrates are bonded together with an ultraviolet curable resin having ultraviolet curable and hot water peelability to form a laminated body, and the glass edge of the laminated body A method is known in which a plurality of touch panel substrates are processed together by cutting and polishing the glass or strengthening glass (see, for example, Patent Documents 6 and 7).

該紫外線硬化型樹脂は、タッチパネル基板上に該紫外線硬化型樹脂を塗布後、所望する基材と貼り合せ、紫外光を照射することにより塗膜の露光部分を光架橋により硬化して接着を行い、所望する処理をまとめて実施した後に、温水に浸漬することにより該タッチパネル基板を元の個片に分断する方法である。この紫外線硬化型樹脂を用いることにより、タッチパネル基板をまとめて処理することができるので、個々に処理する場合と比べて安価に製造することが可能である。しかしながら、この方法を用いる際に、従来開示されているタッチパネル基板では、タッチパネル基板表面の保護層と紫外線硬化型樹脂との温水での剥離性が悪いためにタッチパネル基板表面に紫外線硬化型樹脂が残ってしまう問題を解決できなかった。   The UV curable resin is applied to the touch panel substrate after the UV curable resin is applied, bonded to a desired base material, and irradiated with UV light to cure the exposed portion of the coating film by photocrosslinking. The touch panel substrate is divided into original pieces by immersing in warm water after performing desired treatments collectively. By using this ultraviolet curable resin, the touch panel substrate can be processed together, and therefore, it can be manufactured at a lower cost compared to the case of individual processing. However, when this method is used, in the touch panel substrate disclosed heretofore, the UV curable resin remains on the surface of the touch panel substrate because the peelability of the protective layer on the surface of the touch panel substrate and the UV curable resin is poor in warm water. Could not solve the problem.

特開昭63−174120号公報JP 63-174120 A 特開2006−23904号公報JP 2006-23904 A 特開2007−279819号公報JP 2007-279819 A 特開2011−213796号公報JP 2011-213796 A 特開2011−192271号公報JP 2011-192271 A 特開2010−285324号公報JP 2010-285324 A 特開2010−192616号公報JP 2010-192616 A

本発明の目的は、静電容量式タッチパネルを製造する際に、タッチパネル基板表面と、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの他の有機成分と粘着させる工程があっても、離型性がよいために、綺麗に剥がれずタッチパネル基板を再利用できないために歩留まりが低下する問題や、タッチパネル基板表面に該有機成分が残ってしまう問題を生じることなく、安価に製造できる静電容量式タッチパネル基板を提供することである。
また、透明基材にカバーガラスを用いることで、部品点数を減らしてさらに安価に製造できる、カバーガラス一体型の静電容量式タッチパネル基板を提供することである。
また、上記静電容量式タッチパネル基板を有する表示装置を提供することである。
The purpose of the present invention is that when manufacturing a capacitive touch panel, even if there is a process of adhering the touch panel substrate surface and other organic components such as an adhesive sheet and an ultraviolet curable resin, the release property is good. In addition, it provides a capacitive touch panel substrate that can be manufactured at low cost without causing problems such as a decrease in yield because the touch panel substrate cannot be reused cleanly and the organic component remains on the surface of the touch panel substrate. It is to be.
Another object of the present invention is to provide a cover glass-integrated capacitive touch panel substrate that can be manufactured at a lower cost by using a cover glass as a transparent substrate.
Moreover, it is providing the display apparatus which has the said electrostatic capacitance type touch panel board | substrate.

本発明は係る状況に鑑みてなされたものであり、静電容量式タッチパネル基板を製造する際に、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの他の有機成分からの離型性がよいために、歩留まりを低下させることのなく安価に製造できる静電容量式タッチパネル基板を提供する。
請求項1に係る第1の発明の一態様は、(A)第一の透明電極と、(B)第二の透明電極と、(C)前記(A)第一の透明電極を結ぶ第一の接続部と、(D)前記(B)第二の透明電極を結ぶ第二の接続部と、(E)前記(C)第一の接続部と前記(D)第二の接続部の交差する間に形成された絶縁層と、(F)前記(A)第一の透明電極および前記(B)第二の透明電極に接続された取出配線と、(G)保護層と、を含んで構成される、透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板において、前記(G)保護層と水との接触角は、65度以上85度以下の範囲内であり、前記(G)保護層表面のフッ素元素の含有量は、前記(G)保護層表面の炭素元素量を100とした場合に、0.1以上30.0以下の範囲内であることを特徴とする透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板である。
The present invention has been made in view of such a situation, and when producing a capacitive touch panel substrate, since the release property from other organic components such as an adhesive sheet and an ultraviolet curable resin is good, the yield is high. Provided is a capacitive touch panel substrate that can be manufactured at low cost without lowering.
According to one aspect of the first invention of the present invention, (A) a first transparent electrode, (B) a second transparent electrode, and (C) (A) a first linking the first transparent electrode. And (D) the second connection portion connecting the second transparent electrodes, (E) the intersection of the (C) first connection portion and the (D) second connection portion. An insulating layer formed during the process, (F) (A) the first transparent electrode and (B) the lead-out wiring connected to the second transparent electrode, and (G) a protective layer. In the capacitive touch panel substrate formed on the transparent base material, the contact angle between the protective layer (G) and water is in the range of 65 degrees to 85 degrees, and the (G) Content of the fluorine element on the surface of the protective layer is in the range of 0.1 to 30.0, where the amount of carbon element on the surface of the protective layer (G) is 100. A capacitive touch panel substrate formed on a transparent substrate to be.

請求項2に係る第2の発明の一態様は、前記(G)保護層が不飽和エチレン性二重結合を有するフッ素系添加剤を含有することを特徴とする透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板である。
請求項3に係る第3の発明の一態様は、前記透明基材がカバーガラスと同一であることを特徴とする透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板である。
請求項4に係る第4の発明の一態様は、前記記載の透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板を有することを特徴とする表示装置である。
One aspect of the second invention according to claim 2 is formed on a transparent substrate, wherein the protective layer (G) contains a fluorine-based additive having an unsaturated ethylenic double bond. It is a capacitive touch panel substrate.
One aspect of the third invention according to claim 3 is a capacitive touch panel substrate formed on a transparent substrate, wherein the transparent substrate is the same as a cover glass.
One aspect of the fourth invention according to claim 4 is a display device including the capacitive touch panel substrate formed on the transparent base material described above.

本発明によれば、静電容量式タッチパネル基板を製造する際に、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの他の有機成分からの離型性がよいために、歩留まりを低下させることのなく安価に製造できるタッチパネル基板を提供可能にする。
また、薄型の静電容量式タッチパネル基板を製造する際に、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの他の有機成分からの離型性がよいために、歩留まりを低下させることのなく安価に製造できるタッチパネル基板を提供可能にする。
According to the present invention, when manufacturing a capacitive touch panel substrate, because it has good releasability from other organic components such as pressure-sensitive adhesive sheets and ultraviolet curable resins, it is inexpensive without reducing yield. A touch panel substrate that can be manufactured can be provided.
In addition, when manufacturing a thin capacitive touch panel substrate, it can be manufactured at low cost without reducing the yield because of its good releasability from other organic components such as adhesive sheets and UV-curable resins. A touch panel substrate can be provided.

また、ガラス端部の余白部分が最小化された静電容量式タッチパネル基板を製造する際に、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの他の有機成分からの離型性がよいために、歩留まりを低下させることのなく安価に製造できるタッチパネル基板を提供可能にする。
また、透明基材にカバーガラスを用いることで、部品点数を減らしてさらに安価に製造できる、カバーガラス一体型のタッチパネル基板を提供可能にする。
また、上記静電容量式タッチパネル基板を有する表示装置を提供可能にする。
In addition, when manufacturing a capacitive touch panel substrate with a blank space at the edge of the glass, the yield is improved because it is easy to release from other organic components such as adhesive sheets and UV-curable resins. It is possible to provide a touch panel substrate that can be manufactured at low cost without being reduced.
Further, by using a cover glass for the transparent base material, it is possible to provide a cover glass integrated touch panel substrate that can be manufactured at a lower cost by reducing the number of components.
In addition, it is possible to provide a display device having the capacitive touch panel substrate.

第一の透明電極、第二の透明電極、および第一の透明電極を結ぶ第一の接続部が形成された後、絶縁層を介して第二の接続部と取出配線が同時に形成された、本発明の静電容量式タッチパネル基板の一例を示す平面模式図。After the first transparent electrode, the second transparent electrode, and the first connection portion connecting the first transparent electrode were formed, the second connection portion and the extraction wiring were simultaneously formed through the insulating layer, The plane schematic diagram which shows an example of the electrostatic capacitance type touch panel board | substrate of this invention. 第二の接続部と取出配線が同時に形成された後、第一の透明電極、第二の透明電極、および絶縁層を介して第一の透明電極を結ぶ第一の接続部が形成された、本発明の静電容量式タッチパネル基板の一例を示す平面模式図。After the second connecting portion and the extraction wiring are formed at the same time, the first connecting portion connecting the first transparent electrode through the first transparent electrode, the second transparent electrode, and the insulating layer is formed, The plane schematic diagram which shows an example of the electrostatic capacitance type touch panel board | substrate of this invention. a)本発明の静電容量式タッチパネル基板の一例を示す投影模式図。b)本発明のカバーガラス一体型静電容量式タッチパネル基板の一例を示す投影模式図。a) Projection schematic diagram showing an example of the capacitive touch panel substrate of the present invention. b) Projection schematic diagram showing an example of the cover glass integrated capacitive touch panel substrate of the present invention. a)従来のギャップ層を有する静電容量式タッチパネルの一例を示す断面模式図。b)ギャップ層を除去した、本発明のカバーガラス一体型静電容量式タッチパネルの一例を示す断面模式図。a) A cross-sectional schematic diagram showing an example of a capacitive touch panel having a conventional gap layer. b) The cross-sectional schematic diagram which shows an example of the cover glass integrated electrostatic capacitance type touch panel of this invention which removed the gap layer.

本発明における投影型静電容量式タッチパネル基板について、その実施の形態に基づいて詳細に説明する。なお、本発明のタッチパネル基板はその要旨を超えない限り以下の構成に限定されるものではない。
本実施形態のタッチパネル基板は、透明基材上に、(A)第一の透明電極と、(B)第二の透明電極と、(C)(A)第一の透明電極を結ぶ第一の接続部と、(D)(B)第二の透明電極を結ぶ第二の接続部と、(E)(C)第一の接続部と(D)第二の接続部の交差する間に形成された絶縁層と、(F)(A)第一の透明電極および(B)第二の透明電極に接続された取出配線と、(G)保護層と、を有し、(G)保護層と水との接触角が65度以上85度以下の範囲内であるタッチパネル基板である。
The projected capacitive touch panel substrate of the present invention will be described in detail based on the embodiment. The touch panel substrate of the present invention is not limited to the following configuration unless it exceeds the gist.
The touch panel substrate of this embodiment is a first substrate that connects (A) a first transparent electrode, (B) a second transparent electrode, and (C) (A) a first transparent electrode on a transparent base material. A connection portion, (D) (B) a second connection portion connecting the second transparent electrodes, (E) (C) formed between the first connection portion and (D) the second connection portion. An insulating layer, (F) (A) a first transparent electrode, and (B) a lead-out wiring connected to the second transparent electrode, and (G) a protective layer, (G) a protective layer The touch panel substrate has a contact angle between water and water in the range of 65 degrees to 85 degrees.

ここで、接触角は、JIS R3257の6に規定される静滴法によって定められる、純水に対する室温での接触角である。
接触角が65度より小さいと、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの有機成分との密着性がよくなるために、該有機成分が綺麗に剥がれず、再利用工程などの歩留まりを低下させる。接触角が85度より大きいと、有機成分との密着性が悪くなり所望する粘着性や接着性が得られず、基板の脱落や剥がれによる破損などの不具合を生じてしまう。
Here, the contact angle is a contact angle at room temperature with respect to pure water, which is determined by a sessile drop method defined in 6 of JIS R3257.
When the contact angle is less than 65 degrees, the adhesion with organic components such as pressure-sensitive adhesive sheets and ultraviolet curable resins is improved, so that the organic components are not peeled off and the yield in the reuse process and the like is reduced. When the contact angle is larger than 85 degrees, the adhesion with the organic component is deteriorated, the desired tackiness and adhesiveness cannot be obtained, and problems such as breakage due to falling off or peeling off of the substrate occur.

また、本実施形態のタッチパネル基板は、該タッチパネル基板表面のフッ素元素の含有量をX線光電子分光法で分析して定量化し、該タッチパネル基板表面の炭素元素量を100とした場合に、フッ素元素が0.1以上30.0以下の範囲内となる比率でフッ素元素を含んでいる。
このような該タッチパネル基板表面のフッ素元素の含有量の測定は、X線光電子分光法(X−ray Photoelectron Spectroscopy、ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)とも称される。)を用いて行われる。光電子X線分光法は、該タッチパネル基板の最表面から深さ数nmの数十原子分の元素の定量が可能であり、本発明者らは、この元素量が、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの有機成分からの離型性に関係があることを見出した。
Further, the touch panel substrate of the present embodiment is quantified by analyzing and quantifying the content of fluorine element on the surface of the touch panel substrate by X-ray photoelectron spectroscopy, and assuming the amount of carbon element on the surface of the touch panel substrate as 100. Is contained in a ratio of 0.1 to 30.0.
The measurement of the fluorine element content on the surface of the touch panel substrate is performed using X-ray photoelectron spectroscopy (also referred to as ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)). Photoelectron X-ray spectroscopy is capable of quantifying elements of several tens of atoms with a depth of several nanometers from the outermost surface of the touch panel substrate. It has been found that there is a relationship with releasability from organic components such as.

本発明者らは、X線光電子分光法により測定したポストベーク後のタッチパネル基板表面のフッ素元素が0.1以上30.0以下の範囲内となる比率で該タッチパネル基板表面に含まれている場合に、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの有機成分からの離型性が良い表面を得ることができることを見出したものである。
フッ素元素量の炭素元素量に対する比率は0.1以上20.0以下の範囲内であることが好ましく、さらに好ましくは1以上10.0以下の範囲内である。フッ素元素が0.1より小さい場合には、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの有機成分との密着性が良好となるため綺麗に剥がれず、30.0より大きい場合には、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの有機成分との所望する粘着性や接着性が得られず、基板の脱落や剥がれによる破損などの不具合を生じてしまう。
When the present inventors include the fluorine element on the surface of the touch panel substrate after post-baking measured by X-ray photoelectron spectroscopy at a ratio of 0.1 to 30.0 in the touch panel substrate surface Furthermore, the present inventors have found that a surface having good releasability from organic components such as pressure-sensitive adhesive sheets and ultraviolet curable resins can be obtained.
The ratio of the amount of fluorine element to the amount of carbon element is preferably in the range of 0.1 to 20.0, more preferably in the range of 1 to 10.0. When the fluorine element is smaller than 0.1, the adhesion with organic components such as the pressure-sensitive adhesive sheet and the ultraviolet curable resin is improved. Desirable tackiness and adhesiveness with an organic component such as a curable resin cannot be obtained, resulting in problems such as breakage due to dropping off or peeling off of the substrate.

<紫外線硬化型有機系コーティング組成物>
本実施形態のタッチパネル基板の保護層に用いて好適な紫外線硬化型有機系コーティング組成物としては、前述の機能を満たすものであれば特に限定されないが、(i)光重合性モノマー、(ii)透明樹脂、(iii)光重合開始剤、(iv)添加剤及び(v)溶剤を含有する紫外線硬化型有機系コーティング組成物であって、前記(G)保護層と水との接触角が65度以上85度以下の範囲内となる、および/または、前記ポストベーク後のタッチパネル基板表面のフッ素元素が0.1以上30.0以下の範囲内となる比率でフッ素元素を含むために、(i)光重合性モノマー、(ii)透明樹脂、(iv)添加剤の群から選ばれる少なくとも一つが、フッ素元素を含有することが好ましい。特に、前記(G)保護層に求められる機能が、保護層表面の水との接触角であることと、表面のフッ素元素含有量であることから、保護層の表面改質が可能で、かつ、添加量を調整しやすい点で、(iv)添加剤に、フッ素元素を含有する添加剤を使用することが好ましい。
<UV curable organic coating composition>
The ultraviolet curable organic coating composition suitable for use in the protective layer of the touch panel substrate of the present embodiment is not particularly limited as long as it satisfies the above-described functions, but (i) a photopolymerizable monomer, (ii) An ultraviolet curable organic coating composition containing a transparent resin, (iii) a photopolymerization initiator, (iv) an additive, and (v) a solvent, wherein the contact angle between the protective layer (G) and water is 65 In order to be in the range of not less than 85 degrees and not more than 85 degrees, and / or in the ratio of the fluorine element on the surface of the touch panel substrate after the post-baking is in the range of 0.1 to 30.0, It is preferable that at least one selected from the group of i) a photopolymerizable monomer, (ii) a transparent resin, and (iv) an additive contains a fluorine element. In particular, since the function required for the protective layer (G) is a contact angle with water on the surface of the protective layer and the fluorine element content on the surface, the surface modification of the protective layer is possible, and From the viewpoint of easily adjusting the addition amount, it is preferable to use (iv) an additive containing fluorine as an additive.

上記含フッ素系化合物の例として、具体的には、フッ化ビニリデン、フッ化ビニル、三フッ化エチレン等や、これらの共重合体等のフッ化樹脂などが挙げられる。フッ素元素を含有する添加剤は、炭化水素基中の水素原子の全てあるいは一部をフッ素原子で置き換えたパーフルオロアルキル構造等を含有するものである。フッ素元素を含有する添加剤としては、市販のものを用いてもよく、たとえば、商品名:メガファックF−114、F−172D、F−178K、F−178RM、F−410、F−443、F−444、F−445、F−470、F−471、F−472SF、F−474、F−475、F−477、F−479、F−482、F−483、F−489、F−493、F−494、R−30、R−61、R−90、MOF−350SF(DIC社製)、フタージェント100C、150CH、208G、212MH、215M、222F、245F、250、251、300、310、400SW、501、710FS、710FM、710FL、A−K、FTX−206D、FTX−207S、FTX−208G、FTX−209F、FTX−211S、FTX−212D、FTX−213F、FTX−218、FTX−218G、FTX−220D、FTX−220S、FTX−230D、FTX−230G、FTX−230S、FTX−233F、FTX−240D、FTX−240G、FTX−245M、FTX−290M、FTX−710LL、FTX−730FM、FTX−730FL、FTX−730LS、FTX−730LM、FTX−730LL、FTX−750FM、FTX−750LL(ネオス社製)、ノベックFC−4430、FC−4432(住友スリーエム社製)、エフトップEF−351、EF−352、EF−801、EF−802(ジェムコ社製)などが挙げられる。   Specific examples of the fluorine-containing compound include vinylidene fluoride, vinyl fluoride, ethylene trifluoride and the like, and fluororesins such as copolymers thereof. The additive containing elemental fluorine contains a perfluoroalkyl structure in which all or part of the hydrogen atoms in the hydrocarbon group are replaced with fluorine atoms. As the additive containing elemental fluorine, commercially available products may be used. For example, trade names: Megafac F-114, F-172D, F-178K, F-178RM, F-410, F-443, F-444, F-445, F-470, F-471, F-472SF, F-474, F-475, F-477, F-479, F-482, F-483, F-489, F- 493, F-494, R-30, R-61, R-90, MOF-350SF (manufactured by DIC), tangent 100C, 150CH, 208G, 212MH, 215M, 222F, 245F, 250, 251, 300, 310 , 400SW, 501, 710FS, 710FM, 710FL, AK, FTX-206D, FTX-207S, FTX-208G, FTX-209F, F X-211S, FTX-212D, FTX-213F, FTX-218G, FTX-218G, FTX-220D, FTX-220S, FTX-230D, FTX-230G, FTX-230S, FTX-233F, FTX-240D, FTX- 240G, FTX-245M, FTX-290M, FTX-710LL, FTX-730FM, FTX-730FL, FTX-730LS, FTX-730LM, FTX-730LL, FTX-750FM, FTX-750LL (manufactured by Neos FC), Novec FC 4430, FC-4432 (manufactured by Sumitomo 3M), F-top EF-351, EF-352, EF-801, EF-802 (manufactured by Gemco), and the like.

中でも、ノニオン性構造を有するものが、紫外線硬化型有機系コーティング組成物の安定性の点で好ましく、例えば、メガファックF−172D、F−178K、F−178RM、F−443、F−444、F−445、F−470、F−471、F−472SF、F−474、F−475、F−477、F−479、F−482、F−483、F−489R−30、R−61、R−90、MOF−350SF(DIC社製)、フタージェント208G、212MH、215M、222F、245F、250、251、710FS、710FM、710FL、FTX−206D、FTX−207S、FTX−208G、FTX−209F、FTX−211S、FTX−212D、FTX−213F、FTX−218、FTX−218G、FTX−220D、FTX−220S、FTX−230D、FTX−230G、FTX−230S、FTX−233F、FTX−240D、FTX−240G、FTX−245M、FTX−290M、FTX−710LL、FTX−730FM、FTX−730FL、FTX−730LS、FTX−730LM、FTX−730LL、FTX−750FM、FTX−750LL(ネオス社製)、ノベックFC−4430、FC−4432(住友スリーエム社製)、エフトップEF−351、EF−352、EF−801、EF−802(ジェムコ社製)などがある。   Among them, those having a nonionic structure are preferable from the viewpoint of the stability of the ultraviolet curable organic coating composition. For example, Megafac F-172D, F-178K, F-178RM, F-443, F-444, F-445, F-470, F-471, F-472SF, F-474, F-475, F-477, F-479, F-482, F-483, F-489R-30, R-61, R-90, MOF-350SF (manufactured by DIC), footage 208G, 212MH, 215M, 222F, 245F, 250, 251, 710FS, 710FM, 710FL, FTX-206D, FTX-207S, FTX-208G, FTX-209F , FTX-211S, FTX-212D, FTX-213F, FTX-218, FTX-218G, FT -220D, FTX-220S, FTX-230D, FTX-230G, FTX-230S, FTX-233F, FTX-240D, FTX-240G, FTX-245M, FTX-290M, FTX-710LL, FTX-730FM, FTX-730FL , FTX-730LS, FTX-730LM, FTX-730LL, FTX-750FM, FTX-750LL (manufactured by Neos), Novec FC-4430, FC-4432 (manufactured by Sumitomo 3M), F-top EF-351, EF-352 EF-801, EF-802 (Gemco) and the like.

さらに、前記(iv)添加剤が、少なくとも一つ以上の不飽和エチレン性二重結合を有するフッ素系添加剤を含有することが好ましい。
不飽和エチレン性二重結合を有するフッ素系添加剤としては、市販のものを用いてもよく、たとえば、商品名:メガファックRS−75、メガファックRS−76−E、メガファックRS−76−NS、メガファックRS−72−K、ディフェンザFH−700(DIC社製)、KY−1203(信越化学社製)、オプツールAR−110、オプツールDAC−HP(ダイキン社製)などが挙げられる。
Furthermore, the (iv) additive preferably contains a fluorine-based additive having at least one unsaturated ethylenic double bond.
As a fluorine-type additive which has an unsaturated ethylenic double bond, you may use a commercially available thing, for example, brand name: Mega-Fac RS-75, Mega-Fac RS-76-E, Mega-Fac RS-76- NS, Megafuck RS-72-K, Defenza FH-700 (manufactured by DIC), KY-1203 (manufactured by Shin-Etsu Chemical), OPTOOL AR-110, OPTOOL DAC-HP (manufactured by Daikin) and the like.

フッ素系添加剤の含有量は、紫外線硬化型有機系コーティング組成物の固形分に対し、0.1〜5.0重量%の範囲内であることが好ましく、さらに好ましくは0.1〜3.0重量%の範囲内である。不飽和エチレン性二重結合を有するフッ素系添加剤の含有量が0.1重量%より少ない場合には、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの有機成分との密着性が良好となるため綺麗に剥がれず、該含有量が5.0重量%より多い場合には、粘着シートや紫外線硬化型樹脂などの有機成分との所望する粘着性や接着性が得られず、基板の脱落や剥がれによる破損などの不具合を生じてしまう。   The content of the fluorine-based additive is preferably in the range of 0.1 to 5.0% by weight, more preferably 0.1 to 3% by weight with respect to the solid content of the ultraviolet curable organic coating composition. It is in the range of 0% by weight. If the content of the fluorine-containing additive having an unsaturated ethylenic double bond is less than 0.1% by weight, the adhesiveness with an organic component such as an adhesive sheet or an ultraviolet curable resin is improved, so that it is beautiful. If it is not peeled off and the content is more than 5.0% by weight, the desired adhesiveness and adhesiveness with an organic component such as a pressure sensitive adhesive sheet or an ultraviolet curable resin cannot be obtained, and the substrate is damaged due to dropping or peeling. It will cause problems such as.

前記(i)光重合性モノマーは、光による架橋型の重合が可能なものであれば特に限定されるものではなく、一般的な紫外線硬化型有機系コーティング組成物において用いられる光重合性モノマーを使用することができる。本実施形態に用いて好適な紫外線硬化型有機系コーティング組成物は、(i)光重合性モノマーと、後述する(iii)光重合開始剤とを含有することによって、光照射後に組成物中で(i)光重合性モノマー同士、又は(i)光重合性モノマーと後述する(ii)透明樹脂とが重合することで、組成物からなる膜等を良好に硬化させることができる。また、光の照射をマスクを介して行うことにより、光が照射された部分(露光部)と光が照射されなかった部分(未露光部)との物性や現像液に対する溶解性が異なるものとなることにより、良好にパターンを得ることができる。
なお、本実施形態において「光」とは、可視光のみならず、赤外線、紫外線、各種放射線(X線、γ線、電子線等)も含む概念であって、本発明の(i)光重合性モノマーは、後述する各種の光線によって良好に重合するものであることが好ましい。
The (i) photopolymerizable monomer is not particularly limited as long as it can be crosslinked by light. The photopolymerizable monomer used in a general ultraviolet curable organic coating composition can be used. Can be used. An ultraviolet curable organic coating composition suitable for use in the present embodiment contains (i) a photopolymerizable monomer and (iii) a photopolymerization initiator described later in the composition after light irradiation. The film | membrane etc. which consist of a composition can be favorably hardened | cured because (i) photopolymerizable monomers or (i) a photopolymerizable monomer and (ii) transparent resin mentioned later superpose | polymerize. Moreover, by performing light irradiation through a mask, the physical properties and the solubility in a developer differ between a portion irradiated with light (exposed portion) and a portion not irradiated with light (unexposed portion). Thus, a pattern can be obtained satisfactorily.
In this embodiment, “light” is a concept including not only visible light but also infrared rays, ultraviolet rays, and various types of radiation (X-rays, γ-rays, electron beams, etc.), and (i) photopolymerization of the present invention. The polymerizable monomer is preferably one that is favorably polymerized by various light rays described below.

(i)光重合性モノマーとして具体的には、1,9−ノナンジオールジアクリレート、EO(エチレンオキサイド)変性ビスフェノールAジアクリレート、PO(プロピレンオキサイド)変性ビスフェノールAジアクリレート、EO変性ビスフェノールFジアクリレート、ECH(エピクロルヒドリン)変性フタル酸ジアクリレート、PO変性グリセロールトリアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのプロピレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのカプロラクトン付加物のペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、グリセロールのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコール♯200ジアクリレート、ポリエチレングリコール♯400ジアクリレート、ポリエチレングリコール♯600ジアクリレート、ポリエチレングリコール♯1000ジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、1,10−デカンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコール♯400ジアクリレート、ポリプロピレングリコール(♯700)ジアクリレート、ポリテトラメチレングリコール♯650ジアクリレート、9,9−ビス[4−(2−アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン、5−エチル−2−(2−ヒドロキシ−1,1−ジメチルエチル)−5−(ヒドロキシメチル)−1,3−ジオキサンジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールアクリル酸付加物、ビスフェノ−ルF4モルエチレンオキサイド付加体ジアクリレート、エチレンオキサイド変性リン酸アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレート、プロポキシ化ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノールA EO付加物アクリレート等がある。   (I) Specific examples of the photopolymerizable monomer include 1,9-nonanediol diacrylate, EO (ethylene oxide) modified bisphenol A diacrylate, PO (propylene oxide) modified bisphenol A diacrylate, and EO modified bisphenol F diacrylate. , ECH (epichlorohydrin) modified phthalic diacrylate, PO modified glycerol triacrylate, EO modified trimethylolpropane triacrylate, PO modified trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethylene oxide adduct of trimethylolpropane Tri (meth) acrylate, trimethylolpropane propylene oxide adduct tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, tetra (meth) acrylate of pentaerythritol ethylene oxide adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, Penta (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of dipentaerythritol, penta (meth) acrylate of caprolactone adduct of dipentaerythritol, tripentaerythritol poly (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, ethylene oxide addition of glycerol Tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-acryl Iroxypropyl methacrylate, polyethylene glycol # 200 diacrylate, polyethylene glycol # 400 diacrylate, polyethylene glycol # 600 diacrylate, polyethylene glycol # 1000 diacrylate, tricyclodecane dimethanol diacrylate, 1,10-decanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol # 400 diacrylate, polypropylene glycol (# 700) diacrylate, polytetramethylene glycol # 650 diacrylate, 9,9-bis [4- (2-acryloyloxyethoxy) phenyl Nyl] fluorene, 5-ethyl-2- (2-hydroxy-1,1-dimethylethyl) -5- (hydroxymethyl) -1,3-dioxane diacrylate, neopentyl glycol acrylic acid adduct of hydroxypivalate, bisphenol -F4 mole ethylene oxide adduct diacrylate, ethylene oxide modified phosphoric acid acrylate, propoxylated ethoxylated bisphenol A diacrylate, ethoxylated bisphenol A diacrylate, propoxylated bisphenol A diacrylate, bisphenol A EO adduct acrylate, etc. .

この中でも、5−エチル−2−(2−ヒドロキシ−1,1−ジメチルエチル)−5−(ヒドロキシメチル)−1,3−ジオキサンジアクリレートとして「R−604」(日本化薬社製)、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールアクリル酸付加物として「FM−400」(日本化薬社製)、ビスフェノ−ルF4モルエチレンオキサイド付加体ジアクリレートとして「R−712」(日本化薬社製)、エチレンオキサイド変性リン酸アクリレートとして「PM−21」(日本化薬社製)、ビスフェノールA EO付加物アクリレートとしては「V#700」(大阪有機化学工業社製)等が好適に用いられる。   Among these, “R-604” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as 5-ethyl-2- (2-hydroxy-1,1-dimethylethyl) -5- (hydroxymethyl) -1,3-dioxane diacrylate, “FM-400” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as the neopentyl glycol acrylic acid adduct of hydroxypivalate, “R-712” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as the diacrylate of bisphenol F4 mole ethylene oxide adduct, ethylene “PM-21” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) is preferably used as the oxide-modified phosphate acrylate, and “V # 700” (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) is used as the bisphenol A EO adduct acrylate.

(i)光重合性モノマーは、1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。本実施形態の感光性樹脂組成物における(i)光重合性モノマーの含有割合は特に限定されるものではないが、(ii)透明樹脂100質量部に対して、(i)光重合性モノマーが30〜150質量部の範囲内であることが好ましく、30〜100質量部の範囲内であることがより好ましく、40〜80質量部の範囲内であることがさらに好ましい。30質量部以上とすることにより、パターン加工時の現像性及び感度を特に向上させることができ、150質量部以下とすることにより、無機材料表面との接着性を特に良好とすることができる。   (I) Only 1 type may be used for a photopolymerizable monomer and it may use 2 or more types together. The content ratio of (i) the photopolymerizable monomer in the photosensitive resin composition of the present embodiment is not particularly limited, but (ii) the photopolymerizable monomer is (i) based on 100 parts by mass of the transparent resin. It is preferably within the range of 30 to 150 parts by mass, more preferably within the range of 30 to 100 parts by mass, and even more preferably within the range of 40 to 80 parts by mass. By setting it as 30 mass parts or more, the developability and sensitivity at the time of pattern processing can be improved especially, and by setting it as 150 mass parts or less, adhesiveness with the inorganic material surface can be made especially favorable.

前記(ii)透明樹脂には、透明基材や透明電極などの無機材料層表面と良好に接着し、下層となる無機材料層表面に保護層を形成した際の、機械的強度を高めることができ、かつ、熱及び薬品耐性、並びに高温高湿条件下における耐性を有するため、これらの膜がタッチパネル製造工程において熱や薬品に晒された場合や、製造後のタッチパネルが高温高湿下に置かれた場合であっても、良好に機能することが可能となる点で、アルコキシシランを有する化合物を含むことが好ましい。
前記(ii)透明樹脂を構成する、アルコキシシランを有する化合物は、該アルコキシシラン中のSi原子が金属や無機物で構成される無機材料表面(基板表面)の原子と相互作用することで、接着性が向上すると考えられる。また、Si原子を含有することにより、感光性樹脂組成物を硬化させて得られる膜の硬度が高いものとなる。
The above (ii) transparent resin has good adhesion to the surface of an inorganic material layer such as a transparent substrate or transparent electrode, and increases the mechanical strength when a protective layer is formed on the surface of the underlying inorganic material layer. Because it is heat and chemical resistant and resistant under high temperature and high humidity conditions, these films are exposed to heat and chemicals in the touch panel manufacturing process, or the manufactured touch panel is placed under high temperature and high humidity. Even if it is a case, it is preferable that the compound which has an alkoxysilane is included at the point which can function favorably.
The compound (ii) having an alkoxysilane that constitutes the transparent resin has an adhesive property because the Si atom in the alkoxysilane interacts with an atom on the surface of the inorganic material (substrate surface) composed of a metal or an inorganic substance. Is thought to improve. Moreover, the hardness of the film | membrane obtained by hardening the photosensitive resin composition becomes high by containing Si atom.

(ii)透明樹脂において、アルコキシシランを有する化合物としては、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等が挙げられる。これらの中でも、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルリエトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシランが好ましく、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシランがより好ましい。アルコキシシランを有する化合物は、1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   (Ii) In the transparent resin, the compound having alkoxysilane includes γ-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloyloxypropyltriethoxysilane, and γ-acryloyloxypropyltriethoxysilane. Γ-methacryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-acryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-acryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, etc. Can be mentioned. Among these, γ-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloyloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloyloxypropyltriethoxysilane, γ -Methacryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, and γ-acryloyloxypropylmethyldiethoxysilane are preferable, and γ-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane and γ-acryloyloxypropyltrimethoxysilane are more preferable. . Only 1 type may be used for the compound which has alkoxysilane, and it may use 2 or more types together.

前記(iii)光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、2,2’−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類;ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類;チオキサンソン、2−クロロチオキサンソン、2,4−ジエチルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、2−イソプロピルチオキサンソン等の硫黄化合物;ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1,2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン等のアルキルフェノン類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)、1−「4−(フェニルチオ)フェニル]−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−ベンゾエ−ト(製品名「OXE01」(BASFジャパン社製))等のオキシムエステル類;2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシフェニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシナフチル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等のトリアジン類;等が挙げられる。   Examples of the (iii) photopolymerization initiator include acetophenone, 2,2′-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, and the like. Benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone; benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether; thioxanthone, 2- Sulfur compounds such as chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone; 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1- ON, 2-Hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2- ( Alkylphenones such as dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone; 1,2-octane Dione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (0-acetyloxime), 1- “4- (phenylthio) phenyl] -octane-1-one-2-oneoxime-O-benzoate (product name“ OXE01 ”(manufactured by BASF Japan)), etc. Oxime esters; anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone; 2,4-trichloromethyl- (4′-methoxyphenyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl- (4′-methoxynaphthyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl- Piperonyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl - (triazines such as 4'-methoxy styryl) -6-triazine; and the like.

(iii)光重合開始剤は、1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。本実施形態の感光性樹脂組成物における(iii)光重合開始剤の含有割合は特に限定されるものではないが、(ii)透明樹脂100質量部に対して、(iii)光重合開始剤が5〜20質量部の範囲内であることが好ましく、5〜15質量部の範囲内であることがより好ましく、5〜10質量部の範囲内であることがさらに好ましい。5質量部以上とすることにより、パターン加工時の感度を特に向上させることができ、20質量部以下とすることにより、透明性を特に良好とすることができる。   (Iii) Only 1 type may be used for a photoinitiator and it may use 2 or more types together. Although the content rate of (iii) photoinitiator in the photosensitive resin composition of this embodiment is not specifically limited, (iii) With respect to 100 mass parts of transparent resins, (iii) Photoinitiator is It is preferably within the range of 5 to 20 parts by mass, more preferably within the range of 5 to 15 parts by mass, and even more preferably within the range of 5 to 10 parts by mass. By setting it as 5 mass parts or more, the sensitivity at the time of pattern processing can be improved especially, and transparency can be made especially favorable by setting it as 20 mass parts or less.

前記(v)溶剤としては、メタノール、エタノール、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、ジグライム、シクロヘキサノン、エチルベンゼン、キシレン、酢酸イソアミル、酢酸n−アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコール、トリエチリングリコールモノメチルエーテル、トリエチリングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、液体ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、乳酸エステル、メチルメトキシプロピオネート、エチルエトキシプロピオネートなどが挙げられる。   Examples of the solvent (v) include methanol, ethanol, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, diglyme, cyclohexanone, ethylbenzene, xylene, isoamyl acetate, n-amyl acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether Ether acetate, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol Monobutyl ether acetate, triethylene glycol, triethylin glycol monomethyl ether, triethylin glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether acetate, liquid polyethylene glycol, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl Examples include ether acetate, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether acetate, lactic acid ester, methyl methoxypropionate, and ethyl ethoxypropionate.

(v)溶剤は、1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。(v)溶剤の含有割合は特に限定されるものではないが、全感光性樹脂組成物における固形分割合が20〜30質量%の範囲内となるように用いることが好ましい。固形分割合を上記範囲内とすることにより、感光性樹脂組成物の粘度を適度なものとすることができ、無機材料(基板)上に塗布して膜を形成する際の塗工性が特に向上する。   (V) Only 1 type may be used for a solvent and it may use 2 or more types together. (V) Although the content rate of a solvent is not specifically limited, It is preferable to use so that the solid content rate in all the photosensitive resin compositions may exist in the range of 20-30 mass%. By setting the solid content ratio within the above range, the viscosity of the photosensitive resin composition can be made moderate, and the coating property when forming a film by coating on an inorganic material (substrate) is particularly high. improves.

保護層に用いられる紫外線硬化型有機系コーティング組成物としては、保護層と水との接触角が65度以上85度以下の範囲内となる、および/または、前記ポストベーク後のタッチパネル基板表面のフッ素元素が0.1以上30.0以下の範囲内となる比率でフッ素元素を含むものとするために、市販の紫外線硬化型有機系コーティング組成物に、不飽和エチレン性二重結合を有するフッ素系添加剤を添加して用いてもよい。これらの組成物からなる膜はパターン加工性を有し、且つ、これらの組成物を用いた場合、高い硬度と透明性を有する硬化膜を得ることができる。   As the ultraviolet curable organic coating composition used for the protective layer, the contact angle between the protective layer and water is in the range of 65 ° to 85 °, and / or the surface of the touch panel substrate after the post-baking. In order to contain elemental fluorine in a ratio in which elemental fluorine is in the range of 0.1 to 30.0, a fluorine-based additive having an unsaturated ethylenic double bond is added to a commercially available ultraviolet curable organic coating composition. You may add and use an agent. Films composed of these compositions have pattern processability, and when these compositions are used, a cured film having high hardness and transparency can be obtained.

市販の紫外線硬化型有機系コーティング組成物としては、たとえば、商品名:XF110180、XF110181A、XF110181B、XF110182(ロームアンドハース社製)、NS−E2200(東レ社製)、NN801、NN901(JSR社製)、が挙げられる。
さらに本実施形態は、前記透明基材がカバーガラスと同一であることが、部品点数を削減でき安価に製造できる点で好ましい。
Examples of commercially available ultraviolet curable organic coating compositions include, for example, trade names: XF110180, XF110181A, XF110181B, XF110182 (Rohm and Haas), NS-E2200 (Toray), NN801, NN901 (JSR) .
Further, in the present embodiment, it is preferable that the transparent base material is the same as the cover glass in that the number of parts can be reduced and manufacturing can be performed at low cost.

<投影型静電容量式タッチパネル基板>
図1および図2は、保護層6を透視した、本発明の一例を示すタッチパネル基板平面図である。ここで、図1および図2は第一の接続部3、第二の接続部4、および絶縁層5の位置関係が異なる例である。
本実施形態の投影型静電容量式タッチパネル基板は、図1に示すように、透明基材10上に第一の透明電極1、第二の透明電極2、第一の接続部3、第二の接続部4、絶縁層5および取出配線20を有する。絶縁層5は第一の接続部3と直交する第二の接続部4の導通を防止し、絶縁するために配設されている。また、本実施形態の投影型静電容量式タッチパネル基板はさらに、保護層6を有する。
<Projection type capacitive touch panel substrate>
FIG. 1 and FIG. 2 are plan views of a touch panel substrate showing an example of the present invention through the protective layer 6. Here, FIG. 1 and FIG. 2 are examples in which the positional relationship of the first connection portion 3, the second connection portion 4, and the insulating layer 5 is different.
As shown in FIG. 1, the projected capacitive touch panel substrate of the present embodiment includes a first transparent electrode 1, a second transparent electrode 2, a first connection portion 3, and a second connection on a transparent substrate 10. Connecting portion 4, insulating layer 5, and lead-out wiring 20. The insulating layer 5 is disposed in order to prevent and insulate the second connecting portion 4 orthogonal to the first connecting portion 3. In addition, the projected capacitive touch panel substrate of the present embodiment further has a protective layer 6.

図1は、第一の接続部3が最下層に形成され、その上に絶縁層5を備え、第二の接続部4が絶縁層5の上に形成される構造を示すが、図2のように、第二の接続部4が最下層に形成され、その上に絶縁層5を備え、第一の接続部3が絶縁層5の上に形成される構造であってもよく、第一の接続部3と第二の接続部4が透明基材10に対して、x方向、y方向のいずれの向きであってもよい。   FIG. 1 shows a structure in which the first connecting portion 3 is formed in the lowermost layer, the insulating layer 5 is provided thereon, and the second connecting portion 4 is formed on the insulating layer 5. As described above, the second connection portion 4 may be formed in the lowermost layer, and the insulating layer 5 may be provided thereon, and the first connection portion 3 may be formed on the insulating layer 5. The connecting portion 3 and the second connecting portion 4 may be in either the x direction or the y direction with respect to the transparent substrate 10.

透明基材10としては、特に限定されるものではないが、例えば、ソーダ石灰ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、無アルカリアルミノ硼珪酸ガラス等のガラス板、あるいはポリエチレンテレフタレート(PET)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリカーボネート(PC)等からなるプラスチック板、プラスチックフィルムが用いられる。  Although it does not specifically limit as the transparent base material 10, For example, glass plates, such as a soda lime glass, a low alkali borosilicate glass, an alkali free alumino borosilicate glass, or a polyethylene terephthalate (PET), a triacetyl cellulose ( A plastic plate or plastic film made of TAC), polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), or the like is used.

図3a)は透明基材10上に形成された、本実施形態のタッチパネル基板と、カバーガラス30から成る投影型静電容量式タッチパネルの構造の一例を示す投影模式図である。図3b)は、透明基材10にカバーガラスを用いた、カバーガラス一体型投影型静電容量式タッチパネル基板の構造を示す図であり、透明基材10に、アルミノ珪酸ガラス(例えば、商品名「Gollira(コーニング社製)」、「IOX−FS(コーニング社製)」、「Dragontrail(旭硝子社製)」)や化学的に強化されたソーダライムガラス等の特殊ガラス板を用いることができる。透明基材10にカバーガラスを用いる場合、一枚のガラス上に、額縁層(ベゼル)(図示しない)とタッチパネルセンサー40の両方を設けるために、透明基材一枚の部品点数を減らすことができ、低コストでタッチパネルが製造可能になる。   FIG. 3 a) is a schematic projection view showing an example of the structure of a projected capacitive touch panel formed on the transparent base material 10 and comprising the touch panel substrate of the present embodiment and the cover glass 30. FIG. 3 b) is a diagram showing the structure of a cover glass integrated projection capacitive touch panel substrate using a cover glass for the transparent base material 10, and an aluminosilicate glass (for example, a trade name) Special glass plates such as “Gollira (manufactured by Corning)”, “IOX-FS (manufactured by Corning)”, “Dragonrail (manufactured by Asahi Glass)”) and chemically strengthened soda lime glass can be used. When a cover glass is used for the transparent substrate 10, the number of parts of one transparent substrate can be reduced in order to provide both a frame layer (bezel) (not shown) and the touch panel sensor 40 on one glass. The touch panel can be manufactured at a low cost.

第一の透明電極1および第二の透明電極2としては、透明基材10表面に配設することができるものであれば特に限定されるものではないが、ITO、酸化亜鉛(ZnO)等の無機導電材料、ポリエチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)、ポリアニリン、ポリピロール等の有機導電材料を用いることができる。これら材料は1種のみで用いてもよく、2種以上を併用してもよい。中でも、透明性と抵抗値の点でITOを用いることが好ましい。   The first transparent electrode 1 and the second transparent electrode 2 are not particularly limited as long as the first transparent electrode 1 and the second transparent electrode 2 can be disposed on the surface of the transparent substrate 10, such as ITO and zinc oxide (ZnO). An organic conductive material such as an inorganic conductive material, polyethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS), polyaniline, polypyrrole, or the like can be used. These materials may be used alone or in combination of two or more. Among these, it is preferable to use ITO in terms of transparency and resistance value.

第一の接続部3は、図1に示す構造の場合、すなわち、透明基材10に対してx方向に配列された、隣接する第一の透明電極1を接続するための接続部である場合には、第一の透明電極1の材料と同一の透明導電材料を用いて第一の透明電極1と同時に形成される。言い換えれば、第一の透明電極1を形成する際に、第一の接続部3も同時に形成するので、x方向には途切れることなく連なった透明電極パターンを形成することを意味する。
さらに、透明基材10に対してy方向に配列された、第二の透明電極2も第一の透明電極1、および第一の接続部3と同時に形成されるが、第二の透明電極2は第二の接続部4と同時に形成されないので、この時点ではまだy方向には接続されていない状態となる。
In the case of the structure shown in FIG. 1, that is, the first connection portion 3 is a connection portion for connecting the adjacent first transparent electrodes 1 arranged in the x direction with respect to the transparent substrate 10. Are formed simultaneously with the first transparent electrode 1 using the same transparent conductive material as the material of the first transparent electrode 1. In other words, when the first transparent electrode 1 is formed, the first connecting portion 3 is also formed at the same time, which means that a continuous transparent electrode pattern is formed without interruption in the x direction.
Furthermore, although the 2nd transparent electrode 2 arranged in the y direction with respect to the transparent base material 10 is also formed simultaneously with the 1st transparent electrode 1 and the 1st connection part 3, the 2nd transparent electrode 2 Is not formed at the same time as the second connection portion 4, the state is not yet connected in the y direction at this point.

第二の接続部4は、第一の透明電極1の材料と同一の透明導電材料を用いて第一の透明電極1とは別に形成されるが、絶縁層5を介して取出配線20の材料と同一の導電材料を用いて、取出配線20と同時に形成してもよい。また、図1および図2に示す例では、透明基材10に対してx方向の接続部を第一の接続部3、y方向の接続部を第二の接続部4としているが、前述したとおり、x方向とy方向が逆であってもよい。すなわち、x方向の接続部を第二の接続部3として、取出配線20の材料と同一の導電材料を用いて、取出配線20と同時に形成する構造であってもよい。   The second connection portion 4 is formed separately from the first transparent electrode 1 by using the same transparent conductive material as the material of the first transparent electrode 1, but the material of the extraction wiring 20 through the insulating layer 5. It may be formed simultaneously with the extraction wiring 20 using the same conductive material. Moreover, in the example shown in FIG. 1 and FIG. 2, the connection part of the x direction with respect to the transparent base material 10 is the first connection part 3, and the connection part of the y direction is the second connection part 4. As described above, the x direction and the y direction may be reversed. That is, a structure in which the connection portion in the x direction is used as the second connection portion 3 and formed simultaneously with the extraction wiring 20 using the same conductive material as the material of the extraction wiring 20 may be used.

第二の接続部4および取出配線20は、種々の金属材料を用いることができ、Mo(モリブデン)、Al(アルミニウム)、Ag(銀)、Cu(銅)、Pd(パラジウム)等の金属が好ましく用いられ、Mo/Al/Moの3層構造でそれぞれ350Å/2000Å/350Å程度の厚さでスパッタ法により成膜して、ポジレジストによるフォトリソ工程を経た後、エッチング・レジスト剥離を行う方法(以下“MAM”と称する)が広く用いられている。   Various metal materials can be used for the second connection portion 4 and the lead-out wiring 20, and metals such as Mo (molybdenum), Al (aluminum), Ag (silver), Cu (copper), and Pd (palladium) are used. A method of preferably using a three-layer structure of Mo / Al / Mo and forming a film by sputtering at a thickness of about 350 mm / 2000 mm / 350 mm, followed by a photolithography process using a positive resist, followed by etching and resist stripping ( (Hereinafter referred to as “MAM”) is widely used.

絶縁層5は、従来絶縁層や保護膜に用いられていた公知の材料を用いて形成でき、例えば、SiO、SiN等の無機系膜や透明樹脂等の有機系材料が挙げられる。無機系膜は、SiOやSiNをCVD法やスパッタリング法等により形成するために、エネルギー消費量が増加したり、工程数が増加したりする等、製造コストが高くなる課題があることから、有機系材料が好んで用いられる。有機系材料としては、重合性基含有オリゴマー、モノマー、光重合開始剤およびその他添加剤を含有する紫外線硬化型コーティング組成物を用いることができる。 The insulating layer 5 can be formed using a known material conventionally used for an insulating layer or a protective film. Examples thereof include inorganic films such as SiO 2 and SiN x and organic materials such as transparent resins. Since inorganic films are formed of SiO 2 or SiN x by a CVD method, a sputtering method, or the like, there is a problem that the manufacturing cost becomes high, such as an increase in energy consumption and the number of processes. Organic materials are preferably used. As the organic material, an ultraviolet curable coating composition containing a polymerizable group-containing oligomer, monomer, photopolymerization initiator, and other additives can be used.

保護層6は、前述のとおり、保護層6と水との接触角が65度以上85度以下の範囲内であり、保護層6表面のフッ素元素の含有量をX線光電子分光法で分析して定量化し、保護層6表面の炭素元素量を100とした場合に、フッ素元素が0.1以上30.0以下の範囲内となる比率でフッ素元素を含むものであれば、不飽和エチレン性二重結合を有するオリゴマー、モノマー、光重合開始剤およびその他添加剤を含有する、公知の紫外線硬化型有機系コーティング組成物を用いて形成できる。   As described above, the protective layer 6 has a contact angle between the protective layer 6 and water in the range of 65 degrees to 85 degrees, and the content of the fluorine element on the surface of the protective layer 6 is analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy. If the amount of carbon element on the surface of the protective layer 6 is 100, and the fluorine element contains fluorine element in a ratio within the range of 0.1 to 30.0, unsaturated ethylenic It can be formed using a known ultraviolet curable organic coating composition containing an oligomer having a double bond, a monomer, a photopolymerization initiator, and other additives.

<投影型静電容量式タッチパネル>
図4a)は、従来のギャップ層を有する静電容量式タッチパネルの一例を示す断面模式図であり、図4b)は、前記図4a)に見られるようなギャップ層を除去した、本発明の実施形態に係るカバーガラス一体型静電容量式タッチパネルの一例を示す断面模式図である。
<Projected capacitive touch panel>
FIG. 4a) is a schematic cross-sectional view showing an example of a capacitive touch panel having a conventional gap layer, and FIG. 4b) shows the implementation of the present invention with the gap layer as shown in FIG. 4a) removed. It is a cross-sectional schematic diagram which shows an example of the cover glass integrated capacitive touch panel which concerns on a form.

図4a)の静電容量式タッチパネルは、TFT基板73とカラーフィルタ72で担持される液晶74から成る液晶表示装置70と、タッチパネルセンサー40と、カバーガラス30、および飛散防止フィルム50から構成される。タッチパネルセンサー40とカバーガラス30は、図示しない高透明性接着層(ptical lear dhesive Film、以後「OCA」と称する)により接着される。液晶表示装置70の両面には偏光板71が貼り合わせられており、タッチパネルセンサー40の一方の面には、透明電極や金属配線が形成されている。さらにカバーガラス30上、または飛散防止フィルム50上に意匠(ベゼル)51が形成されてなる。タッチセンサー40と液晶表示装置70間には、タッチパネルの操作面側から見たときに、タッチパネル基板上の透明電極が視認される問題、および/または、タッチパネル基板と表示装置との間で生じるモアレが視認される問題、さらに、液晶表示装置や有機ELディスプレイなどの表示装置から発生されるノイズによりタッチパネルの性能が低下する問題、を回避するために、カバーガラスとタッチパネル基板間、および/または、タッチパネル基板と表示装置間には、0.1〜1.0μm程度の間隔のギャップ層60が形成されている。また、意匠(ベゼル)51がカバーガラス30のタッチセンサー40側に形成され、飛散防止フィルム50を省略して使用されることもある。 The capacitive touch panel of FIG. 4 a) includes a liquid crystal display device 70 composed of a liquid crystal 74 carried by a TFT substrate 73 and a color filter 72, a touch panel sensor 40, a cover glass 30, and an anti-scattering film 50. . The touch panel sensor 40 and the cover glass 30 is bonded by a high transparency adhesive layer not shown (O ptical C lear A dhesive Film , hereinafter referred to as "OCA"). Polarizing plates 71 are bonded to both surfaces of the liquid crystal display device 70, and transparent electrodes and metal wirings are formed on one surface of the touch panel sensor 40. Further, a design (bezel) 51 is formed on the cover glass 30 or the scattering prevention film 50. Between the touch sensor 40 and the liquid crystal display device 70, when viewed from the operation surface side of the touch panel, there is a problem that the transparent electrode on the touch panel substrate is visually recognized and / or moire generated between the touch panel substrate and the display device. In order to avoid the problem that the performance of the touch panel is degraded due to noise generated from a display device such as a liquid crystal display device or an organic EL display, and / or between the cover glass and the touch panel substrate, and / or A gap layer 60 having a spacing of about 0.1 to 1.0 μm is formed between the touch panel substrate and the display device. In addition, a design (bezel) 51 may be formed on the touch sensor 40 side of the cover glass 30, and the anti-scattering film 50 may be omitted.

図4b)は、前記ギャップ層60が除去され、液晶表示装置70と、飛散防止フィルム50とが図示しないOCAにより貼り合わされた静電容量式タッチパネルの一例であり、カバーガラス30には、液晶表示装置側に、光学調整層31と、タッチパネル電極と、意匠(ベゼル)51が形成されている。また飛散防止フィルム50と、光学調整層31やタッチパネル電極、意匠(ベゼル)51が形成されたカバーガラス30とは、図示しないOCAにより貼り合わされている。また、図示しないOCAが飛散防止フィルム50の機能を兼ね備えるなどの工夫により、飛散防止フィルム50が省略されて使用されることもある。   FIG. 4B) is an example of a capacitive touch panel in which the gap layer 60 is removed and the liquid crystal display device 70 and the scattering prevention film 50 are bonded together by OCA (not shown). An optical adjustment layer 31, a touch panel electrode, and a design (bezel) 51 are formed on the device side. Further, the scattering prevention film 50 and the cover glass 30 on which the optical adjustment layer 31, the touch panel electrode, and the design (bezel) 51 are formed are bonded together by OCA (not shown). Further, the anti-scattering film 50 may be omitted and used due to a device such as an OCA (not shown) having the function of the anti-scattering film 50.

前記の投影型静電容量式タッチパネルには、OCAを用いる貼り合せ工程での気泡や異物の混入により生じる、貼り合せ不良品をリワークするため、また、最終タッチパネル製品での不良品を再利用するためにOCAの再剥離性が求められている。これらのOCAとしては、再剥離性を有するものであれば公知のものが使用でき、特に限定されないが、市販品としては、LUCIACS CR9707(日東電工社製)、8171CL、8172CL、8146−1、8146−2、8146−3、8146−4(住友スリーエム社製)、SANCUARY OP、SANCUARY DH、SANCUARY DK(サンエー化研社製)、NE-takMHM―SR(日栄加工社製)などが挙げられる。   In the projected capacitive touch panel described above, in order to rework defective bonding products caused by air bubbles and foreign matters mixed in the bonding process using OCA, and reuse defective products in the final touch panel product. Therefore, OCA re-peelability is required. Any known OCA can be used as long as it has removability, and is not particularly limited, but commercially available products include LUCIACS CR9707 (manufactured by Nitto Denko Corporation), 8171CL, 8172CL, 8146-1, 8146. -2, 8146-3, 8146-4 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), SANCUARY OP, SANCUARY DH, SANCUARY DK (manufactured by Sanei Kaken Co., Ltd.), NE-takMHM-SR (manufactured by Niei Engineering Co., Ltd.), and the like.

<静電容量式タッチパネル基板の製造方法>
第一の透明電極1、第二の透明電極2、第一の接続部3、および第二の接続部4としては、一般的に多く使用されるITOが好適であるが限定されない。静電容量式タッチパネル機能の具体的な仕様により、ITOの特性、また、透明電極パターンとしての特性を選択する。例えば、ITO膜として、膜厚30nmでシート抵抗値100Ω/□程度の膜をスパッタリング装置の薄膜形成手段により成膜する。次いで、耐エッチング性の感光性樹脂を用いて、レジスト塗布、露光、現像の一連の工程を含むフォトリソ法によりレジストパターンを形成する。その後、ITOエッチング、レジスト剥離工程を経て、パターン形成される。例えば、第一の接続部3として、幅50μmから100μmで長さ200μmから500μmのパターンを多数形成する。
<Method of manufacturing capacitive touch panel substrate>
As the 1st transparent electrode 1, the 2nd transparent electrode 2, the 1st connection part 3, and the 2nd connection part 4, although ITO generally used in general is suitable, it is not limited. Depending on the specific specifications of the capacitive touch panel function, the characteristics of ITO and the characteristics as a transparent electrode pattern are selected. For example, as an ITO film, a film having a film thickness of 30 nm and a sheet resistance value of about 100Ω / □ is formed by a thin film forming unit of a sputtering apparatus. Next, a resist pattern is formed by a photolithographic method including a series of steps of resist coating, exposure, and development using an etching-resistant photosensitive resin. Thereafter, a pattern is formed through ITO etching and a resist peeling process. For example, as the first connection portion 3, a large number of patterns having a width of 50 μm to 100 μm and a length of 200 μm to 500 μm are formed.

第二の接続部4および取出配線20としては、前述のMo/Al/Moの3層構造積層膜をスパッタ装置等の薄膜形成手段により成膜し、前記フォトリソ法によりレジストパターンを形成する。その後、金属エッチング、レジスト剥離工程を経て、パターン形成される。各層の厚さは、本例の3層構造積層膜では例えば、下層から順に350Å/2000Å/350Åとすることができ、それらの層のパターンエッチングには、リン酸、硝酸、酢酸を含むエッチング液を用いてウェットエッチングすることができる。
前記第二の接続部4および取出配線20は、上記以外のAl系、Ag系等の金属薄膜をフォトリソ・エッチング工程により、パターン形成しても良いが、導電性インキを用いて印刷形成する等、電極板のパターン精度や導電性やサイズ等により、適宜選ぶことができる。
As the second connection portion 4 and the extraction wiring 20, the above-mentioned Mo / Al / Mo three-layer laminated film is formed by thin film forming means such as a sputtering apparatus, and a resist pattern is formed by the photolithography method. Thereafter, a pattern is formed through a metal etching and resist stripping process. The thickness of each layer can be 350 mm / 2000 mm / 350 mm in order from the lower layer, for example, in the three-layer structure laminated film of this example. For pattern etching of these layers, an etching solution containing phosphoric acid, nitric acid, and acetic acid is used. Can be used for wet etching.
The second connecting portion 4 and the lead-out wiring 20 may be formed by patterning an Al-based or Ag-based metal thin film other than those described above by a photolithography / etching process, or by printing using a conductive ink, etc. Depending on the pattern accuracy, conductivity, size, etc. of the electrode plate, it can be selected as appropriate.

具体的には、第二の接続部4および取出配線20の導電材料には、銀、銅、カーボン等の導電性粉末を有機バインダーに分散させ、感光性を持たせた導電ペースト等の感光性金属材料を好ましく用いることができる。第二の接続部4および取出配線20の導電材料が感光性金属材料である場合には、第二の接続部4および取出配線20の反射率を10%以下に制御しやすいため、パターン見えの問題を回避しやすく、また製造コストを抑えることができるために好適に用いられる。銀、銅、カーボン等の導電性粉末の粒子径を適宜選択することで、スパッタ法で得られるMo、Al、Ag、Cu、Pd等の金属膜より光を吸収、散乱、回折しやすいために、反射率を10%以下に制御することが容易である。さらに、反射率を低減させる、他の公知の技術を適用してもよい。また、同材料は、同じ原理により反射明度Lを15以下に抑えることが可能である。 Specifically, the conductive material of the second connection portion 4 and the lead-out wiring 20 is photosensitive such as a conductive paste in which conductive powders such as silver, copper, and carbon are dispersed in an organic binder to impart photosensitivity. A metal material can be preferably used. When the conductive material of the second connection portion 4 and the extraction wiring 20 is a photosensitive metal material, the reflectance of the second connection portion 4 and the extraction wiring 20 can be easily controlled to 10% or less. It is preferably used because the problem can be easily avoided and the manufacturing cost can be suppressed. Because it is easier to absorb, scatter, and diffract light than metal films such as Mo, Al, Ag, Cu, and Pd obtained by sputtering by appropriately selecting the particle size of conductive powder such as silver, copper, and carbon. It is easy to control the reflectance to 10% or less. Furthermore, other known techniques for reducing the reflectance may be applied. Further, the same material can suppress the reflected lightness L * to 15 or less by the same principle.

反射率を10%以下に制御した導電ペースト等の感光性金属材料を、スクリーン印刷等の印刷法により成膜し、フォトリソ法によって微細パターン化することで、従来問題であった、表示エリアにある接続部を同時に形成した場合に、通常使用条件下において形成した接続部が目視で視認できてしまう問題を解決できる。フォトリソ法は、基材上に感光性導電ペーストを塗布後、所望する取出配線に対応するフォトマスクを介して、紫外光を照射することにより塗膜の露光部分を光架橋により硬化し、現像液を用いて塗膜の未露光部分を除去した後に焼成することにより取出配線パターンを形成する方法である。このフォトリソ法を用いることにより、蒸着法に比べて安価で、かつ、スクリーン印刷や、グラビアオフセット印刷で形成する印刷法に比べて高精細な導電パターンを得ることが可能である。   A photosensitive metal material such as a conductive paste whose reflectance is controlled to 10% or less is formed by a printing method such as screen printing, and is finely patterned by a photolithographic method. When a connection part is formed simultaneously, the problem that the connection part formed under normal use conditions can be visually recognized can be solved. The photolithographic method is a method in which a photosensitive conductive paste is applied onto a substrate, and then the exposed portion of the coating film is cured by photocrosslinking by irradiating ultraviolet light through a photomask corresponding to a desired extraction wiring. This is a method for forming a lead-out wiring pattern by baking after removing the unexposed portion of the coating film. By using this photolithography method, it is possible to obtain a conductive pattern that is cheaper than the vapor deposition method and has a higher definition than the printing method formed by screen printing or gravure offset printing.

前記第二の接続部4および取出配線20を、透明基材10上に早い段階でパターン形成する場合は、透過光に対する充分な遮光性を有するので、光学的にパターンを検出し認識することは容易である。従って、金属電極パターン自身を以後のパターン形成される層に対する位置合わせの指標とすることができる。また、前記第二の接続部4および取出配線20と同一層内に電極パターン以外に位置合わせマークを独立に設けることもできる。独立に位置合わせのためのマークを設ける方が、一般に、パターンの認識から位置補正量を決めて、位置補正させる動きを出力する位置合わせのための工程では、高い精度を得ることができる。   When the second connecting portion 4 and the extraction wiring 20 are patterned on the transparent base material 10 at an early stage, the pattern is detected and recognized optically because it has sufficient light shielding properties against transmitted light. Easy. Therefore, the metal electrode pattern itself can be used as an index of alignment with respect to a layer on which a subsequent pattern is formed. In addition to the electrode pattern, an alignment mark can be provided independently in the same layer as the second connection portion 4 and the extraction wiring 20. Independently providing a mark for alignment can generally achieve higher accuracy in the alignment process in which a position correction amount is determined from pattern recognition and a movement for position correction is output.

絶縁層5は、前記第一の接続部3または第二の接続部4の有効領域を含む範囲に被せて形成する。絶縁層5の製造方法としては、SiO膜を厚さ100nm以上形成して絶縁機能を得ることはできるが、さらに容易な製造方法として、有機絶縁膜をフォトリソ法で形成することもできる。例えば、屈折率1.53、体積固有抵抗値2×1015Ω・cm、の紫外線硬化型有機系絶縁膜コーティング組成物を、スプレーコートやスピンコート、スリットダイコート、ロールコート、バーコート等の塗布方法により、乾燥膜厚が0.2〜10μmの範囲内、より好ましくは0.5〜5μmの範囲内となるように塗布する。必要により乾燥された膜には、必要に応じてこの膜と接触あるいは非接触状態で設けられた所定のパターンを有するマスクを通して露光を行う。露光時の光線の種類は特に限定されるものではなく、可視光線、紫外線、遠赤外線、電子線、X線等が挙げられ、中でも紫外線が好ましい。光線の照度は特に限定されるものではないが、365nmにおいて5〜150mW/cmの範囲内であることが好ましく、15〜35mW/cmの範囲内であることが特に好ましい。 The insulating layer 5 is formed so as to cover a range including the effective area of the first connection portion 3 or the second connection portion 4. As a manufacturing method of the insulating layer 5, an insulating function can be obtained by forming a SiO 2 film with a thickness of 100 nm or more. However, as an easier manufacturing method, an organic insulating film can also be formed by a photolithography method. For example, an ultraviolet curable organic insulating film coating composition having a refractive index of 1.53 and a volume resistivity of 2 × 10 15 Ω · cm is applied to a spray coat, spin coat, slit die coat, roll coat, bar coat, etc. By the method, it is applied so that the dry film thickness is in the range of 0.2 to 10 μm, more preferably in the range of 0.5 to 5 μm. If necessary, the dried film is exposed through a mask having a predetermined pattern provided in contact with or not in contact with the film. The kind of the light beam at the time of exposure is not particularly limited, and examples thereof include visible light, ultraviolet rays, far infrared rays, electron beams, X-rays, etc. Among them, ultraviolet rays are preferable. The illuminance of the light beam is not particularly limited, but is preferably within a range of 5 to 150 mW / cm 2 at 365 nm, and particularly preferably within a range of 15 to 35 mW / cm 2 .

その後、必要に応じて炭酸ナトリウムや水酸化ナトリウム等の水性アルカリ現像液に浸漬するか、もしくはスプレー等により現像液を噴霧して未硬化部を除去し所望のパターンを形成する。さらに、紫外線硬化型有機系絶縁膜コーティング組成物の重合を促進して硬膜するため、それぞれ必要に応じて加熱(ポストベーキング)を施す。これらの工程を経てパターン形成し、透過率97%を超えるパターン状の絶縁層5とすることができる。   Then, if necessary, the film is immersed in an aqueous alkaline developer such as sodium carbonate or sodium hydroxide, or sprayed with a developer or the like to remove uncured portions and form a desired pattern. Furthermore, in order to accelerate | stimulate superposition | polymerization of an ultraviolet curable organic type insulation film coating composition and to harden | cure, it heats (post-bake) as needed. A pattern is formed through these steps, and a patterned insulating layer 5 having a transmittance exceeding 97% can be obtained.

保護膜6は前記第一の透明電極1、前記第二の透明電極2、前記第一の接続部3、前記第二の接続部4、絶縁層5、および取出配線20の有効領域を含む範囲に被せて形成する。保護膜6を形成する方法は特に限定されるものではないが、例えば、スプレーコートやスピンコート、スリットダイコート、ロールコート、バーコート等の塗布方法により、乾燥膜厚が0.5〜20μmの範囲内、より好ましくは1.0〜10μmの範囲内となるように、前記紫外線硬化型有機系コーティング組成物を塗布する。必要により乾燥された膜には、必要に応じてこの膜と接触あるいは非接触状態で設けられた所定のパターンを有するマスクを通して露光を行う。露光の際の光線の種類は特に限定されるものではなく、可視光線、紫外線、遠赤外線、電子線、X線等が挙げられ、中でも紫外線が好ましい。光線の照度は特に限定されるものではないが、365nmにおいて5〜150mW/cmの範囲内であることが好ましく、15〜35mW/cmの範囲内であることが特に好ましい。その後、必要に応じて炭酸ナトリウムや水酸化ナトリウム等の水性アルカリ現像液に浸漬するか、もしくはスプレーなどにより現像液を噴霧して未硬化部を除去し所望のパターンを形成する。さらに、前記紫外線硬化型有機系コーティング組成物の重合を促進して硬膜するため、それぞれ必要に応じて加熱(ポストベーキング)を施す。なお、保護膜6は、静電容量式タッチパネル基板の最外層を形成するので、平坦化層を兼ねて、できるだけ広く配置することが望ましい。 The protective film 6 includes an effective area of the first transparent electrode 1, the second transparent electrode 2, the first connection portion 3, the second connection portion 4, the insulating layer 5, and the extraction wiring 20. To cover. The method for forming the protective film 6 is not particularly limited. For example, the dry film thickness is in the range of 0.5 to 20 μm by a coating method such as spray coating, spin coating, slit die coating, roll coating, or bar coating. Of these, the ultraviolet curable organic coating composition is applied so as to be within a range of 1.0 to 10 μm. If necessary, the dried film is exposed through a mask having a predetermined pattern provided in contact with or not in contact with the film. The kind of the light beam at the time of exposure is not particularly limited, and examples thereof include visible light, ultraviolet rays, far infrared rays, electron beams, X-rays, etc. Among them, ultraviolet rays are preferable. The illuminance of the light beam is not particularly limited, but is preferably within a range of 5 to 150 mW / cm 2 at 365 nm, and particularly preferably within a range of 15 to 35 mW / cm 2 . Then, if necessary, it is immersed in an aqueous alkaline developer such as sodium carbonate or sodium hydroxide, or the developer is sprayed by spraying or the like to remove uncured portions and form a desired pattern. Furthermore, in order to accelerate | stimulate superposition | polymerization of the said ultraviolet curable organic type coating composition and to harden, it heats (post-baking) as needed, respectively. In addition, since the protective film 6 forms the outermost layer of the capacitive touch panel substrate, it is desirable that the protective film 6 be disposed as wide as possible to serve as a planarization layer.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲においてこれに限定されるものではない。
[紫外線硬化型有機系コーティング組成物の合成]
市販の紫外線硬化型有機系コーティング組成物として、NN901(JSR社製)に対し、添加剤(商品名:メガファックRS−75(DIC社製))を、NN901の固形分重量に対して1重量%となるように加えて30分攪拌して、紫外線硬化型有機系コーティング組成物2を得た。
Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. However, the present invention is not limited thereto without departing from the spirit of the present invention.
[Synthesis of UV-curable organic coating composition]
As a commercially available UV curable organic coating composition, NN901 (manufactured by JSR) is added with an additive (trade name: Megafax RS-75 (manufactured by DIC)), 1 weight with respect to the solid content weight of NN901. % And stirred for 30 minutes to obtain an ultraviolet curable organic coating composition 2.

同様にして、紫外線硬化型有機系コーティング組成物1と、添加剤を表1に記載のものに変えて、紫外線硬化型有機系コーティング組成物3〜14を得た。
(市販の紫外線硬化型有機系コーティング組成物7) NS−E2200(東レ社製)
(市販の紫外線硬化型有機系コーティング組成物13) XF110182(ロームアンドハース社製)
(添加剤)
A:メガファックRS−75(DIC社製)
B:ディフェンザFH−700(DIC社製)
C:オプツールDAC−HP(ダイキン社製)
D:メガファックF−470(DIC社製)
E:X−22−164E(信越シリコーン社製)
Similarly, the ultraviolet curable organic coating composition 1 and the additives were changed to those shown in Table 1 to obtain ultraviolet curable organic coating compositions 3-14.
(Commercially available UV curable organic coating composition 7) NS-E2200 (manufactured by Toray Industries, Inc.)
(Commercially available UV curable organic coating composition 13) XF110182 (manufactured by Rohm and Haas)
(Additive)
A: Megafuck RS-75 (manufactured by DIC)
B: Defenza FH-700 (manufactured by DIC)
C: OPTOOL DAC-HP (Daikin)
D: Megafuck F-470 (manufactured by DIC)
E: X-22-164E (manufactured by Shin-Etsu Silicone)

(実施例1)
<静電容量式タッチパネル基板の作製>
アルミノ珪酸ガラス上に、Mo、Al、Moの順にそれぞれ350Å/2000Å/350Åの厚さでスパッタ法により成膜し、ポジレジスト(ローム・アンド・ハース電子材料製LC100−10cp)をスピン塗布し、ホットプレートにて100℃で5分間乾燥を行い、塗膜を乾燥させた。その後、光源として高圧水銀灯を用いて100mJ/cmで所望する開口部を有するフォトマスクを介して露光を実施した後、2.3重量%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液にて、23℃で60秒間シャワー現像を実施した。水洗後、リン酸、硝酸、酢酸、水を5:5:5:1の割合で配合してなるからなるエッチング液を用いてウェットエッチングを行い、2%水酸化カリウムのレジスト剥離液を用いてレジスト除去した後、熱風循環式オーブンにて230℃で30分間加熱処理を実施して第二の接続部4および取出配線20を作製した。得られた第二の接続部4は、幅8μm×長さ200μmの大きさであった。Mo/Al/Mo膜のシート抵抗は0.2Ω/□であった。
Example 1
<Production of capacitive touch panel substrate>
On the aluminosilicate glass, Mo, Al, and Mo were formed by sputtering in the order of 350 mm / 2000 mm / 350 mm, respectively, and a positive resist (LC100-10cp manufactured by Rohm and Haas Electronic Materials) was spin-coated, Drying was performed at 100 ° C. for 5 minutes on a hot plate to dry the coating film. Thereafter, exposure was performed through a photomask having a desired opening at 100 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp as a light source, and then 60% at 23 ° C. with a 2.3 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution. Shower development was performed for 2 seconds. After washing with water, wet etching is performed using an etching solution composed of phosphoric acid, nitric acid, acetic acid, and water in a ratio of 5: 5: 5: 1, and a resist stripping solution of 2% potassium hydroxide is used. After the resist was removed, heat treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes in a hot air circulation oven to produce the second connection portion 4 and the extraction wiring 20. The obtained second connection portion 4 was 8 μm wide × 200 μm long. The sheet resistance of the Mo / Al / Mo film was 0.2Ω / □.

次に、ネガレジスト(JSR社製NN901)をスピン塗布し、ホットプレートにて100℃で5分間乾燥を行い、塗膜を乾燥させた。その後、光源として高圧水銀灯を用いて100mJ/cmで所望する開口部を有するフォトマスクを介して露光を実施した後、0.2重量%の炭酸水素ナトリウム水溶液にて、30秒間シャワー現像を実施した。水洗後、熱風循環式オーブンにて230℃で30分間加熱処理を実施して絶縁層5を形成した。絶縁層5は、第二の接続部4の有効部分のみを覆うように、幅60μm×長さ120μmの大きさとした。 Next, a negative resist (NN901 manufactured by JSR) was applied by spin coating, and dried at 100 ° C. for 5 minutes on a hot plate to dry the coating film. After that, exposure was performed through a photomask having a desired opening at 100 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp as a light source, and then shower development was performed for 30 seconds with a 0.2 wt% aqueous sodium bicarbonate solution. did. After washing with water, heat treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes in a hot air circulation oven to form the insulating layer 5. The insulating layer 5 has a width of 60 μm × length of 120 μm so as to cover only the effective portion of the second connection portion 4.

続いて、スパッタリング装置により膜厚30nmでITO膜を成膜し、ポジレジスト(ローム・アンド・ハース社製LC100−10cp)をスピン塗布し、ホットプレートにて100℃で5分間乾燥を行い、塗膜を乾燥させた。その後、光源として高圧水銀灯を用いて100mJ/cm2で所望する開口部を有するフォトマスクを介して露光を実施した後、2.3重量%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液にて、23℃で60秒間シャワー現像を実施した。水洗後、シュウ酸からなるエッチング液(瑞穂化学工業社製ITOエッチング液)を用いてウェットエッチングを行い、2%水酸化カリウムのレジスト剥離液を用いてレジスト除去した後、熱風循環式オーブンにて230℃で30分間加熱処理を実施して第一の透明電極1、第二の透明電極2、および第一の接続部3を形成した。ITO膜のシート抵抗は100Ω/□であった。 Subsequently, an ITO film having a film thickness of 30 nm is formed by a sputtering apparatus, a positive resist (LC100-10cp manufactured by Rohm and Haas) is spin-coated, and dried at 100 ° C. for 5 minutes on a hot plate. The membrane was dried. Thereafter, exposure was performed through a photomask having a desired opening at 100 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp as a light source, and then 60% at 23 ° C. with a 2.3 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution. Shower development was performed for 2 seconds. After washing with water, wet etching is performed using an etching solution composed of oxalic acid (ITO etching solution manufactured by Mizuho Chemical Co., Ltd.), and the resist is removed using a 2% potassium hydroxide resist stripping solution. A heat treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes to form the first transparent electrode 1, the second transparent electrode 2, and the first connection portion 3. The sheet resistance of the ITO film was 100Ω / □.

さらに、ネガレジスト(JSR社製NN901)をスピン塗布し、ホットプレートにて100℃で5分間乾燥を行い、塗膜を乾燥させた。その後、光源として高圧水銀灯を用いて100mJ/cmで所望する開口部を有するフォトマスクを介して露光を実施した後、0.2重量%の炭酸水素ナトリウム水溶液にて、30秒間シャワー現像を実施した。水洗後、熱風循環式オーブンにて230℃で30分間加熱処理を実施して保護層6を形成して、静電容量式タッチパネル基板1を得た。絶縁層5は、タッチパネル基板のガラス端部から内側2mmの、取出配線20と制御回路と繋がる接続部位を除く領域全面を覆うように形成して、タッチパネル基板1を得た。 Further, a negative resist (NN901 manufactured by JSR) was applied by spin coating, dried on a hot plate at 100 ° C. for 5 minutes, and the coating film was dried. After that, exposure was performed through a photomask having a desired opening at 100 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp as a light source, and then shower development was performed for 30 seconds with a 0.2 wt% aqueous sodium bicarbonate solution. did. After washing with water, heat treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes in a hot air circulation oven to form the protective layer 6, and the capacitive touch panel substrate 1 was obtained. The insulating layer 5 was formed so as to cover the entire region 2 mm inside from the glass edge of the touch panel substrate, excluding the connection part connected to the extraction wiring 20 and the control circuit, and the touch panel substrate 1 was obtained.

[純水接触角評価]
ガラス基板上に、紫外線硬化型有機系コーティング組成物1〜14をそれぞれ、スピンコート法により塗布し、ホットプレートにて100℃で5分間乾燥を行い、塗膜を乾燥させた。その後、光源として高圧水銀灯を用いて100mJ/cmで露光を実施した後、0.2重量%の炭酸水素ナトリウム水溶液にて、30秒間シャワー現像を実施した。水洗後、熱風循環式オーブンにて230℃で30分間加熱処理を実施して、膜厚2.3μmの塗布膜を形成した。作製した評価用基板の常温での純水接触角を、協和界面科学株式会社製接触角測定装置CA−VE型にて測定した。測定は、JIS R3257の6に規定される静滴法で実施し、接触角を得た。結果を表2に示す。
[塗膜表面フッ素元素量の測定]
塗膜表面のフッ素/炭素元素比率をX線光電子分光分析装置ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)AXIS−HS(島津製作所/Kratos社製)により測定した。
[Evaluation of pure water contact angle]
On the glass substrate, each of the ultraviolet curable organic coating compositions 1 to 14 was applied by a spin coating method, dried on a hot plate at 100 ° C. for 5 minutes, and the coating film was dried. Thereafter, exposure was performed at 100 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp as a light source, and then shower development was performed with a 0.2 wt% sodium hydrogen carbonate aqueous solution for 30 seconds. After washing with water, heat treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes in a hot air circulation oven to form a coating film having a film thickness of 2.3 μm. The pure water contact angle at room temperature of the prepared evaluation substrate was measured with a contact angle measuring device CA-VE type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. The measurement was carried out by the sessile drop method specified in 6 of JIS R3257, and the contact angle was obtained. The results are shown in Table 2.
[Measurement of amount of fluorine element on coating film surface]
The fluorine / carbon element ratio on the surface of the coating film was measured with an X-ray photoelectron spectroscopy analyzer ESCA (Electron Spectroscopic for Chemical Analysis) AXIS-HS (Shimadzu Corporation / Kratos).

[粘着シート剥離性評価]
ガラス基板上に、紫外線硬化型有機系コーティング組成物1〜14をそれぞれ、スピンコート法により塗布し、ホットプレートにて100℃で5分間乾燥を行い、塗膜を乾燥させた。その後、光源として高圧水銀灯を用いて100mJ/cmで露光を実施した後、0.2重量%の炭酸水素ナトリウム水溶液にて、30秒間シャワー現像を実施した。水洗後、熱風循環式オーブンにて230℃で30分間加熱処理を実施して、膜厚2.3μmの塗布膜を形成した。一方、他のガラス基板上に、偏光板(商品名「SEG1425DU」日東電工社製)を貼り合わせ、オートクレーブで、50℃且つ5気圧で15分処理した。さらに、紫外線硬化型有機系コーティング組成物1〜14の塗布膜が形成されたガラス基板の塗布膜側に、粘着シートとして、LUCIACS CR9707(日東電工社製)を貼り、さらにその粘着シートの粘着面側に、偏光板を貼り合せたガラス基板を貼り合わせ、オートクレーブで、50℃且つ5気圧で15分処理し積層体を得た。得られた積層体を80℃の温水に48時間浸漬し、積層体を手で剥離した。手で積層体を剥離した後の紫外線硬化型有機系コーティング組成物の塗布膜面に、粘着剤の残りがあるかどうかの評価を行なった。積層体から紫外線硬化型有機系コーティング組成物の塗布膜のガラス基板を剥離できない場合を不可(×)、積層体から紫外線硬化型有機系コーティング組成物の塗布膜のガラス基板を剥離できるが糊がガラス面に残っている場合を可(△)、積層体から紫外線硬化型有機系コーティング組成物の塗布膜のガラス基板を剥離でき、かつ糊がガラス面に残っていない場合を良好(○)、80℃の温水浸漬中に積層体から紫外線硬化型有機系コーティング組成物の塗布膜のガラス基板が自然に剥がれる場合をさらに良好(◎)、と評価した。結果を表2に示す。
[Adhesive sheet peelability evaluation]
On the glass substrate, each of the ultraviolet curable organic coating compositions 1 to 14 was applied by a spin coating method, dried on a hot plate at 100 ° C. for 5 minutes, and the coating film was dried. Thereafter, exposure was performed at 100 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp as a light source, and then shower development was performed with a 0.2 wt% sodium hydrogen carbonate aqueous solution for 30 seconds. After washing with water, heat treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes in a hot air circulation oven to form a coating film having a film thickness of 2.3 μm. On the other hand, a polarizing plate (trade name “SEG1425DU”, manufactured by Nitto Denko Corporation) was bonded onto another glass substrate, and treated with an autoclave at 50 ° C. and 5 atm for 15 minutes. Furthermore, LUCIACS CR9707 (manufactured by Nitto Denko Corporation) is attached as an adhesive sheet to the coating film side of the glass substrate on which the coating films of the ultraviolet curable organic coating compositions 1 to 14 are formed, and the adhesive surface of the adhesive sheet The glass substrate on which the polarizing plate was bonded was bonded to the side, and the laminate was obtained by an autoclave treatment at 50 ° C. and 5 atm for 15 minutes. The obtained laminate was immersed in warm water at 80 ° C. for 48 hours, and the laminate was peeled off by hand. It was evaluated whether or not the adhesive remains on the coating film surface of the ultraviolet curable organic coating composition after the laminate was peeled by hand. The case where the glass substrate of the coating film of the UV curable organic coating composition cannot be peeled from the laminate is not possible (×), and the glass substrate of the coating film of the UV curable organic coating composition can be peeled from the laminate, but the paste is The case where it remains on the glass surface is acceptable (△), the case where the glass substrate of the coating film of the ultraviolet curable organic coating composition can be peeled from the laminate, and the case where the glue does not remain on the glass surface is good (◯). The case where the glass substrate of the coating film of the ultraviolet curable organic coating composition was naturally peeled off from the laminate during warm water immersion at 80 ° C. was evaluated as better ((). The results are shown in Table 2.

(実施例2〜9、比較例1〜5)
紫外線硬化型有機系コーティング組成物1を、2〜14に変えた以外は実施例1と同様にして、タッチパネル基板2〜14を得て、同様の評価を実施した。
紫外線硬化型有機系コーティング組成物と物性評価結果を表1に、剥離性評価結果を表2に示す。
(Examples 2-9, Comparative Examples 1-5)
Touch panel substrates 2 to 14 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the ultraviolet curable organic coating composition 1 was changed to 2 to 14, and the same evaluation was performed.
The ultraviolet curable organic coating composition and physical property evaluation results are shown in Table 1, and the peelability evaluation results are shown in Table 2.

Figure 2013205991
Figure 2013205991

Figure 2013205991
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本実施形態における実施例1〜9より、紫外線硬化型有機系コーティング組成物の塗布膜の接触角が65度以上85度以下の範囲内であり、かつ、塗布膜表面のフッ素元素の含有量が塗布膜表面の炭素元素量を100として0.1以上30.0以下の範囲内である場合に、粘着シートの剥離性が良好であった。以上、比較例1〜5との比較より、本発明の効果が実証された。   From Examples 1 to 9 in this embodiment, the contact angle of the coating film of the ultraviolet curable organic coating composition is in the range of 65 degrees to 85 degrees, and the fluorine element content on the coating film surface is The peelability of the pressure-sensitive adhesive sheet was good when the amount of carbon element on the coating film surface was 100 and within the range of 0.1 to 30.0. As mentioned above, the effect of this invention was demonstrated by the comparison with Comparative Examples 1-5.

1 …第一の透明電極
2 …第二の透明電極
3 …第一の接続部
4 …第二の接続部
5 …絶縁層
6 …保護層
10…透明基材
20…取出配線
30…カバーガラス
31…光学調整層
40…タッチパネルセンサー
50…飛散防止フィルム
51…意匠(ベゼル)
60…ギャップ層
70…液晶表示装置
71…偏光板
72…カラーフィルタ
73…TFT基板
74…液晶
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... 1st transparent electrode 2 ... 2nd transparent electrode 3 ... 1st connection part 4 ... 2nd connection part 5 ... Insulating layer 6 ... Protective layer 10 ... Transparent base material 20 ... Extraction wiring 30 ... Cover glass 31 ... Optical adjustment layer 40 ... Touch panel sensor 50 ... Spattering prevention film 51 ... Design (bezel)
60 ... Gap layer 70 ... Liquid crystal display device 71 ... Polarizing plate 72 ... Color filter 73 ... TFT substrate 74 ... Liquid crystal

Claims (4)

(A)第一の透明電極と、(B)第二の透明電極と、(C)前記(A)第一の透明電極を結ぶ第一の接続部と、(D)前記(B)第二の透明電極を結ぶ第二の接続部と、(E)前記(C)第一の接続部と前記(D)第二の接続部の交差する間に形成された絶縁層と、(F)前記(A)第一の透明電極および前記(B)第二の透明電極に接続された取出配線と、(G)保護層と、を含んで構成される、透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板において、
前記(G)保護層と水との接触角は、65度以上85度以下の範囲内であり、
前記(G)保護層表面のフッ素元素の含有量は、前記(G)保護層表面の炭素元素量を100とした場合に、0.1以上30.0以下の範囲内であることを特徴とする透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板。
(A) 1st transparent electrode, (B) 2nd transparent electrode, (C) 1st connection part which ties said (A) 1st transparent electrode, (D) said (B) 2nd A second connecting portion connecting the transparent electrodes of (A), (E) the insulating layer formed between the (C) first connecting portion and the (D) second connecting portion, and (F) the above (A) The first transparent electrode and the (B) extraction wiring connected to the second transparent electrode, and (G) a protective layer, and the electrostatic formed on the transparent substrate. In capacitive touch panel substrates,
(G) The contact angle between the protective layer and water is in the range of 65 degrees to 85 degrees,
The content of the fluorine element on the surface of the protective layer (G) is in the range of 0.1 to 30.0 when the amount of carbon element on the surface of the protective layer (G) is 100. A capacitive touch panel substrate formed on a transparent substrate.
前記(G)保護層は、不飽和エチレン性二重結合を有するフッ素系添加剤を含有することを特徴とする請求項1に記載の透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板。   The capacitance type touch panel substrate formed on the transparent substrate according to claim 1, wherein the protective layer (G) contains a fluorine-based additive having an unsaturated ethylenic double bond. 前記透明基材は、カバーガラスと同一であることを特徴とする請求項1または2に記載の透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板。   The capacitive touch panel substrate formed on the transparent substrate according to claim 1, wherein the transparent substrate is the same as a cover glass. 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の透明基材上に形成された静電容量式タッチパネル基板を有することを特徴とする表示装置。   A display device comprising the capacitive touch panel substrate formed on the transparent base material according to claim 1.
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