JP2013191844A5 - - Google Patents

Description

（１）回転駆動源によって回転駆動される回転体と、上記回転体に設けられ、この回転体の回転軸方向に沿って所定間隔で離間対向して配置され第１の駆動手段によって接離する方向に駆動される一対の第１の可動支持体と、上記一対の第１の可動支持体の対向する面にそれぞれ設けられ、先端部によって上記基板の一方の面の所定方向の両端部を支持する第１の支持部材と、上記回転体に設けられ、上記回転体の回転軸方向に沿って所定間隔で離間対向し、かつ上記第１の可動支持体と干渉しない状態で配置されて第２の駆動手段によって接離する方向に駆動される一対の第２の可動支持体と、上記一対の第２の可動支持体の対向する面に上記回転軸方向にそれぞれ設けられ、一対の上記第２の可動支持体が接近方向に駆動されたときに先端部が上記第１の支持部材によって一方の面の所定方向の両端部が支持された上記基板の他方の面の上記所定方向の両端部に対向する第２の支持部材と、上記回転体に設けられ、上記回転体の回転軸方向に沿って所定間隔で離間対向し、かつ上記第１、第２の可動支持体と干渉しない状態で配置されて第３の駆動手段によって接離する方向に駆動される一対の第３の可動支持体と、上記一対の第３の可動支持体の対向する面にそれぞれ設けられ、一対の上記第３の可動支持体が互いに接近する方向に駆動されることで、上記回転駆動源によって上記回転体を１８０度回転させ上記第１の支持部材に支持された基板を反転させて上記第２の支持部材によって支持するときに上記基板の上記所定方向の両端部の外周面に接近する方向に移動して上記基板が上記第１、第２の支持部材の間でずれ動くのを阻止する抜出防止部材とを具備した。

（２）基板の一方の面の所定方向の両端部を、接離する方向に駆動可能に設けられた左右一対の第１の支持部材によって支持する工程と、上記一対の第１の支持部材によって一方の面の所定方向の両端部が支持された上記基板の他方の面の上記所定方向の両端部に、接離する方向に駆動可能に設けられた左右一対の第２の支持部材を対向位置させる工程と、上記基板の上記所定方向の両端部の外周面に向けて、上記基板が上記第１の支持部材と第２の支持部材の間でずれ動くのを防止する抜出防止部材を接近移動させる工程と、上記第１の支持部材、第２の支持部材及び上記抜出防止部材とともに上記基板を１８０度回転させてこの基板を反転させる工程とを具備した。

Claims (8)

1. 回転駆動源によって回転駆動される回転体と、
   上記回転体に設けられ、この回転体の回転軸方向に沿って所定間隔で離間対向して配置され第１の駆動手段によって接離する方向に駆動される一対の第１の可動支持体と、
   上記一対の第１の可動支持体の対向する面にそれぞれ設けられ、先端部によって上記基板の一方の面の所定方向の両端部を支持する第１の支持部材と、
   上記回転体に設けられ、上記回転体の回転軸方向に沿って所定間隔で離間対向し、かつ上記第１の可動支持体と干渉しない状態で配置されて第２の駆動手段によって接離する方向に駆動される一対の第２の可動支持体と、
   上記一対の第２の可動支持体の対向する面にそれぞれ設けられ、一対の上記第２の可動支持体が接近方向に駆動されたときに先端部が上記第１の支持部材によって一方の面の所定方向の両端部が支持された上記基板の他方の面の上記所定方向の両端部に対向する第２の支持部材と、
   上記回転体に設けられ、上記回転体の回転軸方向に沿って所定間隔で離間対向し、かつ上記第１、第２の可動支持体と干渉しない状態で配置されて第３の駆動手段によって接離する方向に駆動される一対の第３の可動支持体と、
   上記一対の第３の可動支持体の対向する面にそれぞれ設けられ、一対の上記第３の可動支持体が互いに接近する方向に駆動されることで、上記回転駆動源によって上記回転体を１８０度回転させ上記第１の支持部材に支持された基板を反転させて上記第２の支持部材によって支持するときに上記基板の上記所定方向の両端部の外周面に接近する方向に移動して上記基板が上記第１、第２の支持部材の間でずれ動くのを阻止する抜出防止部材と
   を具備したことを特徴とする基板の反転装置。
2. 上記抜出防止部材は、上記基板の上記所定方向の一端部と他端部との外周面に当接することで、上記基板が上記第１、第２の支持部材の間で上記基板がずれ動くのを阻止するともに、上記基板を上記回転体に対して位置決めすることを特徴とする請求項１記載の基板の反転装置。
3. 上記一対の第１の可動支持体、第２の可動支持体及び第３の可動支持体を、上記回転体に、この回転体の上記回転軸方向に沿って所定間隔で設けることで、上記回転体の上記回転軸方向と交差する方向の両側に上記第１の支持部材若しくは上記回転体が回転して下方に位置する上記第２の支持部材に上記基板を出し入れすることを可能とする開放部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の反転装置。
4. 上記回転体を回転させて上記第１の支持部材に支持された基板を上記第２の支持部材に支持された状態にしたとき、一対の上記第１の可動支持体を離れる方向に駆動して上記第１の支持部材を上記基板の一方の面の所定方向の両端部から退避させて上記基板を搬出可能とすることを特徴とする請求項１記載の基板の反転装置。
5. 上記第１の支持部材と上記第２の支持部材の先端部は、上記基板に縁部と線接触するよう先端部から基端部に向かって厚くなるテーパ面に形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の反転装置。
6. 上記第１の支持部材と上記第２の支持部材は、上記回転軸方向に対して直交する方向に所定間隔で、それぞれ複数に設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の反転装置。
7. 基板の一方の面の所定方向の両端部を、接離する方向に駆動可能に設けられた左右一対の第１の支持部材によって支持する工程と、
   上記一対の第１の支持部材によって一方の面の所定方向の両端部が支持された上記基板の他方の面の上記所定方向の両端部に、接離する方向に駆動可能に設けられた左右一対の第２の支持部材を対向位置させる工程と、
   上記基板の上記所定方向の両端部の外周面に向けて、上記基板が上記第１の支持部材と第２の支持部材の間でずれ動くのを防止する抜出防止部材を接近移動させる工程と、
   上記第１の支持部材、第２の支持部材及び上記抜出防止部材とともに上記基板を１８０度回転させてこの基板を反転させる工程と
   を具備したことを特徴とする基板の反転方法。
8. 基板の一方の面を処理してから、他方の面を処理する基板の処理装置であって、
   上記基板の一方の面を処理する第１の処理部と、
   一方の面が処理された基板を反転させる反転装置と、
   反転された基板の他方の面を処理する第２の処理部を具備し、
   上記反転装置は請求項１記載の構成であることを特徴とする基板の処理装置。