JP2013121189A5 - 駆動装置およびロボット - Google Patents
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- 複数の異なる方向に移動可能な可動部と、
互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、
前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする駆動装置。 - 請求項１に記載の駆動装置であって、
前記駆動回路を複数備えることを特徴とする駆動装置。 - 請求項１又は２に記載の駆動装置であって、
前記複数の圧電モーターの共振周波数の相互差は、各共振周波数の１０％以上であることを特徴とする駆動装置。 - 可動部と、
互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、
前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011266543A JP5903859B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | 電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011266543A JP5903859B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | 電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013121189A JP2013121189A (ja) | 2013-06-17 |
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| JP5903859B2 JP5903859B2 (ja) | 2016-04-13 |
Family
ID=48773615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011266543A Active JP5903859B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | 電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP5903859B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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2011
- 2011-12-06 JP JP2011266543A patent/JP5903859B2/ja active Active
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