JP2013076591A - Microchannel device and method for manufacturing the same - Google Patents

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Toru Yakabe
徹 矢ヶ部
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
住友ベークライト株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microchannel device in which a microchannel and a liquid reservoir as a reaction part are provided together and gas bubbles are not produced or not entrained in the liquid reservoir when a resin substrate obtained by injection molding is used as the microchannel device.SOLUTION: A microchannel device includes: a liquid introduction channel; a liquid reservoir; and a liquid discharge part. A joint part between the liquid introduction channel and the liquid reservoir of the liquid discharge part does not have the same height as that of the side surface of the liquid reservoir. The microchannel device is provided in which gas bubbles are not produced or not entrained in the liquid reservoir.

Description

本発明は、液体導入路、液体貯留部および液体排出部を有するマイクロ流路デバイス、及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid introduction path, a micro-channel device having a liquid reservoir and the liquid discharge portion, and a manufacturing method thereof.

近年、化学工業(特に、医薬品、試薬等の製造に係る医薬品工業)では、マイクロミキサーまたはマイクロリアクターと呼ばれる微小容器を用いた新しいマイクロ流路デバイスの開発が進められている。 Recently, chemical industry (especially pharmaceuticals, pharmaceutical industry of production of reagent, etc.), the development of a new microfluidic device using a micro vessel called micromixer or microreactor is underway. マイクロ流路デバイスには、複数本のマイクロチャネル(マイクロ流路と繋がる微小空間(マイクロキャビティ)が設けられており、マイクロチャネルを通して複数の流体を微小空間に合流することで、複数の流体を混合し、又は混合と共に化学反応を生じさせる。 The microchannel device, a plurality of microchannels (microscopic spaces connected with the microchannel (microcavity) is provided, by merging a plurality of fluid in the minute space through the microchannel, mixing a plurality of fluids and, or cause a chemical reaction with mixing.

このようなマイクロ流路デバイスは、ガラス製のものが主流である。 Such microfluidic device is a mainstream made of glass. ガラス基板でマイクロ分析チップを作成するためには、たとえば、基板に金属、フォトレジスト樹脂をコートし、マイクロチャネルのパターンを焼いた後にエッチング処理を行う方法がある。 To create a microanalysis chip with a glass substrate, for example, coated metal, a photoresist resin on the substrate, there is a method of performing etching after baking a pattern of microchannels. しかしガラスは大量生産に向かず非常に高コストであり、樹脂化が望まれている。 But glass is very costly not suitable for mass production, a resin is desired.

樹脂製のバイオチップやマイクロ分析チップは、種々の樹脂を用いて射出成形等の各種の成形方法で製造することが可能であり、効率よく経済的なチップ製造が可能となっていた(特許文献1参照)。 Plastic biochips and microanalysis chips, it is possible to manufacture a variety of molding methods such as injection molding using a variety of resins, efficient economical chip manufacturing has been a possible (JP reference 1).

しかしながら、流路サイズに比べて容量の大きい溶液反応部位を有するマイクロ流路チップにおいては、流路を介して流体を溶液反応部位に流し込むと、液体反応部に気泡が残留することがしばしば発生する。 However, in the micro-channel chip having a large solution reaction site volume than the flow path size, and pouring a fluid to the solution reaction site via the channel, it often occurs that air bubbles remaining in the liquid reaction unit .

特開2006−189292号公報 JP 2006-189292 JP

本発明の目的は、射出成形で得られる樹脂基板と電極部を有する樹脂基板をマイクロ流路デバイスとして用いる場合であって、樹脂基板であって、マイクロ流路と反応部である液体貯留部を併せ持ち、該液体貯留部に気泡を生じない、または巻き込まないマイクロ流路デバイスを提供することにある。 An object of the present invention, in the case of using a resin substrate having a resin substrate and the electrode portions obtained by injection molding as a micro-channel device, a resin substrate, a liquid reservoir is a reaction portion and the micro flow path combines, no bubbles in the liquid reservoir, or to provide a microfluidic device that does not get involved.

このような目的は、下記(1)〜(7)に記載の本発明により達成される。 Such objects are achieved by the present invention defined in the following (1) to (7).
(1)液体導入路と、液体貯留部と、液体排出部を有するマイクロ流路デバイスであって、 (1) a liquid introduction path, a liquid reservoir, a microfluidic device having a liquid discharge portion,
液体導入路および液体排出部の液体貯留部との接合部が、 Junction with the liquid introduction path and a liquid storing part of the liquid discharge portion,
液体貯留部の側面の同じ高さにないことを特徴とするマイクロ流路デバイス。 Microchannel device, characterized in that there at the same height of the side surface of the liquid storage portion.
(2)液体貯留部の液体導入路の接合部の位置が、液体排出部と液体貯留部の接合部の高さより低い位置にある(1)記載のマイクロ流路デバイス。 (2) the position of the joint portion of the liquid introduction path of the liquid storing portion is in a position lower than the height of the joint portion of the liquid discharge portion and the liquid reservoir (1) microfluidic device according.
(3)液体貯留部が、円柱、角柱形状である(1)または(2)記載のマイクロ流路デバイス。 (3) the liquid reservoir is a cylindrical, a prismatic shape (1) or (2) microfluidic device according.
(4)前記液体貯留部が親水化されている(1)ないし(3)いずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス。 (4) microfluidic device according to the to the liquid reservoir is (1) not been hydrophilized (3) any one.
(5)液体導入路、および液体排出部が溝構造である(1)ないし(4)いずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス。 (5) liquid introduction path, and the liquid discharge portion is a groove structure (1) to (4) microfluidic device according to any one.
(6)前記マイクロ流路デバイスが、プラスチック樹脂である(1)ないし(5)いずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス。 (6) The microchannel device is a plastic resin (1) to (5) microchannel device according to any one.
(7)(1)ないし(6)いずれか1項に記載のマイクロ流路デバイスにおいて、液体導入路と液体貯留部を設けた第一基板と、液体貯留部を設けた第二基板と、液体排出部と液体貯留部を設けた第三基板をどれか一つの基板のTg以上の温度で熱圧着する工程を有するマイクロ流路デバイスの製造方法。 In the microchannel device according to (7) (1) through (6) any one, a first substrate provided with a liquid introduction path and the liquid storage portion, a second substrate provided with a liquid reservoir, the liquid method for producing a microfluidic device comprising a step of thermocompression bonding at a temperature higher than Tg of any one substrate a third substrate having a discharge portion and the liquid storage portion.

本発明によれば、樹脂基板であって、マイクロ流路と反応部である液体貯留部を併せ持ち、該液体貯留部に気泡を生じない、または巻き込まないマイクロ流路デバイスを提供することができる。 According to the present invention, a resin substrate, it combines a liquid storage portion is the reaction unit with the microchannel may be provided in the liquid reservoir does not cause air bubbles, or the microfluidic device not involved.

マイクロ流路デバイスを説明する正面断面図である。 It is a front cross-sectional view illustrating a microfluidic device. 樹脂基板を説明する上面図である。 It is a top view illustrating a resin substrate. 液体貯留部と液体導入路、液体排出路の位置関係を表す断面図である。 Liquid storage portion and a liquid introduction path, a cross-sectional view showing the positional relationship of the liquid discharge passage. マイクロ流路デバイスの第一の作製方法を示した図である。 It is a diagram showing a first method for manufacturing a microfluidic device. マイクロ流路デバイスの第二の作製方法を示した図である。 It is a diagram illustrating a second method for manufacturing a microfluidic device. マイクロ流路デバイスの第三の作製方法を示した図である。 It is a diagram illustrating a third method for manufacturing a microfluidic device. マイクロ流路デバイスの第四の作製方法を示した図である。 It is a diagram illustrating a fourth method for manufacturing a microfluidic device.

以下、本発明のマイクロ流路デバイスの製造方法について説明する。 Hereinafter, a method for manufacturing the microchannel device of the present invention.
本発明のマイクロ流路デバイスは、液体導入路と、液体貯留部と、液体排出部を有するを有することを特徴とする。 Microchannel device of the present invention is characterized by having a liquid introduction path, a liquid reservoir, a liquid discharge portion.

以下、本発明のマイクロ流路デバイスの製造方法について詳細に説明する。 It will be described in detail a method for manufacturing the microchannel device of the present invention.

本発明のマイクロ流路デバイスでは、反応部位である液体貯留部に対して少なくとも1本の液体導入路が接続し、また少なくとも1本の液体排出路が接続しているマイクロ流路チップであって(図1、2)、液体導入路の接続部が、常に液体流出部の接続部より下方に存在することを特徴としている(図3)。 In the microchannel device of the present invention, at least one liquid introduction path connected to the liquid reservoir is a reaction site, also a micro-channel chip in which at least one liquid discharge path is connected (FIGS. 1 and 2), the connecting portion of the liquid introduction path has always characterized by the presence below the connection portion of the liquid outlet portion (FIG. 3).

本願発明の反応部位である液体貯留部は、液体導入路から流体を供給し、貯留部内に液体を溜め、反応等に用いるためのスペースである。 Liquid reservoir is a reaction site of the present invention, fluid is supplied from the liquid introduction path, the reservoir of liquid in the reservoir portion, a space for use in the reaction or the like. 液体貯留部の側面は、液体導入路、および液体排出路の流路方向に直角の断面の断面積に比べ大きくなっていることを特徴としている。 Side surface of the liquid reservoir is characterized in that is larger than the cross-sectional area of ​​the perpendicular cross-section a liquid introduction path, and the flow path direction of the liquid discharge passage. 従って、液体導入路から流体を導入すると徐々に液体貯留部に流体が溜まる構造となっている。 Accordingly, and it has a fluid buildup structure gradually liquid storage unit when introducing fluid from the liquid introduction path.

上本発明のマイクロ流路デバイスにおいて、液体貯留部の液体導入路の接合部の位置は、液体排出部と液体貯留部の接合部の高さより低い位置にある必要がある。 In the microchannel device of the Uehon invention, the position of the joint portion of the liquid introduction path of the liquid reservoir needs to positioned lower than the height of the joint portion of the liquid discharge portion and the liquid storage portion. 逆の場合、液体導入路から導入させた流体が液体貯留部を完全に満たす前に液体排出路に到達し、液体排出より上方に存在する気相が排出されないまま残留することになる。 In the opposite case, the fluid is introduced from the liquid introduction path has reached the delivery channel before completely fill the liquid storage portion, the gas phase present above the liquid discharged will remain without being discharged. こうした場合、液体貯留部内の流体量が一定せず、マイクロ流路デバイス間の反応や、測定値に大きな影響を与える。 In such cases, no constant fluid volume in the liquid storing section, gives a reaction or between the microfluidic device, a large effect on the measurements. そのために、液体貯留部の液体導入路の接合部の位置は、液体排出部と液体貯留部の接合部の高さより低い位置にある必要がある。 Therefore, the position of the joint portion of the liquid introduction path of the liquid reservoir needs to positioned lower than the height of the joint portion of the liquid discharge portion and the liquid storage portion.

上記のように液体導入路は液体貯留部の側面に接続する必要があるが、接続部位は液体貯留部側面の下方であることが望ましく、好ましくは液体貯留部側面高さの1/2以下の下方で、さらに好ましくは、側面高さの1/3以下の下方である。 Liquid introduction path as described above, it is necessary to connect the side surface of the liquid storage part, but that the connection part is below the liquid storage portion side is desirable, preferably below 1/2 of the liquid storage portion side height in the lower, more preferably 1/3 or less of the lower side height. あるいは、液体導入部の接続部位は液体貯留部底面部に接していても良い。 Alternatively, the connection portion of the liquid introduction portion may be in contact with the liquid storage portion bottom portion.

次に液体排出部の接続部位は、液体貯留部側面の上方であることが望ましく、好ましくは液体貯留部側面高さの1/2以上の上方で、さらに好ましくは、側面高さの2/3以上の上方である。 Then connecting portion of the liquid discharge portion is desirably above the liquid storage portion side, preferably at least 1/2 of the above liquid storage portion side height, more preferably, 2/3 of the side surface height more is an upper. あるいは、液体排出部の接続部位は液体貯留部天井部に接していても良い。 Alternatively, the connection portion of the liquid discharge portion may be in contact with the liquid storage portion ceiling.

液体導入路と液体排出路は、具体的には幅が1,000μm以下で、かつ深さが0.01〜0.5mmの溝構造であることが好ましい。 Liquid introduction path and the liquid discharge path is preferably specifically a width of less 1,000 .mu.m, and a depth of the groove structure of 0.01 to 0.5 mm. これにより、微小なサイズでの実験等が可能となる。 This allows experiments in a minute size.

一方、液体貯留部の側面は、液体導入路、および液体排出路の流路方向に垂直方法の断面の断面積に比べ大きくなっていることが必要である。 On the other hand, the side surface of the liquid storage portion, the liquid introduction path, and it is necessary to have greater than the cross-sectional area of ​​the cross section perpendicular way to the flow path direction of the liquid discharge passage. 具体的には、深さが0.1〜2.00mmであり、直径が1mm〜10mmの円柱、最大幅が1mm〜10mmの多角柱、又はそれらの組み合わせであることが望ましいが、これらに限定するものではない。 Specifically, the depth is 0.1~2.00Mm, cylinder of 1 mm to 10 mm in diameter, the maximum width is desirably a combination polygonal, or their 1 mm to 10 mm, limited to not intended to be.

また、本願発明のマイクロ流路デバイスの、液体導入路、液体貯留部ならびに液体排出路は、親水化処理が施されてい理うことが好ましい。 Further, the microchannel device of the present invention, a liquid introduction path, the liquid storing portion and the liquid discharge path is preferably intends management have hydrophilic treatment is performed. 親水化処理により、基材と流体の親和性が向上し、それにより基材表面と気体との親和性による気体の残留を排除することが可能となり、さらに目的に合致したマイクロ流路デバイスとなる。 The hydrophilic treatment improves the affinity between the substrate and the fluid, thereby it is possible to eliminate the residual gas by affinity between the substrate surface and the gas, a further microfluidic device that matches the purpose . 基材の流体の親和性は、流体物質の基材との接触角で表すことができ、例えば、水の接触角で40度以下の接触角であると親和性が高いと言える。 The affinity of the fluid of the substrate, can be represented by a contact angle with the substrate of the fluid material, for example, it can be said that the contact angle of 40 degrees or less at a contact angle of water with high affinity.

このマイクロ流路デバイスはプラスチック樹脂で構成されていることが好ましい。 The microchannel device may preferably be composed of a plastic resin. これは複雑な流路構造を構成し易いことと、大量に安価にマイクロ流路デバイスを供給することが可能だからでる。 This and it is easy to construct complex channel structure, out because it is possible to supply a large amount inexpensively microchannel device.

マイクロ流路デバイスを構成する樹脂としては、例えば高密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、各種環状ポリオレフィン、ポリメチルメタクリレート、ポリノルボルネン、ポリフェニレンオキサイド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリエステル、半硬化状態のフェノール樹脂、半硬化状態のエポキシ樹脂、テフロン(登録商標)、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル等が挙げられる。 The resin constituting the microchannel device, such as high density polyethylene, low density polyethylene, polypropylene, polystyrene, various cyclic polyolefins, polymethyl methacrylate, polynorbornene, polyphenylene oxide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonates, polyamides, polyimides , polyester, the semi-cured phenol resin, a semi-cured state epoxy resin, Teflon (registered trademark), polyvinylidene chloride, polyvinyl chloride and the like. これらの内、アクリル樹脂、飽和環状ポリオレフィン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリスチレンおよびポリエチレンテレフタレートの中から選ばれる1種以上が好ましい。 Of these, acrylic resins, saturated cyclic polyolefins, polymethyl methacrylate, polycarbonate, one or more selected from polystyrene and polyethylene terephthalate are preferred. これにより、マイクロ流路デバイスの透明性を向上することができる。 Thus, it is possible to improve the transparency of the microfluidic device.

マイクロ流路デバイスの外形形状は、ハンドリング、分析しやすい形状であればどのような形状であってもよい。 External shape of the microchannel device, handling may be any shape as long as analyzed easily shaped. 例えば、10mm角〜200mm角程度の大きさが好ましく、10mm角〜100mm角がより好ましい。 For example, preferably 10mm square ~200mm angle about the size, and more preferably 10mm square ~100mm angle. マイクロ流路デバイスの外形形状は、分析手法、分析装置に合わせれば良く、正方形、長方形、円形などの形状が挙げられる。 External shape of the microchannel device, analytical techniques may, combined in the analyzer, square, rectangular, and the shape of such as a circle.

本発明のマイクロ流路デバイスは、例えば以下の方法で作製することができる。 Microchannel device of the present invention, for example, can be prepared in the following manner.
(1)液体導入路と液体貯留部を設けた第一基板(2)液体貯留部を設けた第二基板(3)液体排出部と液体貯留部を設けた第三基板 (1) The third substrate provided with a second substrate (3) the liquid discharge portion and a liquid storage portion having a first substrate (2) a liquid reservoir provided with a liquid introduction path and the liquid storage portion

上記基板のどれか一つの基板のTg以上の温度で熱圧着することでマイクロデバイスを製造することができる。 It is possible to manufacture microdevices by thermocompression bonding with any one of a temperature higher than Tg of the substrate of the substrate.

第一のマイクロ流路デバイスの作製方法としては次の通りである。 As a manufacturing method of the first microchannel device is as follows.
(1)液体導入路と液体貯留部を設けた第一基板は、基板上に液体導入路を設けた基板であり、該液体導入路は切削加工してもよいし、金型による成形で作製しても良い。 (1) first substrate provided with a liquid introduction path and the liquid reservoir is a substrate provided with a liquid introduction path on a substrate, the liquid introduction path may be machined, prepared by molding using a mold it may be.

次に(2)液体貯留部を設けた第二基板は、基板上に液体貯留部となる孔を設けた基板であり。 Then (2) a second substrate having a liquid storage portion is located in the substrate having a hole serving as a liquid storage portion on the substrate. 該基板の厚みにより By the thickness of the substrate

次に(3)液体排出路と液体貯留部を設けた第三基板は、基板上に液体排出路を設けた基板であり、該液体導入路は切削加工してもよいし、金型による成形で作製しても良い。 Next (3) the third substrate provided with a liquid discharge passage and the liquid reservoir is a substrate provided with a liquid discharge passage on a substrate, the liquid introduction path may be machined, molded with a die in may be fabricated.
これらの3つの基板を重ねて接合することでマイクロ流路デバイスを得ることができる。 It can be obtained microchannel device by bonding overlapping these three substrates.

第二のマイクロ流路デバイスの作製方法としては。 As a manufacturing method of the second microfluidic device.
(1)液体導入路と液体貯留部を設けた第一基板(2)液体排出部と液体貯留部を設けた第二基板これらの2つの基板を重ねて接合することでマイクロ流路デバイスを得ることができる。 (1) obtaining a microfluidic device by bonding overlapping the second substrate These two substrates provided with a first substrate (2) liquid discharge portion and a liquid storage portion having a liquid introduction path and the liquid storage portion be able to.

第三のマイクロ流路デバイスの作製方法としては、 As a manufacturing method of the third microchannel device,
(1)液体導入路と液体潮流部を設けた第一基板(2)液体排出路を設けた第二基板 (1) the first substrate (2) provided with a liquid introduction path and the liquid tide portion second substrate provided with a liquid discharge passage

第四のマイクロ流路デバイスの作製方法としては、 As a manufacturing method of the fourth microchannel device,
(1)液体導入路設けた第一基板(2)液体排出路と液体潮流部を設けた第二基板これらの2つの基板を重ねて接合することでマイクロ流路デバイスを得ることができる。 (1) the first substrate (2) provided a liquid introduction path can be obtained microchannel device by bonding overlapping the second substrate of these two substrates provided with a liquid discharge passage and the liquid tidal portion. また、第三、第四のマイクロ流路デバイスの作製方法において、(1)と(2)の基板の間に、液体貯留部を持つ基板を挿入しても良い。 The third, in the manufacturing method of the fourth microchannel device, between the substrate (1) and (2) may be inserted a substrate having a liquid storage portion.

マイクロ流路デバイスにおいて基板を接合する方法としては、例えば熱圧着接合、接着剤接合、超音波接合等が挙げられる。 As a method of bonding the substrate in the microfluidic device, such as thermal compression bonding, adhesive bonding, ultrasonic bonding and the like. これらの中でも流路形状の安定性の面で熱溶着する方法が好ましい。 How to thermal welding in stability of surface of the flow channel shape Among these, preferred. 熱溶着の温度としては、どれか一つの基板のTg以上の温度で熱圧着することが好ましい。 The temperature of the thermal welding, it is preferable to thermocompression bonding at any one of a temperature higher than Tg of the substrate.

このようにして、本発明の製造方法により、マイクロ流路デバイスを得ることができる。 In this manner, by the manufacturing method of the present invention, it is possible to obtain a microchannel device.

なお、本発明のマイクロ流路デバイスの製造方法の説明については、上述した流路用溝1本について説明したが、本発明のマイクロ流路デバイスの製造方法は、これに限定されず、例えばY字状のような分岐を有する溝等を有する樹脂基板にも適用することができる。 Note that the description of the manufacturing method of the microchannel device of the present invention has been described flow path groove one described above, the manufacturing method of the microchannel device of the invention is not limited thereto, for example Y it can be applied to a resin substrate having a groove or the like having a shape such as a branch.

100 マイクロ流路デバイス 1 流体導入路 2 流体潮流部 3 流体排出路 4 第一のマイクロ流路デバイスの作製方法における第一基板 5 第一のマイクロ流路デバイスの作製方法における第二基板 6 第一のマイクロ流路デバイスの作製方法における第三基板 7 第二のマイクロ流路デバイスの作製方法における第一基板 8 第二のマイクロ流路デバイスの作製方法における第二基板 9 第三のマイクロ流路デバイスの作製方法における第一基板10 第三のマイクロ流路デバイスの作製方法における第二基板11 第四のマイクロ流路デバイスの作製方法における第一基板12 第四のマイクロ流路デバイスの作製方法における第二基板 100 microfluidic device 1 the fluid introduction path 2 fluid tidal portion 3 fluid discharge passage 4 first microchannel first substrate in the fabrication process of the device 5 the second substrate 6 in a manufacturing process of the first microchannel device first second substrate 9 third microchannel device in the third substrate 7 second first substrate 8 in the manufacturing method of the microchannel device of the second method for manufacturing a microfluidic device in a manufacturing method of the microfluidic device first in the first substrate 10 third second substrate 11 fourth first substrate 12 fourth method for manufacturing a microfluidic device in a manufacturing method of the microfluidic device in a manufacturing method of the microfluidic device in a manufacturing process of second substrate

Claims (7)

  1. 液体導入路と、液体貯留部と、液体排出部を有するマイクロ流路デバイスであって、 A liquid introduction path, a liquid reservoir, a microfluidic device having a liquid discharge portion,
    液体導入路および液体排出部の液体貯留部との接合部が、 Junction with the liquid introduction path and a liquid storing part of the liquid discharge portion,
    液体貯留部の側面の同じ高さにないことを特徴とするマイクロ流路デバイス。 Microchannel device, characterized in that there at the same height of the side surface of the liquid storage portion.
  2. 液体貯留部の液体導入路の接合部の位置が、液体排出部と液体貯留部の接合部の高さより低い位置にある請求項1記載のマイクロ流路デバイス。 Position of the joint portion of the liquid introduction path of the liquid storing portion is, the microfluidic device of claim 1, wherein in a position lower than the height of the joint portion of the liquid discharge portion and the liquid storage portion.
  3. 液体貯留部が、円柱、角柱形状である請求項1または2記載のマイクロ流路デバイス。 Liquid accumulating portion is cylindrical, the microchannel device of claim 1 or 2, wherein the prism shape.
  4. 前記液体貯留部が親水化されている請求項1ないし3いずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス。 Microchannel device according to claims 1 to 3 any one the liquid storing portion is hydrophilic.
  5. 液体導入路、および液体排出部が溝構造である請求項1ないし4いずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス。 Liquid introduction path, and microchannel device according to any one of claims 1 to 4 liquid discharge portion is a groove structure.
  6. 前記マイクロ流路デバイスが、プラスチック樹脂である請求項1ないし5いずれか1項にマイクロ流路デバイス。 The microchannel device, the microchannel device to any one of claims 1 to 5 is a plastic resin.
  7. 請求項1ないし6いずれか1項に記載の記載のマイクロ流路デバイスにおいて、液体導入路と液体貯留部を設けた第一基板と、液体貯留部を設けた第二基板と、液体排出部と液体貯留部を設けた第三基板をどれか一つの基板のTg以上の温度で熱圧着する工程を有するマイクロ流路デバイスの製造方法。 In the microchannel device according according to any one of claims 1 to 6, a first substrate provided with a liquid introduction path and the liquid storage portion, a second substrate provided with a liquid reservoir, and the liquid discharge portion method for producing a microfluidic device comprising a step of thermocompression bonding the third substrate having a liquid storage portion in any one of a temperature higher than Tg of the substrate.

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