JP2013071855A - 窒化アルミニウム種結晶の固定方法、台座−種結晶固定体、窒化アルミニウム単結晶の製造方法および窒化アルミニウム単結晶 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の窒化アルミニウム種結晶の固定方法は、窒化アルミニウム単結晶を成長させるための窒化アルミニウム種結晶を台座に固定する方法であって、タングステンまたはタンタルを含んでなる台座1の一面上に、融点1900℃以下で且つ加熱処理により前記台座と反応しうる金属材料からなる金属層2を形成する第1工程と、金属層2上に窒化アルミニウムの種結晶3を配置する第2工程と、台座1と金属層2と種結晶3とがこの順に積層された積層体5を加熱処理し、台座1上方に種結晶3を固定する第3工程と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
種結晶の固定は、特許文献1に記載のように、カーボン系などの接着剤で行う方法がよく採られている。
本発明の窒化アルミニウム種結晶の固定方法は、タングステンまたはタンタルを含んでなる台座の一面上に、融点1900℃以下で且つ加熱処理により前記台座と反応しうる金属材料からなる金属層と、窒化アルミニウムの種結晶を積層させて加熱処理を行う構成である。そのため、本発明の窒化アルミニウム種結晶の固定方法によれば、台座を構成するタングステンまたはタンタルと金属層を構成する金属材料とが反応して合金を形成し、この合金からなる接合層を介して、台座と窒化アルミニウム種結晶とが強固に接合される。また、接合層は、金属層を構成する金属材料と、台座を構成するタングステンまたはタンタルとが反応した合金からなるため、窒化アルミニウム単結晶成長時の高温条件化においても、接合層内に空隙が形成されることがなく、高品質の窒化アルミニウム単結晶を成長させることができる。
アルミニウムは融点以上の還元雰囲気下で、台座を構成するタングステン或いはタンタルと反応して合金を形成することができる。形成された合金(Al−W合金またはAl−Ta合金)は、窒化アルミニウム昇華法成長条件では液体にならないため、窒化アルミニウム種結晶に顕著な影響を及ぼさない。また、窒化アルミニウムのアルミニウムへの溶解度は、2500℃においても1wt%もない。そのため、第3工程でアルミニウムよりなる金属層を溶かして台座と反応させても、窒化アルミニウム種結晶は極僅かしかAlに溶けず、形状や品質を損ねることはない。以上の観点から、金属層はアルミニウムを含むことが特に好ましい。
この場合、金属層の厚さを前記範囲とすることにより、より密着性良好に台座に窒化アルミニウム種結晶を固定できる。
この場合、窒化アルミニウム種結晶が昇華することを抑止しつつ、金属層と台座を構成するタングステンまたはタンタルとを反応させることができ、さらに密着性良好に台座に窒化アルミニウム種結晶を固定できる。
本発明の台座−種結晶固定体において、台座と種結晶は、上記金属層を構成する金属材料と、台座を構成するタングステンまたはタンタルとが反応した合金を含んでなる接合層を介して固定されている。そのため、窒化アルミニウム単結晶成長時の高温条件化においても、接合層内に空隙が形成されることがなく、高品質の窒化アルミニウム単結晶を成長させることができる。
本発明の窒化アルミニウム単結晶の製造方法は、上記本発明の窒化アルミニウム種結晶の固定方法により台座に固定された種結晶を用いる構成である。台座と種結晶は、金属層を構成する金属材料と、台座を構成するタングステンまたはタンタルとが反応した合金を介して固定されているため、窒化アルミニウム単結晶成長時の高温条件化においても、この合金(接合層)内に空隙が形成されることがなく、高品質の窒化アルミニウム単結晶を成長させることができる。
また、本発明は、上記本発明の窒化アルミニウム単結晶の製造方法を用いて得られる窒化アルミニウム単結晶を提供する。
[窒化アルミニウム種結晶の固定方法]
本発明の窒化アルミニウム種結晶の固定方法は、窒化アルミニウム単結晶を成長させるための窒化アルミニウム種結晶を台座に固定する方法であって、
タングステンまたはタンタルを含んでなる台座の一面上に、融点1900℃以下で且つ加熱処理により前記台座と反応しうる金属材料からなる金属層を形成する第1工程と、
前記金属層上に窒化アルミニウムの種結晶を配置する第2工程と、
前記台座と前記金属層と前記種結晶とがこの順に積層された積層体を加熱処理し、前記台座上方に前記種結晶を固定する第3工程と、を備えることを特徴とする。
(第1工程)
第1工程では、まず、タングステンまたはタンタルを含んでなる台座1を準備する。タングステンおよびタンタルは、従来、種結晶固定用の台座として使用されている黒鉛よりも耐食性が高く、融点も高い(タングステンの融点:約3400℃、タンタルの融点:約3000℃)ため、台座1の材質として好適である。
台座1は、タングステンまたはタンタルを含む金属材料であれば好適であるが、中でも、タングステンまたはタンタルのいずれか一種から構成されることが特に好ましい。
台座1の形状は、特に限定されず適宜調整可能である。図1に示す例では、円盤状の台座1は、窒化アルミニウム種結晶3を固定する面側の中央部1aが、種結晶3の形状に合わせて円柱状に突設されている。しかし、本発明に適用可能な台座1は、種結晶3を固定する面側の中央部が突設されていなくてもよく、また、円盤状以外に、矩形状、多角形状、不定形状のいずれでもよい。
金属層2は、融点1900℃以下で且つ後述する第3工程の加熱処理により、台座11を構成するタングステンまたはタンタルと反応し、合金(接合層)を形成することができる金属材料から形成されている。
窒化アルミニウムは1900℃を超えると昇華しやすくなる傾向があるため、金属層2の材質は融点が1900℃以下の金属材料とする必要がある。金属層2を構成する金属材料の融点は、より好ましくは1800℃以下である。
次に、図1(b)に示すように、台座1上に形成された金属層2の上に、窒化アルミニウム種結晶3を配置する。
窒化アルミニウム種結晶3の寸法および形状は特に限定されず、例えば、板状または円板状である。
第3工程では、まず、図1(c)に示すように、第2工程で台座1上に金属層2を介して窒化アルミニウム単結晶3を積層した積層体の単結晶3の上に、加圧部材4を載置する。
加圧部材4は本工程における加熱処理により溶融せず、また、窒化アルミニウム単結晶3と反応しないものが好ましく、例えば、タングステン、タンタル、ニオブ、モリブデン、レニウム、黒鉛などが挙げられる。
加圧部材4の重量は、加熱処理中に窒化アルミニウム種結晶3の位置がずれることを抑制できればよく、例えば、0.5kPa〜30kPaの範囲の圧力を加えられる重量とすることができる。
加圧部材4の寸法および形状は特に限定されないが、円柱状が好ましい。
図2は、本実施形態の窒化アルミニウム種結晶の固定方法の第3工程における加熱処理に用いる装置の一例を示す断面模式図である。図2に示す加熱処理装置20は、内部に積層体5を収容する空間を備えたるつぼ11と、るつぼ11の外周を覆う断熱材12と、るつぼ11と断熱材12の外側に設けられたるつぼ11を加熱するための加熱手段15と、を備えている。断熱材12には、るつぼ11の上部側および下部側にそれぞれ1箇所づつ孔12a、12bが設けられており、この孔12aを介してるつぼ11の上部温度を監視するための放射温度計14がるつぼ11および断熱材12の上部に設けられており、孔12bを介してるつぼ11の下部温度を監視するための放射温度計15がるつぼ11および断熱材12の下部に設けられている。
るつぼ11の材質としては、黒鉛、タングステン、レニウム、タンタルが挙げられる。
加熱手段15は、るつぼ11および断熱材12の周囲に螺旋状に巻かれた高周波コイルであり、この高周波コイルに高周波電流を印加することで誘導加熱によりるつぼ11を発熱させる。
なお、加熱手段15としては、誘導加熱による高周波コイルに限定されず、抵抗加熱によりるつぼ11を発熱させることができるものでもよい。
るつぼ11内に積層体5を配置した後、るつぼ11を収容している収容容器(図示略)に接続された減圧装置を操作し、さらに、ガス供給装置を操作して収容容器内にアルゴンなどの不活性ガスを供給し、還元雰囲気とする。加熱処理時のるつぼ11および収容容器内の圧力は、例えば、1〜760Torr(1.33×102〜10.13×104Pa)に設定する。
加熱処理の温度は、金属層2を構成する金属材料の融点以上、且つ、窒化アルミニウム単結晶3が著しく昇華する温度以下で行う必要がある。加熱処理の温度は、2000℃未満が好ましく、1900℃以下がより好ましく、1800℃以下がさらに好ましい。また、加熱処理の温度の下限値は、金属層2を構成する金属材料の融点により適宜決定される。
加熱処理後、固定部材4を取り除くことにより、図2(d)に示すように、台座1と窒化アルミニウム種結晶3とが接合層7により強固に接合された台座−種結晶固定体10を得ることができる。
以上の工程により、窒化アルミニウム種結晶3を台座1に固定することができる。
本発明の窒化アルミニウム単結晶の製造方法は、上記本発明の窒化アルミニウム種結晶の固定方法により台座に固定された種結晶を用い、この種結晶上に窒化アルミニウム原料からの昇華ガスを供給し、種結晶上に窒化アルミニウム単結晶を成長させることを特徴とする。
また、台座−種結晶固定体10の台座1は耐食性の高いタングステンまたはタンタルからなるため、窒化アルミニウムの昇華ガスによる腐食を受けない。
さらに、台座−種結晶固定体10の接合層7は、金属層2を構成する金属材料と、台座1を構成するタングステンまたはタンタルとが反応した合金からなる。タングステンおよびタンタルは融点が高く(タングステンの融点:約3400℃、タンタルの融点:約3000℃)、これらの合金である接合層7の融点も、約3000℃近くであり、昇華法による窒化アルミニウム単結晶成長条件(通常、圧力100〜760Torr、成長温度1700〜2200℃)において、窒化アルミニウム種結晶3および台座1に影響を及ぼさず、また、窒化アルミニウムの昇華ガスによる腐食を受けない。
外側るつぼ11の材質としては、黒鉛、タングステン、レニウム、タンタルが挙げられる。
なお、窒化アルミニウム単結晶成長時は、外側るつぼ22の下部温度(原料温度)は、外側るつぼ22の上部温度(結晶成長部温度)よりも高温となるように設定する。
結晶成長は、前述の設定温度まで加熱した後に内側るつぼ21、外側るつぼ22および台座−種結晶固定体10を収容した収容容器内を減圧することで開始され、100〜760Torr(1.33×104〜10.13×104Pa)に定圧保持することで行われる。
本実施形態の製造方法により得られる窒化アルミニウム単結晶は、優れた品質を有する。
本実施形態の製造方法により得られる窒化アルミニウム単結晶は、X線回折装置を用いて(0002)ロッキングカーブを測定した場合、得られるロッキングカーブの半値幅FWHMが100arcsec以下となり、結晶配向性が優れている。
図1に示す形状のタングステン製の台座の上に、厚さ10μmの円形のアルミニウム製シート(直径は窒化アルミニウム種結晶と同一)を載せ、その上に、円板状の窒化アルミニウム種結晶を置いた。次に、図1(c)に示すように、タングステン製の固定部材を載せて積層体とした。固定部材の重量は圧力が2kPaになるようにした。
次に、上記積層体を、図2に示す装置のるつぼ(黒鉛製)内に設置し、真空排気後、圧力760Torr(10.13×104Pa)のアルゴン雰囲気下で、表1に示す温度で加熱し、5時間保持した。
以上の工程により、窒化アルミニウム種結晶と台座がAl−W合金を介して接合一体化した台座−種結晶固定体を得た。
加熱処理温度800〜1800℃では、窒化アルミニウム種結晶とタングステン製の台座との界面にAl−W合金が形成されており、良好な密着性を示していた。
また、加熱処理温度2000℃では、窒化アルミニウム種結晶とタングステン製の台座は密着していたものの、窒化アルミニウム種結晶表面が昇華して表面の凹凸が顕著となっており、種結晶としての利用は困難であった。
図1に示す形状のタングステン製の台座の上に、表2に示す厚さの円形のアルミニウム製シート(直径は窒化アルミニウム種結晶と同一)を載せ、その上に、円板状の窒化アルミニウム種結晶を置いた。次に、図1(c)に示すように、タングステン製の固定部材を載せて積層体とした。固定部材の重量は圧力が2kPaになるようにした。
次に、上記積層体を、図2に示す装置のるつぼ(黒鉛製)内に設置し、真空排気後、圧力760Torr(10.13×104Pa)のアルゴン雰囲気下で、1200℃で加熱し、5時間保持した。
以上の工程により、窒化アルミニウム種結晶と台座がAl−W合金を介して接合一体化した台座−種結晶固定体を得た。
表2のNo.1〜5の台座−種結晶固定体を用い、図3に示す製造装置により窒化アルミニウム単結晶成長を行った。図3に示す製造装置において、内側るつぼとして炭化タンタル製のるつぼを使用し、外側るつぼとして黒鉛製のるつぼを使用した。窒素化アルミニウム単結晶成長は、表3に示す条件で行った。
得られた窒化アルミニウム種結晶の断面を目視で観察した結果を表2に併記した。
なお、表2に示す「評価」は、加熱処理後の状態が良好であり、且つ、単結晶が孔なく成長していた場合のみ「○」と判定し、それ以外の場合は「×」と判定した。
厚さ2〜200mmのアルミニウム製シートを用いて固定したNo.2〜5の台座−単結晶固定体を使用して単結晶成長を行った場合、成長した窒化アルミニウム単結晶中に孔は存在せず、良好な品質の単結晶が得られた。目視で断面観察を行ったところ、台座と窒化アルミニウム種結晶との間のAl−W合金(接合層)には、空隙が存在していなかった。
Claims (7)
- 窒化アルミニウム単結晶を成長させるための窒化アルミニウム種結晶を台座に固定する方法であって、
タングステンまたはタンタルを含んでなる台座の一面上に、融点1900℃以下で且つ加熱処理により前記台座と反応しうる金属材料からなる金属層を形成する第1工程と、
前記金属層上に窒化アルミニウムの種結晶を配置する第2工程と、
前記台座と前記金属層と前記種結晶とがこの順に積層された積層体を加熱処理し、前記台座上方に前記種結晶を固定する第3工程と、
を備えることを特徴とする窒化アルミニウム種結晶の固定方法。 - 前記金属層が、アルミニウムを含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化アルミニウム種結晶の固定方法。
- 前記金属層の厚さが、2μm以上200μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化アルミニウム種結晶の固定方法。
- 前記第3工程における加熱処理を、800℃以上1800℃以下で行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の窒化アルミニウム種結晶の固定方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の窒化アルミニウム種結晶の固定方法を用いて得られ、
前記台座上に、接合層を介して前記窒化アルミニウム種結晶が固定された台座−種結晶固定体であって、
前記接合層が、前記金属層を構成する金属材料と、前記台座に含まれるタングステンまたはタンタルとが反応した合金を含んでなることを特徴とする台座−種結晶固定体。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の窒化アルミニウム種結晶の固定方法により台座に固定された種結晶を用い、前記種結晶上に窒化アルミニウム原料からの昇華ガスを供給し、前記種結晶上に窒化アルミニウム単結晶を成長させることを特徴とする窒化アルミニウム単結晶の製造方法。
- 請求項6に記載の製造方法を用いて得られる窒化アルミニウム単結晶。
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