JP2013036849A - Equivalent circuit analyzing apparatus and equivalent circuit analyzing method - Google Patents

Equivalent circuit analyzing apparatus and equivalent circuit analyzing method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an equivalent circuit analyzing apparatus that, when there is an error in any element constant of an equivalent circuit estimated from the frequency characteristic of a device under test (DUR), does not require the measuring person to judge which element constant is to be changed and how in order to eliminate this error, and enables the person to obtain accurate element constant by simple operation.SOLUTION: An equivalent circuit analyzing apparatus 1 comprises a touch panel 10; a measuring unit 2 that measures the frequency characteristic of the complex impedance of a DUT 90 and causes the touch panel 10 to display the characteristic in a graph; an estimating unit 3 that estimates each element constant of the equivalent circuit on the basis of the frequency characteristic of the DUT 90; a theoretical characteristic calculating unit 5 that calculates the frequency characteristic of the equivalent circuit and causes its graph and each element constant to be displayed; and an element constant change processing unit 6 that, after touching the pertinent region of the graph of the equivalent circuit displayed on the touch panel 10, matches that touch position to a shifting operation accomplished on the touch panel and thereby changes the element constant of the equivalent circuit.

Description

本発明は、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定し、この周波数特性から、電気的な等価回路の素子定数を推定する等価回路解析装置及び方法に関するものである。   The present invention relates to an equivalent circuit analysis apparatus and method for measuring a frequency characteristic of a complex impedance of a measurement object and estimating an element constant of an electrical equivalent circuit from the frequency characteristic.

抵抗、コンデンサ、コイル、ダイオード、トランジスタ、一次・二次電池、太陽電池、フィルタなどの電気的な部品を測定対象物(以下、DUTともいう)として、そこに周波数を掃引させつつ測定用信号電圧を印加して、その電圧及び流れた電流から、複素インピーダンスの周波数特性を測定し、測定した周波数特性を表示パネルにグラフで表示するインピーダンス測定装置が知られている。このようなインピーダンス測定装置の中には、測定した複素インピーダンスの周波数特性から、測定対象物の電気的な等価回路の素子定数を推定する等価回路解析機能を有しているものがある。   Electrical components such as resistors, capacitors, coils, diodes, transistors, primary / secondary batteries, solar cells, and filters are used as measurement objects (hereinafter also referred to as DUTs), and the signal voltage for measurement is swept through the frequency. There is known an impedance measuring apparatus that measures the frequency characteristic of complex impedance from the voltage and the flowing current, and displays the measured frequency characteristic in a graph on a display panel. Some of these impedance measuring apparatuses have an equivalent circuit analysis function for estimating an element constant of an electrical equivalent circuit of a measurement object from the frequency characteristics of the measured complex impedance.

例えば、特許文献1には、複素インピーダンスの周波数特性を測定し、モンテカルロ法により評価関数が最小になる等価回路の素子定数を演算し、この演算した素子定数を局所探索法の開始値として評価関数が極小値になる素子定数を演算して、さらにこれら演算を所定回数繰り返し行って素子定数を求める等価回路解析方法が記載されている。   For example, in Patent Document 1, frequency characteristics of a complex impedance are measured, an element constant of an equivalent circuit that minimizes an evaluation function is calculated by a Monte Carlo method, and the calculated function constant is used as an evaluation function as a start value of a local search method. Describes an equivalent circuit analysis method for calculating an element constant at which the element constant becomes a minimum value and further repeating these calculations a predetermined number of times to obtain the element constant.

しかしながら、どのような推定方法を用いたとしても、素子定数の推定結果に誤差が生じてしまう場合がある。そのため、推定結果に誤差があるか否かを測定者が判断可能なように、推定した素子定数で等価回路の理論的な周波数特性を演算し、得られた理論的な周波数特性のグラフを、DUTの測定結果のグラフと共に表示パネルに表示させることが考えられる。測定者は、両グラフを比較して、両グラフ間にほとんど差が無ければ推定された素子定数はDUTを正しく(よく近似して)表しており、一部でも大きな差があれば素子定数はDUTを正しく表していないと判断する。測定者は、両グラフ間に一部でも差がある場合、推定された素子定数の値を手動で適宜変更(調整)して、装置に等価回路の理論的な周波数特性のグラフを再度表示させ、測定結果のグラフと一致させるようにすることで、誤差の少ない素子定数を得ることができる。   However, no matter what estimation method is used, an error may occur in the estimation result of the element constant. Therefore, the theoretical frequency characteristic of the equivalent circuit is calculated with the estimated element constant so that the measurer can determine whether there is an error in the estimation result, and the graph of the theoretical frequency characteristic obtained is It is conceivable to display on the display panel together with the graph of the DUT measurement result. The measurer compares both graphs, and if there is almost no difference between the two graphs, the estimated element constant correctly represents the DUT. It is determined that the DUT is not correctly represented. If there is any difference between the two graphs, the measurer manually changes (adjusts) the estimated value of the element constant manually, and causes the device to display the graph of the theoretical frequency characteristics of the equivalent circuit again. By making it coincide with the measurement result graph, it is possible to obtain an element constant with less error.

しかしながら、DUTの等価回路は、各々1つ又は複数の抵抗、コンデンサ、コイルといった素子が組み合わされて構成されている。そのため、測定者は、何れの素子定数の値をどのように変更すればよいか判断することが難しいという問題がある。   However, the equivalent circuit of the DUT is configured by combining elements such as one or more resistors, capacitors, and coils. Therefore, there is a problem that it is difficult for the measurer to determine which element constant value should be changed.

特開2010−249749号公報JP 2010-249749 A

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性から推定した等価回路の素子定数に誤差があったときに、この誤差を無くすためにいずれの素子定数をどのように変化させればよいかということを測定者が判断する必要が無く、簡便な操作で正確な素子定数を得ることができる等価回路解析装置及び等価回路解析方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and when there is an error in the element constant of the equivalent circuit estimated from the frequency characteristics of the complex impedance of the measurement object, any element is used to eliminate this error. To provide an equivalent circuit analysis apparatus and an equivalent circuit analysis method capable of obtaining an accurate element constant by a simple operation without requiring a measurer to determine how to change the constant. Objective.

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項1に記載された等価回路解析装置は、画像の表示機能及び接触による操作の検出機能を有するタッチパネルと、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定して、該タッチパネルにグラフで表示させる測定部と、該測定部の測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定部と、該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出して、該タッチパネルにグラフで表示させると共にその各素子定数を表示させる理論特性演算部と、該タッチパネルに表示されている該等価回路のグラフの部位に接触してから、その接触位置を該タッチパネル上で移動させる移動操作に対応させて、該等価回路の該素子定数を変更する素子定数変更処理部とを備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, an equivalent circuit analysis apparatus according to claim 1 of the present invention includes a touch panel having an image display function and a contact detection function, and a complex object to be measured. Each of a predetermined equivalent circuit combining a plurality of electric elements based on the frequency characteristics of the measurement object measured by the measurement unit and the measurement unit that measures the frequency characteristics of the impedance and displayed on the touch panel as a graph An estimation unit that estimates an element constant; a theoretical characteristic calculation unit that calculates a frequency characteristic of a theoretical complex impedance of the equivalent circuit and displays the element constant in a graph; and Corresponding to the moving operation of moving the contact position on the touch panel after touching the portion of the graph of the displayed equivalent circuit, Characterized in that it comprises an element constant changing unit for changing the the element constants of valence circuit.

請求項2に記載された等価回路解析装置は、請求項1に記載されたもので、前記等価回路のグラフの部位に対応付けて、該部位を移動させるための前記素子定数の変更情報を予め記憶する移動情報記憶部を備え、前記素子定数変更処理部が、該移動情報記憶部から前記移動操作に対応させた該変更情報を読み込んで、前記素子定数を変更することを特徴とする。   The equivalent circuit analysis apparatus according to claim 2 is the equivalent circuit analysis apparatus according to claim 1, wherein the element constant change information for moving the part is associated with the part of the graph of the equivalent circuit in advance. A movement information storage unit is provided, and the element constant change processing unit reads the change information corresponding to the movement operation from the movement information storage unit and changes the element constant.

請求項3に記載された等価回路解析装置は、請求項1又は2に記載されたもので、前記素子定数変更処理部が、前記移動操作で最後に停止した接触位置まで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする。   An equivalent circuit analysis device according to a third aspect is the one according to the first or second aspect, wherein the element constant change processing unit moves the part to a contact position where the element operation was last stopped by the moving operation. Further, the element constant is changed.

請求項4に記載された等価回路解析装置は、請求項1から3のいずれかに記載されたもので、前記素子定数変更処理部が、前記移動操作で接触が非検出となるまで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする。   An equivalent circuit analysis device according to a fourth aspect is the device according to any one of the first to third aspects, wherein the element constant change processing unit is configured so that the part is not detected until the contact is not detected by the moving operation. The element constant is changed so as to move.

請求項5に記載された等価回路解析装置は、請求項1から4のいずれかに記載されたもので、前記素子定数変更処理部が、所定の変更率ずつ素子定数を変更することを特徴とする。   The equivalent circuit analysis device according to claim 5 is the device according to any one of claims 1 to 4, wherein the element constant change processing unit changes the element constant by a predetermined change rate. To do.

請求項6に記載された等価回路解析方法は、測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定して、画像の表示機能及び接触による操作の検出機能を有するタッチパネルにグラフで表示させる測定ステップと、該測定ステップで測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定ステップと、該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出して、該タッチパネルにグラフで表示させると共にその各素子定数を表示させる理論特性演算ステップと、該タッチパネルに表示されている該等価回路のグラフの部位に接触してから、その接触位置を該タッチパネル上で移動させる移動操作を検出する移動操作検出ステップと、該移動操作検出ステップで検出された該移動操作に対応させて、該等価回路の該素子定数を変更する素子定数変更処理ステップとを含むことを特徴とする。   The equivalent circuit analysis method described in claim 6 is a measurement step of measuring a frequency characteristic of a complex impedance of a measurement object and displaying the frequency characteristic on a touch panel having a display function of an image and a detection function of an operation by contact; An estimation step for estimating each element constant of a predetermined equivalent circuit obtained by combining a plurality of electrical elements based on the frequency characteristics of the measurement object measured in the measurement step, and a frequency of a theoretical complex impedance of the equivalent circuit A theoretical characteristic calculation step for calculating the characteristics and displaying the respective element constants in a graph on the touch panel, and a contact position after contacting the portion of the equivalent circuit graph displayed on the touch panel A moving operation detecting step for detecting a moving operation for moving the touch panel on the touch panel, and detecting by the moving operation detecting step The in correspondence to the moving operation, characterized in that it comprises an element constant change processing step of changing the the element constants of the equivalent circuit.

請求項7に記載された等価回路解析方法は、請求項6に記載されたもので、前記等価回路のグラフの部位に対応付けて、該部位を移動させるための前記素子定数の変更情報を予め移動情報記憶部に記憶させておき、前記素子定数変更ステップで、該移動情報記憶部から前記移動操作に対応させた該変更情報を読み込んで、前記素子定数を変更することを特徴とする。   The equivalent circuit analysis method described in claim 7 is the equivalent circuit analysis method according to claim 6, wherein the change information of the element constant for moving the part is associated with the part of the graph of the equivalent circuit in advance. It is stored in a movement information storage unit, and in the element constant changing step, the change information corresponding to the movement operation is read from the movement information storage unit, and the element constant is changed.

請求項8に記載された等価回路解析方法は、請求項6又は7に記載されたもので、前記素子定数変更ステップで、前記移動操作で最後に停止した接触位置まで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする。   The equivalent circuit analysis method described in claim 8 is the method described in claim 6 or 7, wherein, in the element constant changing step, the part is moved to the contact position last stopped by the moving operation. The element constant is changed.

請求項9に記載された等価回路解析方法は、請求項6から8のいずれかに記載されたもので、前記素子定数変更処理ステップで、前記移動操作で接触が非検出となるまで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする。   An equivalent circuit analysis method according to a ninth aspect is the method according to any one of the sixth to eighth aspects, wherein in the element constant change processing step, the part is changed until contact is not detected by the moving operation. The element constant is changed so as to move.

請求項10に記載された等価回路解析方法は、請求項6から9のいずれかに記載されたもので、前記素子定数変更処理ステップで、所定の変更率ずつ素子定数を変更することを特徴とする。   The equivalent circuit analysis method described in claim 10 is the one described in any one of claims 6 to 9, wherein the element constant is changed by a predetermined change rate in the element constant change processing step. To do.

本発明の等価回路解析装置及び等価回路解析方法によれば、タッチパネルに表示されている等価回路のグラフの部位に接触してから、その接触位置をタッチパネル上で移動させる移動操作に対応させて、等価回路の素子定数を変更するため、素子定数に誤差があったときに、この誤差を無くすためにいずれの素子定数をどのように変化させればよいかということを測定者が判断する必要が無く、グラフを移動させるという直接的かつ簡便な操作で誤差の無い、正確な素子定数を得ることができる。   According to the equivalent circuit analysis device and the equivalent circuit analysis method of the present invention, after touching the portion of the graph of the equivalent circuit displayed on the touch panel, the contact position is moved on the touch panel to correspond to the moving operation. In order to change the element constant of the equivalent circuit, when there is an error in the element constant, it is necessary for the measurer to determine which element constant should be changed in order to eliminate this error. In addition, an accurate element constant with no error can be obtained by a direct and simple operation of moving the graph.

等価回路のグラフの部位に対応付けた素子定数の変更情報を予め移動情報記憶部に記憶させておき、この移動情報記憶部から移動操作に対応させた変更情報を読み込んで、この変更情報に基づき素子定数を変更する場合、簡便な処理で素子定数を変更することができる。   The change information of the element constant associated with the part of the graph of the equivalent circuit is stored in advance in the movement information storage unit, the change information corresponding to the movement operation is read from the movement information storage unit, and based on this change information When changing the element constant, the element constant can be changed by a simple process.

移動操作で最後に停止した接触位置まで等価回路のグラフの部位が移動するように、素子定数を変更する場合、測定対象物のグラフと等価回路のグラフとを一層簡便な操作で一致させることができ、正確な素子定数を一層簡便に得ることができる。   When changing the element constant so that the portion of the graph of the equivalent circuit moves to the contact position that was last stopped by the moving operation, the graph of the object to be measured can be matched with the graph of the equivalent circuit by a simpler operation. And an accurate element constant can be obtained more easily.

移動操作で接触が非検出となるまで等価回路のグラフの部位が移動するように、素子定数を変更する場合、測定者は、等価回路のグラフの部位の移動(変化)を確認しつつ、ちょうどよい位置に部位が移動したときに接触を止めることで、そのときの素子定数を得ることができる。   When changing the element constant so that the part of the graph of the equivalent circuit moves until contact is not detected by the moving operation, the measurer confirms the movement (change) of the part of the graph of the equivalent circuit, By stopping contact when the part moves to a good position, the element constant at that time can be obtained.

所定の変更率ずつ素子定数を変更する場合、演算処理を簡便に行うことができる。   When the element constant is changed by a predetermined change rate, the arithmetic processing can be easily performed.

本発明を適用する等価回路解析装置のブロック図である。It is a block diagram of an equivalent circuit analysis device to which the present invention is applied. 本発明を適用する等価回路解析方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the equivalent circuit analysis method to which this invention is applied. 本発明を適用する等価回路解析装置に用いるタッチパネルの表示例を示す概要図である。It is a schematic diagram which shows the example of a display of the touchscreen used for the equivalent circuit analysis apparatus to which this invention is applied. 図3に示す等価回路のグラフの部位を移動させる移動操作の例を示す概要図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a moving operation for moving a part of a graph of the equivalent circuit illustrated in FIG. 3. 図3に示す等価回路のグラフの部位を移動させる移動操作の例を示す概要図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a moving operation for moving a part of a graph of the equivalent circuit illustrated in FIG. 3. 測定対象物の等価回路の例である。It is an example of the equivalent circuit of a measurement object. 図6に示す各等価回路のインピーダンス周波数特性及び位相周波数特性の例である。It is an example of the impedance frequency characteristic and phase frequency characteristic of each equivalent circuit shown in FIG. 等価回路aにおける素子定数の推定方法を説明するための実効抵抗の周波数特性データ(グラフ)である。It is the frequency characteristic data (graph) of effective resistance for demonstrating the estimation method of the element constant in the equivalent circuit a. 等価回路dにおける素子定数の推定方法を説明するためのコンダクタンスの周波数特性データ(グラフ)である。It is conductance frequency characteristic data (graph) for explaining a method of estimating an element constant in the equivalent circuit d. 移動情報記憶部に記憶されている参照テーブルの例である。It is an example of the reference table memorize | stored in the movement information storage part. 本発明を適用する等価回路解析装置に用いるタッチパネルの他の表示例を示す概要図である。It is a schematic diagram which shows the other example of a touch panel used for the equivalent circuit analyzer to which this invention is applied. 本発明を適用する他の等価回路解析方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the other equivalent circuit analysis method to which this invention is applied. 等価回路bの位相周波数特性のグラフの移動操作の例を示す概要図である。It is a schematic diagram which shows the example of movement operation | movement of the graph of the phase frequency characteristic of the equivalent circuit b.

以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。   Hereinafter, although the form for implementing this invention is demonstrated in detail, the scope of the present invention is not limited to these forms.

本発明を適用する等価回路解析装置1は、図1に機能的ブロックで示すように、測定部2、推定部3、理論特性演算部5、素子定数変更処理部6、移動情報記憶部7、及びタッチパネル10を備え、測定対象物(DUT)90の複素インピーダンスの周波数特性を測定して、その周波数特性から等価回路の各素子定数を推定部3が推定することが可能になっている。なお、同図に示す推定部3、理論特性演算部5、及び素子定数変更処理部6等は、一例として、本装置1の動作を統括的に制御する1つ又は複数のCPU(不図示)がメモリ(不図示)に予め記憶されたソフトウエアに従って動作して演算処理することで実現されている。また、等価回路解析装置1は、後述する図2のフローチャートに対応するプログラムがメモリに予め記憶されていて、そのフローチャートに従って動作可能に構成されている。なお、測定部2として従来のインピーダンス測定装置を用い、その他の推定部3、理論特性演算部5、素子定数変更処理部6、及びタッチパネル10としてコンピュータ(例えばパーソナルコンピュータ)を用い、両者を組み合わせて本発明の等価回路解析装置1としてもよい。   An equivalent circuit analysis apparatus 1 to which the present invention is applied includes a measurement unit 2, an estimation unit 3, a theoretical characteristic calculation unit 5, an element constant change processing unit 6, a movement information storage unit 7, as shown by functional blocks in FIG. And the touch panel 10, the frequency characteristic of the complex impedance of the measurement object (DUT) 90 is measured, and the estimation unit 3 can estimate each element constant of the equivalent circuit from the frequency characteristic. Note that the estimation unit 3, the theoretical characteristic calculation unit 5, the element constant change processing unit 6 and the like shown in the figure are, as an example, one or more CPUs (not shown) that control the operation of the apparatus 1 as a whole. Is realized by operating in accordance with software pre-stored in a memory (not shown) and performing arithmetic processing. Further, the equivalent circuit analysis apparatus 1 is configured so that a program corresponding to a flowchart of FIG. 2 described later is stored in advance in a memory and can operate according to the flowchart. Note that a conventional impedance measuring device is used as the measuring unit 2, a computer (for example, a personal computer) is used as the other estimating unit 3, theoretical characteristic calculating unit 5, element constant change processing unit 6, and touch panel 10, and the two are combined. The equivalent circuit analysis apparatus 1 of the present invention may be used.

タッチパネル10は、画像を表示可能な液晶パネルやCRTなどの表示装置と、タッチパッドなどの位置入力装置を組み合わせたもので、画像の表示機能を有すると共に、指や専用ペン等が画面に触れたときに、その触れた画面上の位置情報を出力する、接触操作の検出機能を有するものである。タッチパネル10は、等価回路解析装置1の表示部及び操作部として用いられる。   The touch panel 10 is a combination of a display device such as a liquid crystal panel or CRT capable of displaying an image and a position input device such as a touch pad. The touch panel 10 has an image display function, and a finger or a dedicated pen touches the screen. Sometimes, it has a contact operation detection function that outputs position information on the touched screen. The touch panel 10 is used as a display unit and an operation unit of the equivalent circuit analysis device 1.

等価回路解析装置1の具体的な動作について図1〜図10を参照して説明する。ここで、図2に示すフローチャートは、本発明を適用する等価回路解析方法を示し、これに沿って等価回路解析装置1の動作を説明する。   A specific operation of the equivalent circuit analysis apparatus 1 will be described with reference to FIGS. Here, the flowchart shown in FIG. 2 shows an equivalent circuit analysis method to which the present invention is applied, and the operation of the equivalent circuit analysis apparatus 1 will be described along this.

図2に示す測定ステップS1では、測定部2が、不図示の交流信号源からプローブ21a,21bを介して、周波数を開始周波数から終了周波数まで掃引させて測定用信号電圧を測定対象物(DUT)90に印加し、2端子法又は4端子法などの公知の測定方法で電圧と電流とを測定し、その電圧及び電流から、DUT90の複素インピーダンスの周波数特性を測定する。また、測定部2は、図3に示すように、タッチパネル10のグラフ表示領域11に、測定部2の測定した複素インピーダンスの周波数特性のグラフ31を表示させる。複素インピーダンスの周波数特性として、測定部2は、一例として、複素インピーダンスの絶対値の周波数特性(インピーダンス周波数特性)、及び/又は位相の周波数特性(位相周波数特性)をグラフで表示させる。グラフ表示領域11に、インピーダンス周波数特性のグラフを表示させるか、位相周波数特性のグラフを表示させるか、又は両特性のグラフを表示させるかの切り替えは、測定者がタッチパネル10を操作することで、自由に切り換えることができる。同図の例では、グラフ31は位相周波数特性θを表している。なお、タッチパネル10にグラフ表示させる複素インピーダンスの周波数特性の表現方法は、コンダクタンス(G)−サセプタンス(B)特性、実効抵抗(Rs)−リアクタンス(X)特性、動アドミタンス円、又は動インピーダンス円などのように、公知の種々の表現方法で表現させることができる。   In the measurement step S1 shown in FIG. 2, the measurement unit 2 sweeps the frequency from the start frequency to the end frequency from an AC signal source (not shown) via the probes 21a and 21b, and generates a measurement signal voltage (DUT). ) 90 and the voltage and current are measured by a known measurement method such as the two-terminal method or the four-terminal method, and the frequency characteristics of the complex impedance of the DUT 90 are measured from the voltage and current. Moreover, the measurement part 2 displays the graph 31 of the frequency characteristic of the complex impedance which the measurement part 2 measured on the graph display area 11 of the touch panel 10, as shown in FIG. As a frequency characteristic of the complex impedance, for example, the measurement unit 2 displays a frequency characteristic (impedance frequency characteristic) of the absolute value of the complex impedance and / or a frequency characteristic (phase frequency characteristic) of the phase in a graph. In the graph display area 11, the impedance frequency characteristic graph, the phase frequency characteristic graph, or both characteristic graphs can be switched by the operator operating the touch panel 10. You can switch freely. In the example shown in the figure, the graph 31 represents the phase frequency characteristic θ. It should be noted that the method for expressing the complex impedance frequency characteristics displayed on the touch panel 10 in graph form includes conductance (G) -susceptance (B) characteristics, effective resistance (Rs) -reactance (X) characteristics, a dynamic admittance circle, or a dynamic impedance circle. As described above, it can be expressed by various known expression methods.

次に、推定ステップS2では、推定部3が、測定ステップS1で測定部2の測定したDUT90の複素インピーダンスの周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する。等価回路を構成する電気素子は、抵抗(素子定数R)、コンデンサ(素子定数C)、コイル(素子定数L)である。等価回路は、抵抗、コンデンサ、コイルのうちの少なくとも2つを接続して構成する。等価回路に用いる電気素子の数は、特に限定がなく、同種の電気素子が複数用いられていてもよい。推定部3は、推定した各素子定数を理論特性演算部5に出力する。   Next, in the estimation step S2, the estimation unit 3 calculates each element constant of a predetermined equivalent circuit obtained by combining a plurality of electrical elements based on the frequency characteristics of the complex impedance of the DUT 90 measured by the measurement unit 2 in the measurement step S1. presume. The electric elements constituting the equivalent circuit are a resistor (element constant R), a capacitor (element constant C), and a coil (element constant L). The equivalent circuit is configured by connecting at least two of a resistor, a capacitor, and a coil. The number of electric elements used for the equivalent circuit is not particularly limited, and a plurality of electric elements of the same type may be used. The estimation unit 3 outputs the estimated element constants to the theoretical characteristic calculation unit 5.

等価回路の例を、図6の等価回路a〜dに示す。主として、等価回路aはコイルや抵抗を測定する場合に用いられ、等価回路bは損失が大きなコイルを測定する場合に用いられ、等価回路cは高抵抗を測定する場合に用いられ、等価回路dはコンデンサを測定する場合に用いられる。図7に、等価回路a〜dのインピーダンス周波数特性Z及び位相周波数特性θの例を図示する。   Examples of equivalent circuits are shown in equivalent circuits a to d in FIG. The equivalent circuit a is mainly used when measuring a coil or resistance, the equivalent circuit b is used when measuring a coil with a large loss, the equivalent circuit c is used when measuring a high resistance, and the equivalent circuit d. Is used when measuring capacitors. FIG. 7 illustrates an example of the impedance frequency characteristic Z and the phase frequency characteristic θ of the equivalent circuits a to d.

このように複数の等価回路を予め設定しておき、測定者がタッチパネル10を操作して、1つの等価回路を選択できるようにすることが好ましい。推定部3は、等価回路a〜dの各素子定数の推定が可能になっている。測定者は、タッチパネル10を操作して、測定ステップS1又は推定ステップS2の前に、用いる等価回路を予め選択しておく。   As described above, it is preferable that a plurality of equivalent circuits be set in advance so that the measurer can select one equivalent circuit by operating the touch panel 10. The estimation unit 3 can estimate each element constant of the equivalent circuits a to d. The measurer operates the touch panel 10 to select an equivalent circuit to be used in advance before the measurement step S1 or the estimation step S2.

推定部3が各素子定数を推定する例として、等価回路aが選択されている場合について説明する。等価回路aのときには、推定部3は、測定部2の測定データから各周波数における複素インピーダンスの実効抵抗(レジスタンス)Rsを算出し、その実効抵抗Rsから各素子定数を推定する。なお、複素インピーダンスを、実効抵抗Rs及びリアクタンスXで表現できることは周知な事項であるのでその算出法等について説明は省略する。測定部2によって、図8のグラフ25に示す実効抵抗Rsの周波数特性が測定された場合、推定部3は、先ず、グラフ25(測定データ)の中の極大値Pを求める。この極大値Pのときの周波数が、並列共振周波数ωpである。次に、推定部3は、グラフ25が、極大値Pの1/2になる2つの周波数(象限周波数)ω1,ω2を求める。次に、推定部3は、共振の鋭さQを次式で算出する。
Q=ωp/(ω2−ω1
As an example in which the estimation unit 3 estimates each element constant, a case where the equivalent circuit a is selected will be described. In the case of the equivalent circuit a, the estimation unit 3 calculates the effective resistance (resistance) Rs of the complex impedance at each frequency from the measurement data of the measurement unit 2, and estimates each element constant from the effective resistance Rs. Since it is a well-known matter that the complex impedance can be expressed by the effective resistance Rs and the reactance X, description of the calculation method and the like will be omitted. When the frequency characteristic of the effective resistance Rs shown in the graph 25 of FIG. 8 is measured by the measurement unit 2, the estimation unit 3 first obtains the maximum value P in the graph 25 (measurement data). The frequency at the maximum value P is the parallel resonance frequency ωp. Next, the estimation unit 3 obtains two frequencies (quadrant frequencies) ω 1 and ω 2 at which the graph 25 becomes 1/2 of the maximum value P. Next, the estimation unit 3 calculates the resonance sharpness Q by the following equation.
Q = ωp / (ω 2 −ω 1 )

次に、推定部3は、等価回路aのコンデンサの素子定数Cを次式で算出する。
C=Q/(ωp×P)
Next, the estimation unit 3 calculates the element constant C of the capacitor of the equivalent circuit a by the following equation.
C = Q / (ωp × P)

次に、推定部3は、等価回路aのコイルの素子定数Lを次式で算出する。
L=(2×Q2)/(ωp2×C×(2×Q2−1))
Next, the estimation unit 3 calculates the element constant L of the coil of the equivalent circuit a by the following equation.
L = (2 × Q 2 ) / (ωp 2 × C × (2 × Q 2 −1))

次に、推定部3は、等価回路aの抵抗の素子定数Rを次式で算出する。
R=L/(C×P)
Next, the estimation unit 3 calculates the element constant R of the resistance of the equivalent circuit a by the following equation.
R = L / (C × P)

以上で、等価回路aの各素子定数の推定が終了する。   Thus, the estimation of each element constant of the equivalent circuit “a” is completed.

また、等価回路dのように直列共振回路の場合には、推定部3は、測定部2の測定データから各周波数における複素アドミタンス(複素インピーダンスの別の表現方法)のコンダクタンスGを算出し、そのコンダクタンスGから各素子定数を推定する。なお、複素アドミタンスを、コンダクタンスG及びサセプタンスBで表現できることは周知な事項であるのでその算出法等について説明は省略する。測定部2によって、図9のグラフ26に示すコンダクタンスGの周波数特性が測定された場合、推定部3は、先ず、グラフ26(測定データ)の中の極大値Mを求める。この極大値Mのときの周波数が、直列共振周波数ωmである。次に、推定部3は、グラフ26が、極大値Mの1/2になる2つの周波数(象限周波数)ω1,ω2を求める。次に、推定部3は、共振の鋭さQを次式で算出する。
Q=ωm/(ω2−ω1
In the case of a series resonant circuit such as the equivalent circuit d, the estimation unit 3 calculates the conductance G of complex admittance (another expression method of complex impedance) at each frequency from the measurement data of the measurement unit 2, Each element constant is estimated from the conductance G. Since it is a well-known matter that the complex admittance can be expressed by conductance G and susceptance B, description of the calculation method and the like will be omitted. When the frequency characteristic of the conductance G shown in the graph 26 of FIG. 9 is measured by the measurement unit 2, the estimation unit 3 first obtains the maximum value M in the graph 26 (measurement data). The frequency at the maximum value M is the series resonance frequency ωm. Next, the estimation unit 3 obtains two frequencies (quadrant frequencies) ω 1 and ω 2 at which the graph 26 is ½ of the maximum value M. Next, the estimation unit 3 calculates the resonance sharpness Q by the following equation.
Q = ωm / (ω 2 −ω 1 )

次に、推定部3は、等価回路dのコイルの素子定数Lを次式で算出する。
L=Q/(ωm×M)
Next, the estimation unit 3 calculates the element constant L of the coil of the equivalent circuit d by the following equation.
L = Q / (ωm × M)

次に、推定部3は、等価回路dのコンデンサの素子定数Cを次式で算出する。
C=(2×Q2)/(ωm2×L×(2×Q2−1))
Next, the estimation unit 3 calculates the element constant C of the capacitor of the equivalent circuit d by the following equation.
C = (2 × Q 2 ) / (ωm 2 × L × (2 × Q 2 −1))

次に、推定部3は、等価回路dの抵抗の素子定数Rを次式で算出する。
R=(L×M)/C
Next, the estimation unit 3 calculates the element constant R of the resistance of the equivalent circuit d by the following equation.
R = (L × M) / C

以上で、等価回路dの各素子定数の推定が終了する。   This completes the estimation of each element constant of the equivalent circuit d.

他の等価回路の場合であっても、並列共振周波数ωp、直列共振周波数ωm、2つの象限周波数ω1,ω2、共振の鋭さQに基づいて、R,C,Lの各素子定数を推定することができる。なお、公知の他の推定方法で等価回路の各素子定数を推定してもよい。 Even in the case of other equivalent circuits, the R, C, and L element constants are estimated based on the parallel resonance frequency ωp, the series resonance frequency ωm, the two quadrant frequencies ω 1 and ω 2 , and the sharpness Q of the resonance. can do. Note that each element constant of the equivalent circuit may be estimated by another known estimation method.

推定部3は、推定した各素子定数を理論特性演算部5に出力する。   The estimation unit 3 outputs the estimated element constants to the theoretical characteristic calculation unit 5.

次に、理論特性演算ステップS3では、理論特性演算部5が、推定ステップS2で推定部3が推定した各素子定数で、等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出する。ここで、等価回路の理論的な複素インピーダンスとは、抵抗の複素インピーダンスがR、コンデンサの複素インピーダンスが1/(jωC)、コイルの複素インピーダンスがjωLであるので、これらを等価回路の接続に対応させて合成したものである。複素インピーダンスの合成については、周知な事項であるので説明は省略する。合成した複素インピーダンスの周波数を開始周波数から終了周波数まで可変させることで、理論特性演算部5は、等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性(例えばインピーダンス周波数特性、位相周波数特性)を算出する。なお、計算にはアドミタンスを用いてもよいし、複素インピーダンスと位相から算出できる他のパラメータを用いてもよい。理論特性演算部5は、タッチパネル10に表示させるグラフに適した形式で演算を行う。   Next, in the theoretical characteristic calculation step S3, the theoretical characteristic calculation unit 5 calculates the frequency characteristic of the theoretical complex impedance of the equivalent circuit with each element constant estimated by the estimation unit 3 in the estimation step S2. Here, the theoretical complex impedance of the equivalent circuit means that the complex impedance of the resistor is R, the complex impedance of the capacitor is 1 / (jωC), and the complex impedance of the coil is jωL, and these correspond to the connection of the equivalent circuit. And synthesized. Since the complex impedance synthesis is a well-known matter, a description thereof will be omitted. By varying the frequency of the synthesized complex impedance from the start frequency to the end frequency, the theoretical characteristic calculator 5 calculates the frequency characteristic (for example, impedance frequency characteristic, phase frequency characteristic) of the theoretical complex impedance of the equivalent circuit. Note that admittance may be used for the calculation, or other parameters that can be calculated from the complex impedance and phase may be used. The theoretical characteristic calculation unit 5 performs calculation in a format suitable for the graph displayed on the touch panel 10.

理論特性演算部5は、図3に示すように、算出した等価回路の周波数特性(位相周波数特性)のグラフ32をタッチパネル10のグラフ表示領域11に表示させる。両グラフ31,32の差異が目視でよく判るように、測定した周波数特性のグラフ31を実線で表示させると共に等価回路の周波数特性のグラフ32を破線で表示させるように線種を変え、または両グラフ31,32を色分けして表示させるようにして、各々を識別可能に表示させることが好ましい。さらに両グラフ31,32は、縦軸及び横軸を合わせるように、同じ軸上に重ね合わせるように表示させることが好ましい。また、理論特性演算部5は、タッチパネル10の素子定数表示領域12に素子定数R,C,Lを表示させる。理論特性演算部5は、素子定数変更処理部6に各素子定数及びグラフ32のデータを出力する。   As shown in FIG. 3, the theoretical characteristic calculation unit 5 displays a graph 32 of the calculated frequency characteristic (phase frequency characteristic) of the equivalent circuit in the graph display area 11 of the touch panel 10. The line type is changed so that the graph 31 of the measured frequency characteristic is displayed with a solid line and the graph 32 of the frequency characteristic of the equivalent circuit is displayed with a broken line so that the difference between the two graphs 31 and 32 can be understood visually. It is preferable to display the graphs 31 and 32 in a color-coded manner so that each can be identified. Furthermore, it is preferable that both graphs 31 and 32 are displayed so as to be superimposed on the same axis so that the vertical axis and the horizontal axis are aligned. The theoretical characteristic calculator 5 displays the element constants R, C, and L in the element constant display area 12 of the touch panel 10. The theoretical characteristic calculation unit 5 outputs each element constant and data of the graph 32 to the element constant change processing unit 6.

同図に示すように、DUT90の位相周波数特性のグラフ31、及び等価回路の位相周波数特性のグラフ32がタッチパネル10に表示されている場合、測定者は、目視により、両グラフ31,32の差の大きな領域を判別する。この例では、低周波領域(図の左端側)で両グラフ31,32の差が大きくなっている。なお、このような誤差は、例えばQ値が非常に高いDUT90の場合、インピーダンス特性が非常に鋭い山型又は谷型になるため、測定時の周波数分解能が比較的粗いと共振周波数の判定に誤差が生じてしまい、それにより発生することがある。   As shown in the figure, when the graph 31 of the phase frequency characteristics of the DUT 90 and the graph 32 of the phase frequency characteristics of the equivalent circuit are displayed on the touch panel 10, the measurer visually observes the difference between the two graphs 31 and 32. Discriminate large areas. In this example, the difference between the graphs 31 and 32 is large in the low frequency region (the left end side in the figure). For example, in the case of a DUT 90 having a very high Q value, such an error is a peak or valley having a very sharp impedance characteristic. May occur and may occur as a result.

このように、両グラフ31,32に差がある場合、測定者は、タッチパネル10に表示されている等価回路のグラフ32の差の大きな部位40に接触してから、その接触位置をタッチパネル10上で移動させる移動操作を行う。具体的には、図4に示すように、測定者が、差の大きくなっているグラフ32の部位40に指50を接触させ、タッチパネル10に接触させたまま指50を滑らせるように、タッチパネル10の下側(図の下側)の方向に移動させる。測定者は、図5に示すように、指50を、DUT90のグラフ31まで移動させて停止する。つまり、測定者は、移動操作として、グラフ32の部位40に指50を接触させ、その指50をグラフ31まで移動させる。   As described above, when there is a difference between the graphs 31 and 32, the measurer touches the portion 40 having a large difference in the graph 32 of the equivalent circuit displayed on the touch panel 10, and then sets the contact position on the touch panel 10. Perform the move operation to move with. Specifically, as shown in FIG. 4, the touch panel is configured so that the measurer touches the part 50 of the graph 32 where the difference is large and slides the finger 50 while keeping the touch panel 10 in contact. 10 is moved in the direction of the lower side (the lower side of the figure). As shown in FIG. 5, the measurer moves the finger 50 to the graph 31 of the DUT 90 and stops. That is, the measurer moves the finger 50 to the graph 31 by bringing the finger 50 into contact with the part 40 of the graph 32 as a moving operation.

このような移動操作を素子定数変更処理部6が検出すると(移動操作検出ステップS4)、次の変更停止ステップS5では、素子定数変更処理部6が、移動操作で指50が移動後に最後に停止した接触位置に部位40が移動しているか否かを検出する。この場合、部位40をまだ移動させていないので、素子定数変更処理ステップS6に進む。   When the element constant change processing unit 6 detects such a movement operation (moving operation detection step S4), in the next change stop step S5, the element constant change processing unit 6 finally stops after the finger 50 is moved by the movement operation. It is detected whether or not the part 40 has moved to the touched position. In this case, since the part 40 has not been moved yet, the process proceeds to the element constant changing process step S6.

素子定数変更処理ステップS6では、素子定数変更処理部6が、移動操作に対応させて、部位40を移動させるように等価回路の素子定数を変更する。具体的には、一例として、等価回路のグラフ32の部位40に対応付けて、部位40を移動させるための素子定数の変更情報を予め移動情報記憶部7(図1参照)に記憶させておき、素子定数変更処理部6が、移動情報記憶部7から移動操作に対応させた変更情報を読み込んで、素子定数を変更する。   In the element constant change processing step S6, the element constant change processing unit 6 changes the element constant of the equivalent circuit so as to move the portion 40 in response to the moving operation. Specifically, as an example, element constant change information for moving the portion 40 is stored in advance in the movement information storage unit 7 (see FIG. 1) in association with the portion 40 of the graph 32 of the equivalent circuit. The element constant change processing unit 6 reads the change information corresponding to the movement operation from the movement information storage unit 7 and changes the element constant.

ここで、図1に示す移動情報記憶部7は、例えば不揮発性の半導体メモリ(例えば、ROMやフラッシュROM)で構成されており、図6の等価回路a〜dにおける複素インピーダンスの周波数特性のグラフの特定の部位を移動させるために、等価回路中のいずれの素子定数の大小を変化させたらよいかを示す変更情報を予め記憶している。ここで、「周波数特性のグラフの部位」は、例えば、並列又は直列共振周波数よりも低周波側、共振周波数よりも高周波側、共振周波数の所定範囲内(共振周波数付近)、共振周波数の1/2の周波数以下などのように、共振周波数に対する相対的な領域で規定したり、複雑な等価回路であれば、低周波側から3つ目の直列共振周波数、などのように共振周波数の順番や種類で規定したり、位相が90度以下、位相が90度以上のように数値(相対値や絶対値)で規定したりする。なお、周波数特性のグラフのうちの特定の部位を規定できればどのように規定してもよい。「グラフの部位を移動」とは、例えば、グラフの部位の値を大きく(小さく)させる、グラフの傾きを大きく(小さく)させる、周波数を高く(低く)させるなどのように、グラフ全体の中で、特定の部位付近の特徴を変更させることをいう。移動情報記憶部7には、例えば、図10に示すように、等価回路の種類(a〜d)、グラフの種類(例えば、インピーダンス周波数特性Zか、位相周波数特性θか)、グラフの部位、及び指50の移動方向に対応させた素子定数の変更情報を参照テーブル形式で記憶させておく。素子定数の変更情報として、同図に示すように、例えば、変更対象素子定数及び変更内容と、変更率とを記憶させておく。なお、同図には図示しないが、例えば実効抵抗Rs、リアクタンスX、コンダクタンスG、サセプタンスBのグラフのように、表示可能な他のグラフの種類があれば、他のグラフの種類に対応させて変更情報を記録させてもよい。   Here, the movement information storage unit 7 shown in FIG. 1 is configured by, for example, a nonvolatile semiconductor memory (for example, ROM or flash ROM), and is a graph of frequency characteristics of complex impedance in the equivalent circuits a to d of FIG. In order to move the specific part, change information indicating which element constant in the equivalent circuit should be changed is stored in advance. Here, “the part of the graph of the frequency characteristic” is, for example, a frequency lower than the parallel or series resonance frequency, a frequency higher than the resonance frequency, within a predetermined range of the resonance frequency (near the resonance frequency), and 1 / of the resonance frequency. If the frequency is specified in a relative region with respect to the resonance frequency, such as a frequency of 2 or less, or if it is a complex equivalent circuit, the order of the resonance frequencies such as the third series resonance frequency from the low frequency side, It is specified by type, or specified by a numerical value (relative value or absolute value) such that the phase is 90 degrees or less and the phase is 90 degrees or more. In addition, you may prescribe | regulate how the specific site | part of the graph of a frequency characteristic can be prescribed | regulated. “Move a part of the graph” means that the value of the part of the graph is increased (decreased), the slope of the graph is increased (decreased), the frequency is increased (lower), etc. In this case, the feature near the specific part is changed. In the movement information storage unit 7, for example, as shown in FIG. 10, the equivalent circuit type (ad), the graph type (for example, the impedance frequency characteristic Z or the phase frequency characteristic θ), the part of the graph, The change information of the element constant corresponding to the moving direction of the finger 50 is stored in a reference table format. As the element constant change information, as shown in the figure, for example, a change target element constant, change contents, and change rate are stored. Although not shown in the figure, if there are other types of graphs that can be displayed, such as the graph of effective resistance Rs, reactance X, conductance G, and susceptance B, for example, the graphs correspond to the types of other graphs. Change information may be recorded.

図3〜5に示す例では、グラフ32が等価回路a及び位相周波数特性θに対するものであり、指50の接触したグラフ32の部位40が「並列共振周波数ωpよりも低周波側」であり、指50の移動方向がθを小さくする方向(下方向)であることから、図10の参照テーブルの1番目(1番上)の欄の条件に相当する。素子定数変更処理部6がこの条件を判別して、参照テーブルの1番目の欄から、「素子定数Rを大きな値に変更する」及び「変更率は1%」という内容の変更情報を読み込む。これにより、素子定数変更処理部6は、推定部3によって推定された素子定数Rを、変更率(1%)だけ大きく変更する。なお、変更率は、グラフ32の部位40を微調整できる程度の小さな値に設定されている。   In the example shown in FIGS. 3 to 5, the graph 32 is for the equivalent circuit a and the phase frequency characteristic θ, and the portion 40 of the graph 32 in contact with the finger 50 is “a lower frequency side than the parallel resonance frequency ωp”. Since the moving direction of the finger 50 is the direction in which θ is decreased (downward), this corresponds to the condition in the first (first) column of the reference table of FIG. The element constant change processing unit 6 discriminates this condition, and reads change information with contents “change element constant R to a large value” and “change rate is 1%” from the first column of the reference table. Thereby, the element constant change processing unit 6 greatly changes the element constant R estimated by the estimation unit 3 by a change rate (1%). Note that the change rate is set to a small value such that the portion 40 of the graph 32 can be finely adjusted.

素子定数変更処理部6は、変更した素子定数Rを含む各素子定数を理論特性演算部5に出力して、理論特性演算ステップS3に戻る。   The element constant change processing unit 6 outputs each element constant including the changed element constant R to the theoretical characteristic calculation unit 5 and returns to the theoretical characteristic calculation step S3.

続いて、理論特性演算ステップS3では、理論特性演算部5が、変更後の素子定数で等価回路の周波数特性を算出し、変更後の周波数特性のグラフ32をタッチパネル10に表示させると共に、変更後の素子定数を表示させる。変更前よりも変更後のグラフ32の方が、グラフ31に近づいた形になる。   Subsequently, in the theoretical characteristic calculation step S3, the theoretical characteristic calculation unit 5 calculates the frequency characteristic of the equivalent circuit with the changed element constant, displays the changed frequency characteristic graph 32 on the touch panel 10, and after the change. The element constant of is displayed. The graph 32 after the change is closer to the graph 31 than before the change.

続いて、変更停止ステップS5では、素子定数変更処理部6が、移動操作で指50の最後に停止した接触位置に部位40があるか否かを検出する。最後に停止した接触位置は、素子定数変更処理部6がメモリ(不図示)に記憶させておくことで、指50はタッチパネル10から離してしまってもよいし、接触させたままであってもよい。停止条件としては、例えば同じ位置に0.5秒のように所定時間、指50が停止していることを検出したときに、素子定数変更処理部6が、その接触位置を停止位置として記録する。なお、停止後に接触位置が再度動き始めたことを検出したときは、素子定数変更処理部6が、停止位置をクリアして、その後に停止した位置を停止位置とする。   Subsequently, in the change stop step S5, the element constant change processing unit 6 detects whether or not there is the part 40 at the contact position where the finger 50 is finally stopped by the moving operation. The last stopped contact position may be stored in a memory (not shown) by the element constant change processing unit 6 so that the finger 50 may be separated from the touch panel 10 or may remain in contact. . As a stop condition, for example, when it is detected that the finger 50 is stopped at the same position for a predetermined time such as 0.5 seconds, the element constant change processing unit 6 records the contact position as the stop position. . When it is detected that the contact position starts to move again after the stop, the element constant change processing unit 6 clears the stop position and sets the stop position as the stop position.

指50の停止位置まで部位40が移動していない場合、ステップS3、S5,S6のループを繰り返し処理する。このループ処理を行うたびに、素子定数Rは、元の素子定数Rよりも1%ずつ大きく変更され、部位40がグラフ31に徐々に近づいていき、最終的に図5に示すようにほぼ一致する。演算速度が速ければ、移動操作を行って動かしている最中の指50に追随するように部位40が移動する。処理が遅ければ、移動操作で指50を停止させた位置に次第に部位40が近づいていく。いずれの処理速度であっても、指50を最後に停止させた接触位置、すなわちDUT90のグラフ32の位置まで部位40が移動して、図2の処理が終了する。   When the region 40 has not moved to the stop position of the finger 50, the loop of steps S3, S5, and S6 is repeated. Each time this loop processing is performed, the element constant R is changed by 1% larger than the original element constant R, and the part 40 gradually approaches the graph 31. Finally, as shown in FIG. To do. If the calculation speed is fast, the part 40 moves so as to follow the finger 50 that is moving by performing a moving operation. If the process is slow, the part 40 gradually approaches the position where the finger 50 is stopped by the moving operation. Regardless of the processing speed, the part 40 moves to the contact position where the finger 50 was last stopped, that is, the position of the graph 32 of the DUT 90, and the processing of FIG.

このように、差の大きなグラフ32の部位40を、グラフ31に近づけるように指50を動かすという直接的かつ簡便な操作を行うだけで、自動的に部位40がグラフ31にほぼ一致して、誤差のない正確な素子定数を得ることができる。図10に示す他の例であっても、グラフの部位に対して移動操作することで、素子定数を変更することができる。   In this way, by simply performing a direct and simple operation of moving the finger 50 so that the part 40 of the graph 32 having a large difference approaches the graph 31, the part 40 automatically matches the graph 31 automatically. An accurate element constant without error can be obtained. Even in the other example shown in FIG. 10, the element constant can be changed by performing a moving operation on the part of the graph.

なお、図10に示すように、等価回路aの位相周波数特性θでは、グラフの部位として「並列共振周波数ωpよりも低周波側」だけが参照テーブルに登録されていて、他の部位の登録がないが、これは素子定数の推定で誤差が生じて変更修正が必要なのは、登録された「並列共振周波数ωpよりも低周波側」の場合が殆どであるためである。このように、素子定数の推定により誤差が発生してグラフの部位を移動させる必要が生じる可能性のある部位だけを参照テーブルに登録してもよいし、グラフのいずれの部位に接触したとしても、その部位に対応する移動情報が参照テーブルに有るように、グラフの各部位に対する移動情報を漏れなく網羅的に参照テーブルに登録してもよい。また、図11に示すように、素子定数表示領域12に、素子定数Rの値を増減するため操作ボタン14a、素子定数Cの値を増減するため操作ボタン14b、素子定数Lの値を増減するため操作ボタン14cをタッチパネル10に表示させて、これら操作ボタン14a〜14cによる素子定数の変更操作と、指50で部位40を移動操作することによる素子定数の変更操作との両方が行えるようにしてもよい。   As shown in FIG. 10, in the phase frequency characteristic θ of the equivalent circuit a, only “lower frequency side than the parallel resonance frequency ωp” is registered in the reference table as a part of the graph, and other parts are registered. This is because there is an error in the estimation of the element constant, and the change correction is necessary because it is almost the case of the registered “lower frequency side than the parallel resonance frequency ωp”. In this way, only a part that may cause an error due to the estimation of the element constant and need to move the part of the graph may be registered in the reference table, or even if any part of the graph is touched The movement information for each part of the graph may be comprehensively registered in the reference table without omission so that the movement information corresponding to the part is in the reference table. Further, as shown in FIG. 11, in the element constant display area 12, the operation button 14a for increasing / decreasing the value of the element constant R, the operation button 14b for increasing / decreasing the value of the element constant C, and the value of the element constant L are increased / decreased. Therefore, the operation button 14c is displayed on the touch panel 10 so that both the element constant changing operation by the operation buttons 14a to 14c and the element constant changing operation by moving the part 40 with the finger 50 can be performed. Also good.

さらに、図12のフローチャートに示すように処理してもよい。同図のフローチャートは、図2のフローチャートの変更停止ステップS5を、他の変更停止ステップS9に換えたものである。ステップS1〜S4,S6は同様であるので、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。   Further, processing may be performed as shown in the flowchart of FIG. The flowchart of FIG. 6 is obtained by replacing the change stop step S5 of the flowchart of FIG. 2 with another change stop step S9. Since steps S1 to S4 and S6 are the same, the same reference numerals are given and detailed description is omitted.

図12の変更停止ステップS9では、移動操作を行った指50がそのままタッチパネル10に接触しているか、離れたかを検出する。指50がタッチパネル10に接触しているままの状態であるときは、ステップS3、S9、S6のループを繰り返し処理する。指50がタッチパネル10から離れて接触が非検出となったときには、このループ処理を終了する。このように処理すると、例えば、図5で、指50をグラフ32からグラフ31よりも下側に移動させる移動操作をして、そのまま指50をタッチパネル10に接触させていると、ループ処理により素子定数が変更率ずつ変更されていき、グラフ32の部位40が次第に下側に移動していく。部位40がちょうどグラフ31に重なった(一致した)ときに指50をタッチパネル10から離すと、部位40の移動が停止して、正確な素子定数が得られる。   In the change stop step S9 of FIG. 12, it is detected whether the finger 50 that has performed the moving operation is in direct contact with the touch panel 10 or separated. When the finger 50 remains in contact with the touch panel 10, the loop of steps S3, S9, and S6 is repeated. When the finger 50 is separated from the touch panel 10 and contact is not detected, the loop process is terminated. When the processing is performed in this manner, for example, in FIG. 5, when the finger 50 is moved from the graph 32 to the lower side than the graph 31 and the finger 50 is brought into contact with the touch panel 10 as it is, the element is processed by loop processing. The constant is changed by the change rate, and the portion 40 of the graph 32 gradually moves downward. If the finger 50 is released from the touch panel 10 when the part 40 just overlaps (matches) the graph 31, the movement of the part 40 stops and an accurate element constant is obtained.

グラフ32の部位40がグラフ31を通りすぎて移動してしまったときには、指50をタッチパネル10から一旦離し、再度部位40に接触してから、タッチパネル10の上方向に指50を移動させる。この移動操作を検出すると、素子定数変更処理部6が、移動情報記憶部7から、図10の参照テーブルの2番目の欄の変更情報を読み込んで、素子定数Rを1%ずつ小さく変更する。これにより、部位40が上方向に移動していき、グラフ31と重なったときに、測定者は指50をタッチパネル10から離せばよい。   When the part 40 of the graph 32 has moved past the graph 31, the finger 50 is once released from the touch panel 10, contacts the part 40 again, and then moves the finger 50 upward in the touch panel 10. When this movement operation is detected, the element constant change processing unit 6 reads the change information in the second column of the reference table of FIG. 10 from the movement information storage unit 7, and changes the element constant R by 1%. As a result, when the part 40 moves upward and overlaps the graph 31, the measurer only has to release the finger 50 from the touch panel 10.

なお、図2と図12のフローチャートを組み合わせて、指50がタッチパネル10に接触しているときには、素子定数変更処理ステップS6、及び理論特性演算ステップS3を含むループ処理を行い、指50の最後の停止位置に部位40が移動したとき、及び指50がタッチパネル10から離れたときに、このループ処理を停止するようにしてもよい。   When the finger 50 is in contact with the touch panel 10 by combining the flowcharts of FIGS. 2 and 12, a loop process including the element constant changing process step S6 and the theoretical characteristic calculating step S3 is performed, and the last of the finger 50 is processed. This loop process may be stopped when the part 40 moves to the stop position and when the finger 50 moves away from the touch panel 10.

また、変更停止ステップS5,S9を満たすまで素子定数変更処理ステップS6、及び理論特性演算ステップS3を含むループ処理を行い、指50の停止位置まで、及び/又は指50を離すまで、繰り返し素子定数を変更させて部位40を連続的に移動させる例について説明したが、このような変更停止ステップS5を含むループ処理を行わずに、移動操作を1回行うたびに素子定数を1回だけ変更するようにしてもよい。例えば、指50を部位40に接触させてから下方向に移動させると、素子定数変更処理ステップS6を1回だけ行って素子定数Rを1回変更してそのグラフ32及び素子定数を表示させ、さらに指50を部位40に接触させてから移動させると、再度、素子定数変更処理ステップS6を1回だけ行って素子定数Rを1回変更してそのグラフ32及び素子定数を表示させる。この場合、部位40がグラフ31に一致するまで、何度も部位40に触ってから下方向に移動させる移動操作を行う必要がある。   Further, a loop process including an element constant changing process step S6 and a theoretical characteristic calculating step S3 is performed until the change stop steps S5 and S9 are satisfied, and the element constant is repeatedly reached until the finger 50 is stopped and / or the finger 50 is released. However, the element constant is changed only once each time the moving operation is performed without performing the loop process including the change stop step S5. You may do it. For example, when the finger 50 is moved downward after contacting the part 40, the element constant change processing step S6 is performed only once, the element constant R is changed once, and the graph 32 and the element constant are displayed. Further, when the finger 50 is moved after being brought into contact with the part 40, the element constant change processing step S6 is performed once again, the element constant R is changed once, and the graph 32 and the element constant are displayed. In this case, it is necessary to perform a moving operation for moving the portion 40 downward after touching the portion 40 many times until the portion 40 matches the graph 31.

また、変更率が固定値である例について説明したが、部位40と指50との距離に基づき、変更率を可変させてもよい。例えば、部位40と指50との距離が第一の閾値(例えば100画素などの所定の画素数)よりも離れている場合には、予め設定された変更率(例えば1%)を複数倍(例えば2倍の2%)とし、部位40と指50との距離が第二の閾値(例えば20画素などの所定画素数)よりも近い場合には変更率を複数分の1(例えば1/2の0.5%)とするように可変させる。このように変更率を可変させることで、迅速かつ正確に部位40を指50の接触位置に移動させることができる。   Moreover, although the example in which the change rate is a fixed value has been described, the change rate may be varied based on the distance between the region 40 and the finger 50. For example, when the distance between the part 40 and the finger 50 is larger than a first threshold (for example, a predetermined number of pixels such as 100 pixels), a preset change rate (for example, 1%) is multiplied by a multiple ( For example, when the distance between the part 40 and the finger 50 is closer than a second threshold (for example, a predetermined number of pixels such as 20 pixels), the change rate is reduced to a plurality (for example, 1/2). 0.5% of the above). By changing the change rate in this way, the part 40 can be quickly and accurately moved to the contact position of the finger 50.

また、素子定数を変更率で変更させる例を説明したが、例えば素子定数Rを0.1Ωずつ変更させるというように、素子定数に加算又は減算させる所定の変更値を予め設定しておき、この所定の変更値で素子定数を変更させるようにしてもよい。   Further, the example in which the element constant is changed at the change rate has been described. For example, a predetermined change value to be added to or subtracted from the element constant is set in advance so that the element constant R is changed by 0.1Ω. You may make it change an element constant with a predetermined change value.

また、図13に、例えば等価回路bにおける位相周波数特性θのグラフ35の傾きを大きくして、測定対象物の位相周波数特性θのグラフ34に一致させる例を示す。多点(2点)検出型のタッチパネル10を用いているときには、共振周波数ωp付近で、共振周波数ωpを挟んだグラフ35の部位41a,41bに指50a,指50bを接触させて、指50aを上方向、指50bを下方向に互いが遠ざかる方向に動かすように、2点で移動操作をしてもよい。この場合、図10に示す参照テーブルの「素子条件の変更情報」の上から6欄目に相当し、素子定数変更処理ステップS6で、素子定数変更処理部6が、素子定数Rの値を1%大きく変更する。   FIG. 13 shows an example in which, for example, the slope of the graph 35 of the phase frequency characteristic θ in the equivalent circuit b is increased to match the graph 34 of the phase frequency characteristic θ of the measurement object. When the multi-point (two-point) detection type touch panel 10 is used, the fingers 50a and 50b are brought into contact with the portions 41a and 41b of the graph 35 sandwiching the resonance frequency ωp in the vicinity of the resonance frequency ωp, and the finger 50a is moved. The movement operation may be performed at two points so as to move the finger 50b in the upward direction and the downward direction. In this case, it corresponds to the sixth column from the top of the “element condition change information” in the reference table shown in FIG. 10, and in the element constant change processing step S6, the element constant change processing unit 6 sets the value of the element constant R to 1%. Change a lot.

同図で、タッチパネル10が1点検出型である場合、例えば部位41aだけ(または部位41bだけ)をグラフ34に近づけるように上方向(または下方向)に移動操作することで、部位41a,41bをグラフ35に近づけるように、傾きを変更させてもよい。また、グラフ35からグラフ34に指50a等を近づけるのではなく、グラフ35の共振周波数ωpの部位42を指50aで触って、そのまま上方向に移動させるとグラフ35の共振周波数ωp付近の傾きを大きく変更させ、下方向に移動させると傾きを小さく変更させるというように、指50の移動方向に対応づけて部位の移動方向(変更態様)を定めてもよい。   In the same figure, when the touch panel 10 is a one-point detection type, for example, the region 41a, 41b is moved by moving the region 41a (or only the region 41b) upward (or downward) so as to approach the graph 34. May be changed so as to be closer to the graph 35. Further, if the finger 50a or the like is not brought close to the graph 34 from the graph 35, but the part 42 of the resonance frequency ωp of the graph 35 is touched with the finger 50a and moved upward, the inclination near the resonance frequency ωp of the graph 35 is increased. The movement direction (change mode) of the part may be determined in association with the movement direction of the finger 50 so that the inclination is changed to be small when the movement is changed largely and moved downward.

1は等価回路解析装置、2は測定部、3は推定部、5は理論特性演算部、6は素子定数変更処理部、7は移動情報記憶部、10はタッチパネル、11はグラフ表示領域、12は素子定数表示領域、14a・14b・14cは増減ボタン(設定操作用ボタン)、21a・21bはプローブ、25は実効抵抗Rsの周波数特性のグラフ(データ)、26はコンダクタンスGの周波数特性のグラフ(データ)、31は測定部2の測定した複素インピーダンス(位相周波数特性)のグラフ、32は等価回路aの理論的な複素インピーダンス(位相周波数特性)のグラフ、34は測定部2の測定した複素インピーダンス(位相周波数特性)のグラフ、35は等価回路bの理論的な複素インピーダンス(位相周波数特性)のグラフ、40・41a.41b・42は部位、50・50a・50bは測定者の指、90は測定対象物、a・b・c・dは等価回路、Cはコンデンサの素子定数、Lはコイルの素子定数、Rは抵抗の素子定数、Rsは実効抵抗、Gはコンダクタンス、P・Mは極大値、Zはインピーダンス周波数特性、θは位相周波数特性、ω1,ω2は象限周波数、ωpは並列共振周波数、ωmは直列共振周波数である。 1 is an equivalent circuit analyzer, 2 is a measurement unit, 3 is an estimation unit, 5 is a theoretical characteristic calculation unit, 6 is an element constant change processing unit, 7 is a movement information storage unit, 10 is a touch panel, 11 is a graph display area, 12 Is an element constant display area, 14a, 14b and 14c are increase / decrease buttons (setting operation buttons), 21a and 21b are probes, 25 is a graph (data) of frequency characteristics of effective resistance Rs, and 26 is a graph of frequency characteristics of conductance G. (Data), 31 is a graph of the complex impedance (phase frequency characteristic) measured by the measuring unit 2, 32 is a graph of the theoretical complex impedance (phase frequency characteristic) of the equivalent circuit a, and 34 is the complex measured by the measuring unit 2. Impedance (phase frequency characteristic) graph, 35 is a theoretical complex impedance (phase frequency characteristic) graph of the equivalent circuit b, 40 · 41a. 41b and 42 are parts, 50, 50a and 50b are fingers of the measurer, 90 is an object to be measured, a, b, c and d are equivalent circuits, C is an element constant of the capacitor, L is an element constant of the coil, R is The element constant of the resistor, Rs is the effective resistance, G is the conductance, P · M is the maximum value, Z is the impedance frequency characteristic, θ is the phase frequency characteristic, ω 1 and ω 2 are the quadrant frequencies, ωp is the parallel resonance frequency, and ωm is Series resonance frequency.

Claims (10)

画像の表示機能及び接触による操作の検出機能を有するタッチパネルと、
測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定して、該タッチパネルにグラフで表示させる測定部と、
該測定部の測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定部と、
該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出して、該タッチパネルにグラフで表示させると共にその各素子定数を表示させる理論特性演算部と、
該タッチパネルに表示されている該等価回路のグラフの部位に接触してから、その接触位置を該タッチパネル上で移動させる移動操作に対応させて、該等価回路の該素子定数を変更する素子定数変更処理部とを備えることを特徴とする等価回路解析装置。
A touch panel having an image display function and a contact detection function;
Measuring the frequency characteristics of the complex impedance of the object to be measured, and displaying the graph on the touch panel as a graph,
Based on the frequency characteristics of the measurement object measured by the measurement unit, an estimation unit that estimates each element constant of a predetermined equivalent circuit combining a plurality of electrical elements;
Calculating a theoretical complex impedance frequency characteristic of the equivalent circuit, displaying the graph on the touch panel and displaying each element constant thereof, and a theoretical characteristic calculation unit;
An element constant change for changing the element constant of the equivalent circuit in response to a moving operation of moving the contact position on the touch panel after contacting the portion of the equivalent circuit graph displayed on the touch panel An equivalent circuit analyzing apparatus comprising a processing unit.
前記等価回路のグラフの部位に対応付けて、該部位を移動させるための前記素子定数の変更情報を予め記憶する移動情報記憶部を備え、
前記素子定数変更処理部が、該移動情報記憶部から前記移動操作に対応させた該変更情報を読み込んで、前記素子定数を変更することを特徴とする請求項1に記載の等価回路解析装置。
A movement information storage unit that stores in advance the change information of the element constant for moving the part in association with the part of the graph of the equivalent circuit,
The equivalent circuit analysis apparatus according to claim 1, wherein the element constant change processing unit reads the change information corresponding to the movement operation from the movement information storage unit and changes the element constant.
前記素子定数変更処理部が、前記移動操作で最後に停止した接触位置まで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする請求項1又は2に記載の等価回路解析装置。   3. The equivalent circuit analysis device according to claim 1, wherein the element constant change processing unit changes the element constant so that the part moves to a contact position last stopped by the moving operation. 4. . 前記素子定数変更処理部が、前記移動操作で接触が非検出となるまで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の等価回路解析装置。   4. The equivalent according to claim 1, wherein the element constant change processing unit changes the element constant so that the part moves until contact is not detected by the moving operation. 5. Circuit analysis device. 前記素子定数変更処理部が、所定の変更率ずつ素子定数を変更することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の等価回路解析装置。   The equivalent circuit analysis apparatus according to claim 1, wherein the element constant change processing unit changes the element constant by a predetermined change rate. 測定対象物の複素インピーダンスの周波数特性を測定して、画像の表示機能及び接触による操作の検出機能を有するタッチパネルにグラフで表示させる測定ステップと、
該測定ステップで測定した該測定対象物の周波数特性に基づいて、複数の電気素子を組み合わせた所定の等価回路の各素子定数を推定する推定ステップと、
該等価回路の理論的な複素インピーダンスの周波数特性を算出して、該タッチパネルにグラフで表示させると共にその各素子定数を表示させる理論特性演算ステップと、
該タッチパネルに表示されている該等価回路のグラフの部位に接触してから、その接触位置を該タッチパネル上で移動させる移動操作を検出する移動操作検出ステップと、
該移動操作検出ステップで検出された該移動操作に対応させて、該等価回路の該素子定数を変更する素子定数変更処理ステップとを含むことを特徴とする等価回路解析方法。
A measurement step of measuring the frequency characteristics of the complex impedance of the measurement object, and displaying it in a graph on a touch panel having an image display function and a touch operation detection function;
An estimation step for estimating each element constant of a predetermined equivalent circuit obtained by combining a plurality of electric elements based on the frequency characteristics of the measurement object measured in the measurement step;
A theoretical characteristic calculation step of calculating a frequency characteristic of the theoretical complex impedance of the equivalent circuit, displaying the graph on the touch panel and displaying each element constant thereof,
A movement operation detecting step for detecting a movement operation for moving the contact position on the touch panel after contacting a portion of the graph of the equivalent circuit displayed on the touch panel;
An equivalent circuit analysis method comprising: an element constant change processing step for changing the element constant of the equivalent circuit in correspondence with the movement operation detected in the movement operation detection step.
前記等価回路のグラフの部位に対応付けて、該部位を移動させるための前記素子定数の変更情報を予め移動情報記憶部に記憶させておき、
前記素子定数変更ステップで、該移動情報記憶部から前記移動操作に対応させた該変更情報を読み込んで、前記素子定数を変更することを特徴とする請求項6に記載の等価回路解析方法。
In association with the part of the graph of the equivalent circuit, change information of the element constant for moving the part is stored in advance in the movement information storage unit,
The equivalent circuit analysis method according to claim 6, wherein in the element constant changing step, the element constant is changed by reading the change information corresponding to the movement operation from the movement information storage unit.
前記素子定数変更ステップで、前記移動操作で最後に停止した接触位置まで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする請求項6又は7に記載の等価回路解析方法。   The equivalent circuit analysis method according to claim 6 or 7, wherein, in the element constant changing step, the element constant is changed so that the part moves to a contact position last stopped by the moving operation. 前記素子定数変更処理ステップで、前記移動操作で接触が非検出となるまで前記部位が移動するように、前記素子定数を変更することを特徴とする請求項6から8のいずれかに記載の等価回路解析方法。   The equivalent according to any one of claims 6 to 8, wherein, in the element constant changing processing step, the element constant is changed so that the part moves until contact is not detected by the moving operation. Circuit analysis method. 前記素子定数変更処理ステップで、所定の変更率ずつ素子定数を変更することを特徴とする請求項6から9のいずれかに記載の等価回路解析方法。   10. The equivalent circuit analysis method according to claim 6, wherein the element constant is changed by a predetermined change rate in the element constant change processing step.
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