JP2013021364A - 露光装置、デバイス製造方法、及びクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置は、露光光の光路を第1液体で満たすように第1液体で液浸部を形成可能な第1部材と、第1部材から離れた位置で第2液体で液浸部を形成可能な第2部材と、所定部材と第2部材との間の第2液体に振動を与える振動発生装置とを備え、第2液体を用いて所定部材をクリーニングする。
【選択図】図1
Description
本願は、2006年8月30日に出願された特願2006−234006号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ1と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ2と、基板Pを保持せずに、露光に関する計測を実行可能な計測器を搭載し、基板ステージ2とは独立して移動可能な計測ステージ3と、マスクステージ1を移動する駆動機構4と、基板ステージ2及び計測ステージ3を移動する駆動機構5と、各ステージの位置情報を計測するレーザ干渉計を含む計測システム6と、マスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板Pに投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。上述の第1、第2実施形態においては、超音波発生装置10は、第2ノズル部材9を振動させることによって、第2液浸空間LS2の第2液体LCに超音波を与えているが、第3実施形態の特徴的な部分は、超音波発生装置10は、基板テーブル22を振動させることによって、第2液浸空間LS2の第2液体LCに超音波(振動)を与える点にある。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4実施形態について説明する。第4実施形態は、上述の第3実施形態の変形例であって、第4実施形態の特徴的な部分は、基板テーブル22を移動する駆動機構5を用いて基板テーブル22を振動させることによって、第2液浸空間LS2の第2液体LCに超音波(振動)を与える点にある。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
なお、上述の第1〜第4実施形態においては、第2ノズル部材9を用いてクリーニング動作を実行している間、第1液浸空間LS1は存在しないが、第1液体LQで第1液浸空間を形成した状態で、第2ノズル部材9を用いてクリーニング動作を実行してもよい。例えば、上述のように、第2ノズル部材9を用いて基板テーブル22のクリーニングをしている間、計測テーブル32を第1ノズル部材8と対向する位置に移動することによって、第1液浸空間LS1を維持してもよい。あるいは、第2ノズル部材9を用いて計測テーブル32のクリーニングをしている間、基板テーブル22を第1ノズル部材8と対向する位置に移動することによって、第1液浸空間LS1を維持してもよい。あるいは、基板テーブル22及び計測テーブル32と異なる物体を第1ノズル部材8と対向する位置に配置してもよい。このように、第2ノズル部材9を用いてクリーニング動作を実行している間、第1液浸空間LS1を維持することによって、クリーニング動作完了後、直ちに基板の露光動作を開始することができる。
次に、第5実施形態について説明する。上述の第1〜第4実施形態においては、第2ノズル部材9と基板テーブル22(又は計測テーブル32)との間に第2液体LCで第2液浸空間LS2を形成した状態で、基板テーブル22(又は計測テーブル32)のクリーニングを行っているが、第1ノズル部材8から第2液体LCを供給し、第1ノズル部材8と基板テーブル22(計測テーブル32)との間に第2液体LCで液浸空間LS3を形成した状態で基板テーブル22(計測テーブル32)のクリーニングを行うようにしてもよい。
次に、第6実施形態について説明する。第6実施形態は、上述の第5実施形態の変形例であって、第6実施形態の特徴的な部分は、基板テーブル22を移動する駆動機構5を用いて基板テーブル22を振動させることによって、第1ノズル部材8と基板テーブル22との間の液浸空間の液体に超音波(振動)を与える点にある。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第7実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第8実施形態について説明する。本実施形態の特徴的な部分は、クリーニング用部材を用いてクリーニングする点にある。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (58)
- 露光光で基板を露光する露光装置において、
前記露光光の光路を第1液体で満たすように前記第1液体で液浸部を形成可能な第1部材と、
前記第1部材から離れて配置され、所定部材との間に第2液体で液浸部を形成可能な第2部材と、
前記第2部材と前記所定部材との間の前記第2液体に振動を与える振動発生装置とを備える露光装置。 - 前記第2部材は、前記第2液体を供給可能な供給口を有する請求項1記載の露光装置。
- 前記所定部材は、前記第1部材及び前記第2部材に対して相対的に移動可能であり、
前記所定部材が前記第1部材と対向しているときに、前記所定部材と前記第1部材との間に前記第1液体で液浸部を形成可能である請求項1又は2記載の露光装置。 - 前記第2部材と前記所定部材との間に前記第2液体で液浸部を形成した状態で、前記第2部材と前記所定部材とを相対的に移動する請求項3記載の露光装置。
- 前記第2液体を回収する回収口をさらに備える請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記回収口は、前記第2部材に形成されている請求項5記載の露光装置。
- 前記所定部材に向かって気体を供給することによって、前記第2液体を除去する給気口をさらに備えた請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2部材とは別の、前記給気口が形成された第3部材をさらに備え、
前記所定部材は、前記第3部材に対向する位置に配置可能である請求項7記載の露光装置。 - 前記給気口は、前記第2部材に形成されている請求項7記載の露光装置。
- 前記所定部材は、前記基板を保持して移動可能な基板ステージ、及び前記基板を保持せずに、露光に関する計測に用いられる計測器を搭載して移動可能な計測ステージの少なくとも一方を含む請求項3〜9のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記振動発生装置は、前記第2部材を振動させることによって、前記第2部材と前記所定部材との間の前記第2液体に振動を与える請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記振動発生装置は、前記所定部材を振動させることによって、前記第2部材と前記所定部材との間の前記第2液体に振動を与える請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記振動発生装置は、前記所定部材の駆動機構を含む請求項12記載の露光装置。
- 前記所定部材の汚染状態を検出可能な検出装置と、
前記検出装置の検出結果に基づいて、前記第2部材による液浸部の形成動作を制御する制御装置と、を備えた請求項1〜13のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記所定部材の汚染状態を検出可能な検出装置と、
前記検出装置の結果に基づいて、前記第2部材を用いるクリーニング動作を制御する制御装置と、をさらに備えた請求項1〜13のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記制御装置は、前記検出装置の結果に基づいて、前記第2部材を用いるクリーニング動作を実行するか否かを判断する請求項15記載の露光装置。
- 前記検出装置は、前記所定部材の光学像を取得可能な撮像装置を含む請求項14〜16のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、前記所定部材上に検出光を投射する投射装置と、前記検出光に対して所定位置に配置された受光装置とを有する請求項14〜17のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、前記所定部材に接触した後の前記第1液体の品質を検出可能な品質検出装置を含む請求項14〜18のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記検出装置は、フレキシブル部材と、前記フレキシブル部材を動かす駆動装置と、前記フレキシブル部材の一端側に設けられ、前記所定部材の汚染状態を観察可能な観察装置とを有する請求項14〜19のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2液体はクリーニング用である請求項1〜20のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2液体は、アルコールを含む請求項1〜21のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2液体は、所定の気体を水に溶解させたクリーニング水を含む請求項21記載の露光装置。
- 前記第2部材と前記所定部材との間の前記第2液体に振動を与えて、前記所定部材をクリーニングする請求項1〜23のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記振動発生装置は、前記第2液体に超音波を与える請求項1〜24のいずれか一項記載の露光装置。
- 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置において、
フレキシブル部材と、
前記フレキシブル部材を動かす駆動装置と、
前記フレキシブル部材の先端側に設けられ、前記液体と接触した所定部材の汚染状態を観察可能な観察装置と、
前記フレキシブル部材の後端側に設けられ、前記観察装置の観察結果が出力される出力装置と、を備えた露光装置。 - 前記フレキシブル部材の後端側に設けられ、前記駆動装置を操作する第1操作装置を備えた請求項26記載の露光装置。
- 前記フレキシブル部材の先端側に設けられ、前記所定部材をクリーニング可能なクリーニング装置を有する請求項26又は27記載の露光装置。
- 前記フレキシブル部材の後端側に設けられ、前記クリーニング装置を操作する第2操作装置を備えた請求項28記載の露光装置。
- 前記クリーニング装置は前記所定部材を研磨する砥石を含む請求項28又は29記載の露光装置。
- 第1液体を介して露光光で基板を露光する露光装置において、
前記露光光が通過する光学素子と、
前記光学素子の光射出側で移動可能な所定部材と、
前記所定部材を振動させることによって前記所定部材上の液体に振動を与える振動発生装置と、を備えた露光装置。 - 前記振動発生装置は、前記所定部材の駆動機構を含む請求項31記載の露光装置。
- 前記所定部材上の前記液体は、前記第1液体と異なる第2液体を含み、前記振動装置は、前記第2液体に振動を与える請求項31又は32記載の露光装置。
- 前記第2液体はクリーニング用である請求項33記載の露光装置。
- 前記第2液体は、所定の気体を水に溶解させたクリーニング水を含む請求項33又は34記載の露光装置。
- 前記所定部材上の前記液体に振動を与えることによって、前記所定部材をクリーニングする請求項31〜35のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記振動発生装置は、前記所定部材上の前記液体に20KHz以下の振動を与える請求項31〜36のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記振動発生装置は、前記所定部材上の前記液体に超音波を与える請求項31〜37のいずれか一項記載の露光装置。
- 液浸形成部材をさらに備え、
前記所定部材上に形成される前記液体の液浸部の少なくとも一部は、前記所定部材と前記液浸形成部材との間の空間の少なくとも一部に配置される請求項31〜38のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記液浸部の少なくとも一部は、前記光学素子と前記所定部材との間の光路に配置される請求項39記載の露光装置。
- 前記所定部材上の液体に振動を与えることによって、前記所定部材、前記液浸形成部材、及び前記光学素子の少なくとも一つをクリーニングする請求項40記載の露光装置。
- 前記所定部材は、前記基板を保持して移動可能な基板ステージ、及び前記基板を保持せずに、露光に関する計測に用いられる計測器を搭載して移動可能な計測ステージの少なくとも一方を含む請求項31〜41のいずれか一項記載の露光装置。
- 請求項1〜42のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
該露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 第1液体を介して露光光で基板を露光する露光装置の所定部材をクリーニング方法であって、
前記露光光の光路から離れた位置で、前記所定部材上に第2液体で液浸部を形成することと、
前記所定部材上の前記第2液体に振動を与えることによって、前記所定部材をクリーニングすることと、を含むクリーニング方法。 - 第1液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置の所定部材をクリーニング方法であって、
フレキシブル部材の先端側に設けられた観察装置で、前記所定部材を観察することと、
前記観察結果に基づいて、前記フレキシブル部材の先端側に設けられた、クリーニング装置を、前記フレキシブル部材の後端側に設けられた操作装置で操作して、前記所定部材をクリーニングすることと、を含むクリーニング方法。 - 前記所定部材は、前記クリーニングの前に、前記第1液体と接触する請求項45記載のクリーニング方法。
- 前記所定部材の汚染状態を検出することをさらに含み、
前記検出結果に基づいて、前記クリーニングする動作が制御される請求項44〜46のいずれか一項記載のクリーニング方法。 - 前記検出は、前記所定部材の光学像を取得することを含む請求項47記載のクリーニング方法。
- 前記所定部材は、前記基板を保持する保持部を有する基板ステージを含み、
前記検出は、前記基板ステージの前記保持部で板状部材を保持することと、該保持された板状部材の表面の形状を検出することとを含む請求項47又は48記載のクリーニング方法。 - 前記検出は、前記所定部材に接触した前記第1液体の品質を検出することを含む請求項47〜49のいずれか一項記載のクリーニング方法。
- 前記検出は、前記基板をパターンの像で露光した後、前記基板上に形成されたパターンの形状を検出することを含む請求項47〜50のいずれか一項記載のクリーニング方法。
- 前記所定部材は、前記基板を保持する保持部を有する基板ステージを含み、
前記検出は、前記基板ステージの前記保持部で板状部材を保持することと、該保持された板状部材上に前記第1液体で液浸部を形成することと、前記板状部材を前記基板ステージから搬出した後、該板状部材の汚染状態を検出することと、を含む請求項47〜51のいずれか一項記載のクリーニング方法。 - 露光光で基板を露光する液浸露光装置のクリーニング方法であって、
前記基板を保持可能な基板ステージの保持部で板状部材を保持し、第1部材と前記板状部材との間に液体の液浸部を形成することと、
前記第1部材と前記板状部材との間の前記液体の界面を移動して、前記第1部材に付着した異物を前記第1部材から除去することと、
前記板状部材を前記基板ステージから搬出することと、を含むクリーニング方法。 - 前記板状部材は、静電気の力によって、前記第1部材から除去された前記異物を保持可能である請求項53記載のクリーニング方法。
- 前記板状部材は、前記静電気の力によって前記異物を保持可能な保持領域と、前記保持領域を囲むように形成された撥液性領域とを有する請求項54記載のクリーニング方法。
- 露光光で基板を露光する液浸露光装置の所定部材のクリーニング方法であって、
前記露光光が通過する光学素子の光射出側で移動可能な前記所定部材上に液体で液浸部を形成することと、
前記所定部材を振動させることによって前記所定部材上の前記液体に振動を与えることと、を含むクリーニング方法。 - 露光光が照射される基板を保持可能な基板ステージの保持部に取り付け可能であって、かつ第1部材をクリニーニングするために用いられる部材であって、前記第1部材との間に液体で液浸部が形成される表面を有し、該表面は、前記液体を用いたクリーニング動作によって前記第1部材から除去された異物を保持可能であるクリーニング用部材。
- 前記表面は、静電気の力によって前記第1部材から除去された前記異物を保持可能な保持領域と、前記保持領域を囲むように形成された撥液性領域とを有する請求項57記載のクリーニング用部材。
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