JP2012504060A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. プリンタのマーク付け要素の第１のアレイとマーク付け要素の第２のアレイとの間の相対オフセットを測定する方法であって：
   前記第１のアレイからの複数のマーク付け要素を使用して、ピクセルの第１のグループを印刷し、かつ、前記第２のアレイからの複数のマーク付け要素を使用して、ピクセルの第２のグループを印刷することによって、ターゲットを印刷するステップと；
   前記ターゲットに沿った位置の関数として、前記ターゲットの光学的特徴を測定するために前記ターゲットをスキャンするステップと；
   前記ターゲットの前記光学的特徴の極値が発生する位置を特定するステップであって、前記相対オフセットは、オフセット方向に沿っており、ピクセルの第１のグループとピクセルの第２のグループを含む前記ターゲットを印刷するステップは：
   前記第１のアレイからの複数のマーク付け要素を使用して、前記オフセット方向に沿って互いに離れて間隔を置いた複数の第１の領域を含んでいる基準パターンを印刷するステップと；
   前記第２のアレイからの複数のマーク付け要素を使用して、前記複数の第１の領域から前記オフセット方向に沿って累積的に連続して位置がずれた複数の第２の領域を含んでいる位置合わせパターンを印刷するステップであって、これにより、複数の第１の領域と複数の第２の領域との重なりの度合いが前記ターゲットに沿って変化し、前記光学的特徴は、重なりの前記度合いに従って異なり、前記ターゲットは、第１の端、第２の端、及び前記第１の端と前記第２の端との中央に位置する中心を含むステップと、
   を含むステップと、
   前記光学的特徴の前記極値の前記位置を前記ターゲットの前記中央の前記位置と比較するステップと、
   を有する方法。
2. 互いに離れて間隔を置かれた複数の第１の領域に置かれる第１のタイプのピクセルを含む基準パターンと；
   複数の第２の領域に置かれた第２のタイプのピクセルを含む位置合わせパターンであって、前記複数の第２の領域は、複数の第１の領域から連続して累積的にオフセットが与えられ、これによって、複数の第１の領域及び複数の第２の領域の重なりの度合いがターゲットに沿って変化する、位置合わせパターンと；
   第１の終わりマーカと；
   第２の終わりマーカであって、重なりの前記度合いの極値の名目上の位置は、前記第１の終わりマーカと前記第２の終わりマーカとの中間に位置する、第２の終わりマーカと；
   を有する位置合わせターゲット。
3. マーク付け要素の第１のアレイと；
   マーク付け要素の第２のアレイと；
   センサと；
   ターゲットが印刷されるように前記第１のアレイ及び前記第２のアレイの印刷パターンをコントロールし、前記ターゲットに沿った位置の関数として前記ターゲットの光学的特徴を測定するために前記センサが前記ターゲットをスキャンした後に前記センサからデータを受信し、かつ、前記ターゲットの前記光学的特徴の極値が発生する位置を特定するよう構成された、コントローラであって、前記コントローラは前記ターゲットの光学的特徴の極値の前記位置を前記ターゲットの中央位置と比較する、コントローラと；
   を有するプリンタ。