JP2012202753A - Magnetic field measurement device - Google Patents

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Kimio Nagasaka
公夫 長坂
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Seiko Epson Corp
セイコーエプソン株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease the number of optical surfaces of a cell which have small light scattering and aberration.SOLUTION: A magnetic field measurement device has atoms to be excited with pump light encapsulated in a plurality of cells S formed in a cell unit 110 in a rectangular parallelepiped shape having a first flat plate 111 and a second flat plate 112 transmitting light. The magnetic field measurement device makes pump light P2 incident on each cell S from the side of the second flat plate 112, and also makes probe light P1 incident from the side of the second flat plate to cross the pump light P2 incident on each cell, and a detection part 130 detects an angle of rotation of a plane of polarization of each probe light which is incident on each cell of the cell unit 110 and transmitted through the first flat plate 111.

Description

本発明は、磁場計測装置に関する。 The present invention relates to a magnetic field measurement apparatus.

心臓または脳から発生する磁場を測定する装置として、光ポンピングを利用した磁気センサーが利用されている。 As a device for measuring the magnetic field generated from the heart or brain, a magnetic sensor using optical pumping it is used. このような磁気センサーとしては、アルカリ金属原子等のガスが封入された各セルに、円偏光成分を有するポンプ光と直線偏光成分を有するプローブ光とが直交するように照射され、心臓や脳から発せられる磁場をプローブ光によって検出するものがある。 Such magnetic sensor, in each cell gas such as an alkali metal atom is sealed, and the probe light having a pump light and a linearly polarized light component having a circularly polarized light component is radiated orthogonally, from the heart or brain the emitted field are those detected by the probe light. 下記特許文献1には、そのような光ポンピング原子磁力計が開示されている。 The following Patent Document 1, such a light-pumped atomic magnetometer is disclosed a. 特許文献1の技術は、ポンプ光とプローブ光とをセルの別の面から各々入射し、セルを透過したポンプ光をミラーで反射させて再びセルに入射させることで光ポンピングの効率を上げるものである。 The technique of Patent Document 1, which increases the efficiency of the optical pumping by causing incident the pump light and the probe light from the other side of the cell respectively incident, again cell by reflecting the pump light transmitted through the cell in mirror it is.

特開2009−236598号公報 JP 2009-236598 JP

特許文献1の技術では、ポンプ光とプローブ光とをセルの異なる面から入射させる構成のため、プローブ光が出射する面も含めると、セルにおいて光を透過させる面は4面必要となる。 In the technique of Patent Document 1, since the structure to be incident the pump light and the probe light from different sides of the cell, the inclusion also surface by the probe light is emitted, a surface that transmits light in the cell is required four faces. そのため、光を透過させる面は、光の散乱や収差の少ない光学面が要求される。 Therefore, a surface which transmits light, a small number of optical surfaces scattering and aberrations of light are required.
本発明は、セルにおいて光の散乱や収差の少ない光学面の数を減らすことを目的とする。 The present invention aims to reduce the number of small optical surfaces scattering and aberrations of light in the cell.

本発明に係る磁場計測装置は、ポンプ光により励起される原子からなる原子群を内部に収容し、少なくとも対向する2面が光を透過させる平板で構成された第1平板と第2平板とを有するセルユニットと、前記セルユニットの内部空間における複数の各領域に対し前記第2平板の側からポンプ光を入射させると共に、前記各領域に入射した前記ポンプ光と交差するようにプローブ光を前記第2平板の側から入射させる照射手段と、 Field measuring apparatus according to the present invention houses an atomic group composed of atoms excited by the pump light therein and a first flat plate and the second flat plate at least two opposite surfaces are composed of a flat plate that transmits light wherein a cell unit, dissipate incident pump light from the side of the second flat plate to a plurality of respective areas in the interior space of the cell unit, the probe light so as to intersect with the pump light incident on each area having irradiating means for entering from the side of the second flat plate,
前記セルユニットの前記各領域に入射して前記第1平板を透過した各プローブ光の偏光面の回転角を検出する検出手段とを備える。 And detection means for detecting the rotation angle of the polarization plane of the probe light incident on the respective regions of the cell unit through the first flat plate. この構成によれば、ポンプ光とプローブ光が同一面から入射されるため、従来と比べて光の散乱や収差の少ない光学面の数を減らすことができる。 According to this arrangement, since the pumping light and the probe light is incident from the same surface, it is possible to reduce the number of small optical surfaces scattering and aberrations of light than conventional.

また、本発明に係る磁場計測装置は、上記磁場計測装置において、前記セルユニットの前記各領域はスペーサーによって仕切られ、仕切られた各領域が一つのセルとして構成されており、前記照射手段は、前記第2平板と対向する第1の面と、前記第1の面と対向する第2の面との間で前記ポンプ光及び前記プローブ光を反射させて伝播させるアレイイルミネーターを有し、前記第1の面には、前記第1の面に向かう前記ポンプ光及び前記プローブ光の各々の一部を透過させる光分岐手段が設けられていることとしてもよい。 Further, the magnetic field measuring apparatus according to the present invention, in the magnetic field measurement device, wherein the respective regions of the cell unit is separated by a spacer, and each area partitioned is configured as a single cell, said illumination means, has a first surface facing the second plate, an array illuminator to propagate by reflecting the pump light and the probe light between said first surface and second opposing surface, the the first surface may be the light branching means for transmitting a portion of each of said pump light toward the first surface and the probe light are provided. この構成によれば、ポンプ光とプローブ光が同一面から入射されるため、従来と比べて光の散乱や収差の少ない光学面の数を減らすことができる。 According to this arrangement, since the pumping light and the probe light is incident from the same surface, it is possible to reduce the number of small optical surfaces scattering and aberrations of light than conventional.

また、本発明に係る磁場計測装置は、ポンプ光により励起される原子からなる原子群を内部に収容し、少なくとも対向する2面が光を透過させる平板で構成された第1平板と第2平板とを有するセルユニットが複数配列されたセルアレイユニットと、前記各セルユニットの内部空間における複数の各領域に対しポンプ光を前記第2平板の側から入射させると共に、前記各領域に入射した前記ポンプ光と交差するようにプローブ光を前記第2平板の側から入射させる照射手段と、前記各セルユニットの前記各領域に入射して前記第1平板を透過した各プローブ光の偏光面の回転角を検出する検出手段とを備える。 Further, the magnetic field measuring apparatus according to the present invention houses an atomic group composed of atoms excited by the pump light within the first flat plate and the second flat plate at least two opposite surfaces are composed of a flat plate that transmits light said pump cell unit and the cell array units which are arrayed, wherein the causes incident from the side of the second flat plate pump light to a plurality of respective areas in the interior space of the cell unit, is incident on the respective regions with bets irradiating means for entering from the side of the second flat plate probe light so as to intersect with the optical rotation angle of the polarization plane of the probe light incident on the respective regions of the respective cell units transmitted through the first flat plate and detection means for detecting. この構成によれば、ポンプ光とプローブ光が同一面から入射されるため、従来と比べて光の散乱や収差の少ない光学面の数を減らすことができ、またセルユニットの配列方向における磁場成分の分布を測定することができる。 According to this arrangement, since the pumping light and the probe light is incident from the same surface, it is possible to reduce the number of small optical surfaces scattering and aberrations of light compared with conventional, also the magnetic field component in the arrangement direction of the cell units it is possible to measure the distribution.

実施形態に係る磁場計測装置の構成例を示す図である。 It is a diagram illustrating a configuration example of a magnetic field measurement apparatus according to the embodiment. 実施形態に係るセルアレイセンサーの断面を表わす模式図である。 It is a schematic view showing a cross section of the cell array sensor according to the embodiment. 図2に示すセルアレイセンサーのA−A断面を表わす模式図である。 It is a schematic view showing the A-A cross section of the cell array sensor shown in FIG. 図2に示すセルアレイセンサーを拡大した図である。 It is an enlarged view of the cell array sensor shown in FIG. 変形例(1)に係るセルアレイセンサーの断面を表わす模式図である。 Deformation is a schematic view showing a cross section of the cell array sensor according to Example (1). 変形例(2)に係るセルアレイセンサーを表わす図である。 Is a diagram illustrating a cell array sensor according to a modification (2). 変形例(2)に係るセルアレイセンサーを表わす図である。 Is a diagram illustrating a cell array sensor according to a modification (2). 変形例(3)に係るセルアレイセンサーを表わす図である。 Is a diagram illustrating a cell array sensor according to Modification (3).

<実施形態> <Embodiment>
図1は、本発明に係る実施形態の磁場計測装置の構成例を示すブロック図である。 Figure 1 is a block diagram showing a configuration example of a magnetic field measurement apparatus according to an embodiment of the present invention. 磁場計測装置1は、生体の心臓等から発せられる磁場を測定する装置であり、セルアレイセンサー10、ポンプ光光源20、プローブ光光源30、信号処理部40を備える。 Field measuring apparatus 1 is provided with a device for measuring the magnetic field emanating from the living body such as the heart, the cell array sensor 10, the pump light source 20, the probe light source 30, a signal processing unit 40. ポンプ光光源20及びプローブ光光源30は、無偏光のレーザービームを各々出力する装置である。 Pumping light source 20 and the probe light source 30 is a device, each for outputting a laser beam of non-polarized light. セルアレイセンサー10は、ポンプ光光源20及びプローブ光光源30から出力されるレーザービームを用いて生体から発せられる磁場を検出して出力する。 Cell array sensor 10 detects and outputs a magnetic field generated from a living body using a laser beam outputted from the pumping light source 20 and the probe light source 30. ここで、セルアレイセンサー10の構造について図2及び図3を用いて説明する。 Here, the structure of the cell array sensor 10 will be described with reference to FIGS.

図2は、セルアレイセンサー10の断面を示す模式図である。 Figure 2 is a schematic view showing a cross section of a cell array sensor 10. 図3は、図2のA−A断面を示す模式図である。 Figure 3 is a schematic diagram showing an A-A cross section of FIG. セルアレイセンサー10は、セルアレイ110と、アレイイルミネーター120と、検出部130とを有する。 Cell array sensor 10 includes a cell array 110, the array illuminator 120, and a detection unit 130. セルアレイ110は、セルユニットの一例である。 Cell array 110 is an example of the cell unit. 図2に示すように、セルアレイ110は、上板(第1平板)111、下板(第2平板)112、及び隔壁(スペーサー)113とを有する。 As shown in FIG. 2, the cell array 110, the upper plate (the first flat plate) 111, the lower plate (second plate) 112, and has a partition wall (spacer) 113. また、セルアレイ110は、図3に示すように、xy平面に平行な方向に平板114,115(図3参照)が設けられている。 Further, the cell array 110, as shown in FIG. 3, the flat plate 114 and 115 (see FIG. 3) is provided in a direction parallel to the xy plane. 上板111の上部には後述する検出部130が設けられている。 The detection unit 130 to be described later is provided in an upper portion of the upper plate 111. 隔壁113は、上板111及び下板112によって挟まれ、隔壁113によって、上板111と下板112と平板114,115とで囲まれた内部空間が仕切られている。 Partition wall 113 is sandwiched between the upper plate 111 and lower plate 112, the partition wall 113, the internal space surrounded by the upper plate 111 and lower plate 112 and the flat plate 114 and 115 are partitioned. セルアレイ110は、隔壁113によって仕切られた各領域Sを一つ一つのセルとして、x軸方向に複数のセルが配列された構造となっている。 Cell array 110, as each region S every single cell partitioned by the barrier ribs 113, a plurality of cells in the x-axis direction and has a sequence structure. この例では、x軸方向に8つのセルSが配列されているが、複数のセルSが一次元方向に配列されていればセルSの数は8つに限らない。 In this example, eight cells S in the x-axis direction are arranged, the number of cells S are not limited to eight as long as a plurality of cells S are arranged in one-dimensional direction.

上板111及び下板112は、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、またはプラスチック等の光を透過する材料で形成される。 Upper plate 111 and lower plate 112 are formed of a material which transmits quartz glass, light, such as borosilicate glass or plastic. 隔壁113及び平板114,115は、セラミックス等、不透明な材料で形成される。 Partition wall 113 and the flat plate 114 and 115, ceramics or the like, and is formed of an opaque material. 不透明な材料で形成するのは、隣接するセルSへの光学的なクロストークを防止するためであるが、隔壁113及び平板114,115は、上板111及び下板112と同様の透明な材料で形成されてもよい。 To form an opaque material, but in order to prevent optical crosstalk to adjacent cells S, the partition walls 113 and the flat plate 114 and 115, transparent similar to the upper plate 111 and lower plate 112 material in may be formed. 上板111、下板112、隔壁113、平板114,115は、低融点ガラス、光学接着、または溶着により、セルアレイ110と外部との気密性が保たれた状態で接合される。 Upper 111, lower plate 112, partition wall 113, the flat plate 114 and 115, low-melting glass, optical bonding or by welding, tightness between the cell array 110 and the outside are joined in a state of being maintained. 各セルSには、ポンプ光によって励起される原子群の一例として、気体の状態のアルカリ金属原子(カリウム(K)、ルビジウム(Rb)、またはセシウム(Cs)等)が封入されている。 Each cell S, as an example of a group of atoms excited by the pump light, an alkali metal atom of the gaseous state (potassium (K), rubidium (Rb), or cesium (Cs), etc.) is sealed.

また、セルアレイ110の各セルに対応する下板112の表面において、ポンプ光及びプローブ光が入射する各位置に、誘電体多層膜や波長板の光学部材で構成された変換部140(140a,140b)(図4参照)が設けられている。 Further, the surface of the lower plate 112 corresponding to each cell of the cell array 110, at each position in which the pump light and the probe light is incident, a dielectric multilayer film or a wavelength plate converting unit 140 constituted by optical members (140a, 140b ) (see FIG. 4) is provided. 変換部140bは、ポンプ光光源20から出力されたレーザービームP2を円偏光成分を有するポンプ光に変換し、変換部140aは、プローブ光光源30から出力されたレーザービームP1を直線偏光成分を有するプローブ光に変換する。 Conversion unit 140b converts the laser beam P2 output from the pump light source 20 to the pump light having a circularly polarized light component, converting unit 140a has a linear polarization component of a laser beam P1 outputted from the probe light source 30 to convert to the probe light. ポンプ光光源20及びプローブ光光源30から出力された各レーザービームはセルアレイ10の下板112から入射する前に変換部140によってポンプ光及びプローブ光に各々変換される。 Each laser beam output from the pump light source 20 and the probe light source 30 are respectively converted into the pump light and the probe light by the conversion unit 140 before being incident from the lower plate 112 of the cell array 10. アルカリ金属原子は、ポンプ光の偏光方向に応じてスピン偏極して磁化された状態(光ポンピング)となり、当該セルSにおける磁場に応じた角周波数で歳差運動を行う。 Alkali metal atom, while being magnetized spin polarized (optical pumping), and the precession angular frequency corresponding to the magnetic field in the cell S performed according to the polarization direction of the pump light.

アレイイルミネーター120は、回折格子(光分岐手段)121、光カプラー122(122A,122B)、導光体123を有する。 Array illuminator 120, a diffraction grating (optical branching means) 121, optical coupler 122 (122A, 122B), having a light guide 123. 上記変換部140とアレイイルミネーター120は、本発明に係る照射手段の一例として機能するものである。 The conversion unit 140 and the array illuminator 120, and functions as an example of an irradiation unit according to the present invention. 回折格子121は、セルアレイ110の下板112と対向する平板124(第1の面)の内側に設けられている。 Diffraction grating 121 is provided inside of the plate 124 facing the lower plate 112 of the cell array 110 (first surface). また、光カプラー122は平板124の上端部に設けられ、導光体123は平板124と平板125(第2の面)との間に設けられている。 Further, the optical coupler 122 is provided at the upper end of the plate 124, the light guide 123 is provided between the flat plate 124 and the flat plate 125 (the second surface).
ポンプ光光源20から出射されたレーザービームP2と、プローブ光光源30から出射されたレーザービームP1は、光ファイバー等の伝送手段によってアレイイルミネーター120に導かれ、光カプラー122A,122Bを介して光結合される。 A laser beam P2 emitted from the pump light source 20, a laser beam P1 emitted from the probe light source 30 is guided to the array illuminator 120 by transmission means such as optical fibers, the optical coupling through optical coupler 122A, the 122B It is. アレイイルミネーター120に導かれた光は、回折格子121および導光体123の下面で繰り返し反射されることにより分岐したビーム(光束)となり、1次元的に広がるビームアレイとなる。 The light guided to the array illuminator 120, branched beam (light flux) and by being reflected repeatedly by the lower surface of the diffraction grating 121 and the light guide body 123, a beam array spread one-dimensional.

図4は、セルSの構造の詳細を示す模式図であり、図2の一部を拡大したものである。 Figure 4 is a schematic diagram showing details of the structure of the cell S, it is an enlarged view of a portion of FIG. アレイイルミネーター120において、この図の右方向からレーザービームP2(実線)が入射され、この図の左方向からレーザービームP1(破線)が入射される。 In an array illuminator 120, the laser from the right side of FIG beam P2 (solid line) is incident, the laser beam P1 from the left in the diagram (broken line) is incident. レーザービームP1は、アレイイルミネーター120の上面に設けられた回折格子121に達すると、回折格子121によってプローブ光の一部が反射され、一部が回折格子121を透過する。 Laser beam P1 is reached to the diffraction grating 121 provided on the upper surface of the array illuminator 120, a portion of the probe light is reflected by the diffraction grating 121, partially transmitted through the diffraction grating 121. 回折格子121で反射されたプローブ光の一部は、アレイイルミネーター120の下面で反射されて再び回折格子121に向かう。 Some of the probe light reflected by the diffraction grating 121 is directed to the diffraction grating 121 again and is reflected by the lower surface of the array illuminator 120. このようにして、レーザービームP1は、アレイイルミネーター120における回折格子121と下面とによって透過と反射とを繰り返し、図中右方向(x軸正方向)に伝播される。 In this manner, the laser beam P1 repeats transmission and reflection by the lower surface and the diffraction grating 121 in the array illuminator 120, is propagated to the right in the drawing direction (x-axis positive direction). レーザービームP2もレーザービームP1と同様にしてアレイイルミネーター120によって図中左方向(x軸負方向)に伝播される。 Laser beam P2 is also propagated to leftward in the drawing (x-axis negative direction) by the array illuminator 120 in the same manner as the laser beam P1.

回折格子121を透過したレーザービームP1とレーザービームP2は、セルアレイ10の下板112の表面において、変換部140により円偏光成分を有するポンプ光P2と直線偏光成分を有するプローブ光P1に変換される。 Laser beam P1 and the laser beam P2 having passed through the diffraction grating 121, the surface of the lower plate 112 of the cell array 10, is converted into the probe light P1 having a pump light P2 and the linear polarized light component having a circularly polarized component by the conversion unit 140 . ポンプ光P2とプローブ光P1は、各セルS内において略直交するように下板112から各セルSに入射する。 Pump light P2 and the probe light P1 is incident from the lower plate 112 to each cell S to be substantially perpendicular in each cell S. 各セルSにポンプ光P2が入射すると、各セルS内のアルカリ金属原子は光ポンピングし、当該セルSにおける磁場の大きさに応じて歳差運動を行う。 When the pump light P2 in each cell S is incident, an alkali metal atom in each cell S is optical pumping, precess in accordance with the magnitude of the magnetic field in the cell S. 各セルSに入射したプローブ光P1は、当該セルS内のアルカリ金属原子の歳差運動による回転力に応じて偏光面が回転され、当該セルSの上板111の部分を透過する。 Probe light P1 incident on each cell S includes polarization plane in response to rotation force generated by the precession of the alkali metal atoms in the cell S is rotated and transmits the portion of the upper plate 111 of the cell S. 各セルSから上板111を透過したプローブ光は各検出部130に入射する。 Probe light transmitted through the top plate 111 from each cell S is incident on the detector 130.

各検出部(検出手段)130は、ビームスプリッター131と、2分割PD(Photo Detector)132とを有する。 Each detector (detecting means) 130, a beam splitter 131, and a bisected PD (Photo Detector) 132. ビームスプリッター131は、反射透過面を有する。 Beam splitter 131 has a reflection and transmission plane. ビームスプリッター131は、反射透過面に入射した光のうち、ある偏光成分(第1偏光成分)を反射し、それと直交する偏光成分(第2偏光成分)を透過させる。 Beam splitter 131, of the light incident on the reflection and transmission plane, there was reflected polarization components (the first polarization component), perpendicular thereto polarized component (second polarized light component) and transmits. すなわち、ビームスプリッター131は、入射したプローブ光P1を、直交する2つの偏光成分に分離する。 That is, the beam splitter 131, the probe light P1 incident, separates into two orthogonal polarization components. ビームスプリッター131は、反射透過面が、セルに入射する前のプローブ光P1の偏光面と45°で交わるように設置される。 Beam splitter 131, reflection-transmission surface is disposed to intersect with the polarization plane and 45 ° in front of the probe light P1 incident on the cell. 2分割PD132は、プローブ光の波長に感度を有する。 2 split PD132 is sensitive to the wavelength of the probe light. 2分割PD132は、第1偏光成分および第2偏光成分の各光量に応じた電流を出力する。 2 split PD132 outputs a current corresponding to the first polarization component and second respective light amount of the polarization component. この図の例では、各検出部130で検出された第1偏光成分および第2偏光成分の差分を求めることで各セルSにおけるy軸方向の磁場の情報を得ることができる。 In the illustrated example, it is possible to obtain the magnetic field information of the y-axis direction in each cell S by obtaining a first difference between the polarization component and second polarization component detected by the detection unit 130.

図1に戻り、信号処理部40について説明する。 Returning to Figure 1, it will be described the signal processing unit 40. 信号処理部40は、プロセッサーおよびメモリーを有する。 The signal processing unit 40 includes a processor and memory. 信号処理部40は、各検出部130から出力された第1偏光成分および第2偏光成分の差分に基づいてプローブ光の偏光面の回転角度を求め、各セルSにおける磁場の強さを算出して出力する。 The signal processing unit 40 obtains the rotation angle of the polarization plane of the probe beam on the basis of the difference between the first polarization component and second polarization component output from the detection unit 130, calculates the strength of the magnetic field in each cell S to output Te. なお、算出結果は、磁場測定装置1と接続されたCRT(Cathode Ray Tube)やLCD(Liquid Crystal Display)等の表示装置に出力してもよいし、PC等の他の装置に有線又は無線により送信してもよい。 The calculation result may be output to a display device such as a CRT connected to the magnetic field measuring apparatus 1 (Cathode Ray Tube) or LCD (Liquid Crystal Display), by wire or wireless to another device such as PC it may be sent.

上述した磁場測定装置1により生体が発する磁場を検出する際は以下のようにして行う。 When detecting the magnetic fields biological emitted by the magnetic field measuring apparatus 1 described above is performed as follows. 磁場測定装置1は、磁場の測定を指示する操作部(図示略)を介して磁場の測定指示が利用者からなされると、ポンプ光光源20及びプローブ光光源30からレーザービームP1及びP2を照射する。 Magnetic field measuring apparatus 1 is irradiated, the measurement instruction of the magnetic field made by the user via the operation unit for instructing the measurement of the magnetic field (not shown), a laser beam P1 and P2 from the pump light source 20 and the probe light source 30 to. 信号処理部40は、セルアレイ110を透過して各検出部130から出力されたプローブ光P1の第1偏光成分及び第2偏光成分の検出結果からプローブ光の偏光面の方位を求め、各セルSにおける磁場を測定する。 The signal processing unit 40 obtains the orientation of the polarization plane of the probe light from the detection result of the first polarization component and second polarization component of the probe light P1 which passes through the cell array 110 is output from the detection unit 130, each cell S to measure the magnetic field in.

本実施形態では、1次元方向に複数のセルSが配列されたセルアレイ10に対し下板112からポンプ光及びプローブ光を各セルSに入射させ、上板111から出射したプローブ光を検出することで各セルSにおける磁場を測定する構成のため、少なくとも上板111と下板112の2面が光を透過させるように構成されていればよい。 In this embodiment, the pump light and the probe light from the lower plate 112 with respect to the cell array 10 in which a plurality of cells S are arranged in one-dimensional direction to be incident on each cell S, detecting the probe light emitted from the upper plate 111 because of the configuration for measuring the magnetic field in each cell S in, two faces of at least the upper plate 111 and lower plate 112 may be composed so as to transmit light. そのため、セル毎にセルを製造する場合と比べて、磁場の測定がばらつく要因となる光学面の収差や散乱等の要因が減り、各セルにおける磁場の測定のばらつきが軽減される。 Therefore, as compared with the case of producing a cell for each cell reduces the factors aberrations and scattering of an optical surface is a factor of measurement varies a magnetic field, the variation of the measurement of the magnetic field in each cell is reduced.

<変形例> <Modification>
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、以下のように変形させて実施してもよい。 The present invention is not limited to the embodiments described above may be performed by modified as follows. また、以下の変形例を組み合わせてもよい。 It may be combined to the following modifications.

(1)上述した実施形態では、隔壁113によって各セルSが仕切られたセルアレイ110の例を説明したが、図5に示すように、セルアレイの内部空間を仕切る隔壁を設けず、上板111、下板112、平板114,115(図示略)、隔壁113a,113bによってセルアレイ110Aを構成してもよい。 (1) In the above embodiment, an example has been described of the cell array 110 in which each cell S is partitioned by a partition wall 113, as shown in FIG. 5, without providing the partition wall dividing the interior space of the cell array, the upper plate 111, lower plate 112, a flat plate 114, 115 (not shown), barrier ribs 113a, may be configured array 110A by 113b. なお、この図において、検出部130及び変換部140の図示は省略する。 Incidentally, in this figure, illustration of the detection unit 130 and the conversion unit 140 will be omitted. セルアレイ110Aの内部空間には、実施形態と同様のアルカリ金属原子が封入されると共に、ヘリウム(He)あるいはアルゴン(Ar)等の希ガス、または窒素(N)等の非磁性のガスがバッファーガスとして封入される。 The inner space of the cell array 110A, together with the alkali metal atoms similar to the embodiment is sealed, helium (He) or argon (Ar), nitrogen or a rare gas (N) magnetic gas buffer gas such as, etc. It is enclosed as. このバッファーガスは、アルカリ金属原子が内部空間を移動しないように圧力が調整されて封入されている。 The buffer gas pressure as alkali metal atom does not move the internal space is sealed adjusted. 内部空間におけるアルカリ金属原子の移動が抑制されている状態において、ポンプ光P2とプローブ光P1とを実施形態と同様の方法でセルアレイ110Aに照射し、セルアレイ110Aの上板111を透過したプローブ光を検出することで、内部空間においてポンプ光とプローブ光とが交差する各領域SAにおける磁場を測定する。 In the state in which the movement of the alkali metal atoms in the inner space is suppressed, and a pump light P2 and the probe light P1 irradiated to the cell array 110A in a manner similar to the embodiment, the probe light transmitted through the top plate 111 of the cell array 110A by detecting, and the pump light and the probe light in the internal space to measure magnetic field in each region SA crossing.

(2)上述した実施形態では、1次元方向にセルSが配列されたセルアレイ110を有するセルアレイセンサー10を例に説明したが、図6に示すように、図2に示したセルアレイセンサー10をxy平面上に複数配列して2次元のセルアレイセンサー10Bを構成するようにしてもよい。 (2) In the embodiment described above, the cell array sensor 10 having a cell array 110 in which the cell S are arranged in one-dimensional direction has been described as an example, as shown in FIG. 6, xy cell array sensor 10 shown in FIG. 2 a plurality arranged on a plane may be configured to two-dimensional cell array sensor 10B. なお、図示を省略するが、各セルアレイ110とアレイイルミネーター120の間には変換部140が設けられている。 Although not shown, converter 140 between each cell array 110 and the array illuminator 120 is provided. セルアレイセンサー10がこのように配列されることによって、xz平面におけるy軸方向の磁場成分を測定することができるので、実施形態と比べて広範囲に磁場を測定することができる。 By cell array sensor 10 are arranged in this manner, it is possible to measure the magnetic field component in the y-axis direction in the xz plane can be measured over a wide range magnetic field as compared with the embodiment. また、セルアレイセンサー10Bをy軸方向に配列してy軸方向の磁場成分の3次元分布を測定するようにしてもよい。 Further, the cell array sensor 10B may be arranged in the y-axis direction to measure the three-dimensional distribution of the magnetic field component in the y-axis direction. 配列された各セルアレイ110は、本発明に係るセルアレイユニットの一例であり、アレイイルミネーター120及び変換部(図示略)は本発明に係る照射手段の一例である。 Each cell array 110 arranged is an example of a cell array unit according to the present invention, the array illuminator 120 and a conversion unit (not shown) is an example of an irradiation unit according to the present invention.

また、例えば、図7に示すようにセルアレイセンサー10Cを構成してもよい。 Further, for example, it may constitute a cell array sensor 10C as shown in FIG. セルアレイセンサー10Cのセルアレイ110Cは、実施形態と同様、光を透過させる材料で形成された上板111及び下板112と、不透明な材料で形成された平板114,115,116,117、及び隔壁113を有する。 Cell array 110C of the array sensor 10C is an embodiment similar to, the upper plate 111 and lower plate 112 formed of a material that transmits light, flat plate formed of an opaque material 114, 115, 116, 117, and barrier ribs 113 having. セルアレイ110Cは、隔壁113で仕切られた各領域が一つのセルSとして形成されている。 Cell array 110C, each region partitioned by the partition wall 113 is formed as one cell S. 各セルSの上板111の部分には、各セルSに対応する検出部130が設けられている。 The portion of the upper plate 111 of each cell S, the detection unit 130 is provided corresponding to each cell S. また、セルアレイ110Cの下板112の下側にはアレイイルミネーター120Aが設けられている。 Moreover, the array illuminator 120A is provided on the lower side of the lower plate 112 of the cell array 110C. アレイイルミネーター120Cは、実施形態に係るアレイイルミネーター120と同じ構造を有し、アレイイルミネーターの上面及び下面がセルアレイ110Cの下板112と略同じ大きさとなるように形成されている。 Array illuminator 120C has the same structure as the array illuminator 120 according to the embodiment is formed so that the upper surface and the lower surface of the array illuminator is substantially the same size as the bottom plate 112 of the cell array 110C. なお、この図において変換部140の図示は省略する。 Although illustration of the conversion unit 140 in this figure will be omitted. セルアレイセンサー10Cにおいて、図中X軸負方向の各セルSに対応する所定位置からレーザービームP2を入射し、図中X軸正方向の各セルSに対応する所定位置からレーザービームP1を入射することにより、セルアレイ110Cの各セルSにおけるy軸方向の磁場成分を測定することができる。 In cell array sensor 10C, incident laser beam P2 from a predetermined position corresponding to each cell S in the drawing X-axis negative direction, and enters the laser beam P1 from a predetermined position corresponding to each cell S in the drawing X-axis positive direction it makes it possible to measure the magnetic field component in the y-axis direction in each cell S of the cell array 110C. また、このように構成することで、図6に示したセルアレイセンサー10Bと比べて、セルアレイ間の位置合わせが不要になり、セルアレイ及びアレイイルミネーターを構成する部品の数を少なくすることができるので、セルアレイセンサーの構造や製造工程を簡素化することができる。 In addition, by this configuration, as compared to the cell array sensor 10B shown in FIG. 6, the alignment between the cell array is not required to form a cell array and array illuminator it is possible to reduce the number of parts , it is possible to simplify the structure and manufacturing process of the cell array sensor. セルアレイ110Cは、本発明に係るセルアレイユニットの一例であり、アレイイルミネーター120及び変換部(図示略)は、本発明に係る照射手段の一例である。 Cell array 110C is an example of a cell array unit according to the present invention, the array illuminator 120 and a conversion unit (not shown) is an example of the irradiation means according to the present invention.

(3)磁場の検出感度を高めるために、セルアレイを生体等の磁場源に近づけると共に、各セル内に入射したポンプ光及びプローブ光を折り返し反射させることによって高感度の磁場検出を行うセルアレイセンサーの例を図8に示す。 (3) in order to increase the detection sensitivity of the magnetic field, the cell array made closer to the magnetic field source such as a living body, the cell array sensor that performs magnetic detection sensitive by reflecting folded pump light and the probe light incident in each cell an example shown in FIG. セルアレイ110Dは、図8に示すように、磁場源Qの上部に配置される。 Cell array 110D, as shown in FIG. 8, are placed on top of the magnetic field source Q. セルアレイ110Dは、各セルSの内部に入射したポンプ光及びプローブ光を各々反射させるミラー118(118a,118b)が設けられている点以外は実施形態に係るセルアレイ10と同様の構造である。 Cell array 110D has the same structure except that mirror 118 (118a, 118b) is provided with a cell array 10 according to the embodiment, each reflecting the pump light and the probe light incident on the interior of each cell S. セルアレイ110Dの各セルSに対応する上板111の部分には、検出部130が設けられている。 The corresponding portion of the upper plate 111 to each cell S in the cell array 110D, the detection unit 130 is provided. アレイイルミネーター120は、セルアレイ110C及び各検出部130の上部に設けられている。 Array illuminator 120 is provided in the upper portion of the cell array 110C and the detector 130. また、この図では図示を省略するが、アレイイルミネーター120を透過したレーザービームP1及びP2をポンプ光及びプローブ光に変換する変換部が各セルに対応する上板111の各位置に設けられている。 Further, though not shown in this figure, provided at each position of the upper plate 111 converting unit for converting the laser beams P1 and P2 is transmitted through the array illuminator 120 to the pump light and the probe light corresponds to each cell there.

上板111を介して各セルS内にポンプ光P2が入射すると、各セルS内のアルカリ金属原子はポンプ光によってスピン偏極する。 When the pump light P2 in each cell S through the top plate 111 is incident, an alkali metal atom in each cell S is spin-polarized by the pump light. ポンプ光P2はミラー118aに達するとセルの内部に向けて反射され、入射時とは反対の回転方向の円偏光となって(入射時の偏光が右回り円偏光である場合には、反射時の偏光は左回り円偏光となる)、再びアルカリ金属原子を通過する。 Pump light P2 is reflected toward the interior of the cell reaches the mirror 118a, when the time of incidence becomes opposite rotational direction of the circularly polarized light (incident upon the polarized light is right-handed circularly polarized light upon reflection the polarization becomes left-handed circularly polarized light), it passes through the alkali metal atoms again. 光ポンピングしているアルカリ金属原子は、反射したポンプ光によって1回目のポンプ光の入射時と同じ方向にスピン偏極する。 Alkali metal atoms that are optically pumped, spin polarized in the same direction as the incoming of the first pump light by pump light reflected. 各セル内Sのアルカリ金属原子は、磁場源Qの磁場の強度に応じて歳差運動を行う。 Alkali metal atom for each cell S may precess according to the intensity of the magnetic field of the magnetic field source Q. 上板111から各セルS内に入射したプローブ光P1は、歳差運動を行っているアルカリ金属原子を通過することで、プローブ光P1の偏光面が回転される。 Probe light P1 incident in each cell S from the upper plate 111, by passing through the alkali metal atoms are subjected to precession, the polarization plane of the probe light P1 is rotated. 偏光面が回転されたプローブ光P1は各セルSのミラー118bによって反射され、再びアルカリ金属原子を通過する。 Probe light P1 which polarization plane has been rotated is reflected by the mirror 118b of each cell S, it passes through the alkali metal atoms again. 反射されたプローブ光P1は、入射時とは逆方向にアルカリ金属原子を通過するためファラデー効果の非相反性により1回目の偏向面の回転方向と同じ方向に偏向面が回転されて上板111の方向に向かう。 Probe light P1 which is reflected, from the incoming to the deflecting surface is rotated in the same direction as the rotation of the first deflecting surface by the non-reciprocal Faraday effect to pass alkali metal atoms in the opposite direction the upper plate 111 toward the direction. 各セルSから上板111を透過した各プローブ光P1は検出部130で第1偏光成分と第2偏光成分とに分離されて検出される。 Each probe light transmitted through the top plate 111 from each cell S P1 is detected is separated into a first polarization component by the detection unit 130 second polarization component.
本変形例では、微弱な磁場を発する磁場源Qにセルアレイ110Dを近づけると共に、セルアレイ110Dの各セルS内部にミラー118を設けることで、アルカリ金属原子のスピン偏極の緩和時間が長くなると共にプローブ光の偏向面の回転角度が強調され、生体から発せられる微弱な磁場を高感度に検出することができる。 Probe with in this modification, the closer the cell array 110D to the magnetic field source Q which emits a weak magnetic field, by providing each cell S inside mirror 118 of the cell array 110D, the relaxation time of the spin-polarized alkali metal atoms is prolonged rotation angle of the deflecting surface of the light is emphasized, it is possible to detect a weak magnetic field emanating from the living with high sensitivity.

(4)上述した実施形態では、アレイイルミネーター120を用いてレーザービームをセルアレイ10に照射する例を説明したが、光ファイバ等の光導波路を用いて、セルアレイ10における各セルSの下板112の部分にレーザービームを照射するようにしてもよい。 (4) In the above embodiment, an example has been described for irradiating a laser beam in the cell array 10 using an array illuminator 120, by using an optical waveguide such as an optical fiber, under each cell S in the cell array 10 plate 112 it may be irradiated with a laser beam to the portion.

(5)上述した実施形態に係るセルアレイにおいて、アルカリ金属原子のスピン偏極の緩和時間を長くするため、セルアレイを構成する上板111、下板112、隔壁113、及び平板114,115の内壁をパラフィン等の非緩和物質でコーティングしてもよい。 (5) In the cell array according to the embodiment described above, in order to prolong the relaxation time of the spin polarization of the alkali metal atom, an upper plate 111 constituting the cell array, the lower plate 112, partition wall 113, and the inner wall of the plate 114 and 115 it may be coated with a non-relaxed material such as paraffin.
また、アルカリ金属原子と共に、変形例(1)で示したバッファーガスが封入されていてもよい。 Further, the alkali metal atom, a buffer gas may be sealed as shown in the modification (1). また、アルカリ金属原子は、常時気体の状態である必要はなく、磁場を測定するときに気体の状態であればよい。 Further, the alkali metal atom is not necessarily a state of constant gas may be a gaseous state when measuring the magnetic field. 磁場計測装置1において、測定時にセルアレイを加熱することによりアルカリ金属原子を気体化する加熱・冷却手段を備えるようにしてもよい。 In field measuring apparatus 1 may be provided with a heating and cooling means for gases the alkali metal atoms by heating the cell array at the time of measurement. さらに、セルにおいて磁性媒体として用いられるガスはアルカリ金属に限定されない。 Further, the gas used as the magnetic medium in the cell is not limited to the alkali metal. ポンプ光によりスピン偏極するものであれば、どのような原子が用いられてもよい。 As long as the spin-polarized by the pump light, what atoms may be used.

(6)上述した実施形態では、ポンプ光光源20及びプローブ光光源30から出力されたレーザービームをセルアレイ10の下板112の表面においてポンプ光及びプローブ光に変換する例を説明したが、ポンプ光光源20及びプローブ光光源30から出力されたレーザービームをポンプ光及びプローブ光に変換してアレイイルミネーター120に入射させるように構成してもよい。 (6) In the above embodiment, an example has been described for converting the output laser beam from the pumping light source 20 and the probe light source 30 to the pump light and the probe light at the surface of the lower plate 112 of the cell array 10, the pump light may be configured to be incident on the array illuminator 120 converts the outputted laser beam from the light source 20 and the probe light source 30 to the pump light and the probe light.

(7)上述した実施形態に係るセルアレイ110は直方体の形状である例であったが、セルアレイ110の形状は、少なくとも対向する2面が光を透過させる平板で形成されているものであれば直方体以外の多面体の形状であってもよい。 (7) Although the cell array 110 according to the embodiment described above was an example where a rectangular parallelepiped, the shape of the cell array 110 is a rectangular parallelepiped as long as it is formed in a flat plate at least two opposite surfaces is transmitted through the light it may be in the form of a polyhedron other than.

1・・・磁場計測装置、10,10A,10B,10C,10D・・・セルアレイセンサー、20・・・ポンプ光光源、30・・・プローブ光光源、40・・・信号処理部、110,110A,110C,110D・・・セルアレイ、111・・・上板、112・・・下板、113,113a,113b・・・隔壁、114,115,116,117,124,125・・・平板、118,118a,118b・・・ミラー、120・・・アレイイルミネーター、121・・・回折格子、122,122A,122B・・・光カプラー、123・・・導光体、140,140a,140b・・・変換部、S,SA・・・セル 1 ... magnetic field measurement device, 10, 10A, 10B, 10C, 10D ... cell array sensor, 20 ... pump light source, 30 ... probe light source, 40 ... signal processing unit, 110 and 110A , 110C, 110D ... cell array, 111 ... upper plate, 112 ... lower plate, 113, 113a, 113b ... partition wall, 114,115,116,117,124,125 ... flat, 118 , 118a, 118b ... mirror, 120 ... array illuminator, 121 ... diffraction grating, 122, 122a, 122B ... light coupler, 123 ... light guide, 140 and 140A, 140b · · and converting unit, S, SA ··· cell

Claims (3)

  1. ポンプ光により励起される原子からなる原子群を内部に収容し、少なくとも対向する2面が光を透過させる平板で構成された第1平板と第2平板とを有するセルユニットと、 Containing an atomic group composed of atoms excited by the pump light within a cell unit having a first flat plate and the second flat plate at least two opposite surfaces are composed of a flat plate that transmits light,
    前記セルユニットの内部空間における複数の各領域に対し前記第2平板の側からポンプ光を入射させると共に、前記各領域に入射した前記ポンプ光と交差するようにプローブ光を前記第2平板の側から入射させる照射手段と、 Causes incident pump light from the side of the second flat plate to a plurality of respective areas in the interior space of the cell unit, the side of the second flat plate probe light so as to intersect with the pump light incident on each area irradiating means to be incident from
    前記セルユニットの前記各領域に入射して前記第1平板を透過した各プローブ光の偏光面の回転角を検出する検出手段と を備えることを特徴とする磁場計測装置。 Magnetic field measurement apparatus comprising: a detecting means for detecting the rotation angle of the polarization plane of the probe light incident on the respective regions of the cell unit through the first flat plate.
  2. 前記セルユニットの前記各領域はスペーサーによって仕切られ、仕切られた各領域が一つのセルとして構成されており、 Wherein each area of ​​the cell unit is separated by a spacer, and each area partitioned is configured as a single cell,
    前記照射手段は、前記第2平板と対向する第1の面と、前記第1の面と対向する第2の面との間で前記ポンプ光及び前記プローブ光を反射させて伝播させるアレイイルミネーターを有し、前記第1の面には、前記第1の面に向かう前記ポンプ光及び前記プローブ光の各々の一部を透過させる光分岐手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の磁場計測装置。 Said illumination means, said first surface of the second flat plates facing said first surface and an array illuminator to propagate by reflecting the pump light and the probe light with the second opposing surface has, wherein the first surface, according to claim 1, characterized in that the light branching means for transmitting a portion of each of said pump light toward the first surface and the probe light are provided the magnetic field measurement apparatus according to.
  3. ポンプ光により励起される原子からなる原子群を内部に収容し、少なくとも対向する2面が光を透過させる平板で構成された第1平板と第2平板とを有するセルユニットが複数配列されたセルアレイユニットと、 Containing an atomic group composed of atoms excited by the pump light within the cell unit having a first flat plate and the second flat plate at least two opposite surfaces are composed of a flat plate that transmits light is arrayed cell arrays and the unit,
    前記各セルユニットの内部空間における複数の各領域に対しポンプ光を前記第2平板の側から入射させると共に、前記各領域に入射した前記ポンプ光と交差するようにプローブ光を前記第2平板の側から入射させる照射手段と、 Said pump light to a plurality of respective areas in the interior space causes incident from the side of the second flat plate of each cell unit, said second flat probe light so as to intersect with the pump light incident on each area irradiating means to be incident from the side,
    前記各セルユニットの前記各領域に入射して前記第1平板を透過した各プローブ光の偏光面の回転角を検出する検出手段と を備えることを特徴とする磁場計測装置。 Magnetic field measurement apparatus comprising: a detecting means for detecting the rotation angle of the polarization plane of the probe light incident on the respective regions of the respective cell units transmitted through the first flat plate.
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JP2009236599A (en) * 2008-03-26 2009-10-15 Canon Inc Optical pumping magnetometer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009162554A (en) * 2007-12-28 2009-07-23 Canon Inc Atomic magnetic sensor and magnetic sensing method
JP2009236599A (en) * 2008-03-26 2009-10-15 Canon Inc Optical pumping magnetometer

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