JP2012202713A - Defect inspection method for sheet material, and inspection tool used therefor - Google Patents

Defect inspection method for sheet material, and inspection tool used therefor Download PDF

Info

Publication number
JP2012202713A
JP2012202713A JP2011064850A JP2011064850A JP2012202713A JP 2012202713 A JP2012202713 A JP 2012202713A JP 2011064850 A JP2011064850 A JP 2011064850A JP 2011064850 A JP2011064850 A JP 2011064850A JP 2012202713 A JP2012202713 A JP 2012202713A
Authority
JP
Grant status
Application
Patent type
Prior art keywords
camera
position
focus
inspection
member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011064850A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5718115B2 (en )
Inventor
Hiroyuki Ogawa
Muneo Abe
裕之 小川
宗生 阿部
Original Assignee
Bridgestone Corp
株式会社ブリヂストン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect inspection method for speedily detecting a defect of a sheet material having a formation pattern such as a fine uneven shape on a surface with good reproducibility.SOLUTION: The defect inspection method includes: a first focusing process of mounting a sheet material for focus adjustment at a defect inspection position and putting a camera in focus; a first defocusing process of making adjustment to put the camera out of focus on the sheet material for focus adjustment; a process of measuring and recording a distance (d) from a focus position A in the focusing process to a focus position B in the first defocusing process; a second focusing process of mounting a sheet material to be inspected at the same defect inspection position as or a different defect inspection position from the first focusing process, and putting the camera in focus on its formation pattern; a second defocusing process of putting the camera in focus on a focus position B' shifted by the distance (d) from the focus position A' in the second focusing process; and a process of inspecting a defect of the sheet material to be inspected by the camera put in focus on the focus position B'.

Description

本発明は、シート材の欠陥検査方法、及びその検査に用いる検査用治具に関し、特に表面に微細な凹凸形状等の地合パターンを有するシート材に生じる異物欠陥、気泡欠陥、塊状欠陥等を再現性良く検査する方法、及び検査用治具に関する。 The present invention, defect inspection method of the sheet material, and to a test jig used for the examination, in particular foreign matter defects generated in the sheet material having a texture pattern such as fine irregularities on the surface, the bubble defects, bulk defects how good reproducibility test, and a test jig.

樹脂製フィルム、特に透明又は半透明の樹脂製フィルム等のシート材を製造する際、原料の品質又は製造プロセス等に起因する異物欠陥、気泡欠陥又は塊状欠陥等の欠陥が生じる場合がある。 Resin film, making the particular transparent or translucent resin film sheet material such as, in some cases the foreign matter defects caused by material quality or manufacturing process and the like, defects such as bubbles defect or bulk defects occur. これらの欠陥は、最終製品の性能を低下させる原因となり得るため、シート材の製造工程においてオンライン検査し、製造工程にフィードバックしたり、製品検査工程において検査し、不良品を排除したりする必要がある。 These defects, because that can be a cause of reducing the performance of the final product, online inspection in a manufacturing process of the sheet material, or fed back to the manufacturing process, must be tested in product inspection process, or to eliminate defective products is there. 一般に、シート材の表面や内部に生じた異物欠陥、気泡欠陥、塊状欠陥等の欠陥を検査する場合、被検査シート材に光を照射し、その透過光又は反射光をカメラ等で受光し、被検査シート材の欠陥を光の明暗等として検出し判断する方法が良く用いられている(例えば、特許文献1)。 In general, foreign matter defects occurring in the surface or inside of the sheet material, bubble defects, in the case of inspecting defects of bulk defects, is irradiated with light to be inspected sheet material, and receiving the transmitted light or reflected light with a camera or the like, method of determining and detecting a defect in the inspected sheet material as brightness of light or the like is often used (for example, Patent Document 1).

ところで、シート材の中には、例えば、特許文献2に記載されたエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVAともいう)等からなる太陽電池用封止膜のように、表面に微細な凹凸形状の地合パターンを有する透明樹脂製シート材がある。 Incidentally, in the sheet material, for example, ethylene described in Patent Document 2 - such as the vinyl acetate copolymer (also referred to as EVA) solar cell sealing film consisting of such, the surface of the fine irregularities there is a transparent resin sheet material having a texture pattern. このような地合パターンを有するシート材について欠陥を検査する場合、シート表面に焦点を合わせた場合、地合パターンの模様が欠陥として認識されてしまい、欠陥の有無が判断し難くなることになる。 When inspecting a defect on the sheet material having such a texture pattern, when the focal point on the sheet surface, will be the pattern of the texture pattern is recognized as a defect, so that the presence or absence of a defect is not easily determined . この場合、目視検査を行う方法もあるが、迅速な検査を行うことは困難である。 In this case, there is a method of performing visual inspection, it is difficult to perform a quick test.

特許文献3には、光学的に均一でない透明シートの欠陥検査法として、シート表面の光学画像をデフォーカス(焦点をずらすことをいう)して検出し、所定の処理をし、欠陥部に対応した明暗抽出用のしきい値に基づいて透明シートの欠陥を検出する方法が開示されている。 Patent Document 3, as a defect inspection method for a transparent sheet not optically uniform, (refers to defocusing) defocus optical image of the sheet surface was detected, and the predetermined process corresponding to the defective portion method for detecting a defect of a transparent sheet on the basis of the threshold for brightness extraction is disclosed.

特開平11−242006号公報 JP 11-242006 discloses 特開2010−192804号公報 JP 2010-192804 JP 特開平06−235624号公報 JP 06-235624 discloses

しかしながら、表面に微細な凹凸形状等の地合パターンを有する透明樹脂製シート材等の欠陥を検査する際に、シート表面からデフォーカスして欠陥を検出する場合、どの程度、焦点を調整するかについては、操作者によってバラつきがあり、同一条件で検査する再現性を担保することが困難であった。 However, when inspecting a defect such as a transparent resin sheet material having a texture pattern such as fine irregularities on the surface, when detecting a defect defocused from the sheet surface, extent, or to adjust the focus for, there is a rose with by the operator, it is difficult to ensure the reproducibility of the test under the same conditions. また、複数の検査装置を用いて検査する場合、検査装置の機差もあるため、同一条件に設定することも困難であった。 In the case of inspection using a plurality of test devices, because some machine error of the test device was also difficult to set the same conditions.

従って、本発明の目的は、表面に微細な凹凸形状等の地合パターンを有するシート材における欠陥を、迅速に且つ再現性良く検査する方法を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for the defect in the sheet material, rapidly and with good reproducibility test with texture pattern such as fine irregularities on the surface.

また、本発明の目的は、その方法に用いる検査用治具を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide an inspection jig for use in the method.

上記目的は、地合パターンを有する被検査シート材に光を照射し、カメラにより被検査シート材の光学画像を検出することにより、被検査シート材の欠陥を検査する方法であって、 Above object, a light is irradiated to the inspected sheet material having a texture pattern, by detecting the optical image of the specimen sheet material by the camera, a method for inspecting defects of the inspected sheet material,
被検査シート材と同様な地合パターン及び地合パターン中に欠陥を有する焦点調整用シート材を欠陥検査位置に載置し、前記地合パターンに、カメラの焦点を合わせる第1のフォーカス工程、前記地合パターンの画像をぼかし、前記欠陥の画像を検出できるように、前記地合パターンから当該カメラの焦点をずらすように調整する第1のデフォーカス工程、第1のフォーカス工程における焦点位置(A)から第1のデフォーカス工程における焦点位置(B)までの距離(d)を計測及び記録する工程、被検査シート材を第1のフォーカス工程と同一又は異なる欠陥検査位置に載置し、その地合パターンにカメラの焦点を合わせる第2のフォーカス工程、当該カメラの焦点を、第2のフォーカス工程における焦点位置(A')から、前記距離(d The focus adjusting sheet having a defect in the same texture pattern and texture pattern in the inspected sheet material is placed in the defect inspection position, the formation pattern, a first focusing step of focusing the camera, the blurred images of the formation pattern, so as to detect an image of the defect, the first defocus step of adjusting from the texture pattern to shift the focus of the camera, the focal position in the first focus process ( placing step of measuring and recording the distance (d) from a) to the focal position (B) in the first defocusing process, the inspection sheet material in the first focusing step the same or different from the defect inspection position, second focusing step of focusing the camera on the texture pattern, the focus of the camera, the focal position in the second focus steps (a '), said distance (d )分ずらした焦点位置(B')に合わせる第2のデフォーカス工程、及び焦点位置(B')に焦点を合わせたカメラで被検査シート材の欠陥を検査する工程、を含むことを特徴とする欠陥検査方法によって達成される。 ) Min staggered 'second defocus step of bringing in), and the focal position (B' focal position (B process for inspecting defects of the inspected sheet material with a camera focused on), and characterized in that it comprises It is achieved by a defect inspection method for. これにより、焦点調整用シート材を用いて、一度、第1のデフォーカス工程を行い、焦点位置の移動距離(d)を記録すれば、操作者や検査装置が変わっても同一のデフォーカス条件で、被検査シート材の欠陥検査を迅速に行うことができる。 Thus, by using the focus adjusting sheet material, once performing a first defocusing process, if recording the moving distance of the focal position (d), they change operator and inspection apparatus same defocus conditions in, can be rapidly defect inspection of the test sheet.

本発明の欠陥検査方法の好ましい態様は以下の通りである。 A preferred embodiment of the defect inspection method of the present invention is as follows.
(1)前記距離(d)を計測及び記録する工程が、第1のフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、該位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有する検査用治具を載置し、焦点位置(A)に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び第1のデフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(B)まで前記位置合わせ部材を移動し、焦点位置(A)から焦点位置(B)までの距離(d)を計測する工程を含む。 (1) the distance (d) measuring and recording to step, after the first focusing step, the defect inspection position, movable in the focus direction of movement of the camera, which can be adjusted to the focal position of the camera a positioning member, placing the inspection tool and a measuring means for measuring a moving distance of the positioning member, process combining the positioning member at the focal point (a), and a first defocus steps in in the defect inspection position after placing the test jig, moving the positioning member to the focal position (B), the distance from the focal position (a) to the focal position (B) (d) the including the step of measuring. これにより、距離(d)を記録する工程において、実際の欠陥検査位置における焦点の移動距離を実測することができるので、どのような検査装置であっても、精確に距離(d)を計測することができる。 Thus, in the step of recording a distance (d) is, it is possible to actually measure the focal movement distance of the actual defect inspection position, whatever the inspection apparatus to measure accurately the distance (d) is be able to.
(2)(1)において、第2のデフォーカス工程が、第2のフォーカス工程後、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(A')に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び前記位置合わせ部材を焦点位置(A')から前記距離(d)分ずらした焦点位置(B')に調整し、カメラの焦点を前記位置合わせ部材に合わせる工程を含む。 (2) (1), second defocus step, after the second focusing step, the defect inspection position, and placing the test jig, the positioning member at the focal point (A ') It was adjusted to match process, and 'the distance (d) partial shifting focus position from the (B the positioning member focal position (a)'), comprising the step of focusing a camera on said alignment member. これにより、どのような検査装置であっても、第2のデフォーカス工程において、実測した距離(d)を精確に再現することができるので、異なる検査装置間のデフォーカス条件をより一致させることができる。 Thus, whatever the inspection apparatus, in the second defocusing process, since the actually measured distance (d) can be accurately reproduced, to match more defocus conditions between different inspection device can.

また、上記目的は、本発明の欠陥検査方法に用いる検査用治具であって、カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、該位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有する検査用治具によって達成される。 Further, the above object is achieved by a test jig used in the defect inspection method of the present invention, movable in the focus direction of movement of the camera, and the positioning member capable focuser position of the camera, the alignment It is achieved by the inspection jig and a measuring means for measuring a moving distance of the member.

本発明の検査用治具の好ましい態様は以下の通りである。 A preferred embodiment of the inspection jig of the present invention is as follows.
(1)前記計測手段が、前記位置合わせ部材と連動してスライドするスケールにより計測する手段である。 (1) the measuring means is a means for measuring the scale slides in conjunction with the positioning member. これにより、どのような検査装置であっても容易に計測することができる。 This makes it possible to be any inspection device easily measured.
(2)前記位置合わせ部材が、糸状部材である。 (2) the positioning member is a filamentous member. これにより、カメラの焦点を容易に合わせることができる。 This makes it possible to focus the camera easily.
(3)前記糸状部材が、カメラの焦点移動方向と直交する方向に配置された一対の支持部の間に張られている。 (3) the threadlike member, is stretched between a pair of support portions disposed in the direction perpendicular to the focus movement direction of the camera.
(4)(3)において、カメラの焦点を合わせる糸状部材に対して、該糸状部材が張られた方向と直交する方向の前後に、前記カメラに近い位置と、遠い位置の補助用糸状部材が少なくとも1本ずつ張られている。 (4) In (3), with respect to thread members focusing the camera, in the longitudinal direction orthogonal to the direction spanned the filamentous member, and a position closer to the camera, the auxiliary thread member farther It is stretched by at least one. 補助用糸状部材を設けることにより、より精確に糸状部材にカメラの焦点を合わせることができる。 By providing the auxiliary thread member, it is possible to focus the camera more accurately threadlike members.
(5)(4)において、前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記カメラの焦点移動方向の位置の差が、0.2〜10mmである。 (5) In (4), the difference between the focal position of the moving direction of the camera of the thread-like members and the auxiliary thread member is a 0.2 to 10 mm.
(6)(4)又は(5)において、前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記糸状部材が張られた方向と直交する方向の位置の差が、5〜20mmである。 (6) (4) or (5), the difference in the direction of a position perpendicular to the direction in which the thread-like member is stretched in the thread-like members and the auxiliary thread member is 5 to 20 mm.

本発明の欠陥検査方法によれば、表面に微細な凹凸形状等の地合パターンを有するシート材における欠陥検査において、適切なデフォーカス条件をカメラの焦点位置の移動距離として記録して、精確に再現できるので、検査装置の操作者や検査装置が変わっても、同一のデフォーカス条件で、シート材の欠陥検査を迅速に行うことができる。 According to the defect inspection method of the present invention, in the defect inspection of the sheet material having a texture pattern such as fine irregularities on the surface, to record the appropriate defocus condition as the moving distance of the focal position of the camera, accurately since reproducible, it changes operator and inspection device of the inspection apparatus, in the same defocus conditions, it is possible to perform the defect inspection of the sheet material quickly. また、本発明の検査用治具は、本発明の欠陥検査方法における距離(d)を記録する工程、及びデフォーカス条件を再現する第2のデフォーカス工程に有効な検査用治具である。 The inspection jig of the present invention is a defective process of recording the distance (d) in the inspection method, and a second defocus effective inspection jig to the step of reproducing the defocus condition of the present invention.

図1は、本発明に係るシート材の欠陥検査方法の一例(前半、工程(a)〜(d))を示す概略図である。 Figure 1 is a schematic diagram showing an example (first half, step (a) ~ (d)) of the defect inspection method of the sheet member according to the present invention. 図2は、図1から続く、本発明に係るシート材の欠陥検査方法の一例(後半、工程(e)〜(h))を示す概略図である。 2, following FIG. 1, an example (the second half, step (e) ~ (h)) of the defect inspection method of the sheet member according to the present invention is a schematic diagram showing a. 図3は、本発明のシート材の欠陥検査方法に用いる検査用治具の一例を示す概略図であり、図3(a)が概略平面図であり、図3(b)が概略正面図であり、図3(c)が概略側面図である。 Figure 3 is a schematic diagram showing an example of an inspection jig to be used for defect inspection method of the sheet material of the present invention is the schematic plan view FIG. 3 (a), FIG. 3 (b) is a schematic front view There, FIG. 3 (c) is a schematic side view. 図4は、図3の検査用治具を用いて、カメラの焦点位置を合わせた際のモニタ波形を示した図である。 4, using the inspection jig of FIG. 3 is a diagram showing a monitor waveforms when the focused position of the camera.

本発明は、微細な凹凸パターン等の地合パターンを有する被検査シート材に光を照射し、カメラにより被検査シート材の光学画像を取得することで、被検査シート材の欠陥を検査する方法である。 The present invention, light is irradiated to the inspected sheet material having a texture pattern such as fine uneven pattern, by acquiring an optical image of the test sheet by a camera, for inspecting a defect of the test sheet it is. 以下に、本発明の欠陥検査方法について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, the defect inspection method of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1及び図2は、本発明の欠陥検査方法の一例を示す概略図である。 1 and FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a defect inspection method of the present invention. 欠陥検査装置は、カメラ41、欠陥検査台51、及び光源61を有する。 Defect inspection apparatus, a camera 41, a defect inspection station 51, and a light source 61. カメラ41は、どのようなものでも良く。 The camera 41 may be any such thing. 通常のラインセンサカメラやエリアセンサカメラ等を使用することができる。 You can use normal line sensor camera or the area sensor camera. 欠陥検査台51は、通常、シート材を搬送する搬送装置の一部に組み込まれて設けられる。 Defect inspection station 51 is normally provided an integral part of the conveying apparatus for conveying a sheet material. 光源61は、欠陥を検出できる程度の明るさがあれば良い。 Light source 61 may be any brightness enough to detect defects. 必要に応じて、偏光処理やスリットを通した光源を用いても良い。 If necessary, it may be used a light source through the polarization process and a slit. 図1及び2では透過光を用いているが、反射光で欠陥を検出しても良い。 And with reference to FIGS. 1 and 2 in the transmitted light, but may be detected defects in reflected light.

まず被検査シート材と同様な地合パターン22及び地合パターン22中に異物欠陥等の欠陥(モデル)23を有する焦点調整用シート材21を、欠陥検査台51に載置する。 First, the focus adjusting sheet material 21 having a defect (model) 23 of the foreign matter defects or the like during the inspection sheet material similar texture patterns 22 and formation pattern 22 is placed in the defect inspection table 51. この際、被検査シート材の欠陥を検査する欠陥検査位置に精確に載置する。 At this time, to accurately placed on defect inspection position for inspecting the defects of the test sheet. 焦点調整用シート材21の欠陥(モデル)23は、被検査シート材に生じる欠陥の代表的なものであり、シート材の種類によって、適宜用意することができる。 Defects (model) 23 of the focus adjusting sheet material 21 is intended as representative of a defect occurring in the inspection sheet material, the type of sheet material can be prepared as appropriate. その状態で、カメラ41の焦点を、地合パターン22に合わせる(第1のフォーカス工程、図1(a1))。 In this state, the focus of the camera 41, match the formation pattern 22 (the first focusing step, FIG. 1 (a1)). このときの焦点位置を焦点位置(A)とする。 The focal point of this time is the focal position (A). 図1(a2)は、地合パターン22に焦点を合わせたときのカメラ41の画像を示したものである。 Figure 1 (a2) is a diagram showing an image of the camera 41 when focused on formation pattern 22. 図に示す通り、地合パターン22の画像22'が、明瞭に映し出されるため、欠陥23の画像23'が検出し難くなっている。 As shown in FIG., The image 22 of the texture pattern 22 ', because it is clearly displayed, the image 23 of the defect 23' becomes hardly detected.

次に、この焦点位置(A)を記録するため、検査用治具31を欠陥検査台51の欠陥検査位置に精確に載置する。 Then, to record this focal position (A), accurately placing the inspection jig 31 to the defect inspection position of the defect inspection table 51. 検査用治具31は、カメラ41の焦点移動方向に移動自在で、カメラ41の焦点位置に合わせることができる糸状部材等の位置合わせ部材32、位置合わせ部材32を支持する支持部33、及び位置合わせ部材32の移動距離を計測する計測手段としてスケール34を有する。 Inspection jig 31 is movable in the focus direction of movement of the camera 41, the alignment member 32 of the thread-like member or the like that can be tailored to the focal position of the camera 41, the support portion 33 for supporting the alignment member 32, and the position moving distance of the mating member 32 has a scale 34 as a measuring means for measuring. 位置合わせ部材32は焦点位置に精確に合わせることができるピーク部分を有していれば、糸状部材でなくても良く、平板状部材に直線状の細線が形成されたもの等でも良い。 If the alignment member 32 is only to have a peak portion that can be matched precisely to the focus position may not be thread-like members, or the like which linear fine lines are formed in the plate member. スケール34は、例えば、固定目盛りと、位置合わせ部材32の位置の移動と連動してスライドする移動目盛りを有し、位置合わせ部材32の移動距離を実測できるものである。 Scale 34 is, for example, has a fixed scale, the movement scale to slide in conjunction with movement of the position of the alignment members 32 are those capable of measuring the movement distance of the positioning member 32.

そして、検査用治具31の位置合わせ部材32の位置を移動し、カメラ41の焦点が位置合わせ部材32に合うように調節する。 Then, move the position of the positioning member 32 of the test jig 31, the focus of the camera 41 is adjusted to fit the positioning member 32. この位置のスケール34の値を記録することで、焦点位置(A)の位置を記録する(図1(b))。 By recording the value of the scale 34 in this position, recording the position of the focal position (A) (Figure 1 (b)).

次に、再度、焦点調整用シート材21を欠陥検査位置に精確に載置し、図1(c2)に示したカメラ41の画像のように、地合パターン22の画像22'をぼかし、欠陥23の画像23'を検出し易くするため、地合パターン22からカメラ41の焦点をずらすように調整する(第1のデフォーカス工程、図1(c1))。 Then, again, to accurately place the focus adjusting sheet material 21 to a defect inspection position, like the image of the camera 41 shown in FIG. 1 (c2), blurred images 22 'of the texture pattern 22, the defect to easily detect the 23 image 23 'of, adjusted to shift the focus of the camera 41 from the formation pattern 22 (first defocusing process, FIG. 1 (c1)). この際、カメラ41の光学画像を確認して、欠陥23の画像23'が検出し易い最適な位置に調整する。 In this case, check the optical image of the camera 41, the image 23 of the defect 23 'is adjusted to easily optimum position detection. このときの焦点位置を焦点位置(B)とする。 The focal point of this time is the focal position (B).

次に、図1(b)と同様に検査用治具31を、欠陥検査位置に精確に載置し、位置合わせ部材32の位置を移動し、カメラ41の焦点が位置合わせ部材32に合うように調節する。 Next, the inspection jig 31 similarly to FIG. 1 (b), the accurately placed on defect inspection position, to move the position of the positioning member 32, so that the focus of the camera 41 is aligned with the alignment member 32 to adjust to. この焦点位置(B)のスケール34の値と、図1(b)で記録した焦点位置(A)の値との差を算出することにより、焦点位置(A)から焦点位置(B)までの距離(d)を精確に計測することができる。 The value of the scale 34 of the focal position (B), by calculating the difference between the value of the recorded focal point position (A) in FIG. 1 (b), the from the focal position (A) to the focal position (B) distance (d) can be accurately measured.

そして、実際に欠陥検査を行う被検査シート材11を欠陥検査台51の欠陥検査位置に精確に載置する。 Then, precisely placed on the defect inspection position of the inspection sheet material 11 the defect inspection table 51 actually performing the defect inspection. この欠陥検査台51は、第1のフォーカス工程を行った同一の検査装置のものでも、異なる検査装置のものでも良い。 The defect inspection station 51, also of the same inspection apparatus performing the first focus process may be of different inspection device. 同一の検査装置であり、第1のデフォーカス工程を行った直後であれば、当然、そのデフォーカス条件で欠陥検査を行うことができる。 It is the same inspection apparatus, if immediately after the first defocusing process, of course, it is possible to perform the defect inspection by the defocus conditions. 本発明においては、同一の検査装置であっても別の検査を実施してカメラの焦点を変更した場合や、異なる検査装置を用いて同一の検査を行う場合に効果を発揮する。 In the present invention, it is effective when performing the same test with or if even for the same inspection device to change the camera focus of conduct another test, different test equipment. それらの場合、カメラ41の焦点を、第1のフォーカス工程と同様に、被検査シート11の地合パターン12に合わせる(第2のフォーカス工程、図2(e1))。 In those cases, the focus of the camera 41, as in the first focusing step, combining the texture pattern 12 of the test sheet 11 (second focusing step, FIG. 2 (e1)). このときの焦点位置を焦点位置(A')とする。 The focal point of this time is the focal position (A '). 図2(e2)は、地合パターン12に焦点を合わせたときのカメラ41の画像を示したものである。 Figure 2 (e2) is a diagram showing an image of the camera 41 when focused on formation pattern 12. 図に示す通り、地合パターン12の画像12'が、明瞭に映し出されている。 As shown in the figure, the image 12 'of the texture pattern 12, is clearly displayed.

次に、図1(b)と同様に検査用治具31を、欠陥検査位置に精確に載置し、位置合わせ部材32の位置を移動し、カメラ41の焦点が位置合わせ部材32に合うように調節する(図2(f))。 Next, the inspection jig 31 similarly to FIG. 1 (b), the accurately placed on defect inspection position, to move the position of the positioning member 32, so that the focus of the camera 41 is aligned with the alignment member 32 adjusting (FIG. 2 (f)). そして、第1のデフォーカス工程で記録した焦点の移動距離(d)分の焦点位置をずらした焦点位置(B')へ検査用治具31の位置合わせ部材32を移動させる。 Then, move the positioning member 32 of the inspection tool 31 to the moving distance of the focus recorded in the first defocus step (d) partial focus positions shifted the focus position of (B '). その後、カメラ41の焦点を位置合わせ部材32に合わせる(第2のデフォーカス工程、図2(g))。 Then, to focus the camera 41 to the alignment member 32 (second defocusing process, FIG. 2 (g)). この状態で、再度、被検査シート材11を欠陥検査台51の欠陥検査位置に精確に載置し、欠陥検査を実施する(図2(h1))。 In this state, again, the inspection sheet 11 and accurately placed in the defect inspection position of the defect inspection station 51 performs a defect inspection (Fig. 2 (h1)). これにより、図2(h2)に示したカメラ41の画像のように、地合パターン12の画像をぼかした、第1のデフォーカス工程で設定したデフォーカス条件を精確に再現して、欠陥検査を行うことができる。 Thus, as the image of the camera 41 shown in FIG. 2 (h2), blurred images of the formation pattern 12, and the defocus condition set in the first defocus step is accurately reproduced, the defect inspection It can be performed. 即ち、焦点調整用シート材を用いて、一度、第1のデフォーカス工程を行い、焦点位置の移動距離(d)を記録すれば、操作者や検査装置が変わっても同一のデフォーカス条件で、被検査シート材の欠陥検査を迅速に行うことができる。 That is, by using the focus adjusting sheet material, once performing a first defocusing process, if recording the moving distance of the focal position (d), they change operator and inspection device in the same defocus conditions , can be rapidly defect inspection of the test sheet.

本発明において、第1のフォーカス工程における焦点位置(A)から第1のデフォーカス工程における焦点位置(B)までの距離(d)を計測及び記録する工程は、検査用治具31を用いなくても良い。 In the present invention, the step of measuring and recording the distance (d) from the focal position (A) to the focal position (B) in the first defocusing process in the first focusing step is not using an inspection jig 31 and it may be. 例えば、カメラや検出器における各種パラメータの値の変化量を記録することで算出しても良く、レーザ距離センサ等でシート材の位置の移動距離を実測して距離(d)を記録しても良い。 For example, it may be calculated by recording the variation of the values ​​of various parameters in the camera or the detector, even if actually measured moving distance of the position of the sheet material in a laser distance sensor or the like to record the distance (d) good. シート材の欠陥検査装置全体の機差等を考慮すると、実際に欠陥検査位置における焦点の移動距離を実測することが好ましく、コストを考慮すると、検査用治具31を用いることが好ましい。 Considering the machine difference of the entire defect inspection apparatus of the sheet material and the like, preferably be measured actually moving distance of the focus in the defect inspection position, considering the cost, it is preferable to use a test jig 31. また、第2のデフォーカス工程においても同様に、検査用治具31を用いなくても良く、記録した焦点位置(A)から焦点位置(B)までの距離を上述のような別の手段で再現しても良い。 Similarly, in the second defocus steps may not use the test jig 31, the distance from the recorded focal point position (A) to the focal position (B) by another means as described above it may be reproduced. どのような検査装置であっても、距離(d)を精確に再現することができるので、検査用治具31を用いることが好ましい。 Whatever the inspection apparatus, the distance (d) can be accurately reproduced, it is preferable to use a test jig 31. これにより、異なる検査装置間のデフォーカス条件をより一致させることができる。 Thus, it is possible to match more defocus conditions between different inspection device.

[欠陥検査用治具] [Defect inspection jig]
本発明の欠陥検査用治具は、本発明の欠陥検査方法において、カメラの焦点の移動距離の計測及び記録に使用するものである。 Defect inspection jig of the present invention, in the defect inspection method of the present invention is to use the measurement and recording of the moving distance of the focus of the camera. 従って、カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有していれば、どのような治具でも良い。 Thus, movable in the focus direction of movement of the camera, positioning the member which can be aligned to the focal point of the camera, if it has a measuring means for measuring a moving distance of the positioning member, what Osamu it may be a tool.

図3は、本発明の検査用治具の一例を示す概略図であり、図3(a)が概略平面図であり、図3(b)が概略正面図であり、図3(c)が概略側面図である。 Figure 3 is a schematic diagram showing an example of an inspection jig of the present invention, FIGS. 3 (a) is the schematic plan view and FIG. 3 (b) is the schematic front view and FIG. 3 (c) it is a schematic side view. 図3に示した検査用治具は、欠陥検査装置の欠陥検査位置に配置でき、カメラの焦点移動方向に、上下方向が一致する検査用治具本体101と、本体101に接して配置され上下方向(矢印方向)にスライド可能な支持部材103とから構成される。 Inspection jig shown in FIG. 3, can be placed in the defect inspection position of the defect inspection apparatus, the focus movement direction of the camera, the inspection tool body 101 which vertically matches, is disposed in contact with the body 101 vertically in the direction (arrow direction) composed of slidable support member 103. そして、支持部材103には、本体101の上下方向と直交する方向(即ちカメラの焦点移動方向と直交する方向)に一対の支持部112が設けられ、位置合わせ部材としての糸状部材102が、支持部112の間に張られている。 Then, the support member 103, the direction (i.e. the direction perpendicular to the focus movement direction of the camera) a pair of support portions 112 are provided perpendicular to the vertical direction of the main body 101, the thread-like members 102 of the positioning member, the support It is stretched between the section 112. 支持部材103のスライド移動は、位置合わせ用調節部105(図示していないギア等を有する)により移動停止自在に調節できる。 Sliding movement of the support member 103 is adjustable travel stop freely by alignment adjustment unit 105 (having a gear (not shown), etc.). また、支持部材103には、そのスライド移動(即ち、糸状部材102の移動)と連動してスライドするスケール104が接続され、スケール104の目盛りと、本体101の固定スケールの目盛りとから、支持部材103の移動距離(即ち、糸状部材102の移動距離)を精確に計測することができる。 Further, the support member 103 from its sliding movement (i.e., movement of the thread-like member 102) is connected scale 104 to slide in conjunction with, and the graduation of the scale 104, a fixed scale graduations of the body 101, the support member 103 moving distance (i.e., the moving distance of the thread-like member 102) can be accurately measured. スケール104は、デジタルスケールを組み込んだものでも良い。 Scale 104, it may be one that incorporates a digital scale.

糸状部材102は白色、黒色等の不透明な糸状で、カメラの焦点を合わせることができる直径を有していれば、どのようなものでも良い。 Thread members 102 are white, opaque filament such as black, as long as it has a diameter that can focus the camera, may be of any type. また、糸状部材でなくても、焦点を合わせることができる直線等の光学的なピーク部分があれば、平板状や三角柱又は多角柱状でも良い。 Moreover, even without a filamentous member, if there is optical peak portion of the straight line or the like which can be focused, it may be a flat plate or a triangular prism or a polygonal shape. 糸状部材の直径(その他の場合の直線等の幅)は0.05〜0.3mmが好ましい。 (The width of the linear or the like for other) diameter filamentous member 0.05~0.3mm is preferred.

更に、図3の検査用治具には、糸状部材102に対して、糸状部材102が張られた方向と直交する方向の前方側及び後方側に、それぞれカメラに近い位置と遠い位置の補助用糸状部材106が張られている。 Furthermore, the inspection jig of FIG. 3, with respect to the thread-like members 102, the front side and the rear side in the direction perpendicular to the direction in which the thread-like members 102 is stretched, auxiliary position and a position far closer to the camera, respectively threadlike member 106 is stretched. 各補助用糸状部材106は、支持部材103に設けられた、各一対の補助用糸状部材支持部116の間に張られている。 Each auxiliary thread member 106 is provided in the support member 103, is stretched between each pair of auxiliary thread members support 116.

図4は、図3に示した検査用治具を用い、カメラの焦点位置を合わせた際のモニタ波形を示した図である。 4, using the inspection jig shown in FIG. 3 is a diagram showing the monitor waveforms when the focused position of the camera. 図示のように、補助用糸状部材106のモニタ波形を参照することにより、糸状部材102のもモニタ波形のピークを明瞭に把握することができる。 As shown, by referring to the monitor waveform of the auxiliary thread-like members 106, the thread-like members 102 can also be clearly grasped the peak of the monitor waveform.

本発明において、補助用糸状部材106は無くても良いが、上述のように、より精確に糸状部材102にカメラの焦点を合わせることができるため、補助用糸状部材106を設けることが好ましい。 In the present invention, may be rather auxiliary thread member 106 is, as described above, it is possible to focus the camera more accurately thread members 102, it is preferable to provide the auxiliary thread member 106. 補助用糸状部材106を設ける場合は、糸状部材102に対して、カメラに近い位置と遠い位置に、少なくとも、1本ずつ張られていれば良く、各位置に複数本張られていても良い。 In the case of providing the auxiliary thread member 106, relative to the thread-like members 102, the position and the distant position close to the camera, at least, need only be stretched one by one, it may be stretched a plurality of the respective positions.

糸状部材102と補助用糸状部材106の上下方向(即ち、カメラの焦点移動方向)の位置の差(H)には、特に制限は無く、焦点位置を合わせる際に参照し易い間隔に設定する。 Thread members 102 and vertical auxiliary thread members 106 (i.e., the camera focal shift direction) to the difference in position (H), is not particularly limited, is set to easily interval referred to when focusing position. 好ましくは、0.2〜10mmであり、更に好ましくは0.2〜2mm。 Preferably, a 0.2 to 10 mm, more preferably 0.2 to 2 mm. である。 It is. また、糸状部材102と補助用糸状部材106の糸状部材102が張られた方向と直交する方向の位置の差(W)には、特に制限はない。 Also, the difference in the direction of a position perpendicular to the thread-like member 102 and the direction of thread-like member 102 is stretched in the auxiliary thread members 106 (W) is not particularly limited. 好ましくは5〜20mmであり、更に好ましくは。 Preferably 5 to 20 mm, more preferably. 5〜10mmである。 It is 5~10mm.

なお、本発明は上記の実施の形態の構成に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で種々変形が可能である。 The present invention is not limited to the configuration of the above embodiment, and various modifications are possible within the scope of the invention.

本発明により、表面に微細な凹凸形状等の地合パターンを有するシート材の製造工程又は製品検査における欠陥検査を、精確に行うことができ、高品質のシート材を提供することができる。 The present invention, defect inspection in a manufacturing process or product testing sheet material having a texture pattern such as fine irregularities on the surface, it is possible to accurately perform, it is possible to provide a high-quality sheet material.

11 被検査シート材12、22 地合パターン12'、22' 地合パターン画像21 焦点調整用シート材 11 to be inspected sheet material 12, 22 texture patterns 12 ', 22' texture pattern image 21 for focus adjustment sheet
23 欠陥(モデル) 23 defects (model)
23' 欠陥(モデル)画像31 欠陥検査用治具32 位置合わせ部材(糸状部材) 23 'defects (model) image 31 defect inspection tool 32 alignment member (thread-like member)
33 支持部34 スケール41 カメラ51 欠陥検査台(搬送装置) 33 support 34 scale 41 camera 51 defect inspection table (transport device)
61 光源102 糸状部材103 支持部材104 スケール105 位置合わせ用調節部106 補助用糸状部材112 糸状部材支持部116 補助用糸状部材支持部 61 light source 102 thread-like members 103 supporting member 104 scale 105 for alignment adjustment unit 106 assisting threadlike members 112 thread-like member supporting part 116 auxiliary thread member support

Claims (10)

  1. 地合パターンを有する被検査シート材に光を照射し、カメラにより被検査シート材の光学画像を検出することにより、被検査シート材の欠陥を検査する方法であって、 The light irradiated to the inspected sheet material having a texture pattern, by detecting the optical image of the specimen sheet material by the camera, a method for inspecting defects of the inspected sheet material,
    被検査シート材と同様な地合パターン及び地合パターン中に欠陥を有する焦点調整用シート材を欠陥検査位置に載置し、前記地合パターンに、カメラの焦点を合わせる第1のフォーカス工程、 The focus adjusting sheet having a defect in the same texture pattern and texture pattern in the inspected sheet material is placed in the defect inspection position, the formation pattern, a first focusing step of focusing the camera,
    前記地合パターンの画像をぼかし、前記欠陥の画像を検出できるように、前記地合パターンから当該カメラの焦点をずらすように調整する第1のデフォーカス工程、 The blurred images of the formation pattern, so as to detect an image of the defect, the first defocus step of adjusting from the texture pattern to shift the focus of the camera,
    第1のフォーカス工程における焦点位置(A)から第1のデフォーカス工程における焦点位置(B)までの距離(d)を計測及び記録する工程、 Step of measuring and recording the distance (d) from the focal position (A) to the focal position (B) in the first defocusing process in the first focusing step,
    被検査シート材を第1のフォーカス工程と同一又は異なる欠陥検査位置に載置し、その地合パターンにカメラの焦点を合わせる第2のフォーカス工程、 The inspection sheet is placed on the first focus process the same or different from the defect inspection position, the second focus step of focusing the camera on the formation pattern,
    当該カメラの焦点を、第2のフォーカス工程における焦点位置(A')から、前記距離(d)分ずらした焦点位置(B')に合わせる第2のデフォーカス工程、及び 焦点位置(B')に焦点を合わせたカメラで被検査シート材の欠陥を検査する工程、 The focus of the camera, a second defocus step of bringing 'from the distance (d) partial shifting focus position (B focal position in the second focus step (A)' in), and the focal position (B ') process for inspecting defects of the inspected sheet material with a camera focused on,
    を含むことを特徴とする欠陥検査方法。 Defect inspection method which comprises a.
  2. 前記距離(d)を計測及び記録する工程が、第1のフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、該位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有する検査用治具を載置し、焦点位置(A)に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び 第1のデフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(B)まで前記位置合わせ部材を移動し、焦点位置(A)から焦点位置(B)までの距離(d)を計測する工程を含む請求項1に記載の欠陥検査方法。 Said distance (d) measuring and recording to step, after the first focusing step, the defect inspection position, movable in the focus direction of movement of the camera, the positioning member capable focuser position of the camera If, in placing the inspection tool and a measuring means for measuring a moving distance of the positioning member, process combining the positioning member at the focal point (a), and after the first defocusing process, in the defect inspection position, placing the inspection tool, moving the positioning member to the focal position (B), measuring the distance (d) from the focal position (a) to the focal position (B) the defect inspection method according to claim 1 including the step.
  3. 第2のデフォーカス工程が、第2のフォーカス工程後、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(A')に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び 前記位置合わせ部材を焦点位置(A')から前記距離(d)分ずらした焦点位置(B')に調整し、カメラの焦点を前記位置合わせ部材に合わせる工程を含む請求項2に記載の欠陥検査方法。 Second defocus step, after the second focusing step, the defect inspection position, and placing the test jig, the step of aligning the alignment members on the focal position (A '), and said alignment members was adjusted to the focal position (a ') the distance (d) partial shifting focus position from the (B'), a defect inspection method according to claim 2 comprising the step of focusing a camera on said alignment member.
  4. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の欠陥検査方法に用いる検査用治具であって、 An inspection jig for use in the defect inspection method according to any one of claims 1 to 3,
    カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、該位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有する検査用治具。 Movable in the focus direction of movement of the camera, positioning the member which can be aligned to the focal point of the camera, inspection jig and a measuring means for measuring a moving distance of said positioning member.
  5. 前記計測手段が、前記位置合わせ部材と連動してスライドするスケールにより計測する手段である請求項4に記載の検査用治具。 The measuring means, the inspection jig according to claim 4, wherein the means for measuring the scale slides in conjunction with the positioning member.
  6. 前記位置合わせ部材が、糸状部材である請求項4又は5に記載の検査用治具。 It said alignment member, the inspection jig according to claim 4 or 5 is a filamentous member.
  7. 前記糸状部材が、カメラの焦点移動方向と直交する方向に配置された一対の支持部の間に張られている請求項6に記載の検査用治具。 The thread member, the inspection jig of claim 6 which is stretched between a pair of support portions disposed in the direction perpendicular to the focus movement direction of the camera.
  8. カメラの焦点を合わせる糸状部材に対して、該糸状部材が張られた方向と直交する方向の前後に、前記カメラに近い位置と、遠い位置の補助用糸状部材が少なくとも1本ずつ張られている請求項7に記載の検査用治具。 Against thread members focusing the camera, in the longitudinal direction orthogonal to the direction spanned the filamentous member, and a position closer to the camera, the auxiliary thread-like members of a position far is stretched by at least one inspection jig according to claim 7.
  9. 前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記カメラの焦点移動方向の位置の差が、0.2〜10mmである請求項8に記載の検査用治具。 The difference of the focal position of the moving direction of the camera of the thread-like members and the auxiliary thread member, the inspection jig of claim 8 wherein 0.2 to 10 mm.
  10. 前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記糸状部材が張られた方向と直交する方向の位置の差が、5〜20mmである請求項8又は9に記載の検査用治具。 The difference in the direction of a position perpendicular to the direction in which the thread-like member is stretched in the thread-like members and the auxiliary thread member, the inspection jig according to claim 8 or 9 is 5 to 20 mm.
JP2011064850A 2011-03-23 2011-03-23 Defect inspection method of the sheet material, and inspection jig used to it Active JP5718115B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011064850A JP5718115B2 (en) 2011-03-23 2011-03-23 Defect inspection method of the sheet material, and inspection jig used to it

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011064850A JP5718115B2 (en) 2011-03-23 2011-03-23 Defect inspection method of the sheet material, and inspection jig used to it

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012202713A true true JP2012202713A (en) 2012-10-22
JP5718115B2 JP5718115B2 (en) 2015-05-13

Family

ID=47183895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011064850A Active JP5718115B2 (en) 2011-03-23 2011-03-23 Defect inspection method of the sheet material, and inspection jig used to it

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5718115B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104677314A (en) * 2015-03-02 2015-06-03 合肥京东方光电科技有限公司 Device and method for detecting surface flatness of display panel
CN106289118A (en) * 2016-09-06 2017-01-04 乐视控股(北京)有限公司 Surface flatness detecting method and device as well as terminal

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6423016U (en) * 1987-07-30 1989-02-07
JPH0315015A (en) * 1989-03-20 1991-01-23 Olympus Optical Co Ltd Microscope
JPH06235624A (en) * 1992-12-15 1994-08-23 Hitachi Ltd Inspecting method and apparatus for transparent sheet
JPH09222398A (en) * 1996-02-16 1997-08-26 Topcon Corp Pattern defect inspection device and method
JPH11258171A (en) * 1998-03-11 1999-09-24 Hitachi Ltd Method and apparatus for inspection of defect in transparent boardlike object as well as manufacture of display device and display device
JP2001208701A (en) * 2000-01-24 2001-08-03 Fujitsu Takamisawa Component Ltd Transparent panel inspection apparatus
US7006669B1 (en) * 2000-12-31 2006-02-28 Cognex Corporation Machine vision method and apparatus for thresholding images of non-uniform materials
JP2008192861A (en) * 2007-02-06 2008-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor inspection apparatus and method
JP2008292221A (en) * 2007-05-23 2008-12-04 Lasertec Corp Defect inspection method and defect inspection device
JP2011027443A (en) * 2009-07-21 2011-02-10 Ryuze Inc Simple telecentric lens device, and method and apparatus for inspecting minute uneven flaw of flat platelike transparent object using the same

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6423016U (en) * 1987-07-30 1989-02-07
JPH0315015A (en) * 1989-03-20 1991-01-23 Olympus Optical Co Ltd Microscope
JPH06235624A (en) * 1992-12-15 1994-08-23 Hitachi Ltd Inspecting method and apparatus for transparent sheet
JPH09222398A (en) * 1996-02-16 1997-08-26 Topcon Corp Pattern defect inspection device and method
JPH11258171A (en) * 1998-03-11 1999-09-24 Hitachi Ltd Method and apparatus for inspection of defect in transparent boardlike object as well as manufacture of display device and display device
JP2001208701A (en) * 2000-01-24 2001-08-03 Fujitsu Takamisawa Component Ltd Transparent panel inspection apparatus
US7006669B1 (en) * 2000-12-31 2006-02-28 Cognex Corporation Machine vision method and apparatus for thresholding images of non-uniform materials
JP2008192861A (en) * 2007-02-06 2008-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor inspection apparatus and method
JP2008292221A (en) * 2007-05-23 2008-12-04 Lasertec Corp Defect inspection method and defect inspection device
JP2011027443A (en) * 2009-07-21 2011-02-10 Ryuze Inc Simple telecentric lens device, and method and apparatus for inspecting minute uneven flaw of flat platelike transparent object using the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104677314A (en) * 2015-03-02 2015-06-03 合肥京东方光电科技有限公司 Device and method for detecting surface flatness of display panel
US9964403B2 (en) 2015-03-02 2018-05-08 Boe Technology Group Co., Ltd. Device and method for detecting flatness of surface of display panel
CN106289118A (en) * 2016-09-06 2017-01-04 乐视控股(北京)有限公司 Surface flatness detecting method and device as well as terminal

Also Published As

Publication number Publication date Type
JP5718115B2 (en) 2015-05-13 grant

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20060278831A1 (en) Infrared inspection apparatus, infrared inspecting method and manufacturing method of semiconductor wafer
CN102053093A (en) Method for detecting surface defects of chip cut from wafer surface
US20100232677A1 (en) Glazing inspection method
US20140185910A1 (en) Method for improving repeatability in edge location results of a machine vision inspection system
US20070164222A1 (en) Method and apparatus for detecting presence of an opthalmic lens in a package
JPH06294749A (en) Flaw inspection method for plat glass
CN1945205A (en) Real time detecting device and method for optical glass roughness
US4285745A (en) Method of determining optical quality of a laminated article
US20080002252A1 (en) Method and apparatus for the auto-focussing infinity corrected microscopes
JP2004066266A (en) Laser welding quality inspection method and laser welding quality inspection device
CN102865980A (en) Automatic light leakage degree and closed gap detector of three-station piston ring and calibrating block thereof
US20140092395A1 (en) Method for automated inline determination of the refractive power of an ophthalmic lens
US20130215258A1 (en) Device for Noncontact Determination of Edge Profile at a Thin Disk-Shaped Object
JP2004163129A (en) Defect inspection method
US7292332B2 (en) Method and apparatus for detecting faults in transparent material
JP2006220498A (en) Lens inspection device
US20080204741A1 (en) Method for quantifying defects in a transparent substrate
JP2006341563A (en) Method for determining acceptability of laser weld, and its device
KR100738809B1 (en) Surface inspection system and method of controlling system
US4560277A (en) Process and device for qualitative and quantitative measurement of irregularities and impurities on and in transparent or semitransparent flexible sheet materials
JP2008170429A (en) Plate glass defect detector, plate glass manufacturing method, plate glass article, plate glass quality determination device, and plate glass inspection method
GB2473230A (en) Automated cigarette production line inspection apparatus using a contact image sensor to examine a rotating smoking article
CN102778250A (en) Method and device for measuring indicating errors of meter indicating needle
CN101266143A (en) Planarity detection device and method
JP2006023199A (en) Edge detection method and detector

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140318

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20141128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20141209

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150205

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150224

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150318

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5718115

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250