JP2012182122A - 発光素子及び表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】表示装置の低消費電力化、及び高生産化を達成できる発光素子を提供する。表示装置を高い生産性で作製する技術を提供する。
【解決手段】反射性を有する電極と、反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、電荷発生層、第2の発光層、及び透光性を有する電極と、を含み、反射性を有する電極と、第1の発光層の間の光学距離は、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、反射性を有する電極と、第2の発光層の間の光学距離は、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4である発光素子である。
【選択図】図1

Description

本発明の一形態は、エレクトロルミネセンスを示す発光素子、及び該発光素子を用いた表示装置、並びにそれらの作製方法に関する。
近年、薄型、軽量化を図った表示装置(所謂フラットパネルディスプレイ)として、エレクトロルミネセンス(EL;Electroluminescence、以下ELとも記す)表示装置が注目されている。
EL表示装置は、各画素に用いる発光素子にそれぞれ各色に発光する発光材料を用いた発光素子を設けることで、フルカラー表示を行うことができる。
このようなEL表示装置においては、メタルマスクを用いた蒸着法により、画素毎に微細なパターンで異なる発光材料を塗り分けする方法が用いられている。
しかし、メタルマスクの接触により発光素子の形状不良及び発光不良などを引き起こすおそれがあり、その対策が研究されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1では、蒸着時にメタルマスクと画素電極とが接触しないように画素電極上にメタルマスクを支えるスペーサを設ける構成が開示されている。
特開2006−126817号公報
発光材料を画素毎への塗り分ける方法では、工程が煩雑であり、歩留まりや生産性を高めることは難しい。
本発明の一形態は、表示装置の低消費電力化、及び高生産化を達成できる発光素子を提供することを課題の一とする。
本発明の一形態は、表示装置を高い生産性で作製する技術を提供することを課題の一とする。
また、本発明の一形態は、色純度のよい高精細な表示装置を提供することを課題の一とする。
本発明の一形態は、反射性を有する電極と、反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、電荷発生層、第2の発光層、及び透光性を有する電極と、を含み、反射性を有する電極と、第1の発光層の間の光学距離は、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、反射性を有する電極と、第2の発光層の間の光学距離は、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4である発光素子である。なお、本明細書中で発光スペクトルのピーク波長とは、複数のピークを有する発光スペクトルの場合、そのうち最大の発光強度のピークにおける波長を指す。
上記構成において、第1の発光層及び第2の発光層の呈する発光色はそれぞれ異なる。
本発明の一形態は、反射性を有する電極と、反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、第1の電荷発生層、第2の発光層、第2の電荷発生層、第3の発光層及び透光性を有する電極と、を含み、反射性を有する電極と、第1の発光層の間の光学距離は、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、反射性を有する電極と、第2の発光層の間の光学距離は、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4であり、反射性を有する電極と、第3の発光層の間の光学距離は、第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の5/4である発光素子である。
上記構成において、第1の発光層、第2の発光層、及び第3の発光層の呈する発光色はそれぞれ異なる。
本発明の一形態は、複数の発光素子と、複数の発光素子上に設けられた複数のカラーフィルタ層と、を有し、複数の発光素子はそれぞれ、反射性を有する電極と、反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、電荷発生層、第2の発光層、及び透光性を有する電極と、を含み、反射性を有する電極と、第1の発光層の間の光学距離は、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、反射性を有する電極と、第2の発光層の間の光学距離は、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4であり、複数のカラーフィルタ層として、少なくとも、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、を含む表示装置である。
本発明の一形態は、複数の発光素子と、複数の発光素子上に設けられた複数のカラーフィルタ層と、を有し、複数の発光素子はそれぞれ、反射性を有する電極と、反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、第1の電荷発生層、第2の発光層、第2の電荷発生層、第3の発光層及び透光性を有する電極と、を含み、反射性を有する電極と、第1の発光層の間の光学距離は、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、反射性を有する電極と、第2の発光層の間の光学距離は、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4であり、反射性を有する電極と、第3の発光層の間の光学距離は、第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の5/4であり、複数のカラーフィルタ層として、少なくとも、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、を含む表示装置である。
本発明の一形態は、表示装置を高い生産性で作製することができる。
また、本発明の一形態は、色純度のよい高精細な表示装置を提供することができる。
また、本発明の一形態は、低消費電力な表示装置を提供することができる。
表示装置を説明する図。 表示装置を説明する図。 表示装置を説明する図。 表示装置を説明する図。 表示装置の使用形態の一例を説明する図。 実施例発光素子を説明する図。 実施例発光素子の発光スペクトルを示す図。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、以下の説明に限定されず、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
(実施の形態1)
本実施の形態では、EL表示装置の一形態について、図1乃至図3を用いて説明する。
図1(A)に、本実施の形態に係る発光素子の構成を示す。図1(A)に示す発光素子は反射性を有する電極102と、反射性を有する電極102上に順に積層された、第1のEL層106、電荷発生層107、第2のEL層110、及び透光性を有する電極112とを含んで構成される。発光素子からの発光は、透光性を有する電極112側から射出される。
図1(A)において、第1のEL層106は、少なくとも第1の発光層120を含んで構成される。また、第2のEL層110は、少なくとも第2の発光層122を含んで構成される。なお、第1のEL層106及び第2のEL層110は、発光層の他に、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層などの機能層をそれぞれ有する積層構造とすることもできる。
図1に示す発光素子において、第1の発光層120からの発光は、透光性を有する電極112から発光素子外へと射出される。ここで、透光性を有する電極112へ入射する光の成分には、第1の発光層120から直接透光性を有する電極112へ入射する光(第1の入射光とも表記する)と、第1の発光層120の呈した光において、反射性を有する電極102により反射されて戻ってきた光(第1の反射光とも表記する)と、が含まれている。第1の入射光と第1の反射光は干渉を起こすため、反射性を有する電極102と、第1の発光層120と、の光学距離を調整することで、第1の入射光と第1の反射光の位相を合わせることができる。
本実施の形態においては、反射性を有する電極102と、第1の発光層120との光学距離を、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4とする。これによって、第1の入射光と第1の反射光の位相を合わせられ、第1の発光層120からの発光を増幅することができるため、本実施の形態に係る発光素子は、光学距離を調整していない発光素子と比較して同じ電流を流した場合において大きな輝度を得ることができる。
同様に、第2の発光層122からの発光は、透光性を有する電極112から発光素子外へと射出され、透光性を有する電極112へ入射する光の成分には、第2の発光層122から直接透光性を有する電極112へ入射する光(第2の入射光とも表記する)と、第2の発光層122の呈した光において、反射性を有する電極102により反射されて戻ってきた光(第2の反射光とも表記する)と、が含まれている。第2の入射光と第2の反射光は干渉を起こすため、反射性を有する電極102と、第2の発光層122と、の光学距離を調整することで、第2の入射光と第2の反射光の位相を合わせることができる。
本実施の形態においては、反射性を有する電極102と、第2の発光層122との光学距離を、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4とする。これによって、第2の入射光と第2の反射光の位相を合わせられ、第2の発光層122からの発光を増幅することができるため、本実施の形態に係る発光素子は、光学距離を調整していない発光素子と比較して同じ電流を流した場合において大きな輝度を得ることができる。
なお、反射性を有する電極102と、第1の発光層120との光学距離とは、より厳密には反射性を有する電極102と、第1の発光層120における発光領域との光学距離ということもできる。但し、発光層における発光領域の位置を厳密に決定することは困難であり、発光層の任意の位置を発光領域と仮定することで充分に上述の効果を得ることができる。すなわち、反射性を有する電極102と、第1の発光層120との光学距離とは、反射性を有する電極102の表面から第1の発光層120の下部表面までの距離以上、反射性を有する電極102の表面から第1の発光層120の上部表面までの距離以下とすることができる。反射性を有する電極102と、第2の発光層122との光学距離及び、反射性を有する電極102と後述する第3の発光層124との光学距離についても同様である。
なお、第1の発光層120及び第2の発光層122の呈する発光色はそれぞれ異なるのが好ましい。
以下に、図1(A)に示す発光素子の構成をより具体的な材料を交えながら説明する。なお、ここで説明する素子構成や作製方法等はあくまで例示であり、本実施の形態の趣旨を損なわない範囲においてその他公知の構成、材料、作製方法を適用することができる。
反射性を有する電極102は、光の取り出し方向と反対側に設けられ、反射性を有する材料を用いて形成される。反射性を有する材料としては、アルミニウム、金、白金、銀、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、又はパラジウム等の金属材料を用いることができる。そのほか、アルミニウムとチタンの合金、アルミニウムとニッケルの合金、アルミニウムとネオジムの合金などのアルミニウムを含む合金(アルミニウム合金)や銀と銅の合金などの銀を含む合金を用いることもできる。銀と銅の合金は、耐熱性が高いため好ましい。さらに、アルミニウム合金膜に接する金属膜、又は金属酸化物膜を積層することでアルミニウム合金膜の酸化を抑制することができる。該金属膜、金属酸化物膜の材料としては、チタン、酸化チタンなどが挙げられる。上述の材料は、地殻における存在量が多く安価であるため、発光素子の作製コストを低減することができ、好ましい。
本実施の形態においては、反射性を有する電極102を発光素子の陽極として用いる場合を例に説明する。但し、本発明の実施の形態はこれに限られない。
反射性を有する電極102と、第1の発光層120との光学距離を調整するには、反射性を有する電極102上に接して透光性を有する導電層を設ければよい。当該透光性を有する導電層は、可視光に対する透光性を有する材料を用いて単層または積層で形成される。例えば、透光性を有する材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、酸化インジウム酸化亜鉛、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛、グラフェンなどを用いることができる。
また、透光性を有する導電層として、導電性高分子(導電性ポリマーともいう)を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子としては、いわゆるπ電子共役系導電性高分子が用いることができる。例えば、ポリアニリンまたはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェン(PEDOT)またはその誘導体、またはアニリン、ピロールおよびチオフェンの2種以上からなる共重合体またはその誘導体などがあげられる。
第1のEL層106は、少なくとも第1の発光層120が含まれていればよい。そのほか、正孔輸送性の高い物質を含む層、電子輸送性の高い物質を含む層、正孔注入性の高い物質を含む層、電子注入性の高い物質を含む層、バイポーラ性の物質(正孔輸送性及び電子輸送性が高い物質)を含む層等を適宜組み合わせた積層構造を構成することができる。例えば、第1のEL層106として、正孔注入層、正孔輸送層、第1の発光層120、電子輸送層、電子注入層の積層構造とすることができる。なお、当然のことながら、反射性を有する電極102を陰極として用いる場合には、陰極側から順に、電子注入層、電子輸送層、第1の発光層120、正孔輸送層、正孔注入層の積層構造とすればよい。
正孔注入層は、正孔注入性の高い物質を含む層である。正孔注入性の高い物質としては、例えば、モリブデン酸化物、チタン酸化物、バナジウム酸化物、レニウム酸化物、ルテニウム酸化物、クロム酸化物、ジルコニウム酸化物、ハフニウム酸化物、タンタル酸化物、銀酸化物、タングステン酸化物、マンガン酸化物等の金属酸化物を用いることができる。また、フタロシアニン(略称:HPc)、銅(II)フタロシアニン(略称:CuPc)等のフタロシアニン系の化合物を用いることができる。
また、低分子の有機化合物である4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDATA)、4,4’−ビス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DPAB)、4,4’−ビス(N−{4−[N’−(3−メチルフェニル)−N’−フェニルアミノ]フェニル}−N−フェニルアミノ)ビフェニル(略称:DNTPD)、1,3,5−トリス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ベンゼン(略称:DPA3B)、3−[N−(9−フェニルカルバゾール−3−イル)−N−フェニルアミノ]−9−フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA1)、3,6−ビス[N−(9−フェニルカルバゾール−3−イル)−N−フェニルアミノ]−9−フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA2)、3−[N−(1−ナフチル)−N−(9−フェニルカルバゾール−3−イル)アミノ]−9−フェニルカルバゾール(略称:PCzPCN1)等の芳香族アミン化合物等を用いることができる。
さらに、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)を用いることもできる。例えば、ポリ(N−ビニルカルバゾール)(略称:PVK)、ポリ(4−ビニルトリフェニルアミン)(略称:PVTPA)、ポリ[N−(4−{N’−[4−(4−ジフェニルアミノ)フェニル]フェニル−N’−フェニルアミノ}フェニル)メタクリルアミド](略称:PTPDMA)、ポリ[N,N’−ビス(4−ブチルフェニル)−N,N’−ビス(フェニル)ベンジジン](略称:Poly−TPD)などの高分子化合物が挙げられる。また、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)、ポリアニリン/ポリ(スチレンスルホン酸)(PAni/PSS)等の酸を添加した高分子化合物を用いることができる。
特に、正孔注入層として、正孔輸送性の高い有機化合物にアクセプター性物質を含有させた複合材料を用いることが好ましい。正孔輸送性の高い物質にアクセプター性物質を含有させた複合材料を用いることにより、陽極からの正孔注入性を良好にし、発光素子の駆動電圧を低減することができる。これらの複合材料は、正孔輸送性の高い物質とアクセプター物質とを共蒸着することにより形成することができる。該複合材料を用いて正孔注入層を形成することにより、陽極から第1のEL層106への正孔注入が容易となる。
複合材料に用いる有機化合物としては、芳香族アミン化合物、カルバゾール誘導体、芳香族炭化水素、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)など、種々の化合物を用いることができる。なお、複合材料に用いる有機化合物としては、正孔輸送性の高い有機化合物であることが好ましい。具体的には、10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質であることが好ましい。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いてもよい。以下では、複合材料に用いることのできる有機化合物を具体的に列挙する。
複合材料に用いることのできる有機化合物としては、例えば、TDATA、MTDATA、DPAB、DNTPD、DPA3B、PCzPCA1、PCzPCA2、PCzPCN1、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:NPB)、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、4−フェニル−4’−(9−フェニルフルオレン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)等の芳香族アミン化合物や、4,4’−ジ(N−カルバゾリル)ビフェニル(略称:CBP)、1,3,5−トリス[4−(N−カルバゾリル)フェニル]ベンゼン(略称:TCPB)、9−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール(略称:CzPA)、9−フェニル−3−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール(略称:PCzPA)、1,4−ビス[4−(N−カルバゾリル)フェニル]−2,3,5,6−テトラフェニルベンゼン等のカルバゾール誘導体を用いることができる。
また、2−tert−ブチル−9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:t−BuDNA)、2−tert−ブチル−9,10−ジ(1−ナフチル)アントラセン、9,10−ビス(3,5−ジフェニルフェニル)アントラセン(略称:DPPA)、2−tert−ブチル−9,10−ビス(4−フェニルフェニル)アントラセン(略称:t−BuDBA)、9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、9,10−ジフェニルアントラセン(略称:DPAnth)、2−tert−ブチルアントラセン(略称:t−BuAnth)、9,10−ビス(4−メチル−1−ナフチル)アントラセン(略称:DMNA)、9,10−ビス[2−(1−ナフチル)フェニル]−2−tert−ブチルアントラセン、9,10−ビス[2−(1−ナフチル)フェニル]アントラセン、2,3,6,7−テトラメチル−9,10−ジ(1−ナフチル)アントラセン等の芳香族炭化水素化合物を用いることができる。
さらに、2,3,6,7−テトラメチル−9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン、9,9’−ビアントリル、10,10’−ジフェニル−9,9’−ビアントリル、10,10’−ビス(2−フェニルフェニル)−9,9’−ビアントリル、10,10’−ビス[(2,3,4,5,6−ペンタフェニル)フェニル]−9,9’−ビアントリル、アントラセン、テトラセン、ルブレン、ペリレン、2,5,8,11−テトラ(tert−ブチル)ペリレン、ペンタセン、コロネン、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル(略称:DPVBi)、9,10−ビス[4−(2,2−ジフェニルビニル)フェニル]アントラセン(略称:DPVPA)等の芳香族炭化水素化合物を用いることができる。
また、電子受容体としては、7,7,8,8−テトラシアノ−2,3,5,6−テトラフルオロキノジメタン(略称:F−TCNQ)、クロラニル等の有機化合物や、遷移金属酸化物を挙げることができる。また、元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物を挙げることができる。具体的には、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウムは電子受容性が高いため好ましい。中でも特に、酸化モリブデンは大気中でも安定であり、吸湿性が低く、扱いやすいため好ましい。
なお、上述したPVK、PVTPA、PTPDMA、Poly−TPD等の高分子化合物と、上述した電子受容体を用いて複合材料を形成し、正孔注入層に用いてもよい。
なお、第1のEL層106に上述の複合材料を含む層を設ける場合、当該複合材料を含む層の膜厚を調整することによって、反射性を有する電極102と、第1の発光層120との光学距離(第1の反射光の光路長)を調整してもよい。この場合、透光性を有する導電層は必ずしも設けなくともよい。
正孔輸送層は、正孔輸送性の高い物質を含む層である。正孔輸送性の高い物質としては、例えば、NPB、TPD、BPAFLP、4,4’−ビス[N−(9,9−ジメチルフルオレン−2−イル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DFLDPBi)、4,4’−ビス[N−(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N―フェニルアミノ]ビフェニル(略称:BSPB)等の芳香族アミン化合物を用いることができる。ここに述べた物質は、主に10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質である。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いてもよい。なお、正孔輸送性の高い物質を含む層は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が二層以上積層したものとしてもよい。
また、正孔輸送層には、CBP、CzPA、PCzPAのようなカルバゾール誘導体や、t−BuDNA、DNA、DPAnthのようなアントラセン誘導体を用いても良い。
また、正孔輸送層には、PVK、PVTPA、PTPDMA、Poly−TPDなどの高分子化合物を用いることもできる。
第1の発光層120は、発光性の有機化合物を含む層である。発光性の有機化合物としては、例えば、蛍光を発光する蛍光性化合物や燐光を発光する燐光性化合物を用いることができる。
第1の発光層120に用いることができる蛍光性化合物としては、例えば、青色系の発光材料として、N,N’−ビス[4−(9H−カルバゾール−9−イル)フェニル]−N,N’−ジフェニルスチルベン−4,4’−ジアミン(略称:YGA2S)、4−(9H−カルバゾール−9−イル)−4’−(10−フェニル−9−アントリル)トリフェニルアミン(略称:YGAPA)、4−(10−フェニル−9−アントリル)−4’−(9−フェニル−9H−カルバゾール−3−イル)トリフェニルアミン(略称:PCBAPA)などが挙げられる。また、緑色系の発光材料として、N−(9,10−ジフェニル−2−アントリル)−N,9−ジフェニル−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:2PCAPA)、N−[9,10−ビス(1,1’−ビフェニル−2−イル)−2−アントリル]−N,9−ジフェニル−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:2PCABPhA)、N−(9,10−ジフェニル−2−アントリル)−N,N’,N’−トリフェニル−1,4−フェニレンジアミン(略称:2DPAPA)、N−[9,10−ビス(1,1’−ビフェニル−2−イル)−2−アントリル]−N,N’,N’−トリフェニル−1,4−フェニレンジアミン(略称:2DPABPhA)、N−[9,10−ビス(1,1’−ビフェニル−2−イル)]−N−[4−(9H−カルバゾール−9−イル)フェニル]−N−フェニルアントラセン−2−アミン(略称:2YGABPhA)、N,N,9−トリフェニルアントラセン−9−アミン(略称:DPhAPhA)などが挙げられる。また、黄色系の発光材料として、ルブレン、5,12−ビス(1,1’−ビフェニル−4−イル)−6,11−ジフェニルテトラセン(略称:BPT)などが挙げられる。また、赤色系の発光材料として、N,N,N’,N’−テトラキス(4−メチルフェニル)テトラセン−5,11−ジアミン(略称:p−mPhTD)、7,14−ジフェニル−N,N,N’,N’−テトラキス(4−メチルフェニル)アセナフト[1,2−a]フルオランテン−3,10−ジアミン(略称:p−mPhAFD)などが挙げられる。
また、第1の発光層120に用いることができる燐光性化合物としては、例えば、青色系の発光材料として、ビス[2−(4’,6’−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)テトラキス(1−ピラゾリル)ボラート(略称:FIr6)、ビス[2−(4’,6’−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)ピコリナート(略称:FIrpic)、ビス{2−[3’,5’−ビス(トリフルオロメチル)フェニル]ピリジナト−N,C2’}イリジウム(III)ピコリナート(略称:Ir(CFppy)(pic))、ビス[2−(4’,6’−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:FIr(acac))などが挙げられる。また、緑色系の発光材料として、トリス(2−フェニルピリジナト−N,C2’)イリジウム(III)(略称:Ir(ppy))、ビス(2−フェニルピリジナト−N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(ppy)(acac))、ビス(1,2−ジフェニル−1H−ベンゾイミダゾラト)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(pbi)(acac))、ビス(ベンゾ[h]キノリナト)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(bzq)(acac))、トリス(ベンゾ[h]キノリナト)イリジウム(III)(略称:Ir(bzq))などが挙げられる。また、黄色系の発光材料として、ビス(2,4−ジフェニル−1,3−オキサゾラト−N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(dpo)(acac))、ビス[2−(4’−パーフルオロフェニルフェニル)ピリジナト]イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(p−PF−ph)(acac))、ビス(2−フェニルベンゾチアゾラト−N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(bt)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス[2,3−ビス(4−フルオロフェニル)−5−メチルピラジナト]イリジウム(III)(略称:Ir(Fdppr−Me)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス{2−(4−メトキシフェニル)−3,5−ジメチルピラジナト}イリジウム(III)(略称:Ir(dmmoppr)(acac))などが挙げられる。また、橙色系の発光材料として、トリス(2−フェニルキノリナト−N,C2’)イリジウム(III)(略称:Ir(pq))、ビス(2−フェニルキノリナト−N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(pq)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス(3,5−ジメチル−2−フェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:Ir(mppr−Me)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス(5−イソプロピル−3−メチル−2−フェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:Ir(mppr−iPr)(acac))などが挙げられる。また、赤色系の発光材料として、ビス[2−(2’−ベンゾ[4,5−α]チエニル)ピリジナト−N,C3’]イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(btp)(acac))、ビス(1−フェニルイソキノリナト−N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(piq)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス[2,3−ビス(4−フルオロフェニル)キノキサリナト]イリジウム(III)(略称:Ir(Fdpq)(acac))、(アセチルアセトナト)ビス(2,3,5−トリフェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:Ir(tppr)(acac))、(ジピバロイルメタナト)ビス(2,3,5−トリフェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:Ir(tppr)(dpm))、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィリン白金(II)(略称:PtOEP)等の有機金属錯体が挙げられる。また、トリス(アセチルアセトナト)(モノフェナントロリン)テルビウム(III)(略称:Tb(acac)(Phen))、トリス(1,3−ジフェニル−1,3−プロパンジオナト)(モノフェナントロリン)ユーロピウム(III)(略称:Eu(DBM)(Phen))、トリス[1−(2−テノイル)−3,3,3−トリフルオロアセトナト](モノフェナントロリン)ユーロピウム(III)(略称:Eu(TTA)(Phen))等の希土類金属錯体は、希土類金属イオンからの発光(異なる多重度間の電子遷移)であるため、燐光性化合物として用いることができる。
なお、第1の発光層120としては、上述した発光性の有機化合物(ゲスト材料)を他の物質(ホスト材料)に分散させた構成としてもよい。ホスト材料としては、各種のものを用いることができ、発光性の物質よりも最低空軌道準位(LUMO準位)が高く、最高被占有軌道準位(HOMO準位)が低い物質を用いることが好ましい。
ホスト材料としては、具体的には、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(III)(略称:Alq)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III)(略称:Almq)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリナト)ベリリウム(II)(略称:BeBq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(4−フェニルフェノラト)アルミニウム(III)(略称:BAlq)、ビス(8−キノリノラト)亜鉛(II)(略称:Znq)、ビス[2−(2−ベンゾオキサゾリル)フェノラト]亜鉛(II)(略称:ZnPBO)、ビス[2−(2−ベンゾチアゾリル)フェノラト]亜鉛(II)(略称:ZnBTZ)などの金属錯体、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称:PBD)、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4−ビフェニリル)−4−フェニル−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,2,4−トリアゾール(略称:TAZ)、2,2’,2’’−(1,3,5−ベンゼントリイル)トリス(1−フェニル−1H−ベンゾイミダゾール)(略称:TPBI)、バソフェナントロリン(略称:BPhen)、バソキュプロイン(略称:BCP)などの複素環化合物や、9−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール(略称:CzPA)、3,6−ジフェニル−9−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール(略称:DPCzPA)、9,10−ビス(3,5−ジフェニルフェニル)アントラセン(略称:DPPA)、9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、2−tert−ブチル−9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:t−BuDNA)、9,9’−ビアントリル(略称:BANT)、9,9’−(スチルベン−3,3’−ジイル)ジフェナントレン(略称:DPNS)、9,9’−(スチルベン−4,4’−ジイル)ジフェナントレン(略称:DPNS2)、3,3’,3’’−(ベンゼン−1,3,5−トリイル)トリピレン(略称:TPB3)、9,10−ジフェニルアントラセン(略称:DPAnth)、6,12−ジメトキシ−5,11−ジフェニルクリセンなどの縮合芳香族化合物、N,N−ジフェニル−9−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:CzA1PA)、4−(10−フェニル−9−アントリル)トリフェニルアミン(略称:DPhPA)、N,9−ジフェニル−N−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:PCAPA)、N,9−ジフェニル−N−{4−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]フェニル}−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:PCAPBA)、N−(9,10−ジフェニル−2−アントリル)−N,9−ジフェニル−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:2PCAPA)、NPB、TPD、DFLDPBi、BSPBなどの芳香族アミン化合物などを用いることができる。
また、ホスト材料は複数種用いることができる。例えば、結晶化を抑制するためにルブレン等の結晶化を抑制する物質をさらに添加してもよい。また、ゲスト材料へのエネルギー移動をより効率良く行うためにNPB、あるいはAlq等をさらに添加してもよい。
ゲスト材料をホスト材料に分散させた構成とすることにより、第1の発光層120の結晶化を抑制することができる。また、ゲスト材料の濃度が高いことによる濃度消光を抑制することができる。
また、第1の発光層120として高分子化合物を用いることができる。具体的には、青色系の発光材料として、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)(略称:PFO)、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)−co−(2,5−ジメトキシベンゼン−1,4−ジイル)](略称:PF−DMOP)、ポリ{(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)−co−[N,N’−ジ−(p−ブチルフェニル)−1,4−ジアミノベンゼン]}(略称:TAB−PFH)などが挙げられる。また、緑色系の発光材料として、ポリ(p−フェニレンビニレン)(略称:PPV)、ポリ[(9,9−ジヘキシルフルオレン−2,7−ジイル)−alt−co−(ベンゾ[2,1,3]チアジアゾール−4,7−ジイル)](略称:PFBT)、ポリ[(9,9−ジオクチル−2,7−ジビニレンフルオレニレン)−alt−co−(2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−フェニレン)]などが挙げられる。また、橙色〜赤色系の発光材料として、ポリ[2−メトキシ−5−(2’−エチルヘキソキシ)−1,4−フェニレンビニレン](略称:MEH−PPV)、ポリ(3−ブチルチオフェン−2,5−ジイル)(略称:R4−PAT)、ポリ{[9,9−ジヘキシル−2,7−ビス(1−シアノビニレン)フルオレニレン]−alt−co−[2,5−ビス(N,N’−ジフェニルアミノ)−1,4−フェニレン]}、ポリ{[2−メトキシ−5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−ビス(1−シアノビニレンフェニレン)]−alt−co−[2,5−ビス(N,N’−ジフェニルアミノ)−1,4−フェニレン]}(略称:CN−PPV−DPD)などが挙げられる。
なお、第1のEL層106は、発光層を2層以上含む構成としてもよい。
電子輸送層は、電子輸送性の高い物質を含む層である。電子輸送性の高い物質としては、例えば、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(4−フェニルフェノラト)アルミニウム(略称:BAlq)など、キノリン骨格又はベンゾキノリン骨格を有する金属錯体等が挙げられる。また、この他ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキサゾラト]亜鉛(略称:Zn(BOX))、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾラト]亜鉛(略称:Zn(BTZ))などのオキサゾール系、チアゾール系配位子を有する金属錯体なども用いることができる。さらに、金属錯体以外にも、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称:PBD)や、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4−ビフェニリル)−4−フェニル−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,2,4−トリアゾール(略称:TAZ)、バソフェナントロリン(略称:BPhen)、バソキュプロイン(略称:BCP)なども用いることができる。ここに述べた物質は、主に10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質である。また、電子輸送層は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が二層以上積層したものとしてもよい。
電子注入層は、電子注入性の高い物質を含む層である。電子注入層には、リチウム、セシウム、カルシウム、フッ化リチウム、フッ化セシウム、フッ化カルシウム、リチウム酸化物等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、又はそれらの化合物を用いることができる。また、フッ化エルビウムのような希土類金属化合物を用いることができる。また、上述した電子輸送層を構成する物質を用いることもできる。
電荷発生層107は、発光素子に電圧を印加することで電荷が発生し、陰極側のEL層に正孔を注入し、陽極側のEL層に電子を注入する機能を有する。
電荷発生層107は上述の複合材料で形成することができる。また、電荷発生層107は複合材料からなる層と他の材料からなる層との積層構造でもよい。この場合、他の材料からなる層としては、電子供与性物質と電子輸送性の高い物質とを含む層や、透明導電膜からなる層などを用いることができる。このような構成を有する発光素子は、エネルギーの移動や消光などの問題が起こり難く、材料の選択の幅が広がることで高い発光効率と長い寿命とを併せ持つ発光素子とすることが容易である。また、一方のEL層で燐光発光、他方で蛍光発光を得ることも容易である。
なお、電荷発生層107の膜厚を調整することによって、反射性を有する電極102と、第2の発光層122との光学距離(第2の反射光の光路長)を調整することができる。
積層されるEL層の間に電荷発生層を配置すると、電流密度を低く保ったまま、高輝度でありながら長寿命な素子とできる。また、電極材料の抵抗による電圧降下を小さくできるので、大面積での均一発光が可能となる。
第2のEL層110は、少なくとも第2の発光層122を含めばよい。そのほか、正孔輸送性の高い物質を含む層、電子輸送性の高い物質を含む層、正孔注入性の高い物質を含む層、電子注入性の高い物質を含む層、バイポーラ性の物質(正孔輸送性及び電子輸送性が高い物質)を含む層等を適宜組み合わせた積層構造を構成することができる。また、第1のEL層106と同様の構成としてもよいし、第1のEL層とは異なる積層構造を有する構成としてもよい。例えば、第2のEL層110として、正孔注入層、正孔輸送層、第2の発光層122、電子輸送層、電子注入バッファー層、電子リレー層、及び透光性を有する電極112と接する複合材料層を有する積層構造とすることができる。なお、第2のEL層110は、発光層を2層以上含む構成としてもよい。
透光性を有する電極112と接する複合材料層を設けることで、特にスパッタリング法を用いて透光性を有する電極112を形成する際に、第2のEL層110が受けるダメージを低減することができるため、好ましい。複合材料層は、前述の、正孔輸送性の高い有機化合物にアクセプター性物質を含有させた複合材料を用いることができる。
さらに、電子注入バッファー層を設けることで、複合材料層と電子輸送層との間の注入障壁を緩和することができるため、複合材料層で生じた電子を電子輸送層に容易に注入することができる。
電子注入バッファー層には、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属、及びこれらの化合物(アルカリ金属化合物(酸化リチウム等の酸化物、ハロゲン化物、炭酸リチウムや炭酸セシウム等の炭酸塩を含む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む)、または希土類金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む))等の電子注入性の高い物質を用いることが可能である。
また、電子注入バッファー層が、電子輸送性の高い物質とドナー性物質を含んで形成される場合には、電子輸送性の高い物質に対して質量比で、0.001以上0.1以下の比率でドナー性物質を添加することが好ましい。なお、ドナー性物質としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属、およびこれらの化合物(アルカリ金属化合物(酸化リチウム等の酸化物、ハロゲン化物、炭酸リチウムや炭酸セシウム等の炭酸塩を含む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む)、または希土類金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む))の他、テトラチアナフタセン(略称:TTN)、ニッケロセン、デカメチルニッケロセン等の有機化合物を用いることもできる。なお、電子輸送性の高い物質としては、先に説明した電子輸送層の材料と同様の材料を用いて形成することができる。
さらに、電子注入バッファー層と複合材料層との間に、電子リレー層を形成することが好ましい。電子リレー層は、必ずしも設ける必要は無いが、電子輸送性の高い電子リレー層を設けることで、電子注入バッファー層へ電子を速やかに送ることが可能となる。
複合材料層と電子注入バッファー層との間に電子リレー層が挟まれた構造は、複合材料層に含まれるアクセプター性物質と、電子注入バッファー層に含まれるドナー性物質とが相互作用を受けにくく、互いの機能を阻害しにくい構造である。したがって、駆動電圧の上昇を防ぐことができる。
電子リレー層は、電子輸送性の高い物質を含み、該電子輸送性の高い物質のLUMO準位は、複合材料層に含まれるアクセプター性物質のLUMO準位と、電子輸送層に含まれる電子輸送性の高い物質のLUMO準位との間となるように形成する。また、電子リレー層がドナー性物質を含む場合には、当該ドナー性物質のドナー準位も複合材料層におけるアクセプター性物質のLUMO準位と、電子輸送層に含まれる電子輸送性の高い物質のLUMO準位との間となるようにする。具体的なエネルギー準位の数値としては、電子リレー層に含まれる電子輸送性の高い物質のLUMO準位は−5.0eV以上、好ましくは−5.0eV以上−3.0eV以下とするとよい。
電子リレー層に含まれる電子輸送性の高い物質としてはフタロシアニン系の材料又は金属−酸素結合と芳香族配位子を有する金属錯体を用いることが好ましい。
電子リレー層に含まれるフタロシアニン系材料としては、具体的にはCuPc、SnPc(Phthalocyanine tin(II) complex)、ZnPc(Phthalocyanine zinc complex)、CoPc(Cobalt(II)phthalocyanine, β−form)、FePc(Phthalocyanine Iron)及びPhO−VOPc(Vanadyl 2,9,16,23−tetraphenoxy−29H,31H−phthalocyanine)のいずれかを用いることが好ましい。
電子リレー層に含まれる金属−酸素結合と芳香族配位子を有する金属錯体としては、金属−酸素の二重結合を有する金属錯体を用いることが好ましい。金属−酸素の二重結合はアクセプター性(電子を受容しやすい性質)を有するため、電子の移動(授受)がより容易になる。また、金属−酸素の二重結合を有する金属錯体は安定であると考えられる。したがって、金属−酸素の二重結合を有する金属錯体を用いることにより発光素子を低電圧でより安定に駆動することが可能になる。
金属−酸素結合と芳香族配位子を有する金属錯体としてはフタロシアニン系材料が好ましい。具体的には、VOPc(Vanadyl phthalocyanine)、SnOPc(Phthalocyanine tin(IV) oxide complex)及びTiOPc(Phthalocyanine titanium oxide complex)のいずれかは、分子構造的に金属−酸素の二重結合が他の分子に対して作用しやすく、アクセプター性が高いため好ましい。
なお、上述したフタロシアニン系材料としては、フェノキシ基を有するものが好ましい。具体的にはPhO−VOPcのような、フェノキシ基を有するフタロシアニン誘導体が好ましい。フェノキシ基を有するフタロシアニン誘導体は、溶媒に可溶である。そのため、発光素子を形成する上で扱いやすいという利点を有する。また、溶媒に可溶であるため、成膜に用いる装置のメンテナンスが容易になるという利点を有する。
電子リレー層はさらにドナー性物質を含んでいても良い。ドナー性物質としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属及びこれらの化合物(アルカリ金属化合物(酸化リチウムなどの酸化物、ハロゲン化物、炭酸リチウムや炭酸セシウムなどの炭酸塩を含む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む)、又は希土類金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む))の他、テトラチアナフタセン(略称:TTN)、ニッケロセン、デカメチルニッケロセンなどの有機化合物を用いることができる。電子リレー層にこれらドナー性物質を含ませることによって、電子の移動が容易となり、発光素子をより低電圧で駆動することが可能になる。
電子リレー層にドナー性物質を含ませる場合、電子輸送性の高い物質としては上記した材料の他、複合材料層に含まれるアクセプター性物質のアクセプター準位より高いLUMO準位を有する物質を用いることができる。具体的なエネルギー準位としては、−5.0eV以上、好ましくは−5.0eV以上−3.0eV以下の範囲にLUMO準位を有する物質を用いることが好ましい。このような物質としては例えば、ペリレン誘導体や、含窒素縮合芳香族化合物などが挙げられる。なお、含窒素縮合芳香族化合物は、安定であるため、電子リレー層を形成する為に用いる材料として、好ましい材料である。
ペリレン誘導体の具体例としては、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物(略称:PTCDA)、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリックビスベンゾイミダゾール(略称:PTCBI)、N,N’−ジオクチル−3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:PTCDI−C8H)、N,N’−ジヘキシル−3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:Hex PTC)等が挙げられる。
また、含窒素縮合芳香族化合物の具体例としては、ピラジノ[2,3−f][1,10]フェナントロリン−2,3−ジカルボニトリル(略称:PPDN)、2,3,6,7,10,11−ヘキサシアノ−1,4,5,8,9,12−ヘキサアザトリフェニレン(略称:HAT(CN))、2,3−ジフェニルピリド[2,3−b]ピラジン(略称:2PYPR)、2,3−ビス(4−フルオロフェニル)ピリド[2,3−b]ピラジン(略称:F2PYPR)等が挙げられる。
その他にも、7,7,8,8,−テトラシアノキノジメタン(略称:TCNQ)、1,4,5,8,−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(略称:NTCDA)、パーフルオロペンタセン、銅ヘキサデカフルオロフタロシアニン(略称:F16CuPc)、N,N’−ビス(2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−ペンタデカフルオロオクチル)−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:NTCDI−C8F)、3’,4’−ジブチル−5,5’’−ビス(ジシアノメチレン)−5,5’’−ジヒドロ−2,2’:5’,2’’−テルチオフェン(略称:DCMT)、メタノフラーレン(例えば、[6,6]−フェニルC61酪酸メチルエステル)等を用いることができる。
なお、電子リレー層にドナー性物質を含ませる場合、電子輸送性の高い物質とドナー性物質との共蒸着などの方法によって電子リレー層を形成すれば良い。
正孔注入層、正孔輸送層、第2の発光層122、及び電子輸送層は前述の材料を用いてそれぞれ形成すれば良い。但し、第2の発光層122の発光材料としては、第1の発光層120の発光材料とは異なる材料を用いるのが好ましい。
透光性を有する電極112は、光の取り出し方向に設けられるため、透光性を有する材料を用いて形成する。透光性を有する材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、酸化インジウム酸化亜鉛、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛、グラフェンなどを用いることができる。
また、透光性を有する電極112として、金、白金、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、又はチタン等の金属材料を用いることができる。または、それら金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)等を用いてもよい。なお、金属材料(又はその窒化物)を用いる場合、透光性を有する程度に薄くすればよい。
以上で説明した図1(A)の発光素子は、各発光層からの発光スペクトルの半値幅を減少させることができ、シャープな発光スペクトルを有する発光素子とすることが可能である。また、高効率の発光素子とすることができる。
図1(B)に、図1(A)とは異なる発光素子の構造を示す。なお、図1(B)に示す発光素子の構成は、多くの部分で図1(A)に示した発光素子の構成と共通している。したがって、以下においては、重複する部分の説明は省略することがある。
図1(B)に示す発光素子は、反射性を有する電極102と、反射性を有する電極102上に順に積層された、第1のEL層106、第1の電荷発生層108、第2のEL層110、第2の電荷発生層114、第3のEL層118、及び透光性を有する電極112と、を含んで構成される。図1(B)に示す発光素子は、第2のEL層110と透光性を有する電極112との間に、第2の電荷発生層114及び第3のEL層118を有する点で、図1(A)に示した発光素子と異なる。その他の構成は、図1(A)の発光素子と同様である。
図1(B)に示す発光素子において、第3のEL層118は、少なくとも第3の発光層124を有する。第3の発光層124からの発光は、透光性を有する電極112から発光素子外へと射出され、透光性を有する電極112へ入射する光の成分には、第3の発光層124から直接透光性を有する電極112へ入射する光(第3の入射光とも表記する)と、第3の発光層124の呈した光において、反射性を有する電極102により反射されて戻ってきた光(第3の反射光とも表記する)と、が含まれている。第3の入射光と第3の反射光は干渉を起こすため、反射性を有する電極102と、第3の発光層124と、の光学距離を調整することで、第3の入射光と第3の反射光の位相を合わせることができる。
図1(B)においては、反射性を有する電極102と、第3の発光層124との光学距離を、第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の5/4とする。これによって、第3の入射光と第3の反射光の位相を合わせられ、第3の発光層124からの発光を増幅することができるため、本実施の形態に係る発光素子は、光学距離を調整していない発光素子と比較して同じ電流を流した場合において大きな輝度を得ることができる。
反射性を有する電極102と、第3の発光層124との光学距離(第3の反射光の光路長の調整)は、第2の電荷発生層114の膜厚によって調整することができる。なお、第1の電荷発生層108及び第2の電荷発生層114は、前述の電荷発生層107と同様の構成とすることができる。
また、第3のEL層118は、少なくとも第3の発光層124を含めばよく、詳細は先に示した第1のEL層106または第2のEL層110と同様の構成とすればよい。但し、第3の発光層124に用いる発光材料としては、第1の発光層120及び第2の発光層122とは異なる発光材料を用いるのが好ましい。
なお、本実施の形態に係る発光素子の構成は図1に限られない。例えば、図2に示すように、EL層を4層以上含む発光素子としてもよい。各EL層は、少なくとも発光層を含んで構成される。また、EL層と他のEL層との間には電荷発生層が設けられる構成とするのが好ましい。
図2に示す発光素子の構成においても、電荷発生層の膜厚を調整することによって、反射性を有する電極102と、発光層との光学距離(反射光の光路長)を調整することができる。
例えば、図2において、第nのEL層(nは4以上の整数)218は、第mの発光層(mは4以上の整数)224を含んで構成される。また、第nのEL層218に接して、第(n−1)の電荷発生層214が設けられている。図2において、反射性を有する電極102と第mの発光層224との光学距離を、第mの発光層224の発光スペクトルのピーク波長の(2m−1)/4とする。これによって、第mの入射光と第mの反射光の位相を合わせられ、第mの発光層224からの発光を増幅することができるため、本実施の形態に係る発光素子は、光学距離を調整していない発光素子と比較して同じ電流を流した場合において大きな輝度を得ることができる。
図3に本実施の形態に係る発光素子を用いたEL表示装置の一態様を示す。図3(A)は表示装置における表示部電極構造の平面図を示す。なお、図3においては、理解を容易にするため、構成要素の一部(例えばEL層など)を省略して図示している。また、図3(B)は表示部における断面図の構成例である。また、図3(C)は表示部における断面図の別の構成例である。
図3の表示装置は、パッシブマトリクス型の表示装置であり、ストライプ状に加工された反射性を有する電極102(第1の反射性を有する電極102a、第2の反射性を有する電極102b、及び第3の反射性を有する電極102c)と、ストライプ状に加工された透光性を有する電極112(第1の透光性を有する電極112a、第2の透光性を有する電極112b、及び第3の透光性を有する電極112c)と、が格子状に積層されている。
反射性を有する電極102及び透光性を有する電極112の間に設けられる層(例えば、第1のEL層、電荷発生層、第2のEL層等)は、反射性を有する電極102と透光性を有する電極112との間の全面にわたって連続膜で設けられている。従って、作製工程においてメタルマスクを用いた塗り分けが不要であるため、大面積を一括して成膜することも可能であり、表示装置の大型化及び生産性の向上を図ることができる。さらに、表示部において表示領域を拡大することができる。また、メタルマスクを用いた際に生じうる、パーティクルの混入等による欠陥を防止することができるため、歩留まりよく表示装置を生産することができる。
図3(B)に示す表示装置は、第1の画素130a及び第2の画素130bを有する。第1の画素130aは、基板100に設けられた第1の発光素子132aと、対向基板128において第1の発光素子132aと重畳する領域に設けられた第1のカラーフィルタ層134aと、を含んで構成される。また、第2の画素130bは、基板100に設けられた第2の発光素子132bと、対向基板128において第2の発光素子132bと重畳する領域に設けられた第2のカラーフィルタ層134bと、を含んで構成される。
第1の発光素子132aは、第1の反射性を有する電極102a上に順に積層された、第1の透光性を有する導電層104aと、第1のEL層106と、電荷発生層107と、第2のEL層110と、透光性を有する電極112と、を含んで構成される。また、第2の発光素子132bは、第2の反射性を有する電極102b上に順に積層された、第2の透光性を有する導電層104bと、第1のEL層106と、電荷発生層107と、第2のEL層110と、透光性を有する電極112と、を含んで構成される。第1の発光素子132a及び第2の発光素子132bとしては、図1(A)に示した発光素子を適用することができる。
なお、第1の反射性を有する電極102a及び第2の反射性を有する電極102b、並びに、第1の透光性を有する導電層104a及び第2の透光性を有する導電層104bは、フォトリソグラフィ工程及びエッチング工程によって所定の形状に加工することができる。よって、微細なパターンの形成を制御性よく行うことができ、高精細な表示装置を得ることができる。
また、第1の透光性を有する導電層104a及び第2の透光性を有する導電層104bを画素毎に独立して設けることで、透光性を有する導電層の膜厚が非常に厚い場合や、透光性を有する導電層の導電率が高い場合であってもクロストークを防止することができる。
第1の透光性を有する導電層104a及び第2の透光性を有する導電層104b上には、開口を有する絶縁層126が形成され、第1のEL層106は、開口において第1の透光性を有する導電層104a及び第2の透光性を有する導電層104bとそれぞれ接する。絶縁層126は、ポリイミド、アクリル、ポリアミド、エポキシ等の有機絶縁材料、又は無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂材料を用い、第1の電極層上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。絶縁層126はテーパを有していてもよく、逆テーパとすることもできる。
基板100としては、プラスチック(有機樹脂)、ガラス、または石英などを用いることができる。プラスチックとしては、例えば、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテルスルフォン等からなる部材が挙げられる。なお、基板100として、プラスチックを用いると、表示装置の軽量化を実現することができるため好ましい。また、基板100として水蒸気に対するバリア性が高く、放熱性が高いシート(例えば、ダイアモンドライクカーボン(DLC)を含むシート)を用いることもできる。
また、図示しないが、基板100上に無機絶縁体を設ける構成としてもよい。無機絶縁体は、外部からの水等の汚染物質から保護する保護層、封止膜として機能する。無機絶縁体を設けることで、発光素子の劣化を軽減し、表示装置の耐久性や寿命を向上させることができる。
無機絶縁体としては窒化膜、及び窒化酸化膜の単層又は積層を用いることができる。具体的には、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウムなどを用いて、材料に合わせてCVD法、スパッタ法等により形成することができる。好ましくは、窒化珪素を用いてCVD法により形成するとよい。無機絶縁体の膜厚は100nm以上1μm以下程度とすればよい。また、無機絶縁体として、酸化アルミニウム膜、DLC膜、窒素含有炭素膜、硫化亜鉛及び酸化珪素を含む膜(ZnS・SiO膜)を用いてもよい。
または、無機絶縁体として、膜厚の薄いガラス基板を用いることができる。例えば、30μm以上100μm以下の厚さのガラス基板を用いることができる。
また、基板100の下面(発光素子が設けられる面と対向する面)には、金属板を設けてもよい。また、無機絶縁体を設ける場合には金属板を基板100の代わりに用いてもよい。金属板の膜厚に特に限定はないが、例えば、10μm以上200μm以下のものを用いると、表示装置の軽量化が図れるため好ましい。また、金属板を構成する材料としては特に限定はないが、アルミニウム、銅、ニッケル等の金属、または、アルミニウム合金若しくはステンレスなどの金属の合金などを好ましく用いることができる。
金属板と基板100とは、接着層によって接着して設けることができる。接着層としては、可視光硬化性、紫外線硬化性、または熱硬化性の接着剤を用いることができる。これらの接着剤の材質としては、例えばエポキシ樹脂やアクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂などが挙げられる。接着層に乾燥剤となる吸水物質を含ませてもよい。
金属板は透水性が低いため、金属板を設けることで、発光素子への水分の侵入を抑制することが可能である。よって、金属板を設けることで、水分に起因する劣化の抑制された信頼性の高い表示装置とすることが可能である。
なお、第1の発光素子132a及び第2の発光素子132bを覆う無機絶縁膜を設けてもよい。該無機絶縁膜は、外部からの水等の汚染物質から保護する保護層、封止膜として機能する。無機絶縁膜を設けることで、発光素子の劣化を軽減し、表示装置の耐久性や寿命を向上させることができる。無機絶縁膜の材料は、上述の無機絶縁体と同様の材料を用いることができる。
基板100と対向基板128との間に乾燥剤となる吸水物質を設けてもよい。吸水物質は粉状など固体の状態で配置してもよいし、スパッタ法などの成膜法によって吸水物質を含む膜の状態で第1の発光素子132a及び第2の発光素子132b上に設けられてもよい。
対向基板128としては、基板100と同様の材料を用いることができる。但し、対向基板128は少なくとも第1のカラーフィルタ層134a及び第2のカラーフィルタ層134bの透過光に対して透光性を有する必要がある。
第1のカラーフィルタ層134a及び第2のカラーフィルタ層134bとしては、例えば有彩色の透光性樹脂を用いることができる。有彩色の透光性樹脂としては、感光性、非感光性の有機樹脂を用いることができるが、感光性の有機樹脂層を用いるとレジストマスク数を削減することができるため、工程が簡略化し好ましい。
有彩色は、黒、灰、白などの無彩色を除く色であり、カラーフィルタ層は、着色された有彩色の光のみを透過する材料で形成される。有彩色としては、赤色、緑色、青色などを用いることができる。また、シアン、マゼンダ、イエロー(黄)などを用いてもよい。着色された有彩色の光のみを透過するとは、カラーフィルタ層における透過光は、その有彩色の光の波長にピークを有するということである。
カラーフィルタ層は、含ませる着色材料の濃度と光の透過率の関係に考慮して、最適な膜厚を適宜制御するとよい。第1のカラーフィルタ層134aの色と第2のカラーフィルタ層134bの色を異ならせることで、多色表示が可能な表示装置とすることができる。なお、第1の発光層120の呈する発光色と第1のカラーフィルタ層134aの色を同じ色とするのが好ましい。また、第2の発光層122の呈する発光色と第2のカラーフィルタ層134bの色を同じ色とするのが好ましい。
本実施の形態で示す表示装置は、第1の反射性を有する電極102aと第1の発光層120との光学距離を調整し、光の干渉を利用することで、第1の発光層120からの発光スペクトルの半値幅を減少させることができる。同様に、第2の反射性を有する電極102bと第2の発光層122との光学距離を調整し、光の干渉を利用することで、第2の発光層122からの発光スペクトルの半値幅を減少させることができる。よって、第1のカラーフィルタ層134aの色と第1の発光層の呈する発光色を同じ色とすることで、第1のカラーフィルタ層134aの着色材料の濃度を低濃度とすることができる。また、第1のカラーフィルタ層134aの膜厚を薄くすることが可能となる。第2のカラーフィルタ層134bについても同様である。この結果、第1のカラーフィルタ層134aまたは第2のカラーフィルタ層134bによる光吸収を低減することができるため、光の利用効率を向上することができる。
なお、本実施の形態においては、第1のカラーフィルタ層134a及び第2のカラーフィルタ層134bが、対向基板128の内側に設ける例を示すが、本発明の実施はこれに限られず、対向基板128の外側(発光素子と反対側)に設けることも可能である。
または、第1の発光素子132a及び第2の発光素子132b上カラーフィルタ層として機能する有彩色の透光性樹脂層を形成してもよい。
第1のカラーフィルタ層134aと、第2のカラーフィルタ層134bの間の領域(絶縁層126と重畳する領域)に遮光層を設けてもよい。遮光層は、光を反射、又は吸収し、遮光性を有する材料を用いる。例えば、黒色の有機樹脂を用いることができ、感光性又は非感光性のポリイミドなどの樹脂材料に、顔料系の黒色樹脂やカーボンブラック、チタンブラック等を混合させて形成すればよい。また、遮光性の金属膜を用いることもでき、例えばクロム、モリブデン、ニッケル、チタン、コバルト、銅、タングステン、又はアルミニウムなどを用いればよい。
遮光層の形成方法は特に限定されず、材料に応じて、蒸着法、スパッタ法、CVD法などの乾式法、又はスピンコート、ディップ、スプレー塗布、液滴吐出法(インクジェット法等)、スクリーン印刷、オフセット印刷などの湿式法を用い、必要に応じてエッチング法(ドライエッチング又はウエットエッチング)により所望のパターンに加工すればよい。
遮光層は隣り合う画素への光漏れを防止することができるため、遮光層を設けることで高コントラスト及び高精細な表示を行うことが可能になる。
図3(C)に示す表示装置は、第1の画素230a、第2の画素230b及び第3の画素230cを有する。第1の画素230aは、基板100に設けられた第1の発光素子232aと、対向基板128において第1の発光素子232aと重畳する領域に設けられた第1のカラーフィルタ層134aと、を含んで構成される。第2の画素230bは、基板100に設けられた第2の発光素子232bと、対向基板128において第2の発光素子232bと重畳する領域に設けられた第2のカラーフィルタ層134bと、を含んで構成される。第3の画素230cは、基板100に設けられた第3の発光素子232cと、対向基板128において第3の発光素子232cと重畳する領域に設けられた第3のカラーフィルタ層134cと、を含んで構成される。
例えば、第1のカラーフィルタ層134aを青色、第2のカラーフィルタ層134bを緑色、第3のカラーフィルタ層134cを赤色とすることで、フルカラー表示が可能な表示装置とすることができる。
第1の発光素子232aは、第1の反射性を有する電極102aと、第1の反射性を有する電極102a上に順に積層された、第1の透光性を有する導電層104aと、第1のEL層106と、第1の電荷発生層108と、第2のEL層110と、第2の電荷発生層114と、第3のEL層118と、透光性を有する電極112と、を含んで構成される。また、第2の発光素子232bは、第2の反射性を有する電極102bと、第2の反射性を有する電極102b上に順に積層された、第2の透光性を有する導電層104bと、第1のEL層106と、第1の電荷発生層108と、第2のEL層110と、第2の電荷発生層114と、第3のEL層118と、透光性を有する電極112と、を含んで構成される。また、第3の発光素子232cは、第3の反射性を有する電極102cと、第3の反射性を有する電極102c上に順に積層された、第3の透光性を有する導電層104cと、第1のEL層106と、第1の電荷発生層108と、第2のEL層110と、第2の電荷発生層114と、第3のEL層118と、透光性を有する電極112と、を含んで構成される。第1の発光素子232a乃至第3の発光素子232cとしては、図1(B)に示した発光素子を適用することができる。
図3(C)において、第1の発光層の呈する発光色と第1のカラーフィルタ層134aの色を同じ色とするのが好ましい。また、第2の発光層の呈する発光色と第2のカラーフィルタ層134bの色を同じ色とするのが好ましい。第3の発光層の呈する発光色と第3のカラーフィルタ層134cの色を同じ色とするのが好ましい。これによって、第1のカラーフィルタ層134a、第2のカラーフィルタ層134bまたは第3のカラーフィルタ層134cによる光吸収を低減することができるため、光の利用効率を向上することができる。
本実施の形態で示す表示装置は、発光素子に設けられた複数の発光層のそれぞれの呈する発光色の波長に合わせて、反射性を有する電極と各発光層との光学距離を最適化することによって高い発光効率で画素より各色の光を取り出すことができる。また、各発光層の発光スペクトルの半値幅を減少させているため、カラーフィルタ層から効率よく色純度のよい光を取り出すことができる。また、発光層を画素毎にメタルマスクにより塗り分けせず、連続膜で形成することにより、メタルマスクを用いることによる歩留まりの低下や工程の複雑化を回避することができる。よって高精細で低消費電力な表示装置を提供することが可能となる。
以上、本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて用いることができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様のアクティブマトリクス型の表示装置について図4を用いて説明する。なお、図4(A)は、表示装置を示す平面図、図4(B)は図4(A)をA−B及びC−Dで切断した断面図である。
図4(A)(B)の表示装置は、素子基板410と封止基板404とがシール材405によって固着されており、駆動回路部(ソース側駆動回路401、ゲート側駆動回路403)、複数の画素を含む画素部402を有している例である。
なお、配線408はソース側駆動回路401及びゲート側駆動回路403に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるFPC(フレキシブルプリントサーキット)409からビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。なお、ここではFPCしか図示されていないが、このFPCにはプリント配線基板(PWB)が取り付けられていても良い。本明細書における表示装置には、表示装置本体だけでなく、それにFPC又はPWBが取り付けられた状態をも含むものとする。
駆動回路部(ソース側駆動回路401、ゲート側駆動回路403)は複数のトランジスタを含み、画素部402に含まれる複数の画素はそれぞれ、スイッチング用トランジスタと、電流制御用トランジスタとそのドレイン電極に電気的に接続された第1の電極とを含む。
素子基板410上には駆動回路部(ソース側駆動回路401、ゲート側駆動回路403)及び画素部402が形成されているが、図4(B)では、駆動回路部であるソース側駆動回路401と、画素部402中の3つの画素を示す。
画素部402に含まれる複数の画素はそれぞれ、スイッチング用トランジスタと、電流制御用トランジスタとそのドレイン電極に電気的に接続された第1の電極とを含む。複数の画素は少なくとも2色以上の画素を含むが、本実施の形態では、青(B)の画素420a、緑(G)の画素420b、赤(R)の画素420c、3色の画素を有する例を示す。
画素420a、420b、420cはそれぞれカラーフィルタ層434a、434b、434c、発光素子418a、418b、418cと、該発光素子418a、418b、418cと電気的に接続し、スイッチング用トランジスタとして機能するトランジスタ412a、412b、412cを有している。
また、発光素子418a、418b、418cはそれぞれ反射性を有する電極413a、413b、413c及び透光性を有する導電層415a、415b、415cを含み、反射性を有する電極413a、413b、413c及び透光性を有する導電層415a、415b、415cの積層上に、第1の発光層が設けられた第1のEL層431と、第1の電荷発生層432と、第2の発光層が設けられた第2のEL層433と、第2の電荷発生層435と、第3の発光層が設けられた第3のEL層436と、透光性を有する電極417とからなる積層を有している。
反射性を有する電極413a、413b、413cと、第1の発光層との間の距離を調整し、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4とし、反射性を有する電極413a、413b、413cと、第2の発光層との間の距離を第1の電荷発生層432によって調整し、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4とし、反射性を有する電極413a、413b、413cと、第3の発光層との間の距離を第2の電荷発生層435によって調整し、第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の5/4とする。反射性を有する電極と第1の発光層との距離の調整は、反射性を有する電極と第1の発光層との間に設けられる薄膜(例えば、透光性を有する導電層または第1のEL層に含まれる機能層など)の膜厚を制御することで行うことができる。また、反射性を有する電極と第2の発光層または第3の発光層との距離の調整は、第1の電荷発生層432または第2の電荷発生層435の膜厚を制御することで行うことができる。
カラーフィルタ層434aとしては、第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層とし、カラーフィルタ層434bとしては、第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層とし、カラーフィルタ層434cとしては、第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層とする。
例えば、青(B)の画素420aのカラーフィルタ層434aは青色であり、緑(G)の画素420bのカラーフィルタ層434bは緑色であり、赤(R)の画素420cのカラーフィルタ層434cは赤色とすればよい。
第1の発光層、第2の発光層及び第3の発光層それぞれの呈する発光色の波長に合わせて、反射性を有する電極と発光層との距離を最適化することによって、高い発光効率で画素より各色の光を取り出すことができる。また、各発光層の発光スペクトルの半値幅を減少させているため、カラーフィルタ層434a、434b、434cから効率よく色純度のよい光を取り出すことができる。
なお、例えば、第1の発光層の発光色を赤色とし、第2の発光層の発光色を緑色とし、第3の発光層の発光色を青色として、カラーフィルタ層を設けずに、白色光を表示装置から取り出すこともできる。よって、RGBWの画素を有する表示装置を作製することができる。または、白色発光を呈する発光装置を作製することもできる。当該発光装置は、照明装置として用いることもできる。
また、発光層を画素毎にメタルマスクにより塗り分けせず、連続膜で形成することによりメタルマスクを用いることによる歩留まりの低下や工程の複雑化を回避することができる。よって高精細で色再現性の高い表示装置を提供することが可能となる。また、消費電力の低い表示装置を提供することができる。
なお、ソース側駆動回路401はnチャネル型トランジスタ423とpチャネル型トランジスタ424とを組み合わせたCMOS回路が形成される。また、駆動回路は、トランジスタで形成される種々のCMOS回路、PMOS回路又はNMOS回路で形成しても良い。また、本実施の形態では、基板上にソース側駆動回路及びゲート側駆動回路を形成する例を示すが、必ずしもその必要はなく、ソース側駆動回路及びゲート側駆動回路の一部、又は全部を基板上ではなく外部に形成することもできる。
なお、反射性を有する電極413a、413b、413c及び透光性を有する導電層415a、415b、415cの端部を覆って絶縁物414が形成されている。ここでは、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることにより形成する。
また、被覆性を良好なものとするため、絶縁物414の上端部又は下端部に曲率を有する曲面が形成されるようにする。例えば、絶縁物414の材料としてポジ型の感光性アクリルを用いた場合、絶縁物414の上端部のみに曲率半径(0.2μm〜3μm)を有する曲面を持たせることが好ましい。また、絶縁物414として、光の照射によってエッチャントに不溶解性となるネガ型、或いは光の照射によってエッチャントに溶解性となるポジ型のいずれも使用することができる。
カラーフィルタ層434a、434b、434c、反射性を有する電極413a、413b、413c及び透光性を有する導電層415a、415b、415c、第1のEL層431、第1の電荷発生層432、第2のEL層433、第2の電荷発生層435、第3のEL層436、及び透光性を有する電極417の材料としては、実施の形態1で示した材料をそれぞれ適用することが可能である。
さらにシール材405で封止基板404を素子基板410と貼り合わせることにより、素子基板410、封止基板404、及びシール材405で囲まれた空間407に発光素子418が備えられた構造になっている。なお、空間407には、充填材が充填されており、不活性気体(窒素やアルゴン等)が充填される場合の他、有機樹脂、シール材405で充填される場合もある。有機樹脂及びシール材405には吸湿性を有する物質を含む材料を用いてもよい。
なお、シール材405にはエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。また、これらの材料はできるだけ水分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。また、封止基板404に用いる材料としてガラス基板や石英基板の他、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)、PVF(ポリビニルフロライド)、ポリエステル又はアクリル等からなるプラスチック基板を用いることができる。
本実施の形態のように、下地膜となる絶縁膜411を素子基板410とトランジスタの半導体層の間に設けてもよい。絶縁膜は、素子基板410からの不純物元素の拡散を防止する機能があり、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、又は酸化窒化シリコン膜から選ばれた一又は複数の膜による単層、又は積層構造により形成することができる。
本明細書に開示する表示装置に適用できるトランジスタの構造は特に限定されず、例えばトップゲート構造、又はボトムゲート構造のスタガ型及びプレーナ型などを用いることができる。また、トランジスタはチャネル形成領域が一つ形成されるシングルゲート構造でも、2つ形成されるダブルゲート構造もしくは3つ形成されるトリプルゲート構造であっても良い。また、チャネル領域の上下にゲート絶縁層を介して配置された2つのゲート電極層を有する、デュアルゲート型でもよい。
ゲート電極層の材料は、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらを主成分とする合金材料を用いて、単層で又は積層して形成することができる。
例えば、ゲート電極層の2層の積層構造としては、アルミニウム層上にモリブデン層が積層された2層の積層構造、または銅層上にモリブデン層を積層した2層構造、または銅層上に窒化チタン層若しくは窒化タンタル層を積層した2層構造、窒化チタン層とモリブデン層とを積層した2層構造とすることが好ましい。3層の積層構造としては、タングステン層または窒化タングステン層と、アルミニウムとシリコンの合金層またはアルミニウムとチタンの合金層と、窒化チタン層またはチタン層とを積層した積層構造とすることが好ましい。
ゲート絶縁層は、プラズマCVD法又はスパッタリング法等を用いて、酸化シリコン層、窒化シリコン層、酸化窒化シリコン層又は窒化酸化シリコン層を単層で又は積層して形成することができる。また、ゲート絶縁層として、有機シランガスを用いたCVD法により酸化シリコン層を形成することも可能である。有機シランガスとしては、珪酸エチル(TEOS:化学式Si(OC)、テトラメチルシラン(TMS:化学式Si(CH)、テトラメチルシクロテトラシロキサン(TMCTS)、オクタメチルシクロテトラシロキサン(OMCTS)、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)、トリエトキシシラン(SiH(OC)、トリスジメチルアミノシラン(SiH(N(CH)等のシリコン含有化合物を用いることができる。
半導体層に用いる材料は特に限定されず、トランジスタ412a、412b、412c、423、424に要求される特性に応じて適宜設定すればよい。半導体層に用いることのできる材料の例を説明する。
半導体層を形成する材料としては、シランやゲルマンに代表される半導体材料ガスを用いて気相成長法やスパッタリング法で作製される非晶質(アモルファスともいう。)半導体、該非晶質半導体を光エネルギーや熱エネルギーを利用して結晶化させた多結晶半導体、或いは微結晶半導体などを用いることができる。半導体層はスパッタリング法、LPCVD法、またはプラズマCVD法等により成膜することができる。
半導体層として、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体を用いることができる。半導体層として単結晶半導体を用いると、トランジスタサイズを微細化することが可能となるため、表示部において画素をさらに高精細化することができる。半導体層として単結晶半導体を用いる場合には、単結晶半導体層が設けられたSOI基板を適用することができる。または、シリコンウエハ等の半導体基板を用いてもよい。
アモルファス半導体としては、代表的には水素化アモルファスシリコン、結晶性半導体としては代表的にはポリシリコンなどがあげられる。ポリシリコン(多結晶シリコン)には、800℃以上のプロセス温度を経て形成されるポリシリコンを主材料として用いた所謂高温ポリシリコンや、600℃以下のプロセス温度で形成されるポリシリコンを主材料として用いた所謂低温ポリシリコン、また結晶化を促進する元素などを用いて、非晶質シリコンを結晶化させたポリシリコンなどを含んでいる。もちろん、前述したように、微結晶半導体又は半導体層の一部に結晶相を含む半導体を用いることもできる。
また、酸化物半導体を用いてもよく、酸化物半導体としては、四元系金属酸化物であるIn−Sn−Ga−Zn−O系や、三元系金属酸化物であるIn−Ga−Zn−O系、In−Sn−Zn−O系、In−Al−Zn−O系、Sn−Ga−Zn−O系、Al−Ga−Zn−O系、Sn−Al−Zn−O系や、二元系金属酸化物であるIn−Zn−O系、Sn−Zn−O系、Al−Zn−O系、Zn−Mg−O系、Sn−Mg−O系、In−Mg−O、In−Ga−O系や、In−O系、Sn−O系、Zn−O系などを用いることができる。また、上記酸化物半導体にSiOを含んでもよい。ここで、例えば、In−Ga−Zn−O系酸化物半導体とは、少なくともInとGaとZnを含む酸化物であり、その組成比に特に制限はない。また、InとGaとZn以外の元素を含んでもよい。
また、酸化物半導体層は、化学式InMO(ZnO)(m>0)で表記される薄膜を用いることができる。ここで、Mは、Ga、Al、MnおよびCoから選ばれた一または複数の金属元素を示す。例えばMとして、Ga、Ga及びAl、Ga及びMn、またはGa及びCoなどがある。
また、酸化物半導体としてIn−Zn−O系の材料を用いる場合、原子数比で、In/Zn=0.5〜50、好ましくはIn/Zn=1〜20、さらに好ましくはIn/Zn=1.5〜15とする。Znの原子数比を好ましい前記範囲とすることで、トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。ここで、化合物の原子数比がIn:Zn:O=X:Y:Zのとき、Z>1.5X+Yとする。
酸化物半導体層として、単結晶構造ではなく、非晶質構造でもない構造であり、C軸配向を有した結晶性酸化物半導体(C Axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor; CAACとも呼ぶ)を用いることができる。
ソース電極層又はドレイン電極層として機能する配線層の材料としては、Al、Cr、Ta、Ti、Mo、Wから選ばれた元素、または上述した元素を成分とする合金か、上述した元素を組み合わせた合金膜等が挙げられる。また、熱処理を行う場合には、この熱処理に耐える耐熱性を導電膜に持たせることが好ましい。例えば、Al単体では耐熱性が劣り、また腐蝕しやすい等の問題点があるので耐熱性導電性材料と組み合わせて形成する。Alと組み合わせる耐熱性導電性材料としては、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、ネオジム(Nd)、スカンジウム(Sc)から選ばれた元素、または上述した元素を成分とする合金か、上述した元素を組み合わせた合金膜、または上述した元素を成分とする窒化物で形成する。
トランジスタを覆う絶縁膜419は、乾式法や湿式法で形成される無機絶縁膜、有機絶縁膜を用いることができる。例えば、CVD法やスパッタリング法などを用いて得られる窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化タンタル膜、酸化ガリウム膜などを用いることができる。また、ポリイミド、アクリル、ベンゾシクロブテン系樹脂、ポリアミド、エポキシ等の有機材料を用いることができる。また上記有機材料の他に、低誘電率材料(low−k材料)、シロキサン系樹脂、PSG(リンガラス)、BPSG(リンボロンガラス)等を用いることができる。
なおシロキサン系樹脂とは、シロキサン系材料を出発材料として形成されたSi−O−Si結合を含む樹脂に相当する。シロキサン系樹脂は置換基としては有機基(例えばアルキル基やアリール基)やフルオロ基を用いても良い。また、有機基はフルオロ基を有していても良い。シロキサン系樹脂は塗布法により成膜し、焼成することによって絶縁膜419として用いることができる。
なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させることで、絶縁膜419を形成してもよい。例えば、無機絶縁膜上に有機樹脂膜を積層する構造としてもよい。
以上のようにして、本発明の一態様の発光素子を有するアクティブマトリクス型の表示装置を得ることができる。
なお、本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることが可能である。
(実施の形態3)
本明細書に開示する表示装置は、さまざまな電子機器(遊技機も含む)に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置(テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう)、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機(携帯電話、携帯電話装置ともいう)、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。
図5(A)は、ノート型のパーソナルコンピュータであり、本体3001、筐体3002、表示部3003、キーボード3004などによって構成されている。実施の形態1又は実施の形態2のいずれかで示した表示装置を表示部3003に適用することにより、高精細及び低消費電力なノート型のパーソナルコンピュータとすることができる。
図5(B)は、携帯情報端末(PDA)であり、本体3021には表示部3023と、外部インターフェイス3025と、操作ボタン3024等が設けられている。また操作用の付属品としてスタイラス3022がある。実施の形態1又は実施の形態2のいずれかで示した表示装置を表示部3023に適用することにより、高精細及び低消費電力な携帯情報端末(PDA)とすることができる。
図5(C)は、電子書籍であり、筐体2701および筐体2703の2つの筐体で構成されている。筐体2701および筐体2703は、軸部2711により一体とされており、該軸部2711を軸として開閉動作を行うことができる。このような構成により、紙の書籍のような動作を行うことが可能となる。
筐体2701には表示部2705が組み込まれ、筐体2703には表示部2707が組み込まれている。表示部2705および表示部2707は、続き画面を表示する構成としてもよいし、異なる画面を表示する構成としてもよい。異なる画面を表示する構成とすることで、例えば右側の表示部(図5(C)では表示部2705)に文章を表示し、左側の表示部(図5(C)では表示部2707)に画像を表示することができる。実施の形態1又は実施の形態2のいずれかで示した表示装置を表示部2705、表示部2707に適用することにより、高精細及び低消費電力な電子書籍とすることができる。表示部2705として半透過型、又は反射型の表示装置を用いる場合、比較的明るい状況下での使用も予想されるため、太陽電池を設け、太陽電池による発電、及びバッテリーでの充電を行えるようにしてもよい。なおバッテリーとしては、リチウムイオン電池を用いると、小型化を図れる等の利点がある。
また、図5(C)では、筐体2701に操作部などを備えた例を示している。例えば、筐体2701において、電源2721、操作キー2723、スピーカー2725などを備えている。操作キー2723により、頁を送ることができる。なお、筐体の表示部と同一面にキーボードやポインティングデバイスなどを備える構成としてもよい。また、筐体の裏面や側面に、外部接続用端子(イヤホン端子、USB端子など)、記録媒体挿入部などを備える構成としてもよい。さらに、電子書籍は、電子辞書としての機能を持たせた構成としてもよい。
また、電子書籍は、無線で情報を送受信できる構成としてもよい。無線により、電子書籍サーバから、所望の書籍データなどを購入し、ダウンロードする構成とすることも可能である。
図5(D)は、携帯電話であり、筐体2800及び筐体2801の二つの筐体で構成されている。筐体2801には、表示パネル2802、スピーカー2803、マイクロフォン2804、ポインティングデバイス2806、カメラ用レンズ2807、外部接続端子2808などを備えている。また、筐体2800には、携帯型情報端末の充電を行う太陽電池セル2810、外部メモリスロット2811などを備えている。また、アンテナは筐体2801内部に内蔵されている。実施の形態1又は実施の形態2のいずれかで示した表示装置を表示パネル2802に適用することにより、高精細及び低消費電力な携帯電話とすることができる。
また、表示パネル2802はタッチパネルを備えており、図5(D)には映像表示されている複数の操作キー2805を点線で示している。なお、太陽電池セル2810で出力される電圧を各回路に必要な電圧に昇圧するための昇圧回路も実装している。
表示パネル2802は、使用形態に応じて表示の方向が適宜変化する。また、表示パネル2802と同一面上にカメラ用レンズ2807を備えているため、テレビ電話が可能である。スピーカー2803及びマイクロフォン2804は音声通話に限らず、テレビ電話、録音、再生などが可能である。さらに、筐体2800と筐体2801は、スライドし、図5(D)のように展開している状態から重なり合った状態とすることができ、携帯に適した小型化が可能である。
外部接続端子2808はACアダプタ及びUSBケーブルなどの各種ケーブルと接続可能であり、充電及びパーソナルコンピュータなどとのデータ通信が可能である。また、外部メモリスロット2811に記録媒体を挿入し、より大量のデータ保存及び移動に対応できる。
また、上記機能に加えて、赤外線通信機能、テレビ受信機能などを備えたものであってもよい。
図5(E)は、デジタルビデオカメラであり、本体3051、表示部(A)3057、接眼部3053、操作スイッチ3054、表示部(B)3055、バッテリー3056などによって構成されている。実施の形態1又は実施の形態2のいずれかで示した表示装置を表示部(A)3057、表示部(B)3055に適用することにより、高精細及び低消費電力なデジタルビデオカメラとすることができる。
図5(F)は、テレビジョン装置であり、筐体9601に表示部9603などによって構成されている。表示部9603により、映像を表示することが可能である。また、ここでは、スタンド9605により筐体9601を支持した構成を示している。実施の形態1又は実施の形態2のいずれかで示した表示装置を表示部9603に適用することにより、高精細及び低消費電力なテレビジョン装置とすることができる。
テレビジョン装置の操作は、筐体9601が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機により行うことができる。また、リモコン操作機に、当該リモコン操作機から出力する情報を表示する表示部を設ける構成としてもよい。
なお、テレビジョン装置は、受信機やモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さらにモデムを介して有線または無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
なお、本実施の形態に示す構成は、実施の形態1又は実施の形態2に示した構成を適宜組み合わせて用いることができる。
本実施例では、本発明の一態様に係る発光素子の特性の測定結果を、図面及び表を用いて説明する。
本実施例では発光素子の作製方法を、図6を用いて説明する。
本実施例で用いた有機化合物(BPhen、9−フェニル−3−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール(略称:PCzPA)、9−[4−(N−カルバゾリル)]フェニル−10−フェニルアントラセン(略称:CzPA)、4−フェニル−4’−(9−フェニルフルオレン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFLP)、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ビス〔3−(9−フェニル−9H−フルオレン−9−イル)フェニル〕−ピレン−1,6−ジアミン(略称:1,6mMemFLPAPrn)、2−[3−(ジベンゾチオフェン−4−イル)フェニル]ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:2mDBTPDBq−II)、4−フェニル−4’−(9−フェニル−9H−カルバゾール−3−イル)トリフェニルアミン(略称:PCBA1BP)、(アセチルアセトナト)ビス(3,5−ジメチル−2−フェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:Ir(mppr−Me)(acac)))の構造式を以下に示す。
発光素子の反射性を有する電極1101として、ガラス基板である基板1100上に、アルミニウム−ニッケル−ランタン合金膜をスパッタリング法で成膜した。本実施例において、反射性を有する電極1101は、陽極として用いた。なお、電極面積は2mm×2mmとした。
次に、反射性を有する電極1101上に、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)をスパッタリング法にて成膜し、膜厚10nmの透光性を有する導電層1104を形成した。
次に反射性を有する電極1101及び透光性を有する導電層1104が形成された面が下方となるように、反射性を有する電極1101及び透光性を有する導電層1104が形成された基板1100を真空蒸着装置内に設けられた基板ホルダーに固定し、10−4Pa程度まで減圧した後、透光性を有する導電層1104上に、PCzPAと酸化モリブデン(VI)を共蒸着することで、正孔注入層1111を形成した。PCzPAと酸化モリブデンの比率は、重量比で1:0.5(=PCzPA:酸化モリブデン)となるように調節し、その膜厚は、10nmとした。なお、共蒸着法とは、一つの処理室内で、複数の蒸発源から同時に蒸着を行う蒸着法である。
次に、正孔注入層1111上に、PCzPAを膜厚25nm成膜し、正孔輸送層1112を形成した。
正孔輸送層1112上に、CzPAと1,6mMemFLPAPrnとを、CzPA:1,6mMemFLPAPrn=1:0.05(重量比)となるように共蒸着することにより、発光層1113を形成した。膜厚は30nmとした。
発光層1113上に、CzPAを膜厚5nmとなるように成膜し、電子輸送層1114aを形成した。
電子輸送層1114a上にバソフェナントロリン(略称:BPhen)を膜厚15nmとなるように成膜し、電子輸送層1114bを形成した。
電子輸送層1114b上に、酸化リチウム(LiO)を0.1nmの膜厚で蒸着し、電子注入層1115aを形成し、電子注入層1115a上に銅(II)フタロシアニン(略称:CuPc)を2nmの膜厚で蒸着し、電子注入層1115bを形成した。
電子注入層1115b上に、PCzPAと酸化モリブデンを共蒸着することで、電荷発生層1102を形成した。PCzPAと酸化モリブデンの比率は、重量比で1:0.5(=PCzPA:酸化モリブデン)となるように調節し、その膜厚は、120nmとした。
電荷発生層1102上に、BPAFLPを膜厚20nm成膜し、正孔輸送層1212を形成した。
正孔輸送層1212上に、2mDBTPDBq−IIと、PCBA1BPと、Ir(mppr−Me)(acac)とを、2mDBTPDBq−II:PCBA1BP:Ir(mppr−Me)(acac)=0.6:0.2:0.06(重量比)となるように共蒸着することにより、発光層1213を形成した。膜厚は15nmとした。
発光層1213上に、2mDBTPDBq−IIとIr(mppr−Me)(acac)とを、2mDBTPDBq−II:Ir(mppr−Me)(acac)=1:0.06(重量比)となるように共蒸着することにより、発光層1313を形成した。膜厚は15nmとした。
発光層1313上に、2mDBTPDBq−IIを膜厚20nmとなるように成膜し、電子輸送層1214aを形成した。
電子輸送層1214a上にBPhenを膜厚10nmとなるように成膜し、電子輸送層1214bを形成した。
電子輸送層1214b上に、酸化リチウム(LiO)を0.1nmの膜厚で蒸着し、電子注入層1215aを形成し、電子注入層1215a上に銅(II)フタロシアニン(略称:CuPc)を2nmの膜厚で蒸着し、電子注入層1215bを形成した。
電子注入層1215b上に、BPAFLPと酸化モリブデンを共蒸着することで、電荷発生層1105を形成した。BPAFLPと酸化モリブデンの比率は、重量比で1:0.5(=BPAFLP:酸化モリブデン)となるように調節し、その膜厚は、20nmとした。
電荷発生層1105上に、インジウム錫酸化物(ITO)をスパッタリング法によって膜厚110nmで成膜し、透光性を有する電極1103を形成した。
以上の工程によって、本実施例の発光素子を作製した。
なお、上述した蒸着過程において、蒸着は全て抵抗加熱法を用いた。
以上により得られた本実施例発光素子の素子構造を表1に示す。
窒素雰囲気のグローブボックス内において、大気に曝されないように、発光素子をガラス基板により封止する作業を行った。
発光素子の発光スペクトルを、図7に示す。図7において、横軸は波長(nm)、縦軸は発光強度(任意単位)を示す。図7に示すように、発光素子は、発光スペクトルにおいて、発光層1113に起因する465nm付近のピークと、発光層1213に起因する586nm付近のピークを有する。発光層1113の発光スペクトルのピーク波長として465nm、発光層1213の発光スペクトルのピーク波長として586nmが得られた。
本実施の発光素子において、反射性を有する電極1101と発光層1113の間の光学距離は、発光層1113の発光スペクトルのピーク波長(465nm)の1/4であり、反射性を有する電極1101と、発光層1213の間の光学距離は、発光層1213の発光スペクトルのピーク波長(586nm)の3/4とである。
光学距離は、屈折率×距離(膜厚)として算出される。本実施例において、発光素子の光学距離の算出に用いた各層の膜厚、屈折率、発光層1113の発光スペクトルのピーク波長(465nm)の1/4、発光層1113の屈折率、並びに算出された光学距離を表2に示す。
表2より、正孔輸送層1112との界面から14.7nm付近の発光層1113の発光領域と、反射性を有する電極1101との光学距離が、発光層1113の発光スペクトルのピーク波長(465nm)の1/4に相当する。
本実施例において、発光素子の光学距離の算出に用いた各層の膜厚、屈折率、発光層1213の発光スペクトルのピーク波長(586nm)の3/4、発光層1213の屈折率、並びに算出された光学距離を表3に示す。
表3より、正孔輸送層1212との界面から5.11nm付近の発光層1213の発光領域と、反射性を有する電極1101との光学距離が、発光層1213の発光スペクトルのピーク波長(586nm)の3/4に相当する。
発光素子は、輝度914cd/mのとき、CIE色度座標は(x=0.46、y=0.37)であり、良好な白色発光を示した。また、輝度913cd/mのときの電流効率は68.0cd/Aであり、外部量子効率は26.8%、電圧は6.2V、電流密度は1.3mA/cmであり、パワー効率は34.4lm/Wであった。
本実施例の発光素子は、ランバシアン放射分布に従う良好な配光特性が得られた。従って面光源として有用であることが確認できた。

Claims (6)

  1. 反射性を有する電極と、
    前記反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、電荷発生層、第2の発光層、及び透光性を有する電極と、を含み、
    前記反射性を有する電極と、前記第1の発光層の間の光学距離は、前記第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、
    前記反射性を有する電極と、前記第2の発光層の間の光学距離は、前記第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4である発光素子。
  2. 請求項1において、前記第1の発光層及び前記第2の発光層の呈する発光色はそれぞれ異なる発光素子。
  3. 反射性を有する電極と、
    前記反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、第1の電荷発生層、第2の発光層、第2の電荷発生層、第3の発光層及び透光性を有する電極と、を含み、
    前記反射性を有する電極と、前記第1の発光層の間の光学距離は、前記第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、
    前記反射性を有する電極と、前記第2の発光層の間の光学距離は、前記第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4であり、
    前記反射性を有する電極と、前記第3の発光層の間の光学距離は、前記第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の5/4である発光素子。
  4. 請求項3において、前記第1の発光層、前記第2の発光層、及び前記第3の発光層の呈する発光色はそれぞれ異なる発光素子。
  5. 複数の発光素子と、
    前記複数の発光素子上に設けられた複数のカラーフィルタ層と、を有し、
    前記複数の発光素子はそれぞれ、
    反射性を有する電極と、
    前記反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、電荷発生層、第2の発光層、及び透光性を有する電極と、を含み、
    前記反射性を有する電極と、前記第1の発光層の間の光学距離は、前記第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、
    前記反射性を有する電極と、前記第2の発光層の間の光学距離は、前記第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4であり、
    前記複数のカラーフィルタ層として、少なくとも、
    前記第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、
    前記第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、を含む表示装置。
  6. 複数の発光素子と、
    前記複数の発光素子上に設けられた複数のカラーフィルタ層と、を有し、
    前記複数の発光素子はそれぞれ、
    反射性を有する電極と、
    前記反射性を有する電極上に順に積層された、第1の発光層、第1の電荷発生層、第2の発光層、第2の電荷発生層、第3の発光層及び透光性を有する電極と、を含み、
    前記反射性を有する電極と、前記第1の発光層の間の光学距離は、前記第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の1/4であり、
    前記反射性を有する電極と、前記第2の発光層の間の光学距離は、前記第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の3/4であり、
    前記反射性を有する電極と、前記第3の発光層の間の光学距離は、前記第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の5/4であり、
    前記複数のカラーフィルタ層として、少なくとも、
    前記第1の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、
    前記第2の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、
    前記第3の発光層の発光スペクトルのピーク波長の光を透過するカラーフィルタ層と、を含む表示装置。
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