JP2012142520A - Process data processing device and process data processing method - Google Patents

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Kazuhisa Shimizu
一寿 清水
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シャープ株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make highly accurate data analysis possible for even the process data of a manufacturing apparatus whose recipes are changed frequently.SOLUTION: An arithmetic unit 14 divides process data by step number and searches for divided process data to which the operating condition of reference steps read out from a reference recipe applies, and creates a record table in which the reference step numbers of applicable reference steps and the step numbers of process data are correlated to one another. And, if the order in which reference step numbers in the record table appear matches the order in which reference step numbers in the reference recipe appear, a symbol representing the content of processing by a manufacturing apparatus is added to the process data. As a result, even process data which has been worked on and processed by an altered recipe can be divided by process data whose processing contents are the same providing that the added symbol is used to divide when data is analyzed by the arithmetic unit 14, making it possible to collect an appropriate number of process data for which highly accurate data analysis is possible.

Description

この発明は、部材に対して各種加工処理(以下、「プロセス」と記載)を行う製造装置から当該製造装置のプロセス中とその前後とに取得される計測データおよび動作条件の設定データ(以下、上記計測データおよび上記設定データを「プロセスデータ」と記載)の処理を行うプロセスデータ処理装置、および、プロセスデータ処理方法に関する。   The present invention provides measurement data and operation condition setting data (hereinafter, referred to as `` process data '') obtained from a manufacturing apparatus that performs various types of processing (hereinafter referred to as `` process '') on a member during and before the manufacturing apparatus process. The present invention relates to a process data processing apparatus and a process data processing method for processing the measurement data and the setting data as “process data”.
各種製品の生産工程において、高品質な製品を高い歩留りで生産するためには、生産工程における現象を分析し、それに基づいて上記生産工程をコンロトールすることが重要である。そのため、近年では、生産工程を構成する製造装置(検査装置を含む)とこの製造装置によって処理される部材とから多種多様なデータを高い頻度で取得し、取得した大量のデータを分析することによってプロセス中の現象の解析,異常個所の抽出およびプロセス状態の監視等を行い、それらの結果をフィードバックすることによって生産工程および製造装置をコントロールする技術が進展している。   In the production process of various products, in order to produce a high-quality product with a high yield, it is important to analyze the phenomenon in the production process and control the production process based on the analysis. Therefore, in recent years, by acquiring a wide variety of data from a manufacturing device (including an inspection device) that constitutes a production process and members processed by this manufacturing device, and analyzing a large amount of acquired data Advances have been made in technology for controlling production processes and manufacturing equipment by analyzing phenomena in processes, extracting abnormal parts, monitoring process conditions, and feeding back the results.
こうした技術は、電子部品製造における成膜プロセスのような1つの処理装置内で複雑なプロセスを行う生産工程に対しても適用が進められている。   Such a technique is also being applied to a production process in which a complicated process is performed in one processing apparatus such as a film forming process in electronic component manufacturing.
電子部品製造における成膜プロセスのように、1つの処理装置内において、部材に対するプロセスやその前後の条件設定である複数の動作ステップ(以下、ステップと記載)を、予め与えられた条件で順次実施する製造装置においては、製造装置の動作条件を各ステップを単位としてまとめた情報(以下レシピと記載)によって上記処理装置が制御されて、プロセスが進んで行く。   Like a film-forming process in electronic component manufacturing, a plurality of operation steps (hereinafter referred to as “steps”), which are process settings for members and conditions before and after that, are sequentially performed under a given condition in one processing apparatus. In the manufacturing apparatus, the processing apparatus is controlled by information (hereinafter referred to as a recipe) that summarizes the operating conditions of the manufacturing apparatus in units of steps, and the process proceeds.
このような処理装置に対して、上述したデータ分析による上記プロセス中の現象の分析,異常個所の抽出およびプロセス状態の監視を行うには、「各ステップのプロセスデータは夫々別な分析項目である」として処理することが効果的である。   In order to analyze the phenomenon in the process by the above-mentioned data analysis, extract the abnormal part and monitor the process state for such a processing apparatus, “the process data of each step is a separate analysis item. Is effectively processed.
このようなデータ分析を行うシステムとして、特開2004‐47885号公報(特許文献1)に開示された「半導体製造装置のモニタリングシステム」がある。この半導体製造装置のモニタリングシステムにおいては、第1の処理で、モニタリングツールを用いてプラズマエッチング装置の各制御機器から複数のプロセスデータを収集する。第2の処理で、解析用コンピュータによって、上記収集された複数のプロセスデータを、プロセスパラメータ毎に且つ処理レシピを構成するステップ毎に分割する。第3の処理で、上記解析用コンピュータによって、複数のプロセスデータの少なくとも一部分あるいは分割データを用いて、分解データ夫々について別な分析項目として、多変量解析モデルを作成する。第4の処理で、上記第1の処理〜上記第2の処理と同様にして得られた複数の新規プロセスデータあるいは新規分割データに対して、上記第3の処理で作成された多変量解析モデル(例えば主成分分析のモデル)を適用することによって主成分値を算出し、算出された主成分値を時系列的にモニタリングするようにしている。   As a system for performing such data analysis, there is a “semiconductor manufacturing apparatus monitoring system” disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-47885 (Patent Document 1). In this semiconductor manufacturing apparatus monitoring system, in the first process, a plurality of process data is collected from each control device of the plasma etching apparatus using a monitoring tool. In the second process, the plurality of collected process data is divided by the analysis computer for each process parameter and for each step constituting the process recipe. In the third process, the analysis computer creates a multivariate analysis model as a separate analysis item for each of the decomposed data using at least a part of the plurality of process data or the divided data. In the fourth process, the multivariate analysis model created in the third process for a plurality of new process data or new divided data obtained in the same manner as the first process to the second process. The principal component value is calculated by applying (for example, a principal component analysis model), and the calculated principal component value is monitored in time series.
ここで、上記プラズマエッチング装置から収集されるプロセスデータには、一般的な手法として、ステップの番号など、1つ1つのプロセスデータが何れのステップのものであるかを識別するための指標項目が付加されている。この指標項目は上述したようにステップ番号という番号であることが多いので、以下においては「ステップ番号」と記載する。このステップ番号の値に基づいてプロセスデータを各ステップごとに分割し、分析のためのデータ処理を行うことができる。   Here, in the process data collected from the plasma etching apparatus, as a general method, there are index items for identifying which step each process data is, such as a step number. It has been added. Since this index item is often a step number as described above, it will be described as “step number” below. Based on the value of this step number, the process data can be divided for each step, and data processing for analysis can be performed.
尚、上記ステップの基準は、一般的に製造装置を構成する加熱装置,ガス流量制御装置および圧力装置等の各種コンポーネントの動作条件が変わる点を基準に設けられている。   The standard for the above steps is generally based on the point that the operating conditions of various components such as a heating device, a gas flow rate control device, and a pressure device that constitute the manufacturing apparatus change.
一方、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置や、プロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置においては、製造装置のレシピの変更頻度が高くなっている。   On the other hand, in a manufacturing apparatus used in a production process for producing a variety of products in small quantities and a manufacturing apparatus used in a production process having a high change frequency for the purpose of process improvement, the frequency of changing the recipe of the manufacturing apparatus is high. .
上記ステップ番号は、製造装置における部材に対する処理内容ではなく、ステップの順番を示すものであるため、レシピが異なるプロセスデータについて同じステップ番号が付加されたデータを集計しても、異なる処理内容のステップのプロセスデータを集計することになるので、集計したプロセスデータを分析に用いることはできない。そのため、上述したような製造装置のレシピが頻繁に変更される生産工程においては、同一のレシピで製造された製品の数は少なく、上述のプロセスデータを用いたデータ分析に使用できるプロセスデータの数も少なくなってしまう。   Since the above step numbers indicate the order of steps, not the processing contents for the members in the manufacturing apparatus, even if the data with the same step number added to the process data with different recipes is counted, the steps with different processing contents Therefore, the process data thus aggregated cannot be used for analysis. Therefore, in the production process in which the recipe of the manufacturing apparatus as described above is frequently changed, the number of products manufactured by the same recipe is small, and the number of process data that can be used for data analysis using the process data described above. Will also decrease.
データ分析、特に多変量解析や各種検定や相関分析等の統計手法を用いた分析手法においては、妥当なあるいは必要な分析結果の精度を得るためには分析に使用するデータ数が一定量必要であり、さらに、より多くのデータがある方がより精度の高い分析が可能となるため、できるだけ多くのデータを用いて分析することが必要となる。尚、ここで、上記データ数とは、何ロット分のプロセスデータがあるかを示す数のことである。   In data analysis, especially analysis methods using statistical methods such as multivariate analysis, various tests, and correlation analysis, a certain amount of data is required for analysis in order to obtain reasonable or required accuracy of analysis results. In addition, since more accurate analysis is possible when there is more data, it is necessary to perform analysis using as much data as possible. Here, the number of data is a number indicating how many lots of process data are present.
これまで述べてきたように、電子部品製造における成膜プロセスのような、1つの処理装置内で複数のステップの処理が行われる複雑な工程において、プロセスデータを用いたデータ分析手法は、高品質で高歩留まりな生産を実現するうえで重要な手法である。   As described above, in complex processes where multiple steps are performed in a single processing device, such as a film formation process in electronic component manufacturing, data analysis techniques using process data are high quality. This is an important technique for realizing high-yield production.
その一例として、上記特許文献1に開示された「半導体製造装置のモニタリングシステム」のような、ステップ毎にプロセスデータを分割し、夫々を別な分析項目として分析する手法がある。   As an example, there is a technique of dividing process data for each step and analyzing each as a separate analysis item, such as the “semiconductor manufacturing apparatus monitoring system” disclosed in Patent Document 1.
しかしながら、上記特許文献1に開示された従来の分析手法においては、以下のような問題がある。すなわち、上述したような生産工程においてレシピを頻繁に変更する製造装置においては、各レシピ毎に同じステップ番号を用いた場合には、同じステップ番号が付与されていてもレシピが異なればプロセスの処理内容が異なるため、データ分析を行うための十分なデータ数を確保することは難しく、この点についての考慮が十分なされていない。また、これは言うまでもないが、各ロットのプロセスデータに対して人間が手作業でデータ処理を行って、各ロットのプロセスデータを同じ処理内容のデータに分割する方法は、煩雑であり、また多量のデータに対する処理が必要であることから現実的ではない。   However, the conventional analysis method disclosed in Patent Document 1 has the following problems. That is, in the manufacturing apparatus that frequently changes the recipe in the production process as described above, if the same step number is used for each recipe, the process of the process is different if the recipe is different even if the same step number is given. Since the contents are different, it is difficult to secure a sufficient number of data for data analysis, and this point is not fully considered. Needless to say, the method of manually processing data on each lot of process data and dividing the process data of each lot into data of the same processing contents is complicated and requires a large amount of data. Because it is necessary to process the data, it is not realistic.
特開2004‐47885号公報JP 2004-47885 A
そこで、この発明の課題は、レシピの変更頻度が高い製造装置のプロセスデータであっても高精度なデータ分析が可能になるようにプロセスデータに対する処理を行うプロセスデータ処理装置、および、プロセスデータ処理方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a process data processing device that performs processing on process data so that high-precision data analysis is possible even for process data of a manufacturing apparatus with a high frequency of recipe change, and process data processing It is to provide a method.
上記課題を解決するため、この発明のプロセスデータ処理装置は、
部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを収集するデータ収集部と、
上記データ収集部によって収集された上記プロセスデータに、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加部と、
上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析部と
を備え、
上記記号付加部は、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加する
ことを特徴としている。
In order to solve the above problems, a process data processing apparatus of the present invention provides:
In a manufacturing apparatus that performs a process that is a processing process on a member, process data including measurement data at the time of the process and process condition setting data that is a condition of the process is collected before and after the process. A data collection unit to
A symbol adding unit for adding a symbol indicating the content of processing by the manufacturing apparatus at the time of collecting the process data to the process data collected by the data collecting unit;
A data analysis unit that divides the process data to which the symbol is added based on the symbol and analyzes the divided process data;
The symbol adding unit is a number added to the process data, and any operation step when the manufacturing apparatus sequentially performs the process and condition setting for setting the process condition. It is characterized in that it is added in association with a step number indicating whether it is the process data collected in (1).
上記構成によれば、収集されたプロセスデータには、このプロセスデータの収集時における「製造装置による処理の内容を意味する記号」が付加されている。したがって、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに従って上記製造装置によって加工処理を行った場合の各プロセスデータには、上記処理の内容が同じプロセスでのプロセスデータには同じ上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」が付加されている。そのため、データ分析部によるデータ分析時には、取得したプロセスデータを、上記ステップ番号ではなく上記付加された記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていてもプロセスの内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。   According to the above configuration, “symbols representing the contents of processing by the manufacturing apparatus” at the time of collecting the process data is added to the collected process data. Therefore, each process data when the manufacturing process is performed by the manufacturing apparatus according to the similar recipe in which the process contents and the process progress order are substantially the same is the same as the process data in the same process. The above-mentioned “symbols representing the contents of processing by the manufacturing apparatus” is added. Therefore, at the time of data analysis by the data analysis unit, if the acquired process data is divided based on the added symbol instead of the step number, even if the recipe is different, the process contents are divided by the same process data. The process data that can be analyzed can be divided.
すなわち、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置や、プロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、この変更された各レシピを上記類似レシピと見なすことができる場合には、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに、上述したプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。   In other words, this is the case for manufacturing equipment with a high recipe change frequency, such as manufacturing equipment that is used in production processes that perform high-mix low-volume production, and manufacturing equipment that is used in production processes that are frequently changed for the purpose of process improvement. However, when each changed recipe can be regarded as the similar recipe, the process data processing described above is performed on each process data when the processing is performed according to each changed recipe. The number of process data that can be analyzed with high accuracy can be collected.
さらに、上記プロセスデータに付加される上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」は、ステップ番号に関連付けて付加されている。したがって、上記記号が付加されているプロセスデータは、上記製造装置による何れの動作ステップ時に収集されたプロセスデータであるのかを、容易に知ることができる。   Further, the “symbol indicating the contents of processing by the manufacturing apparatus” added to the process data is added in association with the step number. Therefore, it is possible to easily know which process data to which the symbol is added is the process data collected at which operation step by the manufacturing apparatus.
また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、
上記プロセスデータ収集部は、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に、上記プロセスデータを収集する。
In the process data processing apparatus of one embodiment,
The process data collection unit collects the process data periodically at predetermined time intervals when the manufacturing apparatus sets the conditions during the process and when the process conditions are set.
この実施の形態によれば、上記プロセス時および上記条件設定時において、複数の上記プロセスデータを収集することができ、上記プロセス時および上記条件設定時に関して、より高い精度のデータ分析が可能になる。   According to this embodiment, a plurality of the process data can be collected at the time of the process and at the time of setting the conditions, and data analysis with higher accuracy can be performed at the time of the process and at the time of setting the conditions. .
また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、
上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を格納する表格納部を備え、
上記記号付加部は、上記表を参照することによって、上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する。
In the process data processing apparatus of one embodiment,
A table storage unit for storing a table in which the step number and the symbol are associated with each other;
The symbol adding unit adds the symbol in association with the step number by referring to the table.
この実施の形態によれば、予め上記表を作成して上記表格納部に格納しておけば、簡単に、上記プロセスデータに、上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」を付加することができる。   According to this embodiment, if the table is created in advance and stored in the table storage unit, the “symbol indicating the contents of processing by the manufacturing apparatus” is easily added to the process data. be able to.
また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、
1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、基準となる上記動作ステップである基準ステップと上記記号とが関連付けられている基準レシピを格納する基準レシピ格納部と、
上記基準レシピを参照して、上記各プロセスデータが上記基準レシピの基準ステップにおける動作条件を満たしているか否かを判断することによって、上記各プロセスデータが当該基準ステップに該当するか否かを判断する判断部と
を備え、
上記記号付加部は、上記判断部によって、上記プロセスデータが上記基準ステップに該当すると判断された場合に、上記基準レシピを参照して、当該基準ステップに関連付けられている上記記号を、当該プロセスデータに、当該プロセスデータの上記ステップ番号に関連付けて付加する。
In the process data processing apparatus of one embodiment,
A recipe for defining operating conditions of the manufacturing apparatus in each operation step related to one or more processes and one or more condition settings, wherein a reference step that is the reference operation step and the symbol are associated with each other. A standard recipe storage unit for storing the standard recipe
Referring to the reference recipe, it is determined whether or not each process data corresponds to the reference step by determining whether or not each process data satisfies an operation condition in the reference step of the reference recipe. And a determination unit to
The symbol adding unit refers to the reference recipe when the determination unit determines that the process data corresponds to the reference step, and converts the symbol associated with the reference step to the process data. And added in association with the step number of the process data.
この実施の形態によれば、上記基準レシピの上記基準ステップに該当するプロセスデータに、上記基準レシピを参照して、上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」を付加するので、上記基準レシピに基づいて、上記記号を的確に付加することができる。   According to this embodiment, the process data corresponding to the standard step of the standard recipe is referred to the standard recipe, and the “symbol indicating the content of processing by the manufacturing apparatus” is added. Based on the recipe, the above symbols can be accurately added.
また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、
少なくとも上記データ収集部および上記記号付加部は、上記製造装置に一体化されている。
In the process data processing apparatus of one embodiment,
At least the data collection unit and the symbol addition unit are integrated with the manufacturing apparatus.
この実施の形態によれば、上記データ収集部および上記記号付加部が上記製造装置に一体化されているので、上記製造装置から出力されるプロセスデータには、既に上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」が付加されている。したがって、上記製造装置から出力されたプロセスデータに対して、上記記号を付加する処理を行う必要がない。   According to this embodiment, since the data collection unit and the symbol addition unit are integrated in the manufacturing apparatus, the process data output from the manufacturing apparatus already includes “contents of processing by the manufacturing apparatus”. A symbol meaning "is added. Therefore, it is not necessary to perform the process of adding the symbol to the process data output from the manufacturing apparatus.
また、1実施の形態のプロセスデータ処理装置では、
上記製造装置は、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、上記各動作ステップには上記記号が付加されているレシピに従って、上記プロセスおよび上記条件設定を行っており、
上記記号付加部は、上記レシピを参照して、上記各プロセスデータに上記記号を付加する。
In the process data processing apparatus of one embodiment,
The manufacturing apparatus is a recipe that defines operating conditions of the manufacturing apparatus in each operation step related to one or more processes and one or more condition settings, and the symbols are added to the operation steps. The above process and the above conditions are set according to the recipe
The symbol adding unit refers to the recipe and adds the symbol to each process data.
この実施の形態によれば、上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」が付加されたレシピを参照して、上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」を付加するので、上記レシピに基づいて、上記記号を的確に付加することができる。   According to this embodiment, referring to the recipe to which the “symbol indicating the content of the process by the manufacturing apparatus” is added, the “symbol indicating the content of the process by the manufacturing apparatus” is added. Based on the recipe, the above symbols can be accurately added.
また、この発明のプロセスデータ処理方法は、
部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを、データ収集部によって収集するプロセスデータ収集手順と、
上記プロセスデータに、記号付加部によって、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加手順と、
データ分析部によって、上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析手順と
を備え、
上記記号付加手順では、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加する
ことを特徴としている。
In addition, the process data processing method of the present invention includes:
In a manufacturing apparatus that performs a process that is a processing process on a member, process data including measurement data at the time of the process and process condition setting data that is a condition of the process before and after the process, Process data collection procedure to be collected by the data collection unit,
A symbol addition procedure for adding a symbol indicating the content of processing by the manufacturing apparatus at the time of collecting the process data to the process data by the symbol addition unit;
A data analysis step of dividing the process data to which the symbol is added by the data analysis unit based on the symbol and analyzing the divided process data;
In the symbol addition procedure, any operation step when the symbol is a number added to the process data and the manufacturing apparatus sequentially performs the process and condition setting for setting the process condition. It is characterized in that it is added in association with a step number indicating whether it is the process data collected in (1).
上記構成によれば、収集されたプロセスデータには、このプロセスデータの収集時における「製造装置による処理の内容を意味する記号」が付加されている。したがって、データ分析手順では、取得したプロセスデータを、上記ステップ番号ではなく上記付加された記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていてもプロセスの内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。   According to the above configuration, “symbols representing the contents of processing by the manufacturing apparatus” at the time of collecting the process data is added to the collected process data. Therefore, in the data analysis procedure, if the acquired process data is divided based on the added symbol instead of the step number, even if the recipe is different, the process contents can be divided by the same process data, The process data that can be analyzed can be divided.
すなわち、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置や、プロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに、上述したプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。   In other words, this is the case for manufacturing equipment with a high recipe change frequency, such as manufacturing equipment that is used in production processes that perform high-mix low-volume production, and manufacturing equipment that is used in production processes that are frequently changed for the purpose of process improvement. However, by performing the above-described process data processing on each process data when processing is performed according to each changed recipe, it is possible to collect a number of process data that can be analyzed with high accuracy. It is.
さらに、上記プロセスデータに付加される上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」は、ステップ番号に関連付けて付加されている。したがって、上記記号が付加されているプロセスデータは、上記製造装置による何れの動作ステップ時に収集されたプロセスデータであるのかを、容易に知ることができる。   Further, the “symbol indicating the contents of processing by the manufacturing apparatus” added to the process data is added in association with the step number. Therefore, it is possible to easily know which process data to which the symbol is added is the process data collected at which operation step by the manufacturing apparatus.
また、1実施の形態のプロセスデータ処理方法では、
上記プロセスデータ収集手順では、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に上記プロセスデータを収集する。
In the process data processing method of one embodiment,
In the process data collection procedure, the manufacturing apparatus collects the process data periodically at predetermined time intervals when the process is set and when the conditions are set, that is, when the process conditions are set.
この実施の形態によれば、上記プロセス時および上記条件設定時において、複数の上記プロセスデータを収集することができ、上記プロセス時および上記条件設定時に関して、より高い精度のデータ分析が可能になる。   According to this embodiment, a plurality of the process data can be collected at the time of the process and at the time of setting the conditions, and data analysis with higher accuracy can be performed at the time of the process and at the time of setting the conditions. .
また、1実施の形態のプロセスデータ処理方法では、
上記記号付加手順では、上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を参照することによって、上記製造装置から出力された上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する、あるいは、上記製造装置から出力される前の上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する。
In the process data processing method of one embodiment,
In the symbol addition procedure, the symbol is added in association with the step number to the process data output from the manufacturing apparatus by referring to a table in which the step number is associated with the symbol, or the manufacturing is performed. The symbol is added in association with the step number to the process data before being output from the apparatus.
この実施の形態によれば、予め上記表を作成して上記表格納部に格納しておけば、簡単に、上記プロセスデータに、上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」を付加することができる。   According to this embodiment, if the table is created in advance and stored in the table storage unit, the “symbol indicating the contents of processing by the manufacturing apparatus” is easily added to the process data. be able to.
その際に、上記記号を上記製造装置から出力される前の上記プロセスデータに付加すれば、上記データ分析部において、上記製造装置から出力された上記プロセスデータに対して上記記号を付加する前処理を行う必要はない。   At this time, if the symbol is added to the process data before being output from the manufacturing apparatus, the data analysis unit performs preprocessing for adding the symbol to the process data output from the manufacturing apparatus. There is no need to do.
また、1実施の形態のプロセスデータ処理方法では、
上記記号と上記ステップ番号との関連付けを、
1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに基づいて上記製造装置における動作条件の基準となる基準レシピを設定する第1の手順と、
上記基準レシピを構成する上記動作ステップのうちの一部あるいは全てを上記製造装置における動作ステップの基準となる基準ステップと設定し、各基準ステップにおける上記製造装置の動作条件を定める第2の手順と、
上記プロセスデータ収集手順によって収集されたプロセスデータに関して、上記基準レシピにおける上記動作ステップの進行順に、各プロセスデータが上記基準ステップの動作条件に該当するか否かを判断することによって、上記基準ステップに該当するプロセスデータを検出する第3の手順と、
上記検出されたプロセスデータに該当する上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番が、上記基準レシピにおける上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番と同じであれば、上記収集されたプロセスデータのステップ番号に上記記号を関連付ける第4の手順と
によって行う。
In the process data processing method of one embodiment,
The association between the above symbol and the above step number
A recipe that defines operating conditions of the manufacturing apparatus in each operation step relating to one or more of the processes and one or more of the condition settings, and is similar to a recipe that has substantially the same process content and process progression order. A first procedure for setting a reference recipe as a reference for operating conditions in the manufacturing apparatus,
A second procedure for setting a part or all of the operation steps constituting the reference recipe as a reference step which is a reference for the operation step in the manufacturing apparatus, and for determining an operation condition of the manufacturing apparatus in each reference step; ,
With respect to the process data collected by the process data collection procedure, it is determined whether or not each process data meets the operation conditions of the reference step in the order of the operation steps in the reference recipe. A third procedure for detecting the corresponding process data;
If the order of appearance of the process of the reference step corresponding to the detected process data in the progress direction of the reference step is the same as the order of appearance of the process of the reference step in the process direction of the reference recipe, the collected process And a fourth procedure for associating the symbol with the data step number.
この実施の形態によれば、上記基準レシピおよびこの基準レシピの基準ステップを設定し、各基準ステップにおける上記製造装置の動作条件を定めれば、収集されたプロセスデータと上記基準レシピとを比較することによって、上記基準レシピの基準ステップに該当するプロセスデータを検出でき、当該プロセスデータのステップ番号に上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」を関連付けることができる。   According to this embodiment, if the reference recipe and the reference step of the reference recipe are set, and the operating conditions of the manufacturing apparatus in each reference step are determined, the collected process data and the reference recipe are compared. As a result, the process data corresponding to the reference step of the reference recipe can be detected, and the “symbol indicating the content of processing by the manufacturing apparatus” can be associated with the step number of the process data.
以上より明らかなように、この発明では、データ収集部によって収集されたプロセスデータに、記号付加部によって、上記プロセスデータの収集時における「製造装置による処理の内容を意味する記号」を付加するので、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに従って上記製造装置によって加工処理を行った場合の各プロセスデータには、上記処理の内容が同じ動作ステップでのプロセスデータには同じ上記記号が付加されている。   As is clear from the above, in the present invention, the “symbol indicating the contents of processing by the manufacturing apparatus” is added to the process data collected by the data collecting unit by the symbol adding unit when the process data is collected. Each process data when the manufacturing process is performed by the manufacturing apparatus according to a similar recipe in which the process contents and the process progress order are substantially the same is the same as the process data in the same operation step. The above symbols are added.
したがって、データ分析部によるデータ分析時には、取得したプロセスデータを、上記記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていても動作ステップの内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。   Therefore, at the time of data analysis by the data analysis unit, if the acquired process data is divided based on the above symbols, even if the recipe is different, the contents of the operation step can be divided by the same process data, and data analysis is possible It is possible to divide the process data.
すなわち、この発明によれば、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置やプロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、この変更された各レシピを類似レシピと見なすことができる場合には、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに上述したプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。   That is, according to the present invention, manufacturing with a high recipe change frequency, such as a manufacturing apparatus used in a production process that performs multi-product small-quantity production and a manufacturing apparatus used in a production process that is frequently changed for the purpose of process improvement, etc. Even in the case of an apparatus, when each changed recipe can be regarded as a similar recipe, the process data processing described above is applied to each process data when processing is performed according to each changed recipe. By doing so, it is possible to collect a number of process data that can be analyzed with high accuracy.
さらに、上記プロセスデータに付加される上記「製造装置による処理の内容を意味する記号」は、ステップ番号に関連付けて付加されている。したがって、上記記号が付加されているプロセスデータは、上記製造装置による何れの動作ステップ時に収集されたプロセスデータであるのかを、容易に知ることができる。   Further, the “symbol indicating the contents of processing by the manufacturing apparatus” added to the process data is added in association with the step number. Therefore, it is possible to easily know which process data to which the symbol is added is the process data collected at which operation step by the manufacturing apparatus.
この発明のプロセスデータ処理装置およびそのプロセスデータ処理装置が適用された製造装置を示すブロック図である。1 is a block diagram showing a process data processing apparatus of the present invention and a manufacturing apparatus to which the process data processing apparatus is applied. 図1における演算装置によって行われる前処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of the pre-processing performed by the arithmetic unit in FIG. 図2に続く手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure following FIG. 図1における製造装置を稼働させるレシピと、このレシピの一部を修正したレシピを例示する図である。It is a figure which illustrates the recipe which operates the manufacturing apparatus in FIG. 1, and the recipe which corrected a part of this recipe. 図4に示す2つのレシピにおける設定温度の時間変化を示す図である。It is a figure which shows the time change of the preset temperature in two recipes shown in FIG. 上記製造装置が上記2つのレシピに従って加工処理を行った場合に取得されたプロセスデータを例示する図である。It is a figure which illustrates the process data acquired when the said manufacturing apparatus processes according to said two recipes.
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the illustrated embodiments.
・第1実施の形態
図1は、本実施の形態におけるプロセスデータ処理装置およびそのプロセスデータ処理装置が適用された製造装置を示すブロック図である。
First Embodiment FIG. 1 is a block diagram showing a process data processing apparatus and a manufacturing apparatus to which the process data processing apparatus is applied in the present embodiment.
本実施の形態における生産工程は、電子デバイスのような製品単位で製造プロセスが進行する製品の生産工程である。   The production process in the present embodiment is a product production process in which a manufacturing process proceeds in units of products such as electronic devices.
上記生産工程1は、製造プロセス部2と検査プロセス部3とで構成されている。製造プロセス部2では、製品毎に所定のプロセスが実行される。また、検査プロセス部3では、製品毎に所定の検査プロセスが実行される。   The production process 1 includes a manufacturing process unit 2 and an inspection process unit 3. In the manufacturing process unit 2, a predetermined process is executed for each product. In the inspection process unit 3, a predetermined inspection process is executed for each product.
本実施の形態においては、上記生産工程1の製造プロセス部2に含まれる1つの製造装置4と、この製造装置4のプロセスデータを処理するプロセスデータ処理装置13とについて、説明する。   In the present embodiment, one manufacturing apparatus 4 included in the manufacturing process section 2 of the production process 1 and a process data processing apparatus 13 that processes process data of the manufacturing apparatus 4 will be described.
上記製造装置4は、部材に対するプロセスおよびその前後の条件設定の複数の動作条件を各ステップを単位としてまとめたレシピに従って、各種加工処理を行う装置である。そして、製造装置4は、部材に対して加工処理を行う処理室5、処理室5に対して部材の出し入れを行う前室6、加熱装置,冷却装置,プロセスガス供給装置,排気装置および圧力調整装置等の処理室5内の処理条件を設定するための各種コンポーネント7、各種コンポーネント7を制御する制御装置8を含んでいる。ここで、上記加熱装置はヒータ等で成り、上記冷却装置はチラーや冷却配管等で成り、上記プロセスガス供給装置は各種ボンベや配管バルブや流量計等で成り、上記排気装置はポンプ等で成り、上記圧力調整装置は各種圧力計やバルブ等で成る。   The manufacturing apparatus 4 is an apparatus that performs various processing processes according to a recipe in which a plurality of operating conditions for setting a process for a member and conditions before and after the process are grouped in units of steps. Then, the manufacturing apparatus 4 includes a processing chamber 5 that performs processing on the member, a front chamber 6 that moves the member into and out of the processing chamber 5, a heating device, a cooling device, a process gas supply device, an exhaust device, and pressure adjustment. Various components 7 for setting processing conditions in the processing chamber 5 such as an apparatus, and a control device 8 for controlling the various components 7 are included. Here, the heating device includes a heater, the cooling device includes a chiller and a cooling pipe, the process gas supply device includes various cylinders, piping valves, a flow meter, and the like, and the exhaust device includes a pump and the like. The pressure adjusting device includes various pressure gauges and valves.
さらに、上記製造装置4は、上記制御装置8と操作者19とのインターフェイスとなるモニタ画面等の第1表示装置9、上記インターフェイスとなるキーボードやポインティングデバイス等の第1入力装置10、制御装置8とプロセスデータ処理装置13とを結ぶ通信装置11、処理室5,前室6および各種コンポーネント7の計測データ,制御値および動作値を収集するデータ収集装置12を含んでいる。尚、データ収集装置12は、図1に示すように制御装置8に組み込まれている。   Further, the manufacturing apparatus 4 includes a first display device 9 such as a monitor screen serving as an interface between the control device 8 and an operator 19, a first input device 10 such as a keyboard and a pointing device serving as the interface, and a control device 8. And a data collection device 12 that collects measurement data, control values, and operation values of the processing chamber 5, the front chamber 6, and various components 7. The data collection device 12 is incorporated in the control device 8 as shown in FIG.
尚、上記処理室5,前室6および各種コンポーネント7には、プロセスデータを取得するための温度,圧力および流量等の各種計測装置が取り付けられている。さらに、ヒータ電圧や電力量等の各種コンポーネント7の制御値と動作値を取得する取得装置も取り付けられている。そして、データ収集装置12は、これら各種計測装置および取得装置から制御装置8を介して、上記計測データ,上記制御値および上記動作値を収集するのである。尚、データ収集装置12の実装形態は、制御装置8に組み込まれた実装形態に止まるものではなく、制御装置8とは別の装置として実装されていても差し支えない。   The processing chamber 5, the front chamber 6 and the various components 7 are equipped with various measuring devices such as temperature, pressure and flow rate for acquiring process data. Further, an acquisition device for acquiring control values and operation values of various components 7 such as heater voltage and electric energy is also attached. The data collection device 12 collects the measurement data, the control value, and the operation value from the various measurement devices and acquisition devices via the control device 8. The mounting form of the data collection device 12 is not limited to the mounting form incorporated in the control device 8, and may be mounted as a device different from the control device 8.
上記プロセスデータ処理装置13は、製造装置4から通信装置11を介してプロセスデータを収集してデータ分析を行う演算装置14、製造装置4の外部データベース15、CIM(Computer Integrated Manufacturing:コンピュータ統合生産)等で成る工場または生産ライン全体の外部情報系16、演算装置14と操作者19とのインターフェイスとなるモニタ画面等の第2表示装置17、上記インターフェイスとなるキーボードやポインティングデバイス等の第2入力装置18と、データ収集装置12および通信装置11と、を含んで構成されている。ここで、演算装置14は、上記データ分析を行うに先立って、後に詳述するような前処理を行うようになっている。   The process data processing device 13 collects process data from the manufacturing device 4 via the communication device 11 and performs data analysis, an external database 15 of the manufacturing device 4, a CIM (Computer Integrated Manufacturing). External information system 16 of the factory or production line as a whole, a second display device 17 such as a monitor screen serving as an interface between the arithmetic unit 14 and the operator 19, and a second input device such as a keyboard and pointing device serving as the interface. 18, the data collection device 12, and the communication device 11. Here, prior to performing the data analysis, the arithmetic unit 14 performs preprocessing as described in detail later.
また、図1においては、上記演算装置14は通信装置11を介して製造装置4の制御装置8と接続されているが、演算装置14と制御装置8とが通信回線によって直接接続されていても差し支えない。あるいは、演算装置14を、装置制御用のコンピュータ等の制御装置8内の上位装置に組み込むことも可能である。   In FIG. 1, the arithmetic device 14 is connected to the control device 8 of the manufacturing apparatus 4 via the communication device 11, but the arithmetic device 14 and the control device 8 may be directly connected via a communication line. There is no problem. Alternatively, the arithmetic device 14 can be incorporated in a host device in the control device 8 such as a device control computer.
上記製造装置4におけるプロセスデータは、上記データ収集装置12によって収集される上記計測データ,上記制御値および上記動作値であり、予め定められているサンプリング間隔で収集される。また、このプロセスデータは、制御装置8の内部メモリに格納されているレシピに従って稼働中の製造装置4から自動的に収集される。また、上記プロセスデータには、製造装置4によって処理されている製品のロット番号が制御装置8によって付与されている。さらに、製造装置4の上記レシピにはステップ毎に「1」から順番に番号(ステップ番号)が付けられており、そのステップ番号もプロセスデータに制御装置8によって付加される。こうすることにより、周期的に収集されるプロセスデータの個別のデータが、何番のステップ中に収集されたものであるかを確認することができるのである。   The process data in the manufacturing apparatus 4 is the measurement data, the control value, and the operation value collected by the data collection apparatus 12, and is collected at a predetermined sampling interval. Further, this process data is automatically collected from the manufacturing apparatus 4 in operation according to the recipe stored in the internal memory of the control device 8. In addition, a lot number of a product processed by the manufacturing apparatus 4 is given to the process data by the control apparatus 8. Furthermore, the recipe of the manufacturing apparatus 4 is numbered (step number) in order from “1” for each step, and the step number is also added to the process data by the control device 8. By doing so, it is possible to confirm in which step the individual data of the process data collected periodically is collected.
こうして、上記データ収集装置12によって収集されたプロセスデータは演算装置14に送られ、演算装置14によって、後に詳述する前処理が行われた後、統計手法を用いたデータ分析が行われる。より具体的には、製造装置4のプロセスデータに対するデータ分析として、PLS(Partial Least Squares:部分最小二乗法)や主成分分析等の多変量解析によって求められる特徴量を監視することで、製造プロセスの異常を検知する異常検知が実行される。また、外部データベース15を介して取得できる検査プロセス部3での各製品の検査データと上記プロセスデータとを関連付けて、不良発生時の要因分析が実行される。   In this way, the process data collected by the data collection device 12 is sent to the calculation device 14, and after the preprocessing described in detail later is performed by the calculation device 14, data analysis using a statistical method is performed. More specifically, as a data analysis of the process data of the manufacturing apparatus 4, the manufacturing process is monitored by monitoring feature quantities obtained by multivariate analysis such as PLS (Partial Least Squares) and principal component analysis. Anomaly detection is performed to detect anomalies. In addition, the inspection data of each product in the inspection process unit 3 that can be acquired via the external database 15 is associated with the process data, and a factor analysis at the time of occurrence of a defect is executed.
尚、本実施の形態に適用できるデータ分析の手法はこれに止まるものではなく、複数の製造装置4間のパラメータの差を統計的に判断する各種検定や判別分析や相関分析に代表される単変量の解析を用いてもよい。また、上記データ分析は統計手法に限定されるものではなく、プロセスデータの異常な挙動をそのまま経時的に監視する手法を用いてもよいし、物理モデルによる演算式を用いた分析を行ってもよい。   Note that the data analysis technique applicable to the present embodiment is not limited to this, and is merely a single example represented by various tests, discriminant analysis, and correlation analysis that statistically determine the parameter differences between the plurality of manufacturing apparatuses 4. A variable analysis may be used. The data analysis is not limited to the statistical method, and a method of monitoring the abnormal behavior of the process data over time may be used as it is, or an analysis using an arithmetic expression based on a physical model may be performed. Good.
上記製造装置4における一連の加工処理は複数のプロセスからなり、各プロセスのプロセスデータは夫々異なった値を示すことから、より高精度なデータ分析を行うためには、プロセスデータを各プロセスで分割して分析することが必要になる。これは、例えば、一連の加工処理のプロセスデータをまとめて1つの統計値を算出すると、各プロセスに関するプロセスデータの特徴が混ざってしまい、何れのプロセスの特徴も表さない統計値となってしまうことからも明らかである。   A series of processing in the manufacturing apparatus 4 includes a plurality of processes, and the process data of each process shows different values. Therefore, in order to analyze data with higher accuracy, the process data is divided into each process. It is necessary to analyze it. This is because, for example, if a single statistical value is calculated by combining process data of a series of processing processes, the characteristics of the process data related to each process are mixed, resulting in a statistical value that does not represent the characteristics of any process. It is clear from that.
一方、上記製造装置4による加工処理では、頻繁にレシピの変更がある。これは、加工処理改善による歩留まりや製品品質の改善を目的としたものであり、同種の製品を製造する中においても製造時期によってレシピが異なることになる。このような状態は、同業者間での開発競争やコスト競争に対応するために特に電子デバイスの製造等で顕著であり、多くの製造プロセスに当てはまることである。   On the other hand, in the processing by the manufacturing apparatus 4, there are frequent recipe changes. This is for the purpose of improving the yield and product quality by improving the processing, and the recipe varies depending on the production time even during the production of the same kind of product. Such a state is particularly remarkable in the manufacture of electronic devices and the like in order to cope with development competition and cost competition between the same companies, and is applicable to many manufacturing processes.
こうした上記プロセスの変更、つまりレシピの変更には、次のようなケースがある。
・ケース1)プロセスの順番に変更はないが、各プロセスにおける例えば設定温度のような製造装置4の動作条件の設定値が変更されるケースである。
・ケース2)ステップの順番が変更になるケースである。これは、例えば、目標温度までの上昇過程を二つのステップに分けて温度の上昇勾配を途中で変更するように動作条件の設定手順を調整するケースや、元々一つステップで行っていた成膜プロセスをプロセス途中から条件変更して複数のステップで行うようなケースである。
・ケース3)上記ケース1)と上記ケース2)との両方が同時に発生するケースである。
Such process changes, that is, recipe changes, include the following cases.
Case 1) Although the order of the processes is not changed, the set value of the operating condition of the manufacturing apparatus 4 such as the set temperature in each process is changed.
Case 2) This is a case where the order of steps is changed. This is the case, for example, when the procedure for setting the operating conditions is adjusted so that the temperature rise gradient is changed halfway by dividing the rise process to the target temperature into two steps, or the film formation that was originally performed in one step This is a case where the process is changed in the middle of the process and performed in multiple steps.
Case 3) Case 1) and Case 2) occur simultaneously.
これらのケースのうち、上記ケース1)の場合には、レシピのステップ番号別にプロセスデータを分割することによって、変更後のレシピのプロセスデータを集計しても、動作条件に変動があったデータとして分析することが可能である。ところが、上記ケース2)および上記ケース3)の場合には、レシピのステップ番号別にプロセスデータを分割すると、変更後のレシピにおける変更前のレシピと同じステップ番号では異なるプロセスデータが集計されてしまうことになる。その場合には、一部のステップに関する変更であるにも拘わらず、変更前のデータ分析が適用できないプロセスデータとなってしまう。   Of these cases, in the case of the above case 1), the process data is divided according to the step number of the recipe. It is possible to analyze. However, in the case 2) and the case 3), if the process data is divided according to the recipe step number, different process data is aggregated at the same step number as the pre-change recipe in the post-change recipe. become. In this case, the process data cannot be applied with the data analysis before the change even though the change is related to some steps.
そのために、本実施の形態においては、上述したデータ分析に先立って、以下に示すような前処理を実行するのである。   For this reason, in the present embodiment, prior to the data analysis described above, preprocessing as shown below is executed.
この前処理は、上記データ収集装置12で収集されたプロセスデータに対して、演算装置14によって、データ分析を行うに先立って実行される。その場合、上記前処理は、製造装置4によって加工処理された1ロット毎に行われる。その手順の全体的な流れは、以下のとおりである。   This pre-processing is executed prior to performing data analysis on the process data collected by the data collection device 12 by the arithmetic device 14. In that case, the pre-processing is performed for each lot processed by the manufacturing apparatus 4. The overall flow of the procedure is as follows.
手順1)同一のデータ分析が必要な複数の類似レシピについて、基準となる基準レシピを設定する。   Procedure 1) A reference recipe serving as a reference is set for a plurality of similar recipes that require the same data analysis.
手順2)上記基準レシピにおいて、製品の性能に影響度の高い重要な1つ以上のステップを基準ステップとし、この基準ステップについて製造装置4の動作条件の許容範囲を設定する。   Procedure 2) In the reference recipe, one or more important steps having a high influence on the performance of the product are used as reference steps, and an allowable range of operating conditions of the manufacturing apparatus 4 is set for the reference steps.
手順3)上記データ収集装置12によって取得されたプロセスデータについて、プロセスデータをステップの進行順に、各ステップのプロセスデータと基準ステップの上記動作条件とを比較することで、基準ステップのプロセスデータに該当するか否かを判断する。   Procedure 3) With respect to the process data acquired by the data collection device 12, the process data corresponds to the process data of the reference step by comparing the process data of each step with the operation conditions of the reference step in the order of progress of the steps. Judge whether to do.
手順4)上記基準ステップが上記基準レシピの基準ステップと処理の進行方向へ同じ順番で出現すれば、当該プロセスデータに「製造装置4による処理の内容を意味する記号」を付加する。   Procedure 4) If the reference step appears in the same order as the reference step of the reference recipe in the process progressing direction, a “symbol indicating the content of processing by the manufacturing apparatus 4” is added to the process data.
以下、上記各手順について、詳細を説明する。   Hereinafter, the details of each procedure will be described.
上記手順1)は、プロセスの内容と進行順とが同一であるようなレシピを類似のレシピとし、その類似のレシピに基づいて基準レシピを設定する手順である。その場合、上記基準レシピは、上記類似のレシピの中から一つを選択して設定してもよいし、上記類似のレシピに基づいて新たに作成してもよい。   The above procedure 1) is a procedure in which a recipe having the same process contents and order of progress is set as a similar recipe, and a reference recipe is set based on the similar recipe. In that case, the reference recipe may be set by selecting one of the similar recipes or may be newly created based on the similar recipe.
上記手順2)は、上記基準ステップを設定すると共に処理の進行順に番号(基準ステップ番号)を付け、この設定された基準ステップにおける製造装置4の動作条件に基づいて、上記基準ステップの動作条件の許容範囲を設定する手順である。ここで、上記許容範囲とは、データ分析の対象として取得したプロセスデータの該当ステップにおける計測値が上記基準ステップの動作条件に該当するか否かを判別するための上記動作条件の許容範囲であり、例えば、上記該当ステップの時間長さの範囲や設定温度の範囲等である。本実施の形態においては、上記基準ステップとして、成膜等の何らかの処理を部材に対して直接行うステップを選択する。しかしながら、これに限定するものではない。   In the procedure 2), the reference step is set and numbered (reference step number) in the order of progress of the process. Based on the operation condition of the manufacturing apparatus 4 in the set reference step, the operation condition of the reference step is set. This is a procedure for setting an allowable range. Here, the allowable range is an allowable range of the operating condition for determining whether or not the measured value in the corresponding step of the process data acquired as a data analysis target corresponds to the operating condition of the reference step. For example, the time length range of the corresponding step, the set temperature range, and the like. In the present embodiment, as the reference step, a step of directly performing some processing such as film formation on the member is selected. However, the present invention is not limited to this.
上記手順3)は、後に詳述するように、取得したプロセスデータが上記基準ステップに該当するか否かを、上記演算装置14によって判断する手順である。   The procedure 3) is a procedure in which the arithmetic device 14 determines whether or not the acquired process data corresponds to the reference step, as will be described in detail later.
上記手順4)は、後に詳述するように、上記基準ステップが複数ある場合、演算装置14によって、その複数の基準ステップに該当するプロセスデータの処理順番が基準レシピの基準ステップの処理順番と同一か否かを判断し、同一であれば当該プロセスデータに処理の内容を意味する記号を付加する手順である。   In step 4), as will be described in detail later, when there are a plurality of reference steps, the processing order of the process data corresponding to the plurality of reference steps is the same as the processing order of the reference steps of the reference recipe. This is a procedure for adding a symbol indicating the content of the process to the process data if it is the same.
以下、上記演算装置14によって行われる上記手順3)について、図2のフローチャートに従って詳細に説明する。ここで、上述のように設定された基準レシピが、第2入力装置18から入力されて、演算装置14の内部メモリに格納されているものとする。   Hereinafter, the procedure 3) performed by the arithmetic unit 14 will be described in detail according to the flowchart of FIG. Here, it is assumed that the reference recipe set as described above is input from the second input device 18 and stored in the internal memory of the arithmetic device 14.
手順3‐1で、演算装置14の上記内部メモリ等に設定されたステップ番号の格納領域および基準ステップ番号の格納領域に「0」が書き込まれて、ステップ番号および基準ステップ番号がクリアされる。手順3‐2で、1ロット分のプロセスデータが、データ収集装置12を介して取得される。手順3‐3で、上記取得されたプロセスデータがステップ番号別に分割される。手順3‐4で、ステップ番号および基準ステップ番号が「1」に設定される。手順3‐5で、上記設定されたステップ番号のプロセスデータが読み出され、上記設定された基準ステップ番号の基準ステップにおける上記動作条件と比較される。手順3‐6で、上記比較の結果に基づいて、読み出されたプロセスデータが当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしているか否かが判別される。その結果、満たしている場合には手順3‐7に進み、満たしていない場合には手順3‐9に進む。   In step 3-1, "0" is written in the storage area for the step number and the storage area for the reference step number set in the internal memory or the like of the arithmetic unit 14, and the step number and the reference step number are cleared. In step 3-2, process data for one lot is acquired via the data collection device 12. In step 3-3, the acquired process data is divided by step number. In step 3-4, the step number and the reference step number are set to “1”. In procedure 3-5, the process data of the set step number is read and compared with the operation condition in the reference step of the set reference step number. In step 3-6, based on the result of the comparison, it is determined whether or not the read process data satisfies the allowable range of the operation condition of the reference step. As a result, if the condition is satisfied, the process proceeds to step 3-7. If the condition is not satisfied, the process proceeds to step 3-9.
手順3‐7で、当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしている(つまり、当該基準ステップに該当する)と判定されたプロセスデータのステップ番号と、当該基準ステップの基準ステップ番号とが互いに関連付けられて、上記内部メモリ等に記録表として記録される。手順3‐8で、次の基準ステップとの比較に移行するために、基準ステップ番号がインクリメントされる。手順3‐9で、基準ステップ番号に基づいて、全基準ステップについて判定が終了したか否かが判別される。その結果、終了していなければ手順3‐10に進み、終了していれば上記手順3)が終了される。手順3‐10で、ステップ番号に基づいて、全ステップについて判定が終了したか否かが判別される。その結果、終了していなければ手順3‐11に進み、終了していれば上記手順3)が終了される。   In step 3-7, the step number of the process data determined to satisfy the permissible range of the operation condition of the reference step (that is, corresponding to the reference step) and the reference step number of the reference step are They are associated with each other and recorded as a recording table in the internal memory or the like. In step 3-8, the reference step number is incremented to proceed to comparison with the next reference step. In step 3-9, it is determined whether or not the determination is completed for all the reference steps based on the reference step number. As a result, if not completed, the procedure proceeds to step 3-10, and if completed, the procedure 3) is terminated. In step 3-10, it is determined whether or not the determination has been completed for all steps based on the step number. As a result, if not completed, the procedure proceeds to step 3-11. If completed, the procedure 3) is terminated.
手順3‐11で、次のステップのプロセスデータの判定を行うために、ステップ番号がインクリメントされる。そうした後、上記手順3‐5にリターンし、次のステップ番号のプロセスデータに対する処理に移行する。そして、上記手順3‐9において全基準ステップについて判定が終了したと判別されると、あるいは、上記手順3‐10において全ステップについて判定が終了したと判別されると、上記手順3)が終了される。   In step 3-11, the step number is incremented to determine the process data of the next step. After that, the process returns to the procedure 3-5, and the process shifts to the process for the process data of the next step number. Then, if it is determined in step 3-9 that determination has been completed for all reference steps, or if it is determined in step 3-10 that determination has been completed for all steps, step 3) is ended. The
次に、上記演算装置14によって行われる上記手順4)について、図3のフローチャートに従って詳細に説明する。上記手順3)が終了すると、上記手順4)がスタートする。   Next, the procedure 4) performed by the arithmetic unit 14 will be described in detail according to the flowchart of FIG. When the procedure 3) is completed, the procedure 4) is started.
手順4‐1で、上記手順3)において作成された上記記録表が読み出される。手順4‐2で、上記記録表に対応する基準レシピが読み出される。手順4‐3で、上記読み出された記録表における基準ステップ番号の処理の進行方向への出現順番と、上記読み出された基準レシピにおける基準ステップ番号の基準ステップ中での処理の進行方向への出現順番とが、比較される。手順4‐4で、上記手順4‐3における比較の結果、上記記録表と上記基準レシピとの同じ基準ステップの上記出現順番が一致しているか否かが判別される。その結果、一致していれば手順4‐5に進む一方、一致していなければ上記手順4)が終了される。手順4‐5で、上記基準レシピに一致すると判断された上記記録表に関するプロセスデータに、処理の内容を意味する記号が付加される。そうした後、上記手順4)が終了される。   In step 4-1, the recording table created in step 3) is read. In step 4-2, the reference recipe corresponding to the recording table is read. In step 4-3, the order of appearance of the reference step numbers in the read record table in the progress direction of the process and the progress direction of the processes in the reference step of the reference step number in the read reference recipe Are compared with the order of appearance. In step 4-4, it is determined whether or not the appearance order of the same reference step in the recording table and the reference recipe matches as a result of the comparison in the step 4-3. As a result, if they match, the process proceeds to step 4-5, whereas if they do not match, the above step 4) is ended. In step 4-5, a symbol indicating the content of processing is added to the process data relating to the recording table determined to match the reference recipe. After that, the procedure 4) is finished.
ここで、上記「処理の内容を意味する記号」とは、例えば、上記基準レシピにおけるステップ番号である。その場合は、上記基準レシピにおける基準ステップではないステップに該当するプロセスデータには、上記基準レシピにおける該当するステップのステップ番号が上記「処理の内容を意味する記号」として付加される。尚、後に行われるデータ分析に基準ステップのプロセスデータだけが必要な場合には、基準ステップに該当するステップのプロセスデータにだけ、基準ステップの番号を付加するようにしてもよい。   Here, the “symbol indicating the contents of the process” is, for example, a step number in the reference recipe. In that case, the step number of the corresponding step in the reference recipe is added to the process data corresponding to the step that is not the reference step in the reference recipe as the “symbol indicating the contents of the process”. If only the process data of the reference step is necessary for data analysis performed later, the reference step number may be added only to the process data of the step corresponding to the reference step.
また、上記「処理の内容を意味する記号」は上記基準レシピにおけるステップ番号に止まるものではなく、プロセスの内容が分かる文字列を付加してもよい。その場合には、基準レシピの基準ステップと上記文字列との対応表を事前に準備しておけばよい。   In addition, the “symbol indicating the content of the process” is not limited to the step number in the reference recipe, and a character string indicating the content of the process may be added. In that case, a correspondence table between the reference step of the reference recipe and the character string may be prepared in advance.
上述した上記手順1)〜手順4)によって、上記製造装置4から取得されたプロセスデータから、同一のレシピで処理されたと見なしてデータ分析を行うことが可能なプロセスデータを抽出し、ステップ別のデータ分析を可能にする記号(処理の内容を意味する記号)をプロセスデータに付加することができる。   From the above-described procedure 1) to procedure 4), process data that can be analyzed by assuming that the same recipe has been processed is extracted from the process data acquired from the manufacturing apparatus 4, A symbol that enables data analysis (a symbol that indicates the content of processing) can be added to the process data.
すなわち、本実施の形態においては、上記特許請求の範囲における記号付加部を、図3に示す手順4‐5で構成している。また、上記特許請求の範囲におけるデータ分析部を、演算装置14で構成している。また、上記特許請求の範囲における基準レシピ格納部を、演算装置14の上記内部メモリで構成している。また、上記特許請求の範囲における判断部を、図2に示す手順3‐5および手順3‐6で構成しているのである。   That is, in the present embodiment, the symbol adding section in the above claims is constituted by a procedure 4-5 shown in FIG. Further, the data analysis unit in the claims is constituted by the arithmetic device 14. Further, the reference recipe storage unit in the claims is constituted by the internal memory of the arithmetic unit 14. In addition, the determination unit in the above claims is constituted by a procedure 3-5 and a procedure 3-6 shown in FIG.
尚、上述のように処理されたプロセスデータをデータ分析する場合には、上記処理の内容を意味する記号が付加されたプロセスデータを、付加された上記記号をキーとして分割し、分割されたプロセスデータ夫々の各パラメータに関して最大値,最小値,平均値のような統計量を算出してもよい。また、分割されたプロセスデータ夫々について上述した多変量解析による特徴量を求めてもよいし、分割されたプロセスデータ夫々を上述の各種検定,判別分析,相関分析に代表される単変量の解析に使用してもよい。また、個別のプロセス別にプロセスデータが分割されているため、物理モデルによる演算式を用いた分析を行うこともできる。さらに、個別のプロセス別にプロセスデータが分割されているため、これらのプロセスデータをグラフ等で可視化して、製品ごとのプロセスデータの違いを操作者に対して提示することも容易である。   When analyzing the process data processed as described above, the process data to which the symbol indicating the contents of the processing is added is divided using the added symbol as a key, and the divided process data is processed. Statistics such as maximum value, minimum value, and average value may be calculated for each parameter of each data. In addition, the feature values obtained by the multivariate analysis described above may be obtained for each of the divided process data, or each of the divided process data may be used for univariate analysis represented by the above-described various tests, discriminant analysis, and correlation analysis. May be used. In addition, since the process data is divided for each individual process, it is possible to perform an analysis using an arithmetic expression based on a physical model. Furthermore, since the process data is divided for each individual process, it is easy to visualize these process data with a graph or the like and present the difference in the process data for each product to the operator.
以下、上記前処理について、図4の具体例に従って具体的に説明する。   Hereinafter, the pre-processing will be specifically described according to the specific example of FIG.
図4において、図4(a)に示すレシピAは、上記製造装置4を元々稼働させる際に使用されていたレシピである。また、図4(b)に示すレシピA1は、プロセス改善のためにレシピAの一部を修正したレシピである。   In FIG. 4, a recipe A shown in FIG. 4 (a) is a recipe that was used when the manufacturing apparatus 4 was originally operated. Moreover, the recipe A1 shown in FIG. 4B is a recipe in which a part of the recipe A is corrected for process improvement.
上記レシピAとレシピA1とは、図4に示すように、レシピAにおけるステップNo.2の温度上昇ステップが、レシピA1ではステップNo.2の温度上昇1とステップNo.3の温度上昇2との二つのステップに分割されている。   As shown in FIG. 4, the recipe A and the recipe A1 include a step No. 2 temperature rise step in the recipe A, a recipe No. 2 step No. 2 temperature rise 1 and a step No. 3 temperature rise 2. It is divided into two steps.
上記製造装置4のレシピAとレシピA1とにおける設定温度の時間変化は、図5に示すとおりである。尚、図5(a)は、レシピAにおける設定温度の時間変化を示す。また、図5(b)は、レシピA1における設定温度の時間変化を示す。これらレシピAとレシピA1との設定温度の時間変化でのプロセスデータをまとめて統計分析するために、レシピAとレシピA1との設定温度の時間変化での処理の結果得られたプロセスデータに対して、同一の「処理の内容を意味する記号」を付加するのである。   The time change of the set temperature in the recipe A and the recipe A1 of the manufacturing apparatus 4 is as shown in FIG. FIG. 5 (a) shows the change over time of the set temperature in Recipe A. Moreover, FIG.5 (b) shows the time change of the preset temperature in recipe A1. In order to collect and statistically analyze the process data of the recipe A and the recipe A1 with the time change of the set temperature, the process data obtained as a result of the process with the time change of the set temperature of the recipe A and the recipe A1 Thus, the same “symbol indicating the contents of the process” is added.
上記基準レシピをレシピAとする(以下、基準レシピA0と記載)(上記手順1))。その理由は、レシピAの方がレシピの構成が単純であり、レシピAを基にプロセス改善を行うためである。尚、この発明を適用する状況に応じて、基準レシピの設定を変えてもよいことは言うまでもない。   The above-mentioned standard recipe is set as recipe A (hereinafter referred to as standard recipe A0) (procedure 1)). The reason is that the recipe A has a simpler recipe and the process is improved based on the recipe A. Needless to say, the setting of the reference recipe may be changed according to the situation to which the present invention is applied.
また、上記基準ステップは、上記基準レシピA0におけるステップ3(ステップNo.3)およびステップ5(ステップNo.5)とする。さらに、図2に示す手順3‐6において、取得されたプロセスデータが基準ステップの動作条件を満たしているか否かを判別する際の上記動作条件として、設定温度とガス1〜ガス3のバルブ開閉状態とを用い、その場合の上記設定温度の許容範囲は、基準ステップ21(内容:プロセス1)の値(500℃)および基準ステップ22(内容:プロセス2)の値(300℃)に対して±10℃とする。また、上記バルブ開閉状況の許容範囲は、基準ステップ21,22と同一とする(上記手順2))。また、上記処理の内容を意味する記号として、基準レシピA0のステップ番号をそのまま付加する。   The reference steps are step 3 (step No. 3) and step 5 (step No. 5) in the reference recipe A0. Furthermore, in the procedure 3-6 shown in FIG. 2, the above-mentioned operation conditions for determining whether or not the acquired process data satisfies the operation conditions of the reference step are the set temperature and the gas 1 to gas 3 valve opening / closing. In this case, the allowable range of the set temperature is relative to the value (500 ° C.) of the reference step 21 (content: process 1) and the value (300 ° C.) of the reference step 22 (content: process 2). ± 10 ° C. The allowable range of the valve opening / closing status is the same as that of the reference steps 21 and 22 (procedure 2)). Further, the step number of the reference recipe A0 is added as it is as a symbol meaning the contents of the above processing.
これらの設定条件に従って、上記プロセスデータ処理装置13の演算装置14により、上記前処理の手順における上記手順3)および上記手順4)が、以下のようにして実行される。ここで、基準レシピA0は、予め演算装置14の上記内部メモリに格納されている。   In accordance with these setting conditions, the processing unit 14 of the process data processing device 13 executes the procedure 3) and the procedure 4) in the preprocessing procedure as follows. Here, the reference recipe A0 is stored in the internal memory of the arithmetic device 14 in advance.
先ず、上記レシピAに従って加工処理を行った場合の上記前処理について説明する。   First, the pre-processing when the processing is performed according to the recipe A will be described.
図6(a)に示すように、上記製造装置4がレシピAに従って加工処理を行った場合の1ロット(ロットNo.X001)分のプロセスデータが取得され、ステップ番号別に分割される(手順3‐1〜手順3‐3)。尚、図6(a)における「ステップNo.」は、図4(a)に示すレシピAの「ステップNo.」である。   As shown in FIG. 6A, process data for one lot (lot No. X001) when the manufacturing apparatus 4 performs processing according to recipe A is acquired and divided by step number (procedure 3). -1 to procedure 3-3). Note that “Step No.” in FIG. 6A is the “Step No.” of Recipe A shown in FIG.
上記取得されたプロセスデータが、上記「ステップNo.」の順に且つ処理順に読み出され、基準レシピA0における基準ステップ21,22のうち、基準レシピA0の「内容」に記載された基準ステップ番号が「1:プロセス1」の基準ステップ21の上記動作条件である設定温度500℃と比較される。その結果、計測温度が、上記動作条件の許容範囲内(500℃±10℃)等に入る図6(a)における「ステップNo.3」のプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号「3」と当該基準ステップ番号「1」とが互いに関連付けられて上記記録表が作成される(手順3‐4〜手順3‐7)。尚、図6(a)においては省略されているが、上記読み出されたプロセスデータと基準ステップ21との上記動作条件の比較の際には、ガス1のバルブが「開」であり、ガス2のバルブが「閉」であり、ガス3のバルブが「開」であることも比較されることは、言うまでもない。   The acquired process data is read in the order of the “step No.” and in the order of processing, and the reference step number described in the “content” of the reference recipe A0 among the reference steps 21 and 22 in the reference recipe A0 is It is compared with the set temperature of 500 ° C., which is the above operating condition of the reference step 21 of “1: Process 1”. As a result, the process data of “Step No. 3” in FIG. 6A in which the measured temperature falls within the allowable range of the above operating conditions (500 ° C. ± 10 ° C.) is selected, and the step number “ 3 ”and the reference step number“ 1 ”are associated with each other to create the recording table (procedure 3-4 to procedure 3-7). Although not shown in FIG. 6 (a), the gas 1 valve is “open” when the read process data and the reference step 21 are compared with each other in the operating conditions. Of course, it is also compared that the 2 valve is “closed” and the gas 3 valve is “open”.
以後、同様にして、次の基準ステップ番号が「2」の基準ステップ22と、「ステップNo.4」以降の各プロセスデータとの比較が順次行われ、計測温度が上記動作条件の許容範囲内(300℃±10℃)等に入るプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号と当該基準ステップ番号「2」とが互いに関連付けられて上記記録表に格納される(手順3‐8〜手順3‐11)。   Thereafter, in the same manner, the reference step 22 with the next reference step number “2” and the process data after “step No. 4” are sequentially compared, and the measured temperature is within the allowable range of the above operating conditions. Process data entering (300 ° C. ± 10 ° C.) or the like is selected, and the step number of the process data and the reference step number “2” are associated with each other and stored in the recording table (procedure 3-8 to procedure 3). 3-11).
こうして、上記ステップ番号「3」と基準ステップ番号「1」とが互いに関連付けられて記録表が作成される。   In this way, the step number “3” and the reference step number “1” are associated with each other to create a recording table.
そうすると、上記記録表が読み出され、基準レシピA0が読み出され、記録表における基準ステップ番号「1」の出現順番と基準レシピA0における基準ステップ番号「1」の基準ステップ中での出現順番とが共に「1番」で一致するので、図6(a)に示すレシピAでのプロセスデータが上記基準レシピA0に該当すると判断される。そして、図6(a)に示すように、上記記録表において基準ステップ番号「1」に対応付けられているステップ番号「3」のプロセスデータには、基準ステップ番号「1」である基準ステップ21のステップ番号「3」が「プロセスステップNo.」に書き込まれ、基準レシピA0における基準ステップ21ではないステップ(ステップ番号1,ステップ番号2,ステップ番号4)に該当するプロセスデータには、その基本動作を対応付けて、基準レシピA0のステップ番号がそのまま「プロセスステップNo.」に書き込まれる(手順4‐1〜手順4‐5)。その場合における「プロセスステップNo.」に書き込まれたプロセスステップ番号が、上記「処理の内容を意味する記号」なのである。   Then, the recording table is read out, the reference recipe A0 is read out, the appearance order of the reference step number “1” in the recording table, and the appearance order in the reference step of the reference step number “1” in the reference recipe A0. Since “No. 1” coincides with each other, it is determined that the process data in the recipe A shown in FIG. 6A corresponds to the reference recipe A0. As shown in FIG. 6A, the process data of step number “3” associated with the reference step number “1” in the recording table includes the reference step 21 having the reference step number “1”. Step number “3” is written in “Process step No.”, and the process data corresponding to the step (step number 1, step number 2, step number 4) which is not the reference step 21 in the reference recipe A0 has its basic In association with the operation, the step number of the reference recipe A0 is directly written in the “process step No.” (procedure 4-1 to procedure 4-5). In this case, the process step number written in the “process step No.” is the “symbol indicating the contents of the process”.
尚、上記説明では省略しているが、基準レシピA0には基準ステップが2つあるので、この2つの基準ステップに関する上記出現順が同じである場合に、レシピAでのプロセスデータが上記基準レシピA0でのプロセスデータに該当すると判断されることになる。   Although omitted in the above description, there are two reference steps in the reference recipe A0. Therefore, when the appearance order of the two reference steps is the same, the process data in the recipe A is the reference recipe. It is determined that the process data corresponds to A0.
次に、上記レシピA1に従って加工処理を行った場合の上記前処理について説明する。   Next, the pre-processing when the processing is performed according to the recipe A1 will be described.
図6(b)に示すように、上記製造装置4がレシピA1に従って加工処理を行った場合の1ロット(ロットNo.X101)分のプロセスデータが取得され、ステップ番号別に分割される(手順3‐1〜手順3‐3)。尚、図6(b)における「ステップNo.」は、図4(b)に示すレシピA1の「ステップNo.」である。   As shown in FIG. 6B, process data for one lot (lot No. X101) when the manufacturing apparatus 4 performs processing according to the recipe A1 is acquired and divided by step number (procedure 3). -1 to procedure 3-3). Note that the “step No.” in FIG. 6B is the “step No.” of the recipe A1 shown in FIG. 4B.
上記取得されたプロセスデータが、上記「ステップNo.」の順に且つ処理順に読み出され、基準レシピA0における基準ステップ番号が「1」の基準ステップ21の上記動作条件である設定温度500℃と比較される。その結果、計測温度が、上記動作条件の許容範囲内(500℃±10℃)等に入る図6(b)における「ステップNo.4」のプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号「4」と当該基準ステップ番号「1」とが互いに関連付けられて上記記録表が作成される(手順3‐4〜手順3‐7)。   The acquired process data is read in the order of the “step No.” and in the order of processing, and compared with the set temperature 500 ° C., which is the operating condition of the reference step 21 with the reference step number “1” in the reference recipe A0. Is done. As a result, the process data of “Step No. 4” in FIG. 6B in which the measured temperature falls within the allowable range of the above operating conditions (500 ° C. ± 10 ° C.) or the like is selected, and the step number “ 4 ”and the reference step number“ 1 ”are associated with each other to create the recording table (procedure 3-4 to procedure 3-7).
以後、同様にして、次の基準ステップ番号が「2」の基準ステップ22と、「ステップNo.5」以降の各プロセスデータとの比較が順次行われ、計測温度が上記動作条件の許容範囲内(300℃±10℃)等に入るプロセスデータが選出され、当該プロセスデータのステップ番号と当該基準ステップ番号「2」とが互いに関連付けられて上記記録表に格納される(手順3‐8〜手順3‐11)。   Thereafter, in the same manner, the reference step 22 with the next reference step number “2” is sequentially compared with the process data after “step No. 5”, and the measured temperature is within the allowable range of the above operating conditions. Process data entering (300 ° C. ± 10 ° C.) or the like is selected, and the step number of the process data and the reference step number “2” are associated with each other and stored in the recording table (procedure 3-8 to procedure 3). 3-11).
こうして、上記ステップ番号「4」と基準ステップ番号「1」とが互いに関連付けられて記録表が作成される。   In this way, the step number “4” and the reference step number “1” are associated with each other to create a recording table.
そして、上記記録表が読み出され、基準レシピA0が読み出され、記録表における基準ステップ番号「1」の出現順番と基準レシピA0における基準ステップ番号「1」の基準ステップ中での出現順番とが共に「1番」で一致するので、図6(b)に示すレシピA1でのプロセスデータが上記基準レシピA0に該当すると判断される。そして、図6(b)に示すように、上記記録表において基準ステップ番号「1」に対応付けられているステップ番号「4」のプロセスデータには、基準ステップ番号「1」である基準ステップ21のステップ番号「3」が「プロセスステップNo.」に書き込まれ、基準レシピA0における基準ステップ21ではないステップ(ステップ番号1〜ステップ番号3,ステップ番号5)に該当するプロセスデータには、その基本動作を対応付けて、基準レシピA0のステップ番号がそのまま「プロセスステップNo.」に書き込まれる(手順4‐1〜手順4‐5)。   Then, the recording table is read, the reference recipe A0 is read, the appearance order of the reference step number “1” in the recording table, and the appearance order in the reference step of the reference step number “1” in the reference recipe A0. Since “No. 1” coincides with each other, it is determined that the process data in the recipe A1 shown in FIG. 6B corresponds to the reference recipe A0. Then, as shown in FIG. 6B, the process data of the step number “4” associated with the reference step number “1” in the recording table includes the reference step 21 having the reference step number “1”. Step number “3” is written in “Process step No.”, and process data corresponding to steps (step number 1 to step number 3 and step number 5) that are not the reference step 21 in the reference recipe A0 have its basics. In association with the operation, the step number of the reference recipe A0 is directly written in the “process step No.” (procedure 4-1 to procedure 4-5).
尚、上記説明では省略しているが、基準レシピA0には基準ステップが2つあるので、この2つの基準ステップに関する上記出現順が同じである場合に、レシピA1でのプロセスデータが上記基準レシピA0でのプロセスデータに該当すると判断されることになる。   Although omitted in the above description, since there are two reference steps in the reference recipe A0, when the appearance order of the two reference steps is the same, the process data in the recipe A1 is the reference recipe. It is determined that the process data corresponds to A0.
その結果、図6(b)に示すレシピA1に従って加工処理を行った場合のプロセスデータにおける温度上昇ステップであるステップNo.3には、太線で示すごとく、ステップNo.2と同様に、図6(a)に示すレシピAに従って加工処理を行った場合のプロセスデータにおける温度上昇ステップであるステップNo.2と同じステップ番号「2」が、上記「処理の内容を意味する記号」として付加されるのである。   As a result, step No. 3, which is a temperature rise step in the process data when processing is performed according to the recipe A1 shown in FIG. 6B, is similar to step No. 2 as shown in bold line in FIG. The same step number “2” as step No. 2, which is the temperature increase step in the process data when processing is performed according to the recipe A shown in (a), is added as the above-mentioned “symbol meaning processing content”. It is.
このように、本実施の形態においては、プロセスの内容とプロセスの処理順とが同一である複数の類似レシピに関して基準となる基準レシピを設定し、この基準レシピにおける製品の性能に影響度の高い重要な1つ以上のステップを基準ステップとして設定する。   As described above, in the present embodiment, a reference recipe is set as a reference for a plurality of similar recipes having the same process content and process order, and the product performance in this reference recipe is highly influenced. One or more important steps are set as reference steps.
そして、上記プロセスデータ処理装置13の演算装置14によって、取得したプロセスデータをステップ番号別に分割し、上記基準レシピから基準ステップ番号の昇順に1つの上記基準ステップを読み出し、ステップ番号の昇順に且つ処理順に読み出された上記分割されたプロセスデータと上記読み出された基準ステップにおける上記動作条件とを順次比較し、当該基準ステップに該当するプロセスデータが選出されると、次の上記基準ステップを読み出して、上記選出されたプロセスデータ以降の各プロセスデータと上記読み出された基準ステップにおける上記動作条件とを順次比較し、当該基準ステップに該当するプロセスデータを選出する。以上の動作を最後の基準ステップあるいは最後のプロセスデータに至るまで繰り返して行われる。   Then, the obtained process data is divided into step numbers by the arithmetic unit 14 of the process data processing device 13, and one reference step is read from the reference recipe in ascending order of the reference step number, and processed in ascending order of the step number. The divided process data read in order and the operation conditions in the read reference step are sequentially compared, and when the process data corresponding to the reference step is selected, the next reference step is read. Then, each process data after the selected process data is sequentially compared with the read operation condition in the reference step, and process data corresponding to the reference step is selected. The above operation is repeated until the last reference step or the last process data is reached.
こうして、互いに該当すると判定された基準ステップの基準ステップ番号とプロセスデータのステップ番号とが対応付けられて記録された記録表が作成される。   In this way, a recording table is created in which the reference step numbers of the reference steps determined to correspond to each other and the step numbers of the process data are recorded in association with each other.
そして、上記記録表における各基準ステップ番号の出現順番と、上記基準レシピにおける各基準ステップ番号の基準ステップ中での出現順番とが一致する場合に、取得したプロセスデータが、上記基準レシピに従って加工処理を行った場合のプロセスデータである見なされる。そして、取得したプロセスデータに、処理の内容を意味する記号が付加されるのである。   When the order of appearance of each reference step number in the recording table matches the order of appearance of each reference step number in the reference recipe in the reference step, the acquired process data is processed according to the reference recipe. Is considered process data. Then, a symbol indicating the content of the process is added to the acquired process data.
したがって、同一のデータ分析が必要な複数の類似レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータにおいては、内容が同じプロセスのプロセスデータには同じ「処理の内容を意味する記号」を付加することが可能になる。そのため、演算装置14によるデータ分析時には、取得したプロセスデータを、上記ステップ番号ではなく上記付加された記号に基づいて分割すれば、レシピが異なっていても処理の内容が同じプロセスデータ別に分割することができ、データ分析が可能なプロセスデータの分割を行うことができるのである。   Therefore, in each process data when processing is performed according to a plurality of similar recipes that require the same data analysis, the same “symbol indicating the content of the process” is added to the process data of the same process Is possible. Therefore, at the time of data analysis by the arithmetic unit 14, if the acquired process data is divided based on the added symbol instead of the step number, the process contents are divided by the same process data even if the recipe is different. The process data that can be analyzed can be divided.
そのため、多品種少量生産を行う生産工程で用いられる製造装置や、プロセス改善等を目的として変更の頻度が高い生産工程で用いられる製造装置のごとく、レシピの変更頻度が高い製造装置の場合であっても、この変更された各レシピを類似レシピと見なすことができる場合には、上記変更された各レシピに従って加工処理を行った場合の各プロセスデータに、上述したプロセスデータ処理装置13によるプロセスデータ処理を行うことによって、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを収集することができるのである。   Therefore, this is the case for manufacturing equipment with a high recipe change frequency, such as manufacturing equipment used in production processes that produce small quantities of various products, and manufacturing equipment that is used in production processes that are frequently changed for the purpose of process improvement. However, if each changed recipe can be regarded as a similar recipe, the process data by the process data processing device 13 described above is added to each process data when processing is performed according to each changed recipe. By performing processing, it is possible to collect a number of process data that can be analyzed with high accuracy.
尚、上記実施の形態においては、上記基準レシピと取得したプロセスデータとを比較することによって、互いに該当すると判定された基準ステップの基準ステップ番号とプロセスデータのステップ番号とが対応付けられた記録表を作成し、この記録表を参照して上記処理の内容を意味する記号が付加するようにしている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、製造装置4で用いるレシピを作成した際に、当該レシピのステップ番号とそのステップ番号での製造装置4による処理の内容を意味する記号とを関連付けた表を予め作成して、例えば演算装置14の上記内部メモリに格納しておく。そして、演算装置14によって、上記表を参照することにより、収集されたプロセスデータに、予め付加されている上記ステップ番号に関連付けて上記記号を付加することも可能である。   In the above embodiment, the record table in which the reference step number of the reference step determined to correspond to each other and the step number of the process data are associated with each other by comparing the reference recipe with the acquired process data. Is created, and a symbol indicating the contents of the above processing is added with reference to this recording table. However, the present invention is not limited to this, and when a recipe used in the manufacturing apparatus 4 is created, a step number of the recipe and a sign indicating the content of processing by the manufacturing apparatus 4 at the step number are displayed. An associated table is created in advance and stored in the internal memory of the arithmetic device 14, for example. Then, the symbol can be added to the collected process data in association with the step number added in advance by referring to the table by the arithmetic unit 14.
・第2実施の形態
本実施の形態における生産工程、製造プロセス部および製造装置の構成は実施の形態1と同一のものである。なお、本実施の形態において、実施の形態1と同じ内容については説明を省略する。
Second Embodiment The configurations of the production process, manufacturing process unit, and manufacturing apparatus in the present embodiment are the same as those in the first embodiment. In the present embodiment, the description of the same contents as in the first embodiment is omitted.
本実施の形態は、上記製造装置4の稼働時に使用されるレシピに、予め「処理の内容を意味する記号」を設定しておくことによって、「処理の内容を意味する記号」が予め付加されているプロセスデータを製造装置4から出力可能にするものである。   In the present embodiment, a “symbol meaning processing content” is added in advance to a recipe used when the manufacturing apparatus 4 is operated, in advance by setting a “symbol meaning processing content”. The process data can be output from the manufacturing apparatus 4.
すなわち、本実施の形態においては、上記レシピを作成するに当たって、予めデータ分析用の基準レシピを設定しておく。その場合、上記基準レシピにおける各ステップは、総てデータ分析のためのステップであるから、上記基準レシピのステップ番号は「処理の内容を意味する記号」として機能することになる。   That is, in the present embodiment, a reference recipe for data analysis is set in advance when creating the recipe. In this case, since each step in the reference recipe is a step for data analysis, the step number of the reference recipe functions as a “symbol meaning processing content”.
一方、作成するレシピには、設定項目として「データ分析用ステップ番号」を書き込む欄を設けておく。そして、レシピ作成時に、データ分析のためのステップにおける上記欄に「データ分析用ステップ番号」を設定するのである。さらに、全ステップに付与するステップ番号は、自動的に1から順に付加する。   On the other hand, a column for writing “data analysis step number” as a setting item is provided in the recipe to be created. Then, at the time of creating the recipe, the “data analysis step number” is set in the above-mentioned column in the step for data analysis. Furthermore, step numbers assigned to all steps are automatically added in order from 1.
ここで、作成するレシピにおけるデータ分析用ステップ番号は、レシピを作成した後に自動的に設定することも可能である。そうすることによって、レシピの変更頻度が高い製造装置4に対する操作者によるレシピの入力操作の省力化と、入力間違いの防止とを図ることができる。   Here, the step number for data analysis in the recipe to be created can be automatically set after the recipe is created. By doing so, labor saving of the input operation of the recipe by the operator with respect to the manufacturing apparatus 4 with a high change frequency of a recipe and prevention of an input mistake can be aimed at.
以下、上記データ分析用ステップ番号の自動設定について説明する。上記データ分析用ステップ番号の自動設定は、プロセスデータ処理装置13の演算装置14によって、上記第1実施の形態における手順3)および手順4)に相当する処理を実行することにより行うことができる。その場合、上記基準レシピの全ステップを上記第1実施の形態の手順3)および手順4)における基準ステップと見なし、つまり、基準レシピの全ステップ番号を上記手順3)および手順4)における基準ステップ番号と見なす一方、作成するレシピの各ステップを上記手順3)および手順4)における各ステップのプロセスデータと見なせば良い。また、作成するレシピの各ステップが基準レシピの各基準ステップに該当しているか否かを判定するための動作条件の許容範囲も、予め設定されている。   The automatic setting of the data analysis step number will be described below. The automatic setting of the data analysis step number can be performed by executing the processing corresponding to the procedure 3) and the procedure 4) in the first embodiment by the arithmetic device 14 of the process data processing device 13. In that case, all the steps of the reference recipe are regarded as the reference steps in the procedures 3) and 4) of the first embodiment, that is, all the step numbers of the reference recipe are the reference steps in the procedures 3) and 4). On the other hand, each step of the recipe to be created may be regarded as process data of each step in the procedures 3) and 4). In addition, an allowable range of operation conditions for determining whether each step of the recipe to be created corresponds to each reference step of the reference recipe is also set in advance.
以下、図2および図3のフローチャートを参照して、上記演算装置14によるデータ分析用ステップ番号の自動設定について、簡単に説明する。ここで、上述のように設定された基準レシピと、作成中のレシピであって上記データ分析用ステップ番号が未設定のレシピ(以下、作成レシピと記載)とが、第2入力装置18から入力されて、演算装置14の上記内部メモリに格納されている。   The automatic setting of the data analysis step number by the arithmetic unit 14 will be briefly described below with reference to the flowcharts of FIGS. Here, the reference recipe set as described above and the recipe that is being created and the data analysis step number is not set (hereinafter referred to as a created recipe) are input from the second input device 18. And stored in the internal memory of the arithmetic unit 14.
上記演算装置14の上記内部メモリ等に設定されているステップ番号の格納領域および基準ステップ番号の格納領域に「0」が書き込まれて、ステップ番号および基準ステップ番号がクリアされる(図2の手順3‐1に相当)。ステップ番号および基準ステップ番号が「1」に設定される(図2の手順3‐4に相当)。上記内部メモリから、上記作成レシピの上記設定されたステップ番号のステップにおける動作条件が読み出され、上記設定された基準ステップ番号の基準ステップにおける上記動作条件と比較される(図2の手順3‐5に相当)。上記比較の結果に基づいて、読み出された当該ステップの動作条件が当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしているか否かが判別される(図2の手順3‐6に相当)。   "0" is written in the step number storage area and the reference step number storage area set in the internal memory or the like of the arithmetic unit 14 to clear the step number and the reference step number (procedure of FIG. 2). Equivalent to 3-1.) The step number and the reference step number are set to “1” (corresponding to the procedure 3-4 in FIG. 2). The operation condition at the step of the set step number of the created recipe is read from the internal memory and compared with the operation condition at the reference step of the set reference step number (procedure 3-in FIG. 2). Equivalent to 5). Based on the result of the comparison, it is determined whether or not the read operation condition of the step satisfies the allowable range of the operation condition of the reference step (corresponding to the procedure 3-6 in FIG. 2).
上記判別の結果、満たしている場合には、当該基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしている(つまり、当該基準ステップに該当する)と判定された当該ステップのステップ番号と、当該基準ステップの基準ステップ番号とが互いに関連付けられて、上記内部メモリ等に記録表として記録される(図2の手順3‐7に相当)。次の基準ステップとの比較に移行するために基準ステップ番号がインクリメントされる(図2の手順3‐8に相当)。   As a result of the determination, if the condition is satisfied, the step number of the step determined to satisfy the allowable range of the operation condition of the reference step (i.e., corresponding to the reference step) and the reference step Are recorded as a recording table in the internal memory or the like (corresponding to procedure 3-7 in FIG. 2). The reference step number is incremented to shift to the comparison with the next reference step (corresponding to the procedure 3-8 in FIG. 2).
上記基準ステップ番号がインクリメントされると、あるいは、上記読み出されたステップの動作条件が基準ステップの上記動作条件の許容範囲を満たしていない場合には、全基準ステップについて判定が終了したか否かが判別される(図2の手順3‐9に相当)。その結果、終了していれば上記図2の手順3)に相当する処理が終了される。   Whether the determination is completed for all the reference steps when the reference step number is incremented or when the operation condition of the read step does not satisfy the allowable range of the operation condition of the reference step Is determined (corresponding to step 3-9 in FIG. 2). As a result, if completed, the process corresponding to the procedure 3) in FIG. 2 is completed.
全基準ステップについて判定が終了していなければ、ステップ番号に基づいて、上記作成レシピの全ステップについて判定が終了したか否かが判別される(図2の手順3‐10に相当)。その結果、終了していれば上記図2の手順3)に相当する処理が終了される。全ステップについて判定が終了していなければ、次のステップのプロセスデータの判定を行うために、ステップ番号がインクリメントされる(図2の手順3‐11に相当)。   If the determination has not been completed for all the reference steps, it is determined based on the step number whether or not the determination has been completed for all the steps of the created recipe (corresponding to procedure 3-10 in FIG. 2). As a result, if completed, the process corresponding to the procedure 3) in FIG. 2 is completed. If the determination has not been completed for all steps, the step number is incremented in order to determine the process data of the next step (corresponding to procedure 3-11 in FIG. 2).
そうした後、次のステップ番号のステップに対する処理に移行する。そして、全基準ステップについて判定が終了したと判別されると、あるいは、全ステップについて判定が終了したと判別されると、上記図2の手順3)に相当する処理が終了される。   After that, the process proceeds to the process for the next step number. When it is determined that the determination has been completed for all the reference steps, or when it has been determined that the determination has been completed for all the steps, the processing corresponding to the procedure 3) in FIG. 2 is ended.
こうして、上記図2の手順3)に相当する処理が終了すると、上記図3の手順4)に相当する処理がスタートする。   Thus, when the process corresponding to the procedure 3) in FIG. 2 is completed, the process corresponding to the procedure 4) in FIG. 3 is started.
上記図2の手順3)に相当する処理で作成された上記記録表が読み出される(図3の手順4‐1に相当)。上記記録表の基準ステップ番号に対応する基準レシピが読み出される(図3の手順4‐2に相当)。上記読み出された記録表における基準ステップ番号の出現順番と、上記読み出された基準レシピにおける基準ステップ番号の出現順番とが、比較される(図3の手順4‐3に相当)。上記比較の結果、上記記録表と上記基準レシピとの基準ステップの出現順番が一致しているか否かが判別される(図3の手順4‐4に相当)。   The recording table created by the process corresponding to the procedure 3) in FIG. 2 is read (corresponding to the procedure 4-1 in FIG. 3). A reference recipe corresponding to the reference step number in the recording table is read (corresponding to procedure 4-2 in FIG. 3). The appearance order of the reference step numbers in the read record table is compared with the appearance order of the reference step numbers in the read reference recipe (corresponding to procedure 4-3 in FIG. 3). As a result of the comparison, it is determined whether or not the appearance order of the reference steps in the recording table and the reference recipe matches (corresponding to procedure 4-4 in FIG. 3).
上記判別の結果、一致している場合には、上記基準レシピに一致すると判断された上記記録表に関する各ステップ番号のステップにおいて、「データ分析用ステップ番号」の設定欄に、「データ分析用ステップ番号」として、処理の内容を意味する記号である上記基準レシピの各ステップ番号が付加される(図3の手順4‐5に相当)。そうした後、上記手順4)に相当する処理が終了される。   As a result of the determination, if they match, in the step of each step number related to the recording table determined to match the reference recipe, in the setting column of “data analysis step number”, “data analysis step As the “number”, each step number of the reference recipe, which is a symbol indicating the content of the process, is added (corresponding to the procedure 4-5 in FIG. 3). After that, the process corresponding to the procedure 4) is finished.
こうすることによって、上記作成レシピにおけるデータ分析のためのステップに、「データ分析用ステップ番号」を自動的に設定することができるのである。   By doing so, the “data analysis step number” can be automatically set to the step for data analysis in the created recipe.
こうして作成されたレシピは、上記演算装置14から、通信装置11を介して製造装置4の制御装置8に送信される。そうすると、制御装置8によって上記内部メモリに上記作成レシピが格納される。そして、制御装置8によって上記作成レシピに従って各種コンポーネント7が制御され、各種コンポーネント7によって処理室5内の処理条件が設定されて各種加工処理が行われるのである。   The recipe created in this way is transmitted from the arithmetic device 14 to the control device 8 of the manufacturing device 4 via the communication device 11. Then, the created recipe is stored in the internal memory by the control device 8. Then, the various components 7 are controlled by the control device 8 in accordance with the creation recipe, and various processing processes are performed by setting the processing conditions in the processing chamber 5 by the various components 7.
こうして、上記作成レシピに従って稼働している製造装置4のプロセスデータは、制御装置8を介してデータ収集装置12によって収集される。その場合に、本実施の形態におけるプロセスデータには、制御装置8によって上記作成レシピを参照して、上記作成レシピのステップ番号に加えて、上記作成レシピに設定されている処理の内容を意味する記号としての「データ分析用ステップ番号」が付加される。   In this way, the process data of the manufacturing apparatus 4 operating according to the creation recipe is collected by the data collection apparatus 12 via the control apparatus 8. In that case, the process data in the present embodiment refers to the contents of the processing set in the created recipe in addition to the step number of the created recipe by referring to the created recipe by the control device 8. A “data analysis step number” is added as a symbol.
すなわち、本実施の形態においては、上記特許請求の範囲における上記信号付加部を、制御装置8で構成する。つまり、上記信号付加部を、製造装置4に一体化させているのである。   That is, in the present embodiment, the signal adding unit in the claims is configured by the control device 8. That is, the signal adding unit is integrated with the manufacturing apparatus 4.
したがって、このように上記「データ分析用ステップ番号」を付加したプロセスデータに対してデータ分析を行う場合には、演算装置14は、上記第1実施の形態のごとく、取得したプロセスデータに対して処理の内容を意味する記号を付加する前処理を行う必要がなく、「データ分析用ステップ番号」によってプロセスデータを分割し分類するだけで、高い精度のデータ分析が可能な数のプロセスデータを取得することができるのである。   Therefore, when performing data analysis on the process data to which the “data analysis step number” is added in this way, the arithmetic unit 14 applies the acquired process data to the acquired process data as in the first embodiment. There is no need to perform pre-processing to add a symbol that indicates the content of the process, and only by dividing and classifying process data according to `` step number for data analysis '', the number of process data that can be analyzed with high accuracy can be obtained. It can be done.
尚、上記実施の形態においては、上記製造装置4における制御装置8の上記内部メモリに、上記「処理の内容を意味する記号」である上記基準レシピの各ステップ番号が付加された上記レシピを格納し、このレシピに従って加工処理を行うことによって、上記「処理の内容を意味する記号」が付加されたプロセスデータを収集可能にしている。しかしながら、この発明はこれに限定されるものではなく、製造装置4で用いるレシピを作成した際に、当該レシピのステップ番号とそのステップ番号での「製造装置4による処理の内容を意味する記号」とを関連付けた表を予め作成して、例えば制御装置8の上記内部メモリに格納しておく。そして、制御装置8によって、収集されたプロセスデータに上記ステップ番号を付加した後に、上記表を参照することによって、上記ステップ番号に関連付けて上記記号を付加することも可能である。   In the above embodiment, the recipe to which each step number of the reference recipe, which is the “symbol indicating the contents of the process”, is stored in the internal memory of the control device 8 in the manufacturing apparatus 4. Then, by performing the processing according to this recipe, it is possible to collect process data to which the above-mentioned “symbols meaning the contents of processing” is added. However, the present invention is not limited to this, and when a recipe used in the manufacturing apparatus 4 is created, the step number of the recipe and the “sign representing the contents of processing by the manufacturing apparatus 4” at the step number. Are created in advance and stored in the internal memory of the control device 8, for example. Then, after adding the step number to the collected process data by the control device 8, it is possible to add the symbol in association with the step number by referring to the table.
本発明のプロセスデータ処理装置によれば、レシピの変更が頻繁に発生する製造装置において、実際のプロセス処理の内容が類似している類似レシピによって加工処理が行われた際に、まとめてデータ分析を実施する必要のある類似レシピによるプロセスデータに、処理の内容を意味する記号を付加することが可能になる。したがって、上記製造装置の異常検知や不良発生時の要因分析を目的としたプロセスデータの分析の際に、取得したプロセスデータを上記記号で分割することによって、データ分析が可能となるデータ数を増やすことができる。これによって、データ分析の精度や適用範囲が拡大されるため、製品の特性や歩留りの改善にデータ分析を活用することが可能となる。このように、生産工程の高品質や高歩留りな稼動が可能となるために、本発明は非常に有用である。   According to the process data processing apparatus of the present invention, in a manufacturing apparatus in which recipe changes frequently occur, when processing is performed by a similar recipe in which the actual process processing is similar, data analysis is performed collectively. It is possible to add a symbol representing the content of the process to process data based on a similar recipe that needs to be executed. Therefore, when analyzing the process data for the purpose of detecting the abnormality of the manufacturing apparatus and analyzing the cause of failure, the obtained process data is divided by the above symbols to increase the number of data that can be analyzed. be able to. As a result, the accuracy and application range of data analysis are expanded, so that data analysis can be used to improve product characteristics and yield. Thus, the present invention is very useful because it enables high-quality production processes and high-yield operation.
1…生産工程、
2…製造プロセス部、
3…検査プロセス部、
4…製造装置、
5…処理室、
6…前室、
7…各種コンポーネント、
8…制御装置、
9…第1表示装置、
10…第1入力装置、
11…通信装置、
12…データ収集装置、
13…プロセスデータ処理装置、
14…演算装置、
15…外部データベース、
16…外部情報系、
17…第2表示装置、
18…第2入力装置、
21,22…基準ステップ。
1 ... Production process,
2 ... Manufacturing process department,
3 ... Inspection process department,
4 ... Manufacturing equipment,
5 ... processing chamber,
6… The front room,
7 ... various components,
8 ... Control device,
9 ... 1st display apparatus,
10 ... 1st input device,
11: Communication device,
12 ... Data collection device,
13 ... Process data processing device,
14 ... arithmetic unit,
15 ... External database,
16 ... External information system,
17 ... second display device,
18 ... second input device,
21, 22 ... Reference steps.

Claims (10)

  1. 部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを収集するデータ収集部と、
    上記データ収集部によって収集された上記プロセスデータに、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加部と、
    上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析部と
    を備え、
    上記記号付加部は、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理装置。
    In a manufacturing apparatus that performs a process that is a processing process on a member, process data including measurement data at the time of the process and process condition setting data that is a condition of the process is collected before and after the process. A data collection unit to
    A symbol adding unit for adding a symbol indicating the content of processing by the manufacturing apparatus at the time of collecting the process data to the process data collected by the data collecting unit;
    A data analysis unit that divides the process data to which the symbol is added based on the symbol and analyzes the divided process data;
    The symbol adding unit is a number added to the process data, and any operation step when the manufacturing apparatus sequentially performs the process and condition setting for setting the process condition. A process data processing apparatus, wherein the process data is added in association with a step number indicating whether or not the process data is collected in (1).
  2. 請求項1に記載のプロセスデータ処理装置において、
    上記プロセスデータ収集部は、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に上記プロセスデータを収集する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理装置。
    The process data processing apparatus according to claim 1,
    The process data collecting unit collects the process data periodically at a predetermined time interval when the manufacturing apparatus sets the process and the process conditions are set. .
  3. 請求項1あるいは請求項2に記載のプロセスデータ処理装置において、
    上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を格納する表格納部を備え、
    上記記号付加部は、上記表を参照することによって、上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理装置。
    In the process data processing apparatus according to claim 1 or 2,
    A table storage unit for storing a table in which the step number and the symbol are associated with each other;
    The symbol adding unit adds the symbol in association with the step number by referring to the table.
  4. 請求項1あるいは請求項2に記載のプロセスデータ処理装置において、
    1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、基準となる上記動作ステップである基準ステップと上記記号とが関連付けられている基準レシピを格納する基準レシピ格納部と、
    上記基準レシピを参照して、上記各プロセスデータが上記基準レシピの基準ステップにおける動作条件を満たしているか否かを判断することによって、上記各プロセスデータが当該基準ステップに該当するか否かを判断する判断部と
    を備え、
    上記記号付加部は、上記判断部によって、上記プロセスデータが上記基準ステップに該当すると判断された場合に、上記基準レシピを参照して、当該基準ステップに関連付けられている上記記号を、当該プロセスデータに、当該プロセスデータの上記ステップ番号に関連付けて付加する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理装置。
    In the process data processing apparatus according to claim 1 or 2,
    A recipe for defining operating conditions of the manufacturing apparatus in each operation step related to one or more processes and one or more condition settings, wherein a reference step that is the reference operation step and the symbol are associated with each other. A standard recipe storage unit for storing the standard recipe
    Referring to the reference recipe, it is determined whether or not each process data corresponds to the reference step by determining whether or not each process data satisfies an operation condition in the reference step of the reference recipe. And a determination unit to
    The symbol adding unit refers to the reference recipe when the determination unit determines that the process data corresponds to the reference step, and converts the symbol associated with the reference step to the process data. The process data processing apparatus, wherein the process data is added in association with the step number.
  5. 請求項1に記載のプロセスデータ処理装置において、
    少なくとも上記データ収集部および上記記号付加部は、上記製造装置に一体化されている
    ことを特徴とするプロセスデータ処理装置。
    The process data processing apparatus according to claim 1,
    At least the data collection unit and the symbol addition unit are integrated with the manufacturing apparatus.
  6. 請求項5に記載のプロセスデータ処理装置において、
    上記製造装置は、1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、上記各動作ステップには上記記号が付加されているレシピに従って、上記プロセスおよび上記条件設定を行っており、
    上記記号付加部は、上記レシピを参照して、上記各プロセスデータに上記記号を付加する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理装置。
    In the process data processing apparatus according to claim 5,
    The manufacturing apparatus is a recipe that defines operating conditions of the manufacturing apparatus in each operation step related to one or more processes and one or more condition settings, and the symbols are added to the operation steps. The above process and the above conditions are set according to the recipe
    The symbol adding unit adds the symbol to each process data with reference to the recipe.
  7. 部材に対して加工処理であるプロセスを行う製造装置において、上記プロセス中と上記プロセスの前後とに、上記プロセス時における計測データおよび上記プロセスの条件であるプロセス条件の設定データを含むプロセスデータを、データ収集部によって収集するプロセスデータ収集手順と、
    上記プロセスデータに、記号付加部によって、上記プロセスデータの収集時における上記製造装置による処理の内容を意味する記号を付加する記号付加手順と、
    データ分析部によって、上記記号が付加されたプロセスデータを上記記号に基づいて分割し、この分割されたプロセスデータを分析するデータ分析手順と
    を備え、
    上記記号付加手順では、上記記号を、上記プロセスデータに付加されている番号であって、上記製造装置が上記プロセスと上記プロセスの条件を設定する条件設定とを順次行った場合における何れの動作ステップで収集されたプロセスデータであるかを表すステップ番号に関連付けて付加する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理方法。
    In a manufacturing apparatus that performs a process that is a processing process on a member, process data including measurement data at the time of the process and process condition setting data that is a condition of the process before and after the process, Process data collection procedure to be collected by the data collection unit,
    A symbol addition procedure for adding a symbol indicating the content of processing by the manufacturing apparatus at the time of collecting the process data to the process data by the symbol addition unit;
    A data analysis step of dividing the process data to which the symbol is added by the data analysis unit based on the symbol and analyzing the divided process data;
    In the symbol addition procedure, any operation step when the symbol is a number added to the process data and the manufacturing apparatus sequentially performs the process and condition setting for setting the process condition. A process data processing method, wherein the process data is added in association with a step number indicating whether or not the process data is collected in (1).
  8. 請求項7に記載のプロセスデータ処理方法において、
    上記プロセスデータ収集手順では、上記製造装置が上記プロセス時および上記プロセス条件の設定時である条件設定時に、所定の時間間隔で周期的に上記プロセスデータを収集する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理方法。
    The process data processing method according to claim 7, wherein
    In the process data collection procedure, the process data is collected periodically at a predetermined time interval when the manufacturing apparatus sets the process and the process conditions are set. .
  9. 請求項7あるいは請求項8に記載のプロセスデータ処理方法において、
    上記記号付加手順では、上記ステップ番号と上記記号とを関連付けた表を参照することによって、上記製造装置から出力された上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する、あるいは、上記製造装置から出力される前の上記プロセスデータに上記記号を上記ステップ番号に関連付けて付加する
    ことを特徴とするプロセスデータ処理方法。
    In the process data processing method according to claim 7 or claim 8,
    In the symbol addition procedure, the symbol is added in association with the step number to the process data output from the manufacturing apparatus by referring to a table in which the step number is associated with the symbol, or the manufacturing is performed. A process data processing method, wherein the symbol is added in association with the step number to the process data before being output from an apparatus.
  10. 請求項7あるいは請求項8に記載のプロセスデータ処理方法において、
    上記記号と上記ステップ番号との関連付けを、
    1つ以上の上記プロセスおよび1つ以上の上記条件設定に関する各動作ステップにおける上記製造装置の動作条件を規定するレシピであって、プロセスの内容とプロセスの進行順とが略同一である類似レシピに基づいて上記製造装置における動作条件の基準となる基準レシピを設定する第1の手順と、
    上記基準レシピを構成する上記動作ステップのうちの一部あるいは全てを上記製造装置における動作ステップの基準となる基準ステップと設定し、各基準ステップにおける上記製造装置の動作条件を定める第2の手順と、
    上記プロセスデータ収集手順によって収集されたプロセスデータに関して、上記基準レシピにおける上記動作ステップの進行順に、各プロセスデータが上記基準ステップの動作条件に該当するか否かを判断することによって、上記基準ステップに該当するプロセスデータを検出する第3の手順と、
    上記検出されたプロセスデータに該当する上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番が、上記基準レシピにおける上記基準ステップの処理の進行方向への出現順番と同じであれば、上記収集されたプロセスデータのステップ番号に上記記号を関連付ける第4の手順と
    によって行う
    ことを特徴とするプロセスデータの処理方法。
    In the process data processing method according to claim 7 or claim 8,
    The association between the above symbol and the above step number
    A recipe that defines operating conditions of the manufacturing apparatus in each operation step relating to one or more of the processes and one or more of the condition settings, and is similar to a recipe that has substantially the same process content and process progression order. A first procedure for setting a reference recipe as a reference for operating conditions in the manufacturing apparatus,
    A second procedure for setting a part or all of the operation steps constituting the reference recipe as a reference step which is a reference for the operation step in the manufacturing apparatus, and for determining an operation condition of the manufacturing apparatus in each reference step; ,
    With respect to the process data collected by the process data collection procedure, it is determined whether or not each process data meets the operation conditions of the reference step in the order of the operation steps in the reference recipe. A third procedure for detecting the corresponding process data;
    If the order of appearance of the process of the reference step corresponding to the detected process data in the progress direction of the reference step is the same as the order of appearance of the process of the reference step in the process direction of the reference recipe, the collected process A process data processing method, characterized in that it is performed by a fourth procedure for associating the symbol with a data step number.
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