JP2012092010A - Glass processing apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass processing apparatus achieving simplification and space saving, where a panel fabricated by pasting two sheets of glass substrate together is divided into panels of the product size.SOLUTION: This glass processing apparatus is characterized in that the breaker 607 is converted into a rotary pressurizing wheel type glass substrate divider from conventional bar type glass substrate divider, so that the structure has both a scriber 602 and a breaker 607 of the glass substrate, and the apparatus can perform both scribing treatment and breaking treatment by one machine.

Description

本発明は液晶パネル、無機発光パネル、有機発光パネルなど、2枚のガラス基板を張り合わせて作製されているパネルを分断、加工するためのガラス加工装置に関する。 The present invention relates to a glass processing apparatus for dividing and processing a panel produced by bonding two glass substrates, such as a liquid crystal panel, an inorganic light emitting panel, and an organic light emitting panel.
液晶パネル、有機発光パネル、無機発光パネルなどは、シール剤を用いて2枚のガラス基板を所定のギャップで貼り合わせて形成されている。これらのパネルを製品サイズに分割するためにはガラススクライバーにてスクライブラインを刻み、上下を反転させてスクライブラインの直上からブレイクマシンにて押圧し、ガラスを僅かながらV字形状に湾曲させることにより、スクライブ時に生じた垂直クラックをさらに成長させて分断(ブレイク)する。この処理を表裏に行うことにより、製品サイズに分割することができ、個々の表示装置として提供される。
その装置構成と動作を図4〜図8を用いて説明する。なお、同じ装置の同じ部分は図が異なっていても同じ番号を用いることとする。
Liquid crystal panels, organic light-emitting panels, inorganic light-emitting panels, and the like are formed by bonding two glass substrates with a predetermined gap using a sealant. In order to divide these panels into product sizes, scribe lines are engraved with a glass scriber, turned upside down and pressed with a break machine from directly above the scribe lines, and the glass is slightly bent into a V shape. Then, the vertical cracks generated at the time of scribing are further grown to break. By performing this process on the front and back, it can be divided into product sizes and provided as individual display devices.
The apparatus configuration and operation will be described with reference to FIGS. Note that the same number is used for the same part of the same device even if the drawings are different.
給材ステージ101よりパネルが第1ガラススクライバー102のステージTS1上に搬送され、真空吸着によりステージTS1上に吸引固定される。パネルに形成されているアライメントマークを、2台のCCDカメラ203で認識して、パネルの位置ずれの検出を行い、ステージTS1の位置、角度の修正が行われる。チップホルダー301が取り付けられた、スクライブヘッド202が下降してきて、所定圧で押圧したまま、スクライブヘッド202をガイドレール201に沿って移動させることにより、パネルの第1ガラス基板G1にX方向のスクライブラインSX1が刻まれ、スクライブヘッド202が上昇する。その後、第1ガラススクライバー102のステージTS1が90度回転し、ガイドラインの方向がパネルに対し、X軸方向からY軸方向に入れ替わる。スクライブヘッド202が下降して、所定圧を押圧したまま、スクライブヘッド202をガイドレール201に沿って移動させることにより、パネルの第1ガラス基板G1にY方向のスクライブラインSY1が刻まれスクライブヘッド202が上昇する。 The panel is conveyed from the supply stage 101 onto the stage TS1 of the first glass scriber 102, and is sucked and fixed onto the stage TS1 by vacuum suction. The alignment marks formed on the panel are recognized by the two CCD cameras 203, the panel displacement is detected, and the position and angle of the stage TS1 are corrected. The scribe head 202 attached with the chip holder 301 is lowered and moved along the guide rail 201 while being pressed at a predetermined pressure, so that the scribe head 202 in the X direction is scribed on the first glass substrate G1 of the panel. Line SX1 is engraved and scribe head 202 rises. Thereafter, the stage TS1 of the first glass scriber 102 rotates 90 degrees, and the direction of the guideline is switched from the X-axis direction to the Y-axis direction with respect to the panel. While the scribe head 202 is lowered and the predetermined pressure is pressed, the scribe head 202 is moved along the guide rail 201, whereby a scribe line SY1 in the Y direction is engraved on the first glass substrate G1 of the panel. Rises.
第1ガラススクライバー102により、スクライブラインSX1、SY1が刻まれたパネルは、反転機103により上下が反転され、第1ブレイクマシン104のステージTB1上にセットされ、真空吸着によりステージTB1上に吸引固定される。パネルに形成されているアライメントマークを、2台のCCDカメラ402で認識して、パネルの位置ずれの検出を行い、テーブルTB1の位置、角度の修正が行われる。そして、ブレイクバー403の直下に第1ガラス基板G1のX方向のスクライブラインSX1がくるようにステージTB1を移動して、第2ガラス基板G2の上方からブレイクバー403を下降させることにより、第1ガラス基板G1がスクライブラインSX1の箇所で分断される。第1ブレイクマシン104のステージTB1が90度回転して、ガイドラインの方向がパネルに対し、X軸方向からY軸方向に入れ替わる。ブレイクバー404の直下に第1ガラス基板G1のY方向のスクライブラインSY1がくるようにステージTB1を移動して、第2ガラス基板G2の上方からブレイクバー404を下降させることにより、第1ガラス基板G1がスクライブラインSY1の箇所で分断される。 The panel on which the scribe lines SX1 and SY1 are engraved by the first glass scriber 102 is turned upside down by the reversing machine 103, set on the stage TB1 of the first break machine 104, and sucked and fixed on the stage TB1 by vacuum suction. Is done. The alignment marks formed on the panel are recognized by the two CCD cameras 402, the panel displacement is detected, and the position and angle of the table TB1 are corrected. Then, the stage TB1 is moved so that the scribe line SX1 in the X direction of the first glass substrate G1 comes directly under the break bar 403, and the break bar 403 is lowered from above the second glass substrate G2, whereby the first The glass substrate G1 is divided at the scribe line SX1. The stage TB1 of the first break machine 104 rotates 90 degrees, and the direction of the guideline is switched from the X axis direction to the Y axis direction with respect to the panel. The stage TB1 is moved so that the Y-direction scribe line SY1 of the first glass substrate G1 comes directly under the break bar 404, and the break bar 404 is lowered from above the second glass substrate G2, thereby the first glass substrate. G1 is split at the scribe line SY1.
つづいてパネルは中間テーブル105を経由して第2スクライバー106のステージTS2にセットされ、真空吸着によりステージTS2上に吸引固定される。パネルに形成されているアライメントマークを、2台のCCDカメラ203で認識して、パネルの位置ずれの検出を行い、テーブルTS2の位置、角度の修正が行われる。チップホルダー301が取り付けられた、スクライブヘッド202が下降してきて、所定圧で押圧したまま、スクライブヘッド202をガイドレール201に沿って移動させることにより、パネルの第2ガラス基板G1にX方向のスクライブラインSX2が刻まれスクライブヘッド202が上昇する。その後、第2ガラススクライバー106のステージTS2が90度回転し、ガイドラインの方向がパネルに対し、X軸方向からY軸方向に入れ替わる。その後、スクライブヘッドが下降して、所定圧で押圧したまま、スクライブヘッド202をガイドレール201に沿って移動させることにより、パネルの第2ガラス基板G2にY方向のスクライブラインSY2が刻まれスクライブヘッド202が上昇する。 Subsequently, the panel is set on the stage TS2 of the second scriber 106 via the intermediate table 105, and is sucked and fixed onto the stage TS2 by vacuum suction. The alignment marks formed on the panel are recognized by the two CCD cameras 203, the panel displacement is detected, and the position and angle of the table TS2 are corrected. The scribing head 202 with the chip holder 301 attached is lowered and moved along the guide rail 201 while pressing with a predetermined pressure, so that the scribing in the X direction is performed on the second glass substrate G1 of the panel. Line SX2 is engraved and scribe head 202 is raised. Thereafter, the stage TS2 of the second glass scriber 106 is rotated by 90 degrees, and the direction of the guideline is switched from the X-axis direction to the Y-axis direction with respect to the panel. Thereafter, the scribe head descends and is pressed with a predetermined pressure, and the scribe head 202 is moved along the guide rail 201, whereby a Y-direction scribe line SY2 is engraved on the second glass substrate G2 of the panel. 202 rises.
第2ガラススクライバー106により、スクライブラインSX2、SY2が刻まれたパネルは、反転機103により上下が反転され、第2ブレイクマシン107のステージTB2にセットされ、真空吸着によりステージTB2上に吸引固定される。パネルに形成されているアライメントマークを、2台のCCDカメラ203で認識して、パネルの位置ずれの検出を行い、テーブルTB2の位置、角度の修正が行われる。そして、ブレイクバー403の直下に第2ガラス基板G2のX方向のスクライブラインSX2がくるようにステージTB2を移動して、第1ガラス基板G1の上方からブレイクバー403を下降させることにより、第2ガラス基板G2がスクライブラインSX2の箇所で分断される。第2ブレイクマシン107のステージTB2が90度回転して、ガイドラインの方向がパネルに対し、X軸方向からY軸方向に入れ替わる。ブレイクバー403の直下に第2ガラス基板G2のY方向のスクライブラインSY2がくるようにステージTB2を移動して、第1ガラス基板G1の上方からブレイクバー403を下降させることにより、第2ガラス基板G2がスクライブラインSY2の箇所で分断されることにより、製品サイズのパネルに分断され、除材ステージ108に搬送される。 The panel on which the scribe lines SX2 and SY2 are engraved by the second glass scriber 106 is turned upside down by the reversing machine 103, set on the stage TB2 of the second break machine 107, and sucked and fixed onto the stage TB2 by vacuum suction. The The alignment marks formed on the panel are recognized by the two CCD cameras 203, the panel displacement is detected, and the position and angle of the table TB2 are corrected. Then, the stage TB2 is moved so that the scribe line SX2 in the X direction of the second glass substrate G2 comes directly under the break bar 403, and the break bar 403 is lowered from above the first glass substrate G1, so that the second The glass substrate G2 is divided at the scribe line SX2. The stage TB2 of the second break machine 107 is rotated 90 degrees, and the direction of the guide is changed from the X-axis direction to the Y-axis direction with respect to the panel. The second glass substrate is moved by moving the stage TB2 so that the Y-direction scribe line SY2 of the second glass substrate G2 comes directly under the break bar 403, and lowering the break bar 403 from above the first glass substrate G1. When G2 is divided at the scribe line SY2, it is divided into product-size panels and conveyed to the material removal stage.
以上がガラス基板を2枚張り合わせて作製されるパネルを分断する場合の通常の分断工程となるが、これらの分断工程をより簡便に行うために、様々な装置及び分断方法が提案されてきている。(例えば特許文献1参照) The above is a normal dividing process in the case of dividing a panel produced by laminating two glass substrates. Various apparatuses and dividing methods have been proposed in order to perform these dividing processes more easily. . (For example, see Patent Document 1)
特開平5−238542号公報JP-A-5-238542
ガラス基板を2枚張り合わせて作製したパネルを製品サイズのパネルに分割するためには、スクライブ、ブレイクの作業を第1ガラス基板、第2ガラス基板それぞれに行う必要があり、スクライバー、ブレイクマシンを各2台、反転機が2台、中間テーブルを設置する必要があり、装置の設置スペースや作業スペースを広い範囲で確保する必要がある。当然、設備コストも高くついてしまう。 In order to divide a panel produced by bonding two glass substrates into product-sized panels, it is necessary to perform scribing and breaking operations on the first glass substrate and the second glass substrate, respectively. It is necessary to install two units, two reversing machines, and an intermediate table, and it is necessary to secure the installation space and work space of the apparatus in a wide range. Of course, the equipment cost is high.
また、これら従来のスクライブ、ブレイクを同一の装置にそのまま搭載しようとしても、スクライブとブレイクは各々の動作機構が全く異なるため(横方向への圧力を加えながらの移動(スクライブ)と縦方向への殴打(ブレイク))、結局はスクライバーとブレイクマシン両方の機構を1つの箱の中にいれただけのものとなってしまう。そのため、同一装置にするための意義も希釈されてしまっていた。 Even if these conventional scribes and breaks are mounted on the same device as they are, the operation mechanism of scribes and breaks is completely different (moving while applying lateral pressure (scribing) and vertical direction). (Break)) Eventually, the mechanism of both the scriber and the break machine is simply put in one box. For this reason, the significance of making the same device has also been diluted.
さらに、ブレイク時のブレイクバーによる殴打によりガラス表面に傷や汚染が生じ、ゴミなどの影響により配線などのショート、断線、素子の破壊などが考えられる。 Further, it is conceivable that the glass surface is scratched or contaminated by beating with a break bar at the time of the break, and the short circuit of the wiring, disconnection, element destruction, etc. due to the influence of dust or the like.
従って、本発明は、上述した課題を解決出来るパネルの加工方法及び装置を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a panel processing method and apparatus that can solve the above-described problems.
本発明の装置は、スクライブされたガラス基板に圧力を加え分断する手段を、従来のバー型ガラス基板分断手段からホイール型の、回転押圧型ガラス基板分断手段にすることを特徴とする。 The apparatus of the present invention is characterized in that the means for applying pressure to the scribed glass substrate and dividing it is changed from a conventional bar-type glass substrate dividing means to a wheel-type rotating press-type glass substrate dividing means.
これにより、ガラス基板をスクライブする手段と分断する手段の2種類を合わせ持つ構造にすることが出来、1台でスクライブ処理、ブレイク処理の両方を行うことが出来る。 Thereby, it can be set as the structure which has two types, the means to scribe a glass substrate, and the means to sever, and can perform both a scribe process and a break process with one unit.
さらに、回転押圧型のガラス基板分断手段とすることで、スクライブを行うための機構をそのまま分断に応用することが可能であるので、装置の簡略化、少スペース化がはかれ、その上装置そのもののコストダウンも可能となる。 Furthermore, by using the rotary pressing type glass substrate cutting means, the scribing mechanism can be applied to the cutting as it is, thus simplifying the device and reducing the space, and the device itself. The cost can be reduced.
また、1度に大きな力をかける必要がないためブレイク時に発生していたガラス表面の傷や汚染を低減ことができ、配線のショート、断線、素子の破壊などを防ぐことが出来る。 In addition, since it is not necessary to apply a large force at a time, it is possible to reduce scratches and contamination on the glass surface that occurred during the break, and it is possible to prevent wiring short-circuiting, disconnection, and element destruction.
また、本発明はブレイク時に使用する、ブレイク用シートの供給と回収を行うロボットを備え、パネルを反転させるための反転機構の付いたロボットを備えることを特徴とする。 In addition, the present invention includes a robot that supplies and collects break sheets used during a break, and includes a robot with a reversing mechanism for reversing the panel.
これにより、1台でパネルの両面に対してスクライブ処理、分断処理の両方を行ことが可能となり、所望のパネルサイズに分断することが出来る。 Accordingly, it is possible to perform both the scribing process and the dividing process on both sides of the panel with one unit, and the panel can be divided into a desired panel size.
以上のことから、スクライブされたガラス基板に圧力を加え分断する手段を、従来のバー型ガラス基板分断手段からホイール型の、回転押圧型ガラス基板分断手段にすることで、ガラス基板をスクライブする手段と分断する手段の2種類を合わせ持つ構造にすることが出来、1台でスクライブ処理、ブレイク処理の両方を行うことが出来るため、機械の設置面積を小さくすることが可能となり、設備コストの削減となる。さらに、回転押圧型のガラス基板分断手段とすることで、スクライブを行うための機構をそのまま分断に応用することが可能であるので、装置の簡略化、しいては装置そのもののコストダウンも可能となる。また、1度に大きな力をかける必要がないためブレイク時に発生していたガラス表面の傷や汚染を低減ことができ、配線のショート、断線、素子の破壊などを防ぐことが出来る。 From the above, the means for scribing the glass substrate by changing the means for applying pressure to the scribed glass substrate from the conventional bar-type glass substrate dividing means to the wheel-type rotary pressing type glass substrate dividing means It is possible to make a structure that combines two types of cutting means, and both the scribing process and the breaking process can be performed with one unit, so the installation area of the machine can be reduced and the equipment cost can be reduced. It becomes. Furthermore, by using the rotary pressing type glass substrate cutting means, the scribing mechanism can be applied to the cutting as it is, so that the device can be simplified and the cost of the device itself can be reduced. Become. In addition, since it is not necessary to apply a large force at a time, it is possible to reduce scratches and contamination on the glass surface that occurred during the break, and it is possible to prevent wiring short-circuiting, disconnection, and element destruction.
さらに、本発明はブレイク時に使用する、ブレイク用シートの供給と回収を行うロボットを備え、パネルを反転させるための反転機構の付いたロボットを備えることで、1台でパネルの両面に対してスクライブ処理、分断処理の両方を行ことが可能となり、機械の設置面積を小さくすることができ、設備コストの削減につながる。 Furthermore, the present invention includes a robot for supplying and collecting a break sheet used during a break, and includes a robot with a reversing mechanism for reversing the panel, so that one unit can scribe both sides of the panel. Both processing and parting can be performed, the installation area of the machine can be reduced, and the equipment cost can be reduced.
液晶パネル、有機発光パネル、無機発光パネルを加工する本発明のワーク加工装置を示した正面図Front view showing a workpiece processing apparatus of the present invention for processing a liquid crystal panel, an organic light emitting panel, and an inorganic light emitting panel 液晶パネル、有機発光パネル、無機発光パネルを加工する本発明のワーク加工装置を示した上面図The top view which showed the workpiece processing apparatus of this invention which processes a liquid crystal panel, an organic light emission panel, and an inorganic light emission panel 液晶パネル、有機発光パネル、無機発光パネルを加工する本発明のワーク加工装置を示した詳細図Detailed view showing the workpiece processing apparatus of the present invention for processing a liquid crystal panel, an organic light emitting panel, and an inorganic light emitting panel 従来の液晶パネル、有機発光パネル、無機発光パネルに対する従来の加工装置及び加工状況を示した図The figure which showed the conventional processing equipment and processing condition to the conventional liquid crystal panel, organic light emitting panel, and inorganic light emitting panel 図4のワーク加工装置に用いたスクライバーの全体を示した斜視図The perspective view which showed the whole scriber used for the workpiece processing apparatus of FIG. 図4のワーク加工装置に用いたスクライバーを示した詳細図Detailed view showing the scriber used in the workpiece machining apparatus of FIG. 図4のワーク加工装置に用いたブレイクマシンの全体を示した斜視図The perspective view which showed the whole of the break machine used for the workpiece processing apparatus of FIG. 図4のワーク加工装置に用いたブレイクマシンを示した正面図The front view which showed the break machine used for the workpiece processing apparatus of FIG.
[実施の形態1]
本発明に係る2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルを分断するためのガラス加工装置の実施形態を基本的な動作の順を追って図面に基づき説明する。(図1〜図3)
[Embodiment 1]
An embodiment of a glass processing apparatus for dividing a panel formed by bonding two glass substrates according to the present invention will be described in the order of basic operations with reference to the drawings. (FIGS. 1 to 3)
給材ステージ601より第1ガラス基板と第2ガラス基板の2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルが給材ロボット610のアームに真空吸着されてステージ605の押し上げピン上に水平状態で供給される。給材ロボット610のアームの真空吸着が解除され、パネルが押し上げピン上に設置され、給材ロボット610のアームは原点に戻る。続いて、押し上げピンが下降して、パネルがステージ605上にセットされ、真空吸着によりステージ605上に吸引固定される。 A panel formed by bonding two glass substrates, a first glass substrate and a second glass substrate, from the feed stage 601 is vacuum-sucked by the arm of the feed robot 610 and placed horizontally on the push-up pin of the stage 605 Supplied. The vacuum suction of the arm of the feeding robot 610 is released, the panel is placed on the push-up pin, and the arm of the feeding robot 610 returns to the origin. Subsequently, the push-up pin is lowered, the panel is set on the stage 605, and is sucked and fixed onto the stage 605 by vacuum suction.
続いて、パネルの第1ガラス基板上に左右対称に形成されているアライメントマークを2台のCCDカメラ604で認識してアライメントマークの位置ずれの検出を行い、ステッピングモーターにてステージの位置、角度の修正を行う。
次に、チップホルダー803が取り付けられたスクライブヘッド602を所望の位置に圧縮空気にて下降させ、設定した圧力で押圧したまま、スクライブヘッド602をガイドレール608に沿って移動させることにより第1ガラス基板のX方向にスクライブラインが刻まれ、その後スクライブヘッド602が上昇する。
続いてステージ605が90度回転し、ガイドラインの方向がパネルに対し、X軸方向からY軸方向に入れ替わる。チップホルダー803が取り付けられたスクライブヘッド602が圧縮空気で下降し、設定した圧力を押圧したまま、スクライブヘッド602をガイドレール608に沿ってに移動させることにより第1ガラス基板のY方向にスクライブラインが刻まれスクライブヘッド602が上昇する。ステージ605上への真空吸着が解除され、押し上げピンにより、パネルがステージ605上から押し上げられる。
Subsequently, the alignment marks formed symmetrically on the first glass substrate of the panel are recognized by the two CCD cameras 604 to detect the alignment mark displacement, and the position and angle of the stage are detected by the stepping motor. Make corrections.
Next, the scribe head 602 to which the chip holder 803 is attached is lowered to a desired position with compressed air, and the first glass is moved by moving the scribe head 602 along the guide rail 608 while pressing with the set pressure. A scribe line is engraved in the X direction of the substrate, and then the scribe head 602 is raised.
Subsequently, the stage 605 rotates 90 degrees, and the direction of the guideline is switched from the X-axis direction to the Y-axis direction with respect to the panel. The scribe head 602 to which the chip holder 803 is attached descends with compressed air, and the scribe line is moved in the Y direction of the first glass substrate by moving the scribe head 602 along the guide rail 608 while pressing the set pressure. Is engraved and the scribe head 602 is raised. The vacuum suction on the stage 605 is released, and the panel is pushed up from the stage 605 by the push-up pin.
次に、装置後方に備えてあるパネル反転用ロボット703のアームがステージ605とパネルの間に伸びてきて、押し上げピンにより持ち上げられているパネルを持ち上げた時に真空吸着がONになり、パネル反転用ロボット703のアーム上でパネルを吸引固定する。そして、パネル反転用ロボット703のアームが反転し、パネルの上下を反転させる。 Next, when the arm of the panel reversing robot 703 provided at the rear of the apparatus extends between the stage 605 and the panel and the panel lifted by the push-up pin is lifted, the vacuum suction is turned on, and the panel reversing The panel is sucked and fixed on the arm of the robot 703. Then, the arm of the panel reversing robot 703 is reversed and the panel is turned upside down.
パネルの上下を反転させている間に、装置左側面に備えてあるブレイク用シート置き場702から、装置左側面に備えてあるブレイクシート供給、回収用ロボット701が、ブレイク用シートをステージ605上にセットする。その後、反転されたパネルが押し上げピン上に水平状態で供給され、パネル反転用ロボット703のアームの真空吸着が解除され、パネル反転用ロボット703のアームは原点に戻る。そして押し上げピンが下降することにより、パネルはステージ605上にセットされ、真空吸着によりステージ605上に吸引固定される。 While turning the panel upside down, the break sheet supply / recovery robot 701 provided on the left side of the device from the break sheet storage 702 provided on the left side of the device causes the break sheet to be placed on the stage 605. set. Thereafter, the inverted panel is supplied in a horizontal state on the push-up pin, the vacuum suction of the arm of the panel inverting robot 703 is released, and the arm of the panel inverting robot 703 returns to the origin. When the push-up pin is lowered, the panel is set on the stage 605 and is sucked and fixed onto the stage 605 by vacuum suction.
パネルの第1ガラス基板上に左右対称に形成されているアライメントマークを2台のCCDカメラ604で認識してアライメントマークの位置ずれの検出を行い、ステッピングモーターにてステージ605の位置、角度の修正を行う。圧縮空気によりブレイクヘッド607を下降させ、第1ガラス基板に刻まれたX方向のスクライブラインの真上を第2ガラス基板側から、設定した圧力を押圧したまま、ブレイクヘッド607をガイドレール608に沿って移動させることにより、第1ガラス基板G1のX方向のスクライブラインのみがスクライブ箇所で分断され、ブレイクヘッド607が上昇する。
続いて、ステージ605が90度回転してガイドラインの方向がパネルに対し、X軸方向からY軸方向に入れ替わる。その後、ブレイクヘッド607が下降して、第1ガラス基板に刻まれたY方向のスクライブラインの真上を第2ガラス基板側から、設定した圧力を押圧したまま、ガイドレール608に沿って移動し、第1ガラス基板のY方向のスクライブラインがスクライブ箇所で分断さる。続いてブレイクヘッド607が上昇し、真空吸着が解除され、パネルは押し上げピンにより、ステージ605上から押し上げられる。
Alignment marks formed symmetrically on the first glass substrate of the panel are recognized by two CCD cameras 604 to detect misalignment of the alignment marks, and the position and angle of the stage 605 are corrected by a stepping motor. I do. The break head 607 is lowered by the compressed air, and the break head 607 is moved to the guide rail 608 while pressing the set pressure from the second glass substrate side directly above the scribe line in the X direction engraved on the first glass substrate. By moving along the scribe line, only the scribe line in the X direction of the first glass substrate G1 is divided at the scribe portion, and the break head 607 is raised.
Subsequently, the stage 605 rotates 90 degrees, and the direction of the guideline is switched from the X-axis direction to the Y-axis direction with respect to the panel. After that, the break head 607 descends and moves along the guide rail 608 while pressing the set pressure from the second glass substrate side directly above the Y-direction scribe line carved on the first glass substrate. The scribe line in the Y direction of the first glass substrate is divided at the scribe location. Subsequently, the break head 607 is raised, the vacuum suction is released, and the panel is pushed up from the stage 605 by a push-up pin.
第1ガラス基板のブレイク終了後、装置後方に備えてあるパネル反転用ロボット703のアームがステージ605とパネルの間に伸びてきて、押し上げピンにより持ち上げられているパネルを持ち上げる。そして、パネル反転用ロボット703のアームの真空吸着がONになり、パネルを吸引固定し、パネルをステージ605上から持ち上げる。 After the break of the first glass substrate, the arm of the panel reversing robot 703 provided at the rear of the apparatus extends between the stage 605 and the panel, and lifts the panel lifted by the push-up pin. Then, vacuum suction of the arm of the panel reversing robot 703 is turned on, the panel is sucked and fixed, and the panel is lifted from the stage 605.
パネル反転用ロボット703がパネルを持ち上げている間に、装置左側面に備えてあるブレイク用シート供給、回収用ロボット701が、ステージ605上に伸びてきて、ブレイク時にステージ605にセットされていた、ブレイク用シートを回収し、テーブル605にブレイク用シートを戻し、原点に戻る。その後、持ち上げられていたパネルが押し上げピン上に水平状態で供給され、パネル反転用ロボット703のアームの真空吸着が解除され、パネル反転用ロボット703のアームは原点に戻る。続いて押し上げピンが下降して、パネルがステージ605上にセットされ、真空吸着によりステージ605上に吸引固定される。 While the panel reversing robot 703 lifts the panel, the break sheet supply / collection robot 701 provided on the left side of the apparatus extends on the stage 605 and is set on the stage 605 at the time of the break. The break sheet is collected, the break sheet is returned to the table 605, and returned to the origin. Thereafter, the lifted panel is supplied in a horizontal state on the push-up pin, the vacuum suction of the arm of the panel reversing robot 703 is released, and the arm of the panel reversing robot 703 returns to the origin. Subsequently, the push-up pin is lowered, the panel is set on the stage 605, and is sucked and fixed onto the stage 605 by vacuum suction.
パネルの第1ガラス基板上に左右対称に形成されているアライメントマークを2台のCCDカメラ604で認識してアライメントマークの位置ずれの検出を行い、ステッピングモーターにてステージ605の位置、角度の修正を行う。チップホルダー803が取り付けられたスクライブヘッド602を所望の位置に圧縮空気にて下降させ、設定した圧力で押圧したまま、スクライブヘッド602をガイドレール608に沿って移動させることにより第2ガラス基板のX方向にスクライブラインが刻まれ、その後スクライブヘッド602が上昇する。
続いてステージ605が90度回転して、ガイドラインのパネルに対する方向がX軸方向からY軸方向に入れ替わる。チップホルダー803が取り付けられたスクライブヘッド602が圧縮空気で下降し、設定した圧力で押圧したまま、スクライブヘッド602をガイドレール608に沿って移動させることにより第2ガラス基板のY方向にスクライブラインが刻まれ、スクライブヘッド602が上昇する。ステージの真空吸着が解除され、押し上げピンにより、パネルがステージ605上から押し上げられる。
Alignment marks formed symmetrically on the first glass substrate of the panel are recognized by two CCD cameras 604 to detect misalignment of the alignment marks, and the position and angle of the stage 605 are corrected by a stepping motor. I do. The scribe head 602 to which the chip holder 803 is attached is lowered to a desired position with compressed air, and the scribe head 602 is moved along the guide rail 608 while being pressed with the set pressure, thereby the X of the second glass substrate. A scribe line is carved in the direction, and then the scribe head 602 is raised.
Subsequently, the stage 605 rotates 90 degrees, and the direction of the guide line with respect to the panel is switched from the X-axis direction to the Y-axis direction. The scribe head 602 to which the chip holder 803 is attached descends with compressed air, and the scribe line moves in the Y direction of the second glass substrate by moving the scribe head 602 along the guide rail 608 while pressing with the set pressure. The scribe head 602 is raised. The vacuum suction of the stage is released, and the panel is pushed up from above the stage 605 by the push-up pin.
装置後方に備えてあるパネル反転用ロボット703のアームがステージ605とパネルの間に伸びてきて、押し上げピンにより持ち上げられているパネルを持ち上げる。そして真空吸着がONになり、パネルを吸引固定し、パネル反転用ロボット703のアームが反転することにより、パネルの上下を反転させる。 The arm of the panel reversing robot 703 provided at the rear of the apparatus extends between the stage 605 and the panel and lifts the panel lifted by the push-up pin. Then, vacuum suction is turned ON, the panel is sucked and fixed, and the arm of the panel reversing robot 703 is reversed, so that the panel is turned upside down.
パネル反転用ロボット703がパネルの上下を反転させている間に、装置左側面に備えてあるブレイク用シート供給、回収用ロボット701が、装置左側面に備えてあるブレイク用シート置き場702から、ブレイク用シートをステージ605上にセットする。その後、反転されたパネルがパネル反転用ロボット703により押し上げピン上に水平状態で供給され、パネル反転用ロボット703のアームの真空吸着が解放され、パネル反転用ロボット703のアームは原点に戻る。押し上げピンが下降して、パネルがステージ605上にセットされ、真空吸着によりステージ605上に吸引固定される。 While the panel reversing robot 703 flips the panel up and down, the break sheet supply / recovery robot 701 provided on the left side of the apparatus breaks from the break sheet storage area 702 provided on the left side of the apparatus. A sheet is set on the stage 605. Thereafter, the inverted panel is supplied in a horizontal state onto the push-up pin by the panel inversion robot 703, the vacuum suction of the arm of the panel inversion robot 703 is released, and the arm of the panel inversion robot 703 returns to the origin. The push-up pin is lowered, the panel is set on the stage 605, and is sucked and fixed on the stage 605 by vacuum suction.
パネルの第1ガラス基板上に左右対称に形成されているアライメントマークを2台のCCDカメラ604で認識してアライメントマークの位置ずれの検出を行い、ステッピングモーターにてステージ605の位置、角度の修正を行う。圧縮空気によりブレイクヘッド607を下降させ、第2ガラス基板に刻まれたX方向のスクライブラインの真上を第1ガラス基板側から、設定した圧力を押圧したまま、ブレイクヘッド607をガイドレール608に沿って移動させることにより、第2ガラス基板のX方向のスクライブラインがスクライブ箇所で分断され、ブレイクヘッド607が上昇する。ステージ605が90度回転して、パネルに対するガイドラインの方向がX軸方向からY軸方向に入れ替わる。その後ブレイクヘッド607を下降させて、第2ガラス基板に刻まれたY方向のスクライブラインの真上を第1ガラス基板側から、設定した圧力を押圧したまま、ガイドレール608に沿って移動させることにより、第2ガラス基板のY方向のスクライブラインSがスクライブ箇所で分断され、ブレイクヘッド607が上昇する。ステージ605の真空吸着が解除され、除材ロボット609のアームがステージ605とパネルの間に伸びてきて、パネルに接したところで真空吸着がONになり,除材ロボット609のアーム上で吸引固定されたまま、除材ステージ606に搬送され、除材ステージ606上で除材ロボット609のアームの真空吸着が解除され、パネルが所望のサイズに分断される。 The alignment marks formed symmetrically on the first glass substrate of the panel are recognized by the two CCD cameras 604 to detect the alignment mark displacement, and the position and angle of the stage 605 are corrected by the stepping motor. I do. The break head 607 is lowered by compressed air, and the break head 607 is moved to the guide rail 608 while pressing the set pressure from the first glass substrate side directly above the X-direction scribe line carved on the second glass substrate. By moving along, the scribe line in the X direction of the second glass substrate is divided at the scribe portion, and the break head 607 is raised. The stage 605 rotates 90 degrees, and the direction of the guideline with respect to the panel is switched from the X-axis direction to the Y-axis direction. After that, the break head 607 is lowered and moved along the guide rail 608 while pressing the set pressure from the first glass substrate side directly above the Y-direction scribe line carved on the second glass substrate. Thus, the scribe line S in the Y direction of the second glass substrate is divided at the scribe portion, and the break head 607 is raised. The vacuum suction of the stage 605 is released, the arm of the material removal robot 609 extends between the stage 605 and the panel, and the vacuum suction is turned on when it comes into contact with the panel, and is sucked and fixed on the arm of the material removal robot 609. The material removal stage 606 is conveyed to the material removal stage 606, the vacuum suction of the arm of the material removal robot 609 is released on the material removal stage 606, and the panel is divided into a desired size.
前記工程フローでは、A面スクライブ→A面ブレイク→B面スクライブ→B面ブレイクの基本的な処理の順番で説明を行ったが、この工程フローにかかわらず、A面スクライブ→B面スクライブ→A面ブレイク→B面ブレイク、A面スクライブ→B面スクライブ→B面ブレイク→A面ブレイクなど、スクライブ処理、ブレイク処理の順番を任意に設定することが出来る。 In the above process flow, the basic process was described in the order of A side scribe → A side break → B side scribe → B side break. However, regardless of this process flow, A side scribe → B side scribe → A The order of the scribe process and the break process can be arbitrarily set, such as plane break → B plane break, A plane scribe → B plane scribe → B plane break → A plane break.

Claims (8)

  1. スクライブヘッドを有するスクライブ手段と、
    ブレイクヘッドを有する分断手段と、
    2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルが供給されるステージと、
    前記パネルの裏表を反転させる手段と、
    ブレイク用のシートを前記ステージ上に供給すると共に前記シートを回収する機構を有し、
    前記分断手段は回転押圧式の分断手段であり、
    前記ステージ上で前記2枚のガラス基板それぞれにスクライブラインを刻むと共に前記2枚のガラス基板それぞれを分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
    Scribing means having a scribing head;
    A cutting means having a break head;
    A stage to which a panel formed by bonding two glass substrates is supplied;
    Means for inverting the front and back of the panel;
    Having a mechanism for supplying a sheet for breaking onto the stage and collecting the sheet;
    The dividing means is a rotary pressing type dividing means,
    A glass processing apparatus, wherein a scribe line is engraved on each of the two glass substrates on the stage and each of the two glass substrates is divided.
  2. 請求項1において、前記ブレイクヘッドはブレイクホイールが取り付けられていることを特徴とするガラス加工装置。   The glass processing apparatus according to claim 1, wherein a break wheel is attached to the break head.
  3. ガイドレールと、
    前記ガイドレールに沿って移動するスクライブヘッドと、
    前記ガイドレールに沿って移動するブレイクヘッドと、
    2枚のガラス基板を貼り合わせて形成されたパネルが供給されるステージと、
    前記パネルの裏表を反転させる手段と、
    ブレイク用のシートを前記ステージ上に供給すると共に前記シートを回収する機構を有し、
    前記ブレイクヘッドはブレイクホイールが取り付けられたものであり、
    前記ステージ上で、前記スクライブヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることにより前記2枚のガラス基板それぞれにスクライブラインを刻むと共に、前記ブレイクヘッドを所定の圧力で押圧しながら前記ガイドレールに沿って移動させることにより前記2枚のガラス基板それぞれを分断するものであることを特徴とするガラス加工装置。
    A guide rail,
    A scribe head that moves along the guide rail;
    A break head that moves along the guide rail;
    A stage to which a panel formed by bonding two glass substrates is supplied;
    Means for inverting the front and back of the panel;
    Having a mechanism for supplying a sheet for breaking onto the stage and collecting the sheet;
    The break head is one to which a break wheel is attached,
    On the stage, the scribing head is moved along the guide rail while pressing the scribing head at a predetermined pressure, thereby scribing a scribe line on each of the two glass substrates and pressing the break head at a predetermined pressure. However, the glass processing apparatus divides each of the two glass substrates by being moved along the guide rail.
  4. 請求項1乃至3のいずれか一において、
    前記シートを回収する機構は、
    前記ガラス基板にスクライブラインを刻んだ後、前記反転させる手段により前記ガラス基板の裏表を反転させている間に前記シートを前記ステージ上に供給し、
    前記ガラス基板の分断後、前記反転させる手段により前記ガラス基板を持ち上げている間に前記ステージ上の前記シートを回収するものであることを特徴とするガラス加工装置。
    In any one of Claims 1 thru | or 3,
    The mechanism for collecting the sheet is:
    After engraving a scribe line on the glass substrate, the sheet is supplied onto the stage while the front and back of the glass substrate are reversed by the reversing means,
    After the glass substrate is divided, the glass processing apparatus collects the sheet on the stage while the glass substrate is lifted by the reversing means.
  5. スクライブ手段と、
    分断手段を有し、
    前記分断手段は回転押圧式の分断手段であることを特徴とするガラス加工装置。
    Scribing means,
    Having a cutting means,
    The glass processing apparatus, wherein the dividing means is a rotary pressing type dividing means.
  6. ガラス基板により形成されたパネルを分割するためのガラス加工装置であって、
    スクライブ手段と、
    分断手段と、
    前記パネルの裏表を反転させる手段を有し、
    前記分断手段は回転押圧式の分断手段であることを特徴とするガラス加工装置。
    A glass processing apparatus for dividing a panel formed by a glass substrate,
    Scribing means,
    Dividing means,
    Means for inverting the front and back of the panel;
    The glass processing apparatus, wherein the dividing means is a rotary pressing type dividing means.
  7. ガラス基板により形成されたパネルを分割するためのガラス加工装置であって、
    スクライブ手段と、
    分断手段と、
    前記パネルの裏表を反転させる機構と、
    ブレイク用のシートを供給する機構を有し、
    前記分断手段は回転押圧式の分断手段であることを特徴とするガラス加工装置。
    A glass processing apparatus for dividing a panel formed by a glass substrate,
    Scribing means,
    Dividing means,
    A mechanism to reverse the front and back of the panel;
    Having a mechanism for supplying a break sheet;
    The glass processing apparatus, wherein the dividing means is a rotary pressing type dividing means.
  8. ガラス基板により形成されたパネルを分割するためのガラス加工装置であって、
    スクライブ手段と、
    分断手段と、
    前記パネルを反転させる機構と、
    ブレイク用のシートを供給するための機構と、
    前記ブレイク用のシートを回収するための機構を有し、
    前記分断手段は回転押圧式の分断手段であることを特徴とするガラス加工装置。
    A glass processing apparatus for dividing a panel formed by a glass substrate,
    Scribing means,
    Dividing means,
    A mechanism for inverting the panel;
    A mechanism for supplying a sheet for break;
    A mechanism for collecting the break sheet;
    The glass processing apparatus, wherein the dividing means is a rotary pressing type dividing means.
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