JP2012078870A - 光デバイス及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】IMODの非アクティブ領域は、光吸収性であるよう作られることが必要であり、一方所望の光学的応答を向上させるためにIMODの或る特定の非アクティブ領域からの反射周辺光の影響を減少させて、光デバイスを覆い隠し又は光デバイス中に光吸収性非アクティブ領域を作ること。
【解決手段】基板と、前記基板上に形成され、膜スタックを包含して光を吸収するように形成された静的光コンポーネントと、前記基板の上の動的光コンポーネントとを有することを特徴とする光デバイス及びその製造方法である。
【選択図】図1

Description

本発明は、光デバイス及びその製造方法に関する。特に、本発明は、微小光電子機械デバイス及びこれを作製する方法に関する。

今日、多種多様な光デバイス、例えば微小電子機械システム(MEMS)デバイスを微細加工及び微小電子作製法を用いて作製できる。
例えば、或る場合には、MEMSデバイスは、光コンポーネントを有し、特に微小光電子機械システム、即ち“MOEMS”デバイスと呼ばれている。かかるMOEMSデバイスの一例は、米国特許第5,835,255号明細書に記載された分岐干渉変調器(IMOD)デバイスである。米国特許第5,835,255号のIMODデバイスをアレイ状に作製し反射ディスプレイに用いることができ、各IMODは、所望の光学的応答を生じさせる画素として機能する。

所望の光学的応答を向上させるため、IMODの或る特定の非アクティブ領域からの反射周辺光の影響を減少させることが必要である。かくして、IMODのこれら非アクティブ領域は、光吸収性であるよう作られることが必要であり、このことは、一般に光デバイスを覆い隠し又は光デバイス中に光吸収性非アクティブ領域を作る必要性を示している。

本発明の一特徴によれば、透明な基板上に形成された少なくとも1つのアクティブな光コンポーネントを有する光デバイスを作製する方法であって、光吸収性を呈すべき基板の領域を決定する工程を有し、決定された領域は、少なくとも1つのアクティブな光コンポーネントから側方にずれており、前記方法は、少なくとも1つのアクティブな光コンポーネントの作製前に光吸収性マスクを決定された領域上に作製する工程を更に有していることを特徴とする方法が提供される。

本発明の第2の特徴によれば、光デバイスであって、基板と、基板上に形成された第1及び第2の光コンポーネントとを有し、第1の光コンポーネントは、2つのモードを有し、各モードは、第1の光コンポーネントに入射した光に対する別々の光学的応答を生じ、第2の光コンポーネントは、光を吸収し、第1のコンポーネントが形成される前に基板上に形成されることを特徴とするデバイスが提供される。

本発明の第3の特徴によれば、光デバイスを微細加工する方法であって、光を吸収する静的光コンポーネントを基板上に形成する工程と、動的光コンポーネントを静的光コンポーネントに隣接して形成する工程とを有し、動的光コンポーネントは、駆動状態及び非駆動状態を有し、各状態は、入射光に対する特徴的な光学的応答を有することを特徴とする方法が提供される。

本発明の別の特徴によれば、光デバイスであって、基板と、基板上に設けられた光を吸収する静的光コンポーネントと、静的光コンポーネントに隣接して設けられた動的光コンポーネントとを有し、動的光コンポーネントは、駆動及び非駆動状態を有し、各状態は、入射光に対して特徴的な光学的応答を有することを特徴とするデバイスが提供される。

本発明に従って覆い隠された非アクティブ領域を有するディスプレイの端面図である。 本発明の一実施形態に従ってブラックマスク又は光吸収性領域を有するMEMSデバイスの断面図である。 本発明の別の実施形態に従ってブラックマスク又は光吸収性領域を有するMEMSデバイスの別の実施形態を示す図である。 図2のMEMSデバイスの光吸収性又はブラックマスク層を構成する種々の層を示す図である。 本発明によるMEMSデバイスの作製における一工程を示す図である。 本発明によるMEMSデバイスの作製における別の工程を示す図である。 本発明によるMEMSデバイスの作製における別の工程を示す図である。 本発明によるMEMSデバイスの作製における別の工程を示す図である。 本発明によるMEMSデバイスの作製における別の工程を示す図である。 本発明によるMEMSデバイスの作製における別の工程を示す図である。 本発明によるMEMSデバイスの作製における別の工程を示す図である。

以下の説明において、説明の目的上、本発明の完全な理解を得るために多くの特定の細部が記載されている。しかしながら、当業者であれば、本発明はこれら特定の細部無しに実施できることは明らかであろう。
本明細書において「一実施形態」又は「実施形態」という場合、これは、当該実施形態と関連して説明する特定の特徴、構造又は特性が本発明の少なくとも1つの実施形態に含まれていることを意味する。本明細書の種々の箇所で文言「一実施形態では(において)」が見えることは、必ずしも全て同一の実施形態を引き合いに出しているとは限らず、別個の又は変形実施形態が相互に他の実施形態を排除するものではない。さらに、実施形態によっては示され、実施形態によっては示されない種々の特徴が記載される。これと同様に、実施形態によっては必要条件であり、実施形態によってはそうではない種々の必要条件が記載される。

本発明は、一実施形態では、静的光コンポーネント及び動的光コンポーネントを有するMOEMSデバイスの形態をしたMEMSデバイスを開示し、静的光コンポーネントは、周辺光又は迷光を吸収し、それにより動的光コンポーネントの光学的応答を向上させる「ブラックマスク」として役立つ。
IMODを含むMEMSデバイスを用いて本発明を説明するが、本発明は、光吸収性であることが必要であるが、IMODを含まない非アクティブ領域を有する他の光デバイス、例えば一般にイメージングディスプレイや光電子デバイスを含むことは理解されるべきである。

次に図面のうち図1を参照すると、ディスプレイデバイス100の端面図が示されている。ディスプレイ100の多くのコンポーネントは、本発明を不明瞭にしないよう省かれていることは理解されるべきである。ディスプレイデバイス100は、IMODデバイス104の形態をした2つのアクティブな光コンポーネントを含み、IMODデバイスは代表的には、矢印104で示された方向で基板102に向かって駆動されると、所望の光学的応答を生じさせる反射膜の構成体から成る。IMODデバイス104の動作原理は、米国特許第5,835,255号明細書に記載されており、かかる米国特許明細書の記載内容を本明細書の一部を形成するものとしてここに引用する。参照符号108は、IMODデバイス104の非アクティブ領域を示しており、これら非アクティブ領域は、光吸収性であり又は「ブラックマスク」として機能することが必要とされ、したがって、見る人が矢印110で示された方向からディスプレイ100を見ると、IMODデバイス104により生じた実際の光学的応答が非アクティブ領域108からの周辺光の反射によっては劣化しないようになる。

各非アクティブ領域108を、光を吸収し又は減衰させる光学的応答を有するよう選択された材料で作製するのがよい。本発明の実施形態によれば、各非アクティブ領域108を薄膜のスタックとして作製するのがよい。例えば、一実施形態では、薄膜のスタックは、以下に詳細に説明するように、2つの光反射クロム層相互間にサンドイッチされた非光吸収性誘電体層から成るのがよい。他の実施形態では、非アクティブ領域108は、光を減衰させ又は吸収する有機材料又は無機材料の単一の層から成っていてもよい。

図面の図2は、本発明の一実施形態のIMODデバイス200の断面図である。IMODデバイス200は、クロム反射層204、酸化シリコン層206、空隙208及び基板202上に作製されたメカニカルメンブレン210から成るアクティブなコンポーネントを有する。メカニカルメンブレン210は、ポリマー支柱212によって支持されている。使用に当たり、機械的メンブレン210を駆動して酸化シリコン層206に接触させ、それにより矢印214で示された方向から見たときに、所望の光学的応答を生じさせる。
ポリマー支柱212が形成された各IMOD200の領域は、IMODのアクティブなコンポーネントの一部ではなく、したがって、アクティブなIMODコンポーネントの所望の光学的応答を妨害する迷光又は周辺光を減少させるために光吸収性である必要がある。これら非アクティブ領域は、円で囲んだ領域216により示された静的コンポーネントを定め、光吸収性である光学的性質を有するように選択された膜のスタックを形成するよう作製される。一実施形態では、本発明は、基板202のうちどの領域が光吸収性であることが必要であるかを決定する工程及びIMODのアクティブな光コンポーネントを形成する前に光吸収性又はブラックマスクを決定された領域上に作製する工程を含む。ブラックマスクは、薄膜のスタックを含むのがよく、この薄膜のスタックは、一実施形態では、クロムベース218、酸化物中間層220及びクロム層204を有するのがよい。

次に図面の図3を参照すると、参照符号300は、本発明の一特徴としてのIMODデバイスの別の実施形態を全体的に示している。IMODデバイス300は、IMODデバイス200と類似しており、したがって、同一又は類似の参照符号が同一又は類似のコンポーネントを示すために用いられている。IMOD300とIMOD200の主要な差は、ポリマー支柱212全体が光吸収性又はブラックマスクとして有効に機能する有機材料、例えばフォトデフィニション(photodefinition)又は光規定可能なブラック樹脂、例えばブリューワ・サイエンス・インコーポレイテッド製のDARC100として知られている材料で構成されていることにある。IMOD300の一利点は、支柱212が2つの機能を果たすということにある。第1に、支柱212は、メカニカルメンブレン210の機械的支持体としての役目を果たす。第2に、支柱212は、IMODを覆い隠し又はIMODの光吸収性非アクティブ領域を形成する光マスクとしての役目を果たす。

図4は、本発明の一実施形態としての薄膜ブラックマスクを構成する種々の層が示された略図である。
図4を参照すると、薄膜ブラックマスク402が、基板400上に作製された状態で示されている。ブラックマスク402は、3つの膜の層から成り、これら膜の層は、クロム層404、酸化シリコン層406及びアルミニウム層408から成っている。ブラックマスクを作製するために種々の材料を選択することができる。一実施形態では、ブラックマスクを構成する膜は、アクティブなIMODコンポーネントの作製に用いられたものと同一の膜であり、かくして、同一の被着パラメータを用いて非アクティブな及びアクティブなコンポーネントを作製することができる。

次に、図面の図5A〜図5Gを参照して薄膜ブラックマスク402の製造の種々の工程を説明する。
図5Aを参照すると、ガラス基板500を作製する初期準備工程後、例えばクリーニングされた反射クロム層502を例えば基板500上にスパッタ被覆することにより被着させる。一実施形態では、クロム層502の厚さは、約60オングストロームであるのがよい。

しかる後、従来技術を用いてクロム層502にパターン付けしてこれを現像し、それにより後にクロムの露出部を残し、このクロムの露出部は、ブラックマスクとして役立つ薄膜スタックのためのベース層として役立つことになる(図5B参照)。
次に、代表的には約300〜800オングストロームのブラックマスク酸化物層、例えばSiO2をスパッタ被覆により被着させる。ブラックマスク酸化物層の厚さは、必要とされるブラック(black )状態の品質で決まる。
次に、別の反射クロム層506をブラックマスク酸化物層504上にスパッタ被覆する。層506の厚さは代表的には約60オングストロームであり、その正確な厚さは、最終的に得られるディスプレイの所要のブライトネスで決まり、薄い層は、より明るいディスプレイを生じさせる。
しかる後、層508,510をそれぞれ層506にスパッタ被覆する。層508は、酸化シリコンから成り、厚さが約300〜800オングストロームであり、これに対し、層510は、モリブデンから成る犠牲層であり、厚さは代表的には約0.2〜1.2ミクロンであろう。かくして、層504〜510は、図5Cで理解できるように基板502上の厚い膜スタックを構成する。

図5Dを参照すると、パターン付け及びエッチング工程を実施して、薄膜スタックを通ってクロム露出部502まで延びる凹部512を形成する。
図5Eを参照すると、ポリマー支柱514を凹部512内に形成するが、その手段として、ネガ型のフォトレジスト材料、例えばフューチュレックス・インコーポレイテッド製のNR7−350Pと呼ばれている材料を薄膜スタック上に回転塗布し、これを適当なマスクを介して露出させ、そして現像して支柱514を形成する。これら工程は、従前通りであり、したがってこれ以上説明しない。

次に図5Fを参照すると、一実施形態では、アルミニウム合金から成るメカニカルメンブレン516を、モリブデン層510にスパッタ被覆することにより被着させる。
しかる後、モリブデン層510をエッチングし、後に図面図5Gに示すように空隙516を残す。
本発明を特定の例示の実施形態に関して説明したが、特許請求の範囲い記載された本発明の最も広い精神から逸脱することなくこれら実施形態について種々の改造例及び変更例を想到できることは明らかである。したがって、明細書及び図面の記載は、本発明を限定するものではなく説明のためであると解される。

Claims (22)

  1. 光デバイスであって、
    基板と、
    前記基板上に形成され、膜スタックを包含して光を吸収するように形成された静的光コンポーネントと、
    前記基板の上の動的光コンポーネントと
    を有することを特徴とする光デバイス。
  2. 前記静的光コンポーネントが、ブラックマスクを有することを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。
  3. 前記静的光コンポーネントが、有機材料を包含することを特徴とする請求項1又は2に記載の光デバイス。
  4. 前記有機物質が、フォトデフィニション(photodefinition)を有するブラック樹脂であることを特徴とする請求項3に記載の光デバイス。
  5. 前記膜スタックが、2つの光反射材料相互間にサンドイッチされた誘電体材料であることを特徴とする請求項1ないし4のうちの一項に記載の光デバイス。
  6. 前記誘電体材料が、酸化物層を包含することを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。
  7. 前記静的光コンポーネントが、前記動的光コンポーネントの一部のための機械的支持体の少なくとも一部を形成していることを特徴とする請求項1ないし6のうちの一項に記載の光デバイス。
  8. 前記静的光コンポーネントの少なくとも一部が、前記基板と前記動的光コンポーネントの一部のための機械的支持体の間に形成されていることを特徴とする請求項1ないし6のうちの一項に記載の光デバイス。
  9. 前記静的光コンポーネントが、前記非アクティブ領域からの周囲光の反射を減らすように形成されていることを特徴とする請求項1ないし8のうちの一項に記載の光デバイス。
  10. 前記動的光コンポーネントが、干渉変調器を包含することを特徴とする請求項1ないし9のうちの一項に記載の光デバイス。
  11. 前記動的光コンポーネントが、前記動的光コンポーネントに対し少なくとも部分的に横方向へずれていることを特徴とする請求項1ないし10のうちの一項に記載の光デバイス。
  12. 前記動的光コンポーネントが、駆動状態及び非駆動状態を有し、各状態は、入射光に対する特徴的な光学的応答を有することを特徴とする請求項1ないし11のうちの一項に記載の光デバイス。
  13. 前記動的光コンポーネントの一部が、駆動状態において、前記基板の上の反射層により隣接して設けられていることを特徴とする請求項12に記載の光デバイス。
  14. 前記動的光コンポーネント部が、反射膜を有し、該反射膜が、駆動状態において、前記基板の上の反射層により隣接して設けられていることを特徴とする請求項12又は13に記載の光デバイス。
  15. 前記反射膜が前記反射層により隣接して駆動させられる時、前記反射膜及び反射層が、変調される光干渉を生じる光共振キャビテイを形成することを特徴とする請求項13又は14に記載の光デバイス。
  16. 光デバイス製造方法であって、
    基板の上に膜スタックを含む静的光吸収コンポーネントを作成するステップと、
    前記基板の上に少なくとも一つの動的光コンポーネントを作成するステップとを有することを特徴とする光デバイス製造方法。
  17. 前記静的光コンポーネントが、ブラックマスクを有することを特徴とする請求項16に記載の光デバイス製造方法。
  18. 前記動的光コンポーネントが、干渉変調器の少なくとも一部を包含することを特徴とする請求項16又は17に記載の光デバイス製造方法。
  19. 前記動的光コンポーネントが、反射膜を有することを特徴とする請求項16ないし18のうちの一項に記載の光デバイス製造方法。
  20. 前記動的光コンポーネントの一部を支持するために、前記静的光吸収コンポーネント上に支柱を形成するステップをさらに有することを特徴とする請求項16ないし19のうちの一項に記載の光デバイス製造方法。
  21. 前記静的光吸収コンポーネントを形成するステップが、前記基板上に膜スタックを形成するステップを包含することを特徴とする請求項16ないし20のうちの一項に記載の光デバイス製造方法。
  22. 前記静的光吸収コンポーネントを形成するステップが、2つの光反射材料相互間にサンドイッチされた誘電体材料を配置するステップを包含することを特徴とする請求項21に記載の光デバイス製造方法。
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Families Citing this family (261)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US8014059B2 (en) 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US6891563B2 (en) 1996-05-22 2005-05-10 Donnelly Corporation Vehicular vision system
US7655894B2 (en) 1996-03-25 2010-02-02 Donnelly Corporation Vehicular image sensing system
US6822563B2 (en) 1997-09-22 2004-11-23 Donnelly Corporation Vehicle imaging system with accessory control
US5877897A (en) 1993-02-26 1999-03-02 Donnelly Corporation Automatic rearview mirror, vehicle lighting control and vehicle interior monitoring system using a photosensor array
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6952301B2 (en) * 1995-06-19 2005-10-04 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light blocking and absorbing areas
US8023724B2 (en) * 1999-07-22 2011-09-20 Photon-X, Inc. Apparatus and method of information extraction from electromagnetic energy based upon multi-characteristic spatial geometry processing
US7167796B2 (en) * 2000-03-09 2007-01-23 Donnelly Corporation Vehicle navigation system for use with a telematics system
US6906847B2 (en) * 2000-12-07 2005-06-14 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
US7405860B2 (en) * 2002-11-26 2008-07-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
US7697027B2 (en) 2001-07-31 2010-04-13 Donnelly Corporation Vehicular video system
US6882287B2 (en) 2001-07-31 2005-04-19 Donnelly Corporation Automotive lane change aid
US6794119B2 (en) * 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
WO2003093857A2 (en) 2002-05-03 2003-11-13 Donnelly Corporation Object detection system for vehicle
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US7781850B2 (en) * 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
TWI289708B (en) 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
TWI302628B (ja) * 2003-01-29 2008-11-01 Qualcomm Mems Technologies Inc
TW594360B (en) * 2003-04-21 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd A method for fabricating an interference display cell
TW570896B (en) 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
TWI231865B (en) * 2003-08-26 2005-05-01 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
US6970611B1 (en) * 2003-08-27 2005-11-29 Kotura, Inc. Optical component having reduced interference from radiation modes
TWI232333B (en) * 2003-09-03 2005-05-11 Prime View Int Co Ltd Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof
US7308341B2 (en) 2003-10-14 2007-12-11 Donnelly Corporation Vehicle communication system
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7342705B2 (en) * 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7119945B2 (en) * 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7855824B2 (en) * 2004-03-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for color optimization in a display
US7526103B2 (en) 2004-04-15 2009-04-28 Donnelly Corporation Imaging system for vehicle
US7060895B2 (en) * 2004-05-04 2006-06-13 Idc, Llc Modifying the electro-mechanical behavior of devices
US7164520B2 (en) * 2004-05-12 2007-01-16 Idc, Llc Packaging for an interferometric modulator
US7256922B2 (en) * 2004-07-02 2007-08-14 Idc, Llc Interferometric modulators with thin film transistors
US7551159B2 (en) * 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7499208B2 (en) * 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7675669B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US20060066932A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Clarence Chui Method of selective etching using etch stop layer
US7679627B2 (en) 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US7327510B2 (en) * 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US20060103643A1 (en) * 2004-09-27 2006-05-18 Mithran Mathew Measuring and modeling power consumption in displays
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7808703B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for implementation of interferometric modulator displays
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7417735B2 (en) * 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Systems and methods for measuring color and contrast in specular reflective devices
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7420728B2 (en) * 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Methods of fabricating interferometric modulators by selectively removing a material
US7553684B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-30 Idc, Llc Method of fabricating interferometric devices using lift-off processing techniques
US7310179B2 (en) * 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7630123B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for compensating for color shift as a function of angle of view
US7532195B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US7710629B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US7299681B2 (en) * 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc Method and system for detecting leak in electronic devices
US7405861B2 (en) * 2004-09-27 2008-07-29 Idc, Llc Method and device for protecting interferometric modulators from electrostatic discharge
US20060065622A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Floyd Philip D Method and system for xenon fluoride etching with enhanced efficiency
US20060176487A1 (en) * 2004-09-27 2006-08-10 William Cummings Process control monitors for interferometric modulators
US7349141B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and post structures for interferometric modulation
US7369296B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7415186B2 (en) * 2004-09-27 2008-08-19 Idc, Llc Methods for visually inspecting interferometric modulators for defects
US7343080B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-11 Idc, Llc System and method of testing humidity in a sealed MEMS device
US7359066B2 (en) * 2004-09-27 2008-04-15 Idc, Llc Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators
US7492502B2 (en) * 2004-09-27 2009-02-17 Idc, Llc Method of fabricating a free-standing microstructure
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US7916103B2 (en) * 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US7928928B2 (en) 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US8362987B2 (en) 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7136213B2 (en) 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7701631B2 (en) 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7373026B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc MEMS device fabricated on a pre-patterned substrate
US7602375B2 (en) * 2004-09-27 2009-10-13 Idc, Llc Method and system for writing data to MEMS display elements
US20060076634A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter
US7724993B2 (en) 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7898521B2 (en) 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7807488B2 (en) * 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display element having filter material diffused in a substrate of the display element
US20060067650A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Clarence Chui Method of making a reflective display device using thin film transistor production techniques
US20060065366A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Cummings William J Portable etch chamber
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7417783B2 (en) * 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Mirror and mirror layer for optical modulator and method
US7561323B2 (en) * 2004-09-27 2009-07-14 Idc, Llc Optical films for directing light towards active areas of displays
US7692839B2 (en) 2004-09-27 2010-04-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating
US7750886B2 (en) * 2004-09-27 2010-07-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for lighting displays
US7881496B2 (en) 2004-09-30 2011-02-01 Donnelly Corporation Vision system for vehicle
US7265892B2 (en) * 2004-10-19 2007-09-04 Texas Instruments Incorporated Micromirror array devices with light blocking areas
KR20060044032A (ko) * 2004-11-11 2006-05-16 삼성전자주식회사 표시패널용 검사 장치 및 이의 검사 방법
US7720580B2 (en) 2004-12-23 2010-05-18 Donnelly Corporation Object detection system for vehicle
US7463406B2 (en) * 2004-12-31 2008-12-09 Au Optronics Corp. Method for fabricating microelectromechanical optical display devices
CN1296271C (zh) * 2005-01-26 2007-01-24 友达光电股份有限公司 微机电光学显示元件的制造方法
TW200628877A (en) * 2005-02-04 2006-08-16 Prime View Int Co Ltd Method of manufacturing optical interference type color display
US20060209012A1 (en) * 2005-02-23 2006-09-21 Pixtronix, Incorporated Devices having MEMS displays
US7405852B2 (en) * 2005-02-23 2008-07-29 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US7755582B2 (en) 2005-02-23 2010-07-13 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US7304786B2 (en) * 2005-02-23 2007-12-04 Pixtronix, Inc. Methods and apparatus for bi-stable actuation of displays
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
US20080158635A1 (en) * 2005-02-23 2008-07-03 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US7417782B2 (en) * 2005-02-23 2008-08-26 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for spatial light modulation
US7999994B2 (en) 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US8519945B2 (en) * 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7742016B2 (en) 2005-02-23 2010-06-22 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7675665B2 (en) 2005-02-23 2010-03-09 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for actuating displays
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US8482496B2 (en) * 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US7746529B2 (en) 2005-02-23 2010-06-29 Pixtronix, Inc. MEMS display apparatus
US7948457B2 (en) 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
CA2607807A1 (en) 2005-05-05 2006-11-16 Qualcomm Incorporated Dynamic driver ic and display panel configuration
EP2495212A3 (en) * 2005-07-22 2012-10-31 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Mems devices having support structures and methods of fabricating the same
KR20080041663A (ko) * 2005-07-22 2008-05-13 콸콤 인코포레이티드 Mems 장치를 위한 지지 구조물 및 그 방법들
US8391630B2 (en) 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7795061B2 (en) * 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7636151B2 (en) * 2006-01-06 2009-12-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing residual stress test structures
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US7382515B2 (en) * 2006-01-18 2008-06-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture
US7652814B2 (en) 2006-01-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device with integrated optical element
US8194056B2 (en) 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7603001B2 (en) * 2006-02-17 2009-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing back-lighting in an interferometric modulator display device
US7582952B2 (en) * 2006-02-21 2009-09-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for providing and removing discharging interconnect for chip-on-glass output leads and structures thereof
US7547568B2 (en) * 2006-02-22 2009-06-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrical conditioning of MEMS device and insulating layer thereof
US7643203B2 (en) * 2006-04-10 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical display system with broadband characteristics
US7903047B2 (en) 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7623287B2 (en) * 2006-04-19 2009-11-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7527996B2 (en) * 2006-04-19 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US8004743B2 (en) 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US8049713B2 (en) 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7369292B2 (en) * 2006-05-03 2008-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrode and interconnect materials for MEMS devices
US7649671B2 (en) 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7405863B2 (en) * 2006-06-01 2008-07-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Patterning of mechanical layer in MEMS to reduce stresses at supports
US7876489B2 (en) * 2006-06-05 2011-01-25 Pixtronix, Inc. Display apparatus with optical cavities
US7766498B2 (en) 2006-06-21 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Linear solid state illuminator
US7702192B2 (en) 2006-06-21 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods for driving MEMS display
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7777715B2 (en) 2006-06-29 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7388704B2 (en) * 2006-06-30 2008-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Determination of interferometric modulator mirror curvature and airgap variation using digital photographs
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
US7566664B2 (en) * 2006-08-02 2009-07-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selective etching of MEMS using gaseous halides and reactive co-etchants
US7972045B2 (en) 2006-08-11 2011-07-05 Donnelly Corporation Automatic headlamp control system
US8872085B2 (en) 2006-10-06 2014-10-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having front illuminator with turning features
WO2008045200A2 (en) 2006-10-06 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Optical loss structure integrated in an illumination apparatus of a display
WO2008045311A2 (en) 2006-10-06 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with built-in light coupler
WO2008045463A2 (en) 2006-10-10 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with diffractive optics
US20080094853A1 (en) 2006-10-20 2008-04-24 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities
US8013780B2 (en) 2007-01-25 2011-09-06 Magna Electronics Inc. Radar sensing system for vehicle
US7916378B2 (en) * 2007-03-08 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing a light absorbing mask in an interferometric modulator display
US7733552B2 (en) 2007-03-21 2010-06-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc MEMS cavity-coating layers and methods
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US7914187B2 (en) 2007-07-12 2011-03-29 Magna Electronics Inc. Automatic lighting system with adaptive alignment function
CA2694044C (en) * 2007-07-25 2017-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mems display devices and methods of fabricating the same
US7570415B2 (en) * 2007-08-07 2009-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device and interconnects for same
US8017898B2 (en) 2007-08-17 2011-09-13 Magna Electronics Inc. Vehicular imaging system in an automatic headlamp control system
WO2009036176A1 (en) 2007-09-11 2009-03-19 Magna Electronics Imaging system for vehicle
US8446470B2 (en) 2007-10-04 2013-05-21 Magna Electronics, Inc. Combined RGB and IR imaging sensor
US8058549B2 (en) 2007-10-19 2011-11-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks
EP2210280A2 (en) 2007-10-19 2010-07-28 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Display with integrated photovoltaic device
US7852546B2 (en) 2007-10-19 2010-12-14 Pixtronix, Inc. Spacers for maintaining display apparatus alignment
US7949213B2 (en) 2007-12-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light illumination of displays with front light guide and coupling elements
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
WO2009079279A2 (en) * 2007-12-17 2009-06-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaics with interferometric back side masks
WO2009102733A2 (en) 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated front light diffuser for reflective displays
WO2009102731A2 (en) 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Devices and methods for enhancing brightness of displays using angle conversion layers
CN101946333A (zh) * 2008-02-12 2011-01-12 高通Mems科技公司 双层薄膜全息太阳能集中器/收集器
US7944604B2 (en) 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US7948672B2 (en) 2008-03-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and methods for tiling display panels
US8049951B2 (en) 2008-04-15 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light with bi-directional propagation
US8248560B2 (en) * 2008-04-18 2012-08-21 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors
US7791783B2 (en) * 2008-06-25 2010-09-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
CN102160196A (zh) * 2008-09-18 2011-08-17 高通Mems科技公司 增加太阳能收集器/集中器中的光收集角度范围
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
US20100157406A1 (en) * 2008-12-19 2010-06-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for matching light source emission to display element reflectivity
US20100195310A1 (en) * 2009-02-04 2010-08-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Shaped frontlight reflector for use with display
WO2010099416A1 (en) 2009-02-27 2010-09-02 Magna Electronics Alert system for vehicle
US8172417B2 (en) * 2009-03-06 2012-05-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Shaped frontlight reflector for use with display
US8736590B2 (en) 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US20100266326A1 (en) * 2009-04-21 2010-10-21 Chuang Cheng-Hua Mark-erasable pen cap
US8376595B2 (en) 2009-05-15 2013-02-19 Magna Electronics, Inc. Automatic headlamp control
JP5484567B2 (ja) 2009-05-29 2014-05-07 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 照明デバイスおよび照明デバイスを加工する方法
EP2459416B1 (en) 2009-07-27 2014-07-02 Magna Electronics Inc. Parking assist system
US9495876B2 (en) 2009-07-27 2016-11-15 Magna Electronics Inc. Vehicular camera with on-board microcontroller
US9041806B2 (en) 2009-09-01 2015-05-26 Magna Electronics Inc. Imaging and display system for vehicle
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
JP2013519122A (ja) 2010-02-02 2013-05-23 ピクストロニックス・インコーポレーテッド ディスプレイ装置を制御するための回路
CN102834763B (zh) 2010-02-02 2015-07-22 皮克斯特罗尼克斯公司 用于制造填充冷密封流体的显示装置的方法
US8890955B2 (en) 2010-02-10 2014-11-18 Magna Mirrors Of America, Inc. Adaptable wireless vehicle vision system based on wireless communication error
US20110205756A1 (en) * 2010-02-19 2011-08-25 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors
WO2011126953A1 (en) 2010-04-09 2011-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer of an electromechanical device and methods of forming the same
US8848294B2 (en) 2010-05-20 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and structure capable of changing color saturation
US9117123B2 (en) 2010-07-05 2015-08-25 Magna Electronics Inc. Vehicular rear view camera display system with lifecheck function
US8670171B2 (en) 2010-10-18 2014-03-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display having an embedded microlens array
DE112011103834T8 (de) 2010-11-19 2013-09-12 Magna Electronics, Inc. Spurhalteassistent und Spurzentrierung
US9900522B2 (en) 2010-12-01 2018-02-20 Magna Electronics Inc. System and method of establishing a multi-camera image using pixel remapping
US8902484B2 (en) 2010-12-15 2014-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Holographic brightness enhancement film
US9264672B2 (en) 2010-12-22 2016-02-16 Magna Mirrors Of America, Inc. Vision display system for vehicle
WO2012103193A1 (en) 2011-01-26 2012-08-02 Magna Electronics Inc. Rear vision system with trailer angle detection
US20120194897A1 (en) * 2011-01-27 2012-08-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backside patterning to form support posts in an electromechanical device
US20120242638A1 (en) * 2011-03-24 2012-09-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dielectric spacer for display devices
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US9194943B2 (en) 2011-04-12 2015-11-24 Magna Electronics Inc. Step filter for estimating distance in a time-of-flight ranging system
US9547795B2 (en) 2011-04-25 2017-01-17 Magna Electronics Inc. Image processing method for detecting objects using relative motion
WO2012145818A1 (en) 2011-04-25 2012-11-01 Magna International Inc. Method and system for dynamically calibrating vehicular cameras
US9213181B2 (en) 2011-05-20 2015-12-15 Pixtronix, Inc. MEMS anchor and spacer structure
US9491450B2 (en) 2011-08-01 2016-11-08 Magna Electronic Inc. Vehicle camera alignment system
US20140218535A1 (en) 2011-09-21 2014-08-07 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system using image data transmission and power supply via a coaxial cable
US9146898B2 (en) 2011-10-27 2015-09-29 Magna Electronics Inc. Driver assist system with algorithm switching
WO2013074604A2 (en) 2011-11-15 2013-05-23 Magna Electronics, Inc. Calibration system and method for vehicular surround vision system
US10457209B2 (en) 2012-02-22 2019-10-29 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with multi-paned view
US8694224B2 (en) 2012-03-01 2014-04-08 Magna Electronics Inc. Vehicle yaw rate correction
US9319637B2 (en) 2012-03-27 2016-04-19 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with lens pollution detection
US10089537B2 (en) 2012-05-18 2018-10-02 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with front and rear camera integration
US9340227B2 (en) 2012-08-14 2016-05-17 Magna Electronics Inc. Vehicle lane keep assist system
DE102013217430A1 (de) 2012-09-04 2014-03-06 Magna Electronics, Inc. Fahrerassistenzsystem für ein Kraftfahrzeug
US9446713B2 (en) 2012-09-26 2016-09-20 Magna Electronics Inc. Trailer angle detection system
US9558409B2 (en) 2012-09-26 2017-01-31 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with trailer angle detection
US9723272B2 (en) 2012-10-05 2017-08-01 Magna Electronics Inc. Multi-camera image stitching calibration system
US9707896B2 (en) 2012-10-15 2017-07-18 Magna Electronics Inc. Vehicle camera lens dirt protection via air flow
US9090234B2 (en) 2012-11-19 2015-07-28 Magna Electronics Inc. Braking control system for vehicle
US10025994B2 (en) 2012-12-04 2018-07-17 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system utilizing corner detection
US9481301B2 (en) 2012-12-05 2016-11-01 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system utilizing camera synchronization
US9092986B2 (en) 2013-02-04 2015-07-28 Magna Electronics Inc. Vehicular vision system
US9445057B2 (en) 2013-02-20 2016-09-13 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with dirt detection
US10179543B2 (en) 2013-02-27 2019-01-15 Magna Electronics Inc. Multi-camera dynamic top view vision system
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
US10027930B2 (en) 2013-03-29 2018-07-17 Magna Electronics Inc. Spectral filtering for vehicular driver assistance systems
US9327693B2 (en) 2013-04-10 2016-05-03 Magna Electronics Inc. Rear collision avoidance system for vehicle
US10232797B2 (en) 2013-04-29 2019-03-19 Magna Electronics Inc. Rear vision system for vehicle with dual purpose signal lines
US9563951B2 (en) 2013-05-21 2017-02-07 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with targetless camera calibration
US9205776B2 (en) 2013-05-21 2015-12-08 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system using kinematic model of vehicle motion
US9260095B2 (en) 2013-06-19 2016-02-16 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with collision mitigation
US20140375476A1 (en) 2013-06-24 2014-12-25 Magna Electronics Inc. Vehicle alert system
US9499139B2 (en) 2013-12-05 2016-11-22 Magna Electronics Inc. Vehicle monitoring system
US9988047B2 (en) 2013-12-12 2018-06-05 Magna Electronics Inc. Vehicle control system with traffic driving control
US9487235B2 (en) 2014-04-10 2016-11-08 Magna Electronics Inc. Vehicle control system with adaptive wheel angle correction
US10328932B2 (en) 2014-06-02 2019-06-25 Magna Electronics Inc. Parking assist system with annotated map generation
US9916660B2 (en) 2015-01-16 2018-03-13 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with calibration algorithm
US10214206B2 (en) 2015-07-13 2019-02-26 Magna Electronics Inc. Parking assist system for vehicle
US10160437B2 (en) 2016-02-29 2018-12-25 Magna Electronics Inc. Vehicle control system with reverse assist

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5164858A (en) * 1990-03-07 1992-11-17 Deposition Sciences, Inc. Multi-spectral filter
JPH06138638A (ja) * 1991-11-14 1994-05-20 Internatl Business Mach Corp <Ibm> マスク及びその製造方法
JPH06222290A (ja) * 1992-11-10 1994-08-12 Korea Electron Telecommun 平面ディスプレイ装置及びその製造方法
JPH07270613A (ja) * 1994-03-03 1995-10-20 Balzers Ag 誘電干渉フィルタ系、lcdディスプレイ及びccd配置構成、並びに誘電干渉フィルタ系の製造法とその使用
US5474865A (en) * 1994-11-21 1995-12-12 Sematech, Inc. Globally planarized binary optical mask using buried absorbers
JPH10500224A (ja) * 1994-05-05 1998-01-06 イタロン インコーポレイテッド 可視スペクトルモジュレーターアレイ
JPH10186249A (ja) * 1996-12-24 1998-07-14 Casio Comput Co Ltd 表示装置
JPH112764A (ja) * 1997-06-10 1999-01-06 Sharp Corp 光開閉装置及び表示装置並びに光開閉装置の製造方法
JP2000500245A (ja) * 1995-11-06 2000-01-11 エタロン インク. 干渉性変調
US6288824B1 (en) * 1998-11-03 2001-09-11 Alex Kastalsky Display device based on grating electromechanical shutter
JP2002040339A (ja) * 2000-07-21 2002-02-06 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子の駆動方法及び光変調素子並びにそれを用いた露光装置、平面表示装置
JP2002062493A (ja) * 2000-08-21 2002-02-28 Canon Inc 干渉性変調素子を用いる表示素子
US6466354B1 (en) * 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4048039A (en) * 1975-03-07 1977-09-13 Balzers Patent Und Beteiligungs-Ag Method of producing a light transmitting absorbing coating on substrates
US4287449A (en) 1978-02-03 1981-09-01 Sharp Kabushiki Kaisha Light-absorption film for rear electrodes of electroluminescent display panel
JP3413238B2 (ja) * 1993-03-31 2003-06-03 オリンパス光学工業株式会社 位相制御膜構造体
JPH07248412A (ja) * 1994-03-11 1995-09-26 Fujitsu Ltd カラーフィルタとカラーフィルタの製造方法
FI98325C (fi) * 1994-07-07 1997-05-26 Vaisala Oy Selektiivinen infrapunadetektori
EP0794452B1 (en) * 1996-03-08 2007-03-21 Canon Kabushiki Kaisha Display apparatus and process for production thereof
US6076932A (en) * 1996-09-26 2000-06-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Light absorber and optical equipment
US6285424B1 (en) * 1997-11-07 2001-09-04 Sumitomo Chemical Company, Limited Black mask, color filter and liquid crystal display
FR2772141B1 (fr) * 1997-12-08 2001-10-05 Commissariat Energie Atomique Revetement absorbeur de lumiere a haut pouvoir absorbant
US6195196B1 (en) * 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
JP3824290B2 (ja) * 1998-05-07 2006-09-20 富士写真フイルム株式会社 アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイ、並びにアレイ型光変調素子の駆動方法
JPH11344603A (ja) * 1998-06-01 1999-12-14 Sti Technology Kk ブラックマスク、カラーフィルター、液晶ディスプレイ及びブラックマスクの製造方法
US6452652B1 (en) * 1998-06-12 2002-09-17 National Semiconductor Corporation Light absorbing thin film stack in a light valve structure
JP2000214804A (ja) * 1999-01-20 2000-08-04 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子及び露光装置並びに平面表示装置
JP4377984B2 (ja) * 1999-03-10 2009-12-02 キヤノン株式会社 カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いた液晶素子
JP4830183B2 (ja) * 2000-07-19 2011-12-07 ソニー株式会社 光学多層構造体および光スイッチング素子、並びに画像表示装置
JP2002062490A (ja) * 2000-08-14 2002-02-28 Canon Inc 干渉性変調素子
JP2002174721A (ja) * 2000-12-06 2002-06-21 Yokogawa Electric Corp ファブリペローフィルタ

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5164858A (en) * 1990-03-07 1992-11-17 Deposition Sciences, Inc. Multi-spectral filter
JPH06138638A (ja) * 1991-11-14 1994-05-20 Internatl Business Mach Corp <Ibm> マスク及びその製造方法
JPH06222290A (ja) * 1992-11-10 1994-08-12 Korea Electron Telecommun 平面ディスプレイ装置及びその製造方法
JPH07270613A (ja) * 1994-03-03 1995-10-20 Balzers Ag 誘電干渉フィルタ系、lcdディスプレイ及びccd配置構成、並びに誘電干渉フィルタ系の製造法とその使用
JPH10500224A (ja) * 1994-05-05 1998-01-06 イタロン インコーポレイテッド 可視スペクトルモジュレーターアレイ
US5474865A (en) * 1994-11-21 1995-12-12 Sematech, Inc. Globally planarized binary optical mask using buried absorbers
JP2000500245A (ja) * 1995-11-06 2000-01-11 エタロン インク. 干渉性変調
JPH10186249A (ja) * 1996-12-24 1998-07-14 Casio Comput Co Ltd 表示装置
JPH112764A (ja) * 1997-06-10 1999-01-06 Sharp Corp 光開閉装置及び表示装置並びに光開閉装置の製造方法
US6288824B1 (en) * 1998-11-03 2001-09-11 Alex Kastalsky Display device based on grating electromechanical shutter
JP2002040339A (ja) * 2000-07-21 2002-02-06 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子の駆動方法及び光変調素子並びにそれを用いた露光装置、平面表示装置
JP2002062493A (ja) * 2000-08-21 2002-02-28 Canon Inc 干渉性変調素子を用いる表示素子
US6466354B1 (en) * 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110038741A (ko) 2011-04-14
CN1666138A (zh) 2005-09-07
JP5575155B2 (ja) 2014-08-20
US20040027636A1 (en) 2004-02-12
KR20110089459A (ko) 2011-08-08
HK1082054A1 (en) 2009-07-03
EP1554626A1 (en) 2005-07-20
KR101019934B1 (ko) 2011-03-08
BRPI0312490B1 (pt) 2018-01-16
AU2003247815A1 (en) 2004-01-23
RU2344450C2 (ru) 2009-01-20
JP2010020350A (ja) 2010-01-28
JP2011242797A (ja) 2011-12-01
CA2490975C (en) 2014-02-04
EP1554626A4 (en) 2010-01-20
JP2005531820A (ja) 2005-10-20
US6741377B2 (en) 2004-05-25
KR20100092985A (ko) 2010-08-23
JP4979755B2 (ja) 2012-07-18
MXPA05000167A (es) 2005-07-15
IL166052D0 (en) 2006-01-15
CA2490975A1 (en) 2004-01-14
KR20100010947A (ko) 2010-02-02
KR101059706B1 (ko) 2011-08-29
WO2004006003A1 (en) 2004-01-15
BR0312490A (pt) 2005-05-03
JP4429900B2 (ja) 2010-03-10
KR101122991B1 (ko) 2012-03-12
CN100405135C (zh) 2008-07-23
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