JP2012052990A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】観察光軸Oa上の所定の位置を観察面Fpとする観察光学系(11)と、観察光学系側から観察面Fpを照明する反射照明機構12と、観察光学系とは反対側から観察面Fpを照明する透過照明機構14と、を備える検査装置10である。透過照明機構14は、光源(51)から導光された透過光を出射する出射部53と、出射部53により出射された透過光を散乱させる散乱部(35b)と、を有し、散乱部は、観察面Fpにおける透過光を所定の散乱状態とすべく、透過照明機構14の透過光軸Pa方向で見て観察面Fpから所定の間隔を置いて設けられている。
【選択図】 図1
Description
(技術の課題)
次に、従来の検査装置における技術の課題について、図7ないし図10を用いて説明する。なお、この技術の課題については、透過ステージ35の下端面35bが散乱面とされていないものとすると、本願発明に係る検査装置10においても同様の問題が生じることから、以下の説明では、理解容易のために検査装置10を用いて説明する。また、図7ないし図10では、理解容易のために、各半導体素子44の様子や後述する微細形状M(図9参照)を強調して示しているが、実際の検査対象物や観察状態と必ずしも一致するものではない。
(散乱面による作用)
検査装置10では、観察光学系を経て観察面Fp上を取得することにより得た撮像カメラ24からの画像データにおけるテープ42の微細形状Mを除去するために、透過ステージ35の下端面35bが散乱面とされている。このため、透過照明機構14の照射機構部16から出射された透過光は、散乱面とされた下端面35bから透過ステージ35内へと入射して上端面35aから出射し、テープ42に貼り付けられた各半導体素子44を裏面側から照射する。このことから、当該透過光は、下端面35bにより散乱されて、テープ42およびそこに貼付された各半導体素子44へと到達することとなる。このように、テープ42を照射する透過光が所定の散乱状態とされていると、観察光学系を経て撮像カメラ24で取得した画像データにおいて、テープ42の微細形状Mを殆ど認識できなくすることができる。これは、テープ42の微細形状Mに対して様々な角度方向で透過光が照射することに起因するものと考えられる。
さらに、実施例3では、押圧機構81の押圧腕部83が、検査対象ワーク40の環状部材43を上方(観察光学系側)から押圧する構成とされていたが、テープ42を押圧するものであってもよく、上記した実施例3の構成に限定されるものではない。
11 (観察光学系としての)観察機構
12 反射照明機構
14、14C 透過照明機構
24 (観察光学系としての)撮像カメラ
34、34A、34C 保持ステージ
35 (透過部材としての)透過ステージ
35a (平坦面としての)上端面
35b (散乱面としての)下端面
42 テープ
44 (検査対象物としての)半導体素子
51 透過用光源
53、53C 出射部
53Ca (筒状保持部としての)筐体
53Cq (透過部材としての)第2光学素子
53Ct (散乱面としての)第2対向面
Fp 観察面
Oa 観察光軸
Pa 透過光軸
Claims (8)
- 観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、を備える検査装置であって、
前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を出射する出射部と、該出射部により出射された透過光を散乱させる散乱部と、を有し、
該散乱部は、前記観察面における透過光を所定の散乱状態とすべく、前記透過照明機構の透過光軸方向で見て前記観察面から所定の間隔を置いて設けられていることを特徴とする検査装置。 - 前記所定の散乱状態は、検査対象物が貼付されるテープを前記観察面上に位置させ、前記透過照明機構からの透過光が照射された前記観察面上の前記テープを前記観察光学系で観察した際に、前記テープを一様に明るい状態とすることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記透過照明機構は、前記出射部からの透過光の透過を許し、かつ前記散乱部と前記観察面との間に該観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた透過部材を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 前記散乱部は、前記透過部材において前記出射部に対向する対向面が、散乱面とされて構成されていることを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 請求項4に記載の検査装置であって、
さらに、前記検査対象物が貼付される前記テープを、前記透過照明機構側から保持可能な筒状の保持ステージを備え、
前記透過部材は、前記保持ステージに保持されることで該保持ステージの内方を埋めるように延在する板状を呈し、
前記出射部は、前記透過部材の前記散乱部へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、出射する透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することを特徴とする検査装置。 - 前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
- 前記透過照明機構は、前記出射部と前記透過部材とを連結しつつ内方に保持する筒状保持部を有することを特徴とする請求項4に記載の検査装置。
- 前記出射部は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化するインテグレータ光学部材を有することを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
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