JP2012028332A - セラミックヒーター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミックヒーター20は、抵抗発熱体24が埋設された円盤状のセラミック基体22と、このセラミック基体22の下面中央に取り付けられた中空形状のシャフト40とを備えている。また、セラミック基体22は、スライド蓋28が取り付けられたレール溝26と、熱電対通路となるガイド溝30とを備えている。更に、シャフト40の外側には、ガイド溝30に通じるチューブ32が上下方向に沿って設けられている。
【選択図】図1
Description
円盤状のセラミック基体の中に抵抗発熱体が埋設されたセラミックヒーターであって、
前記セラミック基体の下面にて前記セラミック基体の側面から中央に向かって直線状に形成されたレール溝と、
該レール溝に沿ってスライド可能であり、該レール溝から脱落しないように前記レール溝の側壁と係止し合うセラミック製のスライド蓋と、
前記レール溝の上面にて前記レール溝の長手方向に沿って形成され、前記スライド蓋を開けると外部に露出した開空間となり、前記スライド蓋を閉じると外部と遮断された閉空間となるガイド溝と、
を備えたものである。
図1のセラミックヒーター20において、熱電対38によってセラミック基体22の外周付近の温度を正確に測定しようとすると、熱電対38の先端部分38aがセラミック基体22の外周付近の下面に設けた穴22aに確実に安定して接触している必要がある。それには、先端部分38aを穴22aの底面に弾性力によって押しつけておくのがよい。図10は、その一例を示す断面図である。図10では、熱電対38としてシース熱電対を使用し、その熱電対38を第1屈曲点と第2屈曲点の2箇所で屈曲させてZ字状にした状態で(1点鎖線参照)、ガイド溝30に収納してスライド蓋28を閉めることにより、Z字状の熱電対38の先端部分38aがスライド蓋28によって上方向に押圧される(実線参照)。そして、その押圧された状態から元の状態に戻ろうとする復元力を弾性力として利用して、先端部分38aを穴22aの底面に押しつけている。なお、熱電対38の断面図を図11に示す。熱電対38は、図11に示すように、ステンレス製のシース38bの内部に絶縁充填材38cが充填され、その絶縁充填材38cに一対のK熱電対素線38d,38eが挿通されたものである。
図13は、熱電対38の先端部分38aを穴22aの底面に弾性力によって押しつけておくための、図10とは異なる例を示す断面図である。図13では、熱電対38の先端部分38aと第2屈曲点との間につば38bを設け、つば38bとスライド蓋28との間に圧縮バネ39(付勢部材)を配置し、その圧縮バネ39により熱電対38の先端部分38aを穴22aの底面に押しつけている。なお、スライド蓋28には、図示しないが圧縮バネ39を入るようにザグリ穴が設けられている。また、圧縮バネ38のピッチは、熱電対38の略水平な部分と干渉しない大きさに設定されている。
図1のセラミックヒーター20において、スライド蓋28の断面形状(長手方向と直交する面で切断したときの断面形状)とパーティクル量との関係を調べた。使用したセラミックヒーター20は、セラミック材料としてAlNを用いた。また、スライド蓋28は、最大幅を8mm、厚みを4mm、セラミック基体22の下面からの飛び出し量を1mmとした。そして、セラミックヒーター20の上面にシリコンウエハーを載せ、500℃、24時間後のシリコンウエハー表面のパーティクル量をウエハー検査装置(KLA-Tencor社製Surfscan SP2)を使って調べた。更にEPMAによってパーティクルの成分を調べた。その結果、パーティクルはAlNとSUSに由来するものと判断した。AlNはスライド蓋28とレール溝26が熱膨張で擦れることで発生したと考えられる。SUSは熱電対のシースの酸化により発生するが、スライド蓋28とレール溝26の機密性が高いとチャンバー内への飛散量が少なくシリコンウエハーのパーティクルになりにくいと考えられる。また、半導体製造装置に利用することを考慮すると、サイズ0.1μm以上のパーティクル量は1000個以下が好ましい。チャンバー内(熱電対38の周り)の雰囲気はN2+O2雰囲気で圧力0.1Torrとした。その結果を表3に示す。なお、表3に示したサンプル22〜27は、いずれも本発明の実施例に相当する。
Claims (11)
- 円盤状のセラミック基体の中に抵抗発熱体が埋設されたセラミックヒーターであって、
前記セラミック基体の下面にて前記セラミック基体の側面から中央に向かって直線状に形成されたレール溝と、
該レール溝に沿ってスライド可能であり、該レール溝から脱落しないように前記レール溝の側壁と係止し合うセラミック製のスライド蓋と、
前記レール溝の上面にて前記レール溝の長手方向に沿って形成され、前記スライド蓋を開けると外部に露出した開空間となり、前記スライド蓋を閉じると外部と遮断された閉空間となるガイド溝と、
を備えたセラミックヒーター。 - 前記スライド蓋は、長手方向と直交する面で切断したときの形状が下辺よりも上辺の方が長い四角形状となっている、
請求項1に記載のセラミックヒーター。 - 前記ガイド溝は、前記セラミック基体の外周付近の温度を測定する熱電対が通される熱電対通路である、
請求項1又は2に記載のセラミックヒーター。 - 前記熱電対は、先端部分が前記セラミック基体に弾性力によって押しつけられている、
請求項3に記載のセラミックヒーター。 - 前記熱電対は、前記ガイド溝に屈曲した状態で前記スライド蓋に押し込まれるようにして収納され、
前記弾性力は、前記熱電対が前記スライド蓋によって押された状態から元の状態に戻ろうとする復元力である、
請求項4に記載のセラミックヒーター。 - 前記弾性力は、前記熱電対の先端部分を前記セラミック基体に向かって付勢する付勢部材によって付与される、
請求項4に記載のセラミックヒーター。 - 前記ガイド溝は、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電線が通される給電線通路である、請求項1又は2に記載のセラミックヒーター。
- 前記ガイド溝は、所定のガスが流通するガス流通路である、請求項1又は2に記載のセラミックヒーター。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のセラミックヒーターであって、
前記セラミック基体の下面中央に取り付けられた中空形状のシャフトと、
前記ガイド溝に通じるように前記シャフトの外側にて上下方向に沿って形成されたチューブと、
を備えたセラミックヒーター。 - 前記チューブは、少なくとも一部が凹部と凸部を備えた複数の短いパイプを連結することにより構成され、隣接する2つのパイプの一方の凹部に他方の凸部が挿入されている、請求項9に記載のセラミックヒーター。
- 前記チューブは、最上部にて、前記スライド蓋を閉じたときに該スライド蓋の終端部と嵌合する嵌合溝を有している、請求項9に記載のセラミックヒーター。
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