JP2012011629A - Liquid droplet ejection head - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid droplet ejection head in which back flow of liquid is prevented in normal circulation, and reverse flow of the liquid is generated in maintenance or the like.SOLUTION: In the liquid droplet ejection head 10 in which liquid is supplied to a pressure chamber 14 by circulation, the cross-sectional area of an individual supply flow passage 26 communicating the pressure chamber 14 with a supply flow passage branch 24 is formed so as to gradually decrease toward the pressure chamber 14 from the supply flow passage branch 24, and the cross-sectional area of an individual recovery flow passage 36 communicating the pressure chamber 14 with a recovery flow passage branch 34 is formed so as to gradually decrease toward the recovery flow passage branch 34 from the pressure chamber 14. Thus, back flow of liquid is prevented in normal circulation, and reverse flow of the liquid is generated in maintenance or the like.

Description

本発明は液滴吐出ヘッドに係り、特に液体を循環させて圧力室に供給する液滴吐出ヘッドに関する。   The present invention relates to a droplet discharge head, and more particularly to a droplet discharge head that circulates liquid and supplies the pressure chamber to a pressure chamber.

インクジェット記録装置で使用される液滴吐出ヘッドは、インク中の溶媒が揮発しやすいインク(たとえば、水を溶媒として用いたインク等)や、インク中に分散された不溶性成分や高分子化合物を多く含有するインク(たとえば、顔料や樹脂微粒子分散物を用いたインク等)を使用すると、印刷待機中だけでなく印刷中もノズルからインク中の溶媒が揮発し、ノズル近傍のインク粘度が上昇するという現象が起きる。ノズル近傍のインク粘度が高くなると、ノズル内部での流体抵抗が大きくなり、吐出するインク滴の飛翔体積や飛翔方向にバラツキが生じたり、不吐出が生じたりするなどの吐出不良が発生する。この結果、印刷媒体上に打滴されるドットの位置ズレや大きさの誤差、更にはドットの欠けを生じさせることとなる。   A droplet discharge head used in an ink jet recording apparatus has a lot of ink in which the solvent in the ink tends to volatilize (for example, ink using water as a solvent), insoluble components and polymer compounds dispersed in the ink. When the ink contained (for example, ink using a pigment or resin fine particle dispersion) is used, the solvent in the ink volatilizes from the nozzle not only during printing standby but also during printing, and the ink viscosity near the nozzle increases. A phenomenon occurs. When the ink viscosity in the vicinity of the nozzle is increased, the fluid resistance inside the nozzle is increased, resulting in ejection failure such as variation in the flying volume and ejection direction of the ejected ink droplet, or non-ejection. As a result, the positional deviation and size error of the dots that are ejected onto the print medium, and the missing dots are caused.

このような問題に対して、インクを印刷中も常時循環させることにより、ノズル近傍のインク粘度が上昇するのを防止する技術が提案されている(たとえば、特許文献1)。この技術は、各圧力室にインクを供給する共通の供給流路(共通供給流路)の他に各圧力室からインクを回収する共通の回収流路(共通回収流路)を設け、共通供給流路から共通回収流路に向かうインクの流れを形成して、インクを循環させて供給するものである。   To solve such a problem, a technique has been proposed in which the ink viscosity in the vicinity of the nozzles is prevented from increasing by constantly circulating the ink even during printing (for example, Patent Document 1). In this technology, in addition to a common supply channel (common supply channel) for supplying ink to each pressure chamber, a common recovery channel (common recovery channel) for recovering ink from each pressure chamber is provided. An ink flow from the flow path toward the common recovery flow path is formed, and the ink is circulated and supplied.

ところで、このように循環型の液滴吐出ヘッドでは、各圧力室は、個別の供給流路(個別供給流路)を介して共通供給流路に連通され、個別の回収流路(個別回収流路)を介して共通回収流路に連通される。この個別供給流路と個別回収流路は、イナータンスが大きくなるように設計されており、吐出時にインクが共通供給流路、共通回収流路に流れないようにされている。   By the way, in such a circulation type liquid droplet ejection head, each pressure chamber communicates with a common supply channel via an individual supply channel (individual supply channel), and an individual recovery channel (individual recovery channel). ) To the common recovery flow path. The individual supply flow path and the individual recovery flow path are designed so as to increase the inertance so that ink does not flow into the common supply flow path and the common recovery flow path during ejection.

しかしながら、このような循環型の液滴吐出ヘッドでは、並列関係に流路が並ぶため、吐出時やメンテナンス時に意図した方向とは逆の方向にインクの流れが発生してしまう場合がある。このような逆方向へのインクの流れが発生してしまうと、インクのリフレッシュが行われないだけではなく、気泡混入時の気泡排出流れも滞るため、気泡の除去ができずに不吐出化してしまうという問題がある。また、非対称な流れが発生することで、周辺の正常に循環が行われていたノズルにも影響を与えるという問題がある。   However, in such a circulation type droplet discharge head, since the flow paths are arranged in parallel, the ink flow may occur in a direction opposite to the direction intended during discharge or maintenance. If the ink flow in the reverse direction occurs, not only refreshing of the ink is performed, but also the flow of discharging the air bubble when the air bubbles are mixed in. There is a problem of end. In addition, the occurrence of an asymmetric flow has a problem in that it affects the peripherally normally circulated nozzles.

そこで、このような循環型の液滴吐出ヘッドにおける逆流を防ぐため、流路に逆止弁を設ける技術が提案されている(たとえば、特許文献2)。   In view of this, a technique has been proposed in which a check valve is provided in the flow path in order to prevent such backflow in the circulation type droplet discharge head (for example, Patent Document 2).

特開2009−241316号公報JP 2009-241316 A 特開2009−248412号公報JP 2009-248212 A

しかし、逆止弁は、可動構造を備えているため、ヘッドの耐久性が低下するという欠点がある。また、メンテナンス時に逆向きに循環動作を行うことができなくなるという欠点がある。また、ノズルを高密度に配置したヘッドでは、流路構造が高精密になるため、逆止弁を採用することが技術的に困難という欠点もある。   However, since the check valve has a movable structure, there is a drawback that the durability of the head is lowered. In addition, there is a disadvantage that the circulation operation cannot be performed in the reverse direction during maintenance. In addition, in a head in which nozzles are arranged at a high density, the flow path structure is highly precise, so there is a drawback that it is technically difficult to employ a check valve.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a droplet discharge head capable of generating a flow in the reverse direction during maintenance while preventing a reverse flow in normal circulation. And

請求項1に係る発明は、前記目的を達成するために、並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路から前記圧力室に向かって断面積が漸次減少するように形成され、前記各個別回収流路は、前記圧力室から前記共通回収流路に向かって断面積が漸次減少するように形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 provides a plurality of pressure chambers arranged in parallel, a common supply channel arranged along the arrangement of the pressure chambers, and an arrangement of the pressure chambers. A common recovery flow path arranged along the plurality of pressure supply chambers, a plurality of individual supply flow paths individually communicating with the common supply flow path, and a pressure recovery chamber individually communicating with the common recovery flow path. A plurality of individual recovery flow paths, and a liquid droplet ejection head that generates a flow from the common supply flow path toward the common recovery flow path through the pressure chamber and supplies the liquid to the pressure chamber. Each individual supply channel is formed such that a cross-sectional area gradually decreases from the common supply channel toward the pressure chamber, and each individual recovery channel is directed from the pressure chamber toward the common recovery channel. A liquid characterized by being formed so that its cross-sectional area gradually decreases To provide a discharge head.

本発明によれば、各圧力室と共通供給流路とを連通する各個別供給流路の流路抵抗が共通供給流路から圧力室に向かって増大するように形成される。また、各圧力室と共通回収流路とを連通する各個別回収流路の流路抵抗が圧力室から共通回収流路に向かって増大するように形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。なお、断面積を変化させる態様は特に限定されず、たとえば、連続的、段階的に変化させることができる。   According to the present invention, the channel resistance of each individual supply channel that communicates each pressure chamber and the common supply channel is formed so as to increase from the common supply channel toward the pressure chamber. Further, the channel resistance of each individual recovery channel that communicates each pressure chamber and the common recovery channel is formed so as to increase from the pressure chamber toward the common recovery channel. Thereby, it is possible to generate a flow in the reverse direction at the time of maintenance or the like while preventing a reverse flow in normal circulation. In addition, the aspect which changes a cross-sectional area is not specifically limited, For example, it can change continuously and in steps.

請求項2に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、流路壁の少なくとも1面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記共通供給流路から前記圧力室に向かって漸次減少するように形成され、前記各個別回収流路は、流路壁の少なくとも1面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記圧力室から前記共通回収流路に向かって漸次減少するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   According to a second aspect of the present invention, in order to achieve the above object, each of the individual supply flow paths is formed by inclining at least one surface of the flow path wall so that the cross-sectional area is different from the common supply flow path. Each of the individual recovery channels is formed so as to be inclined toward the pressure chamber, and at least one surface of the channel wall is inclined, so that a cross-sectional area is increased from the pressure chamber to the common recovery channel. The droplet discharge head according to claim 1, wherein the droplet discharge head is formed so as to gradually decrease toward the path.

本発明によれば、各個別供給流路は、流路壁の少なくとも1面が傾斜して形成されることにより、断面積が共通供給流路から圧力室に向かって漸次減少するように形成される。また、各個別回収流路は、流路壁の少なくとも1面が傾斜して形成されることにより、断面積が圧力室から共通回収流路に向かって漸次減少するように形成される。これにより、単純な流路構造で所望の流路抵抗の各個別供給流路及び各個別回収流路を形成することができる。   According to the present invention, each individual supply channel is formed such that at least one surface of the channel wall is inclined so that the cross-sectional area gradually decreases from the common supply channel toward the pressure chamber. The Each individual recovery channel is formed such that at least one surface of the channel wall is inclined, so that the cross-sectional area gradually decreases from the pressure chamber toward the common recovery channel. Thereby, each individual supply channel and each individual recovery channel having a desired channel resistance can be formed with a simple channel structure.

請求項3に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の断面積と、前記圧力室に連通する連通口の断面積との比率が110%以上になるように形成され、前記各個別回収流路は、前記圧力室に連通する連通口の断面積と、前記共通回収流路に連通する連通口の断面積との比率が110%以上になるように形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   According to a third aspect of the present invention, in order to achieve the above object, each individual supply channel includes a cross-sectional area of a communication port that communicates with the common supply channel, and a cross-sectional area of a communication port that communicates with the pressure chamber. The individual recovery flow path has a cross-sectional area of a communication port communicating with the pressure chamber and a cross-sectional area of a communication port communicating with the common recovery flow path. 3. The droplet discharge head according to claim 1, wherein the droplet discharge head is formed to have a ratio of 110% or more.

本発明によれば、各個別供給流路は、共通供給流路に連通する連通口(入口)の断面積と、圧力室に連通する連通口(出口)の断面積との比率が110%以上になるように形成される。同様に、各個別回収流路は、圧力室に連通する連通口(入口)の断面積と、共通回収流路に連通する連通口(出口)の断面積との比率が110%以上になるように形成される。すなわち、各個別供給流路と各個別回収流路について、入口と出口の断面積の比率(入口/出口)が110%以上になるように形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させるのに十分な流路構造とすることができる。   According to the present invention, each individual supply channel has a ratio of the cross-sectional area of the communication port (inlet) communicating with the common supply channel and the cross-sectional area of the communication port (outlet) communicating with the pressure chamber of 110% or more. It is formed to become. Similarly, the ratio of the cross-sectional area of the communication port (inlet) communicating with the pressure chamber to the cross-sectional area of the communication port (outlet) communicating with the common recovery channel is 110% or more in each individual recovery channel. Formed. That is, for each individual supply channel and each individual recovery channel, the ratio of the cross-sectional area of the inlet to the outlet (inlet / outlet) is formed to be 110% or more. As a result, it is possible to provide a flow path structure sufficient to generate a flow in the reverse direction during maintenance and the like while preventing a reverse flow during normal circulation.

請求項4に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   In the invention according to claim 4, in order to achieve the object, each of the individual supply channels has a chamfered edge portion of a communication port that communicates with the common supply channel, 4. The droplet discharge head according to claim 1, wherein an edge of a communication port communicating with the common recovery channel is formed to protrude into the common recovery channel. .

本発明によれば、各個別供給流路の共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされる。また、各個別回収流路の共通回収流路に連通する連通口の縁部が共通回収流路内に突出して形成される。これにより、共通供給流路から個別供給流路に液体を流れ込みやすくすることができるとともに、個別回収流路から共通回収流路に液体を流れ込みやすくすることができる。これにより、より効果的に平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。   According to the present invention, the edge of the communication port communicating with the common supply channel of each individual supply channel is chamfered. Moreover, the edge part of the communicating port connected to the common recovery flow path of each individual recovery flow path is formed to protrude into the common recovery flow path. As a result, the liquid can easily flow from the common supply channel to the individual supply channel, and the liquid can easily flow from the individual recovery channel to the common recovery channel. Accordingly, it is possible to generate a flow in the reverse direction during maintenance or the like while preventing the reverse flow in the normal circulation more effectively.

請求項5に係る発明は、前記目的を達成するために、並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 5 includes a plurality of pressure chambers arranged in parallel, a common supply channel arranged along the arrangement of the pressure chambers, and the arrangement of the pressure chambers. A common recovery flow path arranged along the plurality of pressure supply chambers, a plurality of individual supply flow paths individually communicating with the common supply flow path, and a pressure recovery chamber individually communicating with the common recovery flow path. A plurality of individual recovery flow paths, and a liquid droplet ejection head that generates a flow from the common supply flow path toward the common recovery flow path through the pressure chamber and supplies the liquid to the pressure chamber. Each individual supply channel is chamfered at the edge of the communication port communicating with the common supply channel, and each individual recovery channel is formed at the edge of the communication port communicating with the common recovery channel. Provided is a droplet discharge head characterized by being formed to protrude into a path

本発明によれば、各個別供給流路の共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされる。また、各個別回収流路の共通回収流路に連通する連通口の縁部が共通回収流路内に突出して形成される。これにより、共通供給流路から個別供給流路に液体を流れ込みやすくすることができるとともに、個別回収流路から共通回収流路に液体を流れ込みやすくすることができる。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。   According to the present invention, the edge of the communication port communicating with the common supply channel of each individual supply channel is chamfered. Moreover, the edge part of the communicating port connected to the common recovery flow path of each individual recovery flow path is formed to protrude into the common recovery flow path. As a result, the liquid can easily flow from the common supply channel to the individual supply channel, and the liquid can easily flow from the individual recovery channel to the common recovery channel. Thereby, it is possible to generate a flow in the reverse direction at the time of maintenance or the like while preventing a reverse flow in normal circulation.

請求項6に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が面取りされることを特徴とする請求項4又は5に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   According to a sixth aspect of the present invention, in order to achieve the above object, each individual supply channel has an edge of a side located on the upstream side with respect to the liquid flow direction of the liquid flowing through the common supply channel. 6. The droplet discharge head according to claim 4, wherein the droplet discharge head is chamfered.

本発明によれば、各個別供給流路は、共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が面取りされる。これにより、より効果的に平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。   According to the present invention, each individual supply channel is chamfered at the edge located on the upstream side with respect to the liquid flow direction of the liquid flowing through the common supply channel. Accordingly, it is possible to generate a flow in the reverse direction during maintenance or the like while preventing the reverse flow in the normal circulation more effectively.

請求項7に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   In the invention according to claim 7, in order to achieve the above object, each of the individual recovery channels has an edge of a side located on the upstream side with respect to the liquid flow direction of the liquid flowing through the common recovery channel. The droplet discharge head according to claim 4, wherein the droplet discharge head is formed so as to protrude into the common recovery channel.

本発明によれば、各個別回収流路は、共通回収流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が共通回収流路内に突出して形成される。これにより、より効果的に平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。   According to the present invention, each individual recovery channel is formed such that the edge of the side located upstream from the liquid flow direction of the liquid flowing through the common recovery channel projects into the common recovery channel. Accordingly, it is possible to generate a flow in the reverse direction during maintenance or the like while preventing the reverse flow in the normal circulation more effectively.

請求項8に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路内に突出して形成される縁部の外周が傾斜して形成されることを特徴とする請求項4〜7のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   In the invention according to claim 8, in order to achieve the above object, each of the individual recovery channels is formed with an inclined outer periphery of an edge formed so as to protrude into the common recovery channel. A droplet discharge head according to any one of claims 4 to 7 is provided.

本発明によれば、各個別回収流路は、共通回収流路内に突出して形成される縁部の外周が傾斜して形成される。これにより、突出部分に気泡等の異物が停留するのを防止することができる。   According to the present invention, each individual recovery channel is formed such that the outer periphery of the edge formed protruding into the common recovery channel is inclined. Thereby, it can prevent that foreign materials, such as a bubble, remain in a protrusion part.

請求項9に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部に形成される面取りが、前記共通供給流路の幅に対して5%以上の面取り長さで形成されるとともに、20°〜70°の面取り角度で形成されることを特徴とする請求項4〜8のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   According to a ninth aspect of the present invention, in order to achieve the object, each of the individual supply channels has a chamfer formed at an edge of a communication port communicating with the common supply channel. The droplet discharge according to any one of claims 4 to 8, wherein the droplet discharge is formed with a chamfering length of 5% or more with respect to the width and a chamfering angle of 20 ° to 70 °. Provide the head.

本発明によれば、各個別供給流路は、共通供給流路の幅に対して5%以上の面取り長さ、20°〜70°の面取り角度で面取りが形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させるのに十分な流路構造とすることができる。   According to the present invention, each individual supply channel is chamfered with a chamfering length of 5% or more and a chamfering angle of 20 ° to 70 ° with respect to the width of the common supply channel. As a result, it is possible to provide a flow path structure sufficient to generate a flow in the reverse direction during maintenance and the like while preventing a reverse flow during normal circulation.

請求項10に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が、前記共通回収流路の幅に対して5%以上の突出量で前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項4〜9のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   According to a tenth aspect of the present invention, in order to achieve the object, each of the individual recovery channels has an edge of a communication port that communicates with the common recovery channel with respect to the width of the common recovery channel. 10. The droplet discharge head according to claim 4, wherein the droplet discharge head is formed to protrude into the common recovery flow path with a protrusion amount of% or more.

本発明によれば、各個別回収流路は、共通回収流路に連通する連通口の縁部が、各個別供給流路の幅に対して5%以上の突出量で共通回収流路内に突出して形成される。これにより、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させるのに十分な流路構造とすることができる。   According to the present invention, each of the individual recovery channels has an edge of the communication port communicating with the common recovery channel in the common recovery channel with a protruding amount of 5% or more with respect to the width of each individual supply channel. Protrusively formed. As a result, it is possible to provide a flow path structure sufficient to generate a flow in the reverse direction during maintenance and the like while preventing a reverse flow during normal circulation.

請求項11に係る発明は、前記目的を達成するために、前記共通供給流路は、前記各個別供給流路に連通する連通口に対向する面に突起部を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   The invention according to claim 11 is characterized in that, in order to achieve the object, the common supply channel has a protrusion on a surface facing a communication port communicating with each of the individual supply channels. A droplet discharge head according to any one of 1 to 10 is provided.

本発明によれば、共通供給流路は、各個別供給流路に連通する連通口に対向する面に突起部が形成される。これにより、共通供給流路から個別供給流路に液体をより流れ込みやすくすることができる。   According to the present invention, the common supply channel is formed with a protrusion on the surface facing the communication port communicating with each individual supply channel. Thereby, it is possible to make it easier for the liquid to flow from the common supply channel to the individual supply channel.

請求項12に係る発明は、前記目的を達成するために、前記突起部は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する面が傾斜して形成されることを特徴とする請求項11に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   In the invention according to claim 12, in order to achieve the above object, the protrusion is formed such that a surface located on the upstream side is inclined with respect to the liquid flow direction of the liquid flowing through the common supply flow path. A droplet discharge head according to claim 11 is provided.

本発明によれば、突起部は、共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する面が傾斜して形成される。これにより、突出部分に気泡等の異物が停留するのを防止することができる。   According to the present invention, the protrusion is formed such that the surface located on the upstream side is inclined with respect to the liquid flow direction of the liquid flowing through the common supply channel. Thereby, it can prevent that foreign materials, such as a bubble, remain in a protrusion part.

本発明によれば、平常時の循環では逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。   According to the present invention, it is possible to generate a flow in the reverse direction during maintenance or the like while preventing a reverse flow during normal circulation.

液滴吐出ヘッドの第1の実施の形態のノズル面の平面透視図Plane perspective view of the nozzle surface of the first embodiment of the droplet discharge head 液滴吐出ヘッドの内部の概略構造を示す縦断面図Longitudinal sectional view showing the schematic structure inside the droplet discharge head 図2の3−3断面図3-3 sectional view of FIG. 図2の4−4断面図4-4 sectional view of FIG. 液滴吐出ヘッドに供給する液体の供給システムの概略構成図Schematic configuration diagram of a liquid supply system to be supplied to a droplet discharge head 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(1)を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment (1) of a separate supply flow path and a separate collection flow path 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(2)を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment (2) of a separate supply flow path and a separate collection flow path 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(3)を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment (3) of a separate supply flow path and a separate collection flow path 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(4)を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment (4) of a separate supply flow path and a separate collection flow path 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(5)を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment (5) of a separate supply flow path and a separate collection flow path 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment of a separate supply flow path and a separate collection flow path 液滴吐出ヘッドの第2の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図Longitudinal sectional view showing a schematic structure inside the second embodiment of the droplet discharge head 図12の13−13断面図13-13 sectional view of FIG. 図12の14−14断面図14-14 sectional view of FIG. 個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment of a separate supply flow path and a separate collection flow path 液滴吐出ヘッドの第3の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図Longitudinal sectional view showing the schematic structure inside the third embodiment of the droplet discharge head 図16の17−17断面図17-17 sectional view of FIG. 図16の18−18断面図18-18 sectional view of FIG. 個別供給流路の他の実施の形態を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment of an individual supply flow path 個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図Sectional drawing which shows other embodiment of an individual collection flow path

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

≪第1の実施の形態≫
〈ヘッドの構成〉
図1は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第1の実施の形態のノズル面の平面透視図である。
<< First Embodiment >>
<Configuration of head>
FIG. 1 is a plan perspective view of a nozzle surface of a first embodiment of a droplet discharge head according to the present invention.

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10は、ノズル12が二次元マトリックス状に配置されたマトリックスヘッドである。   As shown in the figure, the droplet discharge head 10 of the present embodiment is a matrix head in which nozzles 12 are arranged in a two-dimensional matrix.

ノズル12は、ヘッドの長手方向に対して所定角度(θ)傾斜した直線に沿って並ぶノズル12の列を1単位とし、このノズル12の列がヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで多数並列して配置される。   The nozzles 12 have one row of nozzles 12 arranged along a straight line inclined at a predetermined angle (θ) with respect to the longitudinal direction of the head as a unit, and many rows of nozzles 12 are arranged in parallel at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. Arranged.

このようなマトリックスヘッドでは、ヘッドの長手方向(メディアの搬送方向と直交する方向)に投影される実質的なノズル12の間隔を狭めることができ、ノズル12の高密度化を図ることができる。   In such a matrix head, the substantial interval between the nozzles 12 projected in the longitudinal direction of the head (the direction orthogonal to the medium conveyance direction) can be reduced, and the density of the nozzles 12 can be increased.

また、本実施の形態の液滴吐出ヘッドは10は、各ノズル12の圧力室14に液体を循環させて供給する循環型の液滴吐出ヘッド10であり、液体を圧力室14に供給する供給流路20と、液体を圧力室14から回収する回収流路30を備えている。   The droplet discharge head 10 of the present embodiment is a circulation type droplet discharge head 10 that circulates and supplies a liquid to the pressure chamber 14 of each nozzle 12, and supplies the liquid to the pressure chamber 14. A flow path 20 and a recovery flow path 30 for recovering the liquid from the pressure chamber 14 are provided.

供給流路20は、供給流路本流22と、その供給流路本流22から分岐して形成される複数の供給流路支流(共通供給流路)24と、供給流路支流24から更に分岐して形成される複数の個別供給流路26とで構成される。   The supply channel 20 further branches from a supply channel main stream 22, a plurality of supply channel tributaries (common supply channels) 24 formed by branching from the supply channel main stream 22, and the supply channel branch 24. And a plurality of individual supply channels 26 formed in the same manner.

供給流路本流22は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この供給流路本流22には、液体供給口28が連通されており、この液体供給口28から内部に液体が供給される。   The supply flow path main flow 22 is disposed along the longitudinal direction of the head. A liquid supply port 28 communicates with the supply channel main flow 22, and the liquid is supplied from the liquid supply port 28 to the inside.

供給流路支流24は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル12の列ごとに設けられ、そのノズル12の列と平行に配置される。   The supply channel tributary 24 is provided for each row of nozzles 12 arranged along a straight line inclined at a predetermined angle with respect to the longitudinal direction of the head, and is arranged in parallel with the row of nozzles 12.

個別供給流路26は、供給流路支流24に沿って並ぶ圧力室14と供給流路支流24とを連通する流路であり、圧力室14ごとに設けられる。   The individual supply channel 26 is a channel that connects the pressure chambers 14 arranged along the supply channel tributary 24 and the supply channel tributary 24, and is provided for each pressure chamber 14.

回収流路30は、回収流路本流32と、その回収流路本流32から分岐して形成される複数の回収流路支流(共通回収流路)34と、回収流路支流34から更に分岐して形成される複数の個別回収流路36とで構成される。   The recovery channel 30 is further branched from a recovery channel main stream 32, a plurality of recovery channel tributaries (common recovery channels) 34 formed by branching from the recovery channel main stream 32, and the recovery channel tributary 34. And a plurality of individual recovery passages 36 formed in this manner.

回収流路本流32は、ヘッドの長手方向に沿って配置される。この回収流路本流32には、液体回収口38が連通されており、この液体回収口38から内部の液体が回収される。   The recovery flow path main flow 32 is arranged along the longitudinal direction of the head. A liquid recovery port 38 communicates with the recovery flow path main stream 32, and the internal liquid is recovered from the liquid recovery port 38.

回収流路支流34は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線に沿って並ぶノズル12の列ごとに設けられ、そのノズル12の列と平行に配置される。   The recovery flow path tributary 34 is provided for each row of nozzles 12 arranged along a straight line inclined at a predetermined angle with respect to the longitudinal direction of the head, and is arranged in parallel with the row of nozzles 12.

個別回収流路36は、回収流路支流34に沿って並ぶ圧力室14と回収流路支流34とを連通する流路であり、圧力室14ごとに設けられる。   The individual recovery channel 36 is a channel that connects the pressure chambers 14 arranged along the recovery channel tributary 34 and the recovery channel tributary 34, and is provided for each pressure chamber 14.

図2は、液滴吐出ヘッドの内部の概略構造を示す縦断面図である。また、図3、図4は、それぞれ図2の3−3断面図、4−4断面図である。   FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a schematic structure inside the droplet discharge head. 3 and 4 are a 3-3 sectional view and a 4-4 sectional view of FIG. 2, respectively.

同図に示すように、液滴吐出ヘッド10は、主として、ノズルプレート40と、圧力室プレート42と、振動板44と、圧力室上部プレート46とで構成される。   As shown in the figure, the droplet discharge head 10 is mainly composed of a nozzle plate 40, a pressure chamber plate 42, a vibration plate 44, and a pressure chamber upper plate 46.

ノズルプレート40は、所定の厚さを有する矩形状の基板で構成され、最下層に配置される。このノズルプレート40には、ノズル12が形成される。本例では、テーパ状のノズルが形成されているが、ノズルの形状は、これに限定されるものではない。   The nozzle plate 40 is composed of a rectangular substrate having a predetermined thickness, and is arranged in the lowermost layer. The nozzle 12 is formed on the nozzle plate 40. In this example, a tapered nozzle is formed, but the shape of the nozzle is not limited to this.

圧力室プレート42は、所定の厚さを有する矩形状の基板で構成され、ノズルプレート40の上に配置される。この圧力室プレート42には、ノズルプレート40に成された各ノズル12に対応して圧力室14が形成されるとともに、各圧力室14に連通する個別供給流路26及び個別回収流路36が形成される。また、この圧力室プレート42には、各個別供給流路26が連通される供給流路支流24と、その供給流路支流24が連通される供給流路本流22(図示せず)、及び、各個別回収流路36が連通される回収流路支流34と、その回収流路支流34が連通される回収流路本流32(図示せず)が形成される。   The pressure chamber plate 42 is formed of a rectangular substrate having a predetermined thickness, and is disposed on the nozzle plate 40. In the pressure chamber plate 42, a pressure chamber 14 is formed corresponding to each nozzle 12 formed in the nozzle plate 40, and an individual supply channel 26 and an individual recovery channel 36 communicating with each pressure chamber 14 are provided. It is formed. In addition, the pressure chamber plate 42 includes a supply channel branch 24 that communicates with the individual supply channels 26, a supply channel main stream 22 (not shown) that communicates with the supply channel branch 24, and A recovery channel branch 34 that communicates with each individual recovery channel 36 and a recovery channel main stream 32 (not shown) that communicates with the recovery channel branch 34 are formed.

圧力室14は、断面矩形状に形成され、その中央にノズル12が配置される。なお、圧力室14の形状は、これに限定されるものではなく、たとえば、断面円形状に形成することもできる。また、ノズル12の配置も必ずしも中央である必要はなく、たとえば、コーナー等に配置する構成とすることもできる。   The pressure chamber 14 is formed in a rectangular cross section, and the nozzle 12 is disposed at the center thereof. In addition, the shape of the pressure chamber 14 is not limited to this, For example, it can also form in cross-sectional circle shape. Further, the arrangement of the nozzles 12 is not necessarily centered, and for example, the nozzle 12 can be arranged at a corner or the like.

圧力室14は、圧力室プレート42に貫通して形成され、圧力室プレート42にノズルプレート40が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート40によって覆われる。また、圧力室プレート42に振動板44が取り付けられることにより、開口した上面部分が振動板44によって覆われる。   The pressure chamber 14 is formed to penetrate the pressure chamber plate 42, and the nozzle plate 40 is attached to the pressure chamber plate 42, so that the opened lower surface portion is covered with the nozzle plate 40. Further, by attaching the diaphragm 44 to the pressure chamber plate 42, the opened upper surface portion is covered with the diaphragm 44.

供給流路支流24は、一定ピッチで配置される圧力室14の配列(単位ごとの配列)に沿って配置される。この供給流路支流24は、圧力室プレート42の上面に一定の深さ、一定の幅を有する溝として形成され、圧力室プレート42に振動板44が取り付けられると、その振動板44によって開口した上面部分が覆われる。   The supply flow path tributary 24 is arranged along the arrangement of the pressure chambers 14 arranged at a constant pitch (an arrangement for each unit). The supply flow path branch 24 is formed as a groove having a certain depth and certain width on the upper surface of the pressure chamber plate 42, and is opened by the diaphragm 44 when the diaphragm 44 is attached to the pressure chamber plate 42. The upper surface part is covered.

回収流路支流34も一定ピッチで配置される圧力室14の配列(単位ごとの配列)に沿って配置される。この回収流路支流34は、圧力室プレート42の下面に一定の深さ、一定の幅を有する溝として形成され、圧力室プレート42にノズルプレート40が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート40によって覆われる。   The recovery channel tributaries 34 are also arranged along the arrangement of the pressure chambers 14 (an arrangement for each unit) arranged at a constant pitch. This recovery flow path tributary 34 is formed as a groove having a certain depth and certain width on the lower surface of the pressure chamber plate 42, and the nozzle plate 40 is attached to the pressure chamber plate 42, so that the opened lower surface portion is formed. Covered by the nozzle plate 40.

供給流路支流24と回収流路支流34は、同じ形状で形成され、圧力室14を挟んで対称に配置される。   The supply channel tributary 24 and the recovery channel tributary 34 are formed in the same shape and are arranged symmetrically with the pressure chamber 14 in between.

個別供給流路26は、圧力室14から供給流路支流24に向かって水平に延びるように形成され、圧力室14と供給流路支流24とを連通する。この個別供給流路26は、イナータンスが大きくなるように設計され、圧力室プレート42の上面に所定幅を有する溝として形成される。特に、本実施の形態の個別供給流路26は、図2に示すように、底部26Aが傾斜して形成され、その断面積が供給流路支流24から圧力室14に向かって漸次減少するように形成される(いわゆるテーパ状の流路とする。)。このように、断面積が供給流路支流24から圧力室14に向かって漸次減少するように形成することにより、個別供給流路26は、その流路抵抗が供給流路支流24から圧力室14に向かって増大するように形成され、逆流が効果的に抑止される。   The individual supply channel 26 is formed to extend horizontally from the pressure chamber 14 toward the supply channel branch 24, and communicates the pressure chamber 14 with the supply channel branch 24. The individual supply channel 26 is designed to have a large inertance, and is formed as a groove having a predetermined width on the upper surface of the pressure chamber plate 42. In particular, as shown in FIG. 2, the individual supply flow path 26 of the present embodiment is formed such that the bottom 26 </ b> A is inclined, and its cross-sectional area gradually decreases from the supply flow path branch 24 toward the pressure chamber 14. Formed into a so-called tapered flow path. In this way, by forming the cross-sectional area so as to gradually decrease from the supply flow path branch 24 toward the pressure chamber 14, the individual supply flow path 26 has its flow resistance from the supply flow path branch 24 to the pressure chamber 14. The backflow is effectively suppressed.

このように形成された個別供給流路26は、圧力室プレート42に振動板44が取り付けられることにより、その開口した上面部分が振動板44に覆われる。   In the individual supply flow path 26 formed in this way, the diaphragm 44 is attached to the pressure chamber plate 42, so that the opened upper surface portion is covered with the diaphragm 44.

個別回収流路36は、圧力室14から回収流路支流34に向かって水平に延びるように形成され、圧力室14と回収流路支流34とを連通する。この個別回収流路36もイナータンスが大きくなるように設計され、圧力室プレート42の上面に所定幅を有する溝として形成される。特に、本実施の形態の個別回収流路36は、図2に示すように、天面部36Aが傾斜して形成され、断面積が圧力室14から回収流路支流34に向かって漸次減少するように形成される(いわゆるテーパ状の流路とする)。このように、断面積が圧力室14から回収流路支流34に向かって漸次減少するように形成することにより、個別回収流路36は、その流路抵抗が圧力室14から回収流路支流34に向かって増大するように形成され、逆流が効果的に抑止される。   The individual recovery channel 36 is formed to extend horizontally from the pressure chamber 14 toward the recovery channel tributary 34, and communicates the pressure chamber 14 and the recovery channel tributary 34. The individual recovery flow path 36 is also designed to have a large inertance, and is formed as a groove having a predetermined width on the upper surface of the pressure chamber plate 42. In particular, as shown in FIG. 2, the individual recovery channel 36 of the present embodiment is formed such that the top surface portion 36 </ b> A is inclined, and the cross-sectional area gradually decreases from the pressure chamber 14 toward the recovery channel tributary 34. (So-called tapered flow path). Thus, by forming the cross-sectional area so as to gradually decrease from the pressure chamber 14 toward the recovery flow path tributary 34, the individual recovery flow path 36 has its flow resistance from the pressure chamber 14 to the recovery flow path tributary 34. The backflow is effectively suppressed.

このように形成された個別回収流路36は、圧力室プレート42にノズルプレート40が取り付けられることにより、その開口した下面部分がノズルプレート40に覆われる。   The individual recovery flow path 36 formed in this way is attached to the pressure chamber plate 42 by the nozzle plate 40, so that the opened lower surface portion is covered with the nozzle plate 40.

振動板44は、所定厚さを有する矩形の薄板状に形成され、圧力室プレート42の上に配置される。上記のように、圧力室14は、この振動板44が配置されることにより、天井部が閉塞される。すなわち、この振動板44は圧力室14の天井面を構成する。   The diaphragm 44 is formed in a rectangular thin plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the pressure chamber plate 42. As described above, the pressure chamber 14 is closed at the ceiling portion by arranging the diaphragm 44. That is, the diaphragm 44 constitutes the ceiling surface of the pressure chamber 14.

振動板44の上には、各圧力室14の位置に対応して圧電素子48が配置される。各圧力室14は、この圧電素子48を駆動することにより、天井面が変位し、容積が膨張・収縮される。そして、これにより、圧力室14内の液体がノズル12から液滴として吐出される。   A piezoelectric element 48 is disposed on the vibration plate 44 in correspondence with the position of each pressure chamber 14. Each pressure chamber 14 is driven to drive the piezoelectric element 48 so that the ceiling surface is displaced and the volume is expanded and contracted. As a result, the liquid in the pressure chamber 14 is discharged as droplets from the nozzle 12.

圧力室上部プレート46は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、振動板44の上に配置される。この圧力室上部プレート46には、振動板44の上に設けられた圧電素子48に対応して、矩形状の空間50が形成されている。振動板44の上に設けられた各圧電素子48は、振動板44に圧力室上部プレート46が取り付けられると、この圧力室上部プレート46に形成された空間50に収容される。これにより、圧電素子48が変位可能に取り付けられる。   The pressure chamber upper plate 46 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the vibration plate 44. A rectangular space 50 is formed in the pressure chamber upper plate 46 corresponding to the piezoelectric element 48 provided on the vibration plate 44. Each piezoelectric element 48 provided on the vibration plate 44 is accommodated in a space 50 formed in the pressure chamber upper plate 46 when the pressure chamber upper plate 46 is attached to the vibration plate 44. Thereby, the piezoelectric element 48 is attached to be displaceable.

〈液体の供給システム〉
−システム構成−
まず、システムの全体構成について概説する。
<Liquid supply system>
-System configuration-
First, the overall configuration of the system will be outlined.

図5は、液滴吐出ヘッドに供給する液体の供給システムの概略構成図である。   FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a liquid supply system supplied to the droplet discharge head.

メインタンク100は、メインタンク接続配管102を介してバッファータンク104と連結されている。このメインタンク接続配管102には、メインポンプ106とメインバルブ108が設けられている。   The main tank 100 is connected to the buffer tank 104 via the main tank connection pipe 102. The main tank connection pipe 102 is provided with a main pump 106 and a main valve 108.

メインポンプ106は、制御装置(図示せず)からの指令に応じて作動し、メインタンク100に貯留された液体をバッファータンク104に送液する。   The main pump 106 operates in response to a command from a control device (not shown), and sends the liquid stored in the main tank 100 to the buffer tank 104.

メインバルブ108は、制御装置からの指令に応じて作動し、メインタンク接続配管102を開閉する。   The main valve 108 operates in response to a command from the control device, and opens and closes the main tank connection pipe 102.

バッファータンク104は、天面に形成された大気開放穴104Aを介して内部が大気開放されている。このバッファータンク104の内部には、メインタンク100から供給される液体によって、その内部に所定量の液体が貯留される。   The buffer tank 104 is open to the atmosphere through an open air hole 104A formed on the top surface. A predetermined amount of liquid is stored in the buffer tank 104 by the liquid supplied from the main tank 100.

バッファータンク104は、第1供給流路110を介して供給タンク112に連通されており、供給タンク112は、第2供給流路114を介して液滴吐出ヘッド10の液体供給口28に連通されている。   The buffer tank 104 is communicated with the supply tank 112 via the first supply channel 110, and the supply tank 112 is communicated with the liquid supply port 28 of the droplet discharge head 10 via the second supply channel 114. ing.

また、バッファータンク104は、第1回収流路118を介して回収タンク120に連通されており、回収タンク120は、第2回収流路122を介して、液滴吐出ヘッド10の液体回収口38に連通されている。   The buffer tank 104 is communicated with the recovery tank 120 via the first recovery flow path 118, and the recovery tank 120 is connected to the liquid recovery port 38 of the droplet discharge head 10 via the second recovery flow path 122. It is communicated to.

第1供給流路110には、供給ポンプ126とフィルタ128とが設けられている。供給ポンプ126は、制御装置からの指令に応じて作動し、バッファータンク104から供給タンク112に液体を送液する。フィルタ128は、供給ポンプ126とバッファータンク104との間に設けられており、供給タンク112に供給する液体から不純物を除去する。   A supply pump 126 and a filter 128 are provided in the first supply flow path 110. The supply pump 126 operates in response to a command from the control device, and sends liquid from the buffer tank 104 to the supply tank 112. The filter 128 is provided between the supply pump 126 and the buffer tank 104 and removes impurities from the liquid supplied to the supply tank 112.

第2供給流路114には、供給バルブ130が設けられている。供給バルブ130は、制御装置からの指令に応じて作動し、第2供給流路114を開閉する。   A supply valve 130 is provided in the second supply channel 114. The supply valve 130 operates in response to a command from the control device, and opens and closes the second supply flow path 114.

第1回収流路118には、回収ポンプ132が設けられている。回収ポンプ132は、制御装置からの指令に応じて作動し、回収タンク120からバッファータンク104に液体を送液する。   A recovery pump 132 is provided in the first recovery channel 118. The recovery pump 132 operates in response to a command from the control device, and sends liquid from the recovery tank 120 to the buffer tank 104.

第2回収流路122には、回収バルブ134が設けられている。回収バルブ134は、制御装置からの指令に応じて作動し、第2供給流路114を開閉する。   A recovery valve 134 is provided in the second recovery flow path 122. The collection valve 134 operates according to a command from the control device, and opens and closes the second supply flow path 114.

供給タンク112は、その内部が弾性膜136によって供給液体室112Aと供給気体室112Bとに区画されている。供給液体室112Aには、第1供給流路110と第2供給流路114が連通されている。第1供給流路110を介してバッファータンク104から供給される液体は、一旦、この供給液体室112Aに貯留される。そして、この供給液体室112Aから第2供給流路114を介して液滴吐出ヘッド10に供給される。この供給液体室112Aは、その内部圧力が供給圧力検出器138によって検出されており、その検出結果は制御装置に出力される。   The inside of the supply tank 112 is partitioned into a supply liquid chamber 112A and a supply gas chamber 112B by an elastic film 136. A first supply channel 110 and a second supply channel 114 are communicated with the supply liquid chamber 112A. The liquid supplied from the buffer tank 104 via the first supply channel 110 is temporarily stored in the supply liquid chamber 112A. Then, it is supplied from the supply liquid chamber 112 </ b> A to the droplet discharge head 10 via the second supply flow path 114. The supply liquid chamber 112A has its internal pressure detected by the supply pressure detector 138, and the detection result is output to the control device.

一方、供給気体室112Bには、気体が充填されている。この供給気体室112Bには、供給気体室112Bを大気に開放するための大気開放管140が連通されている。大気開放管140には、大気開放バルブ142が設けられている。大気開放バルブ142は、制御装置からの指令に応じて作動し、大気開放管140を開閉する。   On the other hand, the supply gas chamber 112B is filled with gas. The supply gas chamber 112B communicates with an atmosphere release pipe 140 for opening the supply gas chamber 112B to the atmosphere. The atmosphere release pipe 140 is provided with an atmosphere release valve 142. The atmosphere release valve 142 operates in response to a command from the control device, and opens and closes the atmosphere release pipe 140.

回収タンク120の構成も同様である。すなわち、その内部が弾性膜144によって回収液体室120Aと回収気体室120Bとに区画されている。   The configuration of the recovery tank 120 is the same. That is, the inside is partitioned into the recovery liquid chamber 120A and the recovery gas chamber 120B by the elastic film 144.

回収液体室120Aには、第1回収流路118と第2回収流路122とが連通されている。液滴吐出ヘッド10から第2回収流路122を介して回収される液体は、一旦、この回収液体室120Aに貯留される。そして、回収液体室120Aから第1回収流路118を介してバッファータンク104に回収される。この回収液体室120Aは、その内部圧力が回収圧力検出器146によって検出されており、その検出結果は制御装置に出力される。   A first recovery channel 118 and a second recovery channel 122 are communicated with the recovery liquid chamber 120A. The liquid recovered from the droplet discharge head 10 via the second recovery flow path 122 is temporarily stored in the recovery liquid chamber 120A. Then, the liquid is recovered from the recovery liquid chamber 120 </ b> A to the buffer tank 104 via the first recovery flow path 118. The recovery liquid chamber 120A has its internal pressure detected by a recovery pressure detector 146, and the detection result is output to the control device.

一方、回収気体室120Bには、気体が充填されている。この回収気体室120Bには、回収気体室120Bを大気に開放するための大気開放管148が連通されている。大気開放管148には、大気開放バルブ150が設けられている。大気開放バルブ150は、制御装置からの指令に応じて作動し、大気開放管148を開閉する。   On the other hand, the recovery gas chamber 120B is filled with gas. The recovery gas chamber 120B communicates with an atmosphere release pipe 148 for opening the recovery gas chamber 120B to the atmosphere. The atmosphere release pipe 148 is provided with an atmosphere release valve 150. The atmosphere release valve 150 operates in response to a command from the control device, and opens and closes the atmosphere release pipe 148.

−液体の供給動作−
次に、液体の循環供給の動作について説明する。
-Liquid supply operation-
Next, the operation of circulating and supplying the liquid will be described.

循環供給時、供給タンク112の供給気体室112Bを大気開放する大気開放バルブ142と、回収タンク120の回収気体室120Bを大気開放する大気開放バルブ150は、それぞれ閉じられる。一方、液体を供給タンク112の供給液体室112Aから液滴吐出ヘッド10に供給する第2供給流路114の供給バルブ130と、液滴吐出ヘッド10から回収タンク120の回収液体室120Aに回収する第2回収流路122の回収バルブ134は、それぞれ開かれる。   At the time of circulating supply, the air release valve 142 that opens the supply gas chamber 112B of the supply tank 112 to the atmosphere and the air release valve 150 that opens the recovery gas chamber 120B of the recovery tank 120 to the atmosphere are closed. On the other hand, the liquid is recovered from the supply liquid chamber 112A of the supply tank 112 to the droplet discharge head 10 to the supply valve 130 of the second supply flow path 114 and from the droplet discharge head 10 to the recovery liquid chamber 120A of the recovery tank 120. The recovery valves 134 of the second recovery flow path 122 are each opened.

本例の供給システムでは、供給側の圧力を回収側の圧力よりも所定量だけ高く設定することにより、供給タンク112側から液滴吐出ヘッド10を経て回収タンク120側に液体が送液される。具体的には、供給液体室112Aの内部圧力をPin、回収液体室120Aの内部圧力をPout、ノズルの背圧(負圧)をPn、液体吐出面と供給圧力検出器138との間の高低差により生じる圧力差(水頭圧)をHin、液体吐出面と回収圧力検出器146との間の高低差により生じる圧力差(水頭圧)をHoutとすると、Pin+Hin>Pn>Pout+Hout(mmH2O)として、ノズルに所定の背圧を付与する。   In the supply system of this example, by setting the pressure on the supply side higher than the pressure on the recovery side by a predetermined amount, the liquid is sent from the supply tank 112 side to the recovery tank 120 side via the droplet discharge head 10. . Specifically, the internal pressure of the supply liquid chamber 112A is Pin, the internal pressure of the recovery liquid chamber 120A is Pout, the back pressure (negative pressure) of the nozzle is Pn, and the height between the liquid discharge surface and the supply pressure detector 138 is high or low. If the pressure difference (water head pressure) caused by the difference is Hin and the pressure difference (water head pressure) caused by the height difference between the liquid ejection surface and the recovery pressure detector 146 is Hout, then Pin + Hin> Pn> Pout + Hout (mmH2O) A predetermined back pressure is applied to the nozzle.

制御装置は、供給圧力検出器138により検出される供給液体室112Aの内部圧力と、回収圧力検出器146により検出された回収液体室120Aの内部圧力とに基づいて、供給ポンプ126及び回収ポンプ132の駆動を制御し、供給液体室112Aの内部圧力と回収液体室120Aの内部圧力を、それぞれ所定の圧力Pin、Poutに制御する。これにより、液滴吐出ヘッド10に対して液体が循環して供給される。   Based on the internal pressure of the supply liquid chamber 112 </ b> A detected by the supply pressure detector 138 and the internal pressure of the recovery liquid chamber 120 </ b> A detected by the recovery pressure detector 146, the control device controls the supply pump 126 and the recovery pump 132. And the internal pressure of the supply liquid chamber 112A and the internal pressure of the recovery liquid chamber 120A are controlled to predetermined pressures Pin and Pout, respectively. Thereby, the liquid is circulated and supplied to the droplet discharge head 10.

なお、供給ポンプ126と回収ポンプ132の動作による圧力変動が生じた場合であっても、供給タンク112に設けられた弾性膜136と、回収タンク120に設けられた弾性膜144とにより吸収することができ、ノズル12における圧力変動を抑えることができる。これにより、常にノズル12の背圧を一定に維持することができる。   Even when a pressure fluctuation occurs due to the operation of the supply pump 126 and the recovery pump 132, the pressure is absorbed by the elastic film 136 provided in the supply tank 112 and the elastic film 144 provided in the recovery tank 120. The pressure fluctuation in the nozzle 12 can be suppressed. Thereby, the back pressure of the nozzle 12 can always be maintained constant.

液体の循環供給動作は、液滴吐出ヘッド10の動作中(印刷中)も常に行われ、これにより、ノズル12から吐出する液体の増粘を抑制することができる。   The circulation supply operation of the liquid is always performed even during the operation (printing) of the droplet discharge head 10, thereby suppressing the thickening of the liquid discharged from the nozzle 12.

〈液滴吐出ヘッドの作用〉
上記のように、液滴吐出ヘッド10には、ノズル12から吐出させる液体(たとえば、インク)が循環して供給される。
<Action of droplet discharge head>
As described above, the liquid (for example, ink) discharged from the nozzle 12 is circulated and supplied to the droplet discharge head 10.

供給タンク112から液体供給口28に液体は、まず、供給流路本流を22を流れる。そして、供給流路本流22から供給流路支流(共通供給流路)24へと流れ、供給流路支流24から個別供給流路26を介して各圧力室14に供給される。   The liquid from the supply tank 112 to the liquid supply port 28 first flows through the supply flow path main flow 22. Then, it flows from the supply flow channel main flow 22 to the supply flow channel tributary (common supply flow channel) 24, and is supplied from the supply flow channel tributary 24 to each pressure chamber 14 via the individual supply flow channel 26.

圧力室14に供給された液体は、圧電素子48の駆動により、ノズル12から吐出される。   The liquid supplied to the pressure chamber 14 is discharged from the nozzle 12 by driving the piezoelectric element 48.

また、この圧電素子48の動作とは別に供給流路20と回収流路30との圧力差により、圧力室14内の液体は、個別回収流路36を介して回収流路支流(共通回収流路)34へと流れる。回収流路支流34へと流れた液体は、回収流路本流32へ流れ、液体回収口38を介して回収タンク120に回収される。   In addition to the operation of the piezoelectric element 48, due to the pressure difference between the supply channel 20 and the recovery channel 30, the liquid in the pressure chamber 14 flows through the individual recovery channel 36 through the recovery channel tributary (common recovery flow). Road) 34. The liquid that has flowed to the recovery flow path tributary 34 flows to the recovery flow path main flow 32 and is recovered to the recovery tank 120 via the liquid recovery port 38.

このように、圧力室14に対して、ノズル12から吐出させる液体が循環して供給される。   Thus, the liquid discharged from the nozzle 12 is circulated and supplied to the pressure chamber 14.

ところで、このような循環型の液滴吐出ヘッド10において、吐出時等に意図した方向と逆の方向に液体が流れると、液体のリフレッシュが行われないだけではなく、気泡混入時の気泡排出流れも滞るため気泡の除去ができず、不吐出化してしまうという問題がある。また、非対称な流れが発生することにより、周辺の正常に循環が行われていたノズルにも影響を与えるという問題がある。   By the way, in such a circulation type droplet discharge head 10, when a liquid flows in a direction opposite to the direction intended at the time of discharge or the like, not only the liquid is not refreshed but also a bubble discharge flow when bubbles are mixed. Therefore, there is a problem that the bubbles cannot be removed and the discharge becomes impossible. In addition, the occurrence of an asymmetric flow also affects the surrounding nozzles that have been normally circulated.

しかしながら、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、圧力室14に連通された個別供給流路26が、圧力室14に向かって断面積が漸次減少するように形成されるとともに、個別回収流路36が、回収流路支流34に向かって断面積が漸次減少するように形成されていることから、逆流を有効に防止することができる。すなわち、個別供給流路26の断面積を共通流路支流24から圧力室14に向かって漸次減少するように形成することにより、共通流路支流24から圧力室14に向かって流路抵抗が増大するように形成でき、逆流(圧力室14から共通流路支流24に向かう流れ)を有効に防止することができる。また、個別回収流路36の断面積を圧力室14から回収流路支流34に向かって漸次減少するように形成することにより、圧力室14から回収流路支流34に向かって流路抵抗が増大するように形成でき、逆流(回収流路支流34から圧力室14に向かう流れ)を有効に防止することができる。   However, in the liquid droplet ejection head 10 of the present embodiment, the individual supply flow channel 26 communicated with the pressure chamber 14 is formed so that the cross-sectional area gradually decreases toward the pressure chamber 14, and the individual recovery flow Since the path 36 is formed so that the cross-sectional area gradually decreases toward the recovery flow path tributary 34, backflow can be effectively prevented. That is, by forming the cross-sectional area of the individual supply channel 26 so as to gradually decrease from the common channel tributary 24 toward the pressure chamber 14, the channel resistance increases from the common channel tributary 24 toward the pressure chamber 14. Thus, backflow (flow from the pressure chamber 14 toward the common flow path branch 24) can be effectively prevented. Further, by forming the cross-sectional area of the individual recovery channel 36 so as to gradually decrease from the pressure chamber 14 toward the recovery channel tributary 34, the channel resistance increases from the pressure chamber 14 toward the recovery channel tributary 34. Thus, backflow (flow from the recovery flow path tributary 34 toward the pressure chamber 14) can be effectively prevented.

一方、メンテナンス時などには、意図的に液体を逆方向に循環させることがあるが、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10は、まったく逆方向の流れを許容しない構成ではないので、必要に応じて通常動作時(印刷時)とは逆方向に液体を流すこともできる。   On the other hand, during maintenance, the liquid may be intentionally circulated in the reverse direction. However, the droplet discharge head 10 of the present embodiment is not configured to allow the flow in the reverse direction at all. Accordingly, it is possible to cause the liquid to flow in the direction opposite to that during normal operation (printing).

このように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10によれば、平常時の循環では、逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。これにより、意図しないリフィルや、それに伴うクロストークの発生等を抑止できる。また、液体の流れ方向が一方向になるため、局所的なループが発生せず、スムーズに気泡や異物、劣化した液体を排出することができる。   Thus, according to the droplet discharge head 10 of the present embodiment, in normal circulation, it is possible to generate a flow in the reverse direction while preventing a reverse flow and during maintenance. As a result, it is possible to suppress unintended refills and the accompanying occurrence of crosstalk. Further, since the liquid flow direction is one direction, a local loop does not occur, and bubbles, foreign matter, and deteriorated liquid can be discharged smoothly.

さらに、逆止弁などの特別な機構を必要としないので、構成もシンプルかつコンパクトにすることができる。したがって、ミクロな流路(100μm以下)で構成されるインクジェットヘッドに特に有効である。   Furthermore, since a special mechanism such as a check valve is not required, the configuration can be made simple and compact. Therefore, it is particularly effective for an ink jet head composed of micro flow paths (100 μm or less).

また、可動構造を伴わないので、耐久性が高く、長期間安定した液滴の吐出を行うことができる。   In addition, since no movable structure is involved, it is possible to discharge liquid droplets with high durability and stable for a long period of time.

〈個別供給流路と個別回収流路の他の形態〉
上記実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、個別供給流路26の底部26Aを入口部から出口部に向けて直線的に傾斜させて形成することにより、個別供給流路26をテーパ状に形成し、その断面積が共通流路支流24から圧力室14に向かって漸次減少するように形成しているが、個別供給流路26の断面積を変化させる態様は、これに限定されるものではない。個別回収流路36についても同様である。
<Other forms of individual supply channel and individual recovery channel>
In the liquid droplet ejection head 10 of the above-described embodiment, the individual supply channel 26 is formed in a tapered shape by forming the bottom portion 26A of the individual supply channel 26 linearly inclined from the inlet portion toward the outlet portion. However, the cross-sectional area is formed so as to gradually decrease from the common flow path tributary 24 toward the pressure chamber 14, but the mode of changing the cross-sectional area of the individual supply flow path 26 is not limited to this. Absent. The same applies to the individual recovery flow path 36.

図6は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(1)を示す断面図である。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing another embodiment (1) of the individual supply channel and the individual recovery channel.

同図に示すように、本例において、個別供給流路26は、その底部26Aが、入口部から出口部かけて階段状に形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている(いわゆる段付きテーパ状の流路とされている。)。   As shown in the figure, in this example, the individual supply channel 26 is formed such that its bottom 26A is formed in a step shape from the inlet to the outlet, so that the cross-sectional area gradually decreases. (It is a so-called stepped tapered channel.)

また、同図に示すように、個別回収流路36は、その天面部36Aが、入口部から出口部にかけて階段状に形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている(いわゆる段付きテーパ状の流路とされている。)。   Further, as shown in the figure, the individual recovery flow path 36 is formed such that its top surface portion 36A is formed in a step shape from the inlet portion to the outlet portion, so that the cross-sectional area gradually decreases ( It is a so-called stepped tapered flow path.)

このように、断面積を変化させる態様は、必ずしも連続的である必要はなく、段階的に変化させるようにしてもよい。また、必ずしも直線的に変化させる必要はなく、曲線的に変化させるようにしてもよい。   As described above, the aspect of changing the cross-sectional area is not necessarily continuous, and may be changed stepwise. Further, it is not always necessary to change linearly, and it may be changed in a curved manner.

図7は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(2)を示す断面図である。   FIG. 7 is a cross-sectional view showing another embodiment (2) of the individual supply channel and the individual recovery channel.

同図に示すように、本例において、個別供給流路26は、その底部26Aの一部が途中で傾斜して形成されることにより、断面積が途中で漸次減少するように形成されている(同図に示す例では、入口部と出口部は一定の大きさで形成され、途中で漸次減少するように形成されている。)。   As shown in the figure, in this example, the individual supply channel 26 is formed such that a part of the bottom portion 26A is inclined in the middle so that the cross-sectional area gradually decreases in the middle. (In the example shown in the figure, the inlet and outlet are formed to have a constant size and gradually decrease in the middle.)

また、同図に示すように、個別回収流路36は、その天面部36Aの一部が途中で傾斜して形成されることにより、断面積が途中で漸次減少するように形成されている(同図に示す例では、入口部と出口部は一定の大きさで形成され、途中で漸次減少するように形成されている。)。   Further, as shown in the figure, the individual recovery channel 36 is formed such that a part of the top surface portion 36A is inclined in the middle so that the cross-sectional area gradually decreases in the middle ( In the example shown in the figure, the inlet and outlet portions are formed with a constant size and are formed so as to gradually decrease in the middle).

このように、断面積を変化させる部位は、必ずしも流路の全体である必要はなく、一部分のみ減少させるようにしてもよい。   In this way, the portion where the cross-sectional area is changed does not necessarily have to be the entire flow path, and only a part may be reduced.

図8は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(3)を示す断面図である。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing another embodiment (3) of the individual supply channel and the individual recovery channel.

同図に示すように、本例において、個別供給流路26は、その両サイドの側壁面26Bが傾斜して形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。   As shown in the figure, in this example, the individual supply channel 26 is formed so that the cross-sectional area gradually decreases as the side wall surfaces 26B of both sides thereof are inclined.

また、同図(b)に示すように、個別回収流路36も、その両サイドの側壁面36Bが傾斜して形成されることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。   Further, as shown in FIG. 5B, the individual recovery flow path 36 is also formed so that the cross-sectional area gradually decreases by forming the side wall surfaces 36B of both sides to be inclined.

このように、断面積を減少させるために傾斜(階段状を含む)させる壁面は、底部又は天面部に限らず、側壁面部を傾斜させるようにしてもよい。また、傾斜させる壁面は、必ずしも一つの面である必要はなく、4面全てを傾斜させるようにしてもよい。   As described above, the wall surface inclined (including stepped shape) to reduce the cross-sectional area is not limited to the bottom portion or the top surface portion, and the side wall surface portion may be inclined. Further, the inclined wall surface does not necessarily have to be a single surface, and all four surfaces may be inclined.

なお、加工容易性を考慮すると、流路が基板(本例の場合、圧力室プレート42)の上面に溝として形成される場合(本例の個別供給流路26が該当)は、その底部又は側壁面部を傾斜させることが好ましい。一方、流路が基板の下面に溝として形成される場合(本例の個別回収流路36が該当)は、その天面部又は側壁面部を傾斜させることが好ましい。この場合において、基板がシリコンの場合は、エッチング等で容易に形成することができる。また、基板がSUS材料の場合は、積層数を増やすことで容易に形成することができる。なお、加工は、この他レーザ等で後から行うこともできる。   In consideration of ease of processing, when the flow path is formed as a groove on the upper surface of the substrate (in this example, the pressure chamber plate 42) (individual supply flow path 26 in this example), the bottom or It is preferable to incline the side wall surface portion. On the other hand, when the flow path is formed as a groove on the lower surface of the substrate (corresponding to the individual recovery flow path 36 in this example), it is preferable to incline the top surface portion or the side wall surface portion. In this case, when the substrate is silicon, it can be easily formed by etching or the like. Moreover, when a board | substrate is a SUS material, it can form easily by increasing the number of lamination | stacking. The processing can also be performed later with a laser or the like.

また、個別供給流路26及び個別回収流路36の断面形状は、必ずしも四角形状である必要はなく、多角形形状の他、円形状に形成することもできる。   Further, the cross-sectional shapes of the individual supply channel 26 and the individual recovery channel 36 are not necessarily rectangular, and can be formed in a circular shape in addition to a polygonal shape.

また、上記実施の形態では、個別供給流路26を圧力室14の天面側に連通し、個別回収流路36を圧力室14の底面側に連通する構成としているが、双方ともに底面側に連通する構成とすることもできる。   In the above embodiment, the individual supply channel 26 is communicated with the top surface side of the pressure chamber 14 and the individual recovery channel 36 is communicated with the bottom surface side of the pressure chamber 14. It can also be set as the structure connected.

図9は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(4)を示す断面図である。   FIG. 9 is a cross-sectional view showing another embodiment (4) of the individual supply channel and the individual recovery channel.

同図に示すように、本例において、個別供給流路26は、湾曲して形成され、その底部を傾斜させることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。   As shown in the figure, in this example, the individual supply channel 26 is formed in a curved shape, and is formed so that the cross-sectional area gradually decreases by inclining the bottom.

また、同図(b)に示すように、個別回収流路36も、湾曲して形成され、その底部を傾斜させることにより、断面積が漸次減少するように形成されている。   Further, as shown in FIG. 4B, the individual recovery flow path 36 is also formed in a curved shape, and is formed so that the cross-sectional area gradually decreases by inclining the bottom.

このように、個別供給流路26と個別回収流路36は、必ずしも直線的に形成する必要はなく、湾曲して形成させることもできる。このように、個別供給流路26と個別回収流路36を湾曲させることにより、幅方向のコンパクト化を図りつつ、流路長を所望の長さに確保することができる。   As described above, the individual supply channel 26 and the individual recovery channel 36 are not necessarily formed linearly, and may be formed curved. Thus, by curving the individual supply channel 26 and the individual recovery channel 36, the channel length can be secured to a desired length while achieving compactness in the width direction.

なお、本例では流路の底部を傾斜させることにより、断面積が漸次減少するようにしているが、両側壁面の間隔を漸次減少させて、断面積が漸次減少するようにしてもよい。   In this example, the cross-sectional area is gradually decreased by inclining the bottom of the flow path. However, the cross-sectional area may be gradually decreased by gradually decreasing the distance between the wall surfaces on both sides.

図10は、個別供給流路と個別回収流路の他の実施の形態(5)を示す断面図である。   FIG. 10 is a cross-sectional view showing another embodiment (5) of the individual supply channel and the individual recovery channel.

同図に示すように、本例では、供給流路支流24と回収流路支流34が圧力室上部プレート46に形成されている。   As shown in the figure, in this example, the supply flow path branch 24 and the recovery flow path branch 34 are formed in the pressure chamber upper plate 46.

個別供給流路26は、垂直部26Vと水平部26HとからなるL字状に形成され、水平部26Hの断面積が漸次減少するように形成されている(水平部26Hの天面部26HAを傾斜させることにより、水平部26Hの断面積が漸次減少するように形成している。)。   The individual supply channel 26 is formed in an L-shape composed of a vertical portion 26V and a horizontal portion 26H, and is formed so that the cross-sectional area of the horizontal portion 26H gradually decreases (the top surface portion 26HA of the horizontal portion 26H is inclined). By doing so, the cross-sectional area of the horizontal portion 26H is formed so as to gradually decrease.

個別回収流路36も垂直部36Vと水平部36HとからなるL字状に形成され、水平部36Hの断面積が漸次減少するように形成されている(水平部36Hの天面部36HAを傾斜させることにより、水平部36Hの断面積が漸次減少するように形成している。)。   The individual recovery flow path 36 is also formed in an L shape including a vertical portion 36V and a horizontal portion 36H, and is formed so that the cross-sectional area of the horizontal portion 36H gradually decreases (the top surface portion 36HA of the horizontal portion 36H is inclined). Thus, the cross-sectional area of the horizontal portion 36H is formed so as to gradually decrease.)

このように、個別供給流路26と個別回収流路36は、屈曲して形成されていてもよい。この場合、本例のように、流路の一部の断面積のみを漸次減少させるようにしてもよい。   As described above, the individual supply channel 26 and the individual recovery channel 36 may be bent. In this case, as in this example, only a partial cross-sectional area of the flow path may be gradually reduced.

また、流路の一部の断面積を減少させる場合は、本例のように、水平部の断面積を漸次減少させるようにしてもよいし、また、図11に示すように、垂直部の断面積を漸次減少させるようにしてもよい。また、全体として、断面積が漸次減少するように形成してもよい。   Further, when reducing the cross-sectional area of a part of the flow path, the cross-sectional area of the horizontal portion may be gradually decreased as in this example, or the vertical portion may be reduced as shown in FIG. The cross-sectional area may be gradually decreased. Further, as a whole, the cross-sectional area may be formed so as to gradually decrease.

以上このように、個別供給流路26と個別回収流路36の断面積を変化させる態様は種々の形態を採用することができる。   As described above, various modes can be adopted for changing the cross-sectional areas of the individual supply flow channel 26 and the individual recovery flow channel 36.

なお、十分な効果を得るため、個別供給流路26は、その入口部(供給流路支流24との連通部)の断面積Sinと、出口部(圧力室14との連通部)の断面積Soutとの比(Sin/Sout)が、110%以上になるように設定することが好ましい。個別回収流路36についても同様に、その入口部(圧力室14との連通部)の断面積Rinと、出口部(回収流路支流34との連通部)の断面積Routとの比(Rin/Rout)が、110%以上になるように設定することが好ましい。   In order to obtain a sufficient effect, the individual supply flow channel 26 has a cross-sectional area Sin at the inlet (a communication portion with the supply flow channel tributary 24) and a cross-sectional area at the outlet (a communication portion with the pressure chamber 14). It is preferable to set the ratio (Sin / Sout) with Sout to be 110% or more. Similarly, the ratio (Rin) between the cross-sectional area Rin of the inlet part (communication part with the pressure chamber 14) and the cross-sectional area Rout of the outlet part (communication part with the recovery flow path tributary 34) also for the individual recovery flow path 36. / Rout) is preferably set to be 110% or more.

≪第2の実施の形態≫
図12は、液滴吐出ヘッドの第2の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図である。また、図13、図14は、それぞれ図12の13−13断面図、14−14断面図である。
<< Second Embodiment >>
FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing a schematic structure of the interior of the second embodiment of the droplet discharge head. FIGS. 13 and 14 are a sectional view taken along line 13-13 and a sectional view taken along line 14-14 in FIG. 12, respectively.

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10Aは、主に供給流路支流(共通供給流路)24と回収流路支流(共通回収流路)34に供給用突起部24Aと回収用突起部34Aを有する点で上述した第1の実施の形態の液滴吐出ヘッド10と相違する。   As shown in the figure, the droplet discharge head 10A of the present embodiment is mainly provided with a supply projection 24A in a supply channel tributary (common supply channel) 24 and a recovery channel tributary (common recovery channel) 34. And the recovery projection 34A is different from the droplet discharge head 10 of the first embodiment described above.

したがって、ここでは、この供給用突起部24Aと回収用突起部34Aの構成及び作用効果についてのみ説明する。   Therefore, here, only the configuration and operational effects of the supply protrusion 24A and the recovery protrusion 34A will be described.

供給用突起部24Aは、各個別供給流路26の連通部に設けられ、供給流路支流24を流れる液体のトラップとして機能する。この供給用突起部24Aは、個別供給流路26が連通する壁面に対向する面に形成され、個別供給流路26の連通口に対向して形成される。   The supply protrusion 24 </ b> A is provided at a communication portion of each individual supply channel 26 and functions as a trap for the liquid flowing in the supply channel tributary 24. The supply protrusion 24 </ b> A is formed on the surface facing the wall surface with which the individual supply channel 26 communicates, and is formed facing the communication port of the individual supply channel 26.

回収用突起部34Aは、各個別回収流路36の連通部に設けられている。この回収用突起部34Aは、個別回収流路36が連通する壁面に形成され、個別回収流路36の連通口の上流側に形成される。   The recovery projection 34A is provided in a communication portion of each individual recovery flow path 36. The recovery projection 34A is formed on the wall surface with which the individual recovery channel 36 communicates, and is formed on the upstream side of the communication port of the individual recovery channel 36.

このような供給用突起部24Aを供給流路支流24に形成することにより、供給流路支流24を流れる液体が、個別供給流路26に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流をより効果的に抑止することができる。   By forming the supply protrusion 24A in the supply flow path branch 24, the liquid flowing in the supply flow path branch 24 can easily flow into the individual supply flow path 26. Thereby, the backflow to the direction which is not intended can be suppressed more effectively.

同様に、上記のような回収用突起部34Aを回収流路支流34に形成することにより、個別回収流路36を流れる液体が、回収流路支流34に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流をより効果的に抑止することができる。   Similarly, by forming the recovery projection 34A as described above in the recovery flow path tributary 34, the liquid flowing through the individual recovery flow path 36 can easily flow into the recovery flow path tributary 34. Thereby, the backflow to the direction which is not intended can be suppressed more effectively.

なお、供給用突起部24A及び回収用突起部34Aの形状は、特に限定されないが、本例のように、液流に対して上流側の面が傾斜した断面三角形状に形成することにより、スムーズな流れを形成でき、気泡等の異物が停留するのを防止できる。   The shapes of the supply protrusion 24A and the recovery protrusion 34A are not particularly limited, but can be smoothly formed by forming a triangular cross section with the upstream surface inclined with respect to the liquid flow as in this example. Can be formed, and foreign substances such as bubbles can be prevented from staying.

また、本例のように、断面三角形状に形成することにより、加工を容易に行うことができるとともに、強度も確保することができる。   In addition, as in this example, by forming a triangular cross section, it is possible to easily perform processing and to ensure strength.

なお、供給用突起部24Aと回収用突起部34Aの形状としては、この他、たとえば、図15に示すように、板状の突起として形成することもできる。   In addition, as the shapes of the supply protrusion 24A and the recovery protrusion 34A, for example, as shown in FIG. 15, they can be formed as plate-like protrusions.

また、これらの突起部の加工は、基板がシリコンの場合は、エッチング等で形成することができ、基板がSUS材料の場合は、積層数を増やすことで形成することができる。加工は、この他レーザ等で行うこともできる。   Further, these protrusions can be formed by etching or the like when the substrate is silicon, and can be formed by increasing the number of layers when the substrate is SUS material. Processing can also be performed with a laser or the like.

≪第3の実施の形態≫
図16は、液滴吐出ヘッドの第3の実施の形態の内部の概略構造を示す縦断面図である。また、図17、図18は、それぞれ図16の17−17断面図、18−18断面図である。
<< Third Embodiment >>
FIG. 16 is a longitudinal sectional view showing a schematic structure of the inside of the third embodiment of the droplet discharge head. FIGS. 17 and 18 are a 17-17 sectional view and an 18-18 sectional view of FIG. 16, respectively.

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10Bは、個別供給流路26の入口部が面取りされる点、及び、個別回収流路36の出口部が回収流路支流(共通回収流路)34に突出して形成される点で上述した第1の実施の形態の液滴吐出ヘッド10と相違する。   As shown in the figure, in the droplet discharge head 10B of the present embodiment, the inlet portion of the individual supply channel 26 is chamfered and the outlet portion of the individual recovery channel 36 is a recovery channel tributary (common). This is different from the liquid droplet ejection head 10 of the first embodiment described above in that it is formed so as to protrude to the recovery flow path 34.

したがって、ここでは、この個別供給流路26と個別回収流路36の構成及び作用効果についてのみ説明する。   Therefore, here, only the configuration and operational effects of the individual supply channel 26 and the individual recovery channel 36 will be described.

図17に示すように、個別供給流路26は、供給流路支流24から圧力室14に向けて入口部26Pを除き断面積一定でストレートに形成される。入口部26P(供給流路支流24に連通する連通口の部分)は、その左右の両縁部が所定の面取り長さ、面取り角度で面取りされる。   As shown in FIG. 17, the individual supply channel 26 is formed straight from the supply channel tributary 24 toward the pressure chamber 14 except for the inlet portion 26 </ b> P with a constant cross-sectional area. The inlet portion 26P (the portion of the communication port communicating with the supply flow path branch 24) is chamfered at both left and right edge portions with a predetermined chamfer length and chamfer angle.

一方、個別回収流路36は、図18に示すように、圧力室14から回収流路支流34に向けて断面積一定でストレートに形成され、その出口部36P(回収流路支流34に連通する連通口の部分)が、回収流路支流34内に所定量突出して形成される。   On the other hand, as shown in FIG. 18, the individual recovery channel 36 is formed straight from the pressure chamber 14 toward the recovery channel tributary 34 with a constant cross-sectional area, and communicates with the outlet 36P (the recovery channel tributary 34). A communication port portion) is formed so as to protrude by a predetermined amount in the recovery flow path tributary 34.

このように、個別供給流路26の入口部26Pの左右の両周縁を面取りすることにより、供給流路支流24を流れる液体が、個別供給流路26に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流を効果的に抑止することができる。   Thus, by chamfering the left and right peripheral edges of the inlet portion 26P of the individual supply channel 26, the liquid flowing through the supply channel tributary 24 can easily flow into the individual supply channel 26. Thereby, the backflow to the direction which is not intended can be suppressed effectively.

同様に、個別回収流路36の出口部36Pを回収流路支流34に突出させることにより、個別回収流路36を流れる液体が、回収流路支流34に流れ込みやすくなる。これにより、意図しない方向への逆流を効果的に抑止することができる。   Similarly, by causing the outlet portion 36 </ b> P of the individual recovery flow path 36 to protrude into the recovery flow path tributary 34, the liquid flowing through the individual recovery flow path 36 can easily flow into the recovery flow path tributary 34. Thereby, the backflow to the direction which is not intended can be suppressed effectively.

このように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10Bにおいても、平常時の循環では、逆流を防ぎつつ、メンテナンス時などは逆方向に流れを発生させることができる。これにより、意図しないリフィルや、それに伴うクロストークの発生等を抑止できる。また、液体の流れ方向が一方向になるため、局所的なループが発生せず、スムーズに気泡や異物、劣化した液体を排出することができる。   As described above, also in the droplet discharge head 10B of the present embodiment, in normal circulation, it is possible to generate a flow in the reverse direction while preventing a reverse flow and during maintenance. As a result, it is possible to suppress unintended refills and the accompanying occurrence of crosstalk. Further, since the liquid flow direction is one direction, a local loop does not occur, and bubbles, foreign matter, and deteriorated liquid can be discharged smoothly.

なお、個別供給流路26及び個別回収流路36に施す加工は、基板がシリコンの場合は、エッチング等で形成することができ、基板がSUS材料の場合は、積層数を増やすことで形成することができる。また、加工はこの他レーザ等で行うこともできる。   The processing applied to the individual supply channel 26 and the individual recovery channel 36 can be formed by etching or the like when the substrate is silicon, and is formed by increasing the number of layers when the substrate is SUS material. be able to. Further, the processing can also be performed with a laser or the like.

なお、十分な効果を得るため、個別供給流路26の入口部26Pに形成する面取りは、共通流路支流24の幅Lsに対して5%以上の面取り長さLc、20°〜70°の面取り角度αで形成することが好ましい。また、個別回収流路36の出口部36Pの突出量xは、回収流路支流34の幅Lrに対して5%以上の長さをもって回収流路支流34に突出させることが好ましい。   In order to obtain a sufficient effect, the chamfer formed at the inlet portion 26P of the individual supply channel 26 has a chamfer length Lc of 5% or more with respect to the width Ls of the common channel tributary 24, 20 ° to 70 °. Preferably, the chamfer angle α is formed. Further, it is preferable that the protruding amount x of the outlet portion 36P of the individual recovery flow path 36 is projected to the recovery flow path tributary 34 with a length of 5% or more with respect to the width Lr of the recovery flow path tributary 34.

また、本例では、入口部26Pを除いて個別供給流路26を断面積を一定に形成しているが、上述した第1の実施の形態のように、圧力室14に向かって断面積が漸次減少するように形成してもよい。同様に、個別回収流路36の断面積を圧力室14から回収流路支流34に向けて漸次減少するように形成してもよい。   Further, in this example, the individual supply channel 26 is formed with a constant cross-sectional area except for the inlet portion 26P, but the cross-sectional area toward the pressure chamber 14 is increased as in the first embodiment described above. You may form so that it may reduce gradually. Similarly, the sectional area of the individual recovery channel 36 may be formed so as to gradually decrease from the pressure chamber 14 toward the recovery channel tributary 34.

また、本例の場合も、個別供給流路26及び個別回収流路36は、屈曲又は湾曲させて形成することもできる。   Also in this example, the individual supply flow channel 26 and the individual recovery flow channel 36 can be formed to be bent or curved.

〈個別供給流路と個別回収流路の他の形態>
図19は、個別供給流路の他の実施の形態を示す断面図である。
<Other forms of individual supply channel and individual recovery channel>
FIG. 19 is a cross-sectional view showing another embodiment of the individual supply channel.

同図に示すように、個別供給流路26の入口部26Pに施す面取りは、供給流路支流24を流れる液体の流れの方向に対して、上流側に位置する辺の縁部のみを面取りするようにしてもよい。   As shown in the figure, the chamfering applied to the inlet portion 26P of the individual supply flow path 26 is performed by chamfering only the edge of the side located on the upstream side with respect to the flow direction of the liquid flowing through the supply flow path tributary 24. You may do it.

また、同図に示すように、供給流路支流24に供給用突起部24Aを形成してもよい。これにより、供給流路支流24を流れる液体が、個別供給流路26により流れ込みやすくすることができる。   Further, as shown in the figure, a supply protrusion 24A may be formed in the supply flow path branch 24. As a result, the liquid flowing through the supply flow path tributary 24 can easily flow into the individual supply flow path 26.

図20は、個別回収流路の他の実施の形態を示す断面図である。   FIG. 20 is a cross-sectional view showing another embodiment of the individual recovery channel.

同図に示すように、個別回収流路36の出口部36Pは、回収流路支流34を流れる液体の流れの方向に対して、上流側に位置する辺の流路壁のみを突出させるようにしてもよい。   As shown in the figure, the outlet part 36P of the individual recovery channel 36 projects only the channel wall on the upstream side with respect to the flow direction of the liquid flowing through the recovery channel tributary 34. May be.

なお、突出させる個別回収流路36の出口部36Pは、同図に示すように、その外周縁を傾斜させてテーパ状に形成することが好ましい。これにより、突出部分に気泡等の異物が停留するのを防止することができる。また、強度も確保することができる。   In addition, as shown to the figure, it is preferable that the exit part 36P of the separate collection | recovery flow path 36 made to project is formed in a taper shape by inclining the outer periphery. Thereby, it can prevent that foreign materials, such as a bubble, remain in a protrusion part. Further, the strength can be ensured.

10…液滴吐出ヘッド(第1の実施の形態)、10A…液滴吐出ヘッド(第2の実施の形態)、10B…液滴吐出ヘッド(第3の実施の形態)、10…ノズル、14…圧力室、20…供給流路、22…供給流路本流、24…供給流路支流(共通供給流路)、24A…供給用突起部、26…個別供給流路、26A…個別供給流路の底部、26B…個別供給流路の側壁面、26V…個別供給流路の垂直部、26H…個別供給流路の水平部、26HA…個別供給流路の水平部の天面部、26…個別供給流路の入口部、28…液体供給口、30…回収流路、32…回収流路本流、34…回収流路支流(共通回収流路)、34A…回収用突起部、36…個別回収流路、36A…個別回収流路の天面部、36B…個別回収流路の側壁面、36V…個別回収流路の垂直部、36H…個別回収流路の水平部、36HA…個別回収流路の水平部の天面部、36P…個別回収流路の出口部、38…液体回収口、40…ノズルプレート、42…圧力室プレート、44…振動板、46…圧力室上部プレート、48…圧電素子、50…空間、100…メインタンク、102…メインタンク接続配管、104…バッファータンク、104A…大気開放穴、102…メインタンク接続配管、106…メインポンプ、108…メインバルブ、110…第1供給流路、112…供給タンク、112A…供給液体室、112B…供給気体室、114…第2供給流路、118…第1回収流路、120…回収タンク、120A…回収液体室、120B…回収気体室、122…第2回収流路、126…供給ポンプ、128…フィルタ、130…供給バルブ、132…回収ポンプ、134…回収バルブ、136…弾性膜、138…供給圧力検出器、140…大気開放管、142…大気開放バルブ、144…弾性膜、146…回収圧力検出器、148…大気開放管、150…大気開放バルブ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Droplet discharge head (1st Embodiment), 10A ... Droplet discharge head (2nd Embodiment), 10B ... Droplet discharge head (3rd Embodiment), 10 ... Nozzle, 14 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Pressure chamber, 20 ... Supply flow path, 22 ... Supply flow path main flow, 24 ... Supply flow path tributary (common supply flow path), 24A ... Supply protrusion, 26 ... Individual supply flow path, 26A ... Individual supply flow path 26B ... Individual supply flow path side wall surface, 26V ... Individual supply flow path vertical section, 26H ... Individual supply flow path horizontal section, 26HA ... Individual supply flow path horizontal section top surface section, 26 ... Individual supply Inlet part of channel, 28 ... liquid supply port, 30 ... recovery channel, 32 ... main channel of recovery channel, 34 ... tributary of recovery channel (common recovery channel), 34A ... projection for recovery, 36 ... individual recovery flow Road, 36A ... Top surface portion of individual recovery channel, 36B ... Side wall surface of individual recovery channel, 36V ... Individual recovery Vertical portion of path, 36H: Horizontal portion of individual recovery flow path, 36HA: Top surface portion of horizontal portion of individual recovery flow path, 36P: Exit portion of individual recovery flow path, 38 ... Liquid recovery port, 40 ... Nozzle plate, 42 ... pressure chamber plate, 44 ... vibration plate, 46 ... pressure chamber upper plate, 48 ... piezoelectric element, 50 ... space, 100 ... main tank, 102 ... main tank connection piping, 104 ... buffer tank, 104A ... air release hole, 102 ... main tank connection pipe, 106 ... main pump, 108 ... main valve, 110 ... first supply flow path, 112 ... supply tank, 112A ... supply liquid chamber, 112B ... supply gas chamber, 114 ... second supply flow path, 118 ... 1st recovery flow path, 120 ... Recovery tank, 120A ... Recovery liquid chamber, 120B ... Recovery gas chamber, 122 ... 2nd recovery flow path, 126 ... Supply pump, 128 ... Fi 130 ... Supply valve, 132 ... Recovery pump, 134 ... Recovery valve, 136 ... Elastic membrane, 138 ... Supply pressure detector, 140 ... Air release pipe, 142 ... Air release valve, 144 ... Elastic membrane, 146 ... Recovery pressure Detector, 148 ... Air release pipe, 150 ... Air release valve

Claims (12)

並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、
前記各個別供給流路は、前記共通供給流路から前記圧力室に向かって断面積が漸次減少するように形成され、
前記各個別回収流路は、前記圧力室から前記共通回収流路に向かって断面積が漸次減少するように形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
A plurality of pressure chambers arranged in parallel, a common supply channel arranged along the arrangement of the pressure chambers, a common recovery channel arranged along the arrangement of the pressure chambers, and the pressure chambers A plurality of individual supply channels that individually communicate with the common supply channel, and a plurality of individual recovery channels that individually communicate each of the pressure chambers with the common recovery channel, via the pressure chambers In the liquid droplet ejection head that generates a flow from the common supply channel to the common recovery channel and supplies the liquid to the pressure chamber,
Each individual supply channel is formed such that a cross-sectional area gradually decreases from the common supply channel toward the pressure chamber,
Each of the individual recovery channels is formed so that a cross-sectional area gradually decreases from the pressure chamber toward the common recovery channel.
前記各個別供給流路は、流路壁の少なくとも1面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記共通供給流路から前記圧力室に向かって漸次減少するように形成され、
前記各個別回収流路は、流路壁の少なくとも1面が傾斜して形成されることにより、断面積が前記圧力室から前記共通回収流路に向かって漸次減少するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。
Each individual supply channel is formed such that at least one surface of the channel wall is inclined, so that the cross-sectional area gradually decreases from the common supply channel toward the pressure chamber,
Each of the individual recovery channels is formed so that a cross-sectional area gradually decreases from the pressure chamber toward the common recovery channel by forming at least one surface of the channel wall inclined. The droplet discharge head according to claim 1, wherein
前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の断面積と、前記圧力室に連通する連通口の断面積との比率が110%以上になるように形成され、
前記各個別回収流路は、前記圧力室に連通する連通口の断面積と、前記共通回収流路に連通する連通口の断面積との比率が110%以上になるように形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッド。
Each of the individual supply channels is formed such that the ratio of the cross-sectional area of the communication port communicating with the common supply channel and the cross-sectional area of the communication port communicating with the pressure chamber is 110% or more.
Each of the individual recovery channels is formed so that a ratio of a cross-sectional area of the communication port communicating with the pressure chamber and a cross-sectional area of the communication port communicating with the common recovery channel is 110% or more. The liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein the liquid droplet ejection head is a liquid ejection head.
前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、
前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
Each individual supply channel is chamfered at the edge of the communication port communicating with the common supply channel,
Each said individual collection flow path is formed so that the edge part of the communication port connected to the said common collection flow path may protrude in the said common collection flow path. The droplet discharge head described.
並列して配置される複数の圧力室と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通供給流路と、前記圧力室の配列に沿って配置される共通回収流路と、前記各圧力室を前記共通供給流路に個別に連通する複数の個別供給流路と、前記各圧力室を前記共通回収流路に個別に連通する複数の個別回収流路とを備え、前記圧力室を介して前記共通供給流路から前記共通回収流路に向かう流れを生成して、前記圧力室に液体を供給する液滴吐出ヘッドにおいて、
前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部が面取りされ、
前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
A plurality of pressure chambers arranged in parallel, a common supply channel arranged along the arrangement of the pressure chambers, a common recovery channel arranged along the arrangement of the pressure chambers, and the pressure chambers A plurality of individual supply channels that individually communicate with the common supply channel, and a plurality of individual recovery channels that individually communicate each of the pressure chambers with the common recovery channel, via the pressure chambers In the liquid droplet ejection head that generates a flow from the common supply channel to the common recovery channel and supplies the liquid to the pressure chamber,
Each individual supply channel is chamfered at the edge of the communication port communicating with the common supply channel,
Each of the individual recovery flow paths is formed by projecting an edge of a communication port communicating with the common recovery flow path into the common recovery flow path.
前記各個別供給流路は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が面取りされることを特徴とする請求項4又は5に記載の液滴吐出ヘッド。   6. The edge of the side located on the upstream side of each individual supply channel is chamfered with respect to the liquid flow direction of the liquid flowing through the common supply channel. Droplet discharge head. 前記各個別回収流路は、前記共通回収流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する辺の縁部が前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   Each of the individual recovery channels is formed such that an edge of a side located upstream from the liquid flow direction of the liquid flowing through the common recovery channel protrudes into the common recovery channel. The droplet discharge head according to any one of claims 4 to 6. 前記各個別回収流路は、前記共通回収流路内に突出して形成される縁部の外周が傾斜して形成されることを特徴とする請求項4〜7のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   The liquid according to any one of claims 4 to 7, wherein each of the individual recovery channels is formed with an outer periphery of an edge formed so as to protrude into the common recovery channel. Drop ejection head. 前記各個別供給流路は、前記共通供給流路に連通する連通口の縁部に形成される面取りが、前記共通供給流路の幅に対して5%以上の面取り長さで形成されるとともに、20°〜70°の面取り角度で形成されることを特徴とする請求項4〜8のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   Each of the individual supply channels has a chamfer formed at an edge of a communication port communicating with the common supply channel with a chamfer length of 5% or more with respect to the width of the common supply channel. The liquid droplet ejection head according to claim 4, wherein the liquid droplet ejection head is formed with a chamfering angle of 20 ° to 70 °. 前記各個別回収流路は、前記共通回収流路に連通する連通口の縁部が、前記共通回収流路の幅に対して5%以上の突出量で前記共通回収流路内に突出して形成されることを特徴とする請求項4〜9のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   Each individual recovery channel is formed such that an edge of a communication port communicating with the common recovery channel protrudes into the common recovery channel with a protruding amount of 5% or more with respect to the width of the common recovery channel. The droplet discharge head according to claim 4, wherein the droplet discharge head is formed. 前記共通供給流路は、前記各個別供給流路に連通する連通口に対向する面に突起部を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   11. The droplet discharge head according to claim 1, wherein the common supply channel has a protrusion on a surface facing a communication port communicating with each individual supply channel. 前記突起部は、前記共通供給流路を流れる液体の液流方向に対して、上流側に位置する面が傾斜して形成されることを特徴とする請求項11に記載の液滴吐出ヘッド。   12. The droplet discharge head according to claim 11, wherein the protrusion is formed such that a surface positioned on the upstream side is inclined with respect to a liquid flow direction of the liquid flowing through the common supply channel.
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