JP2011525620A - 光学干渉方式の圧力センサ - Google Patents
光学干渉方式の圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011525620A JP2011525620A JP2011515043A JP2011515043A JP2011525620A JP 2011525620 A JP2011525620 A JP 2011525620A JP 2011515043 A JP2011515043 A JP 2011515043A JP 2011515043 A JP2011515043 A JP 2011515043A JP 2011525620 A JP2011525620 A JP 2011525620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- housing body
- fiber
- measuring cell
- sealing means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
- G01L9/0079—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light with Fabry-Perot arrangements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/003—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts
- C04B37/005—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts consisting of glass or ceramic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/04—Ceramic interlayers
- C04B2237/06—Oxidic interlayers
- C04B2237/064—Oxidic interlayers based on alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/10—Glass interlayers, e.g. frit or flux
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/343—Alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/70—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness
- C04B2237/704—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the ceramic layers or articles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/74—Forming laminates or joined articles comprising at least two different interlayers separated by a substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49764—Method of mechanical manufacture with testing or indicating
- Y10T29/49771—Quantitative measuring or gauging
- Y10T29/49776—Pressure, force, or weight determining
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
− 1000トル: 隔膜厚: 760μm±10μm
− 100トル: 隔膜厚: 345μm±10μm
− 10トル: 隔膜厚: 150μm±10μm
− 1トル: 隔膜厚: 100μm±10μm
− 0.1トル: 隔膜厚: 60μm±10μm
− 0.01トル: 隔膜厚: 40μm±10μm
さらに別の好適な技術分野は、液体・気体用途における腐食性の液体について、たとえば数百℃の高い温度で最大1000barの高い圧力を測定するためのセンサの使用である。このような液体・気体用途の一例は、油井やボーリング用途における耐食性の圧力・真空センサである。高圧用途の場合、隔膜厚は760μm以上になることもあり、たとえば最大で数ミリメートルになることもある。容量式の隔膜を備える公知の真空測定セルは、最高200℃の温度で作動する。
セラミック材料から製作される第1のハウジング本体と、
セラミック材料から製作され、第1のハウジング本体の近傍に配置された隔膜と、を有しており、隔膜は実質的に平坦であるとともに外側の縁部を有しており、隔膜の外側の縁部は第1のシール手段によって好ましくは真空気密に第1のハウジング本体と結合されており、それにより第1のハウジング本体と隔膜との間に基準真空室が形成されるようになっており、隔膜は第1および第2の向かい合う表面を有しており、隔膜の第1の表面は第1のハウジング本体の方を向いており、第1のハウジング本体は隔膜の方を向く表面を有しており、
さらに、セラミック材料から製作され、隔膜と向かい合って配置された第2のハウジング本体を有しており、第2のハウジング本体は第2のシール手段によって好ましくは真空気密に隔膜の外側縁部と結合されており、第2のハウジングは隔膜とともに圧力測定室を形成しており、第2のハウジング本体は測定されるべき媒体と圧力測定セルを接続するための接続管を有しており、
第1のハウジング本体、第2のハウジング本体、および隔膜は、隔膜の外側縁部のところで互いに気密に結合されており、第1のハウジング本体の少なくとも中央領域には第1のハウジング本体を通過する穴が形成されており、隔膜の少なくとも中央区域では穴に向かい合うように隔膜の表面が第1の光学反射面として構成されており、
第1のハウジング本体の穴には隔膜表面へ光を導入およびこれから導出するためにファイバシール手段により穴へ気密に取り付けられた光ファイバが配置されており、ファイバの端部は好ましくは少なくとも第1のハウジング本体の表面に達しており、当該ファイバ端部は隔膜の表面と光学結合するための第2の光学反射面として構成されており、それによりこの構造はファイバ端部と隔膜の反射面との間に光学キャビティを構成しており、該キャビティは隔膜の変形を判定するための測定区域を形成するとともに、ファブリ・ペロ干渉計検出装置の一部である。
セラミック材料から製作される第1のハウジング本体1;
セラミック材料から製作され、第1のハウジング本体1の近傍に配置された隔膜2。隔膜は実質的に平坦であるとともに外側の縁部を有しており、隔膜2の外側の縁部は第1のシール手段3によって第1のハウジング本体1と結合されており、それにより第1のハウジング本体1と隔膜2との間に基準真空室が形成されるようになっており、隔膜は第1および第2の向かい合う表面を有しており、隔膜2の第1の表面は第1のハウジング本体1と向かい合っており、第1のハウジング本体1は隔膜2と向かい合う表面を有している;
セラミック材料から製作され、隔膜2と向かい合う第2のハウジング本体4。第2のハウジング本体4は第2のシール手段3’によって隔膜の外側縁部と結合されており、第2のハウジング4は隔膜2とともに圧力測定室26を形成しており、第2のハウジング本体は測定されるべき媒体と圧力測定セルを接続するための接続管5を有している。
1.たとえば300μmの直径を有する貫通孔7を、好ましくはパルス化された高出力CO2レーザを用いて、平坦な円板状のAl2O3ハウジング本体1に穿設する。
3.適当な長さの光ファイバ15、たとえば約10cmの溶融した金めっきの石英ガラスファイバ(たとえば分布屈折率マルチモードタイプ、62.5μmのコア直径)、またはサファイア光ファイバ15を断裁して、穴7へ挿入する。ファイバ15は、ファイバ挿入側と向かい合うハウジング側の表面を超えて延びているのが好ましい。
15.接続管5としての適当な金属配管の溶接は、従来式の仕方で行う。
1.たとえば300μmの直径を有する貫通孔7を、好ましくはパルス化された高出力CO2レーザを用いて、平坦な円板状のAl2O3ハウジング本体1に穿設する。
12.異なる部品を組み合わせ、セラミック接着剤をそのスペックに応じて、たとえば93℃、260℃、372℃で硬化させる。
1.たとえば300μmの直径を有する貫通孔7を、好ましくはパルス化された高出力CO2レーザを用いて、平坦な円板状の第1のAl2O3ハウジング本体1に穿設する。
3.適当な長さの光ファイバ15、たとえば約10cmのサファイア光ファイバを断裁して、穴7へ挿入する。ファイバ15は、ファイバ挿入側と向かい合うハウジング側の表面を超えて延びているのが好ましい。
・62.5/125μm分布屈折率マルチモード石英ガラスファイバ
・コア直径:62.5μm±3μm
・外套直径:125μm±3μm
・コーティングと外径:金155μm±15μm
・温度限界値:700℃
a)干渉計に基づくシステム
・好ましくは30%、少なくとも15%の干渉図形のコントラストが必要。コントラストは(最大−最小)平均値として定義される。
・上記の値を実現するために、ファイバ研磨は次の仕様を満たさなければならない:
−ファイバ中心の上/下における中心・縁部:≦50nm
−ファイバ端部平面16の傾き角:≦1mrad
−ファイバ端部平面の粗さ:≦10nm(rms)
b)分光計に基づくシステム
・好ましくは5%、少なくとも1%の干渉図形のコントラストが必要。
・上記の値は、光学コネクタの標準仕様に基づく標準の研磨仕様もしくはこれ以下の研磨仕様でも実現することができる:
−ファイバ中心の上/下における中心・縁部:≦250nm
−ファイバ端部平面16の傾き角:≦2mrad
−ファイバ端部平面の粗さ:≦50nm(rms)
・能動面(ガラス点)の最低厚み:反射性の隔膜上で6.0μm以下、拡散性の隔膜表面の限界値なし。
・スクリーン印刷の場合の能動面の適当な厚み(非研磨):1.0μm−10.0μm
・ガラスタイプ:高温(700℃から800℃)
・平坦な能動領域の最小直径:100μm
・製造公差(センタリング)を含めた平坦な能動領域の最小直径:1mm
・総面積(ガラス点の直径)に対する利用可能な面積(直径)の典型的な割合:少なくとも50%
・一例:点直径3.8mm、能動面の直径1.9mm
・ガラス点の好ましい外径:3〜4mm
・屈折率:1.723(@405nm)から1.653(@1551nm)
・真空における反射率(性能):7%(@405nm)から6%(@1551nm)
・最善の反射率:ファイバ端部16とガラス点10の反射率が同じ場合には約30%(追加のコーティングの添加によって実現される)
・最低反射率:約6%
・表面品質:
粗さ≦50nm(RMS)、スクラッチ/ディグ設定は少なくとも60/40
a)干渉計に基づくシステム
・好ましくは30%、少なくとも15%のコントラストが必要。
・前掲の値を実現するには、最大の傾き角は1mradを超えてはならない。
b)分光計に基づくシステム
・好ましくは5%、少なくとも1%のコントラストが必要。
・前掲の値を実現するには、最大の傾き角は2mradを超えてはならない。
・間隔の動作範囲:5μmから200μm、好ましくは5μmから80μm(信号出力の高い特別に良好な結果は、10μmから25μmの間のいずれかの構造によって実現される)
本発明の思想の適用方法を明示するために、本発明の特別な実施形態を掲げて詳細に説明してきたが、こうした思想から逸脱することなく、これ以外の実施形態を本発明が有することができることは自明である。
Claims (18)
- 圧力測定セルにおいて、
セラミック材料から製作される第1のハウジング本体(1)と、
セラミック材料から製作され、前記第1のハウジング本体(1)の近傍に配置された隔膜(2)とを有しており、前記隔膜は実質的に平坦であるとともに外側縁部を有しており、前記隔膜(2)の外側縁部は第1のシール手段(3)によって前記第1のハウジング本体(1)と結合されており、それにより前記第1のハウジング本体(1)と前記隔膜(2)との間に基準真空室(25)が形成されるようになっており、前記隔膜(2)は第1および第2の向かい合う表面を有しており、前記隔膜の第1の表面は前記第1のハウジング本体(1)の方を向いており、前記第1のハウジング本体(1)は前記隔膜(2)の方を向く表面を有しており、
さらに、セラミック材料から製作され、前記隔膜(2)と向かい合って配置された第2のハウジング本体(4)を有しており、前記第2のハウジング本体(4)は第2のシール手段(3’)によって前記隔膜の外側縁部と結合されており、前記第2のハウジング(4)は前記隔膜(2)とともに圧力測定室(26)を形成しており、前記第2のハウジング本体は測定されるべき媒体と前記圧力測定セルを接続するための接続管(5)を有しており、
前記第1のハウジング本体(1)、前記第2のハウジング本体(4)、および前記隔膜(2)は前記隔膜(2)の外側縁部のところで互いに気密に結合されており、前記第1のハウジング本体(1)の少なくとも中央領域には前記第1のハウジング本体(1)を通過する穴(7)が形成されており、前記隔膜(2)の少なくとも中央区域では前記穴(7)に向かい合うように前記隔膜(2)の表面が第1の光学反射面(10)として構成されており、
前記第1のハウジング本体(1)の前記穴(7)には隔膜表面(2)へ光を導入およびこれから導出するためにファイバシール手段(6)により前記穴(7)へ気密に取り付けられた光ファイバ(15)が配置されており、前記ファイバ(15)の端部は好ましくは少なくとも前記第1のハウジング本体(1)の表面に達しており、当該ファイバ端部(16)は前記隔膜(2)の表面と光学結合するための第2の光学反射面(16)として構成されており、それによりこの構造はファイバ端部(16)と前記隔膜(2)の反射面(10)との間に光学キャビティ(30)を構成しており、該キャビティは前記隔膜(2)の変形を判定するための測定区域を形成するとともに、ファブリ・ペロ干渉計検出装置の一部である圧力測定セル。 - 前記ハウジング本体(1,4)および/または前記隔膜(2)のうち少なくとも1つは少なくとも部分的に酸化アルミニウムセラミック(Al2O3)で製作されている、請求項1に記載の測定セル。
- 前記ハウジング本体(1,4)および/または前記隔膜(2)のうち少なくとも1つは少なくとも部分的にサファイアのタイプの酸化アルミニウムセラミック(Al2O3)で製作されている、請求項2に記載の測定セル。
- 前記隔膜(2)は酸化アルミニウムセラミック(Al2O3)および少なくとも部分的にサファイアで製作されている、請求項2に記載の測定セル。
- 前記ファイバ端部の表面はその前記第2の光学反射面(16)が前記第1のハウジング本体(1)の内面の平面に対応している、請求項1に記載の測定セル。
- 前記隔膜(2)の表面は少なくとも前記穴(7)と向かい合う領域で拡大された平坦なガラス点により覆われており、該ガラス点の表面が前記第1の光学反射面(10)を形成する、請求項1に記載の測定セル。
- 前記第1のシール手段(3)および/または前記第2のシール手段(3’)は少なくとも最高350℃の温度に耐えるガラスはんだである、請求項1に記載の測定セル。
- 前記第1のシール手段(3)および/または前記第2のシール手段(3’)は少なくとも最高600℃の温度に耐えるガラスはんだである、請求項1に記載の測定セル。
- 前記第1のシール手段(3)および/または前記第2のシール手段(3’)は酸化して酸化アルミニウムになるアルミニウム化合物である、請求項1に記載の測定セル。
- 前記第1のシール手段(3)および/または前記第2のシール手段(3’)は少なくとも最高600℃の温度に耐えるセラミック接着剤である、請求項1に記載の測定セル。
- 前記ファイバシール手段(6)は少なくとも最高350℃の温度に耐えるガラスはんだである、請求項1に記載の測定セル。
- 前記ファイバシール手段(6)は少なくとも最高600℃の温度に耐えるセラミック接着剤である、請求項1に記載の測定セル。
- 少なくとも前記第1のシール手段(3)または少なくとも前記第2のシール手段(3’)または少なくとも前記ファイバシール手段(6)は前記測定セル構造の外部でガラスはんだ材料からなる追加の保護シール材により覆われている、請求項10に記載の測定セル。
- 前記ファイバ端部面(16)の表面および/または前記隔膜(2)の反射面(10)に薄い膜コーティングが塗布されている、請求項1に記載の測定セル。
- 前記隔膜(2)は10μmから250μmの範囲内の厚みを有している、請求項1に記載の測定セル。
- 前記測定セル構造は、5mmから80mmの範囲内の直径を有する円板状の構造を形成する第1のハウジング本体(1)および第2のハウジング本体(4)および隔膜(2)を有している、請求項1に記載の測定セル。
- 前記測定セル構造は真空測定セル構造として構成されており、前記基準圧力室(25)は真空室であり、前記測定圧力室(26)は真空測定室として構成されている、請求項1に記載の測定セル。
- 圧力測定セルを製造する方法において、
セラミック材料から製作される第1のハウジング本体(1)を準備し、
セラミック材料から製作され、前記第1のハウジング本体(1)の近傍に配置された実質的に平坦な隔膜(2)を準備し、前記隔膜(2)は外側縁部を有しており、前記隔膜(2)の外側縁部は第1のシール手段(3)によって前記第1のハウジング本体(1)と結合されており、
前記第1のハウジング本体(1)と前記隔膜(2)との間に基準真空室(25)を形成し、前記隔膜は第1および第2の向かい合う表面を有しており、前記隔膜(2)の第1の表面は前記第1のハウジング本体(1)の方を向いており、前記第1のハウジング本体(1)は前記隔膜(2)の方を向く表面を有しており、
セラミック材料から製作され、前記隔膜(2)と向かい合って配置された第2のハウジング本体(4)を準備し、前記第2のハウジング本体(4)は第2のシール手段(3’)によって前記隔膜の外側縁部と結合されており、前記第2のハウジング(4)は前記隔膜(2)とともに圧力測定室(26)を形成しており、前記第2のハウジング本体は測定されるべき媒体と前記圧力測定セルを接続するための接続管(5)を有しており、
前記第1のハウジング本体(1)、前記第2のハウジング本体(4)、および前記隔膜(2)を前記隔膜(2)の外側縁部のところで互いに気密に結合し、
前記第1のハウジング本体(1)の少なくとも中央領域に前記第1のハウジング本体(1)を通過する穴(7)を準備し、
前記隔膜(2)の少なくとも中央区域で前記穴(7)に向かい合うように第1の光学反射面(10)として構成された前記隔膜(2)の表面(10)を準備し、
前記第1のハウジング本体(1)の前記穴(7)に配置され、隔膜表面(2)の表面(10)へ光を導入およびこれから導出するためにファイバシール手段(6)により前記穴(7)へ気密に取り付けられた光ファイバ(15)を準備し、前記ファイバ(15)の端部は少なくとも前記第1のハウジング本体(1)の表面に達するように配置され、当該ファイバ端部(16)は前記隔膜(2)の表面(10)と光学結合するための第2の光学反射面(16)として構成されており、それによりこの構造はファイバ端部(16)と前記隔膜(2)の反射面(10)との間に光学キャビティ(30)を構成しており、該キャビティは前記隔膜(2)の変形を判定するための測定区域を形成するとともに、ファブリ・ペロ干渉計検出装置の一部である方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/163,303 US7707891B2 (en) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | Optical interferometric pressure sensor |
US12/163,303 | 2008-06-27 | ||
PCT/CH2009/000186 WO2009155716A1 (de) | 2008-06-27 | 2009-06-03 | Optischer interferometrischer drucksensor |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013215453A Division JP2014006268A (ja) | 2008-06-27 | 2013-10-16 | 光学干渉方式の圧力センサ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011525620A true JP2011525620A (ja) | 2011-09-22 |
JP2011525620A5 JP2011525620A5 (ja) | 2012-03-22 |
JP5586595B2 JP5586595B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=40972915
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011515043A Expired - Fee Related JP5586595B2 (ja) | 2008-06-27 | 2009-06-03 | 光学干渉方式の圧力センサ |
JP2013215453A Pending JP2014006268A (ja) | 2008-06-27 | 2013-10-16 | 光学干渉方式の圧力センサ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013215453A Pending JP2014006268A (ja) | 2008-06-27 | 2013-10-16 | 光学干渉方式の圧力センサ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7707891B2 (ja) |
JP (2) | JP5586595B2 (ja) |
KR (1) | KR20110025747A (ja) |
DE (1) | DE112009001192A5 (ja) |
TW (1) | TW201003054A (ja) |
WO (1) | WO2009155716A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104502005A (zh) * | 2014-12-04 | 2015-04-08 | 刘玉珏 | 一种基于mems工艺的f-p压力传感器及成型方法 |
KR101810729B1 (ko) | 2013-01-16 | 2017-12-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 압력 측정기 및 압력 측정기를 구비하는 기판 처리 장치 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112008001459A5 (de) * | 2007-06-19 | 2010-05-12 | Inficon Gmbh | Vakuummesszellenanordnung mit Heizung |
CN101743462B (zh) * | 2007-07-12 | 2014-08-20 | Abb研究有限公司 | 压力传感器 |
EP2088413A1 (en) * | 2008-02-08 | 2009-08-12 | Paul Scherrer Institut | Sensor and method for determining the pressure in a fluid |
US20100233353A1 (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-16 | Applied Materials, Inc. | Evaporator, coating installation, and method for use thereof |
US9528893B2 (en) | 2009-06-29 | 2016-12-27 | University Of Massachusetts | Optical fiber pressure sensor with uniform diaphragm and method of fabricating same |
US9587976B2 (en) | 2011-02-17 | 2017-03-07 | University Of Massachusetts | Photoacoustic probe |
US8752435B2 (en) | 2011-03-09 | 2014-06-17 | Claude Belleville | Miniature high sensitivity pressure sensor |
DE102011005665A1 (de) * | 2011-03-16 | 2012-09-20 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Keramische Druckmesszelle und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE102011051441B4 (de) * | 2011-06-29 | 2018-10-25 | CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH | Druckwandlungsbasierter Sensor zur Bestimmung einer Messgröße in einem Medium |
JP2013011556A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Md Innovations Kk | 隔膜気圧計 |
CN102759426A (zh) * | 2012-07-25 | 2012-10-31 | 北京中科博为科技有限公司 | 耐特高温的远传高精度压力传感装置 |
US9285249B2 (en) | 2012-10-04 | 2016-03-15 | Honeywell International Inc. | Atomic sensor physics package with metal frame |
CN102879149B (zh) * | 2012-10-30 | 2014-09-03 | 中国人民解放军总参谋部工程兵科研三所 | 一种光纤fp式冲击波压力传感器 |
US9410885B2 (en) * | 2013-07-22 | 2016-08-09 | Honeywell International Inc. | Atomic sensor physics package having optically transparent panes and external wedges |
US9086548B2 (en) * | 2013-09-30 | 2015-07-21 | Corning Cable Systems Llc | Optical connectors with inorganic adhesives and methods for making the same |
CN103698080A (zh) * | 2014-01-09 | 2014-04-02 | 中国人民解放军总参谋部工程兵科研三所 | 一种光纤f-p腔式动高压传感器 |
DE102015115926A1 (de) * | 2015-09-21 | 2017-03-23 | fos4X GmbH | Faseroptischer Drucksensor und Verfahren |
ES2789448T3 (es) * | 2015-09-21 | 2020-10-26 | Opsens Solutions Inc | Captador de presión óptico con menos tensiones mecánicas |
CN106679854B (zh) * | 2016-11-29 | 2020-02-07 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种绝压压力传感器及其制备方法 |
CN108663157B (zh) * | 2018-08-01 | 2024-05-28 | 桂林电子科技大学 | Michelson白光干涉光纤液压传感器及测量系统 |
DE102018124753A1 (de) * | 2018-10-08 | 2020-04-09 | fos4X GmbH | Temperaturkompensierter faseroptischer Sensor und Verfahren zur Druckmessung |
WO2020262460A1 (ja) * | 2019-06-25 | 2020-12-30 | 長野計器株式会社 | 光学センサおよび物理量測定装置 |
CN113252229B (zh) * | 2021-07-15 | 2021-09-14 | 成都辰迈科技有限公司 | 一种非静止流体压力测量装置及其使用方法 |
DE102022115272A1 (de) * | 2022-06-20 | 2023-12-21 | Schott Ag | Sensorkopf für Fluoreszenzspektroskopie |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH095028A (ja) * | 1995-04-17 | 1997-01-10 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 光学式センサ |
JP2005037314A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Myotoku Ltd | 光干渉型圧力センサ |
JP2006058070A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Yamatake Corp | 差圧測定システム及び差圧測定方法 |
WO2007019714A1 (de) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Inficon Gmbh | Optischer interferometrische drucksensor |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7008A (en) * | 1850-01-08 | Improvement in alloys for points of lightning-rods | ||
US4682846A (en) * | 1981-11-19 | 1987-07-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Hermetic high pressure fiber optic bulkhead penetrator |
DE3901492A1 (de) * | 1988-07-22 | 1990-01-25 | Endress Hauser Gmbh Co | Drucksensor und verfahren zu seiner herstellung |
US5087124A (en) * | 1989-05-09 | 1992-02-11 | Smith Rosemary L | Interferometric pressure sensor capable of high temperature operation and method of fabrication |
US5954900A (en) * | 1996-10-04 | 1999-09-21 | Envec Mess- Und Regeltechnik Gmbh + Co. | Process for joining alumina ceramic bodies |
JP2002500351A (ja) * | 1997-12-23 | 2002-01-08 | ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト | 容量式の真空測定セル |
US6506313B1 (en) * | 2000-02-01 | 2003-01-14 | Pacific Wave Industries, Inc. | Ultraminiature fiber optic pressure transducer and method of fabrication |
US6738145B2 (en) * | 2000-04-14 | 2004-05-18 | Shipley Company, L.L.C. | Micromachined, etalon-based optical fiber pressure sensor |
DE10225934B4 (de) * | 2002-06-11 | 2010-08-19 | Robert Bosch Gmbh | Faseroptischer Drucksensor |
US6823738B1 (en) * | 2003-10-15 | 2004-11-30 | Marek T. Wlodarczyk | Temperature compensated fiber-optic pressure sensor |
US7137301B2 (en) * | 2004-10-07 | 2006-11-21 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for forming a reference pressure within a chamber of a capacitance sensor |
JP5289321B2 (ja) * | 2006-11-13 | 2013-09-11 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空隔膜測定セル、およびこのような測定セルを製造する方法 |
RU2491524C2 (ru) * | 2007-12-20 | 2013-08-27 | Инфикон Гмбх | Устройство с мембранным манометрическим элементом |
-
2008
- 2008-06-27 US US12/163,303 patent/US7707891B2/en active Active
-
2009
- 2009-06-03 WO PCT/CH2009/000186 patent/WO2009155716A1/de active Application Filing
- 2009-06-03 JP JP2011515043A patent/JP5586595B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-06-03 DE DE112009001192T patent/DE112009001192A5/de not_active Ceased
- 2009-06-03 KR KR1020107027156A patent/KR20110025747A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-06-25 TW TW098121337A patent/TW201003054A/zh unknown
-
2013
- 2013-10-16 JP JP2013215453A patent/JP2014006268A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH095028A (ja) * | 1995-04-17 | 1997-01-10 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 光学式センサ |
JP2005037314A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Myotoku Ltd | 光干渉型圧力センサ |
JP2006058070A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Yamatake Corp | 差圧測定システム及び差圧測定方法 |
WO2007019714A1 (de) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Inficon Gmbh | Optischer interferometrische drucksensor |
JP2009505041A (ja) * | 2005-08-12 | 2009-02-05 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学式の干渉応用圧力センサ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101810729B1 (ko) | 2013-01-16 | 2017-12-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 압력 측정기 및 압력 측정기를 구비하는 기판 처리 장치 |
CN104502005A (zh) * | 2014-12-04 | 2015-04-08 | 刘玉珏 | 一种基于mems工艺的f-p压力传感器及成型方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112009001192A5 (de) | 2011-04-28 |
TW201003054A (en) | 2010-01-16 |
US7707891B2 (en) | 2010-05-04 |
US20090320605A1 (en) | 2009-12-31 |
WO2009155716A1 (de) | 2009-12-30 |
JP2014006268A (ja) | 2014-01-16 |
JP5586595B2 (ja) | 2014-09-10 |
KR20110025747A (ko) | 2011-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5586595B2 (ja) | 光学干渉方式の圧力センサ | |
JP5546460B2 (ja) | 隔膜圧力測定セルの構造 | |
US7305888B2 (en) | Optical interferometric pressure sensor | |
JP5021457B2 (ja) | 光センサ | |
CA1290166C (en) | Optical pressure-sensing system | |
JP5451476B2 (ja) | 高温光学式圧力センサー及びその製造方法 | |
JP2011506980A5 (ja) | ||
US7173713B2 (en) | Optical fiber sensors for harsh environments | |
US7787128B2 (en) | Transducer for measuring environmental parameters | |
JP2011525620A5 (ja) | ||
CN107063554B (zh) | 一种一体化光纤大压力传感器及其制作方法 | |
US9810594B2 (en) | Thermally stable high temperature pressure and acceleration optical interferometric sensors | |
JP5629317B2 (ja) | 光学式の隔膜圧力測定セルを備えた圧力測定セル構造 | |
JPH06265428A (ja) | 静電容量式圧力センサ | |
US9829307B2 (en) | Silicon based pressure and acceleration optical interferometric sensors with housing assembly | |
Xu | High temperature high bandwidth fiber optic pressure sensors | |
US20110069318A1 (en) | Transducer for measuring environmental parameters | |
JP2006133104A (ja) | 静電容量式圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120202 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130416 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130710 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130718 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140624 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140722 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5586595 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |