JP2011249726A - Work transfer system - Google Patents

Work transfer system Download PDF

Info

Publication number
JP2011249726A
JP2011249726A JP2010124212A JP2010124212A JP2011249726A JP 2011249726 A JP2011249726 A JP 2011249726A JP 2010124212 A JP2010124212 A JP 2010124212A JP 2010124212 A JP2010124212 A JP 2010124212A JP 2011249726 A JP2011249726 A JP 2011249726A
Authority
JP
Grant status
Application
Patent type
Prior art keywords
workpiece
chamber
work
transfer
storage chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010124212A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5755844B2 (en )
Inventor
Kota Hoshijima
Haruo Maetani
Yasunobu Otogawa
治男 前谷
耕太 星島
泰伸 音川
Original Assignee
Daihen Corp
株式会社ダイヘン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work transfer system with aligner, capable of improving position precision during work transfer using a work transfer robot.SOLUTION: A work transfer system A1 includes a transfer chamber 2; a work storage chamber 1 for storing laminated works W; a work processing chamber adjacent to the transfer chamber 2; a transfer robot 4 for transferring works W between the work storage chamber 1 and the work processing chamber; and an aligner 6 for aligning a rotational position around a vertical axis O4 of the work W. The aligner 6 includes a work retaining part 62 for retaining works W, a rotation driving mechanism for rotating the work retaining part 62, and a work retaining part lifting mechanism for lifting the work retaining part 62. Exchanging of works with the aligner 6 is possible by lifting the work retaining part 62; therefore, a lifting stroke of the transfer robot 4 can be relatively shortened.

Description

本発明は、半導体製造等においてウエハ等の薄板状のワークを搬送するためのワーク搬送システムに関し、より詳しくは、ワーク収納室とワーク処理室との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムに関する。 The present invention relates to a work conveying system for conveying the sheet-shaped workpiece such as a wafer, in semiconductor fabrication, etc., and more particularly, to convey the workpiece by the workpiece conveying robot with the workpiece storage chamber and the workpiece treatment chamber It relates configured workpiece transfer system as.

半導体製造の分野において、ウエハ等のワークを搬送する際に搬送用のロボットが用いられており、たとえば、ウエハが収納された容器(ワーク収納室)と、プロセスチャンバ(ワーク処理室)との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムが知られている。 In the field of semiconductor manufacturing, during which the robot for conveying is used in transporting a workpiece such as a wafer, for example, with a container which wafers are accommodated (workpiece storage chamber), and the process chamber (workpiece processing chamber) is configured workpiece transfer system to perform conveyance of a workpiece is known from in the work conveying robot.

図23に従来のワーク搬送システムの一例を示す。 It shows an example of a conventional workpiece transfer system in FIG. 23. 同図に示されたワーク搬送システムBは、2つのワーク収納室91と、搬送室92と、ワーク処理室93と、ワーク搬送用ロボット94と、アライナ装置95とを備えている。 Workpiece transfer system B shown in the figure, the two workpiece storage chamber 91, a transfer chamber 92, a workpiece processing chamber 93, a workpiece transfer robot 94, and a aligner device 95. ワーク収納室91は、たとえば、複数の薄板状のワークWを保持したカセットを収納可能に構成されており、直線状に配列される。 Workpiece storage chamber 91, for example, a cassette holding a plurality of thin plate-like workpiece W are accommodated capable constructed, are arranged linearly. 搬送室92は、複数のワーク収納室91に隣接して設けられており、この搬送室92内に1台のワーク搬送用ロボット94が配置される。 Conveying chamber 92 is provided adjacent to the plurality of workpiece storage chamber 91, the workpiece transfer robot 94 one to the transfer chamber 92 is arranged. ワーク搬送用ロボット94は、たとえば2段のアーム940,941およびワーク保持用のハンド942が互いに水平面内で回動自在に連結された水平多関節ロボットにより構成され、ハンド942に保持されたワークWを水平移動ないし上下動させることが可能とされている。 Workpiece conveying robot 94, for example, the arms 940 and 941 and hand 942 for work holding two stages is constituted by rotatably linked horizontal articulated robot in a horizontal plane with each other, the workpiece W held by the hand 942 is it possible to a horizontal movement to vertical movement. ワーク処理室93は、搬送室92に対してワーク収納室91とは反対側に隣接して設けられている。 Workpiece processing chamber 93 is provided adjacent to the opposite side of the workpiece storage chamber 91 to the transport chamber 92. ワーク処理室93においては、加熱処理、加工処理、あるいは検査処理などの処理がワークWに対してなされる。 In workpiece processing chamber 93, treatment such as heat treatment, processing, or inspection process is performed on the workpiece W. ワーク搬送用ロボット94は、すべてのワーク収納室91およびワーク処理室93に対して、ワークWの搬出入が可能とされている。 Workpiece conveying robot 94, for all the workpiece storage chamber 91 and the workpiece treatment chamber 93, loading and unloading of the workpiece W is possible. アライナ装置95は、ワーク処理室93内に搬入されるワークWの向き(垂直軸周りの回転位置)を一定にする必要がある場合に当該ワークWの向きを合わせるためのものであり、搬送室92内に配置される。 Aligner device 95 is intended for adjusting the orientation of the workpiece W when it is necessary to the orientation of the workpiece W is carried into the workpiece processing chamber 93 (rotational position about the vertical axis) at a constant transfer chamber It is located within 92. アライナ装置95は、ワークWを保持するターンテーブル950(ワーク保持部)と、このターンテーブル950を回転させる回転駆動機構と、たとえばワークWの外周に形成されたノッチを検出するセンサとを備えている。 Aligner device 95 includes a turntable 950 for holding a workpiece W (work holder), a rotary drive mechanism for rotating the turntable 950, for example, a sensor for detecting a notch formed in the outer periphery of the workpiece W there. ターンテーブル950は、ワーク収納室91に対するワークWの搬出入の妨げとならないように、ワーク収納室91に対してワークの受け渡しを行うときのワーク搬送用ロボット94のアーム940,941およびハンド942の位置(下限位置)よりも低い位置に設けられている。 Turntable 950 so as not to hinder loading and unloading of the workpiece W to the workpiece accommodating chamber 91, the arms 940 and 941 and the hand 942 of the workpiece conveying robot 94 when receiving and transferring the workpiece relative to the workpiece storage chamber 91 position is provided on the (lower limit position) position lower than.

図23に示されたワーク搬送システムBにおけるワーク搬送処理の一例について説明する。 An example of a workpiece transfer process will be described in the indicated workpiece conveying system B in Figure 23. まず、図24に示すように、2つ並んだワーク収納室91のうちの一方のワーク収納室91から処理前のワークWを搬出する。 First, as shown in FIG. 24, unloading the workpiece W before processing from one workpiece storage chamber 91 of the two adjacent workpiece storage chamber 91. 次に、アライナ装置95により、当該ワークWの向きを合わせるアライメントが行われる。 Then, the aligner 95, the alignment to match the orientation of the workpiece W is performed. 具体的には、図25に示すように、ワークWをアライナ装置95のターンテーブル950の真上に移動させ、ハンド942を下降させることにより、アライナ装置95のターンテーブル950にワークWを保持させる。 Specifically, as shown in FIG. 25, to move the workpiece W just above the turntable 950 of the aligner 95, by lowering the hand 942, to hold the workpiece W on the turntable 950 of the aligner 95 . 引き続き、ワーク搬送用ロボット94のハンド942をアライナ装置95から退避させ、ターンテーブル950を回転させながらワークWのノッチの位置を検出し、検出したノッチを所定の向きに向くようにターンテーブル950を回転させる。 Subsequently retracts the hand 942 of the workpiece conveying robot 94 from the aligner apparatus 95, while rotating the turntable 950 detects the position of the notch of the work is W, the turntable 950 so as to face the detected notch in a predetermined direction rotate. その後、ワークWの真下にハンド942を進入させ、当該ハンド942を上昇させることによりワークWを受け取り、当該ワークWをワーク処理室93に搬入する。 Then, to enter the hand 942 beneath the workpiece W, it receives the workpiece W by raising the hand 942 and carries the workpiece W to the workpiece processing chamber 93. 図26は、ワーク処理室93においてワークWの受け渡しがなされる状態を示す。 Figure 26 shows a state in which the transfer of the workpiece W is performed in the work processing chamber 93. ワーク処理室93ではワークWに対して適宜処理がなされる。 Appropriate processing is performed on the workpiece processing chamber 93 in the workpiece W. 次いで、処理後のワークWをワーク処理室93から搬出し、他方のワーク収納室91に搬入する。 Then, the workpiece W after processing is unloaded from the work processing chamber 93 is carried into the other workpiece storage chamber 91. このようなワークWの搬送が繰り返される。 Transport of such workpiece W is repeated.

上記した従来のワーク搬送システムBにおいては、アライナ装置95のターンテーブル950が、ワーク収納室91に対するワークWの受け渡しを行うときのアーム940,941およびハンド942の位置(下限位置)よりも低い位置に設けられている。 In the conventional workpiece transfer system B described above, the turntable 950 of the aligner 95 is positioned lower than the position of the arms 940 and 941 and the hand 942 (lower limit position) when receiving and transferring the workpiece W to the workpiece storage chamber 91 It is provided to. このため、ワーク搬送用ロボット94においては、ワーク収納室91に対するワークWの受け渡しを行う上限位置と下限位置との間でハンド942を昇降させる、ワーク受け渡しのための昇降ストロークと、アライナ装置95のターンテーブル950にワークWを保持させるために、上記下限位置より下方においてハンド942を昇降させる、アライメントのための昇降ストロークと、が必要となる。 Therefore, in the work conveying robot 94 raises and lowers the hand 942 between the upper limit position and lower limit position for transferring the workpiece W to the workpiece storage chamber 91, a lifting stroke for the workpiece delivery, the aligner 95 to hold the workpiece W on the turntable 950, thereby lifting the hand 942 in the lower than the lower limit position, the elevating stroke for the alignment, it is necessary. したがって、ワーク搬送用ロボット94については、比較的に長い昇降ストロークを有する必要がある。 Thus, the workpiece conveying robot 94 must have a relatively long lifting stroke.

しかしながら、ワーク搬送用ロボットBの昇降ストロークが長くなると、当該ワーク搬送用ロボット94の剛性を維持するのが困難になり、ワーク搬送時の位置精度の低下を招いてしまう。 However, when the lifting stroke of the workpiece conveying robot B is long, it becomes difficult to maintain the rigidity of the workpiece transfer robot 94, which leads to deterioration of the position accuracy during workpiece transfer. ワーク搬送用ロボット94の昇降ストロークの長大化は、当該ワーク搬送用ロボット94の製造コストの高騰化を招き、また、搬送室92においては、高さ方向の寸法を大きくしなければならない場合もあり、ワーク搬送システムB全体の製造コストが高くつく虞れもある。 Lengthening of the lifting stroke of the workpiece conveying robot 94 causes the manufacturing cost of the rising of the workpiece conveying robot 94, and in the transfer chamber 92, may also need to increase the height dimension , the manufacturing cost of the entire workpiece transfer system B is also costly possibility.

特開2003−188231号公報 JP 2003-188231 JP

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、アライナ装置を備え、ワーク収納室とワーク処理室との間でワーク搬送用ロボットによりワークの搬送を行うように構成されたワーク搬送システムにおいて、ワーク搬送用ロボットによるワーク搬送時の位置精度の向上を図るとともに、製造コストの削減を図ることをその課題としている。 The present invention, which was conceived in view of the foregoing circumstances, including the aligner device, configured to perform the transfer of the workpiece by the workpiece conveying robot with the workpiece storage chamber and the workpiece treatment chamber in been workpiece transfer system, with improved positional accuracy during workpiece conveyance by the work conveying robot has as its aims to reduce the manufacturing cost.

上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。 To solve the above problems, the present invention adopts the following technical means.

本発明によって提供されるワーク搬送システムは、搬送室と、この搬送室に隣接し、薄板状のワークを積層状に収納するためのワーク収納室と、上記搬送室に隣接するワーク処理室と、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室との間で上記ワークを搬送するために上記搬送室に配置され、ハンドに保持された上記ワークを水平移動ないし上下動させることが可能なワーク搬送用ロボットと、上記搬送室に配置され、上記ワークの垂直軸周りの回転位置を合わせるためのアライナ装置と、を備えたワーク搬送システムであって、上記アライナ装置は、上記ワークを保持するワーク保持部と、上記ワーク保持部を回転させる回転駆動機構と、上記ワーク保持部を昇降させるワーク保持部昇降機構と、を備えることを特徴としている。 Workpiece transfer system provided by the present invention includes a transfer chamber, adjacent to the conveying chamber, and workpiece storage chamber for accommodating a thin plate-like workpiece in layers, and the workpiece treatment chamber adjacent to the transfer chamber, are arranged in the transfer chamber for transporting the workpieces between the workpiece storage chamber and the workpiece processing chamber, the workpiece conveying robot capable of causing the workpiece held by the hand is moved horizontally or vertically moving , is disposed in the transfer chamber, a workpiece transfer system and a aligner for aligning the rotational position about the vertical axis of the workpiece, it said aligner includes a workpiece holding portion for holding the workpiece, a rotation drive mechanism for rotating the work holder, is characterized by and a work holder elevating mechanism for raising and lowering the workpiece holding portion.

好ましい実施の形態においては、上記ワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室に対して上記ワークの受け渡しを行う上限位置と下限位置との間で上記ハンドを昇降させ、上記アライナ装置の上記ワーク保持部昇降機構は、上記下限位置よりも上位である第1位置と、上記下限位置よりも下位であり、かつ、上記ワーク搬送用ロボットと干渉しない第2位置との間で上記ワーク保持部を昇降させる。 In a preferred embodiment, the workpiece conveying robot to lift the hand between the upper limit position and lower limit position for transferring the workpiece relative to the workpiece storage chamber, the workpiece holding portion of the aligner lifting mechanism includes a first position which is an upper than the lower limit position, a lower than the above lower limit position, and raise and lower the work holder and a second position where it does not interfere with the workpiece conveying robot .

好ましい実施の形態においては、上記ワーク収納室は、3つ以上5つ以下とされ、かつ、直線状に配列されており、上記ワーク処理室は、上記搬送室に対して上記ワーク収納室とは反対側に位置し、上記ワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向に離間して2台配置されており、上記アライナ装置は、2台の上記ワーク搬送用ロボットの間に配置されている。 In a preferred embodiment, the workpiece storage chamber is three or more 5 or less, and are arranged linearly, the workpiece processing chamber, the above workpiece storage chamber to said transfer chamber located on the opposite side, the workpiece conveying robot, the workpiece is accommodated chamber arranged two spaced apart in the arrangement direction of the aligner apparatus is disposed between two of said workpiece conveying robot there.

好ましい実施の形態においては、上記アライナ装置は、上記ワーク処理室に正対する位置に配置されている。 In a preferred embodiment, the aligner apparatus is disposed in a position directly facing to the workpiece processing chamber.

好ましい実施の形態においては、上記ワーク搬送用ロボットは、上記搬送室に対して固定される固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、一端が上記昇降ベースに対して第1の垂直軸周りに回動可能に支持された第1のアームと、上記第1のアームを上記第1の垂直軸周りに回動させる第1アーム駆動機構と、一端がこの第1のアームの他端に対して第2の垂直軸周りに回動可能に支持された第2のアームと、この第2のアームを上記第2の垂直軸周りに回動させる第2アーム駆動機構と、端部が上記第2のアームの他端に対して第3の垂直軸周りに回動可能に支持された上記ハンドと、このハンドを上記第3の垂直軸周りに回動させるハンド駆動機構と、を備える。 In a preferred embodiment, the workpiece conveying robot includes a fixed base fixed to said transfer chamber, and elevating base, a lifting mechanism for lifting the lift base with respect to the fixed base, one end the a first arm with respect to the elevating base is supported rotatably to the first around a vertical axis, a first arm drive mechanism for rotating the first arm to the first about a vertical axis, one end the There is rotated and a second arm pivotally supported on the second about a vertical axis relative to the other end of the first arm, the second arm to the second about a vertical axis a second arm drive mechanism, and the hand whose ends are rotatably supported to the third about a vertical axis relative to the other end of the second arm, rotating the hand to the third about a vertical axis It comprises a hand driving mechanism for moving the.

本発明に係るワーク搬送システムによれば、アライナ装置のワーク保持部の昇降動作により、アライナ装置に対するワークの受け渡しが可能とされている。 According to the work conveying system according to the present invention, the vertical movement of the workpiece holder of the aligner device, there is a possible transfer of the workpiece relative to the aligner apparatus. このため、ワーク搬送用ロボットにおいては、アライナ装置に対するワークの受け渡しのための昇降ストロークが不要であり、当該ワーク搬送用ロボットの昇降ストロークを比較的に短くすることができる。 Therefore, in the workpiece transfer robots, the lifting stroke for the transfer of the workpiece with respect to the aligner apparatus is unnecessary, it is possible to shorten the elevating stroke of the workpiece conveying robot relatively. その結果、ワーク搬送用ロボットの剛性を維持するのが容易であり、ワーク搬送時における位置精度の向上を図ることができる。 As a result, it is easy to maintain the rigidity of the workpiece transfer robot, it is possible to improve the positional accuracy during workpiece transfer. また、ワーク搬送用ロボットの昇降ストロークが短縮されると、ワーク搬送用ロボットおよびこれを収容する搬送室の小型化を図ることができるので、ワーク搬送システム全体の製造コストの削減に寄与する。 Also, when the lifting stroke of the workpiece conveying robot can be shortened, it is possible to reduce the size of the transfer chamber which houses a robot and this work conveyance, it contributes to the reduction of manufacturing cost of the entire workpiece transfer system.

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。 Other features and advantages of the present invention, the detailed description given below with reference to the accompanying drawings, will become more apparent.

本発明に係るワーク搬送システムの全体構成を示す平面図である。 Is a plan view showing the overall configuration of a workpiece transfer system according to the present invention. ワーク搬送用ロボットの側面図である。 It is a side view of a workpiece transfer robot. ワーク搬送用ロボットの制御系の概略構成例を示すブロック図である。 It is a block diagram showing a schematic configuration example of a control system of the workpiece conveying robot. アライナ装置の説明図であり、図1に示すワーク搬送システムのワーク処理室側からワーク収納室側を見た図である。 It is an explanatory view of the aligner, which is a view of the workpiece storage chamber side from the workpiece treatment chamber side of the workpiece transfer system shown in FIG. アライナ装置の説明図であり、図1に示すワーク搬送システムのワーク処理室側からワーク収納室側を見た図である。 It is an explanatory view of the aligner, which is a view of the workpiece storage chamber side from the workpiece treatment chamber side of the workpiece transfer system shown in FIG. アライナ装置によりワークのアライメントを行う手順の説明図であり、図4と同様の図である。 Is an explanatory view of a procedure for alignment of the workpiece by the aligner is a view similar to FIG. アライナ装置によりワークのアライメントを行う手順の説明図であり、図4と同様の図である。 Is an explanatory view of a procedure for alignment of the workpiece by the aligner is a view similar to FIG. アライナ装置によりワークのアライメントを行う手順の説明図であり、図4と同様の図である。 Is an explanatory view of a procedure for alignment of the workpiece by the aligner is a view similar to FIG. アライナ装置によりワークのアライメントを行う手順の説明図であり、図4と同様の図である。 Is an explanatory view of a procedure for alignment of the workpiece by the aligner is a view similar to FIG. アライナ装置によりワークのアライメントを行う手順の説明図であり、図4と同様の図である。 Is an explanatory view of a procedure for alignment of the workpiece by the aligner is a view similar to FIG. アライナ装置によりワークのアライメントを行う手順の説明図であり、図4と同様の図である。 Is an explanatory view of a procedure for alignment of the workpiece by the aligner is a view similar to FIG. アライナ装置によりワークのアライメントを行う手順の説明図であり、図4と同様の図である。 Is an explanatory view of a procedure for alignment of the workpiece by the aligner is a view similar to FIG. ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the operation of the workpiece conveying robot. ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the operation of the workpiece conveying robot. ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the operation of the workpiece conveying robot. ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the operation of the workpiece conveying robot. ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the operation of the workpiece conveying robot. ワーク搬送用ロボットの動作を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the operation of the workpiece conveying robot. 図1に示すワーク搬送システムによるワーク搬送の手順を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the procedure of the work conveyance by the work conveying system shown in Figure 1. 図1に示すワーク搬送システムによるワーク搬送の手順を説明するための平面図である。 Is a plan view for explaining the procedure of the work conveyance by the work conveying system shown in Figure 1. 本発明に係るワーク搬送システムの他の例を示す平面図である。 It is a plan view showing another example of a workpiece transfer system according to the present invention. 本発明に係るワーク搬送システムの他の例を示す平面図である。 It is a plan view showing another example of a workpiece transfer system according to the present invention. 従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of a conventional workpiece transfer system. 従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of a conventional workpiece transfer system. 従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of a conventional workpiece transfer system. 従来のワーク搬送システムの一例を示す平面図である。 Is a plan view showing an example of a conventional workpiece transfer system.

以下、本発明の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。 DETAILED DESCRIPTION A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明に係るワーク搬送システムの一例を示している。 Figure 1 shows an example of a workpiece transfer system according to the present invention. 本実施形態のワーク搬送システムA1は、3つのワーク収納室1(以下、適宜、ワーク収納室1A,1B,1Cという)と、搬送室2と、ワーク処理室3と、2台の搬送用ロボット4(以下、適宜、搬送用ロボット4A,4Bという)と、これら搬送用ロボット4の動作を制御するコントローラ5(図示略)と、アライナ装置6とを備え、たとえばウエハ等の薄板状のワークWの搬送を行うように構成されたものである。 Workpiece conveying system A1 of the embodiment, three workpiece storage chamber 1 (hereinafter referred to as workpiece storage chamber 1A, 1B, referred to 1C) and, the transfer chamber 2, a workpiece processing chamber 3, two transport robots 4 (hereinafter referred to as conveying robots 4A, referred 4B) and, and controls the operation of the transport robot 4 controller 5 (not shown), and a aligner device 6, for example, thin-plate workpiece W such as a wafer, those that are configured to perform the conveyance.

ワーク収納室1は、たとえば複数の薄板状のワークWを積層状に保持したカセットを収納可能に構成されており、一定ピッチで直線状に配列されている。 Workpiece storage chamber 1, for example, are accommodated configured to enable a cassette holding a plurality of thin plate-shaped workpiece W in layers, it is arranged linearly at a fixed pitch.

搬送室2は、上記3つのワーク収納室1に隣接して設けられており、これらワーク収納室1が並ぶ方向において長手状の略直方体形状とされている。 Transfer chamber 2 is provided adjacent to the three workpiece storage chamber 1, there is a elongated substantially rectangular parallelepiped in the direction in which these workpiece storage chamber 1 is arranged.

ワーク処理室3は、加熱処理、加工処理あるいは検査処理などの処理をワークWに対して行うためのものである。 Workpiece processing chamber 3 is for performing heat treatment, the processing such as processing or inspection process with respect to the workpiece W. ワーク処理室3は、搬送室2に対して、ワーク収納室1とは反対側に隣接して設けられている。 Workpiece processing chamber 3, to the transfer chamber 2, is provided adjacent to the opposite side of the workpiece storage chamber 1. ワーク処理室3は、ワーク収納室1の配列方向X1−X2における中央位置に設けられている。 Workpiece processing chamber 3 is provided at the center position in the arrangement direction X1-X2 workpiece storage chamber 1. なお、ワーク処理室3と搬送室2との間には、必要に応じて開閉式のシャッタ(図示略)が設けられる。 Between the workpiece processing chamber 3 and the transfer chamber 2, openable shutter (not shown) is provided as needed.

搬送用ロボット4は、ワーク収納室1とワーク処理室3との間でワークWの搬送を行うためのものであり、搬送室2内に配置されている。 Conveying robot 4 is for performing the transfer of the workpiece W between the workpiece storage chamber 1 and the workpiece treatment chamber 3, is arranged in the conveying chamber 2. 図1および図2に表れているように、搬送用ロボット4は、搬送室2の下部に対して台座を介して固定される固定ベース40と、昇降ベース41と、長手状の下段アーム42および上段アーム43と、ハンド44とを備えている。 As appears in FIGS. 1 and 2, the transport robot 4 includes a fixed base 40 which is fixed through a base with respect to the lower of the transfer chamber 2, the elevating base 41, the longitudinal-shaped lower arm 42 and an upper arm 43, and a hand 44.

昇降ベース41は、固定ベース40に対して昇降可能に支持されている。 Elevating base 41 is vertically movably supported relative to the stationary base 40. 具体的には、たとえば、固定ベース40の内部に図示しない上下方向の直線ガイドレールが設けられ、昇降ベース41に設けられた図示しないスライダが上記ガイドレールに対して上下方向にスライド移動可能に支持されている。 Specifically, for example, linear guide rails are provided in the vertical direction (not shown) inside the fixed base 40, not shown, provided on the elevating base 41 slider slidably supported in the vertical direction relative to the guide rail It is. また、固定ベース40の内部には図示しないネジ軸が回転自在に支持され、昇降ベース41には、上記ネジ軸に螺合するナットが設けられている。 Further, the inside of the fixed base 40 screw shaft (not shown) is rotatably supported, the elevating base 41 is a nut screwed to the threaded shaft. 固定ベース40の下部には図示しない昇降用のサーボモータが設けられ、この昇降用モータの出力軸に設けられた出力プーリと、上記ネジ軸に設けられたプーリとの間にベルトが掛け回されている。 Fixing the lower portion of the base 40 is provided a servo motor for raising and lowering, not shown, and an output pulley provided on an output shaft of the elevating motor, a belt between the pulleys provided on the screw shaft is placed around ing. かかる構成により、上記昇降用モータが駆動すると、上記ネジ軸が回転させられ、当該ネジ軸の回転により、昇降ベース41が昇降させられる。 With this configuration, when the elevating motor is driven, the screw shaft is rotated by the rotation of the screw shaft, the elevating base 41 is moved up and down. このようにして、昇降ベース41を固定ベース40に対して昇降させる昇降機構が構成される。 In this way, the lifting mechanism for raising and lowering constitute the elevating base 41 relative to the fixed base 40.

下段アーム42は、たとえば中空状の略四角柱形状とされており、長手方向が水平となる姿勢で昇降ベース41に支持されている。 Lower arm 42, for example, is a hollow substantially square column shape, the longitudinal direction is supported on the elevating base 41 in a posture in which the horizontal. たとえば、下段アーム42の基端42aには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が昇降ベース41の上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸O1周りに回動可能に支持されている。 For example, the proximal end 42a of the lower arm 42, the shaft portion of the vertically downward (not shown) is provided with, around a vertical axis O1 in a state where the shaft portion is inserted into the hole formed in the upper portion of the elevating base 41 It is rotatably supported on. また、昇降ベース41には図示しない下段アーム駆動用のサーボモータが設けられ、この下段アーム用モータの出力軸に設けられた出力プーリと、下段アーム42の上記軸部に設けられた従動プーリとの間にベルトが掛け回されている。 The servo motor for the lower arm drive (not shown) is provided in the elevating base 41, and an output pulley provided on an output shaft of the motor for the lower arm, and a driven pulley provided on the shaft portion of the lower arm 42 belt is wrapped around the. かかる構成により、上記下段アーム用モータが駆動すると、下段アーム42は、垂直軸O1周りに回動させられる。 With this configuration, when the motor above the lower arm is driven, the lower arm 42 is rotated about the vertical axis O1. このようにして、下段アーム42を垂直軸O1周りに回動させる下段アーム駆動機構が構成される。 In this way, the lower arm driving mechanism for rotating the lower arm 42 about the vertical axis O1 is formed. なお、本実施形態では、垂直軸O1は、固定ベース40の中心に対して所定の距離L0だけ偏倚した位置に設定される。 In the present embodiment, the vertical axis O1 is set to a position offset by a predetermined distance L0 relative to the center of the fixed base 40.

上段アーム43は、たとえば中空状の略四角柱形状とされており、長手方向が水平となる姿勢で下段アーム42に支持されている。 Upper arm 43, for example, is a hollow substantially square column shape, the longitudinal direction is supported by the lower arm 42 in a posture in which the horizontal. たとえば、上段アーム43の基端43aには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が下段アーム42の先端上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸O2周りに回動可能に支持されている。 For example, the proximal end 43a of the upper arm 43, and the shaft portion of the vertically downward (not shown) is provided, the vertical axis in a state where the shaft portion is inserted into the hole formed in the front end upper portion of the lower arm 42 O2 It is rotatably supported around. また、昇降ベース41には図示しない上段アーム駆動用のサーボモータ(上段アーム用モータ)が設けられ、下段アーム42の軸部に対して相対回転可能に上段アーム用中継軸が設けられている。 The servo motor for the upper arm drive (not shown) (motor upper arm) is provided in the elevating base 41, relatively rotatably for the upper arm intermediate shaft is provided for the shaft portion of the lower arm 42. そして、上段アーム用モータの出力軸に設けられた出力プーリと上段アーム用中継軸の下端に設けられた下位中継プーリとの間、および上段アーム用中継軸の上端に設けられた上位中継プーリと上段アーム43の上記軸部に設けられた従動プーリとの間、にそれぞれベルトが掛け回されている。 Then, a high-level relay pulley provided between the lower relay pulley provided at the lower end of the output pulley and for the upper arm relay shaft provided on the output shaft of the motor for the upper arm, and the upper end for the upper arm intermediate shaft between the driven pulley provided on the shaft portion of the upper arm 43, respectively belt is wound around. かかる構成により、上段アーム用モータが駆動すると、上段アーム43は、垂直軸O2周りに回動させられる。 With this configuration, when the motor upper arm is driven, the upper arm 43 is rotated about the vertical axis O2. このようにして、上段アーム43を垂直軸O2周りに回動させる上段アーム駆動機構が構成される。 In this way, the upper arm driving mechanism for rotating the upper arm 43 about the vertical axis O2 is constructed.

ハンド44は、先端部が二股のフォーク状とされており、中心線が水平となる姿勢で上段アーム43に支持されている。 Hand 44, the tip portion is a bifurcated fork, the center line is supported by the upper arm 43 in a posture in which the horizontal. ハンド44には、たとえばウエハなどの所定サイズの円形のワークWを載置保持するための部分円状の凹段部44bが形成されている。 The hand 44, for example circular-shaped recessed step portion 44b for placing holding a circular workpiece W of a predetermined size, such as a wafer are formed. たとえば、ハンド44の基端44aには、図示しない垂直下向きの軸部が設けられており、当該軸部が上段アーム43の先端上部に形成された孔に嵌挿された状態で垂直軸O3周りに回動可能に支持されている。 For example, the proximal end 44a of the hand 44, and the shaft portion of the vertically downward (not shown) is provided, the vertical axis O3 around in a state where the shaft portion is inserted into the hole formed in the front end upper portion of the upper arm 43 It is rotatably supported on. また、昇降ベース41には図示しないハンド駆動用のサーボモータ(ハンド用モータ)が設けられ、下段アーム42の軸部に対して相対回転可能に第1中継軸が設けられ、上段アーム43の軸部に対して相対回転可能に第2中継軸が設けられている。 The vertically moving the base 41 servo motor for hand driving (not shown) (the motor hand) is provided, the first relay shaft rotatably relative to the axis of the lower arm 42 is provided, the axis of the upper arm 43 the second intermediate shaft is provided to be relatively rotatable with respect to part. そして、ハンド用モータの出力軸に設けられた出力プーリと第1中継軸の下端に設けられた下位第1中継プーリとの間、第1中継軸の上端に設けられた上位第1中継プーリと第2中継軸の下端に設けられた下位第2中継プーリとの間、および第2中継軸の上端に設けられた上位第2中継プーリとハンド44の上記軸部に設けられた従動プーリとの間、にそれぞれベルトが掛け回されている。 Then, between the lower first relay pulley provided at the lower end of the output pulley and the first relay shaft provided on the output shaft of the hand motor, the upper first relay pulley provided at the upper end of the first intermediate shaft between the lower second relay pulley provided at the lower end of the second relay shaft, and the second upper-level provided at the upper end of the intermediate shaft second relay pulley and the hand 44 of the driven pulley provided on the shaft portion between, each belt is wound around. かかる構成により、ハンド用モータが駆動すると、ハンド44は、垂直軸O3周りに回動させられる。 With this configuration, when the hand motor is driven, the hand 44 is rotated about the vertical axis O3. このようにして、ハンド44を垂直軸O3周りに回動させるハンド駆動機構が構成される。 In this way, the hand driving mechanism configured to rotate the hand 44 about the vertical axis O3.

昇降ベース41、アーム42,43、およびハンド44の支持構造、ならびに昇降機構、各アーム駆動機構、およびハンド駆動機構については、詳細な図示説明は省略したが、たとえば特開2003−188231号公報記載の構造と同様の構造によって実現することができる。 The support structure of the elevating base 41, the arms 42, 43 and the hand 44, and the elevating mechanism, the arm driving mechanism, and for the hand drive mechanism, detailed but illustrated and described in the drawings, for example, JP 2003-188231 JP it can be realized by the same structure as the structure. なお、各アーム駆動機構、およびハンド駆動機構の一例として、昇降ベース41にそれぞれの駆動用モータを設け、プーリ、中継軸、およびベルトの連係によりアーム42,43、およびハンド44が回動させられる場合について説明したが、これに代えて、アーム42,43、およびハンド44の軸部に駆動用モータの出力軸を直接つなげてもよい。 As an example of the arm driving mechanism, and a hand drive mechanism, each of the driving motor to the elevating base 41 is provided, the pulley, the arms 42, 43 and the hand 44 is rotated by the linkage of the intermediate shaft, and a belt It has been described, instead of this, the arms 42 and 43, and the shaft portion of the hand 44 may connect the output shaft of a drive motor directly.

なお、固定ベース40と昇降ベース41との間、昇降ベース41と下段アーム42との間、下段アーム42と上段アーム43との間、および上段アーム43とハンド44との間には、それぞれ、必要に応じて図示しないシール部材が介装される。 Incidentally, between the fixed base 40 and the elevating base 41, between the lifting base 41 and the lower arm 42, between the lower arm 42 and upper arm 43, and between the upper arm 43 and the hand 44, respectively, sealing member is interposed (not shown) as needed. これにより、搬送用ロボット4の内部空間は外部に対して気密シールされ、たとえば搬送用ロボット4内部のパーティクルが搬送室2へ拡散することは防止される。 Thus, the internal space of the conveying robot 4 is hermetically sealed to the outside, for example, transfer robot 4 inside the particles are prevented from diffusing into the transfer chamber 2.

図1に表れているように、上記構成の2台の搬送用ロボット4は、ワーク収納室1の配列方向X1−X2についてワーク処理室3を挟むように離間し、かつ左右のワーク収納室1A,1Cに対応する位置に配置され、たとえば上記配列方向X1−X2における中央位置から互いに同じ距離の位置に配置されている。 As reflected in FIG. 1, the transport robot 4 two of the above configuration, spaced about the arrangement direction X1-X2 workpiece storage chamber 1 so as to sandwich the workpiece processing chamber 3, and left and right workpiece storage chamber 1A , is disposed at a position corresponding to 1C, for example, it is disposed at the position of each other the same distance from the center position in the arrangement direction X1-X2. ここで、「同じ距離」とは、設計上において、上記中央位置から図中右側の搬送用ロボット4Aまでの距離と、上記中央位置から図中左側の搬送用ロボット4Bまでの距離とを等しくしておくことを意味する。 Here, the "same distance", in the design, and equal to the distance to the conveying robots 4A of the right side in the drawing from the middle position, the distance to the conveying robot 4B on the left side of the figure from the middle position it means that the leave. 本実施形態では、搬送用ロボット4A,4Bは、左右のワーク収納室1A,1Cに正対して位置し、かつ搬送室2のうちワーク処理室3に面した側壁2aに近接して位置する。 In the present embodiment, the transport robot 4A, 4B, the left and right workpiece storage chamber 1A, directly opposite located 1C, and positioned adjacent to the side wall 2a facing the workpiece processing chamber 3 of the conveying chamber 2.

固定ベース40の下部側面には、上記各モータに対する給電や制御信号の伝送を行うためのコネクタ(図示略)が設けられている。 The lower side surface of the fixed base 40 is a connector for performing the transmission of the power supply and control signals for the respective motors (not shown) is provided.

図3は、搬送用ロボットの制御系の概略構成例を示すブロック図である。 Figure 3 is a block diagram showing a schematic configuration of a control system of the transfer robot. 図3に示すように、2台の搬送用ロボット4A,4Bは、コントローラ5に接続されている。 As shown in FIG. 3, two transport robots 4A, 4B are connected to the controller 5. コントローラ5は、メイン制御部50と、搬送用ロボット4A,4Bにそれぞれ設けられたサーボモータを制御するサーボ制御部51A,51Bとを有している。 The controller 5 includes a main control unit 50, the transport robot 4A, the servo control unit 51A for controlling the servo motors respectively provided 4B, and 51B.

メイン制御部50には、たとえば、ロボットの制御プログラム等を実行し演算処理を行うCPU、各種プログラムや設定データ等を格納したROM、データ等の一時的な記憶に用いられるRAM等が組み込まれており、これらがバスラインを介して接続されている。 The main control unit 50, for example, CPU performing running control program of the robot operation processing, ROM for storing various programs, setting data, and RAM or the like used for temporary storage of data and the like are incorporated cage, which are connected via a bus line. また、メイン制御部50には、搬送用ロボット4A,4Bに対するティーチング作業や手動操作(原点調整や手動入力操作)を行うためのティーチペンダント52が接続されている。 Further, the main control unit 50, the transport robot 4A, teach pendant 52 for performing the teaching operation or manual operation (the origin adjustment and manual input operation) for 4B is connected.

メイン制御部50には、サーボ制御部51A,51Bが接続されており、サーボ制御部51A,51Bは、搬送用ロボット4A,4Bに接続されている。 The main control unit 50, a servo control unit 51A, 51B are connected, the servo control unit 51A, 51B is conveying robots 4A, is connected to 4B. サーボ制御部51A,51Bは、搬送用ロボット4A,4Bにそれぞれ設けられたサーボモータの駆動制御を行うとともにサーボモータの各軸の位置情報をエンコーダからのフィードバック信号として受ける。 The servo control unit 51A, 51B receives the positional information of each axis of the servo motor as a feedback signal from the encoder performs drive control of the servo motor which are provided conveying robots 4A, in 4B. また、メイン制御部50は、搬送用ロボット4A,4Bとの電気的接続状態を検出しており、たとえば搬送用ロボット4A,4Bのいずれかとの電気的接続が断たれると、接続異常を検出する。 The main control unit 50, the transport robot 4A, and detects an electrical connection state between 4B, for example, when conveying robots 4A, the electrical connection between any of the 4B are disconnected, connection error detection to. なお、サーボ制御部51A,51Bには電源装置53が接続されており、電源装置53からの駆動電流は、サーボ制御部51A,51Bを介して搬送用ロボット4A,4Bのサーボモータへ供給される。 The servo control unit 51A, is connected the power supply 53 to 51B, the driving current from the power supply device 53 is supplied the servo control unit 51A, via a 51B conveying robots 4A, 4B to the servo motor .

電源装置53とサーボ制御部51A,51Bとの間には、スイッチ装置54が設けられている。 Power supply 53 and a servo control unit 51A, between the 51B, the switch device 54 is provided. スイッチ装置54は、メイン制御部50に接続されている。 Switching device 54 is connected to the main control unit 50. メイン制御部50は、たとえば、搬送用ロボット4A,4Bのいずれかから、サーボモータの駆動状態について、あらかじめ設定された適正範囲を超えた信号を受けると、当該搬送用ロボットが故障であると判定し、電源装置53から当該搬送用ロボットへの通電を遮断するようにスイッチ装置54を制御する。 The main control unit 50, for example, determination conveying robots 4A, from one of 4B, the driving state of the servo motor, when receiving a signal exceeding the appropriate range set in advance, and the transfer robot is faulty and controls the switching unit 54 so as to cut off the power supply to the transfer robot from the power supply 53. また、メイン制御部50は、いずれかの搬送用ロボットの故障を検出すると、当該搬送用ロボットとの電気的接続状態の検出を無効にする。 The main control unit 50 detects a failure of one of the transport robot to disable the detection of electrical connection between the transfer robot. このように、本実施形態では、コントローラ5(メイン制御部50)は、2台の搬送用ロボット4A,4Bの駆動を統括的に制御している。 Thus, in the present embodiment, the controller 5 (the main control unit 50), two conveying robots 4A, and integrally controls the driving of 4B.

上記構成の搬送用ロボット4においては、上記した下段アーム用モータ、上段アーム用モータ、およびハンド用モータをそれぞれ独立して駆動制御することが可能であり、下段アーム42、上段アーム43、およびハンド44を垂直軸O1,O2,O3周りに回動させることができる。 In conveying robot 4 having the above configuration, it is possible to independently drive control above the lower arm motor, motor upper arm, and the hand motor, the lower arm 42, the upper arm 43, and the hand 44 can be rotated on the vertical axis O1, O2, O3 around. したがって、下段アーム42、上段アーム43、およびハンド44のそれぞれの回動を適宜制御することにより、これらが垂直軸O1,O2,O3周りに回動し得る範囲でハンド44を所望の位置に移動させることができる。 Thus the movement, the lower arm 42, by controlling the upper arm 43, and the respective rotation of the hand 44 as appropriate, the hand 44 to a desired position within a range that they can pivot on a vertical axis O1, O2, O3 around it can be. また、上記した昇降用モータを一方向に回転させることにより、昇降ベース41を上昇させることができ、昇降用モータを他方向に回転させることにより、昇降ベース41を下降させることができる。 Further, by rotating the elevating motor described above in one direction, it is possible to raise the elevating base 41, the elevating motor by rotating in the other direction, it is possible to lower the elevating base 41. これにより、ハンド44を所定範囲内で所望の高さに上下移動させることができる。 Thus, it is possible to move up and down to a desired height the hand 44 within a predetermined range.

本実施形態においては、図4に表れているように、搬送用ロボット4は、ワーク収納室1に対するワークWの受け渡しが可能な上限位置L1と下限位置L2との間でハンド44を昇降させることが可能とされている。 In the present embodiment, as appearing in FIG. 4, the transfer robot 4, thereby lifting the hand 44 with the transfer capable upper limit position L1 and the lower limit position L2 of the workpiece W to the workpiece storage chamber 1 there is a possible.

アライナ装置6は、ワーク処理室3に搬入されるワークWの向き(垂直軸周りの回転位置)を合わせるためのものであり、搬送室2内に配置されている。 Aligner device 6 is intended for adjusting the orientation of the workpiece W to be carried into the workpiece treatment chamber 3 (rotational position about a vertical axis), it is arranged in the conveying chamber 2. 本実施形態では、図1に表れているように、アライナ装置6は、2台の搬送用ロボット4の間に位置しており、ワーク処理室3に正対する位置に配置されている。 In the present embodiment, as reflected in Figure 1, aligner device 6 is positioned between the conveying robot 4 two, it is disposed in a position directly facing the workpiece processing chamber 3.

図1および図4に表れているように、アライナ装置6は、搬送室2に対して固定される固定ベース60と、昇降ベース61と、ワーク保持用のターンテーブル62と、を備えている。 As reflected in FIGS. 1 and 4, aligner device 6 includes a fixed base 60 which is fixed to the conveying chamber 2, a lift base 61, and a turntable 62 for work holding, the. 昇降ベース61は、固定ベース60の側方に設けられており、固定ベース60に対してステー61aを介して昇降可能に支持されている。 Elevation base 61 is provided on the side of the fixed base 60, and is vertically movably supported through a stay 61a relative to the fixed base 60. 具体的には、たとえば、固定ベース60の内部に図示しない上下方向の直線ガイドレールが設けられ、ステー61aに設けられた図示しないスライダが上記直線ガイドレールに対して上下方向にスライド移動可能に支持されている。 Specifically, for example, not shown in the interior of the fixed base 60 vertical linear guide rail is provided, slidably supported in the vertical direction slider (not shown) provided on the stay 61a is relative to the linear guide rail It is. また、固定ベース60の内部には図示しないネジ軸が回転自在に支持され、ステー61aには、上記ネジ軸に螺合するナットが設けられている。 Further, a screw shaft (not shown) inside the fixed base 60 is rotatably supported, the stay 61a, a nut screwed to the threaded shaft. 固定ベース60の下部には図示しない昇降用のサーボモータが設けられ、この昇降用モータの出力軸に設けられた出力プーリと、上記ネジ軸に設けられたプーリとの間にベルトが掛け回されている。 Fixing the lower portion of the base 60 is provided with a servo motor for raising and lowering, not shown, and an output pulley provided on an output shaft of the elevating motor, a belt between the pulleys provided on the screw shaft is placed around ing. かかる構成により、上記昇降用モータが駆動すると、上記ネジ軸が回転させられ、当該ネジ軸の回転により、昇降ベース61が昇降させられる。 With this configuration, when the elevating motor is driven, the screw shaft is rotated by the rotation of the screw shaft, the elevating base 61 is moved up and down.

ターンテーブル62は、ワークWを保持して回転させるためのものであり、昇降ベース61に対して、垂直軸O4周りに回転可能に支持されている。 Turntable 62 is for holding and rotating a workpiece W, with respect to the elevating base 61 is rotatably supported around a vertical axis O4. ターンテーブル62には、垂直軸O4周りにおいて約120°ごとにワークWを載置保持するための係止爪62aが設けられている。 The turntable 62, the locking claw 62a for placing holding the workpiece W about every 120 ° in about a vertical axis O4 is provided. 昇降ベース61には、ターンテーブル62を回転させる回転駆動機構と、たとえばワークWの外周に形成されたノッチを検出するセンサとが設けられている(いずれも図示せず)。 The elevating base 61 includes a rotary drive mechanism for rotating the turntable 62, for example, a sensor for detecting the outer peripheral notch formed in the workpiece W is provided (both not shown). 当該センサは、たとえば、ワークWの外周部を発光部と受光部とにより上下に挟むように配置されたフォトインタラプタからなり、ワークWが回転させられると、ノッチがセンサを横切ったときの受光量変化によりノッチの位置が検出される。 The sensor may, for example, consist arranged photointerrupter so as to sandwich the outer peripheral portion of the workpiece W up and down by a light emitting portion and a light receiving portion, the workpiece W is rotated, the light receiving amount when notch across the sensor position of the notch is detected by a change.

上記したように昇降用モータの駆動により昇降ベース61が昇降させられると、この昇降ベース61に支持されたターンテーブル62も昇降させられる。 When the elevation base 61 by the driving of the elevating motor as described above is moved up and down, a turntable 62 supported on the lift base 61 is also moved up and down. このようにして、ターンテーブル62を昇降させるワーク保持部昇降機構が構成される。 In this way, the work holder elevating mechanism for raising and lowering the turntable 62 is formed. また、アライナ装置6には、回転駆動機構の駆動の制御、および上記昇降用モータの駆動の制御を行う制御部が設けられている。 Also, the aligner unit 6, control of the driving of the rotary drive mechanism, and a control unit for controlling the driving of the elevating motor is provided.

図4および図5に表れているように、ターンテーブル62の係止爪62aは、上記の下限位置L2よりも上位である第1位置L3と、下限位置L2よりも下位の第2位置L4との間で昇降させられる。 As reflected in Figures 4 and 5, the locking claw 62a of the turntable 62 has a first position L3 is higher than the above lower limit position L2, and the second position L4 lower than the lower limit position L2 It is moved up and down in between. ターンテーブル62の係止爪62aが第2位置L4にあるとき、搬送用ロボット4のアーム42,43およびハンド44が動作しうる範囲において、これらアーム42,43およびハンド44とターンテーブル62とは干渉しない。 When the locking claw 62a of the turntable 62 is in the second position L4, to the extent that the arms 42, 43 and the hand 44 of the transfer robot 4 may operate, the arms 42, 43 and the hand 44 and the turntable 62 do not interfere with each other.

次に、アライナ装置6によりワークWのアライメントを行う手順の一例について説明する。 Next, an example of a procedure for alignment of the workpiece W by the aligner device 6. 図6〜図11は、図1の右側の搬送用ロボット4Aに保持されたワークWについてアライメントを行うときの状態変化を示す。 6 to 11 show the state change when performing alignment for the work W held by the right side of the conveying robot 4A of FIG.

まず、図6に示すように、ハンド44に保持されたワークWをターンテーブル62の真上に移動させる。 First, as shown in FIG. 6, moving the workpiece W held by the hand 44 directly above the turntable 62. このとき、ハンド44は、上記した下限位置L2にある。 At this time, the hand 44 is in the lower limit position L2 as described above. 次に、図7に示すように、アライナ装置6の昇降ベース61を上昇させる。 Next, as shown in FIG. 7, it raises the elevation base 61 of the aligner device 6. ここで、ターンテーブル62の係止爪62aは、ハンド44からワークWを受け取り、下限位置L2よりも上位の第1位置L3に到達する。 Here, the locking claw 62a of the turntable 62 receives the workpiece W from the hand 44 and reaches the first position L3 higher than the lower limit position L2.

次に、図8に示すように、ハンド44をターンテーブル62の真上から退避させた後、図9に示すように、昇降ベース61を下降させて、アライメントを実行する。 Next, as shown in FIG. 8, after retracting the hand 44 from directly above the turntable 62, as shown in FIG. 9, by lowering the lift base 61, to perform the alignment. ここで、アライナ装置6のターンテーブル62を垂直軸O4周りに回転させながら、上記センサによりノッチの位置を検出し、検出したノッチを所定の回転位置に合わせた状態でターンテーブル62を停止させる。 Here, while rotating the turntable 62 of the aligner device 6 about a vertical axis O4, to detect the position of the notch by the sensor, the turntable 62 stops the detected notch in a state matching the predetermined rotational position. その後、図10に示すように、昇降ベース61を上昇させ、昇降ベース61に支持されたターンテーブル62の係止爪62aを第1位置L3に到達させる。 Thereafter, as shown in FIG. 10, the elevating base 61 is elevated to bring the locking claws 62a of the turntable 62 supported on the elevating base 61 to the first position L3.

次に、図11に示すように、ハンド44を係止爪62aに保持されたワークWの真下に進入させた後、図12に示すように、昇降ベース61を下降させて、ハンド44によりワークWを受け取る。 Next, as shown in FIG. 11, after entering beneath the workpiece W held the hand 44 claw 62a, the as shown in FIG. 12, by lowering the lift base 61, the hand 44 work receive a W. このように、アライメント実行時には、昇降ベース61およびこれに支持されたターンテーブル62の上下動により、搬送用ロボット4とアライナ装置6との間でのワークWの受け渡しが適切に行われる。 Thus, at the time of alignment performed by vertical movement of the elevating base 61 and the turntable 62 supported thereto, transfer of the workpiece W between the conveying robot 4 and the aligner unit 6 is appropriately performed.

本実施形態においては、2台の搬送用ロボット4A,4Bのうち、図1における右側の搬送用ロボット4Aは、右側と中央の2つのワーク収納室1A,1Bに対してワークWの搬出入を行い、左側の搬送用ロボット4Bは、左側と中央の2つのワーク収納室1C,1Bに対してワークWの搬出入を行う。 In the present embodiment, two transport robots 4A, of 4B, right conveying robot 4A in FIG. 1, right and middle two workpiece storage chamber 1A, the loading and unloading of the workpiece W to 1B performed, conveying robot 4B the left, performs loading and unloading of the workpiece W with respect to the left and the center of the two workpiece storage chamber 1C, 1B.

図13〜図18は、右側の搬送用ロボット4Aについて、ワーク収納室1A,1Bおよびワーク処理室3に対してワークWを搬出入するときの状態変化を示す。 13 to 18, for the right side of the conveying robot 4A, showing a state change when loading and unloading the workpiece W to workpiece storage chamber 1A, 1B and workpiece processing chamber 3. 図13は、ハンド44がワーク収納室1Aの前に位置する状態である。 Figure 13 is a state in which the hand 44 is positioned in front of the workpiece storage chamber 1A.

図14は、ハンド44がワーク収納室1A内に進入して、ワークWの受け渡しを行う状態を示す。 14, the hand 44 enters the workpiece storage chamber 1A, showing a state for transferring the workpiece W. ハンド44は、図13に示す状態から図14に示す状態まで、略同じ姿勢を維持したまま略直線状に移動させられる。 Hand 44, from the state shown in FIG. 13 to the state shown in FIG. 14, is moved substantially in a substantially straight line while maintaining the same posture.

図15は、ハンド44がワーク処理室3の前に位置する状態である。 Figure 15 is a state in which the hand 44 is positioned in front of the workpiece processing chamber 3. ハンド44は、図13に示す状態から図15に示す状態まで、平面視において時計回りに約90°回動する姿勢変更をともないつつ移動させられる。 Hand 44, to the state shown in FIG. 15 from the state shown in FIG. 13, is moved in keeping with the attitude change of approximately 90 ° rotated clockwise in a plan view. ここで、ハンド44はアライナ装置6のターンテーブル62の真上に位置しており、たとえば、ターンテーブル62はハンド44からワークWを受け取る。 Here, the hand 44 is located directly above the turntable 62 of the aligner device 6, for example, the turntable 62 receives the workpiece W from the hand 44.

図16は、ハンド44がターンテーブル62の真上から退避した状態を示す。 Figure 16 shows a state in which the hand 44 is retracted from above the turntable 62. ここで、ワークWのアライメントが実行される。 Here, the alignment of the workpiece W is executed.

図17は、ハンド44がワーク処理室3内に進入して、ワークWの受け渡しを行う状態を示す。 17, the hand 44 enters the workpiece processing chamber 3, showing a state for transferring the workpiece W. ハンド44は、図15に示す状態から図17に示す状態まで、時計回りに90°回動する姿勢変更をともないつつ略直線状に移動させられる。 Hand 44, from the state shown in FIG. 15 to the state shown in FIG. 17, is moved substantially linearly while accompanied by attitude changes to 90 ° rotated clockwise. ここで、搬送用ロボット4Aは、ワーク処理室3に正対する位置から配列方向X1−X2に偏倚した位置に配置されている。 Here, the transport robot 4A is disposed in a position offset from the position directly facing the workpiece processing chamber 3 in the arrangement direction X1-X2. このため、搬送用ロボット4Aを搬送室2のうちワーク処理室3に面した側壁2aに近接させても、搬送用ロボット4Aと側壁2aとは干渉しない。 Therefore, even when close to each conveying robots 4A in the side wall 2a facing the workpiece processing chamber 3 of the conveying chamber 2, it does not interfere with the conveying robot 4A and the side wall 2a.

図18は、ハンド44がワーク収納室1B内に進入して、ワークWの受け渡しを行う状態を示す。 18, the hand 44 enters the workpiece storage chamber 1B, showing a state for transferring the workpiece W. ハンド44は、図15に示す状態から図18に示す状態まで、反時計回りに90°回動する姿勢変更をともないつつ略直線状に移動させられる。 Hand 44, from the state shown in FIG. 15 to the state shown in FIG. 18, is moved substantially linearly while accompanied by attitude changes to 90 ° rotated counterclockwise.

なお、ワーク収納室1A,1Bおよびワーク処理室3内でのワークWの受け渡しは、昇降ベース41を適宜昇降させ、ハンド44を上下動させることにより行う。 Incidentally, transfer of the workpiece W in the workpiece storage chamber 1A, 1B and workpiece processing chamber 3, the elevating base 41 is suitably lifting is performed by vertically moving the hand 44.

本実施形態では、下段アーム42、上段アーム43、およびハンド44がそれぞれ独立して回動可能であるため、 図13〜図18を参照して上述したように、ハンド44に多様な動作を行わせることができる。 In the present embodiment, the lower arm 42, since the upper arm 43, and the hand 44 is rotatable independently, as described above with reference to FIGS. 13 to 18, carried out various operations in hand 44 it can be.

次に、ワーク搬送システムA1において、2台の搬送用ロボット4A,4BによりワークWを搬送する際の搬送用ロボット4A,4Bの動作手順の一例について、図19および図20を参照して説明する。 Next, in the workpiece transfer system A1, 2 sets of conveying robots 4A, conveying robots 4A when transporting the workpiece W by 4B, an example of 4B operation procedure will be described with reference to FIGS. 19 and 20 .

図19および図20に示す例では、右側と左側のワーク収納室1A,1Cは、処理前のワークWを収納するためのものであり、ワーク収納室1A,1C内のワークWが1枚ずつワーク処理室3へ搬送される。 In the example shown in FIGS. 19 and 20, right and left workpiece storage chamber 1A, 1C are intended for accommodating the workpiece W before processing, workpiece storage chamber 1A, a work W in 1C one by one It is transported to the work processing chamber 3. 中央のワーク収納室1Bは、処理済のワークWを収納するためのものであり、ワーク処理室3にて処理されたワークWがワーク収納室1Bへ搬送される。 Central workpiece storage chamber 1B is intended for accommodating the workpiece W processed, the workpiece W which has been processed by the workpiece processing chamber 3 is conveyed to the workpiece storage chamber 1B.

図19(a)では、右側の搬送用ロボット4Aによりワーク処理室3内の処理済みのワークWが受け取られ、左側の搬送用ロボット4Bにより左側のワーク収納室1C内の処理前のワークWが受け取られる。 In FIG. 19 (a), the processed workpiece W workpiece processing chamber 3 is received by the right conveying robot 4A, pretreatment of the workpiece W in the left workpiece storage chamber 1C is a conveying robot 4B on the left It is received.

図19(b)では、右側の搬送用ロボット4Aによりワーク処理室3から処理済のワークWが搬出され、左側の搬送用ロボット4Bによりワーク収納室1Cから処理前のワークWが搬出される。 In FIG. 19 (b), the workpiece W already processed from the workpiece treatment chamber 3 is carried out by right conveying robot 4A, the workpiece W before processing from the workpiece storage chamber 1C is carried out by conveying robot 4B on the left.

図19(c)では、右側の搬送用ロボット4Aにより処理済のワークWが中央のワーク収納室1Bに搬入され、左側の搬送用ロボット4Bにより処理前のワークWがアライナ装置6の上部位置に移動させられる。 In FIG. 19 (c), the workpiece W processed by the right side of the conveying robot 4A is loaded into the center of the workpiece storage chamber 1B, the workpiece W before processing by the transfer robot 4B on the left at the top position of the aligner device 6 It is moved to. ここで、搬送用ロボット4A,4Bどうしの衝突を防止するために、これらロボット4A,4Bのアーム42,43ないしハンド44の高さが異ならせられている。 Here, the transport robot 4A, in order to prevent a collision with what 4B, these robots 4A, the height of the arms 42, 43 to the hand 44 of the 4B are varied. このような搬送用ロボット4A,4Bの衝突防止は、図20(i)に示すときにもなされる。 Such conveying robots 4A, 4B collision prevention may also be made when FIG. 20 (i). また、図19(c)に示す状態では、搬送用ロボット4Bのハンド44はアライナ装置6のターンテーブル62の真上に位置しており、ターンテーブル62はハンド44からワークWを受け取る。 Further, in the state shown in FIG. 19 (c), the hand 44 of the transfer robot 4B is located directly above the turntable 62 of the aligner device 6, the turntable 62 receives the workpiece W from the hand 44.

図19(d)では、右側の搬送用ロボット4Aにおいては、中央のワーク収納室1Bからハンド44が退避させられ、左側の搬送用ロボット4Bにおいては、ハンド44がターンテーブル62の真上から退避させられる。 In FIG. 19 (d), the at the right side of the conveying robot 4A, is retracted handheld 44 from the center of the workpiece storage chamber 1B, in the conveying robot 4B on the left, retract the hand 44 from directly above the turntable 62 provoking. ここで、アライナ装置6によりワークWのアライメントが実行される。 Here, the alignment of the workpiece W is performed by the aligner device 6.

図19(e)では、右側の搬送用ロボット4Aにおいては、右側のワーク収納室1Aの前にハンド44が移動させられ、左側の搬送用ロボット4Bにより、アライナ装置6から受け取られたワークWがワーク処理室3内に搬入される。 In FIG. 19 (e), in the right side of the conveying robot 4A, hand 44 is moved in front of the right workpiece storage chamber 1A, the conveying robot 4B on the left, the work W received from the aligner apparatus 6 It is carried into the workpiece treatment chamber 3.

図19(f)では、右側の搬送用ロボット4Aは待機しており、左側の搬送用ロボット4Bにおいては、ワーク処理室3からハンド44が退避させられる。 In FIG. 19 (f), the right side of the conveying robot 4A is waiting, in the conveying robot 4B the left hand 44 from the workpiece treatment chamber 3 is retracted. ここで、ワーク処理室3内では、ワークWに対して適宜処理が行われる。 Here, the workpiece processing chamber 3, appropriately treated with respect to the workpiece W is performed.

詳細な説明は省略するが、図20(g)〜(l)において、図19(a)〜(f)に対して左右が入れ替わった動作が行われる。 Although detailed description is omitted, in FIG. 20 (g) ~ (l), operating the left and right are reversed with respect to FIG. 19 (a) ~ (f) are performed. 右側の搬送用ロボット4Aについては、図19(a)〜(f)における左側の搬送用ロボット4Bと同様の動作が行われ、左側の搬送用ロボット4Bについては、図19(a)〜(f)における右側の搬送用ロボット4Aと同様の動作が行われる。 The right side of the conveying robot 4A, the same operation is performed and the conveying robot 4B on the left side in FIG. 19 (a) ~ (f), for the conveying robot 4B on the left, FIG. 19 (a) ~ (f ) same operation as conveying robot 4A of the right side in is performed.

そして、2台の搬送用ロボット4A,4Bについて、図19(a)〜(f)および図20(g)〜(l)の動作を繰り返すことにより、右側の搬送用ロボット4Aによるワーク収納室1A,1Bおよびワーク処理室3の間でのワークWの搬送と、左側の搬送用ロボット4Bによるワーク収納室1B,1Cおよびワーク処理室3の間でのワークWの搬送とが、タイミングをずらしつつ並行して行われる。 Then, the two conveying robots 4A, for 4B, by repeating the operation of FIG. 19 (a) ~ (f) and FIG. 20 (g) ~ (l), workpiece storage chamber by right conveying robot 4A 1A , the transfer of the workpiece W between 1B and workpiece processing chamber 3, the left side of the conveying robot 4B according workpiece storage chamber 1B, and the transfer of the workpiece W between 1C and the workpiece treatment chamber 3, while shifting the timing parallel is made. すなわち、搬送用ロボット4A,4Bにより、2系統でのワークWの搬送処理が並行して行われる。 That is, the transport robot 4A, the 4B, the transport process of the workpiece W in the two systems are performed in parallel.

なお、本実施形態では、左右のワーク収納室1A,1Cに処理前のワークWを収納し、中央のワーク収納室1Bに処理済のワークWを収納するようにワーク収納室1A,1B,1Cを割り当てたが、ワーク収納室1A,1B,1Cの割り当ては、これに限定されない。 In the present embodiment, the left and right workpiece storage chamber 1A, houses a workpiece W before processing 1C, the center of the workpiece storage chamber 1B to the processed workpiece storage chamber 1A to house the work W, 1B, 1C While assigned a workpiece storage chamber 1A, 1B, 1C assignment of is not limited thereto. たとえば、ワーク収納室1Aから処理前のワークWを取り出し、処理済みのワークWを再度ワーク収納室1Aに戻すという割り当てをしてもよい。 For example, taking out a workpiece W before processing from the workpiece storage chamber 1A, it may be the assignment of returning the processed workpiece W again workpiece storage chamber 1A. また、搬送用ロボット4A,4Bの具体的な動作手順についても、図19(a)〜(f)および図20(g)〜(l)を参照して上述したものに限定されない。 The transport robot 4A, the even concrete routine of 4B, not limited to those described above with reference to FIG. 19 (a) ~ (f) and FIG. 20 (g) ~ (l).

上記構成のワーク搬送システムA1においては、アライナ装置6のターンテーブル62が昇降可能とされており、このターンテーブル62の昇降動作により、アライナ装置6に対するワークWの受け渡しが可能とされている。 In the work transfer system A1 of the above-described configuration, the turntable 62 of the aligner device 6 are vertically movable, the vertical movement of the turntable 62, and is possible to transfer the workpiece W to the aligner device 6. このため、搬送用ロボット4においては、アライナ装置6に対するワークWの受け渡しのための昇降ストロークが不要であり、当該搬送用ロボット4の昇降ストロークを比較的に短くすることができる。 Therefore, in the conveying robot 4, the lifting stroke for the transfer of the workpiece W to the aligner device 6 is unnecessary, it is possible to shorten the elevating stroke of the conveying robot 4 relatively. その結果、搬送用ロボット4の剛性を維持するのが容易であり、ワーク搬送時における位置精度の向上を図ることができる。 As a result, it is easy to maintain the rigidity of the conveying robot 4, it is possible to improve the positional accuracy during workpiece transfer. また、搬送用ロボット4の昇降ストロークが短縮されると、搬送用ロボット4およびこれを収容する搬送室2の小型化を図ることができるので、ワーク搬送システムA1全体の製造コストの削減に寄与する。 Also, when the lifting stroke of the conveying robot 4 is shortened, it is possible to reduce the size of the transfer chamber 2 for accommodating the conveying robot 4 and this contributes to reduction of manufacturing cost of the entire workpiece conveying system A1 .

本実施形態のワーク搬送システムA1においては、2台の搬送用ロボット4A,4Bが離間して配置され、これら搬送用ロボット4A,4Bの間に1台のアライナ装置6が配置されている。 In the work transfer system A1 of the present embodiment, two transport robots 4A, 4B are spaced apart, these conveying robots 4A, 1 single aligner device 6 during 4B are arranged. そして、アライナ装置6は、2台の搬送用ロボット4A,4Bによりそれぞれ搬送されるワークWのアライメントに兼用して用いられる。 The aligner device 6, the two transport robots 4A, used also serves the alignment of the workpiece W to be conveyed respectively by 4B. かかる構成によれば、搬送用ロボット4A,4Bおよびアライナ装置6が効率よく配置されており、アライナ装置6を設置するための専用スペースを必要としない。 According to such a configuration, conveying robots 4A, 4B and aligner device 6 is arranged efficiently, does not require a dedicated space for installing the aligner device 6. したがって、上記構成によれば、フットプリント(ワーク搬送システムA1の占有床面積)の低減を図ることができる。 Therefore, according to the above configuration, it is possible to reduce the footprint (footprint workpiece transfer system A1). フットプリントの低減は、ワーク搬送システムA1の製造コストの削減に資するのはもちろんのこと、高クリーン環境を小さくすることができるので、維持コストをも削減することができる。 Footprint reduction, it of course contribute to the reduction of manufacturing cost of the workpiece conveying system A1, since it is possible to reduce the height clean environment, it can also be reduced maintenance costs.

上記構成のワーク搬送システムA1においては、2台の搬送用ロボット4A,4Bを備え、これら搬送用ロボット4A,4Bにより、ワーク収納室1A,1B,1Cと、ワーク処理室3との間で、並行して2系統でのワークWの搬送処理を行うことができる。 In the work transfer system A1 of the above-described configuration, the two conveying robots 4A, comprises a 4B, these conveying robots 4A, the 4B, workpiece storage chamber 1A, 1B, and 1C, between the workpiece processing chamber 3, in parallel transport process of the workpiece W in the two systems can be carried out. したがって、本実施形態のワーク搬送システムA1によれば、より高いスループットを実現することができ、本システム全体を効率よく稼働させることができる。 Therefore, according to the workpiece conveying system A1 of the present embodiment, it is possible to achieve a higher throughput, it is possible to operate the entire system effectively.

ワークWに対するアライメントは、当該ワークWがワーク処理室3へ搬送される直前に行われるところ、アライナ装置6は、ワーク処理室3に正対して配置されている。 Alignment with respect to the workpiece W is, when the workpiece W is performed immediately before being conveyed into the workpiece processing chamber 3, aligner device 6 is arranged directly opposite the workpiece processing chamber 3. このため、搬送用ロボット4A,4Bにおいては、ワークWのアライメントのためだけに行う無駄な動作を極力減らすことができ、アライメント実行時のワーク搬送経路を短縮することが可能である。 Therefore, the transport robot 4A, in 4B, it is possible to reduce unnecessary operation performed only for the alignment of the workpiece W as much as possible, it is possible to shorten the work transfer path during the alignment running. ワーク搬送経路の短縮は、本システムを効率よく稼働させるうえで適している。 Shortening the work transfer path is suitable in helping to run the system effectively.

搬送用ロボット4A,4Bは、ワーク処理室3に正対する位置から配列方向X1−X2に偏倚した位置に配置されている。 Conveying robots 4A, 4B is disposed in a position offset from the position directly facing the workpiece processing chamber 3 in the arrangement direction X1-X2. このため、搬送室2の側壁2aに対する搬送用ロボット4A,4Bの干渉を防止しつつ、当該ロボット4A,4Bを側壁2aに近接させることができる。 Therefore, the transport robot 4A against the side wall 2a of the transfer chamber 2, while preventing the interference of 4B, the robot 4A, and 4B can be brought close to the side wall 2a. したがって、ワーク収納室91とワーク処理室93とが離間する方向Y1−Y2(図1参照)の寸法を小さくすることができ、フットプリント(ワーク搬送システムA1の占有床面積)の低減を図ることができる。 Therefore, the dimension in a direction Y1-Y2 (see FIG. 1) and the workpiece storage chamber 91 and the workpiece treatment chamber 93 is separated can be reduced, to reduce the footprint (footprint workpiece transfer system A1) can.

ワーク搬送システムA1においては、2台の搬送用ロボット4(4A,4B)により2系統のワーク搬送が行われるところ、仮に1台の搬送用ロボット4が部品故障などにより適正に動作しなくなった場合、当該故障した搬送用ロボット4への通電が遮断されるため、当該故障した搬送用ロボット4が暴走して制御不能に陥ることはない。 In the work transfer system A1, 2 sets of conveying robot 4 (4A, 4B) pursuant to the work transfer of two systems is carried out, if the assumed transfer robot 4 one does not operate properly due component failure since the energization of the conveying robot 4 that the fault is cut off, thus preventing the conveying robot 4 that the failure fall into uncontrollable runaway. したがって、2台のうち一方の搬送用ロボット4が故障しても、他方の搬送用ロボット4によりワークWの搬送処理を継続することができる。 Thus, while conveying robot 4 of the two even if failure can be by the other conveying robot 4 to continue the process of transporting the workpiece W. このことは、本システム全体を効率よく稼働するのに資する。 This contributes to operate the entire system effectively.

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。 Having described the embodiments of the present invention, the technical scope of the present invention is not limited to the embodiments described above. 本発明に係るワーク搬送システムの各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。 The specific structure of each part of the workpiece transfer system of the present invention is capable of various modifications within the scope not departing from the spirit of the invention.

上記実施形態においては、3つのワーク収納室を具備する場合を例に挙げたが、ワーク収納室の数はこれに限定されず、たとえば4つまたは5つのワーク収納室を具備するワーク搬送システムにも本発明は適用可能である。 In the above embodiment, although an example in which comprises three workpiece storage chamber, the number of workpiece storage chamber is not limited thereto, the workpiece transfer system comprising for example four or five workpiece storage chamber also the present invention is applicable.

図21は、4つのワーク収納室1を具備するワーク搬送システムを示す。 Figure 21 shows a workpiece transfer system comprising four workpiece storage chamber 1. 図21に示されたワーク搬送システムA2において、右側の搬送用ロボット4Aは、ワーク収納室1の配列方向X1−X2におけるワーク収納室1Aとワーク収納室1Bとの中間位置に配置され、左側の搬送用ロボット4Bは、ワーク収納室1の配列方向X1−X2におけるワーク収納室1Cとワーク収納室1Dとの中間位置に配置される。 In the work transfer system A2 shown in FIG. 21, the right conveying robot 4A is disposed in an intermediate position between the workpiece storage chamber 1A and the workpiece storage chamber 1B in the arrangement direction X1-X2 workpiece storage chamber 1, the left conveying robot 4B is arranged in an intermediate position between the workpiece storage chamber 1C and workpiece storage chamber 1D in the arrangement direction X1-X2 workpiece storage chamber 1. 右側の搬送用ロボット4Aは、2つのワーク収納室1A,1Bとワーク処理室3との間でワークWを搬送し、左側の搬送用ロボット4Bは、2つのワーク収納室1C,1Dとワーク処理室3との間でワークWを搬送する。 Right conveying robot 4A, the two workpiece storage chamber 1A, transporting the workpiece W between the 1B and the workpiece treatment chamber 3, the transfer robot 4B the left, the two workpiece storage chamber 1C, 1D and work process transporting the workpiece W between the chamber 3.

図22は、5つのワーク収納室1を具備するワーク搬送システムを示す。 Figure 22 shows a workpiece transfer system comprising five workpiece storage chamber 1. 図22に示されたワーク搬送システムA3において、右側の搬送用ロボット4Aは、右から2番目のワーク収納室1Bに正対する位置に配置され、左側の搬送用ロボット4Bは、左から2番目のワーク収納室1Dに正対する位置に配置される。 In the work transfer system A3 shown in FIG. 22, the right conveying robot 4A is disposed in a position directly facing the second workpiece storage chamber 1B from the right, the conveying robot 4B the left, the second from the left It is disposed in a position directly facing the workpiece storage chamber 1D. 右側の搬送用ロボット4Aは、3つのワーク収納室1A,1B,1Cとワーク処理室3との間でワークWを搬送し、左側の搬送用ロボット4Bは、3つのワーク収納室1C,1D,1Eとワーク処理室3との間でワークWを搬送する。 Right conveying robot 4A includes three workpiece storage chamber 1A, 1B, 1C and conveys the workpiece W between the workpiece processing chamber 3, the transfer robot 4B the left, three workpiece storage chamber 1C, 1D, transporting the workpiece W between the 1E and the workpiece treatment chamber 3.

ワーク搬送システムA2,A3においては、ワーク収納室1の数量、および各搬送用ロボット4A,4Bによりアクセス可能なワーク収納室1の関係が、上記実施形態のワーク搬送システムA1と異なっているが、その他の構成についてはワーク搬送システムA1と同様である。 In the work transfer system A2, A3, the quantity of workpiece storage chamber 1, and each of the transfer robot 4A, the relationship accessible workpiece storage chamber 1 by 4B is, although different from the workpiece conveying system A1 of the embodiment, it is similar to the workpiece conveying system A1 for other configurations. したがって、これらワーク搬送システムA2,A3においても、ワーク搬送システムA1に関して上述したのと同様の利点を享受することができる。 Accordingly, even in these workpiece conveying systems A2, A3, it is possible to receive the same benefits as described above for the workpiece conveying system A1. また、ワーク搬送システムA2,A3においては、搬送室2の左右端にアライナ装置6を設置するようにし、各ワーク収納室1へのワーク搬入出の際に邪魔にならない位置でアライメントを実施するように構成してもよい。 In the workpiece transfer system A2, A3, so that so as to install the aligner device 6 on the left and right ends of the transfer chamber 2, alignment is performed in unobtrusive positions during workpiece loading and unloading for each workpiece storage chamber 1 it may be configured to.

なお、上記実施形態においては、2台の搬送用ロボット4A,4Bを備える場合について説明したが、本発明は、1台のワーク搬送用ロボットを備えるワーク搬送システムにも適用可能である。 In the above embodiment, two transport robots 4A, the case has been described where comprise 4B, the present invention is to work conveying system comprising a single workpiece transfer robots can be applied. 1台のワーク搬送用ロボットのみを備える場合であっても、ワーク保持部が昇降可能なアライナ装置を具備することにより、ワーク搬送用ロボットの昇降ストロークを短縮することができる。 Even when equipped with only one workpiece conveying robot, by the work holding portion is provided with a vertically movable aligner device, it is possible to shorten the elevating stroke of the workpiece conveying robot.

A1,A2,A3 ワーク搬送システムO1 垂直軸(第1の垂直軸) A1, A2, A3 workpiece transfer system O1 vertical axis (the first vertical axis)
O2 垂直軸(第2の垂直軸) O2 vertical axis (the second vertical axis)
O3 垂直軸(第3の垂直軸) O3 vertical axis (third vertical axis)
O4 垂直軸1,1A,1B,1C,1D,1E ワーク収納室2 搬送室3 ワーク処理室4,4A,4B 搬送用ロボット(ワーク搬送用ロボット) O4 vertical axis 1,1A, 1B, 1C, 1D, 1E workpiece storage chamber 2 transfer chamber 3 workpiece processing chamber 4, 4A, 4B the carrier robot (workpiece conveying robot)
5 コントローラ6 アライナ装置2a 側壁40 固定ベース41 昇降ベース42 下段アーム(第1のアーム) 5 controller 6 aligner 2a side wall 40 fixed base 41 elevating base 42 lower arm (first arm)
43 上段アーム(第2のアーム) 43 the upper arm (second arm)
44 ハンド50 メイン制御部51A,51B サーボ制御部52 ティーチペンダント53 電源装置54 スイッチ装置60 固定ベース61 昇降ベース61a ステー62 ターンテーブル(ワーク保持部) 44 hand 50 main control unit 51A, 51B servo controller 52 the teach pendant 53 power supply 54 switching device 60 fixed base 61 elevating base 61a stays 62 turntable (work holder)
62a 係止爪 62a engaging claw

Claims (5)

  1. 搬送室と、この搬送室に隣接し、薄板状のワークを積層状に収納するためのワーク収納室と、上記搬送室に隣接するワーク処理室と、上記ワーク収納室と上記ワーク処理室との間で上記ワークを搬送するために上記搬送室に配置され、ハンドに保持された上記ワークを水平移動ないし上下動させることが可能なワーク搬送用ロボットと、上記搬送室に配置され、上記ワークの垂直軸周りの回転位置を合わせるためのアライナ装置と、を備えたワーク搬送システムであって、 A transfer chamber, adjacent to the conveying chamber, and workpiece storage chamber for accommodating a thin plate-like workpiece in layers, and the workpiece treatment chamber adjacent to the transfer chamber, and the workpiece storage chamber and the workpiece treatment chamber are arranged in the transfer chamber for transporting the workpieces between the workpiece conveying robot capable of causing the workpiece held by the hand is moved horizontally or vertically movable, it is disposed in the transfer chamber, the workpiece a workpiece transfer system and a aligner for aligning the rotational position about a vertical axis,
    上記アライナ装置は、上記ワークを保持するワーク保持部と、上記ワーク保持部を回転させる回転駆動機構と、上記ワーク保持部を昇降させるワーク保持部昇降機構と、を備えることを特徴とする、ワーク搬送システム。 The aligner apparatus is characterized by comprising: a workpiece holding portion for holding the workpiece, a rotation drive mechanism for rotating the work holder, and a work holder elevating mechanism for raising and lowering the workpiece holding portion, work transport system.
  2. 上記ワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室に対して上記ワークの受け渡しを行う上限位置と下限位置との間で上記ハンドを昇降させ、 The workpiece conveying robot to lift the hand between the upper limit position and lower limit position for transferring the workpiece relative to the workpiece storage chamber,
    上記アライナ装置の上記ワーク保持部昇降機構は、上記下限位置よりも上位である第1位置と、上記下限位置よりも下位であり、かつ、上記ワーク搬送用ロボットと干渉しない第2位置との間で上記ワーク保持部を昇降させる、請求項1に記載のワーク搬送システム。 The workpiece holder elevating mechanism of the aligner has a first position which is an upper than the lower limit position, a lower than the above lower limit position, and, and a second position where it does not interfere with the workpiece conveying robot in lifting the workpiece holder, the workpiece transfer system according to claim 1.
  3. 上記ワーク収納室は、3つ以上5つ以下とされ、かつ、直線状に配列されており、 The workpiece storage chamber is three or more 5 or less, and are arranged in a straight line,
    上記ワーク処理室は、上記搬送室に対して上記ワーク収納室とは反対側に位置し、 The workpiece processing chamber is located opposite to the workpiece storage chamber to said transfer chamber,
    上記ワーク搬送用ロボットは、上記ワーク収納室の配列方向に離間して2台配置されており、 The work conveying robot are arranged two spaced apart in the arrangement direction of the workpiece storage chamber,
    上記アライナ装置は、2台の上記ワーク搬送用ロボットの間に配置されている、請求項1または2に記載のワーク搬送システム。 The aligner is arranged between the two said workpiece conveying robot, workpiece transfer system according to claim 1 or 2.
  4. 上記アライナ装置は、上記ワーク処理室に正対する位置に配置されている、請求項3に記載のワーク搬送システム。 The aligner apparatus is disposed in a position directly facing to the workpiece processing chamber, the workpiece transfer system according to claim 3.
  5. 上記ワーク搬送用ロボットは、上記搬送室に対して固定される固定ベースと、昇降ベースと、この昇降ベースを上記固定ベースに対して昇降させる昇降機構と、一端が上記昇降ベースに対して第1の垂直軸周りに回動可能に支持された第1のアームと、上記第1のアームを上記第1の垂直軸周りに回動させる第1アーム駆動機構と、一端がこの第1のアームの他端に対して第2の垂直軸周りに回動可能に支持された第2のアームと、この第2のアームを上記第2の垂直軸周りに回動させる第2アーム駆動機構と、端部が上記第2のアームの他端に対して第3の垂直軸周りに回動可能に支持された上記ハンドと、このハンドを上記第3の垂直軸周りに回動させるハンド駆動機構と、を備える、請求項1ないし4のいずれかに記載のワーク搬送シ The work conveying robot includes a fixed base fixed to said transfer chamber, and elevating base, a lifting mechanism for lifting the lift base relative to the stationary base, first end to said elevating base of a first arm pivotally supported about a vertical axis, a first arm drive mechanism for rotating the first arm to the first about a vertical axis, one end of the first arm a second arm supported rotatably on the second about a vertical axis relative to the other end, a second arm drive mechanism for rotating the second of said arms second about a vertical axis, the end parts and a third vertical axis the hand that is rotatably supported around relative to the other end of the second arm, and the hand drive mechanism for rotating the hand to the third about a vertical axis, comprising a workpiece transfer according to any one of claims 1 to 4 テム。 Temu.
JP2010124212A 2010-05-31 2010-05-31 Workpiece transfer system Active JP5755844B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010124212A JP5755844B2 (en) 2010-05-31 2010-05-31 Workpiece transfer system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010124212A JP5755844B2 (en) 2010-05-31 2010-05-31 Workpiece transfer system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011249726A true true JP2011249726A (en) 2011-12-08
JP5755844B2 JP5755844B2 (en) 2015-07-29

Family

ID=45414577

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010124212A Active JP5755844B2 (en) 2010-05-31 2010-05-31 Workpiece transfer system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5755844B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103253512A (en) * 2012-02-16 2013-08-21 株式会社安川电机 Transfer system
JP2014204121A (en) * 2013-04-08 2014-10-27 ピーエスケー インコーポレイテッド Substrate processing facility and method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002510141A (en) * 1998-01-14 2002-04-02 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Wafer aligner arranged in the center of the front end frame of the vacuum system
JP2002522238A (en) * 1998-08-04 2002-07-23 ジェンマーク・オートメーション・インコーポレーテッド Robot having a multi-degree-of-freedom
JP2002217268A (en) * 2001-01-19 2002-08-02 Yaskawa Electric Corp Method and device for carrying substrate
JP2006156762A (en) * 2004-11-30 2006-06-15 Sumitomo Eaton Noba Kk Wafer treatment apparatus and method therefor, and ion implanter
JP2008264980A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd Substrate carrier robot

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002510141A (en) * 1998-01-14 2002-04-02 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Wafer aligner arranged in the center of the front end frame of the vacuum system
JP2002522238A (en) * 1998-08-04 2002-07-23 ジェンマーク・オートメーション・インコーポレーテッド Robot having a multi-degree-of-freedom
JP2002217268A (en) * 2001-01-19 2002-08-02 Yaskawa Electric Corp Method and device for carrying substrate
JP2006156762A (en) * 2004-11-30 2006-06-15 Sumitomo Eaton Noba Kk Wafer treatment apparatus and method therefor, and ion implanter
JP2008264980A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd Substrate carrier robot

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103253512A (en) * 2012-02-16 2013-08-21 株式会社安川电机 Transfer system
JP2013168579A (en) * 2012-02-16 2013-08-29 Yaskawa Electric Corp Conveyance system
KR101446413B1 (en) * 2012-02-16 2014-10-02 가부시키가이샤 야스카와덴키 Transfer system
US8989901B2 (en) 2012-02-16 2015-03-24 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Transfer system
JP2014204121A (en) * 2013-04-08 2014-10-27 ピーエスケー インコーポレイテッド Substrate processing facility and method

Also Published As

Publication number Publication date Type
JP5755844B2 (en) 2015-07-29 grant

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6368040B1 (en) Apparatus for and method of transporting substrates to be processed
US20020081181A1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
US20060215347A1 (en) Processing apparatus and recording medium
US6326755B1 (en) System for parallel processing of workpieces
US7140655B2 (en) Precision soft-touch gripping mechanism for flat objects
US6032083A (en) Substrate transfer apparatus and heat treatment system using the same
US5404894A (en) Conveyor apparatus
US20100290886A1 (en) Robot having end effector and method of operating the same
US20070081879A1 (en) Discontinuous conveyor system
JP2002043394A (en) Positional deviation detecting device and processing system
US20080199283A1 (en) Substrate processing apparatus
US6702865B1 (en) Alignment processing mechanism and semiconductor processing device using it
JP2002252263A (en) Processing system and conveyance method of processing object in the same
JP2006016144A (en) Transfer robot
US20100249993A1 (en) Substrate processing apparatus and substrate transport method
CN101020537A (en) Direction change device
JP2006351883A (en) Substrate conveyance mechanism and processing system
US20040043513A1 (en) Method of transferring processed body and processing system for processed body
JP2008166370A (en) Substrate conveying apparatus, substrate placing shelf and substrate processing apparatus
US20100008688A1 (en) Method for aligning transfer position of transfer system
JP2006088235A (en) Substrate transfer-loading robot device
CN102037555A (en) Next generation screen printing system
JP2005297072A (en) Reference position teaching method for disk-like object, positioning method, carrying method, reference position teaching device for disk-like object using these methods, positioning device, carrying device and semiconductor manufacturing facility
JP2009252888A (en) Substrate processing apparatus
JP2006073834A (en) Substrate transport device and substrate treatment equipment employing it

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130311

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140225

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140428

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140909

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141107

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150526

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150528

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5755844

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250