JP2011243836A - レーザアニール方法及びレーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 (a)第1の表面の表層部に少なくとも一種類の不純物が添加され、添加された不純物のデプスプロファイルが把握された半導体基板を準備する。(b)把握された不純物のデプスプロファイルに基づき、不純物が添加されている、第1の表面から最も深い位置を決定し、該位置に添加されている不純物を活性化させうる目標温度を決定する。(c)不純物の濃度がピークとなる位置のうち、第1の表面から最も浅いピーク位置の深さよりも浅い範囲で半導体基板を溶融させ、かつ、不純物が添加されている、第1の表面から最も深い位置を、目標温度以上の温度とする条件で、半導体基板の第1の表面にレーザビームを照射する。
【選択図】 図6
Description
10a パルスレーザビーム
20 光学系
20a、20b レンズアレイ
20c レンズ
30 チャンバ
30a ウインド
40 XYステージ
50 シリコン基板
Claims (5)
- (a)第1の表面の表層部に少なくとも一種類の不純物が添加され、添加された前記不純物のデプスプロファイルが把握された半導体基板を準備する工程と、
(b)把握された前記不純物のデプスプロファイルに基づき、前記不純物が添加されている、前記第1の表面から最も深い位置を決定し、該位置に添加されている前記不純物を活性化させうる目標温度を決定する工程と、
(c)前記不純物の濃度がピークとなる位置のうち、前記第1の表面から最も浅いピーク位置の深さよりも浅い範囲で前記半導体基板を溶融させ、かつ、前記不純物が添加されている、前記第1の表面から最も深い位置を、前記目標温度以上の温度とする条件で、前記半導体基板の前記第1の表面にレーザビームを照射する工程と
を有するレーザアニール方法。 - 前記工程(c)において、前記半導体基板の前記第1の表面に、パルス幅が5μs以上10μs未満のパルスレーザビームを、4J/cm2以上6J/cm2未満のパルスエネルギ密度で照射する請求項1に記載のレーザアニール方法。
- 前記半導体基板の前記第1の表面とは反対側の第2の表面の表層部に、絶縁ゲートバイポーラトランジスタのエミッタ領域が画定されており、前記第1の表面の表層部に、第1の不純物が注入されたコレクタ領域、及び、第2の不純物が注入されたフィールドストップ領域が画定されており、
前記工程(c)において、前記コレクタ領域に注入された前記第1の不純物、及び前記フィールドストップ領域に注入された前記第2の不純物を活性化させる請求項1または2に記載のレーザアニール方法。 - 前記工程(b)において、前記不純物が添加されている、前記第1の表面から最も深い位置が3μmと決定される請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザアニール方法。
- 駆動用電源をスイッチングすることで、パルス幅が5μs以上10μs未満のパルスレーザビームを出射する半導体レーザと、
半導体基板を保持するステージと、
前記半導体レーザを出射したパルスレーザビームを前記ステージに伝搬する光学系と
を有し、
前記半導体レーザ及び前記光学系は、前記ステージに保持された半導体基板の表面に、パルスレーザビームを、4J/cm2以上6J/cm2未満のパルスエネルギ密度で入射させるレーザアニール装置。
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