JP2011242753A - Substrate transfer mechanism, polarization film lamination device and liquid-crystal display manufacturing system equipped with the same - Google Patents

Substrate transfer mechanism, polarization film lamination device and liquid-crystal display manufacturing system equipped with the same Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten tact time by securely supporting a substrate and inverting the substrate to change the arrangement so as to be along a transfer direction of a second substrate transfer mechanism.SOLUTION: In a substrate transfer mechanism, a polarization film lamination device, and a liquid-crystal display manufacturing system having the same, drive control means of a substrate supporting device acts on a substrate support member 66 to make the substrate support member be in a substrate supporting state, a substrate 5 transferred by a first substrate transfer mechanism 61 is supported, a substrate inversion part 67 is inverted around an inversion axis which is arranged to be inclined relative to a transfer direction of the substrate 5, to arrange the inverted substrate 5 along a transfer direction of a second substrate transfer mechanism 62.

Description

本発明は、基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置、偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムに関するものである。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a substrate support device provided with a transporting means in a substrate transport mechanism and a polarizing film laminating device, a polarizing film laminating device, and a liquid crystal display manufacturing system including the same.

従来、液晶表示装置が広く製造されている。液晶表示装置に用いられる基板（液晶パネル）には、光の透過または遮断を制御するために、偏光フィルムが貼合されることが通常である。偏光フィルムはその吸収軸が直交するように貼合されている。   Conventionally, liquid crystal display devices have been widely manufactured. In general, a polarizing film is bonded to a substrate (liquid crystal panel) used in a liquid crystal display device in order to control transmission or blocking of light. The polarizing film is bonded so that the absorption axes thereof are orthogonal.

基板に偏光フィルムを貼合する方法としては、偏光フィルムを基板に応じたサイズにカットした後に貼合する所謂 chip to panel方式が挙げられる。しかしながら、この方式では、基板に対して、一枚ずつ偏光フィルムを貼合するため、生産効率が低いという欠点がある。一方、他の方式として、偏光フィルムをコンベアーロールに供給し、連続的に基板に貼合する所謂 roll to panel方式が挙げられる。当該方法によれば、高い生産効率にて貼合が可能となる。   As a method of bonding the polarizing film to the substrate, a so-called chip to panel method in which the polarizing film is bonded to the substrate after being cut into a size corresponding to the substrate can be mentioned. However, this method has a disadvantage that the production efficiency is low because the polarizing films are bonded to the substrate one by one. On the other hand, as another method, there is a so-called roll to panel method in which a polarizing film is supplied to a conveyor roll and continuously bonded to a substrate. According to this method, bonding can be performed with high production efficiency.

roll to panel 方式の例として、特許文献１に光学表示装置の製造システムが開示されている。上記製造システムは、基板の上面に光学フィルム（偏光フィルム）を貼合した後に基板を旋回させ、下面から偏光フィルムを貼合するものである。   As an example of the roll to panel method, Patent Document 1 discloses an optical display device manufacturing system. The said manufacturing system rotates a board | substrate after bonding an optical film (polarizing film) on the upper surface of a board | substrate, and bonds a polarizing film from a lower surface.

特許第４３０７５１０号公報（２００９年８月５日発行）Japanese Patent No. 4307510 (issued on August 5, 2009)

しかしながら、上記従来の装置では以下の問題がある。   However, the conventional apparatus has the following problems.

まず、基板に対して偏光フィルムを貼合する場合、埃などの異物が貼合面へ混入することを回避するため、クリーンルームにて作業がなされるのが通常である。そして、クリーンルームでは、空気の整流がなされている。基板に対してダウンフローにて整流がなされた状態にて偏光フィルムの貼合がなされることが、異物による歩留低下を抑制するために必要だからである。   First, when a polarizing film is bonded to a substrate, work is usually performed in a clean room in order to prevent foreign matters such as dust from entering the bonding surface. In the clean room, air is rectified. This is because it is necessary to bond the polarizing film in a state in which rectification is performed on the substrate in a downflow in order to suppress the yield reduction due to the foreign matter.

この点に関して、特許文献１の製造システムは、基板に対して上面および下面から偏光フィルムを貼合する構成となっている。しかし、偏光フィルムの上面から貼合を行う場合、気流（ダウンフロー）が偏光フィルムによって妨げられ、基板への整流環境が悪化してしまうというデメリットが挙げられる。偏光フィルムの上面から貼合を行う場合の例として、図２２（ａ）および図２２（ｂ）に上貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す。図２２における領域Ａは、偏光フィルムを巻出す巻出部等が設置される領域であり、領域Ｂは主に偏光フィルムが通過する領域、および、領域Ｃは、偏光フィルムから除去された剥離フィルムを巻き取る巻取部等が設置される領域である。   In this regard, the manufacturing system of Patent Document 1 has a configuration in which a polarizing film is bonded to the substrate from the upper surface and the lower surface. However, when bonding is performed from the upper surface of the polarizing film, there is a demerit that the airflow (downflow) is hindered by the polarizing film and the rectification environment to the substrate is deteriorated. As an example of pasting from the upper surface of the polarizing film, FIGS. 22 (a) and 22 (b) show air velocity vectors in the top-paste type manufacturing system. The area A in FIG. 22 is an area where an unwinding part for unwinding the polarizing film is installed, the area B is an area through which the polarizing film mainly passes, and an area C is a release film removed from the polarizing film. This is an area in which a winding unit and the like for winding are installed.

また、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air ）フィルター４０からはクリーンエアーが供給される。なお、図２２（ａ）では、クリーンエアーが通過可能なグレーチング４１が設置されているためグレーチング４１を介して気流が垂直方向に移動することが可能である。一方、図２２（ｂ）では、グレーチング４１が設置されていないため、気流は図２２（ｂ）最下部の床に接触した後、床に沿って移動することとなる。   Clean air is supplied from a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter 40. In FIG. 22A, since the grating 41 through which clean air can pass is installed, the airflow can move in the vertical direction via the grating 41. On the other hand, in FIG. 22 (b), since the grating 41 is not installed, the airflow moves along the floor after contacting the floor at the bottom of FIG. 22 (b).

図２２（ａ）・（ｂ）には、領域Ａ〜Ｃが２Ｆ（２階）部分に配置されており、ＨＥＰＡフィルター４０からのクリーンエアーが偏光フィルムによって妨げられる。したがって、２Ｆ部分を通過する基板に対して垂直方向に向う気流が生じ難い。これに対して、水平方向の気流ベクトルは大きな（ベクトルの密度が濃い）状態となっている。すなわち、整流環境が悪化した状態であるといえる。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、整流環境を妨げることのない偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムを提供することにある。 In FIGS. 22A and 22B, the areas A to C are arranged in the 2F (second floor) portion, and the clean air from the HEPA filter 40 is blocked by the polarizing film. Therefore, it is difficult to generate an airflow in the vertical direction with respect to the substrate passing through the 2F portion. On the other hand, the airflow vector in the horizontal direction is large (vector density is high). That is, it can be said that the rectification environment has deteriorated.
This invention is made | formed in view of the said conventional problem, Comprising: The objective is to provide the manufacturing system of a polarizing film bonding apparatus and a liquid crystal display device provided with the same which do not disturb a rectification environment. is there.

請求項１に記載の本発明（第１発明）の基板搬送機構は、
長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、
を備えた基板搬送機構において、
上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持するための基板支持部材と、上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材を基板支持状態にする駆動制御手段を備えた基板支持装置と、
互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構との間に配設され、上記基板支持部材に連結しているとともに、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転する少なくとも１個の基板反転部を備えている反転機構とから成る
ものである。 The substrate transport mechanism of the present invention (first invention) according to claim 1 is:
A first substrate transport mechanism for transporting a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction;
A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction;
In a substrate transport mechanism equipped with
A substrate support provided with a substrate support member for supporting the substrate transported by the first substrate transport mechanism, and a drive control means for acting on the substrate support member to bring the substrate support member into a substrate support state. Equipment,
The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are disposed between the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism which are parallel to each other with the transport directions being offset. The reversing mechanism includes at least one substrate reversing unit that is reversing around a reversing axis and is disposed to be inclined with respect to the transporting direction of the two-substrate transporting mechanism.

請求項２に記載の本発明（第２発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、
上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、
上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部と
を備えた偏光フィルムの貼合装置において、
上記第１基板搬送機構にて搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持するための基板支持部材と、上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材を基板支持状態にする駆動制御手段を備えた基板支持装置と、
互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構との間に配設され、上記基板支持部材に連結しているとともに、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転する少なくとも１個の基板反転部を備えている反転機構とから成る
ものである。 The bonding apparatus for the polarizing film of the present invention (second invention) according to claim 2 is:
A first substrate transport mechanism for transporting a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction;
A first bonding part for bonding a first polarizing film to the lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism;
A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction;
In the polarizing film bonding apparatus comprising the second bonding portion for bonding the second polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism,
A substrate support member for supporting the substrate on which the first polarizing film transported by the first substrate transport mechanism is bonded, and acting on the substrate support member so that the substrate support member is in a substrate support state. A substrate support device provided with a drive control means,
The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are disposed between the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism which are parallel to each other with the transport directions being offset. The reversing mechanism includes at least one substrate reversing unit that is reversing around a reversing axis and is disposed to be inclined with respect to the transporting direction of the two-substrate transporting mechanism.

請求項３に記載の本発明（第３発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１発明または第２発明において、
上記反転軸が、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して、４０度ないし５０度の範囲内の角度で傾斜して配設されている
ものである。 The polarizing film laminating device of the present invention (third invention) according to claim 3 is:
In the first invention or the second invention,
The reversing shaft is arranged to be inclined at an angle within a range of 40 degrees to 50 degrees with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism.

請求項４に記載の本発明（第４発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１発明または第２発明において、
上記反転軸が、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して、４５度±２度の範囲内の角度で傾斜して配設されている
ものである。 The bonding apparatus for the polarizing film of the present invention (fourth invention) according to claim 4 is:
In the first invention or the second invention,
The reversing shaft is disposed to be inclined at an angle within a range of 45 degrees ± 2 degrees with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism.

請求項５に記載の本発明（第５発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１発明ないし第４発明のいずれかにおいて、
上記基板支持部材が、少なくとも２個の支持部材によって構成され、
上記駆動制御手段による駆動制御に基づく少なくとも１個の支持部材の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するように構成されている
ものである。 The polarizing film laminating device of the present invention (the fifth invention) according to claim 5 is:
In any one of the first to fourth inventions,
The substrate support member is constituted by at least two support members,
By relative movement of at least one support member based on drive control by the drive control means, the substrate on which the first polarizing film is bonded between at least two support members is sandwiched and supported. It is comprised as follows.

請求項６に記載の本発明（第６発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第５発明において、
上記基板支持装置が、上記第１基板搬送機構の下流端部および上記第２基板搬送機構の上流端部に間隙を介して対向するように配設され、上記第１基板搬送機構の下流端部から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を搬送する第１の搬送手段と、反転された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板支持装置から上記第２基板搬送機構の上流端部に搬送する第２の搬送手段とを備えている
ものである。 The pasting device for the polarizing film of the present invention (sixth invention) according to claim 6 is:
In the fifth invention,
The substrate support device is disposed to face the downstream end of the first substrate transport mechanism and the upstream end of the second substrate transport mechanism with a gap therebetween, and the downstream end of the first substrate transport mechanism The first transport means for transporting the substrate on which the first polarizing film transported from the substrate is bonded, and the substrate on which the inverted first polarizing film is bonded to the first substrate from the substrate support device. And a second transport means for transporting to the upstream end of the two-substrate transport mechanism.

請求項７に記載の本発明（第７発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第５発明において、
上記基板支持装置の上記少なくとも２個の支持部材が、上記第１基板搬送機構の下流端部における幅方向に複数に分割された複数の分割部および上記第２基板搬送機構の上流端部における搬送方向に複数に分割された複数の分割部の間に形成される複数の間隙に進入する複数の突出部を有する櫛状部材によって構成されている
ものである。 The bonding apparatus for the polarizing film of the present invention (seventh invention) according to claim 7 is:
In the fifth invention,
The at least two support members of the substrate support apparatus are transported at a plurality of divided portions divided in the width direction at a downstream end portion of the first substrate transport mechanism and at an upstream end portion of the second substrate transport mechanism. It is comprised by the comb-shaped member which has the some protrusion part which approachs the some gap | interval formed between the some division | segmentation part divided | segmented into plurality in the direction.

請求項８に記載の本発明（第８発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１発明ないし第４発明のいずれかにおいて、
上記基板支持部材が、１個の支持部材によって構成され、
上記第１基板搬送機構の下流端部に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の表面を付着状態にして支持して、反転後反転された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上方から上記第２基板搬送機構の上流端部に載置するように構成されている
ものである。 The polarizing film laminating device of the present invention (eighth invention) according to claim 8 is:
In any one of the first to fourth inventions,
The substrate support member is constituted by one support member,
The first polarizing film, which is supported after the surface of the substrate on which the first polarizing film transported to the downstream end of the first substrate transporting mechanism is bonded, is attached and supported after being inverted. The bonded substrate is placed on the upstream end of the second substrate transport mechanism from above.

請求項９に記載の本発明（第９発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第６発明において、
上記基板支持装置内において上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を搬送する第１および第２の搬送手段が、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に沿って上記基板を搬送する第１および第２の搬送ロールによって構成されている
ものである。 The polarizing film laminating apparatus of the present invention (the ninth invention) according to claim 9 is:
In the sixth invention,
The 1st and 2nd conveyance means which conveys the said board | substrate with which the said 1st polarizing film was bonded in the said board | substrate support apparatus is along the conveyance direction of the said 1st board | substrate conveyance mechanism and the said 2nd board | substrate conveyance mechanism. The first and second transport rolls that transport the substrate.

請求項１０に記載の本発明（第１０発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第９発明において、
上記第１および第２の搬送ロールの少なくとも一方を上記支持部材として相対的に移動させることによって、上記第１および第２の搬送ロールが、上記基板支持装置内に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するように構成されている
ものである。 A polarizing film laminating apparatus of the present invention (tenth invention) according to claim 10 is:
In the ninth invention,
By moving at least one of the first and second transport rolls as the support member, the first and second transport rolls are transported into the substrate support apparatus. The substrate to which the film is bonded is sandwiched and supported, and after the reversal, the sandwiched state of the substrate reversed by the second substrate transport mechanism is released.

請求項１１に記載の本発明（第１１発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第５発明ないし第７発明ならびに第９発明および第１０発明のいずれかにおいて、
上記少なくとも２個の支持部材の少なくとも一方が、往復動することによって、相対的に接近するように構成されている
ものである。 The polarizing film laminating device of the present invention (11th invention) according to claim 11
In any one of the fifth to seventh inventions and the ninth and tenth inventions,
At least one of the at least two support members is configured to relatively approach by reciprocating.

請求項１２に記載の本発明（第１２発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第５発明ないし第７発明ならびに第９発明および第１０発明のいずれかにおいて、
上記少なくとも２個の支持部材の少なくとも一方が、一部を支点として揺動することによって、相対的に接近するように構成されている
ものである。 The polarizing film laminating device of the present invention (the twelfth invention) according to claim 12
In any one of the fifth to seventh inventions and the ninth and tenth inventions,
At least one of the at least two support members is configured to relatively approach by swinging with a part as a fulcrum.

請求項１３に記載の本発明（第１３発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第５発明ないし第７発明ならびに第９発明ないし第１２発明のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、電気的駆動制御手段より成り、駆動制御指令に基づく電気的駆動制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するようものである。 The polarizing film laminating apparatus of the present invention (the thirteenth aspect) according to claim 13
In any of the fifth to seventh inventions and the ninth to twelfth inventions,
The drive control means comprises an electric drive control means, and the second drive member is moved between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by electric drive control based on a drive control command. The substrate on which the first polarizing film transported by the one substrate transport mechanism is bonded is supported in a sandwiched state, and after the reversal, the sandwiched state of the substrate reversed in the second substrate transport mechanism is released. It looks like.

請求項１４に記載の本発明（第１４発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第５発明ないし第７発明ならびに第９発明ないし第１２発明のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、機械的駆動制御手段より成り、機械的駆動制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するように構成されている
ものである。 The polarizing film laminating device of the present invention (14th invention) according to claim 14
In any of the fifth to seventh inventions and the ninth to twelfth inventions,
The drive control means comprises mechanical drive control means, and the first substrate transport mechanism is interposed between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by mechanical drive control. The substrate to which the conveyed first polarizing film is bonded is supported in a sandwiched state, and the substrate that has been reversed in the second substrate transport mechanism after reversing is released. It is what.

請求項１５に記載の本発明（第１５発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第５発明ないし第７発明ならびに第９発明ないし第１２発明のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、流体的駆動制御手段より成り、流体圧制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するように構成されている
ものである。 A polarizing film laminating device of the present invention (15th invention) according to claim 15 is:
In any of the fifth to seventh inventions and the ninth to twelfth inventions,
The drive control means includes fluid drive control means, and is transported by the first substrate transport mechanism between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by fluid pressure control. The substrate on which the first polarizing film bonded is sandwiched and supported, and the substrate that has been reversed in the second substrate transport mechanism after reversing is released. Is.

請求項１６に記載の本発明（第１６発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第８発明、第１１発明および第１２発明のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、流体的駆動制御手段より成り、流体圧制御による流体圧によって、上記１個の支持部材と上記第１基板搬送機構の下流端部に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の表面とを、吸着状態または押圧状態その他の付着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の付着状態を解除するように構成されている
ものである。 The polarizing film laminating device of the present invention (sixteenth invention) according to claim 16
In any of the eighth invention, the eleventh invention and the twelfth invention,
The drive control means comprises fluid drive control means, and the first polarizing film transported to the downstream end portion of the one support member and the first substrate transport mechanism by fluid pressure by fluid pressure control. The bonded substrate surface is supported in an adsorbed state, a pressed state, or other attached state, and is configured to release the attached state of the substrate reversed by the second substrate transport mechanism after reversal. It is what.

請求項１７に記載の本発明（第１７発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１発明ないし第１６発明のいずれかにおいて、
上記第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、
上記第１基板搬送機構は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送する
ものである。 The polarizing film laminating apparatus of the present invention (a seventeenth aspect) according to claim 17
In any one of the first invention to the sixteenth invention,
Before the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate by the first bonding unit, a cleaning unit for cleaning the substrate is provided,
The first substrate transport mechanism transports the substrate with the short side of the substrate along the transport direction.

請求項１８に記載の本発明（第１８発明）の偏光フィルムの貼合装置は、
第１６発明において、
上記第１フィルム搬送機構および上記第２フィルム搬送機構には、第１巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、
上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、
基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有する
ものである。 A polarizing film laminating device of the present invention (18th invention) according to claim 18 is:
In the sixteenth invention,
In the first film transport mechanism and the second film transport mechanism, a defect detection unit that detects a defect display attached to the polarizing film unwound from the first unwinding unit;
A bonding avoidance unit that determines the defect display and stops the conveyance of the substrate,
It has a collection | recovery part which collect | recovers the polarizing films in which pasting with a board | substrate was avoided.

請求項１９に記載の本発明（第１９発明）の液晶表示装置の製造システムは、

第２発明ないし第１８発明のいずれかの偏光フィルムの貼合装置と、
上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備える
ものである。 A manufacturing system of a liquid crystal display device according to the nineteenth aspect of the present invention (the nineteenth aspect)

A polarizing film laminating device according to any one of the second invention to the eighteenth invention;
The present invention includes a misalignment inspection device that inspects misalignment in a substrate on which a polarizing film is bonded by the second bonding portion.

請求項２０に記載の本発明（第２０発明）の液晶表示装置の製造システムは、 第１９発明において，
上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備える
ものである。 The system for manufacturing a liquid crystal display device according to the twentieth aspect of the present invention (the twentieth invention) is the nineteenth invention,
The apparatus includes a sorting / conveying device that determines the presence / absence of sticking misalignment based on the inspection result of the sticking misalignment inspection apparatus, and sorts the substrate on which the polarizing film is bonded based on the determination result.

請求項２１に記載の本発明（第２１発明）の液晶表示装置の製造システムは、 第２発明ないし第２０発明のいずれかの偏光フィルムの貼合装置と、
上記貼合装置における第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備える
ものである。 The manufacturing system of the liquid crystal display device of the present invention (the twenty-first invention) according to claim 21 comprises a polarizing film laminating device according to any one of the second to twentieth inventions,
The apparatus includes a bonded foreign matter automatic inspection device that inspects foreign matters on a substrate on which a polarizing film has been bonded by the second bonding portion in the bonding device.

請求項２２に記載の本発明（第２２発明）の液晶表示装置の製造システムは、 第１９発明において、
上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備える
ものである。 According to a twenty-second aspect of the present invention (the twenty-second invention), the liquid crystal display device manufacturing system according to the nineteenth aspect of the present invention
The present invention includes a sorting and conveying device that determines the presence or absence of foreign matter based on the inspection result of the bonded foreign matter automatic inspection apparatus, and sorts the substrate on which the polarizing film is bonded based on the determination result.

請求項２３に記載の本発明（第２３発明）の液晶表示装置の製造システムは、 第１９発明において、
上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、
上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備える
ものである。 According to a twenty-third aspect of the present invention (the twenty-third aspect of the present invention), there is provided a liquid crystal display manufacturing system according to
It is equipped with a bonded foreign matter automatic inspection device that inspects foreign matters on the substrate on which the polarizing film has been bonded by the second bonding portion,
Based on the inspection result by the pasting inspection device and the inspection result by the pasting foreign matter automatic inspection device, the presence or absence of pasting and foreign matter is determined, and the substrate on which the polarizing film is pasted is determined based on the determination result. A sorting and conveying device for performing

以下、その他の発明について説明する。   Hereinafter, other inventions will be described.

本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構とを備える基板搬送機構において、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えているものである。   The substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the transport direction, and a short side or a long side of the substrate in the transport direction. And a second substrate transport mechanism that transports the substrate in a state along the substrate, the first substrate transport mechanism and the second substrate disposed on a member connected to a substrate reversing unit that performs the substrate reversing operation. Transport from the first substrate transport mechanism between the first support member and the second support member by relative movement of the first support member and the second support member entering the end of the transport mechanism The first support member that is supported by being sandwiched and reversed by the substrate reversing unit by the relative movement of the first support member and the second support member. And the second support member The substrate supported by being worn by the support by clamping is released, in which includes a substrate supporting device configured to be mounted on an end portion of the second substrate transport mechanisms.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、上記第１基板搬送機構の端部が、幅方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されているとともに、上記第２基板搬送機構の端部が、搬送方向に複数の部分に分割され、隣合う部分の間に反転した上記第１および第２の支持部材を構成する上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入する複数の間隙が形成されているものである。   According to the substrate supporting device in the substrate transport mechanism of the present invention, in the present invention, the end portion of the first substrate transport mechanism is divided into a plurality of portions in the width direction, and the first and first portions are arranged between adjacent portions. A plurality of gaps into which a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the second support member enter, and an end of the second substrate transport mechanism has a plurality of gaps in the transport direction. A plurality of gaps into which the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members that are divided into portions and inverted between adjacent portions enter are formed. It is what.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた第１および第２の櫛状部材が、一部を支点として一定角度範囲において揺動するように構成されているものである。   Furthermore, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described present invention, wherein the first and second comb-like members each having a plurality of protrusions constituting the first and second support members are partially Is configured so as to swing within a certain angle range.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、揺動駆動機構によって揺動駆動されるように構成されているものである。   The substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described substrate support device according to the present invention, wherein the first and second comb-shaped members having a plurality of protrusions constituting the first and second support members are rocked. It is configured to be driven to swing by a dynamic drive mechanism.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、上記揺動駆動機構は、上記第１の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動する第１の揺動駆動機構と、第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動される第２の揺動駆動機構とから成るものである。   Furthermore, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein the swing drive mechanism swings the first comb-like member having a plurality of protrusions constituting the first support member. A first swing drive mechanism that is driven dynamically, and a second swing drive mechanism that is driven to swing the second comb-like member having a plurality of protrusions constituting the second support member. Is.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、上記揺動駆動機構は、揺動駆動源と、該揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第１の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１の櫛状部材に伝達して揺動駆動する第１クラッチ手段と、上記揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材に伝達して揺動駆動する第２クラッチ手段とから成るものである。   Further, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described substrate drive device, wherein the swing drive mechanism is a swing drive source, and the swing support force from the swing drive source is applied to the first support member. The first clutch means that is transmitted to the first comb-like member having a plurality of projecting portions and that is driven to swing, and the swing driving force from the swing drive source constitutes the second support member. And a second clutch means that is transmitted to the second comb-like member having a plurality of projecting portions and driven to swing.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、上下方向において相対的に接近または離隔して対向間隔が変化するように往復動可能に構成されているものである。   Furthermore, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-mentioned present invention, wherein the first and second comb-like members having a plurality of protrusions constituting the first and second support members are It is configured to be able to reciprocate so that the facing interval changes as it approaches or separates relatively in the direction.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、直線的駆動機構によって駆動され、往復動するように構成されているものである。   Further, in the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention, in the present invention, the first and second comb-like members having a plurality of projecting portions constituting the first and second support members are straight lines. Driven by a mechanical drive mechanism and configured to reciprocate.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記本発明において、前記直線的駆動機構が、電気的駆動装置の駆動力によって、上記第１および第２の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成されているものである。   Furthermore, in the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention, in the present invention, the linear driving mechanism is configured such that the first and second comb-shaped members relatively approach each other by the driving force of the electric driving device. Thus, the substrate is sandwiched and supported.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記第８発明において、前記直線的駆動機構が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記第１および第２の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成されているものである。   The substrate supporting device in the substrate transport mechanism of the present invention is the substrate supporting device according to the eighth invention, wherein the linear driving mechanism is adsorbed or pinched by the action of fluid pressure supplied from the driving device. When the second comb-like member is relatively close, the substrate is sandwiched and supported.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部を備えた基板支持装置とを含む偏光フィルムの貼合装置において、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えているものである。   Furthermore, the board | substrate support apparatus in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is the 1st board | substrate conveyance mechanism which conveys a rectangular board | substrate in the state in which the long side or the short side followed the conveyance direction, and the said 1st board | substrate conveyance mechanism. A first laminating portion for laminating a first polarizing film on the lower surface of the substrate, a second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state in which a short side or a long side is along the transport direction, and the second The 2nd bonding part which bonds a 2nd polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in a board | substrate conveyance mechanism, and the said board | substrate with which the 1st polarizing film was bonded by the said 1st board | substrate conveyance mechanism are supported. In a polarizing film laminating apparatus including a substrate supporting device including a substrate supporting unit, the first substrate transporting mechanism and the second substrate transporting are disposed on a member connected to a substrate reversing unit that performs a reversing operation of the substrate. The first entering the end of the mechanism By the relative movement of the holding member and the second support member, the first polarizing film transported from the first substrate transport mechanism is bonded between the first support member and the second support member. The substrate is supported by being sandwiched, and the first support member is reversed by the substrate reversing unit by the relative movement of the first support member and the second support member. The substrate to which the first polarizing film supported by being sandwiched between the second support members is bonded is released from the support by the sandwich, and the end of the second substrate transport mechanism is released. A substrate support device configured to be placed is provided.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を含む偏光フィルムの貼合装置において、上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部に連結した部材に配設され、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるように構成された基板支持装置を備えているものである。   Moreover, the board | substrate support apparatus in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is a 1st board | substrate conveyance mechanism which conveys a rectangular board | substrate in the state in which the long side or the short side followed the conveyance direction, and the said 1st board | substrate conveyance mechanism. A first laminating portion for laminating a first polarizing film on the lower surface of the substrate, a second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state in which a short side or a long side is along the transport direction, and the second The 2nd bonding part which bonds a 2nd polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in a board | substrate conveyance mechanism, and the said board | substrate with which the 1st polarizing film was bonded by the said 1st board | substrate conveyance mechanism are supported. A reversing mechanism configured to reverse the substrate supported by the substrate supporting unit by a reversing operation of the substrate reversing unit connected to the substrate supporting unit, and to change the arrangement and place the substrate on the second substrate transport mechanism. Of polarizing film containing And a first support member that is disposed on a member connected to the substrate reversing portion of the reversing mechanism that performs the reversing operation of the substrate and enters the end portions of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism. The said board | substrate with which the 1st polarizing film conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism was bonded between the said 1st support member and the 2nd support member by relative movement with a 2nd support member. Is supported by being sandwiched, and the first support member and the second support member reversed by the substrate reversing unit by the relative movement of the first support member and the second support member. The substrate on which the first polarizing film supported by being sandwiched between the supporting members is bonded is released from the support by the sandwiching and placed on the end of the second substrate transport mechanism. A substrate support device configured to Is shall.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記本発明において、上記反転機構が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作する基板反転部を備えているものである。   Furthermore, in the substrate support apparatus in the polarizing film laminating apparatus of the present invention, the reversing mechanism in the present invention is reversed by rotating around a reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate. A substrate reversing unit that operates is provided.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記本発明において、上記反転軸の前記傾きが、４５°であるものである。   Moreover, the board | substrate support apparatus in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: The said inclination of the said inversion axis | shaft is 45 degrees in the said invention.

さらに次に本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構とを備える基板搬送機構において、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送される搬送手段を備えるとともに、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材であって、上記搬送手段によって搬送され基板支持位置に到達した上記基板を支持する少なくとも１個の基板支持部材を備える基板支持装置を備えているものである。   Further, a substrate support apparatus including a transport unit in the substrate transport mechanism of the present invention includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate with a long side or a short side along a transport direction, and the substrate. A substrate transport mechanism including a second substrate transport mechanism configured to transport a short side or a long side along a transport direction, wherein the substrate transported from the first substrate transport mechanism is transported in a substrate support device. And at least one substrate that supports the substrate that has been transported by the transport unit and has reached the substrate support position. A substrate support device including a support member is provided.

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、上記搬送手段が、上記第１基板搬送機構に沿った方向にて上記基板を搬送する第１の搬送手段と、上記第２基板搬送機構に沿った方向にて上記基板を搬送する第２の搬送手段とから成り、上記基板支持部材が、少なくとも１個の基板支持部材より成るものである。   Further, the substrate supporting apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the present invention is the first transport means in the present invention, wherein the transport means transports the substrate in a direction along the first substrate transport mechanism. And a second transport means for transporting the substrate in a direction along the second substrate transport mechanism, and the substrate support member is composed of at least one substrate support member.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、２個の基板支持部材が相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成されているものである。   Furthermore, the substrate support apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the present invention sandwiches the substrate that has reached the substrate support position when the two substrate support members relatively approach each other in the present invention. It is comprised so that it may support.

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、上記第１および第２の搬送手段が、駆動装置によって上記第１および第２の基板搬送機構と同期して回転駆動され、互いに直交関係に複数配設された第１および第２の搬送ローラによって構成されているものである。   Further, the substrate supporting apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-mentioned present invention, wherein the first and second transport means are synchronized with the first and second substrate transport mechanisms by the driving device. And a plurality of first and second transport rollers that are rotationally driven and arranged in an orthogonal relationship with each other.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、上記第１または第２の搬送ローラの少なくともいずか一方が相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成され、上記基板支持部材を構成するものである。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the substrate supporting device according to the present invention, wherein at least one of the first or second conveying rollers approaches relatively. The substrate that has reached the position is sandwiched and supported, and constitutes the substrate support member.

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、上記第１または第２の搬送ローラの一方に対して、上記基板支持部材が相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成されているものである。   Further, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism according to the present invention is such that, in the present invention, the substrate supporting member relatively approaches one of the first or second conveying rollers. The substrate that has reached the substrate support position is sandwiched and supported.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、前記基板支持部材が、電気的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成されているものである。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the substrate supporting position according to the present invention, wherein the substrate supporting member relatively approaches by the driving force of the electric driving device. The substrate that has reached 1 is sandwiched and supported.

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、前記基板支持部材が、機械的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成されているものである。   Further, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the substrate supporting position according to the present invention, wherein the substrate supporting member is relatively approached by the driving force of the mechanical driving device. The substrate that has reached 1 is sandwiched and supported.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、前記基板支持部材が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成されているものである。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the above-mentioned invention, wherein the substrate supporting member is adsorbed or sandwiched by the action of fluid pressure supplied from the driving device. The substrate that has reached the substrate support position is sandwiched and supported.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部を備えた基板支持機構とを含む偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構から搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送される搬送手段を備えるとともに、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材であって、上記搬送手段によって搬送され基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する少なくとも１個の基板支持部材を備える基板支持装置を備えているものである。   Moreover, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is a 1st board | substrate conveyance mechanism which conveys a rectangular board | substrate in the state where a long side or a short side followed the conveyance direction, and said 1st. The 1st bonding part which bonds the 1st polarizing film to the lower surface of the above-mentioned board in the 1 board transportation mechanism, and the 2nd board transportation mechanism which conveys the above-mentioned board in the state where the short side or the long side followed the conveyance direction. And the 2nd bonding part which pastes the 2nd polarizing film on the undersurface of the above-mentioned board in the above-mentioned 2nd board transportation mechanism, and the 1st polarizing film was pasted up by the above-mentioned 1st board transportation mechanism. In a polarizing film laminating apparatus including a substrate supporting mechanism provided with a substrate supporting portion for supporting the substrate, the substrate transported from the first substrate transporting mechanism and bonded with the first polarizing film is supported by the substrate. Transport in the transport path in the equipment A substrate connected to a substrate reversing unit that performs a reversing operation of the substrate, and the substrate on which the first polarizing film that has been transported by the transport unit and reached the substrate support position is bonded. A substrate support device including at least one substrate support member to be supported is provided.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を含む偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構から搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送される搬送手段を備えるとともに、上記基板の反転動作を行う上記反転機構の上記基板反転部に連結した部材であって、上記搬送手段によって搬送され基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する少なくとも１個の基板支持部材を備える基板支持装置を備えているものである。   Furthermore, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is a 1st board | substrate conveyance mechanism which conveys a rectangular board | substrate in the state where a long side or a short side followed the conveyance direction, and said 1st. The 1st bonding part which bonds the 1st polarizing film to the lower surface of the above-mentioned board in the 1 board transportation mechanism, and the 2nd board transportation mechanism which conveys the above-mentioned board in the state where the short side or the long side followed the conveyance direction. And the 2nd bonding part which pastes the 2nd polarizing film on the undersurface of the above-mentioned board in the above-mentioned 2nd board transportation mechanism, and the 1st polarizing film was pasted up by the above-mentioned 1st board transportation mechanism. The reversing operation of the substrate reversing unit connected to the substrate supporting unit that supports the substrate reverses the substrate supported by the substrate supporting unit, and the arrangement is changed and arranged in the second substrate transport mechanism. Including reversing mechanism In the optical film bonding apparatus, the substrate transported from the first substrate transport mechanism and bonded with the first polarizing film includes transport means transported in a transport passage in the substrate support device, and the substrate. A member connected to the substrate reversing part of the reversing mechanism that performs the reversing operation, and supports at least one of the substrates on which the first polarizing film that has been conveyed by the conveying means and has reached the substrate supporting position is bonded. A substrate support device including individual substrate support members is provided.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記本発明において、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作する基板反転部を備えているものである。   Moreover, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the said this invention, the said inversion mechanism which the said bonding apparatus of the polarizing film contains is constant with respect to the conveyance direction of the said board | substrate. A substrate reversing unit that rotates around a reversing axis disposed at an inclination and performs a reversing operation is provided.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、前記第１２発明において、上記反転軸の前記傾きが、４５°であるものである。   Furthermore, the substrate support apparatus provided with the conveyance means in the polarizing film bonding apparatus of the present invention is the twelfth aspect of the present invention, wherein the inclination of the inversion axis is 45 °.

また次に本発明の基板搬送機構における反転機構は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構とを備える基板搬送機構において、基板反転部の反転動作により、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を備えているものである。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction, and a short side or a long side of the substrate. In a substrate transport mechanism comprising a second substrate transport mechanism for transporting in a state along the transport direction, the substrate transported by the first substrate transport mechanism is reversed and arranged by a reversing operation of the substrate reversing unit. And a reversing mechanism configured to be arranged in the second substrate transport mechanism.

さらに本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記本発明において、上記反転機構が、駆動装置の回転駆動により、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作する基板反転部を備えているものである。   Furthermore, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described reversing mechanism, wherein the reversing mechanism is rotated around a reversing axis disposed at a fixed inclination with respect to the transporting direction of the substrate by the rotational drive of the driving device. Thus, a substrate reversing unit that performs a reversing operation is provided.

また本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記本発明において、上記反転軸の上記傾きが、４５°であるものである。   In the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention, the tilt of the reversing axis is 45 ° in the present invention.

さらに本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものである。   Furthermore, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is such that, in the present invention, one end of the substrate reversing portion is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis.

また本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記本発明において、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板および上記第２基板搬送機構に上記基板反転部によって反転して配置された上記基板が、同一平面に配置されるものである。   The reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the substrate reversing unit in the reversing shaft of the reversing mechanism and the substrate transported by the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism in the present invention. The substrates arranged by being inverted by the above are arranged on the same plane.

さらに本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記本発明において、上記反転機構が、上記反転軸の昇降、傾きおよび位置の調整を可能にする手段を備えているものである。   Furthermore, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described reversing mechanism, wherein the reversing mechanism is provided with means for enabling the reversing shaft to be lifted, tilted and adjusted in position.

また本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記本発明において、上記第１基板搬送機構の両側に２個の反転機構が配設され、上記第１基板搬送機構の両側に、上記第１基板搬送機構によって搬送された上記基板が交互に搬送される２個の基板載置部が配設され、上記２個の基板載置部に搬送された上記基板が、上記２個の反転機構によって交互に反転されるとともに、配置が変更され上記第２基板搬送機構に配置するように構成されているものである。   The reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the reversing mechanism in the present invention, wherein two reversing mechanisms are disposed on both sides of the first substrate transport mechanism, and the first substrate is disposed on both sides of the first substrate transport mechanism. Two substrate platforms that alternately transport the substrates transported by the transport mechanism are disposed, and the substrates transported to the two substrate platforms are alternated by the two reversing mechanisms. And the arrangement is changed and arranged in the second substrate transport mechanism.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置において、基板反転部の反転動作により、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を備えているものである。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the transport direction, and the above-described first substrate transport mechanism. In the 1st bonding part which bonds a polarizing film on the lower surface of a substrate, the 2nd substrate conveyance mechanism which conveys the above-mentioned substrate in the state where the short side or the long side followed the conveyance direction, and the above-mentioned 2nd substrate conveyance mechanism In the polarizing film bonding apparatus including the second bonding portion for bonding the polarizing film to the lower surface of the substrate, the substrate conveyed by the first substrate conveying mechanism is reversed by the reversing operation of the substrate reversing portion. And a reversing mechanism configured to change the arrangement and arrange the arrangement on the second substrate transport mechanism.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を保持する保持部を備え、上記保持部を保持状態または保持が解かれる状態に制御する保持機構とを含む偏光フィルムの貼合装置において、駆動装置の回転駆動に基づく、上記保持機構の上記保持部に一端が連結された基板反転部の反転動作により、上記第１基板搬送機構にて搬送され上記保持部に保持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を備えているものである。   The reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction, and the above-described first substrate transport mechanism. In the 1st bonding part which bonds a polarizing film on the lower surface of a substrate, the 2nd substrate conveyance mechanism which conveys the above-mentioned substrate in the state where the short side or the long side followed the conveyance direction, and the above-mentioned 2nd substrate conveyance mechanism A second bonding unit that bonds a polarizing film to the lower surface of the substrate and a holding unit that holds the substrate conveyed by the first substrate conveyance mechanism are provided, and the holding unit is released from holding state or holding. In the polarizing film laminating apparatus including the holding mechanism for controlling the state, the first substrate is obtained by the reversing operation of the substrate reversing unit having one end connected to the holding unit of the holding mechanism based on the rotational driving of the driving device. Carry by transport mechanism We are together to invert the substrate held by the holding portion, in which is provided with a reversing mechanism that is configured to be placed in the second substrate transport mechanism to change the arrangement.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記本発明において、上記反転軸の上記傾きが、４５°であるものである。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is such that, in the present invention, the inclination of the reversal axis is 45 °.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものである。   Moreover, the reversing mechanism in the polarizing film bonding apparatus of the present invention is such that, in the present invention, one end of the substrate reversing portion is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記本発明において、上記反転軸は、第１基板搬送機構における基板の中心を通り、上記基板の搬送方向と垂直な直線を基準として４５°の傾きを有する直線を含み、上記基板と垂直な面内に位置するものである。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the above-mentioned reversing mechanism according to the present invention, wherein the reversing axis passes through the center of the substrate in the first substrate transporting mechanism and is based on a straight line perpendicular to the substrate transporting direction. It includes a straight line having an inclination of ° and is located in a plane perpendicular to the substrate.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記本発明において、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板および上記第２基板搬送機構に上記基板反転部によって反転して配置された上記基板が、同一平面に配置されるものである。   The reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the reversing mechanism according to the present invention, the reversing shaft of the reversing mechanism and the substrate transported by the first substrate transporting mechanism and the second substrate transporting mechanism. The said board | substrate reversed and arrange | positioned by the board | substrate inversion part is arrange | positioned on the same plane.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記本発明において、上記反転機構が、上記反転軸の昇降、傾きおよび位置の調整を可能にする手段を備えているものである。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the above-mentioned present invention, wherein the reversing mechanism is provided with means for enabling the reversing shaft to be lifted, tilted and adjusted.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記本発明において、上記第１基板搬送機構の両側に２個の反転機構が配設され、上記第１基板搬送機構の両側に、上記第１基板搬送機構によって搬送された上記基板が交互に搬送される２個の基板載置部が配設され、上記２個の基板載置部に搬送された上記基板が、上記２個の反転機構によって交互に反転されるとともに、配置が変更され上記第２基板搬送機構に配置されるように構成されているものである。   The reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the reversing mechanism according to the present invention, wherein two reversing mechanisms are disposed on both sides of the first substrate transport mechanism, and the reversing mechanism is disposed on both sides of the first substrate transport mechanism. Two substrate platforms that alternately transport the substrates transported by the first substrate transport mechanism are disposed, and the substrates transported to the two substrate platforms are inverted between the two The arrangement is reversed alternately by the mechanism, and the arrangement is changed and arranged in the second substrate transport mechanism.

さらに次に本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構とを備える基板搬送機構において、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を備えているものである。   Further, the reversing mechanism including the substrate support unit in the substrate transport mechanism of the present invention includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction, and the substrate. A substrate transport mechanism including a second substrate transport mechanism that transports the short side or the long side along the transport direction, and is coupled to the substrate support unit that supports the substrate transported by the first substrate transport mechanism A reversing mechanism configured to reverse the substrate supported by the substrate supporting unit by the reversing operation of the substrate reversing unit, and to change the arrangement and place it on the second substrate transport mechanism. It is.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記反転機構が、駆動装置の回転駆動により、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作する基板反転部を備えているものである。   The reversing mechanism having the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention is the reversing mechanism according to the present invention, wherein the reversing mechanism is disposed at a constant inclination with respect to the transport direction of the substrate by the rotational drive of the driving device. And a substrate reversing section that rotates around the reversing axis and performs a reversing operation.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記反転軸の上記傾きが、４５°であるものである。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate supporting part in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-mentioned present invention, wherein the inclination of the reversing axis is 45 °.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものである。   Further, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention is such that, in the present invention, one end of the substrate reversing portion is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. .

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記反転機構の上記反転軸が、上記第１基板搬送機構にて搬送され上記基板支持部に支持された上記基板および上記基板反転部によって反転して上記第２基板搬送機構に配置された上記基板と、同一平面に配置されるものである。   Furthermore, in the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention, the reversing shaft of the reversing mechanism is transported by the first substrate transport mechanism and supported by the substrate support portion in the present invention. The substrate is reversed by the substrate and the substrate reversing unit and is disposed on the same plane as the substrate disposed on the second substrate transport mechanism.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部および基板支持部は、上記反転軸に対して線対称に一対備えられているものである。   Further, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-mentioned present invention, wherein the substrate reversing portion and the substrate supporting portion are provided in a pair symmetrical with respect to the reversing axis. .

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を挟持することにより支持する挟持手段によって構成されているものである。   Furthermore, in the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention, in the present invention, the substrate support portion connected to one end of the substrate reversal portion is transported by the first substrate transport mechanism. It is comprised by the clamping means to support by clamping the said board | substrate.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を吸着することにより支持する吸着手段によって構成されているものである。   Moreover, the reversing mechanism provided with the substrate supporting part in the substrate transporting mechanism of the present invention is the above-mentioned present invention, wherein the substrate supporting part connected to one end of the substrate reversing part is transported by the first substrate transporting mechanism. It is comprised by the adsorption | suction means supported by adsorb | sucking the said board | substrate.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を備えているものである。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support unit in the polarizing film bonding apparatus of the present invention includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate in a state where the long side or the short side is along the transport direction, and the first A first bonding unit that bonds a polarizing film to the lower surface of the substrate in a one-substrate transport mechanism; a second substrate transport mechanism that transports the substrate in a state in which a short side or a long side is along the transport direction; In the polarizing film bonding apparatus including the second bonding portion for bonding the polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism, the substrate that supports the substrate transported by the first substrate transport mechanism. A reversing mechanism configured to reverse the substrate supported by the substrate supporting unit by a reversing operation of the substrate reversing unit connected to the supporting unit, and to change the arrangement and arrange the reversing mechanism on the second substrate transport mechanism. Have Than is.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を保持する支持する基板支持部を備えた基板支持機構とを含む偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を備えているものである。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is a 1st board | substrate conveyance mechanism which conveys a rectangular board | substrate in the state where a long side or a short side followed the conveyance direction, and said 1st. A first bonding unit that bonds a polarizing film to the lower surface of the substrate in a one-substrate transport mechanism; a second substrate transport mechanism that transports the substrate in a state in which a short side or a long side is along the transport direction; Substrate support provided with a second bonding unit for bonding a polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism, and a substrate support unit for supporting the substrate transported by the first substrate transport mechanism. In the polarizing film laminating apparatus including the mechanism, the substrate supporting unit is supported by the reversing operation of the substrate reversing unit connected to the substrate supporting unit that supports the substrate transported by the first substrate transporting mechanism. Flip the substrate Together, in which has a reversing mechanism configured to place the second substrate transport mechanism to change the arrangement.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記反転機構が、駆動装置の回転駆動により、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作する基板反転部を備えているものである。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is a fixed inclination with respect to the conveyance direction of the said board | substrate by the rotational drive of the said driving device in the said this invention. A substrate reversing section that rotates around the disposed reversing axis and performs a reversing operation is provided.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記反転軸の上記傾きが、４５°であるものである。   Moreover, the inversion mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: The said inclination of the said inversion axis | shaft is 45 degrees in the said invention.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものである。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the said this invention, the end of the said board | substrate inversion part is arrange | positioned by 45 degrees with respect to the said inversion axis | shaft. Is.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記反転機構の上記反転軸が、上記第１基板搬送機構にて搬送され上記基板支持部に支持された上記基板および上記基板反転部によって反転して上記第２基板搬送機構に配置された上記基板と、同一平面に配置されるものである。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the said this invention, the said inversion axis | shaft of the said inversion mechanism is conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism, and the said board | substrate support part is carried out. The substrate is reversed by the substrate and the substrate reversing unit and is disposed in the same plane as the substrate disposed in the second substrate transport mechanism.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部および基板支持部は、上記反転軸に対して線対称に一対備えられているものである。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is provided with a pair of said board | substrate inversion part and board | substrate support part line-symmetrically with respect to the said inversion axis in the said this invention. Is.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を挟持することにより支持する挟持手段によって構成されているものである。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is the said board | substrate support part connected with the end of the said board | substrate inversion part in the said this invention in the said 1st board | substrate conveyance mechanism. It is comprised by the clamping means supported by clamping the said board | substrate conveyed.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記本発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を吸着することにより支持する吸着手段によって構成されているものである。
Furthermore, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention is the said board | substrate support part connected with the end of the said board | substrate inversion part in the said this invention in the said 1st board | substrate conveyance mechanism. It is comprised by the adsorption | suction means supported by adsorb | sucking the said board | substrate conveyed.

以下その他の発明について説明する。
本発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記課題を解決するために、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第２基板搬送機構に配置する反転機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置であって、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、第１基板搬送機構における長辺または短辺が搬送方向に沿った基板を吸着して反転させ、第２基板搬送機構において短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にする反転機構を備え、上記反転機構は、基板を吸着する吸着部と、吸着部に連結した基板反転部を備え、上記基板反転部は反転軸に沿って回転することにより基板を反転させるものであり、上記反転軸は、下記（１）の面内に位置すると共に、下記（２）の垂直な位置にあることを特徴としている。
（１）第１基板搬送機構における基板の中心を通り、上記基板の搬送方向と垂直な直線を基準として４５°の傾きを有する直線を含み、上記基板と垂直な面内
（２）第１基板搬送機構における基板に対して垂直な位置
上記の発明によれば、第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合し、反転機構における基板反転部の反転軸に沿った回転によって、基板を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。その後、第２貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合することができる。すなわち、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は単純な１動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現できる。さらに、上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とが基板を同一方向に搬送するものである。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる。
Other inventions will be described below.
In order to solve the above problems, the polarizing film laminating apparatus of the present invention transports a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction, and the first substrate. A first bonding unit that bonds a polarizing film to the lower surface of the substrate in the transport mechanism; a reversing mechanism that reverses the substrate transported by the first substrate transport mechanism and places the substrate in the second substrate transport mechanism; A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction, and a second bonding unit for bonding a polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism; The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction, and the long side or the short side of the first substrate transport mechanism is transported. The substrate along the direction is sucked and inverted The second substrate transport mechanism includes a reversing mechanism for bringing the short side or the long side along the transport direction, and the reversing mechanism includes a suction unit that sucks the substrate, and a substrate reversing unit connected to the suction unit, The substrate reversing unit is for reversing the substrate by rotating along the reversal axis, and the reversal axis is located in the plane of (1) below and at the vertical position of (2) below. It is characterized by.
(1) In a plane perpendicular to the substrate, including a straight line that passes through the center of the substrate in the first substrate transport mechanism and has an inclination of 45 ° with respect to a straight line perpendicular to the transport direction of the substrate. (2) First substrate Position perpendicular to the substrate in the transport mechanism According to the above invention, the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate by the first bonding portion, and the substrate is rotated by rotation along the reversal axis of the substrate reversing portion in the reversing mechanism. And the long side and the short side with respect to the transport direction can be changed. Then, a polarizing film can be bonded to the lower surface of a board | substrate by a 2nd bonding part. That is, since a polarizing film can be bonded from the lower surface to both surfaces of the substrate, the rectifying environment is not hindered. Moreover, since the operation of the reversing mechanism is a simple operation, the tact time is short. Therefore, it is possible to realize bonding with a short tact time. Further, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus according to the present invention is very simple to install and is excellent in area efficiency.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構が一直線上に配置されており、第１基板搬送機構における第２基板搬送機構側の端部において、上記端部の第１基板搬送機構の搬送方向に対して水平な両方向に沿って、基板載置部および上記反転機構が２対ずつ備えられ、上記端部には、上記端部から上記基板載置部へ基板を搬送する搬送手段が備えられており、上記反転機構は上記基板載置部のそれぞれに搬送された基板を反転させて第２基板搬送機構に配置することが好ましい。   In the polarizing film bonding apparatus of the present invention, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are arranged in a straight line, and at the end of the first substrate transport mechanism on the second substrate transport mechanism side. The substrate mounting portion and the reversing mechanism are provided in two pairs along both directions parallel to the transport direction of the first substrate transport mechanism at the end portion, and the end portion includes the substrate from the end portion to the substrate. It is preferable that transport means for transporting the substrate to the placement unit is provided, and the reversing mechanism reverses the substrate transported to each of the substrate placement units and places it on the second substrate transport mechanism.

上記構成によれば、反転機構が２つ備えられているため、単位時間当り２倍の基板を反転処理することができる。これにより、単位時間当たり多くの基板の反転が可能なため、タクトタイムが短縮される。さらに、第１基板搬送機構および第２基板搬送機構が一直線上に配置されているため、より面積効率に優れた構造の貼合装置を提供できる。   According to the above configuration, since two reversing mechanisms are provided, it is possible to perform reversal processing of twice as many substrates per unit time. Thereby, since many substrates can be reversed per unit time, the tact time is shortened. Furthermore, since the 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned on the straight line, the bonding apparatus of the structure excellent in area efficiency can be provided.

本発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記課題を解決するために、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第２基板搬送機構に配置する反転機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置であって、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、第１基板搬送機構によって搬送された、長辺または短辺が搬送方向に沿った基板を、短辺または長辺が第２基板搬送機構の基板の搬送方向に沿った状態に反転させる反転機構を備え、上記反転機構は基板支持部と、上記基板支持部に連結された基板反転部とを備えており、上記基板支持部は、第１基板搬送機構によって搬送された基板を載置可能であり、さらに載置された基板を挟持可能であり、上記基板反転部は反転軸を中心として回転することによって基板を反転させるものであり、第１基板搬送機構における反転前の基板の中心を通り、上記基板の搬送方向と垂直な直線に対して４５°の傾きを有する直線を含み、第１基板搬送機構における反転前の基板を含む面内に上記反転軸が位置しており、上記基板支持部は、上記反転軸に対して線対称に一対備えられていることを特徴としている。   In order to solve the above problems, the polarizing film laminating apparatus of the present invention transports a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction, and the first substrate. A first bonding unit that bonds a polarizing film to the lower surface of the substrate in the transport mechanism; a reversing mechanism that reverses the substrate transported by the first substrate transport mechanism and places the substrate in the second substrate transport mechanism; A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction, and a second bonding unit for bonding a polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism; The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction, and the long side or the transported by the first substrate transport mechanism. Substrates with short sides along the transport direction A reversing mechanism for reversing a side or a long side in a state along the substrate transport direction of the second substrate transport mechanism, wherein the reversing mechanism includes a substrate support portion and a substrate reversing portion coupled to the substrate support portion; The substrate support unit can place the substrate transported by the first substrate transport mechanism, and can sandwich the placed substrate. The substrate reversing unit rotates about the reversal axis. The first substrate includes a straight line having an inclination of 45 ° with respect to a straight line that passes through the center of the substrate before inversion in the first substrate transport mechanism and is perpendicular to the transport direction of the substrate. The reversal axis is located in a plane including the substrate before reversal in the transport mechanism, and a pair of the substrate support portions are provided symmetrically with respect to the reversal axis.

上記の発明によれば、第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合し、反転機構における基板反転部の反転軸に沿った回転によって、基板を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。その後、第２貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合することができる。すなわち、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は反転軸を中心とする単純な１動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、反転動作を含めた、タクトタイムの短い貼合を実現できる。さらに、上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは基板を同一方向に搬送するものである。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる。   According to said invention, while sticking a polarizing film to the lower surface of a board | substrate by the 1st bonding part and rotating along the inversion axis | shaft of the board inversion part in a inversion mechanism, while reversing a board | substrate, the long side with respect to a conveyance direction And the short side can be changed. Then, a polarizing film can be bonded to the lower surface of a board | substrate by a 2nd bonding part. That is, since a polarizing film can be bonded from the lower surface to both surfaces of the substrate, the rectifying environment is not hindered. In addition, since the operation of the reversing mechanism is a simple operation centered on the reversing axis, the tact time is short. Therefore, it is possible to realize bonding with a short tact time including a reversing operation. Further, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus according to the present invention is very simple to install and is excellent in area efficiency.

また、上記基板支持部は基板を吸着する吸着手段を備えることが好ましい。
これにより、基板支持部だけで基板を挟持する場合よりも、さらに基板を固定することができる。 Moreover, it is preferable that the said board | substrate support part is equipped with the adsorption | suction means which adsorb | sucks a board | substrate.
Thereby, a board | substrate can be further fixed rather than the case where a board | substrate is clamped only by a board | substrate support part.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記基板反転部に基板反転部と共に回転する回転軸部が備えられており、上記回転軸部は、上記反転軸に沿って配置されていることが好ましい。   Moreover, in the polarizing film bonding apparatus of the present invention, the substrate reversing portion is provided with a rotating shaft portion that rotates together with the substrate reversing portion, and the rotating shaft portion is disposed along the reversing axis. Is preferred.

回転軸部は反転軸に沿って配置されているため、回転軸部を備える基板反転部は反転軸に沿ってより安定して回転可能である。したがって、基板の反転をより安定して行うことが可能となる。   Since the rotation shaft portion is disposed along the reversal axis, the substrate reversing portion including the rotation shaft portion can rotate more stably along the reversal axis. Therefore, the substrate can be reversed more stably.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、偏光フィルムを搬送する第１フィルム搬送機構および第２フィルム搬送機構が備えられており、上記第１フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第２フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構は上記第１フィルム搬送機構および第２フィルム搬送機構の上部に備えられており、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する上記第１貼合部が上記第１フィルム搬送機構と第１基板搬送機構との間に、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する第２貼合部が上記第２フィルム搬送機構と第２基板搬送機構との間にそれぞれ備えられていることが好ましい。   Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention, the 1st film conveyance mechanism and 2nd film conveyance mechanism which convey a polarizing film are provided, and the said 1st film conveyance mechanism was protected by the peeling film. A plurality of unwinding sections for unwinding the polarizing film, a cutting section for cutting the polarizing film, a removing section for removing the release film from the polarizing film, and a plurality of winding sections for winding the removed release film are provided. The second film transport mechanism includes a plurality of unwinding sections for unwinding the polarizing film protected by the peeling film, a cutting section for cutting the polarizing film, and a removing section for removing the peeling film from the polarizing film. And a plurality of winding units for winding the removed release film, wherein the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are the first film transport machine. And the first film transport mechanism and the first substrate transport mechanism are provided at the upper part of the second film transport mechanism, and the first bonding section that bonds the polarizing film from which the release film has been removed to the substrate. It is preferable that the 2nd bonding part which bonds the polarizing film from which the said peeling film was removed to the board | substrate in between is provided between the said 2nd film conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism, respectively.

これにより、巻出部および巻取部が複数備えられているため、一方の巻出部における偏光フィルムの原反の残量が少なくなった場合、その原反に他方の巻出部に備えられた原反を連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することができ、生産効率を高めることができる。   Thereby, since the unwinding part and the winding part are provided in plural, when the remaining amount of the original film of the polarizing film in one unwinding part decreases, the other unwinding part is provided in the original film. It is possible to connect raw materials. As a result, the operation can be continued without stopping the unwinding of the polarizing film, and the production efficiency can be increased.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、上記第１基板搬送機構は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送することが好ましい。   Moreover, in the polarizing film bonding apparatus of the present invention, before the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate by the first bonding portion, the first film transporting mechanism includes a cleaning unit for cleaning the substrate. It is preferable to transport the substrate with the short side of the substrate along the transport direction.

これにより、基板の搬送方向に対して基板の長辺が直交する状態にて、洗浄部による基板の洗浄を行うことができる。すなわち、搬送方向に沿った基板の距離を小さくすることができるため、洗浄に必要なタクトタイムをより短縮することができる。その結果、さらに生産効率に優れた偏光フィルムの貼合装置を提供することができる。   Accordingly, the substrate can be cleaned by the cleaning unit in a state where the long sides of the substrate are orthogonal to the substrate transport direction. That is, since the distance of the substrate along the transport direction can be reduced, the tact time required for cleaning can be further shortened. As a result, it is possible to provide a polarizing film laminating apparatus that is further excellent in production efficiency.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１フィルム搬送機構および上記第２フィルム搬送機構には、第１巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有することが好ましい。   Moreover, in the polarizing film bonding apparatus of the present invention, the first film transport mechanism and the second film transport mechanism detect a defect display attached to the polarizing film unwound from the first unwinding section. It is preferable to have a defect detection unit, a bonding avoidance unit that discriminates the defect display and stops the conveyance of the substrate, and a recovery unit that recovers the polarizing film from which bonding with the substrate is avoided.

上記欠点検出部、貼合回避部および回収部によれば、欠点を有する偏光フィルムと基板との貼合わせを回避できるため、歩留まりを高めることができる。   According to the above-mentioned fault detection part, pasting avoidance part, and recovery part, since a pasting with a polarizing film and a substrate which has a fault can be avoided, a yield can be raised.

本発明の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムは、上記偏光フィルムの貼合装置と、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備えるものである。   The polarizing film laminating apparatus and the liquid crystal display manufacturing system of the present invention are a pasting apparatus for inspecting misalignment in the polarizing film laminating apparatus and the substrate on which the polarizing film is pasted by the second laminating section. A deviation inspection device is provided.

これにより、偏光フィルムを貼合した基板に生じた貼りずれを検査することが可能である。   Thereby, it is possible to inspect the sticking deviation which arose on the board | substrate which bonded the polarizing film.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Further, in the polarizing film laminating apparatus and the liquid crystal display manufacturing system of the present invention, the presence or absence of misalignment is determined based on the inspection result by the above-described misalignment inspection apparatus, and the polarizing film is bonded based on the determination result. It is preferable to provide a sorting / conveying device for sorting the substrates.

これにより、偏光フィルムが貼合された基板に貼りずれが生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   Thereby, when the sticking shift | offset | difference has arisen in the board | substrate with which the polarizing film was bonded, it can classify | categorize a defective product quickly and can shorten a tact time.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、偏光フィルムの貼合装置と、上記貼合装置における第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備えることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing apparatus of the polarizing film bonding apparatus and liquid crystal display device of this invention, the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the polarizing film bonding apparatus and the 2nd bonding part in the said bonding apparatus. It is preferable to provide a bonded foreign matter automatic inspection device for inspecting

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに混入した異物を検査することが可能である。   Thereby, it is possible to inspect the foreign matter mixed in the liquid crystal panel to which the polarizing film is bonded.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Further, in the polarizing film bonding apparatus and the liquid crystal display manufacturing system of the present invention, the presence or absence of foreign matter is determined based on the inspection result by the bonding foreign substance automatic inspection device, and the polarizing film is bonded based on the determination result. It is preferable to provide a sorting / conveying device for sorting the formed substrates.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに異物が混入している場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   Thereby, when the foreign material is mixed in the liquid crystal panel which bonded the polarizing film, it can classify | categorize a defective product rapidly and can shorten a tact time.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing system of the polarizing film bonding apparatus and the liquid crystal display device of the present invention, the apparatus includes a bonding foreign substance automatic inspection device that inspects foreign substances on the substrate on which the polarizing film is bonded by the second bonding section, Based on the inspection result by the pasting inspection device and the inspection result by the pasting foreign matter automatic inspection device, the presence or absence of pasting and foreign matter is determined, and the substrate on which the polarizing film is pasted is determined based on the determination result. It is preferable to provide a sorting and conveying device that performs the above.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに貼りずれまたは異物の混入が生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   As a result, when the liquid crystal panel bonded with the polarizing film is stuck or mixed with foreign matter, defective products can be quickly sorted, and the tact time can be shortened.

上記構成より成る本第１発明の基板搬送機構は、基板搬送機構において、上記基板支持装置の上記駆動制御手段が上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材を基板支持状態にするので、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構にて搬送され上記基板支持部材によって支持された上記基板を、互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第２基板搬送機構との間に配設された上記反転機構において、上記基板支持部材に連結している少なくとも１個の上記基板反転部によって、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転させて上記第２基板搬送機構に搬送方向に沿うように配置するものであるため、上記基板支持部材によって上記第１基板搬送機構にて搬送され支持された上記基板を、確実に支持するとともに、少なくとも１個の上記基板反転部の一回の反転動作によって、上記基板を反転させて、上記第２基板搬送機構の搬送方向に沿うように配置変更するものであり、基板搬送機構におけるタクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   In the substrate transport mechanism according to the first aspect of the present invention configured as described above, in the substrate transport mechanism, the drive control means of the substrate support device acts on the substrate support member to bring the substrate support member into a substrate support state. The rectangular substrates are transported by the first substrate transport mechanism that transports the long or short sides along the transport direction, and the substrates supported by the substrate support member are parallel with the transport direction being offset from each other. In the reversing mechanism disposed between the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism that transports the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction, the substrate support member At least one of the substrate reversing portions connected to the substrate is reversed about the reversing axis disposed inclined with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism. Since the second substrate transport mechanism is disposed along the transport direction, the substrate supported and supported by the first substrate transport mechanism by the substrate support member is securely supported, and at least 1 The substrate is reversed by one reversing operation of the substrate reversing units, and rearranged along the transport direction of the second substrate transport mechanism to shorten the tact time in the substrate transport mechanism. There is an effect that can be.

上記構成より成る本第２発明の偏光フィルムの貼合装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを備えた偏光フィルムの貼合装置において、上記基板支持装置の上記駆動制御手段が上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材を基板支持状態にするので、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構にて搬送され上記基板支持部材によって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を、互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第２基板搬送機構との間に配設された上記反転機構において、上記基板支持部材に連結している少なくとも１個の上記基板反転部によって、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転させて上記第２基板搬送機構に搬送方向に沿うように配置して上記第２貼合部に搬送するものであるため、上記基板支持部材によって上記第１基板搬送機構にて搬送され支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を、確実に支持するとともに、少なくとも１個の上記基板反転部の一回の反転動作によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を反転させて、上記第２基板搬送機構の搬送方向に沿うように配置変更するものであり、偏光フィルムの貼合装置におけるタクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the second aspect of the present invention configured as described above includes a first substrate transport mechanism that transports a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the transport direction, and the first substrate transport mechanism. A first laminating portion for laminating the first polarizing film on the lower surface of the substrate, a second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction, and the first In the polarizing film laminating apparatus comprising the second laminating portion for laminating the second polarizing film on the lower surface of the substrate in the two-substrate transport mechanism, the drive control means of the substrate supporting device is the substrate supporting member. Since the substrate support member is placed in a substrate support state, the rectangular substrate is transported by the first substrate transport mechanism that transports the long side or the short side along the transport direction. A first bias supported by the member; The second substrate transporting the substrate on which the film is bonded, transporting the first substrate transport mechanism and the substrate parallel to each other with the transport direction being offset from each other in a state where the short side or the long side is along the transport direction. In the reversing mechanism disposed between the first substrate transporting mechanism and the second substrate transporting mechanism, in the transporting direction of the first substrate transporting mechanism and the second substrate transporting mechanism, the at least one substrate reversing unit coupled to the substrate support member is provided. The substrate support member is configured so as to be reversed around the reversal axis disposed to be inclined and disposed along the transport direction in the second substrate transport mechanism and transported to the second bonding unit. The substrate on which the first polarizing film transported and supported by the first substrate transport mechanism is bonded is securely supported, and at least one reversing operation of the substrate reversing unit is performed once. The substrate on which the polarizing film of 1 is bonded is inverted and rearranged along the transport direction of the second substrate transport mechanism, and the tact time in the polarizing film bonding apparatus can be shortened. There is an effect that you can.

上記構成より成る本第３発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第１発明または第２発明において、上記基板反転部によって、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して４０度ないし５０度の範囲内の角度で傾斜して配設された反転軸回りに反転させて上記第２基板搬送機構に搬送方向に沿うように配置して上記第２貼合部に搬送するものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を反転させて、上記第２基板搬送機構の搬送方向に沿うように配置変更するものであり、偏光フィルムの貼合装置におけるタクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   In the first invention or the second invention, the polarizing film laminating device of the third invention having the above-described configuration is arranged in the transport direction of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism by the substrate inversion unit. In contrast, it is reversed around the reversing axis disposed at an angle in the range of 40 degrees to 50 degrees, and is disposed along the transport direction in the second substrate transport mechanism to the second bonding section. Since the substrate is to be transported, the substrate on which the first polarizing film is bonded is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit, and is arranged along the transport direction of the second substrate transport mechanism. It changes and produces the effect that the tact time in the bonding apparatus of a polarizing film can be shortened.

上記構成より成る本第４発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第１発明または第２発明において、上記基板反転部によって、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して４５度±２度の範囲内の角度で傾斜して配設された反転軸回りに反転させて上記第２基板搬送機構に搬送方向に沿うように配置して上記第２貼合部に搬送するものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を反転させて、上記第２基板搬送機構の搬送方向に沿うように配置変更するものであり、偏光フィルムの貼合装置におけるタクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   In the first invention or the second invention, the polarizing film laminating device of the fourth invention having the above-described configuration is arranged in the transport direction of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism by the substrate reversing unit. In contrast, it is reversed around the reversing axis disposed at an angle within a range of 45 ° ± 2 °, and is arranged along the carrying direction in the second substrate carrying mechanism to the second bonding portion. Since the substrate is to be transported, the substrate on which the first polarizing film is bonded is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit, and is arranged along the transport direction of the second substrate transport mechanism. It changes and produces the effect that the tact time in the bonding apparatus of a polarizing film can be shortened.

上記構成より成る本第５発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第１発明ないし第４発明のいずれかにおいて、上記駆動制御手段による駆動制御に基づく上記基板支持部材を構成する少なくとも１個の支持部材の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するので、少なくとも２個の上記支持部材によって上記第１基板搬送機構にて搬送され支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の両面を、確実に支持することが出来るという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the fifth aspect of the present invention having the above-described configuration is the above-described first to fourth aspects of the present invention, wherein at least one of the substrate support members based on the drive control by the drive control means is configured. By the relative movement of the support member, the substrate on which the first polarizing film is bonded between at least two support members is supported in a sandwiched state. Therefore, the first substrate is supported by at least two of the support members. There exists an effect that the both surfaces of the said board | substrate with which the 1st polarizing film conveyed and supported by the board | substrate conveyance mechanism was bonded can be supported reliably.

上記構成より成る本第６発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第５発明において、上記第１基板搬送機構の下流端部および上記第２基板搬送機構の上流端部に間隙を介して対向するように配設された上記基板支持装置の上記第１の搬送手段が、上記第１基板搬送機構の下流端部から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板支持装置内に搬送するとともに、上記第２の搬送手段が、反転された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板支持装置から上記第２基板搬送機構の上流端部に搬送するものであるので、上記第１基板搬送機構の下流端部および上記第２基板搬送機構の上流端部の設計変更および追加加工を不要にして、上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記第１基板搬送機構の下流端部から上記基板支持装置内に滑らかに搬送するとともに、上記基板支持装置から上記第２基板搬送機構の上流端部に滑らかに搬送するという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the sixth aspect of the present invention configured as described above is the fifth aspect of the present invention, facing the downstream end of the first substrate transport mechanism and the upstream end of the second substrate transport mechanism through a gap. The first transport means of the substrate support device arranged to support the substrate on which the first polarizing film transported from the downstream end of the first substrate transport mechanism is bonded is supported by the substrate. While being transported into the apparatus, the second transport means transports the substrate on which the inverted first polarizing film is bonded from the substrate support device to the upstream end of the second substrate transport mechanism. Thus, the substrate on which the first polarizing film is bonded without requiring design change and additional processing of the downstream end portion of the first substrate transport mechanism and the upstream end portion of the second substrate transport mechanism. Under the first substrate transfer mechanism Together smoothly conveyed into the substrate supporting device from the end, there is an effect that smoothly transported from the substrate supporting device at the upstream end portion of the second substrate transport mechanisms.

上記構成より成る本第７発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第５発明において、上記基板支持装置の上記少なくとも２個の支持部材を構成する上記櫛状部材の複数の突出部が、上記第１基板搬送機構の下流端部における幅方向に複数に分割された複数の分割部および上記第２基板搬送機構の上流端部における搬送方向に複数に分割された複数の分割部の間に形成される複数の間隙に進入するものであるので、上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記第１基板搬送機構の下流端部から上記第１基板搬送機構の搬送手段を利用して上記基板支持装置内に搬送するとともに、上記基板支持装置から上記第２基板搬送機構の搬送手段を利用して上記第２基板搬送機構の上流端部に搬送するものであるため、上記基板支持装置内の搬送手段を不要にして、上記基板支持装置の構成をシンプルにして、軽量化および高速移動を可能にするという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the seventh aspect of the present invention having the above-described structure is the fifth aspect of the present invention, wherein the plurality of protrusions of the comb-shaped member constituting the at least two supporting members of the substrate supporting apparatus are Formed between a plurality of divided portions divided in the width direction at the downstream end portion of the first substrate transport mechanism and a plurality of divided portions divided in the transport direction at the upstream end portion of the second substrate transport mechanism. The substrate on which the first polarizing film is bonded is transferred from the downstream end of the first substrate transport mechanism using the transport means of the first substrate transport mechanism. The substrate support device and the substrate support device using the transfer means of the second substrate transfer mechanism to the upstream end of the second substrate transfer mechanism. Transport in equipment By eliminating the need for stage and simplify the structure of the substrate supporting device, an effect of enabling weight reduction and high-speed movement.

上記構成より成る本第８発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第１発明ないし第４発明のいずれかにおいて、上記基板支持部材を構成すの上記１個の支持部材が、上記第１基板搬送機構の下流端部に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の表面を付着状態にして支持して、反転後反転された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上方から上記第２基板搬送機構の上流端部に載置するので、上記基板支持装置の基板支持構成をシンプルにして、軽量化および高速移動を可能にするという効果を奏する。   In the polarizing film laminating apparatus according to the eighth aspect of the present invention having the above-described configuration, the one supporting member constituting the substrate supporting member is the first substrate according to any one of the first to fourth aspects. The surface of the substrate on which the first polarizing film transported to the downstream end of the transport mechanism was bonded was supported and adhered, and the first polarizing film inverted after inversion was bonded. Since the substrate is placed on the upstream end of the second substrate transport mechanism from above, the substrate support structure of the substrate support device is simplified, and the effect of enabling weight reduction and high-speed movement is achieved.

上記構成より成る本第９発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第６発明において、上記第１基板搬送機構の下流端部および上記第２基板搬送機構の上流端部に間隙を介して対向するように配設された上記基板支持装置の上記第１の搬送ロールが、上記第１基板搬送機構の下流端部から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板支持装置内に搬送するとともに、上記第２の搬送ロールが、反転された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板支持装置から上記第２基板搬送機構の上流端部に搬送するものであるので、上記第１基板搬送機構の下流端部および上記第２基板搬送機構の上流端部の設計変更および追加加工を不要にして、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構における搬送ロールとの同期回転駆動により、上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記第１基板搬送機構の下流端部から上記基板支持装置内に滑らかに搬送するとともに、上記基板支持装置から上記第２基板搬送機構の上流端部に滑らかに搬送することを可能にするという効果を奏する。
ものである。 The polarizing film laminating apparatus according to the ninth aspect of the present invention having the above-described configuration is the above-described sixth aspect, wherein the downstream end portion of the first substrate transport mechanism and the upstream end portion of the second substrate transport mechanism are opposed to each other through a gap. The first transport roll of the substrate support device arranged to support the substrate on which the first polarizing film transported from the downstream end of the first substrate transport mechanism is bonded is supported by the substrate. While transporting into the apparatus, the second transport roll transports the substrate on which the inverted first polarizing film is bonded from the substrate support device to the upstream end of the second substrate transport mechanism. Therefore, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are not required to change the design and the additional processing of the downstream end portion of the first substrate transport mechanism and the upstream end portion of the second substrate transport mechanism. Transport roll The synchronous rotation driving of the substrate smoothly transports the substrate on which the first polarizing film is bonded from the downstream end portion of the first substrate transport mechanism into the substrate support device, and from the substrate support device to the first There is an effect of enabling smooth transport to the upstream end of the two-substrate transport mechanism.
Is.

上記構成より成る本第１０発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第９発明において、上記第１および第２の搬送ロールの少なくとも一方を上記支持部材として相対的に移動させることによって、上記第１および第２の搬送ロールが、上記基板支持装置内に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するものであるので、上記基板支持装置内における別部材としての上記支持部材を不要にするため、上記基板支持装置内の構成および制御をシンプルにして、軽量化および高速移動を可能にするという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the tenth aspect of the present invention having the above-described configuration is the ninth aspect according to the ninth aspect, by relatively moving at least one of the first and second transport rolls as the support member. The first and second transport rolls support the substrate on which the first polarizing film transported into the substrate support apparatus is sandwiched and supported in the second substrate transport mechanism after inversion. Since the inverted sandwiched state of the substrate is released, the structure and control in the substrate support device are simplified and light weight in order to eliminate the need for the support member as a separate member in the substrate support device. And the effect of enabling high-speed movement.

上記構成より成る本第１１発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第５発明ないし第７発明ならびに第９発明および第１０発明のいずれかにおいて、上記少なくとも２個の支持部材の少なくとも一方が、往復動することによって、相対的に接近するものであるので、上記２個の支持部材のシンプルな往復動によって、上記第１基板搬送機構にて搬送され支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着して、確実に支持することが出来るという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the eleventh aspect of the present invention having the above-described structure is any one of the fifth aspect through the seventh aspect, the ninth aspect and the tenth aspect, wherein at least one of the at least two support members is The first polarizing film that is transported and supported by the first substrate transport mechanism is bonded by simple reciprocation of the two support members because it is relatively close by reciprocating. There is an effect that the above-described substrate can be sandwiched and supported reliably.

上記構成より成る本第１２発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第５発明ないし第７発明ならびに第９発明および第１０発明のいずれかにおいて、上記少なくとも２個の支持部材の少なくとも一方が、一部を支点として揺動することによって、相対的に接近するものであるので、上記２個の支持部材のシンプルな揺動によって、上記第１基板搬送機構にて搬送され支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着して、確実に支持することが出来るという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the twelfth aspect of the present invention having the above-described structure is any one of the fifth aspect through the seventh aspect, the ninth aspect and the tenth aspect, wherein at least one of the at least two supporting members is The first support that is transported and supported by the first substrate transport mechanism by simple swinging of the two support members because the two support members are relatively moved by swinging with a part as a fulcrum. There is an effect that the substrate on which the polarizing film is bonded is sandwiched and can be reliably supported.

上記構成より成る本第１３発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第５発明ないし第７発明ならびに第９発明ないし第１２発明のいずれかにおいて、上記駆動制御手段が、電気的駆動制御手段より成り、駆動制御指令に基づく電気的駆動制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するものであるので、駆動指令に基づく上記電気的駆動制御手段の駆動力によって、上記基板を挟着して支持する制御を容易に実現するという効果を奏する。   In the polarizing film laminating device of the thirteenth aspect of the present invention having the above-described configuration, in any one of the fifth aspect to the seventh aspect and the ninth aspect to the twelfth aspect, the drive control means is more than an electric drive control means. The first polarized light transported between the at least two support members by the first substrate transport mechanism by relative movement of at least one of the two support members by electrical drive control based on the drive control command. The substrate on which the film is bonded is sandwiched and supported, and after the reversal, the sandwiched state of the substrate reversed in the second substrate transport mechanism is released. The driving force of the driving control means provides an effect that the control for sandwiching and supporting the substrate is easily realized.

上記構成より成る本第１４発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第５発明ないし第７発明ならびに第９発明ないし第１２発明のいずれかにおいて、上記駆動制御手段が、機械的駆動制御手段より成り、機械的駆動制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するものであるので、複雑な制御をすることなく機械的駆動制御手段の機械的駆動力によって、上記基板を挟着して支持する制御を容易且つ確実に実現するという効果を奏する。   In the polarizing film laminating apparatus of the fourteenth aspect of the present invention having the above-described configuration, in any one of the fifth aspect to the seventh aspect and the ninth aspect to the twelfth aspect, the drive control means is a mechanical drive control means. The first polarizing film transported by the first substrate transport mechanism is bonded between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by mechanical drive control. In addition to supporting the substrate in a sandwiched state and releasing the sandwiched state of the substrate reversed in the second substrate transport mechanism after reversing, mechanical drive control means without complicated control With this mechanical driving force, it is possible to easily and reliably realize the control for sandwiching and supporting the substrate.

上記構成より成る本第１５発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第５発明ないし第７発明ならびに第９発明ないし第１２発明のいずれかにおいて、上記駆動制御手段が、流体的駆動制御手段より成り、流体圧制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するものであるので、流体圧を供給する駆動制御手段を上記前記基板支持部材とは別に配置することにより、上記前記基板支持部材の構成をシンプルにして、軽量化および高速回転化を可能にするという効果を奏する。   In the polarizing film laminating device of the fifteenth aspect of the present invention having the above-described structure, in any one of the fifth to seventh aspects and the ninth to twelfth aspects, the drive control means is more than a fluid drive control means. The first polarizing film transported by the first substrate transport mechanism is bonded between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by fluid pressure control. Since the substrate is supported while being sandwiched, and after the substrate is reversed, the substrate sandwiched by the second substrate transport mechanism is released, so that a drive control means for supplying fluid pressure is provided for the substrate support. By arranging separately from the member, the configuration of the substrate support member is simplified, and the effect of enabling weight reduction and high-speed rotation is achieved.

上記構成より成る本第１６発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第８発明、第１１発明および第１２発明のいずれかにおいて、上記駆動制御手段が、流体的駆動制御手段より成り、流体圧制御による流体圧によって、上記１個の支持部材と上記第１基板搬送機構の下流端部に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の表面とを、吸着状態または押圧状態その他の付着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の付着状態を解除するものであるので、１個の支持部材によって構成されるものであるので、上記基板支持装置の構成をシンプルにするとともに、流体圧を供給する駆動制御手段を上記前記基板支持部材とは別に配置することにより、上記前記基板支持装置の構成を一層シンプルにして、軽量化および高速回転化を可能にするという効果を奏する。   In the polarizing film laminating device of the sixteenth aspect of the present invention having the above-described configuration, in any one of the eighth aspect, the eleventh aspect and the twelfth aspect, the drive control means comprises fluid drive control means, and the fluid pressure By the fluid pressure by the control, the one support member and the surface of the substrate on which the first polarizing film transported to the downstream end portion of the first substrate transport mechanism is bonded to each other are adsorbed or pressed. The substrate is supported in the other attached state, and the attached state of the substrate reversed in the second substrate transport mechanism after the reversal is released, so that the substrate is constituted by one support member. In addition to simplifying the configuration of the support device, the drive control means for supplying fluid pressure is arranged separately from the substrate support member, thereby further increasing the configuration of the substrate support device. In the sample, an effect of enabling weight reduction and high speed rotation.

上記構成より成る本第１７発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第１発明ないし第１６発明のいずれかにおいて、上記第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、上記洗浄部によって上記基板を洗浄した上で、上記第１基板搬送機構が、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送するものであるので、基板の下面への偏光フィルムの貼合における異物の混入を回避することが出来るという効果を奏する。   The polarizing film bonding apparatus according to the seventeenth aspect of the present invention having the above-described configuration, in any one of the first to sixteenth aspects, before bonding the polarizing film to the lower surface of the substrate by the first bonding portion, Since the first substrate transport mechanism transports the substrate with the short side of the substrate along the transport direction after the substrate is cleaned by the cleaning unit, the polarizing film on the lower surface of the substrate There exists an effect that the mixing of the foreign material in bonding can be avoided.

上記構成より成る本第１８発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記第１６発明において、上記第１フィルム搬送機構および上記第２フィルム搬送機構が有する上記欠点検出部が、上記第１巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出し、上記貼合回避部によって上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させるとともに、上記回収部によって上記基板との貼合が回避された偏光フィルムが回収されるので、欠点を有する偏光フィルムと基板との貼合が回避されるとともに、貼合が回避された偏光フィルムが回収できるという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus according to the eighteenth aspect of the present invention having the above-described structure is the above-described sixteenth aspect, wherein the defect detecting section of the first film transport mechanism and the second film transport mechanism is the first unwinding section. The defect display attached to the polarizing film unwound from is detected, the defect display is determined by the bonding avoiding unit, the conveyance of the substrate is stopped, and the substrate is bonded to the substrate by the recovery unit Since the polarizing film in which the film is avoided is collected, the bonding between the polarizing film having a defect and the substrate is avoided, and the polarizing film in which the bonding is avoided can be collected.

上記構成より成る本第１９発明の液晶表示装置の製造システムは、上記貼りずれ検査装置によって、上記第２発明ないし第１８発明のいずれかの偏光フィルムの貼合装置と、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査するので、上記偏光フィルムと基板との貼合における貼りずれが生じているものを見つけることが出来るという効果を奏する。   The manufacturing system for a liquid crystal display device according to the nineteenth aspect of the present invention having the above-described configuration uses the above-described sticking inspection apparatus to bond the polarizing film bonding apparatus according to any one of the second to eighteenth aspects and the second bonding portion. Since the sticking displacement in the substrate on which the polarizing film is bonded is inspected by this, it is possible to find an occurrence of the bonding slip in the bonding between the polarizing film and the substrate.

上記構成より成る本第２０発明の液晶表示装置の製造システムは、上記第１９発明において、上記仕分け搬送装置によって、上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行うので、上記偏光フィルムと基板との貼合における貼りずれが生じているものの搬送を回避することが出来るとともに、速やかに上記貼りずれが生じているものの仕分けを行うことが出来るので、タクトタイムを短縮することが出来るという効果を奏する。   In the liquid crystal display device manufacturing system according to the twentieth aspect of the present invention having the above-described structure, in the nineteenth aspect of the invention, the sorting and conveying device determines the presence or absence of misalignment based on the inspection result of the misalignment inspection device, Based on the above, since the substrate with the polarizing film bonded is sorted, it is possible to avoid the conveyance of the bonding deviation in the bonding between the polarizing film and the substrate, and to quickly cause the bonding deviation. As a result, the tact time can be shortened.

上記構成より成る本第２１発明の液晶表示装置の製造システムは、上記貼合異物自動検査装置によって、上記第２発明ないし第２０発明のいずれかの偏光フィルムの貼合装置と、上記貼合装置における第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査するので、上記偏光フィルムと基板との貼合における貼りずれが生じているものを見つけることが出来るという効果を奏する。   The manufacturing system of the liquid crystal display device according to the twenty-first aspect of the present invention having the above-described configuration includes the polarizing film laminating device according to any one of the second to twentieth inventions and the laminating device using the laminating foreign matter automatic inspection device. Since the foreign substance in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the 2nd bonding part in (2) is test | inspected, there exists an effect that the thing which the sticking shift | offset | difference has produced in the bonding of the said polarizing film and a board | substrate can be found.

上記構成より成る本第２２発明の液晶表示装置の製造システムは、上記第１９発明において、上記仕分け搬送装置によって、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行うので、上記偏光フィルムと基板との貼合における貼りずれが生じているものの搬送を回避することが出来るとともに、速やかに上記貼りずれが生じているものの仕分けを行うことが出来るので、タクトタイムを短縮することが出来るという効果を奏する。   The manufacturing system for a liquid crystal display device according to the twenty-second aspect of the present invention having the above-described configuration, in the nineteenth aspect, determines whether or not there is a foreign substance based on the inspection result by the bonded foreign substance automatic inspection apparatus by the sorting and conveying apparatus Based on the results, the polarizing film is bonded to the substrate, so that it is possible to avoid conveyance of the bonding deviation in the bonding between the polarizing film and the substrate, and the bonding deviation is promptly performed. Since what has been generated can be sorted, the tact time can be shortened.

上記構成より成る本第２３発明の液晶表示装置の製造システムは、上記第１９発明において、上記貼合異物自動検査装置によって、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査するとともに、上記仕分け搬送装置によって、上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行うので、上記偏光フィルムと基板との貼合における貼りずれが生じているものの搬送を回避することが出来るとともに、速やかに上記貼りずれが生じているものの仕分けを行うことが出来るので、タクトタイムを短縮することが出来るという効果を奏する。   The manufacturing system for a liquid crystal display device according to the twenty-third aspect of the present invention having the structure described above is the foreign matter in the substrate in which the polarizing film is bonded by the second bonding portion by the bonded foreign substance automatic inspection device in the nineteenth aspect. In addition, the sorting and conveying device determines the presence or absence of sticking misalignment and foreign matter based on the inspection result by the sticking misalignment inspection device and the inspection result by the bonded foreign matter automatic inspection device, and based on the determination result. In addition, since the substrate on which the polarizing film is bonded is sorted, it is possible to avoid the conveyance of the bonding deviation in the bonding between the polarizing film and the substrate, and to quickly cause the bonding deviation. Since things can be sorted, the tact time can be shortened.

その他の本発明の効果について、以下に述べる。
上記構成より成る本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記基板支持装置が、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるものであるので、シンプルな構成によって、上記第１基板搬送機構によって搬送された上記基板が、上記第１基板搬送機構の端部に進入した上記第１の支持部材および第２の支持部材との間に挟着されることによって、確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記基板反転部による上記基板の反転を可能にするとともに、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。 Other effects of the present invention will be described below.
The substrate supporting device in the substrate transport mechanism of the present invention having the above-described configuration is configured such that the substrate supporting device is disposed on a member connected to a substrate reversing unit that performs the reversing operation of the substrate, and a rectangular substrate has a long side or a short side. The first substrate transport mechanism that transports the substrate in a state along the transport direction and the first substrate that enters the end portion of the second substrate transport mechanism that transports the substrate with the short side or the long side along the transport direction. The substrate transferred from the first substrate transfer mechanism is sandwiched between the first support member and the second support member by relative movement of the support member and the second support member. Between the first support member and the second support member that are reversed by the substrate reversing part by the relative movement of the first support member and the second support member. Supported by being pinched Since the support by the sandwiching is released and the substrate is placed on the end portion of the second substrate transport mechanism, the substrate transported by the first substrate transport mechanism with a simple configuration, While being supported between the first support member and the second support member that have entered the end portion of the first substrate transport mechanism, the substrate reversing portion has the effect of being reliably supported. The substrate supported by being sandwiched between the first support member and the second support member reversed by the substrate reversing unit. The support by is released and placed on the end of the second substrate transport mechanism, so that the substrate can be transported by the second substrate transport mechanism.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、上記第１基板搬送機構の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入することにより、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   The substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein the substrate support device includes a plurality of gaps formed between adjacent portions of the plurality of divided portions in the width direction at the end of the first substrate transport mechanism. When the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members enter, the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members enter between the plurality of protrusions. The substrate transported from the first substrate transport mechanism has the effect of being securely supported by being sandwiched, and the plurality of divided portions in the transport direction at the end of the second substrate transport mechanism. The plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the inverted first and second support members enter the plurality of gaps formed between adjacent portions, and the inverted Support by pinching the substrate is released, By being placed on the end of the serial second substrate transport mechanism, the effect of allowing the transport of the substrate in the second substrate transport mechanisms.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、上記第１基板搬送機構の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一部を支点として一定角度範囲において揺動することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一端を支点として一定角度範囲において揺動することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein a plurality of gaps formed between adjacent portions of the plurality of divided portions in the width direction at the end of the first substrate transport mechanism are arranged in the above-described manner. The plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members enter, and the plurality of protrusions of at least one of the first and second comb-shaped members are By swinging in a certain angle range with a part as a fulcrum, the substrate transported from the first substrate transport mechanism is sandwiched between the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members. In addition to providing an effect that the support is surely supported, the plurality of gaps formed between adjacent portions of the plurality of divided portions in the transport direction at the end of the second substrate transport mechanism are inverted. First and second support A plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the material enter, and at least one of the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members has a fixed angle range with one end as a fulcrum. , The support by sandwiching the inverted substrate is released, and the substrate can be transported by the second substrate transport mechanism by being placed on the end of the second substrate transport mechanism. It has the effect of making it.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、上記揺動駆動機構によって揺動駆動されることにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein the first and second comb-like members having a plurality of protrusions constituting the first and second support members are the above-mentioned rocking members. The substrate transported from the first substrate transport mechanism is sandwiched between the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members by being driven to swing by the dynamic drive mechanism. And the support by the sandwiching of the inverted substrate is released and placed on the end of the second substrate transport mechanism, whereby the second substrate transport mechanism has the above-described effect. There is an effect that the substrate can be transported.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、上記揺動駆動機構を構成する上記第１の揺動駆動機構が、上記第１の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動するとともに、上記揺動駆動機構を構成する第２の揺動駆動機構が、第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, in the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present invention, in the above invention, the first swing drive mechanism constituting the swing drive mechanism includes a plurality of protrusions constituting the first support member. Further, the second comb driving member is configured to swing and drive the first comb-like member, and the second swing driving mechanism constituting the swing driving mechanism includes the plurality of protrusions constituting the second support member. By swinging and driving the comb-shaped member, the substrate transported from the first substrate transport mechanism is sandwiched between the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members. And the support by the sandwiching of the inverted substrate is released and placed on the end of the second substrate transport mechanism, whereby the second substrate transport mechanism has the above-described effect. The effect of enabling substrate transfer Achieve the.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、上記揺動駆動機構は、揺動駆動源と、上記揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第１クラッチ手段を介して上記第１の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１の櫛状部材に伝達して揺動駆動するとともに、上記揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第２クラッチ手段を介して上記第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材に伝達して揺動駆動することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   The substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention is the substrate support device according to the invention, wherein the swing drive mechanism is configured such that the swing drive source and the swing drive force from the swing drive source are passed through the first clutch means. The second clutch means transmits the swing driving force from the swing drive source to the first comb-shaped member having a plurality of protrusions constituting the first support member and swings the second support. The substrate transported from the first substrate transport mechanism is transferred to the second comb-shaped member having a plurality of projecting portions constituting the second support member via the oscillating drive. The effect of being reliably supported by being sandwiched between the plurality of protrusions of the first and second comb-like members is released, and the support by sandwiching the inverted substrate is released, Placed on the end of the second substrate transport mechanism Therefore, an effect of allowing the transport of the substrate in the second substrate transport mechanisms.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、上記第１基板搬送機構の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、上下方向において相対的に接近することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、上下方向において相対的に離隔することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein a plurality of gaps formed between adjacent portions of the plurality of divided portions in the width direction at the end of the first substrate transport mechanism are arranged in the above-described manner. The plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members enter, and the plurality of protrusions of at least one of the first and second comb-shaped members are By relatively approaching in the vertical direction, the substrate transported from the first substrate transport mechanism is sandwiched between the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members. While having the effect of being reliably supported, the first and second inverted in the plurality of gaps formed between the adjacent portions of the plurality of divided portions in the transport direction at the end of the second substrate transport mechanism. Configure 2 support members When the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members enter and the plurality of protrusions of at least one of the first and second comb-shaped members are relatively separated in the vertical direction, The support by sandwiching the inverted substrate is released and placed on the end portion of the second substrate transport mechanism, so that the substrate can be transported by the second substrate transport mechanism.

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、上記直線的駆動機構によって、上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が直線駆動され、往復動することにより、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein the linear drive mechanism includes the first and second protrusions having a plurality of projecting portions constituting the first and second support members. When the comb member is linearly driven and reciprocates, the substrate transported from the first substrate transport mechanism is sandwiched between the plurality of protrusions of the first and second comb members. The second substrate transport mechanism can be reliably supported, and the support by the sandwiching of the inverted substrate is released and placed on the end of the second substrate transport mechanism. There is an effect that the substrate can be transported.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、前記直線的駆動機構が、電気的駆動装置の駆動力によって、上記第１および第２の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するものであるので、駆動指令に基づく上記電気的駆動装置の駆動力によって、上記基板を挟着して支持する制御を容易に実現にするという効果を奏する。   Furthermore, in the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present invention, in the above invention, the linear driving mechanism is configured such that the first and second comb-shaped members relatively approach each other by the driving force of the electrical driving device. Thus, the substrate is sandwiched and supported, so that the control for sandwiching and supporting the substrate can be easily realized by the driving force of the electric drive device based on the drive command. .

また本発明の基板搬送機構における基板支持装置は、上記発明において、前記直線的駆動機構が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記第１および第２の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するものであるので、流体圧を供給する駆動装置を上記前記基板支持部材とは別に配置することにより、上記前記基板支持部材の構成をシンプルにして、軽量化を可能にするという効果を奏する。   The substrate support device in the substrate transport mechanism according to the present invention is the substrate support device according to the first and second embodiments, wherein the linear drive mechanism is adsorbed or pinched by the action of fluid pressure supplied from the drive device. When the comb-shaped member is relatively approached, the substrate is sandwiched and supported. Therefore, by disposing a driving device for supplying fluid pressure separately from the substrate supporting member, There is an effect that the structure of the substrate support member is simplified and the weight can be reduced.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記基板の反転動作を行う基板反転部に連結した部材に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるものであるので、上記基板支持部材に連結した上記基板反転部によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構の端部への上記基板反転部の反転動作および上記第２貼合部による第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support device in the polarizing film laminating device of the present invention is disposed on a member connected to the substrate reversing unit that performs the reversing operation of the substrate, and the long side or the short side of the rectangular substrate is along the transport direction. A first support member that enters the end portion of the first substrate transport mechanism that transports the substrate in a state and a second substrate transport mechanism that transports the substrate with the short side or the long side along the transport direction; By the relative movement with the support member, the substrate on which the first polarizing film transported from the first substrate transport mechanism is bonded between the first support member and the second support member, The first support member that has the effect of being reliably supported by being sandwiched and that has been reversed by the substrate reversing portion by the relative movement of the first support member and the second support member. And the second support member Since the substrate on which the first polarizing film supported by being sandwiched is bonded, the support by the sandwiching is released, and is placed on the end of the second substrate transport mechanism, A second substrate transport mechanism that transports the substrate on which the first polarizing film is bonded in a state where the short side or the long side is along the transport direction by the substrate reversing unit connected to the substrate support member. There exists an effect of enabling reversal operation of the substrate reversal part to the edge part, and pasting of the 2nd polarizing film by the 2nd pasting part.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部に連結した部材に配設され、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構の端部に進入する第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に上記第１基板搬送機構から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着されることによって支持されるので、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部によって反転された上記第１の支持部材と第２の支持部材との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるので、上記基板支持部材に連結した上記基板反転部によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構の端部への上記基板反転部の反転動作および上記第２貼合部における第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support device in the polarizing film laminating device of the present invention is disposed on a member connected to the substrate reversing portion of the reversing mechanism that performs the reversing operation of the substrate, and the first substrate transporting mechanism and the second substrate transporting device. Due to the relative movement of the first support member and the second support member that enter the end of the mechanism, the first support member is transported from the first substrate transport mechanism between the first support member and the second support member. In addition, since the substrate to which the first polarizing film is bonded is supported by being sandwiched, the substrate to which the first polarizing film is bonded is advantageously supported, Supported by being sandwiched between the first support member and the second support member reversed by the substrate reversing part by the relative movement of the first support member and the second support member. First polarizing film Since the bonded substrate is released from the support by being sandwiched and placed on the end of the second substrate transport mechanism, the first polarizing film is formed by the substrate inversion unit connected to the substrate support member. Reversing operation of the substrate reversing part to the end of the second substrate transport mechanism for transporting the substrate with the substrate bonded with the short side or the long side along the transport direction, and the second bonding The effect that the bonding of the 2nd polarizing film in a part is enabled is produced.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support apparatus in the polarizing film bonding apparatus of the present invention is configured such that the substrate reversing portion provided in the reversing mechanism included in the polarizing film bonding apparatus is disposed with a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate. The reversing operation is performed by rotating around the reversing axis, and thus the reversing operation is performed once by the reversing operation of the substrate reversing portion that rotates around the reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate. The short side and the long side can be changed along the transport direction of the substrate on which the first polarizing film is bonded, and the tact time can be shortened.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部が、上記基板の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。
Moreover, the substrate support apparatus in the polarizing film bonding apparatus of the present invention is such that the substrate reversing portion provided in the reversing mechanism included in the polarizing film bonding apparatus is arranged with an inclination of 45 ° with respect to the transport direction of the substrate. Since it rotates around the reversing axis provided, the substrate reversing part rotates once around the reversing axis disposed at an inclination of 45 ° with respect to the transport direction of the substrate. By operation | movement, while the direction of the short side and long side along the conveyance direction of the said board | substrate with which the 1st polarizing film was bonded can be changed, there exists an effect that a tact time can be shortened.

さらに次の本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記基板支持装置の上記搬送手段によって、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材によって搬送され基板支持位置に到達した上記基板が支持されるものであるので、上記第１基板搬送機構において搬送された上記基板を、上記第１基板搬送機構から基板支持装置内の搬送通路を介して上記基板支持位置まで確実かつ滑らかに搬送することが可能であり、少なくとも１個の上記基板支持部材によって、基板支持位置に到達した上記基板が確実に支持されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材に連結した上記基板反転部によって、上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構への反転動作を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the present invention transports the rectangular substrate with the long side or the short side along the transport direction by the transport means of the substrate support apparatus. The substrate transported from the first substrate transport mechanism is transported in a transport path in the substrate support device, and the substrate that has been transported and reached the substrate support position by the at least one substrate support member is supported. Therefore, the substrate transported by the first substrate transport mechanism can be transported reliably and smoothly from the first substrate transport mechanism to the substrate support position via the transport path in the substrate support device. The substrate that has reached the substrate support position is reliably supported by at least one of the substrate support members, and at least one of the substrates The substrate reversing unit connected to the support member has an effect of enabling the reversing operation to the second substrate transport mechanism that transports the substrate with the short side or the long side along the transport direction. .

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、上記搬送手段の上記第１の搬送手段によって、上記第１基板搬送機構において搬送された上記基板を、上記基板支持装置内の搬送通路において上記第１基板搬送機構に沿った方向にて上記基板を搬送するものであり、基板支持位置に到達した上記基板が、少なくとも１個の基板支持部材の一方によって確実に支持されるととも、上記第２基板搬送機構に沿った方向にて上記基板を搬送する第２の搬送手段によって、上記基板支持装置内の搬送通路において上記基板反転部によって反転された上記基板を上記第２基板搬送機構に沿った方向にて搬送することにより、上記基板支持装置内から反転された上記基板を上記第２基板搬送機構へ確実かつ滑らかに搬送することを可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the present invention is the substrate support apparatus according to the above invention, wherein the substrate transported by the first transport mechanism is transferred to the substrate by the first transport means of the transport means. The substrate is transported in a direction along the first substrate transport mechanism in a transport path in the support device, and the substrate that has reached the substrate support position is surely secured by one of at least one substrate support member. The substrate reversed by the substrate reversing unit in the conveyance path in the substrate support device by the second conveyance means that conveys the substrate in a direction along the second substrate conveyance mechanism. By transporting in the direction along the second substrate transport mechanism, the substrate inverted from within the substrate support device is reliably and smoothly transferred to the second substrate transport mechanism. An effect that makes it possible to convey.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、前記２個の基板支持部材が、上記基板が上記基板支持位置に到達すると、相対的に接近することにより上記基板を挟着して支持するので、前記２個の基板支持部材による相対的な接近によって上記基板の両面を挟着することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を確実に支持するという効果を奏する。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the above invention, wherein the two substrate supporting members are relatively close to each other when the substrate reaches the substrate supporting position. Since the substrate is sandwiched and supported, an effect of reliably supporting the substrate that has reached the substrate support position by sandwiching both surfaces of the substrate by relative approach by the two substrate support members. Play.

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、上記第１および第２の搬送手段を構成する互いに直交関係に複数配設され、上記駆動装置によって上記第１および第２の基板搬送機構と同期して回転駆動された上記第１および第２の搬送ローラによって、上記基板支持装置内の搬送通路において上記第１基板搬送機構に沿った方向にて上記基板を同期して搬送するとともに、上記基板支持装置内の搬送通路において上記第２基板搬送機構に沿った方向にて上記基板を同期して搬送することが出来るので、上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板に対して回転差による不要な力を作用させること無く、上記基板支持装置内の搬送通路において滑らかに搬送されるとともに、上記基板支持装置内の搬送通路から搬送された上記基板に対して回転差による不要な力を作用させること無く、上記第２基板搬送機構において滑らかに搬送されるという効果を奏する。   Further, in the above invention, a plurality of substrate supporting devices provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention are disposed in an orthogonal relationship to each other and constitutes the first and second conveying means, and the first driving device provides the first supporting device. And the first and second transport rollers that are rotationally driven in synchronization with the second substrate transport mechanism, and the substrate is moved in the direction along the first substrate transport mechanism in the transport path in the substrate support device. Since the substrate can be synchronously transported in a direction along the second substrate transport mechanism in the transport path in the substrate support apparatus, the substrate can be transported from the first substrate transport mechanism. The substrate is smoothly transported in the transport path in the substrate support device without applying unnecessary force due to the rotation difference to the substrate, and in the substrate support device. Without exerting unnecessary force by the rotation difference with respect to the substrate which is transported from the feed passage, an effect that is smoothly transported in the second substrate transport mechanisms.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、上記第１または第２の搬送ローラの少なくともいずか一方が相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成され、上記基板支持部材を構成して基板支持部材として機能するので、上記第１または第２の搬送ローラとは別に上記基板支持部材を設けることを不要にするので、構成をシンプルにするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the substrate supporting position according to the above invention, when at least one of the first or second conveying rollers relatively approaches. The substrate reaching the substrate is sandwiched and supported, and the substrate support member is configured to function as a substrate support member. Therefore, the substrate support member is separated from the first or second transport roller. Since it is not necessary to provide it, there is an effect of simplifying the configuration.

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、上記第１または第２の搬送ローラの一方に対して、上記基板支持部材が相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するものであるので、上記基板を挟着するための上記第１または第２の搬送ローラの相対的な接近を不要にするという効果を奏する。   Further, in the above invention, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is such that the substrate supporting member relatively approaches one of the first or second conveying rollers, Since the substrate that has reached the substrate support position is sandwiched and supported, the relative approach of the first or second transport roller for sandwiching the substrate is unnecessary. Play.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記において、前記基板支持部材が、電気的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するものであるので、駆動指令に基づく電気的駆動装置の駆動力によって、上記基板を挟着して支持する制御を容易に実現するという効果を奏する。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the above, wherein the substrate supporting member reaches the substrate supporting position by relatively approaching by the driving force of the electric driving device. Since the substrate is sandwiched and supported, the control of sandwiching and supporting the substrate is easily realized by the driving force of the electric drive device based on the drive command.

また本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明ないし第３発明のいずれかにおいて、前記基板支持部材が、機械的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するものであるので、複雑な制御をすることなく機械的駆動装置の駆動力によって、上記基板を挟着して支持を容易かつ確実に実現するという効果を奏する。   Moreover, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is any one of the above inventions to the third invention, wherein the substrate supporting member is relatively approached by the driving force of the mechanical driving device. Therefore, the substrate that has reached the substrate support position is sandwiched and supported, so that the substrate can be sandwiched and supported easily by the driving force of the mechanical drive device without complicated control. It has the effect of being realized reliably.

さらに本発明の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、前記基板支持部材が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するものであるので、流体圧を供給する駆動装置を上記前記基板支持部材とは別に配置することにより、上記前記基板支持部材の構成をシンプルにして、軽量化を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present invention is the substrate according to the above invention, wherein the substrate supporting member is adsorbed or sandwiched by the action of fluid pressure supplied from the driving device. Since the substrate that has reached the support position is sandwiched and supported, the configuration of the substrate support member is simplified by disposing a drive device that supplies fluid pressure separately from the substrate support member. Thus, it is possible to reduce the weight.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記基板支持装置の上記搬送手段によって、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構から搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材によって搬送され基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が支持されるものであるので、上記第１基板搬送機構において搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を、上記第１基板搬送機構から基板支持装置内の搬送通路を介して上記基板支持位置まで確実かつ滑らかに搬送することが可能であり、少なくとも１個の上記基板支持部材によって、基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が確実に支持されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材に連結した上記基板反転部によって、第１の偏光フィルムが上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構への上記基板反転部の反転動作および上記第２貼合部による第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Moreover, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention conveys a rectangular board | substrate in the state where the long side or the short side followed the conveyance direction by the said conveyance means of the said substrate support apparatus. The substrate transported from the first substrate transport mechanism and bonded with the first polarizing film is transported in a transport path in the substrate support device and transported by at least one of the substrate support members. Since the said board | substrate with which the 1st polarizing film which reached | attained the position was bonded is supported, the said board | substrate with which the 1st polarizing film conveyed in the said 1st board | substrate conveyance mechanism was bonded is described above. It is possible to reliably and smoothly transport from the first substrate transport mechanism to the substrate support position via a transport path in the substrate support apparatus, and at least one substrate support section Thus, the substrate on which the first polarizing film that has reached the substrate support position is securely supported, and the first polarizing film is supported by the substrate inversion unit connected to at least one of the substrate support members. Reversing operation of the substrate reversing part to a second substrate transporting mechanism that transports the substrate with the short side or long side of the substrate along the transporting direction, and the second polarizing film by the second bonding unit There is an effect that enables pasting.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記基板支持装置の上記搬送手段によって、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構から搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材によって搬送され基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が支持されるものであるので、上記第１基板搬送機構において搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を、上記第１基板搬送機構から基板支持装置内の搬送通路を介して上記基板支持位置まで確実かつ滑らかに搬送することが可能であり、少なくとも１個の上記基板支持部材によって、基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が確実に支持されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材に連結した上記基板反転部によって、第１の偏光フィルムが上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構への上記反転機構の上記基板反転部の反転動作および上記第２貼合部による第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention conveys a rectangular board | substrate in the state where the long side or the short side followed the conveyance direction by the said conveyance means of the said substrate support apparatus. The substrate transported from the first substrate transport mechanism and bonded with the first polarizing film is transported in a transport path in the substrate support device and transported by at least one of the substrate support members. Since the said board | substrate with which the 1st polarizing film which reached | attained the position was bonded is supported, the said board | substrate with which the 1st polarizing film conveyed in the said 1st board | substrate conveyance mechanism was bonded is described above. It is possible to reliably and smoothly transport from the first substrate transport mechanism to the substrate support position via a transport path in the substrate support apparatus, and at least one of the substrate supports The substrate is surely supported by the material on which the first polarizing film that has reached the substrate support position is bonded, and the first polarization member is supported by the substrate inversion unit connected to at least one of the substrate support members. By the reversing operation of the substrate reversing part of the reversing mechanism to the second substrate transporting mechanism and the second laminating unit to the second substrate transporting mechanism that transports the substrate with the substrate along the short side or the long side along the transport direction. There exists an effect of enabling bonding of the 2nd polarizing film.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Moreover, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the said invention, the said board | substrate inversion part with which the said inversion mechanism with which the said polarizing film bonding apparatus contains is the conveyance direction of the said board | substrate. The substrate rotates about the reversing axis disposed at a constant inclination with respect to the transport direction of the substrate. With one reversing operation of the reversing unit, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate on which the first polarizing film is bonded can be changed, and the tact time can be shortened. There is an effect that you can.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記発明において、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部が、上記基板の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the said invention, the said board | substrate inversion part with which the said inversion mechanism with which the said polarizing film bonding apparatus contains is the conveyance direction of the said board | substrate. Rotating around a reversing axis disposed at an inclination of 45 ° with respect to the substrate, the reversing operation is performed. Therefore, the rotating around the reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate. By reversing the substrate once, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate on which the first polarizing film is bonded can be changed, and the tact time can be shortened. There is an effect that can be done.

また次に本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記基板反転部の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構に配置するものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the first substrate transport mechanism that transports the rectangular substrate with the long side or the short side along the transport direction by the reversing operation of the substrate reversing unit. The substrate is transferred to the second substrate transfer mechanism that reverses the substrate and changes the arrangement to transfer the substrate with the short side or the long side along the transfer direction. The effect of reversing the substrate and changing the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate and shortening the tact time by one reversing operation of the reversing unit. Play.

さらに本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記基板反転部が、駆動装置の回転駆動により、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the reversal mechanism according to the above invention, wherein the substrate reversing portion of the reversing mechanism is disposed at a constant inclination with respect to the transport direction of the substrate by the rotational drive of the driving device. Since the substrate is rotated around the axis and reversed, the substrate is rotated by a single reversing operation of the substrate reversing unit that rotates around the reversing axis disposed at a fixed inclination with respect to the transport direction of the substrate. And the direction of the short side and the long side along the substrate transport direction can be changed, and the tact time can be shortened.

また本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記基板反転部が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the reversing mechanism according to the present invention, wherein the substrate reversing portion of the reversing mechanism rotates around a reversing axis disposed at a constant inclination with respect to the transport direction of the substrate. Since it operates, the substrate is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing portion that rotates around the reversing axis disposed at an inclination of 45 ° with respect to the transport direction of the substrate, and the above It is possible to change the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate and to shorten the tact time.

さらに本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板反転部の一端に配設される上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism according to the present invention is such that, in the above invention, one end of the substrate reversing unit is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. By reversing the substrate, the substrate disposed at one end of the substrate reversing unit can be reversed, and the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate can be changed. There is an effect that can be shortened.

また本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板および上記第２基板搬送機構に上記基板反転部によって反転して配置された上記基板が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein the reversing shaft of the reversing mechanism and the substrate transported by the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism by the substrate reversing unit. Since the substrate disposed in an inverted manner is disposed on the same plane, the substrate is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit, and the short side along the transport direction of the substrate. In addition, the direction of the long side can be changed, and the tact time can be shortened.

さらに本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記発明において、上記反転機構が備えている上記手段が、上記反転軸の昇降、傾きおよび位置の調整を可能にするので、上記基板反転部の反転動作における調整および制御を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism according to the present invention is the reversing mechanism of the substrate reversing portion according to the present invention, since the means provided in the reversing mechanism enables the reversing shaft to be lifted, tilted and adjusted in position. There is an effect of enabling adjustment and control in operation.

また本発明の基板搬送機構における反転機構は、上記発明において、上記第１基板搬送機構の両側に２個の反転機構が配設され、上記第１基板搬送機構の両側に、上記第１基板搬送機構によって搬送された上記基板が交互に搬送される２個の基板載置部が配設され、上記２個の基板載置部に搬送された上記基板が、上記２個の反転機構によって交互に反転されるとともに、配置が変更され上記第２基板搬送機構に配置するものであるので、上記基板の搬送におけるタクトタイムを半減して、上記基板の搬送処理を２倍にすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, wherein two reversing mechanisms are disposed on both sides of the first substrate transport mechanism, and the first substrate transport is disposed on both sides of the first substrate transport mechanism. Two substrate platforms that alternately transport the substrates transported by the mechanism are disposed, and the substrates transported to the two substrate platforms are alternately disposed by the two reversing mechanisms. In addition to being inverted, the arrangement is changed and the arrangement is arranged in the second substrate conveyance mechanism, so that the tact time in the conveyance of the substrate can be halved and the conveyance processing of the substrate can be doubled. Play.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、基板反転部の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて上記第１基板搬送機構にて搬送され、上記第１貼合部において下面に偏光フィルムが貼合された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記第２基板搬送機構に配置されるため、上記基板を上記第２基板搬送機構によって短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送して、上記第２貼合部において、上記基板の下面に偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the above in a state where the long side or the short side is along the transport direction by the reversing operation of the substrate reversing unit in the polarizing film laminating apparatus. In order to reverse the substrate transported by the first substrate transport mechanism and the polarizing film is bonded to the lower surface in the first bonding unit, and to be disposed in the second substrate transport mechanism by changing the arrangement, The substrate is transported by the second substrate transport mechanism in a state where the short side or the long side is along the transport direction, and the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate in the second bonding unit. There is an effect of realizing.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、駆動装置の回転駆動に基づく、上記保持機構の保持状態または保持が解かれる状態に制御される上記保持部に一端が連結された基板反転部の反転動作により、上記第１基板搬送機構にて搬送され上記保持部に保持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置されることにより、上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするので、上記基板の上下の面にそれぞれ偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the polarizing film laminating apparatus, wherein the holding unit is controlled to be in a state where the holding state or the holding state of the holding mechanism is released based on the rotational drive of the driving device. The substrate reversing operation of the substrate reversing unit connected at one end to the substrate reverses the substrate transported by the first substrate transporting mechanism and held by the holding unit, and changes the layout to the second substrate transporting mechanism. By doing so, since conveyance of the said board | substrate and bonding of a polarizing film are enabled, there exists an effect of implement | achieving that a polarizing film is bonded to the upper and lower surfaces of the said board | substrate, respectively.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記発明において、４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the above-described invention, wherein the substrate is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing portion that rotates about the reversing axis disposed at a 45 ° inclination. In addition, it is possible to change the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate and to shorten the tact time.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板反転部の一端に配設される上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is such that, in the above invention, one end of the substrate reversing portion is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. With one reversing operation of the reversing unit, the substrate disposed at one end of the substrate reversing unit can be reversed and the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate can be changed. The tact time can be shortened.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記発明において、上記反転軸は、第１基板搬送機構における基板の中心を通り、上記基板の搬送方向と垂直な直線を基準として４５°の傾きを有する直線を含み、上記基板と垂直な面内に位置するものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the above-described invention, wherein the reversing axis passes through the center of the substrate in the first substrate transporting mechanism and is 45 ° based on a straight line perpendicular to the transporting direction of the substrate. In this case, the substrate is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit, and along the transport direction of the substrate. There are effects that the direction of the short side and the long side can be changed and the tact time can be shortened.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記発明のいずれかにおいて、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板および上記第２基板搬送機構に上記基板反転部によって反転して配置された上記基板が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the reversing mechanism according to any one of the above inventions, the reversing shaft of the reversing mechanism and the substrate transported by the first substrate transporting mechanism and the second substrate transporting mechanism. The substrate reversed by the substrate reversing unit is disposed on the same plane, so that the substrate is reversed and transported by one reversing operation of the substrate reversing unit. It is possible to change the direction of the short side and the long side along the direction and to shorten the tact time.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記発明において、上記反転機構が備えている上記手段が、上記反転軸の昇降、傾きおよび位置の調整を可能にするので、上記基板反転部の反転動作における調整および制御を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the above-described substrate reversing, because the means provided in the reversing mechanism enables the reversing shaft to be lifted, tilted and adjusted in position. There is an effect of enabling adjustment and control in the reversing operation of the unit.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記発明において、上記第１基板搬送機構の両側に２個の反転機構が配設され、上記第１基板搬送機構の両側に、上記第１基板搬送機構によって搬送された上記基板が交互に搬送される２個の基板載置部が配設され、上記２個の基板載置部に搬送された上記基板が、上記２個の反転機構によって交互に反転されるとともに、配置が変更され上記第２基板搬送機構に配置するものであるので、上記基板の搬送におけるタクトタイムを半減して、上記基板の搬送処理を２倍にすることが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism in the polarizing film laminating device of the present invention is the reversing mechanism according to the present invention, wherein two reversing mechanisms are disposed on both sides of the first substrate transport mechanism, and the first reversing mechanism is disposed on both sides of the first substrate transport mechanism. Two substrate platforms that alternately transport the substrates transported by one substrate transport mechanism are disposed, and the substrates transported to the two substrate platforms are the two reversing mechanisms. And the arrangement is changed and placed in the second substrate transport mechanism, so that the tact time in the transport of the substrate can be halved and the transport processing of the substrate can be doubled. There is an effect that you can.

さらに次の本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する基板支持部に連結した上記基板反転部の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構に配置するものであるので、上記基板を支持した上記基板支持部に連結した上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism provided with the substrate supporting part in the substrate transporting mechanism of the present invention is a reversing operation of the substrate reversing part connected to the substrate supporting part that supports the substrate transported by the first substrate transporting mechanism. The substrate transported by the first substrate transport mechanism that transports the rectangular substrate in a state where the long side or the short side is along the transport direction is reversed and the arrangement is changed to change the substrate to the short side or Since the long side is arranged in the second substrate transport mechanism that transports in a state along the transport direction, by one reversing operation of the substrate reversing unit connected to the substrate supporting unit that supports the substrate, While reversing the said board | substrate, while being able to change the direction of the short side and long side along the conveyance direction of the said board | substrate, there exists an effect that a tact time can be shortened.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記基板反転部が、駆動装置の回転駆動により、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。
The reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention is the reversing mechanism according to the present invention, wherein the substrate reversing portion of the reversing mechanism is inclined with respect to the transport direction of the substrate by the rotational drive of the driving device. The substrate reversing unit rotates around the reversing axis disposed at a fixed inclination with respect to the substrate transport direction. By the reversing operation, the substrate can be reversed, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate can be changed, and the tact time can be shortened.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記基板反転部が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention is the reversing shaft in which the substrate reversing portion of the reversing mechanism is disposed at a constant inclination with respect to the transport direction of the substrate. The substrate reversing operation is performed by rotating around the reversing axis disposed at an inclination of 45 ° with respect to the transport direction of the substrate. And the direction of the short side and the long side along the substrate transport direction can be changed, and the tact time can be shortened.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板反転部の一端に配設される上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention is the above-described invention, because one end of the substrate reversing portion is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. Inverting the substrate disposed at one end of the substrate reversing unit by one reversing operation of the substrate reversing unit and changing the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate This has the effect of reducing the tact time.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板および上記第２基板搬送機構に上記基板反転部によって反転して配置された上記基板が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support part in the substrate transport mechanism of the present invention is the reversing mechanism according to the present invention, wherein the reversing shaft of the reversing mechanism and the substrate transported by the first substrate transporting mechanism and the second substrate transporting mechanism. The substrate reversed by the substrate reversing unit is disposed on the same plane, so that the substrate is reversed and transported by one reversing operation of the substrate reversing unit. It is possible to change the direction of the short side and the long side along the direction and to shorten the tact time.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転軸に対して線対称に一対備えられている上記基板反転部および基板支持部の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構に配置するものであるので、上記基板を支持した上記基板支持部に連結した一対の上記基板反転部のおよび基板支持部の一回の反転動作により、上記基板反転部および基板支持部が１個の場合に比べ、２倍の上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを半分にすることが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present invention is a rectangular reversal mechanism according to the above-described invention, by the reversing operation of the substrate reversing portion and the substrate supporting portion that are provided in line symmetry with respect to the reversing axis. The substrate transported by the first substrate transport mechanism that transports the substrate in a state where the long side or the short side is along the transport direction is reversed, and the arrangement is changed to change the substrate to the short side or the long side. Is disposed in the second substrate transport mechanism that transports the substrate in a state along the transport direction, so that the pair of the substrate reversing units connected to the substrate support unit supporting the substrate and the substrate support unit once The reversing operation reverses the substrate twice as compared with the case where the number of the substrate reversing portion and the substrate supporting portion is one, and changes the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate. Out Rutotomoni, there is an effect that can be reduced to half the tact time.

さらに本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部を構成する上記挟持手段が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の両面を挟持することにより確実に支持するものであるので、上記基板反転部の反転動作により、上記基板を確実に反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate supporting part in the substrate transporting mechanism of the present invention is the above-mentioned invention, wherein the holding means constituting the substrate supporting part connected to one end of the substrate reversing part is the first substrate transporting mechanism. The both sides of the substrate transported by the substrate are securely supported, so that the substrate reversing operation of the substrate reversing unit ensures that the substrate is reversed and the substrate is transported in a short direction along the transport direction. There is an effect that the direction of the side and the long side can be changed.

また本発明の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部を構成する上記吸着手段が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を吸引によって吸着することにより支持するものであるので、上記基板反転部の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism provided with the substrate supporting part in the substrate transporting mechanism of the present invention is the above-mentioned invention, wherein the suction means constituting the substrate supporting part connected to one end of the substrate reversing part is the first substrate transporting mechanism. The substrate is conveyed by suction and supported by suction, so that the substrate is reversed by the reversing operation of the substrate reversing unit, and the short side and the long side along the conveyance direction of the substrate There is an effect that the direction can be changed.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて上記第１基板搬送機構にて搬送され、上記第１貼合部において下面に偏光フィルムが貼合された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記第２基板搬送機構に配置されるため、上記基板を上記第２基板搬送機構によって短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送して、上記第２貼合部において、上記基板の下面に偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Furthermore, the inversion mechanism provided with the substrate support part in the polarizing film bonding apparatus of the present invention is connected to the substrate supporting part that supports the substrate conveyed by the first substrate conveying mechanism in the polarizing film bonding apparatus. By the reversing operation of the substrate reversing section, the rectangular substrate is transported by the first substrate transport mechanism in the state where the long side or the short side is along the transporting direction, and the polarizing film is formed on the lower surface in the first bonding section. The pasted substrate is reversed, and the arrangement is changed and placed in the second substrate transport mechanism, so that the short side or the long side of the substrate is along the transport direction by the second substrate transport mechanism. In the said 2nd bonding part, there exists an effect of implement | achieving that a polarizing film is bonded by the lower surface of the said board | substrate.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持する上記基板支持機構の上記基板支持部に連結した基板反転部の反転動作により、上記第１基板搬送機構にて搬送され上記保持部に保持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置されることにより、上記基板の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするので、上記基板の上下の面にそれぞれ偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the bonding apparatus of a polarizing film, the said board | substrate support mechanism of supporting the said board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism. The reversing operation of the substrate reversing unit connected to the substrate supporting unit reverses the substrate transported by the first substrate transporting mechanism and held by the holding unit, and changes the arrangement to the second substrate transporting mechanism. By being arranged, the substrate can be transported and the polarizing film can be bonded, so that the polarizing film is bonded to the upper and lower surfaces of the substrate.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記基板反転部が、駆動装置の回転駆動により、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the polarizing film laminating device of the present invention is the above-described invention, wherein the substrate reversing portion of the reversing mechanism is rotated with respect to the transport direction of the substrate by the driving device. Since the reversing operation is performed by rotating around the reversing axis disposed at a constant inclination, the substrate reversing portion rotating around the reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate. By the reversing operation once, the substrate can be reversed, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate can be changed, and the tact time can be shortened.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the polarizing film laminating device of the present invention is the reversing operation of the substrate reversing portion rotating around the reversing axis disposed at a 45 ° inclination in the above invention. As a result, the substrate can be reversed, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate can be changed, and the tact time can be shortened.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板反転部の一端に配設される上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the polarizing film laminating apparatus of the present invention is the above-described invention, wherein one end of the substrate reversing portion is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. Therefore, by one reversing operation of the substrate reversing unit, the substrate disposed at one end of the substrate reversing unit is reversed, and the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate is changed. It can be changed, and the tact time can be shortened.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板および上記第２基板搬送機構に上記基板反転部によって反転して配置された上記基板が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Moreover, the reverse mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: The said board | substrate conveyed by the said reverse axis | shaft of the said reverse mechanism and the said 1st board | substrate conveyance mechanism in the said invention, and the said 2nd Since the substrate that is reversed and disposed by the substrate reversing unit in the substrate transport mechanism is disposed on the same plane, the substrate is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit, and the above It is possible to change the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate and to shorten the tact time.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転軸に対して線対称に一対備えられている上記基板反転部および基板支持部の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構に配置するものであるので、上記基板を支持した上記基板支持部に連結した一対の上記基板反転部のおよび基板支持部の一回の反転動作により、上記基板反転部および基板支持部が１個の場合に比べ、２倍の上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを半分にすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support part in the polarizing film laminating device of the present invention is the reversing operation of the substrate reversing part and the substrate supporting part provided in a pair of line symmetry with respect to the reversal axis in the above invention. To reverse the substrate transported by the first substrate transport mechanism that transports the rectangular substrate with the long side or the short side along the transport direction, and changes the arrangement to change the substrate to the short side. Alternatively, since the long side is disposed in the second substrate transport mechanism that transports the substrate along the transport direction, the pair of substrate inversion units and the substrate support unit connected to the substrate support unit that supports the substrate. By one reversing operation, the substrate is reversed twice as compared with the case where the number of the substrate reversing portion and the substrate supporting portion is one, and the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate is changed. Change With Rukoto can, an effect that can be halved tact time.

また本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部を構成する上記挟持手段が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板の両面を挟持することにより確実に支持するものであるので、上記基板反転部の反転動作により、上記基板を確実に反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the said invention, the said clamping means which comprises the said board | substrate support part connected with the end of the said board | substrate inversion part is said 1st. Since both sides of the substrate transported by the substrate transport mechanism are sandwiched and supported reliably, the substrate reversing operation of the substrate reversing unit ensures that the substrate is reversed and the substrate is transported in the transport direction. There is an effect that the direction of the short side and the long side can be changed.

さらに本発明の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記基板反転部の一端に連結された上記基板支持部を構成する上記吸着手段が、上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を吸引によって吸着することにより支持するものであるので、上記基板反転部の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention WHEREIN: In the said invention, the said adsorption | suction means which comprises the said board | substrate support part connected with the end of the said board | substrate inversion part are said 1st. Since the substrate transported by the substrate transport mechanism is supported by sucking by suction, the substrate is reversed by the reversing operation of the substrate reversing unit, and the short side along the transport direction of the substrate And the effect that the direction of a long side can be changed is produced.

本発明の偏光フィルムの貼合装置は、以上のように、上記第１基板搬送機構および第２基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、第１基板搬送機構における長辺または短辺が搬送方向に沿った基板を吸着して反転させ、第２基板搬送機構において短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にする反転機構を備え、上記反転機構は、基板を吸着する吸着部と、吸着部に連結した基板反転部を備え、上記基板反転部は反転軸に沿って回転することにより基板を反転させるものであり、上記反転軸は、下記（１）の面内に位置すると共に、下記（２）の垂直な位置にあるものである。
（１）第１基板搬送機構における基板の中心を通り、上記基板の搬送方向と垂直な直線を基準として４５°の傾きを有する直線を含み、上記基板と垂直な面内
（２）第１基板搬送機構における基板に対して垂直な位置
それゆえ、上記反転機構によって基板を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。これにより、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は単純な１動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現できる。さらに、上記第１基板搬送機構と第２基板搬送機構とは基板を同一方向に搬送するものである。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れるという効果をも奏する。 As described above, in the polarizing film laminating apparatus of the present invention, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction, and the long side in the first substrate transport mechanism or The second substrate transport mechanism includes a reversing mechanism that causes the short side or the long side to be along the transport direction in the second substrate transport mechanism, and the reversing mechanism sucks the substrate. A suction part and a substrate reversing part connected to the suction part are provided, and the substrate reversing part turns the substrate by rotating along a reversing axis. The reversing axis is in the plane of (1) below. In addition to being positioned, it is in the vertical position (2) below.
(1) In a plane perpendicular to the substrate, including a straight line that passes through the center of the substrate in the first substrate transport mechanism and has an inclination of 45 ° with respect to a straight line perpendicular to the transport direction of the substrate. (2) First substrate Position perpendicular to the substrate in the transport mechanism Therefore, the substrate can be reversed by the reversing mechanism, and the long side and the short side in the transport direction can be changed. Thereby, since a polarizing film can be bonded from the lower surface with respect to both surfaces of a board | substrate, a rectification environment is not prevented. Moreover, since the operation of the reversing mechanism is a simple operation, the tact time is short. Therefore, it is possible to realize bonding with a short tact time. Further, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus according to the present invention is very simple to install and also has an effect of being excellent in area efficiency.

本発明の実施形態に係る製造システムを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the manufacturing system which concerns on embodiment of this invention. 図１の製造システムにおけるニップロールの周辺部分を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the peripheral part of the nip roll in the manufacturing system of FIG. 本実施形態と同様の下貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the velocity vector of the airflow in the underlay type manufacturing system similar to this embodiment. 本発明の第１実施形態に係る基板支持装置および反転機構によって基板を反転させる過程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the process in which a board | substrate is reversed by the board | substrate support apparatus and inversion mechanism which concern on 1st Embodiment of this invention. 本第１実施形態に係る基板支持装置および反転機構によって基板を反転させる過程を示す平面図である。It is a top view which shows the process in which a board | substrate is reversed by the board | substrate support apparatus and reversing mechanism which concern on this 1st Embodiment. 本発明の第２実施形態に係るに係る基板支持装置および反転機構によって基板を反転させる過程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the process in which a board | substrate is reversed by the board | substrate support apparatus and inversion mechanism which concern on 2nd Embodiment of this invention. 本第２実施形態に係る基板支持装置および反転機構によって基板を反転させる過程を示す平面図である。It is a top view which shows the process in which a board | substrate is reversed by the board | substrate support apparatus and reversing mechanism which concern on this 2nd Embodiment. 本発明の第３実施形態に係るに係る基板支持装置および反転機構を示す平面図である。It is a top view which shows the board | substrate support apparatus and inversion mechanism which concern on 3rd Embodiment of this invention. 本第３実施形態に係る基板支持装置および反転機構によって基板を支持するとともに反転させる過程を示す部分拡大説明図である。It is a partial expanded explanatory view which shows the process of supporting and reversing a board | substrate by the board | substrate support apparatus and reversing mechanism which concern on this 3rd Embodiment. 本第３実施形態に係る基板支持装置および反転機構によって基板の支持を解除する過程を示す部分拡大説明図である。It is a partial expanded explanatory view which shows the process of canceling | releasing support of a board | substrate with the board | substrate support apparatus and reversing mechanism which concern on this 3rd Embodiment. 本発明のその他の実施形態に係る１個の回転駆動源としてのモータによって第１および第１の支持部材を揺動回転させることにより基板を支持する態様と、２個のソレノイドによって、第１および第１の支持部材の一端を移動させることにより、基板を支持する態様を説明するための部分拡大説明図である。A mode in which the substrate is supported by swinging and rotating the first and first support members by a motor as a single rotational drive source according to another embodiment of the present invention, It is a partial expanded explanatory view for demonstrating the aspect which supports a board | substrate by moving the end of a 1st supporting member. 本発明のその他の実施形態に係る２個の直線駆動機構としての源としてのソレノイドによって第１および第１の支持部材を図中上下に往復動させることにより基板を支持する態様と、基板に接触する面に複数の吸着部が形成された１個の支持部材によって、基板を吸着支持する態様と、両端に吸着部と被吸着部を形成した２個の支持部材によって、基板を挟着支持する態様を説明するための部分拡大説明図である。A mode in which the substrate is supported by reciprocating the first and first support members up and down in the drawing by a solenoid as a source as two linear drive mechanisms according to another embodiment of the present invention, and a contact with the substrate The substrate is sandwiched and supported by the mode in which the substrate is sucked and supported by one supporting member having a plurality of sucking portions formed on the surface to be supported and the two supporting members in which the sucking portion and the sucked portion are formed at both ends. It is a partial expanded explanatory view for demonstrating an aspect. 本発明の第４実施形態に係るに係る基板支持装置および反転機構を示す平面図である。It is a top view showing a substrate support device and a reversing mechanism concerning a 4th embodiment of the present invention. 本第４実施形態に係る基板支持装置内に第１基板搬送機構から基板を搬送させて、搬送された基板を支持する過程を示す部分拡大説明図である。It is a partial expanded explanatory view which shows the process in which a board | substrate is conveyed from the 1st board | substrate conveyance mechanism in the board | substrate support apparatus which concerns on this 4th Embodiment, and the conveyed board | substrate is supported. 本第４実施形態に係る基板支持装置による基板の支持を解除して、解除した基板を第２基板搬送機構に搬送する過程を示す部分拡大説明図である。It is a partial expanded explanatory view which shows the process of canceling | releasing support of the board | substrate by the board | substrate support apparatus which concerns on the 4th embodiment, and conveying the released board | substrate to a 2nd board | substrate conveyance mechanism. 本発明のその他の実施形態に係る１個の基板支持部材と搬送ローラとによって基板を支持する態様および２個の基板支持部材によって基板を挟着支持する態様を示す部分拡大説明図である。It is the elements on larger scale which show the aspect which supports a board | substrate by the one board | substrate support member and conveyance roller which concern on other embodiment of this invention, and the aspect which clamps and supports a board | substrate by two board | substrate support members. 本発明のその他の実施形態に係るソレノイドによって基板支持部材を上方へ移動させる態様、ソレノイドによって基板支持部材を下方へ移動させる態様、搬送される基板の移動を利用して機械的駆動機構によって基板支持部材を下方へ移動させる態様、流体圧の切換制御によって基板支持部材を上下方向に移動させる態様を示す説明図である。A mode in which the substrate support member is moved upward by the solenoid according to another embodiment of the present invention, a mode in which the substrate support member is moved downward by the solenoid, and a substrate support by the mechanical drive mechanism using the movement of the substrate to be conveyed It is explanatory drawing which shows the aspect which moves a member downward, and the aspect which moves a board | substrate support member to an up-down direction by switching control of fluid pressure. 本発明の第１実施形態の変形例をを示す平面図である。It is a top view which shows the modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の実施形態の基板支持装置および反転機構に関する制御装置を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows the control apparatus regarding the board | substrate support apparatus and inversion mechanism of embodiment of this invention. 本実施形態に係る液晶表示装置の製造システムが備える各部材の関連を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the relationship of each member with which the manufacturing system of the liquid crystal display device which concerns on this embodiment is provided. 本実施形態に係る液晶表示装置の製造システムの動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the manufacturing system of the liquid crystal display device which concerns on this embodiment. 上貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the velocity vector of the airflow in an upper sticking type manufacturing system.

本発明の実施形態について図１〜図１３に基づいて説明すれば以下の通りであるが、本発明はこれに限定されるものではない。まず、本発明の実施形態に係る製造システム（液晶表示装置の製造システム）の構成について以下に説明する。製造システムは、本実施形態に係る基板搬送機構および貼合装置を含んでいる。   An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 13, but the present invention is not limited to this. First, the configuration of a manufacturing system (a manufacturing system of a liquid crystal display device) according to an embodiment of the present invention will be described below. The manufacturing system includes a substrate transport mechanism and a bonding apparatus according to this embodiment.

図１は、製造システムを示す断面図である。同図に示すように、製造システム１００は２段構造となっており、１Ｆ（１階）部分はフィルム搬送機構５０であり、２Ｆ（２階）部分は基板搬送機構（第１基板搬送機構および第２基板搬送機構）を含む貼合装置６０となっている。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a manufacturing system. As shown in the figure, the manufacturing system 100 has a two-stage structure, the 1F (first floor) portion is a film transport mechanism 50, and the 2F (second floor) portion is a substrate transport mechanism (first substrate transport mechanism and It becomes the bonding apparatus 60 containing a 2nd board | substrate conveyance mechanism).

＜フィルム搬送機構＞
まず、フィルム搬送機構５０について説明する。フィルム搬送機構５０は、偏光フィルム（偏光板）を巻出してニップロール６・６ａおよび１６・１６ａまで搬送し、不要となった剥離フィルムを巻き取る役割を果たす。一方、貼合装置６０はフィルム搬送機構５０によって巻出された偏光フィルムを基板（液晶パネル）５に対して貼合する役割を果たすものである。 <Film transport mechanism>
First, the film transport mechanism 50 will be described. The film transport mechanism 50 plays the role of unwinding the polarizing film (polarizing plate) and transporting it to the nip rolls 6 · 6a and 16 · 16a and winding up the peeling film that is no longer needed. On the other hand, the bonding device 60 plays a role of bonding the polarizing film unwound by the film transport mechanism 50 to the substrate (liquid crystal panel) 5.

フィルム搬送機構５０は、第１フィルム搬送機構５１および第２フィルム搬送機構５２を備えている。第１フィルム搬送機構５１は、基板５の下面に最初に偏光フィルムを貼合するニップロール６・６ａに偏光フィルムを搬送するものである。一方、第２フィルム搬送機構５２は、反転された基板５の下面に偏光フィルムを搬送するものである。   The film transport mechanism 50 includes a first film transport mechanism 51 and a second film transport mechanism 52. The 1st film conveyance mechanism 51 conveys a polarizing film to the nip roll 6 * 6a which bonds a polarizing film to the lower surface of the board | substrate 5 first. On the other hand, the second film transport mechanism 52 transports the polarizing film to the bottom surface of the inverted substrate 5.

第１フィルム搬送機構５１は、第１巻出部１、第２巻出部１ａ、第１巻取部２、第２巻取部２ａ、ハーフカッター３、ナイフエッジ４、および欠点フィルム巻取ローラー７・７ａを備えている。第１巻出部１には偏光フィルムの原反が設置されており、偏光フィルムが巻出される。上記偏光フィルムとしては公知の偏光フィルムを用いればよい。具体的には、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素等によって染色がなされており、１軸方向に延伸されたフィルム等を用いることができる。上記偏光フィルムの厚さとしては、特に限定されないが、５μｍ以上、４００μｍ以下の偏光フィルムを好ましく用いることができる。   The first film transport mechanism 51 includes a first unwinding unit 1, a second unwinding unit 1a, a first winding unit 2, a second winding unit 2a, a half cutter 3, a knife edge 4, and a defect film winding roller. 7 · 7a. The first unwinding unit 1 is provided with a polarizing film original, and the polarizing film is unwound. A known polarizing film may be used as the polarizing film. Specifically, a polyvinyl alcohol film is dyed with iodine or the like, and a film stretched in a uniaxial direction can be used. Although it does not specifically limit as thickness of the said polarizing film, A polarizing film 5 micrometers or more and 400 micrometers or less can be used preferably.

上記偏光フィルムの原反では、流れ方向（ＭＤ方向）に吸収軸の方向が位置している。上記偏光フィルムは剥離フィルムによって粘着剤層が保護されている。上記剥離フィルム（保護フィルムまたはセパレーターともいう）としては、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタラートフィルムなどを用いることができる。上記剥離フィルムの厚さとしては、特に限定されないが、５μｍ以上、１００μｍ以下の剥離フィルムを好ましく用いることができる。   In the original film of the polarizing film, the direction of the absorption axis is located in the flow direction (MD direction). The polarizing film has a pressure-sensitive adhesive layer protected by a release film. As the release film (also referred to as a protective film or a separator), a polyester film, a polyethylene terephthalate film, or the like can be used. Although it does not specifically limit as thickness of the said peeling film, The peeling film of 5 micrometers or more and 100 micrometers or less can be used preferably.

製造システム１００には、巻出部が２つ、巻出部に対応する巻取部が２つ備えられているため、第１巻出部１の原反の残量が少なくなった場合、第２巻出部１ａに備えられた原反を第１巻出部１の原反に連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することが可能である。本構成により、生産効率を高めることができる。なお、上記巻出部および巻取部はそれぞれ複数備えられていればよく、３つ以上備えられていてももちろんよい。   Since the manufacturing system 100 includes two unwinding portions and two unwinding portions corresponding to the unwinding portions, the first unwinding portion 1 has a low remaining amount of raw material. It is possible to connect the original fabric provided in the two unwinding portions 1 a to the original fabric of the first unwinding portion 1. As a result, it is possible to continue the operation without stopping the unwinding of the polarizing film. With this configuration, production efficiency can be increased. Of course, a plurality of unwinding sections and winding sections may be provided, and three or more winding sections may be provided.

ハーフカッター（切断部）３は、剥離フィルムに保護された偏光フィルム（偏光フィルム、粘着剤層および剥離フィルムから構成されるフィルム積層体）をハーフカットし、偏光フィルムおよび粘着剤層を切断する。ハーフカッター３としては、公知の部材を用いればよい。具体的には、刃物、レーザカッターなどを挙げることができる。ハーフカッター３によって偏光フィルムおよび粘着剤層が切断された後に、ナイフエッジ（除去部）４によって剥離フィルムが偏光フィルムから除去される。   The half cutter (cutting unit) 3 half-cuts the polarizing film (film laminate composed of the polarizing film, the pressure-sensitive adhesive layer and the peeling film) protected by the peeling film, and cuts the polarizing film and the pressure-sensitive adhesive layer. As the half cutter 3, a known member may be used. Specifically, a cutter, a laser cutter, etc. can be mentioned. After the polarizing film and the pressure-sensitive adhesive layer are cut by the half cutter 3, the release film is removed from the polarizing film by the knife edge (removal part) 4.

偏光フィルムと剥離フィルムとの間には粘着剤層が塗布されており、剥離フィルムが除去された後、粘着剤層は偏光フィルム側に残存する。上記粘着剤層としては、特に限定されるものではなく、アクリル系、エポキシ系、ポリウレタン系などの粘着剤層を挙げることができる。粘着剤層の厚さは特に制限されないが、通常５〜４０μｍである。   An adhesive layer is applied between the polarizing film and the release film, and after the release film is removed, the adhesive layer remains on the polarizing film side. The pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited, and examples thereof include acrylic, epoxy, and polyurethane pressure-sensitive adhesive layers. Although the thickness in particular of an adhesive layer is not restrict | limited, Usually, it is 5-40 micrometers.

一方、第２フィルム搬送機構５２は、第１フィルム搬送機構５１と同様の構成であり、第１巻出部１１、第２巻出部１１ａ、第１巻取部１２、第２巻取部１２ａ、ハーフカッター１３、ナイフエッジ１４および欠点フィルム巻取ローラー１７・１７ａを備えている。同一の部材名を付した部材については第１フィルム搬送機構５１における部材と同一の作用を示す。   On the other hand, the 2nd film conveyance mechanism 52 is the structure similar to the 1st film conveyance mechanism 51, and is the 1st unwinding part 11, the 2nd unwinding part 11a, the 1st winding part 12, and the 2nd winding part 12a. , Half cutter 13, knife edge 14 and defect film winding rollers 17 and 17 a. About the member which attached | subjected the same member name, the effect | action same as the member in the 1st film conveyance mechanism 51 is shown.

好ましい形態として製造システム１００は、洗浄部７１を備えている。洗浄部７１はニップロール６・６ａによって基板５の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板５を洗浄するものである。洗浄部７１としては、洗浄液を噴射するノズルおよびブラシなどから構成される公知の洗浄部を用いればよい。洗浄部７１によって貼合の直前に基板５を洗浄することによって、基板５の付着異物が少ない状態にて貼合を行うことができる。   As a preferred embodiment, the manufacturing system 100 includes a cleaning unit 71. The cleaning unit 71 cleans the substrate 5 before the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate 5 by the nip rolls 6 and 6a. As the cleaning unit 71, a known cleaning unit composed of a nozzle and a brush for injecting a cleaning liquid may be used. By cleaning the substrate 5 immediately before the bonding by the cleaning unit 71, the bonding can be performed in a state where there are few adhered foreign substances on the substrate 5.

次に、図２を用いて、ナイフエッジ４について説明する。図２は、製造システム１００におけるニップロール６・６ａの周辺部分を示す断面図である。図２は、基板５が左方向から搬送され、左下方向から粘着剤層を有する（図示せず、以降同じ）偏光フィルム５ａが搬送される状況を示している。偏光フィルム５ａには剥離フィルム５ｂが備えられており、ハーフカッター３によって偏光フィルム５ａおよび粘着剤層が切断され、剥離フィルム５ｂは切断されていない（ハーフカット）。   Next, the knife edge 4 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a peripheral portion of the nip rolls 6 and 6a in the manufacturing system 100. FIG. FIG. 2 shows a situation where the substrate 5 is conveyed from the left direction and the polarizing film 5a having an adhesive layer (not shown, the same hereinafter) is conveyed from the lower left direction. The polarizing film 5a is provided with a release film 5b. The polarizing film 5a and the pressure-sensitive adhesive layer are cut by the half cutter 3, and the release film 5b is not cut (half cut).

剥離フィルム５ｂ側には、ナイフエッジ４が設置されている。ナイフエッジ４は、剥離フィルム５ｂを剥離させるためのエッジ状部材であり、偏光フィルム５ａと接着力が低い剥離フィルム５ｂがナイフエッジ４を伝って剥離されることとなる。   A knife edge 4 is provided on the release film 5b side. The knife edge 4 is an edge-shaped member for peeling the peeling film 5b, and the polarizing film 5a and the peeling film 5b having a low adhesive force are peeled off along the knife edge 4.

その後、剥離フィルム５ｂは、図１の第１巻取部２に巻き取られることとなる。なお、ナイフエッジに代えて、粘着ローラーを用いて剥離フィルムを巻き取る構成を用いることも可能である。その場合、巻取部と同様に、粘着ローラーを２箇所に備えることによって、剥離フィルムの巻取効率を高めることができる。   Thereafter, the release film 5b is wound around the first winding portion 2 in FIG. In addition, it can replace with a knife edge and can also use the structure which winds up a peeling film using an adhesion roller. In that case, the winding efficiency of a peeling film can be improved by providing an adhesive roller in two places similarly to a winding part.

＜貼合装置＞
次に、貼合装置６０について説明する。貼合装置６０は基板５を搬送し、フィルム搬送機構５０によって搬送された偏光フィルムを基板に貼合するものである。図示しないが、貼合装置６０では基板５の上面に対して、クリーンエアーが供給されている。すなわち、ダウンフローの整流が行われている。これによって、基板５の搬送および貼合を安定した状態にて行うことが可能である。 <Bonding device>
Next, the bonding apparatus 60 will be described. The bonding apparatus 60 conveys the board | substrate 5, and bonds the polarizing film conveyed by the film conveyance mechanism 50 to a board | substrate. Although not shown, clean air is supplied to the upper surface of the substrate 5 in the bonding apparatus 60. That is, downflow rectification is performed. Thereby, it is possible to perform conveyance and bonding of the substrate 5 in a stable state.

貼合装置６０はフィルム搬送機構５０の上部に備えられている。これにより、製造システム１００の省スペース化を図ることができる。図示しないが、貼合装置６０にはコンベアーロールを備える基板搬送機構が設置されており、これにより基板５が搬送方向へ搬送される（図５にて後述する第１基板搬送機構６１・第２基板搬送機構６２が基板搬送機構に該当する）。   The bonding device 60 is provided on the upper part of the film transport mechanism 50. Thereby, space saving of the manufacturing system 100 can be achieved. Although not shown in the drawings, a substrate transport mechanism including a conveyor roll is installed in the bonding apparatus 60, whereby the substrate 5 is transported in the transport direction (first substrate transport mechanism 61 and second described later in FIG. 5). The substrate transport mechanism 62 corresponds to the substrate transport mechanism).

製造システム１００では、左側から基板５が搬送され、その後、図中右側、つまり、第１フィルム搬送機構５１の上部から第２フィルム搬送機構５２の上部へと搬送される。フィルム搬送機構５０と貼合装置６０との間には、貼合部であるニップロール６・６ａ（第１貼合部）およびニップロール１６・１６ａ（第２貼合部）がそれぞれ備えられている。ニップロール６・６ａおよび１６・１６ａは、基板５の下面に剥離フィルムが除去された偏光フィルムを貼合わせる役割を果たす部材である。なお、基板５の両面には下面から偏光フィルムが貼合されるため、ニップロール６・６ａにて貼合された後に、基板５は反転機構６５によって反転される。反転機構６５については後述する。   In the manufacturing system 100, the substrate 5 is transported from the left side, and then transported from the right side in the drawing, that is, from the top of the first film transport mechanism 51 to the top of the second film transport mechanism 52. Between the film conveyance mechanism 50 and the bonding apparatus 60, the nip rolls 6 * 6a (1st bonding part) and the nip rolls 16 * 16a (2nd bonding part) which are bonding parts are each provided. The nip rolls 6, 6 a and 16, 16 a are members that serve to bond the polarizing film from which the release film has been removed to the lower surface of the substrate 5. In addition, since a polarizing film is bonded to both surfaces of the substrate 5 from the lower surface, the substrate 5 is reversed by the reversing mechanism 65 after being bonded by the nip rolls 6 and 6a. The reversing mechanism 65 will be described later.

ニップロール６・６ａへ搬送された偏光フィルムは、粘着剤層を介して基板５の下面に貼合される。ニップロール６・６ａとしては、それぞれ圧着ロール、加圧ロールなどの公知の構成を採用することができる。また、ニップロール６・６ａにおける貼合時の圧力および温度は適宜調整すればよい。ニップロール１６・１６ａの構成も同様である。なお、図示しないが、製造システム１００では、好ましい構成として、第１巻出部１・１１からハーフカッターまでの間に欠点表示（マーク）検出部が備えられており、欠点を有する偏光フィルムが検出される構成となっている。   The polarizing film conveyed to the nip rolls 6 and 6a is bonded to the lower surface of the substrate 5 through an adhesive layer. As the nip rolls 6 and 6a, known configurations such as a pressure roll and a pressure roll can be employed. Moreover, what is necessary is just to adjust the pressure and temperature at the time of bonding in the nip rolls 6 and 6a suitably. The configuration of the nip rolls 16 and 16a is the same. Although not shown, in the manufacturing system 100, as a preferable configuration, a defect display (mark) detection unit is provided between the first unwinding units 1 and 11 and the half cutter, and a polarizing film having a defect is detected. It becomes the composition which is done.

なお、上記欠点表示は、偏光フィルムの原反作成時に検出を行って欠点表示を付与する、または、欠点表示検出部よりも第１巻出部１および／または第１巻出部１１側に備えられた欠点表示付与部によって偏光フィルムに付される。欠点表示付与部は、カメラ、画像処理装置および欠点表示形成部によって構成されている。まず、上記カメラによって偏光フィルムの撮影がなされ、当該撮影情報を処理することによって、欠点の有無を検査することができる。上記欠点としては、具体的には、埃などの異物、フィッシュアイなどが挙げられる。欠点が検出された場合、欠点表示形成部によって偏光フィルムに欠点表示が形成される。欠点表示としてはインクなどのマークが用いられる。   In addition, the said defect display is provided at the time of the 1st unwinding part 1 and / or the 1st unwinding part 11 side rather than a defect display detection part by detecting at the time of the original production of a polarizing film, and providing a defect display. It attaches | subjects to a polarizing film by the produced defect display provision part. The defect display imparting unit includes a camera, an image processing device, and a defect display forming unit. First, a polarizing film is imaged by the camera, and the presence or absence of a defect can be inspected by processing the imaging information. Specific examples of the drawback include foreign matters such as dust and fish eyes. When a defect is detected, a defect display is formed on the polarizing film by the defect display forming unit. A mark such as ink is used as the defect display.

さらに、図示しない貼合回避部は、上記マークをカメラにより判別して、貼合装置６０に停止信号を送信して基板５の搬送を停止させる。その後、欠点が検出された偏光フィルムは、ニップロール６・６ａによって貼合に用いられず、欠点フィルム巻取ローラー（回収部）７・７ａにて巻き取られる。これにより、基板５と、欠点を有する偏光フィルムとの貼合わせを回避することができる。当該一連の構成が備えられていれば、欠点を有する偏光フィルムと基板５との貼合わせを回避できるため、歩留まりを高めることができ好ましい。欠点検出部および貼合回避部としては、公知の検査センサを適宜用いることができる。   Further, a bonding avoiding unit (not shown) discriminates the mark with a camera and transmits a stop signal to the bonding apparatus 60 to stop the conveyance of the substrate 5. Thereafter, the polarizing film in which the defect is detected is not used for pasting by the nip rolls 6 and 6a, and is wound by the defect film winding roller (collecting unit) 7 and 7a. Thereby, pasting with substrate 5 and a polarizing film which has a fault can be avoided. If such a series of structures is provided, it is possible to avoid the bonding between the polarizing film having a defect and the substrate 5, so that the yield can be increased, which is preferable. A publicly known inspection sensor can be used suitably as a fault detection part and a pasting avoidance part.

図１に示すように、反転機構６５によって基板５が反転状態となった後、基板５はニップロール１６・１６ａに搬送される。そして、基板５の下面に偏光フィルムが貼合される。その結果、基板５の両面に偏光フィルムが貼合わされることとなり、基板５の両面に２枚の偏光フィルムが互いに異なる吸収軸にて貼合された状態となる。その後、必要に応じて、貼りずれが生じていないか、基板５の両面について検査がなされる。当該検査は、通常、カメラを備える検査部等によってなされる構成を採用することができる。   As shown in FIG. 1, after the substrate 5 is reversed by the reversing mechanism 65, the substrate 5 is conveyed to the nip rolls 16 and 16a. Then, a polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate 5. As a result, the polarizing film is bonded to both surfaces of the substrate 5, and the two polarizing films are bonded to both surfaces of the substrate 5 with different absorption axes. Thereafter, if necessary, the both sides of the substrate 5 are inspected for misalignment. For the inspection, it is possible to adopt a configuration that is usually made by an inspection unit equipped with a camera.

このように製造システム１００では、基板５へ偏光フィルムを貼合わせる際、基板５の下面から貼合を行う構成となっており、基板５への整流環境を妨げることがない。このため、基板５の貼合面への異物混入も防止することができ、より正確な貼合わせが可能となる。   Thus, in the manufacturing system 100, when the polarizing film is bonded to the substrate 5, the bonding is performed from the lower surface of the substrate 5, and the rectifying environment to the substrate 5 is not hindered. For this reason, foreign matter mixing into the bonding surface of the substrate 5 can also be prevented, and more accurate bonding becomes possible.

図３（ａ）および図３（ｂ）に本発明と同様の下貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す。図３（ａ）・（ｂ）における領域Ａは巻出部が設置される領域であり、領域Ｂは主に偏光フィルムが通過する領域、および、領域Ｃは巻取部等が設置される領域である。また、ＨＥＰＡフィルター４０からはクリーンエアーが供給される。なお、図３（ａ）では、クリーンエアーが通過可能なグレーチング４１が設置されているため、グレーチング４１を介して、気流が垂直方向に移動することが可能である。一方、図３（ｂ）では、グレーチング４１が設置されていないため、気流は床に接触した後、床に沿って移動することとなる。   FIG. 3A and FIG. 3B show the velocity vector of the airflow in the under-paste type manufacturing system similar to the present invention. Regions A in FIGS. 3 (a) and 3 (b) are regions where the unwinding part is installed, region B is a region through which the polarizing film mainly passes, and region C is a region where the winding unit and the like are installed. It is. Further, clean air is supplied from the HEPA filter 40. In FIG. 3A, since the grating 41 through which clean air can pass is installed, the airflow can move in the vertical direction via the grating 41. On the other hand, in FIG. 3B, since the grating 41 is not installed, the airflow moves along the floor after contacting the floor.

図３（ａ）・（ｂ）に示す製造システムは下貼り型であるため、図９（ａ）・（ｂ）で示したように、偏光フィルムによってＨＥＰＡフィルター４０からの気流が妨げられない。このため、気流ベクトルの方向はほとんど基板に向う方向となっており、クリーンルームにて好ましい整流環境が実現されているといえる。図３（ａ）では、グレーチング４１が設置され、図３（ｂ）では設置されていないが、両図とも同様の好ましい状態が示されている。なお、図３および図９では、基板搬送機構は水平に形成されているが、一連の構造としては設置されていない。このため、基板搬送機構間を気流が通過可能な構成となっている。基板は後述する反転機構によって保持された後、基板搬送機構間を移送される構成となっている。   Since the manufacturing system shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b) is a bottom-attached type, the air current from the HEPA filter 40 is not hindered by the polarizing film, as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b). For this reason, the direction of the airflow vector is almost directed toward the substrate, and it can be said that a preferable rectification environment is realized in the clean room. In FIG. 3 (a), the grating 41 is installed and not installed in FIG. 3 (b), but both drawings show the same preferable state. In FIGS. 3 and 9, the substrate transport mechanism is formed horizontally, but it is not installed as a series of structures. For this reason, the airflow can pass between the substrate transport mechanisms. After the substrate is held by a reversing mechanism to be described later, the substrate is transferred between the substrate transport mechanisms.

また、製造システム１００では、まず、基板５を長辺間口（長辺が搬送方向と直交する）にて搬送し、その後、短辺間口（短辺が搬送方向と直交する）にて搬送する構成となっている。   Moreover, in the manufacturing system 100, the board | substrate 5 is first conveyed by a long side opening (a long side is orthogonal to a conveyance direction), and is conveyed by a short side opening (a short side is orthogonal to a conveyance direction) after that. It has become.

＜基板支持装置＞
基板支持装置は、図４および図５に示されるように基板支持部としての吸着部６６が、基板５の表面に吸着する部材である。吸着部６６により基板５の表面は吸着部６６に保持される。吸着部６６としては、公知の吸着部を用いることができ、例えば、空気吸引源（図示せず）に連通した空気吸引方式の吸着部を用いる事ができる。
また基板支持装置は、図６および図７に示されるように基板支持部が、基板５を支持する部材であり、載置した基板を挟持可能である。また、基板支持部は基板５を吸着する吸着手段を好ましい形態として備えている。吸着手段としては、公知のものを用いることができ、例えば、空気吸引方式の吸着手段を用いることができる。基板支持部はパイプ状のアームおよび吸着手段から構成されており、吸着手段にて吸引された空気がアーム中を通過する構成となっているが、アームおよび吸着手段の形状は当該構成に限定されるものではない。 <Substrate support device>
As shown in FIGS. 4 and 5, the substrate support device is a member in which an adsorption portion 66 as a substrate support portion is adsorbed on the surface of the substrate 5. The surface of the substrate 5 is held by the suction unit 66 by the suction unit 66. As the adsorption unit 66, a known adsorption unit can be used, and for example, an air suction type adsorption unit communicated with an air suction source (not shown) can be used.
In the substrate support device, as shown in FIGS. 6 and 7, the substrate support portion is a member that supports the substrate 5, and can hold the placed substrate. In addition, the substrate support part includes an adsorbing means for adsorbing the substrate 5 as a preferred form. A well-known thing can be used as an adsorption means, for example, an air suction type adsorption means can be used. The substrate support part is composed of a pipe-shaped arm and suction means, and the air sucked by the suction means passes through the arm, but the shape of the arm and suction means is limited to this configuration. It is not something.

また、基板支持部はアームに吸着手段が２つ備えられた構造となっており、３本のアームからなるアーム群を１対備えている。また、吸着手段は基板５の対角線上に４つ配置されており、基板５の長さ方向において、上記吸着手段間にさらに吸着手段が２つ配置されている。当該アームの本数および吸着手段の設置数はあくまで一例であり、例えば、大きな基板を反転させる場合には、アームの本数および吸着手段の数を増加させるなど適宜変更すればよい。また、吸着手段の設置場所を基板５の中心部分に集中させる、または、基板５の端部周辺に変更するなどの変更ももちろん可能である。   The substrate support portion has a structure in which two suction means are provided on the arm, and includes a pair of arm groups each including three arms. Further, four suction means are arranged on the diagonal line of the substrate 5, and two further suction means are arranged between the suction means in the length direction of the substrate 5. The number of arms and the number of suction means are merely examples. For example, when a large substrate is reversed, the number of arms and the number of suction means may be increased as appropriate. Further, it is of course possible to make changes such as concentrating the installation location of the suction means on the central portion of the substrate 5 or changing it around the edge of the substrate 5.

基板反転部が基板５を載置していない場合、基板５を受け入れ可能なようにアーム群間の距離が広がった状態となっている（以下、この状態を「待機状態」と称する）。一方、基板反転部６７は基板５もアーム群間の距離が広がった状態となっている。また、１対のアーム群は基板５を挟持するため、アーム群間の距離を狭めることもできる。このようにアーム群間の距離は変更可能であり、そのために基板支持部は、モーターを有しており、モーターの回転運動を直線運動に変えてアーム群間の距離を変更する構成となっている。なお、アーム群間の距離を変更できる構成であれば、モーターを備える構成に変えて用いてもよい。   When the substrate reversing unit does not place the substrate 5, the distance between the arm groups is increased so that the substrate 5 can be received (hereinafter, this state is referred to as “standby state”). On the other hand, in the substrate reversing unit 67, the distance between the arm groups of the substrate 5 is also increased. Further, since the pair of arm groups sandwich the substrate 5, the distance between the arm groups can be reduced. As described above, the distance between the arm groups can be changed. For this purpose, the substrate support section has a motor, and the rotational movement of the motor is changed to a linear movement to change the distance between the arm groups. Yes. In addition, if it is the structure which can change the distance between arm groups, you may change and use for the structure provided with a motor.

基板支持装置６６は、図８ないし図１０に示されるようにコンベアーロール６１２を備える上記第１基板搬送機構６１のフィルムおよび基板の搬送方向の下流端部およびコンベアーロール６２２を備える上記第２基板搬送機構６１のフィルムおよび基板の搬送方向の上流端部に対して、ガタを考慮しても干渉しないように進入して、反転機構６５の基板反転部６７の反転動作に応じて第１および第２の基板支持部６６１、６６２が介挿して配置されるように構成されている基板搬送機構における基板支持装置に関するものである。     As shown in FIGS. 8 to 10, the substrate support device 66 includes the film of the first substrate transport mechanism 61 including the conveyor roll 612 and the downstream end in the substrate transport direction, and the second substrate transport including the conveyor roll 622. The film 61 of the mechanism 61 and the upstream end of the transport direction of the substrate enter so as not to interfere even if the backlash is taken into consideration, and the first and second in accordance with the reversing operation of the substrate reversing portion 67 of the reversing mechanism 65. The present invention relates to a substrate support device in a substrate transport mechanism configured such that the substrate support portions 661 and 662 are arranged to be interposed therebetween.

上記基板支持装置６６は、図８に示されるようにフィルムが貼合された基板より大きなサイズの一対の櫛状部材によって構成され、２個の一対の櫛状部材が、１８０度の角度関係で反転軸としての上記第１および第２基板搬送機構６１の搬送方向に対して４５度の角度で配設された回転軸部６８に対して２箇所で連結する連結部６７１の他端に上記第１および第２基板搬送機構６１の搬送方向に対して直交する方向に延在する端部６７２を備えた反転機構６５の基板反転部６７の端部６７２に２か所の連絡部６７３を介して機械的に結合され、連結されているものである。更にタクトタイムを短縮するために９０度（６０度）の角度関係で回転軸部６８に対して４個（６個）の基板支持装置を配設することも可能である。   As shown in FIG. 8, the substrate support device 66 is composed of a pair of comb-like members having a size larger than that of the substrate on which the film is bonded, and the two pairs of comb-like members are in an angular relationship of 180 degrees. The second end of the connecting portion 671 is connected to the rotary shaft portion 68 disposed at an angle of 45 degrees with respect to the transport direction of the first and second substrate transport mechanisms 61 as the reversal shaft. The end portion 672 of the substrate reversing portion 67 of the reversing mechanism 65 having the end portion 672 extending in a direction orthogonal to the transport direction of the first and second substrate transport mechanisms 61 is connected via two connecting portions 673. It is mechanically connected and connected. Furthermore, in order to shorten the tact time, it is possible to arrange four (six) substrate support devices with respect to the rotating shaft portion 68 with an angular relationship of 90 degrees (60 degrees).

すなわち一方の基板支持装置６６が、図８に示されるようにコンベアーロール６１２を備える上記第１基板搬送機構６１のフィルムおよび基板の搬送方向の下流端部に介挿され進入配置されている時には、他方の基板支持装置６６が、コンベアーロール６２２を備える上記第２基板搬送機構６２のフィルムおよび基板の搬送方向の上流端部に対して、介挿され進入配置されるように構成されている。   That is, when one substrate support device 66 is inserted and disposed at the downstream end in the film and substrate transport direction of the first substrate transport mechanism 61 including the conveyor roll 612 as shown in FIG. The other substrate support device 66 is configured to be inserted into and disposed at the upstream end portion of the film and substrate transport direction of the second substrate transport mechanism 62 including the conveyor roll 622.

上記基板支持装置６６は、上記基板の反転動作を行う上記基板反転部６７に連結した部材に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構から搬送された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるように構成されている。   The substrate support device 66 is disposed on a member connected to the substrate reversing unit 67 that performs the reversing operation of the substrate, and transports a rectangular substrate with a long side or a short side along a transport direction. A first support member 661 and a second support member 662 that enter the end portion of the substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 that transports the substrate with the short side or the long side along the transport direction. The substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism between the first support member 661 and the second support member 662 is supported by being sandwiched between the first support member 661 and the second support member 662. The first support member 661 and the second support member 662 are sandwiched between the first support member 661 and the second support member 662 reversed by the substrate reversing unit 67 by the relative movement of the first support member 661 and the second support member 662. By being The above substrate 5 which is lifting, support by the clamping is released, and is adapted to be mounted on an end portion of the second substrate transport mechanism 62.

上記第１基板搬送機構６１の下流側端部が、図８に示されるように幅方向に複数の例えば４個の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄに分割され、隣合う分割部分の間に上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する略Ｅ字状の第１および第２の櫛状部材の複数の例えば３個の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入する複数の間隙が形成されているとともに、上記第２基板搬送機構６２の上流側端部が、搬送方向に複数の例えば４個の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄに分割され、隣合う分割部分の間に反転した上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入する複数の間隙が形成されている。   As shown in FIG. 8, the downstream end of the first substrate transport mechanism 61 is divided into a plurality of, for example, four divided portions 61A, 61B, 61C, 61D in the width direction, and between adjacent divided portions. A plurality of, for example, three protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the substantially E-shaped first and second comb-shaped members constituting the first and second support members 661 and 662 enter. A gap is formed, and the upstream end of the second substrate transport mechanism 62 is divided into a plurality of, for example, four divided portions 62A, 62B, 62C, and 62D in the transport direction, and between adjacent divided portions. A plurality of gaps are formed into which the plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-like members constituting the first and second support members 661 and 662 that are inverted to the front are entered. Have

図８に示されるように上記第１基板搬送機構６１の下流側端部において、幅方向において分割された４個の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄには、それぞれ搬送ローラ６１２が配設され、回転駆動指令に従い回転駆動機構および回転連絡手段（図示せず）を介して、同期させて回転駆動され、下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が図中右方に搬送され、停止位置に到達したら停止するように構成されている。   As shown in FIG. 8, at the downstream end of the first substrate transport mechanism 61, the four divided portions 61A, 61B, 61C, 61D divided in the width direction are each provided with a transport roller 612. In accordance with the rotational drive command, the substrate 5 that is rotationally driven in synchronism via a rotational drive mechanism and a rotational communication means (not shown) and has a deflection film bonded to the lower surface is conveyed to the right in the figure and stopped. It is configured to stop when it reaches the position.

図８に示されるように上記第２基板搬送機構６２の上流側端部において、基板の搬送方向において分割された４個の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄには、それぞれ搬送ローラ６２２が配設され、回転駆動指令に従い回転駆動機構および回転連絡手段（図示せず）を介して、同期させて回転駆動され、基板反転部６７によって反転され上面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が図中右方の第２の貼合装置に搬送されるように構成されている。   As shown in FIG. 8, at the upstream end of the second substrate transport mechanism 62, a transport roller 622 is arranged in each of the four divided portions 62A, 62B, 62C, 62D divided in the substrate transport direction. The substrate 5 which is installed and rotated in synchronization via a rotation drive mechanism and a rotation communication means (not shown) according to a rotation drive command, is reversed by the substrate reversing unit 67, and the deflection film is bonded to the upper surface. It is comprised so that it may be conveyed by the 2nd bonding apparatus of the right side in the figure.

図８ないし図１０に示されるように上記第１および第２の支持部材６６１、６６２は、複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた第１および第２の櫛状部材であって、一端を支点として揺動する揺動部材によって構成されている。   As shown in FIGS. 8 to 10, the first and second support members 661 and 662 are first and second comb-like members each having a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623. The swing member is configured to swing with one end as a fulcrum.

すなわち上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、揺動駆動機構６６９によって一定角度範囲例えば９０度の範囲において揺動駆動されるように構成されている。   That is, the first and second comb-like members having the plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 constituting the first and second support members 661 and 662 are fixed at a predetermined angle by the swing drive mechanism 669. It is configured to be driven to swing within a range, for example, 90 degrees.

上記揺動駆動機構６６９は、図８および図９に示されるように上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動する図５中上方の第１の揺動駆動機構６６９１と、第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部６６２１〜６６２３を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動される図９中下方の第２の揺動駆動機構６６９２とから成る。   The swing drive mechanism 669 swings and drives the first comb-like member having a plurality of protrusions 6611 to 6613 constituting the first support member 661 as shown in FIGS. In FIG. 9, the second comb-shaped member having the first swing drive mechanism 6691 at the upper side in FIG. 5 and the plurality of protrusions 6621 to 6623 constituting the second support member 662 is driven to swing. A lower second swing drive mechanism 6692 is provided.

上記第１の揺動駆動機構６６９１は、上記基板の反転動作を行う上記基板反転部６７の端部６７２に上記連絡部６７３を介して連結したベース部材６６０の一端に配設された電気的駆動装置としての第１モータによって構成され、揺動指令に基づく駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中間中空軸６６０１を揺動回転させることにより、該中間中空軸６６０１に一体的に連結された上記第１の支持部材６６１としての上記第１の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６１１〜６６１３を揺動回転させるように構成されている。   The first swing drive mechanism 6691 is an electric drive disposed at one end of a base member 660 that is connected to an end 672 of the substrate reversing unit 67 that performs the reversing operation of the substrate via the connecting unit 673. The intermediate hollow shaft 6601 is constituted by a first motor as a device, and the intermediate hollow shaft 6601 is rotated by rotating the intermediate hollow shaft 6601 inserted in the base member 660 according to the driving force and the swing direction based on the swing command. The plurality of projecting portions 6611 to 6613 constituting the first comb-like member as the first support member 661 integrally connected are configured to swing and rotate.

図８および図９に示されるように回転駆動指令に従い回転駆動機構および回転連絡手段（図示せず）を介して、上記第１基板搬送機構６１の下流側端部の４個の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄにおいて、搬送ローラ６１２が回転駆動され、下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が図中右方に搬送され、停止位置に到達して停止すると、上記第１の揺動駆動機構６６９１を構成する電気的駆動装置としての第１モータが、揺動指令に基づく駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中間中空軸６６０１を反時計方向に揺動回転させることにより、該中間中空軸６６０１に一体的に連結された上記第１の櫛状部材を構成する図５中（Ａ）に示されるように垂直状態の上記複数の突出部６６１１〜６６１３を反時計方向に９０度揺動回転させることにより、図５中（Ｂ）に示されるように水平状態の上記第２の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６２１〜６６２３との間に、停止している下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５を挟着して支持するものである。   As shown in FIG. 8 and FIG. 9, four divided portions 61A at the downstream end of the first substrate transport mechanism 61 are provided via a rotation drive mechanism and a rotation communication means (not shown) according to a rotation drive command. In 61B, 61C, 61D, the transport roller 612 is rotationally driven, and the substrate 5 with the deflection film bonded to the lower surface is transported to the right in the figure, and when it reaches the stop position and stops, the first swinging is performed. The first motor as an electric drive device constituting the dynamic drive mechanism 6691 swings the intermediate hollow shaft 6601 inserted in the base member 660 in the counterclockwise direction according to the drive force and the swing direction based on the swing command. The plurality of protrusions 6611 to 661 in the vertical state as shown in FIG. 5A, which constitutes the first comb-shaped member integrally connected to the intermediate hollow shaft 6601 by dynamic rotation. Is rotated by 90 degrees counterclockwise, as shown in FIG. 5B, between the plurality of protrusions 6621 to 6623 constituting the second comb-shaped member in the horizontal state. The substrate 5 having the deflection film bonded to the lower surface that is stopped is sandwiched and supported.

上記第２の揺動駆動機構６６９２は、上記基板の反転動作を行う上記基板反転部６７の端部６７２に上記連絡部６７３を介して連結したベース部材６６０の他端に配設された電気的駆動装置としての第２のモータによって構成され、その駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中心軸６６０２を揺動回転させることにより、該中心軸に一体的に連結された上記第２の支持部材６６２としての上記第２の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６２１〜６６２３を揺動回転させるように構成されている。   The second swing drive mechanism 6692 is an electrical element disposed at the other end of the base member 660 connected to the end 672 of the substrate reversing portion 67 for reversing the substrate via the connecting portion 673. The second motor as a driving device is configured to be integrally connected to the central shaft by swinging and rotating the central shaft 6602 inserted in the base member 660 according to the driving force and the swinging direction. Further, the plurality of projecting portions 6621 to 6623 constituting the second comb-like member as the second support member 662 is configured to swing and rotate.

上記複数の突出部６６１１〜６６１３の反時計方向における９０度の揺動回転により、図９中（Ｂ）に示されるように水平状態の上記第２の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６２１〜６６２３との間に、停止している下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５が挟着され支持されると、後述する基板反転機構の上記基板反転部６７が反転軸回りに反転するので、図１０（Ａ）に示されるように上記基板５を挟着している上記複数の突出部６６１１〜６６１３と上記複数の突出部６６２１〜６６２３との上下関係が反転して、上記第２基板搬送機構の上流側端部に基板５を載置する。   The plurality of protrusions constituting the second comb-like member in a horizontal state as shown in FIG. 9B by the swinging rotation of the plurality of protrusions 6611 to 6613 by 90 degrees in the counterclockwise direction. When the substrate 5 having the deflection film bonded to the lower surface of the stationary substrate is sandwiched and supported between 6621 to 6623, the substrate reversing portion 67 of the substrate reversing mechanism described later is reversed around the reversing axis. Therefore, as shown in FIG. 10A, the vertical relationship between the plurality of protrusions 6611 to 6613 sandwiching the substrate 5 and the plurality of protrusions 6621 to 6623 is reversed, and the first The substrate 5 is placed on the upstream end of the two-substrate transport mechanism.

上記第２の揺動駆動機構６６９２を構成する電気的駆動装置としての第２モータが、揺動指令に基づく駆動力および揺動方向に従って、上記ベース部材６６０に介挿された中心軸６６０２を反時計方向に揺動回転させることにより、該中心軸６６０２に一体的に連結された上記第２の櫛状部材を構成する図１０中（Ａ）に示されるように水平状態の上記複数の突出部６６２１〜６６２３を反時計方向に揺動回転させることにより、図１０中（Ｂ）に示されるように９０度揺動回転させて、垂直状態にするので、上記第１の櫛状部材を構成する上記複数の突出部６６１１〜６６１３との間に、挟着していた下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５の挟着状態を解除して、上記第２基板搬送機構の搬送ローラ６２２の回転によって、第２貼合装置に下面に偏向フィルムが貼合された上記基板５を搬送するものである。   A second motor as an electrical drive device constituting the second swing drive mechanism 6692 moves the center shaft 6602 inserted in the base member 660 against the center shaft 6602 according to the drive force and swing direction based on the swing command. The plurality of protrusions in a horizontal state as shown in FIG. 10 (A) constituting the second comb-shaped member integrally connected to the central shaft 6602 by swinging and rotating clockwise. By rotating and rotating 6621 to 6623 counterclockwise, as shown in FIG. 10B, it is rotated and rotated 90 degrees to be in a vertical state, so that the first comb-like member is configured. The clamping state of the substrate 5 in which the deflection film is bonded to the lower surface that has been sandwiched between the plurality of protrusions 6611 to 6613 is released, and the transport roller 622 of the second substrate transport mechanism 2nd bonding by rotation It is intended to convey the substrate 5 polarizing film is stuck to the lower surface location.

上記揺動駆動機構６６９は、図１１（Ａ）に示されるように揺動駆動源としての１個のモータ６６９０と、該モータ６６９０からの揺動駆動力を上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３を備えた上記第１の櫛状部材に回転連絡して揺動駆動する第１クラッチ手段６６３３と、上記揺動駆動源としての１個のモータ６６９０からの揺動駆動力を上記第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部６６２１〜６６２３を備えた上記第２の櫛状部材に回転連絡して揺動駆動する第２クラッチ手段６６３４とから構成するもので、揺動駆動源としてのモータ６６９０を１個にするので、基板支持装置の簡素化、軽量化に適している。   As shown in FIG. 11A, the swing drive mechanism 669 forms one motor 6690 as a swing drive source and the swing support force from the motor 6690 forms the first support member 661. First clutch means 6633 that rotates and communicates with the first comb-like member having a plurality of protruding portions 6611 to 6613, and swings from one motor 6690 as the swing drive source. The driving force is composed of a second clutch means 6634 that rotates and communicates with the second comb-like member having a plurality of projecting portions 6621 to 6623 constituting the second support member 662. Since the single motor 6690 as the swing drive source is provided, the substrate support device is suitable for simplification and weight reduction.

上記揺動駆動機構６６９は、図１１（Ｂ）に示されるように第１および第２の揺動駆動源としてアクチュエータ６６３５、６６３６を用いて、一部を支点として揺動する揺動部材によって第１および第２の支持部材６６１、６６２の他端を図中上下に移動させることにより、を構成して、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を上記支点を中心にして一定角度範囲例えば０度から±３０度前後それぞれ揺動させることにより、上記基板５の挟着支持および挟着支持状態の解除を可能にする態様が可能であり、コントローラ６６３７によって上記アクチュエータ６６３５、６６３６を構成するソレノイドの電流の印加制御すなわちオンオフ制御で実現するものであるので、制御が簡単であるという利点を有する。   As shown in FIG. 11 (B), the swing drive mechanism 669 uses actuators 6635 and 6636 as first and second swing drive sources, and a swing member that swings about a fulcrum. By moving the other ends of the first and second support members 661 and 662 up and down in the figure, the first and second support members 661 and 662 are formed. The plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the comb-like member are swung around the fulcrum at a predetermined angle range, for example, around 0 to ± 30 degrees, so that the substrate 5 is sandwiched and supported. A mode in which the support state can be released is possible, and the controller 6637 controls the application of current to the solenoids constituting the actuators 6635 and 6636, that is, is turned on. Since is realized in full control, it has the advantage that control is simple.

上述においては、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を相対的に揺動回転することにより、上記基板５を挟着支持する例について説明したが、実施形態を上記第１および第２の支持部材を構成する複数の突出部を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、上下方向において相対的に接近または離隔して対向間隔が変化するように往復動可能に構成することが可能である。   In the above description, the example in which the substrate 5 is sandwiched and supported by relatively swinging and rotating the first and second support members 661 and 662 has been described. However, the embodiment is described with reference to the first and second embodiments. The first and second comb-like members having a plurality of projecting portions constituting the supporting member are configured to be reciprocable so that the opposing distance changes by relatively approaching or separating in the vertical direction. Is possible.

すなわち上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、直線的駆動機構すなわち往復動駆動機構によって駆動され、往復動するように構成することが可能である。   That is, the first and second comb-like members having a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 constituting the first and second support members 661 and 662 are linear drive mechanisms, that is, reciprocating drive. It can be configured to be driven and reciprocated by a mechanism.

前記直線的駆動機構が、図１２（Ａ）に示されるようにコントローラ６６３８Ｃからの駆動電流に従い第１および第２のソレノイド６６３８Ａ、６６３８Ｂ他の電気的駆動装置の図８中上下方向の駆動力によって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２の少なくとも一方が相対的に接近することにより、上記基板５を挟着して支持するとともに、反転後上記第２の基板搬送機構の上流端において、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２の少なくとも一方がが相対的に離隔することにより、上記基板５の挟着状態を解除するように構成することも可能である。   As shown in FIG. 12 (A), the linear driving mechanism is driven by the driving force in the vertical direction in FIG. At least one of the first and second support members 661 and 662 approaches relatively, thereby sandwiching and supporting the substrate 5, and after reversing, at the upstream end of the second substrate transport mechanism It is also possible to configure such that the sandwiched state of the substrate 5 is released when at least one of the first and second support members 661 and 662 is relatively separated.

また前記直線的駆動機構が、図１２（Ｂ）に示されるように基板支持部材６６１を構成する櫛状部材の複数の突出部の基板５との接触面に上記基板５を吸着する吸着部６６３９を複数形成して、駆動装置としてのポンプＰから供給される流体圧による負圧吸引作用により、上記基板５を吸着または挟着することによって、上記第１および第２の櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板を挟着して支持するように構成することが可能であり、駆動装置としてのポンプや圧力源を工場内の適宜箇所に設置して配管連絡にすれば、基板支持装置の構成をシンプルにして、軽量化および高速化が可能になるという利点を有する。   Further, as shown in FIG. 12 (B), the linear drive mechanism has an adsorbing portion 6639 that adsorbs the substrate 5 to the contact surfaces of the plurality of protruding portions of the comb-like member constituting the substrate supporting member 661 with the substrate 5. Are formed, and the substrate 5 is adsorbed or sandwiched by a negative pressure suction action by a fluid pressure supplied from a pump P as a driving device, so that the first and second comb-shaped members are relative to each other. It is possible to configure the substrate to be sandwiched and supported by approaching to the substrate. If a pump or a pressure source as a driving device is installed at an appropriate place in the factory and communicated with the pipe, There is an advantage that the structure of the support device can be simplified, and the weight can be reduced and the speed can be increased.

また図１２（Ｃ）に示されるように第１および第２の支持部材６６１、６６２の両端に被吸着部と吸着部６６３９を複数形成して、駆動装置としての真空ポンプのような吸引ポンプＰから配管を介して供給される流体圧（負圧）による負圧吸引作用により、被吸着部が上記吸着部６６３９に吸着されることにより、上記第１の支持部材６６１を図中上方に移動させて、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２との間に基板を挟着支持するように構成することが可能であり、駆動装置としてのポンプや圧力源を工場内の適宜箇所に設置して配管連絡にすれば、基板支持装置の構成をシンプルにして、軽量化および高速化が可能になるという利点を有する。上記実施形態は、吸着部による吸引作用により基板を吸着する態様について、説明したが、吐出口からエアーその他の圧力流体を吐出して、その押圧力によって基板５を支持する態様も可能である。   Further, as shown in FIG. 12C, a plurality of sucked portions and sucked portions 6639 are formed at both ends of the first and second support members 661 and 662, and a suction pump P such as a vacuum pump as a driving device is formed. The suctioned part is adsorbed by the adsorbing part 6639 by the negative pressure suction action by the fluid pressure (negative pressure) supplied from the pipe through the pipe, thereby moving the first support member 661 upward in the figure. The substrate can be sandwiched and supported between the first and second support members 661 and 662, and a pump or a pressure source as a driving device is installed at an appropriate place in the factory. By connecting the pipes, there is an advantage that the configuration of the substrate supporting device can be simplified, and the weight can be reduced and the speed can be increased. Although the said embodiment demonstrated the aspect which adsorb | sucks a board | substrate by the attraction | suction effect | action by an adsorption | suction part, the aspect which discharges air and other pressure fluid from a discharge outlet, and supports the board | substrate 5 with the pressing force is also possible.

また偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、図８ないし図１０に示されるように長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１と、上記第１基板搬送機構６１における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部６と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部１６と、上記第１基板搬送機構にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５を支持する基板支持部を備えた基板支持装置６６とを含む偏光フィルムの貼合装置において、上記基板の反転動作を行う基板反転部６７に連結した部材６６０に配設され、上記第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるように構成されている
ものである。 Moreover, the board | substrate support apparatus in the bonding apparatus of a polarizing film is the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 which conveys a rectangular board | substrate in the state where a long side or a short side followed the conveyance direction, as FIG. 8 thru | or FIG. The first bonding unit 6 that bonds the first polarizing film to the lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism 61, and the substrate is transported in a state where the short side or the long side is along the transport direction. The second substrate transport mechanism 62, the second bonding portion 16 that bonds the second polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism, and the first substrate transport mechanism are transported by the first substrate transport mechanism. In a polarizing film laminating apparatus including a substrate supporting apparatus 66 including a substrate supporting part that supports the substrate 5 on which the polarizing film is bonded, a member 660 connected to a substrate reversing part 67 that performs the reversing operation of the substrate. Arranged in the first The first support member 661 and the second support member are moved by relative movement between the first support member 661 and the second support member 662 that enter the end portions of the plate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62. The substrate 5 to which the first polarizing film transported from the first substrate transport mechanism 61 is bonded is supported by being sandwiched between the first support member 661 and the first support member 661. The second support member 662 is supported by being sandwiched between the first support member 661 and the second support member 662 reversed by the substrate reversing unit 67 by the relative movement with the second support member 662. The substrate 5 to which the first polarizing film is bonded is released from the support by sandwiching and is placed on the end portion of the second substrate transport mechanism 62.

さらに偏光フィルムの貼合装置における基板支持機構は、図８ないし図１０に示されるように長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部６と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部１６と、上記第１基板搬送機構６１にて搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持する基板支持部に連結した基板反転部６７の反転動作により、上記基板支持部に支持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構に配置するように構成されている反転機構を含む偏光フィルムの貼合装置において、上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部６７に連結した部材６６０に配設され、上記第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構の端部に載置されるように構成されている。   Furthermore, the board | substrate support mechanism in the bonding apparatus of a polarizing film is the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 which conveys a rectangular board | substrate in the state where a long side or a short side followed the conveyance direction, as FIG. 8 thru | or FIG. The 1st bonding part 6 which bonds the 1st polarizing film to the lower surface of the above-mentioned board in the above-mentioned 1st board transportation mechanism and the above-mentioned board are conveyed in the state where the short side or the long side followed the conveyance direction. 2 substrate conveyance mechanism 62, 2nd bonding part 16 which bonds the 2nd polarizing film to the lower surface of the above-mentioned board in the 2nd substrate conveyance mechanism, and the 1st substrate conveyance mechanism 61 are conveyed, and it is the 1st. The reversing operation of the substrate reversing unit 67 connected to the substrate supporting unit that supports the substrate on which the polarizing film is bonded causes the substrate supported by the substrate supporting unit to be reversed, and the arrangement is changed to change the second substrate. To be placed in the transport mechanism In the polarizing film laminating apparatus including the reversing mechanism, the first substrate transport mechanism 61 and the first substrate transporting mechanism 61 are arranged on a member 660 connected to the substrate reversing unit 67 of the reversing mechanism that performs the reversing operation of the substrate. By the relative movement of the first support member 661 and the second support member 662 entering the end portion of the two-substrate transport mechanism 62, the above-described operation is performed between the first support member 661 and the second support member 662. The substrate 5 on which the first polarizing film transported from the first substrate transport mechanism 61 is bonded is supported by being sandwiched, and the first support member 661 and the second support member 662 are supported. The first polarizing film supported by being sandwiched between the first support member 661 and the second support member 662 reversed by the substrate reversing portion 67 by relative movement with respect to the substrate. Is the substrate 5 pasted, support by the clamping is released, and is adapted to be mounted on an end portion of the second substrate transport mechanisms.

上記偏光フィルムの貼合装置において、上記反転機構が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾き（４０°ないし５０°）で配設された反転軸Ｍまたは反転軸部６８回りに回転して反転動作する基板反転部６７を備えている。   In the polarizing film laminating apparatus, the reversing mechanism rotates around the reversing axis M or the reversing shaft portion 68 disposed at a certain inclination (40 ° to 50 °) with respect to the transport direction of the substrate. A substrate reversing unit 67 that performs a reversing operation is provided.

また上記偏光フィルムの貼合装置において、上記反転軸の前記傾きが、４５°付近（４５°±２°）に設定されているものである。
In the polarizing film laminating apparatus, the inclination of the inversion axis is set to around 45 ° (45 ° ± 2 °).

さらに基板支持装置６６は、図１３ないし図１５に示されるように上記第１基板搬送機構６１としてのコンベアーロール５１０を備える上記第１フィルム搬送機構５１のフィルムおよび基板の搬送方向の下流端部および上記第２基板搬送機構６１としてのコンベアーロール５２０を備える上記第２フィルム搬送機構５２のフィルムおよび基板の搬送方向の上流端部に対して、ガタを考慮しても干渉しないように最小限の一定の間隙を隔てて、反転機構６５の基板反転部６７の反転動作に応じて基板支持部６６１が対向して配置されるように構成されている。   Further, as shown in FIGS. 13 to 15, the substrate supporting device 66 includes a conveyor roll 510 as the first substrate transport mechanism 61 and a downstream end portion in the transport direction of the film and substrate of the first film transport mechanism 51, and A minimum constant constant so as not to interfere with the upstream end portion of the film and substrate transport direction of the second film transport mechanism 52 provided with the conveyor roll 520 as the second substrate transport mechanism 61 even if play is considered. The substrate support portion 661 is arranged so as to face each other according to the reversing operation of the substrate reversing portion 67 of the reversing mechanism 65.

上記基板支持装置６６は、図１３に示されるようにフィルムが貼合された基板より大きなサイズの矩形箱状部材によって構成され、２個の該矩形箱状部材が、１８０度の角度関係で一つのコーナー部が反転軸としての上記第１基板搬送機構６１の搬送方向に対して４５度の角度で配設された回転軸部６８に対して、最も接近する態様で、反転機構６５の基板反転部６７の一端に機械的に結合され、連結されているものである。   As shown in FIG. 13, the substrate support device 66 is constituted by a rectangular box-shaped member having a size larger than that of a substrate to which a film is bonded, and the two rectangular box-shaped members are arranged at an angle of 180 degrees. The substrate reversal of the reversing mechanism 65 is performed in such a manner that the two corners are closest to the rotating shaft 68 disposed at an angle of 45 degrees with respect to the transporting direction of the first substrate transporting mechanism 61 as the reversing axis. It is mechanically coupled and connected to one end of the portion 67.

更にタクトタイムを短縮するために９０度（６０度）の角度関係で回転軸部６８に対して４個（６個）の基板支持装置を配設することも可能である。タクトタイムに余裕が有る場合は、回転軸部６８に対して１個の基板支持装置６６および基板反転部６７を配設する態様も採用可能である。   Furthermore, in order to shorten the tact time, it is possible to arrange four (six) substrate support devices with respect to the rotating shaft portion 68 with an angular relationship of 90 degrees (60 degrees). In the case where there is a sufficient tact time, it is possible to adopt a mode in which one substrate support device 66 and a substrate reversing unit 67 are provided for the rotating shaft portion 68.

すなわち一方の基板支持装置６６が、図１３に示されるように上記第１基板搬送機構６１としてのコンベアーロール５１０を備える上記第１フィルム搬送機構５１のフィルムおよび基板の搬送方向の下流端部に対向して配置されている時には、他方の基板支持装置６６が、上記第２基板搬送機構６１としてのコンベアーロール５２０を備える上記第２フィルム搬送機構５２のフィルムおよび基板の搬送方向の上流端部に対して、対向して配置されるように構成されている。   That is, one substrate support device 66 is opposed to the downstream end of the film and substrate transport direction of the first film transport mechanism 51 provided with a conveyor roll 510 as the first substrate transport mechanism 61 as shown in FIG. When the second substrate support device 66 is disposed in the upstream end of the second film transport mechanism 52 provided with a conveyor roll 520 as the second substrate transport mechanism 61 in the transport direction of the film and the substrate. And are arranged so as to face each other.

上記基板支持装置６６は、図１４に示されるように基板支持装置内に形成され、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が搬送される搬送通路６６２と、該搬送通路６６２に搬送される上記基板５に接触して上記第１フィルム搬送機構５１における基板の搬送方向に沿って搬送を行うように配設された搬送手段としての複数の搬送ロール６６３と、該搬送通路６６２から搬送される上記基板に接触して上記第２フィルム搬送機構５２における基板の搬送方向に沿って搬送を行うように配設された搬送手段としての複数の搬送ロール６６４と、該複数の搬送ロール６６４を上下に移動させることにより、上記搬送通路６６２の基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するとともに、後述する基板反転部６７によって反転された上記基板の挟着状態を解除する基板支持駆動機構６６５とを備えている。   The substrate support device 66 is formed in the substrate support device as shown in FIG. 14, and a transport path 662 for transporting the substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 is provided in the transport path 662. A plurality of transport rolls 663 serving as transport means arranged to contact the transported substrate 5 and transport along the transport direction of the substrate in the first film transport mechanism 51, and from the transport passage 662 A plurality of transport rolls 664 as transport means arranged to contact the transported substrate and transport along the transport direction of the substrate in the second film transport mechanism 52, and the plurality of transport rolls 664 Is moved up and down to sandwich and support the substrate that has reached the substrate support position of the transfer path 662 and is reversed by a substrate reversing unit 67 described later. And and a substrate support and drive mechanism 665 for releasing the clamping state of the substrate.

上記複数の搬送ロール６６３は、回転自在に支持された回転軸６６３０に対して一定間隔で複数の例えば４個のロール６６３が配設され、該回転軸６６３０を一定間隔で複数の例えば３個並設されており、モータその他の回転駆動装置によって、必要に応じて回転連絡手段を介して上記第１の基板搬送機構６１と同期して回転駆動されるように構成されている。回転駆動装置は、上記第１および第２の基板搬送機構用の回転駆動装置を流用して回転連絡手段を介して上記第１の基板搬送機構と同期して回転駆動しても良く、上記第１の基板搬送機構用の回転駆動装置とは別個の回転駆動装置を用いて同一または同様の駆動指令によって、必要に応じて回転連絡手段を介して上記第１の基板搬送機構と同期して回転駆動してもよい。   The plurality of transport rolls 663 are provided with a plurality of, for example, four rolls 663 at regular intervals with respect to a rotation shaft 6630 that is rotatably supported. It is configured to be rotationally driven in synchronization with the first substrate transport mechanism 61 by a motor or other rotational drive device via a rotational communication means as required. The rotation driving device may be driven to rotate in synchronization with the first substrate transport mechanism via the rotation communication means by using the rotation drive devices for the first and second substrate transport mechanisms. Rotating in synchronism with the first substrate transport mechanism via the rotation communication means according to the same or similar drive command using a rotational drive device separate from the rotational drive device for one substrate transport mechanism. It may be driven.

上記複数の搬送ロール６６４は、回転自在に支持された回転軸６６４０に対して一定間隔で複数の例えば３個のロール６６４が配設され、該回転軸６６４０を一定間隔で複数の例えば４個並設されており、モータその他の回転駆動装置によって、必要に応じて回転連絡手段を介して上記第２の基板搬送機構６２と同期して回転駆動されるように構成されている。   The plurality of transport rolls 664 are provided with a plurality of, for example, three rolls 664 at a fixed interval with respect to a rotation shaft 6640 that is rotatably supported. It is configured so as to be driven to rotate in synchronization with the second substrate transport mechanism 62 by a motor or other rotational drive device through a rotational communication means as required.

上記回転駆動装置は、上記第２の基板搬送機構用の回転駆動装置を流用して回転連絡手段を介して上記第２の基板搬送機構と同期して回転駆動しても良く、上記第２の基板搬送機構用の回転駆動装置とは別個の回転駆動装置を用いて同一または同様の駆動指令によって、必要に応じて回転連絡手段を介して上記第２の基板搬送機構と同期して回転駆動してもよい。   The rotation drive device may be driven to rotate in synchronization with the second substrate transfer mechanism via a rotation communication unit by using the rotation drive device for the second substrate transfer mechanism. Using a rotation drive device that is separate from the rotation drive device for the substrate transport mechanism, the same or similar drive command is used to rotate and synchronize with the second substrate transport mechanism via the rotation communication means as necessary. May be.

上記支持駆動機構６６５は、上記複数の搬送ロール６６４が複数配設された回転軸６６４０の両端を軸支する支持部６６４１を、例えば該支持部６６４１に機械的に連結したラックとモータによって回転駆動されるピニオンとから成るラックアンドピニオン機構によって、基板支持指令および基板解除指令に基づき上下に移動させることにより、互いに直交関係に複数配設された複数の第１および第２の搬送ローラ６６３、６６４によって、図１４（Ｃ）に示される上記搬送通路６６２の基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するとともに、反転した上記基板の挟着状態を解除することを可能にするものである。   The support drive mechanism 665 rotates and drives a support portion 6641 that pivotally supports both ends of a rotary shaft 6640 on which a plurality of the plurality of transport rolls 664 are arranged, for example, by a rack and a motor mechanically coupled to the support portion 6641. A plurality of first and second transport rollers 663 and 664 arranged in a perpendicular relationship with each other by being moved up and down based on a substrate support command and a substrate release command by a rack and pinion mechanism including a pinion Thus, the substrate that has reached the substrate support position of the transfer passage 662 shown in FIG. 14C is sandwiched and supported, and the inverted sandwiched state of the substrate can be released. is there.

上記基板支持駆動機構６６５は、上記複数の搬送ロール６６４が複数配設された回転軸を、下方に移動させて上記基板５を挟着して反転後に上方に移動させる例について説明したが、図１４における複数の搬送ロール６６３を上方に移動させて上記基板５を挟着して反転後図１５における上記複数の搬送ロール６６３および複数の搬送ロール６６４をともに上方に移動させて上記基板５の挟着を解除する態様や、複数の搬送ロール６６３および上記複数の搬送ロール６６４の両者を上下に移動させる態様も、複数の搬送ロール６６３および上記複数の搬送ロール６６４を相対的に接近するものであるので、採用可能である。   The substrate support drive mechanism 665 has been described with respect to the example in which the rotation shaft on which the plurality of transport rolls 664 are disposed is moved downward to sandwich the substrate 5 and is moved upward after being inverted. 14, the substrate 5 is sandwiched by moving the plurality of transport rollers 663 upward, and after reversing, the plurality of transport rollers 663 and the plurality of transport rollers 664 in FIG. The mode of releasing the wearing and the mode of moving both the plurality of transport rolls 663 and the plurality of transport rolls 664 up and down also relatively approach the plurality of transport rolls 663 and the plurality of transport rolls 664. So it can be adopted.

また上記基板支持駆動機構６６５は、上述においては、上記複数の搬送ロール６６４が複数配設された回転軸６６４０を上下に移動させることにより、上記搬送通路６６２の基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するとともに、反転した上記基板の挟着状態を解除するようにして、互いに直交する上記複数の搬送ロール６６３および６６４によって、基板を支持する基板支持部材を構成する例について説明したが、上記複数の搬送ロール６６３および６６４とは別に１個または複数の基板支持部材を上記基板支持装置６６内に配設して、例えば図１６（Ａ）に示されるように基板支持部材６６５１を上述と同様に下方に移動させることによりまたは基板支持部材６６５１Ｄを上方に移動させることにより、上記複数の搬送ロール６６３または６６４の一方に対して相対的に接近させることにより、上記基板支持位置に到達した上記基板５を挟着して支持するように構成することも可能である。   Further, in the above description, the substrate support driving mechanism 665 moves the rotating shaft 6640 provided with a plurality of the transport rollers 664 up and down to move the substrate that has reached the substrate support position of the transport path 662. The example in which the substrate support member that supports the substrate is configured by the plurality of transport rolls 663 and 664 orthogonal to each other so as to release the sandwiched state of the inverted substrate while sandwiching and supporting the substrate is described. However, in addition to the plurality of transport rolls 663 and 664, one or more substrate support members are disposed in the substrate support device 66, and the substrate support member 6651 is disposed as shown in FIG. Similarly to the above, by moving the substrate support member 6651D upward, the plurality of transport rollers 6 can be moved. By relatively close to one of the 3 or 664, can be configured to support and clamped to the substrate 5 that has reached to the substrate support position.

さらに図１６（Ｂ）に示されるように２個の基板支持部材６６５２、６６５３の少なくとも一方を上述と同様に下方または上方に移動させることにより、相対的に接近させることにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を２個の基板支持部材６６５２、６６５３によって挟着して支持するように構成することも可能である。   Further, as shown in FIG. 16B, by moving at least one of the two substrate support members 6652 and 6653 downward or upward in the same manner as described above, the substrate is moved closer to the substrate support position. The reached substrate may be sandwiched and supported by two substrate support members 6652 and 6653.

上記基板支持駆動機構６６５は、前記１個または複数の基板支持部材６６５１ないし６６５３が、電気的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成することが可能であるが、図１７（Ａ）に示されるように基板支持部材６６５１ないし６６５３と一体的に形成された一端がソレノイド６６５４内に介挿された突出部材を、電気的入力に基づき磁気的に吸引することにより、基板支持部材６６５１ないし６６５３を図中上方に移動させることにより、反転させる基板５を支持することが可能であり、また図１７（Ｂ）に示されるように基板支持部材６６５１ないし６６５３と一体的に形成された中央部の一端がソレノイド６６５４内に介挿された縦断面形状略Ｅ字状の突出部材を、電気的入力に基づき磁気的に吸引することにより、基板支持部材６６５１ないし６６５３を図中下方に移動させることにより、反転させる基板５を支持することが可能である。   The substrate support drive mechanism 665 sandwiches the substrate that has reached the substrate support position when the one or more substrate support members 6651 to 6653 are relatively approached by the driving force of the electric drive device. Although it can be configured to be attached and supported, as shown in FIG. 17A, one end formed integrally with the substrate support members 6651 to 6653 is inserted into the solenoid 6654 and protruded. The substrate 5 to be reversed can be supported by moving the substrate support members 6651 to 6653 upward in the drawing by magnetically attracting the member based on the electric input, and FIG. ) As shown in FIG. 5A, a vertical cross-sectional shape in which one end of a central portion formed integrally with the substrate support members 6651 to 6653 is inserted in the solenoid 6654 The E-shaped projecting member, by magnetically attracted on the basis of the electrical input, by moving the substrate support member 6651 to 6653 downward in the figure, it is possible to support the substrate 5 to be inverted.

また基板支持駆動機構６６５は、前記１個または複数の基板支持部材６６５１ないし６６５３が、機械的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板５を挟着して支持するように構成することが可能であるが、図１７（Ｃ）に示されるようにバネ部材によって下方に付勢されている基板支持部材６６５１ないし６６５３を、バネ部材６６６２による下方への付勢力に抗して楔状部材６６６１が介挿されることにより、基板支持部材６６５１ないし６６５３と上記搬送通路６６２との間に一定の間隙が形成されており、フィルムが貼合された前記基板が上記搬送通路６６２に配送され、前記基板支持位置に到達すると、フィルムが貼合された前記基板の移動に応ずる揺動部材（図示せず）の揺動により上記楔状部材６６６１が図中右方に後退するため、上記基板支持部材６６５１ないし６６５３がバネ部材６６６２の付勢力によって下方に移動して、前記基板支持位置に到達したフィルムが貼合された前記基板を搬送ロール６６３との間に挟着するように構成され、基板支持装置が基板反転部６７の反転によって反転すると、後退していた上記楔状部材６６６１が再び図中左方に進入して、上記基板支持部材６６５１ないし６６５３をバネ部材の付勢力に抗して上方に移動させることにより、反転した前記基板の挟着を解除して、第２基板搬送機構６２への前記基板の搬送を可能にするものであり、電気的駆動装置を利用する場合に比べて制御および制御装置が不要になるという利点を有する。   Further, the substrate support drive mechanism 665 moves the substrate 5 that has reached the substrate support position by the one or more substrate support members 6651 to 6653 relatively approaching by the driving force of the mechanical drive device. Although it can be configured to be sandwiched and supported, the substrate support members 6651 to 6653 that are biased downward by the spring member as shown in FIG. The wedge-shaped member 6661 is inserted against the urging force to the substrate, so that a certain gap is formed between the substrate support members 6651 to 6653 and the transport passage 662, and the substrate on which the film is bonded is formed. Is delivered to the transport path 662 and reaches the substrate support position, a swing member (not shown) that responds to the movement of the substrate to which the film is bonded. The wedge-shaped member 6661 moves back to the right in the drawing due to the movement, so that the substrate support members 6651 to 6653 are moved downward by the biasing force of the spring member 6662, and the film that has reached the substrate support position is bonded. When the substrate support device is reversed by reversing the substrate reversing unit 67, the wedge-shaped member 6661 that has moved backward again enters the left in the figure. Then, the substrate support members 6651 to 6653 are moved upward against the biasing force of the spring member, thereby releasing the inverted substrate and transporting the substrate to the second substrate transport mechanism 62. Compared to the case of using an electric drive device, the control and the control device are unnecessary.

上記楔状部材６６６１は、反転された基板５を基板支持装置６６内から第２基板搬送機構６２への搬送経路に対しては、オフセットして配設されており、 基板の搬送の障害にはならないように構成されている。   The wedge-shaped member 6661 is disposed so as to be offset with respect to the transport path from the inside of the substrate support device 66 to the second substrate transport mechanism 62, and does not hinder the transport of the substrate. It is configured as follows.

さらに基板支持駆動機構６６５は、前記１個または複数の基板支持部材６６５１ないし６６５３が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着、圧着または挟着することによって、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するように構成することが可能であるが、図１７（Ｄ）に示されるように前記１個または複数の基板支持部材６６５１ないし６６５３に対して連結部材６６５６を介して連結するピストン６６５７が介挿されたシリンダ６６５８の左右の部屋へのポンプからの２方向切替弁６６５９を介してエアー、水、油圧その他の流体の供給または排出によるシリンダ６６５８内ピストン６６５７の上下動に応じて、上記基板支持部材６６５１ないし６６５３を上方または下方に移動して、前記基板支持位置に到達したフィルムが貼合された前記基板を搬送ロール６６３との間に挟着するとともに、挟着状態を解除することが可能である。   Further, the substrate support drive mechanism 665 reaches the substrate support position by adsorbing, pressing, or clamping the one or more substrate support members 6651 to 6653 by the action of fluid pressure supplied from the drive device. However, as shown in FIG. 17D, a connecting member 6656 can be attached to the one or more substrate supporting members 6651 to 6653. The piston 6657 in the cylinder 6658 is vertically moved by supplying or discharging air, water, hydraulic pressure or other fluids via a two-way switching valve 6659 from the pump to the left and right chambers of the cylinder 6658 in which the piston 6657 connected thereto is inserted. In response to the movement, the substrate support members 6651 to 6653 are moved upward or downward to reach the substrate support position. Together with the substrate film was stuck was that sandwiched between the transport roll 663, it is possible to release the clamping state.

また支持駆動機構６６５は、上記基板支持部材によって挟着することなく、エアーその他の流体による負圧による前記基板支持部材としての吸着部への吸着またはエアーその他の流体による押圧力によって前記基板支持部材としての押圧部への押圧によって基板を支持するようにすることも可能であり、圧力源を工場内の適宜箇所に配置して、上記回転軸部６８および基板反転部６７を介して流体の供給を可能にすれば、上記基板支持装置内に上記吸着部または押圧部を前記基板支持部材に形成するただけでよいため、上記基板支持装置の構成をシンプルにして、上記基板支持装置の軽量化を可能にするとともに、上記基板支持装置の高速回転およびタクトタイムの短縮を可能にするものである。
Further, the support driving mechanism 665 is not sandwiched by the substrate support member, but is adsorbed to the suction portion as the substrate support member by a negative pressure by air or other fluid or pressed by the air or other fluid by the substrate support member. It is also possible to support the substrate by pressing the pressing portion, and by supplying the fluid via the rotating shaft portion 68 and the substrate reversing portion 67 by arranging a pressure source at an appropriate place in the factory. If this is possible, it is only necessary to form the suction portion or the pressing portion on the substrate support member in the substrate support device, so that the configuration of the substrate support device is simplified and the substrate support device is reduced in weight. As well as enabling high-speed rotation and shortening of the tact time of the substrate support apparatus.

上記構成より成る本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記基板支持装置６６が、上記基板の反転動作を行う基板反転部６７に連結した部材６６０に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、挟着されることによって支持されるとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるものであるので、シンプルな構成によって、上記第１基板搬送機構６１によって搬送された上記基板５が、上記第１基板搬送機構６１の端部に進入した上記第１の支持部材６６１および第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって、確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記基板反転部６７による上記基板の反転を可能にするとともに、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された上記基板が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   The substrate support device in the substrate transport mechanism of the present embodiment having the above-described configuration is configured such that the substrate support device 66 is disposed on the member 660 connected to the substrate reversing unit 67 that performs the substrate reversing operation, and the rectangular substrate is long. Ends of the first substrate transport mechanism 61 that transports the side or short side along the transport direction and the second substrate transport mechanism 62 that transports the substrate along the short side or long side along the transport direction From the first substrate transport mechanism 61 between the first support member 661 and the second support member 662 due to the relative movement of the first support member 661 and the second support member 662 entering the portion. The transported substrate 5 is supported by being sandwiched, and is reversed by the substrate reversing unit 67 by the relative movement of the first support member 661 and the second support member 662. The substrate 5 supported by being sandwiched between the first support member 661 and the second support member 662 is released from the support by the sandwich, and the end of the second substrate transport mechanism 62 is released. The first support member 661 having the substrate 5 transported by the first substrate transport mechanism 61 enters the end of the first substrate transport mechanism 61 with a simple configuration. And the second support member 662, the substrate is reversed and the substrate reversing portion 67 can be reversed, and the substrate reversing portion 67 is supported. The substrate supported by being sandwiched between the first support member 661 and the second support member 662 reversed by the second support is released, and the second substrate transporter is released. By being placed on the end of 62, the effect of allowing the transport of the substrate in the second substrate transport mechanism 62.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記第１基板搬送機構６１の端部における幅方向の複数の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入することにより、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構６２の端部における搬送方向の複数の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入して、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   In addition, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present embodiment includes a plurality of portions formed between adjacent portions of the plurality of divided portions 61A, 61B, 61C, 61D in the width direction at the end of the first substrate transport mechanism 61. When the plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-like members constituting the first and second support members 661 and 662 enter the gap, the first and second support members 661 and 662 enter the first and second support members 661 and 662, respectively. The substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 is reliably supported by being sandwiched between the plurality of protrusions of the second comb-shaped member, and the above The first and second inverted portions are formed in a plurality of gaps formed between adjacent portions of the plurality of divided portions 62A, 62B, 62C, 62D in the transport direction at the end of the second substrate transport mechanism 62. The plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-shaped members constituting the holding members 661 and 662 enter, and the support by the sandwiching of the inverted substrate is released, and the second By being placed on the end portion of the substrate transport mechanism 62, the second substrate transport mechanism 62 can transport the substrate.

さらに本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記第１基板搬送機構６１の端部における幅方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が、一部を支点として一定角度範囲において揺動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構６２の端部における搬送方向の複数の分割部分の隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、一部を支点として一定角度範囲において揺動することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present embodiment is configured such that the first substrate transport mechanism 61 includes the first substrate in a plurality of gaps formed between adjacent portions of the plurality of divided portions in the width direction at the end of the first substrate transport mechanism 61. And a plurality of protrusions of the first and second comb-like members constituting the second support members 661 and 662 enter, and a plurality of protrusions 6611 of at least one of the first and second comb-like members enters. ˜6613, 6621 to 6623 are swung in a certain angle range with a part as a fulcrum, so that the substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 is made of the first and second comb-shaped members. Between the adjacent portions of the plurality of divided portions in the transport direction at the end of the second substrate transport mechanism 62 while having the effect of being reliably supported by being sandwiched between the plurality of protrusions. Formation The plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the inverted first and second support members 661 and 662 enter the plurality of gaps, and at least one of the first and second The plurality of projecting portions of the second comb-shaped member swing within a certain angle range with a part as a fulcrum, thereby releasing the support by sandwiching the inverted substrate, and the end of the second substrate transport mechanism 62 By being placed on the part, the second substrate transport mechanism 62 can transport the substrate.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が、上記揺動駆動機構６６９１、６６９２によって揺動駆動されることにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板５の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present embodiment includes the first and second first and second support members provided with the plurality of projecting portions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 constituting the first and second support members 661 and 662. When the comb-like member is driven to swing by the swing drive mechanisms 6691 and 6692, the substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 becomes a plurality of the first and second comb-shaped members. The protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 are securely supported by being sandwiched between the protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623, and the support by the sandwiching of the inverted substrate 5 is released, so that the second substrate transport is performed. By being placed on the end of the mechanism 62, the second substrate transport mechanism 62 can transport the substrate 5.

さらに本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記揺動駆動機構を構成する上記第１の揺動駆動機構６６９１が、上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１の櫛状部材を揺動駆動するとともに、上記揺動駆動機構を構成する第２の揺動駆動機構６６９２が、第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部を備えた上記第２の櫛状部材を揺動駆動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板の搬送を可能にするという効果を奏する。   Further, in the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present embodiment, the first swing drive mechanism 6691 that constitutes the swing drive mechanism has a plurality of protrusions 6611 to 6613 that constitute the first support member 661. , 6621 to 6623, and the second oscillating drive mechanism 6692 that constitutes the oscillating drive mechanism includes a plurality of components that constitute the second support member 662. The substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 is driven by swinging and driving the second comb-shaped member having the projecting portion, so that the plurality of projecting portions of the first and second comb-shaped members are projected. The second substrate transporter has the effect of being securely supported by being sandwiched between the portions 6611 to 6613 and 6621 to 6623, and the support by the sandwiching of the inverted substrate is released. By being placed on the end of 62, the effect of allowing the transport of the substrate in the second substrate transport mechanism 62.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記揺動駆動機構は、揺動駆動源６６９０と、上記揺動駆動源からの揺動駆動力を上記第１クラッチ手段６６３３を介して上記第１の支持部材６６１を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３を備えた上記第１の櫛状部材に伝達して揺動駆動するとともに、上記揺動駆動源６６９０からの揺動駆動力を上記第２クラッチ手段６６３４を介して上記第２の支持部材６６２を構成する複数の突出部６６２１〜６６２３を備えた上記第２の櫛状部材に伝達して揺動駆動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板５の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present embodiment is such that the swing drive mechanism includes the swing drive source 6690 and the swing drive force from the swing drive source via the first clutch means 6633. The first driving member 661 is transmitted to the first comb-like member having a plurality of projecting portions 6611 to 6613 and is driven to swing, and the swing driving force from the swing driving source 6690 is applied to the first comb member. By transmitting to the second comb-like member having a plurality of protrusions 6621 to 6623 constituting the second support member 662 via the second clutch means 6634, the first substrate is oscillated and driven. The substrate 5 transported from the transport mechanism 61 has the effect of being reliably supported by being sandwiched between the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members, and reversed. Above group 5 the support by clamping is released, an effect that by being mounted on an end portion of the second substrate transfer mechanism 62, to allow transport of the substrate 5 in the second substrate transport mechanism 62.

さらに本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記第１基板搬送機構６１の端部における幅方向の複数の分割部分６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が介挿進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、上下方向において相対的に接近することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第２基板搬送機構６２の端部における搬送方向の複数の分割部分６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄの隣合う部分の間に形成された複数の間隙に、反転した上記第１および第２の支持部材６１、６２を構成する第１および第２の櫛状部材の複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３が進入して、少なくとも一方の上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部が、上下方向において相対的に離隔することにより、反転した上記基板の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present embodiment is formed by a plurality of portions formed between adjacent portions of the plurality of divided portions 61A, 61B, 61C, 61D in the width direction at the end of the first substrate transport mechanism 61. A plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-like members constituting the first and second support members 661 and 662 are inserted into the gap, and at least one of them is inserted. When the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members relatively approach in the vertical direction, the substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 is moved to the first and second substrates. A plurality of divided portions in the transport direction at the end portion of the second substrate transport mechanism 62, with the effect of being securely supported by being sandwiched between the plurality of protrusions of the comb-shaped member A plurality of first and second comb-shaped members constituting the inverted first and second support members 61, 62 in a plurality of gaps formed between adjacent portions of 2A, 62B, 62C, 62D The protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 enter, and the plurality of protrusions of at least one of the first and second comb-like members are relatively separated from each other in the vertical direction, so that the substrate is inverted. The support by the pinching is released and placed on the end portion of the second substrate transport mechanism 62, so that the substrate 5 can be transported by the second substrate transport mechanism 62.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、上記直線的駆動機構６６３８Ａ、Ｂによって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する複数の突出部６６１１〜６６１３、６６２１〜６６２３を備えた上記第１および第２の櫛状部材が直線駆動され、往復動することにより、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、上記第１および第２の櫛状部材の複数の突出部との間に挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、反転した上記基板５の挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されることによって、上記第２基板搬送機構６２における上記基板５の搬送を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus in the substrate transport mechanism of the present embodiment has a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 constituting the first and second support members 661 and 662 by the linear drive mechanisms 6638A and 6638. The first and second comb-shaped members having the above-mentioned first and second comb-shaped members are linearly driven and reciprocated, so that the substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 becomes the first and second comb-shaped members. And the support of the inverted substrate 5 is released, and the end portion of the second substrate transport mechanism 62 is released. As a result, the second substrate transport mechanism 62 can transport the substrate 5.

さらに本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、前記直線的駆動機構が、電気的駆動装置６６３８Ａ、Ｂの駆動力によって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板５を挟着して支持するものであるので、駆動指令に基づく上記電気的駆動装置の駆動力によって、上記基板を挟着して支持する制御を容易に実現にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present embodiment is such that the linear drive mechanism forms the first and second support members 661 and 662 by the driving force of the electrical drive devices 6638A and 6638B. Since the substrate 5 is sandwiched and supported when the members relatively approach, control for sandwiching and supporting the substrate is performed by the driving force of the electrical drive device based on the drive command. It has the effect of being easily realized.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持装置は、前記直線的駆動機構が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着または挟着することによって、上記第１および第２の支持部材６６１、６６２を構成する櫛状部材が相対的に接近することにより、上記基板５を挟着して支持するものであるので、流体圧を供給する駆動装置を上記前記基板支持部材とは別に配置することにより、上記前記基板支持部材の構成をシンプルにして、軽量化を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support device in the substrate transport mechanism of the present embodiment is configured such that the linear drive mechanism is adsorbed or pinched by the action of fluid pressure supplied from the drive device, whereby the first and second support members described above are used. Since the comb-like members constituting 661 and 662 are relatively close to each other, the substrate 5 is sandwiched and supported, and therefore a driving device for supplying fluid pressure is disposed separately from the substrate support member. By doing so, the structure of the said board | substrate support member is simplified and there exists an effect of enabling weight reduction.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記基板の反転動作を行う基板反転部６７に連結した部材６６０に配設され、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が挟着されることによって確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるものであるので、上記基板支持部材のベース部材６６０に連結した上記基板反転部６７によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部への上記基板反転部６７の反転動作および上記第２貼合部１６による第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support apparatus in the polarizing film laminating apparatus of this embodiment is disposed on the member 660 connected to the substrate reversing unit 67 that performs the reversing operation of the substrate, and the long side or the short side of the rectangular substrate is the transport direction. The first substrate transport mechanism 61 that transports the substrate in a state along the first and the second substrate transport mechanism 62 that transports the substrate with the short side or the long side along the transport direction. The first polarized light transported from the first substrate transport mechanism 61 between the first support member 661 and the second support member 662 by the relative movement of the support member 661 and the second support member 662. The substrate 5 having the film bonded thereon is reliably supported by being sandwiched, and the substrate is moved by the relative movement between the first support member 661 and the second support member 662. Anti The substrate 5 to which the first polarizing film supported by being sandwiched between the first support member 661 and the second support member 662 inverted by the portion 67 is bonded is sandwiched The first polarizing film is released by the substrate inversion portion 67 connected to the base member 660 of the substrate support member. The reversing operation of the substrate reversing part 67 to the end of the second substrate transport mechanism 62 that transports the bonded substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction, and the second pasting. There exists an effect that the bonding of the 2nd polarizing film by joint part 16 is enabled.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記基板の反転動作を行う上記反転機構の基板反転部６７に連結した部材６６０に配設され、上記第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２の端部に進入する第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との相対的移動によって、上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に上記第１基板搬送機構６１から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着されることによって支持されるので、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が確実に支持されるという効果を奏するとともに、上記第１の支持部材と第２の支持部材との相対的移動によって、上記基板反転部６７によって反転された上記第１の支持部材６６１と第２の支持部材６６２との間に挟着されることによって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５が、挟着による支持が解除され、上記第２基板搬送機構６２の端部に載置されるので、上記基板支持部材６６０に連結した上記基板反転部６７によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２の端部への上記基板反転部６７の反転動作および上記第２貼合部１６における第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support device in the polarizing film laminating device of the present embodiment is disposed on a member 660 connected to the substrate reversing unit 67 of the reversing mechanism that performs the reversing operation of the substrate, and the first substrate transport mechanism 61 and Due to the relative movement of the first support member 661 and the second support member 662 entering the end portion of the second substrate transport mechanism 62, the first support member 661 and the second support member 662 are interposed between the first support member 661 and the second support member 662. Since the substrate 5 on which the first polarizing film transported from the first substrate transport mechanism 61 is bonded is supported by being sandwiched, the substrate 5 on which the first polarizing film is bonded. The first support member 661 and the second support member 661 reversed by the substrate reversing portion 67 by the relative movement of the first support member and the second support member. Support The substrate 5 to which the first polarizing film supported by being sandwiched between the members 662 is bonded is released from the support by the sandwiching, and is placed on the end portion of the second substrate transport mechanism 62. Therefore, the substrate reversing part 67 connected to the substrate support member 660 causes the substrate 5 on which the first polarizing film is bonded to be in a state where the short side or the long side is along the transport direction. Thus, there is an effect that the reversing operation of the substrate reversing unit 67 to the end of the second substrate transporting mechanism 62 that transports the second polarizing film in the second bonding unit 16 is enabled.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部６７が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿ってオフセットした位置において短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, as for the board | substrate support apparatus in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment, the said board | substrate inversion part 67 with which the said inversion mechanism which the said bonding apparatus of a polarizing film contains is equipped with the fixed inclination with respect to the conveyance direction of the said board | substrate. Since the reversing operation is performed by rotating around the disposed reversing axis, the substrate reversing portion is rotated once around the reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate. By the operation, it is possible to change the direction of the short side and the long side at a position offset along the transport direction of the substrate on which the first polarizing film is bonded, and to shorten the tact time. Play.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置は、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部６７が、上記基板の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿ってオフセットした位置において短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。
Moreover, as for the board | substrate support apparatus in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment, the said board | substrate inversion part 67 with which the said inversion mechanism which the said polarizing film bonding apparatus contains is 45 degrees inclination with respect to the conveyance direction of the said board | substrate. The substrate reversing unit rotates around the reversing axis disposed at an inclination of 45 ° with respect to the transport direction of the substrate. By the reversing operation, the direction of the short side and the long side can be changed at the position offset along the transport direction of the substrate on which the first polarizing film is bonded, and the tact time can be shortened. There is an effect.

また次の本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記基板支持装置６６の上記搬送手段６６３、６６４によって、長方形の基板５を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５が、基板支持装置内の搬送通路６６２において搬送されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材によって搬送され基板支持位置に到達した上記基板５が支持されるものであるので、上記第１基板搬送機構６１において搬送された上記基板５を、上記第１基板搬送機構６１から基板支持装置６６内の搬送通路６６２を介して上記基板支持位置まで確実かつ滑らかに搬送することが可能であり、少なくとも１個の上記基板支持部材６６３、６６４、６６５１ないし６６５３によって、基板支持位置に到達した上記基板が確実に支持されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材に連結した上記基板反転部６７によって、上記基板５を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２への反転動作を可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the next embodiment is configured such that the long side or the short side of the rectangular substrate 5 is along the transport direction by the transport means 663 and 664 of the substrate support apparatus 66. The substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 transported in a state of being transported is transported in a transport path 662 in the substrate support apparatus and transported by at least one of the substrate support members. Therefore, the substrate 5 transported by the first substrate transport mechanism 61 is transferred from the first substrate transport mechanism 61 via the transport passage 662 in the substrate support device 66. It is possible to reliably and smoothly convey the substrate to the substrate support position, and at least one of the substrate support members 663, 664, 6651 to 66 is provided. 3, the substrate that has reached the substrate support position is reliably supported, and the substrate reversing unit 67 connected to at least one substrate support member is used to make the substrate 5 shorter or longer. There is an effect of enabling the reversing operation to the second substrate transport mechanism 62 that transports in a state along the transport direction.

また本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記搬送手段の上記第１の搬送手段６６３によって、上記第１基板搬送機構６１において搬送された上記基板５を、上記基板支持装置６６内の搬送通路６６２において上記第１基板搬送機構６１に沿った方向にて上記基板５を搬送するものであり、基板支持位置に到達した上記基板５が、少なくとも１個の基板支持部材の一方６６ａ、６６ｂによって確実に支持されるととも、上記第２基板搬送機構６２に沿った方向にて上記基板５を搬送する第２の搬送手段６６４によって、上記基板支持装置６６内の搬送通路６６２において上記基板反転部６７によって反転された上記基板５を上記第２基板搬送機構６２に沿った方向にて搬送することにより、上記基板支持装置６６内から反転された上記基板５を上記第２基板搬送機構６２へ確実かつ滑らかに搬送することを可能にするという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus provided with the transfer means in the substrate transfer mechanism of the present embodiment is configured such that the substrate 5 transferred in the first substrate transfer mechanism 61 is transferred to the substrate by the first transfer means 663 of the transfer means. The substrate 5 is transported in a direction along the first substrate transport mechanism 61 in the transport path 662 in the support device 66, and the substrate 5 that has reached the substrate support position is at least one substrate support member. The second transport means 664 transports the substrate 5 in the direction along the second substrate transport mechanism 62 while being reliably supported by one of the first and second 66a and 66b. In 662, the substrate supporting device is transported by transporting the substrate 5 reversed by the substrate reversing unit 67 in a direction along the second substrate transporting mechanism 62. The substrate 5, which is inverted from the inside 6 is an effect that makes it possible to convey reliably and smoothly into the second substrate transport mechanism 62.

さらに本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、前記２個の基板支持部材６６３、６６４、６６５２、６６５３が、上記基板５が上記基板支持位置に到達すると、相対的に接近することにより上記基板５を挟着して支持するので、前記２個の基板支持部材による相対的な接近によって上記基板の両面を挟着することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板５を確実に支持するという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the present embodiment is such that the two substrate support members 663, 664, 6652, 6653 are relatively moved when the substrate 5 reaches the substrate support position. Since the substrate 5 is sandwiched and supported by approaching, the substrate 5 that has reached the substrate support position by sandwiching both surfaces of the substrate by relative approach by the two substrate support members. There is an effect of reliably supporting.

また本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記第１および第２の搬送手段を構成する互いに直交関係に複数配設され、上記駆動装置によって上記第１および第２の基板搬送機構６１、６２と同期して回転駆動された上記第１および第２の搬送ローラ６６３、６６４によって、上記基板支持装置６６内の搬送通路６６２において上記第１基板搬送機構６１に沿った方向にて上記基板５を同期して搬送するとともに、上記基板支持装置６６内の搬送通路において上記第２基板搬送機構６２に沿った方向にて上記基板を同期して搬送することが出来るので、上記第１基板搬送機構６１から搬送された上記基板５に対して回転差による不要な力を作用させること無く、上記基板支持装置６６内の搬送通路６６２において滑らかに搬送されるとともに、上記基板支持装置６６内の搬送通路６６２から搬送された上記基板５に対して回転差による不要な力を作用させること無く、上記第２基板搬送機構６２において滑らかに且つ基板５および偏向フィルムの変形および破損を発生させること無く搬送されるという効果を奏する。   Further, a plurality of substrate supporting devices provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present embodiment are arranged in an orthogonal relationship to constitute the first and second conveying means, and the first and second are driven by the driving device. The first and second transport rollers 663 and 664 that are rotationally driven in synchronism with the substrate transport mechanisms 61 and 62 are moved along the first substrate transport mechanism 61 in the transport path 662 in the substrate support device 66. Since the substrate 5 can be transferred synchronously in the direction, and the substrate can be transferred synchronously in the direction along the second substrate transfer mechanism 62 in the transfer path in the substrate support device 66. The substrate 5 transported from the first substrate transport mechanism 61 is moved in the transport path 662 in the substrate support device 66 without applying unnecessary force due to a difference in rotation. The second substrate transport mechanism 62 is smoothly transported without causing unnecessary force due to a rotation difference to be applied to the substrate 5 transported from the transport passage 662 in the substrate support device 66. There is an effect that the substrate 5 and the deflecting film are transported without causing deformation and breakage.

さらに本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記第１または第２の搬送ローラ６６３、６６４の少なくともいずか一方が相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板５を挟着して支持するように構成され、上記基板支持部材としても機能するので、上記第１または第２の搬送ローラ６６３、６６４とは別に上記基板支持部材を設けることを不要にするので、構成をシンプルして、軽量化を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate support apparatus provided with the transfer means in the substrate transfer mechanism of the present embodiment has the substrate support position when at least one of the first or second transfer rollers 663 and 664 approaches relatively. Since the substrate 5 that has reached the position is supported by being sandwiched and functions also as the substrate support member, the substrate support member is provided separately from the first or second transport rollers 663 and 664. This eliminates the need for a simple structure and enables weight reduction.

また本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記第１または第２の搬送ローラ６６３、６６４の一方に対して、上記基板支持部材６６５１、が相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するものであるので、上記基板を挟着するための上記第１または第２の搬送ローラの相対的な接近を不要にして、上記第１または第２の搬送ローラを含む搬送手段の構成をシンプルにして信頼性を高めることが出来るという効果を奏する。   Further, in the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present embodiment, the substrate supporting member 6651 is relatively close to one of the first or second conveying rollers 663 and 664. Thus, the substrate that has reached the substrate support position is sandwiched and supported, so that the relative approach of the first or second transport roller for sandwiching the substrate is unnecessary, The structure of the conveying means including the first or second conveying roller is simplified, and the reliability can be improved.

さらに本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記少なくとも１個の基板支持部材６６５１、６６５２、６６５３が、電気的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板を挟着して支持するものであるので、駆動指令に基づく電気的駆動装置の駆動力によって、上記基板を挟着して支持する制御を容易に実現するとともに、制御ロジックまたは制御プログラムに応じて高度で複雑な制御も可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the substrate supporting apparatus provided with the conveying means in the substrate conveying mechanism of the present embodiment is such that the at least one substrate supporting member 6651, 6652, 6653 is relatively approached by the driving force of the electric driving device. Since the substrate that has reached the substrate support position is sandwiched and supported, control for sandwiching and supporting the substrate is easily realized by the driving force of the electric drive device based on the drive command. In addition, there is an effect that advanced and complicated control is possible according to the control logic or the control program.

また本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記少なくとも１個の基板支持部材６６５１、６６５２、６６５３が、機械的駆動装置の駆動力によって、相対的に接近することにより、上記基板支持位置に到達した上記基板５を挟着して支持するものであるので、複雑な制御をすることなく機械的駆動装置の駆動力に基づき機械的な機構によって、上記基板を挟着して支持を容易かつ確実に実現するという効果を奏する。   Further, the substrate support apparatus provided with the transfer means in the substrate transfer mechanism of the present embodiment is such that the at least one substrate support member 6651, 6652, 6653 is relatively approached by the driving force of the mechanical drive device. Since the substrate 5 that has reached the substrate support position is sandwiched and supported, the substrate is sandwiched by a mechanical mechanism based on the driving force of the mechanical drive device without complicated control. As a result, the effect of realizing the support easily and reliably is achieved.

さらに本実施形態の基板搬送機構における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記少なくとも１個の基板支持部材６６５１、６６５２、６６５３が、駆動装置から供給される流体圧の作用により、吸着、圧着または挟着することによって、上記基板支持位置に到達した上記基板５を挟着して支持するものであるので、流体圧を供給する駆動装置を上記前記基板支持部材とは別の適宜部位に配置することにより、上記前記基板支持部材の構成をシンプルにして、軽量化、高速回転、製造ラインのタクトタイムの短縮を可能にするという効果を奏する。   Further, in the substrate support apparatus provided with the transport means in the substrate transport mechanism of the present embodiment, the at least one substrate support member 6651, 6652, 6653 is adsorbed, pressed or bonded by the action of the fluid pressure supplied from the driving device. By sandwiching, the substrate 5 that has reached the substrate support position is sandwiched and supported, and therefore, a driving device that supplies fluid pressure is disposed at an appropriate portion different from the substrate support member. As a result, the structure of the substrate support member is simplified, and it is possible to reduce the weight, rotate at high speed, and shorten the tact time of the production line.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記基板支持装置の上記搬送手段によって、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構から搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材によって搬送され基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が支持されるものであるので、上記第１基板搬送機構において搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を、上記第１基板搬送機構から基板支持装置内の搬送通路を介して上記基板支持位置まで確実かつ滑らかに搬送することが可能であり、少なくとも１個の上記基板支持部材によって、基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が確実に支持されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材に連結した上記基板反転部によって、第１の偏光フィルムが上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構への上記基板反転部の反転動作および上記第２貼合部による第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Moreover, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment is a state in which the long side or the short side was along the conveyance direction by the said conveyance means of the said board | substrate support apparatus. The substrate transported from the first substrate transport mechanism to be transported and bonded with the first polarizing film is transported in a transport path in the substrate support device and transported by at least one of the substrate support members. Since the substrate on which the first polarizing film that has reached the support position is bonded is supported, the substrate on which the first polarizing film transferred in the first substrate transfer mechanism is bonded, It is possible to reliably and smoothly transport from the first substrate transport mechanism to the substrate support position through a transport path in the substrate support apparatus, and at least one of the substrate supports. The member securely supports the substrate on which the first polarizing film that has reached the substrate support position is bonded, and the first polarization unit by the substrate inversion unit connected to at least one of the substrate support members. Reversing operation of the substrate reversing unit to the second substrate transporting mechanism for transporting the substrate with the substrate in a state where the short side or the long side of the substrate is along the transporting direction, and the second polarization by the second bonding unit There is an effect that the film can be bonded.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記基板支持装置の上記搬送手段によって、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構から搬送され第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が、基板支持装置内の搬送通路において搬送されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材によって搬送され基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が支持されるものであるので、上記第１基板搬送機構において搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を、上記第１基板搬送機構から基板支持装置内の搬送通路を介して上記基板支持位置まで確実かつ滑らかに搬送することが可能であり、少なくとも１個の上記基板支持部材によって、基板支持位置に到達した第１の偏光フィルムが貼合された上記基板が確実に支持されるとともに、少なくとも１個の上記基板支持部材に連結した上記基板反転部によって、第１の偏光フィルムが上記基板を上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構への上記反転機構の上記基板反転部の反転動作および上記第２貼合部による第２の偏光フィルムの貼合を可能にするという効果を奏する。   Furthermore, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment is a state in which the long side or the short side followed the conveyance direction by the said conveyance means of the said board | substrate support apparatus. The substrate transported from the first substrate transport mechanism to be transported and bonded with the first polarizing film is transported in a transport path in the substrate support device and transported by at least one of the substrate support members. Since the substrate on which the first polarizing film that has reached the support position is bonded is supported, the substrate on which the first polarizing film transferred in the first substrate transfer mechanism is bonded, It is possible to reliably and smoothly transport from the first substrate transport mechanism to the substrate support position via a transport path in the substrate support apparatus, and at least one of the substrates The holding member securely supports the substrate on which the first polarizing film that has reached the substrate support position is bonded, and the substrate reversing unit connected to at least one of the substrate support members provides the first The reversing operation of the substrate reversing portion of the reversing mechanism and the second bonding portion to the second substrate transporting mechanism, in which the polarizing film transports the substrate with the short side or the long side along the transport direction. There exists an effect of enabling bonding of the 2nd polarizing film by.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記偏光フィルムの貼合装置を含み、上記反転機構が備える上記基板反転部６７が、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、製造ラインのタクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Moreover, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment contains the said polarizing film bonding apparatus, and the said board | substrate inversion part 67 with which the said inversion mechanism is provided is in the conveyance direction of the said board | substrate. On the other hand, the substrate reversing operation is performed by rotating around the reversing axis arranged at a certain inclination, and therefore the substrate reversing rotating around the reversing axis arranged at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate. The one-time reversing operation can change the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate on which the first polarizing film is bonded, and shorten the tact time of the production line. There is an effect that can be.

さらに本実施形態の貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置は、上記偏光フィルムの貼合装置が含む上記反転機構が備える上記基板反転部６７が、上記基板５の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一回の反転動作により、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、製造ラインのタクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。
Furthermore, the board | substrate support apparatus provided with the conveyance means in the bonding apparatus of this embodiment WHEREIN: The said board | substrate inversion part 67 with which the said inversion mechanism with which the said polarizing film bonding apparatus is equipped is 45 with respect to the conveyance direction of the said board | substrate 5. The substrate reversing portion that rotates around the reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate 5 because it rotates around the reversing axis disposed at an inclination of °. 67. By one reversing operation, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 on which the first polarizing film is bonded can be changed, and the tact time of the production line can be shortened. There is an effect that can be done.

＜反転機構＞
反転機構６５は、短辺または長辺が搬送方向に沿った基板５を、長辺または短辺が搬送方向に沿った状態であり、反転された状態に配置を変更するものである。図４（ａ）〜（ｃ）は反転機構６５によって基板５を反転させる過程を示す斜視図である。 <Reversing mechanism>
The reversing mechanism 65 changes the arrangement of the substrate 5 whose short side or long side is along the transport direction to a state where the long side or short side is along the transport direction and reversed. 4A to 4C are perspective views illustrating a process of reversing the substrate 5 by the reversing mechanism 65. FIG.

図４（ａ）は、第１基板搬送機構によって搬送された基板５を吸着支持している状態を示す。図４（ｂ）は基板５を反転移動させる過程を示し、図４（ｃ）は基板５を反転機構によって反転させた状態を示している。なお、図示の便宜上、図４では第１基板搬送機構および第２基板搬送機構を省略しているが、図５を用いて後述する。   FIG. 4A shows a state where the substrate 5 transported by the first substrate transport mechanism is sucked and supported. FIG. 4B shows a process of reversing the substrate 5, and FIG. 4C shows a state where the substrate 5 is reversed by the reversing mechanism. For convenience of illustration, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are omitted in FIG. 4, but will be described later with reference to FIG.

図４（ａ）に示すように、反転機構６５は基板反転部６７および昇降部６８を備えている。   As shown in FIG. 4A, the reversing mechanism 65 includes a substrate reversing unit 67 and a lifting unit 68.

基板反転部６７は、上述した基板支持装置の基板支持部としての吸着部６６に連結されており、吸着部６６および昇降部６８を繋ぐように形成されている。基板反転部６７は、反転軸Ｍを軸として回転することにより基板５を反転させるものである。図４（ａ）において基板反転部６７の昇降部６８側は、基板５に向かって、反転軸Ｍに対して垂直な方向へ伸びた形状となっている。さらに、基板反転部６７の吸着部６６側は、第１基板搬送機構における基板５の中心を通り、基板５の長辺（搬送方向）に平行な直線に沿って約４０°屈曲した形状となっている。図４（ａ）に示す基板反転部６７の形状は一例にすぎず、当該形状に限定されるものではない。他の形状としては例えば、基板反転部６７のように屈曲している代わりに、昇降部６８側から吸着部６６側へ湾曲している形状とすることもできる。また、ロボットアームのように複数の可動部を有する構造を採用してもよい。   The substrate reversing unit 67 is connected to the suction unit 66 as the substrate support unit of the above-described substrate support apparatus, and is formed so as to connect the suction unit 66 and the lifting unit 68. The substrate reversing unit 67 reverses the substrate 5 by rotating around the reversing axis M. In FIG. 4A, the lifting / lowering portion 68 side of the substrate reversing portion 67 has a shape extending toward the substrate 5 in a direction perpendicular to the reversing axis M. Further, the suction unit 66 side of the substrate reversing unit 67 has a shape bent about 40 ° along a straight line passing through the center of the substrate 5 in the first substrate transport mechanism and parallel to the long side (transport direction) of the substrate 5. ing. The shape of the substrate reversing part 67 shown in FIG. 4A is merely an example, and is not limited to the shape. As another shape, for example, instead of being bent like the substrate reversing portion 67, a shape that is curved from the lifting / lowering portion 68 side to the suction portion 66 side may be employed. Further, a structure having a plurality of movable parts such as a robot arm may be adopted.

基板反転部６７は、回転可能な可動部が昇降部６８に備えられた構成となっている。上記可動部は反転軸Ｍに沿って配置されており、反転軸Ｍに沿って基板反転部６７は回転可能な構造となっている。   The substrate reversing unit 67 has a structure in which a rotatable movable unit is provided in the lifting unit 68. The movable part is arranged along the reversal axis M, and the substrate reversing part 67 is rotatable along the reversal axis M.

反転軸Ｍは、（１）第１基板搬送機構における基板５の中心を通り、基板５の搬送方向と垂直な直線を基準として４５°の傾きを有する直線を含み、基板５と垂直な面内（図５（ａ）を参照）であって、（２）基板５と水平な位置（図４（ａ）を参照）に位置している。反転軸Ｍは上記面内に位置しており、基板５に対して垂直方向に移動されてもよい。   The inversion axis M includes (1) a straight line that passes through the center of the substrate 5 in the first substrate transport mechanism and has an inclination of 45 ° with respect to a straight line perpendicular to the transport direction of the substrate 5, and is perpendicular to the substrate 5. (Refer to FIG. 5A), and (2) located at a position horizontal to the substrate 5 (see FIG. 4A). The inversion axis M is located in the plane and may be moved in the direction perpendicular to the substrate 5.

基板反転部６７は、可動部を介して反転軸Ｍに沿って回転する構成となっているが、反転軸Ｍに沿って回転することができればよく、当該構造に限定されるものではない。例えば、基板反転部６７が回転軸構造を有しており、この回転軸構造の軸が反転軸Ｍに沿って回転すると共に基板反転部６７全体が回転する構造とすることができる。基板反転部６７の回転運動は例えば、図示しないモータなどの駆動装置によってなされる。   The substrate reversing part 67 is configured to rotate along the reversing axis M via the movable part, but is not limited to this structure as long as it can rotate along the reversing axis M. For example, the substrate reversing unit 67 has a rotating shaft structure, and the rotation shaft structure rotates along the reversing axis M and the entire substrate reversing unit 67 rotates. The substrate reversing part 67 is rotated by a driving device such as a motor (not shown).

基板反転部６７は、反転軸Ｍを軸とする１度（１回）の回転によって基板５を反転させることができる。１度（１回）の反転とは基板５をその反対面に回転させることを示し、換言すると基板５の表面が裏面となるよう配置することである。   The substrate reversing unit 67 can reverse the substrate 5 by rotating once (one time) about the reversing axis M. The reversal of one degree (one time) means that the substrate 5 is rotated to the opposite surface, in other words, the substrate 5 is disposed so that the front surface is the back surface.

昇降部６８は屈曲部を有するアーム状になっており、アームの角度を小さくすることによって、基板反転部６７を上昇させることができる。一方、アームの角度を大きくすることによって、基板反転部６７を下降させることもできる。吸着部６６は基板５が搬送されていないときには、基板５に接触しないように基板５よりも上側に配置されている。そして、基板５が搬送されると昇降部６８により、基板反転部６７が下降され、吸着部６６も下降するので、吸着部６６により基板５を吸着することができる。また、基板５が反転された後には吸着部６６の吸着が解除されるが、解除後に昇降部６８によって基板反転部６７が移動されて吸着部６６が基板５から離れることとなる。   The elevating part 68 has an arm shape having a bent part, and the substrate reversing part 67 can be raised by reducing the angle of the arm. On the other hand, the substrate inversion part 67 can be lowered by increasing the angle of the arm. The suction unit 66 is disposed above the substrate 5 so as not to contact the substrate 5 when the substrate 5 is not being transported. When the substrate 5 is transferred, the substrate reversing unit 67 is lowered and the adsorption unit 66 is also lowered by the elevating unit 68, so that the substrate 5 can be adsorbed by the adsorption unit 66. Further, after the substrate 5 is inverted, the adsorption of the adsorption unit 66 is released, but after the release, the substrate reversing unit 67 is moved by the lifting unit 68 and the adsorption unit 66 is separated from the substrate 5.

図４（ａ）〜（ｃ）を用いて反転機構６５の動作について説明する。まず、図４（ａ）では、基板５の短辺が搬送方向に沿っている場合を示している。吸着部６６によって基板５の表面が吸着された後、反転軸Ｍに沿って基板反転部６７が回転する。同図では、吸着部６６によって基板５の中心付近を吸着しているが、基板５が回転に際して外れないように固定されればよく、吸着箇所は特に限定されない。また、吸着箇所も４箇所に限定されず、増減させてももちろんよい。   The operation of the reversing mechanism 65 will be described with reference to FIGS. First, FIG. 4A shows a case where the short side of the substrate 5 is along the transport direction. After the surface of the substrate 5 is adsorbed by the adsorption unit 66, the substrate inversion unit 67 rotates along the inversion axis M. In the drawing, the vicinity of the center of the substrate 5 is adsorbed by the adsorbing portion 66, but the adsorbing portion is not particularly limited as long as the substrate 5 is fixed so as not to come off during rotation. Further, the number of adsorption locations is not limited to 4 and may be increased or decreased.

次に、図４（ａ）の状態から、基板反転部６７が反転軸Ｍに沿って基板表面側に回転する。図４（ｂ）は、基板反転部６７が、図４（ａ）における（第１基板搬送機構における）基板５に対して９０°回転した状態を示している。図４（ｂ）の状態を経由して、基板反転部６７は回転を続けて図４（ｃ）に示すように基板５が反転される。   Next, from the state of FIG. 4A, the substrate reversing unit 67 rotates along the reversal axis M toward the substrate surface side. FIG. 4B shows a state in which the substrate reversing unit 67 is rotated by 90 ° with respect to the substrate 5 (in the first substrate transport mechanism) in FIG. 4B, the substrate reversing unit 67 continues to rotate and the substrate 5 is reversed as shown in FIG. 4C.

このように、反転機構６５の１回の反転（回転）動作（一反転動作）によって、基板５の短辺および長辺の方向を変更して反転させることができる。つまり、複雑な回転動作を伴わず、短いタクトタイムにて基板５の反転とともに配置方向の変更を行うことができる。結果として、反転を含めた基板５への偏光フィルムの貼合を短いタクトタイムにて行うことができることとなる。   Thus, the direction of the short side and the long side of the substrate 5 can be changed and reversed by one reversing (rotating) operation (one reversing operation) of the reversing mechanism 65. That is, the arrangement direction can be changed together with the inversion of the substrate 5 with a short tact time without complicated rotation operation. As a result, the polarizing film can be bonded to the substrate 5 including reversal in a short tact time.

なお、図４では、基板５をより搬送方向に移動させるために、図４（ａ）の基板５に対して基板反転部６７を搬送方向側に設置している。これにより、図４（ｃ）のように、第２基板搬送機構において基板５をより搬送方向へ移動させた状態にて反転させることができる。これにより、反転を含めた両面貼合に係るタクトタイムをより短くすることができる。   In FIG. 4, in order to move the substrate 5 in the transport direction, a substrate reversing unit 67 is installed on the transport direction side with respect to the substrate 5 in FIG. As a result, as shown in FIG. 4C, the second substrate transport mechanism can be reversed in a state where the substrate 5 is moved further in the transport direction. Thereby, the tact time concerning double-sided bonding including reversal can be further shortened.

図５は、図４に対応する基板５の回転過程を示す平面図である。図５では、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２を図示している。第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２には図示しないがコンベアーロールが備えられている。第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２は、基板５を同一方向に搬送する。このため、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２は、搬送方向に沿った直線状の形状となっている。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本実施形態に係る貼合装置６０は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる構造となっている。   FIG. 5 is a plan view showing the rotation process of the substrate 5 corresponding to FIG. FIG. 5 illustrates the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62. Although not shown, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 are provided with a conveyor roll. The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 transport the substrate 5 in the same direction. For this reason, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 have a linear shape along the transport direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus 60 according to the present embodiment is very simple to install and has a structure with excellent area efficiency.

図４にて説明したが、まず、図５（ａ）に示すように基板支持部としての吸着部６６によって基板５の表面が保持される。次に、図５（ｂ）に示すように反転軸Ｍの方向に沿って、基板反転部６７が９０°回転して基板５が垂直な状態となっている。最後に、図５（ｃ）に示すように、さらに基板反転部６７が反転軸Ｍの方向に沿って回転し、基板５が反転される。基板５が反転する際、基板５は図示しないコンベアーロールに配置され、基板反転部６７はコンベアーロールと接触しない。このため、反転機構６５は基板５の下側に位置している。   As described with reference to FIG. 4, first, as shown in FIG. 5A, the surface of the substrate 5 is held by the suction portion 66 as the substrate support portion. Next, as shown in FIG. 5B, along the direction of the reversal axis M, the substrate reversing portion 67 is rotated by 90 ° so that the substrate 5 is vertical. Finally, as shown in FIG. 5C, the substrate reversing unit 67 further rotates along the direction of the reversal axis M, and the substrate 5 is reversed. When the substrate 5 is reversed, the substrate 5 is disposed on a conveyor roll (not shown), and the substrate reversing unit 67 does not contact the conveyor roll. For this reason, the reversing mechanism 65 is located below the substrate 5.

その後、吸着部６６の吸着が解除されることにより基板５の保持が解かれ、基板５は第２基板搬送機構６２によって搬送される。そして、反転機構６５は図５（ａ）の位置に戻り、順次搬送される他の基板５を同様の動作にて反転させる。
Thereafter, the suction of the suction part 66 is released, whereby the holding of the substrate 5 is released, and the substrate 5 is transported by the second substrate transport mechanism 62. Then, the reversing mechanism 65 returns to the position shown in FIG. 5A and reverses the other substrates 5 that are sequentially conveyed by the same operation.

このように反転機構６５によれば、吸着部６６による吸着の後、基板５を１の動作によって基板５を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。反転動作の前には、基板５の下面には偏光フィルムが貼合されており、上記反転動作を行った後、反転された基板５の下面に対してさらに偏光フィルムを貼合することができる。（１）このように基板５の両面に対して下面から偏光フィルムを貼合でき、（２）上記反転動作は単純な回転動作であり、しかも１動作のためタクトタイムが短い。したがって、整流環境を妨げることなく、タクトタイムの短い貼合をも実現することができる。   As described above, according to the reversing mechanism 65, after the suction by the suction unit 66, the substrate 5 can be reversed by the operation of 1, and the long side and the short side with respect to the transport direction can be changed. Before the reversing operation, a polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate 5, and after performing the reversing operation, a polarizing film can be further bonded to the lower surface of the reversed substrate 5. . (1) In this way, a polarizing film can be bonded to both surfaces of the substrate 5 from the lower surface. (2) The reversing operation is a simple rotating operation, and the tact time is short because of one operation. Therefore, it is possible to realize bonding with a short tact time without disturbing the rectification environment.

なお、基板反転部６７の反転動作は１動作であるが、当該動作の前後に基板５を昇降させる動作および／または基板反転部６７の位置を調整する動作や、反転後第２基板搬送機構における配置位置が基板の搬送方向に対して、基板反転部６７のガタや傾斜角度誤差等により角度ズレが生じた場合には、角度ズレを補正する機構によって補正する動作が含まれていたとしても、本実施形態に係る反転機構６５の動作に含まれる。   The reversing operation of the substrate reversing unit 67 is one operation, but the operation of raising and lowering the substrate 5 before and after the operation and / or the operation of adjusting the position of the substrate reversing unit 67 and the second substrate transport mechanism after reversing Even if an operation of correcting the angular deviation by a mechanism for correcting the angular deviation is included in the case where an angular deviation occurs due to a backlash of the substrate reversing unit 67 or an inclination angle error with respect to the conveyance direction of the substrate, It is included in the operation of the reversing mechanism 65 according to the present embodiment.

図５では、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２は、基板５を同一方向に搬送するものであり、互いに隣接した構造となっている。これは、図５（ｃ）のように基板反転部６７によって、基板５の搬送方向に対する短辺および長辺を入れ替えるため、反転後の基板５を搬送する第２基板搬送機構６２と第１基板搬送機構６１とにおける搬送方向は互いに一直線上に位置せず、ずれが生じるためである。なお、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２は必ずしも隣接している必要はなく、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２には間隔が設けられていてもよい。   In FIG. 5, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 transport the substrate 5 in the same direction, and have a structure adjacent to each other. This is because, as shown in FIG. 5C, the substrate reversing unit 67 replaces the short side and the long side with respect to the transport direction of the substrate 5, so that the second substrate transport mechanism 62 and the first substrate transport the substrate 5 after the reversal. This is because the transport directions in the transport mechanism 61 are not positioned on a straight line with each other, and a shift occurs. The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 do not necessarily have to be adjacent to each other, and the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 may be spaced from each other.

図４にて上述したが、基板５をより搬送方向に移動させるために、反転前の基板５に対して基板反転部６７を搬送方向側に設置している。しかし、反転機構６５の配置等の制限がある場合、図５（ｄ）のように反転機構６５を配置してもよい。この場合、基板５をより搬送方向に移動させることはできないが、反転機構６５の配置等の制限に対応することができる。
As described above with reference to FIG. 4, in order to move the substrate 5 further in the transport direction, the substrate reversing unit 67 is installed on the transport direction side with respect to the substrate 5 before reversal. However, when there is a limitation on the arrangement of the reversing mechanism 65, the reversing mechanism 65 may be arranged as shown in FIG. In this case, the substrate 5 cannot be moved further in the transport direction, but it is possible to deal with restrictions such as the arrangement of the reversing mechanism 65.

またその他の本実施形態の反転機構６５は、短辺または長辺が搬送方向に沿った基板５を、長辺または短辺が第２基板搬送機構の搬送方向に沿った状態に反転させるものである。つまり、基板５の表面と裏面とを反転させ、搬送方向に沿った基板５の長辺および短辺を入れ替えるものである。まず、図６を用いて反転機構６５の構造について説明する。   The other reversing mechanism 65 of the present embodiment reverses the substrate 5 whose short side or long side is along the transport direction into a state where the long side or short side is along the transport direction of the second substrate transport mechanism. is there. That is, the front surface and the back surface of the substrate 5 are reversed, and the long side and the short side of the substrate 5 along the transport direction are switched. First, the structure of the reversing mechanism 65 will be described with reference to FIG.

図６は、反転機構６５を示す斜視図であり、基板５を反転させる過程における反転機構６５の動作を示している。反転機構６５は、上記基板支持部６６ａ・６６ｂが一端に連結して配設されいる基板反転部６７および回転軸部６８を備えている。以下各部材について説明する。   FIG. 6 is a perspective view showing the reversing mechanism 65, and shows the operation of the reversing mechanism 65 in the process of reversing the substrate 5. The reversing mechanism 65 includes a substrate reversing portion 67 and a rotating shaft portion 68 in which the substrate supporting portions 66a and 66b are connected to one end. Each member will be described below.


基板反転部６７は、一端が上記基板支持部６６ａ・６６ｂに連結されており、反転軸Ｍを中心として回転することによって基板５を反転させるものである。図９において基板反転部６７はそれぞれのアームに連結されており、軽量化および回転時の空気抵抗を軽減する観点から好ましい構造としてパイプ状の構造となっている。しかしながら、当該構造に限定されるものではない。例えば、パイプ状に代えて板状であってもよい。
One end of the substrate reversing portion 67 is connected to the substrate support portions 66a and 66b, and the substrate reversing portion 67 is configured to reverse the substrate 5 by rotating about the reversing axis M. In FIG. 9, the substrate reversing part 67 is connected to each arm, and has a pipe-like structure as a preferable structure from the viewpoint of reducing the weight and reducing the air resistance during rotation. However, it is not limited to the structure. For example, a plate shape may be used instead of a pipe shape.

基板反転部６７は、反転軸Ｍを中心として回転するものである。基板反転部６７を回転させる部材としてはモーターによる駆動手段が挙げられる。図６（ａ）において、好ましい形態として基板反転部６７は回転軸部６８を備えている。回転軸部６８は反転軸Ｍに沿って配置されているため、反転軸Ｍに沿って安定して回転可能である。本実施の形態では、基板反転部６７は回転軸部６８と共に回転する構造となっており、反転軸Ｍを中心として基板反転部６７が安定して回転し易い構造となっている。このため、回転軸部６８を備える基板反転部６７は反転軸Ｍに沿ってより安定して回転可能である。したがって、基板５の反転をより安定して行うことが可能となる。なお、回転軸部６８は反転前の基板５に対して表面方向に向かって回転することも、逆に裏面方向に向かって回転することも可能である。   The substrate reversing unit 67 rotates about the reversing axis M. Examples of the member that rotates the substrate reversing unit 67 include driving means using a motor. In FIG. 6A, as a preferred form, the substrate reversing portion 67 includes a rotating shaft portion 68. Since the rotation shaft portion 68 is disposed along the reversal axis M, it can be stably rotated along the reversal axis M. In the present embodiment, the substrate reversing portion 67 is structured to rotate together with the rotating shaft portion 68, and the substrate reversing portion 67 is configured to easily rotate stably around the reversing axis M. For this reason, the substrate reversing part 67 including the rotating shaft part 68 can rotate more stably along the reversing axis M. Therefore, the substrate 5 can be reversed more stably. Note that the rotating shaft portion 68 can rotate toward the front surface with respect to the substrate 5 before reversing, or conversely, rotate toward the back surface.

反転軸Ｍは、図６（ａ）に示すように「第１基板搬送機構における反転前の基板５の中心を通り、上記基板５の搬送方向Ｄ１と垂直な直線に対して４５°の傾きを有する直線を含み、第１基板搬送機構における反転前の基板５を含む面内」に位置している。上記４５°の傾きを有する直線は、図６（ａ）の反転軸Ｍに沿った直線である。また、「第１基板搬送機構における反転前の基板５を含む面」とは反転前の基板５と同一平面を意味し、図６（ａ）ではＸ‐Ｙ面に位置する面をいう。   As shown in FIG. 6 (a), the reversal axis M has an inclination of 45 ° with respect to a straight line that passes through the center of the substrate 5 before reversal in the first substrate transport mechanism and is perpendicular to the transport direction D1 of the substrate 5. In the plane including the substrate 5 before inversion in the first substrate transport mechanism. The straight line having an inclination of 45 ° is a straight line along the inversion axis M in FIG. Further, the “surface including the substrate 5 before reversal in the first substrate transport mechanism” means the same plane as the substrate 5 before reversal, and in FIG. 6A, refers to a surface located on the XY plane.

図６では、基板支持部６６ａ・６６ｂと、基板反転部６７および回転軸部６８が別個に構成され、一体的に連結された例について説明したが、各部材の機能を有していれば一体の部材として構成されていてももちろんよい。   In FIG. 6, the substrate support portions 66a and 66b, the substrate reversing portion 67, and the rotating shaft portion 68 are separately configured and integrally connected. However, as long as they have the functions of each member, they are integrated. Of course, it may be configured as a member.

次に、反転機構６５の動作について説明する。図６では、第１基板搬送機構の搬送方向Ｄ１に基板５の短辺が沿っており、第２基板搬送機構の搬送方向Ｄ２に基板５の長辺が沿った状態となるように基板５を反転させる場合について説明する。しかしながら、搬送方向Ｄ１に基板５の長辺が沿っており、搬送方向Ｄ２に基板５の短辺が沿った状態に反転することも同様に可能である。   Next, the operation of the reversing mechanism 65 will be described. In FIG. 6, the short side of the substrate 5 is along the transport direction D1 of the first substrate transport mechanism, and the long side of the substrate 5 is along the transport direction D2 of the second substrate transport mechanism. A case of inversion will be described. However, it is also possible to reverse the state in which the long side of the substrate 5 is along the transport direction D1 and the short side of the substrate 5 is along the transport direction D2.

図６（ｗ１）は待機状態の反転機構６５を示す斜視図である。同図に示すように、基板支持部６６ａは基板５を受け入れられるように１対のアーム群間の距離が広がった状態となっている。一方、基板支持部６６ｂは基板５が反転される位置に配置されており、反転させた基板５を解放するため、基板支持部６６ｂが備える１対のアーム群間の距離も広がった状態となっている。   FIG. 6 (w1) is a perspective view showing the reversing mechanism 65 in the standby state. As shown in the figure, the substrate support portion 66a is in a state where the distance between the pair of arm groups is widened so that the substrate 5 can be received. On the other hand, the substrate support portion 66b is disposed at a position where the substrate 5 is inverted, and the distance between the pair of arm groups provided in the substrate support portion 66b is increased in order to release the inverted substrate 5. ing.

Ｘ‐Ｙ平面における搬送方向Ｄ１に沿って基板支持部６６ａへ基板５が搬送されると、基板支持部６６ａに基板５が載置される。具体的には、アーム群間に基板５が移動し、基板支持部６６ａの下方のアーム群上に基板５が載置される。アーム群上に基板５が載置されたか否かは、基板確認センサーによって判断される。本実施形態において、基板確認センサーは基板支持部６６ａおよび基板支持部６６ｂのそれぞれに備えられた構成となっているが、基板５の載置を確認できる位置に備えられていればよく、当該位置以外に備えられていてもよい。   When the substrate 5 is transported to the substrate support portion 66a along the transport direction D1 in the XY plane, the substrate 5 is placed on the substrate support portion 66a. Specifically, the substrate 5 moves between the arm groups, and the substrate 5 is placed on the arm group below the substrate support portion 66a. Whether or not the substrate 5 is placed on the arm group is determined by a substrate confirmation sensor. In the present embodiment, the substrate check sensor is provided in each of the substrate support portion 66a and the substrate support portion 66b. However, the substrate check sensor only needs to be provided at a position where the placement of the substrate 5 can be confirmed. It may be provided other than.

その後、基板確認センサーから基板５の確認信号がアーム群に送信されると、図６（ａ）に示すように、アーム群同士が近付いて基板５が挟持される。さらに、吸着手段によって基板５の表面が吸着されて基板５がより固定される。このように吸着手段による吸着によって、アーム群だけで基板５を挟持する場合よりも、さらに基板５を固定することができる。これによって、基板５が回転時に脱着することを回避できる。   Thereafter, when a confirmation signal of the substrate 5 is transmitted from the substrate confirmation sensor to the arm group, the arm groups come close to each other and the substrate 5 is sandwiched as shown in FIG. Further, the surface of the substrate 5 is adsorbed by the adsorbing means, and the substrate 5 is further fixed. In this way, the substrate 5 can be further fixed by the suction by the suction means, as compared with the case where the substrate 5 is held only by the arm group. Thereby, it can avoid that the board | substrate 5 remove | desorbs at the time of rotation.

次に、回転軸部６８が反転軸Ｍを中心に回転することによって、共に基板反転部６７も基板５の表面方向に回転する。図６（ｂ）は図６（ａ）の状態から基板反転部６７が反転軸Ｍを中心として９０°回転した状態を示している。図９（ｂ）では基板５はＺ軸方向に沿って位置している。このとき、基板支持部６６ｂは、基板５を挟持しておらず、基板反転部６７の回転に伴って下方に９０°回転されている。   Next, when the rotating shaft portion 68 rotates about the reversing axis M, the substrate reversing portion 67 also rotates in the direction of the surface of the substrate 5. FIG. 6B shows a state in which the substrate reversing unit 67 has rotated 90 ° about the reversing axis M from the state of FIG. In FIG. 9B, the substrate 5 is located along the Z-axis direction. At this time, the substrate support portion 66 b does not sandwich the substrate 5 and is rotated 90 ° downward along with the rotation of the substrate inversion portion 67.

さらに、回転軸部６８と共に基板反転部６７が反転軸Ｍを中心として９０°回転することによって、反転軸Ｍに対して線対称の位置に基板５が反転される。なお、図示しないが、搬送方向Ｄ２側の基板５の端部は第２基板搬送機構のコンベアーロールに位置している。当該状態を図９（ｃ）に示す。このように、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、基板５の長辺および短辺が基板の搬送方向に沿って反対となると共に、基板の表面および裏面の反転がなされている。このため、ニップロール１６・１６ａによって下面から偏光フィルムをその吸収軸が直交するように貼合することができる。また、反転機構６５の動作は反転軸Ｍを中心とした１８０°の半円軌道を描くものであり、複雑な動作を必要としない。したがって、短いタクトタイムにて１枚の基板５を反転させることができる。   Further, the substrate reversing unit 67 and the rotating shaft 68 rotate 90 degrees about the reversing axis M, so that the substrate 5 is reversed to a position symmetrical with respect to the reversing axis M. In addition, although not shown in figure, the edge part of the board | substrate 5 by the side of the conveyance direction D2 is located in the conveyor roll of a 2nd board | substrate conveyance mechanism. This state is shown in FIG. Thus, as shown in FIGS. 6A to 6C, the long side and the short side of the substrate 5 are opposite to each other along the substrate transport direction, and the front surface and the back surface of the substrate are reversed. . For this reason, the polarizing film can be bonded from the lower surface by the nip rolls 16 and 16a so that the absorption axes thereof are orthogonal to each other. The operation of the reversing mechanism 65 draws a 180 ° semicircular orbit about the reversing axis M, and does not require a complicated operation. Therefore, one substrate 5 can be reversed with a short tact time.

さらに、基板支持部６６ａ・６６ｂは反転軸Ｍに対して線対称に一対備えられている。このため、基板支持部６６ａによって基板５が反転されると、他方の基板支持部６６ｂは図９（ａ）での反転前の基板５のあった位置に移動される。
図６（ｃ）の状態から基板支持部６６ａの吸着手段による吸着が解除され、アーム群間の距離が広げられると基板５は一対のアーム群のうち、下方のアーム群上に載置される。その後、図６（ｗ２）に示すように、第２基板搬送機構が備えるコンベアーロールの回転に伴って基板５は搬送方向Ｄ２へ搬送される。 Further, a pair of substrate support portions 66a and 66b are provided in line symmetry with respect to the inversion axis M. Therefore, when the substrate 5 is inverted by the substrate support portion 66a, the other substrate support portion 66b is moved to the position where the substrate 5 before the inversion in FIG.
When the suction by the suction means of the substrate support portion 66a is released from the state of FIG. 6C and the distance between the arm groups is increased, the substrate 5 is placed on the lower arm group of the pair of arm groups. . Thereafter, as shown in FIG. 6 (w2), the substrate 5 is transported in the transport direction D2 with the rotation of the conveyor roll provided in the second substrate transport mechanism.

ここで、基板支持部６６ｂは反転前の基板５の位置に移動している。これにより、基板支持部６６ａの移動を待つことなく、次に搬送される基板５' を速やかに反転させることができる。つまり、貼合装置６０によれば１枚の基板の反転はもちろん、基板を反転させるとともに、次の基板を反転させるべく基板支持部６６ｂが基板５の支持反転位置まで戻っているので、次の基板を載置するまでに時間を短縮することができる。その結果、複数の基板を短いタクトタイムにて順次処理することができる。   Here, the board | substrate support part 66b has moved to the position of the board | substrate 5 before inversion. Thereby, without waiting for the movement of the board | substrate support part 66a, board | substrate 5 'conveyed next can be reversed rapidly. That is, according to the bonding apparatus 60, not only the one substrate is reversed, but also the substrate is reversed, and the substrate support portion 66b is returned to the support reversal position of the substrate 5 so as to reverse the next substrate. Time can be shortened before mounting the substrate. As a result, a plurality of substrates can be sequentially processed with a short tact time.

図７（ａ）〜（ｃ）は、図６（ａ）〜（ｃ）に対応する基板５の回転過程を示す平面図である。図７では、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２を図示している。第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２には図示しないが、基板５を搬送する複数のコンベアーロールが、基板５の搬送方向に対して直交して備えられている。なお、基板５の搬送する手段はコンベアーロールに限定されるものではなく、他の代替手段を用いてもよい。   FIGS. 7A to 7C are plan views showing the rotation process of the substrate 5 corresponding to FIGS. 6A to 6C. FIG. 7 illustrates the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62. Although not illustrated in the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62, a plurality of conveyor rolls that transport the substrate 5 are provided orthogonal to the transport direction of the substrate 5. The means for transporting the substrate 5 is not limited to the conveyor roll, and other alternative means may be used.

第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２は、基板５を同一方向に搬送するものである。すなわち、搬送方向Ｄ１・Ｄ２は同一方向に向かっている。このため、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２は、搬送方向Ｄ１・Ｄ２にそれぞれ沿った直線状の形状となっている。すなわち、Ｌ字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本実施形態に係る貼合装置６０は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる構造となっている。   The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 transport the substrate 5 in the same direction. That is, the transport directions D1 and D2 are in the same direction. For this reason, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 have linear shapes along the transport directions D1 and D2, respectively. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus 60 according to the present embodiment is very simple to install and has a structure with excellent area efficiency.

まず、図６（ｗ１）にて説明したように、基板５が搬送方向Ｄ１に沿って搬送され、第１基板搬送機構６１の端部からコンベアーロールの回転力によって基板支持部６６ａに載置される。そして、載置された基板５が基板支持部６６ａの一対のアーム群によって挟持された後、吸着手段によって基板の表面が吸着されて固定される。当該反転機構６５の状態を図７（ａ）に示す。   First, as described in FIG. 6 (w1), the substrate 5 is transported along the transport direction D1, and is placed on the substrate support portion 66a from the end of the first substrate transport mechanism 61 by the rotational force of the conveyor roll. The Then, after the placed substrate 5 is sandwiched between the pair of arm groups of the substrate support portion 66a, the surface of the substrate is adsorbed and fixed by the adsorbing means. The state of the reversing mechanism 65 is shown in FIG.

その後、回転軸部６８が基板５の表面方向へ反転軸Ｍを中心として９０°回転すると共に、基板反転部６７も回転する。図７（ｂ）は図７（ａ）から基板反転部６７が反転軸Ｍを中心として９０°回転した状態を示している。このとき、基板支持部６６ｂは、基板５を挟持していないが基板反転部６７の回転に伴って下方に９０°回転されている。さらに、回転軸部６８と共に反転軸Ｍを中心として基板反転部６７が９０°回転することによって基板５が反転される。基板５が反転されたときの反転機構６５の状態を図７（ｃ）に示す。基板５は反転軸Ｍに対して線対称の位置に反転されている。   Thereafter, the rotating shaft portion 68 rotates 90 ° about the reversing axis M in the surface direction of the substrate 5 and the substrate reversing portion 67 also rotates. FIG. 7B shows a state in which the substrate reversing unit 67 is rotated by 90 ° about the reversing axis M from FIG. At this time, the substrate support portion 66b does not sandwich the substrate 5, but is rotated 90 ° downward along with the rotation of the substrate inversion portion 67. Further, the substrate 5 is reversed by rotating the substrate reversing portion 67 by 90 ° about the reversing axis M together with the rotating shaft 68. FIG. 7C shows the state of the reversing mechanism 65 when the substrate 5 is reversed. The substrate 5 is inverted at a position symmetrical with respect to the inversion axis M.

図７（ｃ）では、基板５の端部が第２基板搬送機構６２に位置している。図６（ｃ）について説明したように、その後、基板５の吸着が解除され、アーム群間の距離が広げられる。その後、基板５は一対のアーム群のうち、下方のアーム群上に載置される。さらに第２基板搬送機構が備えるコンベアーロールの回転に伴って基板５へ搬送されることとなる。その後、基板支持部６６ｂによって基板５が反転される。このように、基板支持部６６ａ・６６ｂによって順次搬送される基板が効率良く反転される。   In FIG. 7C, the end portion of the substrate 5 is located in the second substrate transport mechanism 62. As described with reference to FIG. 6C, thereafter, the suction of the substrate 5 is released, and the distance between the arm groups is increased. Thereafter, the substrate 5 is placed on the lower arm group of the pair of arm groups. Furthermore, it will be conveyed to the board | substrate 5 with rotation of the conveyor roll with which a 2nd board | substrate conveyance mechanism is provided. Thereafter, the substrate 5 is inverted by the substrate support portion 66b. In this way, the substrates sequentially conveyed by the substrate support portions 66a and 66b are efficiently reversed.

なお、図６および図７では、基板支持部６６ａ・６６ｂが吸着手段を備える構成としているが、アーム群のみによって基板５を固定する構成であってもよい。その場合、吸着手段によって基板５を吸着および脱着する動作が不要となる。   6 and 7, the substrate support portions 66a and 66b are configured to include the suction means, but the substrate 5 may be fixed only by the arm group. In that case, the operation | movement which adsorb | sucks and remove | desorbs the board | substrate 5 by an adsorption | suction means becomes unnecessary.

反転機構６５は、図８に示されるように偏向フィルムが貼合された基板より大きなサイズの一対の櫛状部材によって構成され、２個の一対の櫛状部材を備える上記基板支持装置６６が、１８０度の角度関係で反転軸としての上記第１および第２基板搬送機構６１の搬送方向に対して４５度の角度で配設された回転軸部６８に対して２箇所で連結する連結部６７１の他端に上記第１および第２基板搬送機構６１の搬送方向に対して直交する方向に延在する端部６７２を備えた反転機構６５の基板反転部６７の端部６７２に２か所の連絡部６７３を介して機械的に結合され、連結されているものである。更にタクトタイムを短縮するために９０度（６０度）の角度関係で回転軸部６８に対して４個（６個）の基板支持装置を配設することも可能である。   As shown in FIG. 8, the reversing mechanism 65 is configured by a pair of comb-like members having a size larger than that of the substrate on which the deflection film is bonded, and the substrate support device 66 including two pairs of comb-like members includes: A connecting portion 671 that is connected at two positions to the rotary shaft portion 68 disposed at an angle of 45 degrees with respect to the transport direction of the first and second substrate transport mechanisms 61 as the reversing shaft with an angular relationship of 180 degrees. Two end portions 672 of the substrate reversing portion 67 of the reversing mechanism 65 having an end portion 672 extending in a direction perpendicular to the transporting direction of the first and second substrate transporting mechanisms 61 at the other end of the first and second substrate transporting mechanisms 61. They are mechanically coupled and connected via a connecting portion 673. Furthermore, in order to shorten the tact time, it is possible to arrange four (six) substrate support devices with respect to the rotating shaft portion 68 with an angular relationship of 90 degrees (60 degrees).

また反転機構６５は、図１３に示されるように偏向フィルムが貼合された基板より大きなサイズの矩形箱状部材によって構成され、２個の該矩形箱状部材より成る上記基板支持装置６６が、１８０度の角度関係で一つのコーナー部が反転軸としての上記第１基板搬送機構６１の搬送方向に対して４５度の角度で配設された回転軸部６８に対して、最も接近する態様で、反転機構６５の基板反転部６７の一端に機械的に結合され、連結されているものである。更にタクトタイムを短縮するために９０度（６０度）の角度関係で回転軸部６８に対して４個（６個）の基板支持装置を配設することも可能である。   Further, as shown in FIG. 13, the reversing mechanism 65 is constituted by a rectangular box-shaped member having a larger size than the substrate on which the deflection film is bonded, and the substrate support device 66 including the two rectangular box-shaped members includes: In a mode in which one corner portion is closest to the rotation shaft portion 68 disposed at an angle of 45 degrees with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism 61 as an inversion axis with an angular relationship of 180 degrees. , And mechanically coupled to one end of the substrate reversing portion 67 of the reversing mechanism 65. Furthermore, in order to shorten the tact time, it is possible to arrange four (six) substrate support devices with respect to the rotating shaft portion 68 with an angular relationship of 90 degrees (60 degrees).

図１８は、本実施形態の貼合装置６０の変形例を示す平面図である。当該変形例における変更点としては、（１）上述した反転機構６５が２つ備えられており、（２）第１基板搬送機構６１の両側に基板載置部６１ａが２つ備えられており、（３）第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２が一直線上に配置されている点である。なお、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２によって、基板５が同一方向に搬送される点は同じである。   FIG. 18 is a plan view showing a modification of the bonding apparatus 60 of the present embodiment. As changes in the modification, (1) two reversing mechanisms 65 described above are provided, and (2) two substrate placement portions 61 a are provided on both sides of the first substrate transport mechanism 61. (3) The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 are arranged on a straight line. The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 are the same in that the substrate 5 is transported in the same direction.

基板載置部６１ａおよび反転機構６５は、第１基板搬送機構６１における第２基板搬送機構６２側の端部において、上記端部の第１基板搬送機構６１の搬送方向に対して水平な両方向に沿って備えられている。反転機構６５は図４および図５にて説明した構造と同様である。また、上記端部の領域６１ｂには、基板載置部６１ａへ基板５を搬送する搬送手段が備えられている。具体的には、例えば、コンベアーロールを挙げることができる。   The substrate platform 61a and the reversing mechanism 65 are arranged at both ends of the first substrate transport mechanism 61 on the second substrate transport mechanism 62 side, which are horizontal with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism 61 at the end. Are provided along. The reversing mechanism 65 is the same as the structure described in FIGS. Further, the end region 61b is provided with transport means for transporting the substrate 5 to the substrate platform 61a. Specifically, a conveyor roll can be mentioned, for example.

基板載置部６１ａは、吸着部６６によって基板５が配置される場である。当該変形例によれば、第１基板搬送機構６１に搬送された基板５は、２つの基板載置部６１ａに交互に搬送される。基板載置部６１ａおよび反転機構６５は２対ずつ備えられているため、基板載置部６１ａに搬送された基板５は、反転機構６５によって１つの動作によって反転される。   The substrate mounting portion 61a is a place where the substrate 5 is placed by the suction portion 66. According to the modification, the substrates 5 transported to the first substrate transport mechanism 61 are transported alternately to the two substrate platforms 61a. Since two pairs of the substrate platform 61a and the reversing mechanism 65 are provided, the substrate 5 transported to the substrate platform 61a is inverted by the reversing mechanism 65 by one operation.

当該変形例では、２つの基板載置部６１ａは第１基板搬送機構６１の水平な両方向に沿ってそれぞれ備えられており、反転された基板５は、第１基板搬送機構６１の搬送方向に沿って配置されることとなる。したがって、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２を同一直線上に配置することが可能である。   In this modification, the two substrate platforms 61 a are provided along both horizontal directions of the first substrate transport mechanism 61, and the inverted substrate 5 is along the transport direction of the first substrate transport mechanism 61. Will be placed. Accordingly, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 can be arranged on the same straight line.

当該変形例によれば、（１）反転機構６５が２つ備えられているため、基板５を単位時間当り２倍処理することができる。これにより、単位時間当たり多くの基板５の反転が可能なため、タクトタイムが短縮される。（２）さらに、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２が一直線上に配置されているため、より面積効率に優れた構造の貼合装置を提供できる。特にクリーンルームにおいては面積効率が要求されるため、当該貼合装置は非常に好ましい。   According to the modification, (1) since two reversing mechanisms 65 are provided, the substrate 5 can be processed twice per unit time. Thereby, since many substrates 5 can be reversed per unit time, the tact time is shortened. (2) Furthermore, since the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are arrange | positioned on the straight line, the bonding apparatus of the structure excellent in area efficiency can be provided. Especially in a clean room, since the area efficiency is required, the bonding apparatus is very preferable.

反転機構６５の構成例を図１９に示す。図１９は反転機構６５および反転機構６５に連結されたインターフェイス部１６５の構成を示すブロック図である。図１１に示す構成はあくまで一例であって反転機構６５はこの一例に限定されるものではない。図１９に示すように、さらに、反転機構６５は、インターフェイス部１６５に接続されている。インターフェイス部１６５は、オペレーターからの操作入力を受け付け、入力データを表示および反転機構６５へと送信するものである。   A configuration example of the reversing mechanism 65 is shown in FIG. FIG. 19 is a block diagram illustrating a configuration of the reversing mechanism 65 and the interface unit 165 coupled to the reversing mechanism 65. The configuration shown in FIG. 11 is merely an example, and the reversing mechanism 65 is not limited to this example. As shown in FIG. 19, the reversing mechanism 65 is further connected to the interface unit 165. The interface unit 165 receives an operation input from an operator and transmits input data to the display and inversion mechanism 65.

反転機構６５では、基板支持部６６ａ・６６ｂ、基板反転部６７および回転軸部６８が備えられており、これらはインターフェイス部における制御部７０に接続されている。一方、インターフェイス部１６５は、入力部１６６、表示部１６７、記憶部１６８および制御部７０を備えている。入力部１６６は、基板５の情報等を記憶部１６８に送信するものである。基板５の各情報としては、基板５の長辺および短辺の長さ、厚さ、搬送速度、単位時間当たりの搬送枚数が挙げられる。その他の情報としては、第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２の位置およびこれらが備えるコンベアーロールの位置、搬送方向Ｄ１・Ｄ２、反転軸Ｍの位置、基板５の回転速度、などが挙げられる。   The reversing mechanism 65 includes substrate support portions 66a and 66b, a substrate reversing portion 67, and a rotating shaft portion 68, which are connected to the control portion 70 in the interface portion. On the other hand, the interface unit 165 includes an input unit 166, a display unit 167, a storage unit 168, and a control unit 70. The input unit 166 transmits information on the substrate 5 and the like to the storage unit 168. As each information of the board | substrate 5, the length of the long side and the short side of the board | substrate 5, thickness, a conveyance speed, and the conveyance number of sheets per unit time are mentioned. Other information includes the positions of the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 and the positions of the conveyor rolls included in these, the transport directions D1 and D2, the position of the reversal axis M, the rotational speed of the substrate 5, and the like. Can be mentioned.

また、インターフェイス部１６５は、図示しない入力装置を備えている。上記入力装置はオペレーターが各種情報を入力できるものであればよく、例えば、入力キーやタッチパネルで構成することができる。表示部１６７は、入力部１６６によって入力された各種情報の内容を表示するものであり、公知の液晶ディスプレイ等で構成することができる。   The interface unit 165 includes an input device (not shown). The input device may be any device that allows an operator to input various types of information, and may be configured with, for example, an input key or a touch panel. The display unit 167 displays the contents of various information input by the input unit 166, and can be configured by a known liquid crystal display or the like.

記憶部１６８は、制御部７０および入力部１６６に接続されている。記憶部１６８は、入力部から入力された情報を記憶するものであり、例えば、例えばＲＡＭ（random access memory）、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）などの記憶装置を備えて、各種データおよび各種プログラムを記憶するものである。   The storage unit 168 is connected to the control unit 70 and the input unit 166. The storage unit 168 stores information input from the input unit. For example, the storage unit 168 includes a storage device such as a RAM (random access memory) and an HDD (hard disk drive), and stores various data and various programs. Is.

制御部７０は、記憶部１６８から受信した情報に基づき基板支持部６６ａ・６６ｂ、これらが備える吸着手段、基板反転部６７および回転軸部６８を制御する。制御部７０には、基板５の回転を制御する回転情報が記憶されている。基板５の回転を制御する回転情報とは、反転機構６５を制御する回転情報であり、（１）基板５が基板支持部６６ａ（または６６ｂ）に到着し、（２）センサーが基板５を感知し（センサーＯＮ）、（３）基板支持部６６ａのアーム群によって基板５が挟持され、（４）基板５が反転され、（５）基板５が解放された後に基板反転部６７を反転させるという反転機構６５の一連の動作を制御する情報（またはプログラム）である。   Based on the information received from the storage unit 168, the control unit 70 controls the substrate support units 66 a and 66 b, the suction means included therein, the substrate reversing unit 67, and the rotating shaft unit 68. The control unit 70 stores rotation information for controlling the rotation of the substrate 5. The rotation information for controlling the rotation of the substrate 5 is rotation information for controlling the reversing mechanism 65. (1) The substrate 5 arrives at the substrate support portion 66a (or 66b), and (2) the sensor senses the substrate 5. (Sensor ON), (3) the substrate 5 is held by the arm group of the substrate support portion 66a, (4) the substrate 5 is inverted, and (5) the substrate inversion portion 67 is inverted after the substrate 5 is released. This is information (or a program) for controlling a series of operations of the reversing mechanism 65.

当該構成によれば、例えば、基板５の搬送速度（または、搬送方向Ｄ１・Ｄ２、反転軸Ｍの位置、基板５の回転速度）の変更情報を入力部１６６から記憶部１６８へ送信し、容易に反転機構６５の動作に反映させることが可能である。制御部７０は、ＣＰＵ（central processing unit ）、上記プログラムを記憶したＲＯＭ（read only memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ、上記プログラムおよび各種データを記憶するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えた構成とすることができる。   According to this configuration, for example, change information on the conveyance speed of the substrate 5 (or the conveyance direction D1, D2, the position of the reversing axis M, the rotation speed of the substrate 5) is transmitted from the input unit 166 to the storage unit 168 for easy This can be reflected in the operation of the reversing mechanism 65. The control unit 70 includes a central processing unit (CPU), a ROM (read only memory) that stores the program, a RAM that expands the program, a storage device (recording medium) such as a memory that stores the program and various data, and the like. It can be set as the structure provided.

上記構成より成る本実施形態の基板搬送機構における反転機構は、図４、図６、図８、図１３に示されるように上記反転機構の上記基板反転部６７が、駆動装置の回転駆動により、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一反転動作（一回の反転動作）により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   As shown in FIGS. 4, 6, 8, and 13, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present embodiment configured as described above is configured so that the substrate reversing unit 67 of the reversing mechanism is driven by the rotation of the driving device. The reversing shaft is rotated around the reversing axis disposed at a constant inclination with respect to the transport direction of the substrate 5 and thus performs the reversing operation. The substrate 5 is reversed by one reversing operation (one reversing operation) of the substrate reversing portion 67 rotating around, and the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 is changed. This has the effect of reducing the tact time.

また本実施形態の基板搬送機構における反転機構は、上記反転機構の上記基板反転部６７が、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板５の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present embodiment is a reversing operation in which the substrate reversing portion 67 of the reversing mechanism rotates around a reversing axis arranged with a certain inclination with respect to the transporting direction of the substrate 5. Therefore, the substrate 5 is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing portion 67 that rotates around the reversing axis disposed at an inclination of 45 ° with respect to the transport direction of the substrate 5. As a result, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate can be changed, and the tact time can be shortened.

さらに本実施形態の基板搬送機構における反転機構は、上記基板反転部６７の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板反転部６７の一端に配設される上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present embodiment is such that one end of the substrate reversing portion 67 is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. By reversing the rotation, the substrate 5 disposed at one end of the substrate reversing unit 67 can be reversed, and the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 can be changed. There is an effect that the tact time can be shortened.

また本実施形態の基板搬送機構における反転機構は、上記反転機構６７の上記反転軸と上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５および上記第２基板搬送機構６２に上記基板反転部６７１によって反転して配置された上記基板５が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present embodiment includes the substrate reversing unit in the reversing shaft of the reversing mechanism 67 and the substrate 5 transported by the first substrate transporting mechanism 61 and the second substrate transporting mechanism 62. Since the substrate 5 that is reversed by the 671 is disposed on the same plane, the substrate is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit 67 and the transport direction of the substrate 5 is also reversed. It is possible to change the direction of the short side and the long side along the line and to shorten the tact time.

さらに本実施形態の基板搬送機構における反転機構は、上記反転機構６７が備えている上記例えばロボット手段が、上記反転軸の昇降、傾きおよび位置の調整を可能にするので、上記基板反転部の反転動作における調整および制御を可能にするという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present embodiment is such that the robot means provided in the reversing mechanism 67 allows the reversing shaft to be lifted, tilted, and adjusted in position, so that the reversing of the substrate reversing unit is performed. There is an effect of enabling adjustment and control in operation.

また本実施形態の基板搬送機構における反転機構は、図１８に示されるようにら上記第１基板搬送機構６１の両側に２個の反転機構６７が配設され、上記第１基板搬送機構の両側に、上記第１基板搬送機構６１によって搬送された上記基板５が交互に搬送される２個の基板載置部が配設され、上記２個の基板載置部に搬送された上記基板５が、上記２個の反転機構６７によって交互に反転されるとともに、配置が変更され上記第１基板搬送機構６１の基板搬送方向と搬送方向が同一直線上である上記第２基板搬送機構６２に配置するものであるので、上記基板の搬送におけるタクトタイムを半減して、上記基板の搬送処理を２倍にすることが出来るという効果を奏する。   Further, as shown in FIG. 18, the reversing mechanism in the substrate transport mechanism of the present embodiment is provided with two reversing mechanisms 67 on both sides of the first substrate transport mechanism 61, and both sides of the first substrate transport mechanism. In addition, two substrate platforms that alternately transport the substrates 5 transported by the first substrate transport mechanism 61 are disposed, and the substrates 5 transported to the two substrate platforms are The two reversing mechanisms 67 are alternately reversed, and the arrangement is changed and the first substrate transport mechanism 61 is disposed on the second substrate transport mechanism 62 in which the substrate transport direction and the transport direction are on the same straight line. Therefore, the tact time in transporting the substrate can be halved, and the transport processing of the substrate can be doubled.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、基板反転部６７の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて上記第１基板搬送機構６１にて搬送され、上記第１貼合部において下面に偏光フィルムが貼合された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して上記第２基板搬送機構６２に配置されるため、上記基板を上記第２基板搬送機構６２によって短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送して、上記第２貼合部において、上記基板の下面に偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment is such that, in the polarizing film laminating apparatus, the long side or short side of the rectangular substrate is in a state along the conveying direction by the reversing operation of the substrate reversing unit 67. The first substrate transport mechanism 61 transports the substrate having the polarizing film pasted on the lower surface thereof in the first pasting portion, and the placement is changed and the second substrate transport mechanism 62 is disposed. Therefore, the substrate is transported by the second substrate transport mechanism 62 in a state where the short side or the long side is along the transport direction, and the polarizing film is pasted on the lower surface of the substrate in the second bonding section. There is an effect of realizing that they are combined.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、駆動装置の回転駆動に基づく、上記保持機構の保持状態または保持が解かれる状態に制御される上記保持部６６に一端が連結された基板反転部６７１の反転動作により、上記第１基板搬送機構６１にて搬送され上記保持部６６に保持された上記基板を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構６２に配置されることにより、上記基板５の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするので、上記基板５の上下の面にそれぞれ偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the polarizing film laminating device of the present embodiment is controlled by the polarizing film laminating device based on the rotational driving of the driving device so that the holding state or the holding state of the holding mechanism is released. The substrate reversing operation of the substrate reversing unit 671 having one end connected to the unit 66 reverses the substrate transported by the first substrate transporting mechanism 61 and held by the holding unit 66, and changes the arrangement to the second. By being arranged in the substrate transport mechanism 62, the substrate 5 can be transported and the polarizing film can be bonded, so that the polarizing film is bonded to the upper and lower surfaces of the substrate 5, respectively. Play.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment reverses the substrate 5 by a single reversing operation of the substrate reversing unit 67 that rotates about a reversing axis disposed at an inclination of 45 °. In addition, it is possible to change the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 and to shorten the tact time.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記基板反転部６７の一端６７２が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板反転部６７の一端に配設される上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment is such that one end 672 of the substrate reversing portion 67 is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. The substrate 67 disposed at one end of the substrate reversing unit 67 is reversed by one reversing operation of the unit 67 and the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 is changed. This has the effect of reducing the tact time.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記反転軸は、第１基板搬送機構６１における基板の中心を通り、上記基板５の搬送方向と垂直な直線を基準として４５°の傾きを有する直線を含み、上記基板５と垂直な面内に位置するものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment is such that the reversing axis is 45 ° with respect to a straight line passing through the center of the substrate in the first substrate transporting mechanism 61 and perpendicular to the transporting direction of the substrate 5. Since the substrate 5 includes a straight line having an inclination and is positioned in a plane perpendicular to the substrate 5, the substrate 5 is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit 67, and the substrate is moved in the transport direction. It is possible to change the direction of the short side and the long side along the line and to shorten the tact time.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５および上記第２基板搬送機構６２に上記基板反転部６７によって反転して配置された上記基板５が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部の一回の反転動作により、上記基板を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus according to the present embodiment includes the reversing shaft of the reversing mechanism and the substrate 5 and the second substrate transporting mechanism 62 which are transported by the first substrate transporting mechanism 61. Since the substrate 5 reversed by the reversing unit 67 is disposed on the same plane, the substrate is reversed by a single reversing operation of the substrate reversing unit, and the transport direction of the substrate It is possible to change the direction of the short side and the long side along the line and to shorten the tact time.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記反転機構６７が備えている上記手段が、上記反転軸の昇降、傾きおよび位置の調整を可能にするので、上記基板反転部６７の反転動作における調整および制御を可能にするという効果を奏する。   Further, in the reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment, the means provided in the reversing mechanism 67 enables the reversing shaft to be lifted, tilted and adjusted in position, so that the substrate reversing section 67 There is an effect that the adjustment and control in the reversing operation can be performed.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における反転機構は、上記第１基板搬送機構６１の両側に２個の反転機構６７が配設され、上記第１基板搬送機構６１の両側に、上記第１基板搬送機構６１によって搬送された上記基板５が交互に搬送される２個の基板載置部が配設され、上記２個の基板載置部に搬送された上記基板が、上記２個の反転機構６７によって交互に反転されるとともに、配置が変更され上記第２基板搬送機構６２に配置するものであるので、上記基板５の搬送におけるタクトタイムを半減して、上記基板の搬送処理を２倍にすることが出来るという効果を奏する。   The reversing mechanism in the polarizing film laminating apparatus according to the present embodiment includes two reversing mechanisms 67 on both sides of the first substrate transport mechanism 61, and the first substrate transport mechanism 61 has the reversing mechanism 67 on both sides. Two substrate platforms that alternately transport the substrates 5 transported by the one substrate transport mechanism 61 are disposed, and the substrates transported to the two substrate platforms are the two Since the reversing mechanism 67 is alternately reversed and the arrangement is changed and the second substrate transport mechanism 62 is disposed, the tact time in transporting the substrate 5 is halved, and the transport processing of the substrate is performed 2 times. There is an effect that it can be doubled.

さらに次の本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、図６に示されるように上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を支持する基板支持部６６に連結した上記基板反転部６７の反転動作により、長方形の基板５を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を反転させるとともに、配置を変更して上記基板５を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２に配置するものであるので、上記基板５を支持した上記基板支持部６６に連結した上記基板反転部６７の一反転動作（一回の反転動作）により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism including the substrate support unit in the substrate transport mechanism of the next embodiment is a substrate support unit 66 that supports the substrate 5 transported by the first substrate transport mechanism 61 as shown in FIG. The substrate 5 transported by the first substrate transport mechanism 61 that transports the rectangular substrate 5 with the long side or the short side along the transport direction by the reversing operation of the substrate reversing unit 67 connected to In addition to being reversed, the arrangement is changed and the substrate 5 is arranged in the second substrate carrying mechanism 62 that carries the short side or the long side along the carrying direction. The substrate 5 is reversed by one reversing operation (one reversing operation) of the substrate reversing unit 67 connected to the substrate supporting unit 66, and the short side and long side directions along the transport direction of the substrate 5 are changed. Can be changed Rutotomoni, there is an effect that it is possible to shorten the tact time.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記反転機構の上記基板反転部６７が、駆動装置の回転駆動により、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism provided with the substrate supporting part in the substrate transporting mechanism of the present embodiment is such that the substrate reversing part 67 of the reversing mechanism has a constant inclination with respect to the transporting direction of the substrate 5 by the rotational drive of the driving device. Since the reversing operation is performed by rotating around the disposed reversing axis, the substrate reversing unit 67 rotates once around the reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate 5. By the reversing operation, the substrate 5 can be reversed, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 can be changed, and the tact time can be shortened.

さらに本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記反転機構の上記基板反転部６７が、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板５の搬送方向に対して４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present embodiment is the above-described invention, wherein the substrate reversing portion 67 of the reversing mechanism is disposed with a constant inclination with respect to the transport direction of the substrate 5. Therefore, the substrate reversing unit 67 is rotated once around the reversing axis disposed at an inclination of 45 ° with respect to the transport direction of the substrate 5. By the operation, the substrate 5 can be reversed, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 can be changed, and the tact time can be shortened.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記発明において、上記基板反転部６７の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板反転部６７の一端に配設される上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present embodiment is the above-described invention, wherein one end of the substrate reversing portion 67 is disposed at an inclination of 45 ° with respect to the reversing axis. Therefore, the substrate 5 disposed at one end of the substrate reversing unit 67 is reversed by one reversing operation of the substrate reversing unit 67, and the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 are reversed. As a result, the tact time can be shortened.

さらに本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記反転機構６７の上記反転軸と上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板および上記第２基板搬送機構６１、６２に上記基板反転部６７によって反転して配置された上記基板５が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism having the substrate support portion in the substrate transporting mechanism of the present embodiment includes the reversing shaft of the reversing mechanism 67 and the substrate transported by the first substrate transporting mechanism 61 and the second substrate transporting mechanism 61. 62, the substrate 5 reversed by the substrate reversing unit 67 is disposed on the same plane, so that the substrate 5 is reversed by one reversing operation of the substrate reversing unit 67. At the same time, it is possible to change the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate and to shorten the tact time.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記反転軸に対して線対称に一対備えられている上記基板反転部６７および基板支持部の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を反転させるとともに、配置を変更して上記基板５を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２に配置するものであるので、上記基板５を支持した上記基板支持部６６に連結した一対の上記基板反転部６７および基板支持部６６の一回の反転動作により、上記基板反転部６７および基板支持部６６が１個の場合に比べ、２倍の上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを半分にすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism having the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present embodiment has a rectangular substrate by the reversing operation of the substrate reversing portion 67 and the substrate supporting portion that are provided in line symmetry with respect to the reversing axis. The substrate 5 transported by the first substrate transport mechanism 61 that transports the substrate 5 in a state where the long side or the short side is along the transport direction is reversed, and the arrangement is changed to change the substrate 5 to the short side or the long side. Since the side is disposed in the second substrate transport mechanism 62 that transports the substrate along the transport direction, a pair of the substrate reversing unit 67 and the substrate support connected to the substrate support unit 66 that supports the substrate 5 are supported. The one-time reversing operation of the portion 66 causes the substrate 5 to be reversed twice as compared with the case where the number of the substrate reversing portion 67 and the substrate supporting portion 66 is one, and the short side along the transport direction of the substrate 5 And long Together we can change the direction of an effect that can be halved tact time.

さらに本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記基板反転部６７の一端に連結された上記基板支持部６６を構成する上記挟持手段が、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５の両面を挟持することにより確実に支持するものであるので、上記基板反転部６７の反転動作により、上記基板５を確実に反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。   Further, in the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present embodiment, the sandwiching means constituting the substrate support portion 66 connected to one end of the substrate reversing portion 67 is the first substrate transport mechanism 61. Therefore, the substrate 5 is reliably reversed by the reversing operation of the substrate reversing unit 67, and the substrate 5 is conveyed in the direction of conveyance. There is an effect that the direction of the short side and the long side along the direction can be changed.

また本実施形態の基板搬送機構における基板支持部を備えた反転機構は、上記基板反転部６７の一端に連結された上記基板支持部６６を構成する上記吸着手段が、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を吸引によって吸着することにより支持するものであるので、上記基板反転部６７の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism having the substrate support portion in the substrate transport mechanism of the present embodiment is such that the suction means constituting the substrate support portion 66 connected to one end of the substrate reversing portion 67 is the first substrate transport mechanism 61. The substrate 5 transported by the substrate is supported by being sucked by suction, so that the substrate 5 is reversed by the reversing operation of the substrate reversing unit 67 and the substrate 5 is shortened along the transport direction. There is an effect that the direction of the side and the long side can be changed.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を支持する基板支持部６６に連結した基板反転部６７の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて上記第１基板搬送機構６１にて搬送され、上記第１貼合部において下面に偏光フィルムが貼合された上記基板５を反転させるとともに、配置を変更して上記第２基板搬送機構６２に配置されるため、上記基板５を上記第２基板搬送機構６２によって短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送して、上記第２貼合部において、上記基板の下面に偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Furthermore, the inversion mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment is a board | substrate support which supports the said board | substrate 5 conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 in the bonding apparatus of a polarizing film. By the reversing operation of the substrate reversing unit 67 connected to the unit 66, the rectangular substrate is transported by the first substrate transporting mechanism 61 with the long side or the short side along the transporting direction, and the first bonding unit In addition, the substrate 5 having the polarizing film bonded to the lower surface thereof is reversed, and the arrangement is changed and arranged in the second substrate transport mechanism 62. Therefore, the substrate 5 is short-circuited by the second substrate transport mechanism 62. Or it conveys in the state in which the long side followed the conveyance direction, and there exists an effect of implement | achieving that a polarizing film is bonded by the lower surface of the said board | substrate in the said 2nd bonding part.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を支持する上記基板支持機構の上記基板支持部６６に連結した基板反転部６７の反転動作により、上記第１基板搬送機構６１にて搬送され上記保持部６６に保持された上記基板５を反転させるとともに、配置を変更して第２基板搬送機構６２に配置されることにより、上記基板５の搬送および偏光フィルムの貼合を可能にするので、上記基板の上下の面にそれぞれ偏光フィルムが貼合されることを実現するという効果を奏する。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment is the said board | substrate which supports the said board | substrate 5 conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 in the bonding apparatus of a polarizing film. By the reversing operation of the substrate reversing unit 67 connected to the substrate supporting unit 66 of the supporting mechanism, the substrate 5 transported by the first substrate transporting mechanism 61 and held by the holding unit 66 is reversed and the arrangement is changed. Since the second substrate transport mechanism 62 is arranged to enable the transport of the substrate 5 and the bonding of the polarizing film, the polarizing film is bonded to the upper and lower surfaces of the substrate, respectively. The effect of doing.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記反転機構の上記基板反転部６７が、駆動装置の回転駆動により、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転して反転動作するものであるので、上記基板５の搬送方向に対して一定の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate supporting part in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment is such that the substrate reversing part 67 of the reversing mechanism is constant with respect to the transport direction of the substrate 5 by the rotational drive of the driving device. Therefore, the substrate reversing unit 67 rotates around the reversing axis disposed at a certain inclination with respect to the transport direction of the substrate 5. By one reversing operation, the substrate 5 is reversed, the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 can be changed, and the tact time can be shortened. Play.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、４５°の傾きで配設された反転軸回りに回転する上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Further, the reversing mechanism provided with the substrate support portion in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment, by a single reversing operation of the substrate reversing portion 67 rotating around the reversing axis disposed at an inclination of 45 °, In addition to reversing the substrate 5, it is possible to change the direction of the short side and the long side along the conveyance direction of the substrate 5, and to shorten the tact time.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記基板反転部６７の一端が、上記反転軸に対して４５°の傾きで配設されているものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板反転部６７の一端に配設される上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment WHEREIN: One end of the said board | substrate inversion part 67 is arrange | positioned with the inclination of 45 degrees with respect to the said inversion axis | shaft. Therefore, the substrate 5 disposed at one end of the substrate reversing unit 67 is reversed by one reversing operation of the substrate reversing unit 67, and the short side and the long side along the transport direction of the substrate 5 are reversed. The effect is that the direction can be changed and the tact time can be shortened.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記反転機構の上記反転軸と上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５および上記第２基板搬送機構６２に上記基板反転部６７によって反転して配置された上記基板５が、同一平面に配置されるものであるので、上記基板反転部６７の一回の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment is the said inversion axis | shaft of the said inversion mechanism, and the said board | substrate 5 and the said 2nd board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61. Since the substrate 5 reversed by the substrate reversing unit 67 on the transport mechanism 62 is disposed on the same plane, the substrate 5 is reversed by one reversing operation of the substrate reversing unit 67. In addition, it is possible to change the direction of the short side and the long side along the transport direction of the substrate and to shorten the tact time.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記反転軸Ｍに対して線対称に一対備えられている上記基板反転部６７および基板支持部６６の反転動作により、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を反転させるとともに、配置を変更して上記基板５を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２に配置するものであるので、上記基板５を支持した上記基板支持部６６に連結した一対の上記基板反転部６７のおよび基板支持部６６の一回の反転動作により、上記基板反転部６７および基板支持部６６が１個の場合に比べ、２倍の上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るとともに、タクトタイムを半分にすることが出来るという効果を奏する。   Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support part in the polarizing film bonding apparatus of the present embodiment is a reversing operation of the substrate reversing part 67 and the substrate supporting part 66 that are provided in a pair of line symmetry with respect to the reversal axis M. Thus, the substrate 5 transported by the first substrate transport mechanism 61 that transports a rectangular substrate with the long side or the short side along the transport direction is reversed, and the arrangement is changed to change the substrate 5 Is disposed in the second substrate transport mechanism 62 that transports the short side or the long side along the transport direction, so that the pair of substrate inversions connected to the substrate support 66 supporting the substrate 5 As a result of one reversing operation of the part 67 and the substrate support part 66, the substrate 5 is reversed twice as compared with the case where the number of the substrate reversal part 67 and the substrate support part 66 is one, and the substrate 5 is transported. direction Together we can change the direction of the short and long sides along an effect that it is possible to halve the cycle time.

また本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記基板反転部６７の一端に連結された上記基板支持部６６を構成する上記挟持手段が、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５の両面を挟持することにより確実に支持するものであるので、上記基板反転部６７の反転動作により、上記基板５を確実に反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。   Moreover, the reversing mechanism provided with the board | substrate support part in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment WHEREIN: The said clamping means which comprises the said board | substrate support part 66 connected with the end of the said board | substrate inversion part 67 is said 1st board | substrate. Since both sides of the substrate 5 transported by the transport mechanism 61 are sandwiched and reliably supported, the substrate 5 is reliably reversed by the reversing operation of the substrate reversing unit 67, and the substrate 5 There is an effect that the direction of the short side and the long side along the transport direction can be changed.

さらに本実施形態の偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構は、上記基板反転部６７の一端に連結された上記基板支持部６６を構成する上記吸着手段が、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された上記基板５を吸引によって吸着することにより支持するものであるので、上記基板反転部６７の反転動作により、上記基板５を反転させるとともに、上記基板５の搬送方向に沿った短辺および長辺の方向を変更することが出来るという効果を奏する。
上述した偏光フィルムの貼合装置は、図４ないし図１５に示されるように長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部６と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部１６とを備えた偏光フィルムの貼合装置において、上記第１基板搬送機構６１にて搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５を支持するための基板支持部材６６１、６６２と、上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材を基板支持状態にする駆動制御手段を備えた基板支持装置６６と、互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構６１および上記第２基板搬送機構６２との間に配設され、上記基板支持部材に連結しているとともに、上記第１基板搬送機構６１および上記第２基板搬送機構６２の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転する少なくとも１個の基板反転部６７１を備えている反転機構６７とから成るものである。 Furthermore, the reversing mechanism provided with the substrate support part in the polarizing film bonding apparatus of the present embodiment is configured such that the suction means constituting the substrate support part 66 connected to one end of the substrate reversing part 67 is the first substrate. Since the substrate 5 transported by the transport mechanism 61 is supported by being sucked by suction, the substrate reversing operation of the substrate reversing unit 67 reverses the substrate 5 and in the transport direction of the substrate 5. There is an effect that the direction of the short side and the long side can be changed.
The polarizing film laminating apparatus described above includes a first substrate transport mechanism 61 that transports a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the transport direction as shown in FIGS. The 1st bonding part 6 which bonds the 1st polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in 1 board | substrate conveyance mechanism, and the 2nd board | substrate conveyance which conveys the said board | substrate in the state in which the short side or the long side followed the conveyance direction. In the polarizing film laminating apparatus including the mechanism 62 and the second laminating unit 16 that laminates the second polarizing film on the lower surface of the substrate in the second substrate conveying mechanism, the first substrate conveying mechanism 61 is provided. Acting on the substrate support members 661 and 662 for supporting the substrate 5 on which the first polarizing film conveyed in step 1 is bonded, and bringing the substrate support member into a substrate support state. Substrate support with drive control means The device 66 is disposed between the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 that are parallel to each other with the transport direction being offset from each other, and is coupled to the substrate support member and the first substrate transport member. A substrate transport mechanism 61 and a reversing mechanism 67 provided with at least one substrate reversing portion 671 that is reversing around a reversing axis and is inclined with respect to the transport direction of the second substrate transport mechanism 62. It is.

上記構成より成る本実施形態の偏光フィルムの貼合装置は、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構６１と、上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部６と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構６２と、上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部とを備えた偏光フィルムの貼合装置１６において、上記基板支持装置６６の上記駆動制御手段が上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材６６１、６６２を基板支持状態にするので、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第１基板搬送機構６１にて搬送され上記基板支持部材によって支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を、互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構および上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する上記第２基板搬送機構６２との間に配設された上記反転機構６７において、上記基板支持部材に連結している少なくとも１個の上記基板反転部６７１によって、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転させて上記第２基板搬送機構６２に搬送方向に沿うように配置して上記第２貼合部１６に搬送するものであるため、上記基板支持部材６６１、６６２によって上記第１基板搬送機構６１にて搬送され支持された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５を、確実に支持するとともに、少なくとも１個の上記基板反転部６７１の一反転動作（一回の反転動作）によって、第１の偏光フィルムが貼合された上記基板５を反転させて、上記第２基板搬送機構６２の搬送方向に沿うように配置変更するものであり、偏光フィルムの貼合装置におけるタクトタイムを短くすることが出来るという効果を奏する。   The polarizing film laminating apparatus of the present embodiment configured as described above includes a first substrate transport mechanism 61 that transports a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the transport direction, and the first substrate transport mechanism. A first bonding unit 6 for bonding the first polarizing film to the lower surface of the substrate in the above, a second substrate transport mechanism 62 for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction, In the polarizing film laminating apparatus 16 including the second laminating unit that laminates the second polarizing film on the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism, the drive control unit of the substrate supporting apparatus 66 includes: The first substrate transport mechanism that transports the rectangular substrate with the long side or the short side along the transport direction because the substrate support member 661, 662 is brought into the substrate support state by acting on the substrate support member. 61 and transported by the above The substrate on which the first polarizing film supported by the support member is bonded, the transport direction is offset from each other, and the first substrate transport mechanism and the substrate parallel to each other have short sides or long sides along the transport direction. In the reversing mechanism 67 disposed between the second substrate transporting mechanism 62 that transports the first substrate, the at least one substrate reversing unit 671 connected to the substrate supporting member causes the first substrate to be transported. The second pasting is carried out by reversing the reversing axis around the reversing axis that is inclined with respect to the transporting direction of the transporting mechanism and the second substrate transporting mechanism and arranging the second substrate transporting mechanism 62 along the transporting direction. Since it is to be transported to the joint section 16, the substrate 5 on which the first polarizing film transported and supported by the first substrate transport mechanism 61 by the substrate support members 661 and 662 is bonded is securely attached. The substrate 5 on which the first polarizing film is bonded is reversed by one reversing operation (one reversing operation) of at least one of the substrate reversing portions 671 to convey the second substrate. The arrangement is changed so as to be along the conveyance direction of the mechanism 62, and the tact time in the polarizing film bonding apparatus can be shortened.

＜その他の付帯的構成＞
さらに、好ましい形態として、製造システム１００は、制御部７０、洗浄部７１、貼りずれ検査装置７２および貼合異物自動検査装置７３および仕分け搬送装置７４を備えている。貼りずれ検査装置７２、貼合異物自動検査装置７３および仕分け搬送装置７４は、貼合後の基板５、すなわち、液晶表示装置に対して検査等の処理を行うものである。 <Other incidental configurations>
Furthermore, as a preferable form, the manufacturing system 100 includes a control unit 70, a cleaning unit 71, a sticking misalignment inspection device 72, a bonded foreign matter automatic inspection device 73, and a sorting and conveying device 74. The sticking deviation inspection device 72, the bonding foreign substance automatic inspection device 73, and the sorting and conveying device 74 perform processing such as inspection on the substrate 5 after bonding, that is, the liquid crystal display device.

図２０は上記液晶表示装置の製造システムが備える各部材の関連を示すブロック図であり、図２１は液晶表示装置の製造システムの動作を示すフローチャートである。以下、液晶表示装置が備える各部材の説明と共にその動作について説明する。   FIG. 20 is a block diagram showing the relationship of each member included in the liquid crystal display device manufacturing system, and FIG. 21 is a flowchart showing the operation of the liquid crystal display device manufacturing system. Hereinafter, the operation of the liquid crystal display device will be described together with the description of each member.

制御部７０は、洗浄部７１、貼りずれ検査装置７２、貼合異物自動検査装置７３および仕分け搬送装置７４と接続されており、これらに制御信号を送信して制御するものである。制御部７０は、主としてＣＰＵ（Central Processing Unit ）により構成され、必要に
応じてメモリ等を備える。 The control unit 70 is connected to the cleaning unit 71, the bonding deviation inspection device 72, the bonded foreign matter automatic inspection device 73, and the sorting and conveying device 74, and controls them by transmitting control signals thereto. The control unit 70 is mainly configured by a CPU (Central Processing Unit), and includes a memory or the like as necessary.

製造システム１００に洗浄部７１が備えられている場合、洗浄部７１でのタクトタイムを短縮するため、第１基板搬送機構６１における基板５は、長辺間口にて洗浄部７１に搬送されることが好ましい。通常、洗浄部７１での洗浄は長時間を要するため、タクトタイムを短縮する観点から当該構成は非常に有効である。
In the case where the cleaning unit 71 is provided in the manufacturing system 100, the substrate 5 in the first substrate transport mechanism 61 is transported to the cleaning unit 71 at the front edge of the long side in order to reduce the tact time in the cleaning unit 71. Is preferred. Usually, since the cleaning in the cleaning unit 71 takes a long time, this configuration is very effective from the viewpoint of shortening the tact time.

次に、偏光フィルムを基板５の両面に貼合する貼合工程（基板５の反転動作を含む）を行うが（図２１のＳ２）、本工程については、図１〜図１８を用いて説明した通りである。   Next, although the bonding process (including the reversing operation of the substrate 5) for bonding the polarizing film to both surfaces of the substrate 5 is performed (S2 in FIG. 21), this process will be described with reference to FIGS. That's right.

貼りずれ検査装置７２は、貼合された基板５における偏光フィルムの貼りずれの有無を検査するものである。貼りずれ検査装置７２は、カメラおよび画像処理装置によって構成されており、ニップロール１６・１６ａによって偏光フィルムが貼合された基板５の貼合位置に上記カメラが設置されている。上記カメラにて基板５の撮影が行われ、撮影された画像情報を処理することによって、基板５に貼りずれの有無を検査することができる（貼りずれ検査工程、図２１のＳ３）。なお、貼りずれ検査装置７２としては、従来公知の貼りずれ検査装置を使用可能である。   The sticking deviation inspection device 72 inspects the presence or absence of sticking deviation of the polarizing film in the bonded substrate 5. The sticking displacement inspection device 72 is constituted by a camera and an image processing device, and the camera is installed at the bonding position of the substrate 5 on which the polarizing film is bonded by the nip rolls 16 and 16a. The substrate 5 is photographed by the camera, and by processing the photographed image information, it is possible to inspect the substrate 5 for the presence or absence of sticking (sticking slip inspection step, S3 in FIG. 21). Note that as the misalignment inspection apparatus 72, a conventionally known misalignment inspection apparatus can be used.

貼合異物自動検査装置７３は、貼合された基板５における異物の有無を検査するものである。貼合異物自動検査装置７３は、貼りずれ検査装置７２と同様に、カメラおよび画像処理装置によって構成されており、ニップロール１６・１６ａによって偏光フィルムが貼合された後の基板５の第２基板搬送機構（貼合装置６０）に上記カメラが設置されている。上記カメラにて基板５の撮影が行われ、撮影された画像情報を処理することによって、基板５に貼合異物の有無を検査することができる（貼合異物検査工程、Ｓ４）。上記異物としては、埃などの異物、フィッシュアイなどが挙げられる。なお、貼合異物自動検査装置７３としては、従来公知の貼合異物検査装置を使用可能である。   The bonded foreign matter automatic inspection device 73 inspects the presence or absence of foreign matters in the bonded substrate 5. The bonded foreign matter automatic inspection device 73 is configured by a camera and an image processing device, like the misalignment inspection device 72, and transports the second substrate of the substrate 5 after the polarizing film is bonded by the nip rolls 16 and 16a. The camera is installed in the mechanism (bonding device 60). The board | substrate 5 is image | photographed with the said camera, and the presence or absence of the bonding foreign material to the board | substrate 5 can be test | inspected by processing the image | photographed image information (bonding foreign material inspection process, S4). Examples of the foreign matter include foreign matters such as dust, fish eyes, and the like. In addition, as the bonding foreign material automatic inspection apparatus 73, a conventionally well-known bonding foreign material inspection apparatus can be used.

Ｓ３およびＳ４は逆の順序でなされてもよいし、同時になされてもよい。また、一方の工程を省略することも可能である。   S3 and S4 may be performed in the reverse order or simultaneously. One step can be omitted.

仕分け搬送装置７４は、貼りずれ検査装置７２および貼合異物自動検査装置７３からの検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定する。仕分け搬送装置７４は、貼りずれ検査装置７２および貼合異物自動検査装置７３から検査結果に基づく出力信号を受信して、貼合された基板５を良品または不良品に仕分けできるものであればよい。したがって、従来公知の仕分け搬送システムを用いることができる。   The sorting and conveying device 74 determines the presence or absence of sticking misalignment and foreign matter based on the inspection results from the sticking misalignment inspection device 72 and the bonded foreign matter automatic inspection device 73. The sorting and conveying device 74 only needs to receive an output signal based on the inspection result from the sticking misalignment inspection device 72 and the bonding foreign matter automatic inspection device 73 and can sort the bonded substrates 5 into non-defective products or defective products. . Therefore, a conventionally known sorting and conveying system can be used.

当該液晶表示装置の製造システムでは好ましい態様として貼りずれおよび異物の両方を検出する構成となっており、貼りずれまたは異物が検査されたと判定された場合（ＹＥＳ）、貼合された基板５は不良品として仕分けされる（Ｓ７）。一方、貼りずれおよび異物のいずれもが検知されなかったと判定された場合（ＮＯ）、貼合された基板５は良品として仕分けされる（Ｓ６）。   In the manufacturing system of the liquid crystal display device, as a preferred mode, both the misalignment and foreign matter are detected. When it is determined that the misalignment or foreign matter has been inspected (YES), the bonded substrate 5 is not used. Sorted as good (S7). On the other hand, when it is determined that neither sticking deviation nor foreign matter is detected (NO), the bonded substrates 5 are classified as non-defective products (S6).

仕分け搬送装置７４を備える液晶表示装置の製造システムによれば、良品および不良品の仕分けを速やかに行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。貼りずれ検査装置７２または貼合異物自動検査装置７３のみが備えられている場合、仕分け搬送装置７４は、貼りずれおよび異物の一方のみ有無を判定する構成であってもよい。   According to the manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the sorting and conveying device 74, the non-defective product and the defective product can be sorted quickly, and the tact time can be shortened. When only the sticking misalignment inspection device 72 or the bonded foreign matter automatic inspection device 73 is provided, the sorting and conveying device 74 may be configured to determine the presence / absence of only one of the sticking misalignment and the foreign matter.

また、上記基板支持部において基板を挟持する実施形態において、上記基板支持部に基板を吸着する吸着手段を追加する実施形態が好ましい。
これにより、基板支持部だけで基板を挟持する場合に比べて、さらに基板の固定を確実にすることができる。 Further, in the embodiment in which the substrate is held by the substrate support portion, an embodiment in which a suction means for sucking the substrate is added to the substrate support portion is preferable.
Thereby, compared with the case where a board | substrate is clamped only by a board | substrate support part, fixation of a board | substrate can be ensured further.

また、本実施形態の偏光フィルムの貼合装置では、上記基板反転部６７に基板反転部と共に回転する回転軸部６８が備えられており、上記回転軸部６８は、上記反転軸に沿って配置されていることが好ましい。   In the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment, the substrate reversing unit 67 is provided with a rotating shaft portion 68 that rotates together with the substrate reversing portion, and the rotating shaft portion 68 is disposed along the reversing axis. It is preferable that

上記回転軸部６８は、反転軸に沿って配置されているため、回転軸部を備える基板反転部６７は反転軸に沿ってより安定して回転可能である。したがって、基板の反転をより安定して確実に行うことが可能となる。   Since the rotating shaft portion 68 is disposed along the reversing axis, the substrate reversing portion 67 including the rotating shaft portion can rotate more stably along the reversing axis. Therefore, the substrate can be reversed more stably and reliably.

また、本実施形態の基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置では、偏光フィルムを搬送する第１フィルム搬送機構５１および第２フィルム搬送機構５２が備えられており、上記第１フィルム搬送機構５１には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第２フィルム搬送機構５２には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第１基板搬送機構６１および第２基板搬送機構６２は上記第１フィルム搬送機構および第２フィルム搬送機構の上部に備えられており、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する上記第１貼合部が上記第１フィルム搬送機構５１と第１基板搬送機構６１との間に、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する第２貼合部が上記第２フィルム搬送機構５２と第２基板搬送機構６２との間にそれぞれ備えられていることが好ましい。   Moreover, in the board | substrate conveyance mechanism and polarizing film bonding apparatus of this embodiment, the 1st film conveyance mechanism 51 and the 2nd film conveyance mechanism 52 which convey a polarizing film are provided, and the said 1st film conveyance mechanism 51 is provided with the said 1st film conveyance mechanism 51. A plurality of unwinding portions for unwinding the polarizing film protected by the release film, a cutting portion for cutting the polarizing film, a removing portion for removing the release film from the polarizing film, and winding the removed release film The second film transport mechanism 52 includes a plurality of unwinding units for unwinding the polarizing film protected by the release film, a cutting unit for cutting the polarizing film, and a polarizing plate. A removing unit for removing the release film from the film and a plurality of winding units for winding the removed release film are provided. The 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 is provided in the upper part of the said 1st film conveyance mechanism and the 2nd film conveyance mechanism, The said 1st bonding part which bonds the polarizing film from which the said peeling film was removed to a board | substrate is the said. Between the 1st film conveyance mechanism 51 and the 1st board | substrate conveyance mechanism 61, the 2nd bonding part which bonds the polarizing film from which the said peeling film was removed to a board | substrate is the said 2nd film conveyance mechanism 52 and a 2nd board | substrate. It is preferable that they are respectively provided between the transfer mechanism 62 and the transfer mechanism 62.

これにより、巻出部および巻取部が複数備えられているため、一方の巻出部における偏光フィルムの原反の残量が少なくなった場合、その原反に他方の巻出部に備えられた原反を連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することができ、生産効率を高めることができる。   Thereby, since the unwinding part and the winding part are provided in plural, when the remaining amount of the original film of the polarizing film in one unwinding part decreases, the other unwinding part is provided in the original film. It is possible to connect raw materials. As a result, the operation can be continued without stopping the unwinding of the polarizing film, and the production efficiency can be increased.

また、本実施形態の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１貼合部６によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、上記第１基板搬送機構６１は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送することが好ましい。   Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment, before bonding a polarizing film to the lower surface of a board | substrate by the said 1st bonding part 6, the washing | cleaning part which wash | cleans a board | substrate is provided, The said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 preferably transports the substrate with the short side of the substrate along the transport direction.

これにより、基板の搬送方向に対して基板の長辺が直交する状態にて、洗浄部による基板の洗浄を行うことができる。すなわち、搬送方向に沿った基板の距離を小さくすることができるため、洗浄に必要なタクトタイムをより短縮することができる。その結果、さらに生産効率に優れた偏光フィルムの貼合装置を提供することができる。   Accordingly, the substrate can be cleaned by the cleaning unit in a state where the long sides of the substrate are orthogonal to the substrate transport direction. That is, since the distance of the substrate along the transport direction can be reduced, the tact time required for cleaning can be further shortened. As a result, it is possible to provide a polarizing film laminating apparatus that is further excellent in production efficiency.

また、本実施形態の偏光フィルムの貼合装置では、上記第１フィルム搬送機構５１および上記第２フィルム搬送機構５２には、第１巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有することが好ましい。   Further, in the polarizing film laminating apparatus of the present embodiment, the first film transport mechanism 51 and the second film transport mechanism 52 display defects displayed on the polarizing film unwound from the first unwinding section. A defect detection unit that detects the defect, a bonding avoidance unit that discriminates the defect display and stops the conveyance of the substrate, and a recovery unit that recovers the polarizing film from which the bonding with the substrate is avoided. preferable.

上記欠点検出部、貼合回避部および回収部によれば、欠点を有する偏光フィルムと基板との貼合わせを回避できるため、歩留まりを高めることができる。   According to the above-mentioned fault detection part, pasting avoidance part, and recovery part, since a pasting with a polarizing film and a substrate which has a fault can be avoided, a yield can be raised.

本実施形態の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムは、上記偏光フィルムの貼合装置１６と、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備えるものである。   The manufacturing system of the polarizing film bonding apparatus and the liquid crystal display device of the present embodiment inspects the bonding deviation in the polarizing film bonding apparatus 16 and the substrate on which the polarizing film is bonded by the second bonding portion. A sticking deviation inspection device is provided.

これにより、偏光フィルムを貼合した基板に生じた貼りずれを検査することが可能である。   Thereby, it is possible to inspect the sticking deviation which arose on the board | substrate which bonded the polarizing film.

また、本実施形態の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Further, in the polarizing film laminating apparatus and the liquid crystal display manufacturing system according to the present embodiment, the presence or absence of misalignment is determined based on the inspection result by the misalignment inspection apparatus, and the polarizing film is bonded based on the determination result. It is preferable to provide a sorting / conveying device for sorting the formed substrates.

これにより、偏光フィルムが貼合された基板に貼りずれが生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   Thereby, when the sticking shift | offset | difference has arisen in the board | substrate with which the polarizing film was bonded, it can classify | categorize a defective product quickly and can shorten a tact time.

また、本実施形態の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、偏光フィルムの貼合装置と、上記貼合装置における第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備えることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing apparatus of the polarizing film bonding apparatus and liquid crystal display device of this embodiment, in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the bonding apparatus of a polarizing film, and the 2nd bonding part in the said bonding apparatus. It is preferable to provide a bonded foreign matter automatic inspection device for inspecting foreign matters.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに混入した異物を検査することが可能である。   Thereby, it is possible to inspect the foreign matter mixed in the liquid crystal panel to which the polarizing film is bonded.

また、本実施形態の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Further, in the polarizing film bonding apparatus and the liquid crystal display manufacturing system of the present embodiment, the presence or absence of foreign matter is determined based on the inspection result by the bonding foreign substance automatic inspection device, and the polarizing film is bonded based on the determination result. It is preferable to provide a sorting / conveying device for sorting the combined substrates.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに異物が混入している場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   Thereby, when the foreign material is mixed in the liquid crystal panel which bonded the polarizing film, it can classify | categorize a defective product rapidly and can shorten a tact time.

また、本実施形態の偏光フィルムの貼合装置および液晶表示装置の製造システムでは、上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing apparatus of the polarizing film bonding apparatus and liquid crystal display device of this embodiment, it is equipped with the bonded foreign material automatic test | inspection apparatus which test | inspects the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part. Based on the inspection result by the sticking inspection apparatus and the inspection result by the sticking foreign substance automatic inspection apparatus, the presence or absence of sticking and foreign matter is determined, and based on the determination result, the polarizing film is bonded to the substrate. It is preferable to provide a sorting / conveying device for sorting.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに貼りずれまたは異物の混入が生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。
As a result, when the liquid crystal panel bonded with the polarizing film is stuck or mixed with foreign matter, defective products can be quickly sorted, and the tact time can be shortened.

なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した記載によって当業者が認識することが出来る技術的思想の範囲内において、種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the technical idea that can be recognized by those skilled in the art based on the description given in the claims. Embodiments obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

本発明に係る偏光フィルムの貼合装置は、偏光フィルムを基板に貼合する分野にて利用可能である。   The polarizing film bonding apparatus according to the present invention can be used in the field of bonding a polarizing film to a substrate.

１ 第１巻出部
１ａ 第２巻出部
２ 第１巻取部
２ａ 第２巻取部
３ ハーフカッター
４ ナイフエッジ
５・５' 基板
５ａ 偏光フィルム
５ｂ 剥離フィルム
６・６ａ ニップロール（第１貼合部）
７・７ａ 欠点フィルム巻取ローラー
１１ 第１巻出部
１１ａ 第２巻出部
１２ 第１巻取部
１２ａ 第２巻取部
１３ ハーフカッター
１４ ナイフエッジ
１６・１６ａ ニップロール（第２貼合部）
１７・１７ａ 欠点フィルム巻取ローラー
４０ ＨＥＰＡフィルター
４１ グレーチング
５０ フィルム搬送機構
５１ 第１フィルム搬送機構
５２ 第２フィルム搬送機構
６０ 貼合装置（偏光フィルムの貼合装置）
６１ 第１基板搬送機構
６２ 第２基板搬送機構
６５ 反転機構
６６ 基板支持装置
６６ａ・６６ｂ 基板支持部
６７ 基板反転部
６８ 回転軸部
７０ 制御部
７１ 洗浄部
７２ 検査装置
７３ 貼合異物自動検査装置
７４ 搬送装置
１００ 製造システム（液晶表示装置の製造システム）
１６５ インターフェイス部
１６６ 入力部
１６７ 表示部
１６８ 記憶部
６６２ 搬送通路
６６３、６６４ 搬送ローラ
６６５ 基板支持駆動装置
Ｄ１ 搬送方向
Ｄ２ 搬送方向
Ｍ 反転軸


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st unwinding part 1a 2nd unwinding part 2 1st winding part 2a 2nd winding part 3 Half cutter 4 Knife edge 5 * 5 'Substrate 5a Polarizing film 5b Release film 6 * 6a Nip roll (1st bonding) Part)
7.7a Defect film winding roller 11 First unwinding part 11a Second unwinding part 12 First winding part 12a Second winding part 13 Half cutter 14 Knife edge 16 / 16a Nip roll (second bonding part)
17.17a Defect film winding roller 40 HEPA filter 41 Grating 50 Film transport mechanism 51 First film transport mechanism 52 Second film transport mechanism 60 Bonding device (polarizing film bonding device)
61 First substrate transport mechanism 62 Second substrate transport mechanism 65 Reversing mechanism 66 Substrate support device 66a / 66b Substrate support unit 67 Substrate reversing unit 68 Rotating shaft unit 70 Control unit 71 Cleaning unit 72 Inspection device 73 Bonding foreign matter automatic inspection device 74 Conveying device 100 Manufacturing system (Liquid crystal display manufacturing system)
165 Interface unit 166 Input unit 167 Display unit 168 Storage unit 662 Conveyance path 663, 664 Conveyance roller 665 Substrate support driving device D1 Conveyance direction D2 Conveyance direction M Reverse shaft


Claims (23)

長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、
を備えた基板搬送機構において、
上記第１基板搬送機構にて搬送された上記基板を支持するための基板支持部材と、上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材を基板支持状態にする駆動制御手段を備えた基板支持装置と、
互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構との間に配設され、上記基板支持部材に連結しているとともに、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転する少なくとも１個の基板反転部を備えている反転機構とから成る
ことを特徴とする基板搬送機構。 A first substrate transport mechanism for transporting a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction;
A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction;
In a substrate transport mechanism equipped with
A substrate support provided with a substrate support member for supporting the substrate transported by the first substrate transport mechanism, and a drive control means for acting on the substrate support member to bring the substrate support member into a substrate support state. Equipment,
The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are disposed between the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism which are parallel to each other with the transport directions being offset. A substrate transport mechanism comprising: a reversing mechanism including at least one substrate reversing portion that is disposed around the reversing axis and is inclined with respect to the transport direction of the two substrate transport mechanism. 長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第１基板搬送機構と、
上記第１基板搬送機構における上記基板の下面に第１の偏光フィルムを貼合する第１貼合部と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第２基板搬送機構と、
上記第２基板搬送機構における上記基板の下面に第２の偏光フィルムを貼合する第２貼合部と
を備えた偏光フィルムの貼合装置において、
上記第１基板搬送機構にて搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を支持するための基板支持部材と、上記基板支持部材に作用して、上記基板支持部材を基板支持状態にする駆動制御手段を備えた基板支持装置と、
互いに搬送方向がオフセットして平行の上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構との間に配設され、上記基板支持部材に連結しているとともに、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して傾斜して配設された反転軸回りに反転する少なくとも１個の基板反転部を備えている反転機構とから成る
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 A first substrate transport mechanism for transporting a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction;
A first bonding part for bonding a first polarizing film to the lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism;
A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction;
In the polarizing film bonding apparatus comprising the second bonding portion for bonding the second polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism,
A substrate support member for supporting the substrate on which the first polarizing film transported by the first substrate transport mechanism is bonded, and acting on the substrate support member so that the substrate support member is in a substrate support state. A substrate support device provided with a drive control means,
The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are disposed between the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism which are parallel to each other with the transport directions being offset. A polarizing film laminating apparatus comprising: a reversing mechanism including at least one substrate reversing portion that is reversing around a reversing axis and is disposed to be inclined with respect to the transporting direction of the two-substrate transporting mechanism. . 請求項１または請求項２において、
上記反転軸が、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して、４０度ないし５０度の範囲内の角度で傾斜して配設されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In claim 1 or claim 2,
Polarized light characterized in that the reversal axis is disposed at an angle within a range of 40 degrees to 50 degrees with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism. Film bonding device. 請求項１または請求項２において、
上記反転軸が、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に対して、４５度±２度の範囲内の角度で傾斜して配設されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In claim 1 or claim 2,
Polarized light characterized in that the reversal axis is disposed at an angle within a range of 45 degrees ± 2 degrees with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism. Film bonding device. 請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、
上記基板支持部材が、少なくとも２個の支持部材によって構成され、
上記駆動制御手段による駆動制御に基づく少なくとも１個の支持部材の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claim 1 thru | or 4,
The substrate support member is constituted by at least two support members,
By relative movement of at least one support member based on drive control by the drive control means, the substrate on which the first polarizing film is bonded between at least two support members is sandwiched and supported. It is comprised as follows. The polarizing film bonding apparatus characterized by the above-mentioned. 請求項５において、
上記基板支持装置が、上記第１基板搬送機構の下流端部および上記第２基板搬送機構の上流端部に間隙を介して対向するように配設され、上記第１基板搬送機構の下流端部から搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を搬送する第１の搬送手段と、反転された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上記基板支持装置から上記第２基板搬送機構の上流端部に搬送する第２の搬送手段とを備えている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In claim 5,
The substrate support device is disposed to face the downstream end of the first substrate transport mechanism and the upstream end of the second substrate transport mechanism with a gap therebetween, and the downstream end of the first substrate transport mechanism The first transport means for transporting the substrate on which the first polarizing film transported from the substrate is bonded, and the substrate on which the inverted first polarizing film is bonded to the first substrate from the substrate support device. A polarizing film laminating apparatus comprising: a second transporting means for transporting to an upstream end of a two-substrate transporting mechanism. 請求項５において、
上記基板支持装置の上記少なくとも２個の支持部材が、上記第１基板搬送機構の下流端部における幅方向に複数に分割された複数の分割部および上記第２基板搬送機構の上流端部における搬送方向に複数に分割された複数の分割部の間に形成される複数の間隙に進入する複数の突出部を有する櫛状部材によって構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In claim 5,
The at least two support members of the substrate support apparatus are transported at a plurality of divided portions divided in the width direction at a downstream end portion of the first substrate transport mechanism and at an upstream end portion of the second substrate transport mechanism. A polarizing film laminating apparatus, comprising: a comb-like member having a plurality of protrusions that enter a plurality of gaps formed between a plurality of divided portions divided in a direction. 請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、
上記基板支持部材が、１個の支持部材によって構成され、
上記第１基板搬送機構の下流端部に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の表面を付着状態にして支持して、反転後反転された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を上方から上記第２基板搬送機構の上流端部に載置するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claim 1 thru | or 4,
The substrate support member is constituted by one support member,
The first polarizing film, which is supported after the surface of the substrate on which the first polarizing film transported to the downstream end of the first substrate transporting mechanism is bonded, is attached and supported after being inverted. A polarizing film bonding apparatus, wherein the bonded substrate is placed on the upstream end of the second substrate transport mechanism from above. 請求項６において、
上記基板支持装置内において上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を搬送する第１および第２の搬送手段が、上記第１基板搬送機構および上記第２基板搬送機構の搬送方向に沿って上記基板を搬送する第１および第２の搬送ロールによって構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In claim 6,
The 1st and 2nd conveyance means which conveys the said board | substrate with which the said 1st polarizing film was bonded in the said board | substrate support apparatus is along the conveyance direction of the said 1st board | substrate conveyance mechanism and the said 2nd board | substrate conveyance mechanism. The polarizing film laminating apparatus is constituted by first and second transport rolls that transport the substrate. 請求項９において、
上記第１および第２の搬送ロールの少なくとも一方を上記支持部材として相対的に移動させることによって、上記第１および第２の搬送ロールが、上記基板支持装置内に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In claim 9,
By moving at least one of the first and second transport rolls as the support member, the first and second transport rolls are transported into the substrate support apparatus. Polarized light characterized in that the substrate to which the film is bonded is sandwiched and supported, and the substrate is reversed in the second substrate transport mechanism after reversing and the sandwiched state of the substrate is released. Film bonding device. 請求項５ないし請求項７ならびに請求項９および請求項１０のいずれかにおいて、
上記少なくとも２個の支持部材の少なくとも一方が、往復動することによって、相対的に接近するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claims 5 to 7, and Claims 9 and 10,
A polarizing film laminating apparatus, wherein at least one of the at least two support members is configured to relatively approach by reciprocating. 請求項５ないし請求項７ならびに請求項９および請求項１０のいずれかにおいて、
上記少なくとも２個の支持部材の少なくとも一方が、一部を支点として揺動することによって、相対的に接近するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claims 5 to 7, and Claims 9 and 10,
A polarizing film laminating apparatus, wherein at least one of the at least two support members is configured to relatively approach by swinging with a part as a fulcrum. 請求項５ないし請求項７ならびに請求項９ないし請求項１２のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、電気的駆動制御手段より成り、駆動制御指令に基づく電気的駆動制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するように構成されていることを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claims 5 to 7 and Claims 9 to 12,
The drive control means comprises an electric drive control means, and the second drive member is moved between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by electric drive control based on a drive control command. The substrate on which the first polarizing film transported by the one substrate transport mechanism is bonded is supported in a sandwiched state, and after the reversal, the sandwiched state of the substrate reversed in the second substrate transport mechanism is released. It is comprised as follows. The polarizing film bonding apparatus characterized by the above-mentioned. 請求項５ないし請求項７ならびに請求項９ないし請求項１２のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、機械的駆動制御手段より成り、機械的駆動制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claims 5 to 7 and Claims 9 to 12,
The drive control means comprises mechanical drive control means, and the first substrate transport mechanism is interposed between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by mechanical drive control. The substrate to which the conveyed first polarizing film is bonded is supported in a sandwiched state, and the substrate that has been reversed in the second substrate transport mechanism after reversing is released. A polarizing film laminating apparatus characterized by comprising: 請求項５ないし請求項７ならびに請求項９ないし請求項１２のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、流体的駆動制御手段より成り、流体圧制御による上記２個の支持部材の少なくとも一方の相対的移動によって、少なくとも２個の支持部材の間に上記第１基板搬送機構によって搬送された第１の偏光フィルムが貼合された上記基板を挟着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の挟着状態を解除するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claims 5 to 7 and Claims 9 to 12,
The drive control means includes fluid drive control means, and is transported by the first substrate transport mechanism between at least two support members by relative movement of at least one of the two support members by fluid pressure control. The substrate on which the first polarizing film bonded is sandwiched and supported, and the substrate that has been reversed in the second substrate transport mechanism after reversing is released. The polarizing film bonding apparatus characterized by the above-mentioned. 請求項８、請求項１１および請求項１２のいずれかにおいて、
上記駆動制御手段が、流体的駆動制御手段より成り、流体圧制御による流体圧によって、上記１個の支持部材と上記第１基板搬送機構の下流端部に搬送された上記第１の偏光フィルムが貼合された上記基板の表面とを、吸着状態または押圧状態その他の付着状態にして支持するとともに、反転後上記第２基板搬送機構において反転した上記基板の付着状態を解除するように構成されている
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claim 8, Claim 11, and Claim 12,
The drive control means comprises fluid drive control means, and the first polarizing film transported to the downstream end portion of the one support member and the first substrate transport mechanism by fluid pressure by fluid pressure control. The bonded substrate surface is supported in an adsorbed state, a pressed state, or other attached state, and is configured to release the attached state of the substrate reversed by the second substrate transport mechanism after reversal. A polarizing film laminating apparatus characterized by comprising: 請求項１ないし請求項１６のいずれかにおいて、
上記第１貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、
上記第１基板搬送機構は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送する
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In any one of Claims 1 thru | or 16,
Before the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate by the first bonding unit, a cleaning unit for cleaning the substrate is provided,
The said 1st board | substrate conveyance mechanism conveys a board | substrate in the state in which the short side of the board | substrate followed the conveyance direction, The bonding apparatus of the polarizing film characterized by the above-mentioned. 請求項１６において、
上記第１フィルム搬送機構および上記第２フィルム搬送機構には、第１巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、
上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、
基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有する
ことを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。 In claim 16,
In the first film transport mechanism and the second film transport mechanism, a defect detection unit that detects a defect display attached to the polarizing film unwound from the first unwinding unit;
A bonding avoidance unit that determines the defect display and stops the conveyance of the substrate,
A polarizing film laminating apparatus comprising: a collecting unit that collects a polarizing film from which pasting with a substrate is avoided. 請求項１ないし請求項１８のいずれかの偏光フィルムの貼合装置と、
上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備える
ことを特徴とする液晶表示装置の製造システム。 A polarizing film bonding apparatus according to any one of claims 1 to 18,
The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the sticking deviation test | inspection apparatus which test | inspects the sticking deviation in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part. 請求項１９において、
上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備える
ことを特徴とする液晶表示装置の製造システム。 In claim 19,
A liquid crystal display device comprising: a sorting and conveying device that determines the presence or absence of pasting deviation based on an inspection result by the pasting deviation inspection device and sorts a substrate on which a polarizing film is bonded based on the determination result. Manufacturing system. 請求項１ないし請求項２０のいずれかの偏光フィルムの貼合装置と、
上記貼合装置における第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備える
ことを特徴とする液晶表示装置の製造システム。 A polarizing film bonding apparatus according to any one of claims 1 to 20,
A manufacturing system for a liquid crystal display device, comprising: a bonded foreign matter automatic inspection device that inspects foreign matter on a substrate on which a polarizing film has been bonded by the second bonding portion in the bonding device. 請求項１９において、
上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備える
ことを特徴とする液晶表示装置の製造システム。 In claim 19,
A liquid crystal display device comprising: a sorting and conveying device that determines the presence or absence of foreign matter based on an inspection result by the bonded foreign matter automatic inspection device and sorts a substrate on which a polarizing film is bonded based on the determination result Manufacturing system. 請求項１９において、
上記第２貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、
上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備える
ことを特徴とする液晶表示装置の製造システム。

In claim 19,
It is equipped with a bonded foreign matter automatic inspection device that inspects foreign matters on the substrate on which the polarizing film has been bonded by the second bonding portion,
Based on the inspection result by the pasting inspection device and the inspection result by the pasting foreign matter automatic inspection device, the presence or absence of pasting and foreign matter is determined, and the substrate on which the polarizing film is pasted is determined based on the determination result. A system for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a sorting and conveying device that performs the above.

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