JP2011237453A - Sample collection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a quick and efficient introduction of samples to be detected into a sample analysis device, and enhance detection speed to carry out a large amount of tests at a short time.SOLUTION: The sample collection device for collecting samples, to be introduced into a mass spectrometer for analyzing the samples, from a ticket 9. The sample collection device comprises a vaporization container body for vaporizing the samples attached to the ticket 9 that passes through the vaporization container body, and a sample pull-in passage 241 one end of which opens inside the vaporization container body and the other end of which is communicatively connected to the mass spectrometer side. On an inner surface of the vaporization container body, trapezoidal projections 253a are provided along a surface of a sample pull-in aperture 245 of the sample pull-in passage 241 as to separate the ticket 9 from the sample pull-in aperture 245.

Description

本発明は、試料採取装置に関するものである。   The present invention relates to a sampling device.

一般に、空港内や公共施設内に危険物が持ち込まれることを防止する危険物検出装置として、検査対象から採取した試料を加熱・気化することにより危険物を検出する技術が知られている(特許文献1参照)。
特許文献1によれば、試料となる爆発物の粉末等が付着していると考えられる箇所、例えばパソコンのキーボードや鞄のハンドル等を検査片で拭き取ることにより試料を採取し、検査片等ごとに加熱・気化した試料を質量分析装置に導入して検出する技術が開示されている。
In general, as a dangerous goods detection device that prevents dangerous goods from being brought into airports or public facilities, a technique for detecting dangerous goods by heating and vaporizing a sample collected from an inspection object is known (patent) Reference 1).
According to Patent Document 1, a sample is collected by wiping off a portion of a sample, such as a PC keyboard or a bag handle, where the explosive powder or the like is attached, with the test piece. A technique for detecting a sample heated and vaporized by introducing it into a mass spectrometer is disclosed.

ところで、切符等に付着している試料は、例えば収容部において大気圧条件下で採取され、採取された試料は、例えば約10−3Paの減圧状態に維持された質量分析装置により分析される。この場合に、大気圧条件下の収容部内部を減圧状態の質量分析装置内部と流通可能に接続するには、収容部内と質量分析装置内との圧力差を保ちながら接続する必要がある。そのため、収容部と質量分析装置は、圧力損失の大きいキャピラリ管等によって接続される。一般に、直線流路の配管では、圧力損失は長さに比例し、管径の4乗に逆比例する。 By the way, a sample adhering to a ticket or the like is collected, for example, in an accommodating portion under atmospheric pressure conditions, and the collected sample is analyzed by a mass spectrometer maintained in a reduced pressure state of about 10 −3 Pa, for example. . In this case, in order to connect the inside of the accommodating part under atmospheric pressure conditions with the inside of the mass spectrometer in a reduced pressure state, it is necessary to connect while maintaining the pressure difference between the inside of the accommodating part and the mass spectrometer. Therefore, the storage unit and the mass spectrometer are connected by a capillary tube having a large pressure loss. In general, in a straight channel pipe, the pressure loss is proportional to the length and inversely proportional to the fourth power of the pipe diameter.

例えば、図8に示すように、収容部303に大気圧条件下で収容されている切符9に付着している試料を、10−3Paの減圧状態の質量分析装置307内のイオン化チャンバ(図示略)に導入するために、内径が0.3mm程度で長さが10m以上あるキャピラリ管323を用いて収容部303内部と質量分析装置307内部とを流通可能に接続することにより、収容部303内と質量分析装置307内との圧力差が保たれる。
図8において、符号311はヒータを示し、符号327は排気ポンプを示している。
For example, as shown in FIG. 8, an ionization chamber (illustrated) in a mass spectrometer 307 in a reduced pressure state of 10 −3 Pa is applied to a sample attached to a ticket 9 accommodated in an accommodating portion 303 under atmospheric pressure conditions. For example, the inside of the housing portion 303 and the inside of the mass spectrometer 307 are connected so as to be circulated using a capillary tube 323 having an inner diameter of about 0.3 mm and a length of 10 m or more. The pressure difference between the inside and the mass spectrometer 307 is maintained.
In FIG. 8, reference numeral 311 indicates a heater, and reference numeral 327 indicates an exhaust pump.

特開2004−301749号公報JP 2004-301749 A

しかしながら、大気圧条件下にある試料を含む気流を一度で大量に質量分析装置307に導入すると、イオン化チャンバを10−3Paの減圧状態に保つことができないため、試料を含む気流を約1sccmの流量でイオン化チャンバに導入することとなる。そのため、従来の技術では、収容部303と質量分析装置7との圧力差を保つことはできるものの、試料を含む気流をキャピラリ管323の吸引口にかざしてから、質量分析装置307において検出信号を得るまでに約5分近く掛かってしまうという不都合がある。したがって、試料を質量分析装置307に導入するのに時間が掛かり、大量の検査を短時間で行うことができないという問題がある。 However, if a large amount of airflow including a sample under atmospheric pressure condition is introduced into the mass spectrometer 307 at a time, the ionization chamber cannot be maintained in a reduced pressure state of 10 −3 Pa. Therefore, the airflow including the sample is approximately 1 sccm. It will be introduced into the ionization chamber at a flow rate. For this reason, in the conventional technique, although the pressure difference between the container 303 and the mass spectrometer 7 can be maintained, the detection signal is output from the mass spectrometer 307 after the air flow including the sample is held over the suction port of the capillary tube 323. There is an inconvenience that it takes about 5 minutes to obtain. Accordingly, there is a problem that it takes time to introduce the sample into the mass spectrometer 307 and a large amount of inspection cannot be performed in a short time.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、検出する試料を迅速に効率よく試料分析装置に導入することができ、検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うことができる試料採取装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and a sample to be detected can be quickly and efficiently introduced into a sample analyzer, and the detection speed is improved and a large amount of inspection is performed in a short time. It is an object of the present invention to provide a sampling device that can perform the above processing.

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明の参考例としての発明は、試料採取装置に収容された試料を、排気装置を備えた試料分析装置に導入するための試料導入装置であって、一端が前記試料採取装置に流通可能に接続される差動排気配管と、該差動排気配管の他端に接続され、該差動排気配管内を排気して減圧する差動排気装置と、前記差動排気配管と前記試料分析装置とを流通可能に接続する接続流路とを備え、該接続流路が接続された前記差動排気配管内の圧力が、50Pa以上70kPa以下とされ、前記接続流路のコンダクタンスが、1×10−10以上1×10−7/s以下とされる試料導入装置を提供する。
In order to solve the above problems, the present invention employs the following means.
The invention as a reference example of the present invention is a sample introduction device for introducing a sample contained in a sample collection device into a sample analysis device equipped with an exhaust device, and one end of which can be distributed to the sample collection device. A differential exhaust pipe to be connected; a differential exhaust apparatus connected to the other end of the differential exhaust pipe for exhausting and depressurizing the differential exhaust pipe; the differential exhaust pipe and the sample analyzer; And a pressure in the differential exhaust pipe to which the connection channel is connected is 50 Pa or more and 70 kPa or less, and a conductance of the connection channel is 1 × 10 Provided is a sample introduction device that is 10 or more and 1 × 10 −7 m 3 / s or less.

本発明に係る試料導入装置は、試料採取装置において採取された試料を、試料分析装置として用いる例えば質量分析装置に導入させるものである。質量分析装置は、一般的に約10−3Paの減圧状態に維持されて試料分析が行われる。
本発明によれば、試料分析装置が約10−3Paの減圧状態とされ、差動排気装置の作動により、差動排気配管内の圧力が50Pa以上70kPa以下とされて試料採取装置内の圧力よりも減圧されると、試料採取装置に収容されている試料を含む気体が、試料分析装置、差動排気配管及び試料採取装置の圧力差によって差動排気配管内に吸引され、さらに接続流路を通って試料分析装置に導入される。
The sample introduction apparatus according to the present invention introduces a sample collected by a sample collection apparatus into, for example, a mass spectrometer used as a sample analysis apparatus. The mass spectrometer is generally maintained at a reduced pressure of about 10 −3 Pa for sample analysis.
According to the present invention, the sample analyzer is brought to a reduced pressure state of about 10 −3 Pa, and the pressure in the differential exhaust pipe is set to 50 Pa or more and 70 kPa or less by the operation of the differential exhaust device. When the pressure is further reduced, the gas containing the sample contained in the sampling device is sucked into the differential exhaust pipe due to the pressure difference between the sample analyzer, the differential exhaust pipe, and the sampling device, and further, the connection flow path And is introduced into the sample analyzer.

この場合に、差動排気配管内と試料分析装置内との圧力差が小さいので、圧力損失の少ない接続流路を用いて差動排気配管内と試料分析装置内との圧力差を保つことができる。例えば、接続流路を、従来の流路断面積の大きさを維持したまま長さを短くすることができる。これにより、試料が接続流路内を通過するのに掛かる時間を短縮させて試料分析装置に迅速に導入させることができ、試料の検出時間の短縮を図ることが可能となる。   In this case, since the pressure difference between the differential exhaust pipe and the sample analyzer is small, it is possible to maintain the pressure difference between the differential exhaust pipe and the sample analyzer using a connection flow path with low pressure loss. it can. For example, the length of the connection channel can be shortened while maintaining the size of the conventional channel cross-sectional area. As a result, the time taken for the sample to pass through the connection channel can be shortened and introduced quickly into the sample analyzer, and the sample detection time can be shortened.

ここで、差動排気配管内の圧力の下限は、試料分析装置の感度から決定される。すなわち、検出できる爆発信号の最小値に対応した圧力から決定される。例えば、差動排気配管内の圧力が7000Pa時には140個の爆発信号が得られるので、差動排気配管内の圧力に信号強度が比例するとすれば、1個の信号を得るには50Pa以上の圧力が必要となる。したがって、差動排気配管内の圧力は、少なくとも50Pa以上必要となる。一方、差動排気配管内の圧力の上限は、接続流路の圧力損失、具体的には、最小径及び長さから決定される。例えば、内径が0.1mmで長さが10cmの接続流路を採用した場合には、差動排気配管内の圧力は73kPaとなる。   Here, the lower limit of the pressure in the differential exhaust pipe is determined from the sensitivity of the sample analyzer. That is, it is determined from the pressure corresponding to the minimum value of the explosion signal that can be detected. For example, since 140 explosion signals are obtained when the pressure in the differential exhaust pipe is 7000 Pa, if the signal intensity is proportional to the pressure in the differential exhaust pipe, a pressure of 50 Pa or more is required to obtain one signal. Is required. Therefore, the pressure in the differential exhaust pipe needs to be at least 50 Pa or more. On the other hand, the upper limit of the pressure in the differential exhaust pipe is determined from the pressure loss of the connection flow path, specifically, the minimum diameter and length. For example, when a connection passage having an inner diameter of 0.1 mm and a length of 10 cm is employed, the pressure in the differential exhaust pipe is 73 kPa.

また、接続流路の長さを短くするとコンダクタンスが大きくなるが、接続流路のコンダクタンスが1×10−10/s未満では、接続流路を通過する気流の流量が減少し、試料分析装置への試料の導入効率が低下するので好ましくない。一方、接続流路のコンダクタンスが1×10−7/sを超えると、接続流路を通過する気流の流量が多くなり、接続流路の圧力損失を大きくしなければ差動排気配管内と試料分析装置内との圧力差を保つことができないので好ましくない。 Further, when the length of the connection channel is shortened, the conductance increases. However, when the conductance of the connection channel is less than 1 × 10 −10 m 3 / s, the flow rate of the airflow passing through the connection channel decreases, and the sample analysis This is not preferable because the efficiency of introducing the sample into the apparatus is lowered. On the other hand, if the conductance of the connection flow path exceeds 1 × 10 −7 m 3 / s, the flow rate of the airflow passing through the connection flow path increases, and if the pressure loss of the connection flow path is not increased, the inside of the differential exhaust pipe And the pressure difference between the sample analyzer and the inside of the sample analyzer cannot be maintained.

上記発明においては、前記接続流路の内径が、0.1mm以上3.0mm以下であることとしてもよい。
現在、容易に手に入る接続流路(キャピラリ管)の最小径は0.1mmである。また、接続流路の内径が0.1mm未満では、接続流路を通過する気流の流量が減少するので好ましくない。一方、接続流路の内径の上限は、差動排気配管内の圧力及び接続流路の長さから決定される。例えば、差動排気配管内の圧力を50Paとした場合、差動排気配管内と試料分析装置内との圧力差を保つためには、配管長さが10cmの接続流路では内径は3.0mmが上限となる。接続流路の内径が3.0mmを超えると、接続流路の圧力損失が小さくなるとともに接続流路を通過する気流の流量が多くなり、試料分析装置の検出下限にかかるので好ましくない。
In the said invention, it is good also as an internal diameter of the said connection flow path being 0.1 mm or more and 3.0 mm or less.
At present, the minimum diameter of a connection channel (capillary tube) that can be easily obtained is 0.1 mm. Further, if the inner diameter of the connection flow path is less than 0.1 mm, the flow rate of the airflow passing through the connection flow path is not preferable. On the other hand, the upper limit of the inner diameter of the connection channel is determined from the pressure in the differential exhaust pipe and the length of the connection channel. For example, when the pressure in the differential exhaust pipe is 50 Pa, in order to maintain the pressure difference between the differential exhaust pipe and the sample analyzer, the inner diameter is 3.0 mm in the connection flow path having a pipe length of 10 cm. Is the upper limit. If the inner diameter of the connection flow path exceeds 3.0 mm, the pressure loss of the connection flow path is reduced and the flow rate of the airflow passing through the connection flow path is increased, which is not preferable because it falls on the detection lower limit of the sample analyzer.

また、上記発明においては、前記接続流路の長さが50cm以下であることとしてもよい。
接続流路の長さの上限は、差動排気配管内の圧力及び接続流路の最小径から決定される。例えば、差動排気配管内の圧力を70kPaとした場合、試料を効率よく試料分析装置に導入させるためには、内径が0.1mmの接続流路では長さは50cmが上限となる。接続流路の長さが50cmを超えると、試料が接続流路を通過するのに時間が掛かるので好ましくない。
Moreover, in the said invention, it is good also as the length of the said connection flow path being 50 cm or less.
The upper limit of the length of the connection channel is determined from the pressure in the differential exhaust pipe and the minimum diameter of the connection channel. For example, when the pressure in the differential exhaust pipe is 70 kPa, in order to efficiently introduce the sample into the sample analyzer, the upper limit is 50 cm for the length of the connection channel having an inner diameter of 0.1 mm. If the length of the connection channel exceeds 50 cm, it is not preferable because it takes time for the sample to pass through the connection channel.

本発明の参考例としての発明は、試料採取装置に収容された試料を、排気装置を備えた試料分析装置に導入するための試料導入装置であって、一端が前記試料採取装置に流通可能に接続される差動排気配管と、該差動排気配管の他端に接続され、該差動排気配管内を排気して減圧する差動排気装置と、前記差動排気配管と前記試料分析装置とを流通可能に接続する接続流路と、前記差動排気配管を加熱する配管用加熱部とを備え、該接続流路は、前記試料分析装置に挿入される挿入部を有し、該挿入部が前記試料分析装置内において前記接続流路よりも熱伝導率が高い高熱伝導率部材によって覆われ、該高熱伝導率部材の少なくとも一部が前記配管用加熱部に接触している試料導入装置を提供する。   The invention as a reference example of the present invention is a sample introduction device for introducing a sample contained in a sample collection device into a sample analysis device equipped with an exhaust device, and one end of which can be distributed to the sample collection device. A differential exhaust pipe to be connected; a differential exhaust apparatus connected to the other end of the differential exhaust pipe for exhausting and depressurizing the differential exhaust pipe; the differential exhaust pipe and the sample analyzer; A connection flow path that connects the flow path and a pipe heating section that heats the differential exhaust pipe, the connection flow path having an insertion section that is inserted into the sample analyzer. In the sample analyzer, a sample introduction device is covered with a high thermal conductivity member having a higher thermal conductivity than the connection channel, and at least a part of the high thermal conductivity member is in contact with the heating unit for piping. provide.

本発明によれば、差動排気装置の作動により、差動排気配管内が試料採取装置内の圧力よりも減圧されると、試料採取装置に収容されている試料を含む気流が差動排気配管内に吸引されて接続流路を通って試料分析装置に導入される。この場合に、試料分析装置内において接続流路の挿入部が高熱伝導率部材によって覆われているとともに、高熱伝導率部材の一部が配管用加熱部に接触しているので、高熱伝導率部材の熱伝導により配管用加熱部の熱を挿入部に伝えることができる。したがって、挿入部の温度の低下を防止し、挿入部内での試料の凝集及び吸着を防ぐことができる。これにより、気流が接続流路を流れ易くなり、迅速かつ高感度の測定を行うことができる。
高熱伝導率部材としては、例えば、金属、より具体的には銅部材が好ましく、その他にも、ステンレス、アルミニウム、銀、タングステン又はモリブデン等を採用することとしてもよい。
According to the present invention, when the differential exhaust pipe is depressurized more than the pressure in the sampling device by the operation of the differential exhaust device, the air flow including the sample accommodated in the sampling device is converted into the differential exhaust pipe. The sample is sucked in and introduced into the sample analyzer through the connection channel. In this case, since the insertion portion of the connection channel is covered with the high thermal conductivity member in the sample analyzer, and a part of the high thermal conductivity member is in contact with the heating portion for piping, the high thermal conductivity member The heat of the piping heating part can be transmitted to the insertion part by the heat conduction. Therefore, it is possible to prevent the temperature of the insertion portion from being lowered and to prevent the sample from aggregating and adsorbing in the insertion portion. As a result, the airflow can easily flow through the connection flow path, and quick and highly sensitive measurement can be performed.
As the high thermal conductivity member, for example, a metal, more specifically, a copper member is preferable. In addition, stainless steel, aluminum, silver, tungsten, molybdenum, or the like may be employed.

上記発明においては、前記高熱伝導率部材を介して前記挿入部を加熱する接続流路加熱部が設けられていることとしてもよい。
このような構成によれば、挿入部をより確実に加熱することができる。
In the said invention, it is good also as a connection flow path heating part heating the said insertion part via the said high thermal conductivity member is provided.
According to such a structure, an insertion part can be heated more reliably.

本発明は、試料分析を行う試料分析装置に導入させるための試料を基材から採取する試料採取装置であって、内部を通過する基材に付着した試料を気化させる気化容器と、一端が該気化容器内に開口し、他端が前記試料分析装置側に流通可能に接続される試料引込み流路とを備え、前記気化容器の内面には、前記試料引込み流路の前記開口と前記基材とを離間させる凹部または凸部が開口面に沿って設けられている試料採取装置を提供する。   The present invention is a sample collection device for collecting a sample to be introduced into a sample analysis device for performing sample analysis from a substrate, a vaporization container for vaporizing a sample attached to the substrate passing through the inside, and one end of the sample collection device A sample drawing channel having an opening in the vaporization vessel and the other end connected to the sample analyzer so as to be able to flow therethrough, and the inner surface of the vaporization vessel has the opening of the sample drawing channel and the base material A sampling device is provided in which a concave portion or a convex portion is provided along the opening surface.

本発明によれば、気化容器の内部を基材が通過する際に基材に付着している試料が気化され、気化した試料が開口から試料引込み流路に引込まれて試料分析装置側へと送られる。この場合に、気化容器の内面の開口面に沿って設けられた凹部または凸部により、試料引込み流路の開口が基材によって閉塞されるのを防止することができる。また、凹部または凸部により気化容器の内面に溝部分が形成されるので、試料を含む気流の流路を確保することができる。これにより、気化した試料が試料引込み流路に流れ易くなり、試料の採取効率を向上させることができる。   According to the present invention, when the substrate passes through the inside of the vaporization container, the sample adhering to the substrate is vaporized, and the vaporized sample is drawn into the sample drawing channel from the opening and moved to the sample analyzer side. Sent. In this case, the opening of the sample drawing channel can be prevented from being blocked by the base material by the concave portion or the convex portion provided along the opening surface of the inner surface of the vaporization container. Moreover, since a groove part is formed in the inner surface of a vaporization container by a recessed part or a convex part, the flow path of the airflow containing a sample is securable. Thereby, the vaporized sample can easily flow into the sample drawing channel, and the sampling efficiency of the sample can be improved.

上記発明においては、前記凹部または凸部が、前記基材の移動方向に沿って形成されていることとしてもよい。
このような構成によれば、気化容器内の気流を基材の移動とともに効果的に流すことができ、試料の採取効率を一段と向上させることができる。
In the said invention, it is good also as the said recessed part or convex part being formed along the moving direction of the said base material.
According to such a configuration, the air flow in the vaporization container can be effectively flowed along with the movement of the base material, and the sample collection efficiency can be further improved.

本発明の参考例としての発明は、上記試料導入装置と、上記試料採取装置と、該試料採取装置により採取されて前記試料導入装置により導入された試料を分析する試料分析装置とを備える試料分析システムを提供する。   The invention as a reference example of the present invention includes a sample analysis device including the sample introduction device, the sample collection device, and a sample analysis device that analyzes the sample collected by the sample collection device and introduced by the sample introduction device. Provide a system.

本発明によれば、検出する試料を迅速に効率よく試料分析装置に導入することができ、検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うことができるという効果を奏する。   According to the present invention, it is possible to quickly and efficiently introduce a sample to be detected into a sample analyzer, thereby improving the detection speed and performing a large amount of inspection in a short time.

本発明の第1の参考実施形態に係る試料分析システムの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a sample analysis system according to a first reference embodiment of the present invention. 本発明の第2の参考実施形態に係るキャピラリ管及び質量分析装置の接合部分の拡大図である。It is an enlarged view of the junction part of the capillary tube and mass spectrometer which concern on the 2nd reference embodiment of this invention. 本発明の第2の参考実施形態の変形例に係るキャピラリ管及び質量分析装置の接合部分の拡大図である。It is an enlarged view of the junction part of the capillary tube and mass spectrometer which concern on the modification of the 2nd reference embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る試料採取装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the sample-collecting apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. (a)は図4の試料採取装置の気化室の断面図であり、(b)はその気化室の内壁面を示す図である。(A) is sectional drawing of the vaporization chamber of the sampling apparatus of FIG. 4, (b) is a figure which shows the inner wall face of the vaporization chamber. (a)は図5(a)の気化室の変形例の断面図であり、(b)はその気化室の内壁面を示す図である。(A) is sectional drawing of the modification of the vaporization chamber of Fig.5 (a), (b) is a figure which shows the inner wall face of the vaporization chamber. (a)は図5(a)の気化室の別の変形例の断面図であり、(b)はその気化室の内壁面を示す図である。(A) is sectional drawing of another modification of the vaporization chamber of Fig.5 (a), (b) is a figure which shows the inner wall face of the vaporization chamber. 採取した試料を質量分析装置へ導入させる従来の導入システムの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the conventional introduction system which introduces the extract | collected sample into a mass spectrometer.

[第1の参考実施形態]
以下、本発明の参考例としての第1の参考実施形態に係る試料導入装置、試料分析装置及び試料分析システムについて、図面を参照して説明する。
図1に示すように、試料分析システム1は、試料採取装置3と、試料導入装置5と、質量分析装置(試料分析装置)7とを備え、試料採取装置3の作動により切符(基材)9に付着している危険物質等の試料を採取し、採取された試料を試料導入装置5により質量分析装置7に導入して、質量分析装置7によりその試料の構造及び組成等を分析するためのものである。
[First Reference Embodiment]
Hereinafter, a sample introduction device, a sample analysis device, and a sample analysis system according to a first reference embodiment as a reference example of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the sample analysis system 1 includes a sample collection device 3, a sample introduction device 5, and a mass analysis device (sample analysis device) 7, and a ticket (base material) is activated by the operation of the sample collection device 3. In order to collect a sample such as a dangerous substance adhering to 9, introduce the collected sample into the mass analyzer 7 by the sample introduction device 5, and analyze the structure and composition of the sample by the mass analyzer 7. belongs to.

試料採取装置3は、気化ヒータ11を備え、該気化ヒータ11が外部から取り入れる切符9を加熱可能に配置されている。また、試料採取装置3は、気化ヒータ11の作動により、切符9に付着している試料を大気圧条件下で加熱気化し、試料を切符9から分離させて採取するようになっている。   The sample collection device 3 includes a vaporizing heater 11 and is disposed so that the ticket 9 taken in from the outside can be heated. In addition, the sample collecting device 3 is configured to heat and vaporize the sample attached to the ticket 9 under atmospheric pressure conditions by the operation of the vaporizing heater 11 and separate the sample from the ticket 9 to collect the sample.

試料導入装置5は、試料採取装置3に一端が接続された差動排気配管13と、この差動排気配管13の他端と接続された差動排気ポンプ(差動排気装置)19と、差動排気ポンプ19の排気流量を調整する調整弁21と、差動排気配管13と質量分析装置7とを接続するキャピラリ管(接続流路)23とを備えている。   The sample introduction apparatus 5 includes a differential exhaust pipe 13 having one end connected to the sample collection apparatus 3 and a differential exhaust pump (differential exhaust apparatus) 19 connected to the other end of the differential exhaust pipe 13. An adjustment valve 21 that adjusts the exhaust flow rate of the dynamic exhaust pump 19 and a capillary tube (connection channel) 23 that connects the differential exhaust pipe 13 and the mass spectrometer 7 are provided.

差動排気配管13は、上流側が試料採取装置3に流通可能に接続され、下流側が差動排気ポンプ19に流通可能に接続されている。また、差動排気配管13は、試料採取装置3側の流路(以下、単に「採取装置側流路」という。)15の流路断面積が、差動排気ポンプ19側の流路(以下、単に「ポンプ側流路」という。)17の流路断面積に比べて小さく形成され、ポンプ側流路17内部と大気圧条件下の試料採取装置3内部との圧力差が保たれるようになっている。そして、差動排気配管13は、ポンプ側流路17の圧力を50Pa以上70kPa以下の減圧状態に維持して用いられるようになっている。なお、ポンプ側流路17内部の圧力は、後述する式(3)に基づいて定められるものである。   The differential exhaust pipe 13 has an upstream side connected to the sampling device 3 so as to be able to flow, and a downstream side connected to the differential exhaust pump 19 so as to be able to flow. The differential exhaust pipe 13 has a flow passage cross-sectional area of a flow passage on the sample collection device 3 side (hereinafter simply referred to as “collection device side flow passage”) 15, and a flow passage on the differential exhaust pump 19 side (hereinafter referred to as “flow passage”). This is simply referred to as “pump-side flow path”), and is formed to be smaller than the cross-sectional area of the flow path of 17 so that the pressure difference between the inside of the pump-side flow path 17 and the inside of the sampling device 3 under atmospheric pressure conditions is maintained. It has become. The differential exhaust pipe 13 is used while maintaining the pressure of the pump side flow path 17 in a reduced pressure state of 50 Pa or more and 70 kPa or less. In addition, the pressure inside the pump side flow path 17 is determined based on Formula (3) mentioned later.

また、差動排気配管13には、試料採取側流路15及びポンプ側流路17の配管周りに配管用ヒータ25が設けられている。配管用ヒータ25は、差動排気配管13の内壁に熱が伝達するように配置され、差動排気配管13全体の内壁が加熱されるようになっている。また、配管用ヒータ25は、試料導入装置5の作動中において、例えば100℃以上200℃以下で加熱されるようになっている。配管用ヒータ25の加熱温度が100℃未満では、差動排気配管13内に気流とともに吸引された試料が内壁に付着滞留するおそれがあるので好ましくない。また、配管用ヒータ25の加熱温度が200℃を超えると、試料によっては分解してしまうおそれがあるので好ましくない。   In the differential exhaust pipe 13, a pipe heater 25 is provided around the pipes of the sampling-side flow path 15 and the pump-side flow path 17. The pipe heater 25 is arranged so that heat is transmitted to the inner wall of the differential exhaust pipe 13 so that the entire inner wall of the differential exhaust pipe 13 is heated. The piping heater 25 is heated at, for example, 100 ° C. or more and 200 ° C. or less during operation of the sample introduction device 5. If the heating temperature of the pipe heater 25 is less than 100 ° C., the sample sucked together with the air flow in the differential exhaust pipe 13 may be attached and stay on the inner wall, which is not preferable. Moreover, when the heating temperature of the piping heater 25 exceeds 200 ° C., it is not preferable because it may be decomposed depending on the sample.

なお、配管用ヒータ25としては、例えば、公知のリボンヒータを採用することとしてもよい。リボンヒータは、やわらかいリボン状で取扱いやすいので、差動排気配管13の外周面に沿って簡単に巻き付けることができる。   In addition, as the heater 25 for piping, it is good also as employ | adopting a well-known ribbon heater, for example. Since the ribbon heater is a soft ribbon and easy to handle, it can be easily wound along the outer peripheral surface of the differential exhaust pipe 13.

また、差動排気配管13は、石英から形成することとしてもよいし、あるいは、差動排気配管13の内壁を石英で覆うこととしてもよい。これにより、試料が差動排気配管13の内壁に付着滞留するのを効果的に防止することができる。   The differential exhaust pipe 13 may be formed of quartz, or the inner wall of the differential exhaust pipe 13 may be covered with quartz. Thereby, it is possible to effectively prevent the sample from adhering to and staying on the inner wall of the differential exhaust pipe 13.

差動排気ポンプ19は、図示しない吸気口と排気口とを備え、吸気口が差動排気配管13のポンプ側流路17の端部と流通可能に接続されている。また、差動排気ポンプ19は、差動排気配管13内の気体を吸気口から吸引して排気口から外部に排出することにより、差動排気配管13内を排気して減圧するようになっている。   The differential exhaust pump 19 includes an intake port and an exhaust port (not shown), and the intake port is connected to the end of the pump-side flow path 17 of the differential exhaust pipe 13 so as to be able to flow therethrough. In addition, the differential exhaust pump 19 exhausts the pressure in the differential exhaust pipe 13 by sucking the gas in the differential exhaust pipe 13 from the intake port and exhausting it to the outside through the exhaust port. Yes.

調整弁21は、差動排気ポンプ19の吸気口の近傍に配置されている。また、調整弁21は、図示しない弁機構を備え、弁が開閉されることにより差動排気ポンプ19の排気流量が制御されるようになっている。
キャピラリ管23は、例えば、内径が約0.3mm、外径が約0.04mmであって、長さが約10cmからなる石英製の細管である。また、キャピラリ管23は、差動排気配管13側がポンプ側流路17に接続され、質量分析装置7に接続される側が質量分析装置7内のイオン化チャンバ(図示略)に直結され、差動排気配管13のポンプ側流路17内部と質量分析装置7のイオン化チャンバ内部との圧力差を保ちつつ流通可能に接続するようになっている。
The regulating valve 21 is disposed in the vicinity of the intake port of the differential exhaust pump 19. The adjustment valve 21 includes a valve mechanism (not shown) so that the exhaust flow rate of the differential exhaust pump 19 is controlled by opening and closing the valve.
The capillary tube 23 is, for example, a quartz thin tube having an inner diameter of about 0.3 mm, an outer diameter of about 0.04 mm, and a length of about 10 cm. The capillary tube 23 has a differential exhaust pipe 13 side connected to the pump side flow path 17 and a side connected to the mass spectrometer 7 directly connected to an ionization chamber (not shown) in the mass analyzer 7. The pipe 13 is connected so as to be able to flow while maintaining a pressure difference between the inside of the pump-side flow path 17 of the pipe 13 and the inside of the ionization chamber of the mass spectrometer 7.

また、本実施形態においては、キャピラリ管23のコンダクタンスが1×10−10以上1×10−7/s以下の範囲とされる。なお、キャピラリ管23のコンダクタンスは、後述する式(1)及び式(2)に基づいて定められるものである。
なお、キャピラリ管23と差動排気ポンプ19との間には、質量分析装置7内の圧力を測定する圧力計(図示略)が設けられている。
In the present embodiment, the conductance of the capillary tube 23 is in the range of 1 × 10 −10 to 1 × 10 −7 m 3 / s. The conductance of the capillary tube 23 is determined based on the expressions (1) and (2) described later.
A pressure gauge (not shown) for measuring the pressure in the mass spectrometer 7 is provided between the capillary tube 23 and the differential exhaust pump 19.

質量分析装置7は、キャピラリ管23が接続されるイオン化チャンバと、イオン化チャンバから送られてきた試料のイオンを検出する検出部(図示略)と、質量分析装置7内を減圧状態に維持する分析装置用排気ポンプ(排気装置)27とを備えている。
イオン化チャンバは、キャピラリ管23を介して送られてきた気流に含まれる試料をイオン化して、イオンを生成させるようになっている。
The mass spectrometer 7 includes an ionization chamber to which the capillary tube 23 is connected, a detection unit (not shown) for detecting ions of the sample sent from the ionization chamber, and an analysis for maintaining the inside of the mass spectrometer 7 in a reduced pressure state. A device exhaust pump (exhaust device) 27 is provided.
The ionization chamber is configured to ionize a sample included in an airflow sent via the capillary tube 23 to generate ions.

検出部は、イオン化チャンバにより生成されたイオンを質量の違いによって分離して検出し、試料の構造及び組成等を分析するようになっている。
分析装置用排気ポンプ27は、質量分析装置7内、特にイオン化チャンバ内を約10−3Paの高真空状態に維持するようになっている。これにより、イオン化チャンバにおいて生成されたイオンが、安定かつ分解せずに検出部に送られるようになっている。
なお、質量分析装置7の外周周りにはヒータ(図示せず)が設けられ、質量分析装置7の壁面及びイオン化チャンバが加熱されるようになっている。
The detection unit separates and detects the ions generated by the ionization chamber according to the difference in mass, and analyzes the structure and composition of the sample.
The analyzer exhaust pump 27 is configured to maintain a high vacuum state of about 10 −3 Pa in the mass analyzer 7, particularly in the ionization chamber. Thereby, the ion produced | generated in the ionization chamber is sent to a detection part stably and without decomposing | disassembling.
In addition, a heater (not shown) is provided around the outer periphery of the mass spectrometer 7 so that the wall surface and the ionization chamber of the mass spectrometer 7 are heated.

このように構成された本実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム1の作用について説明する。
試料採取装置3に切符9が取り入れられると、気化ヒータ11の作動により、切符9の表面に付着している危険物質等の試料が大気圧条件下で加熱気化されて採取される。
質量分析装置7においては、分析装置用排気ポンプ27の作動により、イオン化チャンバ内が約10−3Paの高真空状態に維持される。なお、質量分析装置7内の圧力は、キャピラリ管23と差動排気ポンプ19との間に設けられた圧力計によって測定することができる。
Operations of the sample introduction device 5, the mass spectrometer 7 and the sample analysis system 1 according to the present embodiment configured as described above will be described.
When the ticket 9 is taken into the sample collecting device 3, the sample such as a dangerous substance attached to the surface of the ticket 9 is heated and vaporized under atmospheric pressure by the operation of the vaporizing heater 11, and collected.
In the mass spectrometer 7, the inside of the ionization chamber is maintained in a high vacuum state of about 10 −3 Pa by the operation of the analyzer exhaust pump 27. The pressure in the mass spectrometer 7 can be measured by a pressure gauge provided between the capillary tube 23 and the differential exhaust pump 19.

一方、差動排気配管13においては、差動排気ポンプ19の作動により差動排気配管13内が排気されて減圧状態とされ、試料採取装置3において採取された試料が気流とともに差動排気配管13内に吸引される。差動排気配管13内に吸引された試料を含む気流は、流路断面積の小さい試料採取側流路15を通って減圧され、下流側の流路断面積の大きいポンプ側流路17へと導かれる。この場合に、配管用ヒータ25が100℃以上200℃以下に熱せられて差動排気配管13全体の内部が加熱されることにより、試料が内壁に付着滞留することなく差動排気配管13内を通過する。そして、ポンプ側流路17において気流の一部がキャピラリ管23を通って、質量分析装置7に導入される。   On the other hand, in the differential exhaust pipe 13, the differential exhaust pipe 13 is evacuated by the operation of the differential exhaust pump 19, and the pressure is reduced. Sucked in. The airflow including the sample sucked into the differential exhaust pipe 13 is depressurized through the sampling-side channel 15 having a small channel cross-sectional area, and is transferred to the pump-side channel 17 having a large channel cross-sectional area on the downstream side. Led. In this case, the piping heater 25 is heated to 100 ° C. or more and 200 ° C. or less and the inside of the differential exhaust pipe 13 is heated, so that the inside of the differential exhaust pipe 13 does not stay on the inner wall. pass. Then, part of the airflow in the pump-side channel 17 is introduced into the mass spectrometer 7 through the capillary tube 23.

この場合に、差動排気配管13のポンプ側流路17内の圧力をP(Pa)、質量分析装置7のイオン化チャンバ内の圧力をP(Pa)、キャピラリ管23を流れる気流の流量をQ(Pa・m/s)、キャピラリ管23のコンダクタンスをC(m/s)、キャピラリ管23の内径をd(mm),管長をL(cm)とすると、以下の式(1)及び式(2)が成り立つ。
式(1) Q=C(P−P
式(2) C=1349(d/L)×((P+P)/2)
In this case, the pressure in the pump-side flow path 17 of the differential exhaust pipe 13 is P D (Pa), the pressure in the ionization chamber of the mass spectrometer 7 is P I (Pa), and the flow rate of the airflow flowing through the capillary tube 23 Is Q (Pa · m 3 / s), the conductance of the capillary tube 23 is C (m 3 / s), the inner diameter of the capillary tube 23 is d (mm), and the tube length is L (cm), the following formula (1 ) And formula (2) hold.
Formula (1) Q = C (P D -P I )
Formula (2) C = 1349 (d 4 / L) × ((P D + P I ) / 2)

ここで、質量分析装置7により試料を感度よく検出するためには、質量分析装置7のイオン化チャンバに試料を含む気流をできるだけ多く導入するのが好ましく、差動排気配管13のポンプ側流路17とイオン化チャンバとの圧力差を大きくする必要がある。そのため、イオン化チャンバが約10−3Paの減圧状態に維持されるのに対して、ポンプ側流路17内の圧力は高く設定することが好ましい。そうすると、質量分析装置7のイオン化チャンバ内の圧力Pは、差動排気配管13のポンプ側流路17内の圧力Pと比較するとP≒0とみなすことができ、式(1)及び式(2)により、
式(3) P =QL/(624.5d
と表すことができる。
Here, in order to detect the sample with high sensitivity by the mass spectrometer 7, it is preferable to introduce as much airflow including the sample as possible into the ionization chamber of the mass spectrometer 7, and the pump-side flow path 17 of the differential exhaust pipe 13. It is necessary to increase the pressure difference between the ionization chamber and the ionization chamber. Therefore, while the ionization chamber is maintained in a reduced pressure state of about 10 −3 Pa, the pressure in the pump side flow path 17 is preferably set high. Then, the pressure P I in the ionization chamber of the mass spectrometer 7 can be regarded as P I ≈0 when compared with the pressure P D in the pump-side flow path 17 of the differential exhaust pipe 13, and Equation (1) and From equation (2)
Formula (3) P D 2 = QL / (624.5d 4 )
It can be expressed as.

本実施形態に係る試料分析システム1においては、内径dが0.3mm,管長Lが10cmのキャピラリ管23を採用することとしたので、式(3)においてキャピラリ管23を流れる気流の流量Qを3.3×10−3(Pa・m/s)、すなわち、2sccmとすることにより、P=8076Paが算出される。
すなわち、キャピラリ管23を用いて差動排気配管13と質量分析装置7との圧力差を保つには、差動排気配管13のポンプ側流路17から約2sccmの流量で試料を含む気流を質量分析装置7のイオン化チャンバに導入させ、ポンプ側流路17内の圧力Pを約1368Paの減圧状態にすればよい。
なお、一般に直線流路の配管では、圧力損失は長さに比例し、内径(管径)の4乗に逆比例する。
In the sample analysis system 1 according to the present embodiment, since the capillary tube 23 having an inner diameter d of 0.3 mm and a tube length L of 10 cm is adopted, the flow rate Q of the airflow flowing through the capillary tube 23 in the equation (3) is By setting 3.3 × 10 −3 (Pa · m 3 / s), that is, 2 sccm, P D = 8076 Pa is calculated.
That is, in order to maintain the pressure difference between the differential exhaust pipe 13 and the mass spectrometer 7 using the capillary tube 23, the mass of the air stream containing the sample from the pump side flow path 17 of the differential exhaust pipe 13 at a flow rate of about 2 sccm. is introduced into the ionization chamber of the analyzer 7 may be a pressure P D of the pump-side flow passage 17 to a vacuum of approximately 1368Pa.
In general, in a straight channel pipe, the pressure loss is proportional to the length and inversely proportional to the fourth power of the inner diameter (pipe diameter).

そこで、調整弁21の弁機構を調整して差動排気ポンプ19の排気流量を制御し、例えば、差動排気配管13内に約100sccmの流量で試料を含む気流を吸引し、差動排気配管13のポンプ側流路17内の圧力を50Pa以上70kPa以下の減圧状態に維持する。そして、差動排気ポンプ19の作動により、差動排気配管13のポンプ側流路17へと導かれた気流を約98sccmの流量で排気口から外部に排出するとともに、キャピラリ管23を介して約2sccmの流量で質量分析装置7に導入させる。   Therefore, the valve mechanism of the regulating valve 21 is adjusted to control the exhaust flow rate of the differential exhaust pump 19, for example, the air flow including the sample is sucked into the differential exhaust pipe 13 at a flow rate of about 100 sccm, and the differential exhaust pipe The pressure in the 13 pump side flow paths 17 is maintained in a reduced pressure state of 50 Pa or more and 70 kPa or less. Then, by the operation of the differential exhaust pump 19, the air flow guided to the pump-side flow path 17 of the differential exhaust pipe 13 is discharged to the outside from the exhaust port at a flow rate of about 98 sccm, and is approximately about via the capillary tube 23. It is introduced into the mass spectrometer 7 at a flow rate of 2 sccm.

このようにすることで、約10−3Paに維持される質量分析装置7のイオン化チャンバ内部と差動排気配管13のポンプ側流路17内部との圧力差が小さくなるので、例えば大気圧条件下の試料採取装置3内部と質量分析装置7内部との圧力差を保つ場合の流路に比べて、イオン化チャンバ内とポンプ側流路17内との圧力差を圧力損失の少ない流路を用いて保つことができる。 By doing so, the pressure difference between the ionization chamber of the mass spectrometer 7 maintained at about 10 −3 Pa and the pump-side flow path 17 of the differential exhaust pipe 13 is reduced. Compared to the flow path in the case where the pressure difference between the inside of the lower sampling device 3 and the mass spectrometer 7 is maintained, the pressure difference between the inside of the ionization chamber and the pump side flow path 17 is less than the pressure loss. Can be kept.

すなわち、内径dが0.3mm,管長Lが10cmのキャピラリ管23を用いて、差動排気配管13と質量分析装置7との圧力差を保つことができる。これにより、キャピラリ管23を通過するのに掛かる時間を大幅に削減することができ、試料採取装置3において採取された試料を質量分析装置7へ短時間で導入することが可能となる。具体的には、試料採取装置3において採取した試料を差動排気配管13の試料採取側流路15内に吸引してから、約1秒後に質量分析装置7においてイオンの検出信号を得ることができる。   That is, the pressure difference between the differential exhaust pipe 13 and the mass spectrometer 7 can be maintained using the capillary tube 23 having an inner diameter d of 0.3 mm and a tube length L of 10 cm. As a result, the time taken to pass through the capillary tube 23 can be greatly reduced, and the sample collected in the sample collection device 3 can be introduced into the mass spectrometer 7 in a short time. Specifically, after the sample collected in the sample collection device 3 is sucked into the sample collection side flow path 15 of the differential exhaust pipe 13, an ion detection signal can be obtained in the mass spectrometer 7 about 1 second later. it can.

また、式(1)及び(2)によれば、キャピラリ管23のコンダクタンスCを1×10−10以上1×10−7/s以下とすることが可能となる。ここで、キャピラリ管23の長さを短くするとコンダクタンスが大きくなるが、キャピラリ管23のコンダクタンスが1×10−7/s未満では、キャピラリ管23を通過する気流の流量が減少し、質量分析装置7への試料の導入効率が低下するので好ましくない。一方、キャピラリ管23のコンダクタンスが1×10−10/sを超えると、キャピラリ管23を通過する気流の流量が多くなり、キャピラリ管23の圧力損失を大きくしなければ差動排気配管13内と質量分析装置7内との圧力差を保つことができないので好ましくない。 Further, according to the equations (1) and (2), the conductance C of the capillary tube 23 can be set to 1 × 10 −10 or more and 1 × 10 −7 m 3 / s or less. Here, if the length of the capillary tube 23 is shortened, the conductance increases. However, if the conductance of the capillary tube 23 is less than 1 × 10 −7 m 3 / s, the flow rate of the airflow passing through the capillary tube 23 decreases, and the mass This is not preferable because the efficiency of introducing the sample into the analyzer 7 is lowered. On the other hand, when the conductance of the capillary tube 23 exceeds 1 × 10 −10 m 3 / s, the flow rate of the airflow passing through the capillary tube 23 increases, so that the differential exhaust pipe 13 does not increase the pressure loss of the capillary tube 23. This is not preferable because the pressure difference between the inside and the mass spectrometer 7 cannot be maintained.

以上説明したように、本実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム1によれば、試料を迅速に効率よく質量分析装置7に導入することができ、危険物質等の試料の検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うことが可能となる。   As described above, according to the sample introduction device 5, the mass spectrometer 7 and the sample analysis system 1 according to the present embodiment, a sample can be quickly and efficiently introduced into the mass spectrometer 7, and dangerous substances, etc. It is possible to improve the detection speed of the sample and perform a large amount of inspection in a short time.

[第2の参考実施形態]
次に、本発明の参考例としての第2の参考実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム101について、キャピラリ管123及び質量分析装置7の接合部分を拡大して示す図2を参照して説明する。
本実施形態に係る試料分析システム101は、試料導入装置5のキャピラリ管123の長さが約10cmからなり、質量分析装置7内においてキャピラリ管23が熱伝導管(高熱伝導率部材)129によって覆われる点で、第1の実施形態と異なる。
以下、第1の参考実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
[Second Reference Embodiment]
Next, with respect to the sample introduction device 5, the mass spectrometer 7 and the sample analysis system 101 according to the second reference embodiment as a reference example of the present invention, the joint portion of the capillary tube 123 and the mass spectrometer 7 is shown enlarged. This will be described with reference to FIG.
In the sample analysis system 101 according to the present embodiment, the length of the capillary tube 123 of the sample introduction device 5 is about 10 cm, and the capillary tube 23 is covered with a heat conduction tube (high thermal conductivity member) 129 in the mass spectrometer 7. This is different from the first embodiment.
In the following, portions having the same configuration as those of the sample introduction device 5, the mass spectrometer 7, and the sample analysis system 1 according to the first reference embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

キャピラリ管123は、質量分析装置7のイオン化チャンバに挿入される部分(以下、「挿入部」という。)131が約10cm〜20cmの長さになるように形成されている。
熱伝導管129は、熱伝導率の高い銅等の導管やステンレス管であり、キャピラリ管123の挿入部131全体を覆う長さに形成されている。また、熱伝導管29は、一端が差動排気配管13の外周に設けられた配管用ヒータ25に接するように設けられ、キャピラリ管123の挿入部131に熱伝導管129の内壁の片側が接触するように配置されている。
The capillary tube 123 is formed such that a portion (hereinafter referred to as “insertion portion”) 131 inserted into the ionization chamber of the mass spectrometer 7 has a length of about 10 cm to 20 cm.
The heat conduction tube 129 is a conduit such as copper having a high heat conductivity or a stainless steel tube, and is formed to have a length that covers the entire insertion portion 131 of the capillary tube 123. The heat conduction tube 29 is provided so that one end thereof is in contact with the pipe heater 25 provided on the outer periphery of the differential exhaust pipe 13, and one side of the inner wall of the heat conduction tube 129 contacts the insertion portion 131 of the capillary tube 123. Are arranged to be.

このように構成された試料分析システム101によれば、試料導入装置5が作動して配管用ヒータ25が加熱されると、熱伝導管129を介して配管用ヒータ25の熱がキャピラリ管123の挿入部131に伝えられる。したがって、熱伝導率の低い溶融石英製のキャピラリ管123であってもイオン化チャンバ内において先端部の温度が低下するのを防ぐことができる。これにより、挿入部131における試料の凝集や吸着を防止することができ、キャピラリ管123内を気流が流れ易くすることができる。その結果、質量分析装置7へ試料をスムーズに導入させることができ、試料の測定効率を向上させることができる。   According to the sample analysis system 101 configured as described above, when the sample introduction device 5 operates and the piping heater 25 is heated, the heat of the piping heater 25 is transferred to the capillary tube 123 via the heat conduction tube 129. It is transmitted to the insertion part 131. Therefore, it is possible to prevent the temperature of the tip portion from decreasing in the ionization chamber even in the fused quartz capillary tube 123 having a low thermal conductivity. Thereby, aggregation and adsorption of the sample in the insertion part 131 can be prevented, and the airflow can easily flow in the capillary tube 123. As a result, the sample can be smoothly introduced into the mass spectrometer 7 and the measurement efficiency of the sample can be improved.

なお、本実施形態においては、熱伝導管129として、銅等の導管やステンレス管を例示して説明したが、キャピラリ管123よりも熱伝導率が高い金属であればよく、例えば、アルミニウム、銀、タングステン又はモリブデン等を採用することとしてもよい。   In the present embodiment, the heat conduction tube 129 has been described by exemplifying a conduit such as copper or a stainless steel tube. However, any metal having higher heat conductivity than the capillary tube 123 may be used. Alternatively, tungsten, molybdenum, or the like may be employed.

また、本実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム101は、以下のように変形することができる。
例えば、図3に示すように、キャピラリ管123の挿入部131を覆う熱伝導管129の外周にさらにシースヒータ等の挿入部用ヒータ(接続流路加熱部)133を取り付けることとし、挿入部用ヒータ133により、熱伝導管129を介してキャピラリ管123の挿入部131を直接加熱することとしてもよい。なお、挿入部用ヒータ133は、例えば、100℃以上200℃以下に加熱されることが望ましい。
このようにすることで、挿入部131をより確実に加熱することができる。
なお、本変形例においては、挿入部用ヒータ133の作動により、キャピラリ管123の挿入部131をさらに高温に加熱することにより、キャピラリ管123の壁面に付着した試料を気化して取り除くこととしてもよい。
Further, the sample introduction device 5, the mass spectrometer 7 and the sample analysis system 101 according to the present embodiment can be modified as follows.
For example, as shown in FIG. 3, an insertion portion heater (connection channel heating portion) 133 such as a sheath heater is further attached to the outer periphery of a heat conduction tube 129 covering the insertion portion 131 of the capillary tube 123, and the insertion portion heater In 133, the insertion portion 131 of the capillary tube 123 may be directly heated via the heat conducting tube 129. The insertion portion heater 133 is desirably heated to, for example, 100 ° C. or more and 200 ° C. or less.
By doing in this way, the insertion part 131 can be heated more reliably.
In this modified example, the sample attached to the wall surface of the capillary tube 123 may be vaporized and removed by heating the insertion unit 131 of the capillary tube 123 to a higher temperature by the operation of the heater 133 for the insertion unit. Good.

次に、本発明の一実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム201について、図4〜図7(a)及び図7(b)を参照して説明する。
本実施形態に係る試料分析システム201は、試料採取装置203の構成が第1の実施形態及び第2の実施形態の試料採取装置3と異なる。
以下、第1の参考実施形態及び第2の参考実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
Next, the sample introduction device 5, the mass spectrometer 7 and the sample analysis system 201 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 7 (a) and 7 (b).
The sample analysis system 201 according to the present embodiment is different from the sample collection device 3 of the first embodiment and the second embodiment in the configuration of the sample collection device 203.
In the following description, the same reference numerals are assigned to the same components as those of the sample introduction device 5, the mass analysis device 7, and the sample analysis system 1 according to the first reference embodiment and the second reference embodiment, and the description thereof is omitted. .

試料採取装置203は、四角筒状に形成された気化容器本体235と、該気化容器本体235の入口側端面に設けられた入口ローラ237及び出口側端面に設けられた出口ローラ239と、気化容器本体235内部と差動排気配管13とを流通可能に接続する試料引込み流路241とを備え、切符9に付着している試料を気化容器本体235内部において気化させて、気化した試料を試料引込み流路241の試料引込み口(開口)245から吸引させることにより、切符9に付着した試料を採取するものである。   The sampling device 203 includes a vaporization container main body 235 formed in a square cylinder shape, an inlet roller 237 provided on an inlet side end surface of the vaporization container main body 235, an outlet roller 239 provided on an outlet side end surface, and a vaporization container. A sample drawing flow path 241 that connects the inside of the main body 235 and the differential exhaust pipe 13 so as to be able to flow is provided. The sample adhering to the ticket 9 is vaporized inside the vaporizing container main body 235 and the vaporized sample is drawn into the sample. The sample attached to the ticket 9 is collected by suction from the sample inlet (opening) 245 of the channel 241.

気化容器本体235は、一対の壁面(以下、「上壁247の壁面」と「下壁249の壁面」とする。)が切符9の厚さより若干広い微小間隔を空けて対向して配置され、他の壁面が上壁247及び下壁249の端部を連結するように切符9の幅より広い一定の間隔を空けて配置されている。すなわち、気化容器本体235は、切符9が通過できる程度に狭くした平面状に延びるスリット状の気化室251を有している。   The vaporization container main body 235 is disposed so that a pair of wall surfaces (hereinafter referred to as “wall surface of the upper wall 247” and “wall surface of the lower wall 249”) are opposed to each other with a slight gap slightly wider than the thickness of the ticket 9, The other wall surfaces are arranged at a certain interval wider than the width of the ticket 9 so as to connect the end portions of the upper wall 247 and the lower wall 249. That is, the vaporization container main body 235 has a slit-shaped vaporization chamber 251 that extends in a planar shape that is narrow enough to pass the ticket 9.

また、気化容器本体235は、図示しない気化ヒータを内蔵し、切符9が気化室251を通過する際に切符9に付着している試料を加熱気化するようになっている。なお、ヒータは、例えば、100℃以上200℃以下に加熱されることが望ましい。
また、気化容器本体235の内面、すなわち、気化室251の内壁には、図5(a)及び図5(b)に示すように、それぞれ約1mm〜5mmの凸部を有する台形状に形成された複数の台形状凸部253aが試料引込み口245面に沿って設けられている。なお、各台形状凸部253aは、気化室251内の気流を妨げないように、各台形状凸部253a間に形成される各凹部255が切符9の移動方向、すなわち、気化容器本体235の中心軸243方向に向かってほぼ直線状に位置するように配置されることが望ましい。
The vaporization container body 235 includes a vaporization heater (not shown), and heats and vaporizes the sample attached to the ticket 9 when the ticket 9 passes through the vaporization chamber 251. The heater is desirably heated to, for example, 100 ° C. or more and 200 ° C. or less.
Further, as shown in FIGS. 5A and 5B, the inner surface of the vaporization container main body 235, that is, the inner wall of the vaporization chamber 251 is formed in a trapezoidal shape having convex portions of about 1 mm to 5 mm. A plurality of trapezoidal convex portions 253a are provided along the surface of the sample drawing port 245. In addition, each trapezoid convex part 253a does not obstruct the air flow in the vaporization chamber 251, and each recessed part 255 formed between each trapezoidal convex part 253a is the moving direction of the ticket 9, ie, the vaporization container main body 235. It is desirable that they are arranged so as to be positioned substantially linearly in the direction of the central axis 243.

入口ローラ237及び出口ローラ239は、それぞれ気化容器本体235の上壁247端面及び下壁249端面において、長手方向に延びるように取り付けられた一対のローラである。入口ローラ237は気化容器本体235の内方に向けて両ローラが回転し、一方、出口ローラ239は気化容器本体235の外方に向けて両ローラが回転するようになっている。これにより、入口ローラ237及び出口ローラ239は、切符9の両平面をそれぞれ一対のローラによって挟んで切符を送り出すようになっている。
試料引込み流路241は、上壁247側及び下壁249側から気化容器本体235の気化室251に開口するように、上壁247及び下壁249のそれぞれほぼ中央付近に接続されている。
The inlet roller 237 and the outlet roller 239 are a pair of rollers that are attached so as to extend in the longitudinal direction on the upper wall 247 end surface and the lower wall 249 end surface of the vaporization container main body 235, respectively. The inlet roller 237 is configured such that both rollers rotate toward the inside of the vaporizing container main body 235, while the outlet roller 239 is configured such that both rollers rotate toward the outside of the vaporizing container main body 235. As a result, the entrance roller 237 and the exit roller 239 are configured to send out the ticket by sandwiching both planes of the ticket 9 between the pair of rollers.
The sample drawing channel 241 is connected to the vicinity of the center of each of the upper wall 247 and the lower wall 249 so as to open from the upper wall 247 side and the lower wall 249 side to the vaporization chamber 251 of the vaporization container body 235.

このように構成された本実施形態に係る試料導入装置5、質量分析装置7及び試料分析システム201の作用について説明する。
試料採取装置203を起動させると、気化容器本体235の気化ヒータが加熱されるとともに、入口ローラ237が及び出口ローラ239が一定の速度で回転する。そして、差動排気ポンプ19の作動により差動排気配管13が排気されると、試料引込み流路241を介して気化容器本体235内に生じた気流が差動排気配管13に引き込まれる。
The operation of the sample introduction device 5, the mass spectrometer 7 and the sample analysis system 201 according to this embodiment configured as described above will be described.
When the sample collection device 203 is activated, the vaporization heater of the vaporization container body 235 is heated, and the inlet roller 237 and the outlet roller 239 rotate at a constant speed. Then, when the differential exhaust pipe 13 is exhausted by the operation of the differential exhaust pump 19, the air flow generated in the vaporization container main body 235 is drawn into the differential exhaust pipe 13 via the sample drawing channel 241.

この状況で、切符9が入口ローラ237から取り入れられると、切符9が気化容器本体235の気化室251に送り込まれ、気化ヒータの熱により切符9に付着している試料が加熱気化される。そして、気化した試料を含む気流が試料引込み流路241に引き込まれて、差動排気配管13へと吸引される。この場合に、気化室251の内壁に設けられた複数の台形状凸部253aにより、切符9を試料引込み流路241の試料引込み口245から離間させることができる。したがって、試料引込み口245が切符9によって閉塞されるのを防ぎ、気流を差動排気配管13に絶えず吸引させることができる。   In this situation, when the ticket 9 is taken in from the entrance roller 237, the ticket 9 is fed into the vaporizing chamber 251 of the vaporizing container body 235, and the sample attached to the ticket 9 is heated and vaporized by the heat of the vaporizing heater. Then, the air flow including the vaporized sample is drawn into the sample drawing channel 241 and sucked into the differential exhaust pipe 13. In this case, the ticket 9 can be separated from the sample drawing port 245 of the sample drawing channel 241 by the plurality of trapezoidal convex portions 253 a provided on the inner wall of the vaporizing chamber 251. Therefore, the sample inlet 245 can be prevented from being blocked by the ticket 9, and the airflow can be continuously sucked into the differential exhaust pipe 13.

また、各台形状凸部253a間の凹部255により試料を含む気流の流路を確保することができる。さらに、各凹部255を切符9の移動方向に向かってほぼ直線状に位置するように各台形状凸部253aを配置することで、気化容器本体235内の気流を切符9の移動とともに効果的に試料引込み流路241に流しこませることができる。
また、気化容器本体235の気化室251を極力狭くすることで、試料を含む気流の滞留時間を短くすることができる。
Moreover, the flow path of the airflow containing a sample is securable by the recessed part 255 between each trapezoid-shaped convex part 253a. Further, by arranging the trapezoidal convex portions 253a so that the concave portions 255 are positioned substantially linearly in the moving direction of the ticket 9, the air flow in the vaporization container main body 235 is effectively transferred along with the movement of the ticket 9. It can be poured into the sample drawing channel 241.
Moreover, the residence time of the airflow containing a sample can be shortened by narrowing the vaporization chamber 251 of the vaporization container main body 235 as much as possible.

以上説明したように、本実施形態に係る試料導入装置5、質料分析装置7及び試料分析システム201によれば、試料採取装置203において、試料を含む気流の滞留時間を短くするとともに、試料引込み流路241の試料引込み口245の閉塞防止と気流の流路が確保されて、試料の採取効率を一段と向上させることができる。   As described above, according to the sample introduction device 5, the material analysis device 7, and the sample analysis system 201 according to the present embodiment, in the sample collection device 203, the residence time of the air flow including the sample is shortened and the sample drawing flow is reduced. The prevention of blockage of the sample inlet 245 of the path 241 and the flow path of the airflow are ensured, and the sample collection efficiency can be further improved.

なお、本実施形態においては、気化容器本体235の気化室251の内壁に台形状凸部253aを設けることを例示して説明したが、これに代えて、図6(a)及び図6(b)に示すようなピラミッド状に形成されたピラミッド状凸部253bや、図7(a)及び図7(b)に示す試料引込み流路241の試料引込み口245から放射状に拡がるように形成された放射状凸部253cや、半球状に形成された半球状凸部(図示略)を設けることとしてもよい。なお、切符9を試料引込み流路241の試料引込み口245から離間させることができればよく、例えば、内壁にメッシュを設けて切符9を試料引込み口245から離間させることとしてもよい。さらに、気化室251の内壁に凸部を設けることに代えて、内壁に凹部を設けることとしてもよい。   In the present embodiment, the trapezoidal convex portion 253a is provided on the inner wall of the vaporization chamber 251 of the vaporization container body 235. However, instead of this, FIG. 6 (a) and FIG. ) And a pyramid-shaped convex portion 253b formed in a pyramid shape as shown in FIG. 7 and a sample drawing port 245 in the sample drawing channel 241 shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b). It is good also as providing the radial convex part 253c and the hemispherical convex part (illustration omitted) formed hemispherical. Note that it is only necessary that the ticket 9 can be separated from the sample drawing port 245 of the sample drawing channel 241. For example, the ticket 9 may be separated from the sample drawing port 245 by providing a mesh on the inner wall. Furthermore, it is good also as providing a recessed part in an inner wall instead of providing a convex part in the inner wall of the vaporization chamber 251. FIG.

以上、本発明の一実施形態および参考実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではない。
例えば、第1の参考実施形態においては、キャピラリ管の官長を約10cmとして説明したが、差動排気配管13と質量分析装置7との圧力差を保つことができればよく、15cm以下、例えば、13cmや8cm程度としてもよい。
また、例えば、上記各実施形態においては、上流側の試料採取側流路15の流路断面積が下流側のポンプ側流路17の流路断面積に比べて小さい差動排気配管13を例示して説明したが、差動排気ポンプ19の作動により差動排気配管13内が排気されて所定の減圧状態にできればよく、全体として均等な流路断面積の差動排気配管を採用することとしてもよい。
Although one embodiment and a reference embodiment of the present invention have been described in detail above with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to this embodiment.
For example, in the first reference embodiment, the director of the capillary tube has been described as about 10 cm. However, it is sufficient that the pressure difference between the differential exhaust pipe 13 and the mass spectrometer 7 can be maintained. It may be about 13 cm or 8 cm.
Further, for example, in each of the above-described embodiments, the differential exhaust pipe 13 is illustrated in which the channel cross-sectional area of the upstream sampling-side channel 15 is smaller than the channel cross-sectional area of the downstream pump-side channel 17. As described above, it is sufficient that the differential exhaust pipe 13 is exhausted by the operation of the differential exhaust pump 19 to be in a predetermined pressure-reduced state. As a whole, the differential exhaust pipe having a uniform cross-sectional area is adopted. Also good.

3 試料採取装置
5 試料導入装置
7 質量分析装置(試料分析装置)
13 差動排気配管
19 差動排気ポンプ(差動排気装置)
23 キャピラリ管(接続流路)
27 分析装置用排気ポンプ(排気装置)
3 Sample collection device 5 Sample introduction device 7 Mass spectrometer (sample analyzer)
13 Differential exhaust piping 19 Differential exhaust pump (Differential exhaust system)
23 Capillary tube (connection channel)
27 Exhaust pump for analyzer (exhaust device)

Claims (2)

試料分析を行う試料分析装置に導入させるための試料を基材から採取する試料採取装置であって、
内部を通過する基材に付着した試料を気化させる気化容器と、
一端が該気化容器内に開口し、他端が前記試料分析装置側に流通可能に接続される試料引込み流路とを備え、
前記気化容器の内面には、前記試料引込み流路の前記開口と前記基材とを離間させる凹部または凸部が開口面に沿って設けられている試料採取装置。
A sample collection device for collecting a sample for introduction into a sample analysis device for performing sample analysis from a base material,
A vaporization container for vaporizing the sample attached to the base material passing through the inside;
One end is opened in the vaporization container, and the other end is provided with a sample drawing channel connected to be flowable to the sample analyzer side,
A sample collection device in which a concave portion or a convex portion for separating the opening of the sample drawing channel from the base material is provided on the inner surface of the vaporization container along the opening surface.
前記凹部または凸部が、前記基材の移動方向に沿って形成されている請求項1に記載の試料採取装置。   The sampling device according to claim 1, wherein the concave portion or the convex portion is formed along a moving direction of the base material.
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