JP2011227038A - 物理量センサ - Google Patents
物理量センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011227038A JP2011227038A JP2010189555A JP2010189555A JP2011227038A JP 2011227038 A JP2011227038 A JP 2011227038A JP 2010189555 A JP2010189555 A JP 2010189555A JP 2010189555 A JP2010189555 A JP 2010189555A JP 2011227038 A JP2011227038 A JP 2011227038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- output
- detection
- physical quantity
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/14—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of gyroscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】外部から印加された物理量を電気信号に変換する振動子20と、振動子を発振させる発振回路30と、振動子からの被検波信号を発振回路からの検波信号に基づいて検波する検波回路60を有する物理量センサ100において、検波回路の前段で発振回路からの検波信号及び振動子からの被検波信号の何れか一方の信号をΔΣ変調し且つ変調信号V26を出力するΔΣ変調器70と、出力電圧が可変な可変電圧源と、可変電圧源の出力電圧を制御する制御部を更に有し、ΔΣ変調器は出力電圧を基準として作成されたフィードバック信号V22を用いてΔΣ変調を行うことを特徴とする物理量センサ。
【選択図】図3
Description
((LV9−LV22・DA)・LF+E)・LVstd=LV22
したがって、
LV22=LV9・LF・Vstd/(1+DA・LF・Vstd)+E・Vstd/(1+DA・LF・Vstd)
ここで、ループフィルタ72の伝達関数をIF、D/A変換器73の伝達関数をDA、A/D変換器73での量子化ノイズをe、量子化ノイズeをラプラス変換したものをEとする。第1スイッチ63の出力信号V27をラプラス変換したものをLV27、第2スイッチ67の出力信号V22をラプラス変換したものをLV22、差動信号V12をラプラス変換したものをLV12、検波信号V9をラプラス変換したものをLV9とする。
LV22≒LV9 (1)
LV27=LV12・LV22/Vstd (2)
LV27=LV9・LV12/Vstd (3)
即ち、検出回路50の第1スイッチ63の出力信号V27は、被検波信号である差動信号12と検波信号9との積と比例していることが理解できる。
V28=(V11−V10)V9/Vstd (4)
30 発振回路
37 I/V変換器
38 LPF
39 AGC
40 VGA
45 位相回路
50、210、211、212 検出回路
51、52 I/V変換器
53 差動増幅回路
60 検波回路
61 第1バッファ
62 第1反転増幅器
63 第1スイッチ
65 第2バッファ
66 第2反転増幅器
67 第2スイッチ
70 ΔΣ変調器
71 加算器
72 ループフィルタ
73 A/D変換器
74 D/A変換器
80 LPF
91 制御回路
92 メモリ
93 温度センサ
220、221、222 電源回路
Claims (7)
- 外部から印加された物理量を電気信号に変換する振動子と、前記振動子を発振させる発振回路と、前記振動子からの被検波信号を前記発振回路からの検波信号に基づいて検波する検波回路と、を有する物理量センサにおいて、
前記検波回路の前段で、前記発振回路からの検波信号及び前記振動子からの被検波信号の何れか一方の信号をΔΣ変調し、変調信号を出力するΔΣ変調器と、
出力電圧が可変な可変電圧源と、
前記可変電圧源の出力電圧を制御する制御部と、を更に有し、
前記ΔΣ変調器は、前記出力電圧を基準として作成されたフィードバック信号を用いてΔΣ変調を行う、
ことを特徴とする物理量センサ。 - 振動子に応じたデータを記憶するメモリを更に有し、
前記制御部は、前記データに基づいて前記可変電圧源の出力電圧を制御する、請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記振動子の周囲温度を検出するための温度センサを更に有し、
前記制御部は、前記温度センサの出力に基づいて前記可変電圧源の出力電圧を制御する、請求項1に記載の物理量センサ。 - 振動子に応じたデータを記憶するメモリと、
前記振動子の周囲温度を検出するための温度センサを更に有し、
前記制御部は、前記データ及び前記温度センサの出力に基づいて前記可変電圧源の出力電圧を制御する、請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記検波回路の出力信号の交流成分を除去するローパスフィルタを更に有する、請求項1〜4の何れか一項に記載の物理量センサ。
- 前記検波回路は、前記振動子からの被検波信号及び前記被検波信号の反転信号の何れか一方を、前記ΔΣ変調器の変調信号に基づいて出力する第1スイッチング回路を更に有する、請求項1〜5の何れか一項に記載の物理量センサ。
- 前記可変電圧源からの出力電圧及び前記可変電圧源からの出力電圧の反転出力の何れか一方を、前記ΔΣ変調器の変調信号に基づいて出力する第2スイッチング回路を更に有し、
前記第2スイッチング回路の出力信号をフィードバック信号として用いる、請求項1〜6の何れか一項に記載の物理量センサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010189555A JP5717376B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-08-26 | 物理量センサ |
PCT/JP2011/058657 WO2011126033A1 (ja) | 2010-03-31 | 2011-03-30 | 物理量センサ |
CN201180016201.5A CN102834695B (zh) | 2010-03-31 | 2011-03-30 | 物理量传感器 |
US13/638,226 US9310203B2 (en) | 2010-03-31 | 2011-03-30 | Physical quantity sensor |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010083389 | 2010-03-31 | ||
JP2010083389 | 2010-03-31 | ||
JP2010189555A JP5717376B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-08-26 | 物理量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011227038A true JP2011227038A (ja) | 2011-11-10 |
JP5717376B2 JP5717376B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=44762967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010189555A Expired - Fee Related JP5717376B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-08-26 | 物理量センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9310203B2 (ja) |
JP (1) | JP5717376B2 (ja) |
CN (1) | CN102834695B (ja) |
WO (1) | WO2011126033A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010053022B4 (de) * | 2010-12-02 | 2014-01-09 | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. | Vorrichtung zur Messung einer Drehrate |
JP5979344B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2016-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
US20140190256A1 (en) * | 2012-12-24 | 2014-07-10 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Vibratory gyro sensor system |
JP6197323B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-09-20 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体 |
JP6222423B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-11-01 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器及び移動体 |
JP6303411B2 (ja) | 2013-11-07 | 2018-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
JP6213165B2 (ja) * | 2013-11-07 | 2017-10-18 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
US9835454B2 (en) * | 2015-02-09 | 2017-12-05 | Invensense, Inc. | High-Q MEMS gyroscope |
CN104897328A (zh) * | 2015-05-17 | 2015-09-09 | 成都诚邦动力测试仪器有限公司 | 一种基于二极管对称式检波电路的电涡流测功系统 |
US9903718B2 (en) * | 2015-05-28 | 2018-02-27 | Invensense, Inc. | MEMS device mechanical amplitude control |
JP6049817B1 (ja) * | 2015-07-17 | 2016-12-21 | 株式会社日立製作所 | パワー制御可能な無線通信装置 |
US10530372B1 (en) | 2016-03-25 | 2020-01-07 | MY Tech, LLC | Systems and methods for digital synthesis of output signals using resonators |
US10020818B1 (en) | 2016-03-25 | 2018-07-10 | MY Tech, LLC | Systems and methods for fast delta sigma modulation using parallel path feedback loops |
EP3542461B1 (en) | 2016-11-21 | 2024-07-31 | Mixed-Signal Devices Inc. | High efficiency power amplifier architectures for rf applications |
JP6870635B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2021-05-12 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性計測装置、移動体、携帯型電子機器、及び電子機器 |
US11933919B2 (en) | 2022-02-24 | 2024-03-19 | Mixed-Signal Devices Inc. | Systems and methods for synthesis of modulated RF signals |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208824A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Sharp Corp | スイッチング増幅器およびその駆動方法 |
JP2006238501A (ja) * | 2006-06-05 | 2006-09-07 | Sharp Corp | デジタルスイッチングアンプ |
JP2008507713A (ja) * | 2004-07-26 | 2008-03-13 | ビーイーアイ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 電子的に構成可能な速度センサ回路及び方法 |
JP2008206134A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Σδ型ad変換器およびそれを用いた角速度センサ |
JP2008309527A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Tokyo Keiki Inc | 静電浮上型ジャイロ装置 |
US20090066550A1 (en) * | 2007-09-06 | 2009-03-12 | Dirk Hammerschmidt | Sigma-delta modulator for operating sensors |
JP2010054438A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Hitachi Ltd | 角速度検出装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3729181B2 (ja) * | 2003-03-14 | 2005-12-21 | セイコーエプソン株式会社 | 測定方法及び測定信号出力回路並びに測定装置 |
US7788977B2 (en) * | 2005-06-01 | 2010-09-07 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Physical quantity sensor |
JP2007057340A (ja) | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Citizen Watch Co Ltd | 発振回路及び角速度センサ |
DE102006055589B4 (de) * | 2006-11-24 | 2012-07-19 | Infineon Technologies Ag | Messvorrichtung und Messgrößensensor mit gekoppelter Verarbeitungs- und Anregungsfrequenz |
US7439892B1 (en) * | 2007-06-29 | 2008-10-21 | Cirrus Logic, Inc. | Variable voltage generator for delta-sigma modulators |
JP5365173B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2013-12-11 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量測定装置および電子機器 |
-
2010
- 2010-08-26 JP JP2010189555A patent/JP5717376B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-03-30 US US13/638,226 patent/US9310203B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-30 CN CN201180016201.5A patent/CN102834695B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-30 WO PCT/JP2011/058657 patent/WO2011126033A1/ja active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208824A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Sharp Corp | スイッチング増幅器およびその駆動方法 |
JP2008507713A (ja) * | 2004-07-26 | 2008-03-13 | ビーイーアイ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 電子的に構成可能な速度センサ回路及び方法 |
JP2006238501A (ja) * | 2006-06-05 | 2006-09-07 | Sharp Corp | デジタルスイッチングアンプ |
JP2008206134A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Σδ型ad変換器およびそれを用いた角速度センサ |
JP2008309527A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Tokyo Keiki Inc | 静電浮上型ジャイロ装置 |
US20090066550A1 (en) * | 2007-09-06 | 2009-03-12 | Dirk Hammerschmidt | Sigma-delta modulator for operating sensors |
JP2010054438A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Hitachi Ltd | 角速度検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102834695B (zh) | 2016-04-13 |
US20130068019A1 (en) | 2013-03-21 |
JP5717376B2 (ja) | 2015-05-13 |
CN102834695A (zh) | 2012-12-19 |
US9310203B2 (en) | 2016-04-12 |
WO2011126033A1 (ja) | 2011-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5717376B2 (ja) | 物理量センサ | |
US8618889B2 (en) | Oscillation drive device, physical quantity measurement device and electronic apparatus | |
JP6222426B2 (ja) | 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
US7849744B2 (en) | Driving device, physical quantity measurement device, and electronic instrument | |
JP5487546B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5136016B2 (ja) | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
CN106027043B (zh) | 电路装置、电子设备以及移动体 | |
WO2011045909A1 (ja) | 角速度センサ | |
JP5034808B2 (ja) | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
JP6641712B2 (ja) | 回路装置、電子機器及び移動体 | |
WO2005103618A1 (ja) | ジャイロ装置 | |
JP6197347B2 (ja) | 電子機器及び物理量検出装置 | |
JP2009229152A (ja) | 角速度センサ | |
JP4882975B2 (ja) | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
JP2008089577A (ja) | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
JP2018163037A (ja) | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
KR101298289B1 (ko) | 자이로센서 구동회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 구동방법 | |
JP2008089572A (ja) | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
US7692506B2 (en) | Oscillation driver device, physical quantity measuring device, and electronic instrument | |
JP4930253B2 (ja) | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 | |
JP6731235B2 (ja) | 複合スイッチ回路、物理量検出装置、電子機器および移動体 | |
JP5825624B2 (ja) | スイッチトキャパシター積分回路、フィルター回路、物理量測定装置、及び電子機器 | |
JP2016197017A (ja) | 角速度センサ | |
JP2017090209A (ja) | 物理量検出回路、電子機器および移動体 | |
JP5316434B2 (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130821 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20131009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20131009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5717376 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |