JP2011222807A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】外形の小型化と信号伝送の高速化を可能にした半導体装置を提供する。
【解決手段】第1のCA系パッドが第1のエッジに沿って第1の面の上に設けられた第1のメモリチップと、第1の面の上に積層され、第2のCA系パッドが第2のエッジに沿って設けられた第2のメモリチップと、第1および第2のメモリチップを含む積層体が第3の面の上に設けられ、複数の外部端子が第3の面の反対側の面に設けられた基板と、を有する。積層体において第1エッジの向きと第2のエッジの向きとが同じであり、第1のCA系パッドと第2のCA系パッドが、複数の外部端子のうち、共通の複数の外部端子に接続されている構成である。
【選択図】図4
【解決手段】第1のCA系パッドが第1のエッジに沿って第1の面の上に設けられた第1のメモリチップと、第1の面の上に積層され、第2のCA系パッドが第2のエッジに沿って設けられた第2のメモリチップと、第1および第2のメモリチップを含む積層体が第3の面の上に設けられ、複数の外部端子が第3の面の反対側の面に設けられた基板と、を有する。積層体において第1エッジの向きと第2のエッジの向きとが同じであり、第1のCA系パッドと第2のCA系パッドが、複数の外部端子のうち、共通の複数の外部端子に接続されている構成である。
【選択図】図4
Description
本発明は、積層された複数のメモリチップを有する半導体装置に関する。
複数のチップを搭載するマルチチップパッケージ(MCP)の構成について簡単に説明する。図10は関連するMCPの一構成例を示す断面図である。
図10に示すMCPは、パッケージの上にパッケージが搭載された構成であり、PoP(Package On Package)と呼ばれている。PoPでは、DRAM(Dynamic Random Access Memory)等のメモリ系のパッケージが上側(Top-PoP)に設けられ、ロジック系のパッケージが下側(Bottom-PoP)に設けられることが多い。上側のパッケージは2つのメモリチップ213、215および基板203を含む構成であり、基板203の上にメモリチップ213、215が積層されている。下側のパッケージはロジックチップ211および基板201を含む構成であり、基板201の上にロジックチップ211が搭載されている。
図10に示すMCPでは、メモリチップ213とメモリチップ215の間にダイスボンド材が設けられている。ダイスボンド材は、メモリチップ215の上にメモリチップ213を固定させる第1の役目と、メモリチップ215のパッドにワイヤを接続するための空間を生むための第2の役目がある。ただし、2枚のメモリチップを重ねたとき、下層のメモリチップのパッドが上層のチップに覆われないのであれば、第2の役目は必要ないので、ダイスボンド材の厚みは薄い方が望ましい。
基板203の下面には、基板201および基板203を電気的に接続するための端子となるボール221が複数設けられている。基板201の下面には、MCPの外部と電気的に接続するための外部端子となるボール220が複数設けられている。このように、複数のハンダボールが格子状に配置された構造はBGA(Ball Grid Array)と呼ばれている。
メモリチップ213、215のそれぞれには端子に相当するパッドが複数設けられている。基板203の上面にはワイヤボンド用端子と、このワイヤボンド用端子に接続された配線(以下では、基板配線と称する)が基板203の上面に設けられている。メモリチップ213、215のパッドとワイヤボンド用端子とがワイヤ222で接続されている。
基板203の上面側の基板配線は、基板203を貫通するビア(不図示)を介して、基板203の下面側の基板配線に接続されている。さらに、基板203の下面側の基板配線がボール221と接続されている。基板201にも、基板203と同様に、ワイヤボンド用端子、基板配線およびビアが設けられている。
ロジックチップ211は、基板201側のワイヤ222および基板配線と、基板203を貫通するビアと、基板203側のボール221、基板配線およびワイヤ222とを介して、メモリチップ213、215のそれぞれと接続されている。ロジックチップ211は、これらのメモリチップと外部との間でデータの送受信を制御するインタフェースチップとして機能する。
図11は図10に示したメモリチップの一構成例を示す平面図である。ただし、この図では、内部回路を図に示すことを省略し、内部回路と信号およびデータを送受信するための端子となるパッドのみを示している。メモリチップ213、215のそれぞれは、同様な構成であるため、ここでは、メモリチップ215の構成について説明する。
メモリチップ215は、コマンド信号およびアドレス信号をロジックチップ211から受信するための複数のパッドを含むCA(Command/Address)系パッド236と、ロジックチップ211を介してデータを入出力するための複数のパッドを含むDQ系パッド235とを有する。CA系パッド236とDQ系パッド235のそれぞれのパッド列のパッド数は、図に示すパッドの数に限らない。また、一部のパッドを図に示すことを省略している。
図11に示すメモリチップ215の平面形状は、図を見てわかるように長方形である。メモリチップ215におけるCA系パッド236およびDQ系パッド235のレイアウトは、2つの長辺のうち、一方の長辺の近くに、辺に沿ってDQ系パッド235が配置され、他方の長辺の近くに、辺に沿ってCA系パッド236が配置されている。
MCPに用いられるメモリチップおいては、図11に示すように、複数のパッドを含むパッド列は、チップの中央よりもエッジ近くに配置されることが多く、パッド列は1列よりも2列であることが多い。ワイヤ222の材料が主に金であり、パッドがチップ中央よりもエッジ近くに配置されることで、パッドと基板とを接続するワイヤ222の長さが短くてすみ、ワイヤ222の材料にかかるコストを抑制できるからである。また、図10に示すようにメモリチップを積層する場合、パッドがチップのエッジ近くに配置されていることで、上層と下層のチップのそれぞれのパッドをワイヤで接続しやすくなり、複数のチップを搭載するのに適しているからである。
図12は図10に示したMCPの上側パッケージを上から見たときの透視図である。メモリチップ215の上にメモリチップ213が積層されている。図12に示すメモリチップ213は、図11に示したメモリチップ215の重心を中心にしてメモリチップ215を反時計回りに90度回転させたものに相当する。
メモリチップ213の2列のパッド列のそれぞれをDQ系パッド233、CA系パッド234とする。メモリチップ215の2列のパッド列のそれぞれをDQ系パッド235、CA系パッド236とする。基板203の下面には、基板203のエッジにそって、複数のボールが一定の間隔で2列に配置されている。2列に配置された複数のボールを、複数のグループに区分けし、1つのグループをボールアレイと称する。
ボールアレイ243はDQ系パッド233に対応しており、DQ系パッド233の各パッドは、DQ系パッド233に対応するボールアレイ243内のボールとワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介して接続されている。ただし、図12では、ワイヤ、ワイヤボンド用端子、および基板配線を図に示すことを省略している。
ボールアレイ245はDQ系パッド235に対応し、ボールアレイ244はCA系パッド234に対応し、ボールアレイ246はCA系パッド236に対応しており、各ボールアレイにおけるボールとパッドの接続は、ボールアレイ243のボールとDQ系パッド233のパッドの接続と同様である。
このようなボール配置およびパッドレイアウトは、PoPが実装される基板(Printed Circuit Board:PCB)に設けられた配線の条件やPoP内の基板203に設けられた基板配線の特性に応じて決定される。
特許文献1には、2つのDRAMチップのうち、一方のチップを基準にして、他方のチップを裏返して90度回転させ、一方のチップの上に他方のチップを重ねて配置した半導体装置の一例が開示されている。
近年、メモリ製品では、特にモバイル系メモリ製品やデジタルコンシューマ系メモリ製品において、インタフェースの高速伝送化が進んでおり、また、パッケージの高密度化の需要が強くなっている。インタフェースの高速伝送化に関しては、LVDDR2の規格に対応した、1Gbps仕様のチップが試作されている。パッケージの高密度化に関しては、例えば、MCPの高さ条件が1.2mmMaxであり、面積条件が14×14mm□または12×12mm□である。
パッケージの高密度化の需要による市場要求に対して、構造的な実装組立技術開発で対応してボールピッチを狭くようとしても限界に達していた。
図10から図12を参照して説明したMCPについて、パッドのレイアウトに伴う問題を説明する。図13は図12に示したメモリチップのパッドとボールとの接続を示す透視図である。
図13に示すように、DQ系パッド235のうち、左端のパッド261がワイヤを介してワイヤボンド用端子251に接続され、ワイヤボンド用端子251は基板配線を介してボール255に接続されている。この図では、基板配線の経路を太線矢印で模式的に示している。また、DQ系パッド235のうち、右端のパッド262はワイヤを介してワイヤボンド用端子252に接続され、ワイヤボンド用端子252は基板配線を介してボール256に接続されている。DQ系パッド235のうち、パッド261とパッド262の間の他のパッドについても、パッド261およびパッド262と同様に、ワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介して、ボールアレイ245内のボールと接続されている。
DQ系パッド233に関しては、上端のパッド263がワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール257に接続され、下端のパッド264がワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール258に接続されている。DQ系パッド233のうち、パッド263とパッド264の間の他のパッドについても、パッド263およびパッド264と同様に、ワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介して、ボールアレイ243内のボールと接続されている。
DQ系パッド233のパッドの多くが基板203の左側エッジ近くに配置されたボールアレイ243のボールと接続され、DQ系パッド235のパッドの約半分は基板203の上側エッジ近くに配置されたボールに接続されているが、DQ系パッド235のパッドの残り約半分は、基板203の右側エッジ近くに配置されたボールと接続されている。DQ系パッド235の左端のパッド261の基板配線の経路と右端のパッド262の基板配線の経路とを比較すると、パッド262の基板配線の経路の方がパッド261の経路の約3倍の長さになっている。
次に、CA系パッドとボールとの接続について注目する。
CA系パッド236のうち、左端のパッド265がワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール271に接続され、右端のパッド266がワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール272に接続されている。基板配線の経路を破線矢印で模式的に示している。CA系パッド234のうち、パッド265とパッド266の間の他のパッドについても、パッド265およびパッド266と同様に、ワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介して、ボールアレイ244内のボールと接続されている。
CA系パッド234のうち、上端のパッド267がワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール274に接続され、下端のパッド268がワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール273に接続されている。CA系パッド234のうち、パッド267とパッド268の間の他のパッドについても、パッド267およびパッド268と同様に、ワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介して、ボールアレイ246内のボールと接続されている。なお、太線矢印で示す基板配線の経路と破線矢印で示す基板配線の経路は、図13に示す透視図では同一層で交差しているように見えるが、異なる配線層でそれぞれ形成されている。
CA系パッドの基板配線とDQ系パッドの基板配線とを比較すると、CA系パッドの基板配線の経路は、DQ系パッドよりもさらに長くなっている。特に、CA系パッド234の基板配線の経路は、CA系パッド236の基板配線を迂回しなければならないため、他のパッドと比較して最も長くなっている。パッド267の基板配線の経路は、DQ系パッド235のパッド262の基板配線の経路の約2倍になっており、パッド261の基板配線の経路の約6倍になっている。
図11に示したパッドレイアウトと図12に示したボール配置では、図13を参照して説明したように、パッドとボールとを接続するための基板配線が長くなり、信号伝送の高速化を妨げてしまうという問題がある。
一方、特許文献1に開示された方法では、2つのDRAMチップのうち、一方のチップは主面が上向きなのでパッドとパッケージ基板の配線とをワイヤボンディングで接続することが可能だが、他方のチップは主面が下向きになるため、パッドとパッケージ基板の配線とを直接接続するフリップチップ接続を行う必要がある。フリップチップ接続の場合、チップのパッドと同じサイズの電極をパッドの間隔に合うようにパッケージ基板の主面に設ける必要があるだけでなく、チップとパッケージ基板との位置合わせに要求される精度はワイヤボンディング接続の場合に比べて高い。そのため、フリップチップ接続はワイヤボンディング接続に比べて製造コストが高くなるという問題がある。
本発明の半導体装置は、
コマンド信号およびアドレス信号を受信するための複数の端子を含む第1のCA系パッドが第1のエッジに沿って第1の面の上に設けられた第1のメモリチップと、
前記第1の面の上に積層され、前記第1の面と同じ向きの第2の面の上に第2のCA系パッドが第2のエッジに沿って設けられた第2のメモリチップと、
前記第1および前記第2のメモリチップが積層された積層体が第3の面の上に設けられ、外部と電気的に接続するための端子である複数の外部端子が前記第3の面の反対側の面に設けられた基板と、を有し、
前記積層体において前記第1エッジの向きと前記第2のエッジの向きとが同じであり、
前記第1のCA系パッドと前記第2のCA系パッドが、前記複数の外部端子のうち、共通の複数の外部端子に接続されている。
コマンド信号およびアドレス信号を受信するための複数の端子を含む第1のCA系パッドが第1のエッジに沿って第1の面の上に設けられた第1のメモリチップと、
前記第1の面の上に積層され、前記第1の面と同じ向きの第2の面の上に第2のCA系パッドが第2のエッジに沿って設けられた第2のメモリチップと、
前記第1および前記第2のメモリチップが積層された積層体が第3の面の上に設けられ、外部と電気的に接続するための端子である複数の外部端子が前記第3の面の反対側の面に設けられた基板と、を有し、
前記積層体において前記第1エッジの向きと前記第2のエッジの向きとが同じであり、
前記第1のCA系パッドと前記第2のCA系パッドが、前記複数の外部端子のうち、共通の複数の外部端子に接続されている。
本発明によれば、積層された2つのメモリチップにおいて、第1のメモリチップの第1のCA系パッドと第2のメモリチップの第2のCA系パッドのそれぞれが各チップの同じ向きのエッジに沿って配置されており、また、第1および第2のCA系パッドが外部端子を共有している。そのため、ボール数を削減できるだけでなく、第1および第2のCA系パッドに共通の外部端子に各パッドを接続しやすくなり、パッドと外部端子を結ぶ配線が短くなる。
本発明によれば、基板に設けられる外部端子の削減により半導体装置を小型化でき、パッドと外部端子とを接続する配線が短くなることで信号伝送を高速化できる。
(第1の実施形態)
本実施形態の半導体装置の構成を説明する。なお、本実施形態における半導体装置は、図10に示したMCPと同様に、2つのメモリチップが上側パッケージに設けられ、ロジックチップが下側パッケージに設けられた構成とする。本実施形態では、2つのメモリチップが搭載された上側パッケージについて詳しく説明し、下側パッケージの構成についての詳細な説明を省略する。
本実施形態の半導体装置の構成を説明する。なお、本実施形態における半導体装置は、図10に示したMCPと同様に、2つのメモリチップが上側パッケージに設けられ、ロジックチップが下側パッケージに設けられた構成とする。本実施形態では、2つのメモリチップが搭載された上側パッケージについて詳しく説明し、下側パッケージの構成についての詳細な説明を省略する。
図1は本実施形態の半導体装置に用いられるメモリチップの一構成例を示すブロック図である。ここでは、メモリチップがDRAMチップの場合とする。
図1に示すように、メモリチップ10は、格子状に配置された複数のメモリセルを含むメモリブロック30−1〜30−n(nは1以上の整数)と、ロウデコーダ31およびカラムデコーダ32と、センスアンプ33と、データ入出力制御回路34と、CA系パッド41と、DQ系パッド42とを有する。
図10に示したロジックチップ211からメモリチップ10に入力されるアドレス信号は、CA系パッド41を介してロウデコーダ31およびカラムデコーダ32に入力される。また、ロジックチップ211からメモリチップ10に入力されるコマンド信号は、CA系パッド41を介してデータ入出力制御回路34に入力される。
ロジックチップ211からメモリチップ10に入力されるデータは、DQ系パッド42を介してデータ入出力制御回路34に入力される。データ入出力制御回路34から出力されるデータは、DQ系パッド42を介してロジックチップ211に入力される。
ロウデコーダ31およびカラムデコーダ32は、データ読み出し動作の際、メモリブロック30−1〜30−n内のメモリセルのうち、アドレス信号で特定されるメモリセルに蓄積された電荷を所定のビット線に出力する。センスアンプ33は、所定のビット線に出力された電荷による信号を検出すると、検出した信号を増幅する。データ入出力制御回路34は、データ読み出し動作の際、センスアンプ33で増幅された信号をDQ系パッド42を介してロジックチップ211に送信する。データ入出力制御回路34は、データ書き込み動作の際、ロジックチップ211からDQ系パッド42を介してデータが入力されると、カラムデコーダ32を駆動し、メモリブロック30−1〜30−n内のメモリセルのキャパシタを充電させ、またはキャパシタから放電させる。
次に、図1に示したメモリチップ10において、パッド配置を示すパッドレイアウトについて説明する。図2Aおよび図2Bは本実施形態の半導体装置に用いられる2つのメモリチップの構成例を示す平面図である。
積層される2つのメモリチップのうち、図2Aは上側のメモリチップの一構成例を示し、図2Bは下側のメモリチップの一構成例を示す。ただし、図2Aおよび図2Bでは、図1に示した内部回路の構成を図に示すことを省略し、内部回路と信号およびデータを送受信するためのパッドのみを示している。また、下層側のメモリチップ11に設けられた内部回路は、図1に示したブロック図の構成と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
さらに、CA系パッド41、43とDQ系パッド42、44のそれぞれのパッド列のパッド数は、図に示すパッドの数に限らない。また、一部のパッドを図に示すことを省略している。図に示すパッドの数やパッドの一部を省略することは、後述する他の実施形態におけるチップのパッドについても同様である。
図2Aに示すように、メモリチップ10では、上側エッジに沿ってDQ系パッド42が配置され、図2Aの右下の頂点を基準にして両側にCA系パッド41が配置されている。図2Bに示すように、メモリチップ11では、左側エッジに沿ってDQ系パッド44が配置され、図2Bの右下の頂点を基準にして両側にCA系パッド43が配置されている。
次に、メモリチップ10とメモリチップ11のパッドレイアウトの対称性について説明する。図3は本実施形態における2つのメモリチップのパッド配置の対称性を示す図である。
図3では、図2Aに示したメモリチップ10の重心を中心にして、メモリチップ10を時計回りに90度回転させたものを、図2Bに示したメモリチップ11の横に並べて配置している。
メモリチップ10とメモリチップ11の間に軸101を置くと、DQ系パッド42とDQ系パッド44の配置が軸101で線対称になり、CA系パッド41とCA系パッド43の配置が軸101で線対称になっている。ここでは、メモリチップ10、11を軸101から離して配置しているが、メモリチップ10とメモリチップ11のそれぞれの辺が重なるようにメモリチップを配置してもよい。この場合、2つのメモリチップの重なった辺が線対称の軸となる。
また、図2Bに示したメモリチップ11の重心を中心にして、メモリチップ11を反時計回りに90度回転させても、それぞれのパッドレイアウトが線対称になる。
次に、図2Aに示したメモリチップ10と図2Bに示したメモリチップ11を基板上に搭載したパッケージ構造について説明する。図4は本実施形態のパッケージを上から見たときの透視図である。
図4に示すように、基板100の中央にメモリチップ10およびメモリチップ11が積層している。以下では、2つのメモリチップが積層された構成を積層体と称する。基板100の外周内側にエッジに沿って、ボールが2列で配置されている。DQ系パッド42とDQ系パッド44のパッドはボールアレイ51内のボールと接続されている。図2Aおよび図2Bに示したCA系パッド41とCA系パッド43のパッドはボールアレイ52内のボールと接続されている。図4では、ワイヤ、ワイヤボンド用端子、および基板配線の経路について、一部を除いて図に示すことを省略している。図4では、CA系パッド41とCA系パッド43がぴったり重なっている。
CA系パッド41のパッド63およびCA系パッド43のパッド73のそれぞれは、ワイヤを介して共通のワイヤボンド用端子91に接続され、ワイヤボンド用端子91および基板配線を介して共通のボール85に接続されている。
また、CA系パッド41のパッド64およびCA系パッド43のパッド74のそれぞれは、ワイヤを介して共通のワイヤボンド用端子92に接続され、ワイヤボンド用端子92および基板配線を介して共通のボール86に接続されている。CA系パッド41のその他のパッドについても、CA系パッド43のパッドとボールを共用している。
CA系パッド41はメモリチップ10の第1のエッジに沿って配置され、CA系パッド43はメモリチップ11の第2のエッジに沿って配置され、第1のエッジと第2のエッジは同じ向きである。第1のエッジは、メモリチップ10において、図4の右下の頂点とその頂点を挟む両側の辺を含む。第2のエッジは、メモリチップ11において、図4の右下の頂点とその頂点を挟む両側の辺を含む。第1のエッジと第2のエッジが同じ向きであるため、これらのエッジが異なる向きの場合に比べて、CA系パッド41とCA系パッド43の距離が近くなり、CA系パッド41とCA系パッド43の両方のパッドを共通のボールに接続しやすくなる。
DQ系パッド42のパッド61はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール81に接続され、パッド62はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール82に接続されている。DQ系パッド44のパッド71はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール83と接続され、パッド72はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール84と接続されている。DQ系パッド42およびDQ系パッド44のその他のパッドもボールアレイ51内のボールに接続されている。
DQ系パッド42はメモリチップ10の第3のエッジに沿って配置され、DQ系パッド44はメモリチップ11の第4のエッジに沿って配置され、第3のエッジと第4のエッジは異なる向きである。第3のエッジは、メモリチップ10において、図4の上側の辺に相当する。第4のエッジは、メモリチップ11において、図4の左側の辺に相当する。第3のエッジと第4のエッジが異なる向きであるため、これらのエッジが同じ向きの場合に比べて、DQ系パッド42とDQ系パッド44の距離が遠くなり、DQ系パッド42とDQ系パッド44の各パッドを分散して異なるボールに接続しやすくなる。
図4に示す積層体において、メモリチップ10の重心を軸にして、DQ系パッド42を反時計回りに90度回転させると、DQ系パッド42はDQ系パッド44に重なる。これは、2つのメモリチップが積層された状態で、DQ系パッド42とDQ系パッド44のそれぞれを、基板100に対して異なる辺に沿って配置することで、DQ系パッドの各パッドが分散されるようになる。DQ系パッド42とDQ系パッド44の配置関係は、DQ系パッド44を時計回りに90度回転させても同じである。
図3に示したような線対称のパッド配置を持つ2つのメモリチップを搭載してワイヤボンディング(WB)を行う際、DQ系パッドには、パッドとワイヤボンド用端子とを通常のWBで接続する。CA系パッドのWBには、高低差をつけたダブルボンディングを用いる。
図4において、基板100の外周に沿って設けられたボールのうち、白抜きのボールは削減可能なボールを示す。図4に示す基板100では、12個のボールを削減することが可能となる。
また、CA系パッドに接続されるボールは、基板100の4つの頂点のうち、図4の右下の頂点を基準にして両側に外周に沿って配置されている。DQ系パッドに接続されるボールは、基板100の4つの頂点のうち、図4の左上の頂点を基準にして両側に外周に沿って配置されている。
このように、メモリチップ10、11において、CA系パッド41、43が図4の右下の頂点を基準にして両側に配置され、その頂点に対応する基板100の頂点の近傍にCA系パッドのボールが配置されている。また、メモリチップ10、11において、DQ系パッド42、44が図4の左上の頂点を基準にして両側の辺に沿って配置され、その頂点に対応する基板100の頂点の両側の辺に沿ってDQ系パッドのボールが配置されている。そのため、パッドとボールを接続するためのワイヤおよび基板配線の長さが短くて済む。
次に、本実施形態のメモリチップ10およびメモリチップ11の製造方法を説明する。
メモリチップ10のパッドレイアウトと内部回路および配線の配置を決定した後、メモリチップ11の設計段階で、パッドレイアウトがメモリチップ10と線対称となるようにメモリチップ11のDQ系パッドおよびCA系パッドの配置を決める。そして、図4に示したようにメモリチップ10およびメモリチップ11を積層したとき、メモリチップ11のCA系パッドのそれぞれのパッドについて、メモリチップ10のCA系パッドで同じ位置に対応するパッドと役割が同じになるように、メモリチップ11の内部回路および配線の配置を決定する。「役割が同じ」とは、コマンド信号およびアドレス信号の複数種の信号のうち、どの信号を受信するか同じという意味である。
上述のようにしてメモリチップ10およびメモリチップ11を設計した後、通常の半導体製造技術による前工程により、それぞれのメモリチップを半導体基板に作製すればよい。
本実施形態のメモリチップについて他の製造方法を説明する。同じメモリチップを複数作製した後、RDL(Re-Distributed Layer)のような再配線技術を用いる方法である。4つの辺のそれぞれに沿って一定間隔でパッドを配置したメモリチップを半導体基板に複数作製する前工程の後、チップの上面が保護膜で覆われた状態で、作製した複数のメモリチップのうち、1つのメモリチップに対してメモリチップ10のパッドレイアウトに対応する再配線をパッドと内部回路に行う。パッドはチップの外周に沿って一定間隔で配置されているため、メモリチップ10のパッドレイアウトに合ったパッドだけを抽出して内部回路と接続すればよい。メモリチップ10と同様にして、複数のメモリチップのうち、他の1つのメモリチップに対してメモリチップ11のパッドレイアウトに対応する再配線をパッドと内部回路に行う。このようにして、メモリチップ10とメモリチップ11が作製される。
この方法によれば、内部回路の配置が異なるメモリチップを2種類作製する必要がなく、1種類のメモリチップを前工程で作製しても、パッドレイアウトが線対称な2種類のメモリチップを作製することができる。
本実施形態によれば、積層された2つのメモリチップにおいて、CA系パッドに接続されるボールを共有化することで、ボール数を低減することが可能となる。そのため、パッケージの外形を維持した場合、ボールピッチを広げることができ、構造的信頼性の特性が向上する。また、ボールピッチを維持した場合、ボール数の低減により、パッケージの外形寸法を小さくすることができ、より小型化および高密度な実装が可能となる。
また、2つのメモリチップのそれぞれのCA系パッドが各チップの同じ向きのエッジに沿って配置され、そのエッジに対応する、基板のエッジ近傍にCA系パッドのボールが配置されているため、CA系パッドに共通の外部端子にCA系パッドを接続しやすくなり、パッドと外部端子を結ぶワイヤおよび基板配線が短くてすみ、伝送特性が向上し、信号伝送の高速化の需要に対応できるようになる。
さらに、PoPの上側パッケージのメモリチップにおけるDQ系パッドに接続されるボールアレイとCA系パッドに接続されるボールアレイのそれぞれがより狭いエリアに固まって配置されることにより、これらのボールアレイのボールが下側のパッケージを介して接続されるPCBについて、配線のレイアウトなどを決めるボード設計が容易になる。
(第2の実施形態)
本実施形態の半導体装置は、図2Aまたは図2Bに示したメモリチップよりも長辺と短辺の比を大きくしたメモリチップを用いた構成である。図2Aまたは図2Bに示したメモリチップの四角形状において、長辺が短辺の約1.06倍であったのに対し、本実施形態におけるメモリチップでは、長辺が短辺の約1.3倍としている。
本実施形態の半導体装置は、図2Aまたは図2Bに示したメモリチップよりも長辺と短辺の比を大きくしたメモリチップを用いた構成である。図2Aまたは図2Bに示したメモリチップの四角形状において、長辺が短辺の約1.06倍であったのに対し、本実施形態におけるメモリチップでは、長辺が短辺の約1.3倍としている。
本実施形態の半導体装置の構成を説明する。なお、本実施形態の半導体装置も、図10に示したMCPと同様に、2つのメモリチップが上側パッケージに設けられ、ロジックチップが下側パッケージに設けられた構成とする。また、2つのメモリチップが搭載された上側パッケージについて説明し、下側パッケージの構成についての詳細な説明を省略する。また、本実施形態の半導体装置に用いられるメモリチップも、図1に示したブロック図の構成を有するものであり、その詳細な説明を省略する。
図5Aおよび図5Bは本実施形態の半導体装置に用いられる2つのメモリチップの構成例を示す平面図である。
積層される2つのメモリチップのうち、図5Aは下側のメモリチップの一構成例を示し、図5Bは上側のメモリチップの一構成例を示す。ただし、図5Aおよび図5Bでは、図1に示した内部回路の構成を図に示すことを省略し、内部回路と信号およびデータを送受信するためのパッドのみを示している。
図5Aに示すように、メモリチップ110では、上側エッジに沿ってDQ系パッド121が配置され、図5Aの右下の頂点を基準にして両側にCA系パッド122が配置されている。図5Bに示すように、メモリチップ111では、左側エッジに沿ってDQ系パッド123が配置され、図5Bの右下の頂点を基準にして両側にCA系パッド124が配置されている。
次に、メモリチップ110とメモリチップ111のパッドレイアウトの対称性について説明する。図6は本実施形態における2つのメモリチップのパッド配置の対称性を示す図である。
図6では、図5Aに示したメモリチップ110の重心を中心にして、メモリチップ110を時計回りに90度回転させたものを、図5Bに示したメモリチップ111の横に並べて配置している。
メモリチップ110とメモリチップ111の間に軸102を置くと、DQ系パッド121とDQ系パッド123の配置が軸102で線対称になり、CA系パッド122とCA系パッド124の配置が軸102で線対称になっている。
次に、図5Aに示したメモリチップ110と図5Bに示したメモリチップ111を基板上に搭載したパッケージ構造について説明する。図7は本実施形態のパッケージを上から見たときの透視図である。
図7に示すように、基板113の中央にメモリチップ110およびメモリチップ111が積層している。基板113の外周内側にエッジに沿って、ボールが2列で配置されている。DQ系パッド121とDQ系パッド123のパッドはボールアレイ126内のボールと接続されている。CA系パッド122とCA系パッド124のパッドはボールアレイ128内のボールと接続されている。図7では、ワイヤ、ワイヤボンド用端子、および基板配線の経路について、一部を除いて図に示すことを省略している。
CA系パッド122のパッド133およびCA系パッド124のパッド143のそれぞれは、ワイヤを介して共通のワイヤボンド用端子147に接続され、ワイヤボンド用端子147および基板配線を介して共通のボール155に接続されている。なお、CA系パッドのWBに、高低差をつけたダブルボンディングを用いることは第1の実施形態と同様である。
また、CA系パッド122のパッド134およびCA系パッド124のパッド144のそれぞれは、ワイヤを介して共通のワイヤボンド用端子148に接続され、ワイヤボンド用端子148および基板配線を介して共通のボール156に接続されている。CA系パッド122のその他のパッドについても、CA系パッド124のパッドとボールを共用している。
CA系パッド122はメモリチップ110の第1のエッジに沿って配置され、CA系パッド124はメモリチップ111の第2のエッジに沿って配置され、第1のエッジと第2のエッジは同じ向きである。第1のエッジは、メモリチップ110において、図7の右下の頂点とその頂点を挟む両側の辺を含む。第2のエッジは、メモリチップ111において、図7の右下の頂点とその頂点を挟む両側の辺を含む。第1のエッジと第2のエッジが同じ向きであるため、これらのエッジが異なる向きの場合に比べて、CA系パッド122とCA系パッド123の距離が近くなり、CA系パッド122とCA系パッド124の両方のパッドを共通のボールに接続しやすくなる。
DQ系パッド121のパッド131はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール151に接続され、パッド132はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール152に接続されている。DQ系パッド123のパッド141はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール153と接続され、パッド142はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール154と接続されている。DQ系パッド121およびDQ系パッド123のその他のパッドもボールアレイ126内のボールに接続されている。
DQ系パッド121はメモリチップ110の第3のエッジに沿って配置され、DQ系パッド123はメモリチップ111の第4のエッジに沿って配置され、第3のエッジと第4のエッジは異なる向きである。第3のエッジは、メモリチップ110において、図7の上側の辺に相当する。第4のエッジは、メモリチップ111において、図7の左側の辺に相当する。第3のエッジと第4のエッジが異なる向きであるため、これらのエッジが同じ向きの場合に比べて、DQ系パッド121とDQ系パッド123の距離が遠くなり、DQ系パッド121とDQ系パッド123の各パッドを分散して異なるボールに接続しやすくなる。
図7に示す積層体において、メモリチップ110の重心を軸にして、DQ系パッド121を反時計回りに90度回転させると、DQ系パッド121がDQ系パッド123に重なるのは、第1の実施形態で説明したのと同様である。
図7において、基板113の外周に沿って設けられたボールのうち、白抜きのボールは削減可能なボールを示す。図7に示す基板113では、12個のボールを削減することが可能となる。
また、CA系パッドに接続されるボールは、基板113の4つの頂点のうち、図7の右下の頂点を基準にして両側に外周に沿って配置されている。DQ系パッドに接続されるボールは、基板113の4つの頂点のうち、図7の左上の頂点を基準にして両側に外周に沿って配置されている。
このように、メモリチップ110、111において、CA系パッド122、124が図7の右下の頂点を基準にして両側に配置され、その頂点に対応する基板113の頂点の近傍にCA系パッドのボールが配置されている。また、メモリチップ110、111において、DQ系パッド121、123が図7の左上の頂点を基準にして両側の辺に沿って配置され、その頂点に対応する基板100の頂点の両側の辺に沿ってDQ系パッドのボールが配置されている。そのため、パッドとボールを接続するためのワイヤおよび基板配線の長さが短くて済む。
本実施形態によれば、積層する2つのメモリチップのCA系パッドがぴったり重ならなくても、第1の実施形態と同様な効果が得られる。
(第3の実施形態)
本実施形態の半導体装置は、メモリチップにおけるDQ系パッドとCA系パッドの配置を第1および第2の実施形態とは異なるパッド配置にした構成である。
本実施形態の半導体装置は、メモリチップにおけるDQ系パッドとCA系パッドの配置を第1および第2の実施形態とは異なるパッド配置にした構成である。
本実施形態の半導体装置の構成を説明する。なお、本実施形態の半導体装置も、図10に示したMCPと同様に、2つのメモリチップが上側パッケージに設けられ、ロジックチップが下側パッケージに設けられた構成とする。また、2つのメモリチップが搭載された上側パッケージについて説明し、下側パッケージの構成についての詳細な説明を省略する。また、本実施形態の半導体装置に用いられるメモリチップも、図1に示したブロック図の構成を有するものであり、その詳細な説明を省略する。
図8Aおよび図8Bは本実施形態の半導体装置に用いられる2つのメモリチップの構成例を示す平面図である。
積層される2つのメモリチップのうち、図8Aは下側のメモリチップの一構成例を示し、図8Bは上側のメモリチップの一構成例を示す。ただし、図8Aおよび図8Bでは、図1に示した内部回路の構成を図に示すことを省略し、内部回路と信号およびデータを送受信するためのパッドのみを示している。
図8Aに示すように、メモリチップ160では、図8Aの左上の頂点を基準にして両側にDQ系パッド171が配置され、下側エッジに沿ってCA系パッド172が配置されている。図8Bに示すように、メモリチップ161では、図8Bの右上の頂点を基準にして両側にDQ系パッド173が配置され、下側エッジに沿ってCA系パッド174が配置されている。図に示さないが、DQ系パッド171およびCA系パッド172の距離とDQ系パッド173およびCA系パッド174の距離が異なっているが、メモリチップ160とメモリチップ161もパッドレイアウトが線対称になっている。
次に、図8Aに示したメモリチップ160と図8Bに示したメモリチップ161を基板上に搭載したパッケージ構造について説明する。図9は本実施形態のパッケージを上から見たときの透視図である。
図9に示すように、基板163の中央にメモリチップ160およびメモリチップ161が積層している。基板163の外周内側にエッジに沿って、ボールが2列で配置されている。DQ系パッド171とDQ系パッド173のパッドはボールアレイ176内のボールと接続されている。CA系パッド172とCA系パッド174のパッドはボールアレイ178内のボールと接続されている。図9では、ワイヤ、ワイヤボンド用端子、および基板配線の経路について、一部を除いて図に示すことを省略している。
CA系パッド172のパッド187およびCA系パッド174のパッド183のそれぞれは、ワイヤを介して共通のワイヤボンド用端子165に接続され、ワイヤボンド用端子165および基板配線を介して共通のボール195に接続されている。なお、CA系パッドのWBに、高低差をつけたダブルボンディングを用いることは第1の実施形態と同様である。
また、CA系パッド172のパッド188およびCA系パッド174のパッド184のそれぞれは、ワイヤを介して共通のワイヤボンド用端子167に接続され、ワイヤボンド用端子167および基板配線を介して共通のボール196に接続されている。CA系パッド172のその他のパッドについても、CA系パッド174のパッドとボールを共用している。
CA系パッド172はメモリチップ160の第1のエッジに沿って配置され、CA系パッド174はメモリチップ161の第2のエッジに沿って配置され、第1のエッジと第2のエッジは同じ向きである。第1のエッジは、メモリチップ160において、図9の下側の辺に相当する。第2のエッジは、メモリチップ161において、図9の下側の辺に相当する。第1のエッジと第2のエッジが同じ向きであるため、これらのエッジが異なる向きの場合に比べて、CA系パッド172とCA系パッド174の距離が近くなり、CA系パッド172とCA系パッド174の両方のパッドを共通のボールに接続しやすくなる。
DQ系パッド171のパッド185はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール191に接続され、パッド186はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール192に接続されている。DQ系パッド173のパッド181はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール193と接続され、パッド182はワイヤ、ワイヤボンド用端子および基板配線を介してボール194と接続されている。DQ系パッド171およびDQ系パッド173のその他のパッドもボールアレイ176内のボールに接続されている。
DQ系パッド171はメモリチップ160の第3のエッジに沿って配置され、DQ系パッド173はメモリチップ161の第4のエッジに沿って配置され、第3のエッジと第4のエッジは異なる向きである。第3のエッジは、メモリチップ160において、図9の左上の頂点とその頂点を挟む両側の辺を含む。第4のエッジは、メモリチップ161において、図9の右上の頂点とその頂点を挟む両側の辺を含む。第3のエッジと第4のエッジが異なる向きであるため、これらのエッジが同じ向きの場合に比べて、DQ系パッド171とDQ系パッド173の距離が遠くなり、DQ系パッド171とDQ系パッド173の各パッドを分散して異なるボールに接続しやすくなる。
図9において、基板163の外周に沿って設けられたボールのうち、白抜きのボールは削減可能なボールを示す。図9に示す基板163では、16個のボールを削減することが可能となる。
また、CA系パッドに接続されるボールは、基板163の4つの辺のうち、図4の下側の辺の中心を基準にして両側に外周に沿って配置されている。DQ系パッドに接続されるボールは、基板163の4つの辺のうち、図4の上側の辺の中心を基準にして両側に外周に沿って配置されている。
このように、メモリチップ160、161において、CA系パッド172、174が図9の下側の辺の中心を基準にして両側に配置され、その辺に対応する基板113の辺の中心を基準にした両側にCA系パッドのボールが配置されている。また、メモリチップ160、161において、DQ系パッド171、173が図9の上側のそれぞれの辺の中心を基準にして両側に沿って配置され、上側の辺に対応する基板100の辺の中心を基準にして両側にDQ系パッドのボールが配置されている。そのため、パッドとボールを接続するためのワイヤおよび基板配線の長さが短くて済む。
本実施形態によれば、CA系パッドがチップの辺に沿って配置され、DQ系パッドがチップの頂点を基準にしてその両側の辺に沿って配置された構成であっても、第1の実施形態と同様な効果が得られる。
10、11、110、111、160、161 メモリチップ
41、43、122、124、172、174 CA系パッド
42、44、121、123、171、173 DQ系パッド
41、43、122、124、172、174 CA系パッド
42、44、121、123、171、173 DQ系パッド
Claims (6)
- コマンド信号およびアドレス信号を受信するための複数の端子を含む第1のCA系パッドが第1のエッジに沿って第1の面の上に設けられた第1のメモリチップと、
前記第1の面の上に積層され、前記第1の面と同じ向きの第2の面の上に第2のCA系パッドが第2のエッジに沿って設けられた第2のメモリチップと、
前記第1および前記第2のメモリチップが積層された積層体が第3の面の上に設けられ、外部と電気的に接続するための端子である複数の外部端子が前記第3の面の反対側の面に設けられた基板と、を有し、
前記積層体において前記第1エッジの向きと前記第2のエッジの向きとが同じであり、
前記第1のCA系パッドと前記第2のCA系パッドが、前記複数の外部端子のうち、共通の複数の外部端子に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
データ入出力のための複数の端子を含む第1のDQ系パッドが前記第1のメモリチップの第3のエッジに沿って前記第1の面の上に設けられ、
第2のDQ系パッドが前記第2のメモリチップの第4のエッジに沿って前記第2の面の上に設けられ、
前記積層体において前記第3のエッジの向きと前記第4のエッジの向きが異なっていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2記載の半導体装置において、
前記積層体における前記第1および前記第2のDQパッドの配置は、
前記積層体において前記第1および前記第2のメモリチップの重心を軸にして、前記第1のDQパッドを時計回りまたは反時計回りに90度回転させたとき、該第1のDQ系パッドと前記第2のDQ系パッドが重なる関係にあることを特徴とする半導体装置。 - 請求項2または3記載の半導体装置において、
前記第1および前記第2のメモリチップのそれぞれが四角形状であり、
前記積層体において前記第1または前記第2のメモリチップを時計回りまたは反時計回りに90度回転させ、該第1または該第2のメモリチップを並行移動させ、前記第3のエッジと前記第4のエッジを重ねたとき、前記第1のDQ系パッドと前記第2のDQ系パッドが線対称の位置にあり、前記第1のCA系パッドと前記第2のCA系パッドが線対称の位置にあることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1から4のいずれか1項記載の半導体装置において、
前記基板が四角形状であり、
前記第1および前記第2のCA系パッドと接続される複数の外部端子は、前記基板の4つの頂点のうち、いずれか1つの頂点を基準にして両側に配置され、
前記第1および前記第2のDQ系パッドと接続される複数の外部端子は、前記1つの頂点の対角にある頂点を基準にして両側に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2記載の半導体装置において、
前記基板が四角形状であり、
前記第1および前記第2のCA系パッドと接続される複数の外部端子は、前記基板の4つの辺のうち、いずれか1つの辺の中心を基準にして両側に該辺に沿って配置され、
前記第1および前記第2のDQ系パッドと接続される複数の外部端子は、前記1つの辺に対向する辺の中心を基準にして両側に該辺に沿って配置されていることを特徴とする半導体装置。
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