JP2011216481A5

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Publication number: JP2011216481A5
Application number: JP2011066913A
Authority: JP
Filing date: 2011-03-25
Publication date: 2014-05-08
Anticipated expiration: 2031-03-25

Claims

電子銃に供給する電力を制御する装置（１０）であって、
電圧が印加されると発熱するように構成されているフィラメント（２２）と、
該フィラメント（２２）により加熱されて電子ビーム（１４）を発生する電子放出器（２０）と、
前記フィラメント（２２）及び前記電子放出器（２０）の各々に電力を供給するように構成されており、複数の電圧供給源（３３、３５、３７）を含む電源（２６）と、
前記電源（２６）と前記電子放出器（２０）との間の電気経路に沿った点において第一の電流を測定する第一の電流センサ（３０）と、
前記電源（２６）と前記フィラメント（２２）との間の電気経路に沿った点において第二の電流を測定する第二の電流センサ（３２）と、
前記フィラメント（２２）及び前記電子放出器（２０）の各々への電力の供給を制御する制御システム（３４）と
を備え、前記制御システム（３４）は、
所望の電子放出器動作温度を示す入力を受け取り、
前記電子放出器（２０）に供給される電力を発生させ、該電子放出器（２０）に供給される電力により、前記電子放出器（２０）と前記フィラメント（２２）との間に印加される初期電圧を発生させ、
前記初期電圧は、前記所望の放出器要素動作温度に基づいて、前記電子放出器（２０）と前記フィラメント（２２）との間に印加され、
前記電子放出器（２０）と前記フィラメント（２２）との間に印加される前記初期電圧に基づいて、初期フィラメント電圧を発生させ、フィラメント動作温度を決定し、
前記第二の電流を初期フィラメント電流と比較し、
前記第二の電流と前記フィラメント電流との前記比較に基づいて修正後のフィラメント電圧を印加し、
前記第二の電流と前記フィラメント電流との前記比較に基づいて前記電子放出器（２０）と前記フィラメント（２２）との間に修正後の電圧を印加する
ように構成されている、装置（１０）。
前記電子放出器（２０）に隣接して配置されて該電子放出器（２０）からの前記電子ビーム（１４）を抽出する抽出電極（２４）であって、前記電源（２６）に電気的に接続されて該電源（２６）から電力を受ける抽出電極（２４）と、
前記電子ビーム（１４）の経路に配置されており、前記電子ビーム（１４）が衝突すると高周波数電磁エネルギのビームを放出するように構成されているターゲット陽極（１６）と
をさらに含んでおり、
前記制御システム（３４）は、
所望の電子ビーム電流を示す入力を受け取って、
前記所望の電流を有する電子ビーム（１４）を発生するように、前記所望の電子ビーム電流に基づいて、前記電子放出器（２０）と前記抽出電極（２４）との間に望ましい電圧を印加する
ように構成されている、請求項１に記載の装置（１０）。
前記制御システム（３４）は、
前記第一の電流を前記所望の電子ビーム電流と比較して、
前記第一の電流が前記所望の電子ビーム電流と予め決められた量だけ異なる場合には、前記第一の電流と前記所望の電子ビーム電流との間の前記差に基づいて、前記電子放出器（２０）と前記抽出電極（２４）との間に修正後の電圧を印加する
ように構成されている、請求項２に記載の装置（１０）。
前記制御システム（３４）は、
前記所望の電子ビーム電流に基づいて前記電子放出器（２０）と前記抽出電極（２４）との間に印加されるべき前記望ましい電圧を決定するためにルックアップ・テーブルにアクセスして、
前記第一の電流が前記所望の電子ビーム電流と前記予め決められた量だけ異なる場合には前記ルックアップ・テーブルを修正する
ように構成されている、請求項３に記載の装置。
前記制御システム（３４）は、
所望の電子ビーム「入」時間を示す入力を受け取って、
前記所望の電流を有する電子ビーム（１４）を前記所望の「入」時間にわたり発生するように、前記所望の電子ビーム「入」時間にわたり前記電子放出器（２０）と前記抽出電極（２４）との間に前記望ましい電圧を印加する
ように構成されている、請求項２乃至４のいずれかに記載の装置（１０）。
前記制御システム（３４）は、
所定の期間にわたり前記電子放出器（２０）に第一のレベルの前記電力を印加し、
前記所定の期間が経過した後に前記電子放出器（２０）に第二のレベルの前記電力を印加する
ように構成されており、
前記所定の期間は、前記放出器要素（２０）を前記所望の電子放出器動作温度にするのに必要とされる時間量に対応している、請求項１乃至５のいずれかに記載の装置（１０）。
前記制御システム（３４）は、前記電子放出器（２０）と前記フィラメント（２２）との間の前記初期電圧及び前記初期フィラメント電圧の各々を決定するためにルックアップ・テーブルにアクセスするように構成されている、請求項１乃至６のいずれかに記載の装置（１０）。
前記制御システム（３４）は、前記電子放出器（２０）を電荷制限モードで動作させ、前記フィラメント（２２）を温度制限モードで動作させるように構成されている、請求項１乃至７のいずれかに記載の装置（１０）。
前記制御システム（３４）は、所定の時間間隔で前記第二の電流を初期フィラメント電流と比較するように構成されている、請求項１乃至８のいずれかに記載の装置（１０）。