JP2011190134A - 酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化ガリウム単結晶の製造装置1は制御部50を備えている。制御部50は、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する。また、制御部50は、特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における酸化ガリウムを含む原料の蒸発量を算出する。そして、制御部50は、特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、算出された酸化ガリウム原料の蒸発量とに基づいて、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な酸化ガリウム原料の重量を算出する。
【選択図】図1
Description
スリットを有するダイが収容されたルツボに酸化ガリウムを含む原料を投入して加熱し、前記スリットを介してその上部に溢出した前記原料の融液と種結晶とを接触させて酸化ガリウム単結晶を製造する酸化ガリウム単結晶の製造方法であって、
所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する重量特定工程と、
前記重量特定工程で特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における前記原料の蒸発量を算出する蒸発量算出工程と、
前記重量特定工程で特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、前記蒸発量算出工程で算出された前記原料の蒸発量とに基づいて、前記所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な前記原料の重量を算出する原料重量算出工程と、
前記原料重量算出工程で算出された重量の前記原料を前記ルツボに投入する原料投入工程と、を備えることを特徴とする。
スリットを有するダイが収容されたルツボに酸化ガリウムを含む原料を投入して加熱し、スリットを介してその上部に溢出した前記原料の融液と種結晶とを接触させて酸化ガリウム単結晶を製造する酸化ガリウム単結晶の製造装置であって、
所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する重量特定手段と、
前記重量特定手段により特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における前記原料の蒸発量を算出する蒸発量算出手段と、
前記重量特定手段により特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、前記蒸発量算出手段により算出された前記原料の蒸発量とに基づいて、前記所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な前記原料の重量を算出する原料重量算出手段と、
を備えることを特徴とする。
所望する酸化ガリウム単結晶の形状に関する情報及び育成に使用するスリットの数に関する情報を入力する入力手段を更に備え、
前記蒸発量算出手段は、前記製造情報記憶手段に記憶されたルツボの温度と時間との関係を示す情報及び育成速度を示す情報と、前記形状情報記憶手段に記憶された前記使用するダイの形状及び前記ダイの全スリット数に関する情報と、更に前記入力手段により入力された所望する酸化ガリウム単結晶の形状に関する情報と育成に使用する前記スリットの数に関する情報とに基づいて、製造過程における前記原料の蒸発量を算出する。
バス57は、各部の間で情報を伝達する。
L1:35(mm)、L2:60(mm)、W:50(mm)、D:3(mm)、n:3、n1:1、EX(T)、M:5.9(g/cm3)=5.9×10−3(g/mm3)になる。
L1:35(mm)、L2:60(mm)、W:50(mm)、D:3(mm)、n:3、n1:3、E(T)、M:5.9(g/cm3)=5.9×10−3(g/mm3)になる。
2 酸化ガリウム融液
3 ルツボ
4 支持台
5 ダイ
5A スリット
5B 開口部
6 蓋
7 熱電対
8 断熱材
9 ヒータ部
10 種結晶
11 種結晶保持具
12 シャフト
13 酸化ガリウム単結晶
50 制御部
51 原料重量設定部
52 製造条件データ記憶部
53 ROM
54 RAM
56 CPU
57 バス
58 操作パネル
Claims (6)
- スリットを有するダイが収容されたルツボに酸化ガリウムを含む原料を投入して加熱し、前記スリットを介してその上部に溢出した前記原料の融液と種結晶とを接触させて酸化ガリウム単結晶を製造する酸化ガリウム単結晶の製造方法であって、
所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する重量特定工程と、
前記重量特定工程で特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における前記原料の蒸発量を算出する蒸発量算出工程と、
前記重量特定工程で特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、前記蒸発量算出工程で算出された前記原料の蒸発量とに基づいて、前記所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な前記原料の重量を算出する原料重量算出工程と、
前記原料重量算出工程で算出された重量の前記原料を前記ルツボに投入する原料投入工程と、
を備えることを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造方法。 - 前記蒸発量算出工程では、使用するダイ及び育成に使用するスリット数と、前記ダイの全スリット数に関する情報と、ルツボの温度と時間との関係を示す情報と、育成速度を示す情報とに基づいて、前記原料の蒸発量を算出することを特徴とする請求項1に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
- 前記重量特定工程では、所望する酸化ガリウム単結晶の形状に関する情報と、使用するダイの形状及びスリットの数に関する情報とに基づいて、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定することを特徴とする請求項1に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
- スリットを有するダイが収容されたルツボに酸化ガリウムを含む原料を投入して加熱し、スリットを介してその上部に溢出した前記原料の融液と種結晶とを接触させて酸化ガリウム単結晶を製造する酸化ガリウム単結晶の製造装置であって、
所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定する重量特定手段と、
前記重量特定手段により特定された重量の酸化ガリウム単結晶の製造過程における前記原料の蒸発量を算出する蒸発量算出手段と、
前記重量特定手段により特定された酸化ガリウム単結晶の重量と、前記蒸発量算出手段により算出された前記原料の蒸発量とに基づいて、前記所望する酸化ガリウム単結晶の重量を製造するのに必要な前記原料の重量を算出する原料重量算出手段と、
を備えることを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造装置。 - 使用するダイの形状及び前記ダイの全スリット数に関する情報を記憶する形状情報記憶手段と、ルツボの温度と時間との関係を示す情報及び育成速度を示す情報を記憶する製造情報記憶手段と、
所望する酸化ガリウム単結晶の形状に関する情報及び育成に使用するスリットの数に関する情報を入力する入力手段を更に備え、
前記蒸発量算出手段は、前記製造情報記憶手段に記憶されたルツボの温度と時間との関係を示す情報及び育成速度を示す情報と、前記形状情報記憶手段に記憶された前記使用するダイの形状及び前記ダイの全スリット数に関する情報と、更に前記入力手段により入力された所望する酸化ガリウム単結晶の形状に関する情報と育成に使用する前記スリットの数に関する情報とに基づいて、製造過程における前記原料の蒸発量を算出することを特徴とする請求項4に記載の酸化ガリウム単結晶の製造装置。 - 使用するダイの形状に関する情報を記憶する形状情報記憶手段と、所望する酸化ガリウム単結晶の形状に関する情報及び育成に使用するスリットの数に関する情報を入力する入力手段と、を更に備え、
前記重量特定手段は、前記入力手段により入力した所望する酸化ガリウム単結晶の形状に関する情報及び育成に使用するスリットの数に関する情報と、前記形状情報記憶手段に記憶された使用する前記ダイの形状に関する情報とに基づいて、所望する酸化ガリウム単結晶の重量を特定することを特徴とする請求項4に記載の酸化ガリウム単結晶の製造装置。
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