JP2011137896A - Lens array sheet and dicing method for the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lens array sheet which has a structure having satisfactory dimension stability and enabling accurate dicing, and in which positions that dicing should be performed on are accurately displayed, and with which lenses can be uniformly disposed in the center of a light source for each of individual pieces that dicing has been performed for, and with which the individual piece of a homogeneous lens can be easily produced with a satisfactory yield, and to provide a dicing method for obtaining the individual piece of the lens from the lens array sheet. <P>SOLUTION: In the lens array sheet 1, a plurality of lenses 4, which are arrayed at equal intervals in respective vertical and horizontal lines, are provided on at least one of the surface sides of a transparent resin substrate 2. Markers 3a to 3d specifying the ends of lines 8 are formed on the grid-like lines 8, on which dicing should be performed by each center between adjacent lines of the horizontal lines and between adjacent lines of the vertical lines in the lines comprising the plurality of lenses 4. The dicing method for a lens array has: the step for producing a lens array 1; the step for fixing the lens array 1; the step for performing dicing on the lines 8, while recognizing the markers 3a and 3d to use them as reference; and the step for picking up each individual piece 7 of the lens. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光ダイオード(LED)に装着されるレンズを一挙に多数製造する際に用いられるレンズアレイシート、及びそれからレンズを得るためにダイシングする方法に関する。   The present invention relates to a lens array sheet used when manufacturing a large number of lenses attached to a light emitting diode (LED) at once, and a method of dicing from the lens array sheet.
発光ダイオードは、電圧を印加すると発光する半導体素子の一種である。その発光ダイオードからの光を集束又は拡散させるレンズが、発光ダイオードやそれをパッケージングしたデバイスの出射方向の前面に、装着される。   A light emitting diode is a type of semiconductor element that emits light when a voltage is applied thereto. A lens for converging or diffusing light from the light emitting diode is mounted on the front surface in the emission direction of the light emitting diode or a device in which the light emitting diode is packaged.
数mm程度の発光ダイオードに装着されるこのレンズは、極めて小さく個別に成形し難い。そのため、図8のように、透明樹脂基材32上で縦横夫々に列をなして等間隔に多数並んだレンズ34が設けられた四角いレンズアレイシート31を用いて、製造される。通常、金型内で成形したレンズアレイシート31の隣り合う端辺39a・39bを、L字型のガイド42に押し当てて位置決めしてから、スリッター35で、所定の位置からダイシングを開始し、等間隔の格子状にダイシングして、レンズの個別片37の多数を、一挙に得る。   This lens mounted on a light emitting diode of about several mm is extremely small and difficult to be molded individually. Therefore, as shown in FIG. 8, it is manufactured using a square lens array sheet 31 provided with a large number of lenses 34 arranged in rows and columns at equal intervals on the transparent resin base material 32. Normally, the adjacent end sides 39a and 39b of the lens array sheet 31 molded in the mold are positioned by pressing against the L-shaped guide 42, and then the slitter 35 starts dicing from a predetermined position. A large number of individual pieces 37 of the lens are obtained at once by dicing into a lattice pattern at equal intervals.
この場合、ダイシングの位置をプログラムして、何回かダイシングを繰り返す過程で、一回ごとのダイシングのずれが段々大きくなることがある。また、レンズアレイシート31は、成形時の温度のばらつきによる膨張・収縮の不均一や、形状に由来する厚さ又は成分、濃度のばらつきによる不均質のせいで、ロット間でわずかにシートの端面の形状に違いが生じ、折角正確に位置決めできても、所期の間隔でダイシングを繰り返すと、ダイシングすべきライン38上から次第に外れてダイシングされてしまう結果、ロット間で、また同一ロットでも得られた個別片37はレンズ34が不均一にずれて形成されてしまう。   In this case, in the process where the dicing position is programmed and the dicing is repeated several times, the deviation of dicing for each time may increase gradually. In addition, the lens array sheet 31 has a slight edge surface between lots due to non-uniform expansion / contraction due to temperature variations during molding, and non-uniformity due to variations in thickness, components, and concentration resulting from the shape. Even if it can be positioned accurately at the turning angle, if dicing is repeated at the desired interval, dicing will gradually deviate from the line 38 to be diced, resulting in lot-to-lot and even lots. The individual piece 37 thus formed is formed with the lens 34 being displaced unevenly.
また、レンズアレイシート31は、片面にレンズを有する表裏非対称面のシートであるので、成形時の温度の加熱・冷却の過程で、内部歪みが発生し、それが原因で、成形後に反り返りが生じる。その結果、その端辺39a・39bが真直ぐにならず、端辺39a・39b近傍での歪み40a・40bを生じたり、中央が椀状に反ってしまったりする。そのため、正確に位置決めできず、レンズアレイシート31とガイド42との間に隙間41を生じ、所期間隔でダイシングしても、ダイシングすべきライン38上から外れてしまったり、シート面に対し切断面が直角にダイシングできなかったりする。その結果、得られた個別片37は、その中央からレンズ34がずれて形成されたり、端面に直角が形成されなかったりする。   Further, since the lens array sheet 31 is a sheet having a front and back asymmetric surfaces having lenses on one side, internal distortion occurs in the process of heating and cooling of the temperature during molding, which causes warping after molding. . As a result, the end sides 39a and 39b do not become straight, and distortions 40a and 40b in the vicinity of the end sides 39a and 39b are generated, or the center is warped in a bowl shape. For this reason, the positioning cannot be performed accurately, and a gap 41 is formed between the lens array sheet 31 and the guide 42. Even if dicing is performed at a predetermined interval, the lens array sheet 31 is separated from the line 38 to be diced, or is cut from the sheet surface The surface cannot be diced at a right angle. As a result, the obtained individual piece 37 is formed with the lens 34 shifted from the center thereof, or a right angle is not formed on the end surface.
特許文献1に、複数の光学レンズが一体的に設けられ、光学レンズを設置する鏡筒の軸心と光学レンズの光軸との相対位置が把握されたマークが付されたレンズ成形体を、マークから演算される切断線に沿って、各光学レンズ毎にダイシングされて、複数の光学レンズを得る光学レンズの製造方法が開示されている。このような製造方法は、マークを基準に、ダイシングラインを演算するので、上記のごとくシート端面を基準にするよりは幾分かは正確である。しかしながら、基準のマークとダイシングすべき位置は演算によるものなので、演算されたラインと、実際にダイシングするラインとの間で公差を生じさせてしまう。また、同文献には、ダイシング前の成形体が、片面にのみレンズを設けた表裏非対称な成形体であることによる反りなどの変形を取り除いてダイシング加工に適したレンズアレイシートとすることについて、記載がない。   In Patent Document 1, a lens molded body in which a plurality of optical lenses are integrally provided, and a mark is attached to which a relative position between an axis of a lens barrel on which the optical lens is installed and an optical axis of the optical lens is grasped, An optical lens manufacturing method is disclosed in which a plurality of optical lenses are obtained by dicing each optical lens along a cutting line calculated from a mark. Since such a manufacturing method calculates the dicing line based on the mark, it is somewhat more accurate than using the sheet end face as a reference as described above. However, since the reference mark and the position to be diced are calculated, a tolerance is generated between the calculated line and the line that is actually diced. In addition, the same document discloses that a molded body before dicing is a lens array sheet suitable for dicing by removing deformation such as warpage due to being a front and back asymmetric molded body provided with lenses only on one side. There is no description.
特開2006−195124号公報JP 2006-195124 A
本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、寸法安定性が良く正確にダイシングできる構造を有するレンズアレイシートであって、ダイシングすべき位置が正確に表示されており、ダイシングしたときに得られた個別片毎にLEDなどの光源の中央へレンズを均一に配設することができ、均質な個別片のレンズが歩留まり良く簡便に製造できるレンズアレイシート、及びそれをダイシングして個別のレンズを精度よく高い歩留りで得るためのダイシング方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is a lens array sheet having a structure that can be diced with good dimensional stability and has a structure in which the position to be diced is accurately displayed. A lens array sheet in which a lens can be uniformly arranged at the center of a light source such as an LED for each obtained individual piece, and a homogeneous individual piece lens can be easily manufactured with a high yield, and by dicing the lens array sheet individually It is an object of the present invention to provide a dicing method for accurately obtaining the above lens with high yield.
前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項1に記載されたレンズアレイシートは、縦横夫々に列をなして等間隔に並んだ複数のレンズが、透明樹脂基材の少なくとも何れかの面側に設けられており、該複数のレンズよりなる列の横列同士間と縦列同士間とを各々の中央でダイシングすべき格子状のライン上に、該ラインの端部を明示するマーカーが、形成されていることを特徴とする。   The lens array sheet according to claim 1, which has been made to achieve the above object, includes a plurality of lenses arranged at equal intervals in rows and columns, and formed of a transparent resin substrate. Provided on at least one surface side, and clearly indicate the end of the line on the grid-like line to be diced between the rows of the plurality of lenses and between the columns. The marker to be formed is formed.
請求項2に記載されたレンズアレイシートは、請求項1に記載されたもので、前記透明樹脂基材の少なくとも何れかの面側で、肉厚部が、前記透明樹脂基材の縁に沿い及び/又は前記基材の面を横切りつつ線状に、前記複数のレンズよりなる列とずれて、形成されていることを特徴とする。   The lens array sheet according to claim 2 is the lens array sheet according to claim 1, wherein at least one surface side of the transparent resin base material has a thick portion along an edge of the transparent resin base material. And / or is formed in a linear manner while crossing the surface of the base material, deviating from the row of the plurality of lenses.
請求項3に記載されたレンズアレイシートは、請求項1に記載されたもので、前記透明樹脂基材の片面側に、粘着シートが貼付されていることを特徴とする。   A lens array sheet according to a third aspect is the lens array sheet according to the first aspect, wherein an adhesive sheet is attached to one side of the transparent resin base material.
請求項4に記載されたレンズアレイシートは、請求項1に記載されたもので、前記ライン上に、ダイシングされる溝が形成されていることを特徴とする。   The lens array sheet described in claim 4 is the lens array sheet described in claim 1, characterized in that a groove to be diced is formed on the line.
請求項5に記載されたレンズアレイシートは、請求項1に記載されたもので、前記ダイシングすべき格子状のライン上のうち、前記透明樹脂基材の各縁の端側の少なくとも2箇所に、前記マーカーが形成されていることを特徴とする。   The lens array sheet according to claim 5 is the lens array sheet according to claim 1, wherein at least two places on the edge side of each edge of the transparent resin base material on the lattice-like line to be diced. The marker is formed.
請求項6に記載されたレンズアレイシートは、請求項1に記載されたもので、前記透明樹脂基材のうら面側で、複数の発光ダイオードデバイスが、前記複数のレンズ毎に重なり合って接合されていることを特徴とする。   The lens array sheet according to claim 6 is the lens array sheet according to claim 1, wherein a plurality of light emitting diode devices are bonded to each other on the back surface side of the transparent resin base material. It is characterized by.
請求項7に記載されたレンズアレイのダイシング方法は、縦横に夫々、列をなして等間隔に並んだ複数のレンズを、透明樹脂基材の少なくとも何れか一面側に設け、隣り合うその横列同士間と縦列同士間とを各々の中央でダイシングすべき格子状のライン上にその端部を明示するマーカーを形成して、レンズアレイシートを作製する工程、前記レンズアレイシートを、固定する工程、前記マーカーを認識し、それを基準にして、前記マーカーより前記ラインの上を前記格子状にダイシングする工程、前記レンズの個別片を取り上げる工程を有することを特徴とする。   The dicing method for a lens array according to claim 7, wherein a plurality of lenses arranged at equal intervals in rows and columns are provided on at least one surface side of the transparent resin base material, and adjacent rows thereof are arranged. Forming a lens array sheet by forming a marker that clearly shows its end on a grid-like line that should be diced between each other and between columns, and fixing the lens array sheet, Recognizing the marker, and using the marker as a reference, dicing the line above the line in the form of a lattice, and picking up individual pieces of the lens.
請求項8に記載されたレンズアレイのダイシング方法は、請求項7に記載されたもので、一方向から前記マーカーへ向けて投光し、前記マーカーの形状を画像撮影することにより、又は光透過、屈折若しくは光反射による前記マーカーとその周囲との輝度の違いを受光することにより、そのマーカーを前記認識することを特徴とする。   The dicing method of the lens array according to claim 8 is the dicing method according to claim 7, wherein light is projected from one direction toward the marker, and the shape of the marker is photographed, or light transmission is performed. The marker is recognized by receiving a difference in luminance between the marker and its surroundings due to refraction or light reflection.
請求項9に記載されたレンズアレイのダイシング方法は、請求項7に記載されたもので、前記透明樹脂基材の少なくとも何れかの面側で肉厚部が前記透明樹脂基材の縁に沿いつつ及び/又はその面を横切りつつ前記複数のレンズよりなる列とずれて線状に形成されているレンズアレイシートを、前記格子状にダイシングした後に、該肉厚部を切断分離することを特徴とする。   The dicing method for a lens array according to claim 9 is the method according to claim 7, wherein the thick portion is along the edge of the transparent resin base material on at least one surface side of the transparent resin base material. And / or dicing the lens array sheet, which is formed linearly out of the row of the plurality of lenses while crossing the surface thereof, into the lattice shape, and then cutting and separating the thick portion. And
請求項10に記載されたレンズアレイのダイシング方法は、請求項7に記載されたもので、前記レンズアレイシートを作製した後、ダイシングすべき面のうら面側へ、そのレンズアレイシートに粘着シートを貼付してから、前記レンズアレイシートを前記固定し、該粘着シートを切断分離せずに前記ダイシングすることを特徴とする。   The method for dicing a lens array according to claim 10 is the method according to claim 7, wherein after the lens array sheet is manufactured, the adhesive sheet is attached to the lens array sheet toward the back surface side of the surface to be diced. Then, the lens array sheet is fixed and the dicing is performed without cutting and separating the adhesive sheet.
請求項11に記載されたレンズアレイのダイシング方法は、請求項10に記載されたもので、前記粘着シートが、熱又は光で硬化して粘着性を低下させるものであり、前記ダイシングし、前記個別片を形成してから、前記粘着シートを硬化させた後、前記個別片を取り上げることを特徴とする。   The dicing method of the lens array described in claim 11 is the dicing method according to claim 10, wherein the adhesive sheet is cured by heat or light to reduce adhesiveness, the dicing, After the individual piece is formed, the individual sheet is picked up after the pressure-sensitive adhesive sheet is cured.
請求項12に記載されたレンズアレイのダイシング方法は、請求項7に記載されたもので、前記複数のレンズに夫々対応して一体化される複数の発光ダイオードデバイスを、単一基板上に載置し、前記レンズアレイシートに接着して前記固定してから、該発光ダイオードデバイスの夫々と共に前記レンズアレイシートをダイシングして、独立したレンズ付き半導体発光装置となる前記個別片にすることを特徴とする。   A dicing method for a lens array according to a twelfth aspect of the present invention is the dicing method according to the seventh aspect, wherein a plurality of light emitting diode devices respectively integrated corresponding to the plurality of lenses are mounted on a single substrate. The lens array sheet is then bonded and fixed to the lens array sheet, and then the lens array sheet is diced together with each of the light emitting diode devices to form the individual piece that becomes an independent semiconductor light emitting device with a lens. And
本発明のレンズアレイシートは、ダイシングすべき格子状のライン上に、その端部を正確に示すマーカーが形成されている。そのため、レンズアレイシートは、成形時のシートの大きさ、バリや歪みの存在などの外形、周縁の歪み具合、レンズ列間隔が、幾分不揃いであっても、ダイシングすべきラインと実際にダイシングしたラインとの間で公差を生じないから、所期通りにずれることなくダイシングすることが可能なものである。   In the lens array sheet of the present invention, a marker that accurately indicates the end portion is formed on a lattice-like line to be diced. Therefore, the lens array sheet is actually diced with the line to be diced even if the size of the sheet at the time of molding, the external shape such as the presence of burrs and distortion, the degree of distortion of the periphery, and the lens array spacing are somewhat uneven. Therefore, dicing can be performed without shifting as expected.
このレンズアレイシートを用いれば、マーカーに従いそれによって正確に特定されたダイシングすべきライン通りに、簡易な操作でダイシングできるから、レンズの生産効率が向上し、その歩留まりが良い。   If this lens array sheet is used, dicing can be performed with a simple operation according to the line to be diced accurately according to the marker, so that the production efficiency of the lens is improved and the yield is good.
このレンズアレイシートは、透明樹脂基材の縁に沿ったりその面を横切ったりしてその一部が厚くなっている肉厚部が形成されていると、そのシート周縁の歪みやシート全体の歪みによる反り返りが抑制されるので、ダイシングの際に、より一層、公差を生じない。   If this lens array sheet is formed with a thick part that is thicker along the edge of the transparent resin base material or across its surface, distortion of the sheet periphery or distortion of the entire sheet will occur. Since the warping due to is suppressed, there is no further tolerance when dicing.
このレンズアレイシートは、そのうら面側に、硬化によって粘着性が低下する粘着シートが着脱可能に貼付されていると、安定してダイシングでき、その後に、この粘着シート6を硬化すると、その粘着力が低下し、僅かな外力でレンズの個別片が、剥がれるようになる。その後、個々のレンズを確実に取り上げて、発光ダイオードやそれをパッケージングしたデバイスの前面に、着実に装着することができる。   This lens array sheet can be diced stably when an adhesive sheet whose adhesiveness is reduced by curing is detachably attached to the back side thereof, and then the adhesive sheet 6 is cured when the adhesive sheet 6 is cured. The force is reduced, and the individual pieces of the lens come off with a slight external force. Thereafter, the individual lenses can be reliably picked up and steadily mounted on the front surface of the light emitting diode or the device in which it is packaged.
このレンズアレイシートは、ライン上にダイシングされる脆弱な溝を有すると、極めて弱い力で、溝に沿って効率良く確実にダイシングすることができ、それに用いるスリッターのようなダイシング刃を長持ちさせることができる。また、ダイシング刃が溝をガイドにして真直ぐにダイシングして行くので、多少の機械振動によっても全くぶれることなく、綺麗かつ正確にダイシングが行われる。   If this lens array sheet has a fragile groove that is diced on the line, it can be diced efficiently and reliably along the groove with a very weak force, and the dicing blade such as a slitter used for the lens array sheet can be used for a long time. Can do. In addition, since the dicing blade performs dicing straight with the groove as a guide, the dicing is performed beautifully and accurately without being shaken at all by some mechanical vibration.
さらに、このレンズアレイシートは、そのうら面側で、複数の発光ダイオードデバイスがその出射方向側に配置される各レンズに重なり合いつつ接合されていると、ダイシングによって、レンズと発光ダイオードデバイスとを一体形成したレンズ付き半導体発光装置の多数を、効率的に、一挙に製造することができるものである。   Further, in this lens array sheet, when a plurality of light emitting diode devices are bonded to each other on the back surface side so as to overlap each other, the lens and the light emitting diode device are integrated by dicing. Many of the formed semiconductor light-emitting devices with a lens can be efficiently manufactured at once.
本発明のレンズアレイシートのダイシング方法によれば、このシートの大きさや外形や周縁の歪み具合がロット毎に不揃いであったり、レンズ列間隔が同一ロット内で又は異なるロット間で不揃いであったりしても、各々のマーカーを基準にして、レンズアレイシートを所期通りにダイシングして、多数のレンズの個別片を一挙に製造できるから、生産性が高く、レンズアレイシートが大型であるか小型であるかに関わらず、個別片の形状が均一でその中央にレンズが確実に配設されるから、歩留まりが良い。   According to the lens array sheet dicing method of the present invention, the size, outer shape, and peripheral distortion of the sheet are not uniform for each lot, or the lens array spacing is not uniform within the same lot or between different lots. Even so, the lens array sheet can be diced as expected on the basis of each marker, and individual pieces of a large number of lenses can be manufactured at once, so that the productivity is high and the lens array sheet is large. Regardless of whether it is small or small, the shape of the individual piece is uniform and the lens is securely arranged in the center, so the yield is good.
このレンズアレイシートのダイシング方法は、マーカー自体を撮影したりマーカーの輝点を受光したりして光学的に簡易にマーカーを確実に認識して、ダイシングすべき場所を、正確に位置決めすることができる。   In this lens array sheet dicing method, the marker itself can be photographed or the bright spot of the marker can be received, and the marker can be easily and optically recognized to accurately position the dicing position. it can.
このレンズアレイシートのダイシング方法は、レンズアレイシートに肉厚部を設けておくことによって、レンズアレイシートの成形時やダイシング時の反り返りを防ぐことができ、ダイシング面をレンズアレイシートの表裏面に対して常に垂直に維持することができる。   In this lens array sheet dicing method, by providing a thick portion on the lens array sheet, the lens array sheet can be prevented from warping during molding or dicing, and the dicing surface is placed on the front and back surfaces of the lens array sheet. On the other hand, it can always be kept vertical.
このレンズアレイシートのダイシング方法は、ダイシングすべき面のうら面側へ、そのレンズアレイシートに着脱可能な粘着シートを貼付し、固定させておくことによって、位置決めした後に、ずれることなく、正確かつ確実にダイシングすることができる。   This lens array sheet dicing method is performed by attaching a detachable adhesive sheet to the lens array sheet on the back side of the surface to be diced, and fixing the lens array sheet accurately and without shifting after positioning. Dicing can be ensured.
本発明を適用するレンズアレイシートを用いたダイシング方法の実施途中を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the middle of implementation of the dicing method using the lens array sheet to which this invention is applied. 本発明を適用する別なレンズアレイシートの一部切り欠き斜視図である。It is a partially cutaway perspective view of another lens array sheet to which the present invention is applied. 本発明を適用する別なレンズアレイシートの一部切り欠き斜視図である。It is a partially cutaway perspective view of another lens array sheet to which the present invention is applied. 本発明を適用する別なレンズアレイシートの一部側面図である。It is a partial side view of another lens array sheet to which the present invention is applied. 本発明を適用する別なレンズアレイシートの一部切り欠き斜視図である。It is a partially cutaway perspective view of another lens array sheet to which the present invention is applied. 本発明を適用する別なレンズアレイシートの製造途中を示す一部切り欠き斜視図である。It is a partially notched perspective view which shows the middle of manufacture of another lens array sheet to which this invention is applied. 本発明を適用する別なレンズアレイシートの製造途中を示す一部切り欠き斜視図である。It is a partially notched perspective view which shows the middle of manufacture of another lens array sheet to which this invention is applied. 本発明を適用外とする従来のレンズアレイシートを用いたダイシング方法の実施途中を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the middle of implementation of the dicing method using the conventional lens array sheet which does not apply this invention.
以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。   Hereinafter, although the form for implementing this invention is demonstrated in detail, the scope of the present invention is not limited to these forms.
本発明のレンズアレイシートの好ましい形態について、図1を参照しながら説明する。   A preferred embodiment of the lens array sheet of the present invention will be described with reference to FIG.
本発明のレンズアレイシート1は、略正方形の薄いシート状であって、シリコーン樹脂製の熱硬化性透明樹脂基材2のおもて面に、同質の凸レンズ4が縦横夫々に列をなして等間隔に並んで一体成形されたものである。凸レンズ4の数は、縦横とも一列当たり12個である。隣り合うその横列同士間の中心線と縦列同士間の中心線とそれらに平行して各最外列の外枠線とが、ダイシングすべき格子状のライン8となっている。その格子の各枡目の丁度中央に夫々、凸レンズ4が、位置している。   The lens array sheet 1 of the present invention is a substantially square thin sheet, and the same quality convex lenses 4 are arranged in rows and columns on the front surface of a thermosetting transparent resin substrate 2 made of silicone resin. These are integrally formed at equal intervals. The number of convex lenses 4 is 12 per row in both vertical and horizontal directions. The center line between the adjacent rows and the center line between the columns and the outer frame line of each outermost row parallel to them form a lattice-like line 8 to be diced. A convex lens 4 is located in the center of each square of the lattice.
格子状の全ライン8上で、それの各ラインの両方の端部に、透明樹脂基材2のおもて面からうら面を貫通する鋭角のくさび形の切れ込みであるマーカー3として、個々のマーカー3a,3a・・・、3b,3b・・・、3c,3c・・・、3d,3d・・・からなる一群のマーカー3a〜dが設けられている。3aと3bとのような各ラインの両方の端部のマーカーは、夫々の鋭角同士が互いに向かい合うように、対称になっている。このマーカー3は、レンズアレイシート1をダイシングする際の基準となるもので、マーカー3a−3b,3a−3b,・・・と、3c−3d,3c−3d,・・・とのような各鋭角の頂点同士を結ぶ直線は、ダイシングすべき格子状のライン8を示している。 As a marker 3 which is a wedge-shaped cut of an acute angle penetrating from the front surface to the back surface of the transparent resin base material 2 on both ends of each line on the entire grid-like line 8, marker 3a 1, 3a 2 ···, 3b 1, 3b 2 ···, 3c 1, 3c 2 ···, a group of markers 3a~d consisting 3d 1, 3d 2 ··· are provided. The markers at both ends of each line, such as 3a 1 and 3b 1 , are symmetrical so that their acute angles are opposite each other. The marker 3 serves as a reference for dicing the lens array sheet 1, and the markers 3a 1 -3b 1 , 3a 2 -3b 2 ,..., 3c 1 -3d 1 , 3c 2 -3d 2 , A straight line connecting vertices at acute angles such as... Indicates a lattice-like line 8 to be diced.
透明樹脂基材2のうら面には、それより幾分大きな(メタ)アクリロイル基含有ウレタン樹脂製の紫外線硬化型粘着シート6が、貼付されている。紫外線硬化性粘着シート6は、貼付時には適度な粘着性を示すが、紫外線で硬化させると、再粘着しない程度であってレンズアレイシートからダイシングされた個別片を容易く取り上げることができる程度の微粘着性を示すものである。   On the back surface of the transparent resin substrate 2, an ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive sheet 6 made of a urethane resin containing a (meth) acryloyl group somewhat larger than that is attached. The UV curable adhesive sheet 6 exhibits moderate adhesiveness at the time of application, but it is a slight adhesive that does not re-adhere when cured with UV light and can easily pick up individual pieces diced from the lens array sheet. It shows sex.
なお、このマーカー3は、透明樹脂基材2のおもて面に形成されていてもよく、うら面に形成されていてもよい。   In addition, this marker 3 may be formed in the front surface of the transparent resin base material 2, and may be formed in the back surface.
レンズアレイシート1の材質は、射出成形や金型プレス成形等の各種成形方法でレンズ成形が可能な樹脂であれば特に限定されず、熱硬化性樹脂であってもよく、熱可塑性樹脂であってもよい。熱硬化性樹脂として、シリコーン樹脂の例を挙げたが、その他の熱硬化性樹脂、例えばシリコーンゴム、フッ素ゴム、エポキシ樹脂であってもよい。熱可塑性樹脂として、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニルが、挙げられる。これらの中でも、硬質のシリコーン樹脂や軟質のシリコーンゴムのような転写性に特に優れたシリコーンであると、金型通りに精密に転写されるので、小型で、レンズの光軸を成形段階で正確に調整できるため、特に好ましい。レンズアレイシート1の硬度は、JIS K 7215(プラスチックのデュロメーター硬さ試験方法)の方法により測定されるショアD硬度で、10°以上とすることが好ましく、20°〜90°であると一層好ましい。   The material of the lens array sheet 1 is not particularly limited as long as it is a resin that can be molded by various molding methods such as injection molding and die press molding, and may be a thermosetting resin or a thermoplastic resin. May be. Although an example of a silicone resin has been given as the thermosetting resin, other thermosetting resins such as silicone rubber, fluorine rubber, and epoxy resin may be used. Examples of the thermoplastic resin include acrylic resin, polycarbonate, polystyrene, and polyvinyl chloride. Of these, silicones that are particularly excellent in transferability, such as hard silicone resin and soft silicone rubber, are accurately transferred according to the mold, so they are compact and the optical axis of the lens is accurate at the molding stage. It can be adjusted to be particularly preferable. The hardness of the lens array sheet 1 is preferably a shore D hardness measured by the method of JIS K 7215 (plastic durometer hardness test method) of 10 ° or more, and more preferably 20 ° to 90 °. .
このレンズアレイシート1は、ダイシング可能な形状であれば特に限定されず、正方形以外の多角形であってもよく、円形であってもよい。   The lens array sheet 1 is not particularly limited as long as it can be diced, and may be a polygon other than a square or a circle.
紫外線硬化性粘着シート6は、硬化前にはその粘性によりレンズアレイシートのうら面に貼付して、ダイシングのようにずれ応力がかかっても、個別片がずれてばらばらになってしまうのを防止し、硬化後には、粘性を低下させて、容易く個別片を取り上げることを可能にするものである。紫外線硬化性粘着シート6を始めとする活性エネルギー線硬化性粘着シートは、例えば、紫外線等の光線で硬化するアクリル基含有ポリウレタン樹脂や不飽和オレフィン含有ポリウレタン樹脂製の光硬化性樹脂シート、熱で硬化するエポキシ樹脂製の熱硬化性粘着シートが挙げられる。   The UV curable adhesive sheet 6 is stuck to the back surface of the lens array sheet due to its viscosity before curing, and even if a shear stress is applied like dicing, the individual pieces are prevented from shifting apart. However, after curing, the viscosity is lowered, and the individual pieces can be easily taken up. The active energy ray-curable adhesive sheet including the ultraviolet curable adhesive sheet 6 is, for example, a photocurable resin sheet made of an acrylic group-containing polyurethane resin or an unsaturated olefin-containing polyurethane resin that is cured by light rays such as ultraviolet rays, and the like. A thermosetting pressure-sensitive adhesive sheet made of an epoxy resin that hardens can be used.
別な態様であるレンズアレイシート1は、図2に示すように、レンズアレイシートの反り返りを防止するための肉厚部9が、透明樹脂基材2の縁に沿って、又は透明樹脂基材2を横切って、この透明樹脂基材2の一部を厚くしつつ、レンズアレイシート1の凸レンズ4とずれて、形成されていてもよい。縁に沿っている肉厚部9に、マーカー3として、切れ込みである個々のマーカー3a,3a・・・からなる一群のマーカー3a・・・が形成されている。この肉厚部9、及びマーカー3a,3a・・・からなる一群のマーカー3a・・・は、凸レンズ4とずれて、透明樹脂基材2のおもて面側で形成されていてもよく、図3に示すようにうら面側で形成されていてもよい。 As shown in FIG. 2, the lens array sheet 1 according to another embodiment has a thick portion 9 for preventing the lens array sheet from warping along the edge of the transparent resin substrate 2 or the transparent resin substrate. 2, the transparent resin base material 2 may be formed so as to be shifted from the convex lens 4 of the lens array sheet 1 while thickening a part of the transparent resin base material 2. A group of markers 3a... Made up of individual markers 3a 1 , 3a 2 ... That are notches are formed as the markers 3 in the thick portion 9 along the edge. The group of markers 3a made of the thick portion 9 and the markers 3a 1 , 3a 2 ... Are displaced from the convex lens 4 and formed on the front surface side of the transparent resin substrate 2. It may well be formed on the back side as shown in FIG.
別な態様であるレンズアレイシート1は、図4(a)に示すように、マーカー3aや3cを基準にして、透明樹脂基材2のおもて面からうら面までフルカットのダイシングができ、さらに粘着シート6の厚さの中程までのハーフカットのダイシングができる程度の厚みを有するものであってもよい。   As shown in FIG. 4A, the lens array sheet 1 which is another embodiment can perform full-cut dicing from the front surface to the back surface of the transparent resin substrate 2 with reference to the markers 3a and 3c. Furthermore, the adhesive sheet 6 may have a thickness that allows half-cut dicing up to the middle of the thickness.
レンズアレイシート1は、図4(b)に示すように、格子状のライン8(図1参照)上に、断面が台形乃至V字形又はU字型の溝22を有していてもよい。この溝22は、硬いレンズアレイシート1の格子状のライン8を脆弱にして、容易くダイシングできるように、透明樹脂基材2の厚さの中程まで達していることが好ましい。この溝22に沿って、ダイシング刃がぶれることなく、走行できる。   As shown in FIG. 4B, the lens array sheet 1 may have a trapezoidal to V-shaped or U-shaped groove 22 on a lattice-like line 8 (see FIG. 1). The grooves 22 preferably reach the middle of the thickness of the transparent resin substrate 2 so that the grid-like lines 8 of the hard lens array sheet 1 are weakened and can be easily diced. The dicing blade can travel along this groove 22 without shaking.
このレンズアレイシート1に設けられている凸レンズ4に代えて、図4(c)に示すように、フレネルレンズであってもよい。レンズアレイシート1の縁に、マーカー3aや3cを有する肉厚部9を有していると、凸レンズよりも薄いフレネルレンズ4が歪まないので、好ましい。図4(d)に示すように、格子状のライン8(図1参照)上に、断面が台形乃至V字形又はU字型の溝22を有していてもよい。フレネルレンズ4は、フレネルレンズ4が、透明樹脂基材2上で盛り上がって形成されていてもよいが、図4(e)に示すように、めり込むようにして形成されて、透明樹脂基材2の厚みによって保護されて傷つき難くなっていてもよい。レンズは、凹レンズ(不図示)であってもよい。   Instead of the convex lens 4 provided on the lens array sheet 1, a Fresnel lens may be used as shown in FIG. It is preferable that the thick portion 9 having the markers 3a and 3c is provided at the edge of the lens array sheet 1 because the Fresnel lens 4 thinner than the convex lens is not distorted. As shown in FIG. 4D, a groove 22 having a trapezoidal or V-shaped or U-shaped cross section may be provided on the grid-like line 8 (see FIG. 1). The Fresnel lens 4 may be formed so that the Fresnel lens 4 is raised on the transparent resin base material 2, but as shown in FIG. It may be protected by the thickness of the film and not easily damaged. The lens may be a concave lens (not shown).
レンズアレイシート1は、図5(a)に示すように、溝22の端で盛り上がった三角錐状のマーカー3b・3c・・・を有していてもよい。レンズアレイシート1は、図5(b)に示すように、溝22の端で、溝方向へ略くさび形に切れ込んだマーカー3b・3c・・・を有していてもよい。レンズアレイシート1は、図5(c)に示すように、溝22の端で、透明樹脂基材2の縁の肉厚部にまで延びて切れ込んだ略くさび形のマーカー3b・・・を有していてもよい。   As shown in FIG. 5A, the lens array sheet 1 may have triangular pyramid shaped markers 3b, 3c,. As shown in FIG. 5B, the lens array sheet 1 may have markers 3b, 3c,... Cut into a substantially wedge shape in the groove direction at the end of the groove 22. As shown in FIG. 5 (c), the lens array sheet 1 has substantially wedge-shaped markers 3b... That extend to the thick part of the edge of the transparent resin substrate 2 at the end of the groove 22 and are cut. You may do it.
別なレンズアレイシート1は、図6に示すように、セラミックス製立方体の上面側の窪み部分の底部に、基板23上で縦横に密着しつつ配列している複数の発光ダイオード10が配置され、その窪み部分が透明樹脂で充填され、発光ダイオード10から延びたリード線12が下面側に導出されている発光ダイオードデバイス11が、その上面側で、透明樹脂基材2のうら側へ、凸レンズ4をおもて面にしたまま、接合されていてもよい。レンズ4の径は、透明樹脂で充填されたその窪み部分の開口径の同径以上となっている。その窪みをレンズ4が丁度、覆い被さるように、複数の発光ダイオード10上に、透明樹脂基材2が載置されている。各発光ダイオード10の境界面は丁度、透明樹脂基材2上のダイシングすべきライン8(図1参照)に重なり合っている。   As shown in FIG. 6, another lens array sheet 1 has a plurality of light emitting diodes 10 arranged in close contact vertically and horizontally on the substrate 23 at the bottom of the hollow portion on the upper surface side of the ceramic cube. The light emitting diode device 11 in which the hollow portion is filled with the transparent resin and the lead wire 12 extending from the light emitting diode 10 is led out to the lower surface side is formed on the convex lens 4 on the upper surface side toward the back side of the transparent resin substrate 2. It may be joined with the front side facing. The diameter of the lens 4 is equal to or larger than the opening diameter of the hollow portion filled with the transparent resin. The transparent resin substrate 2 is placed on the plurality of light emitting diodes 10 so that the lens 4 just covers the depression. The boundary surface of each light-emitting diode 10 just overlaps the line 8 (see FIG. 1) to be diced on the transparent resin substrate 2.
別なレンズアレイシート1は、図7に示すように、セラミックス製立方体の上面側の窪み部分の底部に、基板23上で等間隔に離れつつ配列している複数の発光ダイオード10が配置されてその窪みより上方に突出しており、その窪み部分が透明樹脂で充填されている同様な発光ダイオードデバイス11が、その上面側で、透明樹脂基材2のうら側に、凸レンズ4をおもて側にして、接合されているものであってもよい。透明樹脂基材2は、レンズ4の発光ダイオード10側で、突出した発光ダイオード10が嵌まる略半円状凹み24を有している。さらに透明樹脂基材2は、発光ダイオード10側で、略半円状凹み24と、発光ダイオードデバイス11が嵌まる略直方体状の凹み25とを、その中心軸が発光ダイオード10との光軸と一致するようにして、有している。レンズ4の径は、透明樹脂で充填されたその窪み部分の開口径の同径以上となっている。発光ダイオードデバイス11が略直方体状の凹み25に嵌まるように、複数の発光ダイオードデバイス11上を、透明樹脂基材2が覆い被されている。透明樹脂基材2のダイシングすべきライン(図1参照)上に溝22が形成されていることが好ましい。溝22は、丁度、複数の発光ダイオード10間の隙間26に重なり合うように形成され、その端部に、マーカー3b・3c・・・を有している。   In another lens array sheet 1, as shown in FIG. 7, a plurality of light emitting diodes 10 arranged at regular intervals on the substrate 23 are arranged at the bottom of the hollow portion on the upper surface side of the ceramic cube. A similar light-emitting diode device 11 that protrudes upward from the depression and is filled with a transparent resin has a convex lens 4 on the back side of the transparent resin substrate 2 on the upper surface side. Thus, it may be joined. The transparent resin base material 2 has a substantially semicircular recess 24 into which the protruding light emitting diode 10 is fitted on the light emitting diode 10 side of the lens 4. Further, the transparent resin base material 2 has a substantially semicircular recess 24 and a substantially rectangular parallelepiped recess 25 into which the light emitting diode device 11 is fitted on the light emitting diode 10 side, and a central axis thereof is an optical axis with respect to the light emitting diode 10. Have to match. The diameter of the lens 4 is equal to or larger than the opening diameter of the hollow portion filled with the transparent resin. The transparent resin base material 2 is covered on the plurality of light emitting diode devices 11 so that the light emitting diode devices 11 fit into the substantially rectangular parallelepiped recesses 25. It is preferable that a groove 22 is formed on a line (see FIG. 1) to be diced of the transparent resin substrate 2. The groove 22 is formed so as to overlap the gap 26 between the plurality of light emitting diodes 10, and has markers 3b, 3c,.
このレンズアレイシート1は、以下のようにして製造される。   The lens array sheet 1 is manufactured as follows.
図1に示されるレンズアレイシート1の透明樹脂基材2のおもて面側で縦横に複数列並ぶ凸レンズ4に対応する凹部と、それが格子状の各枡目の中央に位置するようにその格子状のラインを示すように透明樹脂基材2の表裏を貫通して切れ込んだくさび形のマーカー3に対応する凸部とを、雌金型に予め設ける。その凹凸部を予め研磨しておき、ダイシングの後に凸レンズ4の光軸と発光ダイオードデバイスの中心軸とを一致させる心取りしなくて済むように、金型の内壁面を精密に調整しておく。   The concave portions corresponding to the convex lenses 4 arranged in a plurality of rows in the vertical and horizontal directions on the front surface side of the transparent resin substrate 2 of the lens array sheet 1 shown in FIG. Protrusions corresponding to the wedge-shaped markers 3 cut through the front and back of the transparent resin substrate 2 so as to show the lattice-like lines are provided in advance in the female mold. The concave and convex portions are polished in advance, and the inner wall surface of the mold is precisely adjusted so that it is not necessary to center the optical axis of the convex lens 4 and the central axis of the light emitting diode device after dicing. .
その金型に、熱硬化性樹脂原料であるシリコーン樹脂原料を注入し、圧縮成形機で加圧しながら加熱して硬化させて、凸レンズ4及びマーカー3ごと透明樹脂基材2を、成形により一挙に形成する。金型から透明樹脂基材2を離型させた後、その透明樹脂基材2のうら面に、その四方端部よりも幾分はみ出すように、(メタ)アクリル系ウレタン樹脂製の紫外線硬化性粘着シート6を貼付すると、このレンズアレイシート1が得られる。   A silicone resin raw material, which is a thermosetting resin raw material, is injected into the mold, and is heated and cured while being pressed by a compression molding machine, so that the transparent resin base material 2 together with the convex lens 4 and the marker 3 is molded at once. Form. After releasing the transparent resin base material 2 from the mold, an ultraviolet curable product made of a (meth) acrylic urethane resin so that the transparent resin base material 2 protrudes somewhat from the four sides of the back surface of the transparent resin base material 2. When the adhesive sheet 6 is pasted, this lens array sheet 1 is obtained.
このレンズアレイシート1のまま、各レンズ4の光学特性について検査しておき、欠陥のあるレンズ4の位置を、マークしたり記録したりして、識別できるようにしておくことが好ましい。これにより、ダイシングの際に、欠陥のあるレンズ4だけを峻別して除外することができる。   It is preferable that the optical characteristics of each lens 4 be inspected with the lens array sheet 1 so that the position of the defective lens 4 can be identified by marking or recording. Thereby, only the defective lens 4 can be distinguished and excluded during dicing.
このレンズアレイシート1を用いたダイシング方法は、以下の通りである。   The dicing method using this lens array sheet 1 is as follows.
このレンズアレイシート1のおもて面側を上に向け、うら面側の紫外線硬化性粘着シート6を介して、ダイシング装置の水平なダイシング用台座上の略中央の所定位置、例えば台座(不図示)上でレンズアレイシート1の四隅が配置されるべき位置を示す標示21の枠内に、レンズアレイシート1を、見当で合わせ、減圧吸引によって、固定する。一群のマーカー3aと3bとの間隔及び一群のマーカー3cと3dとの間隔に対応する距離だけ離れた二台のカメラ20(1)及び20(2)を、台座の上部に、台座へ向けて配置する。一群のマーカー3aのうち最もカメラ20(1)寄りのマーカー3aがカメラ20(1)の視野に、一方、一群のマーカー3bのうち最もカメラ20(2)寄りのマーカー3bがカメラ20(2)の視野に、夫々入るように、台座をレンズアレイシート1ごと、相対的に移動させる。 The lens array sheet 1 has a front surface side facing up, and a UV-curable adhesive sheet 6 on the back surface side. The lens array sheet 1 is registered in a frame of a sign 21 indicating the positions where the four corners of the lens array sheet 1 are to be arranged and fixed by vacuum suction. Two cameras 20 (1) and 20 (2) separated by a distance corresponding to the distance between the group of markers 3a and 3b and the distance between the group of markers 3c and 3d are directed to the pedestal at the upper part of the pedestal. Deploy. The field of view of most camera 20 (1) side of the marker 3a 1 camera 20 (1) of the group of markers 3a, whereas, marker 3b 1 of the most camera 20 (2) close of the group of marker 3b camera 20 ( The pedestal is moved relative to the lens array sheet 1 so as to enter the field of view 2).
各カメラ20(1)・20(2)で、夫々マーカー3a及び3bを、定倍率に拡大して、デジタル画像撮影する。その画像データを画像解析器へ送信し、その画像データによる撮影画像を基にして、透明樹脂基材2部分とそこから欠けたくさび形のマーカー3a及び3b部分との透過率の違いによる明暗を検知して、マーカー3a及び3bの各くさび形に交差する2辺を、演算処理して求め、それらマーカー3a及び3bの両鋭角の頂点に対応する画像上での相対座標を、演算処理して求める。次いで、それら画像上での各マーカー3a及び3bの鋭角の頂点と、画像上での各カメラ20(1)・20(2)の視野の中心との相対的なずれを、算出する。 Each camera 20 (1) 20 (2), respectively markers 3a 1 and 3b 1, on an enlarged scale in a constant ratio, digital imaging. The image data is transmitted to an image analyzer, and based on the difference between the transmittances of the transparent resin base material 2 portion and the wedge-shaped markers 3a 1 and 3b 1 portion missing therefrom based on the captured image based on the image data. by detecting the brightness, the two sides intersecting each wedge markers 3a 1 and 3b 1, obtained by processing the relative coordinates on the corresponding image to their apexes of both acute markers 3a 1 and 3b 1 Is obtained by arithmetic processing. Next, a relative shift between the acute vertex of each of the markers 3a 1 and 3b 1 on the images and the center of the field of view of each of the cameras 20 (1) and 20 (2) on the image is calculated.
その画像上での相対的なずれの大きさ及びずれの方向と、カメラ20(1)・20(2)による撮影画像の倍率とを勘案して、台座上での各マーカー3a及び3bの鋭角の頂点の絶対座標を算出する。この絶対座標を基にして、台座上での各マーカー3a及び3bの鋭角の頂点が、丁度、カメラ20(1)・20(2)の視野の中心となるように、台座をレンズアレイシート1ごと相対的に移動させ、この絶対座標のずれを補償する。必要に応じ、画像撮影して、画像上で、各マーカー3a・3bの鋭角の頂点と各カメラ20(1)・20(2)の視野の中心とのずれが無いことを確認する。 The magnitude and direction of the deviation of the relative displacement on the image, the camera 20 (1) 20 (2) in consideration of the magnification of the image taken by each marker 3a 1 and 3b 1 on the pedestal Calculate the absolute coordinates of the acute vertex of. And the absolute coordinates based on the vertex of the acute angle of each marker 3a 1 and 3b 1 on pedestal, just so that the center of the field of view of the camera 20 (1) 20 (2), the lens array pedestal The sheet 1 is moved relative to each other to compensate for this absolute coordinate shift. If necessary, an image is taken and it is confirmed on the image that there is no deviation between the acute vertexes of the markers 3a 1 and 3b 1 and the centers of the visual fields of the cameras 20 (1) and 20 (2).
台座に対して鉛直に配置されたカメラ20(1)及び20(2)のその鉛直方向と、円盤状のスリッター5の円盤面とが、同一面上となるように、スリッター5を、配設しておく。スリッター5は、当初、台座上方の待機位置に、配置されている。スリッター5を、回転させながら、マーカー3aの鋭角の頂点に向けて降下させ、レンズアレイシート1の粘着シート6を切断せずに透明樹脂基材2だけを、フルカットするように、切断し始める。スリッター5を、回転させながら、水平に、マーカー3bの鋭角の頂点へ向け、移動させると、ダイシングすべき格子状のライン8に沿って、ダイシングが施される。マーカー3bの鋭角の頂点までダイシングされたら、スリッター5を上昇させ、待機位置に、戻す。 The slitter 5 is arranged so that the vertical direction of the cameras 20 (1) and 20 (2) arranged perpendicular to the pedestal and the disk surface of the disk-shaped slitter 5 are on the same plane. Keep it. The slitter 5 is initially arranged at a standby position above the pedestal. While rotating the slitter 5, the slitter 5 is lowered toward the acute vertex of the marker 3 a 1 and cut so that only the transparent resin substrate 2 is fully cut without cutting the adhesive sheet 6 of the lens array sheet 1. start. When the slitter 5 is moved horizontally toward the acute vertex of the marker 3b 1 while rotating, dicing is performed along the lattice-like lines 8 to be diced. When the dicing is performed to the acute vertex of the marker 3b 1 , the slitter 5 is raised and returned to the standby position.
レンズアレイシート1ごと台座を、隣り合うマーカー3aと3aとの幅だけ、カメラ20(1)及び20(2)の方向へ、動かす。それによって、一群のマーカー3aのうちマーカー3aに隣り合うマーカー3aがカメラ20(1)の視野に、一方、一群のマーカー3bのうちマーカー3bに隣り合うマーカー3bがカメラ20(2)の視野に、夫々入るように、レンズアレイシート1が、相対的に移動する。 The lens array sheet 1 per seat, by the width of the marker 3a 1 and 3a 2 adjacent, in the direction of the camera 20 (1) and 20 (2), move. Thereby, the field of view of the marker 3a 2 adjacent to the marker 3a 1 of the set of markers 3a camera 20 (1), whereas, marker 3b 2 adjacent to the marker 3b 1 of the group of marker 3b camera 20 (2 The lens array sheet 1 relatively moves so as to enter the field of view).
マーカー3b・・・とマーカー3b・・・とを基準に、順次、これらの一連の動作を、繰り返す。一群のマーカー3a及び3bでの繰り返しの動作が終わったら、台座を左周りに90度回転させる。次いで、一群のマーカー3cのうち最もカメラ20(1)寄りのマーカー3cがカメラ20(1)の視野に、一方、一群のマーカー3dのうち最もカメラ20(2)寄りのマーカー3dがカメラ20(2)の視野に、夫々入るように、台座をレンズアレイシート1ごと相対的に移動させる。マーカー3c・3c・・・とマーカー3d・3d・・・との夫々について順次、これらの一連の動作を、繰り返す。一群のマーカー3c及び3dでの繰り返しの動作が終わると、レンズアレイシート1は、格子状にダイシングされている。この際、格子状の各枡目の中央に、レンズ2が均一に、位置している。 These series of operations are repeated in sequence with the markers 3b 1 ... And the markers 3b 2 . When the repeated operation with the group of markers 3a and 3b is completed, the pedestal is rotated 90 degrees counterclockwise. Then, the field of view of most camera 20 (1) side of the markers 3c 1 camera 20 (1) of the group of markers 3c, whereas, marker 3d 1 of the most camera 20 (2) near one of a group of markers 3d camera The pedestal is moved relative to the lens array sheet 1 so as to enter the field of view 20 (2). Sequentially, a series of operations for each of the markers 3c 1 · 3c 2 ··· and the marker 3d 1 · 3d 2 ···, repeated. When the repetitive operation with the group of markers 3c and 3d is completed, the lens array sheet 1 is diced into a lattice shape. At this time, the lens 2 is uniformly positioned in the center of each lattice-shaped mesh.
このダイシング後、レンズアレイシート1を紫外線硬化性粘着シート6ごと台座から外し、純水で超音波洗浄し、レンズを画像処理などにより光学検査し、不具合のあるレンズをマークしておく。その後、粘着シート6の表裏何れかの面側から紫外線を照射して、粘着シート6を硬化させたあと、紫外線硬化性粘着シート6を、3a及び3b方向と、3c及び3d方向とに、夫々引き離すように、水平に引き伸ばす。あるいは、うら面側から突き捧で軽く押すことにより、またはその両方の組合せにより隣り合う個別片7が個々に分離する状態になる。レンズアレイシート1への粘着シートとの貼着、洗浄、光学検査操作は、適宜工程順を入れ替えてもよい。   After this dicing, the lens array sheet 1 is removed from the pedestal together with the ultraviolet curable adhesive sheet 6, ultrasonically cleaned with pure water, the lens is optically inspected by image processing or the like, and the defective lens is marked. Then, after irradiating ultraviolet rays from either the front or back surface side of the pressure-sensitive adhesive sheet 6 to cure the pressure-sensitive adhesive sheet 6, the ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive sheet 6 is moved in the 3a and 3b directions and in the 3c and 3d directions, respectively. Stretch horizontally to pull apart. Alternatively, the adjacent individual pieces 7 are individually separated by pushing and lightly pushing from the back surface side or a combination of both. The order of the sticking of the adhesive sheet to the lens array sheet 1, the cleaning, and the optical inspection operation may be appropriately changed.
マウンター機で吸引しているマウンターノズルで、うら面側から突き捧で軽く押した個別片7を吸い付けると、個別片7が容易く粘着シート6から剥がれる。個別片7を、必要に応じて発光ダイオードやそれをパッケージングしたデバイスに、接着して実装する。(不図示)   When the individual piece 7 which is pushed and lightly pressed from the back surface side is sucked by the mounter nozzle sucked by the mounter machine, the individual piece 7 is easily peeled off from the adhesive sheet 6. The individual piece 7 is mounted by adhering to a light emitting diode or a device in which the individual piece 7 is packaged as required. (Not shown)
レンズアレイシート1上のダイシングすべき格子状のライン8毎にその両端でマーカー3a〜3dが形成されライン8毎に単数のスリッター5でダイシングする例を示したが、ダイシングすべき格子状のライン8の数本おき毎にその両端でマーカーが形成されその数本分を纏めて複数のスリッターでダイシングしてもよい。レンズアレイシート1上のダイシングすべき格子状のラインのうち平行な最遠のライン同士の両端でマーカーが形成されそれらを基準にレンズアレイシート1を均等にダイシングしてもよく、その斜交い同士だけでマーカーが形成されそれらを基準にレンズアレイシート1を均等にダイシングしてもよい。   The example in which the markers 3a to 3d are formed at both ends of each grid-like line 8 to be diced on the lens array sheet 1 and dicing is performed by a single slitter 5 for each line 8 is shown. Markers may be formed at both ends of every 8 pieces, and the dice may be combined with a plurality of slitters. Markers may be formed at both ends of parallel farthest lines of the grid-like lines to be diced on the lens array sheet 1, and the lens array sheet 1 may be diced uniformly with reference to them. The markers may be formed only from each other, and the lens array sheet 1 may be diced equally with reference to them.
マーカー3の鋭角の頂点は、マーカー3の画像から明暗によって認識される例を示したが、光透過性や光反射性によって認識されてもよい。例えば、一方向からマーカーへ向けて投光し、光透過、屈折若しくは光反射により、マーカー3、特にマーカーの突き出たり窪んだりしている尖端とその周囲とを受光したときの輝度の違いを識別することにより、認識することができる。   Although an example in which the acute vertex of the marker 3 is recognized from the image of the marker 3 by brightness and darkness is shown, it may be recognized by light transmission or light reflection. For example, light is projected from one direction to the marker, and the difference in brightness when the marker 3, particularly the tip of the marker protruding or recessed, and its surroundings is detected by light transmission, refraction, or light reflection is identified. By doing so, it can be recognized.
マーカー3は、表裏に貫通したくさび形のものの例を示したが、カメラ20(1)・20(2)の撮影によって認識できるものであれば、特に形状や形態を限定されず、レンズアレイシート1と一体成形されたものであってもよく、レンズアレイシート1の成形後に印刷又は切削されたものであってもよい。マーカー3は、印刷されたものでカメラの撮影画像から接線を基に中心を基準点として求めることができる円形状、交点を基準点として求めることができるX印状、そのまま基準点となる点状であってもよい。   The marker 3 is an example of a wedge shape penetrating the front and back, but the shape and form are not particularly limited as long as it can be recognized by photographing with the cameras 20 (1) and 20 (2), and the lens array sheet. 1 may be formed integrally with the lens array sheet 1 or may be printed or cut after the lens array sheet 1 is formed. The marker 3 is printed and has a circular shape that can be obtained from a camera-captured image as a reference point based on a tangent line, an X mark that can be obtained using an intersection point as a reference point, and a dot shape that serves as a reference point as it is. It may be.
ダイシングは、スリッターの他、カッター刃、ダイヤモンドブレードのようなダイシング刃を用いて行われてもよく、レーザーダイシング、特にレーザーを、透明樹脂基材の中部に焦点合わせして、照射して、改質させ外部応力を加えて亀裂を生じさせることによってカットできるというステルスダイシングによって行われてもよい。   Dicing may be performed by using a dicing blade such as a cutter blade or a diamond blade in addition to a slitter. Laser dicing, in particular, a laser is focused on the inside of the transparent resin substrate and irradiated to improve the dicing. It may be performed by stealth dicing that can be cut by forming and cracking by applying external stress.
ダイシングは、レンズアレイシート1の透明樹脂基材2のみをフルカットする例を示したが、柔軟で破断し易いゴム製のレンズアレイシート1をハーフカットするものであってもよい。   Although dicing showed the example which cuts only the transparent resin base material 2 of the lens array sheet 1, the rubber-made lens array sheet 1 which is flexible and is easy to fracture | rupture may be half-cut.
図2〜7のレンズアレイシート1でも同様にして、ダイシングすることができる。ダイシングの際に、予め検査し欠陥であることが分かっていたレンズ4の個別片を、除外しつつ、欠陥のないレンズ4の個別片のみを、マウント機により、取り上げてもよい。   The lens array sheet 1 in FIGS. 2 to 7 can be diced in the same manner. During dicing, the individual pieces of the lens 4 that have been inspected in advance and found to be defective may be excluded, and only the individual pieces of the lens 4 that are free of defects may be picked up by the mounting machine.
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
(実施例1)
先ず、図2に示すような形状のレンズアレイシートを以下のようにして調製した。レンズアレイシートの成形には、LEDレンズ用シリコーンレジン「LPS−L500」(信越化学工業株式会社製;商品名)を用いて、射出成形機により、行った。このシリコーンレジンを、レンズアレイシート金型に定量充填し、180℃×10分間の条件で成形した。成形されたシリコーンレジン製レンズアレイシートは、10列×10行の100個のレンズがベース厚み0.3mmの透明樹脂基材上に並べられたものである。レンズアレイシートの反りを防止するため、シート全周に幅2mmで高さ1mmの厚肉部が設けられ、さらに、ベース外周部には精度よくダイシングするためにくさび形の切れ込みであるダイシングマーカーも縦横列毎に同時に成形されている。
(Example 1)
First, a lens array sheet having a shape as shown in FIG. 2 was prepared as follows. The lens array sheet was molded by an injection molding machine using an LED lens silicone resin “LPS-L500” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; trade name). This silicone resin was quantitatively filled into a lens array sheet mold and molded under conditions of 180 ° C. × 10 minutes. The molded lens array sheet made of silicone resin is made by arranging 100 lenses of 10 columns × 10 rows on a transparent resin substrate having a base thickness of 0.3 mm. In order to prevent warping of the lens array sheet, a thick portion having a width of 2 mm and a height of 1 mm is provided on the entire periphery of the sheet, and a dicing marker that is a wedge-shaped cut is also provided on the outer periphery of the base for accurate dicing. It is molded at the same time for every vertical and horizontal row.
次いで、得られたシリコーンレジン製レンズアレイシートのうら面側に、粘着シートとして「スミライト FSL-N4000シリーズ UVダイシングテープ 帯電防止グレード」(住友ベークライト株式会社製;商品名)を、貼り付けた。レンズ面を上にして、そのレンズアレイシートを、減圧吸引により、ダイシング用台座に吸引密着してセッティングした。画像撮影によりマーカーを検出し、それらマーカーを基準にして、切溝幅200μmのダイヤモンドブレードで、シリコーンレジン製レンズアレイシートのみを5mm×5mmにダイシングした。この際、UVダイシングテープは、切断されておらず、シリコーンレジン製レンズアレイシートからレンズの個別片がばらばらになるのを防いでいる。   Next, “Sumilite FSL-N4000 series UV dicing tape antistatic grade” (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd .; trade name) was attached as an adhesive sheet on the back side of the obtained lens array sheet made of silicone resin. With the lens surface facing up, the lens array sheet was set by suction and contact with a pedestal for dicing by vacuum suction. Markers were detected by image photographing, and only the lens array sheet made of silicone resin was diced into 5 mm × 5 mm with a diamond blade having a kerf width of 200 μm on the basis of the markers. At this time, the UV dicing tape is not cut, and the individual pieces of the lens are prevented from being separated from the lens array sheet made of silicone resin.
次に、純水中での超音波処理によるダスト除去工程を経て、シリコーンレジン製レンズアレイシートの画像処理による光学検査を行い、気泡、異物などの不具合があった箇所をマーキングして、実装の際に除去すべき不良レンズを特定した。   Next, through a dust removal process by ultrasonic treatment in pure water, an optical inspection is performed by image processing of the lens array sheet made of silicone resin, marking the places where there are defects such as bubbles and foreign matters, and mounting Identified defective lenses to be removed.
最後に、ダイシングカットしたシリコーンレジン製レンズアレイシートのUVダイシングテープに、紫外線を照射し、その粘着材を硬化させて、粘着力を低下させ、UVダイシングテープをエキスパンドすると、レンズの個別片が、UVダイシングテープに極弱く張り付いたまま、得られた。発光ダイオードデバイスであるLEDケースとして、その外周部に、レンズの位置決めの為に、高さ0.5mmで幅0.5mmの壁が設けられているものを用いた。実装装置のマウントアームにより、レンズをひとつずつLEDケースへ、実装した。この際、LEDケースには、発光素子の保護としてシリコーンゴム製の封止材が未硬化で充填されており、ダイシングカットされたシリコーンレジンレンズ単品が封止材上に載せられ、封止材の硬化時にレンズと接着した。   Finally, the UV dicing tape of the dicing cut silicone resin lens array sheet is irradiated with ultraviolet rays, the adhesive material is cured, the adhesive strength is lowered, and the UV dicing tape is expanded. It was obtained with very weak sticking to the UV dicing tape. As the LED case which is a light emitting diode device, an LED case having a wall having a height of 0.5 mm and a width of 0.5 mm for positioning the lens was used. The lenses were mounted one by one on the LED case by the mounting arm of the mounting device. At this time, the LED case is filled with an uncured silicone rubber sealing material for protecting the light emitting element, and a dicing cut silicone resin lens is placed on the sealing material. Bonded to the lens when cured.
一方、実装操作の際に、マーキングされ特定された不良レンズは、不良を示すマーキングを画像で検出して、除外され、実装されること無く廃棄された。   On the other hand, the defective lens that was marked and specified during the mounting operation was excluded by detecting the marking indicating the defect in the image and discarded without being mounted.
(実施例2)
先ず、図5(c)に示すような形状のレンズアレイシートを以下のようにして調製した。レンズアレイシートの成形には、LEDレンズ用シリコーンレジン「LPS−L500」(信越化学工業株式会社製;商品名)を用いて、射出成形機により、行った。このシリコーンレジンを、レンズアレイシート金型に定量充填し、180℃×10分間の条件で成形した。成形されたシリコーンレジン製レンズアレイシートは、10列×10行の100個のレンズがベース厚み0.3mmの透明樹脂基材上に並べられたものである。レンズアレイシートの反りを防止するため、シート全周に幅2mmで高さ1mmの厚肉部が設けられ、さらに、基板には精度よくダイシングするため、ダイシングすべきライン上がV字形の溝となって、格子状に成形されている。
(Example 2)
First, a lens array sheet having a shape as shown in FIG. 5C was prepared as follows. The lens array sheet was molded by an injection molding machine using an LED lens silicone resin “LPS-L500” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; trade name). This silicone resin was quantitatively filled into a lens array sheet mold and molded under conditions of 180 ° C. × 10 minutes. The molded lens array sheet made of silicone resin is made by arranging 100 lenses of 10 columns × 10 rows on a transparent resin substrate having a base thickness of 0.3 mm. In order to prevent warping of the lens array sheet, a thick portion having a width of 2 mm and a height of 1 mm is provided on the entire periphery of the sheet. Further, in order to perform dicing with high accuracy, a V-shaped groove is formed on the line to be diced. It is formed into a lattice shape.
次いで、得られたシリコーンレジン製レンズアレイシートのうら面側に、粘着シートとして「スミライト FSL-N4000シリーズ UVダイシングテープ 帯電防止グレード」(住友ベークライト株式会社製;商品名)を、貼り付けた。レンズ面を上にして、そのレンズアレイシートを、減圧吸引により、ダイシング用台座に吸引密着してセッティングした。画像撮影によりマーカーを検出し、それらマーカーを基準にして、切溝幅200μmのダイヤモンドブレードで、シリコーンレジン製レンズアレイシートのみを5mm×5mmにダイシングした。この際、UVダイシングテープは、切断されておらず、シリコーンレジン製レンズアレイシートからレンズの個別片がばらばらになるのを防いでいる。   Next, “Sumilite FSL-N4000 series UV dicing tape antistatic grade” (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd .; trade name) was attached as an adhesive sheet on the back side of the obtained lens array sheet made of silicone resin. With the lens surface facing up, the lens array sheet was set by suction and contact with a pedestal for dicing by vacuum suction. Markers were detected by image photographing, and only the lens array sheet made of silicone resin was diced into 5 mm × 5 mm with a diamond blade having a kerf width of 200 μm on the basis of the markers. At this time, the UV dicing tape is not cut, and the individual pieces of the lens are prevented from being separated from the lens array sheet made of silicone resin.
次に、純水中での超音波処理によるダスト除去工程を経て、シリコーンレジン製レンズアレイシートの画像処理による光学検査を行い、気泡、異物などの不具合があった箇所をマーキングして、実装の際に除去すべきレンズを特定した。   Next, through a dust removal process by ultrasonic treatment in pure water, an optical inspection is performed by image processing of the lens array sheet made of silicone resin, marking the places where there are defects such as bubbles and foreign matters, and mounting The lens to be removed was identified.
最後に、ダイシングカットしたシリコーンレジン製レンズアレイシートのUVダイシングテープに、紫外線を照射し、その粘着材を硬化させて、粘着力を低下させ、UVダイシングテープをエキスパンドすると、レンズの個別片が、UVダイシングテープに極弱く張り付いたまま、得られた。発光ダイオードデバイスであるLEDケースとして、その外周部に、レンズの位置決めの為に、高さ0.5mmで幅0.5mmの壁が設けられているものを用いた。実装装置のマウントアームにより、レンズをひとつずつLEDケースへ、実装した。この際、LEDケースには、発光素子の保護としてシリコーンゴム製の封止材が未硬化で充填されており、ダイシングカットされたシリコーンレジンレンズ単品が封止材上に載せられ、封止材の硬化時にレンズと接着した。   Finally, the UV dicing tape of the dicing cut silicone resin lens array sheet is irradiated with ultraviolet rays, the adhesive material is cured, the adhesive strength is lowered, and the UV dicing tape is expanded. It was obtained with very weak sticking to the UV dicing tape. As the LED case which is a light emitting diode device, an LED case having a wall having a height of 0.5 mm and a width of 0.5 mm for positioning the lens was used. The lenses were mounted one by one on the LED case by the mounting arm of the mounting device. At this time, the LED case is filled with an uncured silicone rubber sealing material for protecting the light emitting element, and a dicing cut silicone resin lens is placed on the sealing material. Bonded to the lens when cured.
一方、実装操作の際に、マーキングされ特定された不良レンズは、不良を示すマーキングを画像で検出して、除外され、実装されること無く廃棄された。   On the other hand, the defective lens that was marked and specified during the mounting operation was excluded by detecting the marking indicating the defect in the image and discarded without being mounted.
(実施例3)
先ず、図7に示すような形状のレンズアレイシートを以下のようにして調製した。レンズアレイシートの成形には、LEDレンズ用シリコーンレジン「LPS−L500」(信越化学工業株式会社製;商品名)を用いて、射出成形機により、行った。このシリコーンレジンを、レンズアレイシート金型に定量充填し、180℃×10分間の条件で成形した。成形されたシリコーンレジン製レンズアレイシートは、10列×10行の100個のレンズがベース厚み0.3mmの透明樹脂基材上に並べられたものである。レンズアレイシートの反りを防止するため、シート全周に幅2mmで高さ1mmの厚肉部が設けられ、さらに、基板には精度よくダイシングするため、ダイシングすべきライン上がV字形の溝となって、格子状に成形されている。
(Example 3)
First, a lens array sheet having a shape as shown in FIG. 7 was prepared as follows. The lens array sheet was molded by an injection molding machine using an LED lens silicone resin “LPS-L500” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; trade name). This silicone resin was quantitatively filled into a lens array sheet mold and molded under conditions of 180 ° C. × 10 minutes. The molded lens array sheet made of silicone resin is made by arranging 100 lenses of 10 columns × 10 rows on a transparent resin substrate having a base thickness of 0.3 mm. In order to prevent warping of the lens array sheet, a thick portion having a width of 2 mm and a height of 1 mm is provided on the entire periphery of the sheet. Further, in order to perform dicing with high accuracy, a V-shaped groove is formed on the line to be diced. It is formed into a lattice shape.
次に、純水中での超音波処理によるダスト除去工程を経て、シリコーンレジン製レンズアレイシートの画像処理による光学検査を行い、気泡、異物などの不具合があった箇所をマーキングして、実装の際に除去すべきレンズを特定した。   Next, through a dust removal process by ultrasonic treatment in pure water, an optical inspection is performed by image processing of the lens array sheet made of silicone resin, marking the places where there are defects such as bubbles and foreign matters, and mounting The lens to be removed was identified.
シリコーンレジン製レンズアレイシートは、LED集合基板のLED素子と同ピッチで配列されている。そのLED集合基板は、LED素子が10列×10行で100個並べられている。反射ケースがLED素子毎に各々備え付けられて、発光ダイオードデバイスとなっている。   The silicone resin lens array sheets are arranged at the same pitch as the LED elements of the LED aggregate substrate. The LED assembly substrate has 100 LED elements arranged in 10 columns × 10 rows. A reflective case is provided for each LED element to form a light emitting diode device.
レンズとLED素子との位置合わせとして、LED集合基板外周には、位置決めのために幅0.5mmで高さ1mmの壁が設けられている。これにより、シリコーンレジン製レンズアレイシートがずれないように位置決めを行なうことができるようになっている。シリコーンレジン製レンズアレイシートと、LED集合基板とを重ね合わせた。   For alignment between the lens and the LED element, a wall having a width of 0.5 mm and a height of 1 mm is provided on the outer periphery of the LED assembly substrate for positioning. Thereby, it can position so that the lens array sheet | seat made from a silicone resin may not slip | deviate. The lens array sheet made of silicone resin and the LED aggregate substrate were superposed.
反射ケースの中には、シリコーンゲル製LED封止材が、未硬化のまま充填されている。気泡が巻き込まれないように、反射ケースとシリコーンレジン製レンズアレイシートが互いに嵌め合いつつ、シリコーンレジン製レンズアレイシートを、端から徐々にLED集合基板上へ載置して、それらを一体化させた。   In the reflective case, the LED sealing material made of silicone gel is filled in an uncured state. While the reflective case and the silicone resin lens array sheet are fitted to each other so that air bubbles are not involved, the silicone resin lens array sheet is gradually placed on the LED collective substrate from the end to integrate them. It was.
次いで、得られたシリコーンレジン製レンズアレイシートと一体化したLED集合基板のうら面側に、粘着シートとして「スミライト FSL-N4000シリーズ UVダイシングテープ 帯電防止グレード」(住友ベークライト株式会社製;商品名)を、貼り付けた。レンズ面を上にして、これを、減圧吸引により、ダイシング用台座に貼り付けてセッティングした。画像撮影によりマーカーを検出し、それらマーカーを基準にして、切溝幅200μmのダイヤモンドブレードで、シリコーンレジン製レンズアレイシートとLEDとを同時にダイシングした。この際、UVダイシングテープは、切断されておらず、レンズ付きLEDの個別片がばらばらになるのを防いでいる。その後、エアノズルにより空気を吹き付けてエア洗浄した。   Next, “Sumilite FSL-N4000 series UV dicing tape, antistatic grade” (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd .; product name) is used as an adhesive sheet on the back side of the LED assembly substrate integrated with the lens array sheet made of silicone resin. Pasted. With the lens surface facing up, this was set by adhering to a dicing base by vacuum suction. Markers were detected by image capturing, and the silicone resin lens array sheet and the LED were diced simultaneously with a diamond blade having a kerf width of 200 μm on the basis of the markers. At this time, the UV dicing tape is not cut, and the individual pieces of the LED with the lens are prevented from falling apart. Thereafter, air was blown by an air nozzle to perform air cleaning.
最後に、ダイシングカットしたシリコーンレジン製レンズアレイシートのUVダイシングテープに、紫外線を照射し、その粘着材を硬化させて、粘着力を低下させ、UVダイシングテープを、うら面側から突き捧で押すと、レンズ付きLEDパッケージである個別片が、UVダイシングテープに極弱く張り付いたまま、得られた。そのひとつずつを、実装装置のマウントアームにより、取り上げ、回路基板へ、実装した。   Finally, the UV dicing tape of the dicing cut silicone resin lens array sheet is irradiated with ultraviolet rays, the adhesive is cured, the adhesive strength is lowered, and the UV dicing tape is pushed from the back side. As a result, an individual piece, which is an LED package with a lens, was obtained while being extremely weakly attached to the UV dicing tape. Each one was picked up by the mounting arm of the mounting device and mounted on the circuit board.
一方、実装操作の際に、マーキングされ特定された不良レンズは、不良を示すマーキングを画像で検出して、除外され、実装されること無く廃棄された。   On the other hand, the defective lens that was marked and specified during the mounting operation was excluded by detecting the marking indicating the defect in the image and discarded without being mounted.
本発明のレンズアレイシートを用いたダイシング方法は、発光ダイオードから発する光を集束したり拡散したりするレンズを、一挙に多数製造するのに、有用である。   The dicing method using the lens array sheet of the present invention is useful for manufacturing a large number of lenses that focus or diffuse the light emitted from the light emitting diodes at once.
1はレンズアレイシート、2は透明樹脂基材、3,3a,3a・3a・・・,3b,3b・3b・・・,3c,3c・3c・・・,3d,3d・3d・・・はマーカー、4は凸レンズ、5はスリッター、6は紫外線硬化性粘着シート、7は個別片、8はダイシングすべき格子状のライン、9は肉厚部、10は発光ダイオード、11は発光ダイオードデバイス、12はリード線、20(1),20(2)はカメラ、21は標示、22は溝、23は基板、24・25は凹み、26は間隙、31はレンズアレイシート、32は透明樹脂基材、34は凸レンズ、35はスリッター、37は個別片、38はダイシングすべき格子状のライン、39a,39bは端辺、40a,40bは歪み、41は隙間、42はガイドである。 1 is a lens array sheet, 2 is a transparent resin base material, 3, 3a, 3a 1 · 3a 2 ..., 3b, 3b 1 · 3b 2 ..., 3c, 3c 1 · 3c 2 . 3d 1 and 3d 2 ... are markers, 4 is a convex lens, 5 is a slitter, 6 is an ultraviolet curable adhesive sheet, 7 is an individual piece, 8 is a grid-like line to be diced, 9 is a thick part, 10 is Light-emitting diode, 11 is a light-emitting diode device, 12 is a lead wire, 20 (1) and 20 (2) are cameras, 21 is a sign, 22 is a groove, 23 is a substrate, 24 and 25 are recessed, 26 is a gap, 31 is a gap Lens array sheet, 32 is a transparent resin base material, 34 is a convex lens, 35 is a slitter, 37 is an individual piece, 38 is a grid-like line to be diced, 39a and 39b are edges, 40a and 40b are distorted, and 41 is a gap , 42 are guides.

Claims (12)

  1. 縦横夫々に列をなして等間隔に並んだ複数のレンズが、透明樹脂基材の少なくとも何れかの面側に設けられており、該複数のレンズよりなる列の横列同士間と縦列同士間とを各々の中央でダイシングすべき格子状のライン上に、該ラインの端部を明示するマーカーが、形成されていることを特徴とするレンズアレイシート。   A plurality of lenses arranged at equal intervals in rows and columns are provided on at least one surface side of the transparent resin base material, and between rows and columns between rows of the plurality of lenses. A lens array sheet, wherein a marker that clearly indicates an end of the line is formed on a lattice-like line to be diced at each center.
  2. 前記透明樹脂基材の少なくとも何れかの面側で、肉厚部が、前記透明樹脂基材の縁に沿い及び/又は前記基材の面を横切りつつ線状に、前記複数のレンズよりなる列とずれて、形成されていることを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイシート。   A row formed of the plurality of lenses, on at least one surface side of the transparent resin base material, with a thick portion linearly along the edge of the transparent resin base material and / or across the surface of the base material. The lens array sheet according to claim 1, wherein the lens array sheet is formed in a shifted manner.
  3. 前記透明樹脂基材の片面側に、粘着シートが貼付されていることを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイシート。   The lens array sheet according to claim 1, wherein an adhesive sheet is attached to one side of the transparent resin base material.
  4. 前記ライン上に、ダイシングされる溝が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイシート。   The lens array sheet according to claim 1, wherein dicing grooves are formed on the lines.
  5. 前記ダイシングすべき格子状のライン上のうち、前記透明樹脂基材の各縁の端側の少なくとも2箇所に、前記マーカーが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイシート。   2. The lens array sheet according to claim 1, wherein the marker is formed in at least two places on the edge side of each edge of the transparent resin base material on the grid-like line to be diced. .
  6. 前記透明樹脂基材のうら面側で、複数の発光ダイオードデバイスが、前記複数のレンズ毎に重なり合って接合されていることを特徴とする請求項1に記載のレンズアレイシート。   2. The lens array sheet according to claim 1, wherein a plurality of light emitting diode devices are overlapped and bonded for each of the plurality of lenses on the back surface side of the transparent resin base material.
  7. 縦横に夫々、列をなして等間隔に並んだ複数のレンズを、透明樹脂基材の少なくとも何れか一面側に設け、隣り合うその横列同士間と縦列同士間とを各々の中央でダイシングすべき格子状のライン上にその端部を明示するマーカーを形成して、レンズアレイシートを作製する工程、
    前記レンズアレイシートを、固定する工程、
    前記マーカーを認識し、それを基準にして、前記マーカーより前記ラインの上を前記格子状にダイシングする工程、
    前記レンズの個別片を取り上げる工程、
    を有することを特徴とするレンズアレイのダイシング方法。
    A plurality of lenses arranged in equal rows and columns in the vertical and horizontal directions should be provided on at least one surface side of the transparent resin base material, and the adjacent rows and columns should be diced at the center of each. Forming a marker that clearly shows its end on a grid-like line, and producing a lens array sheet;
    Fixing the lens array sheet,
    Recognizing the marker, and using the reference as a reference, dicing the line above the line from the marker in the lattice shape;
    Picking up individual pieces of the lens,
    A dicing method for a lens array, comprising:
  8. 一方向から前記マーカーへ向けて投光し、前記マーカーの形状を画像撮影することにより、又は光透過、屈折若しくは光反射による前記マーカーとその周囲との輝度の違いを受光することにより、そのマーカーを前記認識することを特徴とする請求項7に記載のレンズアレイのダイシング方法。   By projecting light from one direction toward the marker and taking an image of the shape of the marker, or by receiving a difference in luminance between the marker and its surroundings due to light transmission, refraction, or light reflection, the marker The lens array dicing method according to claim 7, wherein the lens array is recognized.
  9. 前記透明樹脂基材の少なくとも何れかの面側で肉厚部が前記透明樹脂基材の縁に沿いつつ及び/又はその面を横切りつつ前記複数のレンズよりなる列とずれて線状に形成されているレンズアレイシートを、前記格子状にダイシングした後に、該肉厚部を切断分離することを特徴とする請求項7に記載のレンズアレイのダイシング方法。   The thick part is formed in a linear shape on the surface side of at least one of the transparent resin base materials, along the edge of the transparent resin base material and / or across the surface, deviating from the row of the plurality of lenses. The lens array dicing method according to claim 7, wherein the thick portion is cut and separated after the lens array sheet is diced into the lattice shape.
  10. 前記レンズアレイシートを作製した後、ダイシングすべき面のうら面側へ、そのレンズアレイシートに粘着シートを貼付してから、前記レンズアレイシートを前記固定し、該粘着シートを切断分離せずに前記ダイシングすることを特徴とする請求項7に記載のレンズアレイのダイシング方法。   After producing the lens array sheet, affix the adhesive sheet to the lens array sheet on the back side of the surface to be diced, and then fix the lens array sheet without cutting and separating the adhesive sheet. The lens array dicing method according to claim 7, wherein the dicing is performed.
  11. 前記粘着シートが、熱又は光で硬化して粘着性を低下させるものであり、前記ダイシングし、前記個別片を形成してから、前記粘着シートを硬化させた後、前記個別片を取り上げることを特徴とする請求項10に記載のレンズアレイのダイシング方法。   The pressure-sensitive adhesive sheet is cured with heat or light to reduce the adhesiveness, and after the dicing and forming the individual piece, the adhesive sheet is cured, and then the individual piece is taken up. The lens array dicing method according to claim 10, wherein the lens array is dicing.
  12. 前記複数のレンズに夫々対応して一体化される複数の発光ダイオードデバイスを、単一基板上に載置し、前記レンズアレイシートに接着して前記固定してから、該発光ダイオードデバイスの夫々と共に前記レンズアレイシートをダイシングして、独立したレンズ付き半導体発光装置となる前記個別片にすることを特徴とする請求項7に記載のレンズアレイのダイシング方法。   A plurality of light emitting diode devices integrated corresponding to each of the plurality of lenses are placed on a single substrate, bonded to the lens array sheet and fixed, and then together with each of the light emitting diode devices The lens array dicing method according to claim 7, wherein the lens array sheet is diced into the individual pieces to be an independent semiconductor light emitting device with a lens.
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