JP2011133464A - 距離センサ及び距離画像センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】距離画像センサRSは、2次元状に配置された複数のユニットからなる撮像領域を半導体基板1上に備え、ユニットから出力される電荷量に基づいて、距離画像を得る。1つのユニットは、光感応領域と、第1及び第2長辺L1,L2の対向方向でフォトゲート電極PGを挟んで対向する第3半導体領域9a,9bと、第3半導体領域9a,9bとフォトゲート電極PGとの間に設けられる第1及び第2転送電極TX1,TX2と、第3半導体領域9a、9bを第1及び第2長辺L1,L2の対向方向において挟んで配置される第4半導体領域11a,11bと、第4半導体領域11a,11bとフォトゲート電極PGとの間にそれぞれ設けられる第3転送電極TX3とを備える。
【選択図】図1
Description
・第1半導体領域3:厚さ10〜1000μm/不純物濃度1×1012〜1019cm−3
・第2半導体領域5:厚さ1〜50μm/不純物濃度1×1012〜1015cm−3
・第3半導体領域9a,9b及び第4半導体領域11a,11b:厚さ0.1〜1μm/不純物濃度1×1018〜1020cm−3
・第5半導体領域12:厚さ1〜5μm/不純物濃度1×1016〜1018cm−3
ΔV=Q1/Cfd
ΔV=Q2/Cfd
したがって、第3半導体領域9a,9bの面積が低減されると、第3半導体領域9a,9bの静電容量(Cfd)も低減され、発生する電圧変化(ΔV)が大きくなる。すなわち、電荷電圧変換ゲインが高くなる。このことからも、距離画像センサRS4の高感度化を図ることができる。
Claims (10)
- 入射光に応じて電荷を発生し、且つその平面形状が互いに対向する第1及び第2長辺と互いに対向する第1及び第2短辺とを有する光感応領域と、
前記第1及び第2長辺の対向方向で前記光感応領域を挟んで対向して配置され、前記光感応領域からの信号電荷を収集する信号電荷収集領域と、
異なる位相の電荷転送信号が与えられ、前記信号電荷収集領域と前記光感応領域との間にそれぞれ設けられる転送電極と、
前記第1長辺側において該第1長辺に沿って前記信号電荷収集領域を挟むように互いに空間的に離間して配置され、前記光感応領域からの不要電荷を収集する第1不要電荷収集領域と、
前記第1及び第2長辺の対向方向で前記光感応領域を挟んで前記第1不要電荷収集領域と対向すると共に、前記第2長辺側において該第2長辺に沿って前記信号電荷収集領域を挟むように互いに空間的に離間して配置され、前記光感応領域からの不要電荷を収集する第2不要電荷収集領域と、
前記第1及び第2不要電荷収集領域と前記光感応領域との間にそれぞれ設けられ、前記光感応領域から前記第1及び第2不要電荷領域への不要電荷の流れの遮断及び開放を選択的に行う不要電荷収集ゲート電極と、を備えることを特徴とする距離センサ。 - 前記転送電極の前記第1及び第2長辺方向の長さ寸法は、前記不要電荷収集ゲート電極の前記第1及び第2長辺方向の長さ寸法よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の距離センサ。
- 前記不要電荷収集ゲート電極における前記第1及び第2短辺の対向方向の外側の端部は、前記光感応領域の前記第1及び第2短辺の対向方向の両端部と略面一となっていることを特徴とする請求項1又2記載の距離センサ。
- 前記不要電荷収集ゲート電極における前記第1及び第2短辺の対向方向の外側の端部は、前記光感応領域の前記第1及び第2短辺の対向方向の両端部よりも内側となっていることを特徴とする請求項1又は2記載の距離センサ。
- 前記不要電荷収集ゲート電極における前記第1及び第2短辺の対向方向の外側の端部は、前記光感応領域の前記第1及び第2短辺の対向方向の両端部よりも外側に突出していることを特徴とする請求項1又は2記載の距離センサ。
- 前記第1及び第2短辺の対向方向で前記光感応領域を挟んで対向して配置され、前記光感応領域の前記第1及び第2短辺側でのポテンシャルを前記光感応領域における前記信号電荷収集領域の間に位置する領域でのポテンシャルよりも高めるポテンシャル調整手段を更に備えていることを特徴とする請求項1記載の距離センサ。
- 前記ポテンシャル調整手段は、前記光感応領域と同じ導電型であり、前記光感応領域よりも不純物濃度が高い半導体領域であることを特徴とする請求項6に記載の距離センサ。
- 前記光感応領域上に配置されるフォトゲート電極を更に備えており、
前記ポテンシャル調整手段は、前記フォトゲート電極に与えられる電位よりも低い電位が与えられる電極であることを特徴とする請求項6に記載の距離センサ。 - 一次元又は二次元に配置された複数のユニットからなる撮像領域を半導体基板上に備え、前記ユニットから出力される電荷量に基づいて、距離画像を得る距離画像センサにおいて、
1つの前記ユニットは、請求項1〜8のいずれか一項記載の距離センサであることを特徴とする距離画像センサ。 - 前記光感応領域は、前記半導体基板上において前記光感応領域の前記第1及び第2短辺の対向方向に複数配置されており、
前記不要電荷収集ゲート電極は、隣接する2つの光感応領域に亘って配置されていることを特徴とする請求項9記載の距離画像センサ。
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