JP2011125768A - Solvent recovery method and apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は電池生産に用いるNMP溶剤(N−メチル−2−ピロリドン溶剤)などの溶剤蒸気を含む排気気体から含有溶剤蒸気を分離回収する溶剤回収方法及び溶剤回収装置に関する。 The present invention relates to a solvent recovery method and a solvent recovery apparatus for separating and recovering contained solvent vapor from exhaust gas containing solvent vapor such as NMP solvent (N-methyl-2-pyrrolidone solvent) used for battery production.
さらに詳しくは、溶剤蒸気の発生がある処理室に換気気体を供給するのに伴いその処理室から排出される排気気体を冷却手段により冷却することで、その排気気体に含まれる溶剤蒸気を凝縮させて排気気体中から分離回収する溶剤回収方法及び溶剤回収装置に関する。 More specifically, the exhaust gas discharged from the processing chamber as it is supplied to the processing chamber where the solvent vapor is generated is cooled by the cooling means to condense the solvent vapor contained in the exhaust gas. The present invention relates to a solvent recovery method and a solvent recovery apparatus for separating and recovering from exhaust gas.
特許文献1には、リチウムイオン電池の製造工場において処理物からNMP溶剤(N−2−ピロリドン溶剤)を除去するための乾燥工程から排出される排気気体に含まれるNMP溶剤蒸気を分離回収するのに、排気気体に水を散布して排気気体中のNMP溶剤蒸気を散布水に溶解(吸収)させることで、排気気体からNMP溶剤蒸気を分離回収する吸収式の溶剤回収方法が示されている(特に、特許文献1の段落0002及び図2参照)。 In Patent Document 1, the NMP solvent vapor contained in the exhaust gas discharged from the drying process for removing the NMP solvent (N-2-pyrrolidone solvent) from the treated material in the manufacturing plant of the lithium ion battery is separated and recovered. Shows an absorption type solvent recovery method in which NMP solvent vapor is separated from exhaust gas by spraying water into the exhaust gas and dissolving (absorbing) NMP solvent vapor in the exhaust gas in the spray water. (Particularly, see paragraph 0002 of Patent Document 1 and FIG. 2).
また、特許文献1には、上記排気気体を冷却することで排気気体中のNMP溶剤蒸気を凝縮させて排気気体から分離回収するとともに、冷却によりNMP溶剤を凝縮分離した後の排気気体に残存するNMP溶剤蒸気を吸着ロータ式濃縮装置により濃縮して、その吸着ロータ式濃縮装置から送出される濃縮気体(即ち、残存NMP溶剤蒸気を排気気体から濃縮状態で移行させた気体)を再度冷却することで、残存NMP溶剤蒸気も凝縮させて濃縮気体から分離回収する冷却式の溶剤回収方法も示されている(特に、特許文献1の段落0003〜段落0004及び図1参照) Further, Patent Document 1 condenses the NMP solvent vapor in the exhaust gas by cooling the exhaust gas and separates and recovers it from the exhaust gas, and remains in the exhaust gas after the NMP solvent is condensed and separated by cooling. Concentrating the NMP solvent vapor by the adsorption rotor type concentrator, and cooling again the concentrated gas sent from the adsorption rotor type concentrator (that is, the gas in which the residual NMP solvent vapor is transferred from the exhaust gas in a concentrated state). In addition, a cooling type solvent recovery method in which residual NMP solvent vapor is condensed and separated and recovered from the concentrated gas is also shown (particularly, refer to paragraphs 0003 to 0004 of FIG. 1 and FIG. 1).
しかし、溶剤蒸気を散布水に溶解させることで排気気体から分離回収する吸収式の溶剤回収方法(言わば、湿式の溶剤回収方法)では、溶剤蒸気を散布水に溶解させて回収するため回収液(即ち、溶剤蒸気が溶解した回収水)における水の比率が大きく、この為、回収液から溶剤を精製するのに要する精製コストが嵩む問題があった。 However, in the absorption-type solvent recovery method (so-called wet solvent recovery method) in which solvent vapor is dissolved in the spray water and separated from the exhaust gas, the recovered liquid (in order to recover the solvent vapor in the spray water) That is, the ratio of the water in the recovered water in which the solvent vapor is dissolved is large, and there is a problem that the purification cost required for purifying the solvent from the recovered liquid increases.
一方、溶剤蒸気を冷却して排気気体から凝縮分離する冷却式の溶剤回収方法(言わば、乾式の溶剤回収方法)では、水を用いず溶剤蒸気を回収することから上記吸収式(湿式)の溶剤回収方法に比べ回収液における水の比率を小さくし得るものの、この冷却式の溶剤回収方法にしても、室内使用条件などに原因して処理室に持ち込まれる水分が排気気体に含まれるため、冷却による溶剤蒸気の凝縮分離において排気気体中の水分も溶剤蒸気とともに凝縮してしまい、この為、吸収式(湿式)の溶剤回収方法に比べ小さくなるとは言え回収液(即ち、凝縮溶剤と凝縮水とを含む回収液)における水の比率が未だかなり大きく、やはり回収液から溶剤を精製するのに要する精製コストが嵩む同様の問題があった。 On the other hand, in the cooling type solvent recovery method (so-called dry type solvent recovery method) in which the solvent vapor is cooled and condensed and separated from the exhaust gas, the solvent vapor is recovered without using water. Although the ratio of water in the recovered liquid can be reduced compared to the recovery method, even with this cooling-type solvent recovery method, moisture brought into the processing chamber due to indoor use conditions etc. is contained in the exhaust gas. In the condensation separation of the solvent vapor by the water, the moisture in the exhaust gas is also condensed together with the solvent vapor. For this reason, the recovered liquid (that is, the condensed solvent and the condensed water) is reduced although it is smaller than the absorption type (wet type) solvent recovery method. The ratio of water in the recovered liquid containing the liquid is still quite large, and there is a similar problem that the purification cost required for purifying the solvent from the recovered liquid is increased.
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、合理的な改良により、基本的には冷却式の溶剤回収方法を採りながら上記問題を効果的に解消し得る溶剤回収方法及び溶剤回収装置を提供する点にある。 In view of this situation, the main object of the present invention is to provide a solvent recovery method and a solvent recovery apparatus that can effectively solve the above problems while adopting a cooling type solvent recovery method basically by rational improvement. In the point.
本発明の第1特徴構成は溶剤回収方法に係り、その特徴は、
溶剤蒸気の発生がある処理室に換気気体を供給するのに伴いその処理室から排出される排気気体を冷却手段により冷却することで、その排気気体に含まれる溶剤蒸気を凝縮させて排気気体中から分離回収する溶剤回収方法であって、
前記処理室に供給する換気気体を除湿手段により除湿して、その除湿により露点温度を低下させた換気気体を前記処理室に供給することで、前記冷却手段による冷却において溶剤蒸気とともに凝縮する排気気体中の水分の凝縮量を低減する点にある。
The first characteristic configuration of the present invention relates to a solvent recovery method,
By cooling the exhaust gas discharged from the processing chamber as it is supplied to the processing chamber where solvent vapor is generated by the cooling means, the solvent vapor contained in the exhaust gas is condensed and exhausted in the exhaust gas. A solvent recovery method for separating and recovering from
Exhaust gas that condenses with solvent vapor during cooling by the cooling means by supplying the ventilation gas supplied to the processing chamber with the dehumidifying means and dehumidifying the dehumidified temperature to the processing chamber. It is in the point which reduces the amount of condensation of the inside water.
つまり、この構成では、除湿手段による除湿により露点温度(換言すれば、絶対湿度)を低下させた低湿の換気気体を処理室に供給することで、そのような除湿による低湿化を行なっていない換気気体を処理室に供給するのに比べ、処理室における室内気体の露点温度を室内使用条件などに原因する処理室への水分持ち込みに抗して低く保つようにし、これにより、処理室から排出される排気気体の露点温度を低く保つ。 That is, in this configuration, by supplying low-humidity ventilation gas whose dew point temperature (in other words, absolute humidity) is reduced by dehumidification by the dehumidifying means to the processing chamber, ventilation that has not been reduced by such dehumidification is performed. Compared to supplying gas to the processing chamber, the dew point temperature of the indoor gas in the processing chamber is kept low against the introduction of moisture into the processing chamber due to indoor use conditions, etc., so that it is discharged from the processing chamber. Keep the exhaust gas dew point temperature low.
そして、このように排気気体の露点温度を低くして排気気体に含まれる水分量を低減することにより、凝縮分離工程での冷却手段による冷却において溶剤蒸気とともに凝縮してしまう水分量(即ち、凝縮水量)を低減する。 And by reducing the dew point temperature of the exhaust gas and reducing the amount of moisture contained in the exhaust gas in this way, the amount of moisture that condenses with the solvent vapor in the cooling by the cooling means in the condensation separation process (ie, condensation) Reduce the amount of water).
従って、この構成によれば、室内使用条件などに原因する処理室への水分の持ち込みにかかわらず、冷却による凝縮分離で回収される回収液における水の比率を効果的に低減することができ、これにより、従前に比べ回収液からの溶剤精製に要する精製コストを効果的に低減することができる。 Therefore, according to this configuration, it is possible to effectively reduce the ratio of water in the recovered liquid that is recovered by condensation and separation by cooling, regardless of whether moisture is brought into the processing chamber due to indoor use conditions or the like. Thereby, the purification cost required for solvent purification from the recovered liquid can be effectively reduced as compared with the conventional case.
ちなみに、従来の冷却式(乾式)の溶剤回収では、処理室に供給する換気気体に外気などの湿気のある新鮮気体を用いると、その新鮮気体の保有水分により処理室に持ち込まれる水分が大量になって回収液における水の比率が大幅に増大することから、実際上、処理室に供給する換気気体として外気などの湿気のある新鮮気体を用いることができず、この為、冷却により溶剤蒸気を分離回収した後の処理済の排気気体(即ち、溶剤蒸気の凝縮分離に伴う水分凝縮で低湿になった排気気体)を処理室に供給する換気気体として循環使用していたが、場合によっては、このような排気気体の循環使用が処理室の換気性の面や清浄度維持の面、あるいは、処理室で行なう処理の処理性能面や処理品質面などで望ましくない場合もある。 By the way, in conventional cooling (dry) solvent recovery, if a fresh gas with humidity such as outside air is used as the ventilation gas supplied to the processing chamber, a large amount of moisture is brought into the processing chamber due to the water content of the fresh gas. As a result, the ratio of water in the recovered liquid greatly increases, so in practice, fresh gas with humidity such as outside air cannot be used as the ventilation gas to be supplied to the processing chamber. The exhaust gas that has been treated after separation and recovery (that is, the exhaust gas that has become low humidity due to moisture condensation accompanying the condensation and separation of the solvent vapor) was circulated as a ventilation gas to be supplied to the processing chamber. Such circulation of exhaust gas may not be desirable in terms of ventilation of the processing chamber, maintaining cleanliness, processing performance and processing quality of processing performed in the processing chamber.
また、先述した従来の吸収式(湿式)の溶剤回収では、排気気体に水を散布して溶剤蒸気を分離回収するため、溶剤を分離した後の処理済の排気気体が極めて高湿なものとなり、この為、逆に処理済の排気気体を処理室に供給する換気気体として利用することができない問題があった。 Further, in the conventional absorption (wet) solvent recovery described above, water is sprayed on the exhaust gas to separate and recover the solvent vapor, so that the treated exhaust gas after separating the solvent becomes extremely humid. For this reason, there has been a problem that, on the contrary, the treated exhaust gas cannot be used as a ventilation gas for supplying the treatment chamber.
これらのことに対し、上記構成によれば、基本的には排気気体の冷却により溶剤蒸気を凝縮分離する方式を採りながらも、上記の如く処理室への水分の持ち込みにかかわらず回収液における水の比率を効果的に低減することができるから、処理室に供給する換気気体として外気などの湿気のある新鮮気体を用いることも可能になり、また言うまでもなく、処理室に供給する換気気体として冷却により溶剤蒸気を凝縮分離した処理済の排気気体を用いることも可能であり、この点で、従来の吸収式や冷却式の溶剤回収方法に比べ、種々の実施条件に対する対応性の面や汎用性の面でも一層有利にすることができる。 On the other hand, according to the above configuration, the water in the recovered liquid is basically used regardless of whether moisture is brought into the processing chamber as described above, while adopting a method of condensing and separating the solvent vapor by cooling the exhaust gas. Therefore, it is possible to use fresh, humid air such as outside air as the ventilation gas supplied to the processing chamber, and of course, cooling as the ventilation gas supplied to the processing chamber. It is also possible to use treated exhaust gas that has condensed and separated the solvent vapor by means of this, and in this respect, it is more versatile and versatile than conventional absorption and cooling solvent recovery methods. This can be made more advantageous.
なお、上記構成の実施において、排気気体の冷却により溶剤蒸気を凝縮分離する冷却手段には種々の形式、構造のものを採用することができ、また、その冷却源も冷水やブラインあるいは冷凍回路の冷媒など種々のものを使用することができる。 In the implementation of the above configuration, the cooling means for condensing and separating the solvent vapor by cooling the exhaust gas can adopt various types and structures, and the cooling source thereof is cold water, brine, or a refrigeration circuit. Various things, such as a refrigerant | coolant, can be used.
換気気体を除湿する除湿手段も冷却除湿方式のものや吸着除湿方式のもの、あるいは化学的除湿方式のものなど、種々の除湿方式のものを採用することができ、その構造もどのような構造であってもよい。 As the dehumidifying means for dehumidifying the ventilation gas, various dehumidifying methods such as a cooling dehumidifying method, an adsorption dehumidifying method, and a chemical dehumidifying method can be adopted. There may be.
処理室に供給する換気気体は空気に限られるものではなく、不活性ガスや無酸素ガス、あるいは、殺菌作用や薬効を備える特殊ガスなど、処理室での処理内容に応じ種々の気体を使用することができる。 The ventilation gas supplied to the processing chamber is not limited to air, and various gases are used depending on the processing content in the processing chamber, such as inert gas, oxygen-free gas, or special gas with sterilization and medicinal effects. be able to.
本発明の第2特徴構成は、第1特徴構成による溶剤回収方法の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記除湿手段の出口側若しくは入口側における前記換気気体の露点温度、又は、前記処理室から排出される排気気体の露点温度に応じて、前記除湿手段による換気気体からの除湿量を調整する点にある。
The second characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for carrying out the solvent recovery method according to the first characteristic configuration.
The amount of dehumidification from the ventilation gas by the dehumidifying means is adjusted according to the dew point temperature of the ventilation gas at the outlet side or the inlet side of the dehumidifying means or the dew point temperature of the exhaust gas discharged from the processing chamber. is there.
つまり、前述の第1特徴構成による溶剤回収方法では、除湿手段による換気気体からの除湿量を大きくして処理室における室内気体の露点温度(絶対湿度)を低くするほど、処理室から排出される排気気体の露点温度を低くして、溶剤蒸気とともに凝縮する排気気体中の水分の凝縮量を小さくすることができ、場合によっては、溶剤蒸気とともに凝縮する水分量をほぼゼロにして、回収液における水の比率が1%以下ないしそれよりも更に小さい状態を安定的に維持することもできる。 That is, in the solvent recovery method according to the first characteristic configuration described above, the amount of dehumidification from the ventilation gas by the dehumidifying means is increased, and the lower the dew point temperature (absolute humidity) of the indoor gas in the processing chamber, the more exhausted from the processing chamber. The dew point temperature of the exhaust gas can be lowered to reduce the amount of moisture in the exhaust gas that condenses with the solvent vapor. In some cases, the amount of moisture condensed with the solvent vapor can be reduced to almost zero, It is also possible to stably maintain a water ratio of 1% or less or even smaller.
しかし、溶剤蒸気とともに凝縮する水分量の低減には処理室に持ち込まれる水分量に応じた限界があり、その限界以上に換気気体に対する除湿手段の除湿能力を増大させることはエネルギロスとなる。 However, there is a limit corresponding to the amount of moisture brought into the processing chamber in reducing the amount of moisture condensed with the solvent vapor, and increasing the dehumidifying capacity of the dehumidifying means for the ventilation gas beyond that limit results in energy loss.
この点、上記構成によれば、除湿手段の出口側若しくは入口側における換気気体の露点温度、又は、処理室から排出される排気気体の露点温度に応じて除湿手段による換気気体からの除湿量を調整するから、略言すれば、冷却手段による冷却において溶剤蒸気とともに凝縮する水分量が許容範囲内になるように状況に応じて除湿手段による換気気体からの除湿量を調整するから、溶剤蒸気とともに凝縮する水分量の低減を十分かつ確実にしながらも、除湿手段の除湿能力を必要以上に増大させることによるエネルギロスを回避することができる。 In this regard, according to the above configuration, the amount of dehumidification from the ventilation gas by the dehumidifying means is determined according to the dew point temperature of the ventilation gas at the outlet side or the inlet side of the dehumidifying means or the dew point temperature of the exhaust gas discharged from the processing chamber. In short, the dehumidification amount from the ventilation gas by the dehumidifying means is adjusted according to the situation so that the amount of moisture condensed with the solvent vapor in the cooling by the cooling means is within the allowable range. While sufficiently and reliably reducing the amount of moisture to be condensed, energy loss caused by increasing the dehumidifying capacity of the dehumidifying means more than necessary can be avoided.
本発明の第3特徴構成は溶剤回収装置に係り、その特徴は、
溶剤蒸気の発生がある処理室に換気気体を供給するのに伴いその処理室から排出される排気気体を冷却手段により冷却することで、その排気気体に含まれる溶剤蒸気を凝縮させて排気気体中から分離回収する溶剤回収装置であって、
前記処理室に供給する換気気体を除湿して、その除湿により露点温度を低下させた換気気体を前記処理室に供給することで、前記冷却手段による冷却において溶剤蒸気とともに凝縮する排気気体中の水分の凝縮量を低減する除湿手段を設けてある点にある。
The third characteristic configuration of the present invention relates to a solvent recovery apparatus,
By cooling the exhaust gas discharged from the processing chamber as it is supplied to the processing chamber where solvent vapor is generated by the cooling means, the solvent vapor contained in the exhaust gas is condensed and exhausted in the exhaust gas. A solvent recovery device for separating and recovering from
Moisture in the exhaust gas that condenses with the solvent vapor in cooling by the cooling means by dehumidifying the ventilation gas supplied to the treatment chamber and supplying the treatment chamber with the ventilation gas whose dew point temperature has been lowered by dehumidification. The dehumidifying means for reducing the amount of condensation is provided.
つまり、前述の第1特徴構成による溶剤回収方法はこの構成の溶剤回収装置によって実施が可能になる。 That is, the solvent recovery method according to the first characteristic configuration described above can be implemented by the solvent recovery apparatus having this configuration.
従って、この構成の溶剤回収装置によれば、前述の第1特徴構成による溶剤回収方法の実施により、前述の如く、処理室への水分の持ち込みにかかわらず、冷却による凝縮分離で回収される回収液における水の比率を効果的に低減することができて、従前に比べ回収液からの溶剤精製に要する精製コストを効果的に低減することができる。 Therefore, according to the solvent recovery apparatus of this configuration, by the execution of the solvent recovery method according to the first characteristic configuration described above, the recovery recovered by the condensation separation by cooling, as described above, regardless of the moisture brought into the processing chamber. The ratio of water in the liquid can be effectively reduced, and the purification cost required for solvent purification from the recovered liquid can be effectively reduced as compared with the past.
そしてまた、処理室に供給する換気気体として外気などの湿気のある新鮮気体を用いることも可能になり、また言うまでもなく、処理室に供給する換気気体として冷却により溶剤蒸気を凝縮分離した処理済の排気気体を用いることも可能であり、この点で、従来の吸収式や冷却式の溶剤回収方法に比べ、種々の実施条件に対する対応性の面や汎用性の面でも一層有利にすることができる。 In addition, it becomes possible to use fresh gas with moisture such as outside air as the ventilation gas supplied to the processing chamber, and it goes without saying that the processed solvent vapor is condensed and separated by cooling as the ventilation gas supplied to the processing chamber. Exhaust gas can also be used, and in this respect, it can be more advantageous in terms of compatibility with various implementation conditions and versatility than conventional absorption and cooling solvent recovery methods. .
本発明の第4特徴構成は、第3特徴構成による溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記除湿手段の出口側又は入口側における前記換気気体の検出露点温度に基づき前記除湿手段による換気気体からの除湿量を調整して、前記処理室に供給する換気気体の露点温度又は前記処理室から排出される排気気体の露点温度を設定露点温度に調整する除湿制御手段を設けてある点にある。
The fourth feature configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to the third feature configuration,
Adjusting the amount of dehumidification from the ventilation gas by the dehumidifying means based on the detected dew point temperature of the ventilation gas at the outlet side or the inlet side of the dehumidifying means, and from the dew point temperature of the ventilation gas supplied to the processing chamber or from the processing chamber Dehumidification control means for adjusting the dew point temperature of the exhaust gas to be discharged to the set dew point temperature is provided.
つまり、この構成によれば、設定露点温度として冷却手段による冷却により溶剤蒸気とともに凝縮する水分量が許容範囲内になる露点温度を設定しておくことで、除湿制御手段によるフィードバック方式やフィードフォワード方式などでの上記の如き除湿量の調整により、換気気体の露点温度又は排気気体(室内気体であってもよい)の露点温度を設定露点温度に調整して、溶剤蒸気とともに凝縮する水分量を許容範囲内に自動的に調整することができ、これにより、回収液における水比率の低減を確実かつ安定的に達成することができる。 In other words, according to this configuration, by setting a dew point temperature at which the amount of moisture condensed together with the solvent vapor by cooling by the cooling means falls within an allowable range as the set dew point temperature, a feedback method or a feed forward method by the dehumidification control means By adjusting the dehumidification amount as described above, the dew point temperature of the ventilation gas or the dew point temperature of the exhaust gas (which may be indoor gas) is adjusted to the set dew point temperature to allow the amount of moisture condensed with the solvent vapor It is possible to automatically adjust within the range, and thereby it is possible to reliably and stably achieve a reduction in the water ratio in the recovered liquid.
なお、この構成の実施において、溶剤蒸気を凝縮分離した処理済の排気気体を換気気体としても用いる場合であって、排気気体の露点温度を設定露点温度に調整する方式を採る場合、露点温度を設定露点温度に調整する排気気体は冷却手段による冷却前の排気気体に限らず、換気気体として除湿手段で除湿する段階の排気気体であってもよい。 In the implementation of this configuration, when the treated exhaust gas obtained by condensing and separating the solvent vapor is also used as the ventilation gas, and when a method of adjusting the dew point temperature of the exhaust gas to the set dew point temperature is adopted, the dew point temperature is set. The exhaust gas to be adjusted to the set dew point temperature is not limited to the exhaust gas before cooling by the cooling means, but may be exhaust gas at the stage of dehumidification by the dehumidifying means as ventilation gas.
本発明の第5特徴構成は、第3特徴構成による溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記処理室から排出される排気気体の検出露点温度に基づき前記除湿手段による換気気体からの除湿量を調整して、前記処理室から排出される排気気体の露点温度を設定露点温度に調整する除湿制御手段を設けてある点にある。
The fifth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to the third characteristic configuration, and the characteristic is as follows:
Dehumidification by adjusting the dehumidification amount from the ventilation gas by the dehumidifying means based on the detected dew point temperature of the exhaust gas discharged from the processing chamber, and adjusting the dew point temperature of the exhaust gas discharged from the processing chamber to the set dew point temperature The control means is provided.
つまり、この構成によれば、設定露点温度として冷却手段による冷却により溶剤蒸気とともに凝縮する水分量が許容範囲内になる露点温度を設定しておくことで、除湿制御手段によるフィードバック方式などでの上記の如き除湿量の調整により、排気気体(室内気体であってもよい)の露点温度を設定露点温度に調整して、溶剤蒸気とともに凝縮する水分量を許容範囲内に自動的に調整することができ、これにより、回収液における水比率の低減を確実かつ安定的に達成することができる。 That is, according to this configuration, by setting the dew point temperature at which the amount of water condensed together with the solvent vapor by the cooling by the cooling unit falls within the allowable range as the set dew point temperature, the above-described feedback method by the dehumidification control unit and the like By adjusting the dehumidification amount as described above, the dew point temperature of the exhaust gas (which may be indoor gas) can be adjusted to the set dew point temperature, and the amount of moisture condensed with the solvent vapor can be automatically adjusted within the allowable range. Thus, a reduction in the water ratio in the recovered liquid can be achieved reliably and stably.
また特に、この構成では排気気体の検出露点温度に基づき除湿量を調整するから、換気気体による処理室への水分持ち込みとは別の原因で処理室に持ち込まれる水分の量変化が大きい場合でも上記水比率の低減機能を高く維持することができる。 In particular, in this configuration, since the dehumidification amount is adjusted based on the detected dew point temperature of the exhaust gas, even if the amount of moisture brought into the processing chamber due to a different cause from the introduction of moisture into the processing chamber by the ventilation gas is large, The water ratio reduction function can be maintained high.
なお、この構成の実施においても、溶剤蒸気を凝縮分離した処理済の排気気体を換気気体としても用いる場合、露点温度を設定露点温度に調整する排気気体は冷却手段による冷却前の排気気体に限らず、換気気体として除湿手段で除湿する段階の排気気体であってもよい。 Even in the implementation of this configuration, when the treated exhaust gas obtained by condensing and separating the solvent vapor is also used as the ventilation gas, the exhaust gas for adjusting the dew point temperature to the set dew point temperature is limited to the exhaust gas before cooling by the cooling means. Instead, the exhaust gas at the stage of dehumidification by the dehumidifying means may be used as the ventilation gas.
本発明の第6特徴構成は、第3〜第5特徴構成のいずれかによる溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記除湿手段により除湿した換気気体を加熱する換気気体加熱手段を設け、この換気気体加熱手段により加熱した除湿後の換気気体を前記処理室に供給することで、前記処理室において溶剤を加熱蒸発させて溶剤蒸気を発生させる構成にしてある点にある。
6th characteristic structure of this invention specifies embodiment suitable for implementation of the solvent collection | recovery apparatus by either of the 3rd-5th characteristic structure, The characteristic is
Ventilation gas heating means for heating the ventilation gas dehumidified by the dehumidification means is provided, and the solvent gas is heated and evaporated in the processing chamber by supplying the ventilation gas after dehumidification heated by the ventilation gas heating means to the processing chamber. Therefore, the solvent vapor is generated.
つまり、この構成によれば、上記の如く除湿後の加熱換気気体を処理室に供給することで処理室において溶剤を加熱蒸発させて溶剤蒸気を発生させるから、その溶剤蒸発により処理物から溶剤を除去する溶剤除去処理などを処理室において行なう場合に好適な溶剤回収装置にすることができる。 That is, according to this configuration, by supplying the heated ventilation gas after dehumidification to the processing chamber as described above, the solvent is heated and evaporated in the processing chamber to generate a solvent vapor. It is possible to provide a solvent recovery apparatus suitable for performing a solvent removal process to be removed in a processing chamber.
そしてまた、この構成によれば、回収液における水比率の低減を目的として除湿手段により除湿した換気気体を換気気体加熱手段により加熱するから、除湿を行なっていない換気気体を換気気体加熱手段により加熱するのに比べ、換気気体加熱手段での必要加熱量を除湿手段による除湿水分量の分だけ低減することができ、この点で省エネルギ化の面においても有利にすることができる。 Further, according to this configuration, the ventilation gas dehumidified by the dehumidifying means is heated by the ventilation gas heating means for the purpose of reducing the water ratio in the recovered liquid, so that the ventilation gas not dehumidified is heated by the ventilation gas heating means. Compared to this, the required amount of heating in the ventilation gas heating means can be reduced by the amount of dehumidified moisture by the dehumidifying means, and this can be advantageous in terms of energy saving.
本発明の第7特徴構成は、第3〜第6特徴構成のいずれかによる溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記除湿手段として、除湿用吸着剤を保持する除湿用吸着ロータの各部をその吸着ロータの回転により換気気体の通風域である除湿用吸着域と除湿用再生気体の通風域である除湿用脱着域とに交互に位置させる吸着ロータ式除湿装置を設けてある点にある。
The seventh characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to any one of the third to sixth characteristic configurations,
As the dehumidifying means, each part of the dehumidifying adsorption rotor holding the dehumidifying adsorbent is dehumidified and desorbed by the rotation of the adsorption rotor, and the dehumidifying desorption area which is the ventilation gas ventilation area and the dehumidifying regeneration gas ventilation area. And a suction rotor type dehumidifying device that is alternately positioned.
つまり、この構成によれば、例えば除湿手段として冷却除湿式の除湿装置を用いるのに比べ、装置の簡素化や装置コストの面で、また、省エネルギ化の面で有利にすることができる。 That is, according to this configuration, for example, compared to using a cooling and dehumidifying dehumidifier as the dehumidifying means, it is possible to make the apparatus more advantageous in terms of simplification of the apparatus, apparatus cost, and energy saving.
即ち、冷却除湿式の除湿装置では、換気気体を冷却する冷却器の他、その冷却器に供給する冷熱媒を冷却する冷熱源装置や冷熱媒等の配管系を要するが、上記の如き吸着ロータ式除湿装置では、そのような冷熱源装置や配管系を不要にすることができ、これにより、装置の簡素化や装置コストの面で、また、省エネルギ化の面で一層有利にすることができる。 That is, in the dehumidifying device for cooling and dehumidifying, a cooling system that cools the ventilation gas, a cooling heat source device that cools the cooling medium supplied to the cooling device, and a piping system such as a cooling medium are required. In the type dehumidifier, such a cold heat source device and a piping system can be eliminated, and this can be made more advantageous in terms of simplification of the device, cost of the device, and energy saving. it can.
そしてまた、前記した第6特徴構成を併行実施する場合、冷却除湿式の除湿装置では換気気体を冷却するため、除湿後の換気空気を処理室への供給に適した所要温度まで換気気体加熱手段で加熱するのに換気気体加熱手段での必要加熱量が大幅に増大するが、吸着ロータ式除湿装置であれば、そのような必要加熱量の増大を招くことがなく、むしろ、除湿用吸着剤による水分吸着で発生する吸着熱の分、換気気体加熱手段での必要加熱量を低減することができる。 In addition, when the sixth characteristic configuration described above is performed concurrently, the dehumidifying device for cooling and dehumidifying cools the ventilation gas, and therefore the ventilation gas heating means to the required temperature suitable for supplying the dehumidified ventilation air to the processing chamber However, if the adsorption rotor type dehumidifier is used, it will not cause such an increase in the required heating amount, but rather the adsorbent for dehumidification. The amount of heat necessary for the ventilation gas heating means can be reduced by the amount of heat of adsorption generated by moisture adsorption by the gas.
本発明の第8特徴構成は、第7特徴構成による溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記除湿用再生気体として前記換気気体加熱手段により加熱した除湿後の換気気体の一部を前記吸着ロータ式除湿装置における前記除湿用脱着域に通風する構成にしてある点にある。
The eighth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to the seventh characteristic configuration,
A part of the dehumidified ventilation gas heated by the ventilation gas heating means as the dehumidifying regeneration gas is configured to be passed through the dehumidifying desorption region in the adsorption rotor type dehumidifying device.
つまり、この構成によれば、除湿用再生気体として換気気体加熱手段により加熱した除湿後の換気気体の一部を利用するから、換気気体加熱手段とは別に専用の大型な再生気体加熱手段を設けて、その専用の再生気体加熱手段により除湿用再生気体を加熱生成するのに比べ、装置構成を簡素化することができて装置コストを低減することができる。 That is, according to this configuration, since a part of the ventilation gas after dehumidification heated by the ventilation gas heating means is used as the regeneration gas for dehumidification, a dedicated large regeneration gas heating means is provided separately from the ventilation gas heating means. Thus, compared with the case where the regeneration gas for dehumidification is heated and generated by the dedicated regeneration gas heating means, the device configuration can be simplified and the device cost can be reduced.
また、換気気体加熱手段による加熱換気気体は除湿手段(吸着ロータ式除湿装置)により除湿した気体であるから、この除湿後の加熱換気気体の一部を除湿用再生気体とすることにより、吸着ロータ式除湿装置における除湿用脱着域での除湿用吸着剤からの吸着水分の脱着も効果的に促進することができて、吸着ロータ式除湿装置の除湿性能も高めることができ、その分、吸着ロータ式除湿装置を小型化し得ることからも装置コストを低減することができる。 Further, since the heated ventilation gas by the ventilation gas heating means is the gas dehumidified by the dehumidification means (adsorption rotor type dehumidifier), the adsorption rotor is obtained by using a part of the heated ventilation gas after dehumidification as a dehumidification regeneration gas. Desorption of adsorbed moisture from the dehumidifying adsorbent in the dehumidifying desorption region of the dehumidifying device can be effectively promoted, and the dehumidifying performance of the adsorbing rotor dehumidifying device can be enhanced. Since the type dehumidifier can be downsized, the apparatus cost can be reduced.
なお、この構成の実施においては、換気気体加熱手段により加熱した除湿後の換気気体の一部を除湿用再生気体として吸着ロータ式除湿装置における除湿用脱着域に送る送給路に補助的な再生気体加熱手段を設け、必要に応じ、この補助的な再生気体加熱手段により除湿用再生気体の温度高めるようにしてもよい。 In the implementation of this configuration, a part of the ventilated gas after dehumidification heated by the ventilating gas heating means is used as a dehumidifying regeneration gas for auxiliary regeneration in the feed path that is sent to the dehumidifying desorption area in the adsorption rotor type dehumidifying device. A gas heating means may be provided, and the temperature of the dehumidifying regeneration gas may be increased by the auxiliary regeneration gas heating means if necessary.
また、このような補助的な再生気体加熱手段を設ける場合、吸着ロータ式除湿装置における除湿負荷の変化に応じ補助的な再生気体加熱手段の加熱出力を自動調整(自動停止を含む)するようにして、省エネルギ化を図るようにするのが望ましい。 Further, when such an auxiliary regeneration gas heating means is provided, the heating output of the auxiliary regeneration gas heating means is automatically adjusted (including automatic stop) according to the change of the dehumidification load in the adsorption rotor type dehumidifier. Therefore, it is desirable to save energy.
本発明の第9特徴構成は、第7特徴構成による溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記除湿用再生気体として、前記冷却手段による冷却により溶剤蒸気を凝縮分離した浄化済の排気気体の一部を除湿用の再生気体加熱手段により加熱して前記吸着ロータ式除湿装置における前記除湿用脱着域に通風する構成にしてある点にある。
The ninth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to the seventh characteristic configuration.
As the dehumidifying regeneration gas, a part of the purified exhaust gas obtained by condensing and separating the solvent vapor by cooling by the cooling means is heated by the regeneration gas heating means for dehumidification, so that the desorption for dehumidification in the adsorption rotor type dehumidifier is performed. The point is that it is configured to ventilate the area.
つまり、この構成によれば、処理室に供給する換気気体の除湿に加え、既に僅かな凝縮量に低減されているとは言え溶剤蒸気の凝縮分離に伴う水分凝縮によっても露点温度(絶対湿度)を低下させた低湿の浄化済排気気体の一部を除湿用の再生気体加熱手段により加熱して除湿用再生気体に利用するから、吸着ロータ式除湿装置における除湿用脱着域での除湿用吸着剤からの吸着水分の脱着を効果的に促進することができて、吸着ロータ式除湿装置の除湿性能を高めることができ、その分、吸着ロータ式除湿装置を小型化して装置コストを低減することができる。 That is, according to this configuration, in addition to the dehumidification of the ventilation gas supplied to the processing chamber, the dew point temperature (absolute humidity) is also caused by moisture condensation accompanying the condensation and separation of the solvent vapor, although it has already been reduced to a small amount of condensation. Part of the low-humidity purified exhaust gas that has reduced the humidity is heated by the regeneration gas heating means for dehumidification and used as the regeneration gas for dehumidification, so the dehumidifying adsorbent in the desorption area for dehumidification in the adsorption rotor type dehumidifier It is possible to effectively promote the desorption of adsorbed moisture from the water, and to improve the dehumidifying performance of the adsorption rotor type dehumidifier, and to reduce the device cost by reducing the size of the adsorption rotor type dehumidifier. it can.
なお、第7〜第9特徴構成のいずれかの実施において、吸着ロータ式除湿装置における除湿用脱着域の吸着ロータ回転方向における下手側で除湿用脱着域と除湿用吸着域との間にパージ域を設け、このパージ域において上記の如き低湿の浄化済排気気体の一部をパージ用気体として脱着後の吸着ロータ部分に通過させるようにすれば、除湿用吸着域での除湿用吸着剤の吸着性能を一層効果的に高めることができて、吸着ロータ式除湿装置の換気気体に対する除湿性能をさらに高めることができる。 In the implementation of any one of the seventh to ninth characteristic configurations, the purge area between the dehumidification desorption area and the dehumidification adsorption area on the lower side in the rotation direction of the adsorption rotor of the dehumidification desorption area in the adsorption rotor type dehumidifier In this purge area, if a part of the low-humidity purified exhaust gas as described above is passed as a purge gas to the adsorbing rotor part after desorption, the adsorption of the dehumidifying adsorbent in the dehumidifying adsorption area The performance can be increased more effectively, and the dehumidification performance of the adsorption rotor type dehumidifier with respect to the ventilation gas can be further enhanced.
本発明の第10特徴構成は、第9特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記冷却手段は、前記処理室から排出される排気気体を予冷用熱媒と熱交換させて予冷する予冷手段と、この予冷手段により予冷した排気気体を前記予冷用熱媒より低温の本冷用熱媒と熱交換させて本冷する本冷手段とを備える構成にし、
前記予冷手段での排気気体の予冷で昇温した前記予冷用熱媒を再生気体加熱用の熱媒として前記除湿用の再生気体加熱手段に供給する構成にしてある
The tenth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the ninth characteristic configuration.
The cooling means includes a precooling means for precooling the exhaust gas discharged from the processing chamber by heat exchange with a precooling heat medium, and the exhaust gas precooled by the precooling means for main cooling at a lower temperature than the precooling heat medium. It is configured to include a main cooling means for performing main cooling by heat exchange with the heat medium,
The pre-cooling heat medium heated by the pre-cooling of the exhaust gas in the pre-cooling means is configured to be supplied to the regeneration gas heating means for dehumidification as a heat medium for heating the regeneration gas.
つまり、この構成によれば、予冷手段での排気気体の予冷で昇温した予冷用熱媒の保有熱(即ち、排気気体からの回収熱)を利用して除湿用の再生気体加熱手段で除湿用再生気体(浄化済の排気気体)を加熱するから、バーナや電気ヒータあるいはボイラで生成した蒸気などを用いて除湿用再生気体を加熱するのに比べ、装置の消費エネルギを効果的に低減することができ、省エネルギ化の面でさらに有利にすることができる。 That is, according to this configuration, dehumidification is performed by the regeneration gas heating means for dehumidification using the retained heat of the pre-cooling heat medium that has been heated by the pre-cooling of the exhaust gas by the pre-cooling means (that is, the recovered heat from the exhaust gas). Since the regeneration gas (purified exhaust gas) is heated, the energy consumption of the device is effectively reduced compared to heating the regeneration gas for dehumidification using steam generated by a burner, electric heater, or boiler. This can be further advantageous in terms of energy saving.
そして、この構成は処理室に供給する換気気体を換気気体加熱手段で加熱する前述第6特徴構成との並行実施において特に有効である。 This configuration is particularly effective in the parallel implementation with the sixth characteristic configuration in which the ventilation gas supplied to the processing chamber is heated by the ventilation gas heating means.
なお、この構成の実施において除湿用の再生気体加熱手段は、昇温した予冷用熱媒のみにより除湿用再生気体を加熱する構成に限らず、昇温した予冷用熱媒により除湿用再生気体を加熱(予熱)する前加熱手段と、この前加熱手段により加熱(予熱)した除湿用再生気体を必要に応じてさらに加熱する補助的な後加熱手段とを備える構成にしてもよい。 In the implementation of this configuration, the regeneration gas heating means for dehumidification is not limited to the configuration in which the dehumidification regeneration gas is heated only by the heated precooling heating medium, but the dehumidification regeneration gas is heated by the heated precooling heating medium. A preheating means for heating (preheating) and an auxiliary postheating means for further heating the dehumidifying regeneration gas heated (preheated) by the preheating means may be provided as necessary.
また、このような補助的な後加熱手段を設ける場合、吸着ロータ式除湿装置における除湿負荷の変化に応じ後加熱手段の加熱出力を自動調整(自動停止を含む)するようにして、省エネルギ化を図るようにするのが望ましい。 In addition, when such an auxiliary post-heating means is provided, the heating output of the post-heating means is automatically adjusted (including automatic stop) according to the change of the dehumidification load in the adsorption rotor type dehumidifier, thereby saving energy. It is desirable to plan.
本発明の第11特徴構成は、第10特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記予冷手段での排気気体の予冷で昇温した前記予冷用熱媒を再生気体加熱用の熱媒として前記除湿用の再生気体加熱手段に供給するとともに、換気気体加熱用の熱媒として前記換気気体加熱手段に供給する構成にしてある点にある。
The eleventh feature configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the tenth feature configuration.
The precooling heating medium heated by the precooling of the exhaust gas in the precooling means is supplied to the regeneration gas heating means for dehumidification as a heating medium for regeneration gas heating, and the ventilation is used as a heating medium for ventilation gas heating. The configuration is such that the gas is supplied to the gas heating means.
つまり、この構成によれば、除湿用の再生気体加熱手段での除湿用再生気体の加熱と換気気体加熱手段での換気気体の加熱との両方に昇温した予冷用熱媒の保有熱を利用するから、その保有熱の利用度(即ち、排気気体からの回収熱の利用度)を一層高めることができ、省エネルギ化の面で一層有利することができる。 In other words, according to this configuration, the retained heat of the precooling heat medium that has been heated is used for both heating of the dehumidifying regeneration gas in the dehumidifying regeneration gas heating means and heating of the ventilation gas in the ventilation gas heating means. Therefore, the utilization of the retained heat (that is, the utilization of the recovered heat from the exhaust gas) can be further increased, which can be further advantageous in terms of energy saving.
予冷手段での排気気体の予冷で昇温した予冷用熱媒を除湿用の再生気体加熱手段と換気気体加熱手段とに供給するには、昇温予冷用熱媒を分流して除湿用の再生気体加熱手段と換気気体加熱手段とに並列的に供給する方式や、昇温予冷用熱媒を除湿用の再生気体加熱手段と換気気体加熱手段とに直列的に供給する方式、あるいはまた、それら並列方式と直列方式とを組み合わせて、昇温予冷用熱媒の一部を除湿用の再生気体加熱手段に供給するとともに、昇温予冷用熱媒の他部と除湿用の再生気体加熱手段で利用した後の昇温予冷用熱媒とを合流させて換気気体加熱手段に供給する方式など、種々の供給方式を採ることができる。 In order to supply the precooling heating medium heated by the precooling of the exhaust gas in the precooling means to the regeneration gas heating means and the ventilation gas heating means for dehumidification, the heating medium for preheating is shunted and the regeneration for dehumidification is performed. A method of supplying the gas heating means and the ventilation gas heating means in parallel, a method of supplying the heating medium for preheating and cooling in series to the regeneration gas heating means and the ventilation gas heating means for dehumidification, or these In combination with the parallel system and the serial system, a part of the heating medium for preheating and cooling is supplied to the regeneration gas heating means for dehumidification, and the other part of the heating medium for heating and precooling and the regeneration gas heating means for dehumidification are used. Various supply systems such as a system in which the heating medium for preheating and cooling after use is combined and supplied to the ventilation gas heating means can be adopted.
そして特に、後者の2つの方式であれば、昇温予冷用熱媒の保有熱の利用温度範囲(換言すれば、保有熱利用による昇温予冷用熱媒の温度降下幅)を拡大して保有熱の利用度を高めることもできる。 In particular, with the latter two methods, the temperature range of the retained heat of the heating medium for preheating and cooling (in other words, the temperature drop width of the heating medium for preheating and cooling by using the retained heat) is expanded and retained. Heat utilization can also be increased.
なお、第10又は第11特徴構成の実施においては、昇温予冷用熱媒の供給先である除湿用の再生気体加熱手段や換気気体加熱手段と除湿手段における予冷手段との間で予冷用熱媒を循環させるようにしてもよい。 In the implementation of the tenth or eleventh characteristic configuration, the precooling heat is supplied between the dehumidification regeneration gas heating means or the ventilation gas heating means and the precooling means in the dehumidification means to which the heating medium for preheating is supplied. The medium may be circulated.
本発明の第12特徴構成は、第3〜第11特徴構成のいずれかによる溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記冷却手段による冷却により溶剤蒸気を凝縮分離した浄化済の排気気体を前記処理室に供給する換気気体として用いる循環換気状態と、
外部からの新鮮気体を前記処理室に供給する換気気体として用いる新鮮換気状態と、
前記浄化済の排気気体と前記新鮮気体との混合気体を前記処理室に供給する換気気体として用いる混合換気状態とのうち、
少なくとも2つの換気状態の選択的な切り換えを行なう切換手段を設けてある点にある。
The twelfth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to any one of the third to eleventh characteristic configurations.
A circulation ventilation state in which purified exhaust gas obtained by condensing and separating solvent vapor by cooling by the cooling means is used as a ventilation gas for supplying the processing chamber;
A fresh ventilation state used as a ventilation gas for supplying fresh gas from the outside to the processing chamber;
Among the mixed ventilation state used as a ventilation gas for supplying a mixed gas of the purified exhaust gas and the fresh gas to the processing chamber,
A switching means for selectively switching at least two ventilation states is provided.
つまり、この構成によれば、上記切換手段による切り換えにより、上記の如き循環換気状態と新鮮換気状態と混合換気状態のうち少なくとも2つの換気状態を必要に応じて択一的に実施することができるから、使用条件の変化に対する対応性の面や汎用性の面などで一層優れた溶剤回収装置となる。 That is, according to this configuration, at least two ventilation states among the circulation ventilation state, the fresh ventilation state, and the mixed ventilation state as described above can be selectively performed as necessary by switching by the switching unit. Therefore, the solvent recovery device is more excellent in terms of compatibility with changes in use conditions and versatility.
なお、上記混合換気状態を選択的に実施できるようにする場合、その混合換気状態において浄化済の排気気体と新鮮気体との混合比率の調整も行なえるようにするのが望ましい。 When the mixed ventilation state can be selectively implemented, it is desirable that the mixing ratio of purified exhaust gas and fresh gas can be adjusted in the mixed ventilation state.
また、第9〜第12特徴構成の実施において、除湿用再生気体や換気気体として用いる浄化済の排気気体は、冷却により溶剤蒸気を凝縮分離した後、付加的な浄化手段(例えば、後述する第13特徴構成の濃縮回収手段など)によりさらに浄化処理したものであってもよい。 Further, in the implementation of the ninth to twelfth characteristic configurations, the purified exhaust gas used as the dehumidifying regeneration gas or the ventilation gas condenses and separates the solvent vapor by cooling, and then additional purification means (for example, a later-described first purification gas). The product may be further purified by a 13-characterized concentration collection means or the like.
本発明の第13特徴構成は、第3〜第12特徴構成のいずれかによる溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記冷却手段による冷却により溶剤蒸気を凝縮分離した後の排気気体に残存する溶剤蒸気を濃縮状態で排気気体から分離する濃縮回収手段として、
残存溶剤蒸気を吸着する濃縮用吸着剤を保持する濃縮用吸着ロータの各部をその吸着ロータの回転により、前記冷却手段で溶剤蒸気を凝縮分離した後の排気気体の通風域である濃縮用吸着域と濃縮用再生気体の通風域である濃縮用脱着域とに交互に位置させる吸着ロータ式濃縮装置を設け、
この吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用脱着域を通過して高濃度の脱着溶剤蒸気を含む濃縮状態になった濃縮用再生気体を前記処理室からの排気空気とともに前記冷却手段に送る構成にしてある点にある。
The thirteenth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to any one of the third to twelfth characteristic configurations,
As a concentration recovery means for separating the solvent vapor remaining in the exhaust gas after condensation and separation of the solvent vapor by cooling by the cooling means from the exhaust gas in a concentrated state,
Concentration adsorption area, which is a ventilation area for exhaust gas after each part of the concentration adsorption rotor holding the concentration adsorbent for adsorbing residual solvent vapor is condensed and separated by the cooling means by the rotation of the adsorption rotor. And an adsorption rotor type concentrator that is alternately positioned in the desorption area for concentration, which is the ventilation area of the regeneration gas for concentration,
In this adsorption rotor type concentrator, the concentrated regeneration gas that has passed through the concentration desorption zone and has become a concentrated state containing high concentration desorption solvent vapor is sent to the cooling means together with the exhaust air from the processing chamber. In the point.
つまり、この構成によれば、冷却により溶剤蒸気を分離した後の排気気体に未だ残存する僅かな溶剤蒸気も上記吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用吸着域での濃縮用吸着剤による吸着により排気気体から分離回収するから、装置全体としての溶剤蒸気の回収性能を高めて排気気体からの溶剤蒸気の回収率を一層高めることができ、また、溶剤回収後の排気気体の浄化度も一層高めることができる。 In other words, according to this configuration, even a small amount of solvent vapor still remaining in the exhaust gas after separation of the solvent vapor by cooling is exhausted by the adsorption by the concentration adsorbent in the concentration adsorption region in the adsorption rotor type concentrator. Therefore, the recovery rate of the solvent vapor from the exhaust gas can be further increased, and the purification degree of the exhaust gas after the solvent recovery can be further increased. it can.
そしてまた、この構成では、吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用脱着域を通過して高濃度の脱着溶剤蒸気を含む濃縮状態になった濃縮用再生気体を処理室からの排気空気とともに冷却手段に送って、排気気体に含まれる溶剤蒸気とともに濃縮状態の濃縮用再生気体に含まれる脱着溶剤蒸気を一括に冷却手段による冷却により凝縮分離するから、排気気体に含まれる溶剤蒸気と濃縮状態の濃縮用再生気体に含まれる脱着溶剤蒸気とを各別に分離回収するのに比べ、装置を簡素にすることができて装置コストを安価にすることができる。 In addition, in this configuration, the concentrated regeneration gas that has passed through the concentration desorption zone in the adsorption rotor type concentrator and has become concentrated including high concentration desorption solvent vapor is sent to the cooling means together with the exhaust air from the processing chamber. In addition, the desorbed solvent vapor contained in the concentrated regeneration gas together with the solvent vapor contained in the exhaust gas is condensed and separated by cooling with a cooling means, so that the solvent vapor contained in the exhaust gas and the concentrated vapor regeneration are recovered. Compared to separating and recovering the desorption solvent vapor contained in the gas, the apparatus can be simplified and the apparatus cost can be reduced.
本発明の第14特徴構成は、第13特徴構成による溶剤回収装置の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記濃縮用再生気体として、前記換気気体加熱手段により加熱した除湿後の換気気体の一部を前記吸着ロータ式濃縮装置における前記濃縮用脱着域に通風する構成にしてある点にある。
The fourteenth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the solvent recovery apparatus according to the thirteenth characteristic configuration.
As the regeneration gas for concentration, a part of the dehumidified ventilation gas heated by the ventilation gas heating means is configured to be ventilated to the desorption region for concentration in the adsorption rotor type concentrator.
つまり、この構成によれば、濃縮用再生気体として換気気体加熱手段により加熱した除湿後の換気気体の一部を利用するから、換気気体加熱手段とは別に専用の大型な再生気体加熱手段を設けて、その専用の再生気体加熱手段により濃縮用再生気体を加熱生成するのに比べ、装置構成を簡素化することができて装置コストを低減することができる。 That is, according to this configuration, since a part of the dehumidified ventilation gas heated by the ventilation gas heating means is used as the regeneration gas for concentration, a dedicated large regeneration gas heating means is provided separately from the ventilation gas heating means. Thus, the apparatus configuration can be simplified and the apparatus cost can be reduced as compared with the case where the regeneration gas for concentration is heated and generated by the dedicated regeneration gas heating means.
また、換気気体加熱手段による加熱換気気体は除湿手段により除湿した気体であるから、この除湿後の加熱換気気体の一部を濃縮用再生気体とすることにより、吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用脱着域での濃縮用吸着剤からの吸着溶剤蒸気の脱着も効果的に促進することができて、吸着ロータ式濃縮装置の濃縮性能も高めることができ、その分、吸着ロータ式濃縮装置を小型化し得ることからも装置コストを低減することができる。 Further, since the heated ventilation gas by the ventilation gas heating means is a gas dehumidified by the dehumidification means, the desorption for concentration in the adsorption rotor type concentrator can be performed by using a part of the heated ventilation gas after dehumidification as a regeneration gas for concentration. Desorption of the adsorbed solvent vapor from the adsorbent for concentration in the zone can be effectively promoted, and the concentration performance of the adsorption rotor type concentrator can be improved, and the size of the adsorption rotor type concentrator can be reduced accordingly. The cost of the apparatus can be reduced from the fact that it is obtained.
なお、この構成の実施においては、換気気体加熱手段により加熱した除湿後の換気気体の一部を濃縮用再生気体として吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用脱着域に送る送給路に補助的な再生気体加熱手段を設け、必要に応じ、この補助的な再生気体加熱手段により濃縮用再生気体の温度を高めるようにしてもよい。 In the implementation of this configuration, a part of the dehumidified ventilation gas heated by the ventilation gas heating means is used as a regeneration gas for concentration as auxiliary regeneration to the feeding path that is sent to the desorption area for concentration in the adsorption rotor type concentrator. A gas heating means may be provided, and if necessary, the temperature of the concentration regeneration gas may be increased by the auxiliary regeneration gas heating means.
本発明の第15特徴構成は、第13特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記濃縮用再生気体として、前記冷却手段による冷却により溶剤蒸気を凝縮分離した浄化済の排気気体の一部を濃縮用の再生気体加熱手段により加熱して前記吸着ロータ式濃縮装置における前記濃縮用脱着域に通風する構成にしてある点にある。
The fifteenth characteristic configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the thirteenth characteristic configuration.
A part of the purified exhaust gas obtained by condensing and separating the solvent vapor by cooling by the cooling means is heated by the regeneration gas heating means for concentration as the regeneration gas for concentration, and the desorption for concentration in the adsorption rotor type concentrator The point is that it is configured to ventilate the area.
つまり、この構成によれば、処理室に供給する換気気体の除湿に加え、既に僅かな凝縮量に低減されているとは言え溶剤蒸気の凝縮分離に伴う水分凝縮によっても露点温度(絶対湿度)を低下させた低湿の浄化済排気気体の一部を濃縮用の再生気体加熱手段により加熱して濃縮用再生気体に利用するから、吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用脱着域での濃縮用吸着剤からの吸着溶剤蒸気の脱着を効果的に促進することができて、吸着ロータ式濃縮装置の濃縮性能を高めることができ、その分、吸着ロータ式濃縮装置を小型化して装置コストを低減することができる。 That is, according to this configuration, in addition to the dehumidification of the ventilation gas supplied to the processing chamber, the dew point temperature (absolute humidity) is also caused by moisture condensation accompanying the condensation and separation of the solvent vapor, although it has already been reduced to a small amount of condensation. Since a part of the low-humidity purified exhaust gas having a reduced content is heated by the regeneration gas heating means for concentration and used as the regeneration gas for concentration, the adsorbent for concentration in the desorption area for concentration in the adsorption rotor type concentrator Can effectively promote the desorption of the adsorbed solvent vapor from the gas, improve the concentration performance of the adsorption rotor type concentrator, and reduce the equipment cost by reducing the size of the adsorption rotor type concentrator accordingly. Can do.
なお、第13〜第15特徴構成のいずれかの実施においては、前述した吸着ロータ式除湿装置と同様、吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用脱着域の吸着ロータ回転方向における下手側で濃縮用脱着域と濃縮用吸着域との間にパージ域を設け、このパージ域において上記の如き低湿の浄化済排気気体の一部をパージ用気体として脱着後の吸着ロータ部分に通過させるようにすれば、濃縮用吸着域での濃縮用吸着剤の吸着性能を一層効果的に高めることができて、吸着ロータ式濃縮装置の濃縮性能をさらに高めることができる。 In the implementation of any one of the thirteenth to fifteenth characteristic configurations, the concentration desorption region on the lower side in the rotation direction of the adsorption rotor of the concentration desorption region in the adsorption rotor type concentrator as in the above-described adsorption rotor type dehumidifier. If a purge area is provided between the adsorption adsorption area and the concentration adsorption area, a part of the low-humidity purified exhaust gas as described above is passed as a purge gas to the adsorbed rotor part after desorption. The adsorption performance of the concentration adsorbent in the adsorption zone can be further effectively improved, and the concentration performance of the adsorption rotor type concentrator can be further enhanced.
本発明の第16特徴構成は、第15特徴構成の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記除湿用の再生気体加熱手段と前記濃縮用の再生気体加熱手段とを兼用の再生気体加熱手段にし、
この兼用の再生気体加熱手段で加熱した浄化済の排気気体の一部を除湿用再生気体として前記吸着ロータ式除湿装置における前記除湿用脱着域に通風し、他の一部を濃縮用再生気体として前記吸着ロータ式濃縮装置における前記濃縮用脱着域に通風する構成にしてある点にある。
The sixteenth feature configuration of the present invention specifies an embodiment suitable for the implementation of the fifteenth feature configuration.
The regeneration gas heating means for combined use with the regeneration gas heating means for dehumidification and the regeneration gas heating means for concentration,
A part of the purified exhaust gas heated by this combined regeneration gas heating means is passed as dehumidification regeneration gas to the dehumidification desorption region in the adsorption rotor type dehumidifier, and the other part is used as concentration regeneration gas. In the adsorption rotor type concentrator, the desorption area for concentration is ventilated.
つまり、この構成によれば、除湿用の再生気体加熱手段と濃縮用の再生気体加熱手段とを各別に設けるのに比べ、装置を一層簡素化することができて、装置コストを一層安価にすることができる。 That is, according to this configuration, the apparatus can be further simplified and the apparatus cost can be further reduced as compared with the case where the regeneration gas heating means for dehumidification and the regeneration gas heating means for concentration are separately provided. be able to.
図1はリチウムイオン電池の生産施設に装備した溶剤回収装置の第1実施形態を示し、1はNMP溶剤(N−メチル−2−ピロリドン溶剤)を含む処理物を処理する処理室(例えば乾燥炉など)である。 FIG. 1 shows a first embodiment of a solvent recovery apparatus equipped in a lithium ion battery production facility, wherein 1 is a treatment chamber (for example, a drying furnace) for treating a treatment containing NMP solvent (N-methyl-2-pyrrolidone solvent). Etc.).
この処理室1には高温の換気空気SA(換気気体の一例)を給気ファン2により給気路3を通じて供給し、この換気空気SAの供給と室内加熱手段による加熱とにより、処理室1の室内温度を高温に維持して室内の処理物が保持するNMP溶剤を加熱蒸発させる。
High-temperature ventilation air SA (an example of ventilation gas) is supplied to the processing chamber 1 through an
この為、換気空気SAの供給に伴い処理室1から排気路4へ排出される高温(例えば130℃程度)の排気空気EAには、室内で発生したNMP溶剤の蒸気Lsが高濃度(例えば1500ppm)で含まれている。 For this reason, the high temperature (for example, about 130 ° C.) exhaust air EA exhausted from the processing chamber 1 to the exhaust passage 4 with the supply of the ventilation air SA has a high concentration (for example, 1500 ppm) of NMP solvent vapor Ls generated in the chamber. ).
本例の溶剤回収装置は、この排気空気EAに含まれるNMP溶剤の蒸気Lsを排気空気EAから分離回収するものであり、その主要装置として、排気路4には冷却回収装置5と吸着ロータ式濃縮装置6とをその順に装備してある。
The solvent recovery apparatus of this example separates and recovers the vapor Ls of the NMP solvent contained in the exhaust air EA from the exhaust air EA. As the main apparatus, the cooling
冷却回収装置5は、装置ケーシング5aの内部における排気空気EAの通風経路に、その上流側から順に排気空気EAに対する冷却手段として予冷器7(予冷手段の一例)、一次冷却器8(本冷手段の一例)、再冷却器9(本冷手段の一例)、二次冷却器10(本冷手段の一例)を配置するとともに、その通風経路の最下流部に再熱器11を配置したものである。
The cooling
つまり、この冷却回収装置5では、排気路4を通じて導かれる処理室1からの高温の排気空気EAを予冷器7,一次冷却器8、再冷却器9、二次冷却器10により段階的に冷却することで排気空気EAに含まれる溶剤蒸気Lsを凝縮させ、この冷却凝縮により溶剤蒸気Lsを排気空気EAから分離回収する。
That is, in the
そして、このように溶剤蒸気Lsを凝縮分離した後の低温の排気空気EAを再熱器11により再熱(加熱)した上で後続の吸着ロータ式濃縮装置6に送出する。
The low-temperature exhaust air EA after the solvent vapor Ls is condensed and separated in this way is reheated (heated) by the
12は各冷却器7〜10での冷却により凝縮した溶剤蒸気Lsの凝縮液L(即ち、液溶剤)を受け止めて回収路12aへ導く回収用ドレンパン、13は回収路12aにより導かれる凝縮液Lを収容する回収容器である。
予冷器7には予冷用熱媒Naを供給し、この予冷用熱媒Naとの熱交換により予冷器7において排気空気EAを予冷する。
A pre-cooling heat medium Na is supplied to the
また、一次冷却器8には一次冷却用熱媒として冷却塔との間で循環させる冷却水CWを供給し、この冷却水CWとの熱交換により一次冷却器8において予冷後の排気空気EAを一次冷却する。
The
さらに、二次冷却器10には二次冷却用熱媒として冷凍機で冷却した冷水Cを供給し、この冷水Cとの熱交換により二次冷却器10において一次冷却後の排気空気EAをさらに二次冷却する。
Further, the
再冷却器9と再熱器11とは、それらの間で再熱用熱媒Nbを循環ポンプ14aにより循環路14bを通じて循環させるランアラウンド型の熱交換装置を構成するものにしてあり、これにより、再冷却器9での排気空気EAとの熱交換で加熱(排気空気EAにとっては冷却)された再熱用熱媒Nbを再熱器11において二次冷却後の排気空気EAと熱交換させることで、溶剤蒸気分離後の排気空気EAを再熱する。即ち、再冷却器9は再熱用の温熱回収器を兼ねるものにしてある。
The
一方、吸着ロータ式濃縮装置6(濃縮手段の一例)は、溶剤蒸気Lsを吸着する濃縮用吸着剤を保持させた通気性の吸着剤層Xをロータ回転方向に並べて配置した濃縮用の吸着ロータ15を装置ケーシング6aに内装したものであり、装置ケーシング6aの内部は、排気ファン16を介装した排気路4の中継路部分4aを通じて冷却回収装置5の出口から導かれる排気空気EAを吸着ロータ15の吸着剤層Xに通過させる濃縮用の吸着域17aと、濃縮用の再生空気供給路18を通じて導かれる高温の濃縮用再生空気Haを吸着ロータ15の吸着剤層Xに通過させる濃縮用の脱着域17bとに区画してある。
On the other hand, the adsorption rotor type concentrator 6 (an example of a concentration means) is a concentration adsorption rotor in which breathable adsorbent layers X holding a concentration adsorbent that adsorbs the solvent vapor Ls are arranged side by side in the rotor rotation direction. 15 is housed in the
即ち、吸着ロータ15の回転域におけるロータ回転方向の一部を排気空気EAの通風域である濃縮用吸着域17aとし、かつ、吸着ロータ15の回転域におけるロータ回転方向の他部を濃縮用再生空気Haの通風域である濃縮用脱着域17bとした状態で、吸着ロータ15を濃縮用吸着域17aと濃縮用脱着域17bとに跨らせて配置し、この配置の吸着ロータ15を回転させることで吸着ロータ各部の吸着剤層Xを濃縮用吸着域17aと濃縮用脱着域17bとに交互に位置させる構成にしてある。
That is, a part of the rotor rotation direction in the rotation region of the
なお、吸着ロータ15の好適例としては、円盤状の吸着ロータ15の外郭を形成する回転ドラムを設けて、濃縮用の吸着剤層Xを保持させた複数の通気性の有底円筒状の吸着カセットをロータ回転方向に並べて回転ドラムに取り付けた吸着ロータを挙げることができるが、これに限らず、濃縮用の吸着剤層Xを円筒状に集積配置した円筒状の吸着ロータなど、吸着ロータ15には種々の構造のものを採用することができる。
As a preferred example of the
この吸着ロータ式濃縮装置6は、冷却回収装置5で回収処理した後の排気空気EAに未だ残存する溶剤蒸気Lsを濃縮用吸着域17aにおいて濃縮用吸着剤(吸着剤層X)による吸着により排気空気EAから分離回収する後段回収装置として機能し、濃縮用吸着域17aにおいて残存溶剤蒸気Lsを分離回収した後の排気空気EAは浄化済の排気空気として吸着ロータ式濃縮装置6から浄化済排気路19へ送出する。
The adsorption
また、濃縮用吸着域17aで残存溶剤蒸気Lsを吸着した吸着剤層Xは濃縮用脱着域17bにおいて吸着溶剤蒸気Lsを排気空気EAよりも小風量の濃縮用再生空気Haに脱着させて再生し、このように再生した吸着剤層Xを吸着ロータ15の回転により再び濃縮用吸着域17aに送って排気空気EAからの残存溶剤蒸気Lsの吸着分離に再使用する。
Further, the adsorbent layer X having adsorbed the residual solvent vapor Ls in the
吸着ロータ式濃縮装置6における濃縮用脱着域17bでの溶剤蒸気Lsの脱着により高濃度の溶剤蒸気Lsを含む濃縮状態になった使用済の濃縮用再生空気Haは混合路20を通じて処理室1からの排気空気EAとともに冷却回収装置5に送り、これにより、使用済みの濃縮用再生空気Haに含まれる溶剤蒸気Lsも冷却回収装置5で凝縮分離させて回収容器13に回収する。
In the adsorption rotor
処理室1に供給する換気空気SAを導く給気路3には、外気取入路21aと浄化済排気路19から分岐した還気路21bとを接続し、これら外気取入路21a、還気路21b及び浄化済排気路19における還気路21bの分岐部よりも下流側部分(即ち、外部への排出路)には夫々、換気状態切り換え用の切換ダンパDa(切換手段の一例)を装備してある。
An outside
つまり、これら切換ダンパDaの切り換え操作により、還気路21aを通じて浄化済排気路19から導く浄化済の排気空気EAのみを換気空気SAとして給気路3を通じ処理室1に供給する循環還気状態と、外気取入路21aを通じて外部から取り入れる新鮮外気OAのみを換気空気SAとして給気路3を通じ処理室1に供給する新鮮換気状態と、これら浄化済排気空気EAと新鮮外気OAとの混合空気を換気空気SAとして給気路3を通じて処理室1に供給する混合換気状態との選択的な切り換えを行なえるようにしてある。
That is, by the switching operation of the switching damper Da, a circulating return air state in which only the purified exhaust air EA guided from the purified
また、混合換気状態では、これら切換ダンパDaの操作により浄化済排気気体EAと新鮮外気OAとの混合比の調整も行なえるようにしてある。 In the mixed ventilation state, the mixing ratio between the purified exhaust gas EA and the fresh outside air OA can be adjusted by operating the switching damper Da.
22は処理室1に供給する換気空気SAを所要温度に加熱する換気空気加熱装置(換気気体加熱手段の一例)であり、この換気空気加熱装置22の装置ケーシング22a内における換気空気SAの通風経路には、その上流側から順にフィルタ23,加熱器24,補助加熱器25を内装してある。
つまり、この換気空気加熱装置22により加熱した換気空気SA(即ち、加熱した浄化済の排気空気EA又は加熱した新鮮外気OA又は加熱した混合空気)を処理室1に供給することで、処理室1において室内の処理物が保持するNMP溶剤を加熱蒸発させる。 In other words, by supplying the processing chamber 1 with the ventilation air SA heated by the ventilation air heating device 22 (that is, the heated purified exhaust air EA, the heated fresh outside air OA, or the heated mixed air). In step 1, the NMP solvent held by the indoor treatment is evaporated by heating.
換気空気加熱装置22の加熱器24と冷却回収装置5の予冷器7とは、それらの間で予冷用熱媒Naを循環ポンプ26aにより循環路26bを通じて循環させるランアラウンド型の熱交換装置を構成するものにしてあり、これにより、予冷器7での排気空気EAとの熱交換で加熱(排気空気EAにとっては予冷)されて昇温した予冷用熱媒Naを加熱器24において換気空気SAと熱交換させることで換気空気SAを加熱する。即ち、予冷器7は換気空気加熱用の温熱回収器を兼ねるものにしてある。
The
換気空気加熱装置22の補助加熱器25には高温蒸気との熱交換により換気空気SAを加熱する蒸気コイルや換気空気SAに対する高温熱風の供給により換気空気SAを加熱する熱風発生装置などを用いてあり、必要に応じ、この補助加熱器25により処理室1に供給する換気空気SAの温度を高める。なお、場合によっては、この補助加熱器25を省いてもよい。
The
また、本例の溶剤回収装置では、処理室1に供給する換気空気SAを換気空気加熱装置22での加熱に先立ち除湿する吸着ロータ式除湿装置27(除湿手段の一例)を給気路3に装備してある。
Further, in the solvent recovery apparatus of this example, an adsorption rotor type dehumidifying device 27 (an example of a dehumidifying means) that dehumidifies the ventilation air SA supplied to the processing chamber 1 prior to heating by the ventilation
この吸着ロータ式除湿装置27は吸着ロータ式濃縮装置6と同様、除湿用吸着剤を保持させた通気性の吸着剤層Yをロータ回転方向に並べて配置した除湿用の吸着ロータ28を装置ケーシング27aに内装したものであり、装置ケーシング27aの内部は、換気空気SAを吸着ロータ28の吸着剤層Yに通過させる除湿用の吸着域29aと、除湿用の再生空気供給路30を通じて導かれる高温の除湿用再生空気Hbを吸着ロータ28の吸着剤層Yに通過させる除湿用の脱着域29bとに区画してある。
The adsorption rotor
即ち、吸着ロータ28の回転域におけるロータ回転方向の一部を換気空気SAの通風域である除湿用吸着域29aとし、かつ、吸着ロータ28の回転域におけるロータ回転方向の他部を除湿用再生空気Hbの通風域である除湿用脱着域29bとした状態で、吸着ロータ28を除湿用吸着域29aと除湿用脱着域29bとに跨らせて配置し、この配置の吸着ロータ28を回転させることで吸着ロータ各部の吸着剤層Yを除湿用吸着域29aと除湿用脱着域29bとに交互に位置させる構成にしてある。
That is, a part of the rotor rotation direction in the rotation area of the
この吸着ロータ式除湿装置27は、換気空気SAに含まれる水分を除湿用吸着域29aでの除湿用吸着剤(吸着剤層Y)による吸着により換気空気SAから分離除去し、この水分分離により除湿した換気空気SAを換気空気加熱装置22へ送出する。
This adsorption
また、除湿用吸着域29aで水分吸着した吸着剤層Yは除湿用脱着域29bにおいて吸着水分を除湿用再生空気Hbに脱着させて再生し、このように再生した除湿用吸着剤層Yを吸着ロータ28の回転により再び除湿用吸着域29aに送って換気空気SAからの水分の吸着分離(即ち、換気空気SAの除湿)に再使用する。
Further, the adsorbent layer Y that has adsorbed moisture in the
つまり、この吸着ロータ式除湿装置27による除湿により露点温度(絶対湿度)を低下させた低湿の換気空気SAを処理室1に供給することで、そのような除湿による低湿化を行なっていない換気空気SAを処理室1に供給するのに比べ、処理室1における室内空気の露点温度を室内使用条件などに原因する処理室1への水分持ち込みに抗して低く保つようにし、これにより、処理室1から排出される排気空気EAの露点温度(絶対湿度)を低く保つ。
That is, by supplying low-humidity ventilation air SA whose dew point temperature (absolute humidity) has been reduced by dehumidification by the adsorption
そして、このように排気空気EAの露点温度を低くして排気空気EAに含まれる水分量を低減することにより、冷却回収装置5での排気空気EAの冷却で溶剤蒸気Lsとともに凝縮してしまう排気空気EA中の水分の凝縮量(即ち、凝縮水量)を低減し、これにより、その後における回収液Lからの溶剤精製を容易にするとともに、その精製コストを低減する。
And exhaust gas which condenses with solvent vapor | steam Ls by cooling of the exhaust air EA in the cooling
給気路3には、換気空気加熱装置22により加熱した除湿後の換気空気SAの一部を分流する分岐路31を接続してあり、吸着ロータ式濃縮装置6の濃縮用脱着域17bに濃縮用再生空気Haを供給する濃縮用の再生空気供給路18、及び、吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bに除湿用再生空気Hbを供給する除湿用の再生空気供給路30はいずれも、この分岐路31から分岐してある。
A
また、濃縮用の再生空気供給路18には、再生空気ファン32とともに濃縮用の再生空気加熱器33(濃縮用再生気体加熱手段の一例)を装備し、除湿用の再生空気供給路30には、再生空気ファン34とともに除湿用の再生空気加熱器35(除湿用再生気体加熱手段の一例)を装備してある。
Further, the regeneration
つまり、吸着ロータ式濃縮装置6の濃縮用吸着域17bには、濃縮用再生空気Haとして、換気空気加熱装置22により加熱した除湿後の換気空気SAの一部を濃縮用の再生空気加熱器33により必要に応じ更に加熱して供給し、同じく、吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bには、換気空気加熱装置22により加熱した除湿後の換気空気SAの一部を除湿用の再生空気加熱器35により必要に応じ更に加熱して供給する。
In other words, in the
そして、このように換気空気加熱装置22により加熱した除湿後の換気空気SAの一部を濃縮用再生空気Ha及び除湿用再生空気Hbとして利用することにより、装置を簡略化するとともに、吸着ロータ式濃縮装置6における濃縮用脱着域17bでの濃縮用吸着剤(吸着剤層X)からの吸着溶剤蒸気Lsの脱着、及び、吸着ロータ式除湿装置27における除湿用脱着域29bでの除湿用吸着剤(吸着剤層Y)からの吸着水分の脱着を促進するようにしてある。
Then, by using a part of the dehumidified ventilation air SA heated by the ventilation
吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bを通過した使用済の除湿用再生空気Hbを外部に排出する排出路36からは、使用済の除湿用再生空気Hbの一部を除湿用の再生空気供給路30に戻す還送路37を分岐してあり、また、これら還送路37及び排出路36における還送路37の分岐部よりも下流側部分の夫々には風量調整ダンパDbを装備してある。
From the
つまり、これら風量調整ダンパDbの調整操作により、還送路37を通じて除湿用の再生空気供給路30に戻す使用済除湿用再生空気Hbの風量(換言すれば、除湿用再生空気Hbの循環風量)を使用条件等に応じて調整する。
That is, the air volume of the used dehumidification regeneration air Hb returned to the dehumidification regeneration
38は吸着ロータ式除湿装置27の出口側における換気空気SA(即ち、除湿した換気空気SA)の露点温度tpを検出するセンサ、39はこのセンサ38の検出情報に基づき除湿用再生空気加熱器35での除湿用再生空気Hbの加熱量を調整することで、吸着ロータ式除湿装置27での換気空気SAからの除湿量を調整する除湿制御器(除湿制御手段の一例)である。
具体的には、この除湿制御器39は、上記センサ38による検出露点温度tpに基づき除湿用再生空気加熱器35の加熱量調整をもって吸着ロータ式除湿装置27での換気空気SAからの除湿量を調整することで、換気空気加熱装置22に送出する除湿後の換気空気SAの露点温度tpを設定露点温度tpsに調整する。
Specifically, the dehumidifying
そして、この換気空気SAの設定露点温度tpsとしては、冷却回収装置5での冷却による溶剤蒸気Lsの凝縮分離において溶剤蒸気Lsとともに凝縮する水分量を所要の許容上限量以下に安定的に維持し得る露点温度を装置の試運転結果や装置運転のシミュレート結果に基づき設定してある。
As the set dew point temperature tps of the ventilation air SA, the amount of water condensed together with the solvent vapor Ls in the condensation separation of the solvent vapor Ls by cooling in the
図中に付記した各部の濃度値(ppm)及び温度値(℃)は、本例の溶剤回収装置の各部における溶剤蒸気濃度、空気温度の一例を示すものである。 The concentration value (ppm) and temperature value (° C.) of each part added in the figure show an example of the solvent vapor concentration and air temperature in each part of the solvent recovery apparatus of this example.
〔別実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
[Another embodiment]
Next, another embodiment will be listed.
上述の第1実施形態では、換気空気加熱装置22により加熱した除湿後の換気空気SAの一部を吸着ロータ式除湿装置27の除湿用再生空気Hbとして利用する例を示したが、これに代え、第2〜第4実施形態として図2〜図4の夫々に示す装置構成を採用してもよい。
In the first embodiment described above, an example is shown in which a part of the dehumidified ventilation air SA heated by the ventilation
即ち、図2に示す第2実施形態の溶剤回収装置では、吸着ロータ式除湿装置27において除湿用脱着域29bの吸着ロータ回転方向における下手側で除湿用脱着域29bと除湿用吸着域29aとの間にパージ域29cを設けてある。
That is, in the solvent recovery apparatus of the second embodiment shown in FIG. 2, in the adsorption
そして、浄化済の排気空気EAを導く浄化排気路19を迂回路19aと除湿路19bと再生路19cとの3路に分岐し、このうち迂回路19は迂回用ファン40を介して処理室1への給気路3に直接接続し、除湿路19bは除湿用ファン41及び吸着ロータ式除湿装置27の除湿用吸着域29aをその順に介して給気路3に接続し、再生路19cは再生用ファン42及び除湿用の再生空気加熱器35をその順に介して吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bに接続してある。
Then, the purified
また、除湿路19bにおける除湿用ファン41と除湿用吸着域29aとの間の部分からはパージ路19dを分岐し、このパージ路19dは風量調整ダンパD及び吸着ロータ式除湿装置27のパージ域29cを介して再生路19cにおける再生用ファン42の吸入側に接続してある。
Further, a
つまり、この図2に示す第2実施形態の溶剤回収装置では、基本的に吸着ロータ式濃縮装置6により残存溶剤蒸気Lsを分離除去した浄化済の排気空気EAを処理室1に供給する換気空気SAとして用いる構成において、除湿路19bを通じて給気路3に導く浄化済の排気空気EAを吸着ロータ式除湿装置27により除湿することで、給気路3を通じ処理室1に供給する換気空気SAを除湿(低湿化)するようにしてある。
That is, in the solvent recovery apparatus according to the second embodiment shown in FIG. 2, the ventilation air that supplies the processing chamber 1 with the purified exhaust air EA that is basically separated and removed by the adsorption
また、脱着処理後の除湿用吸着剤層Yを冷却及び浄化するパージ用空気Paとして浄化済の排気空気EAの一部をパージ路19dを通じ吸着ロータ式除湿装置27のパージ域19cに通風するとともに、除湿用の再生空気Hbとして、再生路19cにより導く浄化済排気空気EAの一部とパージ域29cを通過した使用済パージ用空気Paとしての浄化済排気空気EAとの混合空気を除湿用の再生空気加熱器35により加熱して吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bに通風するようにしてある。
Further, a part of the purified exhaust air EA is passed through the
なお、迂回路19a、除湿路19b、再生路19c、パージ路19夫々の通過風量は各ファン40〜42の出力調整及び風量調整ダンパDの調整操作により使用条件等に応じて適宜調整することができる。
Note that the passing air volume of each of the
そしてまた、この図2に示す第2実施形態の溶剤回収装置では、吸着ロータ式除湿装置27の入口側における換気空気SAの露点温度tp(即ち、換気空気SAとしても用いる浄化済排気空気EAの露点温度tp)をセンサ38により検出するようにし、除湿制御器39は、このセンサ38による検出露点温度tpに基づき除湿用再生空気加熱器35の加熱量調整などをもって吸着ロータ式除湿装置27での換気空気SAからの除湿量を調整することで、吸着ロータ式除湿装置27の入口側における換気空気SAの露点温度tpを設定露点温度tpsに調整するものにしてある。
Further, in the solvent recovery device of the second embodiment shown in FIG. 2, the dew point temperature tp of the ventilation air SA on the inlet side of the adsorption rotor type dehumidifier 27 (that is, the purified exhaust air EA used also as the ventilation air SA). The dew point temperature tp) is detected by the
この第2実施形態の溶剤回収装置における他の点は図1に示す第1実施形態の溶剤回収装置と同じである。 Other points in the solvent recovery apparatus of the second embodiment are the same as those of the solvent recovery apparatus of the first embodiment shown in FIG.
一方、図3に示す第3実施形態の溶剤回収装置では、外気OAを処理室1に供給する換気空気SAとして用いる構成において、吸着ロータ式濃縮装置6により残存溶剤蒸気Lsを分離除去した浄化済の排気空気EA(又は、その浄化済排気空気EAと外気導入路19eからの導入外気OAとの混合空気)を除湿用の再生空気加熱器35により加熱した上で除湿用再生空気Hbとして吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bに通風する構成にしてある。
On the other hand, in the solvent recovery apparatus of the third embodiment shown in FIG. 3, in the configuration in which the outside air OA is used as the ventilation air SA that supplies the processing chamber 1, the purified solvent having the residual solvent vapor Ls separated and removed by the adsorption
図中Dは、浄化済排気空気EAと外気OAとの混合比を調整する風量調整ダンパである。 D in the figure is an air volume adjustment damper that adjusts the mixing ratio of the purified exhaust air EA and the outside air OA.
この第3実施形態の溶剤回収装置における他の点は図1に示す第1実施形態の溶剤回収装置と同じである。 Other points in the solvent recovery apparatus of the third embodiment are the same as those of the solvent recovery apparatus of the first embodiment shown in FIG.
また図4に示す第4実施形態の溶剤回収装置では、浄化済の排気空気EAを導く浄化排気路19を再生路19cとパージ路19dとの2路に分岐し、そして、再生路19cは再生用ファン42及び除湿用の再生空気加熱器35をその順に介して吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bに接続し、パージ路19dは吸着ロータ式除湿装置27のパージ域29cを介して外気導入路19eとともに再生路19cにおける再生用ファン42の吸入側に接続してある。
Further, in the solvent recovery apparatus of the fourth embodiment shown in FIG. 4, the purified
つまり、この図4に示す第4実施形態の溶剤回収装置では、外気OAを処理室1に供給する換気空気SAとして用いる構成において、浄化済の排気空気EAを吸着ロータ式除湿装置27の除湿用再生空気Hb及びパージ用空気Paに用いる構成にしてある。
That is, in the solvent recovery apparatus of the fourth embodiment shown in FIG. 4, the purified exhaust air EA is used for dehumidification of the adsorption
図中Dは再生路19c、パージ路19d、外気導入路19e夫々の通過風量を調整する風量調整ダンパである。
In the figure, D is an air volume adjusting damper that adjusts the passing air volume of each of the
この第4実施形態の溶剤回収装置における他の点は図1に示す第1実施形態の溶剤回収装置と同じである。 Other points in the solvent recovery apparatus of the fourth embodiment are the same as those of the solvent recovery apparatus of the first embodiment shown in FIG.
図5〜図8は第5〜第8実施形態の溶剤回収装置を示し、これら第5〜第8実施形態の溶剤回収装置では、除湿用再生空気Hbとして浄化済の排気空気EAの一部を除湿用の再生空気供給路30を通じて吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bに通風する構成において、その除湿用再生空気Hb(浄化済排気空気EA)を加熱する除湿用の再生空気加熱器として、前加熱器43(前加熱手段の一例)と、この前加熱器43により加熱(予熱)した除湿用再生空気Hbを更に加熱する後加熱器35(後加熱手段)とをその順に除湿用の再生空気供給路30に介装してある。
5 to 8 show the solvent recovery devices of the fifth to eighth embodiments. In these solvent recovery devices of the fifth to eighth embodiments, a part of the purified exhaust air EA is used as the dehumidifying regeneration air Hb. A dehumidifying regenerative air heater for heating the dehumidifying regenerating air Hb (purified exhaust air EA) in a configuration in which air is passed through the dehumidifying regenerating
そして、冷却回収装置5における予冷器5と換気空気加熱装置22における加熱器24及び上記の前加熱器43との間で予冷用熱媒Naを循環ポンプ26aにより循環路26bを通じて循環させることにより、予冷器7での排気空気EAの予冷により昇温した予冷用熱媒Naを換気空気加熱用の熱媒及び再生空気加熱用の熱媒として換気空気加熱装置22における加熱器24及び上記の前加熱器43に供給する構成にしてある。
Then, by circulating the pre-cooling heat medium Na between the pre-cooler 5 in the
つまり、排気気体EAの予冷で昇温した予冷用熱媒Naの保有熱(即ち、排気気体EAからの回収熱)を利用して除湿用再生空気Hb及び換気空気SAを加熱するようにしてある。 That is, the dehumidification regeneration air Hb and the ventilation air SA are heated using the retained heat of the pre-cooling heat medium Na (that is, the recovered heat from the exhaust gas EA) raised in temperature by the pre-cooling of the exhaust gas EA. .
昇温予冷用熱媒Naの具体的な循環経路としては、循環路26bのうち予冷器7から送出される昇温予冷用熱媒Naを導く往路部分を第1分岐路44aと第2分岐路44bとの2路に分岐し、これら分岐路44a,44bのうち第2分岐路44bを前加熱器43を介して第1分岐路44aに接続し、この第2分岐路44bの接続箇所(合流箇所)よりも下流側において循環本路としての第1分岐路44aを換気空気加熱装置22の加熱器24に接続し、さらに、その加熱器24よりも下流側において第1分岐路44aを循環路26bの復路部分として予冷器7に接続してある。
As a specific circulation path of the heating medium for preheating temperature rise Na, the
即ち、排気空気EAの予冷で昇温した予冷用熱媒Nbの一部を再生空気加熱用の熱媒として第2分岐路44bを通じ前加熱器43に供給し、そして、昇温予冷用熱媒Naの残部と前加熱器43で除湿用再生空気Hbの加熱(予熱)に用いた後の昇温予冷用熱媒Naとを合流させて、その合流予冷用熱媒Naを換気空気加熱用の熱媒として換気空気加熱装置22の加熱器24に供給するようにしてある。
That is, a part of the pre-cooling heat medium Nb that has been heated by pre-cooling the exhaust air EA is supplied to the pre-heater 43 through the
45は第1分岐路4aへの昇温予冷用熱媒Naの分流流量を調整する流量調整弁、46aは第2分岐路44bにおいてバイパス路46を通じ前加熱器43を迂回させる昇温予冷用熱媒Naの流量(バイパス流量)を調整する合流三方弁であり、この合流三方弁46aの調整によりバイパス流量を調整することで、昇温予冷用熱媒Naの前加熱器43への供給流量を前加熱器43の加熱負荷などに応じて調整する。
45 is a flow rate adjustment valve for adjusting the flow rate of the heating medium Na for temperature rise precooling to the
また、図5〜図8に示す第5〜第8実施形態の溶剤回収装置では、濃縮用再生空気Haを吸着ロータ式濃縮装置6の濃縮用脱着域17bに供給する濃縮用の再生空気供給路18を除湿用の再生空気供給路30における前加熱器43の介装箇所よりも下流側部分から分岐してある。
Further, in the solvent recovery devices of the fifth to eighth embodiments shown in FIGS. 5 to 8, the regeneration air supply passage for concentration for supplying the regeneration air Ha for concentration to the
つまり、除湿用再生空気Hbとして浄化済の排気空気EAの一部を除湿用の再生空気加熱器により加熱して吸着ロータ式除湿装置27の除湿用脱着域29bに供給し、また、濃縮用再生空気Haとして同じく浄化済の排気空気EAの一部を濃縮用の再生空気加熱器により加熱して吸着ロータ式濃縮装置6の濃縮用脱着域17bに供給する構成にすることにおいて、除湿用の再生空気加熱器と濃縮用の再生空気加熱器とを兼ねる兼用の再生空気加熱器として前加熱器43を機能させるようにしてあり、これにより、装置の簡素化を図ってある。
That is, a part of the purified exhaust air EA as the dehumidification regeneration air Hb is heated by the regeneration air heater for dehumidification and supplied to the desorption /
図5に示す第5実施形態の溶剤回収装置における他の点は図1に示す第1実施形態の溶剤回収装置と同じであり、図6に示す第6実施形態の溶剤回収装置における他の点は図2に示す第2実施形態の溶剤回収装置と同じである。 Other points in the solvent recovery device of the fifth embodiment shown in FIG. 5 are the same as those of the solvent recovery device of the first embodiment shown in FIG. 1, and other points in the solvent recovery device of the sixth embodiment shown in FIG. Is the same as the solvent recovery apparatus of the second embodiment shown in FIG.
また、図7に示す第7実施形態の溶剤回収装置における他の点は図3に示す第3実施形態の溶剤回収装置と同じであり、図8に示す第8実施形態の溶剤回収装置における他の点は図4に示す第4実施形態の溶剤回収装置と同じである。 7 is the same as the solvent recovery apparatus of the third embodiment shown in FIG. 3, and the other points of the solvent recovery apparatus of the eighth embodiment shown in FIG. This point is the same as the solvent recovery apparatus of the fourth embodiment shown in FIG.
本発明の実施において、処理室1に供給する換気気体SAは空気に限らず、どのような気体であってもよい。 In the implementation of the present invention, the ventilation gas SA supplied to the processing chamber 1 is not limited to air, and may be any gas.
また、処理室1もそれから排出される排気気体EAに溶剤蒸気Lsが含まれるものであれば、どのような処理を行なうものであってもよい。 Further, the processing chamber 1 may perform any processing as long as the exhaust gas EA discharged from the processing chamber 1 contains the solvent vapor Ls.
回収対象の溶剤蒸気Lsは冷却により排気気体EAから凝縮分離し得るものであれば、どのような溶剤であってもよい。 The solvent vapor Ls to be recovered may be any solvent as long as it can be condensed and separated from the exhaust gas EA by cooling.
前述の実施形態では、除湿制御手段39(除湿制御器)を、除湿手段27(吸着ロータ式除湿装置)の出口側又は入口側における換気気体SAの検出露点温度tpに基づき除湿手段27による換気気体SAからの除湿量を調整して、処理室1に供給する換気気体SAの露点温度又は処理室1からの排気気体EAの露点温度を設定露点温度tpsに調整する構成にしたが、これに代え、処理室1から排出される排気気体EA(室内気体でもよい)の検出露点温度tpに基づき除湿手段27による換気気体SAからの除湿量を調整して、処理室1から排出される排気気体EAの露点温度tpを設定露点温度tpsに調整する構成にしてもよい。 In the above-described embodiment, the dehumidification control means 39 (dehumidification controller) controls the ventilation gas by the dehumidification means 27 based on the detected dew point temperature tp of the ventilation gas SA at the outlet side or the inlet side of the dehumidification means 27 (adsorption rotor type dehumidifier). The dehumidification amount from SA is adjusted, and the dew point temperature of the ventilation gas SA supplied to the processing chamber 1 or the dew point temperature of the exhaust gas EA from the processing chamber 1 is adjusted to the set dew point temperature tps. The amount of dehumidification from the ventilation gas SA by the dehumidifying means 27 is adjusted based on the detected dew point temperature tp of the exhaust gas EA (which may be room gas) exhausted from the processing chamber 1, and the exhaust gas EA exhausted from the processing chamber 1 The dew point temperature tp may be adjusted to the set dew point temperature tps.
あるいはまた、除湿手段27の出口側又は入口側における換気気体SAの検出露点温度tpに基づき除湿手段27による換気気体SAからの除湿量を調整して、処理室1に供給する換気気体SAの露点温度tpを設定露点温度tpsに調整する構成において、処理室1における室内気体(排気気体EAでもよい)の検出露点温度に応じ換気空気SAの設定露点温度tpsを変更する構成を採用してもよい。 Alternatively, the dew point of the ventilation gas SA supplied to the processing chamber 1 by adjusting the amount of dehumidification from the ventilation gas SA by the dehumidification means 27 based on the detected dew point temperature tp of the ventilation gas SA at the outlet side or the inlet side of the dehumidification means 27. In the configuration in which the temperature tp is adjusted to the set dew point temperature tps, a configuration in which the set dew point temperature tps of the ventilation air SA is changed in accordance with the detected dew point temperature of the indoor gas (or the exhaust gas EA) in the processing chamber 1 may be adopted. .
除湿手段27による換気気体SAからの除湿量を調整するのに、前述の実施形態では除湿用再生空気加熱器35での加熱量を調整することで除湿量を調整する調整方式を示したが、除湿量の調整方式も除湿手段27の除湿方式などに応じて種々の方式を採用することができる。
In order to adjust the amount of dehumidification from the ventilation gas SA by the dehumidifying means 27, in the above-described embodiment, an adjustment method for adjusting the amount of dehumidification by adjusting the amount of heating in the dehumidifying
本発明の実施において、冷却手段7〜10による冷却により溶剤蒸気Lsを凝縮分離した後の排気気体EAに残存する溶剤蒸気Lsを濃縮状態で排気気体EAから分離する前述の吸着ロータ式濃縮装置6の如き濃縮回収手段を場合によっては省いてもよい。
In the practice of the present invention, the above-described adsorption
また、吸着ロータ式濃縮装置6の如き濃縮回収手段に代え、別方式の溶剤回収手段を冷却手段7〜10の後段に付加的に装備するようにしてもよい。
Further, instead of the concentration recovery means such as the adsorption
本発明による溶剤回収方法及び溶剤回収装置は各種分野において排気気体に含まれる種々の溶剤蒸気の分離回収に利用することができる。 The solvent recovery method and the solvent recovery apparatus according to the present invention can be used for separation and recovery of various solvent vapors contained in exhaust gas in various fields.
Ls 溶剤蒸気
1 処理室
SA 換気気体
EA 排気気体
7〜10 冷却手段
7 予冷手段
8〜10 本冷手段
27 除湿手段、吸着ロータ式除湿装置
tp 露点温度
tps 設定露点温度
39 除湿制御手段
22 換気気体加熱手段
28 除湿用吸着ロータ
29a 除湿用吸着域
Hb 除湿用再生気体
29b 除湿用脱着域
35,43 除湿用の再生気体加熱手段
OA 新鮮気体
Da 切換手段
6 濃縮回収手段、吸着ロータ式濃縮装置
15 濃縮用吸着ロータ
17a 濃縮用吸着域
Ha 濃縮用再生気体
17b 濃縮用脱着域
33,43 濃縮用の再生気体加熱手段
43 兼用の再生気体加熱手段
Ls Solvent vapor 1 Processing chamber SA Ventilation gas EA Exhaust gas 7-10 Cooling means 7 Precooling means 8-10 Main cooling means 27 Dehumidification means, adsorption rotor type dehumidifier tp Dew point temperature tps Set
Claims (16)
前記処理室に供給する換気気体を除湿手段により除湿して、その除湿により露点温度を低下させた換気気体を前記処理室に供給することで、前記冷却手段による冷却において溶剤蒸気とともに凝縮する排気気体中の水分の凝縮量を低減する溶剤回収方法。 By cooling the exhaust gas discharged from the processing chamber as it is supplied to the processing chamber where solvent vapor is generated by the cooling means, the solvent vapor contained in the exhaust gas is condensed and exhausted in the exhaust gas. A solvent recovery method for separating and recovering from
Exhaust gas that condenses with solvent vapor during cooling by the cooling means by supplying the ventilation gas supplied to the processing chamber with the dehumidifying means and dehumidifying the dehumidified temperature to the processing chamber. Solvent recovery method that reduces the amount of water condensation.
前記処理室に供給する換気気体を除湿して、その除湿により露点温度を低下させた換気気体を前記処理室に供給することで、前記冷却手段による冷却において溶剤蒸気とともに凝縮する排気気体中の水分の凝縮量を低減する除湿手段を設けてある溶剤回収装置。 By cooling the exhaust gas discharged from the processing chamber as it is supplied to the processing chamber where solvent vapor is generated by the cooling means, the solvent vapor contained in the exhaust gas is condensed and the exhaust gas is exhausted. A solvent recovery device for separating and recovering from
Moisture in the exhaust gas that condenses with the solvent vapor in cooling by the cooling means by dehumidifying the ventilation gas supplied to the processing chamber and supplying the ventilation gas whose dew point temperature has been reduced by the dehumidification to the processing chamber A solvent recovery device provided with dehumidifying means for reducing the amount of condensation.
前記予冷手段での排気気体の予冷で昇温した前記予冷用熱媒を再生気体加熱用の熱媒として前記除湿用の再生気体加熱手段に供給する構成にしてある請求項9記載の溶剤回収装置。 The cooling means includes a precooling means for precooling the exhaust gas discharged from the processing chamber by heat exchange with a precooling heat medium, and the exhaust gas precooled by the precooling means for main cooling at a lower temperature than the precooling heat medium. It is configured to include a main cooling means for performing main cooling by heat exchange with the heat medium,
The solvent recovery apparatus according to claim 9, wherein the precooling heating medium heated by the precooling of the exhaust gas in the precooling means is supplied to the regeneration gas heating means for dehumidification as a heating medium for heating the regeneration gas. .
外部からの新鮮気体を前記処理室に供給する換気気体として用いる新鮮換気状態と、
前記浄化済の排気気体と前記新鮮気体との混合気体を前記処理室に供給する換気気体として用いる混合換気状態とのうち、
少なくとも2つの換気状態の選択的な切り換えを行なう切換手段を設けてある請求項3〜11のいずれか1項に記載の溶剤回収装置。 A circulation ventilation state in which purified exhaust gas obtained by condensing and separating solvent vapor by cooling by the cooling means is used as a ventilation gas for supplying the processing chamber;
A fresh ventilation state used as a ventilation gas for supplying fresh gas from the outside to the processing chamber;
Among the mixed ventilation state used as a ventilation gas for supplying a mixed gas of the purified exhaust gas and the fresh gas to the processing chamber,
The solvent recovery apparatus according to any one of claims 3 to 11, further comprising switching means for selectively switching at least two ventilation states.
残存溶剤蒸気を吸着する濃縮用吸着剤を保持する濃縮用吸着ロータの各部をその吸着ロータの回転により、前記冷却手段で溶剤蒸気を凝縮分離した後の排気気体の通風域である濃縮用吸着域と濃縮用再生気体の通風域である濃縮用脱着域とに交互に位置させる吸着ロータ式濃縮装置を設け、
この吸着ロータ式濃縮装置における濃縮用脱着域を通過して高濃度の脱着溶剤蒸気を含む濃縮状態になった濃縮用再生気体を前記処理室からの排気空気とともに前記冷却手段に送る構成にしてある請求項3〜12のいずれか1項に記載の溶剤回収装置。 As a concentration recovery means for separating the solvent vapor remaining in the exhaust gas after condensation and separation of the solvent vapor by cooling by the cooling means from the exhaust gas in a concentrated state,
Concentration adsorption area, which is a ventilation area of exhaust gas after each part of the concentration adsorption rotor holding the concentration adsorbent for adsorbing residual solvent vapor is condensed and separated by the cooling means by the rotation of the adsorption rotor. And an adsorption rotor type concentrator that is positioned alternately in the desorption area for concentration, which is the ventilation area of the regeneration gas for concentration,
In this adsorption rotor type concentrator, the concentrated regeneration gas that has passed through the concentration desorption zone and has become a concentrated state containing high concentration desorption solvent vapor is sent to the cooling means together with the exhaust air from the processing chamber. The solvent recovery apparatus of any one of Claims 3-12.
この兼用の再生気体加熱手段で加熱した浄化済の排気気体の一部を除湿用再生気体として前記吸着ロータ式除湿装置における前記除湿用脱着域に通風し、他の一部を濃縮用再生気体として前記吸着ロータ式濃縮装置における前記濃縮用脱着域に通風する構成にしてある請求項15記載の溶剤回収装置。 The regeneration gas heating means for combined use with the regeneration gas heating means for dehumidification and the regeneration gas heating means for concentration,
A part of the purified exhaust gas heated by the combined regeneration gas heating means is passed as dehumidification regeneration gas to the dehumidification desorption region in the adsorption rotor type dehumidifier, and the other part is used as concentration regeneration gas. 16. The solvent recovery apparatus according to claim 15, wherein the solvent recovery apparatus is configured to ventilate the desorption area for concentration in the adsorption rotor type concentrator.
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