JP2011088024A - Apparatus for producing ozone-containing water, cleaning apparatus employing the same, method for producing ozone-containing water, and cleaning method - Google Patents

Apparatus for producing ozone-containing water, cleaning apparatus employing the same, method for producing ozone-containing water, and cleaning method Download PDF

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裕晃 長谷川
Kunihiro Yoshikawa
邦宏 吉川
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Akita University NUC
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KIKAWA KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily produce ozone-containing water of especially high cleaning efficiency and to manufacture a cleaning apparatus of high cleaning efficiency employing the same. <P>SOLUTION: Water 30 flows into a body pipe 121 of a microbubble generator 12 from an ejection port 122 thereof. The body pipe 121 is disposed in water from which ozone-containing water is produced. A plurality of slits 124 are formed in the lower part of the body pipe 121 as shown in drawing 2. The plurality of slits 124 each communicating with water present inside of the body pipe 121 and water present outside thereof are disposed parallel to each other to form a tilt angle θ relative to the ejection port 122 side from the direction connecting the ejection port 122 and a collision wall 123, toward the ejection port 122 side. A gas feed pipe 125 is disposed on a position closer to the ejection port 122 than to the plurality of slits 124 to communicate with the body pipe 121, and ozone (a gas) is introduced into the body pipe 121 therefrom by virtue of a negative pressure generated by the water flow therein. Namely, an apparatus 10 for producing ozone-containing water is caused to function by water circulated in the microbubble generator 12 by driving a pump 16. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、オゾンの微細な気泡が添加された水、すなわちオゾン水を生成するオゾン水生成装置、オゾン水生成方法、およびこれらを用いて各種の素材を洗浄する洗浄装置、洗浄方法に関する。   The present invention relates to water to which fine bubbles of ozone are added, that is, an ozone water generating device that generates ozone water, an ozone water generating method, and a cleaning device and a cleaning method for cleaning various materials using these.

例えば、衣類を洗浄する洗濯機においては、各種の洗剤が混合された洗濯水中に衣類が浸され、洗濯水ごと回転、攪拌されることにより、衣類の汚れが洗浄される。この際、回転や攪拌を激しく、長時間行うほど洗浄の効果は大きくなる一方、衣類自身が機械的衝撃によって損傷する可能性が大きくなる。衣類以外でも、被洗浄物が破損する可能性のあるものであれば、同様である。従って、回転や攪拌を激しく行うことなしに高い洗浄効果が得られる洗浄装置が求められていた。   For example, in a washing machine for washing clothes, the clothes are immersed in washing water mixed with various detergents, and the clothes are cleaned by rotating and stirring together with the washing water. At this time, as the rotation and agitation are vigorously performed for a long time, the cleaning effect increases, while the possibility that the garment itself is damaged by mechanical impact increases. The same applies to items other than clothing as long as the item to be cleaned may be damaged. Therefore, there has been a demand for a cleaning apparatus that can provide a high cleaning effect without vigorous rotation and stirring.

このための一つの方法として、例えば、特許文献1には、オゾン水を用いた洗浄装置が記載されている。この技術においては、酸化作用、殺菌作用、脱臭作用、有機物の除去作用等の高いオゾン(O)ガスを発生させ、これをバブリングし、オゾンが溶融された、あるいはオゾンの気泡が多く含まれるオゾン水を生成する。このオゾン水を前記の洗浄装置(洗濯機)において用いた場合、通常の洗剤を用いた洗濯水よりも高い洗浄能力をもつ。この際、通常の衣類はオゾンによって悪影響を受けないため、特に有機物による汚染に対しては有効である。従って、衣類を洗浄する際の回転や攪拌を激しく行うことなしに十分な洗浄効果が得られるため、衣類の損傷を小さくすることができる。 As one method for this purpose, for example, Patent Document 1 describes a cleaning device using ozone water. In this technique, ozone (O 3 ) gas having a high oxidizing action, sterilizing action, deodorizing action, organic substance removing action, etc. is generated and bubbled, and ozone is melted or contains many bubbles of ozone. Ozone water is generated. When this ozone water is used in the washing apparatus (washing machine), it has a higher washing ability than washing water using a normal detergent. At this time, since ordinary clothing is not adversely affected by ozone, it is particularly effective against contamination by organic matter. Accordingly, a sufficient cleaning effect can be obtained without vigorous rotation and stirring when washing the clothes, so that damage to the clothes can be reduced.

この際、オゾンガス自身は、例えば、電極間の放電によって酸素(O)ガスを電離・再結合させる、いわゆる無声放電法によって酸素ガスから容易に製造することができる。また、オゾンは高濃度では人体に対して毒性があるものの、不安定であり、常温の大気中で容易に分解して通常の無毒の酸素分子となるため、その取り扱いも容易である。従って、これを用いた洗浄装置の構成が複雑になることもない。オゾン水は、水中でこのオゾンガスをバブリングすることによって容易に得られる。また、オゾンを従来の洗剤の代わりに用いることにより、洗剤による環境に対する汚染を低減することもできる。 At this time, the ozone gas itself can be easily produced from the oxygen gas by, for example, a so-called silent discharge method in which oxygen (O 2 ) gas is ionized and recombined by discharge between electrodes. In addition, ozone is toxic to the human body at high concentrations, but is unstable, and is easily decomposed into normal non-toxic oxygen molecules in air at room temperature, so that it is easy to handle. Therefore, the structure of the cleaning apparatus using this is not complicated. Ozone water is easily obtained by bubbling this ozone gas in water. In addition, by using ozone instead of a conventional detergent, it is possible to reduce environmental pollution caused by the detergent.

従って、これにより、衣類等に対して十分な洗浄能力をもち、衣類に対する損傷を小さくし、かつ安価な洗浄装置が得られた。オゾンによって悪影響を受けないもの、例えば、金属部品や半導体ウェハ等を洗浄する場合も同様である。   Therefore, this has provided a cleaning device that has sufficient cleaning ability for clothes and the like, reduces damage to clothes, and is inexpensive. The same applies to the case of cleaning materials that are not adversely affected by ozone, such as metal parts and semiconductor wafers.

一方、特許文献2においては、洗浄に適したオゾン水の条件が記載されている。ここでは、特に特に気泡径が50〜500nmの範囲のオゾンガスの気泡(ナノバブル)を含むオゾン水が洗浄には適しており、このオゾン水は、特に高い殺菌効果をもつため、有効であることが示された。このオゾン水は、水の電気伝導度を調整し、かつ超音波を印加する等の物理的刺激を加えることによって生成することができる。   On the other hand, Patent Document 2 describes conditions for ozone water suitable for cleaning. Here, in particular, ozone water containing bubbles (nanobubbles) of ozone gas having a bubble diameter in the range of 50 to 500 nm is suitable for cleaning, and since this ozone water has a particularly high bactericidal effect, it may be effective. Indicated. This ozone water can be generated by adjusting the electrical conductivity of water and applying a physical stimulus such as applying ultrasonic waves.

特開平8−141270号公報JP-A-8-141270 特開2005−246293号公報JP 2005-246293 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術において、洗浄に対して最適なオゾン水の条件は必ずしも明確ではない。例えば、オゾンの濃度が高ければ効果が大きいことは自明であるが、特にこれ以外の条件については明確ではない。ところが、オゾンは短い時間で容易に分解して無毒の酸素ガスになるものの、それ自身には毒性があるため、できるだけオゾン濃度が低いことが好ましい。また、オゾン濃度が低いオゾン水を製造することが容易であることも明らかである。従って、低いオゾン濃度でかつ高い洗浄効率をもつオゾン水が好ましいが、この点については、特許文献1においては全く明らかにされていない。   However, in the technique described in Patent Document 1, the optimal ozone water conditions for cleaning are not always clear. For example, it is obvious that the effect is large if the concentration of ozone is high, but the conditions other than this are not clear. However, ozone decomposes easily in a short time to become non-toxic oxygen gas, but itself is toxic, so it is preferable that the ozone concentration be as low as possible. It is also clear that it is easy to produce ozone water having a low ozone concentration. Therefore, ozone water having a low ozone concentration and high cleaning efficiency is preferable, but this point is not disclosed at all in Patent Document 1.

一方、特許文献2においては、気泡径を上記の範囲とすることによって、特に殺菌効果が高くなることは明確にされた。しかしながら、このオゾン水を製造するためには、電解質を添加して水自身の電気伝導度を調整したり、超音波を印加する等の複雑な工程、作業が必要であった。また、殺菌効果は高くなるものの、水の中の添加物質の存在により、殺菌以外を目的とする洗浄に適さないことも明らかである。従って、この条件は殺菌のみを対象としたものであり、例えば一般的な衣類の洗浄や、半導体ウェハの洗浄等には適したものではない。   On the other hand, in Patent Document 2, it has been clarified that the bactericidal effect is particularly enhanced by setting the bubble diameter in the above range. However, in order to produce this ozone water, complicated processes and operations such as adding an electrolyte to adjust the electrical conductivity of the water itself and applying ultrasonic waves are necessary. In addition, although the sterilizing effect is enhanced, it is also clear that the presence of an additive substance in water is not suitable for cleaning for purposes other than sterilization. Therefore, this condition is intended only for sterilization, and is not suitable for, for example, general clothing cleaning or semiconductor wafer cleaning.

すなわち、オゾン水を用いた洗浄装置において、特に高い洗浄効率をもつオゾン水を容易に得ることができ、これを用いて高い洗浄効率をもつ洗浄装置を得ることは困難であった。   That is, in the cleaning apparatus using ozone water, ozone water having particularly high cleaning efficiency can be easily obtained, and it has been difficult to obtain a cleaning apparatus having high cleaning efficiency using this.

本発明は、斯かる問題点に鑑みてなされたものであり、上記問題点を解決する発明を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide an invention that solves the above problems.

本発明は、上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
請求項1に記載の発明の要旨は、マイクロバブル発生装置に水及びオゾンガスを循環させて水中でオゾンガスをマイクロバブルとして形成させるオゾン水生成装置であって、前記マイクロバブル発生装置は、一端が前記循環される水が導入される吐出口であり、他端が閉じられた構造を具備し、水中に配置される本体パイプと、該本体パイプに連通され、オゾンガスを前記本体パイプ内部に導入する気体供給管と、前記本体パイプにおける一端と他端とを結ぶ線に対して傾斜角をもって形成され、前記本体パイプの内部と外部の水中とを連通するスリットを具備することを特徴とするオゾン水生成装置に存する。
請求項2に記載の発明の要旨は、略同一の前記傾斜角をもって複数の前記スリットが形成されたことを特徴とする請求項1に記載のオゾン水生成装置に存する。
請求項3に記載の発明の要旨は、前記傾斜角は、前記一端側に向かって30°〜90°の範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載のオゾン水生成装置に存する。
請求項4に記載の発明の要旨は、マイクロバブル発生装置に水及びオゾンガスを循環させて水中でオゾンガスをマイクロバブルとして形成させるオゾン水生成方法であって、一端に吐出口が設けられ、他端が閉じられた構造を具備する本体パイプを水中に配置して前記一端から前記本体パイプ中に前記循環させる水を導入し、前記本体パイプ中における水流による負圧を利用してオゾンガスを前記本体パイプ中に導入し、前記本体パイプにおける一端と他端とを結ぶ線に対して傾斜角をもち、前記本体パイプの内部と外部の水中とを連通するスリットから、前記循環させる水及びオゾンガスのマイクロバブルを水中に放出させることにより、前記オゾン水を生成することを特徴とするオゾン水生成方法に存する。
請求項5に記載の発明の要旨は、略同一の前記傾斜角をもって形成された複数の前記スリットから前記オゾンガスのマイクロバブルを水中に放出させることを特徴とする請求項4に記載のオゾン水生成方法に存する。
請求項6に記載の発明の要旨は、前記傾斜角を、前記一端側に向かって30°〜90°の範囲とすることを特徴とする請求項4又は5に記載のオゾン水生成方法に存する。
請求項7に記載の発明の要旨は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のオゾン水生成装置によって生成されたオゾン水が導入され、該オゾン水中に被洗浄物が浸漬される構造の洗浄槽を具備することを特徴とする洗浄装置に存する。
請求項8に記載の発明の要旨は、前記洗浄槽は、回転機構及び攪拌機構を具備しないことを特徴とする請求項7に記載の洗浄装置に存する。
請求項9に記載の発明の要旨は、前記被洗浄物は、衣類、野菜類、金属部品類、半導体ウェハ類のうちのいずれか1種であることを特徴とする請求項7または8に記載の洗浄装置に存する。
請求項10に記載の発明の要旨は、請求項4から請求項6までのいずれか1項に記載のオゾン水生成方法によって生成されたオゾン水を洗浄槽に導入し、前記オゾン水中に被洗浄物を浸漬することを特徴とする洗浄方法に存する。
In order to solve the above problems, the present invention has the following configurations.
SUMMARY OF THE INVENTION according to claim 1 is a microbubble generator ozone water producing apparatus for forming ozone gas as microbubbles in water by circulating water and ozone gas, the microbubble generator has one end the A discharge port through which water to be circulated is introduced and has a structure in which the other end is closed and is connected to the main body pipe disposed in the water, and a gas that introduces ozone gas into the main body pipe Ozone water generation characterized by comprising a slit formed with an inclination angle with respect to a line connecting a supply pipe and one end and the other end of the main body pipe, and communicating between the inside of the main body pipe and the outside water Exists in the device.
The gist of the invention described in claim 2 resides in the ozone water generating apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the slits are formed with substantially the same inclination angle.
The gist of the invention described in claim 3 resides in the ozone water generator according to claim 1 or 2, wherein the inclination angle is in a range of 30 ° to 90 ° toward the one end side. .
SUMMARY OF THE INVENTION according to claim 4 is the ozone water generating method for forming a ozone gas in water by circulating water and ozone gas in the microbubble generator as microbubbles, the discharge port is provided at one end, the other end A main body pipe having a closed structure is disposed in the water, the water to be circulated is introduced into the main body pipe from the one end, and ozone gas is supplied to the main body pipe using negative pressure due to the water flow in the main body pipe. Microbubbles of water and ozone gas to be circulated from a slit having an inclination angle with respect to a line connecting one end and the other end of the main body pipe and communicating between the inside of the main body pipe and the outside water The ozone water generation method is characterized in that the ozone water is generated by releasing water into the water.
SUMMARY OF THE INVENTION according to claim 5, generates ozone water according a plurality of the slits formed with a said angle of inclination of substantially the same to claim 4, characterized in that to release microbubbles of the ozone gas in water Lies in the way.
The gist of the invention described in claim 6 resides in the ozone water generation method according to claim 4 or 5, wherein the inclination angle is in a range of 30 ° to 90 ° toward the one end side. .
SUMMARY OF THE INVENTION according to claim 7 is introduced ozone water generated by ozone water generating apparatus according to any one of claims 1 to 3, the object to be cleaned is immersed in the ozone water The present invention resides in a cleaning apparatus including a cleaning tank having a structure as described above.
The gist of the invention described in claim 8 resides in the cleaning apparatus according to claim 7, wherein the cleaning tank does not include a rotation mechanism and a stirring mechanism.
The gist of the invention described in claim 9 is that the object to be cleaned is any one of clothing, vegetables, metal parts, and semiconductor wafers. It exists in the cleaning device.
The gist of the invention described in claim 10 is that ozone water generated by the ozone water generating method according to any one of claims 4 to 6 is introduced into a cleaning tank, and the ozone water is cleaned. The present invention resides in a cleaning method characterized by immersing an object.

本発明は以上のように構成されているので、オゾン水を用いた洗浄装置において、特に高い洗浄効率をもつオゾン水を容易に得ることができ、これを用いて高い洗浄効率をもつ洗浄装置を得ることができる。   Since the present invention is configured as described above, in a cleaning apparatus using ozone water, ozone water having particularly high cleaning efficiency can be easily obtained, and a cleaning apparatus having high cleaning efficiency can be obtained using this. Obtainable.

(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態は、オゾンを溶解、あるいはオゾンの微細な気泡を多数含むオゾン水を生成するオゾン水生成装置である。
(First embodiment)
The first embodiment of the present invention is an ozone water generator that generates ozone water that dissolves ozone or contains a large number of fine bubbles of ozone.

このオゾン水生成装置10の構成を図1に示す。このオゾン水生成装置は、オゾン発生装置11と、マイクロバブル発生装置12とを具備する。オゾン発生装置11には、酸素ボンベ13から、酸素供給バルブ14、酸素流量計15を介して酸素(O)ガスが供給される。酸素供給バルブ14で酸素ガスのオンオフが制御され、酸素流量計15でその流量がモニターされて制御されることによって、オゾンガスの流量が制御される。水30中に浸漬されたマイクロバブル発生装置12にはポンプ16によって水が供給されると同時に、オゾン発生装置11によって生成されたオゾンガスが供給される。これにより、その内部で水及びオゾンガスがマイクロバブル発生装置12内で循環され、水中でオゾンガスは小さな多数の気泡(マイクロバブル)となって水30中に排出される。この際、オゾンガスの一部は水中に溶解し、他はオゾンの気泡となったまま水30中に残存するか、水30の表面から大気中に開放される。すなわち、水30はオゾン水となる。この際、気泡の大きさが小さいほど、水30中に残存する確率が大きくなり、大気中に開放される割合が減少する。すなわち、オゾンを多く含むオゾン水を生成することができる。なお、図1では単純化して記載したために、このマイクロバブル発生装置12には左側から水が供給され、右側からオゾンが供給される構成として記載されているが、実際にはこれらが供給される方向は図2において示される方向である。また、水30が溜められた槽の外部にポンプ16を設置した構成としているが、マイクロバブル発生装置12に水を循環させることのできる構成であればこの構成は任意である。 The configuration of the ozone water generator 10 is shown in FIG. The ozone water generator includes an ozone generator 11 and a microbubble generator 12. Oxygen (O 2 ) gas is supplied to the ozone generator 11 from an oxygen cylinder 13 through an oxygen supply valve 14 and an oxygen flow meter 15. The oxygen supply valve 14 controls the on / off of the oxygen gas, and the oxygen flow meter 15 monitors and controls the flow rate of the oxygen gas, thereby controlling the flow rate of the ozone gas. The microbubble generator 12 immersed in the water 30 is supplied with water by the pump 16 and simultaneously with the ozone gas generated by the ozone generator 11. As a result, water and ozone gas are circulated in the microbubble generator 12 in the inside, and the ozone gas is discharged into the water 30 in the form of many small bubbles (microbubbles) in the water. At this time, a part of the ozone gas is dissolved in water, and the other is left in the water 30 as ozone bubbles, or is released from the surface of the water 30 to the atmosphere. That is, the water 30 becomes ozone water. At this time, the smaller the bubble size, the greater the probability that it will remain in the water 30, and the rate of release to the air will decrease. That is, ozone water containing a large amount of ozone can be generated. In FIG. 1, since the description is simplified, water is supplied to the microbubble generator 12 from the left side and ozone is supplied from the right side, but these are actually supplied. The direction is the direction shown in FIG. Moreover, although the pump 16 is installed outside the tank in which the water 30 is stored, this configuration is optional as long as the water can be circulated through the microbubble generator 12.

オゾン発生装置11としては、任意のものを用いることができ、例えば無声放電式のものを用いることができる。この構成においては、一対の電極間に無声放電を発生させ、その間の酸素(O)ガスを電離・再結合させ、オゾン(O)ガスを生成する。オゾン発生装置11からマイクロバブル発生装置12側に送られるガスは100%のオゾンである必要はなく、例えば1000ppm程度のオゾン濃度でもよい。ただし、後述するように、本発明のオゾン水生成装置によれば、特にオゾン水におけるオゾンの生成効率を高くすることができるため、この濃度を100ppm以下とすることもできる。この場合、オゾンの濃度は、酸素の流量と、このオゾン発生装置11の設定(例えば電極間電位等)によって決定される。 As the ozone generator 11, any device can be used, for example, a silent discharge type device can be used. In this configuration, a silent discharge is generated between a pair of electrodes, and oxygen (O 2 ) gas therebetween is ionized and recombined to generate ozone (O 3 ) gas. The gas sent from the ozone generator 11 to the microbubble generator 12 does not need to be 100% ozone, and may have an ozone concentration of about 1000 ppm, for example. However, as will be described later, according to the ozone water generating apparatus of the present invention, since the ozone generation efficiency in ozone water can be increased, this concentration can be set to 100 ppm or less. In this case, the concentration of ozone is determined by the flow rate of oxygen and the setting of the ozone generator 11 (for example, the potential between electrodes).

オゾン水においては、水(HO)中のOHイオンとオゾンとの反応によってOHラジカルや、O (スーパーオキシドイオン)が生成される。これらの化学物質は、特に強い酸化力があるため、高い殺菌作用、脱臭作用、有機物の除去作用をもつ。 In ozone water, OH radicals and O 2 (superoxide ions) are generated by the reaction between OH ions in water (H 2 O) and ozone. Since these chemical substances have particularly strong oxidizing power, they have a high bactericidal action, deodorizing action, and organic substance removing action.

ここで、このオゾン水生成装置10においては、マイクロバブル発生装置12として、スリット式のマイクロバブル発生装置が用いられる。このマイクロバブル発生装置は、特開2005−334869号(以下、特許文献3)に記載されたものと同様である。このマイクロバブル発生装置12の構成の概略断面図を図2に示す。このマイクロバブル発生装置12においては、本体パイプ121の一端に吐出口122が設けられ、他端は衝突壁123が設けられることによって閉じられた構造となっている。吐出口122からは水30が本体パイプ121内に流入する。この本体パイプ121はオゾン水となる水中に配置され、例えばその内径が10mm程度のアクリルで構成される。また、図2中の下方には複数のスリット124が形成されている。スリット124は、本体パイプの内部と外部の水中とを連通し、吐出口122のある側に向かって吐出口122と衝突壁123とを結ぶ方向(図2における水平方向)から吐出口122側に対して傾斜角θをなして平行に形成される。スリットの幅は例えば0.5mm程度である。また、これらのスリット124よりも吐出口122に近い側(水の流れに対して上流側)に、本体パイプ121に連通して気体供給管125が設けられおり、ここからオゾンガス(気体)が水流による負圧によってこの本体パイプ121内に導入される。すなわち、このオゾン水生成装置10は、ポンプ16が駆動されて、水がマイクロバブル発生装置12中を循環することによって動作する。なお、図2においてはスリット124は下方に形成されているが、同様の効果が得られればこれに限られるものではなく、例えば上方に形成されていてもよい。   Here, in the ozone water generating apparatus 10, a slit-type microbubble generating apparatus is used as the microbubble generating apparatus 12. This microbubble generator is the same as that described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-334869 (hereinafter, Patent Document 3). A schematic cross-sectional view of the configuration of the microbubble generator 12 is shown in FIG. In the microbubble generator 12, a discharge port 122 is provided at one end of the main body pipe 121, and the other end is closed by providing a collision wall 123. Water 30 flows into the main body pipe 121 from the discharge port 122. The main body pipe 121 is disposed in water which is ozone water, and is made of acrylic having an inner diameter of about 10 mm, for example. A plurality of slits 124 are formed in the lower part of FIG. The slit 124 communicates the inside of the main body pipe with the outside water, and extends from the direction (horizontal direction in FIG. 2) connecting the discharge port 122 and the collision wall 123 toward the discharge port 122 to the discharge port 122 side. In contrast, they are formed in parallel at an inclination angle θ. The width of the slit is, for example, about 0.5 mm. Further, a gas supply pipe 125 is provided in communication with the main body pipe 121 on the side closer to the discharge port 122 than the slits 124 (upstream side with respect to the water flow), from which ozone gas (gas) flows into the water flow. The main pipe 121 is introduced by the negative pressure due to the above. That is, the ozone water generator 10 operates by driving the pump 16 and circulating water through the microbubble generator 12. In FIG. 2, the slit 124 is formed below, but the slit 124 is not limited to this as long as the same effect can be obtained, and may be formed above, for example.

特許文献3に記載されたように、このマイクロバブル発生装置12は、せん断式のマイクロバブル発生装置として動作する。すなわち、水は吐出口122からこの本体パイプ121内にポンプ16によって導入されると、水流による負圧によって気体供給管125から気体(オゾンガス)が導入され、本体パイプ121中では水中の気泡となる。この気泡が本体パイプ121内のスリット124の入り口で細かくせん断されて、微細な気泡(マイクロバブル)となって、スリット124の先端から水と同時に水中に排出される。特許文献3に記載されたように、このマイクロバブル発生装置12においては、この簡単な構成で、特にその径が100μmよりも小さな気泡を有効に多数生成することができる。この際、気体供給管125を鉛直方向における上側、スリット124を下側に設けることが好ましい。この構成により、マイクロバブルを効率的に発生させることができ、かつこれを水30中に広く拡散させることができる。   As described in Patent Document 3, the microbubble generator 12 operates as a shear type microbubble generator. That is, when water is introduced into the main body pipe 121 from the discharge port 122 by the pump 16, gas (ozone gas) is introduced from the gas supply pipe 125 due to the negative pressure caused by the water flow, and bubbles in the main body pipe 121 are formed. . The bubbles are finely sheared at the entrance of the slit 124 in the main body pipe 121 to become fine bubbles (microbubbles) and are discharged into the water simultaneously with water from the tip of the slit 124. As described in Patent Document 3, the microbubble generator 12 can effectively generate a large number of bubbles having a diameter smaller than 100 μm, with this simple configuration. At this time, it is preferable to provide the gas supply pipe 125 on the upper side in the vertical direction and the slit 124 on the lower side. With this configuration, microbubbles can be generated efficiently and diffused widely in the water 30.

なお、スリット124の数は任意であるが、この数が多い方が、効率的にマイクロバブルを発生させることができるため、好ましい。   The number of slits 124 is arbitrary, but a larger number is preferable because microbubbles can be generated efficiently.

従って、このマイクロバブル発生装置12を水30中に配置し、ポンプ16を動作させて水を循環させれば、水30はオゾン水となる。すなわち、水30中には多数のオゾンガスからなるマイクロバブルが存在し。また、その一部は水中に溶解する。従って、この水全体に対するオゾン濃度を高くすることができる。ポンプ16による水の流量やその運転時間を長くすることにより、オゾン濃度を高くすることができる。   Accordingly, if the microbubble generator 12 is disposed in the water 30 and the pump 16 is operated to circulate the water, the water 30 becomes ozone water. That is, there are microbubbles made of a large number of ozone gases in the water 30. Some of them dissolve in water. Therefore, the ozone concentration with respect to the entire water can be increased. The ozone concentration can be increased by increasing the flow rate of water by the pump 16 and the operation time thereof.

発明者は、上記の構成のオゾン水生成装置10によって生成したオゾン水を用いて、衣類に対する洗浄効果を調べたところ、特にスリット124の傾斜角θがこの洗浄効果に対して大きな影響を与えることを知見した。以下ではこの実験結果について説明する。   The inventor examined the cleaning effect on clothes using the ozone water generated by the ozone water generating apparatus 10 having the above configuration. In particular, the inclination angle θ of the slit 124 has a great influence on the cleaning effect. I found out. The experimental results will be described below.

ここでは、コーヒーに浸して汚染させた布地を、図1の形態における水30(オゾン水)に浸し、回転・攪拌を行うこと無しで放置した場合の汚染の除去の度合いを調べた。この場合の酸素流量は40ml/minであり、水温は8℃である。水は電気抵抗率が0.004〜0.015×10Ω・cm程度である一般の水道水であり、特にその抵抗率は調整していない。スリット124の傾斜角θについては、30°と60°の2種類を用いた。また、観察はポンプ16を動作させてから40分まで行ったが、ポンプ16は0〜20分の間だけ動作させ、20〜40分の間は停止させた。 Here, the degree of contamination removal when the cloth soaked in coffee and soaked in water 30 (ozone water) in the form of FIG. 1 and left without rotation and stirring was examined. In this case, the oxygen flow rate is 40 ml / min, and the water temperature is 8 ° C. Water is general tap water having an electrical resistivity of about 0.004 to 0.015 × 10 6 Ω · cm, and the resistivity is not particularly adjusted. For the inclination angle θ of the slit 124, two types of 30 ° and 60 ° were used. Moreover, although observation was performed for 40 minutes after operating the pump 16, the pump 16 was operated only for 0 to 20 minutes and stopped for 20 to 40 minutes.

図3は、処理前の試料の外観であり、図4(a)〜(d)は、θが30°の場合のそれぞれ10、20、30、40分経過時の布地の表面の観察結果であり、図5(a)〜(d)は、θが60°の場合のそれぞれ10、20、30、40分経過時の布地の表面の観察結果である。この結果より、どちらの場合においても、時間の経過と共に汚れが除去されていることが明らかである。すなわち、このオゾン水生成装置10を用いて生成されたオゾン水を用いて有機汚染が除去されることが確認できる。ただし、θが60°の場合は20分後(図5(b))で汚染はほぼ除去されているのに対し、30°の場合には30分後(図4(c))でも十分に除去されていない。従って、θが60°の場合には30°の場合よりもその効果が大きく、洗浄能力が高いことが確認できる。   FIG. 3 shows the appearance of the sample before the treatment, and FIGS. 4A to 4D show the observation results of the surface of the fabric when θ is 30 °, respectively at 10, 20, 30, and 40 minutes. Yes, FIGS. 5A to 5D are observation results of the surface of the fabric when 10, 20, 30, and 40 minutes have elapsed when θ is 60 °, respectively. From this result, it is clear that in both cases, the dirt is removed with the passage of time. That is, it can be confirmed that organic contamination is removed using the ozone water generated using the ozone water generator 10. However, when θ is 60 °, the contamination is almost removed after 20 minutes (FIG. 5B), whereas when it is 30 °, the contamination is sufficient even after 30 minutes (FIG. 4C). It has not been removed. Therefore, when θ is 60 °, the effect is greater than when 30 °, and it can be confirmed that the cleaning ability is high.

洗浄効果にはオゾン水中のオゾンの濃度が大きく影響することは明らかであるため、これらの時間経過に応じたオゾン水中のオゾン濃度を測定した。ここで測定されるオゾンは、マイクロバブルとして水中に存在するものと、水中に溶解しているものの総和である。測定は吸光光度法により行った。この測定結果を図6に示す。動作開始時のオゾン濃度は零であり、θの値に関わらず、マイクロバブル発生装置12の動作中である20分後まではオゾン濃度は増加し、これを停止した20分後以降は、その濃度は減少するものの、充分に残存している。ただし、オゾンの濃度の絶対値はどの時点でもθ=60°の方が高い。   Since it is clear that the ozone concentration in the ozone water greatly affects the cleaning effect, the ozone concentration in the ozone water was measured according to the passage of time. The ozone measured here is the sum of the microbubbles present in water and those dissolved in water. Measurement was performed by absorptiometry. The measurement results are shown in FIG. The ozone concentration at the start of the operation is zero, regardless of the value of θ, the ozone concentration increases until 20 minutes after the operation of the microbubble generator 12, and after 20 minutes after the stop, Although the concentration decreases, it remains sufficiently. However, the absolute value of the ozone concentration is higher at θ = 60 ° at any time.

図6の結果を元にして、オゾン濃度を両者の間で同一とした場合の、洗浄効果の違いを同様にして調べた。すなわち、ここではθ=30°の場合の酸素流量を40ml/minとし、θ=60°の場合の酸素流量を24ml/minとした。この場合のθ=30°の場合の結果が図7(a)〜(d)であり、θ=60°の場合の結果が図8(a)〜(d)である。この際のオゾン濃度の測定を図5と同様に行った結果が図9であるが、経過時間によらず、オゾン濃度は両者の間でほぼ同一となっていることが確認できる。すなわち、酸素流量を上記の通りに設定することによって、オゾン濃度はほぼ同一とすることができた。   Based on the result of FIG. 6, the difference in the cleaning effect when the ozone concentration was the same between the two was examined in the same manner. That is, the oxygen flow rate when θ = 30 ° is 40 ml / min, and the oxygen flow rate when θ = 60 ° is 24 ml / min. The results when θ = 30 ° in this case are FIGS. 7A to 7D, and the results when θ = 60 ° are FIGS. 8A to 8D. FIG. 9 shows the result of measuring the ozone concentration in the same manner as in FIG. 5, but it can be confirmed that the ozone concentration is almost the same between the two regardless of the elapsed time. That is, the ozone concentration could be made substantially the same by setting the oxygen flow rate as described above.

しかしながら、この結果においても、図4、5の場合と同様に、θ=60°の方が良好な結果が得られた。すなわち、θが60°の場合には、20分後(図8(b))には汚染がほぼ除去されているのに対し、30°の場合には、30分後(図7(c))でも除去されていない。従って、θ=60°の方が高い洗浄効果が得られるのは、単に高いオゾン濃度が得られるためではなく、他の要因にもよるものである。   However, also in this result, as in the case of FIGS. 4 and 5, a better result was obtained when θ = 60 °. That is, when θ is 60 °, the contamination is almost removed after 20 minutes (FIG. 8B), whereas when it is 30 °, after 30 minutes (FIG. 7C). ) But not removed. Therefore, the higher cleaning effect is obtained when θ = 60 ° not only because a high ozone concentration is obtained but also due to other factors.

このために、ここでは2つの観点からオゾン水中におけるオゾンのマイクロバブルの状態を調べた。その一つはマイクロバブルの気泡径であり、もう一方はマイクロバブルの電位(ゼータ電位)である。   For this reason, the state of the microbubble of ozone in ozone water was investigated from two viewpoints here. One is the bubble diameter of the microbubble, and the other is the potential of the microbubble (zeta potential).

まず、θ=30°の場合と60°の場合で、マイクロバブルの気泡径の分布を測定した結果が図10である。ここで、縦軸は存在確率密度、横軸は測定された気泡の直径であり、測定は光透過率法及びマイクロスコープ法により行った。どちらの場合も、気泡径が100μm以下のマイクロバブルが有効に生成されているが、30°の場合にはその分布が比較的平坦となっているのに対し、θ=60°の場合は、30°の場合と比べて、特に気泡径が60μm以下のものの割合が高くなっていることが確認できる。   First, FIG. 10 shows the measurement results of the bubble size distribution of microbubbles when θ = 30 ° and 60 °. Here, the vertical axis represents the existence probability density, and the horizontal axis represents the measured bubble diameter, and the measurement was performed by the light transmittance method and the microscope method. In both cases, microbubbles having a bubble diameter of 100 μm or less are effectively generated, but when 30 °, the distribution is relatively flat, whereas when θ = 60 °, Compared to the case of 30 °, it can be confirmed that the ratio of those having a bubble diameter of 60 μm or less is particularly high.

従って、θ=60°の場合には、小さな気泡径を持つマイクロバブルの数が多くなる。すなわち、微細なオゾンのマイクロバブルが多く生成される。   Therefore, when θ = 60 °, the number of microbubbles having a small bubble diameter increases. That is, many fine ozone microbubbles are generated.

一方、θ=30°の場合と60°の場合で、マイクロバブルのゼータ電位を測定した結果が図11である。ここで、横軸は気泡径の範囲であり、各気泡径の範囲でのゼータ電位が測定された。測定は電気泳動法により行った。この結果から、θ=60°の場合の方が、気泡径に関わらず、負側に大きなゼータ電位を有することが明らかである。一般に、せん断式のマイクロバブル発生装置においては、気泡(マイクロバブル)に大きなゼータ電位が付与されることが知られているが、特にθ=60°とする場合には、大きなゼータ電位が得られる。   On the other hand, FIG. 11 shows the results of measuring the zeta potential of microbubbles when θ = 30 ° and 60 °. Here, the horizontal axis is the range of the bubble diameter, and the zeta potential in the range of each bubble diameter was measured. The measurement was performed by electrophoresis. From this result, it is clear that the case of θ = 60 ° has a larger zeta potential on the negative side regardless of the bubble diameter. In general, in a shear type microbubble generator, it is known that a large zeta potential is applied to bubbles (microbubbles), but a large zeta potential is obtained particularly when θ = 60 °. .

すなわち、このマイクロバブル生成装置12によって、微細でかつ大きなゼータ電位をもつオゾンのマイクロバブルが得られる。この効果は特にθが60°の場合の方が大きい。   That is, the microbubble generating device 12 can obtain fine ozone microbubbles having a large zeta potential. This effect is particularly great when θ is 60 °.

図9の結果より、このオゾン水のオゾン濃度は1mg/L程度の低い濃度で、上記の高い洗浄効率をもつ。こうした低いオゾン濃度で高い洗浄効率をもつ理由としては、上記の結果より、以下の点が考えられる。まず、前記の通り、このマイクロバブル発生装置12によって発生したオゾンのマイクロバブルは特に微細であるため、特に水中に長時間留まることができる。この際に、界面の物質移動やマイクロバブルが破裂することが徐々に進行するため、オゾンが水に溶解しやすく、洗浄効果の高い前記の化学物質が効率的に生成される。また、ゼータ電位による静電力によってマイクロバブルは被洗浄物の近辺に集まりやすく、特にこの付近でオゾンを水中に放出しやすいため、洗浄効果の高い化学物質が被洗浄物に有効に作用する。また、上記において、このオゾン水を生成するに際して、マイクロバブル発生装置12に投入されるガス、すなわち、オゾン発生装置11で生成されるガスにおけるオゾン濃度は100ppm以下の低濃度である。このように、このマイクロバブル発生装置12を用いることにより、オゾン水におけるオゾンの濃度を高く、かつ洗浄効率の高いオゾン水を生成することができる。   From the result of FIG. 9, the ozone concentration of the ozone water is as low as about 1 mg / L and has the above-described high cleaning efficiency. From the above results, the following points can be considered as reasons for the high cleaning efficiency at such a low ozone concentration. First, as described above, since the microbubbles of ozone generated by the microbubble generator 12 are particularly fine, they can particularly stay in water for a long time. At this time, since the mass transfer at the interface and the bursting of the micro bubbles gradually progress, ozone is easily dissolved in water, and the chemical substance having a high cleaning effect is efficiently generated. In addition, the microbubbles are likely to gather near the object to be cleaned due to the electrostatic force due to the zeta potential, and in particular, ozone is likely to be released into the water in this vicinity. In the above, when the ozone water is generated, the ozone concentration in the gas charged into the microbubble generator 12, that is, the gas generated in the ozone generator 11, is a low concentration of 100 ppm or less. Thus, by using this microbubble generator 12, it is possible to generate ozone water having a high ozone concentration and high cleaning efficiency.

以上の結果より、このマイクロバブル発生装置12を用いたオゾン生成装置10によって生成されたオゾン水はθが30〜60°の範囲で高い洗浄効率をもつことが確認された。また、特にθを60°以上とすることによっても、同様に大きな洗浄効果を得ることができる。なお、θが90°よりも大きくなると、マイクロバブルを有効に発生させることが困難となるため、特に好ましいθの範囲は60〜90°である。すなわち、この構成のオゾン水生成装置10を用いて、特に洗浄効果の大きなオゾン水を生成することができ、これを用いて高い洗浄効率をもつ洗浄装置を得ることができる。   From the above results, it was confirmed that the ozone water generated by the ozone generator 10 using the microbubble generator 12 has high cleaning efficiency in the range of θ of 30 to 60 °. In addition, a large cleaning effect can be obtained by setting θ to 60 ° or more. In addition, since it becomes difficult to generate | occur | produce a microbubble effectively when (theta) becomes larger than 90 degrees, the range of especially preferable (theta) is 60-90 degrees. That is, the ozone water generating apparatus 10 having this configuration can generate ozone water having a particularly large cleaning effect, and a cleaning apparatus having high cleaning efficiency can be obtained using this.

この際、このオゾン水生成装置10において特徴的なのは、マイクロバブル発生装置12である。このマイクロバブル発生装置12の構造は図2に示すように、単純であり、安価にこれを製造することができる。すなわち、高い洗浄効率をもつオゾン水を容易に生成することができる。   At this time, what is characteristic of the ozone water generating apparatus 10 is a microbubble generator 12. As shown in FIG. 2, the structure of the microbubble generator 12 is simple and can be manufactured at low cost. That is, ozone water having high cleaning efficiency can be easily generated.

また、上記の実験においては、オゾン濃度を一定とした場合に、このオゾン水はコーヒーによる有機汚染に対して高い洗浄効果をもつことが示された。このオゾン水はこれ以外の汚染に対しても有効である。図12は、水と油が混合されたエマルション状態となった汚染水を透明な水槽中に入れ、この水中において上記のオゾン水生成装置10を動作させた前後の外観写真(a:動作前、b:動作後30分後)である。ここで、その透明度を判定するため、透明な水槽の奥側の外部には図形が表示された白い布地が置かれている。この結果、30分後には油汚染は除去され、水の透明度が向上していることが確認できる。   Moreover, in said experiment, when ozone concentration was made constant, this ozone water was shown to have a high cleaning effect with respect to the organic contamination by coffee. This ozone water is also effective against other types of pollution. FIG. 12 is a photograph of external appearances before and after the above-described ozone water generating apparatus 10 is operated in this water by putting contaminated water in an emulsion state in which water and oil are mixed into a transparent water tank (a: before operation, b: 30 minutes after the operation). Here, in order to determine the transparency, a white fabric with a graphic is placed outside the transparent aquarium. As a result, it can be confirmed that the oil contamination is removed after 30 minutes and the transparency of water is improved.

従って、このオゾン水生成装置10によって生成されたオゾン水は、コーヒーや油による有機汚染に対して有効であることが確認できる。更に、上記のマイクロバブルの大きさが小さいことと、ゼータ電位による効果により、洗浄効果の高い化学物質が特に有効に生成され、作用することは、他の作用についても同様である。従って、このオゾン水が殺菌作用や脱臭作用に対しても有効であることは明らかである。   Therefore, it can be confirmed that the ozone water generated by the ozone water generating apparatus 10 is effective against organic contamination by coffee or oil. Furthermore, the fact that a chemical substance having a high cleaning effect is particularly effectively generated and acts due to the small size of the microbubbles and the effect of the zeta potential is the same for other actions. Therefore, it is clear that this ozone water is effective for sterilization and deodorization.

(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態は、前記のオゾン水生成装置を用いた洗浄装置である。この洗浄装置の概略構成を図13に示す。
(Second Embodiment)
The second embodiment of the present invention is a cleaning device using the ozone water generating device. A schematic configuration of this cleaning apparatus is shown in FIG.

この洗浄装置40においては、前記のオゾン水生成装置10が用いられ、オゾン水生成槽41中に前記のマイクロバブル発生装置12が、及びこれに付随してその外部にポンプ16が設けられる。給水バルブ42を開の状態にしてオゾン水生成槽41中に水が導入され、マイクロバブル発生装置12が水中に浸漬され、ポンプ16が動作することによって前記の通りにオゾン水が生成される。このオゾン水はオゾン水供給バルブ43を開にした場合に洗浄槽44に導かれ、その中に溜まり、このオゾン水の中に被洗浄物45が浸漬される。この洗浄槽44においては、通常の洗浄装置(洗濯機)において用いられている回転・攪拌機構が用いられていない。また、洗浄槽44にはドレイン46が設けられ、オゾン水は適宜排出される。その後、再び新たなオゾン水が生成され、これがオゾン水供給バルブ43を介して供給される。   In the cleaning device 40, the ozone water generation device 10 is used, and the microbubble generation device 12 is provided in the ozone water generation tank 41, and the pump 16 is provided outside the microbubble generation device 12. Water is introduced into the ozone water generation tank 41 with the water supply valve 42 open, the microbubble generator 12 is immersed in water, and the pump 16 operates to generate ozone water as described above. When the ozone water supply valve 43 is opened, the ozone water is guided to the cleaning tank 44 and collected therein, and the object to be cleaned 45 is immersed in the ozone water. In the washing tank 44, the rotation / stirring mechanism used in a normal washing apparatus (washing machine) is not used. Further, the cleaning tank 44 is provided with a drain 46, and ozone water is appropriately discharged. Thereafter, new ozone water is generated again and supplied through the ozone water supply valve 43.

この洗浄槽44には、オゾン水生成槽41で生成されたオゾン水が溜められた後で、被洗浄物45を洗浄するために用いられる。すなわち、ここでは一旦生成されたオゾン水がこのオゾン水生成槽41とは別の槽で用いられる。この場合でも、図6、図9の結果より、オゾン水中のオゾン濃度は十分であるため、十分な洗浄効果が得られる。   The cleaning tank 44 is used for cleaning the object to be cleaned 45 after the ozone water generated in the ozone water generating tank 41 is stored. That is, here, the ozone water once generated is used in a tank different from the ozone water generation tank 41. Even in this case, the ozone concentration in the ozone water is sufficient from the results shown in FIGS. 6 and 9, and thus a sufficient cleaning effect can be obtained.

被洗浄物45は、前記の例ではコーヒーに汚染された布地であったが、任意である。特に、有機物による汚染を前記のオゾンの効果によって効果的に除去することができる。また、被洗浄物45としては、例えば、衣類(布地)の他、野菜、金属部品、半導体ウェハ等、特にオゾンによって悪影響を受けるものでなければ、これを洗浄することができる。   The object to be cleaned 45 is a cloth contaminated with coffee in the above example, but is optional. In particular, contamination by organic substances can be effectively removed by the effect of ozone. Further, as the object to be cleaned 45, for example, in addition to clothing (cloth), vegetables, metal parts, semiconductor wafers, etc., particularly those that are not adversely affected by ozone, this can be cleaned.

ここでは、洗浄槽44中においてオゾン水に被洗浄物45が浸漬されることにより、被洗浄物45が洗浄される。特にこのオゾン水は、前記の通りの高い洗浄効果を有するために、この洗浄装置40は高い洗浄効率を有する。すなわち、有機汚染の除去、殺菌、脱臭等に対して有効である。   Here, the cleaning object 45 is cleaned by immersing the cleaning object 45 in ozone water in the cleaning tank 44. In particular, since this ozone water has a high cleaning effect as described above, the cleaning device 40 has a high cleaning efficiency. That is, it is effective for removal of organic contamination, sterilization, deodorization and the like.

また、前記の通り、このオゾン水を用いた場合には、オゾン水や被洗浄物45を回転・攪拌しなくとも大きな洗浄効果が得られるため、洗浄槽44には回転機構及び攪拌機構を設ける必要がない。この場合には、この洗浄装置40の消費電力を小さくすることができる。また、洗浄槽44は金属やプラスチック類で構成することができるが、この内壁に被洗浄物45が衝突することがないため、その寿命も長くすることができる。   Further, as described above, when this ozone water is used, a great cleaning effect can be obtained without rotating and stirring the ozone water and the object to be cleaned 45, so the cleaning tank 44 is provided with a rotation mechanism and a stirring mechanism. There is no need. In this case, the power consumption of the cleaning device 40 can be reduced. Further, the cleaning tank 44 can be made of metal or plastics, but since the object to be cleaned 45 does not collide with the inner wall, its life can be extended.

ただし、より高い洗浄効果を得るためには、回転・攪拌機構を設け、オゾン水や被洗浄物45を回転・攪拌してもよい。この場合でも、このオゾン水を用いた場合には、この回転・攪拌を、このオゾン水を用いない場合と比べて弱く、あるいは短時間で行っても高い洗浄効果が得られる。   However, in order to obtain a higher cleaning effect, a rotation / stirring mechanism may be provided to rotate / stir the ozone water or the object 45 to be cleaned. Even in this case, when this ozone water is used, a high cleaning effect can be obtained even if this rotation / stirring is weaker than that in the case where this ozone water is not used or is performed in a short time.

洗剤を用いた洗浄の場合には、洗剤が被洗浄物上に残留することを防ぐために、洗浄後に通常の水によるリンスを行うことが必須である。しかしながら、この洗浄装置40において洗剤の代わりに用いられるオゾンは自然に酸素(O)ガスに変わって空気中に脱離するために、リンスを行う必要はない。ただし、汚染の除去をより強力に行うために、オゾン水による洗浄後にこのオゾン水をドレイン46から排水し、その後で通常の水を洗浄槽44中に導入できる構成として、オゾン水による洗浄後にリンスを行わせることもできる。 In the case of cleaning using a detergent, it is essential to perform normal water rinsing after cleaning in order to prevent the detergent from remaining on the object to be cleaned. However, the ozone used in place of the detergent in the cleaning device 40 naturally changes to oxygen (O 2 ) gas and desorbs into the air, so that it is not necessary to perform rinsing. However, in order to more strongly remove contamination, the ozone water is drained from the drain 46 after cleaning with ozone water, and then normal water is introduced into the cleaning tank 44. After that, rinsing is performed after cleaning with ozone water. Can also be performed.

また、洗浄槽44とオゾン水生成槽41を兼用とし、一つの槽で、オゾン水の生成と洗浄とを同時に、あるいは連続して行うこともでき、この場合にはこの洗浄装置40をより小型化することができる。ただし、被洗浄物45の形状や数量によっては、被洗浄物45が水に浸漬された状態では均一にマイクロバブルを形成することが困難となる場合があり、この場合は均一な洗浄が困難であるため、これらの槽を分離して設けることが好ましい。また、被洗浄物45が多数あるために、複数回の洗浄を連続して行う場合には、これらの槽を分離して設けることにより、洗浄槽44で洗浄を行うと同時に、オゾン水生成槽41で別途オゾン水を生成することが可能であるため、効率的である。   Further, the cleaning tank 44 and the ozone water generation tank 41 can be used together, and the generation and cleaning of the ozone water can be performed simultaneously or continuously in one tank. In this case, the cleaning device 40 is made smaller. Can be However, depending on the shape and quantity of the object to be cleaned 45, it may be difficult to form microbubbles uniformly when the object to be cleaned 45 is immersed in water. In this case, uniform cleaning is difficult. Therefore, it is preferable to provide these tanks separately. In addition, since there are a large number of objects to be cleaned 45, when performing a plurality of times of cleaning continuously, by separately providing these tanks, cleaning is performed in the cleaning tank 44 and at the same time an ozone water generation tank Since it is possible to produce | generate ozone water separately by 41, it is efficient.

なお、1回の洗浄毎にこのオゾン水を交換する必要はない。前記の通り、このオゾン水におけるオゾンのマイクロバブルや溶融したオゾンがこの洗浄効果に寄与するため、これらがオゾン水中に十分残存している限り、高い洗浄効果が得られる。従って、この場合には洗浄に用いる水の量を節約することができる。   Note that it is not necessary to exchange this ozone water for each cleaning. As described above, since ozone microbubbles and molten ozone in the ozone water contribute to the cleaning effect, a high cleaning effect can be obtained as long as they remain sufficiently in the ozone water. Therefore, in this case, the amount of water used for cleaning can be saved.

例えば衣類を被洗浄物45として用いる場合、洗浄後にはこれを乾燥させる必要がある。オゾンは特有の臭気があり、毒性もあるため、オゾンが衣類に残ることは好ましくないが、乾燥の際にオゾンも水分と同時に気化し、かつ無毒、無臭の酸素(O)ガスに変わるため、問題にはならない。 For example, when clothing is used as the object to be cleaned 45, it is necessary to dry it after cleaning. Ozone has a peculiar odor and is toxic, so it is not desirable that ozone remain in clothing, but ozone also vaporizes simultaneously with moisture during drying, and changes to non-toxic, odorless oxygen (O 2 ) gas. It doesn't matter.

また、前記のオゾン水は、洗剤を用いた洗濯水と異なり、その環境に対する悪影響が小さい。これは、前記の通り、オゾンは自然に無毒の酸素ガスに変わるためである。従って、洗浄後にドレイン46を介して排出される廃水に対して特別な処理(無毒化処理)を施す必要はない。   Moreover, unlike the washing water using a detergent, the ozone water has little adverse effect on the environment. This is because, as described above, ozone naturally changes to nontoxic oxygen gas. Therefore, it is not necessary to perform a special process (detoxification process) on the wastewater discharged through the drain 46 after cleaning.

また、例えば、衣類に付着した小さな塵は、オゾン水中のマイクロバブルに付着することにより除去される。この効果は、特にこのマイクロバブルが前記の通りに高いゼータ電位を有し、大きな静電力が発生することにより、顕著となる。   Further, for example, small dust attached to clothing is removed by attaching to microbubbles in ozone water. This effect becomes remarkable particularly when the microbubble has a high zeta potential as described above and a large electrostatic force is generated.

洗浄槽42の形態は任意であるが、特有の臭気があるオゾンが外部に漏れる量を低減するため、あるいはオゾン水からのオゾンの脱離を抑制するためには、蓋を設け、密封することが好ましい。また、排気機構を設け、オゾン水がドレイン46から排水された後に利用者がこの蓋を開ける直前には、洗浄槽42の排気が行われる構成とすることが好ましい。   The form of the cleaning tank 42 is arbitrary, but in order to reduce the amount of ozone with a specific odor leaking to the outside or to suppress the desorption of ozone from the ozone water, a lid is provided and sealed. Is preferred. Further, it is preferable that an exhaust mechanism is provided so that the cleaning tank 42 is exhausted immediately before the user opens the lid after ozone water is drained from the drain 46.

なお、前記の実験においては、水温は8℃であったが、より大きな洗浄効果を得るためには、水温をヒーター等によって調整し、4〜16℃の範囲とすることが更に好ましい。この温度調整は、オゾン水生成槽41において行うことも、洗浄槽44において行うこともできる。   In the above experiment, the water temperature was 8 ° C., but in order to obtain a greater cleaning effect, it is more preferable to adjust the water temperature with a heater or the like to be in the range of 4 to 16 ° C. This temperature adjustment can be performed in the ozone water generation tank 41 or in the cleaning tank 44.

この洗浄装置40を用いて、カレーを染み込ませた布地の洗浄を行った結果を図14に示す。ここで、図14(a)は洗浄前の試料の外観写真、(b)はθ=60°として生成したオゾン水に洗浄槽44中で30分浸漬した後の外観写真、(c)はオゾンガスの代わりに空気を同条件でバブリングした水中に同条件で浸漬した後の外観写真である。(c)における水には空気のマイクロバブルが多数含まれている。(c)においても洗浄の効果は見られるが、オゾン水を用いた(b)で明らかに高い洗浄効率が得られている。   FIG. 14 shows the result of cleaning the fabric soaked with curry using this cleaning device 40. Here, FIG. 14A is an appearance photograph of the sample before cleaning, FIG. 14B is an appearance photograph after being immersed in ozone water generated in θ = 60 ° for 30 minutes in the cleaning tank 44, and FIG. 14C is ozone gas. It is the external appearance photograph after being immersed on the same conditions in the water which bubbled air on the same conditions instead of. The water in (c) contains many air microbubbles. Although the cleaning effect is also observed in (c), the cleaning efficiency is clearly high in (b) using ozone water.

以上の構成により、この洗浄装置40は、安価で高い洗浄効率をもち、オゾンによって悪影響を受けない各種の被洗浄物を洗浄することができる。特に、有機汚染の除去、殺菌、脱臭等に対して有効である。   With the above configuration, the cleaning device 40 can clean various objects to be cleaned that are inexpensive and have high cleaning efficiency and are not adversely affected by ozone. In particular, it is effective for removal of organic contamination, sterilization, deodorization and the like.

また、同様にこのオゾン水生成装置10を例えばプールに設置すれば、プールの水、あるいはプール自身の消毒等にも有用である。   Similarly, if this ozone water generating device 10 is installed in a pool, for example, it is useful for disinfecting the pool water or the pool itself.

本発明の第1の実施の形態となるオゾン水生成装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ozone water production | generation apparatus used as the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態において用いられるマイクロバブル発生装置の構造を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structure of the microbubble generator used in the 1st Embodiment of this invention. 実験において用いられた、コーヒーで汚染された布地の洗浄前の外観写真である。It is the external appearance photograph before washing | cleaning of the cloth contaminated with coffee used in experiment. 酸素流量を40mL/minとし、θ=30°とした時の、浸漬された布地の外観の浸漬時間依存性を調べた結果である。It is the result of investigating the immersion time dependency of the appearance of the immersed fabric when the oxygen flow rate is 40 mL / min and θ = 30 °. 酸素流量を40mL/minとし、θ=60°とした時の、浸漬された布地の外観の浸漬時間依存性を調べた結果である。It is the result of investigating the immersion time dependency of the appearance of the immersed fabric when the oxygen flow rate is 40 mL / min and θ = 60 °. 酸素流量を40mL/minとした時のオゾン水のオゾン濃度の経過時間依存性を、θ=30°と60°の場合について測定した結果である。It is the result of having measured the elapsed time dependence of the ozone concentration of ozone water when an oxygen flow rate is 40 mL / min in the case of θ = 30 ° and 60 °. オゾン濃度をθ=60°の場合とほぼ同一とし、θ=30°とした時の、浸漬された布地の外観の浸漬時間依存性を測定した結果である。It is the result of measuring the immersion time dependency of the appearance of the immersed fabric when the ozone concentration is substantially the same as when θ = 60 ° and θ = 30 °. オゾン濃度をθ=30°の場合とほぼ同一とし、θ=60°とした時の、浸漬された布地の外観の浸漬時間依存性を調べた結果である。It is the result of investigating the immersion time dependence of the appearance of the immersed fabric when the ozone concentration is substantially the same as when θ = 30 ° and θ = 60 °. 図7、図8の測定において用いられたオゾン水のオゾン濃度の経過時間依存性を測定した結果である。It is the result of having measured the elapsed time dependence of the ozone concentration of the ozone water used in the measurement of FIG. θ=30°と60°の場合に生成されたオゾン水におけるマイクロバブルの気泡径の分布を測定した結果である。It is the result of having measured the bubble diameter distribution of the microbubble in the ozone water produced | generated in the case of (theta) = 30 degrees and 60 degrees. θ=30°と60°の場合に生成されたオゾン水におけるマイクロバブルのゼータ電位の分布を測定した結果である。It is the result of having measured the distribution of the zeta potential of the microbubble in the ozone water produced | generated in the case of (theta) = 30 degrees and 60 degrees. 本発明の第1の実施の形態となるオゾン水生成装置を水の油汚染に対して適用した結果(a:適用前、b:適用後)である。It is the result (a: before application, b: after application) which applied the ozone water generator which becomes the 1st Embodiment of this invention with respect to the oil pollution of water. 本発明の第2の実施の形態となる洗浄装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the washing | cleaning apparatus used as the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態となる洗浄装置による洗浄効果を示す結果(a:洗浄前、b:オゾン水洗浄後、c:オゾンの代わりに空気を用いた洗浄後)である。It is a result (a: before washing | cleaning, b: after ozone water washing | cleaning, c: after washing | cleaning using air instead of ozone) which shows the washing | cleaning effect by the washing | cleaning apparatus used as the 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 オゾン水生成装置
11 オゾン発生装置
12 マイクロバブル発生装置
13 酸素ボンベ
14 酸素供給バルブ
15 酸素流量計
16 ポンプ
30 水(オゾン水)
40 洗浄装置
41 オゾン水生成槽
42 給水バルブ
43 オゾン水供給バルブ
44 洗浄槽
45 被洗浄物
46 ドレイン
121 本体パイプ
122 吐出口
123 衝突壁
124 スリット
125 気体供給管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Ozone water generator 11 Ozone generator 12 Micro bubble generator 13 Oxygen cylinder 14 Oxygen supply valve 15 Oxygen flow meter 16 Pump 30 Water (ozone water)
40 Cleaning device 41 Ozone water generation tank 42 Water supply valve 43 Ozone water supply valve 44 Cleaning tank 45 Object to be cleaned 46 Drain 121 Body pipe 122 Discharge port 123 Collision wall 124 Slit 125 Gas supply pipe

Claims (10)

マイクロバブル発生装置に水及びオゾンガスを循環させて水中でオゾンガスをマイクロバブルとして形成させるオゾン水生成装置であって、
前記マイクロバブル発生装置は、
一端が前記循環される水が導入される吐出口であり、他端が閉じられた構造を具備し、水中に配置される本体パイプと、
該本体パイプに連通され、オゾンガスを前記本体パイプ内部に導入する気体供給管と、
前記本体パイプにおける一端と他端とを結ぶ線に対して傾斜角をもって形成され、前記本体パイプの内部と外部の水中とを連通するスリットを具備することを特徴とするオゾン水生成装置。
An ozone water generator that circulates water and ozone gas in a microbubble generator to form ozone gas as microbubbles in water,
The microbubble generator is
One end is a discharge port through which the circulated water is introduced, the other end is closed, and a main body pipe disposed in water,
A gas supply pipe communicating with the main body pipe and introducing ozone gas into the main body pipe;
An ozone water generating apparatus, comprising a slit formed at an inclination angle with respect to a line connecting one end and the other end of the main body pipe and communicating the inside of the main body pipe with the outside water.
略同一の前記傾斜角をもって複数の前記スリットが形成されたことを特徴とする請求項1に記載のオゾン水生成装置。   The ozone water generating apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the slits are formed with substantially the same inclination angle. 前記傾斜角は、前記一端側に向かって30°〜90°の範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載のオゾン水生成装置。   The ozone water generating apparatus according to claim 1, wherein the inclination angle is in a range of 30 ° to 90 ° toward the one end side. マイクロバブル発生装置に水及びオゾンガスを循環させて水中でオゾンガスをマイクロバブルとして形成させるオゾン水生成方法であって、
一端に吐出口が設けられ、他端が閉じられた構造を具備する本体パイプを水中に配置して前記一端から前記本体パイプ中に前記循環させる水を導入し、
前記本体パイプ中における水流による負圧を利用してオゾンガスを前記本体パイプ中に導入し、
前記本体パイプにおける一端と他端とを結ぶ線に対して傾斜角をもち、前記本体パイプの内部と外部の水中とを連通するスリットから、前記循環させる水及びオゾンガスのマイクロバブルを水中に放出させることにより、
前記オゾン水を生成することを特徴とするオゾン水生成方法。
A method for generating ozone water in which water and ozone gas are circulated through a microbubble generator to form ozone gas as microbubbles in water,
A main body pipe having a structure in which a discharge port is provided at one end and the other end is closed is placed in water, and the water to be circulated into the main body pipe is introduced from the one end,
Introducing ozone gas into the main body pipe using negative pressure due to water flow in the main body pipe,
The circulating water and ozone gas microbubbles are discharged into water from a slit having an inclination angle with respect to a line connecting one end and the other end of the body pipe and communicating the inside of the body pipe with the outside water. By
A method for producing ozone water, comprising producing the ozone water.
略同一の前記傾斜角をもって形成された複数の前記スリットから前記オゾンガスのマイクロバブルを水中に放出させることを特徴とする請求項4に記載のオゾン水生成方法。   5. The ozone water generation method according to claim 4, wherein microbubbles of the ozone gas are discharged into water from the plurality of slits formed with substantially the same inclination angle. 前記傾斜角を、前記一端側に向かって30°〜90°の範囲とすることを特徴とする請求項4又は5に記載のオゾン水生成方法。   The ozone water generation method according to claim 4 or 5, wherein the inclination angle is set in a range of 30 ° to 90 ° toward the one end side. 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のオゾン水生成装置によって生成されたオゾン水が導入され、該オゾン水中に被洗浄物が浸漬される構造の洗浄槽を具備することを特徴とする洗浄装置。   A cleaning tank having a structure in which the ozone water generated by the ozone water generating device according to any one of claims 1 to 3 is introduced and an object to be cleaned is immersed in the ozone water is provided. Characteristic cleaning device. 前記洗浄槽は、回転機構及び攪拌機構を具備しないことを特徴とする請求項7に記載の洗浄装置。   The cleaning apparatus according to claim 7, wherein the cleaning tank does not include a rotation mechanism and a stirring mechanism. 前記被洗浄物は、衣類、野菜類、金属部品類、半導体ウェハ類のうちのいずれか1種であることを特徴とする請求項7または8に記載の洗浄装置。   The cleaning apparatus according to claim 7 or 8, wherein the object to be cleaned is any one of clothing, vegetables, metal parts, and semiconductor wafers. 請求項4から請求項6までのいずれか1項に記載のオゾン水生成方法によって生成されたオゾン水を洗浄槽に導入し、前記オゾン水中に被洗浄物を浸漬することを特徴とする洗浄方法。   A cleaning method comprising introducing ozone water generated by the ozone water generating method according to any one of claims 4 to 6 into a cleaning tank and immersing an object to be cleaned in the ozone water. .
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