JP2011076681A - 垂直磁気記録媒体の製造管理方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造管理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011076681A JP2011076681A JP2009229129A JP2009229129A JP2011076681A JP 2011076681 A JP2011076681 A JP 2011076681A JP 2009229129 A JP2009229129 A JP 2009229129A JP 2009229129 A JP2009229129 A JP 2009229129A JP 2011076681 A JP2011076681 A JP 2011076681A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- recording medium
- film thickness
- granular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】垂直磁気記録媒体100の製造管理方法の代表的な構成は、グラニュラ磁性層160または補助記録層180の膜厚を変化させることにより、これらの膜厚に対する保磁力Hcとオーバーライト特性の関係を求める工程と、分断層170の膜厚を変化させることにより、この分断層170の膜厚の増加に対して保磁力Hcとオーバーライト特性がいずれも低下する特定の範囲を求める工程と、当該垂直磁気記録媒体が保磁力Hcとオーバーライト特性について所望の範囲内となるように、分断層170の膜厚を特定の範囲内で決定し、かつグラニュラ磁性層160または補助記録層180の膜厚を決定する工程と、決定されたそれぞれの膜厚でこれらの成膜を行う工程と、を含む。
【選択図】図1
Description
図1は、垂直磁気記録媒体100の構成を例示する図である。図1に例示するように、垂直磁気記録媒体100は、ディスク基板110、付着層120、第1軟磁性層131、スペーサ層132、第2軟磁性層133、前下地層140、下地層150、グラニュラ磁性層160、分断層170、補助記録層180、保護層190、潤滑層200を包含する。なお第1軟磁性層131、スペーサ層132、第2軟磁性層133は、あわせて軟磁性層130を構成する。
図2は、インライン型の成膜装置300を模式的に示す図である。成膜装置300は、ロードロックチャンバー302、コーナーチャンバー304、プロセスチャンバー306(ヒートチャンバー、成膜チャンバー)、アンロードロックチャンバー308を連結して製造ラインをなす。上述したディスク基板110は、ロードロックチャンバー202より搬入される。そして、キャリア担体210に載置され、製造ラインを一周する間に複数の層が積層されて、アンロードロックチャンバー308より搬出される。
以下、ディスク基板110、およびこのディスク基板110上に積層される付着層120から潤滑層200について詳述する。
以下、本実施形態の特徴たる垂直磁気記録媒体100の製造管理方法について説明する。図4は、垂直磁気記録媒体100の製造管理方法について説明する図である。通常、保磁力HcとOW特性はトレードオフの関係にある。そこで第1の工程として、グラニュラ磁性層160または補助記録層180の膜厚を変化させることで、図4(a)に例示するように、保磁力HcとOW特性の関係を表すトレードオフラインを求める。
Claims (2)
- 少なくとも基板上に、
CoCrPt合金を主成分とする磁性粒子と酸化物を主成分とする非磁性の粒界部からなるグラニュラ構造を有するグラニュラ磁性層と、
前記グラニュラ磁性層の直上に形成されたRuまたはRu合金からなる分断層と、
前記分断層の上に設けられ前記基板の面内方向に磁気的にほぼ連続した補助記録層と、
をこの順に積層する垂直磁気記録媒体の製造管理方法であって、
前記グラニュラ磁性層または前記補助記録層の膜厚を変化させることにより、該グラニュラ磁性層または該補助記録層の膜厚に対する保磁力Hcとオーバーライト特性の関係を求める工程と、
前記分断層の膜厚を変化させることにより、該分断層の膜厚の増加に対して保磁力Hcとオーバーライト特性がいずれも低下する特定の範囲を求める工程と、
当該垂直磁気記録媒体が保磁力Hcとオーバーライト特性について所望の範囲内となるように、前記分断層の膜厚を前記特定の範囲内で決定し、かつ前記グラニュラ磁性層または前記補助記録層の膜厚を決定する工程と、
前記決定されたそれぞれの膜厚で、前記グラニュラ磁性層、前記分断層、および前記補助記録層の成膜を行う工程と、
を含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造管理方法。 - 前記分断層は、RuCr、RuCo、Ru−SiO2、Ru−TiO2、Ru−WO3のいずれかからなることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体の製造管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009229129A JP5593049B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 垂直磁気記録媒体の製造管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009229129A JP5593049B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 垂直磁気記録媒体の製造管理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011076681A true JP2011076681A (ja) | 2011-04-14 |
JP5593049B2 JP5593049B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=44020517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009229129A Expired - Fee Related JP5593049B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 垂直磁気記録媒体の製造管理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5593049B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007114402A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
JP2008097685A (ja) * | 2006-10-10 | 2008-04-24 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記憶装置 |
JP2008140460A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP2009059432A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
-
2009
- 2009-09-30 JP JP2009229129A patent/JP5593049B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007114402A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
JP2008097685A (ja) * | 2006-10-10 | 2008-04-24 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記憶装置 |
JP2008140460A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP2009059432A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5593049B2 (ja) | 2014-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8057926B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
US8795857B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method of the same | |
JP5645443B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5646865B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
US8883249B2 (en) | Method of producing a perpendicular magnetic recording medium | |
WO2009119708A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
WO2009119709A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
WO2010032767A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
WO2009123161A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
WO2010064724A1 (ja) | 磁気ディスク及びその製造方法 | |
US20090311557A1 (en) | Perpendicular magnetic recording disk and method of manufacturing the same | |
WO2009119635A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法および垂直磁気記録媒体 | |
JP2012009086A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP2011253597A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP5524464B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2009099243A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5530673B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5620071B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5593049B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造管理方法 | |
JP2010257564A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2009099242A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2009245477A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2011192319A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2010086583A (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5593048B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140212 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140708 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140804 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5593049 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |