JP2011059124A - Test device and power source device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、試験装置および電源装置に関する。 The present invention relates to a test apparatus and a power supply apparatus.
電子デバイスに電圧を印加する試験においては、所定の電圧に充電されたコンデンサが被試験デバイスに接続され、コンデンサに充電された電力が被試験デバイスに供給される場合がある。コンデンサに充電された電力を被試験デバイスに印加する試験については、特許文献１に記載されている。 In a test in which a voltage is applied to an electronic device, a capacitor charged to a predetermined voltage may be connected to the device under test, and power charged in the capacitor may be supplied to the device under test. Patent Document 1 describes a test in which power charged in a capacitor is applied to a device under test.
コンデンサの充電に要する時間は、被試験デバイスに電圧を印加する試験時間に比べて長い。例えば、被試験デバイスに電圧を印加する試験時間が１ミリ秒であるにもかかわらず、コンデンサの充電に１００ミリ秒を要する場合がある。その結果、コンデンサを充電する時間に律速されて、試験時間が長くなるという課題があった。 The time required for charging the capacitor is longer than the test time for applying a voltage to the device under test. For example, the capacitor may require 100 milliseconds for charging although the test time for applying a voltage to the device under test is 1 millisecond. As a result, there is a problem that the test time is increased by being limited by the time for charging the capacitor.
また、コンデンサに充電された電力を用いて被試験デバイスの試験を繰り返す場合、コンデンサの充電および放電の繰返しによってコンデンサが劣化する。そこで、当該試験においては、充電および放電の繰返しによる寿命の低下が比較的少ないフィルムコンデンサが用いられてきた。しかし、フィルムコンデンサは、同等の静電容量を有する電解コンデンサに比べて容積が大きいので、試験装置を小型化することが困難であるという課題があった。 Further, when the test of the device under test is repeated using the power charged in the capacitor, the capacitor deteriorates due to repeated charging and discharging of the capacitor. Therefore, in this test, a film capacitor that has a relatively small decrease in life due to repeated charging and discharging has been used. However, since the film capacitor has a larger volume than an electrolytic capacitor having an equivalent capacitance, there is a problem that it is difficult to downsize the test apparatus.
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、それぞれ予め定められた所定の電圧で充電される複数のコンデンサと、所定の電圧に充電されたコンデンサのうち、いずれから被試験デバイスに電源電力を供給するかを切り替える切替部と、被試験デバイスの動作結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。 In order to solve the above-described problem, in a first aspect of the present invention, a test apparatus for testing a device under test includes a plurality of capacitors each charged with a predetermined voltage, and a predetermined voltage. A tester comprising a switching unit for switching power source power to be supplied to the device under test from among the capacitors charged to, and a determination unit for determining pass / fail of the device under test based on the operation result of the device under test Providing equipment.
本発明の第２の態様においては、複数のコンデンサを所定の電圧で充電する電源部を更に備える試験装置を提供する。 In a second aspect of the present invention, there is provided a test apparatus further comprising a power supply unit that charges a plurality of capacitors with a predetermined voltage.
本発明の第３の態様においては、電源部は、複数のコンデンサのうち被試験デバイスに電源電力を供給するコンデンサを用いる試験の後に行う試験の内容に応じた電圧で、被試験デバイスに電源電力を供給していない少なくとも１つのコンデンサを充電する、試験装置を提供する。 In the third aspect of the present invention, the power supply unit supplies power to the device under test at a voltage according to the content of the test performed after the test using the capacitor that supplies power to the device under test among the plurality of capacitors. A test apparatus is provided that charges at least one capacitor that is not supplied with.
本発明の第４の態様においては、電源部は、複数の電源を有し、複数の電源のうち、複数のコンデンサのそれぞれを充電する電源が、それぞれの複数のコンデンサに対応して設けられ、切替部は、複数のコンデンサのうち被試験デバイスに電源電力を供給するコンデンサを用いる試験の後に行う試験の内容に応じて、複数のコンデンサのいずれかと、複数のコンデンサのいずれかに対応する電源とを選択する、試験装置を提供する。 In the fourth aspect of the present invention, the power supply unit has a plurality of power supplies, and among the plurality of power supplies, a power supply for charging each of the plurality of capacitors is provided corresponding to each of the plurality of capacitors, According to the content of the test performed after the test using the capacitor that supplies power to the device under test among the plurality of capacitors, the switching unit includes any one of the plurality of capacitors and a power supply corresponding to any of the plurality of capacitors. A test apparatus for selecting is provided.
本発明の第５の態様においては、被試験デバイスの試験の必要電流量が所定値よりも大きい場合に、切替部は、複数のコンデンサのうち２以上のコンデンサを、被試験デバイスに並列に接続する、試験装置を提供する。 In the fifth aspect of the present invention, when the required current amount for testing the device under test is larger than a predetermined value, the switching unit connects two or more capacitors among the plurality of capacitors in parallel to the device under test. A test apparatus is provided.
本発明の第６の態様においては、複数のコンデンサの劣化度を監視する監視部を更に備える試験装置を提供する。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a test apparatus further comprising a monitoring unit that monitors the degree of deterioration of a plurality of capacitors.
本発明の第７の態様においては、監視部は、劣化度に対応する劣化度情報が所定の範囲の値を示す場合に警告表示する、試験装置を提供する。 In a seventh aspect of the present invention, the monitoring unit provides a test apparatus that displays a warning when the deterioration level information corresponding to the deterioration level indicates a value in a predetermined range.
本発明の第８の態様においては、電源部は、複数のコンデンサのいずれかの劣化度情報が所定の範囲の値を示す場合に、所定の範囲の値を示す劣化度情報に対応するコンデンサを、劣化度情報が所定の範囲の値を示す前に充電した電圧よりも低い電圧で充電する、試験装置を提供する。 In the eighth aspect of the present invention, when the deterioration degree information of any of the plurality of capacitors indicates a value in a predetermined range, the power supply unit includes a capacitor corresponding to the deterioration degree information indicating a value in the predetermined range. Provided is a test apparatus that charges at a voltage lower than the voltage charged before the deterioration degree information indicates a value in a predetermined range.
本発明の第９の態様においては、切替部は、被試験デバイスの動作に応じて、複数のコンデンサによる被試験デバイスへの電源電力の供給を停止する試験装置を提供する。 In a ninth aspect of the present invention, the switching unit provides a test apparatus that stops the supply of power from the plurality of capacitors to the device under test according to the operation of the device under test.
本発明の第９の態様においては、切替部は、複数のコンデンサのうち２以上のコンデンサを被試験デバイスに直列に接続する、試験装置を提供する。 In a ninth aspect of the present invention, the switching unit provides a test apparatus in which two or more capacitors among a plurality of capacitors are connected in series to the device under test.
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The above summary of the invention does not enumerate all necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.
図１は、本実施形態に係る試験装置１００および被試験デバイス２００の構成を示す。試験装置１００は、被試験デバイス２００に所定の電圧を印加することにより、被試験デバイス２００を試験する。
FIG. 1 shows the configuration of a
試験装置１００は、複数のコンデンサ２０（２０−１、２０−２）、切替部３０、判定部４０、および電源部６０を備える。電源部６０は、被試験デバイス２００を試験する電圧で複数のコンデンサ２０を充電する。電源部６０は、複数のコンデンサ２０のそれぞれを、予め定められた所定の電圧で充電する。切替部３０は、所定の電圧に充電されたコンデンサ２０のうち、いずれから被試験デバイス２００に電源電力を供給するかを切り替える。
The
切替部３０は、複数の切替スイッチ（３２−１、３２−２）を有する。切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２は、それぞれコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を、判定部４０を介して被試験デバイス２００と導通させる状態（以下、オン状態と称する）にするか、導通させない状態（以下、オフ状態と称する）にするかを切り替える。切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２は、半導体スイッチまたはメカニカルリレーであってよい。
The
切替部３０は、コンデンサ２０−１に充電された電力を被試験デバイス２００に供給する場合には、切替スイッチ３２−１をオン状態にする。切替部３０は、コンデンサ２０−２に充電された電力を被試験デバイス２００に供給する場合には、切替スイッチ３２−２をオン状態にする。また、切替部３０は、コンデンサ２０−１を充電する場合には、切替スイッチ３２−１をオフ状態にする。切替部３０は、コンデンサ２０−２を充電する場合には、切替スイッチ３２−２をオフ状態にする。切替部３０は、プログラム等により切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２のオン／オフ状態の制御をするプロセッサを含む制御回路を有してよい。
When supplying the power charged in the capacitor 20-1 to the device under
判定部４０は、被試験デバイス２００の動作結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。判定部４０は、切替部３０と被試験デバイス２００との間に設けられてよい。例えば、判定部４０は、被試験デバイス２００に所定の電圧が印加された場合に被試験デバイス２００に流れる電流等を測定することにより、被試験デバイス２００の良否を判定する。判定部４０は、被試験デバイス２００を流れる電流が、印加電圧に応じて予め定められた電流値の範囲内である場合に、被試験デバイス２００を良品であると判定してよい。また、判定部４０は、被試験デバイス２００に所定のパターンの試験信号を印加してもよい。判定部４０は、当該試験信号に応じて被試験デバイス２００が出力する信号を期待値と比較することにより、被試験デバイス２００の良否を判定してもよい。
The
電源部６０は、被試験デバイス２００の試験内容に応じた電圧で、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を充電する。例えば、電源部６０は、被試験デバイス２００に対して同一の電圧を印加する試験を連続して実施する場合には、同一の電圧をコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２に印加してよい。これに対して、電源部６０は、被試験デバイス２００に対して順次異なる電圧を印加する試験を実施する場合には、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２にそれぞれ異なる電圧を印加してよい。
The
具体的には、被試験デバイス２００に１ｋＶの電圧を印加する試験が繰り返される場合には、電源部６０は、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれを１ｋＶでの電圧で充電する。切替部３０は、コンデンサ２０−１が１ｋＶの電圧で充電されると、切替スイッチ３２−１をオン状態にして、コンデンサ２０−１に充電された１ｋＶの電圧を被試験デバイス２００に印加する。判定部４０は、コンデンサ２０−１により１ｋＶの電圧が印加された場合に流れる電流値を測定する。判定部４０は、測定した電流値が１ｋＶの印加電圧に対応する所定の範囲内の値であるか否かに応じて、被試験デバイス２００の良否を判定する。
Specifically, when a test for applying a voltage of 1 kV to the device under
続いて、切替部３０は、コンデンサ２０−２が１ｋＶの電圧で充電されると、切替スイッチ３２−２をオン状態にして、コンデンサ２０−２に充電された１ｋＶの電圧を被試験デバイス２００に印加する。判定部４０は、コンデンサ２０−２により１ｋＶの電圧が印加された場合に流れる電流値を測定した上で、被試験デバイス２００の良否を判定する。
Subsequently, when the capacitor 20-2 is charged with a voltage of 1 kV, the switching
電源部６０は、切替スイッチ３２−１がオフ状態である間に、コンデンサ２０−１を充電する。電源部６０は、切替スイッチ３２−２がオフ状態である間に、コンデンサ２０−２を充電する。電源部６０は、切替部３０が切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２のそれぞれを順次オン状態およびオフ状態に切り替えるタイミングに同期して、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のいずれを充電するかを切り替えてよい。
The
以上のように、本実施形態に係る試験装置１００は、被試験デバイス２００に電圧を印加するコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を順次切り替える。電源部６０は、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のいずれかが被試験デバイス２００に電圧を印加している間に、他方のコンデンサ２０を充電するので、充電時間を短縮することができる。その結果、被試験デバイス２００の試験時間を短縮することができる。
As described above, the
さらに、本実施形態に係る試験装置１００において、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれが充電および放電される回数は、被試験デバイス２００の試験回数の略半分の回数となる。従って、単一のコンデンサを用いる場合に比べて、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２の劣化が進みにくい。そこで、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２は、フィルムコンデンサに比べて小型の電解コンデンサ等であってよい。試験装置１００は、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２として電解コンデンサを用いることにより、試験装置１００の大きさを、フィルムコンデンサを用いる場合に比べて小さくすることができる。
Furthermore, in the
電源部６０は、被試験デバイス２００に印加する電圧の値を順次切り替える場合には、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２をそれぞれ異なる電圧で充電してよい。例えば、被試験デバイス２００に第１の電圧（例えば、１ｋＶ）を印加する試験と、被試験デバイス２００に第２の電圧（例えば、２ｋＶ）を印加する試験とを繰返す場合には、電源部６０は、第１の電圧でコンデンサ２０−１を充電するとともに、第２の電圧でコンデンサ２０−２を充電する。
When sequentially switching the value of the voltage applied to the device under
切替部３０は、コンデンサ２０−１が第１の電圧で充電されると、切替スイッチ３２−１をオン状態にして、コンデンサ２０−１に充電された第１の電圧を被試験デバイス２００に印加する。電源部６０は、切替スイッチ３２−１がオン状態の間にコンデンサ２０−２を第２の電圧で充電する。続いて、切替部３０は、コンデンサ２０−１の放電が終了し、かつ、コンデンサ２０−２が第２の電圧で充電されると、切替スイッチ３２−２をオン状態にして、コンデンサ２０−２に充電された第２の電圧を被試験デバイス２００に印加する。電源部６０は、切替スイッチ３２−２がオン状態の間にコンデンサ２０−１を第１の電圧で充電する。
When the capacitor 20-1 is charged with the first voltage, the switching
このように、試験装置１００は、複数の異なるコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を、それぞれに対応する第１の電圧および第２の電圧で充電することにより、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２の放電状態における電圧と充電状態における電圧との差の変動を小さくすることができるので、消費電力を低減できる。例えば、コンデンサ２０−１を１ｋＶに充電して用いた後に２ｋＶに充電する場合には、１ｋＶ以上の電圧の差に相当する電力を消費する。これに対して、コンデンサ２０−１を常に２ｋＶに充電して用いる場合には、１ｋＶ以下の電圧の差に相当する消費電力に低減されるという効果を奏する。
As described above, the
図２は、他の実施形態に係る試験装置１００および被試験デバイス２００の構成を示す。同図における試験装置１００は、図１に示した試験装置１００に対して制御部８０を更に備える。また、電源部６０は、電源６２および切替スイッチ６４を有する。制御部８０は、電源６２が出力する電圧を制御する。
FIG. 2 shows a configuration of a
切替スイッチ６４は、電源６２をコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のいずれに接続するかを切り替える。制御部８０は、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２のオン状態とオフ状態とを切り替えるタイミングに同期して、切替スイッチ６４の接続を切り替えてよい。具体的には、制御部８０は、切替スイッチ３２−１をオン状態にしている場合に、電源６２が出力する電圧がコンデンサ２０−２に印加されるように切替スイッチ６４を切り替える。また、制御部８０は、切替スイッチ３２−２をオン状態にしている場合に、電源６２が出力する電圧がコンデンサ２０−１に印加されるように切替スイッチ６４を切り替える。
The
図３は、他の実施形態に係る試験装置１００、被試験デバイス２００、および外部電源３００の構成を示す。同図における試験装置１００は、図１に示した試験装置１００と異なり、電源部６０を備えない。外部電源３００は、被試験デバイス２００に印加する試験電圧を試験装置１００に供給する。外部電源３００は、図１における電源部６０と同等の機能を有してよい。
FIG. 3 shows configurations of a
電源接続端子５０は、外部電源３００を接続する端子である。電源接続端子５０−１および電源接続端子５０−２には、外部電源３００の電源端子が接続される。電源接続端子５０−３には、外部電源３００の接地端子が接続される。外部電源３００は、電源接続端子５０−１および電源接続端子５０−２に、同一の電源端子を接続してよい。また、外部電源３００は、電源接続端子５０−１および電源接続端子５０−２のそれぞれに、異なる電源端子を接続してもよい。
The power connection terminal 50 is a terminal for connecting the
外部電源３００は、被試験デバイス２００に電源電力を供給する複数のコンデンサ２０のいずれかを用いる試験の後に行う試験の内容に応じた電圧で、被試験デバイス２００に電源電力を供給していないコンデンサ２０を充電する。一例として、試験装置１００が、コンデンサ２０−１を用いて被試験デバイス２００に第１の電圧を印加する試験を実施した後で、コンデンサ２０−２を用いて被試験デバイス２００に第２の電圧を印加する試験を実施する場合について、切替部３０および外部電源３００の動作を説明する。
The
外部電源３００は、コンデンサ２０−１に出力する電圧を第１の電圧に設定して、コンデンサ２０−１を第１の電圧で充電する。切替部３０は、コンデンサ２０−１が第１の電圧で充電されると、切替スイッチ３２−１をオン状態にして、コンデンサ２０−１に充電された電力を被試験デバイス２００に供給する。また、外部電源３００は、コンデンサ２０−２に出力する電圧を第２の電圧に設定する。外部電源３００は、コンデンサ２０−１に充電された電源電力が被試験デバイス２００に供給されている間に、被試験デバイス２００に電力を供給していないコンデンサ２０−２を第２の電圧で充電する。
The
切替部３０は、コンデンサ２０−１を用いた試験が終了すると、切替スイッチ３２−１をオフ状態にする。また、切替部３０は、コンデンサ２０−２が第２の電圧で充電されると、切替スイッチ３２−２をオン状態にする。コンデンサ２０−２は、充電された電力を被試験デバイス２００に供給する。外部電源３００は、試験内容に応じて、第１の電圧および第２の電圧を等しい電圧としてもよい。以上のように、試験装置１００が内部に電源部６０を備えない場合であっても、図１に示した試験装置１００と同等の効果を得ることができる。
When the test using the capacitor 20-1 is completed, the switching
図４は、他の実施形態に係る試験装置１００および被試験デバイス２００の構成を示す。同図における試験装置１００において、電源部６０は、図２に示した電源部６０と異なり、複数の電源７０（７０−１、７０−２）および複数の切替スイッチ７２を備える。電源７０−１は、切替スイッチ７２−１を介してコンデンサ２０−１の両端間に接続され、コンデンサ２０−１を充電する。電源７０−２は、切替スイッチ７２−２を介してコンデンサ２０−２の両端間に接続され、コンデンサ２０−２を充電する。
FIG. 4 shows the configuration of a
切替スイッチ７２−１は、電源７０−１をコンデンサ２０−１に接続するか否かを切り替える。切替スイッチ７２−２は、電源７０−２をコンデンサ２０−２に接続するか否かを切り替える。電源部６０は、電源７０−１にコンデンサ２０−１を充電させる場合には切替スイッチ７２−１をオン状態にする。電源部６０は、電源７０−１にコンデンサ２０−１を充電させない場合には切替スイッチ７２−１をオフ状態とする。同様に、電源部６０は、電源７０−２にコンデンサ２０−２を充電させる場合には切替スイッチ７２−２をオン状態とする。電源部６０は、電源７０−２にコンデンサ２０−２を充電させない場合には切替スイッチ７２−２をオフ状態とする。
The changeover switch 72-1 switches whether to connect the power supply 70-1 to the capacitor 20-1. The changeover switch 72-2 switches whether to connect the power supply 70-2 to the capacitor 20-2. The
切替部３０は、被試験デバイス２００に電源電力を供給する複数のコンデンサ２０のいずれかを用いる試験の後に行う試験の内容に応じて、複数のコンデンサ２０のいずれかと、複数のコンデンサ２０のいずれかに対応する複数の電源７０のいずれかを選択する。一例として、切替部３０は、被試験デバイス２００に印加する電圧の大きさに応じて、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のいずれか、ならびに、電源７０−１および電源７０−２のいずれかを選択する。切替部３０は、被試験デバイス２００に流すべき電流量に応じて、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のいずれか、ならびに、電源７０−１および電源７０−２のいずれかを選択してもよい。
The switching
被試験デバイス２００に第１の電圧および第２の電圧を印加して試験をする場合、電源７０−１は、コンデンサ２０−１に出力する電圧を第１の電圧に設定して、コンデンサ２０−１を第１の電圧で充電してよい。切替部３０は、コンデンサ２０−１が第１の電圧で充電されると、切替スイッチ３２−１をオン状態にして、コンデンサ２０−１に充電された電源電力を被試験デバイス２００に供給する。電源７０−２は、コンデンサ２０−１に充電された電源電力が被試験デバイス２００に供給されている間に、コンデンサ２０−２に出力する電圧を第２の電圧に設定して、電源電力を供給していないコンデンサ２０−２を第２の電圧で充電する。
When a test is performed by applying the first voltage and the second voltage to the device under
制御部８０は、電源７０−１および電源７０−２が出力する電圧を制御してよい。また、制御部８０は、切替部３０を制御してもよい。制御部８０は、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２のオン状態とオフ状態とを切り替えるタイミングに同期して、電源７０−１および電源７０−２が電圧を出力するタイミングを制御してよい。例えば、制御部８０は、切替スイッチ３２−１をオフ状態に変化させた後に切替スイッチ７２−１をオン状態にすることにより、電源７０−１をコンデンサ２０−１に接続する。また、制御部８０は、切替スイッチ３２−１をオン状態に変化させる前に切替スイッチ７２−１をオフ状態にすることにより、電源７０−１をコンデンサ２０−１から切り離す。
The
切替部３０は、被試験デバイス２００の試験の必要電流量が所定値よりも大きい場合に、複数のコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を、被試験デバイス２００に並列に接続する。切替部３０は、被試験デバイス２００に流すべき電流量がコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれが供給できる電流量よりも大きい場合に、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２を同時にオン状態にする。必要電流量は、最大電流量であってよく、所定時間内の平均電流量であってもよい。
The switching
例えば、被試験デバイス２００に２ｋＡの電流を流す必要があるにもかかわらず、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれが供給できる電流量が１ｋＡである場合に、切替部３０は、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２を同時にオン状態にする。切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２を同時にオン状態にすることにより、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれから１ｋＡの電流が供給されるので、被試験デバイス２００には合計２ｋＡが供給される。
For example, when it is necessary to supply a current of 2 kA to the device under
試験装置１００は、ｎ個（ｎは３以上の整数）のコンデンサ２０と、対応するｎ個の電源７０を備えてもよい。切替部３０は、被試験デバイス２００の試験の必要電流量がそれぞれのコンデンサ２０が供給できる電流値のｍ倍（ｍは自然数）である場合、切替部３０は、少なくともｍより大きい最小の整数に相当する数のコンデンサ２０を、被試験デバイス２００に並列に接続してよい。
The
試験装置１００は、コンデンサ２０の充電時間Ｔと、被試験デバイス２００に電力を供給する試験時間ｔとの関係に応じた数のコンデンサ２０を備えてよい。例えば、Ｔがｔのｋ倍（ｋは自然数）の大きさである場合には、試験装置１００は、ｋに略等しい数のコンデンサ２０を備えてよい。切替部３０は、ｋに略等しい数のコンデンサ２０を順次切り替えて被試験デバイス２００に接続することにより、コンデンサ２０の充電を待つことなく、被試験デバイス２００を連続して試験できるので、試験時間が更に短縮される。
The
図５は、他の実施形態に係る試験装置１００および被試験デバイス２００の構成を示す。同図における試験装置１００は、図４に示した試験装置１００に対して、監視部９０を更に備える。監視部９０は、複数のコンデンサ２０の劣化度を監視する。
FIG. 5 shows configurations of a
監視部９０は、一例として、コンデンサ２０の充放電時間を監視する。充電時間は、一例として、第１の所定電圧で充電されたコンデンサについて、第２の所定電圧での充電が完了するまでの時間である。放電時間は、第２の所定電圧で充電されたコンデンサが、第１の所定電圧まで放電するまでの時間である。監視部９０は、コンデンサ２０の充電時間または放電時間に応じて、劣化度を判断してよい。具体的には、監視部９０は、コンデンサ２０の充電時間または放電時間が所定の時間よりも短くなった場合に、コンデンサ２０の静電容量が低下する劣化が進行したと判断してよい。
For example, the
監視部９０は、充放電時間の値に応じて、複数の段階の劣化度のいずれの段階にコンデンサ２０が該当するかを判断してもよい。例えば、監視部９０は、初期状態におけるコンデンサ２０の充電時間が１００ｍ秒である場合において、充電時間が９０ｍ秒になった場合には第１段階の劣化度であり、充電時間が８０ｍ秒になった場合には、第２段階の劣化度であると判断する。
The
監視部９０は、劣化度に対応する劣化度情報が所定の範囲の値を示す場合に警告表示してよい。監視部９０は、コンデンサ２０の初期の充放電時間に対する充放電時間の割合を劣化度情報としてよい。具体的には、初期の充放電時間が１００ｍ秒である場合において、充放電時間が９０ｍ秒になった場合の劣化度情報を０．９としてよく、充放電時間が８０ｍ秒になった場合の劣化度情報を０．８としてよい。監視部９０は、一例として、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のいずれかの劣化度情報が０．８以下になった場合には、警告表示をしてよい。
The
監視部９０は、コンデンサ２０が充放電された回数に応じて、劣化度情報を算出してもよい。また、監視部９０は、コンデンサ２０が充放電された電圧の差と当該充放電の回数とに応じて、劣化度情報を算出してもよい。また、監視部９０は、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれについて劣化度情報を算出して、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２に対応付けて当該劣化度情報を記憶してもよい。
The
監視部９０は、劣化度情報を制御部８０に通知してよい。制御部８０は、通知された劣化度情報に基づいて、電源部６０を制御する。電源部６０は、複数のコンデンサ２０のいずれかの劣化度情報が所定の範囲の値を示す場合に、所定の範囲の値を示す劣化度情報に対応するコンデンサ２０を、劣化度情報が所定の範囲の値を示す前に充電した電圧よりも低い電圧で充電してよい。電源部６０は、劣化度情報の値に応じて、充電する電圧を決定してよい。
The
具体的には、劣化度情報が０．８以上であるコンデンサ２０−１を１ｋＶで充電していた場合において、コンデンサ２０−１の劣化度情報が０．８以下になった場合に、コンデンサ２０−１を０．８ｋＶ以下で充電してよい。切替部３０は、当該電圧で実施できる試験に、コンデンサ２０−１を使用する。制御部８０は、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２の劣化度情報を受け取り、当該劣化度情報に応じて、電源７０−１および電源７０−２の電圧を制御してよい。試験装置１００は、当該制御によって、より長い期間に渡ってコンデンサ２０を使用することができる。
Specifically, when the capacitor 20-1 having the deterioration degree information of 0.8 or more is charged at 1 kV, the capacitor 20-1 is reduced when the deterioration degree information of the capacitor 20-1 becomes 0.8 or less. -1 may be charged at 0.8 kV or less. The switching
切替部３０は、コンデンサ２０−１またはコンデンサ２０−２のいずれかの劣化度情報が変化した場合に、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２の切替順序を変更してよい。コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２の劣化度情報が１．０である場合には、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２は、第１の電圧（例えば、１ｋＶ）および第２の電圧（例えば、０．８ｋＶ）のいずれの電圧をも被試験デバイス２００に印加できる。従って、例えば、５回の試験のうち第１の電圧を印加する試験を４回行い、第２の電圧を印加する試験を１回行う場合においても、切替部３０は、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を順次用いて試験をすることができる。
The switching
これに対して、コンデンサ２０−２の劣化度情報が０．８以下になった場合には、コンデンサ２０−２を用いて１ｋＶを印加する試験をすることができない。そこで、切替部３０は、第１の電圧を印加する試験を実施する場合にはコンデンサ２０−１を用いて、第２の電圧を印加する試験を実施する場合にはコンデンサ２０−２を用いるという切替順序により、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２を切り替えてよい。試験装置１００は、当該制御により、いずれか一方のコンデンサ２０が劣化した場合であっても、劣化したコンデンサ２０を被試験デバイス２００の試験に用いることができる。
On the other hand, when the deterioration degree information of the capacitor 20-2 is 0.8 or less, it is not possible to perform a test in which 1 kV is applied using the capacitor 20-2. Therefore, the switching
試験装置１００は、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２の劣化度情報に応じて、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれを異なる頻度で使用してもよい。例えば、コンデンサ２０−１の劣化度情報がコンデンサ２０−２の劣化度情報よりも大きな値を示している場合、つまり、コンデンサ２０−１がコンデンサ２０−２に比べて劣化していない場合には、コンデンサ２０−１をコンデンサ２０−２よりも高い頻度で用いて被試験デバイス２００を試験してよい。試験装置１００は、当該制御により、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２の劣化度を均等に保つことができる。
The
図６は、他の実施形態に係る試験装置１００および被試験デバイス２００の構成を示す。切替部３０は、被試験デバイス２００の動作に応じて、複数のコンデンサ２０による被試験デバイス２００への電源電力の供給を停止する。一例として、被試験デバイス２００は、過電流または過電圧などによる異常が生じた旨を示す状態報知信号を監視部９０に入力する。監視部９０は、被試験デバイス２００から状態報知信号を受けて、切替部３０を制御してよい。
FIG. 6 shows a configuration of a
具体的には、監視部９０は、被試験デバイス２００の異常を知らせる状態報知信号を受けると、切替部３０に対して、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２をオフ状態に切り替えるように指示する。切替部３０は、監視部９０からの指示に応じて切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２をオフ状態にすることにより、被試験デバイス２００への電源電力の供給を停止する。
Specifically, when the
監視部９０は、判定部４０が検出した電流値に基づいて、被試験デバイス２００の異常を検出してもよい。また、切替部３０は、被試験デバイス２００から状態報知信号を直接受けて、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２をオフ状態にしてもよい。
The
以上のように、切替部３０が出力遮断機能を有することにより、被試験デバイス２００に異常が生じた場合に、被試験デバイス２００への電源電力の供給を速やかに停止することができる。その結果、故障等が生じている被試験デバイス２００に異常発熱等が発生して物理的な破壊が生じることを回避することができる。さらに、試験装置１００の回路等の被試験デバイス２００の周辺回路が連鎖的に破壊されることを防止することができる。
As described above, since the switching
図７Ａおよび図７Ｂは、他の実施形態に係る試験装置１００および被試験デバイス２００の構成を示す。本実施形態に係る試験装置１００において、切替部３０は、図４に示した切替部３０に対して、切替スイッチ３４および切替スイッチ３６を更に有する。切替部３０は、切替スイッチ３２−１、切替スイッチ３２−２、切替スイッチ３４、および切替スイッチ３６を制御することにより、複数のコンデンサ２０のうち２以上のコンデンサ２０を被試験デバイス２００に直列に接続する。
7A and 7B show configurations of a
具体的には、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を直列に接続して使用する場合には、切替部３０は、切替スイッチ３６をオフ状態にする。また、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を充電する場合には、切替部３０は、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２をオフ状態とする。さらに、切替部３０は、切替スイッチ３４をｂの側に切り替えて、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２の接地側端子のそれぞれを接続する。
Specifically, when the capacitor 20-1 and the capacitor 20-2 are connected in series and used, the switching
電源部６０は、電源７０−１および電源７０−２のそれぞれが、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２に接続されるべく、切替スイッチ７２−１および切替スイッチ７２−２を切り替える。当該状態において、コンデンサ２０−１は、電源７０−１が出力する電圧で充電され、コンデンサ２０−２は、電源７０−２が出力する電圧で充電される。
The
続いて、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２に充電された電力を被試験デバイス２００に供給する場合には、切替スイッチ７２−１、切替スイッチ７２−２、切替スイッチ３２−１、切替スイッチ３２−２、切替スイッチ３４、および切替スイッチ３６を図７Ｂに示す状態に切り替える。つまり、切替部３０は、切替スイッチ３２−１および切替スイッチ３２−２をオン状態に切り替える。さらに、切替スイッチ３４をａの側に切り替えて、コンデンサ２０−１の接地側端子をコンデンサ２０−２の電源側端子に接続する。電源部６０は、切替スイッチ７２−１および切替スイッチ７２−２を切り替えて、電源７０−１および電源７０−２とコンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２との間の接続を解除する。
Subsequently, when supplying the electric power charged in the capacitor 20-1 and the capacitor 20-2 to the device under
切替部３０および電源部６０が、切替スイッチ７２−１、切替スイッチ７２−２、切替スイッチ３２−１、切替スイッチ３２−２、切替スイッチ３４、および切替スイッチ３６を図７Ｂに示す状態に切り替えることにより、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２は直列に接続される。その結果、コンデンサ２０−１の電源側端子とコンデンサ２０−２の接地側端子との間には、コンデンサ２０−１を充電した電圧とコンデンサ２０−２を充電した電圧とを加算した値に相当する電位差が生じる。つまり、被試験デバイス２００には、当該加算された電圧が印加される。例えば、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２のそれぞれを１ｋＶで充電した場合には、コンデンサ２０−１の電源側端子とコンデンサ２０−２の接地側端子との間には２ｋＶの電圧が被試験デバイス２００に印加される。
The switching
以上のように、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を直列に接続することにより、単一のコンデンサ２０で印加することができない電圧を被試験デバイス２００に印加することができる。試験装置１００は、被試験デバイス２００の試験電圧に応じて切替スイッチ３６のオン状態およびオフ状態を切り替えることによって、コンデンサ２０−１およびコンデンサ２０−２を並列接続で使用するか、直列接続で使用するかを切り替えてよい。
As described above, by connecting the capacitor 20-1 and the capacitor 20-2 in series, a voltage that cannot be applied by the
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.
２０ コンデンサ、３０ 切替部、３２ 切替スイッチ、３４ 切替スイッチ、３６ 切替スイッチ、４０ 判定部、５０ 電源接続端子、６０ 電源部、６２ 電源、６４ 切替スイッチ、７０ 電源、７２ 切替スイッチ、８０ 制御部、９０ 監視部、１００ 試験装置、２００ 被試験デバイス、３００ 外部電源 20 capacitors, 30 changeover units, 32 changeover switches, 34 changeover switches, 36 changeover switches, 40 determination units, 50 power supply connection terminals, 60 power supply units, 62 power supplies, 64 changeover switches, 70 power supplies, 72 changeover switches, 80 control units, 90 monitoring unit, 100 test apparatus, 200 device under test, 300 external power supply
Claims (11)
それぞれ予め定められた所定の電圧で充電される複数のコンデンサと、
前記所定の電圧に充電されたコンデンサのうち、いずれから前記被試験デバイスに電源電力を供給するかを切り替える切替部と、
前記被試験デバイスの動作結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。 A test apparatus for testing a device under test,
A plurality of capacitors each charged with a predetermined voltage,
A switching unit that switches which one of the capacitors charged to the predetermined voltage supplies power to the device under test;
A test apparatus comprising: a determination unit that determines pass / fail of the device under test based on an operation result of the device under test.
前記複数の電源のうち、前記複数のコンデンサのそれぞれを充電する電源が、それぞれの前記複数のコンデンサに対応して設けられ、
前記切替部は、前記複数のコンデンサのうち前記被試験デバイスに前記電源電力を供給するコンデンサを用いる試験の後に行う試験の内容に応じて、前記複数のコンデンサのいずれかと、前記複数のコンデンサのいずれかに対応する前記電源とを選択する、請求項２または３に記載の試験装置。 The power supply unit has a plurality of power supplies,
Among the plurality of power sources, a power source for charging each of the plurality of capacitors is provided corresponding to each of the plurality of capacitors,
The switching unit includes any one of the plurality of capacitors and any of the plurality of capacitors according to the content of a test performed after a test using the capacitor that supplies the power to the device under test among the plurality of capacitors. The test apparatus according to claim 2, wherein the power supply corresponding to the above is selected.
前記切替部は、前記複数のコンデンサのうち２以上のコンデンサを、前記被試験デバイスに並列に接続する、請求項１から４のいずれか一項に記載の試験装置。 When the required current amount for testing the device under test is larger than a predetermined value,
5. The test apparatus according to claim 1, wherein the switching unit connects two or more capacitors of the plurality of capacitors to the device under test in parallel. 6.
それぞれ予め定められた所定の電圧で充電される複数のコンデンサと、
前記所定の電圧に充電されたコンデンサのうち、いずれから前記被試験デバイスに電源電力を供給するかを切り替える切替部と、を備え、
前記複数のコンデンサのうち前記被試験デバイスに前記電源電力を供給するコンデンサに充電された電力を前記被試験デバイスに供給する電源装置。 A power supply for supplying power to a device under test,
A plurality of capacitors each charged with a predetermined voltage,
A switching unit that switches from which of the capacitors charged to the predetermined voltage to supply power to the device under test;
A power supply apparatus that supplies, to the device under test, power charged in a capacitor that supplies the power to the device under test among the plurality of capacitors.
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