JP2010507811A - 符号化ビームを使用して物体を検査するための装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本出願は、本明細書においてその全内容が引用により組み込まれている2006年10月24日出願の「符号化ビーム結像システム」という名称の米国特許仮出願出願番号第60/853,876号の「35 U.S.C.§119(e)」の下での優先権恩典を請求するものである。
105 物体
110 放射線源
115 被検査領域
120 X線チューブ
125 コリメータ
130 扇ビーム
140 変調器
145 マスク
150 開口
160 符号化アレイ
165 透過検出器
170 後方散乱検出器
180 プロセッサ
Claims (25)
- 物体を検査するための装置であって、
少なくとも1つの横断方向に沿って広がった照明ビームを発生させるための放射線源と、
前記放射線源と物体の間で前記照明ビームの経路に配置され、前記物体の被検査領域の各セグメントが、所定の時間的シーケンスに従って変動する放射線量を受け取るように、非調和的に時間変動する方法で前記照明ビームを空間的に変調するための変調器と、
前記被検査領域上への前記照明ビームの衝突に応答して前記物体から出る放射線を受け取るように位置決めされた少なくとも1つの検出器と、
前記少なくとも1つの検出器に連結され、前記少なくとも1つの検出器によって発生した信号のシーケンスを処理して前記被検査領域の画像を構成するためのプロセッサと、
を含むことを特徴とする装置。 - 前記変調器は、透明及び不透明区域の符号化アレイを有するマスクと、前記照明ビームに対して前記符号化アレイを繰返しシフトするか又は連続して移動させるための搬送機構と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記符号化アレイは、1次元アレイであることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記マスクは連続平面として形成され、前記搬送機構は前記マスクを前記放射線源の周りに回転させるように構成されることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 前記符号化アレイは、2次元アレイであることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記搬送機構は、前記照明ビームの伝播の軸線に対して実質的に横断方向である第1及び第2の軸線方向に前記マスクを平行移動させる段階、又は前記マスクを平行移動及び回転させる段階のうちの一方を実行するように構成されていることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記符号化アレイは前記マスクの周りに周方向に配置され、前記搬送機構は前記マスクを回転させるように構成されていることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記符号化アレイは、1つ又は一連の均一冗長アレイ又は修正均一冗長アレイを含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記透明区域の合計は、前記符号化アレイの全区域の約50パーセントであることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記照明ビームは、第1の方向に沿って広がった扇ビームであることを特徴とする請求項1乃至請求項4、請求項8、及び請求項9のいずれか1項に記載の装置。
- 前記被検査領域が前記物体又はその関連の部分にわたって漸進的に走査されるように、前記第1の方向に対してほぼ直交する方向に前記物体を移動させるためのコンベヤを更に含むことを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記照明ビームは、第1及び第2の方向に沿って広がったフラッドビームであることを特徴とする請求項1及び請求項5乃至請求項9のいずれか1項に記載の装置。
- 前記照明ビームは、電磁放射線ビームであることを特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の装置。
- 前記照明ビームは、X線ビームであることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記照明ビームは、粒子ビームであることを特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの検出器は、前記物体によって後方散乱された放射線を受け取るように位置決めされていることを特徴とする請求項1乃至請求項15のいずれか1項に記載の装置。
- 前記物体を通して伝達された又は前記物体によって順方向に散乱された放射線を受け取るように位置決めされた第2の検出器を更に含むことを特徴とする請求項1乃至請求項15のいずれか1項に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの検出器はエネルギ分散型検出器を含み、前記プロセッサは前記物体における特定の元素又は特定の元素の組の分布の画像を構築するように構成されていることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの検出器は、選択された組の特定の元素の放射特性を優先的に選択するように構成されることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 前記変調器は、反射性及び非反射性材料のパターンによって形成された符号化アレイが配置された可動表面を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 物体を検査する方法であって、
少なくとも1つの横断方向に沿って広がった照明ビームを発生させるステップと、
物体の被検査領域の各セグメントが、所定の時間的シーケンスに従って変動する放射線量を受け取るように、非調和的に時間変動する方法で前記照明ビームを空間的に変調するステップと、
前記被検査領域上への前記照明ビームの衝突に応答して前記物体から出る放射線を受け取って、受け取った放射線の強度を表す信号のシーケンスを発生させるステップと、
前記信号のシーケンスを処理して前記被検査領域の画像を構成するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記ビームを空間的に変調する前記ステップは、透明及び不透明区域の符号化アレイを有するマスクを前記照明ビームに対して繰返しシフトするか又は連続して移動させるステップを含むことを特徴とする請求項21に記載の方法。
- 前記被検査領域が前記物体又はその関連の部分にわたって漸進的に走査されるように、前記物体を繰返し移動させるステップを更に含むことを特徴とする請求項21及び請求項22のいずれか1項に記載の方法。
- 放射線を受け取る前記ステップは、前記物体によって後方散乱された放射線を受け取るステップを含むことを特徴とする請求項21乃至請求項23のいずれか1項に記載の方法。
- 前記信号のシーケンスを処理する前記段階は、特定の元素又は特定の元素の組に特有な1つ又はそれよりも多くの波長又はエネルギを有する放射線を識別するステップ、及び前記物体における前記特定の元素又は特定の元素の組の分布の画像を構成するステップを含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。
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