JP2010256255A - 積層型プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄板で形成したプローブを多数枚積層し、これをホルダーで挟持したプローブにおいて、前記薄板のコンタクト部が、ホルダー間に張設したフィルムから突出するように構成し、プローブ間のピッチを狭くしてもプローブのコンタクト部同士が接触してリークが生ずる恐れを解消した。
【選択図】 図2
Description
2・・・・・・・・・・・ プローブ(薄板)
3・・・・・・・・・・・ボルト締付穴
4・・・・・・・・・・・コンタクト部が突出する孔
5・・・・・・・・・・・コンタクト部
6・・・・・・・・・・・フィルム
7,7,7´,7´・・・ノックピン穴
9・・・・・・・・・・・ノックピン
11・・・・・・・・・・ 凹部
12・・・・・・・・・・ホルダー底面
Claims (7)
- 薄板で形成したプローブを多数枚積層し、これをホルダーで挟持したプローブにおいて、前記薄板のニードル部が、ホルダー間に張設したフィルムから突出するように構成したことを特徴とする積層型プローブ。
- 前記フィルムの両端は、位置決めピンでホルダーに固定されている請求項1に記載の積層型プローブ。
- 隣接する前記プローブは、絶縁体層を介して積層し、先端コンタクト部のピッチ間隔は、30〜60μである請求項1または2に記載の積層型プローブ。
- 前記薄板の厚さは、15μ〜30μである請求項1〜3のいずれかに記載の積層型プローブ。
- 前記フィルムには、コンタクト部が突出する孔がレーザーで形成されている請求項1〜4のいずれかに記載の積層型プローブ。
- 前記ホルダーの薄板当接部には、多数枚積層により生じる薄板の膨らみを吸収する凹部が形成されている請求項1〜5のいずれかに記載の積層型プローブ。
- 前記ホルダーのコンタクト部側である底面は、外方に向かって上昇する傾斜に形成されている請求項1〜6のいずれかに記載の積層型プローブ。
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---|---|---|---|---|
DE102012218492A1 (de) | 2011-11-01 | 2013-05-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Aufspannvorrichtung zur Verwendung im Halbleitertest und Verfahren für das Messen einer Durchschlagspannung unter Verwendung der Aufspannvorrichtung |
CN114270201A (zh) * | 2019-08-29 | 2022-04-01 | Hrl实验室有限责任公司 | 小间距集成刀刃临时结合微结构 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03117769U (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-05 | ||
JPH07115110A (ja) * | 1993-08-24 | 1995-05-02 | Nobuaki Suzuki | 回路基板の検査・試験用プローブとその取付構造 |
JPH10132853A (ja) * | 1996-10-28 | 1998-05-22 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体およびプローブ |
JPH11133060A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Tani Denki Kogyo Kk | テスト用端子 |
JP2009036745A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Isao Kimoto | 電気信号接続装置 |
-
2009
- 2009-04-28 JP JP2009108574A patent/JP5364877B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03117769U (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-05 | ||
JPH07115110A (ja) * | 1993-08-24 | 1995-05-02 | Nobuaki Suzuki | 回路基板の検査・試験用プローブとその取付構造 |
JPH10132853A (ja) * | 1996-10-28 | 1998-05-22 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体およびプローブ |
JPH11133060A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Tani Denki Kogyo Kk | テスト用端子 |
JP2009036745A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Isao Kimoto | 電気信号接続装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012218492A1 (de) | 2011-11-01 | 2013-05-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Aufspannvorrichtung zur Verwendung im Halbleitertest und Verfahren für das Messen einer Durchschlagspannung unter Verwendung der Aufspannvorrichtung |
US9007081B2 (en) | 2011-11-01 | 2015-04-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Jig for use in semiconductor test and method of measuring breakdown voltage by using the jig |
DE102012218492B4 (de) | 2011-11-01 | 2022-04-21 | Mitsubishi Electric Corporation | Aufspannvorrichtung zur Verwendung im Halbleitertest und Verfahren für das Messen einer Durchschlagspannung unter Verwendung der Aufspannvorrichtung |
CN114270201A (zh) * | 2019-08-29 | 2022-04-01 | Hrl实验室有限责任公司 | 小间距集成刀刃临时结合微结构 |
CN114270201B (zh) * | 2019-08-29 | 2024-05-14 | Hrl实验室有限责任公司 | 小间距集成刀刃临时结合微结构 |
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