JP2010243680A - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被露光体8を矢印A方向に搬送しながら、各露光パターンに対応する複数種のマスクパターン群を被露光体8の搬送方向に所定間隔で並べて形成したフォトマスク11の第1のマスクパターン群12を使用して行う被露光体8の第1の露光領域9に対する露光が終了すると、フォトマスク11を被露光体の搬送速度に同期して移動して第1のマスクパターン群12から第2のマスクパターン群13に切り替え、フォトマスク11のマスクパターン群の切り替えが終了すると、該フォトマスク11の移動を停止して第2のマスクパターン群13により被露光体8の第2の露光領域10に対する露光を実行し、被露光体8の搬送方向に所定間隔で設定された複数の露光領域毎に異なる露光パターン24,25を形成する。
【選択図】図6
Description
先ず、ステップS1においては、マスクステージ4は、待機位置に停止してフォトマスク11の第1のマスクパターン群12が選択されている。
4…マスクステージ
5…光源光
8…被露光体
9…第1の露光領域
10…第2の露光領域
11…フォトマスク
12…第1のマスクパターン群
13…第2のマスクパターン群
24…第1の露光パターン
25…第2の露光パターン
Claims (4)
- 被露光体を一方向に搬送しながら該被露光体の搬送方向に所定間隔で設定された複数の露光領域毎に異なる露光パターンを形成する露光方法であって、
前記各露光パターンに対応する複数種のマスクパターン群を前記被露光体の搬送方向に所定間隔で並べて形成したフォトマスクの一のマスクパターン群を使用して行う前記被露光体の一の露光領域に対する露光が終了すると、前記フォトマスクを前記被露光体の搬送速度に同期して移動して前記一のマスクパターン群から別のマスクパターン群に切り替える段階と、
前記フォトマスクのマスクパターン群の切り替えが終了すると、該フォトマスクの移動を停止して前記別のマスクパターン群により前記被露光体の次の露光領域に対する露光を実行する段階と、
を行うことを特徴とする露光方法。 - 前記フォトマスクは、前記被露光体の搬送方向に移動することを特徴とする請求項1記載の露光方法。
- 被露光体を一方向に搬送しながら該被露光体の搬送方向に所定間隔で設定された複数の露光領域毎に異なる露光パターンを形成する露光装置であって、
前記被露光体を所定速度で搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の上面に対向して配設され、前記各露光パターンに対応する複数種のマスクパターン群を前記被露光体の搬送方向に所定間隔で並べて形成したフォトマスクを保持すると共に、前記搬送手段の移動に同期して移動可能に形成されたマスクステージと、を備え、
前記フォトマスクの一のマスクパターン群を使用して行う、前記被露光体の一の露光領域に対する露光が終了すると、前記マスクステージを移動して前記フォトマスクの一のマスクパターン群から別のマスクパターン群に切り替え、該別のマスクパターン群により前記被露光体の次の露光領域に対する露光を実行することを特徴とする露光装置。 - 前記マスクステージは、前記被露光体の搬送方向に移動することを特徴とする請求項3記載の露光装置。
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