JP2010243535A - Liquid drop discharge device - Google Patents

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Tatsuya Ito
達也 伊藤
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Seiko Epson Corp
セイコーエプソン株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid drop discharge device, restraining variation in temperature of a plurality of injection heads or variation in temperature of ink injected from the plurality of injection heads to restrain deterioration of performance. <P>SOLUTION: This liquid drop discharge device includes: a first injection head for injecting ink; a second injection head adjacent to the first injection head for injecting ink; and a heat exchange mechanism for performing heat exchange to take the heat of the first injection head and give the heat to the second injection head. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出装置に関する。   The present invention relates to a droplet discharge device.
例えばフラットパネルディスプレイ等の電子デバイスの製造工程において、特許文献1に開示されているような、液滴吐出装置が使用される。   For example, in a manufacturing process of an electronic device such as a flat panel display, a droplet discharge device as disclosed in Patent Document 1 is used.
特開2003−340337号公報JP 2003-340337 A
液滴吐出装置は、インクを射出する射出ヘッドを有する。射出ヘッドの温度が変化すると、インクの射出特性が変化する可能性がある。例えば、射出ヘッドの温度に応じて、射出ヘッドの内部流路のインクの粘度が変化し、その結果、射出ヘッドから射出されるインクの量が変化する可能性がある。また、射出ヘッドの温度が変化すると、例えばインクを射出するために駆動される駆動素子(圧電素子)の駆動特性が変化し、その結果、射出ヘッドから射出されるインクの量が変化する可能性もある。液滴吐出装置が射出ヘッドを複数有する場合、それら複数の射出ヘッドの温度が異なると、各射出ヘッドから射出されるインクの量が異なる不具合が生じる等、液滴吐出装置の性能が低下する可能性がある。その結果、製造されるデバイスの品質が低下する可能性がある。   The droplet discharge device has an ejection head that ejects ink. When the temperature of the ejection head changes, the ink ejection characteristics may change. For example, the viscosity of the ink in the internal flow path of the ejection head changes according to the temperature of the ejection head, and as a result, the amount of ink ejected from the ejection head may change. Further, when the temperature of the ejection head changes, for example, the drive characteristics of a drive element (piezoelectric element) that is driven to eject ink may change, and as a result, the amount of ink ejected from the ejection head may change. There is also. When the droplet ejection device has multiple ejection heads, if the temperature of the multiple ejection heads is different, the performance of the droplet ejection device may be degraded, such as a problem that the amount of ink ejected from each ejection head is different. There is sex. As a result, the quality of the manufactured device may be degraded.
本発明の態様は、複数の射出ヘッドの温度にばらつきが生じること、あるいは複数の射出ヘッドから射出されるインクの温度にばらつきが生じることを抑制でき、性能の低下を抑制できる液滴吐出装置を提供することを目的とする。   According to an aspect of the present invention, there is provided a droplet discharge device that can suppress variations in temperature of a plurality of ejection heads, or variations in temperature of ink ejected from a plurality of ejection heads, and can suppress deterioration in performance. The purpose is to provide.
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。   In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.
本発明の一態様に従えば、インクを射出する第1射出ヘッドと、前記第1射出ヘッドに隣接し、インクを射出する第2射出ヘッドと、前記第1射出ヘッドの熱を奪って、前記第2射出ヘッドに与える熱交換を行う熱交換機構と、を備える液滴吐出装置が提供される。   According to one aspect of the present invention, a first ejection head that ejects ink, a second ejection head that ejects ink adjacent to the first ejection head, and deprives the first ejection head of heat, There is provided a droplet discharge device including a heat exchange mechanism for performing heat exchange given to a second ejection head.
本発明の一態様によれば、第1射出ヘッドの熱を奪って、第2射出ヘッドに与える熱交換を行う熱交換機構を設けたので、複数の射出ヘッドの温度にばらつきが生じること、及び複数の射出ヘッドから射出されるインクの温度にばらつきが生じることを抑制できる。すなわち、それら複数の射出ヘッドの温度を均一化することができ、複数の射出ヘッドから射出されるインクの温度を均一化することができる。したがって、液滴吐出装置の性能の低下を抑制でき、製造されるデバイスの品質の低下を抑制できる。   According to one aspect of the present invention, since the heat exchange mechanism that performs heat exchange for removing heat from the first ejection head and applying the heat to the second ejection head is provided, the temperature of the plurality of ejection heads varies, and Variations in the temperature of ink ejected from a plurality of ejection heads can be suppressed. That is, the temperature of the plurality of ejection heads can be made uniform, and the temperature of the ink ejected from the plurality of ejection heads can be made uniform. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the performance of the droplet discharge device and to suppress a decrease in the quality of the manufactured device.
本発明の態様において、前記熱交換機構は、前記インクを介して、前記熱交換する構成を採用することができる。   In the aspect of the present invention, the heat exchange mechanism may employ a configuration for exchanging the heat via the ink.
これにより、既存のインクを用いて、簡易な構成で熱交換を行うことができる。   Thereby, heat exchange can be performed with a simple configuration using existing ink.
本発明の態様において、前記第1射出ヘッドに接続され、前記第1射出ヘッドに供給される前記インクが流れる流路が形成された第1チューブと、前記第2射出ヘッドに接続され、前記第2射出ヘッドに供給される前記インクが流れる流路が形成された第2チューブと、を備え、前記熱交換機構は、前記第1射出ヘッドの外面と接触するように配置された前記第2チューブを含む構成を採用することができる。   In an aspect of the present invention, the first tube connected to the first ejection head and formed with a flow path through which the ink supplied to the first ejection head flows, and connected to the second ejection head, the first A second tube in which a flow path for the ink to be supplied to the two ejection heads is formed, and the heat exchange mechanism is disposed so as to contact an outer surface of the first ejection head. It is possible to adopt a configuration including
これにより、第2チューブを流れるインクによって第1射出ヘッドの熱を奪うことができ、その熱を第2射出ヘッドに与えることができる。また、第1射出ヘッドから射出されるインクと、第2射出ヘッドから射出されるインクとの温度を均一化することができる。   Thereby, the heat of the first ejection head can be taken away by the ink flowing through the second tube, and the heat can be applied to the second ejection head. Further, the temperature of the ink ejected from the first ejection head and the temperature of the ink ejected from the second ejection head can be made uniform.
本発明の態様において、前記第2チューブは、可撓性であり、前記外面を包囲するように配置される構成を採用することができる。   In the aspect of the present invention, the second tube may be flexible and may be arranged so as to surround the outer surface.
これにより、流路形成部材と第1射出ヘッドとの接触面積を大きくすることができる。したがって、熱交換を効率良く行うことができる。   Thereby, the contact area of a flow path formation member and a 1st injection head can be enlarged. Therefore, heat exchange can be performed efficiently.
本発明の態様において、前記熱交換機構は、前記インクが射出される前記第1,第2射出ヘッドの射出面と反対側の上面と対向するように配置され、前記第1,第2射出ヘッドに供給される前記インクを収容可能なバッファ空間を有する第1タンク部材を含み、前記バッファ空間に供給された前記インクが、前記第1,第2射出ヘッドのそれぞれに供給される構成を採用することができる。   In an aspect of the present invention, the heat exchange mechanism is disposed so as to face the upper surface opposite to the ejection surface of the first and second ejection heads from which the ink is ejected, and the first and second ejection heads. A first tank member having a buffer space capable of containing the ink to be supplied to the first and second ejection heads. be able to.
これにより、第1タンク部材のバッファ空間のインクは、第1射出ヘッドの熱を奪って、第2射出ヘッドに与えることができる。換言すれば、第1射出ヘッドの熱は、第1タンク部材のバッファ空間のインクを介して、第2射出ヘッドに伝達される。したがって、第1,第2射出ヘッドの温度を均一化することができる。また、第1タンク部材のバッファ空間のインクは、第1射出ヘッド及び第2射出ヘッドのそれぞれから放射される熱によって温度調整される。したがって、バッファ空間におけるインクの温度の均一化が図られる。そのため、第1,第2射出ヘッドから射出されるインクの温度を効果的に均一化することができる。   Thereby, the ink in the buffer space of the first tank member can take heat of the first ejection head and give it to the second ejection head. In other words, the heat of the first ejection head is transmitted to the second ejection head via the ink in the buffer space of the first tank member. Therefore, the temperature of the first and second ejection heads can be made uniform. The temperature of the ink in the buffer space of the first tank member is adjusted by the heat radiated from each of the first ejection head and the second ejection head. Therefore, the temperature of the ink in the buffer space can be made uniform. Therefore, the temperature of the ink ejected from the first and second ejection heads can be effectively made uniform.
本発明の態様において、前記第1,第2射出ヘッドの前記上面と対向する前記第1タンク部材の下面の面積は、前記第1,第2射出ヘッドの上面の総面積より大きい構成を採用することができる。   In the aspect of the present invention, the area of the lower surface of the first tank member facing the upper surface of the first and second ejection heads is larger than the total area of the upper surfaces of the first and second ejection heads. be able to.
これにより、第1射出ヘッドの上面と第1タンク部材の下面とが対向できるとともに、第2射出ヘッドの上面と第1タンク部材の下面とが対向できる。したがって、第1タンク部材のバッファ空間のインクは、第1射出ヘッドの熱を奪って、第2射出ヘッドに与えることができる。   As a result, the upper surface of the first injection head and the lower surface of the first tank member can face each other, and the upper surface of the second injection head and the lower surface of the first tank member can face each other. Therefore, the ink in the buffer space of the first tank member can take heat of the first ejection head and give it to the second ejection head.
本発明の態様において、前記熱交換機構は、少なくとも前記インクが射出される前記第1,第2射出ヘッドの射出面が露出するように、前記第1,第2射出ヘッドを同一の所定空間に収容可能な第2タンク部材を含み、前記所定空間に供給された前記インクが、前記第1,第2射出ヘッドのそれぞれに供給される構成を採用することができる。   In an aspect of the present invention, the heat exchange mechanism places the first and second ejection heads in the same predetermined space so that at least the ejection surfaces of the first and second ejection heads from which the ink is ejected are exposed. It is possible to employ a configuration that includes a second tank member that can be accommodated and that supplies the ink supplied to the predetermined space to each of the first and second ejection heads.
これにより、第2タンク部材の所定空間のインクは、第1射出ヘッドの熱を奪って、第2射出ヘッドに与えることができる。換言すれば、第1射出ヘッドの熱は、第2タンク部材の所定空間のインクを介して、第2射出ヘッドに伝達される。したがって、第1,第2射出ヘッドの温度を均一化することができる。また、第2タンク部材の所定空間のインクは、第1射出ヘッド及び第2射出ヘッドのそれぞれから放射される熱によって温度調整される。したがって、所定空間におけるインクの温度の均一化が図られる。そのため、第1,第2射出ヘッドから射出されるインクの温度を効果的に均一化することができる。   Thereby, the ink in the predetermined space of the second tank member can take the heat of the first ejection head and give it to the second ejection head. In other words, the heat of the first ejection head is transmitted to the second ejection head via the ink in the predetermined space of the second tank member. Therefore, the temperature of the first and second ejection heads can be made uniform. The temperature of the ink in the predetermined space of the second tank member is adjusted by the heat radiated from each of the first ejection head and the second ejection head. Therefore, the temperature of the ink in the predetermined space can be made uniform. Therefore, the temperature of the ink ejected from the first and second ejection heads can be effectively made uniform.
本発明の態様において、前記所定空間の前記インクの少なくとも一部は、前記所定空間に配置されている前記第1,第2射出ヘッドの外面に接触する構成を採用することができる。   In the aspect of the invention, it is possible to employ a configuration in which at least a part of the ink in the predetermined space is in contact with the outer surfaces of the first and second ejection heads disposed in the predetermined space.
これにより、第1射出ヘッドとインクとの熱交換、及び第2射出ヘッドとインクとの熱交換が効率良く行われる。すなわち、インクは、第1射出ヘッドの外面と接触することによって、その第1射出ヘッドの熱を効率良く奪うことができる。また、インクは、第2射出ヘッドの外面と接触することによって、その第2射出ヘッドに熱を効率良く与えることができる。   Thereby, heat exchange between the first ejection head and the ink and heat exchange between the second ejection head and the ink are performed efficiently. That is, the ink can efficiently remove the heat of the first ejection head by contacting the outer surface of the first ejection head. Further, the ink can efficiently apply heat to the second ejection head by contacting the outer surface of the second ejection head.
本発明の態様において、所定面内に配置された少なくとも3つの射出ヘッドを有するヘッド群を備え、前記第1射出ヘッドは、前記ヘッド群の中央部に配置された射出ヘッドであり、前記第2射出ヘッドは、前記中央部より前記ヘッド群の周縁部に配置された射出ヘッドである構成を採用することができる。   In an aspect of the present invention, a head group including at least three ejection heads arranged in a predetermined plane is provided, and the first ejection head is an ejection head arranged in a central portion of the head group, and the second The structure which is an injection head arrange | positioned from the said center part to the peripheral part of the said head group can be employ | adopted for the injection head.
これにより、ヘッド群の中央部に配置された射出ヘッドの熱を奪って、周縁部に配置された射出ヘッドに与えることができる。すなわち、ヘッド群のうち、中央部に配置されている射出ヘッドは、その中央部の周囲に配置されている射出ヘッドによって、その周囲に配置されている射出ヘッドより、高い温度になる可能性がある。そのため、ヘッド群のうち、中央部に配置された射出ヘッドの熱を奪って、周縁部に配置された射出ヘッドに与えることによって、ヘッド群を構成する複数の射出ヘッドの温度の均一化、及びそれら射出ヘッドから射出されるインクの温度の均一化を図ることができる。   Thereby, the heat of the injection head arranged at the central part of the head group can be taken and given to the injection head arranged at the peripheral part. That is, in the head group, there is a possibility that the injection head arranged at the center part may be at a higher temperature than the injection head arranged around the injection head arranged around the center part. is there. Therefore, among the head group, the temperature of the plurality of ejection heads constituting the head group is made uniform by depriving the heat of the ejection head disposed at the central portion and giving it to the ejection head disposed at the peripheral portion, and The temperature of the ink ejected from these ejection heads can be made uniform.
第1実施形態に係る液滴吐出装置の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the droplet discharge apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係るキャリッジ部材に支持された複数の射出ヘッドを下側から見た図である。It is the figure which looked at the some injection head supported by the carriage member which concerns on 1st Embodiment from the lower side. 第1実施形態に係る射出ヘッドの構造の一例を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating an example of the structure of the injection head which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る熱交換機構の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heat exchange mechanism which concerns on 1st Embodiment. 第2実施形態に係る熱交換機構の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heat exchange mechanism which concerns on 2nd Embodiment. 第3実施形態に係る熱交換機構の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the heat exchange mechanism which concerns on 3rd Embodiment.
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれと直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, an XYZ orthogonal coordinate system is set, and the positional relationship of each part will be described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system. A predetermined direction in the horizontal plane is defined as an X-axis direction, a direction orthogonal to the X-axis direction in the horizontal plane is defined as a Y-axis direction, and a direction orthogonal to each of the X-axis direction and the Y-axis direction (that is, a vertical direction) is defined as a Z-axis direction. In addition, the rotation (inclination) directions around the X axis, the Y axis, and the Z axis are the θX, θY, and θZ directions, respectively.
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る液滴吐出装置IJの一部を示す斜視図である。
<First Embodiment>
A first embodiment will be described. FIG. 1 is a perspective view showing a part of a droplet discharge device IJ according to the first embodiment.
液滴吐出装置IJは、インク(機能液)を基板Pに射出することによって、その基板Pにデバイスパターンを形成する。液滴吐出装置IJは、インクを射出する射出口1が形成された射出面2を有する射出ヘッド3と、射出面2と対向する第1位置A1を含む所定領域で射出ヘッド3に対して移動可能であり、Y軸に沿って配置された複数の移動体4、5、6、7と、複数の移動体4、5、6、7をY軸に沿って移動させる駆動装置8と、射出ヘッド3に流路を介して接続され、射出ヘッド3に供給するためのインクを収容するインク収容装置9と、液滴吐出装置IJ全体の動作を制御する制御装置10とを備えている。   The droplet discharge device IJ forms a device pattern on the substrate P by ejecting ink (functional liquid) onto the substrate P. The droplet discharge device IJ moves with respect to the ejection head 3 in a predetermined region including an ejection head 3 having an ejection surface 2 on which an ejection port 1 for ejecting ink is formed and a first position A1 facing the ejection surface 2. A plurality of movable bodies 4, 5, 6, 7 arranged along the Y axis, a driving device 8 that moves the plurality of movable bodies 4, 5, 6, 7 along the Y axis, and injection An ink storage device 9 that is connected to the head 3 via a flow path and stores ink to be supplied to the ejection head 3 and a control device 10 that controls the operation of the entire droplet discharge device IJ are provided.
本実施形態において、液滴吐出装置IJは、インクの滴(液滴)Dを基板Pに吐出することによって、基板Pにデバイスパターンを形成する。すなわち、射出ヘッド3は、射出口1より、インクの滴Dを基板Pに吐出して、その基板Pにデバイスパターンを形成する。   In this embodiment, the droplet discharge device IJ forms a device pattern on the substrate P by discharging ink droplets (droplets) D onto the substrate P. That is, the ejection head 3 ejects ink droplets D from the ejection port 1 onto the substrate P to form a device pattern on the substrate P.
本実施形態の液滴吐出装置IJは、複数の射出ヘッド3を備えたマルチヘッドタイプの液滴吐出装置であり、複数の射出ヘッド3を支持するキャリッジ部材11を有する。   The droplet discharge device IJ of this embodiment is a multi-head type droplet discharge device including a plurality of ejection heads 3 and includes a carriage member 11 that supports the plurality of ejection heads 3.
本実施形態において、基板Pは、フラットパネルディスプレイを製造するために使用されるガラス基板を含む。また、インクは、例えば液晶ディスプレイのカラーフィルタを製造するためのインクを含む。なお、インクが、配線パターンを形成するための導電性微粒子を含むインクでもよい。また、基板Pが、例えば特開2006−114593号公報、特開2006−261146号公報等に開示されているような、低温同時焼成セラミックス(LTCC:Low Temperature Co-fired Ceramics)多層回路基板を形成するための基板でもよいし、半導体チップを製造するために使用される半導体ウエハでもよい。   In the present embodiment, the substrate P includes a glass substrate used for manufacturing a flat panel display. The ink includes, for example, ink for manufacturing a color filter for a liquid crystal display. The ink may be an ink containing conductive fine particles for forming a wiring pattern. Further, the substrate P forms a low temperature co-fired ceramics (LTCC) multilayer circuit substrate as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2006-114593 and 2006-261146. For example, a semiconductor substrate used for manufacturing a semiconductor chip may be used.
液滴吐出装置IJは、少なくとも3つの移動体を有する。本実施形態においては、液滴吐出装置IJは、4つの移動体4、5、6、7を有する。第1移動体4は、Y軸に沿って配置された4つの移動体のうち、最も−Y側に配置されており、第4移動体7は、最も+Y側に配置されている。すなわち、第1移動体4と第2移動体7とは、Y軸に沿って配置された4つの移動体4、5、6、7のうち、Y軸方向に関して両端に配置されている。第2移動体5及び第3移動体6は、第1移動体4と第4移動体7との間に配置されている。第2移動体5は、第3移動体6の−Y側に配置されている。   The droplet discharge device IJ has at least three moving bodies. In the present embodiment, the droplet discharge device IJ includes four moving bodies 4, 5, 6, and 7. The first moving body 4 is disposed on the most −Y side among the four moving bodies disposed along the Y axis, and the fourth moving body 7 is disposed on the most + Y side. That is, the 1st moving body 4 and the 2nd moving body 7 are arrange | positioned at both ends regarding the Y-axis direction among the four moving bodies 4, 5, 6, 7 arrange | positioned along the Y-axis. The second moving body 5 and the third moving body 6 are disposed between the first moving body 4 and the fourth moving body 7. The second moving body 5 is disposed on the −Y side of the third moving body 6.
第1移動体4は、滴Dでパターンが形成される基板Pを保持しながら移動可能である。第2、第3、第4移動体5、6、7は、射出ヘッド3をメンテナンスするメンテナンス装置を含む。本実施形態においては、第2移動体5は、射出ヘッド3の射出面2を覆うキャッピング装置13を含む。第3移動体6は、射出ヘッド3の射出面2の異物を払うワイピング装置14を含む。第4移動体7は、射出ヘッド3の少なくとも一部をインク以外の液体に浸ける浸漬装置15を含む。   The first moving body 4 is movable while holding the substrate P on which a pattern is formed by the droplets D. The second, third, and fourth moving bodies 5, 6, and 7 include a maintenance device that maintains the ejection head 3. In the present embodiment, the second moving body 5 includes a capping device 13 that covers the ejection surface 2 of the ejection head 3. The third moving body 6 includes a wiping device 14 that removes foreign matter on the ejection surface 2 of the ejection head 3. The fourth moving body 7 includes an immersion device 15 that immerses at least a part of the ejection head 3 in a liquid other than ink.
液滴吐出装置IJは、各移動体4、5、6、7を移動可能に支持する支持面16を有するベース部材17を備えている。各移動体4、5、6、7のそれぞれは、支持面16に沿って移動可能である。本実施形態においては、支持面16は、XY平面とほぼ平行である。また、本実施形態においては、ベース部材17の支持面16と、その支持面16と対向する各移動体4、5、6、7の対向面との間にエアベアリングが形成されている。各移動体4、5、6、7は、エアベアリングにより、支持面16に対して非接触で支持される。   The droplet discharge device IJ includes a base member 17 having a support surface 16 that movably supports the moving bodies 4, 5, 6, and 7. Each of the moving bodies 4, 5, 6, 7 is movable along the support surface 16. In the present embodiment, the support surface 16 is substantially parallel to the XY plane. Further, in the present embodiment, an air bearing is formed between the support surface 16 of the base member 17 and the opposing surfaces of the moving bodies 4, 5, 6, 7 that face the support surface 16. Each moving body 4, 5, 6, 7 is supported in a noncontact manner with respect to the support surface 16 by an air bearing.
また、液滴吐出装置IJは、複数の移動体4、5、6、7のY軸方向への移動を案内するガイド部材18を備えている。ガイド部材18は、Y軸方向に長い棒状の部材であり、支持面16の上に配置されている。本実施形態においては、ガイド部材18の両端は、ガイド部材18の外側に配置された支持部材19で支持されている。   In addition, the droplet discharge device IJ includes a guide member 18 that guides the movement of the plurality of moving bodies 4, 5, 6, 7 in the Y-axis direction. The guide member 18 is a rod-like member that is long in the Y-axis direction, and is disposed on the support surface 16. In the present embodiment, both ends of the guide member 18 are supported by support members 19 disposed outside the guide member 18.
本実施形態においては、駆動装置8は、リニアモータを含み、複数の移動体4、5、6、7のそれぞれを独立して移動可能である。駆動装置8は、ガイド部材18に配置されたリニアモータの固定子22と、ガイド部材18と対向する各移動体4、5、6、7の対向面のそれぞれに配置されたリニアモータの可動子23、24、25、26とを有する。制御装置10は、リニアモータを含む駆動装置8を用いて、各移動体4、5、6、7のそれぞれをベース部材17上で独立して移動可能である。   In the present embodiment, the driving device 8 includes a linear motor and can move each of the plurality of moving bodies 4, 5, 6, 7 independently. The driving device 8 includes a linear motor stator 22 disposed on the guide member 18 and a linear motor mover disposed on each of the opposing surfaces of the movable bodies 4, 5, 6, 7 facing the guide member 18. 23, 24, 25, 26. The control device 10 can move each of the moving bodies 4, 5, 6, and 7 independently on the base member 17 using a driving device 8 including a linear motor.
また、液滴吐出装置IJは、射出ヘッド3と別の位置に配置され、第1移動体4に基板Pを搬入する動作、及び第1移動体4から基板Pを搬出する動作の少なくとも一方を実行する基板搬送装置27を備えている。基板搬送装置27の近傍には、基板Pを収容可能な基板収容装置28が配置されている。   The droplet discharge device IJ is disposed at a position different from the ejection head 3 and performs at least one of an operation of loading the substrate P into the first moving body 4 and an operation of unloading the substrate P from the first moving body 4. A substrate transfer device 27 is provided. In the vicinity of the substrate transfer device 27, a substrate accommodation device 28 capable of accommodating the substrate P is disposed.
基板搬送装置27は、Y軸方向に関して第1位置A1と異なる第2位置A2に配置された第1移動体4に基板Pを搬入する動作、及び第1移動体4から基板Pを搬出する動作の少なくとも一方を実行する。第1位置A1と第2位置A2とは、Y軸方向に関して離れている。本実施形態においては、第1位置A1は、第2位置A2の+Y側の位置である。第1移動体4は、射出ヘッド3の射出面2と対向する第1位置A1と、基板搬送装置27の近傍の第2位置A2との間を、ベース部材17の支持面16に沿って移動可能である。   The substrate transfer device 27 performs an operation of loading the substrate P into the first moving body 4 disposed at the second position A2 different from the first position A1 with respect to the Y-axis direction, and an operation of unloading the substrate P from the first moving body 4. Execute at least one of the following. The first position A1 and the second position A2 are separated with respect to the Y-axis direction. In the present embodiment, the first position A1 is a position on the + Y side of the second position A2. The first moving body 4 moves along the support surface 16 of the base member 17 between the first position A1 facing the ejection surface 2 of the ejection head 3 and the second position A2 in the vicinity of the substrate transport device 27. Is possible.
基板搬送装置27は、例えば基板収容装置28に収容されている基板Pを、第2位置A2に配置された第1移動体4に搬入可能である。また、基板搬送装置27は、第2位置A2に配置された第1移動体4より基板Pを搬出し、基板収容装置28に収容可能である。   The substrate transfer device 27 can carry, for example, the substrate P accommodated in the substrate accommodation device 28 into the first moving body 4 arranged at the second position A2. Further, the substrate transport device 27 can carry the substrate P out of the first moving body 4 disposed at the second position A <b> 2 and accommodate it in the substrate accommodation device 28.
また、本実施形態においては、液滴吐出装置IJは、第1移動体4の移動経路の少なくとも一部に配置され、第1移動体4の熱の周囲への放散を遮る断熱部材29を備えている。断熱部材29は、第1移動体4を含む各移動体5、6、7の移動を妨げないように、ベース部材17の所定位置に取り付けられている。   Further, in the present embodiment, the droplet discharge device IJ is provided with a heat insulating member 29 that is disposed on at least a part of the moving path of the first moving body 4 and blocks heat dissipation of the first moving body 4 to the surroundings. ing. The heat insulating member 29 is attached to a predetermined position of the base member 17 so as not to hinder the movement of the moving bodies 5, 6, 7 including the first moving body 4.
次に、図2及び図3を参照しながら、射出ヘッド3について説明する。図2は、キャリッジ部材11に支持された複数の射出ヘッド3を下側から見た図、図3は、射出ヘッド3の構造の一例を説明するための断面図である。   Next, the injection head 3 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a view of the plurality of ejection heads 3 supported by the carriage member 11 as viewed from below, and FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining an example of the structure of the ejection head 3.
本実施形態の射出ヘッド3は、ピエゾ素子(圧電素子)33に所定の駆動信号を供給して、そのピエゾ素子33を変形させることによって、インクを収容した空間34の圧力を可撓性の振動板(膜)35を介して変動させ、その圧力の変動を利用して、射出口1よりインクを射出する、いわゆる電気機械変換方式の射出ヘッド(吐出ヘッド)である。制御装置10は、射出ヘッド3のピエゾ素子33に所定の駆動信号を供給して、その駆動信号に応じた大きさの滴Dを射出口1のそれぞれより吐出可能である。   The ejection head 3 of the present embodiment supplies a predetermined drive signal to a piezo element (piezoelectric element) 33 and deforms the piezo element 33 to thereby change the pressure of the space 34 containing the ink to a flexible vibration. This is a so-called electromechanical conversion type ejection head (ejection head) in which ink is ejected from the ejection port 1 by using a fluctuation of the pressure through the plate (film) 35. The control device 10 supplies a predetermined drive signal to the piezo element 33 of the ejection head 3 and can eject droplets D having a size corresponding to the drive signal from each of the ejection ports 1.
図2に示すように、本実施形態の液滴吐出装置IJは、複数の射出ヘッド3を有する。複数の射出ヘッド3は、キャリッジ部材11に支持されている。射出ヘッド3は、インクの滴Dを吐出する射出口(射出ノズル)1が形成された射出面(ノズル形成面)2を有する。射出面2は、所定方向に長い形状(本実施形態においてはほぼ長方形状)を有する。射出口1は、射出面2において、所定方向(射出面2の長手方向)に沿って複数形成されている。本実施形態においては、複数の射出口1が並ぶ所定方向は、XY平面内においてX軸方向に対して傾斜する方向である。   As shown in FIG. 2, the droplet discharge device IJ of the present embodiment has a plurality of ejection heads 3. The plurality of ejection heads 3 are supported by the carriage member 11. The ejection head 3 has an ejection surface (nozzle formation surface) 2 on which ejection ports (ejection nozzles) 1 for ejecting ink droplets D are formed. The emission surface 2 has a shape that is long in a predetermined direction (substantially rectangular in this embodiment). A plurality of injection ports 1 are formed on the emission surface 2 along a predetermined direction (longitudinal direction of the emission surface 2). In the present embodiment, the predetermined direction in which the plurality of injection ports 1 are arranged is a direction inclined with respect to the X-axis direction in the XY plane.
本実施形態において、複数の射出ヘッド3のそれぞれは、キャリッジ部材11の下面(支持面)に支持されている。本実施形態において、キャリッジ部材11の下面は、XY平面とほぼ平行である。本実施形態において、射出ヘッド3は、XY平面とほぼ平行なキャリッジ部材11の下面に少なくとも3つ配置されている。本実施形態において、射出ヘッド3は、キャリッジ部材11の下面に、36個配置されている。本実施形態において、射出ヘッド3は、キャリッジ部材11の下面(XY平面)において、X軸方向に6個配置され、その6個の射出ヘッド3を1つのグループとするグループが、Y軸方向に6つ配置されている。   In the present embodiment, each of the plurality of ejection heads 3 is supported on the lower surface (support surface) of the carriage member 11. In the present embodiment, the lower surface of the carriage member 11 is substantially parallel to the XY plane. In the present embodiment, at least three injection heads 3 are arranged on the lower surface of the carriage member 11 substantially parallel to the XY plane. In the present embodiment, 36 injection heads 3 are arranged on the lower surface of the carriage member 11. In the present embodiment, six ejection heads 3 are arranged in the X-axis direction on the lower surface (XY plane) of the carriage member 11, and a group of the six ejection heads 3 as one group is arranged in the Y-axis direction. Six are arranged.
以下の説明において、キャリッジ部材11の下面(XY平面)内に配置された少なくとも3つの射出ヘッド3を総称して適宜、ヘッド群、と称する。本実施形態において、ヘッド群は、36個の射出ヘッド3によって構成されている。   In the following description, at least three ejection heads 3 arranged in the lower surface (XY plane) of the carriage member 11 are collectively referred to as a head group as appropriate. In the present embodiment, the head group is composed of 36 ejection heads 3.
図3に示すように、射出ヘッド3は、ヘッド本体36と、ヘッド本体36の下端に配置されたプレート部材(ノズルプレート)37とを有する。射出口1は、プレート部材37に形成されている。プレート部材37は、上下方向に貫通する孔を複数有する。射出口1は、その孔の下端に配置されている。射出面2は、プレート部材37に配置されている。   As shown in FIG. 3, the ejection head 3 includes a head main body 36 and a plate member (nozzle plate) 37 disposed at the lower end of the head main body 36. The injection port 1 is formed in the plate member 37. The plate member 37 has a plurality of holes penetrating in the vertical direction. The injection port 1 is disposed at the lower end of the hole. The emission surface 2 is disposed on the plate member 37.
本実施形態においては、射出ヘッド3(プレート部材37)の射出面2は、下側(−Z側)に向いている。射出ヘッド3からの滴Dが吐出(供給)される基板Pの表面は、射出ヘッド3の射出面2と対向するように、上側(+Z側)に向いている。第1移動体4は、基板Pの表面が上側(+Z側)を向くように、基板Pを保持する。また、射出ヘッド3の射出面2は、XY平面とほぼ平行である。第1移動体4は、基板Pの表面とXY平面とがほぼ平行となるように、基板Pを保持する。制御装置10は、射出ヘッド3の射出面2と第1移動体4に保持された基板Pの表面との間の距離(プラテンギャップ)を所定の値(例えば600μm)に維持した状態で、射出口1より基板Pに滴Dを吐出する。   In the present embodiment, the injection surface 2 of the injection head 3 (plate member 37) faces downward (−Z side). The surface of the substrate P on which the droplets D from the ejection head 3 are ejected (supplied) faces upward (+ Z side) so as to face the ejection surface 2 of the ejection head 3. The first moving body 4 holds the substrate P so that the surface of the substrate P faces upward (+ Z side). The ejection surface 2 of the ejection head 3 is substantially parallel to the XY plane. The first moving body 4 holds the substrate P so that the surface of the substrate P and the XY plane are substantially parallel. The control device 10 maintains the distance (platen gap) between the ejection surface 2 of the ejection head 3 and the surface of the substrate P held by the first moving body 4 at a predetermined value (for example, 600 μm). A droplet D is discharged from the outlet 1 onto the substrate P.
また、射出ヘッド3は、プレート部材37(射出口1)の上方に形成されたキャビティ(空間)34と、キャビティ34の上方に配置された可撓性の板(振動板)35と、振動板35の上方に配置されたピエゾ素子33とを有する。キャビティ34は、複数の射出口1のそれぞれに対応するように複数形成されている。キャビティ34は、流路を介してインク収容装置9と接続される。キャビティ34は、インク収容装置9からのインクを収容し、射出口1に供給する。   The injection head 3 includes a cavity (space) 34 formed above the plate member 37 (injection port 1), a flexible plate (vibration plate) 35 disposed above the cavity 34, and a vibration plate. 35 and a piezo element 33 disposed above 35. A plurality of cavities 34 are formed so as to correspond to each of the plurality of injection ports 1. The cavity 34 is connected to the ink storage device 9 through a flow path. The cavity 34 stores the ink from the ink storage device 9 and supplies it to the ejection port 1.
振動板35は、上下方向に振動することによって、キャビティ34の圧力(容積)を変動可能である。ピエゾ素子33は、振動板35を上下方向に振動可能である。ピエゾ素子33は、複数の射出口1のそれぞれに対応するように複数配置されている。ピエゾ素子33は、制御装置10からの駆動信号に基づいて振動板35を振動させ、キャビティ34の圧力を変動させることによって、射出口1よりインクの滴Dを吐出させる。   The diaphragm 35 can vary the pressure (volume) of the cavity 34 by vibrating in the vertical direction. The piezo element 33 can vibrate the diaphragm 35 in the vertical direction. A plurality of piezo elements 33 are arranged so as to correspond to each of the plurality of outlets 1. The piezo element 33 causes the diaphragm 35 to vibrate based on the drive signal from the control device 10, and causes the ink drop D to be ejected from the ejection port 1 by changing the pressure of the cavity 34.
また、制御装置10は、例えば特開2001−58433号公報に開示されているように、ピエゾ素子33に供給する駆動信号(駆動波形)を調整して、射出口1のそれぞれから吐出される滴Dの量(大きさ、体積)を調整可能である。   Further, as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-58433, the control device 10 adjusts a drive signal (drive waveform) supplied to the piezo element 33 and drops discharged from each of the ejection ports 1. The amount (size, volume) of D can be adjusted.
図1に示すように、本実施形態の液滴吐出装置IJは、複数の射出ヘッド3を、それら複数の射出ヘッド3の位置がほぼ動かないように保持する保持装置38を備えている。保持装置38は、キャリッジ部材11と、そのキャリッジ部材11を支持する支持機構39とを含む。   As shown in FIG. 1, the droplet discharge device IJ of the present embodiment includes a holding device 38 that holds a plurality of ejection heads 3 so that the positions of the plurality of ejection heads 3 do not substantially move. The holding device 38 includes a carriage member 11 and a support mechanism 39 that supports the carriage member 11.
本実施形態においては、支持機構39は、キャリッジ部材11を微動可能なアクチュエータを含む。支持機構39は、キャリッジ部材11を、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に微動可能である。   In the present embodiment, the support mechanism 39 includes an actuator that can finely move the carriage member 11. The support mechanism 39 can finely move the carriage member 11 in directions of six degrees of freedom in the X axis, Y axis, Z axis, θX, θY, and θZ directions.
本実施形態において、液滴吐出装置IJは、ヘッド群のうち、第1射出ヘッド3Aの熱を奪って、その第1射出ヘッド3Aに隣接する第2射出ヘッド3Bに与える熱交換を行う熱交換機構40を備えている。   In the present embodiment, the droplet discharge device IJ takes heat from the first ejection head 3A in the head group and performs heat exchange to be given to the second ejection head 3B adjacent to the first ejection head 3A. A mechanism 40 is provided.
例えば、36個の射出ヘッド3から構成されるヘッド群のうち、そのヘッド群の中央部に配置された射出ヘッド3(図2中、符号HA参照)の温度が、そのヘッド群の周縁部に配置された射出ヘッド3(図2中、符号CA参照)の温度より、高くなる可能性がある。   For example, among the head group composed of 36 ejection heads 3, the temperature of the ejection head 3 (see symbol HA in FIG. 2) arranged at the center of the head group is There is a possibility that the temperature is higher than the temperature of the arranged ejection head 3 (refer to the symbol CA in FIG. 2).
すなわち、上述のように、射出ヘッド3のそれぞれは、ピエゾ素子33等の発熱源を有し、その発熱源によって、射出ヘッド3の温度が上昇する可能性がある。それら射出ヘッド3が、図2に示すように、キャリッジ部材11の下面において密集するように配置されている場合、ヘッド群の中央部HAに配置された射出ヘッド3の温度が、そのヘッド群の周縁部CAに配置された射出ヘッド3の温度より、高くなる現象が生じる可能性がある。その現象が生じる原因の一つとして、周縁部CAの射出ヘッド3は、外気に触れやすい位置に配置されているので、その外気によって温度上昇が抑制されるものの、中央部HAの射出ヘッド3は、発熱源を有する他の(周縁部CAの)射出ヘッド3によって囲まれていることが挙げられる。   That is, as described above, each of the ejection heads 3 has a heat source such as the piezo element 33, and the temperature of the ejection head 3 may rise due to the heat source. When these ejection heads 3 are arranged so as to be densely arranged on the lower surface of the carriage member 11 as shown in FIG. 2, the temperature of the ejection heads 3 arranged at the central portion HA of the head group is the temperature of the head group. There is a possibility that a phenomenon in which the temperature becomes higher than the temperature of the ejection head 3 disposed in the peripheral edge CA may occur. As one of the causes of the phenomenon, the injection head 3 in the peripheral edge CA is disposed at a position where it can be easily exposed to the outside air, so that the temperature rise is suppressed by the outside air, but the injection head 3 in the center HA is In other words, it is surrounded by another injection head 3 (at the peripheral edge CA) having a heat source.
射出ヘッド3の温度が変化すると、インクの射出特性が変化する可能性がある。例えば、射出ヘッド3の温度に応じて、キャビディ34等を含む射出ヘッド3の内部流路のインクの粘度が変化し、その結果、射出ヘッド3から射出されるインクの量が変化する可能性がある。また、射出ヘッド3の温度が変化すると、例えばインクを射出するために駆動されるピエゾ素子33の駆動特性が変化し、その結果、射出ヘッド3から射出されるインクの量が変化する可能性もある。液滴吐出装置IJが射出ヘッド3を複数有する場合、それら複数の射出ヘッド3の温度が異なると、各射出ヘッド3から射出されるインクの量が異なる不具合が生じる等、液滴吐出装置IJの性能が低下する可能性がある。その結果、製造されるデバイスの品質が低下する可能性がある。   When the temperature of the ejection head 3 changes, the ink ejection characteristics may change. For example, according to the temperature of the ejection head 3, the viscosity of the ink in the internal flow path of the ejection head 3 including the cavities 34 and the like changes, and as a result, the amount of ink ejected from the ejection head 3 may change. is there. Further, when the temperature of the ejection head 3 changes, for example, the drive characteristics of the piezo element 33 that is driven to eject the ink change, and as a result, the amount of ink ejected from the ejection head 3 may change. is there. When the droplet ejection device IJ has a plurality of ejection heads 3, if the temperatures of the plurality of ejection heads 3 are different, there is a problem that the amount of ink ejected from each ejection head 3 is different. Performance may be degraded. As a result, the quality of the manufactured device may be degraded.
そのため、本実施形態においては、液滴吐出装置IJは、熱交換機構40を用いて、ヘッド群の中央部HAに配置されている第1射出ヘッド3Aの熱を奪って、ヘッド群の周縁部CAに配置されている第2射出ヘッド3Bに与える熱交換を実行する。   Therefore, in the present embodiment, the droplet discharge device IJ uses the heat exchange mechanism 40 to remove the heat of the first ejection head 3A disposed in the central portion HA of the head group, and the peripheral portion of the head group. The heat exchange given to the 2nd injection head 3B arranged in CA is performed.
次に、本実施形態に係る熱交換機構40の一例について、図4を参照して説明する。図4は、本実施形態に係る熱交換機構40の一例を示す模式図である。   Next, an example of the heat exchange mechanism 40 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of the heat exchange mechanism 40 according to the present embodiment.
ここで、以下の説明においては、簡単のため、36個の射出ヘッド3のうち、2つの射出ヘッド3A,3Bの間で熱交換が実行される場合を例にして説明する。また、以下の説明において、2つの射出ヘッド3A,3Bのうち、熱交換機構40によって熱が奪われる射出ヘッド3Aを適宜、第1射出ヘッド3A、と称し、熱が与えられる射出ヘッド3Bを適宜、第2射出ヘッド3B、と称する。   Here, in the following description, for the sake of simplicity, a case where heat exchange is performed between the two ejection heads 3A and 3B among the 36 ejection heads 3 will be described as an example. In the following description, of the two ejection heads 3A and 3B, the ejection head 3A from which heat is removed by the heat exchange mechanism 40 is appropriately referred to as a first ejection head 3A, and the ejection head 3B to which heat is applied is appropriately , Referred to as a second ejection head 3B.
図4において、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとは、隣接している。熱交換機構40は、第1射出ヘッド3Aの熱を奪って、第2射出ヘッド3Bに与える熱交換を行う。   In FIG. 4, the first ejection head 3A and the second ejection head 3B are adjacent to each other. The heat exchanging mechanism 40 exchanges heat given to the second ejection head 3B by taking the heat of the first ejection head 3A.
本実施形態において、熱交換機構40は、インクを介して、熱交換を行う。すなわち、熱交換機構40は、インクを用いて、第1射出ヘッド3Aの熱を奪い、そのインクを用いて、第2射出ヘッド3Bに熱を与える。   In the present embodiment, the heat exchange mechanism 40 performs heat exchange via ink. That is, the heat exchange mechanism 40 uses the ink to remove heat from the first ejection head 3A and uses the ink to apply heat to the second ejection head 3B.
本実施形態において、液滴吐出装置IJは、第1射出ヘッド3Aに接続され、第1射出ヘッド3Aに供給されるインクが流れる流路が形成された第1チューブ41と、第2射出ヘッド3Bに接続され、第2射出ヘッド3Bに供給されるインクが流れる流路が形成された第2チューブ42とを備えている。   In the present embodiment, the droplet discharge device IJ is connected to the first ejection head 3A, the first tube 41 in which the flow path for the ink supplied to the first ejection head 3A is formed, and the second ejection head 3B. And a second tube 42 having a flow path through which the ink supplied to the second ejection head 3B flows.
インク収容装置9からのインクは、第1チューブ41の流路を介して、第1射出ヘッド3Aに供給される。また、インク収容装置9からのインクは、第2チューブ42の流路を介して、第2射出ヘッド3Bに供給される。   Ink from the ink storage device 9 is supplied to the first ejection head 3 </ b> A through the flow path of the first tube 41. Ink from the ink storage device 9 is supplied to the second ejection head 3 </ b> B via the flow path of the second tube 42.
本実施形態において、第2チューブ42は、可撓性である。本実施形態において、第2チューブ42は、合成樹脂製であり、可撓性である。   In the present embodiment, the second tube 42 is flexible. In the present embodiment, the second tube 42 is made of synthetic resin and is flexible.
第2チューブ42は、第1射出ヘッド3Aの外面と接触するように配置されている。本実施形態において、第2チューブ42は、第1射出ヘッド3Aの外面を包囲するように配置される。換言すれば、第2チューブ42は、第1射出ヘッド3Aを取り巻くように配置される。   The second tube 42 is disposed so as to be in contact with the outer surface of the first ejection head 3A. In the present embodiment, the second tube 42 is disposed so as to surround the outer surface of the first ejection head 3A. In other words, the second tube 42 is disposed so as to surround the first injection head 3A.
本実施形態において、熱交換機構40は、第1射出ヘッド3Aの外面と接触するように配置された第2チューブ42を含む。   In the present embodiment, the heat exchange mechanism 40 includes a second tube 42 disposed so as to come into contact with the outer surface of the first ejection head 3A.
本実施形態によれば、第2チューブ42が第1射出ヘッド3Aの外面と接触するように配置されているので、インク収容装置9から第2チューブ42の流路に供給されたインクは、その第2チューブ42の流路を流れることによって、第1射出ヘッド3Aから熱を奪う。そのため、第2チューブ42を流れるインクの温度は、上昇する。その温度が上昇されたインクは、第2チューブ42を介して、第2射出ヘッド3Bに供給される。第2射出ヘッド3Bに供給されたインクは、第2射出ヘッド3Bに熱を与える。すなわち、第2射出ヘッド3Bとインクとの間で熱交換が実行される。これにより、第2射出ヘッド3Bの温度は、所定の値に維持される。第2射出ヘッド3Bは、その第2チューブ42を介して供給されたインクを、射出口1より射出する。   According to the present embodiment, since the second tube 42 is disposed so as to contact the outer surface of the first ejection head 3A, the ink supplied from the ink storage device 9 to the flow path of the second tube 42 By flowing through the flow path of the second tube 42, heat is taken from the first ejection head 3A. Therefore, the temperature of the ink flowing through the second tube 42 increases. The ink whose temperature has been raised is supplied to the second ejection head 3B via the second tube. The ink supplied to the second ejection head 3B gives heat to the second ejection head 3B. That is, heat exchange is performed between the second ejection head 3B and the ink. Thereby, the temperature of the second ejection head 3B is maintained at a predetermined value. The second ejection head 3 </ b> B ejects the ink supplied through the second tube 42 from the ejection port 1.
また、インク収容装置9から第1チューブ41の流路に供給されたインクは、その第1チューブ41を介して、第1射出ヘッド3Aに供給される。第1射出ヘッド3Aの熱は、第2チューブ42を流れるインクによって奪われているので、その第1射出ヘッド3Aの温度は、所定の値に維持される。第1射出ヘッド3Aは、その第1チューブ41を介して供給されたインクを、射出口1より射出する。   Further, the ink supplied from the ink storage device 9 to the flow path of the first tube 41 is supplied to the first ejection head 3 </ b> A through the first tube 41. Since the heat of the first ejection head 3A is taken away by the ink flowing through the second tube 42, the temperature of the first ejection head 3A is maintained at a predetermined value. The first ejection head 3 </ b> A ejects ink supplied via the first tube 41 from the ejection port 1.
本実施形態においては、熱交換機構40によって、第1射出ヘッド3Aの温度、第2射出ヘッド3Bの温度、第1射出ヘッド3Aの内部流路のインクの温度、第2射出ヘッド3Bの内部流路のインクの温度、第1射出ヘッド3Aから射出されるインクの温度、及び第2射出ヘッド3Bから射出されるインクの温度を、ほぼ均一にすることができる。   In the present embodiment, the heat exchange mechanism 40 causes the temperature of the first ejection head 3A, the temperature of the second ejection head 3B, the temperature of the ink in the internal flow path of the first ejection head 3A, and the internal flow of the second ejection head 3B. The temperature of the ink in the path, the temperature of the ink ejected from the first ejection head 3A, and the temperature of the ink ejected from the second ejection head 3B can be made substantially uniform.
以上説明したように、本実施形態によれば、第1射出ヘッド3Aの熱を奪って、第2射出ヘッド3Bに与える熱交換を行う熱交換機構40を設けたので、複数の射出ヘッド3の温度にばらつきが生じること、及び複数の射出ヘッド3から射出されるインクの温度にばらつきが生じることを抑制できる。   As described above, according to the present embodiment, the heat exchanging mechanism 40 for removing heat from the first ejection head 3A and exchanging heat to the second ejection head 3B is provided. Variations in temperature and variations in the temperature of ink ejected from the plurality of ejection heads 3 can be suppressed.
すなわち、それら複数の射出ヘッド3の温度を均一化することができ、複数の射出ヘッド3から射出されるインクの温度を均一化することができる。したがって、液滴吐出装置IJの性能の低下を抑制でき、製造されるデバイスの品質の低下を抑制できる。   That is, the temperature of the plurality of ejection heads 3 can be made uniform, and the temperature of the ink ejected from the plurality of ejection heads 3 can be made uniform. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the performance of the droplet discharge device IJ and to suppress a decrease in the quality of the manufactured device.
また、本実施形態によれば、熱交換機構40は、インクを介して、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの熱交換を実行する。これにより、熱交換機構40は、既存のインクを用いて、簡易な構成で熱交換を行うことができる。   Further, according to the present embodiment, the heat exchange mechanism 40 performs heat exchange between the first ejection head 3A and the second ejection head 3B via ink. Thereby, the heat exchange mechanism 40 can perform heat exchange with a simple configuration using existing ink.
また、本実施形態によれば、熱交換機構40は、第1射出ヘッド3Aの外面と接触するように配置された第2チューブ42の流路を流れるインクによって第1射出ヘッド3Aの熱を奪うことができ、その熱を第2射出ヘッド3Bに与えることができる。また、第1射出ヘッド3Aから射出されるインクと、第2射出ヘッド3Bから射出されるインクとの温度を均一化することができる。   Further, according to the present embodiment, the heat exchanging mechanism 40 takes the heat of the first ejection head 3A by the ink flowing through the flow path of the second tube 42 disposed so as to be in contact with the outer surface of the first ejection head 3A. The heat can be applied to the second ejection head 3B. Further, the temperature of the ink ejected from the first ejection head 3A and the temperature of the ink ejected from the second ejection head 3B can be made uniform.
また、本実施形態によれば、第2チューブ42は、可撓性なので、第1射出ヘッド3Aの外面を包囲するように配置することができる。したがって、第2チューブ42と第1射出ヘッド3Aとの接触面積を大きくすることができる。したがって、熱交換を効率良く行うことができる。   Moreover, according to this embodiment, since the 2nd tube 42 is flexible, it can be arrange | positioned so that the outer surface of 3 A of 1st injection heads may be surrounded. Therefore, the contact area between the second tube 42 and the first ejection head 3A can be increased. Therefore, heat exchange can be performed efficiently.
なお、本実施形態において、第2チューブ42は、可撓性でなくてもよい。例えば、第2チューブ42が、ステンレス等の金属で形成されていてもよい。そのような第2チューブ42であっても、第1射出ヘッド3Aと接触するように配置されることによって、第1射出ヘッド3Aから熱を奪って、第2射出ヘッド3Bに与えることができる。   In the present embodiment, the second tube 42 may not be flexible. For example, the second tube 42 may be formed of a metal such as stainless steel. Even such a second tube 42 can be deprived of heat from the first ejection head 3A and provided to the second ejection head 3B by being arranged so as to be in contact with the first ejection head 3A.
なお、本実施形態において、例えば第1射出ヘッド3Aのヘッド本体36(第1射出ヘッドの壁部)の内部に、第1射出ヘッド3Aの射出口1と接続されないように、流路を形成し、その流路にインク収容装置9からのインクを供給し、その流路を介したインクを第2射出ヘッド3Bに供給してもよい。すなわち、第2射出ヘッド3Bに供給されるインクが、第1射出ヘッド3Aの外面と接触するように配置された、第1射出ヘッド3Aとは別の部材である第2チューブ42(流路形成部材)の流路を介して、第2射出ヘッド3Bに供給されてもよいし、第1射出ヘッド3Aの内部流路(第1射出ヘッド3Aの射出口1に接続される内部流路とは異なる内部流路)を介して、第2射出ヘッド3Bに供給されてもよい。   In the present embodiment, for example, a flow path is formed in the head main body 36 (the wall portion of the first injection head) of the first injection head 3A so as not to be connected to the injection port 1 of the first injection head 3A. The ink from the ink storage device 9 may be supplied to the flow path, and the ink via the flow path may be supplied to the second ejection head 3B. That is, the second tube 42 (flow path formation), which is a member different from the first ejection head 3A, is disposed so that the ink supplied to the second ejection head 3B is in contact with the outer surface of the first ejection head 3A. Member) may be supplied to the second injection head 3B via the flow path of the first injection head 3A (the internal flow path connected to the injection port 1 of the first injection head 3A). It may be supplied to the second ejection head 3B via a different internal flow path).
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
<Second Embodiment>
Next, a second embodiment will be described. In the following description, the same or equivalent components as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.
図5は、第2実施形態に係る熱交換機構40Bの一例を示す図である。以下の説明においては、簡単のため、36個の射出ヘッド3のうち、3つの射出ヘッド3の間で熱交換が実行される場合を例にして説明する。また、以下の説明において、図5に示す3つの射出ヘッド3のうち、熱交換機構40Bによって熱が奪われる中央部HAの射出ヘッド3を適宜、第1射出ヘッド3A、と称し、熱が与えられる周縁部CAの射出ヘッド3を適宜、第2射出ヘッド3B、と称する。   FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a heat exchange mechanism 40B according to the second embodiment. In the following description, for the sake of simplicity, a case where heat exchange is performed between three injection heads 3 out of 36 injection heads 3 will be described as an example. In the following description, among the three ejection heads 3 shown in FIG. 5, the ejection head 3 in the central portion HA from which heat is removed by the heat exchange mechanism 40B is appropriately referred to as the first ejection head 3A, and heat is applied. The injection head 3 at the peripheral edge CA is appropriately referred to as a second injection head 3B.
図5において、熱交換機構40Bは、第1射出ヘッド3Aの上面44及び第2射出ヘッド3Bの上面44と対向するように配置され、第1,第2射出ヘッド3A,3Bに供給されるインクを収容可能なバッファ空間43Hを有する第1タンク部材43を有する。   In FIG. 5, the heat exchange mechanism 40B is disposed so as to face the upper surface 44 of the first ejection head 3A and the upper surface 44 of the second ejection head 3B, and is supplied to the first and second ejection heads 3A and 3B. A first tank member 43 having a buffer space 43H capable of accommodating the first tank member 43.
本実施形態において、第1射出ヘッド3Aの射出面2は、下方(−Z方向)を向いている。第1射出ヘッドの上面44は、射出面2と反対側の面であり、上方(+Z方向)を向いている。同様に、第2射出ヘッド3Bの射出面2は、下方(−Z方向)を向いている。第2射出ヘッド3Bの上面44は、射出面2と反対側の面であり、上方(+Z方向)を向いている。   In the present embodiment, the ejection surface 2 of the first ejection head 3A faces downward (−Z direction). The upper surface 44 of the first ejection head is the surface opposite to the ejection surface 2 and faces upward (+ Z direction). Similarly, the ejection surface 2 of the second ejection head 3B faces downward (−Z direction). The upper surface 44 of the second ejection head 3B is the surface opposite to the ejection surface 2 and faces upward (+ Z direction).
第1タンク部材43は、例えばキャリッジ部材11の内部に配置可能である。なお、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44が、キャリッジ部材11の上面に露出していている場合、そのキャリッジ部材11の上面(第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44)と対向する位置に、第1タンク部材43を配置することができる。   The first tank member 43 can be disposed, for example, inside the carriage member 11. When the upper surfaces 44 of the first and second ejection heads 3A and 3B are exposed on the upper surface of the carriage member 11, the upper surface of the carriage member 11 (the upper surfaces 44 of the first and second ejection heads 3A and 3B). The first tank member 43 can be disposed at a position opposite to ().
本実施形態において、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44と対向する第1タンク部材43の下面45の面積は、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44の総面積より大きい。図5においては、第1タンク部材43の下面45の面積は、3つの射出ヘッド3A,3B,3Bの上面44の総面積より大きい。なお、図2に示したように、射出ヘッド3が36個配置されている場合、第1タンク部材43の下面45の面積は、36個の射出ヘッド3の上面44の総面積より大きい。   In this embodiment, the area of the lower surface 45 of the first tank member 43 facing the upper surfaces 44 of the first and second injection heads 3A and 3B is larger than the total area of the upper surfaces 44 of the first and second injection heads 3A and 3B. large. In FIG. 5, the area of the lower surface 45 of the first tank member 43 is larger than the total area of the upper surfaces 44 of the three ejection heads 3A, 3B, 3B. As shown in FIG. 2, when 36 injection heads 3 are arranged, the area of the lower surface 45 of the first tank member 43 is larger than the total area of the upper surfaces 44 of the 36 injection heads 3.
本実施形態においては、インク収容装置9より第1タンク部材43のバッファ空間43Hに供給されたインクが、第1射出ヘッド3A及び第2射出ヘッド3Bのそれぞれに供給される。   In the present embodiment, the ink supplied from the ink storage device 9 to the buffer space 43H of the first tank member 43 is supplied to each of the first ejection head 3A and the second ejection head 3B.
本実施形態によれば、第1タンク部材43の下面45が、第1射出ヘッド3Aの上面44及び第2射出ヘッド3Bの上面44と対向するように配置されており、その第1タンク部材43のバッファ空間43Hのインクを、第1,第2射出ヘッド3A,3Bのそれぞれに供給しているので、インク収容装置9から第1タンク部材43のバッファ空間43Hに供給されたインクは、そのバッファ空間43Hにおいて、第1射出ヘッド3Aから熱を奪うとともに、第2射出ヘッド3Bに熱を与える。すなわち、第1タンク部材43が第1,第2射出ヘッド3A,3Bと対向するように配置されていることによって、その第1射出ヘッド3Aの温度と第2射出ヘッド3Bの温度との差(第1タンク部材43の下面45側における温度分布)によって、バッファ空間43Hにおいて、インクの対流が発生する。   According to the present embodiment, the lower surface 45 of the first tank member 43 is disposed so as to face the upper surface 44 of the first injection head 3A and the upper surface 44 of the second injection head 3B. Since the ink in the buffer space 43H is supplied to the first and second ejection heads 3A and 3B, the ink supplied from the ink storage device 9 to the buffer space 43H in the first tank member 43 In the space 43H, heat is taken from the first ejection head 3A and heat is applied to the second ejection head 3B. That is, since the first tank member 43 is disposed so as to face the first and second ejection heads 3A and 3B, the difference between the temperature of the first ejection head 3A and the temperature of the second ejection head 3B ( Due to the temperature distribution on the lower surface 45 side of the first tank member 43, ink convection occurs in the buffer space 43H.
そのため、第1射出ヘッド3Aから熱を奪ったバッファ空間43Hのインクは、バッファ空間43Hにおいて対流し、第2射出ヘッド3Bに熱を与えることができる。これにより、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの間で、熱交換が実行される。   Therefore, the ink in the buffer space 43H that has deprived of heat from the first ejection head 3A can convect in the buffer space 43H and can give heat to the second ejection head 3B. Thereby, heat exchange is performed between the first ejection head 3A and the second ejection head 3B.
また、バッファ空間43Hにおいてインクが対流するので、そのバッファ空間43Hにおけるインクの温度の均一化が図られる。したがって、熱交換機構40Bは、バッファ空間43Hから第1射出ヘッド3Aに供給されるインクの温度と、バッファ空間43Hから第2射出ヘッド3Bに供給されるインクの温度とを、ほぼ同じ値にすることができる。   Further, since the ink convects in the buffer space 43H, the temperature of the ink in the buffer space 43H is made uniform. Accordingly, the heat exchange mechanism 40B sets the temperature of the ink supplied from the buffer space 43H to the first ejection head 3A and the temperature of the ink supplied from the buffer space 43H to the second ejection head 3B to substantially the same value. be able to.
本実施形態においても、熱交換機構40Bは、第1射出ヘッド3Aの温度、第2射出ヘッド3Bの温度、第1射出ヘッド3Aの内部流路のインクの温度、第2射出ヘッド3Bの内部流路のインクの温度、第1射出ヘッド3Aから射出されるインクの温度、及び第2射出ヘッド3Bから射出されるインクの温度を、ほぼ均一にすることができる。   Also in the present embodiment, the heat exchange mechanism 40B includes the temperature of the first ejection head 3A, the temperature of the second ejection head 3B, the temperature of the ink in the internal flow path of the first ejection head 3A, and the internal flow of the second ejection head 3B. The temperature of the ink in the path, the temperature of the ink ejected from the first ejection head 3A, and the temperature of the ink ejected from the second ejection head 3B can be made substantially uniform.
以上説明したように、本実施形態によれば、熱交換機構40Bが、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44と対向するように配置され、第1,第2射出ヘッド3A,3Bに供給されるインクを収容可能なバッファ空間43Hを有する第1タンク部材43を有しているので、そのバッファ空間43Hのインクを介して、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの熱交換を実行することができる。したがって、バッファ空間43Hにおけるインクの温度の均一化が図られるとともに、第1,第2射出ヘッド3A,3Bから射出されるインクの温度を効果的に均一化することができる。   As described above, according to the present embodiment, the heat exchange mechanism 40B is disposed so as to face the upper surfaces 44 of the first and second ejection heads 3A and 3B, and the first and second ejection heads 3A and 3B. Since the first tank member 43 having the buffer space 43H that can store the ink supplied to the first and second ejection heads 3A and 3B is provided through the ink in the buffer space 43H. An exchange can be performed. Accordingly, the temperature of the ink in the buffer space 43H can be made uniform, and the temperature of the ink ejected from the first and second ejection heads 3A and 3B can be effectively made uniform.
また、本実施形態においては、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44と対向する第1タンク部材43の下面45の面積は、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44の総面積より大きい。これにより、第1射出ヘッド3Aの上面44と第1タンク部材43の下面45とが対向できるとともに、第2射出ヘッド3Bの上面44と第1タンク部材43の下面45とが対向できる。したがって、第1タンク部材43のバッファ空間43Hのインクは、第1射出ヘッド3Aの熱を奪って、第2射出ヘッド3Bに与えることができる。   In the present embodiment, the area of the lower surface 45 of the first tank member 43 facing the upper surfaces 44 of the first and second injection heads 3A and 3B is the same as that of the upper surfaces 44 of the first and second injection heads 3A and 3B. Greater than total area. As a result, the upper surface 44 of the first injection head 3A and the lower surface 45 of the first tank member 43 can face each other, and the upper surface 44 of the second injection head 3B and the lower surface 45 of the first tank member 43 can face each other. Therefore, the ink in the buffer space 43H of the first tank member 43 can take heat from the first ejection head 3A and give it to the second ejection head 3B.
なお、本実施形態において、第1タンク部材43の下面45の面積が、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの上面44の総面積より小さくてもよい。   In the present embodiment, the area of the lower surface 45 of the first tank member 43 may be smaller than the total area of the upper surfaces 44 of the first and second ejection heads 3A and 3B.
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment will be described. In the following description, the same or equivalent components as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.
図6は、第3実施形態に係る熱交換機構40Cの一例を示す図である。以下の説明においては、簡単のため、36個の射出ヘッド3のうち、3つの射出ヘッド3の間で熱交換が実行される場合を例にして説明する。また、以下の説明において、図6に示す3つの射出ヘッド3のうち、熱交換機構40Cによって熱が奪われる中央部HAの射出ヘッド3を適宜、第1射出ヘッド3A、と称し、熱が与えられる周縁部CAの射出ヘッド3を適宜、第2射出ヘッド3B、と称する。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a heat exchange mechanism 40C according to the third embodiment. In the following description, for the sake of simplicity, a case where heat exchange is performed between three injection heads 3 out of 36 injection heads 3 will be described as an example. In the following description, among the three injection heads 3 shown in FIG. 6, the injection head 3 in the central portion HA from which heat is removed by the heat exchange mechanism 40C is appropriately referred to as a first injection head 3A, and heat is applied. The injection head 3 at the peripheral edge CA is appropriately referred to as a second injection head 3B.
図6において、熱交換機構40Cは、少なくともインクが射出される第1,第2射出ヘッド3A,3Bの射出面2が露出するように、第1,第2射出ヘッド3A,3Bを同一の所定空間50Hに収容可能な第2タンク部材50を有する。   In FIG. 6, the heat exchanging mechanism 40C has the same predetermined first and second ejection heads 3A and 3B so that at least the ejection surfaces 2 of the first and second ejection heads 3A and 3B from which ink is ejected are exposed. It has the 2nd tank member 50 which can be accommodated in the space 50H.
本実施形態において、第2タンク部材50は、複数の射出ヘッド3を支持可能であり、上述の実施形態で説明したキャリッジ部材11として機能する。   In the present embodiment, the second tank member 50 can support the plurality of ejection heads 3 and functions as the carriage member 11 described in the above-described embodiment.
また、本実施形態においては、第2タンク部材50の所定空間50Hのインクの少なくとも一部は、所定空間50Hに配置されている第1,第2射出ヘッド3A,3Bの外面に接触する。   In the present embodiment, at least part of the ink in the predetermined space 50H of the second tank member 50 contacts the outer surfaces of the first and second ejection heads 3A and 3B arranged in the predetermined space 50H.
本実施形態においては、インク収容装置9より第2タンク部材50の所定空間50Hに供給されたインクが、第1射出ヘッド3A及び第2射出ヘッド3Bのそれぞれに供給される。   In the present embodiment, the ink supplied from the ink storage device 9 to the predetermined space 50H of the second tank member 50 is supplied to each of the first ejection head 3A and the second ejection head 3B.
本実施形態によれば、第1,第2射出ヘッド3A,3Bを同一の所定空間50Hに収容可能な第2タンク部材50が設けられており、その第2タンク部材50の所定空間50Hのインクを、第1,第2射出ヘッド3A,3Bのそれぞれに供給しているので、インク収容装置9から第2タンク部材50の所定空間50Hに供給されたインクは、その所定空間50Hにおいて、第1射出ヘッド3Aから熱を奪うとともに、第2射出ヘッド3Bに熱を与える。すなわち、第1,第2射出ヘッド3A,3Bが第2タンク部材50によって形成される同一の所定空間50Hに配置されていることによって、その第1射出ヘッド3Aの温度と第2射出ヘッド3Bの温度との差(所定空間における温度分布)によって、所定空間50Hにおいて、インクの対流が発生する。   According to the present embodiment, the second tank member 50 capable of accommodating the first and second ejection heads 3A and 3B in the same predetermined space 50H is provided, and ink in the predetermined space 50H of the second tank member 50 is provided. Is supplied to each of the first and second ejection heads 3A and 3B, the ink supplied from the ink storage device 9 to the predetermined space 50H of the second tank member 50 is the first in the predetermined space 50H. While taking heat from the ejection head 3A, heat is applied to the second ejection head 3B. That is, since the first and second ejection heads 3A and 3B are disposed in the same predetermined space 50H formed by the second tank member 50, the temperature of the first ejection head 3A and the second ejection head 3B Due to the difference from the temperature (temperature distribution in the predetermined space), ink convection occurs in the predetermined space 50H.
そのため、第1射出ヘッド3Aから熱を奪った所定空間50Hのインクは、所定空間50Hにおいて対流し、第2射出ヘッド3Bに熱を与えることができる。これにより、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの間で、熱交換が実行される。   Therefore, the ink in the predetermined space 50H that has deprived of heat from the first ejection head 3A can convect in the predetermined space 50H and apply heat to the second ejection head 3B. Thereby, heat exchange is performed between the first ejection head 3A and the second ejection head 3B.
また、所定空間50Hにおいてインクが対流するので、その所定空間50Hにおけるインクの温度の均一化が図られる。したがって、熱交換機構40Cは、所定空間50Hから第1射出ヘッド3Aに供給されるインクの温度と、所定空間50Hから第2射出ヘッド3Bに供給されるインクの温度とを、ほぼ同じ値にすることができる。   Further, since ink convects in the predetermined space 50H, the temperature of the ink in the predetermined space 50H is made uniform. Accordingly, the heat exchange mechanism 40C sets the temperature of the ink supplied from the predetermined space 50H to the first ejection head 3A and the temperature of the ink supplied from the predetermined space 50H to the second ejection head 3B to substantially the same value. be able to.
本実施形態においても、熱交換機構40Cは、第1射出ヘッド3Aの温度、第2射出ヘッド3Bの温度、第1射出ヘッド3Aの内部流路のインクの温度、第2射出ヘッド3Bの内部流路のインクの温度、第1射出ヘッド3Aから射出されるインクの温度、及び第2射出ヘッド3Bから射出されるインクの温度を、ほぼ均一にすることができる。   Also in this embodiment, the heat exchanging mechanism 40C includes the temperature of the first ejection head 3A, the temperature of the second ejection head 3B, the temperature of the ink in the internal flow path of the first ejection head 3A, and the internal flow of the second ejection head 3B. The temperature of the ink in the path, the temperature of the ink ejected from the first ejection head 3A, and the temperature of the ink ejected from the second ejection head 3B can be made substantially uniform.
以上説明したように、本実施形態によれば、熱交換機構40Cが、第1射出ヘッド3A及び第2射出ヘッド3Bを同一の所定空間50Hに収容可能な第2タンク部材50を備えているので、第2タンク部材50の所定空間50Hのインクは、第1射出ヘッド3Aの熱を奪って、第2射出ヘッド3Bに与えることができる。換言すれば、第1射出ヘッド3Aの熱は、第2タンク部材50の所定空間50Hのインクを介して、第2射出ヘッド3Bに伝達される。したがって、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの温度を均一化することができる。また、第2タンク部材50の所定空間50Hのインクは、第1射出ヘッド3A及び第2射出ヘッド3Bのそれぞれから放射される熱によって温度調整される。したがって、所定空間50Hにおけるインクの温度の均一化が図られる。そのため、第1,第2射出ヘッド3A,3Bから射出されるインクの温度を効果的に均一化することができる。   As described above, according to the present embodiment, the heat exchange mechanism 40C includes the second tank member 50 that can accommodate the first injection head 3A and the second injection head 3B in the same predetermined space 50H. The ink in the predetermined space 50H of the second tank member 50 can take heat from the first ejection head 3A and give it to the second ejection head 3B. In other words, the heat of the first ejection head 3A is transmitted to the second ejection head 3B via the ink in the predetermined space 50H of the second tank member 50. Therefore, the temperature of the first and second ejection heads 3A and 3B can be made uniform. The temperature of the ink in the predetermined space 50H of the second tank member 50 is adjusted by the heat radiated from each of the first ejection head 3A and the second ejection head 3B. Therefore, the temperature of the ink in the predetermined space 50H can be made uniform. Therefore, the temperature of the ink ejected from the first and second ejection heads 3A and 3B can be effectively made uniform.
また、本実施形態においては、第2タンク部材50の所定空間50Hのインクの少なくとも一部は、その所定空間50Hに配置されている第1,第2射出ヘッド3A,3Bの外面に接触する。すなわち、本実施形態においては、第1、第2射出ヘッド3A,3Bの一部が、第2タンク部材50の所定空間50Hに満たされたインクに浸漬される。これにより、第1射出ヘッド3Aとインクとの熱交換、及び第2射出ヘッド3Bとインクとの熱交換が効率良く行われる。すなわち、インクは、第1射出ヘッド3Aの外面と接触することによって、その第1射出ヘッド3Aの熱を効率良く奪うことができる。また、インクは、第2射出ヘッド3Bの外面と接触することによって、その第2射出ヘッド3Bに熱を効率良く与えることができる。   In the present embodiment, at least a part of the ink in the predetermined space 50H of the second tank member 50 contacts the outer surfaces of the first and second ejection heads 3A and 3B disposed in the predetermined space 50H. That is, in the present embodiment, a part of the first and second ejection heads 3A and 3B is immersed in the ink filled in the predetermined space 50H of the second tank member 50. Thereby, heat exchange between the first ejection head 3A and the ink and heat exchange between the second ejection head 3B and the ink are efficiently performed. That is, the ink can efficiently remove the heat of the first ejection head 3A by contacting the outer surface of the first ejection head 3A. Further, the ink can efficiently apply heat to the second ejection head 3B by contacting the outer surface of the second ejection head 3B.
なお、本実施形態においては、第1,第2射出ヘッド3A,3Bの外面と、所定空間50Hのインクとが接触する場合を例にして説明したが、第1射出ヘッド3Aの外面及び第2射出ヘッド3Bの外面の少なくとも一方が、インクと接触しないように配置されてもよい。例えば、第1射出ヘッド3Aの外面を包囲するように、第1射出ヘッド3Aとは別の部材を配置して、その別の部材によって、第1射出ヘッド3Aの外面と所定空間50Hのインクとの接触を阻止してもよい。   In the present embodiment, the case where the outer surfaces of the first and second ejection heads 3A and 3B are in contact with the ink in the predetermined space 50H has been described as an example. However, the outer surfaces of the first ejection head 3A and the second At least one of the outer surfaces of the ejection head 3B may be disposed so as not to contact the ink. For example, a member different from the first ejection head 3A is arranged so as to surround the outer surface of the first ejection head 3A, and the outer surface of the first ejection head 3A and the ink in the predetermined space 50H are separated by the other member. May be prevented.
なお、上述の第1〜第3実施形態においては、熱交換機構40(40B,40C)が、インクを介して、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの熱交換を実行する場合を例にして説明したが、インクを介さずに、熱交換を実行してもよい。例えば、第1射出ヘッド3Aの外面と、第2射出ヘッド3Bの外面とを、熱伝導率が高い金属製の部材(例えばロッド状の部材)で連結することによっても、その部材を介して、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの熱交換を実行することができる。   In the first to third embodiments described above, the heat exchange mechanism 40 (40B, 40C) performs heat exchange between the first ejection head 3A and the second ejection head 3B via ink. Although described as an example, heat exchange may be performed without using ink. For example, by connecting the outer surface of the first injection head 3A and the outer surface of the second injection head 3B with a metal member (for example, a rod-shaped member) having high thermal conductivity, Heat exchange between the first injection head 3A and the second injection head 3B can be performed.
また、熱交換機構が、例えば第1射出ヘッド3Aの外面と接触するように配置され、インクとは異なる液体が流れるチューブを備えていてもよい。そのチューブの一部を第2射出ヘッド3Bの外面と接触するように配置することによって、そのチューブを流れる液体を介して、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの熱交換を実行することができる。そのチューブを流れた液体は、所定の回収機構によって回収される。   Further, the heat exchange mechanism may be provided with, for example, a tube that is disposed so as to be in contact with the outer surface of the first ejection head 3A and through which a liquid different from ink flows. By arranging a part of the tube so as to be in contact with the outer surface of the second ejection head 3B, heat exchange between the first ejection head 3A and the second ejection head 3B is performed via the liquid flowing through the tube. be able to. The liquid flowing through the tube is recovered by a predetermined recovery mechanism.
すなわち、熱交換機構が、第1射出ヘッド3Aの外面及び第2射出ヘッド3Bの外面のそれぞれに接触する流路形成部材を備える構成でもよい。そして、その流路形成部材のうち、第1射出ヘッド3Aに近い一端側から液体を供給し、第2射出ヘッド3Bに近い他端側から液体を排出することによって、そのインクと異なる液体を介して、第1射出ヘッド3Aと第2射出ヘッド3Bとの熱交換を実行することができる。   That is, the heat exchange mechanism may include a flow path forming member that contacts the outer surface of the first ejection head 3A and the outer surface of the second ejection head 3B. Then, among the flow path forming members, the liquid is supplied from one end side close to the first ejection head 3A, and the liquid is discharged from the other end side close to the second ejection head 3B. Thus, heat exchange between the first ejection head 3A and the second ejection head 3B can be executed.
また、第1射出ヘッド3Aのヘッド本体36の内部に、その第1射出ヘッド3Aの射出口1に接続されない第1内部流路を形成するとともに、第2射出ヘッド3Bのヘッド本体36の内部に、その第2射出ヘッド3Bの射出口1に接続されない第2内部流路を形成し、第1内部流路を流れた、インクと異なる液体を、所定のチューブを介して、第2内部流路に供給してもよい。こうすることによっても、第1内部流路を流れる液体は、第1射出ヘッド3Aの熱を奪い、その後、第2内部流路を流れることによって、第2射出ヘッド3Bに熱を与えることができる。その第2内部流路を流れた液体は、所定の回収機構で回収することができる。   In addition, a first internal flow path that is not connected to the injection port 1 of the first injection head 3A is formed inside the head main body 36 of the first injection head 3A, and inside the head main body 36 of the second injection head 3B. A second internal flow path that is not connected to the ejection port 1 of the second ejection head 3B is formed, and a liquid different from the ink that has flowed through the first internal flow path is passed through the second tube through a predetermined tube. May be supplied. Also by doing so, the liquid flowing through the first internal flow path can take heat from the first ejection head 3A, and then flow through the second internal flow path to give heat to the second ejection head 3B. . The liquid that has flowed through the second internal flow path can be recovered by a predetermined recovery mechanism.
なお、上述の各実施形態においては、第1射出ヘッド3Aが、ヘッド群の中央部HAに配置された射出ヘッド3であり、第2射出ヘッド3Bが、ヘッド群の周縁部CAに配置された射出ヘッド3である場合を例にして説明したが、例えば、第1射出ヘッド3Aが、ヘッド群の周縁部CAに配置された射出ヘッド3であり、第2射出ヘッド3Bが、ヘッド群の中央部HAに配置された射出ヘッド3であってもよい。例えば、ヘッド群の外側に、ピエゾ素子33とは異なる別の熱源(機器)が配置されている場合、ヘッド群の周縁部CAに配置された射出ヘッド3の温度が、ヘッド群の中央部HAに配置された射出ヘッド3の温度より高くなる可能性がある。その場合、そのヘッド群の周縁部CAに配置された射出ヘッド3の熱を奪って、そのヘッド群の中央部HAに配置された射出ヘッド3に与えることによって、ヘッド群を構成する射出ヘッド3の温度の均一化を図ることができる。   In each of the above-described embodiments, the first ejection head 3A is the ejection head 3 disposed at the center HA of the head group, and the second ejection head 3B is disposed at the peripheral edge CA of the head group. The case of the ejection head 3 has been described as an example. For example, the first ejection head 3A is the ejection head 3 disposed at the peripheral edge CA of the head group, and the second ejection head 3B is the center of the head group. The injection head 3 arranged in the part HA may be used. For example, when another heat source (apparatus) different from the piezo element 33 is disposed outside the head group, the temperature of the ejection head 3 disposed at the peripheral edge CA of the head group is determined by the central portion HA of the head group. There is a possibility that the temperature is higher than the temperature of the injection head 3 disposed in the position. In that case, the heat from the ejection head 3 arranged at the peripheral edge CA of the head group is taken away and given to the ejection head 3 arranged at the center HA of the head group, thereby forming the ejection head 3 constituting the head group. The temperature can be made uniform.
上述の各実施形態で説明した液滴吐出装置IJを用いて、例えば液晶ディスプレイのカラーフィルタを製造することにより、均一な膜厚のカラーフィルタを製造することができる。したがって、色むら等の不具合の発生が抑制された、高品質のカラーフィルタを製造することができる。   A color filter with a uniform film thickness can be manufactured by manufacturing, for example, a color filter of a liquid crystal display using the droplet discharge device IJ described in the above embodiments. Therefore, it is possible to manufacture a high-quality color filter in which occurrence of problems such as color unevenness is suppressed.
また、上述の各実施形態で説明した液滴吐出装置IJを用いて、例えば配線パターンを製造することにより、均一な膜厚(線幅)の配線を製造することができる。したがって、高品質の配線パターンを製造することができる。   Further, by using the droplet discharge device IJ described in each of the above-described embodiments, for example, a wiring pattern can be manufactured, whereby a wiring having a uniform film thickness (line width) can be manufactured. Therefore, a high quality wiring pattern can be manufactured.
2…射出面、3A…第1射出ヘッド、3B…第2射出ヘッド、40,40B,40C…熱交換機構、41…第1チューブ、42…第2チューブ、43…第1タンク部材、43H…バッファ空間、44…上面、45…下面、50…第2タンク部材、50H…所定空間、CA…周縁部、HA…中央部   2 ... injection surface, 3A ... 1st injection head, 3B ... 2nd injection head, 40, 40B, 40C ... heat exchange mechanism, 41 ... 1st tube, 42 ... 2nd tube, 43 ... 1st tank member, 43H ... Buffer space, 44 ... upper surface, 45 ... lower surface, 50 ... second tank member, 50H ... predetermined space, CA ... peripheral edge, HA ... central portion

Claims (9)

  1. インクを射出する第1射出ヘッドと、
    前記第1射出ヘッドに隣接し、インクを射出する第2射出ヘッドと、
    前記第1射出ヘッドの熱を奪って、前記第2射出ヘッドに与える熱交換を行う熱交換機構と、を備える液滴吐出装置。
    A first ejection head for ejecting ink;
    A second ejection head adjacent to the first ejection head for ejecting ink;
    A droplet discharge apparatus comprising: a heat exchange mechanism that takes heat of the first ejection head and exchanges heat applied to the second ejection head.
  2. 前記熱交換機構は、前記インクを介して、前記熱交換する請求項1記載の液滴吐出装置。   The droplet discharge device according to claim 1, wherein the heat exchange mechanism exchanges the heat via the ink.
  3. 前記第1射出ヘッドに接続され、前記第1射出ヘッドに供給される前記インクが流れる流路が形成された第1チューブと、
    前記第2射出ヘッドに接続され、前記第2射出ヘッドに供給される前記インクが流れる流路が形成された第2チューブと、を備え、
    前記熱交換機構は、前記第1射出ヘッドの外面と接触するように配置された前記第2チューブを含む請求項1又は2記載の液滴吐出装置。
    A first tube connected to the first ejection head and having a flow path through which the ink supplied to the first ejection head flows;
    A second tube connected to the second ejection head and having a flow path through which the ink supplied to the second ejection head flows;
    The droplet discharge device according to claim 1, wherein the heat exchange mechanism includes the second tube disposed so as to be in contact with an outer surface of the first ejection head.
  4. 前記第2チューブは、可撓性であり、前記外面を包囲するように配置される請求項3記載の液滴吐出装置。   The droplet discharge device according to claim 3, wherein the second tube is flexible and is disposed so as to surround the outer surface.
  5. 前記熱交換機構は、前記インクが射出される前記第1,第2射出ヘッドの射出面と反対側の上面と対向するように配置され、前記第1,第2射出ヘッドに供給される前記インクを収容可能なバッファ空間を有する第1タンク部材を含み、
    前記バッファ空間に供給された前記インクが、前記第1,第2射出ヘッドのそれぞれに供給される請求項1又は2記載の液滴吐出装置。
    The heat exchange mechanism is disposed to face the upper surface opposite to the ejection surface of the first and second ejection heads from which the ink is ejected, and the ink supplied to the first and second ejection heads A first tank member having a buffer space capable of accommodating
    The droplet discharge device according to claim 1, wherein the ink supplied to the buffer space is supplied to each of the first and second ejection heads.
  6. 前記第1,第2射出ヘッドの前記上面と対向する前記第1タンク部材の下面の面積は、前記第1,第2射出ヘッドの上面の総面積より大きい請求項5記載の液滴吐出装置。   The liquid droplet ejection apparatus according to claim 5, wherein an area of the lower surface of the first tank member facing the upper surface of the first and second ejection heads is larger than a total area of the upper surfaces of the first and second ejection heads.
  7. 前記熱交換機構は、少なくとも前記インクが射出される前記第1,第2射出ヘッドの射出面が露出するように、前記第1,第2射出ヘッドを同一の所定空間に収容可能な第2タンク部材を含み、
    前記所定空間に供給された前記インクが、前記第1,第2射出ヘッドのそれぞれに供給される請求項1又は2記載の液滴吐出装置。
    The heat exchange mechanism includes a second tank that can accommodate the first and second ejection heads in the same predetermined space so that at least the ejection surfaces of the first and second ejection heads from which the ink is ejected are exposed. Including members,
    The droplet discharge device according to claim 1, wherein the ink supplied to the predetermined space is supplied to each of the first and second ejection heads.
  8. 前記所定空間の前記インクの少なくとも一部は、前記所定空間に配置されている前記第1,第2射出ヘッドの外面に接触する請求項7記載の液滴吐出装置。   The liquid droplet ejection apparatus according to claim 7, wherein at least a part of the ink in the predetermined space is in contact with outer surfaces of the first and second ejection heads disposed in the predetermined space.
  9. 所定面内に配置された少なくとも3つの射出ヘッドを有するヘッド群を備え、
    前記第1射出ヘッドは、前記ヘッド群の中央部に配置された射出ヘッドであり、
    前記第2射出ヘッドは、前記中央部より前記ヘッド群の周縁部に配置された射出ヘッドである請求項1〜8のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
    Comprising a head group having at least three ejection heads arranged in a predetermined plane;
    The first ejection head is an ejection head disposed at a central portion of the head group,
    The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the second ejection head is an ejection head disposed at a peripheral portion of the head group from the central portion.
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