JP2010225850A - 不揮発性記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の単位記憶セルを積層した不揮発性記憶装置であって、前記単位記憶セルのそれぞれは、第1の方向に延在する第1の配線と、前記第1の方向に対して非平行な第2の方向に延在する第2の配線と、前記第1の配線と第2の配線との間に設けられた記憶素子と、前記第1の配線または前記第2の配線と、前記記憶素子と、の間に配置され、前記記憶素子に直列に接続された整流素子と、を有し、前記記憶素子と前記整流素子との間に、前記整流素子の主成分を含有した中間層が設けられたことを特徴とする不揮発性記憶装置が提供される。
【選択図】図2
Description
そして、ワードラインとビッドラインとを介して、それぞれの抵抗変化膜50に電流が供給されると、抵抗変化膜50は、第1の状態と第2の状態との間を可逆的に遷移することができる。
ReRAMメモリセルアレイ1bの構造においては、ワード線である配線WL1を各段毎に独立にして配置するのではなく、配線WL1を共通化して、セル80を複数段に積層している。
このような構造によれば、記憶密度の向上のほか、配線WL1の共通化により、当該配線WL1への印加電圧遅延の抑制、書き込み動作及び消去動作の迅速化、素子面積の低減等が期待される。
また、バリアメタル膜10、メタル膜60の材質は、例えば、チタン(Ti)、窒化チタン(TiN)等が適用される。
図2は、不揮発性記憶装置の記憶セル部の要部断面模式図である。図2では、配線BL1,WL1を含めたセル80の拡大図が示されている。
図2に示すように、セル80は、抵抗変化膜50の上層と下層に、電極であるメタル膜30,60を備えている。当該メタル膜30,60を配置することにより、メタル膜30,60を介しての抵抗変化膜50との電気的な接続を図ることができる。
また、メタル膜30,60においては、抵抗変化膜50への不純物の拡散を防止するバリア層としての機能を持たしてもよい。
例えば、上述した酸化膜またはカルコゲナイド系材料を中間に配置し、その上下に、窒化タングステン(WN)、窒化チタン(TiN)、窒化チタンアルミニウム(AlTiN)、窒化タンタル(TaN)、窒化チタンシリサイド(TiNSi)、炭化タンタル(TaC)、チタンシリサイド(TiSi)、タングステンシリサイド(WSi)、コバルトシリサイド(CoSi)、ニッケルシリサイド(NiSi)、ニッケル白金シリサイド(NiPtSi)、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)、白金ロジウム(PtRh)、イリジウム(In)等から選択された少なくとも1つを含む材料を配置した構造であってもよい。
ここで、バリアメタル膜40の材質は、白金(Pt)、窒化チタン(TiN)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化チタンアルミニウム(TiAlN)、窒化タンタル(TaN)、窒化タンタルアルミニウム(TaAlN)、炭化タンタル(TaC)、ニッケル(Ni)、窒化タングステン(WN)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、ルテニウム(Ru)、酸化ルテニウム(RuO2)のいずれかに、ダイオード20の主成分(例えば、シリコン(Si))が固溶限界以下にドーピングされた材料が適用される。また、バリアメタル膜40の材質としては、前記各材料を少なくとも1つを含む材料であってもよい。
これにより、抵抗変化膜50及びダイオード20の組成変化が生じ難くなり、不揮発性記憶装置の動作不良、特性のばらつきが起き難くなる。
また、リセット(消去)動作において抵抗変化膜50の加熱を効率よく行うために、抵抗変化膜50の近傍にヒートシンク層を介設してもよい(図示しない)。
まず、シラン(SiH4)等とドーピング用ガス(PH3、B2H6)等を用いて、低圧CVD(Chemical Vapor Deposition)法により、約500℃の条件で配線BL1の上層にダイオード20が形成される(ステップS1)。
この工程では、例えば、シリコン(Si)が主成分のPINダイオードが形成される。また、ダイオード20の厚み(長さ)は、例えば、100nmである。
例えば、ZnMnxOy膜等がバリアメタル膜40上に形成される。抵抗変化膜50の膜厚は、例えば、20nmである。
図4は、不揮発性記憶装置の記憶セル部の要部断面模式図である。
図4(a)に示すように、セル81は、抵抗変化膜50の上層と下層に、電極であるメタル膜30,60を備えている。当該メタル膜30,60を配置することにより、メタル膜30,60を介しての抵抗変化膜50との電気的な接続を図ることができる。
これにより、抵抗変化膜50及びダイオード20の組成変化が生じ難くなり、不揮発性記憶装置の動作不良、特性のばらつきが起き難くなる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて複合させることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
Claims (9)
- 複数の単位記憶セルを積層した不揮発性記憶装置であって、
前記単位記憶セルのそれぞれは、
第1の方向に延在する第1の配線と、
前記第1の方向に対して非平行な第2の方向に延在する第2の配線と、
前記第1の配線と第2の配線との間に設けられた記憶素子と、
前記第1の配線または前記第2の配線と、前記記憶素子と、の間に配置され、前記記憶素子に直列に接続された整流素子と、
を有し、
前記記憶素子と前記整流素子との間に、前記整流素子の主成分を含有した中間層が設けられたことを特徴とする不揮発性記憶装置。 - 前記主成分は、前記中間層内において、前記中間層の固溶限界以下に含有されていることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性記憶装置。
- 前記中間層内における前記主成分の濃度の分布は、前記整流素子から前記記憶素子に向かう方向に従って前記主成分の濃度が低くなる傾斜を有していることを特徴とする請求項2に記載の不揮発性記憶装置。
- 前記整流素子と前記中間層との間に、前記整流素子とオーミック接合をする金属層が設けられたことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性記憶装置。
- 前記金属層と前記整流素子との間に、前記整流素子の前記主成分を含む層が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の不揮発性記憶装置。
- 前記記憶素子は、抵抗変化型記憶素子または相変化型記憶素子であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性記憶装置。
- 第1の方向に延在する第1の配線と、
前記第1の方向に対して非平行な第2の方向に延在する第2の配線と、
前記第1の配線と第2の配線との間に記憶素子と前記記憶素子に直列に接続された整流素子を有する不揮発性記憶装置の製造方法であって、
前記整流素子上に、金属膜を形成する工程と、
前記金属膜上に、前記整流素子の主成分を含有する中間層を形成する工程と、
前記中間層上に、前記記憶素子を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする不揮発性記憶装置の製造方法。 - 前記中間層上に、前記記憶素子を形成した後に、前記整流素子の活性化処理を行うことを特徴とする請求項7に記載の不揮発性記憶装置の製造方法。
- 前記中間層を、
a)前記中間層の主成分と前記整流素子の主成分とを有するターゲット材を用いて、スパッタリング法により形成する方法、
b)前記中間層の主成分で構成されたターゲット材と、前記整流素子の主成分で構成された別のターゲット材とを用いて、スパッタリング法により形成する方法、
c)前記中間層の主成分で構成された被膜を形成した後、前記整流素子の主成分を注入して形成する方法、
の何れかにより形成することを特徴とする請求項7に記載の不揮発性記憶装置の製造方法。
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