JP2010165825A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010165825A5 JP2010165825A5 JP2009006461A JP2009006461A JP2010165825A5 JP 2010165825 A5 JP2010165825 A5 JP 2010165825A5 JP 2009006461 A JP2009006461 A JP 2009006461A JP 2009006461 A JP2009006461 A JP 2009006461A JP 2010165825 A5 JP2010165825 A5 JP 2010165825A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- microbubbles
- liquid
- liquid containing
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
一方、本発明者は、微小気泡の一例であるナノバブルについて研究を進めているなかで、ナノバブル生成過程においてガスが液体中に飽和濃度まで溶解することが判明している。本発明者は、バブル生成過程の時間経過に伴いナノバブルは液体のクラスタ中から脱離を起こすと考えている。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、ガスが飽和した状態の液体を基板の処理時に瞬時に加熱して微小気泡の生成と破壊を行うことで、簡単な構成でありながら微小気泡を有効に利用して基板の処理を確実に行うことができる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
本発明の基板処理方法は、基板に対して微小気泡を含む液体を供給して基板を処理する基板処理方法であって、微小気泡生成部は、気体と液体から前記微小気泡を含む液体を生成し、ノズルから前記微小気泡を含む液体を前記基板に吐出する際に、加熱手段が前記微小気泡を含む液体の温度を上げることを特徴とする。
本発明によれば、例えばガスが飽和した状態の液体を基板の処理時に瞬時に加熱して微小気泡の生成と破壊を行うことで、簡単な構成でありながら微小気泡を有効に利用して基板の処理を確実に行うことができる基板処理装置および基板処理方法を提供することができる。
図2に示すノズル15は基板Wの上部に配置されており、制御部20の指令により操作部12が動作すると、ノズル15はZ方向(上下方向)とX方向(基板Wの半径方向)に移動して、微小気泡を含む液体Lを基板Wに吐出することができる。
これにより、微小気泡生成ユニット30は、多数の微小気泡を含む液体Lを生成して配管41を介してノズル15側に供給して、ノズル15は微小気泡を含む液体Lを基板Wの表面に対して吐出することができる。
これにより、バルブ54を開けることで、過熱水蒸気もしくは温水55は、加熱媒体吐出ノズル51を介して、ノズル15から吐出した微小気泡を含む液体Lの下部に向けて噴射される。このため、ノズル15からの微小気泡を含む液体Lが基板Wに到達する際に、加熱媒体吐出ノズル51は過熱水蒸気もしくは温水55をノズル15からの微小気泡を含む純水Lに対して混合させて、ナノバブルNBである微小気泡を含む液体Lの温度を上げることができる。従って、過熱水蒸気もしくは温水55がナノバブルNBである微小気泡を含む液体Lを積極的に加温することで、ナノバブルNBである微小気泡を含む液体L中の飽和溶存ガスから気泡を生成させて破壊させることができるようになっている。
この微小気泡を含む液体Lは、配管41を介してノズル15に供給される。これにより、微小気泡を含む液体Lは、ノズル15を通じて基板Wに吐出することができる。ナノバブルNBである微小気泡を含む液体Lを基板Wの表面に吐出することで、ナノバブルNBの持つマイナス電位が、プラスにチャージされたパーティクルのような汚染物を包み込んで、この汚染物を微小気泡と共に基板Wの表面から除去できる。
従って、過熱水蒸気もしくは温水55がナノバブルNBである微小気泡を含む液体Lを積極的に加温することで、ナノバブルNBである微小気泡を含む液体L中の飽和溶存ガスから気泡が生成されて破壊させることができる。
図6に示すように、窒素、酸素、二酸化炭素、塩化水素、アンモニアの溶解度は、1atmの気体が媒体と接しているとき、溶媒1ml中に溶け込む気体の体積(ml)を、標準状態での体積に変換して表すことが多い。気体の溶解度は、一般に高温になるほど小さくなるが、これは温度が高いと溶媒分子や溶けた気体分子の熱運動が激しいために、気体分子が溶液中から空間に飛び出しやすいからである。
本発明の基板処理装置の実施の形態では、本発明者がナノバブルについて鋭意研究を進めてきている中で、ナノバブル生成過程においてガスは液体中に飽和濃度まで溶解することが判明している。また、バブル生成後の時間経過に伴いナノサイズのバブルは、液体のクラスタ中から脱離を起こすと考えられる。ナノバブルは、溶存ガスとしても溶解して存在し液体の物性を変化させ、基板等の処理対象物の表面改質等の効果を発揮するが、洗浄効果としては、ナノバブルが破裂することで生じる衝撃力によって汚れを落とすことができることである。
そこで、基板Wの表面を洗浄処理する場合には、ガスが飽和した状態の微小気泡を含む液体Lを基板Wの洗浄利用時に加熱して、微小気泡を含む液体Lからさらに気泡(ナノバブル)を生成して破壊させる。各実施形態では、温度によって微小気泡を含む液体L中のガス溶解度が異なることを利用している。
本発明の基板処理装置は、基板に対して微小気泡を含む液体を供給して基板を処理する基板処理装置であって、気体と液体から微小気泡を含む液体を生成する微小気泡生成部と、微小気泡を含む液体を基板に吐出するノズルと、ノズルから吐出された微小気泡を含む液体の温度を上げる加熱手段と、を備える。これにより、例えばガスが飽和した状態の液体を基板の処理時に瞬時に加熱して微小気泡の生成を行うことで、簡単な構成でありながら微小気泡を有効に利用して基板の処理を確実に行うことができる。
本発明の基板処理方法では、基板に対して微小気泡を含む液体を供給して基板を処理する基板処理方法であって、微小気泡生成部は、気体と液体から微小気泡を含む液体を生成し、ノズルから微小気泡を含む液体を基板に吐出する際に、加熱手段が微小気泡を含む液体の温度を上げることを特徴とする。これにより、例えばガスが飽和した状態の液体を基板の処理時に瞬時に加熱して微小気泡の生成を行うことで、簡単な構成でありながら微小気泡を有効に利用して基板の処理を確実に行うことができる。
Claims (5)
- 基板に対して微小気泡を含む液体を供給して基板を処理する基板処理装置であって、
気体と液体から前記微小気泡を含む液体を生成する微小気泡生成部と、
前記微小気泡を含む液体を前記基板に吐出するノズルと、
前記ノズルから吐出された前記微小気泡を含む液体の温度を上げる加熱手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記加熱手段は、前記ノズルから吐出された前記微小気泡を含む液体に対して過熱水蒸気または温水を供給することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記加熱手段は、前記基板を加熱することで前記ノズルから前記基板に吐出された前記微小気泡を含む液体の温度を上げるヒータであることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記微小気泡を含む液体は、ナノバブルを含み、飽和状態までガス溶解されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1つの項に記載の基板処理装置。
- 基板に対して微小気泡を含む液体を供給して基板を処理する基板処理方法であって、
微小気泡生成部は、気体と液体から前記微小気泡を含む液体を生成し、
ノズルから前記微小気泡を含む液体を前記基板に吐出する際に、加熱手段が前記微小気泡を含む液体の温度を上げることを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009006461A JP5436869B2 (ja) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009006461A JP5436869B2 (ja) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010165825A JP2010165825A (ja) | 2010-07-29 |
JP2010165825A5 true JP2010165825A5 (ja) | 2012-03-01 |
JP5436869B2 JP5436869B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=42581780
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009006461A Active JP5436869B2 (ja) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5436869B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5954984B2 (ja) * | 2011-12-22 | 2016-07-20 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 洗浄処理装置及び洗浄処理方法 |
TWI576938B (zh) | 2012-08-17 | 2017-04-01 | 斯克林集團公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
JP5996329B2 (ja) * | 2012-08-20 | 2016-09-21 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、および基板処理方法 |
JP6498910B2 (ja) * | 2014-10-30 | 2019-04-10 | 原嶋 文子 | Pcbを内包する機器の処理方法 |
JP2019094426A (ja) * | 2017-11-22 | 2019-06-20 | 大同メタル工業株式会社 | 洗浄液 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006179765A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置およびパーティクル除去方法 |
JP2006181426A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2008080230A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2008085231A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Sharp Manufacturing System Corp | 基板上の残留有機物除去方法 |
-
2009
- 2009-01-15 JP JP2009006461A patent/JP5436869B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010165825A5 (ja) | ||
JP2011218308A (ja) | 気体溶解液生成装置及び生成方法 | |
US20140223958A1 (en) | Clathrate desalination process using an ultrasonic actuator | |
JP2008080230A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2007533437A5 (ja) | ||
JP2006223995A (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
JP5436869B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2012000578A (ja) | 高濃度オゾン水の製造方法及び高濃度オゾン水の製造装置 | |
CN103579053A (zh) | 清洗液生成装置及方法、基板清洗装置及方法 | |
WO2008070279A3 (en) | Method for precipitation of small medicament particles into use containers | |
JP2017218226A5 (ja) | ||
JP2007326009A (ja) | 排水処理方法および排水処理装置 | |
WO2009107386A1 (ja) | 飽和水生成器及び飽和水又は飽和液体を生成する装置 | |
JP6261814B2 (ja) | 洗浄装置および洗浄方法、並びに膜分離バイオリアクタ | |
KR20130064849A (ko) | 배관세척장치 | |
JP2009188116A (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
JP5740549B2 (ja) | 飽和ガス含有ナノバブル水の製造方法及飽和ガス含有ナノバブル水の製造装置 | |
JP2011072950A (ja) | 処理装置 | |
JP5717241B2 (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP2000237757A (ja) | オゾン泡水による殺菌方法及び殺菌装置 | |
JP4619971B2 (ja) | 排水処理方法および排水処理装置 | |
KR101402369B1 (ko) | 회전 분사 노즐을 이용한 고농도 기액 혼합장치 | |
JP2022173501A (ja) | 洗浄対象物の塗膜剥離方法及びその塗膜剥離装置 | |
JP4913718B2 (ja) | 残留オキシダント除去装置、残留オキシダント除去方法および水殺菌システム | |
JP2012000580A (ja) | バブル含有液生成装置及び処理装置 |