JP2010135446A - Apparatus and method for inspecting solar battery cell, and recording medium having program of the method recorded thereon - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光により発電する機能を有する太陽電池セルを検査する太陽電池セルの検査装置、太陽電池セルの検査方法、及びそのプログラムを記録した記録媒体に関する。 The present invention relates to a solar cell inspection device that inspects a solar cell having a function of generating power by light, a solar cell inspection method, and a recording medium on which the program is recorded.
太陽電池セルに通電させEL発光させて太陽電池セル内の欠陥を検査する方法および装置は、以下の特許文献1に記載されている。 A method and apparatus for inspecting a defect in a solar battery cell by energizing the solar battery cell to emit EL light is described in Patent Document 1 below.
図15は、特許文献1に記載された検査装置の構成を模式的に示す図である。図15を参照すると、検査装置100は、暗室110と、この暗室110の上部に設けられたCCDカメラ120と、暗室110の床面に載置された太陽電池セル130に電流を流す電源140と、CCDカメラ120からの画像信号を処理する画像処理装置150とからなる構成である。
FIG. 15 is a diagram schematically showing the configuration of the inspection apparatus described in Patent Document 1. As shown in FIG. Referring to FIG. 15, the
暗室110には窓110aがあり、ここにCCDカメラ120のファインダー120aがあって、ここから肉眼で覗くことで、CCDカメラ120の撮影画像を確認することができる。画像処理装置150としては、パソコンを使用している。太陽電池セルをこのような検査装置により検査することで、太陽電池セル内の欠陥を検出することができる。その欠陥の程度により太陽電池セルの良否を判定しているにすぎないため、現時点で使用に耐える否か判定できるのみであり太陽電池セルがどのような状況なのか詳細に知ることができずましてや長期的に使用した場合に不具合が発生する可能性があるか否か考慮していなかった。また使用できないと判定されたものはそのまま廃棄されるか溶解して再生利用されることになる。
The
しかしながら、前記従来技術の太陽電池セルの検査装置によると太陽電池セルの欠陥が詳細に判定できないため、太陽電池セルの階級、並びに太陽電池モジュールの性能が正確に判定できない。 However, according to the solar cell inspection apparatus of the prior art, since the defect of the solar cell cannot be determined in detail, the class of the solar cell and the performance of the solar cell module cannot be accurately determined.
また、前記従来技術によると太陽電池セル全体の階級のみ判定できるので、部分的には使用できるものが全体的に使用できないと判断されてしまうという問題点がある。しかも、太陽電池セルは非常に高価であり調達が困難な状況であり、この問題点は顕著になってきている。また、欠陥を有した太陽電池セルは太陽電池セルの性能が低下するので、従来技術の太陽電池セルの検査装置では、部分的にでも有効に高性能の太陽電池セルとして再利用することはできない。 In addition, according to the prior art, since only the class of the entire solar battery cell can be determined, there is a problem that it is determined that what can be partially used cannot be used as a whole. Moreover, solar cells are extremely expensive and difficult to procure, and this problem has become prominent. Moreover, since the performance of the solar cell is deteriorated in the solar cell having defects, the solar cell inspection apparatus of the prior art cannot be partially reused as a high-performance solar cell effectively. .
更に、前記従来技術によると欠陥の種類と欠陥の程度(欠陥の長さ及び面積等)が正確に判定できない。それで、長期の使用で欠けに進展するような欠陥か否か判定がつかないような欠陥を有した太陽電池セルを太陽電池モジュールに組み込んで、実際に長期に使用して目に見えない欠陥が欠けに進展してもそれが、太陽電池モジュールに組み込まれる前にセルの欠陥の状態がどのような状態であったか確認することができない。その上、従来技術の太陽電池セルの検査装置はその欠陥判定の正確度は装置が出来上がった当初のままで変わる事が無い(正確度が向上することは無い)、使用前の欠陥の程度による使用中の欠け情報の相関関係に関してはどんな記載も無い。即ち使用中の太陽電池セルの欠陥の状況を太陽電池セルの検査装置にフィードバック処理し太陽電池セルやそれを組み込んだ太陽電池モジュールを品質向上させるという記載はまったく無い。
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、撮影して得られた太陽電池セルの画像を詳細に分析して太陽電池セルの良否の判定が正確に出来るようにして、セル使用効率の高い太陽電池セルの検査装置、太陽電池セルの検査方法、及びそのプログラムを記録した記録媒体を提供する事にある。更なる目的は、太陽電池セル画像の詳細な分析を利用して、現在のどんな欠陥(暗部)が使用中にて欠けになるかなどに関する相関関係を把握し、その結果を太陽電池セルの欠陥判定方法にフィードバックし欠陥判定の正確度を更に向上させることが可能な太陽電池セルの検査装置、太陽電池セルの検査方法、及びそのプログラムを記録した記録媒体を提供する事にある。 The present invention has been made in view of such a situation, and its purpose is to make it possible to accurately determine the quality of a solar cell by analyzing in detail the image of the solar cell obtained by photographing, An object of the present invention is to provide a solar cell inspection apparatus with high cell use efficiency, a solar cell inspection method, and a recording medium recording the program. A further purpose is to use a detailed analysis of solar cell images to understand the correlation of what defects (dark areas) are missing during use, and to obtain the results of the solar cell defects. An object of the present invention is to provide a solar cell inspection apparatus, a solar cell inspection method, and a recording medium recording the program, which can be fed back to the determination method to further improve the accuracy of defect determination.
本発明の一態様の太陽電池セルの検査装置は、通電された状態の太陽電池セルを表すセル画像を取得する画像取得部と、前記太陽電池セル画像により太陽電池セルの欠陥を判定する欠陥判定部と、を含む太陽電池セルの検査装置において、前記太陽電池セルに、少なくとも太陽電池セルの識別記号情報をマーキングするため、前記太陽電池セルの検査装置の外部に設けられたマーキング装置を含むことを特徴としている。この一態様によれば、太陽電池セルに識別記号が付与されているので、使用中に不具合が発生した場合にその内容をフィードバックし欠陥判定の正確度を更に向上させることができる。
またこのような態様の太陽電池セルの検査装置において、太陽電池セルの検査装置の内部にマーキング部を設けた構成としても良い。さらに太陽電池セルの検査装置内部にマーキング部を設けると同時に検査装置の外部にマーキング装置を設ける構成とすることもできる。
An inspection apparatus for a solar cell according to one embodiment of the present invention includes an image acquisition unit that acquires a cell image representing a solar cell in an energized state, and a defect determination that determines a defect of the solar cell using the solar cell image. A marking device provided outside the solar cell inspection device for marking at least the solar cell identification symbol information on the solar cell. It is characterized by. According to this one aspect, since the identification symbol is given to the solar battery cell, when a defect occurs during use, the content can be fed back to further improve the accuracy of the defect determination.
Moreover, in the inspection apparatus of the photovoltaic cell of such an aspect, it is good also as a structure which provided the marking part inside the inspection apparatus of a photovoltaic cell. Furthermore, it can also be set as the structure which provides a marking apparatus outside the test | inspection apparatus simultaneously with providing a marking part inside the test | inspection apparatus of a photovoltaic cell.
本発明の一態様の太陽電池セルの検査装置は、通電された状態の太陽電池セルを表すセル画像を取得する画像取得部と、前記太陽電池セルの撮影画像により、少なくともクラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを欠陥になる可能性があると判定し、前記撮影画像を2値化処理して得られた画像と前記クラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを比べて正確に欠陥を判定する欠陥判定部を含むことを特徴としている。この一態様によれば、欠陥ごとに欠陥か否かについて正確に判定できるため太陽電池セルの階級判定が正確になる。この一態様によれば、欠陥であると見なされる可能性のある欠陥ごとに欠陥か否かについて正確に判定できる。
またこのような態様の太陽電池セルの検査装置において、太陽電池セルの検査装置の外部にマーキング装置を設けた構成としても良いし、または太陽電池セルの検査装置内部にマーキング部を設ける構成としても良い。さらに太陽電池セルの検査装置内部にマーキング部を設けると同時に検査装置の外部にマーキング装置を設ける構成とすることもできる。
The solar cell inspection device of one embodiment of the present invention is made of at least cracks and cracks by an image acquisition unit that acquires a cell image representing a solar cell in an energized state and a captured image of the solar cell. It is determined that there is a possibility that the dark area information brighter than the defect may become a defect, and the image obtained by binarizing the photographed image is compared with the dark area information brighter than the defect formed by the crack. And a defect determination unit that accurately determines a defect. According to this aspect, since it is possible to accurately determine whether or not each defect is a defect, the class determination of the solar battery cell becomes accurate. According to this aspect, it is possible to accurately determine whether or not each defect that can be regarded as a defect is a defect.
Moreover, in the inspection apparatus of the solar cell of such an aspect, it is good also as a structure which provided the marking apparatus outside the inspection apparatus of the solar battery cell, or as a structure which provides a marking part inside the inspection apparatus of a solar cell. good. Furthermore, it can also be set as the structure which provides a marking apparatus outside the test | inspection apparatus simultaneously with providing a marking part inside the test | inspection apparatus of a photovoltaic cell.
本発明の一態様の太陽電池セルの検査装置は、通電された状態の太陽電池セルを表すセル画像を取得する画像取得部と、前記太陽電池セル画像により太陽電池セルの欠陥を判定する欠陥判定部と、前記太陽電池セルの欠陥判定結果に基づき太陽電池セルに欠陥の有る領域と欠陥の無い領域を判定して、少なくとも前記太陽電池セルの欠陥の有る領域と欠陥の無い領域の境界とを識別できる境界線情報を含む欠陥領域の判定情報を生成する欠陥領域判定部と、を含むことを特徴としている。この一態様によれば、不良と判定される太陽電池セルにおいて良品と判定できる部分が正確に識別できるようになる。結局、太陽電池セルの使用効率が高くなる。
またこのような態様の太陽電池セルの検査装置において、太陽電池セルの検査装置の外部にマーキング装置を設けた構成としても良いし、または太陽電池セルの検査装置内部にマーキング部を設ける構成としても良い。さらに太陽電池セルの検査装置内部にマーキング部を設けると同時に検査装置の外部にマーキング装置を設ける構成とすることもできる。
An inspection apparatus for a solar cell according to one embodiment of the present invention includes an image acquisition unit that acquires a cell image representing a solar cell in an energized state, and a defect determination that determines a defect of the solar cell using the solar cell image. And a region where the solar cell is defective and a region where there is no defect based on the defect determination result of the solar cell, and at least a boundary between the region where the solar cell is defective and the region where there is no defect And a defect area determination unit that generates defect area determination information including boundary line information that can be identified. According to this aspect, it is possible to accurately identify a portion that can be determined as a non-defective product in a solar cell that is determined to be defective. Eventually, the use efficiency of the solar battery cell is increased.
Moreover, in the inspection apparatus of the solar cell of such an aspect, it is good also as a structure which provided the marking apparatus outside the inspection apparatus of the solar battery cell, or as a structure which provides a marking part inside the inspection apparatus of a solar cell. good. Furthermore, it can also be set as the structure which provides a marking apparatus outside the test | inspection apparatus simultaneously with providing a marking part inside the test | inspection apparatus of a photovoltaic cell.
本発明の一態様の太陽電池セルの検査方法は、通電された状態の太陽電池セルを表すセル画像を取得する工程と、前記太陽電池セルの画像により、少なくともクラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを欠陥になる可能性があると判定して太陽電池セルの欠陥を判定する工程と、前記撮影画像を2値化して得られた画像と前記クラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを比べてノイズによる暗領域を削除して暗領域を判定する工程と、前記判定した欠陥と暗領域から得られたセル画像とを基に太陽電池セルの品質を判定する工程とを含むことを特徴としている。この一態様によれば、欠陥であると見なされる可能性のある欠陥ごとに欠陥か否かについて正確に判定できるため太陽電池セルの階級判定の精度が向上する。 The method for inspecting a solar battery cell according to one embodiment of the present invention is brighter than at least cracks and cracks caused by cracks, by the step of obtaining a cell image representing an energized solar battery cell and the image of the solar battery cell. It is brighter than the image obtained by binarizing the photographed image, the crack, and the chip formed by the crack. A step of determining a dark region by deleting a dark region due to noise in comparison with the dark region information, and a step of determining the quality of the solar battery cell based on the determined defect and a cell image obtained from the dark region; It is characterized by including. According to this aspect, since it is possible to accurately determine whether or not each defect that can be regarded as a defect is a defect, the accuracy of the solar cell class determination is improved.
本発明の一態様の太陽電池セルの検査プログラムを記録した記録媒体は、通電された状態の太陽電池セルを表すセル画像を取得する処理と、前記太陽電池セル画像により欠陥を判定する処理と、前記撮影画像から暗領域を判定する処理と、前記欠陥による暗部を含むセル画像を太陽電池セルのバスバーと垂直方向で走査させ、欠陥のない領域を判定する処理と、をコンピュータに実行させることを特徴としている。この一態様によれば、太陽電池セルにおいて、利用できる部分が正確に判定できる。 The recording medium on which the photovoltaic cell inspection program of one embodiment of the present invention is recorded includes a process of obtaining a cell image representing a solar cell in an energized state, a process of determining a defect from the solar cell image, A process of determining a dark area from the captured image and causing a computer to execute a process of scanning a cell image including a dark part due to the defect in a direction perpendicular to the bus bar of the solar battery cell and determining an area without a defect. It is a feature. According to this one aspect, in the solar battery cell, a usable part can be accurately determined.
本発明によれば、太陽電池セルの階級判定において、使用中に将来大きな欠陥に進展する可能性の有る欠陥の判定の正確度及び太陽電池セルの使用効率を高くする事ができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, in the class determination of a photovoltaic cell, the precision of the determination of the defect which may progress to a big defect in the future during use, and the use efficiency of a photovoltaic cell can be made high.
まず、本発明の実施形態を説明する前に、太陽電池セルの欠陥と、太陽電池セルを撮像して得られたセル画像との差について説明する。得られたセル画像の明度が低い部分としては、クラック(1)と暗領域がある。暗領域の中では明らかに暗い暗領域とやや暗い暗領域(明らかに暗領域より明るいことが明確である領域)がある。そして、やや暗い暗領域の中でも結晶粒界により生じる暗領域(2)と少なくても一部の境界がクラックに囲まれて生じる暗領域(3)とがある。明らかに暗い暗領域の中でも現在のクラックによる欠けとして全然発光しない暗領域(4)とフィンガー断線による欠陥として全然発光しない暗領域(5)とがある。 First, before describing an embodiment of the present invention, a difference between a defect of a solar battery cell and a cell image obtained by imaging the solar battery cell will be described. As a portion where the brightness of the obtained cell image is low, there are a crack (1) and a dark region. Among the dark areas, there are obviously dark areas and slightly dark areas (areas that are clearly brighter than the dark areas). Among the darker dark areas, there are a dark area (2) caused by a crystal grain boundary and a dark area (3) produced at least partially surrounded by cracks. There are apparently dark areas (4) that do not emit light at all as defects due to current cracks and dark areas (5) that do not emit light as defects due to finger disconnection.
この中で、(2)は欠陥ではなくて欠けでもない。(4)(5)は欠陥であり太陽電池の効率低下に繋がり、(1)(3)は欠陥とは言えるものの現状態では欠けとは言えないが、但し使用により将来欠けになる可能性があると判定できる部分である。本発明によれば、以上の欠陥の種類を詳細に分類して太陽電池セルの使用効率を高めるとこが出来る。 Among these, (2) is neither a defect nor a chip. (4) (5) is a defect, which leads to a decrease in the efficiency of the solar cell. (1) (3) is a defect, but it cannot be said that it is missing in the present state. It is a part that can be determined to be. According to the present invention, it is possible to classify the above types of defects in detail to increase the use efficiency of the solar battery cell.
実施例1は、太陽電池セルを太陽電池モジュールに組み込み実際使用した結果を太陽電池セルの検査装置の欠陥判定にフィードバックできるようにし、太陽電池セル検査装置の欠陥の判定をより正確にする手段と方法である。
図1は、本実施形態に係る太陽電池セルを示す図面であって、図1(a)は、太陽電池セルの受光面側の平面図であり、図1(b)は、太陽電池セルの裏面側の平面図である。太陽電池セル1は、半導体基板10と、半導体基板10の受光面及び裏面に設けられた電極と、を含んで構成されている。
Example 1 is a means for enabling a result of actual use of a solar cell module incorporated in a solar cell module to be fed back to the defect determination of the solar cell inspection device, and more accurately determining the defect of the solar cell inspection device; Is the method.
FIG. 1 is a view showing a solar battery cell according to the present embodiment, in which FIG. 1 (a) is a plan view on the light receiving surface side of the solar battery cell, and FIG. 1 (b) is a view of the solar battery cell. It is a top view on the back side. The solar battery cell 1 includes a
半導体基板10は、例えば一辺を略150mm四方の矩形状とし、厚さを略0.16mmとする平板状に形成されている。また、半導体基板10は、単結晶シリコン、多結晶シリコン及びアモルファスシリコン等の元素半導体や化合物半導体等を用いて形成されている。半導体基板10は、光エネルギーを電気エネルギーに変換する機能を有する。
The
半導体基板10の受光面上には、フィンガー部11とバスバー部12とが設けられている(図1(a)参照)。フィンガー部11は、半導体基板10の一辺から対向する一辺に亘って平行に複数、設けられている。フィンガー部11により、半導体基板10の受光面側に発生した電子を集電する。バスバー部12は、受光面側電極であり、フィンガー部11が設けられている方向と直交する方向に半導体基板10の一辺から対向する一辺に亘って平行に2本設けられている。バスバー部12は、フィンガー部11によって集電された電子を集電すると共に、タブリードが接続される。
半導体基板10の照射面の反対側である裏面上には、裏面側電極13と接続部14とが設けられている(図1(b)参照)。裏面側電極13は、半導体基板10の裏面全体に亘って設けられている。裏面側電極13は、例えばアルミニウムを半導体基板10の裏面に塗布した後に焼成等して形成されている。裏面側電極13により、半導体基板10の裏面側に発生した正孔を集電する。接続部14は、半導体基板10の裏面に断続的に複数、本図では例えば8ヶ所が設けられている。具体的に説明すると、接続部14は、半導体基板10の受光面に設けられたバスバー部12と、半導体基板10の厚みの中心を横切る仮想中央面に対して対称な位置であって、接続部14が一定間隔に所定距離の隙間を有するように形成されている。この接続部14は、裏面側電極13上にハンダを蒸着させて形成させてもよい。接続部14には、タブリードが接続される。
On the back surface opposite to the irradiation surface of the
また、本発明において、太陽電池セルは、薄膜式の太陽電池セルであってもよい。 In the present invention, the solar battery cell may be a thin film solar battery cell.
図2は、本実施形態に係る太陽電池セルの検査装置の構成例を表すブロック図である。この太陽電池セルの検査装置2では、装置全体の制御を司る制御部20に、通電部3、位置決め部4、撮像部5、マーキング部7、操作部8及び表示部9が接続されている。本検査装置では、測定するべき太陽電池セルは1つでもよいし、複数個でもよい。また複数個の太陽電池セルを本実施形態の太陽電池セルの検査装置に配置する時は、検査装置内に別々に複数個の太陽電池セルを配置しても良いし、タブリードにより太陽電池セルを直線的に接続したストリングでも良いしストリングを複数列平行に接続したパネル状のものを配置しても良い。
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration example of the solar cell inspection apparatus according to the present embodiment. In this solar cell inspection apparatus 2, an energization section 3, a
通電部3は、制御部20からの指令に応じて、検査対象としての太陽電池セルに通電する。この通電部3は、不図示のプローブにより一つ以上の太陽電池セルの各太陽電池セルに順方向電流を供給する。図2にては太陽電池セルを1枚のみ設置した場合を図示している。
The energization unit 3 energizes the solar battery cell as the inspection target in response to a command from the
撮像部5は、CCDカメラ等で構成され、制御部20からの指令に応じて、通電された状態の一つ以上の太陽電池セルを撮像する。マーキング部7は、太陽電池セルの撮像した結果により検査した太陽電池セルの欠陥判定の結果に基づき太陽電池セルの識別記号、階級記号及び後述する実施例における欠陥の有る領域と欠陥の無い領域との境界線などをマーキングする。位置決め部4は、制御部20からの指令に応じて、撮像部5を各太陽電池セルの所定の撮像位置に移動させ、位置決めする。さらに検査する太陽電池セルが装置内に複数枚配置されている場合は、通電部3やマーキング部7もこの位置決め部4により所定の位置に移動させ、位置決めする。
The
これらの各部の相互作用を説明する。撮像部5は、位置決め部4により移動され、太陽電池セルの検査装置内に配置された一つ以上の太陽電池セルを順次撮像していく。また、これにより得られる、太陽電池セルを表すセル画像のデータは、制御部20に順次入力される。入力された画像データによって制御装置内の欠陥判定部(図3の2A参照)にて欠陥の有無を判断する。そして検査装置内に設けられたマーキング部7により識別記号等が付与される。
The interaction of these parts will be described. The
なお、こうした太陽電池セルの撮像は、暗室内で行われる。また、太陽電池セルのEL(エレクトロルミネッセンス)光は微弱であるので、撮像部5としては比較的感度の高いカメラが好適である。
Such solar cell imaging is performed in a dark room. Further, since the EL (electroluminescence) light of the solar battery cell is weak, a camera with relatively high sensitivity is suitable as the
制御部20は、CPU(中央演算装置)及びその作業領域であるRAM等を含んだコンピュータとして構成されている。また、制御部20は、CPUの動作に必要なプログラム及びデータを記憶する記憶部を含んでいてもよい。また、操作部8は、キーボードやマウス等で構成され、ユーザの操作に基づく操作入力を制御部20に転送する。表示部9は、液晶ディスプレイ等で構成され、制御部20からの表示指令に応じた画像を表示する。
The
図3は、制御部の機能構成例を表すブロック図であり、図4は、この制御部において実現される太陽電池セルの検査方法を表すフローチャートである。制御部20は、通電制御部21、位置制御部22、画像取得部23、欠陥判定部2A、品質判定部28及び表示制御部29を機能的に有している。そしてCPUが、記憶部に格納されたプログラムを実行することにより、各部は当該処理を行う。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a functional configuration example of the control unit, and FIG. 4 is a flowchart illustrating a solar cell inspection method realized in the control unit. The
通電制御部21は、通電部3を制御して、一つ以上の太陽電池セル1への通電を実行する。これにより、各太陽電池セル1はEL光を発する。ここで、電圧値、電流値及び通電時間などの通電条件のデータは、制御部20の記憶部に格納されている。
The
位置制御部22は、位置決め部4を制御して、撮像部5、通電部3およびマーキング部7の位置制御を実行する。具体的には、位置制御部22は、撮像部5を各太陽電池セル1を撮像可能な各撮像位置に順次移動させ、通電部3を各太陽電池セル1の位置に順次移動させ、さらにマーキング部7を各太陽電池セルの位置に順次移動させる。こうした撮像位置は、太陽電池セル1の寸法や数、配列間隔等により定められ、制御部20の記憶部にデータとして格納されている。
The
画像取得部23は、通電された状態の太陽電池セルを表すセル画像のデータを、撮像部5から取得する(S1)。また、画像取得部23は、取得したセル画像の下処理を行う(S2)。セル画像の下処理としては、例えば、太陽電池セル1のEL光の明度を規格化するスケーリング処理、太陽電池セル1の領域を抽出するセル領域抽出処理、太陽電池セル1のバスバー12部分を除くバスバー除外処理、及び撮像部5のレンズに起因する明度差を補正するシェーディング処理などがある。
The
そして、画像取得部23は、下処理が施されたセル画像のデータを、欠陥判定部2Aに出力する。欠陥判定部2Aは、クラック位置情報生成部24、クラック判定部25、暗領域位置情報生成部26および暗領域判定部27を含んでいる。
Then, the
図5は、セル画像30の例を表す図である。セル画像30内には、太陽電池セル1の欠陥部分が比較的明度の低い暗部となって現れる。こうした欠陥部分としては、クラック32a、32b、32c及び暗領域34a,34bなどがある。ここで、一つのセル画像には少なくとも数十万から数百万に至る画像が含まれ、肉眼で確認できない欠陥でもセル画像の画像群として判定できる。
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the
クラック32a、32b、32cは、セル画像30内に明度の低い線状の画素群として現れる。こうしたクラック32a、32b、32cは、発光が良好な部分との明度差が大きい。こうしたクラック32a、32b、32cは、バスバー12や接続部14にタブリードを半田付けする際の熱や、加工時や輸送時の荷重や衝撃により生じると思量する。
The
他の暗領域として、セルの欠けやフィンガー断線により発生する暗領域がある。 As another dark region, there is a dark region caused by cell chipping or finger disconnection.
暗領域34a,34bは、セル画像30内に、一定以上の面積を持った明度の低い画素群として現れる。こうした暗領域34a,34bは、クラック32a,32bによって電流の供給が阻害されることで生じる。すなわち、暗領域34a,34bは、クラック32a,32bに起因する。従って、暗領域34a,34bの外縁の少なくとも一部には、クラック32a,32bが重なっていることが多い。また、暗領域34a,34bの明度は一律ではなく、周囲と比較してやや明度が低い暗領域34aと、明らかに明度が低い暗領域34bとがある。なお、明らかに明度が低い暗領域34bでは、その外縁にクラック32bが生じていても、明度が同程度であるため両者の判別が困難な場合がある。
The
さらに、フィンガー断線によっても暗領域36が生じる。この場合は、太陽電池セルのバスバーと直角に配置されたフィンガーの間に矩形状に暗領域が生じる。
Further, the
この他、セル画像30内には、太陽電池セル1の結晶粒界37が現れることがある。こうした結晶の粒界37は、太陽電池セル1の欠陥ではないが、セル画像30内に、周囲よりもやや明度の低い画素群として現れてしまう。なお、こうした結晶粒界37は、比較的小さな形状であることが多い。
In addition, the
図3及び図4の説明に戻る。欠陥判定部2Aのクラック位置情報生成部24は、セル画像30内でクラック32a、32b、32cを特定し、これらクラック32a、32b、32cの位置・形状の情報を生成する(S3)。こうして生成されたクラック位置・形状の情報は、クラック判定部25、暗領域判定部27を通して品質判定部28及び表示制御部29に出力される。具体的には、クラック判定部25は、セル画像30内で明度の変化の境界部分を抽出することで、クラック32a、32b、32cの位置を特定する。こうした境界部分の抽出は、微分フィルタなどを用いることで実現できる。上記クラック位置・形状の情報には実際にクラックではない情報も含まれていて、それを除外してクラックを判定する(S4)。クラックを判定する例は以下のように行なわれる。
Returning to FIG. 3 and FIG. The crack position
図6は、クラック位置・形状情報の生成の説明図である。上記図5に示したセル画像30に対して微分フィルタを適用すると、図6に示されるように、明度の変化の境界部分42a、42b、42c,46、47が抽出される。このうち、境界部分42a、42b、42cはクラック32a、32b、32cに各々対応し、境界部分47は結晶粒界37に対応する。境界部分46はフィンガー断線部分36と対応する。そこで、セル画像において明るさの差が大きくなるほど境界部分は太くなる。
FIG. 6 is an explanatory diagram of generation of crack position / shape information. When the differential filter is applied to the
クラック位置情報生成部24は、このように抽出される境界部分42a、42b、42c,47、46の中から、同じ太さの線状に延びる境界部分42a、42b、42cを選別することで、クラック32a、32b、32cの位置を特定することができる。
The crack position
ここで、線状として延びるということは、始点と終点の区別ができない線状の部分(閉曲線)は除くことで、欠陥ではない結晶粒界なような円状形は除外されるのであり(結晶粒界区別処理1)、フィンガー断線により生じた四角形も除外できる(断線区別処理1)。 Here, extending as a line means that a circular part such as a crystal grain boundary which is not a defect is excluded by removing a linear part (closed curve) where the start point and the end point cannot be distinguished (crystals) Grain boundary distinction processing 1) and quadrilaterals caused by finger breakage can be excluded (disconnection distinction processing 1).
更なる方法では、クラック位置情報生成部24は、フィンガー断線による欠陥をクラックと区別するためにセル画像中、四角形で現れる領域はフィンガー断線による境界部分と判定できる。なお、その四角形の外縁が全体セル画像にて垂直及び水平ならそれをフィンガー断線によるものと判断できる(断線区別処理2)。
In a further method, the crack position
また、結晶粒界のような無害なものが欠陥と判定されないように以下のような防止手段を追加的または選択的に採用してもよい。境界部分42a、42b、42c,47を構成する画素群を囲む最小矩形のアスペクト比(長手方向の長さと幅方向の長さとの比)を求めることも行う。ここで、2次元最小矩形の一辺の角度は必ずしもセル画像を対比して0度と90度に限らず、ある角度の方向に向かって伸ばせばよい。このアクペクト比の閾値を設定し、その閾値が設定値より小さなものは欠陥ではないと判定する。結晶粒界は、比較的小さな略円形状をしているので、アスペクト比は小さな数値であるため、結晶粒界がクラックとして判定されることを防止できる(結晶粒界区別処理2)。
Further, the following prevention means may be additionally or selectively employed so that harmless things such as crystal grain boundaries are not determined as defects. The aspect ratio (ratio between the length in the longitudinal direction and the length in the width direction) of the minimum rectangle surrounding the pixel group constituting the
さらに、この結晶粒界区別処理2にて、フィンガー断線による境界部分と区別するため、境界部分の中の明度さを利用することもできる。この様にすれば、上記断線区別処理2は行わず、上記結晶粒界区別処理2のみ行ってもフィンガー断線による境界部分と区別できる。但し、夫々の処理を同時に行うことにより正確度が更に高まる。 Furthermore, in this grain boundary distinction process 2, in order to distinguish from the boundary part by finger disconnection, the brightness in a boundary part can also be utilized. In this manner, the disconnection distinguishing process 2 is not performed, and even if only the crystal grain boundary distinguishing process 2 is performed, it can be distinguished from the boundary portion due to the finger disconnection. However, the accuracy is further increased by performing each processing simultaneously.
なお、クラック判定部25では、クラック位置情報生成部24からの画像情報により各クラックの長さとクラックと判定する閾値を比較し、閾値以下のものはクラックから除外する。そうすると、撮像の際に発生した画像のノイズが相当除外される。
Note that the
図3及び図4の説明に戻る。暗領域位置情報生成部26は、セル画像30に対して2値化処理を行い、所定以上の面積の暗画素群を特定することで、暗領域34a,34b等の位置を表す暗領域位置情報を生成する(S5)。こうして生成された暗領域位置情報は、暗領域判定部27に出力される。
Returning to FIG. 3 and FIG. The dark region position information generation unit 26 performs binarization processing on the
ここで、2値化処理の明度の閾値は、周囲と比較してやや明度が低い暗領域34a(図5を参照)の各画素が暗画素と判断される程度に設定される。
Here, the threshold value of the brightness of the binarization process is set to such an extent that each pixel in the
図7は、暗領域位置情報の生成の説明図である。上記図5に示したセル画像30に対し、こうした閾値による2値化処理を行うと、図7に示されるように、クラック32a、32b、32cに起因する暗領域34a,34bの他に、結晶粒界37に対応する暗領域57と断線に対応する暗領域36とも抽出されてしまうことがある。
FIG. 7 is an explanatory diagram of generation of dark region position information. When the binarization process using such a threshold is performed on the
また、この他にも、太陽電池セル1の外周部分の明度が中央部分の明度よりもやや落ちることや、個々の太陽電池セル1から発光される光の明度にバラツキがあること等の要因によっても、2値化処理において意図しない暗領域が抽出されてしまうことがある。従って、暗領域位置情報は、このようにクラック32a、32b、32cに起因する暗領域34a,34bの位置を表す情報の他に、結晶粒界37に対応する暗領域57等の意図しない暗領域の位置を表す情報を含むことがある。なお、この暗領域位置情報は、暗領域34a,34b等の座標情報を含む。また、暗領域位置情報は、暗領域34a,34b等の外縁の座標情報も含む。具体的には、各暗領域34a,34b等の外縁は、直線の組み合わせとして定義され、各直線の始点および終点の座標情報が、暗領域位置情報に含まれる。また、暗領域位置情報は、暗領域34a,34bの面積の情報を含んでいてもよい。
In addition, the brightness of the outer peripheral portion of the solar battery cell 1 is slightly lower than the brightness of the central part, and the brightness of the light emitted from the individual solar battery cells 1 varies. However, an unintended dark region may be extracted in the binarization process. Therefore, the dark region position information includes unintended dark regions such as the
図3及び図4の説明に戻る。暗領域判定部27は、入力されるクラック位置情報および暗領域位置情報に基づいて、上記S4で抽出された暗領域34a,34b,36、57の中から、クラック32a、32b、32cに起因する暗領域34a,34bを判定する(S6)。フィンガー断線の暗領域や結晶粒界による暗領域の境界線は、クラックであると判定しない。したがって例えば少なくとも暗領域の外縁の始点および終点の座標情報を含む暗領域位置情報とクラック位置情報生成部24から出力されるクラック位置・形状情報を比べて重ならない暗領域は、フィンガー断線か結晶粒界であり除外する。暗領域判定部27は、判定結果に応じて暗領域位置情報を修正し、品質判定部28及び表示制御部29に結果を出力する。
Returning to FIG. 3 and FIG. The dark
品質判定部28は、セル画像30内で特定されたクラック32a、32b、32cの数又は/及び長さ、クラック32a,32bに起因する暗領域34a,34bの数又は/及び大きさ、及びフィンガー断線による暗領域36の数又は/及び大きさなどに基づいて、セル画像30に表された太陽電池セル1の品質を判定し、階級分けを行う(S7)。この品質の階級に関する情報は、表示制御部29に出力される。ここで、品質の判定には、クラック32a、32b、32c及び暗領域34a,34bの数の単純な合計を用いてもよいし、これらの種類に応じた重み付け和を用いてもよいし、これらの大きさ(面積)や長さに応じた重み付け和を用いてもよい。
The
品質判定部28で判定された太陽電池セルの階級の情報は、マーキング部7に出力(転送)される。ここで、単純なクラックや、そのクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報も欠陥になる可能性があるので階級の判定に考慮する。
The class information of the solar battery cell determined by the
表示制御部29は、セル画像30内で特定されたクラック32a、32b、32cと、クラック32a,32bに起因する暗領域34a,34b、及びフィンガー断線による暗領域36を識別表示する表示用画像を生成し(S8)、この表示用画像を表示部9に表示させる表示制御を行う(S9)。また表示制御部29は、品質判定部28からの情報に基づいて、太陽電池セル1の品質の階級を識別表示するようにしてもよい。マーキング部7は品質判定部28の結果に基づいて太陽電池セルの階級と太陽電池セルの識別記号等の情報をマーキング部7へ転送する(S12)。そして転送された情報を太陽電池セルにマーキングする(S10)。これらの太陽電池セルの階級と識別記号のマーキング作業は、公知のレーザ照射装置を使用することで実現することができる。またこのレ−ザ照射装置からなるマーキング部は、本発明の太陽電池セルの検査装置内に設けることもできるし、マーキング装置として太陽電池セルの検査装置外に別置とすることもできる。
またこれらの太陽電池セルの階級情報や識別記号は、太陽電池の検査装置の制御部20内の記憶部などに保存しておくことができる。尚保存容量が大きくなった場合は、別置きのコンピュータに保存しておくことでも良い。
The
The class information and identification symbols of these solar cells can be stored in a storage unit in the
以上、本発明の第1の実施形態について説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であることはもちろんである。例えば、一つの変形例として、上記クラック位置情報生成部24は、微分フィルタによりクラック32a、32b、32cなどの位置の特定を行っていたが、この態様に限らず、例えば、セル画像30内で周囲よりも明度が低い線状の画素群を抽出し、これをクラック32a、32b、32cなどとして特定するようにしてもよい。
The first embodiment of the present invention has been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made by those skilled in the art. For example, as one modification, the crack position
以上説明したように本実施形態によれば、太陽電池セルの欠陥が詳細に判定できる。また階級判定された太陽電池セルを使用した太陽電池モジュールの性能や良否を詳しく判定できる。
このように太陽電池モジュールに組み込まれた太陽電池セルには識別情報がマーキングされているので、その使用中に欠けが発生し性能低下などの不具合が発生すれば、太陽電池セルを検査した時のその欠陥判定の閾値が分かるので、その結果を検査装置の判定方法にフィードバック処理をすることができる。例えばあるクラック(図5の32c参照)が、後で、使用中で欠けになった時には、現在設定している欠陥判定用の閾値を変更(再調整)して次の検査の時には、このようなクラック(図5の32c)と等しい欠陥は太陽電池セルの検査装置にて欠陥と判定することができる。この外にも、時間経過後の欠陥の変化や、その変化の欠陥による差異などの多くの情報を使用中に集めることができるため、段階的に閾値の正確性、欠陥判定の正確性などを高めることができる。
As described above, according to the present embodiment, defects of solar cells can be determined in detail. In addition, it is possible to determine in detail the performance and quality of the solar battery module using the solar battery cells determined for the class.
Since the identification information is marked on the solar cell incorporated in the solar cell module in this way, if a defect such as chipping occurs during its use and the performance deteriorates, the solar cell is inspected. Since the defect determination threshold is known, the result can be fed back to the determination method of the inspection apparatus. For example, if a crack (see 32c in FIG. 5) is later lost during use, the threshold value for defect determination that is currently set is changed (re-adjusted), and this is the case during the next inspection. A defect equivalent to a crack (32c in FIG. 5) can be determined as a defect by a solar cell inspection apparatus. In addition to this, since a lot of information such as changes in defects after the passage of time and differences due to defects in the changes can be collected during use, the accuracy of thresholds, the accuracy of defect determination, etc. can be improved step by step. Can be increased.
実施例2は、実施例1に好ましい構成を追加して提供される実施例である。この実施例2は実施例1の説明がそのまま採用できる部分については、その説明は省略する。 The second embodiment is an embodiment provided by adding a preferable configuration to the first embodiment. In the second embodiment, the description of the first embodiment can be omitted as it is.
太陽電池セルは150mm四方の大きさを有しているので一部に欠陥があっても部分的に使える場所を有していることが多い。実施例2は太陽電池セルに全体的には欠陥が入っていても部分的に使用できる場合、その太陽電池セルを部分的に再利用する手段と方法である。また実施例2は、太陽電池モジュールを実際使用した結果をフィードバックできるようにし、太陽電池セルの検査装置及び方法の欠陥の判定をより正確にする手段と方法でもある。 Since the solar battery cell has a size of 150 mm square, it often has a place where it can be partially used even if there is a defect. Example 2 is a means and method for partially reusing a solar cell when the solar cell can be partially used even if it is entirely defective. In addition, the second embodiment is also a means and method for enabling feedback of the result of actual use of the solar cell module and making the determination of defects in the solar cell inspection apparatus and method more accurate.
図8は、実施例2における制御部の機能構成例を表すブロック図であり、図9は、実施例2における制御部において実現される太陽電池セルの検査方法を表すフローチャートである。制御部20には、実施例1の図3に対して欠陥領域判定部2Bがさらに含まれている。この欠陥領域判定部2Bは欠陥判定部2Aで判定した、少なくとも欠陥情報が含まれるセル画像を受けて、このセル画像に基き太陽電池セルの欠陥の有る領域と無い領域の判定を行う(S110)。
FIG. 8 is a block diagram illustrating a functional configuration example of the control unit in the second embodiment, and FIG. 9 is a flowchart illustrating a solar cell inspection method realized in the control unit in the second embodiment. The
具体的に、欠陥領域判定のステップS110は、図10の欠陥領域判定の方法を表すフローチャートで詳しく説明する。 Specifically, the defect area determination step S110 will be described in detail with reference to the flowchart of FIG. 10 showing the defect area determination method.
S4にてのクラック判定結果、S6にての暗領域判定結果に基づき欠陥と見なされる暗部を含むセル画像を太陽電池セルのバスバーの方向にセルの一方の端から他方の端まで走査線等により移動させ走査し、一つの走査箇所で一つの欠陥があってもこの領域は欠陥が有る領域と判断する。更に、走査した結果、暗部が無い領域を抽出して、この領域を欠陥の無い領域と判定する(S101)。ここで、走査する方向はバスバーの方向とする。太陽電池セルを部分的に再利用する際、部分的に再利用した太陽電池セルもバスバーを有した形状にするためである。 A cell image including a dark portion that is regarded as a defect based on the crack determination result in S4 and the dark region determination result in S6 is scanned from one end of the cell to the other end in the direction of the solar cell bus bar by a scanning line or the like. It is moved and scanned, and even if there is one defect at one scanning position, this region is determined as a region having a defect. Furthermore, as a result of scanning, an area having no dark portion is extracted, and this area is determined as an area having no defect (S101). Here, the scanning direction is the bus bar direction. This is because when the solar battery cell is partially reused, the partially reused solar battery cell also has a shape having a bus bar.
しかしながら、一回目の走査で全ての領域において欠陥が有る領域と判定されることがある。そのため、欠陥の無い領域の面積等が一定閾値を越える部分があるか否かについて判断する(S102)。 However, it may be determined that there is a defect in all areas in the first scan. Therefore, it is determined whether or not there is a portion where the area of the defect-free area exceeds a certain threshold (S102).
詳しくは、判定の結果、欠陥の無い領域が前記一定閾値を越えなければ欠陥の種類毎の判定用の閾値を変更(再調整)する(S103)。具体的には、以下の様に行なう。ここで欠陥と判断されるため設定される閾値は欠陥の種類ごとの閾値(長さ・面積など)を設定する。こうすると全体的なセル画像の暗部は予め設定した閾値により、その閾値よりも小さな欠陥は、その暗部が明部に置き換えられてセル画像は再構成できる(S104)。再構成して得られたセル画像は閾値によって異なるが、閾値がある値以上の場合、再構成された画像には暗部の面積が元の画像(欠陥判定部2Aから受けたセル画像)より少なくなる。
上記手段によりセル画像を再構成(S104)した後に、再構成したセル画像を再度走査する(S101)。その結果欠陥の無い領域が、一定閾値を越えれば次の段階に移行する。
Specifically, as a result of the determination, if the area without defects does not exceed the predetermined threshold, the determination threshold for each defect type is changed (readjusted) (S103). Specifically, it is performed as follows. Here, the threshold value set for determining the defect is a threshold value (length, area, etc.) for each defect type. In this way, the dark portion of the entire cell image can be reconstructed by replacing the dark portion with a bright portion for a defect smaller than the threshold value based on a preset threshold value (S104). The cell image obtained by reconstruction is different depending on the threshold value, but when the threshold value is equal to or larger than a certain value, the reconstructed image has a dark area smaller than the original image (cell image received from the defect determination unit 2A). Become.
After the cell image is reconstructed by the above means (S104), the reconstructed cell image is scanned again (S101). As a result, if the area without defects exceeds a certain threshold, the process proceeds to the next stage.
ここで、上記閾値の再調整ステップS103にて調整する閾値の変更は、各欠陥の種類ごとの閾値を変更させる。閾値の変更は、欠陥として重要度の低いクラックを優先的に変更し、次はフィンガー断線、最後は欠けの順に変更していく。クラックはまず欠陥と判断するが、後で、使用中に欠けに繋がらない可能性もあるから重要度を低くしている。フィンガー断線による暗部は、その面積は小さいので欠けより重用度を低くしている。ここで、上記優先的な変更とは、どの種類の欠陥の判定用の閾値を他の欠陥の判定用の閾値より先に変更することを意味している。欠陥判定用の閾値は、重み付け変更(他の欠陥より多く変更すること)で変更しても良い。また優先的変更と重み付け変更をの両者を結合して使用することもできる。 Here, changing the threshold value adjusted in the threshold readjustment step S103 changes the threshold value for each defect type. The threshold value is changed by preferentially changing a crack having a low importance as a defect, and then changing in the order of finger disconnection and finally a chip. A crack is first judged to be a defect, but later it is less important because it may not lead to chipping during use. Since the area of the dark part due to finger breakage is small, the degree of importance is made lower than the chip. Here, the above-mentioned preferential change means that the threshold for determining which type of defect is changed before the threshold for determining other defects. The threshold value for defect determination may be changed by weighting change (change more than other defects). It is also possible to use both priority change and weight change in combination.
欠陥の無い領域の面積等の閾値は、太陽電池セルの約半分が望ましいが、その閾値は、再利用できると判断できれば適宜設定することができる。 The threshold value of the area of a defect-free area or the like is preferably about half that of the solar battery cell, but the threshold value can be set as appropriate if it can be determined that it can be reused.
S102の判定で欠陥の無い領域の面積等が前記閾値を越えると、次の段階へ移行し欠陥の無い領域を特定する(S105)。 When the area of the defect-free area exceeds the threshold value in the determination of S102, the process proceeds to the next stage, and the defect-free area is specified (S105).
図11及び図12は、セル画像の再構成の説明図である。図11は最初のセル画像で、ほぼ全ての領域が欠陥の有る領域と判定され、その後、S101、S102、S103及びS104を繰り返す。図12は、太陽電池セルの約半分の部分が欠陥の無い領域(暗部が無い)となったことを示す。欠陥の無い領域の面積等を判定する閾値が太陽電池セルの面積の半分(例えば50%閾値)に設定してあれば、この時点で上記の繰り返しの判定作業(S101〜S104)は終了する。図12では、図11には欠陥と判定されていたクラック32c及び32dが削除されている。
クラック32c及び32dは、この段階では問題無いと判断して、欠陥判定の閾値を変更してセル画像を再構成した。
11 and 12 are explanatory diagrams of cell image reconstruction. FIG. 11 shows the first cell image. It is determined that almost all areas are defective areas, and then S101, S102, S103, and S104 are repeated. FIG. 12 shows that about half of the solar cell is a defect-free region (no dark portion). If the threshold value for determining the area or the like of a region without a defect is set to half of the area of the solar battery cell (for example, 50% threshold value), the above repeated determination work (S101 to S104) is completed at this point. In FIG. 12, the
The
図8及び図9の説明に戻る。この欠陥領域判定部2Bは、前記マーキング部7に出力されてマーキングできるように欠陥領域の判定情報を生成する(S110)。上記欠陥領域の判定情報には、欠陥の有る領域と欠陥の無い領域との境界線情報、欠陥の有る領域に欠陥が有ることを示す識別情報、階級情報、太陽電池セルの識別記号情報、欠陥が無い領域がある閾値を越えるように判定するための欠陥判定の閾値の情報などが含まれる。太陽電池セルの検査装置の欠陥判定部2A、欠陥領域判定部2Bおよび品質判定部28からの欠陥領域判定情報は、マーキング部へ転送される(S120)。
Returning to FIG. 8 and FIG. The defective
また、前記欠陥領域判定部2Bは、検査装置に設けられたマーキング部7に前記欠陥領域の判定情報を出力すると共に、太陽電池セルに付与する識別記号情報等は、欠陥判定部2Aおよび品質判定部28からマーキング部7に転送することもできる。
The defect
また、太陽電池セルの検査装置により欠陥検査した太陽電池セルにマーキング部7により付与した識別記号情報や境界線情報などの付与情報は、太陽電池セルに付与した後、太陽電池セルの検査装置の制御部、または検査装置とは別置きのコンピュータに転送し記憶させても良い。この情報は、太陽電池セルを太陽電池モジュールに組み込んで使用して性能低下などの不具合が発生し、その太陽電池モジュールを検査した時にその太陽電池セルに欠けが生じた事が分かれば、太陽電池セルのどの位置のどのクラックが欠けになったかなどのフィードバック管理ができる。 Moreover, after providing the solar cell with the assigned information such as the identification symbol information and the boundary line information given to the solar cell subjected to the defect inspection by the solar cell inspection device, the solar cell is inspected. You may transfer and memorize | store it in a computer separate from a control part or a test | inspection apparatus. This information can be obtained by using a solar cell built into a solar cell module, if a malfunction such as performance degradation occurs and the solar cell is chipped when the solar cell module is inspected. It is possible to perform feedback management such as which crack in which position of the cell is missing.
図13は、マーキングされた太陽電池セルの受光面(a)及び裏面(b)を示す図である。図13を参照して太陽電池セルにマーキングされる情報を具体的に説明する。まず、欠陥の有る領域と欠陥の無い領域との境界に識別線として付与される境界線64、65がある。太陽電池セルは境界線64,65に沿って切断されて欠陥の無い領域は良品として再利用できるようになる。もし、一つの境界線64,65が太陽電池セルのバスバー12の方向の一端と共通なら境界線は一つで済すこともできる。
FIG. 13 is a diagram showing a light receiving surface (a) and a back surface (b) of a marked solar battery cell. With reference to FIG. 13, the information marked on a photovoltaic cell is demonstrated concretely. First, there are
また、境界線64,65によって区別される欠陥の有る領域には、欠陥の有る領域を示すためにマーキングされる識別記号61a、61b(図面には×と表記されている)と、太陽電池セルの識別記号62a、62bと、判定の階級を表す識別記号63a、63bなどがマーキングされることができる(図13(a)参照)。境界線64,65によって区別される欠陥の無い領域には、太陽電池セルの識別記号70、欠陥が無いと判定するための閾値の情報(S102にてYESと判定できるために使用された閾値の情報)を表す識別記号72及び/またはそれに関連した階級情報を表す識別記号71がマーキングされることができる。尚マーキングは、境界線64、65は、線状に付与され、識別記号70、71、72は、QRコードなどの2次元コードを使用して付与される。
In addition, in the area with a defect distinguished by the
太陽電池セルの識別記号70、この閾値の情報を表す識別記号72及び階級情報を表す識別記号71の組み合わせによって、その使用中に欠けが発生すれば、その閾値が分かるので、検査装置にフィードバック処理ができる。例えば、S102のステップで50%の閾値でYESと判定された時、あるクラック(図11の32c、32d参照)が、後で、使用中で欠けになった時には、現在設定している欠陥判定用の閾値を再調整して次の検査の時には、このようなクラック(32c、32d)と等しい欠陥は太陽電池セルの検査装置で最後まで欠陥と判定することができる。この外にも、時間経過後、欠陥の変化や、その変化の欠陥による差異などの多くの情報を使用中に集めることができるため、段階的に閾値の正確性、欠陥判定の正確性などを高めることができる。
The combination of the identification symbol 70 of the solar cell, the identification symbol 72 representing the threshold information, and the
これらの識別線や識別記号のマーキング作業は、公知のレーザ照射装置を使用することで実現することができる。またこのレ−ザ照射装置からなるマーキング部は、本発明の太陽電池セルの検査装置内に設けることもできるし、マーキング装置として太陽電池セルの検査装置外に別置とすることもできる。 The marking operation of these identification lines and identification symbols can be realized by using a known laser irradiation apparatus. Moreover, the marking part which consists of this laser irradiation apparatus can also be provided in the test | inspection apparatus of the photovoltaic cell of this invention, and can also be set apart as a marking apparatus outside the test | inspection apparatus of a photovoltaic cell.
そして、マーキングは、太陽電池セルの良品の場合や欠陥が無いと判定された領域には、図1(b)の裏面電極13側(受光面と反対側)が好ましい。但し欠陥を有した太陽電池セルの場合には、図1(a)の受光面側でも良い。これは、後で太陽電池セルの再利用される面にはできるだけ受光を妨げる後加工をしない方が好ましいからである。さらに後で廃棄される可能性が高い部分では、間違えて良品として利用されないよう、目立つ部分となる受光面にマーキングするのが好ましい。
And the marking is preferably on the
以上説明した実施の形態によれば、一つの太陽電池セルの内に欠陥があっても、部分的に使用できる部分はその部分だけでも利用できることで再利用性(利用効率)が高くなる。また使用経過よる太陽電池セルの欠陥の追移分析が可能になって、太陽電池セル検査装置の欠陥判定の正確度が益々高くなる。 According to the embodiment described above, even if there is a defect in one solar battery cell, the reusability (utilization efficiency) is increased because only a part that can be partially used can be used. Further, it becomes possible to carry out a follow-up analysis of defects in the solar battery cells over the course of use, and the accuracy of the defect determination of the solar battery cell inspection apparatus becomes higher and higher.
本発明は実施例1と実施例2に限定されるものではなく、種々の変形した実施形態を採用することが可能であるのはもちろんである。 The present invention is not limited to the first embodiment and the second embodiment, and various modified embodiments can be adopted as a matter of course.
図14は実施例1と実施例2の変形例を示す図である。図14に示す通り、マーキング装置80は太陽電池セルの検査装置の外部に別置に設けても良い。この場合は、太陽電池セルの検査装置の欠陥判定部2A、欠陥領域判定部2Bおよび品質判定部28からの情報はマーキング装置80に転送されて、太陽電池セルにマーキングされる。
FIG. 14 is a diagram showing a modification of the first embodiment and the second embodiment. As shown in FIG. 14, the marking
実施例1と実施例2の他の変形例として、生産ラインのタクトタイムの関係で太陽電池セルの検査装置とマーキング装置の間に既に欠陥検査した太陽電池を複数枚待機させることが必要な場合などは、太陽電池セルの検査装置内のマーキング部7で太陽電池セルを識別する記号のみを付与し、残りの識別記号や識別線(欠陥が有る領域と欠陥の無い領域の境界線)などの情報は、太陽電池セルの検査装置外のマーキング装置80に転送しマーキングする形態としても良い。
As another modification of Example 1 and Example 2, when it is necessary to wait for a plurality of solar cells that have already been inspected for defects between the solar cell inspection device and the marking device due to the tact time of the production line And the like, only a symbol for identifying the solar cell is given by the marking unit 7 in the solar cell inspection apparatus, and the remaining identification symbols and identification lines (border line between the defect-free region and the defect-free region) The information may be transferred and marked to a marking
実施例1と実施例2の他の変形例として以下のような実施形態を採用することもできる。例えば太陽電池セルの識別記号のみマーキングしておき、欠陥領域の判定情報が電子的情報でパソコンなどに格納され、別の加工装置に太陽電池セルをセットした後、加工装置にて太陽電池セルに付与された識別記号を読み取り、必要な欠陥領域の判定情報や境界線情報をパソコンから読み出し、その情報に基づき、太陽電池セルを切断加工し不要部分を除去することもできる。その際、再利用する側の太陽電池セルには、欠陥判定の閾値情報をマーキングする。更に、太陽電池セルに識別情報等を付与する方法は、レーザマーキングだけでなくRFタグなどの識別手段を採用することもできる。RFタグが太陽電池セルに付与されている場合には、太陽電池セルの識別記号や欠陥領域の判定情報をRFタグの中に保存することもできる。したがって太陽電池セルを組み込んだ太陽電池モジュールにて性能低下などの不具合が発生した場合に、その太陽電池に付与されたRFタグの電子情報中から必要な情報を入手し検査装置の欠陥判定の閾値などの判定方法を修正し欠陥判定の正確度を向上させることができる。 The following embodiments can be adopted as other modifications of the first and second embodiments. For example, only the identification symbol of the solar battery cell is marked, and the determination information of the defect area is stored in a personal computer or the like with electronic information, and after setting the solar battery cell in another processing apparatus, It is also possible to read a given identification symbol, read necessary defect area determination information and boundary line information from a personal computer, and based on that information, the solar cell is cut to remove unnecessary portions. At this time, threshold information for defect determination is marked on the solar cell to be reused. Furthermore, as a method of giving identification information or the like to the solar battery cell, not only laser marking but also identification means such as an RF tag can be adopted. When the RF tag is attached to the solar battery cell, the solar cell identification symbol and the defect area determination information can be stored in the RF tag. Therefore, when a malfunction such as a decrease in performance occurs in a solar battery module incorporating a solar battery cell, the necessary information is obtained from the electronic information of the RF tag attached to the solar battery, and the threshold for determining the defect of the inspection device It is possible to improve the accuracy of defect determination by correcting the determination method.
1 太陽電池セル
2 太陽電池セルの検査装置
3 通電部
4 位置決め部
5 撮像部
7 マーキング部
8 操作部
9 表示部
10 半導体基板
11 フィンガー部
12 バスバー部
13 裏面側電極
14 接続部
2A 欠陥判定部
2B 欠陥領域判定部
20 制御部
21 通電制御部
22 位置制御部
23 画像取得部
24 クラック位置情報生成部
25 クラック判定部
26 暗領域位置情報生成部
27 暗領域判定部
28 品質判定部
29 表示制御部
30 セル画像
32a、32b、32c クラック
34a、34b、36 暗領域
37 結晶粒界
42a、42b、42c,46、47 明度の変化の境界部分
57 結晶粒界37に対応する暗領域
61a、61b 欠陥のある領域を示すためにマーキングされる識別記号
62a、62b 太陽電池セルの識別記号
63a、63b 判定の階級を表す識別記号
64、65 境界線
70 太陽電池の識別記号
71 階級情報を表す識別記号
72 閾値の情報を表す識別記号
80 マーキング装置
100 太陽電池セルの検査装置
110 暗室
120 CCDカメラ
130 太陽電池セル
140 電源
150 画像処理装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solar cell 2 Solar cell inspection apparatus 3
Claims (24)
前記太陽電池セル画像により太陽電池セルの欠陥を判定する欠陥判定部と、
を含む太陽電池セルの検査装置において、
前記太陽電池セルに、少なくとも太陽電池セルの識別記号情報をマーキングするため、前記太陽電池セルの検査装置の外部に設けられたマーキング装置を含む太陽電池セルの検査装置。 An image acquisition unit for acquiring a cell image representing a solar cell in an energized state;
A defect determination unit for determining a defect of a solar battery cell from the solar battery image;
In a solar cell inspection apparatus including
A solar cell inspection apparatus including a marking device provided outside the solar cell inspection apparatus for marking at least identification information of the solar battery cell on the solar battery cell.
前記太陽電池セル画像により太陽電池セルの欠陥を判定する欠陥判定部と、
を含む太陽電池セルの検査装置において、
前記太陽電池セルに、少なくとも太陽電池セルの識別記号情報をマーキングするため、前記太陽電池セルの検査装置の内部に設けられたマーキング部を含む太陽電池セルの検査装置。 An image acquisition unit for acquiring a cell image representing a solar cell in an energized state;
A defect determination unit for determining a defect of a solar battery cell from the solar battery image;
In a solar cell inspection apparatus including
A solar cell inspection device including a marking portion provided inside the solar cell inspection device for marking at least identification information of the solar cell on the solar cell.
前記太陽電池セル画像により太陽電池セルの欠陥を判定する欠陥判定部と、
を含む太陽電池セルの検査装置において、
前記太陽電池セルに、少なくとも太陽電池セルの識別記号情報をマーキングするため、前記太陽電池セル検査装置の内部のマーキング部及び外部に設けられるマーキング装置を含む太陽電池セルの検査装置。 An image acquisition unit for acquiring a cell image representing a solar cell in an energized state;
A defect determination unit for determining a defect of a solar battery cell from the solar battery image;
In a solar cell inspection apparatus including
An apparatus for inspecting a solar battery cell, comprising: a marking portion inside the solar cell inspection apparatus and a marking device provided outside the solar cell in order to mark at least solar cell identification symbol information on the solar battery cell.
前記太陽電池セルの撮影画像により、少なくともクラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを欠陥になる可能性があると判定し、前記撮影画像を2値化処理して得られた画像と前記クラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを比べて正確に欠陥を判定する欠陥判定部と、
を含む太陽電池セルの検査装置。 An image acquisition unit for acquiring a cell image representing a solar cell in an energized state;
It is determined that there is a possibility that at least a dark region information brighter than a crack and a chip formed by a crack may be a defect, based on a photographed image of the solar battery cell, and an image obtained by binarizing the photographed image; A defect determination unit that accurately determines a defect by comparing the crack and the dark area information brighter than a chip formed by the crack;
Inspecting device for solar battery cell.
前記太陽電池セル画像により太陽電池セルの欠陥を判定する欠陥判定部と、
前記太陽電池セルの欠陥判定結果に基づき太陽電池セルに欠陥の有る領域と欠陥の無い領域を判定して、少なくとも、前記太陽電池セルの欠陥の有る領域と欠陥の無い領域の境界とを識別できる境界線情報を含む欠陥領域の判定情報を生成する欠陥領域判定部と、
を含む太陽電池セルの検査装置。 An image acquisition unit for acquiring a cell image representing a solar cell in an energized state;
A defect determination unit that determines a defect of the solar battery cell from the solar battery image;
Based on the defect determination result of the solar battery cell, it is possible to determine a region where the solar battery cell has a defect and a region without a defect, and at least identify a boundary between the solar cell with a defect and a region without the defect. A defect region determination unit that generates determination information of a defect region including boundary line information;
Inspecting device for solar battery cell.
前記太陽電池セルの画像により、少なくともクラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを欠陥になる可能性があると判定して太陽電池セルの欠陥を判定する工程と、
前記撮影画像を2値化して得られた画像と前記クラックとクラックによりできた欠けより明るい暗領域情報とを比べてノイズによる暗領域を削除して暗領域を判定する工程と、
前記判定した欠陥と暗領域から得られたセル画像とを基に太陽電池セルの品質を判定する工程と
を含む太陽電池セルの検査方法。 Obtaining a cell image representing a solar cell in an energized state;
The step of determining the defect of the solar cell by determining that there is a possibility that the image of the solar cell is likely to be a defect at least with a crack and a dark area information brighter than the chipping caused by the crack,
Comparing the image obtained by binarizing the captured image with the dark region information brighter than the crack and the chipped portion caused by the crack, and determining the dark region by deleting the dark region due to noise;
A step of determining the quality of the solar battery cell based on the determined defect and the cell image obtained from the dark region.
前記欠陥に含まれるフィンガー断線による暗領域は、その暗領域による境界部分の形状、その暗領域の形状とその暗領域の明度のうち、少なくともいずれか一つによって判定する、
請求項20に記載の太陽電池セルの検査方法。 The crystal grain boundary not included in the defect is determined by at least one of the shape of the boundary portion by the crystal grain boundary and the aspect ratio of the shape of the crystal grain boundary in the cell image,
The dark region due to the finger break included in the defect is determined by at least one of the shape of the boundary portion by the dark region, the shape of the dark region and the brightness of the dark region,
The solar cell inspection method according to claim 20.
欠陥が無い領域がある程度生じると、欠陥の無い領域と欠陥の有る領域との境界線情報などの識別情報を生成する請求項20と請求項21とのいずれかに記載の太陽電池セルの検査方法。 In the determination, the cell image including the dark region due to the defect is reconstructed using only the dark portion exceeding the threshold value using the threshold value, and the change of the threshold value is repeated until a defect-free region occurs to some extent,
The method for inspecting a solar battery cell according to any one of claims 20 and 21, wherein identification information such as boundary information between a region without a defect and a region with a defect is generated when a region without a defect is generated to some extent. .
前記太陽電池セル画像により欠陥を判定する処理と、
前記撮影画像から暗領域を判定する処理と、
前記欠陥による暗部を含むセル画像を太陽電池セルのバスバーと垂直方向で走査させ、欠陥のない領域を判定する処理と、
をコンピュータに実行させる太陽電池セルの検査プログラムを記録した記録媒体。 A process of obtaining a cell image representing a solar cell in an energized state;
A process for determining a defect from the solar cell image;
A process of determining a dark area from the captured image;
A process of scanning a cell image including a dark part due to the defect in a direction perpendicular to the bus bar of the solar battery cell, and determining a region without a defect;
A recording medium recording a solar cell inspection program for causing a computer to execute the above.
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013008903A (en) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Kyocera Corp | Test device and test method for solar cell element |
JP2014085113A (en) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Shimadzu Corp | Inspection device and inspection method |
JP2016029345A (en) * | 2014-07-25 | 2016-03-03 | 株式会社Screenホールディングス | Inspection device and inspection method |
JPWO2016110970A1 (en) * | 2015-01-07 | 2017-04-27 | 三菱電機株式会社 | Method for manufacturing solar battery cell |
CN106769892A (en) * | 2016-08-23 | 2017-05-31 | 协鑫电力设计研究有限公司 | Photovoltaic array dust recognition methods |
JP2019138783A (en) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 名古屋電機工業株式会社 | Flaw detector, method for detecting flaws, and flaw detection program |
JP6970317B1 (en) * | 2021-06-02 | 2021-11-24 | 株式会社ミライト | Aircraft for detecting abnormalities in solar cell modules and their flight control methods |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8768040B2 (en) * | 2011-01-14 | 2014-07-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Substrate identification and tracking through surface reflectance |
CN106230112A (en) * | 2016-07-19 | 2016-12-14 | 吕世全 | A kind of distributed photovoltaic power generation station intelligence control operation management apparatus |
CN109004061B (en) * | 2018-06-28 | 2023-07-18 | 华南理工大学 | Electric injection annealing test device and method for crystalline silicon photovoltaic solar cell |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04106460A (en) * | 1990-08-28 | 1992-04-08 | Toshiba Corp | Detecting method of defect |
JP3618865B2 (en) * | 1996-01-05 | 2005-02-09 | キヤノン株式会社 | Photovoltaic element characteristic inspection apparatus and manufacturing method |
JP3898326B2 (en) * | 1998-02-10 | 2007-03-28 | 大日本印刷株式会社 | Production process management method and substrate with ID |
US7601941B2 (en) * | 2004-11-30 | 2009-10-13 | National University Corporation NARA Institute of Science and Technology | Method and apparatus for evaluating solar cell and use thereof |
JPWO2007125778A1 (en) * | 2006-04-28 | 2009-09-10 | シャープ株式会社 | Solar cell module evaluation apparatus, solar cell module evaluation method, and solar cell module manufacturing method |
DE112007001071B4 (en) * | 2006-05-02 | 2014-05-08 | National University Corporation NARA Institute of Science and Technology | Method and device for evaluating solar cells and their use |
JP4915991B2 (en) * | 2006-07-20 | 2012-04-11 | 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 | Solar cell defect inspection apparatus and method |
-
2008
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-
2009
- 2009-12-01 WO PCT/JP2009/070443 patent/WO2010064720A1/en active Application Filing
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013008903A (en) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Kyocera Corp | Test device and test method for solar cell element |
JP2014085113A (en) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Shimadzu Corp | Inspection device and inspection method |
JP2016029345A (en) * | 2014-07-25 | 2016-03-03 | 株式会社Screenホールディングス | Inspection device and inspection method |
JPWO2016110970A1 (en) * | 2015-01-07 | 2017-04-27 | 三菱電機株式会社 | Method for manufacturing solar battery cell |
CN106769892A (en) * | 2016-08-23 | 2017-05-31 | 协鑫电力设计研究有限公司 | Photovoltaic array dust recognition methods |
JP2019138783A (en) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 名古屋電機工業株式会社 | Flaw detector, method for detecting flaws, and flaw detection program |
JP6970317B1 (en) * | 2021-06-02 | 2021-11-24 | 株式会社ミライト | Aircraft for detecting abnormalities in solar cell modules and their flight control methods |
JP2022185512A (en) * | 2021-06-02 | 2022-12-14 | 株式会社ミライト | Flying body for detecting abnormality of solar cell module and flight control method of the same |
Also Published As
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