JP2010113253A - 表示装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板GAの上側に積層されるゲート電極GTと、その上側に積層されるソース電極ST及びドレイン電極DTと、これらの間に積層されてソース電極ST及びドレイン電極DT間の電流を制御する第1半導体膜Sと、第1半導体膜Sのソース側端部SRとドレイン側端部DRを露出させて第1半導体膜Sの上側に接して積層される絶縁膜ESと、ソース側端部SRとソース電極STとの間と、ドレイン側端部DRとドレイン電極DTとの間の双方で積層される第2半導体膜ASと第3半導体膜DSと、を含み、第3半導体膜DSは、ソース電極ST及びドレイン電極DTとオーミック接合し、第2半導体膜ASは、第3の半導体膜DSの下側に、第3の半導体膜DSよりも高抵抗となるように形成されることを特徴とする表示装置。
【選択図】図3
Description
Claims (7)
- 透明基板の上側に積層されるゲート電極と、
前記ゲート電極の上側に積層されるソース電極及びドレイン電極と、
前記ゲート電極と、前記ソース電極及び前記ドレイン電極との間に積層されて、前記ソース電極及び前記ドレイン電極間の電流を制御する第1の半導体膜と、
前記第1の半導体膜のソース電極側端部とドレイン電極側端部を露出させて、前記第1の半導体膜の上側に接して積層される絶縁膜と、
前記ソース電極側端部と前記ソース電極との間と、前記ドレイン電極側端部と前記ドレイン電極との間の双方において積層される第2の半導体膜と第3の半導体膜と、を含み、
前記第3の半導体膜は、前記ソース電極及び前記ドレイン電極とオーミック接合し、
前記第2の半導体膜は、前記第3の半導体膜の下側に、前記第3の半導体膜よりも高抵抗となるように形成される、
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項1の表示装置において、
前記第2の半導体膜は、所定材料で形成され、
前記第3の半導体膜は、前記所定材料に不純物が添加されて形成される、
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項2の表示装置において、
前記第1の半導体膜は、多結晶シリコン又は微結晶シリコンで形成され、
前記第2の半導体膜は、非晶質シリコンで形成され、
前記第3の半導体膜は、前記非晶質シリコンに前記不純物が添加されて形成される、
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項1の表示装置において、
前記第2の半導体膜と前記第3の半導体膜は、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と一体的に形成されて、
前記ソース電極と、該ソース電極と一体的に形成される前記第2の半導体膜と前記第3の半導体膜は、前記絶縁膜の一部と前記ソース電極側端部を覆い、
前記ドレイン電極と、該ドレイン電極と一体的に形成される前記第2の半導体膜と前記第3の半導体膜は、前記絶縁膜の一部と前記ドレイン電極側端部を覆う、
ことを特徴とする表示装置。 - ゲート電極が発生させる電界により、ソース電極及びドレイン電極間の電流を制御する第1の半導体膜を、該ゲート電極の上側に形成する第1半導体膜形成工程と、
前記第1の半導体膜の上側に接して絶縁膜を積層し、該絶縁膜から前記第1の半導体膜の外周部を露出させる絶縁膜形成工程と、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極とオーミック接合する第3の半導体膜を形成する第3半導体膜形成工程と、
前記第3の半導体膜よりも高抵抗となる第2の半導体膜を、前記第3の半導体膜の下側に積層する第2半導体膜形成工程と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極を積層し、これらの形状をエッチングして加工するソースドレイン電極加工工程と、
前記ソースドレイン電極形成工程において加工された前記ソース電極及び前記ドレイン電極の形状に従って、前記第3の半導体膜と前記第2の半導体膜をエッチングし、前記ソース電極及び前記ドレイン電極から露出した前記第1の半導体膜の前記外周部をエッチングして加工する半導体膜加工工程と、を含む、
ことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 請求項5の表示装置の製造方法であって、
前記第2半導体膜形成工程は、所定材料を積層することにより第2の半導体膜を形成し、
前記第3半導体膜形成工程は、前記第2半導体膜形成工程における前記所定材料の積層を継続しつつ不純物を添加することにより、前記第3の半導体膜を形成する、
ことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 請求項5の表示装置の製造方法であって、
前記第2半導体膜形成工程は、所定材料を積層することにより第2の半導体膜を形成し、
前記第3半導体膜形成工程は、前記第2半導体膜形成工程における前記所定材料の積層を継続する積層工程と、該積層工程により積層された前記所定材料に不純物を打込むことにより前記第3の半導体膜を形成する不純物打込み工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
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