JP2010112919A - Probe unit for electrical inspection, electrical inspection device, and lighting inspection device - Google Patents

Probe unit for electrical inspection, electrical inspection device, and lighting inspection device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe unit capable of performing easily maintenance inspection, repair work or the like of a signal circuit substrate, and to provide an electrical inspection device and a lighting inspection device. <P>SOLUTION: This probe unit includes: at least one probe assembly provided with a probe contactable with an electrode of an inspection object for inspecting the inspection object on an inspection table; a support base member supported by a fixing board; a suspension mechanism for supporting the probe assembly with the support base member over the inspection table in order that the probe is brought into contact with the electrode; and a signal circuit substrate supported by the suspension mechanism under the suspension mechanism, and connected electrically to the probe. The probe unit also includes a pivoting mechanism for supporting pivotally the suspension mechanism on the support base member through a lateral shaft, and a coupling means for fixing releasably the suspension mechanism on the support base member so that pivotal constraint of the suspension mechanism relative to the support base member can be released. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、表示パネルの電気的検査に用いるのに好適なプローブユニット、該プローブユニットが組み込まれた電気的検査装置および該電気的検査装置を用いた点灯検査装置に関する。   The present invention relates to a probe unit suitable for use in electrical inspection of a display panel, an electrical inspection device incorporating the probe unit, and a lighting inspection device using the electrical inspection device.
製造工程を経た液晶パネルは、一般的に、画素欠陥のような欠陥の有無を調べるための点灯検査を受ける。この点灯検査では、被検査体である液晶パネルに駆動信号を供給する必要がある。そのため、点灯検査装置には、その検査ステーションとして、検被検査体である液晶パネルがその電極を上方に向けて配置される検査台と、被検査体の上方に設けられた固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置が設けられている。   A liquid crystal panel that has undergone a manufacturing process generally undergoes a lighting inspection for examining the presence or absence of defects such as pixel defects. In this lighting inspection, it is necessary to supply a drive signal to a liquid crystal panel which is an object to be inspected. Therefore, in the lighting inspection apparatus, as an inspection station, a liquid crystal panel as an object to be inspected is supported by an inspection table in which the electrode is directed upward and a fixed frame provided above the object to be inspected. There is provided an electrical inspection apparatus including the probe unit.
この種の電気的検査装置では、例えば特許文献1で示されているように、検査台上に被検査体である矩形の液晶パネルが載せられる。前記検査台の上方には、矩形の液晶パネルの各辺に対応する各辺を有する矩形の固定枠体が配置されており、該固定枠体の互いに直角な隣合う一組の各辺に沿って、多数のプローブ組立体が配列されている。より詳細には、前記固定枠体の互いに隣り合う一組の一辺に、該辺の伸長方向へ移動可能なプローブステージ板が調整可能にそれぞれ支持されており、この各プロステージ板に、プローブユニットが取り外し可能に取り付けられる。   In this type of electrical inspection apparatus, for example, as shown in Patent Document 1, a rectangular liquid crystal panel as an object to be inspected is placed on an inspection table. Above the inspection table, a rectangular fixed frame having sides corresponding to the sides of the rectangular liquid crystal panel is disposed, and along a pair of adjacent sides perpendicular to each other of the fixed frame. Thus, a large number of probe assemblies are arranged. More specifically, probe stage plates that are movable in the extending direction of the sides are supported on one side of a set of the fixed frame members that are adjacent to each other, and each prostage plate is provided with a probe unit. Is removably attached.
各プローブユニットは、前記プローブステージ板に取り外し可能に固定されるサポートベース部材と、該各サポートベース部材に支持される複数のプローブ組立体とを備える。各プローブ組立体は、それらのプローブを対応する液晶パネルの電極に対向するように、それぞれの懸架機構を介して前記サポートベース部材に支持されている。各懸架機構には、その下方で信号回路基板が支持されており、各信号回路基板に設けられたICチップで構成された液晶駆動IC回路を経て前記プローブ組立体の所定のプローブに駆動信号が供給される。   Each probe unit includes a support base member that is detachably fixed to the probe stage plate, and a plurality of probe assemblies that are supported by the support base member. Each probe assembly is supported by the support base member via a respective suspension mechanism so that the probes face the electrodes of the corresponding liquid crystal panel. A signal circuit board is supported below each suspension mechanism, and a drive signal is sent to a predetermined probe of the probe assembly via a liquid crystal drive IC circuit composed of an IC chip provided on each signal circuit board. Supplied.
したがって、前記点灯検査装置では、前記検査台上の液晶パネルは、該液晶パネルに設けられた各電極と、前記固定枠体に支持された各プローブユニットのプローブとが整合する位置に、相対位置を調整される。この位置調整後、前記検査台の前記固定枠体への移動により、各プローブユニットに設けられた前記各プローブ組立体のプローブの先端が前記液晶パネルの対応する電極に接触されると、前記ICチップを経て所定のプローブから対応する前記電極に駆動信号が送られる。この駆動信号により、前記液晶は点灯状態におかれ、所定の検査を受ける。   Therefore, in the lighting inspection apparatus, the liquid crystal panel on the inspection table is positioned at a position where each electrode provided on the liquid crystal panel is aligned with a probe of each probe unit supported by the fixed frame. Will be adjusted. After the position adjustment, when the tip of the probe of each probe assembly provided in each probe unit is brought into contact with the corresponding electrode of the liquid crystal panel by the movement of the inspection table to the fixed frame body, the IC A driving signal is sent from the predetermined probe to the corresponding electrode through the chip. By this drive signal, the liquid crystal is turned on and undergoes a predetermined inspection.
特開2001−74778号公報JP 2001-74778 A
しかしながら、従来の前記検査装置では、各プローブへの駆動信号を生成する液晶駆動IC回路を含む信号回路基板は、各プローブ組立体が集合的に設けられたプローブユニットの懸架機構毎に、該懸架機構の下方で支持されている。また、各懸架機構の下方には、被検査体である液晶パネルを載せる検査台が位置する。そのため、前記信号回路基板の保守点検作業あるいは該信号回路基板の主要構成要素である前記ICチップの故障による該チップの取り換えのためには、作業者は、プローブユニットが支持された前記固定枠体の下方から該固定枠体とその下方に位置する検査台との間の狭い間隙を経て作業を行う必要があり、作業者は極めて窮屈な姿勢を強いられていた。   However, in the conventional inspection apparatus, a signal circuit board including a liquid crystal driving IC circuit that generates a driving signal for each probe is provided for each suspension mechanism of the probe unit in which each probe assembly is collectively provided. Supported below the mechanism. In addition, an inspection table on which a liquid crystal panel, which is an object to be inspected, is positioned below each suspension mechanism. Therefore, for maintenance and inspection work of the signal circuit board or replacement of the chip due to a failure of the IC chip that is a main component of the signal circuit board, an operator must fix the fixed frame body on which the probe unit is supported. Therefore, it is necessary to work through a narrow gap between the fixed frame body and the inspection table located below, and the operator is forced to take a very tight posture.
また、この窮屈な姿勢での作業を避けるためには、複数のプローブ組立体が集合的に配置された各プローブユニットの前記サポートベース部材を前記プローブステージ板から取り外す必要がある。この取り外されたプローブユニットは、その姿勢を反転させることにより、各懸架機構の下方に支持された前記信号回路基板を作業者に対面するように、上方に向けることができるので、作業者に窮屈な姿勢を強いることなく前記信号回路基板の保守点検あるいは修理等の作業が可能となる。しかしながら、各プローブユニットは、一般的に総重量が30kgを超えることから、このような重重量のプローブユニットをサポート部材から取り外し、取り外されたプローブユニットの姿勢を個々に反転させる作業は容易ではない。   In order to avoid the work in this cramped posture, it is necessary to remove the support base member of each probe unit in which a plurality of probe assemblies are collectively arranged from the probe stage plate. By reversing the posture of the removed probe unit, the signal circuit board supported below each suspension mechanism can be directed upward so as to face the operator. The signal circuit board can be maintained, inspected, or repaired without forcing a proper posture. However, since the total weight of each probe unit generally exceeds 30 kg, it is not easy to remove such a heavy probe unit from the support member and individually reverse the posture of the removed probe unit. .
そこで、本発明の目的は、信号回路基板の保守点検あるいはその構成要素の取り換え作業を伴う修理作業等を容易に行えるプローブユニット、電気的検査装置および点灯検査装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a probe unit, an electrical inspection device, and a lighting inspection device that can easily perform maintenance work of a signal circuit board or repair work involving replacement of its components.
本発明に係るプローブユニットは、固定板の下方に配置された検査台上の被検査体の検査のために該被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられた少なくとも1つのプローブ組立体と、前記固定板に支持されるサポートベース部材と、前記プローブを前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを含むプローブユニットであって、さらに、前記懸架機構を前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを含む。   A probe unit according to the present invention includes at least one probe assembly provided with a probe capable of contacting an electrode of an object to be inspected on an inspection table disposed below a fixed plate. A support base member supported by the fixing plate, a suspension mechanism for supporting the probe assembly on the support base member above the inspection table to bring the probe into contact with the electrodes, and an inspection of the inspection object An electrical circuit for generating an electrical signal is incorporated into the probe to supply the electrical signal via the probe to the electrode supported by the suspension mechanism below the suspension mechanism and connected to the probe. A probe unit including a signal circuit board electrically connected to the support base member, the probe base unit being pivotally supported on the support base member via a horizontal axis. Comprising a pivot mechanism, and coupling means for securing the releasably said suspension mechanism constraint of pivoting of the suspension mechanism for said support base member to the support base member.
本発明に係る前記プローブユニットでは、該プローブユニットの前記懸架機構に支持された信号回路基板の点検あるいは取り換え作業に際し、前記結合手段による前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の拘束を解除した後、該懸架機構およびこれに支持されたプローブ組立体を前記枢軸機構の横軸の回りに一体的に回転させることができる。これにより、前記プローブユニットおよび該プローブユニットが取り付けられた前記サポートベース部材を前記固定枠体から分離することなく、前記懸架機構の下方に配置された前記信号回路基板が作業者に向くように、前記プローブユニットの懸架機構の姿勢を変えることができる。   In the probe unit according to the present invention, after inspecting or replacing the signal circuit board supported by the suspension mechanism of the probe unit, after releasing the restraint of the suspension mechanism related to the support base member by the coupling means, The suspension mechanism and the probe assembly supported by the suspension mechanism can be integrally rotated around the horizontal axis of the pivot mechanism. Thus, without separating the probe unit and the support base member to which the probe unit is attached from the fixed frame body, the signal circuit board disposed below the suspension mechanism is directed toward an operator. The posture of the suspension mechanism of the probe unit can be changed.
したがって、重重量の前記プローブユニットを前記固定枠体から取り外すことなく、しかも前記各懸架機構にその下方で支持された前記信号回路基板への作業を作業者に前記懸架機構の下に潜り込むような窮屈な姿勢を強要することなく、前記信号回路基板の保守点検あるいは該信号回路基板に設けられる駆動ICチップの取り換え作業等が従来に比較して容易に行える。   Therefore, without detaching the heavy probe unit from the fixed frame body, the operator works the signal circuit board supported by the suspension mechanisms below the suspension mechanism under the suspension mechanism. The maintenance and inspection of the signal circuit board or the replacement work of the drive IC chip provided on the signal circuit board can be easily performed as compared with the conventional technique without requiring a tight posture.
前記枢軸機構には、前記サポートベース部材に前記横軸を介して枢動可能に連結されたプローブベース板を設けることができる。このプローブベース板に前記プローブ組立体を含む複数のプローブ組立体をそれぞれ前記懸架機構を含む複数の懸架機構を介して支持することができる。この場合、前記結合手段は、前記サポートベース部材に関する前記プローブベース板の枢動の拘束を解除可能に該プローブベース板を前記サポートベース部材に固定することができる。   The pivot mechanism can be provided with a probe base plate that is pivotably coupled to the support base member via the lateral axis. A plurality of probe assemblies including the probe assembly can be supported on the probe base plate via a plurality of suspension mechanisms including the suspension mechanism. In this case, the coupling means can fix the probe base plate to the support base member so as to be able to release the pivotal restriction of the probe base plate with respect to the support base member.
前記固定手段は、前記プローブベース板の下面から前記サポートベース部材の下面に突出する連結部と、該連結部と前記サポートベース部材とを解除可能に結合する締結具とで構成することができる。   The fixing means may be composed of a connecting portion that protrudes from the lower surface of the probe base plate to the lower surface of the support base member, and a fastener that releasably connects the connecting portion and the support base member.
前記締結具には、前記プローブベース板の上面からその下面へ向けて形成された貫通穴を通り、また該貫通穴に整合すべく前記連結部に形成された雌ねじ穴に螺合する締め付けねじ部材を用いることができる。   A fastening screw member that passes through a through hole formed from the upper surface of the probe base plate toward the lower surface of the probe base plate and is screwed into a female screw hole formed in the connecting portion so as to be aligned with the through hole. Can be used.
前記プローブベース板には、前記プローブ組立体の前記プローブおよび前記被検査体の対応する前記電極の相互の位置合わせに用いられるアライメントカメラを支持することができる。   The probe base plate can support an alignment camera used for mutual alignment of the probe of the probe assembly and the corresponding electrode of the device under test.
本発明に係る電気的検査装置は、板状の被検査体に設けられた電極を上方に向けて前記被検査体が配置される検査台と、該検査体の上方に設けられた固定枠体と、該固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置であって、前記プローブユニットは、前記固定枠体に支持されるサポートベース部材と、前記検査台上の前記被検査体の前記電極に接触可能のプローブが設けられた複数のプローブ組立体と、該プローブ組立体のそれぞれの前記プローブを対応する前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体のそれぞれを前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを備え、さらに、前記プローブユニットは、複数の前記懸架機構をそれぞれ前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを備える。   An electrical inspection apparatus according to the present invention includes an inspection table on which the inspection object is arranged with an electrode provided on the plate-shaped inspection object facing upward, and a fixed frame provided above the inspection object And a probe unit supported by the fixed frame body, wherein the probe unit comprises a support base member supported by the fixed frame body and the object to be inspected on the inspection table. A plurality of probe assemblies provided with probes capable of contacting the electrodes, and each of the probe assemblies above the inspection table to bring each probe of the probe assembly into contact with the corresponding electrode. A suspension mechanism that is supported by the support base member and an electric circuit that generates an electrical signal for inspecting the object to be inspected are incorporated, supported by the suspension mechanism below the suspension mechanism, and attached to the probe. And a signal circuit board electrically connected to the probe to supply the electrical signal to the electrode via the probe, and the probe unit includes a plurality of the suspension mechanisms, respectively, the support base. A pivot mechanism that is pivotally supported by a member via a horizontal axis; and a coupling means that fixes the suspension mechanism to the support base member so as to be able to release the pivotal restraint of the suspension mechanism with respect to the support base member. .
本発明に係る前記電気的検査装置によれば、前記プローブユニットにおけると同様に、該プローブユニットの前記懸架機構に支持された信号回路基板の点検あるいは取り換え作業に際し、前記結合手段による前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の拘束を解除した後、該懸架機構およびこれに支持されたプローブ組立体を前記枢軸機構の横軸の回りに一体的に回転させることができる。これにより、前記プローブユニットおよび該プローブユニットが取り付けられた前記サポートベース部材を前記固定枠体から分離することなく、前記懸架機構の下方に配置された前記信号回路基板が作業者に向くように、前記プローブユニットの懸架機構の姿勢を変えることができる。   According to the electrical inspection apparatus of the present invention, as in the probe unit, the support base member by the coupling means is used when inspecting or replacing the signal circuit board supported by the suspension mechanism of the probe unit. The suspension mechanism and the probe assembly supported by the suspension mechanism can be integrally rotated around the horizontal axis of the pivot mechanism. Thus, without separating the probe unit and the support base member to which the probe unit is attached from the fixed frame body, the signal circuit board disposed below the suspension mechanism is directed toward an operator. The posture of the suspension mechanism of the probe unit can be changed.
したがって、重重量の前記プローブユニットを前記固定枠体から取り外すことなく、また作業者に前記懸架機構の下に潜り込むような窮屈な姿勢を強要することなく、前記各懸架機構にその下方で支持された前記信号回路基板の保守点検および修理作業等が従来に比較して容易に行える。   Therefore, the heavy weight probe unit is supported by each suspension mechanism below without removing the heavy probe unit from the fixed frame body and without forcing the operator to have a cramped posture to sink under the suspension mechanism. In addition, maintenance inspection and repair work of the signal circuit board can be performed more easily than in the past.
前記固定枠体に該枠体の少なくとも一辺に沿って移動可能にプローブステージ板を支持し、該プローブステージ板に前記サポートベース部材を取り外し可能に結合することができる。   A probe stage plate is supported on the fixed frame body so as to be movable along at least one side of the frame body, and the support base member can be detachably coupled to the probe stage plate.
本発明に係る点灯検査装置は、前記した本発明に係る電気的検査装置と、互いに並んで配置された第1の窓および第2の窓を有する筐体とを含むことができる。前記被検査体として表示用パネルが取り扱われ、前記筐体内の前記第1の窓に対応した位置で検査ステーションを構成すべく前記電気的検査装置が前記筐体内に配置され、前記筐体内の前記第2の窓に対応した位置には前記検査ステーションとの間で前記表示用パネルの授受を行うパネル受け渡しステーションを構成するパネル受け渡し装置が配置される。   The lighting inspection apparatus according to the present invention can include the above-described electrical inspection apparatus according to the present invention and a housing having a first window and a second window arranged side by side. A display panel is handled as the object to be inspected, and the electrical inspection device is disposed in the casing to form an inspection station at a position corresponding to the first window in the casing, A panel transfer device constituting a panel transfer station for transferring the display panel to and from the inspection station is disposed at a position corresponding to the second window.
本発明によれば、前記したように、前記懸架機構およびこれに支持されたプローブ組立体を枢軸機構の横軸の回りに一体的に回転させることができので、各懸架機構にその下方で支持された前記信号回路基板が作業者による作業が容易となるように、前記懸架機構の姿勢を変えることができる。したがって、重重量のプローブユニットをこれを支持する固定板あるいは固定枠体から取り外すことなく、また、作業者に従来のような窮屈な姿勢を強要することなく、前記信号回路基板の保守点検および修理作業等を容易に行うことが可能となる。   According to the present invention, as described above, the suspension mechanism and the probe assembly supported by the suspension mechanism can be integrally rotated around the horizontal axis of the pivot mechanism, so that each suspension mechanism is supported below the suspension mechanism. The posture of the suspension mechanism can be changed so that the signal circuit board thus made can be easily operated by an operator. Accordingly, the signal circuit board can be maintained and inspected and repaired without removing the heavy probe unit from the fixing plate or fixed frame supporting the probe unit and without forcing the operator to have a conventional cramped posture. Work and the like can be easily performed.
図1は、本発明に係る液晶パネルのための検査装置10の外観を示す。この検査装置10は、長方形の平面形状を有する液晶パネル12の例えば点灯検査に用いられる。検査装置10は、傾斜正面14aを備える筐体14を備え、該筐体の傾斜正面14aには、点灯検査のための第1の窓(開口)16aおよび該第1の窓に隣合う第2の窓(開口)16bが設けられている。   FIG. 1 shows an appearance of an inspection apparatus 10 for a liquid crystal panel according to the present invention. This inspection apparatus 10 is used for, for example, lighting inspection of a liquid crystal panel 12 having a rectangular planar shape. The inspection apparatus 10 includes a housing 14 having an inclined front surface 14a. The inclined front surface 14a of the housing has a first window (opening) 16a for lighting inspection and a second adjacent to the first window. Window (opening) 16b is provided.
筐体14内には、液晶パネル12の点灯検査のための検査ステーション18が第1の窓16aに対応して設けられ、また検査ステーション18との間で被検査体である液晶パネル12を順次やり取りする従来よく知られたパネル受け渡しステーション20が第2の窓16bに対応して、検査ステーション18に並んで設けられている。   An inspection station 18 for lighting inspection of the liquid crystal panel 12 is provided in the housing 14 corresponding to the first window 16a, and the liquid crystal panels 12 that are the objects to be inspected are sequentially connected to the inspection station 18. A conventionally well-known panel transfer station 20 for communication is provided alongside the inspection station 18 corresponding to the second window 16b.
矩形の液晶パネル12の一方の面には、その一方の長辺縁部に沿って多数の電極12a(図5参照)が配列されており、また一方の短辺縁部に沿って同様な多数の電極12aが配列されている。検査ステーション18で点灯検査を受ける液晶パネル12は、従来よく知られているように、図示しない搬送ロボットから筐体14の背面に設けられた出し入れ口22を経てパネル受け渡しステーション20のパネル受け渡し装置24上に、電極12aを上方に向けて搬入される。このパネル受け渡し装置24上の液晶パネル12は、該パネル受け渡し装置の搬送アーム機構24aを経て点灯検査のために検査ステーション18に移送される。また、検査ステーション18で点灯検査を受けた液晶パネル12は、従来よく知られているように、搬送アーム機構24aの取り扱いにより、パネル受け渡し装置24を経て、前記搬送ロボットにより検査装置10から取り出される。   On one surface of the rectangular liquid crystal panel 12, a large number of electrodes 12a (see FIG. 5) are arranged along one long side edge portion, and the same number is also formed along one short side edge portion. Electrodes 12a are arranged. As is well known in the art, the liquid crystal panel 12 subjected to the lighting inspection at the inspection station 18 passes through a loading / unloading port 22 provided on the back surface of the housing 14 from a transfer robot (not shown), and the panel delivery device 24 of the panel delivery station 20. It is carried in with the electrode 12a facing upward. The liquid crystal panel 12 on the panel delivery device 24 is transferred to the inspection station 18 for lighting inspection via the transport arm mechanism 24a of the panel delivery device. Further, as is well known, the liquid crystal panel 12 subjected to the lighting inspection at the inspection station 18 is taken out from the inspection apparatus 10 by the transfer robot through the panel transfer device 24 by handling the transfer arm mechanism 24a. .
検査ステーション18は、図1に示すように、パネル受け渡しステーション20からの液晶パネル12を保持するワークテーブル26と、該ワークテーブルから間隔を置いて配置される固定板たる矩形の固定枠体28と、該固定枠体に支持された複数のプローブユニット30とを備える。   As shown in FIG. 1, the inspection station 18 includes a work table 26 that holds the liquid crystal panel 12 from the panel delivery station 20, and a rectangular fixed frame body 28 that is a fixed plate arranged at a distance from the work table. And a plurality of probe units 30 supported by the fixed frame.
ワークテーブル26は液晶パネル12のための検査台であり、液晶パネル12の電極12aが第1の窓16aに向くように、液晶パネル12を筐体14内で第1の窓16aに対応して保持する。このワークテーブル26は、筐体14内に設置された従来におけると同様なXYZθ支持機構(図示せず)により、支持されている。これにより、ワークテーブル26上の液晶パネル12の平面位置は、ワークテーブル26と一体的に、傾斜正面14aと平行な面内でX方向、該X方向に直角なY方向およびX−Y面に直角なZ方向にそれぞれ調整可能であり、かつZ軸の回りの回転姿勢が調整可能である。   The work table 26 is an inspection table for the liquid crystal panel 12, and the liquid crystal panel 12 corresponds to the first window 16a in the housing 14 so that the electrode 12a of the liquid crystal panel 12 faces the first window 16a. Hold. The work table 26 is supported by an XYZθ support mechanism (not shown) similar to the conventional one installed in the housing 14. Thereby, the planar position of the liquid crystal panel 12 on the work table 26 is integrated with the work table 26 in the X direction, the Y direction perpendicular to the X direction, and the XY plane in a plane parallel to the inclined front surface 14a. Adjustments can be made in the Z direction perpendicular to each other, and the rotational attitude around the Z axis can be adjusted.
ワークテーブル26の斜め上方、すなわちワークテーブル26から前記Z軸方向に沿って傾斜正面14aへ向けての斜め前方には、該ワークテーブルから間隔をおいて前記した矩形の固定枠体28が筐体14に固定されている。   The rectangular fixed frame body 28 described above is spaced from the work table 26 at an interval above the work table 26, that is, obliquely forward from the work table 26 toward the inclined front surface 14a along the Z-axis direction. 14 is fixed.
この固定枠体28は、図2に示す例では、X方向に沿った一対の長辺部28aおよびY方向に沿った一対の短辺部28bを有する。各辺部28a、28bには、プローブステージ板32(32a、32aおよび32b、32b)がそれぞれ配置されている。各プローブステージ板32の上面には、各プローブユニット30を取付けるための凹所32cが形成されている。取付け凹所32cは、プローブステージ板32の長手方向の一方の縁部に沿って該縁部に開放する。各プローブステージ板32は、その取付け凹所32cを固定枠体28の対応する各辺部28a、28bから固定枠体28の枠内に露出させて、各辺部28a、28bに沿って配置されている。   In the example shown in FIG. 2, the fixed frame body 28 has a pair of long side portions 28 a along the X direction and a pair of short side portions 28 b along the Y direction. Probe stage plates 32 (32a, 32a and 32b, 32b) are arranged on the side portions 28a, 28b, respectively. On the upper surface of each probe stage plate 32, a recess 32c for attaching each probe unit 30 is formed. The attachment recess 32c opens to the edge portion along one edge portion of the probe stage plate 32 in the longitudinal direction. Each probe stage plate 32 is arranged along each side portion 28a, 28b with its mounting recess 32c exposed from the corresponding side portion 28a, 28b of the fixed frame body 28 into the frame of the fixed frame body 28. ing.
固定枠体28の各辺部28a、28bと、これに対応する各プローブステージ板32aおよび32bとの間には、案内部34が設けられている。この案内部34により、プローブステージ板32aおよび32bは、固定枠体28に、その対応する各辺部28aおよび28bの長手方向へ移動可能に支持されている。また、各プローブステージ板32を対応する各辺部28a、28bに関して移動させるための駆動機構36が各辺部28a、28bに設けられている。この駆動機構36は、例えば、固定枠体28に固定された電気モータ36aと、該電気モータの出力シャフトと一体的に回転可能のボールねじ部材36bおよび該ボールねじ部材に螺合すべくプローブステージ板32に固定された雌ねじ部材36cを有するボールねじのような送り機構とで構成することができる。   Guide portions 34 are provided between the side portions 28a and 28b of the fixed frame 28 and the corresponding probe stage plates 32a and 32b. The probe stage plates 32a and 32b are supported by the guide portion 34 so as to be movable in the longitudinal direction of the corresponding side portions 28a and 28b. Further, a drive mechanism 36 for moving each probe stage plate 32 with respect to each corresponding side portion 28a, 28b is provided on each side portion 28a, 28b. The drive mechanism 36 includes, for example, an electric motor 36a fixed to the fixed frame 28, a ball screw member 36b that can rotate integrally with an output shaft of the electric motor, and a probe stage to be screwed into the ball screw member. A feed mechanism such as a ball screw having a female screw member 36c fixed to the plate 32 can be used.
図2の例では、液晶パネル12の一方の長辺縁部および一方の長辺縁部に沿って電極12aが配列された被検査体12の検査に適用すべく、これに対応する一方の長辺部28aおよび一方の短辺部28bに設けられたプローブステージ板32aおよび32bのそれぞれにプローブユニット30が取り付けられている。また一方の長辺部28aのプローブステージ板32aに取り付けられたプローブユニット30には、5つのプローブ組立体38が等間隔をおいて配列されており、一方の短辺部28bのプローブステージ板32bに取り付けられたプローブユニット30には3つのプローブ組立体38が等間隔をおいて配列されている。   In the example of FIG. 2, one long side edge of the liquid crystal panel 12 and one long side corresponding to this are applied to the inspection of the inspected object 12 in which the electrodes 12 a are arranged along the one long side edge. A probe unit 30 is attached to each of the probe stage plates 32a and 32b provided on the side portion 28a and one short side portion 28b. Further, five probe assemblies 38 are arranged at equal intervals in the probe unit 30 attached to the probe stage plate 32a of one long side portion 28a, and the probe stage plate 32b of one short side portion 28b. Three probe assemblies 38 are arranged at equal intervals in the probe unit 30 attached to the.
各プローブユニット30は、前記したようにプローブ組立体38の個数、後述するアライメントカメラおよびアライメントマークの個数に違いがある点を除いて、同一構成である。したがって、以下、固定枠体28の短辺部28bに設けられるプローブユニット30の例について説明する。   Each probe unit 30 has the same configuration except that there is a difference in the number of probe assemblies 38 and the number of alignment cameras and alignment marks described later, as described above. Therefore, an example of the probe unit 30 provided on the short side portion 28b of the fixed frame 28 will be described below.
プローブユニット30は、図2および図3に示されているように、全体に矩形板状のサポートベース部材40と、該ベース部材に枢軸機構42の一対の水平軸42aを介して枢着されたプローブベース板44とを含み、該プローブベース板に各懸架機構46を介して前記したプローブ組立体38が支持されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the probe unit 30 is pivotally attached to the base member through a pair of horizontal shafts 42a of a pivot mechanism 42, and a support base member 40 having a rectangular plate shape as a whole. The probe assembly 38 is supported by the probe base plate via the suspension mechanisms 46.
サポートベース部材40の一方の長辺と一対の短辺とが交わる隅部には、面取40aが施されており、前記一方の長辺の両面取り40a間には、矩形のプローブベース板44を水平軸42aの回りに回動可能に受け入れる切欠き部40bが形成されている。サポートベース部材40は、図3に示すように、その他方の長辺に沿った縁部分が取付け凹所32cに嵌合された状態で、プローブベース板44の前記した回動を許すように、サポートベース部材40の貫通穴40cを貫通しかつ先端がプローブステージ板32bのねじ穴32dに螺合するボルトのようなねじ部材48を介して、プローブステージ板32に取り外し可能に固定される。   A chamfering 40a is provided at a corner where one long side of the support base member 40 and a pair of short sides intersect, and a rectangular probe base plate 44 is provided between the two long-sided chamfers 40a. A notch 40b is formed to receive the rotation about the horizontal axis 42a. As shown in FIG. 3, the support base member 40 allows the aforementioned rotation of the probe base plate 44 in a state where the edge portion along the other long side is fitted in the attachment recess 32 c. The support base member 40 is detachably fixed to the probe stage plate 32 through a screw member 48 such as a bolt that penetrates the through hole 40c of the support base member 40 and is screwed into the screw hole 32d of the probe stage plate 32b.
プローブステージ板32に取り外し可能に固定されるサポートベース部材40に回動可能に支持されたプローブベース板44上には、図3および図4に示すように、3つのプローブ組立体38がそれぞれ懸架機構46を介してプローブベース板44の長手方向に等間隔をおいて整列するように支持されている。また、図示の例では、プローブ組立体38の列の前後方向には、一対のアライメントカメラ50および該カメラにより撮影可能の一対の透過アライメントマーク52がそれぞれ配置されており、各対は、それらの間にプローブ組立体38の列を位置させるように、プローブベース板44に支持されている。アライメントカメラ50は、ワークテーブル26上の液晶パネル12に形成されたアライメントマーク(図示せず)とプローブベース板44に支持された透過アライメントマーク52とを重ね合た画像を捉える。   As shown in FIGS. 3 and 4, three probe assemblies 38 are suspended on a probe base plate 44 rotatably supported by a support base member 40 that is detachably fixed to the probe stage plate 32. The probe base plate 44 is supported through the mechanism 46 so as to be aligned at equal intervals in the longitudinal direction. In the illustrated example, a pair of alignment cameras 50 and a pair of transmission alignment marks 52 that can be photographed by the cameras are arranged in the front-rear direction of the row of probe assemblies 38, and each pair has their The probe base plate 44 supports the row of the probe assemblies 38 therebetween. The alignment camera 50 captures an image in which an alignment mark (not shown) formed on the liquid crystal panel 12 on the work table 26 and a transmission alignment mark 52 supported by the probe base plate 44 are overlapped.
各懸架機構46は、図5に示されているように、プローブベース板44上に固定されるサスペンションベース部材46aと、該サスペンションベース部材に支持されるスライドブロック46bとを備える。スライドブロック46bは、サスペンションベース部材46aとの間に設けられたリニアスライド機構46cにより上下方向に移動可能であり、図示しないがスライドブロック46bの内部に組み込まれた従来よく知られたばね機構により、プローブベース板44の干渉を受けることなく、サスペンションベース部材46aに好適に弾性支持されている。   As shown in FIG. 5, each suspension mechanism 46 includes a suspension base member 46a fixed on the probe base plate 44, and a slide block 46b supported by the suspension base member. The slide block 46b can be moved in the vertical direction by a linear slide mechanism 46c provided between the slide base 46a and the probe block 46b by a well-known spring mechanism incorporated in the slide block 46b (not shown). The suspension base member 46a is preferably elastically supported without receiving interference from the base plate 44.
スライドブロック46bの下端には、プローブ組立体38を取り付けるための取付けブロック46dが固定されており、プローブ組立体38は、その先端から突出するプローブの先端38aが液晶パネル12の対応する電極12aに接触するように、プローブ先端38aを下方すなわちワークテーブル26上の液晶パネル12に向けて、取付けブロック46dに取り付けられている。   A mounting block 46d for mounting the probe assembly 38 is fixed to the lower end of the slide block 46b. The probe assembly 38 has a probe tip 38a protruding from the tip of the probe block 38 on the corresponding electrode 12a of the liquid crystal panel 12. The probe tip 38a is attached to the attachment block 46d so that the probe tip 38a faces downward, that is, toward the liquid crystal panel 12 on the work table 26 so as to come into contact.
また、取付けブロック46dの下端には取付け板46eが固定されており、該取付け板46eの下面には、例えばTCPからなる回路基板54が支持されている。この回路基板54には、液晶パネル12の駆動信号を生成するための駆動信号生成ICチップ54aが搭載されており、該ICチップを含むIC回路が形成されている。プローブ組立体38が対応する懸架機構46の取付けブロック46dに取付けられると、プローブ組立体38の前記プローブが前記駆動信号を受けるように、前記プローブの後端38bが回路基板54の対応する導電路に下方から押圧され、これにより、プローブ組立体38は、その前記各プローブが回路基板54に電気的に接続される。   A mounting plate 46e is fixed to the lower end of the mounting block 46d, and a circuit board 54 made of, for example, TCP is supported on the lower surface of the mounting plate 46e. A drive signal generation IC chip 54a for generating a drive signal for the liquid crystal panel 12 is mounted on the circuit board 54, and an IC circuit including the IC chip is formed. When the probe assembly 38 is attached to the attachment block 46d of the corresponding suspension mechanism 46, the rear end 38b of the probe is a corresponding conductive path of the circuit board 54 so that the probe of the probe assembly 38 receives the drive signal. As a result, the probe assembly 38 is electrically connected to the circuit board 54.
回路基板54は、プローブベース板44の下面にスペーサ56を介して支持された中継基板58に接続されている。この中継基板58は、配線60を経て制御信号発生器62に接続されている。したがって、ICチップ54aは、中継基板58および回路基板54の導電路を経て制御信号発生器62からの制御信号を受けることにより、プローブ組立体38の前記各プローブを経て液晶パネル12の対応する電極12aに駆動信号を供給する。   The circuit board 54 is connected to a relay board 58 supported on the lower surface of the probe base plate 44 via a spacer 56. The relay board 58 is connected to the control signal generator 62 via the wiring 60. Therefore, the IC chip 54 a receives the control signal from the control signal generator 62 through the conductive path of the relay board 58 and the circuit board 54, so that the corresponding electrode of the liquid crystal panel 12 passes through the probes of the probe assembly 38. A drive signal is supplied to 12a.
各懸架機構46を介して複数のプローブ組立体38が取り付けられたプローブベース板44は、図5に示すように、結合手段64により、対応するサポートベース部材40と同一面上に位置する姿勢で該サポートベース部材40に固定されている。   As shown in FIG. 5, the probe base plate 44 to which the plurality of probe assemblies 38 are attached via the suspension mechanisms 46 is positioned in the same plane as the corresponding support base member 40 by the coupling means 64. The support base member 40 is fixed.
結合手段64は、プローブベース板44の下面にボルト64aを介して固定された結合板64bと、該結合板にその板厚方向に貫通して形成されたねじ穴64cに螺合するボルト64dとを備える。サポートベース部材40には、ねじ穴64cに整合して板厚方向に貫通して挿通孔40dが形成されている。ボルト64dは、サポートベース部材40の上面からサポートベース部材40dを貫通して配置され、その先端部がねじ穴64cに螺合するように、結合板64bをサポートベース部材40に締め付ける。このボルト64dの締め付けにより、プローブベース板44の水平軸42aの回りの回動が阻止され、プローブベース板44は、前記したように図5に示す姿勢を保持される。   The coupling means 64 includes a coupling plate 64b fixed to the lower surface of the probe base plate 44 via a bolt 64a, and a bolt 64d screwed into a screw hole 64c formed through the coupling plate in the thickness direction. Is provided. The support base member 40 is formed with an insertion hole 40d that is aligned with the screw hole 64c and penetrates in the thickness direction. The bolt 64d is disposed through the support base member 40d from the upper surface of the support base member 40, and fastens the coupling plate 64b to the support base member 40 so that the tip portion thereof is screwed into the screw hole 64c. By tightening the bolt 64d, the probe base plate 44 is prevented from rotating around the horizontal axis 42a, and the probe base plate 44 is maintained in the posture shown in FIG. 5 as described above.
ねじ穴64cが形成された結合板64bをボルト64aでプローブベース板44に固定することに代えて、図示しないが、ねじ穴64cを有する結合部をプローブベース板44の下面から該プローブベース板と一体的にサポートベース部材40の下面に伸長する伸長部分で形成することができる。   Instead of fixing the coupling plate 64b in which the screw hole 64c is formed to the probe base plate 44 with the bolt 64a, a coupling portion having the screw hole 64c is connected to the probe base plate from the lower surface of the probe base plate 44, although not shown. The support base member 40 may be integrally formed with an extended portion that extends on the lower surface.
本発明に係る検査装置10では、被検査体である液晶パネル12の規格に合うプローブユニット30が選択される。すなわち、液晶パネル12の電極12aに対応した適正なプローブ間隔を有するプローブ組立体38が所定の間隔を置いて配置された適正なプローブユニット30が選択され、該プローブユニットが対応する各プローブステージ板32に取り付けられる。   In the inspection apparatus 10 according to the present invention, the probe unit 30 that meets the standard of the liquid crystal panel 12 that is the object to be inspected is selected. That is, an appropriate probe unit 30 in which probe assemblies 38 having appropriate probe intervals corresponding to the electrodes 12a of the liquid crystal panel 12 are arranged at a predetermined interval is selected, and each probe stage plate corresponding to the probe unit is selected. 32.
その後、前記したようにパネル受け渡しステーション20から検査ステーション18のワークテーブル26上に液晶パネル12が移送されると、アライメントカメラ50により撮影された画像上での透過アライメントマーク52と液晶パネル12上の前記アライメントマークとのずれに基づいて、電極12aとプローブ組立体38の対応するプローブ先端38aとが整合するように、前記XYZθ支持機構により、ワークテーブル26の位置が調整され、また各プローブユニット30が取り付けられた各プローブステージ板32の位置が微調整される。   Thereafter, when the liquid crystal panel 12 is transferred from the panel delivery station 20 to the work table 26 of the inspection station 18 as described above, the transmission alignment mark 52 on the image photographed by the alignment camera 50 and the liquid crystal panel 12 are transferred. Based on the deviation from the alignment mark, the position of the work table 26 is adjusted by the XYZθ support mechanism so that the electrode 12 a and the corresponding probe tip 38 a of the probe assembly 38 are aligned, and each probe unit 30. The position of each probe stage plate 32 to which is attached is finely adjusted.
これらの調整後、前記XYZθ支持機構の作動により、ワークテーブル26が固定枠体28に向けて移動されることにより、ワークテーブル26上の液晶パネル12の電極12aが各プローブユニット30に設けられたプローブ組立体38の対応するプローブ先端38aに電気的に接続される。この接続状態で、ICチップ54aからの駆動信号が対応する前記プローブを経て液晶パネル12に供給されると、その駆動信号に応じて液晶パネル12が点灯される。この点等状態を作業員が第1の窓16aを通して観察することにより、点灯検査が行える。   After these adjustments, the work table 26 is moved toward the fixed frame 28 by the operation of the XYZθ support mechanism, whereby the electrode 12a of the liquid crystal panel 12 on the work table 26 is provided in each probe unit 30. It is electrically connected to the corresponding probe tip 38a of the probe assembly 38. In this connected state, when a drive signal from the IC chip 54a is supplied to the liquid crystal panel 12 via the corresponding probe, the liquid crystal panel 12 is turned on according to the drive signal. A lighting inspection can be performed by an operator observing this state or the like through the first window 16a.
本発明に係る検査装置10に設けられた回路基板54の保守点検では、図5に示したように、結合手段64の結合板64bのねじ穴64cに螺合するボルト64dが緩めされ、図6に示すように、ボルト64dが結合板64bから引き抜かれることにより、結合手段64が解除される。   In the maintenance inspection of the circuit board 54 provided in the inspection apparatus 10 according to the present invention, as shown in FIG. 5, the bolt 64d screwed into the screw hole 64c of the coupling plate 64b of the coupling means 64 is loosened. As shown in FIG. 4, the coupling means 64 is released by pulling out the bolt 64d from the coupling plate 64b.
この結合手段64に解除により、懸架機構46を介して支持されたプローブ組立体38およびアライメントカメラ50等が、各プローブステージ板32に固定されたサポートベース部材40に関して、プローブベース板44と一体的に水平軸42aの回りに回転される。その結果、懸架機構46の下方で該懸架機構に支持された回路基板54は、第1の窓16aに向けられる。   By releasing the coupling means 64, the probe assembly 38 and the alignment camera 50 supported by the suspension mechanism 46 are integrated with the probe base plate 44 with respect to the support base member 40 fixed to each probe stage plate 32. Is rotated around the horizontal axis 42a. As a result, the circuit board 54 supported by the suspension mechanism below the suspension mechanism 46 is directed to the first window 16a.
このプローブベース板44の姿勢の回転によって、回路基板54およびそのICチップ54aは第1の窓16aに向けて露出されることから、作業員はワークテーブル26とプローブベース板44を支持するワークテーブル26との間から手を差し入れることなく、また重重量のプローブユニット30を各プローブステージ板32から取り外して分離することなく、したがって、従来に比較して楽な姿勢で容易に、第1の窓16aを通してICチップ54aの点検や取り換え作業を行うことが可能となる。   By rotating the posture of the probe base plate 44, the circuit board 54 and its IC chip 54a are exposed toward the first window 16a, so that the worker can support the work table 26 and the probe base plate 44. 26, without inserting a hand from between the first and second probe units 30 and without separating the heavy probe unit 30 from each probe stage plate 32. It is possible to inspect and replace the IC chip 54a through the window 16a.
前記回路基板54の保守点検を容易にするためには、回路基板54をプローブベース板44の上面あるいはサポートベース部材40に上面等に設けることが考えられる。しかしながら、ICチップ54aとプローブ組立体38の前記プロ−ブとの間の接続経路長が増大するため、この接続経路に高周波信号が流れることを考慮すると、ノイズ対策上、好ましくはない。   In order to facilitate maintenance and inspection of the circuit board 54, it is conceivable to provide the circuit board 54 on the upper surface of the probe base plate 44 or the support base member 40. However, since the length of the connection path between the IC chip 54a and the probe of the probe assembly 38 increases, it is not preferable in terms of noise countermeasures considering that a high-frequency signal flows through this connection path.
これに対し、本発明に係る検査装置10によれば、回路基板54を懸架機構46の下方でプローブ組立体38に近接して保持することができるので、ICチップ54aとプローブ組立体38との接続距離の増大を招くことなく、したがって、前記したノイズ問題を引き起こすことなく、前記回路基板54の容易な保守点検作業が可能となる。   On the other hand, according to the inspection apparatus 10 according to the present invention, the circuit board 54 can be held close to the probe assembly 38 below the suspension mechanism 46, so that the IC chip 54 a and the probe assembly 38 can be connected to each other. The circuit board 54 can be easily maintained and inspected without causing an increase in connection distance and, therefore, without causing the noise problem described above.
前記したところでは、プローブベース板44にアライメントカメラ50を設けた例に沿って本発明を説明したが、これに代えて、図7に示すように、プローブベース板44を枢動可能に支持するサポートベース部材40にアライメントカメラ50を支持することができる。これにより、プローブユニット30の枢動部の重量軽減を図ることができる。   As described above, the present invention has been described along the example in which the alignment camera 50 is provided on the probe base plate 44. Instead, as shown in FIG. 7, the probe base plate 44 is pivotally supported. The alignment camera 50 can be supported on the support base member 40. Thereby, weight reduction of the pivot part of the probe unit 30 can be aimed at.
また、前記したところでは、固定枠体28に移動可能に支持された各プローブステージ板32にプローブユニット30のサポートベース部材40を取り外し可能に結合した例を示した。これに代えて、図8に示すように、移動可能なプローブステージ板32を介することなく、プローブユニット30のサポートベース部材40をねじ部材48により固定的にかつ取り外し可能に固定枠体28に結合することができる。   In addition, as described above, the example in which the support base member 40 of the probe unit 30 is detachably coupled to each probe stage plate 32 supported movably on the fixed frame 28 has been shown. Instead, as shown in FIG. 8, the support base member 40 of the probe unit 30 is fixedly and detachably coupled to the fixed frame body 28 by a screw member 48 without using a movable probe stage plate 32. can do.
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。例えば、アライメントカメラ50およびアライメントマーク52を不要とすることができる。   The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the alignment camera 50 and the alignment mark 52 can be eliminated.
本発明に係る点灯検査装置の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the lighting test | inspection apparatus which concerns on this invention. 図1に示す点灯検査装置の検査ステージの平面図である。It is a top view of the test | inspection stage of the lighting test | inspection apparatus shown in FIG. 図2に示した点灯検査装置のプローブサポート部材に取り付けられるプローブユニットの斜視図である。It is a perspective view of the probe unit attached to the probe support member of the lighting inspection apparatus shown in FIG. 図3に示したプローブユニットの平面図である。FIG. 4 is a plan view of the probe unit shown in FIG. 3. 図4に示した線V−Vに沿って得られた断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV shown in FIG. 4. 本発明に係るプローブユニットを傾斜させた状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which inclined the probe unit which concerns on this invention. 本発明の他の実施例を示す図3と同様な図面である。FIG. 4 is a view similar to FIG. 3 showing another embodiment of the present invention. 本発明のさらに他の実施例を示す図2と同様な図面である。FIG. 6 is a view similar to FIG. 2 showing still another embodiment of the present invention.
符号の説明Explanation of symbols
10 検査装置
12 液晶パネル(被検査体)
12a 電極
14 筐体
16a 第1の窓
16b 第2の窓
18 検査ステーション
20 パネル受け渡しステーション
24 パネル受け渡し装置
26 ワークテーブル(検査台)
28 固定枠体(固定板)
30 プローブユニット
32 各プローブステージ板
38 プローブ組立体
38a プローブ先端
40 サポートベース部材
40d 貫通穴
42 枢軸機構
42a 水平軸
44 プローブベース板
46 懸架機構
48 ねじ部材
50 アライメントカメラ
54 回路基板
64 結合手段
64b 結合板(連結部)
64c ねじ穴
64d ボルト(締結具)
10 Inspection device 12 Liquid crystal panel (inspected object)
12a electrode 14 housing 16a first window 16b second window 18 inspection station 20 panel delivery station 24 panel delivery device 26 work table (inspection table)
28 Fixed frame (fixed plate)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 Probe unit 32 Each probe stage board 38 Probe assembly 38a Probe tip 40 Support base member 40d Through-hole 42 Pivot mechanism 42a Horizontal axis 44 Probe base board 46 Suspension mechanism 48 Screw member 50 Alignment camera 54 Circuit board 64 Coupling means 64b Coupling board (Connecting part)
64c Screw hole 64d Bolt (fastener)

Claims (12)

  1. 固定板の下方に配置された検査台上の被検査体の検査のために該被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられた少なくとも1つのプローブ組立体と、前記固定板に支持されるサポートベース部材と、前記プローブを前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを含むプローブユニットであって、
    さらに、前記懸架機構を前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを含む、プローブユニット。
    At least one probe assembly provided with a probe capable of contacting an electrode of the object to be inspected on an inspection table disposed below the fixing plate, and supported by the fixing plate A support base member, a suspension mechanism for supporting the probe assembly on the support base member above the inspection table to bring the probe into contact with the electrode, and an electrical signal for inspecting the inspection object A signal circuit incorporating an electrical circuit and supported by the suspension mechanism below the suspension mechanism and electrically connected to the probe to supply the electrical signal through the probe to the electrode connected to the probe A probe unit including a substrate,
    Further, a pivot mechanism that pivotally supports the suspension mechanism on the support base member via a lateral axis, and the suspension mechanism that is capable of releasing the pivotal restraint of the suspension mechanism with respect to the support base member. A probe unit including coupling means for fixing to the member.
  2. 前記枢軸機構は、前記サポートベース部材に前記横軸を介して枢動可能に連結されたプローブベース板を含み、前記プローブ組立体を含む複数のプローブ組立体がそれぞれ前記懸架機構を含む複数の懸架機構を介して前記プローブベース板に支持されており、前記結合手段は、前記サポートベース部材に関する前記プローブベース板の枢動の拘束を解除可能に該プローブベース板を前記サポートベース部材に固定する、請求項1に記載のプローブユニット。   The pivot mechanism includes a probe base plate pivotally connected to the support base member via the horizontal axis, and a plurality of probe assemblies including the probe assembly each include the suspension mechanism. Supported by the probe base plate via a mechanism, and the coupling means fixes the probe base plate to the support base member so that the pivotal restraint of the probe base plate with respect to the support base member can be released. The probe unit according to claim 1.
  3. 前記結合手段は、前記プローブベース板の下面から前記サポートベース部材の下面に突出する連結部と、該連結部と前記サポートベース部材とを解除可能に結合する締結具とを備える、請求項2に記載のプローブユニット。   The said coupling | bonding means is provided with the connection part which protrudes from the lower surface of the said probe base board to the lower surface of the said support base member, and the fastener which couple | bonds this connection part and the said support base member releasably. The probe unit described.
  4. 前記締結具は、前記サポートベース部材の上面から該サポートベース部材の前記下面へ向けて形成された貫通穴を通り、また該貫通穴に整合すべく前記連結部に形成された雌ねじ穴に螺合する締め付けねじ部材を有する、請求項3に記載のプローブユニット。   The fastener passes through a through hole formed from the upper surface of the support base member toward the lower surface of the support base member, and is screwed into a female screw hole formed in the connecting portion so as to be aligned with the through hole. The probe unit according to claim 3, further comprising a tightening screw member.
  5. 前記プローブベース板には、前記プローブ組立体の前記プローブおよび前記被検査体の対応する前記電極の相互の位置合わせに用いられるアライメントカメラが支持されている、請求項4に記載のプローブユニット。   The probe unit according to claim 4, wherein an alignment camera used for mutual alignment of the probe of the probe assembly and the corresponding electrode of the device under test is supported on the probe base plate.
  6. 板状の被検査体に設けられた電極を上方に向けて前記被検査体が配置される検査台と、該検査体の上方に設けられた固定枠体と、該固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置であって、
    前記プローブユニットは、前記固定枠体に支持されるサポートベース部材と、前記検査台上の前記被検査体の前記電極に接触可能のプローブが設けられた複数のプローブ組立体と、該プローブ組立体のそれぞれの前記プローブを対応する前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体のそれぞれを前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、前記被検査体の検査のための電気信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持され、前記プローブに接続された前記電極に前記プローブを経て前記電気信号を供給すべく前記プローブに電気的に接続される信号回路基板とを備え、
    さらに、前記プローブユニットは、複数の前記懸架機構をそれぞれ前記サポートベース部材に横軸を介して枢動可能に支持する枢軸機構と、前記サポートベース部材に関する前記懸架機構の枢動の拘束を解除可能に前記懸架機構を前記サポートベース部材に固定する結合手段とを備える、電気的検査装置。
    An inspection table on which the inspection object is arranged with the electrode provided on the plate-shaped inspection object facing upward, a fixed frame body provided above the inspection object, and supported by the fixed frame body An electrical inspection device including a probe unit,
    The probe unit includes a support base member supported by the fixed frame body, a plurality of probe assemblies provided with probes that can contact the electrodes of the inspection object on the inspection table, and the probe assembly A suspension mechanism for supporting each of the probe assemblies on the support base member above the inspection table to bring each of the probes into contact with the corresponding electrode; and an electrical signal for inspecting the object to be inspected. An electrical circuit to be generated is incorporated, supported by the suspension mechanism below the suspension mechanism, and electrically connected to the probe to supply the electrical signal through the probe to the electrode connected to the probe. A signal circuit board,
    Further, the probe unit is capable of releasing the pivotal restraint of the suspension mechanism with respect to the support base member, and a pivot mechanism for pivotally supporting the plurality of suspension mechanisms on the support base member via a lateral axis, respectively. And a coupling means for fixing the suspension mechanism to the support base member.
  7. 前記枢軸機構は、前記サポートベース部材に前記横軸を介して枢動可能に連結されたプローブベース板を含み、複数の前記プローブ組立体が対応する前記懸架機構を介して前記プローブベース板に支持されており、前記結合手段は、前記サポートベース部材に関する前記プローブベース板の枢動の拘束を解除可能に該プローブベース板を前記サポートベース部材に固定する、請求項6に記載の電気的検査装置。   The pivot mechanism includes a probe base plate pivotally connected to the support base member via the horizontal axis, and a plurality of the probe assemblies are supported by the probe base plate via the corresponding suspension mechanisms. The electrical inspection device according to claim 6, wherein the coupling means fixes the probe base plate to the support base member so as to be able to release a pivotal restriction of the probe base plate with respect to the support base member. .
  8. 前記結合手段は、前記プローブベース板の下面から前記サポートベース部材の下面に突出する連結部と、該連結部と前記サポートベース部材とを解除可能に結合する締結具とを有する、請求項7に記載の電気的検査装置。   The coupling means includes a connecting portion that protrudes from a lower surface of the probe base plate to a lower surface of the support base member, and a fastener that releasably connects the connecting portion and the support base member. The electrical inspection apparatus as described.
  9. 前記締結具は、前記サポートベース部材の上面から該サポートベース部材の前記下面へ向けて形成された貫通穴を通り、また該貫通穴に整合すべく前記連結部に形成された雌ねじ穴に螺合する締め付けねじ部材を有する、請求項8に記載の電気的検査装置。   The fastener passes through a through hole formed from the upper surface of the support base member toward the lower surface of the support base member, and is screwed into a female screw hole formed in the connecting portion so as to be aligned with the through hole. The electrical inspection apparatus according to claim 8, further comprising a fastening screw member that
  10. 前記プローブベース板には、前記プローブ組立体の前記プローブおよび前記被検査体の対応する前記電極の相互の位置合わせに用いられるアライメントカメラが支持されている、請求項9に記載の電気的検査装置。   The electrical inspection apparatus according to claim 9, wherein an alignment camera used for mutual alignment of the probe of the probe assembly and the corresponding electrode of the object to be inspected is supported on the probe base plate. .
  11. 前記固定枠体には、該枠体の少なくとも一辺に沿って移動可能にプローブステージ板が支持されており、前記サポートベース部材は前記プローブステージ板に取り外し可能に結合されている、請求項6に記載の電気的検査装置。   A probe stage plate is supported on the fixed frame so as to be movable along at least one side of the frame, and the support base member is detachably coupled to the probe stage plate. The electrical inspection apparatus as described.
  12. 請求項6に記載の電気的検査装置と、互いに並んで配置された第1の窓および第2の窓を有する筐体とを含み、前記被検査体として表示用パネルが取り扱われる点灯検査装置であって、前記筐体内の前記第1の窓に対応した位置で検査ステーションを構成すべく前記電気的検査装置が前記筐体内に配置され、前記筐体内の前記第2の窓に対応した位置には前記検査ステーションとの間で前記表示用パネルの授受を行うパネル受け渡しステーションを構成するパネル受け渡し装置が配置されている、点灯検査装置。   A lighting inspection device comprising: the electrical inspection device according to claim 6; and a housing having a first window and a second window arranged side by side, and a display panel is handled as the object to be inspected. The electrical inspection device is disposed in the casing to form an inspection station at a position corresponding to the first window in the casing, and is positioned at a position corresponding to the second window in the casing. Is a lighting inspection device in which a panel delivery device constituting a panel delivery station for transferring the display panel to and from the inspection station is arranged.
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