JP2010096836A - 光導波路の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持体33上に第1のクラッド層17、コア部18、及び第2のクラッド層19を順次積層して積層体15を形成し、次いで、積層体15が形成されていない側の支持体33の面33Bと研磨部材41の上面41Aとを対向させた状態で、研磨部材41により積層体15及び支持体33の両端を研磨して、積層体15及び支持体33の両端に傾斜面21A,21B,48,49を形成し、次いで、成膜装置のステージ53の上面53Aと第2のクラッド層19とが接触するように、ステージ53に支持体33に形成された光導波路本体11を載置し、成膜装置により傾斜面21A,21Bに金属膜54を成膜してミラー12,13を形成し、その後、光導波路本体11から支持体33を除去する。
【選択図】図12
Description
図7は、本発明の実施の形態に係る光導波路の側面図である。
11 光導波路本体
12,13 ミラー
12A,13A 反射面
15 積層体
17 第1のクラッド層
18 コア部
19 第2のクラッド層
17A,19A 面
21A,21B,48,49,63,64 傾斜面
25 配線基板
25A,33A,41A,53A 上面
26 発光素子
26A 発光面
27 受光素子
27A 受光面
29 接着剤
33 支持体
33B 下面
35 研磨装置
37 回転軸
38 研磨盤
38A 研磨部材貼付面
41 研磨部材
44 支持アーム
45 挟持部
53 ステージ
54 金属膜
61 板体
θ1 所定の角度
Claims (5)
- 第1のクラッド層、コア部、及び第2のクラッド層が積層された積層体と、前記積層体の両端に形成された第1の傾斜面とを有する光導波路本体と、前記第1の傾斜面に形成されたミラーと、を備え、
前記コア部が形成されていない側の前記第2のクラッド層の面と前記第1の傾斜面との成す角度が所定の角度とされており、前記第1のクラッド層と配線基板との間に配置される接着剤により前記配線基板に接着される光導波路の製造方法であって、
支持体上に、前記第1のクラッド層と、前記コア部と、前記第2のクラッド層とを順次積層して前記積層体を形成する積層体形成工程と、
前記積層体が形成されていない側の前記支持体の面と研磨部材の上面とを対向させると共に、前記支持体の面と前記研磨部材の上面とが成す角度を前記所定の角度にした状態で、前記研磨部材により前記支持体及び前記積層体の両端を研磨して、前記積層体の両端に前記第1の傾斜面を有した前記光導波路本体を形成すると共に、前記支持体の両端に前記第1の傾斜面と略同一平面上に配置された第2の傾斜面を形成する傾斜面形成工程と、
前記傾斜面形成工程後に、成膜装置のステージの上面と前記第2のクラッド層の面とが接触するように、前記ステージに前記支持体に形成された前記光導波路本体を載置し、その後、前記成膜装置により前記第1の傾斜面に金属膜を成膜することで、前記ミラーを形成するミラー形成工程と、
前記ミラーが形成された前記光導波路本体から前記支持体を除去する支持体除去工程と、を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。 - 前記支持体の材料は、樹脂であることを特徴とする請求項1記載の光導波路の製造方法。
- 前記積層体形成工程と前記傾斜面形成工程との間に、前記第2のクラッド層と接触する板体を配置して、前記支持体と前記板体とで前記積層体を挟み込む積層体挟込工程を設け、
前記傾斜面形成工程では、前記支持体と前記板体とで前記積層体を挟み込んだ状態で、前記支持体、前記積層体、及び前記板体を研磨して、前記第1及び第2の傾斜面を形成することを特徴とする請求項1または2記載の光導波路の製造方法。 - 前記傾斜面形成工程と前記ミラー形成工程との間に、前記板体を除去する板体除去工程を設けたことを特徴とする請求項3記載の光導波路の製造方法。
- 前記板体の材料は、樹脂であることを特徴とする請求項3または4記載の光導波路の製造方法。
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- 2008-10-14 JP JP2008265213A patent/JP5025613B2/ja active Active
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