JP2010085305A - 照明光光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ランプ1からの光は集光鏡2で集光され、開口の大きさを変化させて通過光量を変化させる調光フィルタ3に入射する。調光フィルタ3を通過した光の一部は石英板5により分岐され照度計の受光器6に入射する。石英板5の光出射側には光の透過率が一定の減光フィルタ7が挿入/退避可能に設けられる。制御部20のFB制御部21は、受光器6からの信号に基づき調光フィルタ3を回転させて、被照射物10表面での照度が設定された値になるように制御する。減光フィルタ制御部22は、低い照度領域で照度を制御する場合、減光フィルタ7を光路に挿入する。これにより低い照度領域で照度を制御する際にも、S/N比を低下させることなく、高精度に照度の制御をすることができる。
【選択図】 図1
Description
上記の照明用の光源ランプとして、可視領域(450nm〜800nm付近)の光を効率よく放射するプロジエクタに使用される水銀ランプを利用することが考えられるが、このような照明用の光源に対しては、以下のような要望がある。
(1)可視領域(450nm〜800nm付近)の光を、光照射面(例えば液晶パネルの表面)において、高い照度から低い照度まで、連続的に設定が可能であること。
例えば、最大照度を100とすると、100〜5の範囲で95段階に(したがって、実際はほぼ連続的に)照度の設定ができること。
(2)照度を高精度に制御することができ、設定した照度に対して、例えば照度の変化が例えば±3%を超えないこと。
即ち、設定照度が100のときは、照度の範囲が97〜103の範囲内に入り、設定照度が10のときは9.7〜10.3の範囲内に入るように制御できること。
(a)「電力調整」による方法
電力調整は、ランプに供給する電力を調整することにより、照度を制御する方法であり、ランプ電力を調整することにより、照度を連続的に変化方させることができる。
しかし、上記した水銀ランプは低い照度に設定するために電力を低くすると、安定した点灯が得にくくなる。そのため照度が不安定になる。場合によってはランプは消えてしまう。例えば、ランプの定格電力を100とすると、70以下では不安定となり、点灯しないことがある。したがって、この方式は採用できない。
減光フィルタとは、蒸着膜等を使い、透過率が例えば50%や30%に設定されたフィルタのことである。しかし、このようなフィルタでは段階的にしか照度を切り替えることができない。連続的に照度を切り替えるためには、その分多数の減光フィルタが必要である。上記のように95段階で照度を切り替えるためには95枚の減光フィルタが必要になる。コストや取り付ける場所の問題から現実的ではない。
(c)「調光フィルタ」を用いる方法
調光フィルタは、開口の大きさを(実質的に)連続的に変化させて通過する光の量を変えるフィルタであり、例えば、特許文献1の図3には、遮光板に勾玉形の開口を設け、遮光板を回転させることにより、その開口を通過する光の量を連続的に変化させるものが示されている。調光フィルタとしては、上記構造のものの他、カメラのレンズに使われているような「絞り」構造のものでもよい。
このようなフィルタを使用すれば、被照射物を低い照度で照明することも可能である。したがって、この第1の要望にこたえるためには、調光フィルタを使用することが考えられる。
図4(a)は、上記調光フィルタを使って照度のFB制御を行う照明用光源装置の構成例である。
ランプ1から放射された可視領域の光は、集光鏡2により反射され、調光フィルタ3を介して被照射物10(検査対象である液晶パネル)に照射される。
調光フィルタ3は、図4(b)に示すように、遮光板3aに勾玉形の開口3bが形成され、遮光板3aを回転軸3dを中心にして回転させることにより、その開口を通過する光の量を連続的に変化させるものである。
なお、調光フィルタは、図4(c)に示すように、遮光板3aの開口に金属製の網目3cを形成し、この網目の大きさにより開口率を変化させるものでも良い。なお、同図は網目の粗さの変化が4段階で示したが、これはわかりやすくするための一例であり、実際は連続的に変化させている。この場合も、遮光板3aを回転させることにより、通過する光の量が連続的に変化する。
調光フィルタ3の光出射側には、石英板5があり、調光フィルタ3を通過した光の一部(4%程度)を表面反射により取り出し、照度計の受光器6により受光する。
受光器6は受光した光の強さに応じた信号を制御部20に出力する。制御部20は入力した信号により、被照射物表面での照度を演算し、被照射物表面での照度が、設定された値になるように、調光フィルタ3を回転させて通過する光の量を調節する。
受光器6が受光する光の強さと被照射物表面での照度とは、あらかじめ測定実験を行うことにより関連付けられている。
例えば、調光フィルタ3が全開の時の照度を100とすると、その場合の受光器6からの出力信号のS/N比は250であった。しかし、調光フィルタ3の開口を絞り、照度5とすると、受光器からの出力信号のS/N比は13となった。
一般に、S/N比が小さくなると、FB制御した場合にその精度が落ちるので、照度変化を±3%以内に保つことが困難になる。FB制御を精度良く行うためには、S/N比が35以上であることが望ましい。
上記のように、高い照度から低い照度まで、連続的に広い範囲で照度を設定するためだけであれば調光フィルタを使えばよい。しかし、低い照度の領域ではS/N比が小さくなるので、FB精度を±3%以下にするのは難しい。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、高い照度から低い照度まで連続的に広い範囲で照度を設定でき、かつ高精度で照度をFB制御できる照明用の光源装置を提供することを目的とする。
なお、上記減光フィルタの透過率は、予めわかっているとし、減光フィルタが挿入されているときは、減光フィルタの出射側の光量が設定した照度に応じた値になるように、減光フィルタの入射側の光量を制御する。
すなわち、本発明においては、次のように上記課題を解決する。
光源装置を、可視光を含む光を放射する光源ランプと、上記光源ランプから出射する光が通過する開口が連続的に変化する調光フィルタと、上記調光フィルタを連続的に駆動させる調光フィルタ駆動機構と、上記光源ランプから出射する光を減光する減光フィルタと、上記減光フィルタを、上記調光フィルタの光出射側において光路に挿入退避させる減光フィルタ駆動機構と、上記調光フィルタを通過した後であって、上記減光フィルタに入射する前の光を受光し、受光した光の強さに応じた信号を出力する受光器とから構成し、上記受光器からの信号に基づいて調光フィルタ駆動機構により調光フィルタを通過する光量を制御する第1の制御部と、減光フィルタ駆動機構により減光フィルタの挿入退避を制御する第2の制御部とを設ける。
そして、高い照度領域で照度を制御する場合には、上記第2の制御部により減光フィルタを退避させ、第1の制御部は、受光器からフィードバックされる光量に基づき調光フィルタを制御して、被照射面が設定した照度になるように制御する。
また、低い照度領域で照度を制御する場合には、上記第2の制御部により減光フィルタを挿入し、第1の制御部は、受光器からフィードバックされる光量に基づき調光フィルタを制御して、減光フィルタを介して被照射面に照射される照度が設定した照度になるように制御する。
このため、調光フィルタのみで照度を調整する場合に比べて、被照射物の相対照度を低く設定しても、調光フィルタ開口を絞らなくて良く、受光器に入射する光の量が小さくならない。したがって、受光器から出力する信号のS/N比も小さくならず、精度の良いFB制御ができる。
図1(a)において、ランプ1から放射した光は集光鏡2によって反射され、調光フィルタ3に入射する。ランプ1は輝度が高く演色性の良い、例えばプロジェクタの光源に使用する水銀ランプを使用する。
調光フィルタ3は、前記図4(b)に示した、遮光板に勾玉状の開口を形成したもの、また図4(c)に示した、遮光板の開口に金属製の網目を形成し、この網目の大きさにより開口率を変化させるものを使用することができる。調光フィルタの中心の回転軸には調光フィルタ駆動機構であるモータ4が取り付けられている。いずれも、このモータ4により遮光板が回転し、通過する光の量が連続的に変化する。
また、図2(c)に示すような、数枚の板(絞り羽根3g)を重ね合わせた虹彩絞りも、調光フィルタとして使用することができる。
なお、石英板5を使用しなくても、例えば光ファイバで光を取り出し、受光器6に入射させるようにしても良い。図1(b)にその場合の構成例を示す。図1(b)は調光フィルタ3、減光フィルタ7、光ファイバ5aを含む部分の構成を示した図であり、その他の構成は省略されている。同図に示すように、石英板5の代わりに、光ファイバ5aを設け、光ファイバ5aで取り出した光を受光器6に入射させる。
図1(a)に戻り、石英板5の光出射側(石英板5と被照射物10との間)に、減光フィルタ7を設ける。減光フィルタ7は、入射光に対する出射光の割合があらかじめ設定されているフィルタである。減光フィルタ7は、減光フィルタ挿入退避機構8により、照明光の光路に挿入退避する。
図3(b)は、網目の替わりに偏光板7cを用いたものであり、透過率は、偏光板自体に吸収がなければ50%になる。図4(c)は石英やガラス板上に蒸着膜7dを形成したものであり、膜の厚さにより透過率を適宜設定できる。また、光吸収型のガラス板を用いても良い。
制御部20は、第1の制御部であるFB制御部21と、第2の制御部である減光フィルタ制御部22から構成される。
第1の制御部であるFB制御部21は、受光器6により検出された光量に応じた信号により、被照射物10表面での照度を演算し、被照射物10表面での照度が、外部から与えられる設定された照度S1になるように、モータ4を駆動して調光フィルタを回転させて、調光フィルタを通過する光量をFB制御する。
FB制御部21は、減光フィルタ制御部22から送信される減光フィルタ7の挿入/退避信号を受信し、減光フィルタ7が挿入されているときは、減光フィルタ7の透過率を掛け合わせて被照射物10表面での照度を演算し、被照射物10表面での照度が、外部から与えられる設定された照度S1になるように、調光フィルタ3を通過する光の量を調節する。
100〜5の相対照度において、設定される照度が高い100〜30の範囲においては、減光フィルタ挿入退避機構8により減光フィルタ7を光路から退避させて、従来と同様に制御を行う。
すなわち、FB制御部21は、減光フィルタ制御部22から送信される減光フィルタ7の挿入/退避信号により減光フィルタ7が挿入されているか否か判定し、減光フィルタ7が挿入されていなときには、調光フィルタ3の透過率を100%〜30%の範囲で回転させ、被照射物10表面での照度が、設定された照度になるように制御する。
受光器6は、調光フィルタ3を通過した光の強さに応じた信号を制御部20のFB制御部21に出力する。
FB制御部21は受光器6から入力した信号により、被照射物10表面での照度を演算し、被照射物10表面での照度が、設定された値S1になるように、調光フィルタ3を回転させて通過する光の量を調節し、照度が一定になるようにFB制御する。
相対照度100〜30の範囲であれば、受光器6に入射する光の量は多いので、受光器6から出力される信号のS/N比は大きく、精度の良いFB制御が可能である。
FB制御部21は、減光フィルタ制御部22から送信される挿入/退避信号により減光フィルタ7が挿入されているか否か判定し、減光フィルタ7が挿入されているときには、受光器6から調光フィルタ3を通過した光の強さに応じた信号を受信し、受光器6から入力した信号に、透過率が30%の減光フィルタが挿入されていることを掛け合わせて(要は0.3倍して)被照射物10表面での照度を演算する。そして、被照射物10表面での照度が、設定された値になるように、調光フィルタ3を回転させて通過する光の量を調節する。
本実施例の場合、減光フィルタ7の透過率は30%であるので、例えば、被照射物10表面の相対照度を30にする場合には、調光フィルタ3は、100%の光が通過する全開の位置になるように回転する。
また、被照射物10表面の相対照度を5にする場合は、30%通過の減光フィルタを挿入した状態で、調光フィルタ3を17%通過とする位置に回転させる。これにより、被照射物10表面の相対照度は、[調光フィルタ17%通過]×[減光フィルタ30%通過]=約5%となる。
また、本実施例においては、照明光源装置を液晶パネルの検査に適用する場合を例にして説明したが、本発明の照明光源装置は、内視鏡や顕微鏡の光源装置としても使用することができる。また、蛍光分析といった分析装置の光源装置としても使用することもできる。
2 集光鏡
3 調光フィルタ
4 モータ
5 石英板
6 受光器
7 減光フィルタ
8 減光フィルタ挿入退避機構
9 エアシリンダ
10 被照射物
20 制御部
21 FB制御部
22 減光フィルタ挿入退避制御部
Claims (1)
- 可視光を含む光を放射する光源ランプと、
上記光源ランプから出射する光が通過する、開口が連続的に変化する調光フィルタと、 上記調光フィルタを連続的に駆動させる調光フィルタ駆動機構と、
上記光源ランプから出射する光を減光する減光フィルタと、
上記減光フィルタを、上記調光フィルタの光出射側において光路に挿入退避させる減光フィルタ駆動機構と、
上記調光フィルタを通過した後であって、上記減光フィルタに入射する前の光を受光し、受光した光の強さに応じた信号を出力する受光器と、
上記受光器からの信号に基づいて上記調光フィルタ駆動機構を制御して、調光フィルタを通過する光量を制御する第1の制御部と、
上記減光フィルタ駆動機構を制御して、減光フィルタの挿入退避を制御する第2の制御部とを備えた
ことを特徴とする照明光源装置。
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