JP2010080261A - Ceramic heater - Google Patents

Ceramic heater Download PDF

Info

Publication number
JP2010080261A
JP2010080261A JP2008247340A JP2008247340A JP2010080261A JP 2010080261 A JP2010080261 A JP 2010080261A JP 2008247340 A JP2008247340 A JP 2008247340A JP 2008247340 A JP2008247340 A JP 2008247340A JP 2010080261 A JP2010080261 A JP 2010080261A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particles
ceramic
ceramic body
ceramic heater
main surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008247340A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5258480B2 (en
Inventor
Ryuichi Nagaseko
竜一 長迫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2008247340A priority Critical patent/JP5258480B2/en
Priority to CN2009801347172A priority patent/CN102144428B/en
Priority to KR1020117005113A priority patent/KR101591315B1/en
Priority to PCT/JP2009/066255 priority patent/WO2010035688A1/en
Publication of JP2010080261A publication Critical patent/JP2010080261A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5258480B2 publication Critical patent/JP5258480B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/18—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor the conductor being embedded in an insulating material

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic heater which can shorten a heating time of a heated object and can lessen surface temperature distribution and is excellent on heat transmission characteristics. <P>SOLUTION: The ceramic heater 10 has a heating body 2 inside a plate-shaped ceramic body 1, and numerous inorganic particles 6 are firmly stuck on a principal plane of the ceramic body 1. A specific surface area of the principal plane of the ceramic heater 10 is increased since numerous particles 6 are firmly stuck on the surface of the principal plane of the ceramic heater, and a heating time of the heated object can be shortened since heat transmission efficiency to the heated object is improved. Furthermore, temperature distribution on the principal plane of the ceramic body 1 can be lessened. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ヘアアイロン，水加熱用ヒータ，酸素センサ，空燃比センサ，グロープラグ等に用いられるセラミックヒータに関するものである。   The present invention relates to a ceramic heater used for a hair iron, a water heater, an oxygen sensor, an air-fuel ratio sensor, a glow plug, and the like.

従来より、ヘアアイロンのヒータ、ならびに水加熱用および燃料の液化，気化用等のヒータ、ならびに酸素センサ，空燃比センサ，グロープラグ等のヒータには、セラミックヒータが用いられている。これらの用途に用いられるセラミックヒータとしては、例えば、図６に示すように、セラミック基体101中に発熱抵抗体102が埋設され、この発熱抵抗体102の端部と電気的に接続されたリード部103および外部電極（電極パッド）104にロウ材を介してリード部材105が接続された構成のセラミックヒータ110が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。ここで、図６は従来のセラミックヒータの例を示す斜視図である。
特開平５-315055号公報 Conventionally, ceramic heaters are used as heaters for hair irons, heaters for water heating, liquefaction and vaporization of fuel, and heaters for oxygen sensors, air-fuel ratio sensors, glow plugs, and the like. As a ceramic heater used in these applications, for example, as shown in FIG. 6, a heating resistor 102 is embedded in a ceramic substrate 101, and a lead portion electrically connected to an end portion of the heating resistor 102. There is known a ceramic heater 110 having a configuration in which a lead member 105 is connected to 103 and an external electrode (electrode pad) 104 via a brazing material (see, for example, Patent Document 1). Here, FIG. 6 is a perspective view showing an example of a conventional ceramic heater.
JP-A-5-315055

上記の用途に代表されるセラミックヒータには、その使用時に、被加熱物を所望の温度に加熱するのに時間が長くかかることがあるため、所望の加熱処理を行なうために加熱時間をさらに短縮することが求められている。また、被加熱物を加熱する際に、セラミックヒータの表面の温度分布により、被加熱物への熱の伝わりが不均一になって被加熱物に温度むらが生じてしまうことがあるため、被加熱物を均一に加熱できることも求められている。さらに、加熱時に大きな温度分布の生じるセラミックヒータは、繰り返し使用する場合に温度分布によって生じる熱応力に耐えられずに、セラミック基体が割れてしまうことがある。   Ceramic heaters typified by the above applications may take a long time to heat the object to be heated to the desired temperature when used, so the heating time is further reduced to perform the desired heat treatment. It is requested to do. In addition, when heating the object to be heated, the temperature distribution on the surface of the ceramic heater may cause uneven heat transfer to the object to be heated, resulting in uneven temperature. It is also required that the heated object can be heated uniformly. In addition, when a ceramic heater that generates a large temperature distribution during heating is used repeatedly, the ceramic substrate may break due to failure to withstand the thermal stress generated by the temperature distribution.

これらの問題に対し、近年、セラミックヒータには、被加熱物のより急速な加熱が可能で加熱時間が短縮できるとともに、表面の温度分布を小さくすることができ、さらに、より高温での昇降温を繰り返すような過酷な使用環境下においても十分な耐久性を備えることが求められている。   In response to these problems, ceramic heaters have recently been able to heat objects to be heated more quickly, shortening the heating time, reducing the temperature distribution on the surface, and increasing and lowering the temperature at higher temperatures. Therefore, it is required to have sufficient durability even under severe use environment such as repeating the above.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、被加熱物の加熱時間が短縮でき、表面の温度分布を小さくでき、耐久性にも優れた、熱伝達性に優れたセラミックヒータを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and provides a ceramic heater excellent in heat transferability that can shorten the heating time of an object to be heated, can reduce the temperature distribution on the surface, and has excellent durability. The purpose is to provide.

本発明のセラミックヒータは、板状のセラミック体の内部に発熱体を有し、前記セラミック体の主面に多数の無機質の粒子が固着していることを特徴とするものである。   The ceramic heater of the present invention has a heating element inside a plate-like ceramic body, and a large number of inorganic particles are fixed to the main surface of the ceramic body.

また、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、前記粒子は、セラミックスであることを特徴とするものである。   Moreover, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the particles are ceramics.

また、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、前記セラミック体の両方の主面に多数の前記粒子が固着していることを特徴とするものである。   Moreover, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above configuration, a large number of the particles are fixed to both main surfaces of the ceramic body.

さらに、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、多数の前記粒子は、前記主面の前記発熱体に対応する領域に固着していることを特徴とするものである。   Furthermore, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above configuration, a large number of the particles are fixed to a region of the main surface corresponding to the heating element.

また、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、多数の前記粒子は、前記主面の前記発熱体に対応する領域の間の領域にも固着していることを特徴とするものである。   Moreover, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above-described configuration, a large number of the particles are also adhered to a region between regions corresponding to the heating elements of the main surface.

また、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、前記粒子は、前記セラミック体よりも熱伝導率が高いことを特徴とするものである。   Moreover, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the particles have higher thermal conductivity than the ceramic body.

さらに、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、前記粒子は、前記セラミック体と主成分が同じであることを特徴とするものである。   Furthermore, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the particles have the same main component as the ceramic body.

また、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、前記セラミック体の前記主面の外周部に、前記粒子が固着していない領域があることを特徴とするものである。   Moreover, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above configuration, there is a region where the particles are not fixed to the outer peripheral portion of the main surface of the ceramic body.

また、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、前記粒子は、角張った形状であることを特徴とするものである。   The ceramic heater according to the present invention is characterized in that, in the above configuration, the particles have an angular shape.

また、本発明のセラミックヒータは、上記構成において、前記粒子は、前記セラミック体の結晶粒子よりも大きいことを特徴とするものである。   Moreover, the ceramic heater of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the particles are larger than crystal particles of the ceramic body.

本発明のセラミックヒータによれば、板状のセラミック体の内部に発熱体を有し、前記セラミック体の主面に多数の無機質の粒子が固着していることから、セラミックヒータのセラミック体の主面の比表面積が多数の粒子が固着していることによって増大し、被加熱物を加熱する際の熱伝達時に固着している粒子がいわゆるフィン効果を奏するので、被加熱物への熱伝達の効率がよくなり、加熱時間を短縮できるようになる。また、セラミックヒータのセラミック体の主面の温度分布を小さくすることができるため、繰り返し使用する場合における熱応力によるヒータ割れの防止にも効果があるものとなる。   According to the ceramic heater of the present invention, the heating element is provided inside the plate-shaped ceramic body, and a large number of inorganic particles are fixed to the main surface of the ceramic body. The specific surface area of the surface increases when a large number of particles are fixed, and the particles fixed at the time of heat transfer when heating the object to be heated exhibit a so-called fin effect. Efficiency is improved and heating time can be shortened. Moreover, since the temperature distribution of the main surface of the ceramic body of the ceramic heater can be reduced, it is also effective in preventing heater cracking due to thermal stress in repeated use.

以下、本発明のセラミックヒータの実施の形態の例を図面を参照しながら説明する。図１は本発明のセラミックヒータの実施の形態の一例を示す斜視図であり、図２は図１に示すセラミックヒータのＡ−Ａ線断面を示す断面図である。   Hereinafter, embodiments of the ceramic heater according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an example of an embodiment of the ceramic heater of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cross section of the ceramic heater shown in FIG.

本例のセラミックヒータ10は、図１に示すようにセラミック体１の内部に発熱抵抗体２が埋設されており、この発熱抵抗体２の端部と電気的に接続されたリード部３および外部電極（電極パッド）４にロウ材を介してリード部材５が接続された構成である。そして、本例のセラミックヒータ１のセラミック体１の主面には、多数の無機質の粒子６が固着している。なお、図１に示す例においては、セラミック体１の主面に粒子６が固着している様子を分かりやすく示すために、粒子６の個数については図示を省略して極端に少なく示している。   In the ceramic heater 10 of this example, as shown in FIG. 1, a heating resistor 2 is embedded in a ceramic body 1, and a lead portion 3 electrically connected to an end portion of the heating resistor 2 and an external portion. A lead member 5 is connected to an electrode (electrode pad) 4 via a brazing material. A large number of inorganic particles 6 are fixed to the main surface of the ceramic body 1 of the ceramic heater 1 of this example. In the example shown in FIG. 1, the number of particles 6 is not shown and is shown extremely small in order to easily show how the particles 6 are fixed to the main surface of the ceramic body 1.

本発明のセラミックヒータ10によれば、図１および図２に示すように、セラミック体１の主面に多数の無機質の粒子６が固着していることから、セラミック体１の主面の比表面積が粒子６によって増大し、比加熱物を加熱する際の被加熱物に対する輻射熱の輻射効率あるいは熱伝達の効率がよくなり、従来のセラミックヒータに比べて被加熱物を急速に加熱できるものとなり、加熱時間を短縮できるものとなる。   According to the ceramic heater 10 of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, a large number of inorganic particles 6 are fixed to the main surface of the ceramic body 1, and therefore the specific surface area of the main surface of the ceramic body 1. Is increased by the particles 6, and the radiation efficiency or heat transfer efficiency of the radiant heat to the object to be heated when heating the specific heating object is improved, and the object to be heated can be rapidly heated compared to the conventional ceramic heater, Heating time can be shortened.

このようなセラミックヒータ10によって被加熱物を急速に加熱できるのは、セラミックヒータ10の板状のセラミック体１の主たる表面である主面に多数の無機質の粒子６が固着していることで、セラミック体１の主面の比表面積が粒子６によって増大し、熱放散面積が増えるからである。すなわち、多数の無機質の粒子６がいわゆるフィン効果を奏するものとして機能するからである。   The reason why the object to be heated can be rapidly heated by such a ceramic heater 10 is that a large number of inorganic particles 6 are fixed to the main surface which is the main surface of the plate-like ceramic body 1 of the ceramic heater 10. This is because the specific surface area of the main surface of the ceramic body 1 is increased by the particles 6 and the heat dissipation area is increased. That is, the large number of inorganic particles 6 function as a so-called fin effect.

また、本発明のセラミックヒータ10によれば、セラミック体１の主面に多数の粒子６が固着していることから、繰り返し使用する場合におけるセラミック体１の割れ防止にも効果がある。それは、セラミックヒータ10のセラミック体１の主面に多数の無機質の粒子６を固着させることによって、セラミック体１の主面における熱放散面積が大きくなり、セラミック体１における温度むらが低減されるようになるので、セラミックヒータ10の内部における温度分布を緩和することができるからである。また同時に、セラミックヒータ10における温度分布を緩和できることで、セラミックヒータ10自体の内部における温度差を小さくできるとともに、このセラミックヒータ10によって加熱される被加熱物の温度むらを小さくできる効果もある。   In addition, according to the ceramic heater 10 of the present invention, since a large number of particles 6 are fixed to the main surface of the ceramic body 1, it is also effective in preventing cracking of the ceramic body 1 when repeatedly used. That is, by fixing a large number of inorganic particles 6 to the main surface of the ceramic body 1 of the ceramic heater 10, the heat dissipation area on the main surface of the ceramic body 1 is increased, and the temperature unevenness in the ceramic body 1 is reduced. This is because the temperature distribution inside the ceramic heater 10 can be relaxed. At the same time, since the temperature distribution in the ceramic heater 10 can be relaxed, the temperature difference in the ceramic heater 10 itself can be reduced, and the temperature unevenness of the heated object heated by the ceramic heater 10 can be reduced.

本発明のセラミックヒータ10において、粒子６はセラミックスであることが好ましい。     In the ceramic heater 10 of the present invention, the particles 6 are preferably ceramics.

粒子６がセラミックスであることで、焼成によってセラミックス体１の主面に対して粒子６を焼結させて強固に固着させることができるとともに、セラミックス体１との熱膨張差を他の無機質である金属材料等と比較して小さくすることもできるので、セラミックヒータ10の加熱・冷却時に粒子６がセラミック体１の主面から脱落するのを抑制することができる。また、被加熱物が流体であり、特に強アルカリあるいは強酸等の流体を加熱するときには、それらに対して粒子６がセラミック体１と同様に優れた耐薬品性を有しているので、セラミックヒータ10の寿命を粒子６に金属材料を用いた場合に比較して延ばすことができる。   Since the particles 6 are ceramic, the particles 6 can be sintered and firmly fixed to the main surface of the ceramic body 1 by firing, and the thermal expansion difference from the ceramic body 1 is other inorganic. Since it can be made smaller than a metal material or the like, the particles 6 can be prevented from falling off from the main surface of the ceramic body 1 when the ceramic heater 10 is heated and cooled. In addition, when the object to be heated is a fluid, and particularly when a fluid such as a strong alkali or strong acid is heated, the particles 6 have excellent chemical resistance in the same manner as the ceramic body 1. The lifetime of 10 can be extended compared with the case where a metal material is used for the particles 6.

なお、粒子６として用いることができる他の無機質の材料としては、アルミナ（酸化アルミニウム），窒化アルミニウム，炭化珪素等がある。セラミック体１の主面にアルミナ，窒化珪素からなる粒子６を固着させるには、それぞれの粉末を有機バインダーおよび有機溶剤を用いてペースト状にして、セラミック体１となる成形体にスクリーン印刷等で塗布後に同時焼成すればよい。また、炭化珪素からなる粒子６を固着させるには、焼結させたセラミック体１の主面にセラミック溶射等で固着させればよい。     Other inorganic materials that can be used as the particles 6 include alumina (aluminum oxide), aluminum nitride, silicon carbide, and the like. In order to fix the particles 6 made of alumina and silicon nitride to the main surface of the ceramic body 1, each powder is made into a paste using an organic binder and an organic solvent, and the formed body to be the ceramic body 1 is screen-printed or the like. What is necessary is just to carry out simultaneous baking after application | coating. In order to fix the particles 6 made of silicon carbide, the particles 6 may be fixed to the main surface of the sintered ceramic body 1 by ceramic spraying or the like.

多数の粒子６の大きさとしては、数μｍ〜100μｍレベルのものを選択する。なお、粒子６の大きさの幅を大きくすることで、大きな粒子６間を小さな粒子６で埋めることが可能となり、セラミック体１の主面の表面積をより大きくすることができる。     The size of the large number of particles 6 is selected from several μm to 100 μm. In addition, by increasing the width of the size of the particles 6, it is possible to fill the space between the large particles 6 with the small particles 6, and the surface area of the main surface of the ceramic body 1 can be further increased.

また、多数の粒子６が固着している範囲での粒子６の数の密度は、セラミック体１の主面の面積の30％以上90％以下の面積を占めるようにしておくことが好ましい。面積が30％未満では、セラミック体１の主面の表面積を本発明の効果が得られるように大きくするには不足する傾向があり、また被加熱物との非接触部分が多くなるため、被加熱物に均一に熱を伝えにくくなる傾向がある。他方、面積が90％を超えると、セラミック体１の主面において粒子６同士が凝集体として存在するようになるために、セラミック体１の主面の表面積を効果的に大きくすることが難しくなる傾向があり、また被加熱物との接触が悪くなるため、被加熱物に均一に熱を伝えにくくなる傾向がある。   The density of the number of particles 6 in a range where a large number of particles 6 are fixed preferably occupies an area of 30% or more and 90% or less of the area of the main surface of the ceramic body 1. If the area is less than 30%, it tends to be insufficient to increase the surface area of the main surface of the ceramic body 1 so that the effects of the present invention can be obtained, and more non-contact parts with the object to be heated increase. There is a tendency that heat is not uniformly transmitted to the heated object. On the other hand, when the area exceeds 90%, the particles 6 are present as aggregates on the main surface of the ceramic body 1, so that it is difficult to effectively increase the surface area of the main surface of the ceramic body 1. Since there is a tendency and contact with an object to be heated is worsened, there is a tendency that heat is not easily transmitted to the object to be heated.

また、粒子６の形状は、球形状を始めとして、板状，多角柱状，多角錐状，多面体状等であってもよい。中でも、図２に示すように、粒子６が球形状や丸みを帯びた形状であるよりも角張った形状であることによって、粒子６の比表面積を大きくすることが可能であるので、フィン効果を大きくすることができ、さらに熱を効率良く伝えることができるようになるので、好ましい。また、粒子６が角張った形状であると、後述するように複数のセラミックヒータ10を重ねて置いておくような場合に取り扱いやすいという利点もある。   The shape of the particles 6 may be a spherical shape, a plate shape, a polygonal column shape, a polygonal pyramid shape, a polyhedral shape, or the like. Among them, as shown in FIG. 2, the specific surface area of the particles 6 can be increased by making the particles 6 more angular than spherical or rounded, so that the fin effect can be increased. This is preferable because it can be increased and heat can be transferred efficiently. Further, when the particle 6 has an angular shape, there is an advantage that it is easy to handle when a plurality of ceramic heaters 10 are stacked as will be described later.

また、本発明のセラミックヒータ10においては、図３に図２と同様の断面図で示すように、セラミック体１の両方の主面に多数の粒子６が固着していることが好ましい。図３は本発明のセラミックヒータの実施の形態の他の例を示す断面図である。この場合には、図２に示す例のようにセラミック体１の主面の片方のみに粒子６が固着している場合と比較して、セラミックヒータ10のセラミック体１の主面の比表面積が両面において増大するので、両面において熱伝達の効率を高めることができ、被加熱物である流体中に投入して加熱するような場合に効率よく加熱することができ、被加熱物の加熱時間を短縮することができる。また、セラミック体１の両方の主面に対してそれぞれ配置された被加熱物を効率よく加熱時間を短縮して加熱することができる。さらに、両方の主面において温度分布を小さくすることができ、繰り返し使用する場合においてセラミック体１が一方の主面側に反ったりするのを抑制することができるので、耐久性にも優れたものとなる。   Further, in the ceramic heater 10 of the present invention, it is preferable that a large number of particles 6 are fixed to both main surfaces of the ceramic body 1 as shown in a cross-sectional view similar to FIG. FIG. 3 is a sectional view showing another example of the embodiment of the ceramic heater of the present invention. In this case, the specific surface area of the main surface of the ceramic body 1 of the ceramic heater 10 is larger than the case where the particles 6 are fixed to only one of the main surfaces of the ceramic body 1 as in the example shown in FIG. Since it increases on both sides, the efficiency of heat transfer can be increased on both sides, and when heated by being put into the fluid that is the object to be heated, it can be heated efficiently, and the heating time of the object to be heated is reduced. It can be shortened. Moreover, the to-be-heated material respectively arrange | positioned with respect to both the main surfaces of the ceramic body 1 can be heated efficiently, shortening heating time. Further, the temperature distribution on both main surfaces can be reduced, and the ceramic body 1 can be prevented from warping to one main surface side when repeatedly used, so that it has excellent durability. It becomes.

また、本発明のセラミックヒータ10において、多数の粒子６は、図４に図１と同様の斜視図で示すように、セラミック体１の主面の発熱体２に対応する領域に固着していることが好ましい。図４は本発明のセラミックヒータの実施の形態のさらに他の例を示す斜視図である。図４に示す例では、図１に示す例と同じくセラミック体１の内部において一対のリード部３間で発熱体２が３度折り返したいわゆるミアンダ状に配設されており、多数の粒子６もその発熱体２に対応する主面の領域にミアンダ状のパターンに固着している。   Further, in the ceramic heater 10 of the present invention, a large number of particles 6 are fixed to a region corresponding to the heating element 2 on the main surface of the ceramic body 1 as shown in a perspective view similar to FIG. It is preferable. FIG. 4 is a perspective view showing still another example of the embodiment of the ceramic heater according to the present invention. In the example shown in FIG. 4, as in the example shown in FIG. 1, the heating element 2 is disposed in a so-called meander shape between the pair of lead portions 3 inside the ceramic body 1. The meander pattern is fixed to the region of the main surface corresponding to the heating element 2.

セラミック体１の主面の全面に多数の粒子６が固着していると、全面において熱伝達の効率がよくなるもののリード部３に対応する領域へも熱伝達が良好になり、リード部３に対応する領域の温度も上昇するとともに外部電極４の温度も上昇して、外部電極４のロウ付け部にロウ材により電気的に接続されているリード部材５が外れてしまう可能性がある。これに対して、セラミック体１の主面のうちでも発熱体２に対応する領域、すなわちセラミック体１の内部の発熱体２を主面に投影した領域に多数の粒子６が固着している場合には、発熱体２に対応する領域から効率よく熱伝達を行なうことができるものとなり、リード部材５が外れてしまうことを防止しつつ被加熱物を急速に加熱できて加熱時間を短縮することができるものとなる。   If a large number of particles 6 are fixed on the entire main surface of the ceramic body 1, the heat transfer efficiency is improved over the entire surface, but the heat transfer to the region corresponding to the lead portion 3 is also improved. There is a possibility that the temperature of the region to be increased and the temperature of the external electrode 4 also increase, and the lead member 5 electrically connected to the brazed portion of the external electrode 4 by the brazing material may come off. On the other hand, when a large number of particles 6 are fixed to a region corresponding to the heating element 2 in the main surface of the ceramic body 1, that is, a region where the heating element 2 inside the ceramic body 1 is projected onto the main surface. In this case, heat can be efficiently transferred from the region corresponding to the heating element 2, and the heated object can be rapidly heated while preventing the lead member 5 from coming off, thereby shortening the heating time. Will be able to.

また、本発明のセラミックヒータ10においては、多数の粒子６は、図５に図４と同様の斜視図で示すように、セラミック体１の主面の発熱体２に対応する領域の間の領域にも固着していることも好ましい。図５は本発明のセラミックヒータの実施の形態のさらに他の例を示す斜視図である。図５に示す例では、図４に示す例と同じくセラミック体１の内部において一対のリード部３間で発熱体２が３度折り返したミアンダ状に配設されており、多数の粒子６もその発熱体２に対応する主面のミアンダ状の領域に加えて、その間の領域にも固着しており、多数の粒子６の全体としては発熱体２をカバーする四角形状のパターンに固着している。   Further, in the ceramic heater 10 of the present invention, a large number of particles 6 are regions between regions corresponding to the heating elements 2 on the main surface of the ceramic body 1 as shown in a perspective view similar to FIG. Further, it is also preferable that they adhere to each other. FIG. 5 is a perspective view showing still another example of the embodiment of the ceramic heater of the present invention. In the example shown in FIG. 5, the heating element 2 is arranged in a meander shape in which the heating element 2 is folded back three times between the pair of lead portions 3 in the ceramic body 1 as in the example shown in FIG. 4. In addition to the meandering region of the main surface corresponding to the heating element 2, it is also fixed to the region between them, and the entire number of particles 6 are fixed to a rectangular pattern covering the heating element 2. .

このように、多数の粒子６がセラミック体１の発熱体２に対応する領域に固着しているとともに発熱体２に対応する領域の間の領域にも固着している場合には、セラミック体１の主面の発熱体２に対応する領域とその間の領域との両方でもって発熱体２に対応して効率よく熱伝達を行なうことができ、熱効率をさらに高めることができるとともに、両方の領域にわたってセラミックヒータ10のセラミック体１の主面における温度分布を均一にして温度むらを小さくすることができる。   As described above, when the large number of particles 6 are fixed to the region corresponding to the heating element 2 of the ceramic body 1 and also to the region between the regions corresponding to the heating element 2, the ceramic body 1. The heat transfer can be efficiently performed in correspondence with the heating element 2 in both the area corresponding to the heating element 2 on the main surface and the area between the two, and the thermal efficiency can be further increased. The temperature distribution on the main surface of the ceramic body 1 of the ceramic heater 10 can be made uniform to reduce temperature unevenness.

また、本発明のセラミックヒータ10においては、被加熱物への熱伝達の効率をさらに高める上では、粒子６は、セラミック体１よりも熱伝導率が高いことが好ましい。具体的には、セラミック体１がアルミナ質セラミックスからなる場合であれば、粒子６には窒化アルミニウムからなるものを用いればよく、セラミック体１が窒化珪素質セラミックスからなる場合であれば、粒子６には炭化珪素からなるものを用いればよい。   In the ceramic heater 10 of the present invention, the particles 6 preferably have a higher thermal conductivity than the ceramic body 1 in order to further increase the efficiency of heat transfer to the object to be heated. Specifically, if the ceramic body 1 is made of an alumina ceramic, the particles 6 may be made of aluminum nitride. If the ceramic body 1 is made of a silicon nitride ceramic, the particles 6 What consists of silicon carbide should just be used for.

さらに、本発明のセラミックヒータ10において、粒子６は、セラミック体１と主成分が同じであることが好ましい。粒子６の主成分がセラミック体１の主成分と同じであるときには、主成分が同じであることから両者の熱膨張を同じにすることができ、粒子６とセラミック体１との間に発生する熱応力を小さくすることができるので、セラミックヒータ10のサイクル通電時や繰り返し使用する場合に、粒子６の脱落やセラミック体１の割れを抑制することができる。   Furthermore, in the ceramic heater 10 of the present invention, it is preferable that the particles 6 have the same main component as the ceramic body 1. When the main component of the particle 6 is the same as the main component of the ceramic body 1, since the main component is the same, the thermal expansion of both can be made the same and occurs between the particle 6 and the ceramic body 1. Since the thermal stress can be reduced, dropping of the particles 6 and cracking of the ceramic body 1 can be suppressed when the ceramic heater 10 is cycled and repeatedly used.

また、本発明のセラミックヒータ10においては、図１，図４および図５にも示しているように、セラミック体１の主面の外周部に、粒子６が固着していない領域があることが好ましい。セラミック体１の主面において外周部にも多数の粒子６が固着していると、熱応力によってセラミック体１が変形した際に、外周部に固着した粒子６を基点としてセラミック体１の縁部にクラックが生じることがあり、このクラックが進展してセラミック体１の割れにつながることがある。これに対して、セラミック体１の主面の外周部に、粒子６が固着していない領域があることによって、セラミック体１の外周部、特に縁部における熱応力によるクラックの発生を抑えて、セラミック体１の割れの発生を抑制することができる。   Further, in the ceramic heater 10 of the present invention, as shown in FIGS. 1, 4, and 5, there may be a region where the particles 6 are not fixed on the outer peripheral portion of the main surface of the ceramic body 1. preferable. When a large number of particles 6 are fixed to the outer peripheral portion of the main surface of the ceramic body 1, when the ceramic body 1 is deformed due to thermal stress, the edge of the ceramic body 1 starts from the particles 6 fixed to the outer peripheral portion. In some cases, cracks may occur, and the cracks may develop and lead to cracking of the ceramic body 1. On the other hand, the presence of the region where the particles 6 are not fixed to the outer peripheral portion of the main surface of the ceramic body 1 suppresses the occurrence of cracks due to thermal stress in the outer peripheral portion of the ceramic body 1, particularly the edge portion, Generation | occurrence | production of the crack of the ceramic body 1 can be suppressed.

このようにセラミック体１の主面の外周部に設ける粒子６が固着していない領域は、発熱体２に対応する領域外のセラミック体１の部分に、主面の外周に沿って設けるようにする。このようにセラミック体１の主面の外周部に粒子６が固着していない領域を設けることで、セラミック体１の外周端部への熱拡散を小さくして、外周端部での熱応力を小さくすることができる。
ところで、本発明のセラミックヒータ10では、セラミック体１の取り扱いとして、主面に多数の粒子６が固着していることからこの主面に当接しているものに引っ掛かりやすくなっており、セラミック体１が重ねてあるときには、それぞれが互いにくっ付いてハンドリングしづらいことがある。このようなときは、図２および図３に示すように、多数の粒子６は、角張った形状にするとよい。これにより、セラミック体１同士の接触が粒子６の先端の点接触となるので、セラミック体１同士のくっつきを防止して取り扱いやすいものになる。 Thus, the region where the particles 6 provided on the outer peripheral portion of the main surface of the ceramic body 1 are not fixed is provided along the outer periphery of the main surface in the portion of the ceramic body 1 outside the region corresponding to the heating element 2. To do. Thus, by providing the area | region where the particle | grains 6 are not adhering to the outer peripheral part of the main surface of the ceramic body 1, the thermal diffusion to the outer peripheral edge part of the ceramic body 1 is made small, and the thermal stress in an outer peripheral edge part is reduced. Can be small.
By the way, in the ceramic heater 10 of the present invention, as the ceramic body 1 is handled, a large number of particles 6 are fixed to the main surface, so that the ceramic body 1 is easily caught on the main surface. When they are stacked, they can stick to each other and are difficult to handle. In such a case, as shown in FIGS. 2 and 3, the large number of particles 6 may have an angular shape. As a result, the contact between the ceramic bodies 1 becomes a point contact at the tips of the particles 6, so that the ceramic bodies 1 can be prevented from sticking together and handled easily.

また、本発明のセラミックヒータ10においては、粒子６は、セラミック体１の結晶粒子よりも大きいことが好ましい。粒子６の大きさがセラミック体１の結晶粒子の大きさよりも大きいことによって、粒子６が小さいと粒界が多く存在するために熱伝導のロスが多くなる傾向があるのに対して、粒子６による熱伝導が良くなるからである。   In the ceramic heater 10 of the present invention, the particles 6 are preferably larger than the crystal particles of the ceramic body 1. When the size of the particles 6 is larger than the size of the crystal particles of the ceramic body 1, there is a tendency that if the particles 6 are small, there are many grain boundaries, so that the loss of heat conduction tends to increase. This is because the heat conduction due to is improved.

このとき、粒子６の大きさは、例えばセラミック体１の結晶粒子の大きさが１〜５μｍであるのに対して、30〜200μｍ程度の大きさとすることが、セラミック体１の結晶粒子に比べて十分な熱伝導の良さを確保できる点で好ましい。また、そのように粒子６がセラミック体１の結晶粒子よりも大きいことによって、被加熱物をセラミックヒータ10に直接載置した場合においてセラミック体１と被加熱物との距離を粒子６が介在して十分に確保できるので、加熱中の異常時にセラミック体１が割れるようなことがあっても被加熱物が被害を受けるような事態を減少することができる点でも好ましい。   At this time, the size of the particles 6 is, for example, about 30 to 200 μm compared to the crystal particles of the ceramic body 1, whereas the size of the crystal particles of the ceramic body 1 is 1 to 5 μm. It is preferable in that sufficient heat conduction can be secured. Further, since the particles 6 are larger than the crystal particles of the ceramic body 1, when the object to be heated is placed directly on the ceramic heater 10, the particles 6 interpose the distance between the ceramic body 1 and the object to be heated. Therefore, even if the ceramic body 1 breaks when an abnormality occurs during heating, it is preferable that the situation in which the object to be heated is damaged can be reduced.

なお、粒子６の大きさおよびセラミック体１の結晶粒子の大きさは、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）写真で拡大して観察し、各粒子６および結晶粒子について観察される最大長さ部を大きさとし、100個の粒子６および結晶粒子について求めた大きさの平均値をそれぞれの大きさとすればよい。
次に、本発明のセラミックヒータの製造方法について説明する。 The size of the particles 6 and the size of the crystal particles of the ceramic body 1 are enlarged and observed with a SEM (scanning electron microscope) photograph, and the maximum length portion observed for each particle 6 and the crystal particles is increased. The average value of the sizes obtained for the 100 particles 6 and the crystal particles may be the respective sizes.
Next, the manufacturing method of the ceramic heater of this invention is demonstrated.

セラミック体１としては、酸化物セラミックス，窒化物セラミックス，炭化物セラミックス等の絶縁性を備えたセラミックスを用いることができる。具体的には、アルミナ質セラミックス，窒化珪素質セラミックス，窒化アルミニウム質セラミックス，炭化珪素質セラミックス等を用いることができる。中でも、耐酸化性の点からは、アルミナ質セラミックスを用いることが好ましい。   As the ceramic body 1, ceramics having insulating properties such as oxide ceramics, nitride ceramics, carbide ceramics can be used. Specifically, alumina ceramics, silicon nitride ceramics, aluminum nitride ceramics, silicon carbide ceramics, or the like can be used. Among these, alumina ceramics is preferably used from the viewpoint of oxidation resistance.

まず、このようなセラミックスからなるセラミック体１を作製するため、上記のセラミックス成分にＳｉＯ２，ＣａＯ，ＭｇＯ，ＺｒＯ２等の焼結助剤を含有させて調製したセラミックスラリーをシート状に成形して、セラミックグリーンシートを作製する。あるいは、上記成分を混合してプレス等で板状の成型体を作製する。 First, in order to produce the ceramic body 1 made of such ceramics, a ceramic slurry prepared by adding a sintering aid such as SiO 2 , CaO, MgO, ZrO 2 to the above ceramic component is formed into a sheet shape. To produce a ceramic green sheet. Or the said component is mixed and a plate-shaped molding is produced with a press.

このセラミック体１となるセラミックグリーンシートあるいは成型体の一方の主面に、発熱体２，リード部３となる抵抗体ペーストまたは導電性ペーストのパターンをそれぞれスクリーン印刷等の手法を用いて形成する。発熱体２およびリード部３の材料としては、セラミック体１との同時焼成によって作製が可能なＷ，Ｍｏ，Ｒｅ等の高融点金属を主成分とするものを用いる。抵抗体ペーストおよび導電性ペーストは、これらの高融点金属にセラミック原料，バインダー，有機溶剤等を調合し混練することで作製できる。またこのとき、セラミックヒータ10の用途に応じて、発熱体２となる抵抗体ペーストまたは導電性ペーストのパターンの長さや折り返しパターンの距離・間隔やパターンの線幅を変更することにより、発熱体２の発熱位置や抵抗値を所望の値に設定する。   A pattern of a resistor paste or a conductive paste to be the heating element 2 or the lead portion 3 is formed on one main surface of the ceramic green sheet or the molded body to be the ceramic body 1 by using a method such as screen printing. As a material for the heating element 2 and the lead part 3, a material mainly composed of a refractory metal such as W, Mo, Re or the like that can be produced by simultaneous firing with the ceramic body 1 is used. The resistor paste and the conductive paste can be prepared by mixing and kneading ceramic raw materials, binders, organic solvents and the like with these high melting point metals. At this time, the heating element 2 can be changed by changing the length of the resistor paste or conductive paste pattern, the distance / interval of the folded pattern, and the line width of the pattern depending on the application of the ceramic heater 10. The heat generation position and resistance value are set to desired values.

そして、このパターンが形成されたセラミックグリーンシートあるいは成型体に、さらに同一材質のセラミックグリーンシートあるいは成型体と積層液を用いて積層して密着させることにより、内部に発熱体２およびリード部３を有するセラミック体１となる板状の成型体が得られる。   The ceramic green sheet or molded body on which this pattern is formed is further laminated and adhered to the ceramic green sheet or molded body of the same material using a laminating liquid, so that the heating element 2 and the lead portion 3 are placed inside. A plate-like molded body to be the ceramic body 1 is obtained.

ここで、セラミック体１の表面に多数の粒子６を固着させる方法について説明する。粒子６の固着方法は、大きく分けて、焼成前に固着させる方法と焼成後に固着させる方法とがある。それぞれについて説明する。   Here, a method for fixing a large number of particles 6 to the surface of the ceramic body 1 will be described. The fixing method of the particles 6 is roughly divided into a method of fixing before firing and a method of fixing after firing. Each will be described.

多数の粒子６をセラミック体１の主面に焼成前に固着させる方法には、例えば、多数の粒子６をバインダー，有機溶剤等と調合し混練して作製したペーストをスクリーン印刷等でセラミック体１となるセラミックグリーンシートあるいは成型体の主面に塗布する方法がある。他の方法としては、同様のペーストを用いたディッピング方法，スプレー方法等がある。ディッピング方法に用いるペーストは、スクリーン印刷法に用いるペーストよりも粘性を増して作製し、逆にスプレー方法で用いるペーストは、スクリーン印刷法で用いるペーストよりも粘性を下げて作製する。   In order to fix a large number of particles 6 to the main surface of the ceramic body 1 before firing, for example, a paste prepared by mixing and kneading a large number of particles 6 with a binder, an organic solvent or the like is screen-printed or the like. There is a method of applying to the main surface of the ceramic green sheet or molded body. As other methods, there are a dipping method and a spray method using the same paste. The paste used for the dipping method is produced with a higher viscosity than the paste used for the screen printing method. Conversely, the paste used for the spray method is produced with a lower viscosity than the paste used for the screen printing method.

また、このようにしてセラミック体１の主面に印刷あるいは塗布された粒子６とセラミック体１との固着力を増すためには、プレス機を用いて板状の成型体を粒子６の上から加圧することが効果的である。あるいは、板状の成型体を重ねて乾燥させることによっても、同様に固着力を増す効果を得ることができる。   Further, in order to increase the adhesion between the particles 6 printed or coated on the main surface of the ceramic body 1 and the ceramic body 1 in this way, the plate-like molded body is removed from above the particles 6 using a press machine. It is effective to apply pressure. Alternatively, the effect of increasing the fixing force can be obtained by stacking and drying plate-like molded bodies.

このようにしてできた板状の成形体を焼成することによって、内部に発熱体２を有し、主面に多数の粒子６が固着しているセラミック体１を得ることができる。   By firing the plate-shaped molded body thus formed, it is possible to obtain the ceramic body 1 having the heating element 2 inside and a large number of particles 6 fixed to the main surface.

また、多数の粒子６をセラミック体１の主面に焼成後に固着させる方法としては、板状の成型体を焼成して得られたセラミック体１の主面に、セラミック溶射により多数の粒子６を固着させる方法がある。この場合は、セラミックス系のコーティング材料を加熱して溶融ないし半溶融の微粒子の状態として、セラミック体１の主面に高速で衝突させることで、多数の粒子６を固着させることができる。あるいは、粒子６と低融点のガラスとを有機バインダーおよび有機溶剤を用いてペースト状にし、このペーストを印刷塗布した後、焼き付けることによって、多数の粒子６を固着させるようにしてもよい。
次に、主面に多数の粒子６が固着しているセラミック体１に発熱体２およびリード部３と同様にして形成された電極パッド（外部電極）４上に、ロウ材を介してリード部材５を接合する。ロウ材としては、Ａｕ−Ｃｕ，Ａｇ，Ａｇ−Ｃｕ等を主成分とするものを用いることができる。また、リード部材５としては、Ｎｉ，Ｎｉ合金，白金，銅等の低抵抗の金属からなる線材を用いることができる。 As a method of fixing a large number of particles 6 to the main surface of the ceramic body 1 after firing, a large number of particles 6 are applied to the main surface of the ceramic body 1 obtained by firing a plate-shaped molded body by ceramic spraying. There is a method of fixing. In this case, a large number of particles 6 can be fixed by heating the ceramic coating material into a molten or semi-molten fine particle state and colliding with the main surface of the ceramic body 1 at a high speed. Alternatively, a large number of particles 6 may be fixed by making particles 6 and low-melting glass into a paste using an organic binder and an organic solvent, printing the paste, and baking it.
Next, a lead member is disposed on a ceramic body 1 having a large number of particles 6 fixed on the main surface thereof on an electrode pad (external electrode) 4 formed in the same manner as the heating element 2 and the lead portion 3 via a brazing material. 5 is joined. As the brazing material, a material mainly composed of Au-Cu, Ag, Ag-Cu, or the like can be used. Moreover, as the lead member 5, a wire made of a low resistance metal such as Ni, Ni alloy, platinum, or copper can be used.

図１〜図３に示す本発明のセラミックヒータ10を以下のようにして作製した。   The ceramic heater 10 of the present invention shown in FIGS. 1 to 3 was produced as follows.

まず、Ａｌ２Ｏ３を主成分とし、ＳｉＯ２，ＣａＯ，ＭｇＯ，ＺｒＯ２が合計で10質量％以内になるように調整したセラミックグリーンシートを作製した。そして、このセラミックグリーンシートの表面に、発熱体２とリード部３、および電極パッド４となるＷを主成分とする導電性ペーストを、スクリーン印刷法にてそれぞれのパターンに印刷した。これらが印刷されたセラミックグリーンシートと、印刷していない同一材料，同一形状のセラミックグリーンシートとを、同一の組成のセラミックスを分散させた積層液を塗布して積層して、板状の成型体を得た。 First, a ceramic green sheet containing Al 2 O 3 as a main component and adjusted so that the total amount of SiO 2 , CaO, MgO, and ZrO 2 was within 10 mass% was produced. Then, a conductive paste mainly composed of W, which becomes the heating element 2, the lead portion 3, and the electrode pad 4, was printed on each surface of the ceramic green sheet by a screen printing method. A ceramic green sheet with these printed and a ceramic green sheet with the same material and shape, which are not printed, are laminated by applying a layered solution in which ceramics of the same composition are dispersed, and laminated. Got.

次に、この積層した板状の成型体の主面に、スクリーン印刷法にて多数の粒子６を印刷塗布した。なお、両方の主面に粒子６を固着させる試料では、片方の主面に印刷して乾燥した後に、他方の主面に同様にスクリーン印刷法にて粒子６を印刷して乾燥した。   Next, a large number of particles 6 were printed and applied to the main surface of the laminated plate-like molded body by a screen printing method. In addition, in the sample in which the particles 6 are fixed to both main surfaces, after printing on one main surface and drying, the particles 6 were similarly printed on the other main surface by the screen printing method and dried.

粒子６をスクリーン印刷するのに用いるペーストは、数μｍ〜100μｍの大きさのアルミナを主成分とするセラミックス粒子と、バインダーおよび有機溶剤とを混合して作製した。バインダーにはエチルセルロースを主成分とする樹脂を、有機溶剤にはＴＰＯおよびＤＢＰからなる有機溶剤を用いた。ペーストの印刷乾燥後に、板状の成型体への粒子の固着力を増すために、プレス機を用いて、５×10４〜50×10４Ｐａの圧力で、１〜10秒間の条件で成型体の主面への加圧を行なった。 The paste used for screen-printing the particles 6 was prepared by mixing ceramic particles mainly composed of alumina having a size of several μm to 100 μm, a binder, and an organic solvent. A resin mainly composed of ethyl cellulose was used as the binder, and an organic solvent composed of TPO and DBP was used as the organic solvent. After the paste is printed and dried, it is molded using a press at a pressure of 5 × 10 4 to 50 × 10 4 Pa for 1 to 10 seconds in order to increase the adhesion of particles to the plate-shaped molded body. Pressure was applied to the main surface of the body.

こうして得られた板状の成型体を1500〜1600℃の還元雰囲気（窒素雰囲気）中で焼成した。   The plate-like molded body thus obtained was fired in a reducing atmosphere (nitrogen atmosphere) at 1500 to 1600 ° C.

次に、セラミック体１の主面の外部電極（電極パッド）４上に電解メッキにて厚みが２〜４μｍのＮｉメッキ膜を設け、ロウ材としてＡｇロウを用いて、電極パッド４とＮｉからなるφ0.8ｍｍ×長さ50ｍｍのリード部材５とを接合した。   Next, an Ni plating film having a thickness of 2 to 4 μm is provided by electroplating on the external electrode (electrode pad) 4 on the main surface of the ceramic body 1, and Ag brazing is used as a brazing material. The lead member 5 of φ0.8 mm × length 50 mm was joined.

以上のようにして作製されたセラミックヒータ10のセラミック体１の主面の温度分布をサーモグラフィを用いて測定した。測定に用いた試料は、セラミック体１の主面に粒子６を固着していない従来のセラミックヒータを比較例の試料１とし、セラミック体１の片方の主面に多数の粒子６が付着している本発明の実施例を試料２とした。   The temperature distribution of the main surface of the ceramic body 1 of the ceramic heater 10 produced as described above was measured using thermography. The sample used for the measurement is a conventional ceramic heater in which the particles 6 are not fixed to the main surface of the ceramic body 1 as the sample 1 of the comparative example, and a large number of particles 6 are attached to one main surface of the ceramic body 1. An example of the present invention was designated as sample 2.

測定においては、それぞれ試料１，試料２の発熱体２の最高温度が300℃となるような電力を引加した。発熱体２の温度が最高温度で定常状態になったときの各試料のセラミック体１の主面の最低温度を測定すると、試料１では約270℃であったのに対し、試料２では約290℃であった。この結果から、本発明によれば、セラミック体１の主面に多数の粒子６が固着していることで、主面の温度分布を小さくすることができることを確認できた。   In the measurement, electric power was applied so that the maximum temperature of the heating elements 2 of Sample 1 and Sample 2 was 300 ° C., respectively. When the minimum temperature of the main surface of the ceramic body 1 of each sample when the temperature of the heating element 2 reached a steady state was measured, the sample 1 was about 270 ° C., whereas the sample 2 was about 290 ° C. ° C. From this result, according to this invention, it has confirmed that the temperature distribution of a main surface can be made small because many particle | grains 6 adhere to the main surface of the ceramic body 1. FIG.

次に、被加熱物への熱伝達の効率を確認するために、試料１，２のセラミックヒータと同等のサイズで厚みが1.5ｍｍの鉄板をそれぞれの試料のセラミック体１の主面に置き、鉄板の表面の所定最高温度までの到達時間、および定常状態になった時での鉄板の表面の最高温度と最低温度との差を調べた。評価には上記の比較例の試料１および実施例の試料２を用いて比較した。   Next, in order to confirm the efficiency of heat transfer to the object to be heated, an iron plate having the same size as the ceramic heaters of Samples 1 and 2 and a thickness of 1.5 mm is placed on the main surface of the ceramic body 1 of each sample. The time required to reach a predetermined maximum temperature on the surface of the iron plate and the difference between the maximum temperature and the minimum temperature on the surface of the iron plate when the steady state was reached were investigated. In the evaluation, the sample 1 of the comparative example and the sample 2 of the example were compared.

各試料に同じ電力を引加し、最高温度までの時間を確認したところ、試料１では、最高温度までの到達時間が約30秒であり、定常状態での最高温度と最低温度との差は約10℃であった。これに対し、試料２での最高温度までの到達時間は約15秒であり、定常状態での最高温度と最低温度との差は約５℃であった。この結果から、本発明によれば、セラミック体１の主面に多数の粒子６が固着していることで、被加熱物の加熱時間を短くすることができることを確認できた。   When the same power was applied to each sample and the time to maximum temperature was confirmed, in Sample 1, the time to reach the maximum temperature was about 30 seconds, and the difference between the maximum temperature and the minimum temperature in the steady state was It was about 10 ° C. In contrast, the time to reach the maximum temperature in Sample 2 was about 15 seconds, and the difference between the maximum temperature and the minimum temperature in the steady state was about 5 ° C. From this result, according to this invention, it has confirmed that the heating time of a to-be-heated object can be shortened because many particle | grains 6 have adhered to the main surface of the ceramic body 1. FIG.

本発明のセラミックヒータの実施の形態の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of embodiment of the ceramic heater of this invention. 図１に示すセラミックヒータのＡ−Ａ線断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the AA line cross section of the ceramic heater shown in FIG. 本発明のセラミックヒータの実施の形態の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of embodiment of the ceramic heater of this invention. 本発明のセラミックヒータの実施の形態のさらに他の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the further another example of embodiment of the ceramic heater of this invention. 本発明のセラミックヒータの実施の形態のさらに他の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the further another example of embodiment of the ceramic heater of this invention. 従来のセラミックヒータの例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the conventional ceramic heater.

符号の説明Explanation of symbols

１・・・セラミック体
２・・・発熱体
６・・・粒子
10・・・セラミックヒータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ceramic body 2 ... Heating body 6 ... Particle
10 ... Ceramic heater

Claims (10)

板状のセラミック体の内部に発熱体を有し、前記セラミック体の主面に多数の無機質の粒子が固着していることを特徴とするセラミックヒータ。   A ceramic heater having a heating element inside a plate-shaped ceramic body, and a large number of inorganic particles fixed to the main surface of the ceramic body. 前記粒子は、セラミックスであることを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 1, wherein the particles are ceramics. 前記セラミック体の両方の主面に多数の前記粒子が固着していることを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 1, wherein a large number of the particles are fixed to both main surfaces of the ceramic body. 多数の前記粒子は、前記主面の前記発熱体に対応する領域に固着していることを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 1, wherein a large number of the particles are fixed to a region of the main surface corresponding to the heating element. 多数の前記粒子は、前記主面の前記発熱体に対応する領域の間の領域にも固着していることを特徴とする請求項４に記載のセラミックヒータ。   5. The ceramic heater according to claim 4, wherein a large number of the particles are also adhered to a region between regions corresponding to the heating elements of the main surface. 前記粒子は、前記セラミック体よりも熱伝導率が高いことを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 1, wherein the particles have higher thermal conductivity than the ceramic body. 前記粒子は、前記セラミック体と主成分が同じであることを特徴とする請求項２に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 2, wherein the particles have the same main component as the ceramic body. 前記セラミック体の前記主面の外周部に、前記粒子が固着していない領域があることを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 1, wherein there is a region where the particles are not fixed to an outer peripheral portion of the main surface of the ceramic body. 前記粒子は、角張った形状であることを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 1, wherein the particles have an angular shape. 前記粒子は、前記セラミック体の結晶粒子よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒータ。   The ceramic heater according to claim 1, wherein the particles are larger than crystal particles of the ceramic body.
JP2008247340A 2008-09-26 2008-09-26 Ceramic heater Active JP5258480B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008247340A JP5258480B2 (en) 2008-09-26 2008-09-26 Ceramic heater
CN2009801347172A CN102144428B (en) 2008-09-26 2009-09-17 Ceramic heater
KR1020117005113A KR101591315B1 (en) 2008-09-26 2009-09-17 Ceramic heater
PCT/JP2009/066255 WO2010035688A1 (en) 2008-09-26 2009-09-17 Ceramic heater

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008247340A JP5258480B2 (en) 2008-09-26 2008-09-26 Ceramic heater

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010080261A true JP2010080261A (en) 2010-04-08
JP5258480B2 JP5258480B2 (en) 2013-08-07

Family

ID=42059689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008247340A Active JP5258480B2 (en) 2008-09-26 2008-09-26 Ceramic heater

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5258480B2 (en)
KR (1) KR101591315B1 (en)
CN (1) CN102144428B (en)
WO (1) WO2010035688A1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018092728A (en) * 2016-11-30 2018-06-14 日本特殊陶業株式会社 Ceramic heater
US10368582B2 (en) 2012-07-16 2019-08-06 Nicoventures Holdings Limited Electronic vapor provision device
US11083856B2 (en) 2014-12-11 2021-08-10 Nicoventures Trading Limited Aerosol provision systems
US11253671B2 (en) 2011-07-27 2022-02-22 Nicoventures Trading Limited Inhaler component
US11744964B2 (en) 2016-04-27 2023-09-05 Nicoventures Trading Limited Electronic aerosol provision system and vaporizer therefor

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11452179B2 (en) 2017-01-06 2022-09-20 Lg Innotek Co., Ltd. Heating rod and heater having same
KR101952333B1 (en) * 2018-04-30 2019-02-26 주식회사 워터핀 Counteragent supplying apparatus

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04341787A (en) * 1991-05-17 1992-11-27 Sharp Corp Ceramic heater
JP2002025749A (en) * 2000-07-04 2002-01-25 Ibiden Co Ltd Ceramic heater
JP2006332068A (en) * 2006-07-06 2006-12-07 Sumitomo Electric Ind Ltd Ceramic heater and apparatus mounted the same for manufacturing semiconductor or liquid crystal

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3436769B2 (en) 1992-03-09 2003-08-18 日本特殊陶業株式会社 Ceramic heater for oxygen sensor heating
WO2001011921A1 (en) * 1999-08-09 2001-02-15 Ibiden Co., Ltd. Ceramic heater

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04341787A (en) * 1991-05-17 1992-11-27 Sharp Corp Ceramic heater
JP2002025749A (en) * 2000-07-04 2002-01-25 Ibiden Co Ltd Ceramic heater
JP2006332068A (en) * 2006-07-06 2006-12-07 Sumitomo Electric Ind Ltd Ceramic heater and apparatus mounted the same for manufacturing semiconductor or liquid crystal

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11253671B2 (en) 2011-07-27 2022-02-22 Nicoventures Trading Limited Inhaler component
US10368582B2 (en) 2012-07-16 2019-08-06 Nicoventures Holdings Limited Electronic vapor provision device
US11039643B2 (en) 2012-07-16 2021-06-22 Nicoventures Trading Limited Electronic vapor provision device
US11039647B2 (en) 2012-07-16 2021-06-22 Nicoventures Trading Limited Electronic vapor provision device
US11083856B2 (en) 2014-12-11 2021-08-10 Nicoventures Trading Limited Aerosol provision systems
US11744964B2 (en) 2016-04-27 2023-09-05 Nicoventures Trading Limited Electronic aerosol provision system and vaporizer therefor
JP2018092728A (en) * 2016-11-30 2018-06-14 日本特殊陶業株式会社 Ceramic heater

Also Published As

Publication number Publication date
KR101591315B1 (en) 2016-02-03
CN102144428B (en) 2013-10-09
WO2010035688A1 (en) 2010-04-01
JP5258480B2 (en) 2013-08-07
CN102144428A (en) 2011-08-03
KR20110063635A (en) 2011-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5258480B2 (en) Ceramic heater
KR20040068154A (en) Ceramic heater
KR20210116638A (en) Tobacco heating assembly and electric heating smoking device
US20070133964A1 (en) Fluid heating heater
JP5665973B2 (en) Ceramic heater
WO2003007661A1 (en) Ceramic heater and ceramic joined article
JPWO2003015157A1 (en) Ceramic joint
JP2001135464A (en) Ceramic heater
WO2001078456A1 (en) Ceramic heater
JP2003317906A (en) Ceramic heater
JP5777922B2 (en) Ceramic heater
JP2001342079A (en) Ceramic junction body
JP2005026585A (en) Ceramic joined body
JP2001230059A (en) Ceramic substrate for device of semiconductor manufacture and inspection
JP2001237301A (en) Ceramic substrate for semiconductor manufacturing/ inspecting device
JP2002334828A (en) Hot plate unit
JP2016081608A (en) Method for manufacturing ceramic heater
JP2002334820A (en) Ceramic heater for heating semiconductor wafer or liquid crystal substrate
JP2001319758A (en) Hot plate unit
WO2019004089A1 (en) Heater
JP2001332560A (en) Semiconductor manufacturing and inspecting device
JP3924513B2 (en) Wafer support member
JP2002246286A (en) Ceramic heater
JP2006024433A (en) Ceramic heater
JP2003146770A (en) Ceramic joined body

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110415

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121204

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130131

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130326

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130423

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160502

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5258480

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150