JP2010078617A - Fixing tool for contact probe - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fixing tool for a contact probe capable of reducing a contact trace as much as possible when probing. <P>SOLUTION: The fixing tool 10 for the contact probe, which is configured such that one end is attached to a probe guide mechanism and a probe body 2 can be fixed, and which brings the fixed probe body 2 into contact with a probing target P according to the guide by the probe guide mechanism, includes a link mechanism RM which permits a linear or approximately linear movement of the probe body 2 in the reverse direction to an urging direction by the elastic deformation of elastic deformation portions 8a-8d when the probe body 2 is in a contact state and is further urged toward the probing target P by the probe guide mechanism. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、プロービング対象体にプローブ本体を接触させて電気的検査を行うためのコンタクトプローブ用固定具に関するものである。   The present invention relates to a contact probe fixture for performing electrical inspection by bringing a probe main body into contact with a probing object.

この種のコンタクトプローブ用固定具を備えたコンタクトプローブ（以下、「プローブ」ともいう）として、図１３に示すプローブ３１が従来から知られている。このプローブ３１は、先端３２ａがプロービング対象体Ｐに接触させられるプローブ本体３２と、プローブ本体３２を固定するための固定用アーム３３とを備えて構成されている。固定用アーム３３の一端側には、プローブ案内機構（図示せず）に固定するための固定用孔３４ａ，３４ｂが形成されると共に、他端側には、プローブ本体３２を固定するためのプローブ固定部３５が形成されている。この場合、プローブ本体３２およびプローブ固定用アーム３３は、伝導性素材でそれぞれ形成されており、プローブ本体３２をプローブ固定部３５に圧入することにより一体化されると共に、先端３２ａとプローブ固定用アーム３３とが電気的に互いに接続される。   A probe 31 shown in FIG. 13 is conventionally known as a contact probe (hereinafter also referred to as “probe”) provided with this type of contact probe fixture. The probe 31 includes a probe main body 32 whose tip 32 a is brought into contact with the probing object P and a fixing arm 33 for fixing the probe main body 32. Fixing holes 34a and 34b for fixing to a probe guide mechanism (not shown) are formed on one end side of the fixing arm 33, and a probe for fixing the probe main body 32 on the other end side. A fixing portion 35 is formed. In this case, the probe main body 32 and the probe fixing arm 33 are each formed of a conductive material, and are integrated by press-fitting the probe main body 32 into the probe fixing portion 35, and the tip 32a and the probe fixing arm are integrated. 33 are electrically connected to each other.

プローブ３１を用いてプロービング対象体Ｐに対するプロービングを行う場合には、まず、図１４（ａ）に示すように、プローブ案内機構によってプローブ３１の先端３２ａをプロービング対象体Ｐの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構の案内に従って同図（ａ）の矢印Ａの向きでプローブ固定用アーム３３を下動させて、図１４（ｂ）に示すように、先端３２ａをプロービング対象体Ｐに接触させる。次いで、プローブ固定用アーム３３をさらに矢印Ａの向きで下動させると、同図（ｃ）に示すように、プローブ固定用アーム３３が、矢印Ｂの方向に弾性変形し、その弾性力によって先端３２ａが、同図に示す矢印Ａの方向でプロービング対象体Ｐ側に付勢される。これにより、先端３２ａとプロービング対象体Ｐとの電気的接続が完全となる。この後、プローブ案内機構が、プローブ固定用アーム３３およびプローブ本体３２の先端３２ａを介して出力した測定用電圧をプロービング対象体Ｐに印加することにより、所定の電気的検査を実行する。   When probing the probing object P using the probe 31, first, the tip 32a of the probe 31 is positioned above the probing object P by the probe guide mechanism as shown in FIG. Next, according to the guide of the probe guide mechanism, the probe fixing arm 33 is moved downward in the direction of arrow A in FIG. 14A, and the tip 32a contacts the probing object P as shown in FIG. Let Next, when the probe fixing arm 33 is further moved downward in the direction of arrow A, the probe fixing arm 33 is elastically deformed in the direction of arrow B as shown in FIG. 32a is urged toward the probing object P in the direction of arrow A shown in FIG. As a result, the electrical connection between the tip 32a and the probing object P is completed. Thereafter, the probe guide mechanism applies a measurement voltage output via the probe fixing arm 33 and the tip 32a of the probe main body 32 to the probing object P, thereby executing a predetermined electrical inspection.

ところが、従来のプローブ３１には、以下の問題点がある。
第１に、この従来のプローブ３１では、プローブ案内機構によってプローブ固定用アーム３３が下動させられることにより、図１５に示すように、まず、先端３２ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｘに接触する。次いで、さらに下動させられることにより、プローブ固定用アーム３３が一点鎖線で示すように弾性変形すると共に、先端３２ａが一点鎖線で示すプロービング対象体Ｐの表面Ｘ側に付勢される。なお、同図では、動作原理の理解を容易にするために、一点鎖線で示すプローブ３１およびプロービング対象体Ｐについては、プローブ固定用アーム３３の固定用孔３４ａ，３４ｂを基準とした相対的な位置に図示している。この場合、先端３２ａは、固定用孔３４ａ，３４ｂの位置を基準とすれば、矢印Ｃで示すように、固定用孔３４ｂの近傍を中心とした円弧状の軌跡で移動する。この結果、先端３２ａは、図１６に示すように、最初に接触させられた位置から、プロービング対象体Ｐの表面Ｘを矢印Ｄの方向に距離Ｓだけ移動させられる。このため、このプローブ３１には、先端３２ａがプロービング対象体Ｐの表面Ｘを移動することにより、大きな接触痕を残してしまうという問題がある。 However, the conventional probe 31 has the following problems.
First, in this conventional probe 31, when the probe fixing arm 33 is moved downward by the probe guide mechanism, first, the tip 32a contacts the surface X of the probing object P as shown in FIG. . Next, when the probe is further moved downward, the probe fixing arm 33 is elastically deformed as indicated by a one-dot chain line, and the tip 32a is urged toward the surface X side of the probing object P indicated by the one-dot chain line. In this figure, in order to facilitate understanding of the operating principle, the probe 31 and the probing object P indicated by the alternate long and short dash line are relative to each other with reference to the fixing holes 34a and 34b of the probe fixing arm 33. Illustrated in position. In this case, the tip 32a moves along an arcuate locus centered around the vicinity of the fixing hole 34b as indicated by an arrow C, with reference to the positions of the fixing holes 34a and 34b. As a result, the tip 32a is moved by the distance S in the direction of arrow D from the surface X of the probing object P from the position where the tip 32a is first contacted, as shown in FIG. For this reason, the probe 31 has a problem in that a large contact mark is left when the tip 32a moves on the surface X of the probing object P.

第２に、この従来のプローブ３１は、プロービング対象体Ｐの表面側に付勢された際の許容変形量が小さいため、破損を防止するために、その付勢量を監視しなければならない。このため、従来のプローブ３１には、監視装置などを設けることにより装置の大型化を避けられず、しかも装置コストが高騰しているという問題がある。   Secondly, the conventional probe 31 has a small allowable deformation amount when urged to the surface side of the probing object P. Therefore, in order to prevent breakage, the urging amount must be monitored. For this reason, the conventional probe 31 has a problem that it is unavoidable to increase the size of the apparatus by providing a monitoring device or the like, and the apparatus cost is rising.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プロービングの際の接触痕を可能な限り小さくすることが可能なコンタクトプローブ用固定具を提供することを主目的とする。また、プロービングの際の許容変形量が大きなコンタクトプローブ用固定具を提供することを他の目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and a main object of the present invention is to provide a contact probe fixture capable of minimizing contact marks during probing. It is another object of the present invention to provide a contact probe fixture having a large allowable deformation during probing.

上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具は、プローブ案内機構に一端が取り付けられると共にプローブ本体を固定可能に構成され、固定されたプローブ本体をプローブ案内機構による案内に従ってプロービング対象体に接触させるコンタクトプローブ用固定具において、プローブ本体が接触状態であってプローブ案内機構によってプロービング対象体側にさらに付勢されたときに、弾性変形部の弾性変形によってその付勢方向とは逆向き方向へのプローブ本体の直動または近似的直動を許容するリンク機構を備え、リンク機構は、プローブ本体を固定するためのプローブ固定部と、長尺部および短尺部によってＬ字状に形成されてプローブ案内機構に取り付けるための取付部と、少なくとも２つの連結用アームとを備え、少なくとも１つの連結用アームの両端に形成された弾性変形部を介してプローブ固定部および取付部における長尺部の先端部が連結され、かつ少なくとも他の１つの連結用アームの両端に形成された弾性変形部を介してプローブ固定部および取付部における短尺部の先端部が連結され、取付部の長尺部には、長尺部の長さ方向がプローブ案内機構による案内の方向に直交する状態でプローブ案内機構に取付部を固定可能な固定用孔が形成されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the contact probe fixture according to claim 1 is configured such that one end is attached to the probe guide mechanism and the probe body can be fixed, and the fixed probe body is subject to probing according to the guide by the probe guide mechanism. In the contact probe fixture to be brought into contact with the body, when the probe body is in a contact state and further biased toward the probing target body by the probe guide mechanism, the biasing direction is opposite to the biasing direction due to the elastic deformation of the elastic deformation portion. A link mechanism that allows the probe body to move in a direction or approximate linear movement, and the link mechanism is formed in an L shape by a probe fixing portion for fixing the probe body, and a long portion and a short portion. Mounting part for attaching to the probe guide mechanism and at least two connecting arms The distal ends of the long portions of the probe fixing portion and the attachment portion are connected via elastic deformation portions formed at both ends of at least one connecting arm, and are formed at both ends of at least one other connecting arm. The tip of the short part of the probe fixing part and the attachment part are connected via the elastically deformed part, and the long part of the attachment part is perpendicular to the direction of the guide by the probe guide mechanism. In this state, the probe guide mechanism is formed with a fixing hole capable of fixing the attachment portion .

請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具では、プローブ案内機構によってプローブ本体の先端がプロービング対象体に接触させられた状態で、案内方向にさらに付勢されたときには、リンク機構が、弾性変形部の弾性変形により付勢方向とは逆向き方向へのプローブ本体の直動または近似的直動を許容する。したがって、プローブ本体の先端は、プローブ案内機構に取り付けられている一端を基準とすれば、プローブ案内機構の案内方向と同一方向の直線上を実質的に移動するため、位置ずれ量が極めて低減される。このため、プローブ本体の先端が最初にプロービング対象体に接触させられた位置から、さらに付勢されたときにおける先端の位置までの接触痕の長さが極限まで短くなる。 In the contact probe fixture according to claim 1, when the tip of the probe main body is brought into contact with the probing object by the probe guide mechanism, the link mechanism is The linear deformation or approximate linear movement of the probe body in the direction opposite to the biasing direction is allowed by elastic deformation. Therefore, since the tip of the probe body moves substantially on a straight line in the same direction as the guide direction of the probe guide mechanism when the one end attached to the probe guide mechanism is used as a reference, the amount of displacement is extremely reduced. The For this reason, the length of the contact mark from the position where the tip of the probe body is first brought into contact with the probing object to the position of the tip when further biased is shortened to the limit.

請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具において、弾性変形部は、連結用アームにおける連結箇所の一部を円弧状に切り欠いて形成されている円弧切り欠き支点であることを特徴とする。 The contact probe fixture according to claim 2 is the contact probe fixture according to claim 1, wherein the elastically deforming portion is formed by cutting out a part of the connection portion of the connection arm in an arc shape. It is a notch fulcrum.

弾性変形部としては、ヒンジ金具とつる巻バネとを用いた支点を連結用アームの両端に配設した構造などを採用することもできる。しかし、構造が複雑化することにより、コストの上昇を招くことになる。一方、このコンタクトプローブ用固定具では、弾性変形部を円弧切り欠き支点によって構成することで、何ら他の部品を用いることなく構成できるため、コストの上昇を抑えることが可能となる。また、切り欠き度合を適宜変更することにより、リンク機構における弾性変形量および弾性変形部の弾性力を任意の大きさに調整することができる。   As the elastic deformation portion, a structure in which fulcrums using hinge metal fittings and a helical spring are disposed at both ends of the connecting arm can be adopted. However, the complicated structure causes an increase in cost. On the other hand, in this contact probe fixture, since the elastically deforming portion is configured by an arc-cut notch fulcrum, it can be configured without using any other parts, and therefore, an increase in cost can be suppressed. Moreover, the amount of elastic deformation in the link mechanism and the elastic force of the elastic deformation portion can be adjusted to an arbitrary magnitude by appropriately changing the notch degree.

請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具において、プローブ固定部には、プローブ本体をはめ込むためのはめ込み用溝が形成されていることを特徴とする。 3. Contacts fixture probe according resides in that in Claim 1 or 2 contact probe fixture according to the probe fixing portion, and wherein the fitting groove for fitting the probe body is formed To do.

このコンタクトプローブ用固定具では、例えば、全体として樹脂で形成し、樹脂成形の際に、プローブ固定部にはめ込み用溝を形成する。次いで、別体で形成した金属製のプローブ本体をはめ込み用溝にはめ込むことにより、コンタクトプローブが構成される。この場合、プローブ本体をワンタッチでプローブ固定部び取り付けることができるため、製造コストを低減することが可能となる。   In this contact probe fixing tool, for example, it is formed of resin as a whole, and a groove for fitting is formed in the probe fixing portion during resin molding. Next, the contact probe is configured by fitting the metal probe body formed separately into the fitting groove. In this case, since the probe main body can be attached to the probe fixing portion with one touch, the manufacturing cost can be reduced.

請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具において、プローブ本体とプローブ固定部とが一体的に形成されていることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the contact probe fixture according to the first or second aspect, wherein the probe body and the probe fixing portion are integrally formed.

このコンタクトプローブ用固定具では、例えば、プローブ本体を含めて全体として金属で形成したり、固定具を製造する際に、インサート成形により金属のプローブ本体と樹脂のプローブ固定部とを一体的に形成する。この場合、プローブ本体をプローブ固定部に固定する製造工程を省くことができるため、製造コストを低減することが可能になる。   In this contact probe fixture, for example, the entire probe body is made of metal, or when the fixture is manufactured, the metal probe body and the resin probe fixture are integrally formed by insert molding. To do. In this case, the manufacturing process for fixing the probe main body to the probe fixing portion can be omitted, so that the manufacturing cost can be reduced.

請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、リンク機構は、両てこ機構であって、プローブ案内機構による付勢時のてこ運動の回転向きとは逆向き回転状態となるように常態におけるリンク機構の一部を付勢する付勢部材を備えていることを特徴とする。 The contact probe fixture according to claim 5 is the contact probe fixture according to any one of claims 1 to 4 , wherein the link mechanism is a double-lever mechanism, and the lever is biased by the probe guide mechanism. A biasing member that biases a part of the link mechanism in a normal state so as to be in a rotation state opposite to the rotation direction of the motion is provided.

コンタクトプローブ用固定具は、プローブ本体の先端がプローブ案内機構の案内方向と同一方向の直線上を移動するように構成されているが、弾性変形部の変形量が大きくなると、その先端が直線上から僅かに位置ずれしたり、リンク機構における弾性変形の限界値に近づいたりするおそれがある。このコンタクトプローブ用固定具では、リンク機構が、付勢部材によって、プローブ案内機構による付勢時のてこ運動の回転向きとは逆向き回転状態となるように予め付勢されている。したがって、リンク機構は、プローブ案内機構によって付勢される際には、付勢部材による付勢力に抗して本来的なてこ運動の回転向きに回転させられることにより、付勢されない状態を経た後に、本来的な回転向きでさらに回転させられる。したがって、プローブ本体の位置ずれ量を増大させることなく、リンク機構のてこ運動量を２倍に向上させることができる。   The contact probe fixture is configured so that the tip of the probe body moves on a straight line in the same direction as the guide direction of the probe guide mechanism. However, when the amount of deformation of the elastically deforming portion increases, the tip of the probe probe becomes straight. There is a risk that the position of the link mechanism slightly shifts or approaches the limit of elastic deformation in the link mechanism. In this contact probe fixture, the link mechanism is urged in advance by the urging member so that the link mechanism is rotated in a direction opposite to the rotation direction of the lever movement during the urging by the probe guide mechanism. Therefore, when the link mechanism is urged by the probe guide mechanism, the link mechanism is rotated in the direction of the original lever movement against the urging force of the urging member, so that the link mechanism is not urged. , It can be rotated further in the original rotation direction. Therefore, the lever momentum of the link mechanism can be improved by a factor of two without increasing the amount of displacement of the probe body.

請求項６記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具において、付勢部材による付勢量を所定量に規制する付勢量規制手段を備えていることを特徴とする。 The contact probe fixture according to claim 6 is the contact probe fixture according to claim 5 , further comprising biasing amount regulating means for regulating the biasing amount by the biasing member to a predetermined amount. To do.

常態時における付勢部材による付勢量が不均一であれば、プローブ本体の先端による接触痕の大きさも不均一になるおそれもある。このコンタクトプローブ用固定具では、常態において、付勢量規制手段が付勢部材による付勢量を所定量に規制する。したがって、プローブ本体先端の接触痕を最小かつ均一にすることが可能となる。   If the amount of urging by the urging member in the normal state is non-uniform, the size of the contact mark by the tip of the probe main body may be non-uniform. In this contact probe fixture, normally, the urging amount regulating means regulates the urging amount by the urging member to a predetermined amount. Therefore, it is possible to make the contact trace at the tip of the probe main body minimum and uniform.

本発明の実施の形態に係るプローブ１の外観斜視図である。1 is an external perspective view of a probe 1 according to an embodiment of the present invention. （ａ）は本発明の実施の形態に係るプローブ１の側面図であり、（ｂ）はプローブ１の正面図である。(A) is a side view of the probe 1 which concerns on embodiment of this invention, (b) is a front view of the probe 1. FIG. プローブ本体２の先端２ａがプロービング対象体Ｐ側に付勢されているときのプローブ１の側面図である。It is a side view of the probe 1 when the front-end | tip 2a of the probe main body 2 is urged | biased by the probing target body P side. 本発明の実施の形態に係るプローブ１，１１の動作を示すための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the probes 1 and 11 which concern on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係るプローブ１および従来のプローブ３１におけるストローク量に対するプローブ本体先端の位置ずれ量をそれぞれ示す特性図である。It is a characteristic view which shows the position shift amount of the probe main body tip with respect to the stroke amount in the probe 1 according to the embodiment of the present invention and the conventional probe 31, respectively. 本発明の実施の形態に係る他のプローブ１１の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the other probe 11 which concerns on embodiment of this invention. （ａ）は本発明の実施の形態に係る他のプローブ１１の左側面図であり、（ｂ）はその右側面図であり、（ｃ）はその正面図である。(A) is the left view of the other probe 11 which concerns on embodiment of this invention, (b) is the right view, (c) is the front view. 本発明の実施の形態に係るプローブ１１に用いられる補助具１７の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the auxiliary tool 17 used for the probe 11 which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係るプローブ１，１１のプローブ本体２における先端２ａのストローク量に対する位置ずれ量をそれぞれ示す特性図である。It is a characteristic view which shows the position shift amount with respect to the stroke amount of the front-end | tip 2a in the probe main body 2 of the probes 1 and 11 which concern on embodiment of this invention, respectively. 本発明の他の実施の形態に係るプローブ２１の側面図である。It is a side view of the probe 21 which concerns on other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態に係るプローブ２４の側面図である。It is a side view of the probe 24 which concerns on other embodiment of this invention. 本発明の他の実施の形態に係るプローブ２７の側面図である。It is a side view of the probe 27 which concerns on other embodiment of this invention. 従来のプローブ３１の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the conventional probe 31. 従来のプローブ３１の側面図であって、（ａ）はプローブ案内機構によってプロービング対象体Ｐの上方に位置させられた状態の側面図であり、（ｂ）はプロービング対象体Ｐに接触させられた状態の側面図であり、（ｃ）はプロービング対象体Ｐ側に付勢された状態の側面図である。It is a side view of the conventional probe 31, Comprising: (a) is a side view of the state located above the probing target object P by the probe guide mechanism, (b) was made to contact the probing target object P It is a side view of a state, (c) is a side view of the state biased to the probing object P side. 従来のプローブ３１の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the conventional probe 31. FIG. 従来のプローブ３１の動作を説明するための他の説明図である。It is another explanatory drawing for demonstrating operation | movement of the conventional probe 31. FIG.

以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ用固定具の好適な実施の形態について説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a contact probe fixture according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、本発明におけるコンタクトプローブ用固定具としての固定具１０を備えたプローブ１の構成について、図１，２を参照して説明する。   Initially, the structure of the probe 1 provided with the fixture 10 as a contact probe fixture in this invention is demonstrated with reference to FIG.

プローブ１は、図１に示すように、プローブ本体２および固定具１０を備えている。固定具１０は、樹脂成形によって製造され、プローブ本体２を固定するためのプローブ固定部３と、プローブ案内機構ＰＭ（図３参照）に取り付けるためのＬ字状の取付部５と、プローブ固定部３および取付部５を互いに連結するための連結用アーム６，７とが一体化されて構成されている。   As shown in FIG. 1, the probe 1 includes a probe main body 2 and a fixture 10. The fixture 10 is manufactured by resin molding, and includes a probe fixing portion 3 for fixing the probe main body 2, an L-shaped attachment portion 5 for attachment to the probe guide mechanism PM (see FIG. 3), and a probe fixing portion. 3 and connecting arms 6 and 7 for connecting the mounting portion 5 and the mounting portion 5 to each other are integrated.

この場合、プローブ固定部３の左側面には、本発明におけるはめ込み用溝に相当する嵌合溝３ａが形成されており、同図および図２（ａ），（ｂ）に示すように、プローブ本体２を嵌合溝３ａにはめ込むことにより、プローブ本体２およびプローブ固定部３が一体化する。一方、取付部５には、図１および図２（ａ）に示すように、プローブ１をプローブ案内機構ＰＭに固定するための固定用孔４ａ，４ｂが形成されている。また、連結用アーム６は、連結用アーム７よりも短めの角棒状に形成され、取付部５およびプローブ固定部３との連結箇所には、本発明における円弧切り欠き支点に相当し、その一部を円弧状に切り欠いて形成された支点８ａ，８ｂを有している。一方、連結用アーム７は、長尺の角棒状に形成され、取付部５およびプローブ固定部３との連結箇所には、本発明における円弧切り欠き支点に相当し、その一部を円弧状に切り欠いて形成された支点８ｃ，８ｄを有している。これらのプローブ固定部３、取付部５、連結用アーム６，７および支点８ａ〜８ｄによって本発明におけるリンク機構ＲＭである四節回転機構が形成される。   In this case, a fitting groove 3a corresponding to the fitting groove in the present invention is formed on the left side surface of the probe fixing portion 3, and as shown in FIG. 2 and FIGS. By fitting the main body 2 into the fitting groove 3a, the probe main body 2 and the probe fixing portion 3 are integrated. On the other hand, as shown in FIG. 1 and FIG. 2A, fixing holes 4a and 4b for fixing the probe 1 to the probe guide mechanism PM are formed in the mounting portion 5. Further, the connecting arm 6 is formed in a rectangular bar shape shorter than the connecting arm 7, and the connecting portion between the mounting portion 5 and the probe fixing portion 3 corresponds to an arc-cut notch fulcrum in the present invention. It has fulcrums 8a and 8b formed by cutting out the part into an arc shape. On the other hand, the connecting arm 7 is formed in the shape of a long square bar, and the connecting portion between the mounting portion 5 and the probe fixing portion 3 corresponds to the arc notch fulcrum in the present invention, and a part of the connecting arm 7 has an arc shape. It has fulcrums 8c and 8d formed by cutting out. The probe fixing portion 3, the mounting portion 5, the connecting arms 6, 7 and the fulcrums 8a to 8d form a four-bar rotation mechanism that is the link mechanism RM in the present invention.

次に、プロービング時のプローブ１の動作について、図２〜５を参照して説明する。   Next, the operation of the probe 1 during probing will be described with reference to FIGS.

まず、プローブ案内機構ＰＭによって、プローブ本体２の先端２ａをプロービング対象体Ｐの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構ＰＭが、取付部５を下動させる。これにより、プローブ本体２が下動し、図２（ａ），（ｂ）に示すように、その先端２ａがプロービング対象体Ｐに接触させられる。次いで、プローブ案内機構ＰＭが取付部５を図３の矢印Ａの方向にさらに下動させると、支点８ａ〜８ｄが同図に示すように弾性変形する。その際には、取付部５の位置を基準とすれば、連結用アーム６，７が、支点８ａ，８ｃを中心として、矢印Ｅ，Ｆの方向にそれぞれ相対的に回転させられる。同時に、支点８ａ〜８ｄの元の状態に復帰しようとする復帰力がプローブ本体２の先端２ａに作用する。   First, the tip 2a of the probe main body 2 is positioned above the probing object P by the probe guide mechanism PM. Next, the probe guide mechanism PM moves down the attachment portion 5. Thereby, the probe main body 2 moves down, and the tip 2a is brought into contact with the probing object P as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). Next, when the probe guide mechanism PM further moves the mounting portion 5 downward in the direction of arrow A in FIG. 3, the fulcrums 8a to 8d are elastically deformed as shown in FIG. In that case, if the position of the attachment part 5 is used as a reference, the connecting arms 6 and 7 are relatively rotated in the directions of arrows E and F around the fulcrums 8a and 8c, respectively. At the same time, a return force for returning to the original state of the fulcrums 8 a to 8 d acts on the tip 2 a of the probe body 2.

この場合、リンク機構ＲＭでは、連結用アーム６，７の長さ、支点８ａから支点８ｃまでの長さ、支点８ｂから支点８ｄまでの長さ、支点８ｂからプローブ本体２の先端２ａまでの長さ、および支点８ｄから先端２ａまでの長さが、先端２ａを直動可能な所定の比率でそれぞれ形成されている。このため、プローブ本体２の先端２ａは、取付部５の位置を基準とした場合、等価的には、図４に示すように、プローブ案内機構ＰＭによる矢印Ａの案内方向と同一方向である直線Ｑ上における点Ｑ1 から点Ｑ2 まで直動または近似的に直動させられる。ここで、点Ｑ1 は、プローブ本体２の先端２ａがプロービング対象体Ｐに接触していないときから接触直後まで（つまりリンク機構ＲＭのプローブ固定部３がてこ運動回転していないとき）の取付部５に対する先端２ａの相対的な位置を示し、点Ｑ2 は、プローブ本体２の先端２ａがプロービング対象体Ｐ側に付勢させられているとき（つまりプローブ固定部３がてこ運動回転させられているとき）の取付部５に対する先端２ａの相対的な位置を示している。したがって、プローブ本体２の先端２ａに対して支点８ａ〜８ｄの復帰力が作用している際には、その復帰力は、先端２ａに対して、点Ｑ2 の位置から点Ｑ1 の位置に移動させようと作用する。このため、プローブ本体２の先端２ａは、案内方向である矢印Ａの方向に付勢される結果、プロービング対象体Ｐ上を移動することなく確実に点的接触させられる。   In this case, in the link mechanism RM, the length of the connecting arms 6 and 7, the length from the fulcrum 8 a to the fulcrum 8 c, the length from the fulcrum 8 b to the fulcrum 8 d, and the length from the fulcrum 8 b to the tip 2 a of the probe body 2. The length from the fulcrum 8d to the tip 2a is formed at a predetermined ratio that allows the tip 2a to move linearly. For this reason, the tip 2a of the probe body 2 is equivalent to a straight line that is equivalent to the guide direction of the arrow A by the probe guide mechanism PM, as shown in FIG. Linear motion or approximate linear motion is performed from point Q1 to point Q2 on Q. Here, the point Q1 is a mounting portion from the time when the tip 2a of the probe body 2 is not in contact with the probing object P to the time immediately after the contact (that is, when the probe fixing portion 3 of the link mechanism RM is not rotating by lever movement). 5 indicates the relative position of the tip 2a with respect to 5, and the point Q2 indicates that the tip 2a of the probe body 2 is biased toward the probing object P (that is, the probe fixing portion 3 is rotated by lever movement). The relative position of the tip 2a with respect to the mounting portion 5 is shown. Therefore, when the restoring force of the fulcrums 8a to 8d is acting on the tip 2a of the probe body 2, the restoring force is moved from the position of the point Q2 to the position of the point Q1 with respect to the tip 2a. It works like that. For this reason, the tip 2a of the probe body 2 is urged in the direction of the arrow A that is the guide direction, and as a result, the probe body 2 is reliably brought into point contact without moving on the probing object P.

このように、このプローブ１では、先端２ａが上下方向にほぼ直動させられるため、プロービング対象体Ｐに接触してから、さらに付勢されたときまでの間において、先端２ａがプロービング対象体Ｐの表面を移動する接触痕を極めて小さくすることができる。具体的に、プローブ１および従来のプローブ３１の全長を２０ｍｍとし、かつプロービング対象体Ｐに接触させられた際に位置ずれが生じないとした場合の両者の接触痕の直径が共に１０μｍである例について数値で説明する。この場合、プローブ本体２の先端２ａがプロービング対象体Ｐに接触させられてから、プローブ案内機構ＰＭが取付部５をさらに０．１５ｍｍのストローク量で付勢したときには、図５に示すように、従来のプローブ３１では、位置ずれ量が６０μｍの長さとなる。これに対して、このプローブ１では、位置ずれ量が０．１μｍに満たない長さとなる。したがって、従来のプローブ３１では、接触痕が７０μｍの長さになるのに対して、プローブ１では、接触痕が１０．１μｍ程度の長さとなる。このため、プロービング対象体Ｐの美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。   In this manner, in the probe 1, the tip 2a is moved substantially linearly in the vertical direction, so that the tip 2a is in contact with the probing object P and until it is further urged. The contact trace that moves on the surface of the film can be made extremely small. Specifically, when the total length of the probe 1 and the conventional probe 31 is 20 mm and the positional deviation does not occur when the probe 1 and the conventional probe 31 are brought into contact with the probing object P, the diameters of both contact marks are both 10 μm. Will be described numerically. In this case, when the probe guide mechanism PM further urges the mounting portion 5 with a stroke amount of 0.15 mm after the tip 2a of the probe body 2 is brought into contact with the probing object P, as shown in FIG. In the conventional probe 31, the amount of displacement is 60 μm. On the other hand, in this probe 1, the amount of positional deviation is less than 0.1 μm. Therefore, in the conventional probe 31, the contact mark has a length of 70 μm, whereas in the probe 1, the contact mark has a length of about 10.1 μm. For this reason, probing can be performed without impairing the beauty and function of the probing object P.

この後、例えば、回路基板における回路パターンの断線を検査する場合には、一方のプローブ本体２の先端２ａを介してプロービング対象体Ｐに電圧または電流を供給すると共に、他方のプローブ本体２の先端２ａを介して電圧または電流を入力することにより、回路パターンの断線が検査可能となる。   Thereafter, for example, when inspecting a circuit pattern breakage on the circuit board, a voltage or current is supplied to the probing object P via the tip 2a of one probe body 2, and the tip of the other probe body 2 is used. By inputting a voltage or current through 2a, it is possible to inspect the disconnection of the circuit pattern.

次に、本発明に係るコンタクトプローブ用固定具の他の実施の形態について説明する。   Next, another embodiment of the contact probe fixture according to the present invention will be described.

最初に、本発明におけるコンタクトプローブ用固定具を備えたプローブ１１の構成について、図６〜８を参照して説明する。なお、プローブ１と同一の構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。   Initially, the structure of the probe 11 provided with the fixture for contact probes in this invention is demonstrated with reference to FIGS. In addition, about the component same as the probe 1, the same code | symbol is attached | subjected and the overlapping description is abbreviate | omitted.

プローブ１１は、図６に示すように、プローブ１の構成に加えて、樹脂で一体成形された補助具１７を備えている。補助具１７は、図７，８に示すように、側面形状がＬ字状であってプローブ案内機構ＰＭに取り付けるためのベース部１２を備えている。また、補助具１７は、本発明における付勢部材を構成する板バネ１４を備えており、この板バネ１４は、ベース部１２の狭幅側の部位である固定部１３に一端側が連結されると共に他端側が図８において上下動可能に形成されている。さらに、補助具１７は、本発明における付勢量規制手段に相当しベース部１２に立設されたストッパ１５を備えている。なお、固定部１３には、補助具１７を固定具１０に固定するための固定用孔（図示せず）が形成され、ベース部１２の幅広部位側にはプローブ案内機構ＰＭに固定するための固定用孔１６ａ，１６ｂが形成されている。   As shown in FIG. 6, the probe 11 includes an auxiliary tool 17 integrally formed of resin in addition to the configuration of the probe 1. As shown in FIGS. 7 and 8, the auxiliary tool 17 has a base portion 12 that has an L-shaped side surface and is attached to the probe guide mechanism PM. Further, the auxiliary tool 17 includes a leaf spring 14 that constitutes an urging member in the present invention, and this leaf spring 14 is connected at one end to a fixed portion 13 that is a narrow side portion of the base portion 12. In addition, the other end side is formed to be movable up and down in FIG. Furthermore, the auxiliary tool 17 is provided with a stopper 15 that is erected on the base portion 12 and corresponds to the urging amount regulating means in the present invention. Note that a fixing hole (not shown) for fixing the auxiliary tool 17 to the fixing tool 10 is formed in the fixing part 13, and the base part 12 is fixed to the probe guide mechanism PM on the wide part side. Fixing holes 16a and 16b are formed.

次に、このプローブ１１の組立手順を説明する。まず、図６に示すように、補助具１７のストッパ１５と板バネ１４とで固定具１０の連結用アーム６を挟み込むようにして一体化させる。次いで、その状態で、固定具１０における取付部５の固定用孔４ａ，４ｂおよび補助具１７の固定部１３に形成された固定用孔を貫通させたボルト１８，１８にナット１９，１９を締め付けることにより、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、固定具１０と補助具１７とが互いに固着される。この状態では、板バネ１４の可動側の端部１４ａがプローブ固定部３を下方側（プローブ案内機構ＰＭによる案内方向側）に付勢することにより、リンク機構ＲＭは、プローブ案内機構ＰＭによる付勢時のてこ運動の回転向きとは逆向きの回転状態に維持させられる。この場合、ストッパ１５は、板バネ１４によるリンク機構ＲＭに対する付勢量を一定量に規制する。   Next, the assembly procedure of the probe 11 will be described. First, as shown in FIG. 6, the coupling arm 6 of the fixing tool 10 is integrated with the stopper 15 of the auxiliary tool 17 and the leaf spring 14 so as to be integrated. Next, in this state, the nuts 19 and 19 are fastened to the bolts 18 and 18 that pass through the fixing holes 4 a and 4 b of the mounting portion 5 in the fixing tool 10 and the fixing holes formed in the fixing portion 13 of the auxiliary tool 17. As a result, as shown in FIGS. 7A to 7C, the fixing tool 10 and the auxiliary tool 17 are fixed to each other. In this state, the end 14a on the movable side of the leaf spring 14 biases the probe fixing portion 3 downward (in the direction of guidance by the probe guide mechanism PM), so that the link mechanism RM is attached by the probe guide mechanism PM. It is maintained in a rotational state opposite to the rotational direction of the lever movement at the moment. In this case, the stopper 15 restricts the biasing amount of the leaf spring 14 against the link mechanism RM to a constant amount.

次に、プローブ１１の動作原理について説明する。   Next, the operation principle of the probe 11 will be described.

このプローブ１１では、図４に示すように、プローブ本体２の先端２ａは、常態において、板バネ１４によって、直線Ｑ上の点Ｑ3 の位置に予め変位させられている。このため、プローブ案内機構ＰＭによって案内させられる際には、プローブ本体２の先端２ａは、取付部５の位置を基準とすれば、まず、点Ｑ3 の位置でプロービング対象体Ｐに接触する。次いで、支点８ａ〜８ｄが弾性変形することにより、プローブ固定部３がてこ運動回転し、これにより、先端２ａは、点Ｑ1 の位置に変位させられた後に、点Ｑ1 の位置から点Ｑ2 の位置またはその近傍まで変位させられる。この場合、先端２ａは、直線Ｑ上を相対的に移動させられているため、点Ｑ1 から点Ｑ2 までの間を移動させるプローブ１と比較して、プローブ案内機構ＰＭによる接触後のストローク量を２倍にしたとしても、接触痕の長さをプローブ１における接触痕と同一長に抑えることができる。   In this probe 11, as shown in FIG. 4, the tip 2a of the probe body 2 is normally displaced in advance to the position of the point Q3 on the straight line Q by the leaf spring 14. For this reason, when being guided by the probe guide mechanism PM, the tip 2a of the probe main body 2 first contacts the probing object P at the position of the point Q3 if the position of the mounting portion 5 is used as a reference. Next, the fulcrums 8a to 8d are elastically deformed, so that the probe fixing portion 3 is leveraged and rotated. As a result, the tip 2a is displaced to the position of the point Q1, and then the position of the point Q2 from the position of the point Q1. Or it is displaced to the vicinity. In this case, since the tip 2a is relatively moved on the straight line Q, the stroke amount after contact by the probe guide mechanism PM is smaller than that of the probe 1 that moves between the points Q1 and Q2. Even if it is doubled, the length of the contact trace can be suppressed to the same length as the contact trace in the probe 1.

さらに具体的に、図９を参照して説明する。同図は、プローブ案内機構ＰＭによる取付部５のストローク量に対するプローブ本体２の先端２ａの位置ずれ量をやや誇張して示している。この図に示すように、リンク機構ＲＭを備えたプローブ１，１１では、上下方向のいずれの方向であっても、ストローク量（リンク機構ＲＭに対する付勢量）を増大させるほど、位置ずれ量が大きくなり、しかも、その位置ずれ量は概ね線対称となる。このため、例えば、同図に示すように、プローブ本体２の先端２ａをＮｍｍのストローク量で移動させる場合を想定すると、プローブ本体２の先端２ａが、リンク機構ＲＭがてこ回転させられていないときの位置Ｈから、リンク機構ＲＭがてこ回転させられて位置ＩまでのＮｍｍを移動した際には、その位置ずれ量はＬμｍとなる。一方、プローブ本体２の先端２ａが、板バネ１４の端部１４ａによって付勢されている状態の位置Ｊから、リンク機構ＲＭのてこ回転により位置ＫまでのＮｍｍを移動した際には、その位置ずれ量はＭμｍとなる。この図で明らかなように、ストローク量を同一にした場合には、プローブ本体２の先端２ａを板バネ１４によって予め付勢させておくことにより、プローブ本体２の先端２ａの位置ずれ量を小さくすることができる。したがって、プローブ１１では、同一ストローク量にした場合には、上記したプローブ１よりも、その位置ずれ量をさらに小さくすることができると共に、位置ずれ量を同一にした場合には、リンク機構ＲＭのてこ回転量（許容変形量）を大きくすることができる。   More specific description will be given with reference to FIG. The figure shows a slightly exaggerated amount of displacement of the tip 2a of the probe body 2 with respect to the stroke amount of the mounting portion 5 by the probe guide mechanism PM. As shown in this figure, in the probes 1 and 11 provided with the link mechanism RM, the displacement amount increases as the stroke amount (the biasing amount with respect to the link mechanism RM) increases in any of the vertical directions. In addition, the positional deviation amount is substantially line symmetric. Therefore, for example, as shown in the figure, assuming that the tip 2a of the probe main body 2 is moved by a stroke amount of N mm, the tip 2a of the probe main body 2 is not pivoted by the link mechanism RM. When the link mechanism RM is pivoted from the position H to Nmm to the position I, the amount of displacement is L μm. On the other hand, when the tip 2a of the probe body 2 is moved Nmm from the position J in the state of being urged by the end 14a of the leaf spring 14 to the position K by lever rotation of the link mechanism RM, the position The amount of deviation is M μm. As is apparent from this figure, when the stroke amount is the same, the tip 2a of the probe main body 2 is biased in advance by the leaf spring 14 so that the positional deviation amount of the tip 2a of the probe main body 2 is reduced. can do. Therefore, in the probe 11, when the same stroke amount is used, the positional deviation amount can be further reduced as compared with the probe 1, and when the positional deviation amount is the same, the link mechanism RM The lever rotation amount (allowable deformation amount) can be increased.

なお、本発明は、上記本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、プローブ固定部３に対してプローブ本体２をはめ込んで両者を一体化しているが、プローブ固定部にプローブ本体２を圧入可能な圧入用穴を形成して、プローブ本体２を圧入することにより両者を一体化することもできるし、固定具１０を製造する際にプローブ本体２をインサート成形することにより両者を一体化することもできる。この場合、樹脂製の固定具１０全体に導電性塗料を塗布することにより、固定具１０およびプローブ本体２を電気的に接続することもできる。また、固定具１０とプローブ本体２とを金属などの導電性材料を用いることで電気的および機械的に最初から一体的に形成することもできる。   The present invention is not limited to the configuration shown in the embodiment of the present invention. For example, in the embodiment of the present invention, the probe main body 2 is fitted into the probe fixing portion 3 to integrate both, but a press-fitting hole capable of press-fitting the probe main body 2 is formed in the probe fixing portion, Both can be integrated by press-fitting the probe body 2, or both can be integrated by insert-molding the probe body 2 when the fixture 10 is manufactured. In this case, the fixture 10 and the probe main body 2 can be electrically connected by applying a conductive paint to the entire resin fixture 10. Further, the fixture 10 and the probe main body 2 can be integrally formed electrically and mechanically from the beginning by using a conductive material such as metal.

また、本発明の実施の形態では、リンク機構ＲＭとして、２つの連結用アーム６，７でプローブ固定部３および取付部５を連結する例について説明したが、本発明は、これに限定されない。例えば、図１０に示すプローブ２１のように、プローブ固定部３および取付部５とを３つの連結用アーム２２ａ〜２２ｃで連結し、その連結部分に円弧切り欠き支点である支点２３ａ〜２３ｆを形成してもよい。また、図１１に示すプローブ２４のように、連結用アーム２５ａと連結用アーム２５ｂとのなす角度が直角になるようにしてプローブ固定部３および取付部５を連結し、その連結部分に支点２６ａ〜２６ｄを形成してもよい。さらに、図１２に示すプローブ２７のように、プローブ固定部３および取付部５間を、６つの連結用アーム２８ａ〜２８ｆを用いて連結し、その各連結部分に支点２９ａ〜２９ｊを形成してもよい。なお、図１０〜１２では、プローブ１の構成要素と同一に機能するものについては、同一の符号を付している。   In the embodiment of the present invention, the example in which the probe fixing portion 3 and the attachment portion 5 are connected by the two connecting arms 6 and 7 as the link mechanism RM has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, like the probe 21 shown in FIG. 10, the probe fixing portion 3 and the attachment portion 5 are connected by three connecting arms 22a to 22c, and fulcrums 23a to 23f that are arc-cut notches are formed at the connecting portions. May be. Further, like the probe 24 shown in FIG. 11, the probe fixing portion 3 and the attachment portion 5 are connected such that the angle formed by the connecting arm 25a and the connecting arm 25b is a right angle, and the fulcrum 26a is connected to the connecting portion. ~ 26d may be formed. Further, like the probe 27 shown in FIG. 12, the probe fixing portion 3 and the attachment portion 5 are connected using six connecting arms 28a to 28f, and fulcrums 29a to 29j are formed at the respective connecting portions. Also good. 10-12, the same code | symbol is attached | subjected about what functions the same as the component of the probe 1. FIG.

さらに、本発明の実施の形態では、弾性変形部として円弧切り欠き支点を用いる例について説明したが、本発明は、これに限定されず、双曲線切り欠き支点や楕円切り欠き支点などを用いることもできるし、その形状については適宜変更することができる。   Furthermore, in the embodiment of the present invention, the example in which the circular arc notch fulcrum is used as the elastic deformation portion has been described. However, the present invention is not limited to this, and a hyperbolic notch fulcrum or an elliptical notch fulcrum may be used. The shape can be changed as appropriate.

また、本発明の実施の形態では、固定具１０および補助具１７を別体で製造した後に、ボルト１８，１８およびナット１９，１９によって一体化しているが、両者を樹脂などで一体的に形成してもよい。さらに、ストッパ１５が連結用アーム７に当接することにより板バネ１４による付勢量を規制するように構成することもできる。   Further, in the embodiment of the present invention, after the fixing tool 10 and the auxiliary tool 17 are manufactured separately, they are integrated by the bolts 18 and 18 and the nuts 19 and 19, but they are integrally formed of resin or the like. May be. Furthermore, the biasing amount by the leaf spring 14 can be regulated by the stopper 15 coming into contact with the connecting arm 7.

以上のように、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、リンク機構がプローブ本体の先端をプローブ案内機構の案内方向と平行な直線上を直動させることにより、接触痕の長さを極限まで短くすることができる。 As described above, according to the fixture contact probe according to claim 1, by a link mechanism to linear motion guide direction and parallel to straight line of the probe guide mechanism the tip of the probe body, the length of the contact trace Can be shortened to the limit.

また、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、弾性変形部を円弧切り欠き支点で形成したことにより、コストを低減することができると共に、切り欠き度合を適宜変更することにより、リンク機構における弾性変形量および弾性変形部の弾性力を任意の大きさに調整することができる。 According to the contact probe fixture of claim 2 , since the elastically deformable portion is formed by the circular arc notch fulcrum, the cost can be reduced and the link can be reduced by appropriately changing the notch degree. The amount of elastic deformation in the mechanism and the elastic force of the elastic deformation portion can be adjusted to an arbitrary magnitude.

さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、プローブ固定部にプローブ本体をはめ込むためのはめ込み用溝を形成したことにより、コンタクトプローブの製造コストを低減することができると共に、プロービング対象体に応じて任意に形状を変更したプローブ本体を備えるコンタクトプローブを容易に製作することができる。 Furthermore, according to the contact probe fixture according to claim 3, since the fitting groove for fitting the probe main body into the probe fixing portion is formed, the manufacturing cost of the contact probe can be reduced and the probing target A contact probe including a probe main body whose shape is arbitrarily changed according to the body can be easily manufactured.

また、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、プローブ本体とプローブ固定部とを一体的に形成することにより、製造コストを低減することができる。 According to the contact probe fixture of claim 4 , the manufacturing cost can be reduced by integrally forming the probe main body and the probe fixing portion.

さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、付勢部材がプローブ案内機構による付勢時のてこ運動の回転向きとは逆向き回転状態となるように常態におけるリンク機構の一部を付勢することにより、プローブ本体による接触痕を大きくすることなく、リンク機構のてこ運動量を２倍に向上させることができると共に、プローブ案内機構による付勢量を監視する監視装置などを不要にすることができるためプローブ案内機構のコストダウンを図ることができる。加えて、プロービング時におけるリンク機構のてこ運動量を同一にした場合には、プローブ本体による接触痕をさらに小さくすることができる。 Furthermore, according to the contact probe fixture according to claim 5, a part of the link mechanism in a normal state so that the biasing member is rotated in a direction opposite to the rotation direction of the lever movement at the time of biasing by the probe guide mechanism. By energizing the lever, the lever momentum of the link mechanism can be doubled without increasing the contact mark by the probe body, and a monitoring device for monitoring the amount of bias by the probe guide mechanism is unnecessary. Therefore, the cost of the probe guide mechanism can be reduced. In addition, when the lever mechanism of the link mechanism at the time of probing is made the same, the contact trace by the probe body can be further reduced.

また、請求項６記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、付勢量規制手段が付勢部材による付勢量を所定量に規制することにより、プローブ本体の先端による接触痕を最小かつ均一にすることができる。 Further, according to the contact probe fixture according to claim 6, the urging amount regulating means regulates the urging amount by the urging member to a predetermined amount, so that the contact trace by the tip of the probe body is minimized and uniform. can do.

１ プローブ
２ プローブ本体
２ａ 先端
３ プローブ固定部
３ａ 嵌合溝
５ 取付部
６ 連結用アーム
７ 連結用アーム
８ａ〜８ｄ 支点
１０ 固定具
１１ プローブ
１４ 板バネ
１５ ストッパ
１７ 補助具
Ｐ プロービング対象体
ＰＭ プローブ案内機構
ＲＭ リンク機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Probe 2 Probe main body 2a Tip 3 Probe fixing | fixed part 3a Fitting groove 5 Mounting part 6 Connecting arm 7 Connecting arm 8a-8d Support point 10 Fixing tool 11 Probe 14 Leaf spring 15 Stopper 17 Auxiliary tool P Probing object PM Probe guide Mechanism RM Link mechanism

Claims (7)

プローブ案内機構に一端が取り付けられると共にプローブ本体を固定可能に構成され、前記固定されたプローブ本体を前記プローブ案内機構による案内に従ってプロービング対象体に接触させるコンタクトプローブ用固定具において、
前記プローブ本体が接触状態であって前記プローブ案内機構によって前記プロービング対象体側にさらに付勢されたときに、弾性変形部の弾性変形によって当該付勢方向とは逆向き方向への前記プローブ本体の直動または近似的直動を許容するリンク機構を備えて構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ用固定具。 In the probe fixing device for contact probe, one end is attached to the probe guide mechanism and the probe body can be fixed, and the fixed probe body is brought into contact with the probing object according to the guide by the probe guide mechanism.
When the probe body is in a contact state and further urged toward the probing object by the probe guide mechanism, the probe body moves in a direction opposite to the urging direction due to elastic deformation of the elastic deformation portion. A contact probe fixture comprising a link mechanism that allows movement or approximate linear movement. 前記リンク機構は、前記プローブ本体を固定するためのプローブ固定部と、前記プローブ案内機構に取り付けるための取付部と、少なくとも２つの連結用アームとを備え、少なくとも１つの前記連結用アームの両端に形成された前記弾性変形部を介して前記プローブ固定部および前記取付部が連結され、かつ少なくとも他の１つの前記連結用アームの両端に形成された前記弾性変形部を介して前記プローブ固定部および前記取付部が連結されていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具。   The link mechanism includes a probe fixing part for fixing the probe main body, an attachment part for attaching to the probe guide mechanism, and at least two connecting arms, and at both ends of the at least one connecting arm. The probe fixing part and the mounting part are connected via the formed elastic deformation part, and the probe fixing part and the probe fixing part are formed via both elastic deformation parts formed at both ends of at least one other connecting arm. The contact probe fixture according to claim 1, wherein the attachment portion is connected. 前記弾性変形部は、前記連結用アームにおける連結箇所の一部を円弧状に切り欠いて形成されている円弧切り欠き支点であることを特徴とする請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具。   3. The contact probe fixture according to claim 1, wherein the elastically deforming portion is an arc-cut notch fulcrum formed by cutting out a part of a connecting portion of the connecting arm in an arc shape. . 前記プローブ固定部には、前記プローブ本体をはめ込むためのはめ込み用溝が形成されていることを特徴とする請求項２または３記載のコンタクトプローブ用固定具。   4. The contact probe fixture according to claim 2, wherein a fitting groove for fitting the probe main body is formed in the probe fixing portion. 前記プローブ本体と前記プローブ固定部とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項２または３記載のコンタクトプローブ用固定具。   The contact probe fixture according to claim 2 or 3, wherein the probe body and the probe fixing portion are integrally formed. 前記リンク機構は、両てこ機構であって、前記プローブ案内機構による付勢時のてこ運動の回転向きとは逆向き回転状態となるように常態における当該リンク機構の一部を付勢する付勢部材を備えていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。   The link mechanism is a double lever mechanism that biases a part of the link mechanism in a normal state so as to rotate in a direction opposite to the rotation direction of the lever movement when biased by the probe guide mechanism. The contact probe fixture according to any one of claims 1 to 5, further comprising a member. 前記付勢部材による付勢量を所定量に規制する付勢量規制手段を備えていることを特徴とする請求項６記載のコンタクトプローブ用固定具。   The contact probe fixture according to claim 6, further comprising an urging amount regulating means for regulating an urging amount by the urging member to a predetermined amount.
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