JP2010078147A - 機械部品、機械部品の製造方法、機械部品組立体および時計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電鋳により形成され、軸部材126fを嵌合可能な貫通孔126kを有する機械部品126gにおいて、貫通孔の内周面に山部126mが形成され、山部の頂部126nが軸部材に当接可能に構成されている。
【選択図】図7
Description
本発明に係る機械部品は、電鋳により形成され、軸部材を嵌合可能な貫通孔を有する機械部品において、前記貫通孔の内周面に山部が形成され、該山部の頂部が前記軸部材に当接可能に構成されていることを特徴としている。
また、前記山部が、前記貫通孔の内周面に周方向に延びるように形成されていることを特徴としている。
または、前記山部が、前記貫通孔の内周面に軸方向に延びるように形成されていることを特徴としている。
このように構成することで、機械部品と軸部材とが複数箇所で線接触しているため、機械部品が回動する際に滑りが生じることを抑制でき、確実に機械部品を回動させることが可能となる。
このように構成することで、歯車と軸部材とが複数箇所で線接触しているため、歯車が回動する際に滑りが生じることを抑制でき、歯車を精度良く回動させることが可能となる。
このように一般的に流通しているSOI基板を用いることにより、製造コストを低く抑えることが可能となる。また、埋め込み酸化膜層の表面に金属層を形成することにより、金属層の一箇所に電源を接続するだけで全ての電鋳物の形成領域に電源が供給され、電鋳物を形成することができる。
このように構成することで、基板の下層に形成された金属層を電極として利用することができるため、電極(金属層)を形成する工程を省略することができる。したがって、生産効率を向上することができる。
このように半導体プロセスを利用することにより、精密機械加工を用いることなく低コストで、寸法精度が確保された山部を有する機械部品を製造することができる。したがって、歩留まりを向上することができる。
また、前記組立部品が、番車、がんぎ車およびアンクルの少なくともいずれか一つであることを特徴としている。
このように構成することで、貫通孔に形成された山部により軸部材を嵌合する際の応力を山部で吸収することができるため、時計の組立部品に反りや割れなどが生じるのを抑制することができる。したがって、番車、がんぎ車およびアンクルが正確に回動するために時計の精度を向上させることができる。また、生産効率を向上することができる組立部品を用いているため、時計の生産効率も向上することができる。
次に、本発明に係る機械部品の第一実施形態を図1〜図33に基づいて説明する。なお、本実施形態では、機械部品が機械式時計に用いられる歯車(番車)の場合について説明する。
(機械式時計)
図1〜図3に示すように、機械式時計のムーブメント100は、ムーブメント100の基板を構成する地板102を有している。地板102の巻真案内穴102aには、巻真110が回転可能に組み込まれている。文字板104(図2参照)はムーブメント100に取り付けられる。一般に、地板102の両側のうち、文字板104が配される側をムーブメント100の裏側と称し、文字板104が配される側の反対側をムーブメント100の表側と称する。ムーブメント100の表側に組み込まれる輪列を表輪列と称し、ムーブメント100の裏側に組み込まれる輪列を裏輪列と称する。
次に、本実施形態の番車の構造について説明する。なお、番車の構造は略同一であるため、三番車126を用いて説明する。
図4〜図6に示すように、三番車126は、三番かな126fと、三番歯車126gとを備えている。三番歯車126gの厚さT0は、例えば、10μm以上10mm以下である。三番かな126fは、上軸部126aと、下軸部126bと、かな部126cとを備えている。三番歯車126gは、中心支持部126hと、あみだ部126j(本実施形態では、5本)と、歯車部126dとを備えている。三番かな126fは、炭素鋼などの金属で形成されている。三番歯車126gはニッケルなどの金属で形成されている。そして、三番車126は、三番歯車126gの中心に形成された貫通孔126kに三番かな126fを挿通して固定されている。
次に、本実施形態の番車(三番歯車126g)の製造方法について説明する。
図8〜図33は三番歯車126gの製造方法を説明する図である。
図8は、三番歯車126gを形成するための基板10である。基板10は、支持層10aと活性層10bの間にBOX層10cが挟まれたSOI(Silicon On Insulater)基板であり、支持層10aと活性層10bはSi、BOX層10cはSiO2で形成されている。支持層10aの厚さは、後の工程で破損あるいは変形が起こらないよう、100μm以上1mm以下とする。活性層10bの厚さは、製造する三番歯車126gの厚さT0以上とする。BOX層10cの厚さは、1μm以上1mm以下とする。なお、SOI基板の他に、支持層10aのSiと活性層10bのSiの間に金属材料を挟んだ基板や、支持層10aに金属材料を用い、その上に活性層10bのSiがある基板でも三番歯車126gを製造することが可能である。この製造方法については後述する。
図13は、図10の状態を示す部分拡大図である。図13では貫通孔126kに対応した位置のフォトレジスト11を2箇所表示している。
このように構成することで、三番歯車126gの貫通孔126kに三番かな126fを嵌合すると、山部126mの頂部126nと三番かな126fの外周面とが線接触することとなり、応力が緩和される。また、その応力は、三番歯車126gの山部126mの部分で抑制されるため、三番歯車126g全体に反りや割れなどが生じるのを抑制することができる。さらに、三番歯車126gの貫通孔126kの形状には向きの依存性がないため、三番歯車126gに三番かな126fを嵌合する際に、位置合わせの必要がなくなり、生産効率を向上することができる。なお、三番歯車126gは電鋳により形成されるため、十分な強度を有している。
図32は、三番歯車126gを製造する際に用いる基板の断面図である。図32に示すように、基板50は、支持層50aのSiと活性層50bのSiの間に金属層50cが形成された基板である。金属層50cは、Cr、Au、Cu、Ti等で構成されている。支持層50aのSiの厚みは、上述の場合と同様、100μm以上1mm以下とする。活性層50bのSiの厚みは、製造する三番歯車126gの厚みT0以上とする。金属層50cの厚みは、1μm以上1mm以下とする。
次に、本発明に係る機械部品の第二実施形態を図34〜図58に基づいて説明する。なお、本実施形態は、第一実施形態と歯車(三番歯車)の貫通孔の形状が異なるのみであり、その他の部分については第一実施形態と略同一であるため、同一箇所には同一符号を付して詳細な説明は省略する。また、本実施形態における三番歯車の符号を226gとし、三番かなの符号を226fとする。
次に、本実施形態の番車(三番歯車226g)の製造方法について説明する。
図35〜図58は三番歯車226gの製造方法を説明する図である。
図35は、三番歯車226gを形成するための基板10である。基板10は、支持層10aと活性層10bの間にBOX層10cが挟まれたSOI(Silicon On Insulater)基板であり、支持層10aと活性層10bはSi、BOX層10cはSiO2で形成されている。支持層10aの厚さは、後の工程で破損あるいは変形が起こらないよう、100μm以上1mm以下とする。活性層10bの厚さは、製造する三番歯車226gの厚さT0以上とする。BOX層10cの厚さは、1μm以上1mm以下とする。なお、SOI基板の他に、支持層10aのSiと活性層10bのSiの間に金属材料を挟んだ基板や、支持層10aに金属材料を用い、その上に活性層10bのSiがある基板でも三番歯車226gを製造することが可能である。
図40は、図37の状態を示す部分拡大図である。図40ではフォトレジスト11に形成された貫通孔(貫通孔226kに対応)を1箇所だけ表示している。
このように構成することで、三番歯車226gの貫通孔226kに三番かな226fを嵌合すると、山部226mの頂部226nと三番かな226fの外周面とが線接触することとなり、応力が緩和される。また、本実施形態の山部226mの頂部226nは尖っているため、三番かな226fとの噛み合いを強くすることができ、三番かな226fが空転するのを確実に防止することができる。さらに、その応力は、三番歯車226gの山部226mの部分で抑制されるため、三番歯車226g全体に反りや割れなどが生じるのを抑制することができる。そして、三番歯車226gの貫通孔226kの形状には向きの依存性がないため、三番歯車226gに三番かな226fを嵌合する際に、位置合わせの必要がなくなり、生産効率を向上することができる。なお、三番歯車226gは電鋳により形成されるため、十分な強度を有している。
Claims (14)
- 電鋳により形成され、軸部材を嵌合可能な貫通孔を有する機械部品において、
前記貫通孔の内周面に山部が形成され、
該山部の頂部が前記軸部材に当接可能に構成されていることを特徴とする機械部品。 - 前記山部が、前記貫通孔の内周面に周方向に延びるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の機械部品。
- 前記山部が、前記貫通孔の内周面に軸方向に延びるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の機械部品。
- 前記貫通孔における前記軸部材が挿入される軸方向一端部側の内径が、軸方向中央部側の内径より拡径されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の機械部品。
- 前記貫通孔における前記軸部材が挿入される軸方向一端部と反対の他端部側の内径が、軸方向中央部側の内径より拡径されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の機械部品。
- 前記機械部品が前記軸部材を中心に回動可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の機械部品。
- 前記機械部品が歯車であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の機械部品。
- 複数層からなる基板を用いて、軸部材を嵌合可能な貫通孔を有する機械部品の製造方法であって、
前記基板の上層における前記貫通孔の形成領域に第一マスク材を形成する工程と、
該第一マスク材を用いて前記上層を所定深さまで等方性エッチングするエッチング工程と、
前記等方性エッチングにより形成された凹部の底面および側面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記凹部の底面に形成された前記保護膜を除去する保護膜除去工程と、
前記エッチング工程、前記保護膜形成工程および前記保護膜除去工程を繰り返して、前記基板の下層を露出させる工程と、
該下層の表面に電鋳物を形成する電鋳物形成工程と、
前記貫通孔の形成領域に残存する前記上層を含めて前記基板を除去する工程と、を有していることを特徴とする機械部品の製造方法。 - 前記基板は、前記下層に埋め込み酸化膜層を備えたSOI基板であり、
前記電鋳物形成工程の前に、前記埋め込み酸化膜層の表面に金属層を形成する工程を有し、
前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項8に記載の機械部品の製造方法。 - 前記基板は、前記下層に金属層を備え、
前記電鋳物形成工程では、前記金属層を電極として前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項8に記載の機械部品の製造方法。 - 前記電鋳物形成工程の前に、前記金属層の表面における前記貫通孔を含む前記機械部品の形成領域以外の領域に、第二マスク材を形成する工程を有し、
前記電鋳物形成工程では、前記第二マスク材を用いて前記機械部品の形成領域に前記電鋳物を形成することを特徴とする請求項9または10に記載の機械部品の製造方法。 - 電鋳により形成された機械部品と、
該機械部品に形成された貫通孔に挿通可能な軸部材と、を組み立てて形成される機械部品組立体において、
前記貫通孔の内周面および前記軸部材における前記貫通孔に対向する外周面の少なくともいずれか一方に山部が形成され、
該山部の頂部が対向する前記貫通孔の内周面または前記軸部材の外周面に当接可能に構成されていることを特徴とする機械部品組立体。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の機械部品が時計の組立部品に用いられていることを特徴とする時計。
- 前記組立部品が、番車、がんぎ車およびアンクルの少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項13に記載の時計。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010077528A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-04-08 | Seiko Instruments Inc | 機械部品、機械部品の製造方法および時計 |
JP2010189759A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-09-02 | Seiko Instruments Inc | 機械部品の製造方法 |
JP2012167808A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-09-06 | Seiko Instruments Inc | 機械部品、機械組立体、機械部品の製造方法および時計 |
WO2015002289A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | Tpr株式会社 | 回転体軸および回転体構造ならびに車輪 |
JP2021128019A (ja) * | 2020-02-12 | 2021-09-02 | セイコーインスツル株式会社 | 金属部品、金属部品を有する時計用ムーブメント、時計用ムーブメントを有する時計、及び金属部品の製造方法 |
US11377822B2 (en) | 2017-09-08 | 2022-07-05 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Hydraulic drive apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0553467A (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-05 | Canon Inc | 熱定着ローラ及びその製造方法 |
JPH05182351A (ja) * | 1991-12-28 | 1993-07-23 | Sony Corp | 圧入支持用部材 |
JP2001254193A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-09-18 | Citizen Watch Co Ltd | 電鋳部品の製造方法 |
JP2005069239A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-03-17 | Ricoh Co Ltd | 伝動装置、感光体ドラム、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
JP2006064575A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Seiko Epson Corp | 時計用部品、時計用組立部品、および時計 |
-
2009
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0553467A (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-05 | Canon Inc | 熱定着ローラ及びその製造方法 |
JPH05182351A (ja) * | 1991-12-28 | 1993-07-23 | Sony Corp | 圧入支持用部材 |
JP2001254193A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-09-18 | Citizen Watch Co Ltd | 電鋳部品の製造方法 |
JP2005069239A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-03-17 | Ricoh Co Ltd | 伝動装置、感光体ドラム、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
JP2006064575A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Seiko Epson Corp | 時計用部品、時計用組立部品、および時計 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010077528A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-04-08 | Seiko Instruments Inc | 機械部品、機械部品の製造方法および時計 |
JP2010189759A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-09-02 | Seiko Instruments Inc | 機械部品の製造方法 |
JP2013242330A (ja) * | 2009-01-21 | 2013-12-05 | Seiko Instruments Inc | 機械部品の製造方法 |
JP2012167808A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-09-06 | Seiko Instruments Inc | 機械部品、機械組立体、機械部品の製造方法および時計 |
WO2015002289A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | Tpr株式会社 | 回転体軸および回転体構造ならびに車輪 |
CN105026778A (zh) * | 2013-07-05 | 2015-11-04 | 帝伯爱尔株式会社 | 旋转体轴、旋转体结构以及车轮 |
JPWO2015002289A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2017-02-23 | Tpr株式会社 | 回転体軸および回転体構造ならびに車輪 |
US11377822B2 (en) | 2017-09-08 | 2022-07-05 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Hydraulic drive apparatus |
JP2021128019A (ja) * | 2020-02-12 | 2021-09-02 | セイコーインスツル株式会社 | 金属部品、金属部品を有する時計用ムーブメント、時計用ムーブメントを有する時計、及び金属部品の製造方法 |
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