JP2010069753A - 記録ヘッド及びそれの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流路ユニットからインク滴を吐出させるアクチュエータユニット21の接合面21aにCOF50が接合されている。COF50に、アクチュエータユニット21の複数の個別バンプ136に接合される複数のランド58が配置されたランド領域50aと、複数のランド58から引き出された出力配線57aが配設された配線領域50bとが形成されている。ソルダレジスト61が配線領域50bを被覆している。カバーコート60がランド領域50a及びソルダレジスト61の一部を被覆している。カバーコート60におけるソルダレジスト61を被覆している領域の一部が接合面21aに固定されている。
【選択図】図8
Description
次に、本実施形態の変形例について図11を参照しつつ説明する。図11は、変形例に係るアクチュエータユニット21に接合されたCOF151の部分断面図である。図11に示すように、アクチュエータユニット21の接合面21aから突出する個別バンプ236が15μmの高さを有している。また、基材51の表面から突出しているランド158が15μmの高さを有している。そして、個別バンプ236及びランド158がカバーコート160を貫通しつつ互いに接合されている。これにより、バンプ236とランド158との接合部を含む接合面21aから基材51までの高さが約30μmとなっている。
1a 筐体
1b 給紙ユニット
1c インクタンクユニット
2 ヘッド本体
9 流路ユニット
21 アクチュエータユニット
21a 接合面
50 COF
50a ランド領域
50b 配線領域
50c ターミナル
51 基材
51a 表面
57a 出力配線
57b 制御配線
58 ランド
60 カバーコート
61 ソルダレジスト
62 積層部
101 インクジェットプリンタ
135 個別電極
136 個別バンプ
141〜143 圧電シート
Claims (12)
- 液体が吐出される流路ユニットと、
前記流路ユニットに固定されており、前記流路ユニットから液体を吐出させるアクチュエータであって、前記流路ユニットに固定された固定面と駆動信号を供給する平型柔軟基板が接合された接合面とを有する圧電層、前記圧電層に配置された複数の個別電極、及び、前記接合面に配置され且つ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別バンプを有するアクチュエータと、
前記平型柔軟基板とを備えており、
前記平型柔軟基板は、
前記アクチュエータに面した表面を有する基材、前記表面に配置され且つ前記複数の個別バンプに接合された複数のランド、前記表面に配設され且つ前記複数のランドから引き出された複数の配線パターン、前記複数のランドが配置されたランド領域を被覆する絶縁性のランド被覆層、及び、前記ランド領域に隣接して形成され且つ前記複数の配線パターンが配設された配線領域を被覆する絶縁性の配線被覆層を有しており、
前記配線領域において、前記ランド被覆層が前記配線被覆層の少なくとも一部を被覆することによって、前記配線被覆層と前記ランド被覆層とが積層されている積層部が形成されており、
前記圧電層と前記複数の配線パターンとの間に、前記積層部の少なくとも一部が挟持されており、前記積層部の前記ランド被覆層が前記圧電層に固定されていることを特徴とする記録ヘッド。 - 前記基材と前記圧電層の前記接合面とが平行になっていることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。
- 前記接合面に配置された前記複数の個別バンプ及び前記表面に配置された前記複数のランドの少なくとも一方は、それらが配置された面から突出するように形成されており、
前記配線被覆層は、互いに接合された前記複数の個別バンプ及び前記複数のランドを挟む前記接合面と前記表面との離隔距離に等しい厚さを有していることを特徴とする請求項2に記載の記録ヘッド。 - 前記ランド被覆層の厚みが、前記配線被覆層の厚みより小さいことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の記録ヘッド。
- 前記積層部において、前記ランド被覆層は、前記配線パターンが引き出される引き出し方向に関して、前記圧電層の端縁を超えた外側まで前記配線被覆層を被覆していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の記録ヘッド。
- 前記積層部は、前記引き出し方向と直交する方向に関して、全ての前記複数の配線パターンに跨って延在した帯状平面を有しており、前記圧電層の両方の端縁を超えた外側まで延びていることを特徴とする請求項5に記載の記録ヘッド。
- 液体が吐出される流路ユニットに固定されており、前記流路ユニットに固定された固定面と駆動信号を供給する平型柔軟基板が接合された接合面とを有する圧電層、前記圧電層に配置された複数の個別電極、及び、前記接合面に配置され且つ前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別バンプを有すると共に、前記流路ユニットから液体を吐出させるアクチュエータに、前記アクチュエータに面する表面を有する基材、前記表面に配置され且つ前記複数の個別バンプに接合される複数のランド、及び、前記表面に配設され且つ前記複数のランドから引き出された複数の配線パターンを有する平型柔軟基板が接合された記録ヘッドの製造方法であって、
前記表面における前記複数のランドが配置されたランド領域に隣接する領域であって前記複数の配線パターンが配置された配線領域を被覆する絶縁性の配線被覆層を形成する配線被覆層形成工程と、
前記ランド領域を被覆する半硬化状態の熱硬化性樹脂からなる絶縁性のランド被覆層を、前記配線被覆層の少なくとも一部を被覆するように形成するランド被覆層形成工程と、
前記複数の個別バンプが前記ランド被覆層を貫通しつつ前記複数のランドに接合されると共に、前記圧電層の前記接合面と前記複数の配線パターンとの間に、前記配線被覆層と前記ランド被覆層の前記配線被覆層を被覆している部分とが挟持されて、前記ランド被覆層が前記接合面に密着するように、前記平型柔軟基板を前記アクチュエータに接合する接合工程と、
前記接合工程において加熱することによって、前記ランド被覆層を完全硬化させることによって、前記平型柔軟基板を前記接合面に固定するランド被覆層硬化工程とを備えていることを特徴とする記録ヘッドの製造方法。 - 前記接合工程において、前記ランド被覆層が前記配線領域に対向した前記接合面の対向領域によって押し潰されるように、前記平型柔軟基板を前記アクチュエータに接合することを特徴とする請求項7に記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記接合工程において、前記基材と前記接合面とが平行になるように、前記平型柔軟基板を前記アクチュエータに接合することを特徴とする請求項7又は8に記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記配線被覆層形成工程に先立って、前記接合面に配置された前記複数の個別バンプ及び前記表面に配置された前記複数のランドの少なくとも一方を、それらが配置された面から突出するように形成する端子形成工程をさらに備えており、
前記配線被覆層形成工程において、前記配線被覆層を、前記複数の個別バンプ及び前記複数のランドが互いに接合されたとき、当該接合部を挟む前記表面と前記接合面との離隔距離に等しい厚さで形成することを特徴とする請求項9に記載の記録ヘッドの製造方法。 - 前記ランド被覆層形成工程において、前記ランド被覆層を、少なくとも前記複数の配線パターンが引き出される引き出し方向に関して、前記圧電層の端縁を超えた外側まで前記配線被覆層を被覆するように形成することを特徴とする請求項7〜10のいずれか1項に記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記ランド被覆層が、熱硬化性エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項7〜11のいずれか1項に記載の記録ヘッドの製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013176881A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Kyocera Corp | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
JP2014198457A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-10-23 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置 |
JP2021053902A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび記録装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003332382A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-11-21 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2005050971A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Optrex Corp | フレキシブル回路基板 |
JP2007237556A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出装置 |
JP2007268849A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP2008183880A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Brother Ind Ltd | 記録装置及び記録装置の配線接続方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3752974B2 (ja) | 2000-07-26 | 2006-03-08 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
US6838316B2 (en) | 2002-03-06 | 2005-01-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device manufacturing method using ultrasonic flip chip bonding technique |
JP5211631B2 (ja) * | 2007-10-16 | 2013-06-12 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置及びその製造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003332382A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-11-21 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2005050971A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Optrex Corp | フレキシブル回路基板 |
JP2007237556A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出装置 |
JP2007268849A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP2008183880A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Brother Ind Ltd | 記録装置及び記録装置の配線接続方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013176881A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Kyocera Corp | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 |
JP2014198457A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-10-23 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置 |
JP2021053902A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび記録装置 |
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